Supplément traitement du vide
A.
SUPPLÉMENT 1 RÉGULATEUR TRAITEMENT DU
VIDE.............................................................................. 2
a.1.
a.2.
a.2.1.
a.3.
a.3.1.
a.3.2.
a.3.3.
a.3.4.
a.3.5.
a.3.6.
a.3.7.
a.4.
a.5.
a.6.
a.6.1.
a.7.
a.7.1.
a.7.2.
a.7.3.
a.7.4.
a.7.5.
a.7.6.
a.7.7.
a.7.8.
a.8.
a.8.1.
a.8.2.
a.8.3.
a.9.
a.9.1.
a.9.2.
INTRODUCTION............................................................................. 2
QU'EST CE QU'UN REGULATEUR DE TRAITEMENT DE VIDE?2
Exemple d'une chambre de vide..................................................... 3
FONCTIONNALITES DU REGULATEUR DE TRAITEMENT DU ..
VIDE ................................................................................................ 4
Consignes ....................................................................................... 4
Jauge de vide primaire.................................................................... 5
Jauge de vide secondaire ............................................................... 5
Linéarisation de la jauge ................................................................. 5
Temporisation de la pompe Root.................................................... 5
Détection de fuite ............................................................................ 5
Commutation des jauges ................................................................ 6
CABLAGE ...................................................................................... 7
MISE SOUS TENSION ................................................................... 8
FONCTIONNEMENT ...................................................................... 9
Accès aux paramètres de traitement du vide.................................. 9
TABLES DES PARAMETRES ..................................................... 10
Paramètres vide secondaire ......................................................... 10
Paramètres vide primaire .............................................................. 11
Paramètres de vide annexe .......................................................... 11
Paramètres de commutation des jauges ...................................... 12
Paramètres de consigne ............................................................... 12
Paramètres de contrôle de la pompe............................................ 13
Paramètres de détection de fuite .................................................. 13
Paramètres d'affichage du vide..................................................... 14
NIVEAU DE CONFIGURATION ................................................... 15
Configuration de la page Sommaire du vide comme page
d'accueil ........................................................................................ 15
Personnalisation de la page sommaire du vide ............................ 16
Bloc fonction Traitement du vide................................................... 17
EXEMPLES DE CABLAGE DE REGULATEUR DE ......................
TRAITEMENTDU VIDE ................................................................ 18
Régulation d'une température simple et du vide........................... 18
Mise à l'échelle de la lecture du vide dans d'autres unités ........... 20
Manuel supplément Traitement du vide - HA 027186 - Indice 1.0 - 06/01
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