Supplément traitement du vide A. SUPPLÉMENT 1 RÉGULATEUR TRAITEMENT DU VIDE.............................................................................. 2 a.1. a.2. a.2.1. a.3. a.3.1. a.3.2. a.3.3. a.3.4. a.3.5. a.3.6. a.3.7. a.4. a.5. a.6. a.6.1. a.7. a.7.1. a.7.2. a.7.3. a.7.4. a.7.5. a.7.6. a.7.7. a.7.8. a.8. a.8.1. a.8.2. a.8.3. a.9. a.9.1. a.9.2. INTRODUCTION............................................................................. 2 QU'EST CE QU'UN REGULATEUR DE TRAITEMENT DE VIDE?2 Exemple d'une chambre de vide..................................................... 3 FONCTIONNALITES DU REGULATEUR DE TRAITEMENT DU .. VIDE ................................................................................................ 4 Consignes ....................................................................................... 4 Jauge de vide primaire.................................................................... 5 Jauge de vide secondaire ............................................................... 5 Linéarisation de la jauge ................................................................. 5 Temporisation de la pompe Root.................................................... 5 Détection de fuite ............................................................................ 5 Commutation des jauges ................................................................ 6 CABLAGE ...................................................................................... 7 MISE SOUS TENSION ................................................................... 8 FONCTIONNEMENT ...................................................................... 9 Accès aux paramètres de traitement du vide.................................. 9 TABLES DES PARAMETRES ..................................................... 10 Paramètres vide secondaire ......................................................... 10 Paramètres vide primaire .............................................................. 11 Paramètres de vide annexe .......................................................... 11 Paramètres de commutation des jauges ...................................... 12 Paramètres de consigne ............................................................... 12 Paramètres de contrôle de la pompe............................................ 13 Paramètres de détection de fuite .................................................. 13 Paramètres d'affichage du vide..................................................... 14 NIVEAU DE CONFIGURATION ................................................... 15 Configuration de la page Sommaire du vide comme page d'accueil ........................................................................................ 15 Personnalisation de la page sommaire du vide ............................ 16 Bloc fonction Traitement du vide................................................... 17 EXEMPLES DE CABLAGE DE REGULATEUR DE ...................... TRAITEMENTDU VIDE ................................................................ 18 Régulation d'une température simple et du vide........................... 18 Mise à l'échelle de la lecture du vide dans d'autres unités ........... 20 Manuel supplément Traitement du vide - HA 027186 - Indice 1.0 - 06/01 a-1 ">
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