Pfeiffer CNR 39x/CNR 30x - Capacitive gauge Mode d'emploi
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MANUEL DE L'UTILISATEUR FR Traduction d'original CNR 39X | CNR 30X Jauge capacitive Cher client, Nous vous remercions d’avoir opté pour un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouvelle jauge a été conçue pour vous donner entière satisfaction pour votre application, de par sa conception rigoureuse et son parfait fonctionnement. La marque Pfeiffer Vacuum, synonyme de techniques du vide performantes, se décline en une gamme exhaustive et variée de produits de grande qualité, assortis d’un service client irréprochable. Forts de cette expérience pratique étendue, nous avons compilé une multitude d’informations qui peuvent contribuer à une implémentation efficace et à votre sécurité personnelle. Sachant que notre produit doit vous permettre d’éviter des arrêts de production coûteux, nous sommes confiants qu’il pourra vous offrir une solution pour une implémentation efficace et fiable de votre application individuelle. Veuillez lire ce manuel de l'utilisateur avant de mettre votre produit en service pour la première fois. Si vous avez des questions ou suggestions, n’hésitez pas à nous contacter par e-mail à l’adresse info@pfeiffer-vacuum.de. Vous trouverez d’autres manuels de l'utilisateur de Pfeiffer Vacuum dans le Centre de téléchargement sur notre site Internet. Exclusion de responsabilité Ce manuel de l’utilisateur décrit l’ensemble des modèles et variantes de votre produit. Veuillez noter qu’il est possible que votre produit ne dispose pas de toutes les caractéristiques d’équipement décrites dans ce document. Pfeiffer Vacuum adapte en permanence et sans avis préalable ses produits afin qu’ils soient à la fine pointe de la technologie. Veuillez prendre en compte qu’il y avoir des divergences entre le manuel de l’utilisateur en ligne et la manuel de l’utilisateur imprimé fourni avec votre produit. En outre, Pfeiffer Vacuum décline toute responsabilité ou obligation pour tout dommage résultant de l’utilisation du produit en contradiction avec son utilisation conforme à l’usage prévu ou en cas d’utilisation explicitement définie comme étant une mauvaise utilisation prévisible. Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum. Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations contenues dans ce document. 2/46 Table des matières Table des matières 1 Au sujet de ce manuel 1.1 Validité 1.1.1 Documents applicables 1.1.2 Variantes 1.2 Groupe cible 1.3 Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte 1.3.2 Pictogrammes 1.3.3 Étiquettes sur le produit 1.3.4 Abréviations 1.4 Preuve de marque déposée 7 7 7 7 8 8 8 8 8 9 9 2 Sécurité 2.1 Information générale sur la sécurité 2.2 Consignes de sécurité 2.3 Mesures de sécurité 2.4 Limites d’utilisation du produit 2.5 Utilisation conforme 2.6 Utilisations non conformes prévisibles 2.7 Responsabilité et garantie 2.8 Conditions opérateur 2.9 Qualification personnelle 2.9.1 Garantissez la qualification du personnel 2.9.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation 2.9.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum 2.10 Conditions opérateur 10 10 10 13 14 14 14 14 14 15 15 15 16 16 3 Description du produit 3.1 Fonction 3.2 Bouton et affichage de l’état 3.3 Fonctions logiques 3.4 Identification du produit 3.5 Étendue de la livraison 17 17 17 17 18 18 4 Transport et stockage 4.1 Transport du produit 4.2 Stockage du produit 19 19 19 5 Installation 5.1 Raccord à vide 5.2 Raccordement électrique 20 20 22 6 Fonctionnement 6.1 Modes de fonctionnement 6.2 Conversion du signal de mesure et de la pression 6.3 Réglage des valeurs seuils 24 24 24 25 7 Démontage 28 8 Maintenance 8.1 Nettoyage des composants 8.2 Calibration de la jauge 8.2.1 Exécution du calibrage du point zéro avec le bouton « zéro » 8.2.2 Calibration point zéro avec le bouton « zero » (zéro) et la fonction de rampe 8.3 Chargement des réglages-usine 30 30 31 32 33 34 3/46 Table des matières 4/46 9 Expédition 35 10 Recyclage et mise au rebut 10.1 Informations générales sur la mise au rebut 10.2 Mise au rebut des jauges 36 36 36 11 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 37 12 Accessoires 12.1 Informations sur l’accessoire 12.2 Commande d’accessoires 39 39 39 13 Caractéristiques techniques et dimensions 13.1 Généralités 13.2 Fiche technique 13.3 Dimensions 40 40 40 42 Certification ETL 43 Déclaration de conformité CE 44 Déclaration de Conformité UK 45 Liste des tableaux Liste des tableaux Tab. 1: Tab. 2: Tab. 3: Tab. 4: Tab. 5: Tab. 6: Tab. 7: Tab. 8: Tab. 9: Tab. 10: Tab. 11: Tab. 12: Tab. 13: Documents applicables Variantes CNR 39x avec filtre commande P Variantes CNR 30x avec filtre commande P Abréviations utilisées Conditions ambiantes autorisées Diodes électroluminescentes Constantes de conversion du signal de mesure et de la pression Écart du signal de sortie entre la position verticale et la position horizontale Pression limite recommandée pour le calibrage du point zéro Tableau de conversion : Unités de pression Tableau de conversion : Unités de débit du gaz Fiche technique CNR 39x Fiche technique CNR 30x 7 7 7 9 14 24 25 31 32 40 40 41 41 5/46 Liste des figures Liste des figures Fig. 1: Fig. 2: Fig. 3: Fig. 4: Fig. 5: Fig. 6: Fig. 7: Fig. 8: Fig. 9: Fig. 10: Fig. 11: Fig. 12: Fig. 13: 6/46 Bouton et LED Contacts de relais dépendants des points de commutation Raccord à vide Schéma de raccordement Prise de câble D-sub Câble de mesure Relation entre le signal de mesure et la pression Utiliser le bouton « SP » pour la sélection du mode de fonction logique Utiliser le bouton « zéro » pour régler la valeur seuil Calibrage du point zéro avec le bouton « zéro » Calibrage du point zéro avec le bouton « zéro » Utilisez le bouton « zéro » pour charger les paramètres d'usine Dimensions 17 18 21 22 23 23 24 26 26 32 33 34 42 Au sujet de ce manuel 1 Au sujet de ce manuel IMPORTANT À lire attentivement avant utilisation. Gardez le manuel pour pouvoir le consulter ultérieurement. 1.1 Validité Ce document décrit la fonction des produits de la liste suivante et contient les informations les plus importantes pour une utilisation sécurisée. La description est rédigée conformément aux directives en vigueur. Les informations contenues dans ce document correspondent à l’état de développement actuel des produits. Le document conserve sa validité à condition que le client n’apporte aucune modification au produit. 1.1.1 Documents applicables Désignation Document CenterOne | CenterTwo | CenterThree « Unité de commande et de mesure de la pression totale » BG 5044 Déclaration de conformité Un composant de ce manuel de l’utilisateur Tab. 1: Documents applicables Vous trouverez ces documents dans le Centre de téléchargement Pfeiffer Vacuum. 1.1.2 Variantes Ce document s’applique aux produits suivants : Variante Type Bride/raccord Connecteur Interface FS PT T 23 = 160 °C 13 = DN 16 ISO-KF 31 = DN 16 CF-R 43 = 8 VCR, femelle 22 = Filetage 1/2” 6 = D-Sub, 15 broches 22 = Analogique 0 à 10 V, relais SP 1 = 1000 Torr 2 = 100 Torr 3 = 10 Torr 4 = 1 Torr 6 = 500 Torr 7 = 200 Torr 8 = 50 Torr 9 = 20 Torr 0 = 2 Torr Tab. 2: Variantes CNR 39x avec filtre commande P Variante Type Bride/raccord Connecteur Interface FS PT T 24 = 200 °C 13 = DN 16 ISO-KF 31 = DN 16 CF-R 43 = 8 VCR, femelle 22 = Filetage 1/2” 6 = D-Sub, 15 broches 22 = Analogique 0 à 10 V, relais SP 1 = 1000 Torr 2 = 100 Torr 3 = 10 Torr 4 = 1 Torr 6 = 500 Torr 7 = 200 Torr 8 = 50 Torr 9 = 20 Torr 0 = 2 Torr Tab. 3: Variantes CNR 30x avec filtre commande P 7/46 Au sujet de ce manuel Vous trouverez le numéro de la pièce sur la plaque signalétique du produit. Pfeiffer Vacuum se réserve le droit d'apporter des modifications techniques sans préavis. Les informations concernant un seul des produits sont indiquées comme telles. Les figures de ce document ne sont pas à l’échelle. Les figures représentent le produit avec un raccord vide DN 16 ISO-KF. Elles s'appliquent cependant aussi aux autres raccords vides sous réserve de compatibilité. Les dimensions sont fournies en mm, sauf avis contraire. 1.2 Groupe cible Ce manuel de l’utilisateur cible toutes les personnes effectuant les activités suivantes sur le produit : ● ● ● ● ● ● Transport Configuration (installation) Utilisation et fonctionnement Mise hors service Maintenance et nettoyage Stockage ou mise au rebut Seules les personnes avec les qualifications techniques appropriées (personnel expert) ou ayant reçu la formation pertinente de Pfeiffer Vacuum sont autorisées à effectuer le travail décrit dans ce document. 1.3 Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes. Action unique Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape. ► Il s'agit d’une étape unique. Action en plusieurs étapes Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique. 1. Étape 1 2. Étape 2 3. ... 1.3.2 Pictogrammes Les pictogrammes utilisés dans ce document indiquent des informations utiles. Remarque Conseil Portez des gants de laboratoire Contrôlez visuellement 1.3.3 Étiquettes sur le produit Ce paragraphe décrit toutes les étiquettes sur le produit ainsi que leur signification. 8/46 Au sujet de ce manuel Mod. P/N ID S/N Input 1.3.4 3103457 Range xxxx Torr Made in Liechtenstein 2024/12 CNR 39x 2000123456 PT T23 xxx xxx DExxxxxxxxxxx 14 ... 30 V DC 15 W LPS Mod. P/N ID S/N Input CNR 30x 2000123456 PT T24 xxx xxx DExxxxxxxxxxx 21 ... 30 V DC 25 W LPS 3103457 Range xxxx Torr Made in Liechtenstein 2024/12 3103457 Range xxxx Torr Made in Liechtenstein 2024/12 Abréviations Abréviation Explication CA Courant alternatif (CA) OD Analogique/Numérique ATM Atmosphère c Constante de conversion du signal de mesure et de la pression CC Courant continu CEM Compatibilité électromagnétique FKM Caoutchouc fluoré FS Gamme de mesure max. (échelle max.) GND Masse HV Vide élevé LPS Source de puissance limitée MSL Niveau moyen de la mer n.o. Normalement ouvert p Pression PE Terre de protection (conducteur de protection) TBTP Très basse tension de protection PDC Point de consigne U Signal de mesure [V] (tension de sortie) V Volt Tab. 4: 1.4 CNR 3xx 2000123456 PT Txx xxx xxx DExxxxxxxxxxx xx ... 30 V DC xx W LPS Mod. P/N ID S/N Input Plaque signalétique La plaque signalétique est située sur le côté de l’unité. Abréviations utilisées Preuve de marque déposée ● VCR® est une marque déposée de Swagelok Company. 9/46 Sécurité 2 Sécurité 2.1 Information générale sur la sécurité Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit : DANGER Danger immédiat Indique un danger imminent causant la mort ou de graves blessures s’il est ignoré. ► Instructions pour éviter la situation dangereuse AVERTISSEMENT Danger potentiel Indique un danger pouvant causer la mort ou de graves blessures s’il est ignoré. ► Instructions pour éviter la situation dangereuse ATTENTION Danger potentiel Indique un danger pouvant causer des blessures bénignes s’il est ignoré. ► Instructions pour éviter la situation dangereuse AVIS Risque de dommages matériels Est utilisé pour signaler des actions qui ne sont pas associées à des blessures. ► Instructions pour éviter les dommages matériels Les notes, les conseils ou les exemples correspondent à des remarques importantes sur le produit ou sur ce document. 2.2 Consignes de sécurité Consignes de sécurité selon les étapes de la vie du produit Toutes les consignes de sécurité de ce document sont basées sur les résultats d’une évaluation des risques. Pfeiffer Vacuum a pris en compte toutes les étapes pertinentes de la vie du produit. Risques pendant l’installation DANGER Danger de mort en raison des tensions de contact dangereuses Les tensions supérieures à 30 V (CA) ou 60 V (CC) sont considérées comme dangereuses selon la norme EN 61010. Un contact avec une tension de contact dangereuse entraîne un risque de blessures ou un danger de mort par choc électrique. ► Raccordez le produit seulement aux appareils qui remplissent les critères suivants : ● Conditions de tension extra-basse de protection de terre (PELV) ● Source de puissance limitée (LPS) classe 2 ► Fixez la ligne sur le produit. – Les équipements de contrôle et de mesure Pfeiffer Vacuum remplissent ces conditions. 10/46 Sécurité DANGER Danger de mort par électrocution Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie. ► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé. ► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. (Les raccordement CF et VCR remplissent ces conditions.) ► Utilisez des anneaux de centrage et des circlips à couche conductrice pour les raccordements KF. AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement dû au rejet de gaz toxiques Les contraintes mécaniques, chimiques ou thermiques élevées provoquent des fuites au niveau du capteur. Dans les traitements impliquant des fluides toxiques, il existe un risque de blessure, voire de mort par empoisonnement à cause des fuites de gaz en cas de surpression du système de vide. ► Prévenez la formation de toute contrainte mécanique, chimique ou thermique élevée. ► Prévenez la formation de surpressions dans le système de vide. ► Prenez les mesures appropriées de façon à prévenir les risques et dommages provoqués par la fuite de fluides de traitement, comme une interruption d'alimentation en gaz, une évacuation ou un test de fuite. Risques pendant le fonctionnement AVERTISSEMENT Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant être également toxique. Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique. ► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide. ► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression. ► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un anneau de serrage). ► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur. Risques pendant le démontage DANGER Danger de mort par électrocution Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie. ► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé. ► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. (Les raccordement CF et VCR remplissent ces conditions.) ► Utilisez des anneaux de centrage et des circlips à couche conductrice pour les raccordements KF. 11/46 Sécurité AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. AVERTISSEMENT Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant être également toxique. Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique. ► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide. ► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression. ► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un anneau de serrage). ► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur. Risques pendant la maintenance DANGER Danger de mort dû au choc électrique causé par la pénétration d’humidité La pénétration d’eau dans l’unité cause des blessures aux personnes par chocs électriques. ► Utilisez seulement l’unité dans un environnement sec. ► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité. ► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, contactez Pfeiffer Vacuum Service. ► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité. AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. AVERTISSEMENT Risques pour la santé dus aux agents nettoyants Les détergents utilisés peuvent nuire à la santé et causer un empoisonnement, des allergies, une irritation de la peau, des brûlures chimiques ou endommager les voies respiratoires. ► Respectez les réglementations en vigueur pour la manipulation des agents nettoyants. ► Respectez les mesures de sécurité concernant la manipulation et la mise au rebut des agents nettoyants. ► Attention aux réactions potentielles avec les matériaux du produit. 12/46 Sécurité Risques liés à l’expédition AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement par produits contaminés L’expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la santé et la sécurité du personnel de maintenance. ► Conforme aux avis pour une livraison en toute sécurité. Risques pendant la mise au rebut AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. 2.3 Mesures de sécurité Le produit est conçu sur la base des technologies les plus récentes et des règles techniques de sécurité reconnues. Cependant, une utilisation incorrecte peut présenter un risque de blessure ou un danger de mort pour l'opérateur et toute autre personne, ainsi qu'un risque de dommages matériels sur le produit et autres. Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit. Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document. Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit d'origine ou installe un équipement supplémentaire ● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives européennes applicables avant de mettre en service ce système. Mesures de sécurité générales lors de la manipulation du produit ► Respectez toutes les dispositions de sécurité et de prévention des accidents en vigueur. ► Contrôlez régulièrement que toutes les mesures de sécurité sont respectées. ► Les consignes de sécurité doivent être transmises aux autres utilisateurs. ► N'exposez aucune partie du corps au vide. ► Assurez toujours un raccordement sûr au conducteur de terre (PE). ► Ne débranchez jamais les fiches de raccordement en cours de fonctionnement. ► Respectez les procédures d’arrêt ci-dessus. ► Tenez les conduites et les câbles éloignés des surfaces chaudes (> 70 °C). ► N'effectuez pas vous-même de conversions ou de modifications de l'appareil. ► Consultez le degré de protection de l’unité avant son installation ou fonctionnement dans d’autres environnements. ► Mettez en place des équipements de protection adaptés contre tout contact physique si la température de surface dépasse 70 °C. ► Il convient de toujours s'informer d'éventuelles contaminations avant de commencer à travailler. 13/46 Sécurité 2.4 Limites d’utilisation du produit Paramètre Valeur Humidité relative de l’air À des températures atteignant +31 °C, 80 % max. À des températures atteignant +40 °C, 50 % max. Orientation de montage Arbitraire Usage En intérieur uniquement Altitude maximum de l’installation 2 000 m MSL Degré de pollution 2 Degré de protection IP40 Tab. 5: 2.5 Conditions ambiantes autorisées Utilisation conforme La jauge est utilisée pour la mesure du vide des gaz dans sa gamme de mesure définie. Utilisation du produit conformément à son usage prévu ► Faites fonctionner la jauge avec un appareil de commande et de mesure de pression totale Pfeiffer Vacuum ou avec un appareil d'évaluation fournie par le client. ► Installez, mettez en fonctionnement et entretenez la jauge conformément à ce manuel de l'utilisateur. ► Observez les limites d’utilisation indiquées dans la fiche technique. ► Observer la fiche technique. 2.6 Utilisations non conformes prévisibles Toute utilisation non conforme du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité. Toute utilisation non conforme à l’objectif du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée comme non réglementaire, en particulier : ● Utilisation hors des limites mécaniques et électriques d’utilisation ● Utilisation avec des substances corrosives ou explosives, si cette utilisation n’est pas explicitement autorisée ● Utilisation pour la mesure de gaz combustibles ou hautement inflammables lorsqu’ils sont mélangés à un agent oxydant (comme l’oxygène atmosphérique) dans les limites explosives ● Utilisation en extérieur ● Utilisation suite à des modifications techniques (à l’intérieur ou à l’extérieur du produit) ● Utilisation avec des accessoires ou pièces de rechange inappropriés ou non approuvés 2.7 Responsabilité et garantie Pfeiffer Vacuum décline toute responsabilité et garantie si la société qui exploite le produit ou une partie tierce : ● ignore ce document ● n’utilise pas le produit pour l’usage prévu ● apporte des modifications au produit (conversions, changements, etc.) qui ne sont pas mentionnées dans la documentation produit correspondante ● utilise le produit avec des accessoires qui ne sont pas mentionnés dans la documentation produit correspondante L’opérateur est responsable du gaz de procédé employé. 2.8 Conditions opérateur Travail respectueux des normes de sécurité 1. Le produit ne peut être utilisé que s'il est en parfait état technique. 2. Le produit doit être utilisé selon l’usage pour lequel il a été conçu, conformément au mode d’emploi, dans le respect des consignes de sécurité, et en restant conscient des dangers qu’il implique. 14/46 Sécurité 3. Observez les recommandations suivantes et surveillez l’observation des recommandations suivantes : – Utilisation conforme à l’usage prévu – Consignes de sécurité généralement applicables et règles de prévention des accidents – Normes et directives applicables au niveau local, national et international – Directives et régulations supplémentaires relatives au produit 4. Utiliser exclusivement des pièces d’origine et approuvées par Pfeiffer Vacuum. 5. Conserver le mode d’emploi accessible sur le lieu d’installation du produit. 6. Garantir la qualification du personnel. 2.9 Qualification personnelle L’utilisation décrite dans ce document doit être confiée à des personnes disposant des qualifications professionnelles adéquates et de l’expérience nécessaire ou qui ont suivi la formation requise dispensée par Pfeiffer Vacuum. Formation du personnel 1. Formez le personnel technique sur le produit. 2. Ne laissez le personnel à former opérer avec et sur le produit que sous la supervision d’un personnel qualifié. 3. Seul un personnel technique formé est autorisé à travailler avec le produit. 4. Avant de commencer à travailler, assurez-vous que le personnel engagé a lu et compris ce manuel de l’utilisateur et tous les documents pertinents, en particulier les informations relatives à la sécurité, à l’entretien et à la réparation. 2.9.1 Garantissez la qualification du personnel Spécialistes des travaux mécaniques Seuls des spécialistes qualifiés peuvent effectuer des travaux mécaniques. Selon la définition de ce document, les spécialistes sont des personnes responsables de la construction, de l’installation mécanique, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes : ● Compétences dans le domaine mécanique conformément aux régulations nationales en vigueur ● Connaissance de cette documentation Spécialiste des travaux électrotechniques Seul un électricien qualifié peut effectuer des travaux d’ingénierie électriques. Selon la définition de ce document, les électriciens sont des personnes responsables de l’installation électrique, de la mise en service, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes : ● Compétences dans le domaine de l’ingénierie électrique conformément aux régulations nationales en vigueur ● Connaissance de cette documentation De plus, ces personnes doivent être familiarisées avec les réglementations et la législation en matière de sécurité en vigueur, ainsi que les normes, directives et lois mentionnées dans cette documentation. Les personnes mentionnées ci-dessus doivent avoir reçu explicitement l’autorisation d’utilisation afin de mettre en service, de programmer, de configurer, de marquer et de mettre à la terre les dispositifs, systèmes et circuits conformément aux standards technologiques en matière de sécurité. Personnes qualifiées Seules les personnes avec la formation qui convient peuvent effectuer toutes les opérations relatives au transport, à l’entreposage, à l’utilisation et à la mise au rebut. Ce type de formation doit garantir que ces personnes sont capables d’exécuter correctement les activités et opérations requises, et en toute sécurité. 2.9.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation Formations avancées Pfeiffer Vacuum offre des formations avancées pour les maintenances niveaux 2 et 3. 15/46 Sécurité Les personnes adéquatement qualifiées sont : ● Maintenance niveau 1 ─ Client (spécialiste formé) ● Maintenance niveau 2 ─ Client avec formation technique ─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum ● Maintenance niveau 3 ─ Client avec formation à l’entretien Pfeiffer Vacuum ─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum 2.9.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum Pour une utilisation optimale et sans problème de ce produit, Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de cours et de formations techniques. Pour plus de précisions, contactez le service de formation technique Pfeiffer Vacuum. 2.10 Conditions opérateur Analyse des documents et données concernés 1. Lire, analyser et respecter le mode d’emploi ainsi que les instructions de travail préparées par la société d’exploitation, en particulier les consignes de sécurité et les avertissements. 2. L’installation, l’utilisation et l’entretien du produit doivent être exécutés exclusivement conformément au manuel de l’utilisateur. 3. Exécuter toutes les opérations uniquement sur la base du manuel de l’utilisateur et des documents pertinents. 4. Se conformer aux limites d’utilisation. 5. Observer la fiche technique. 6. Si ce manuel de l’utilisateur ne permet pas de répondre à toutes les questions posées lors de l’utilisation ou de l’entretien du produit, contacter le Pfeiffer Vacuum Service Center. – Des informations sont disponibles dans la zone de service Pfeiffer Vacuum. 16/46 Description du produit 3 Description du produit 3.1 Fonction La jauge comporte un élément de mesure de la capacité avec diaphragme en céramique. La jauge chauffe le capteur à une température constante de 160 °C (CNR 39x) ou 200 °C (CNR 30x). La pression entraîne une déflexion du diaphragme en céramique. La jauge interprète cette déviation du diaphragme comme une variation de capacité. Les éléments électroniques convertissent la variation de capacité en signal de sortie (DC). Le signal de sortie évolue linéairement en fonction de la pression à mesurer. La pression de sortie est indépendante du type de gaz à mesurer. Un déflecteur intégré protège le capteur des dépôts. Avantages du contrôle de température ● Mesures extrêmement précises ● Permet d’éviter dans une large mesure les influences environnementales ● Réduction des dépôts de produits et de sous-produits du procédé La jauge possède un filtre commande P, qui optimise le signal de mesure pour les applications de régulation de pression. En pratique, la jauge est particulièrement adaptée aux applications de régulation de pression en association avec une vanne de commande compatible. Mesures de précision Commande P engendre des niveaux de bruit plus élevés, donc la jauge est moins adaptée aux mesures de précision. Pour les mesures de précision, utilisez la jauge CenterLine CCR dans commande P. 3.2 Bouton et affichage de l’état IO 1 SP ST AT US 2 SP 5 SP ZERO 4 3 Fig. 1: 2 1 Bouton et LED 1 Bouton « ZERO » 2 Bouton « SP » 3 LED « STATUS » (état de la jauge) 3.3 4 5 LED « PDC2 » LED « PDC1 » Fonctions logiques Les deux points de commutation SP1 et SP2 peuvent être ajustés sur toute pression comprise dans la gamme de mesure complète de la jauge. Un contact de relais sans potentiel est disponible pour chaque point de commutation. Les deux points de commutation sont réglés en départ d'usine sur la limite de plage de mesure inférieure afin qu’ils ne commutent pas. Si la pression dans le système de vide tombe au-dessous de la valeur seuil réglée, la LED correspondante s’allume et le relais se ferme. 17/46 Description du produit p 4 2 1 3 2 t Off Fig. 2: On Contacts de relais dépendants des points de commutation p Pression t Temps 1 Point de commutation 3.4 Off 2 3 4 Limite, valeur seuil Hystérèse Valeur mesurée Identification du produit Toutes les données de la plaque signalétique sont nécessaires pour identifier assurément le produit pour toute communication avec Pfeiffer Vacuum. ► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, conservez toujours à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique. 3.5 Étendue de la livraison ● ● ● ● Transmetteur (dans un emballage en salle blanche) Stylet (Ø 1,1 mm) Certificat d’étalonnage Manuel de l’utilisateur Déballage du produit et contrôle du contenu de la livraison 1. Déballez le produit. 2. Déposez les sécurités et les protections pour le transport, etc. 3. Rangez les sécurités et les protections pour le transport dans un endroit sûr. 4. Vérifier que toutes les pièces sont présentes. 5. Contrôlez qu’aucune pièce n’a été endommagée. 18/46 Transport et stockage 4 Transport et stockage 4.1 Transport du produit AVIS Dégâts causés par un transport incorrect Un transport dans un emballage incorrect ou la non-installation de tous les verrous de transport peut endommager le produit. ► Conforme aux instructions pour un transport en toute sécurité. Emballage Nous recommandons de conserver l’emballage de transport et de protection d’origine. Transport en toute sécurité du produit ► Observez le poids spécifié sur l’emballage de transport. ► Dans la mesure du possible, transportez ou expédiez toujours le produit dans son emballage d’origine de transport. ► Utilisez toujours un emballage compact qui protège le produit des chocs. ► Retirez l’obturateur de protection existant et les protections pour le transport seulement juste avant l’installation. ► Avant chaque transport, les blocages et les protections correspondants doivent être remontés. 4.2 Stockage du produit AVIS Risque de détériorations causées par un stockage incorrect Un stockage incorrect provoquera des dégâts sur le produit. Les charges statiques, l’humidité, etc., provoquent des défauts sur les composants électroniques. ► Conforme aux instructions pour un stockage en toute sécurité. Emballage Nous recommandons de stocker le produit dans son emballage d’origine. Stockage en toute sécurité du produit ► Conservez le produit dans un endroit frais, sec et sans poussière, où il n’est pas soumis à des chocs ni à des vibrations mécaniques. ► Utilisez toujours un emballage compact qui protège le produit des chocs. ► Dans la mesure du possible, stockez le produit dans son emballage d’origine. ► Stockez les composants électroniques dans un emballage antistatique. ► Maintenez la température de stockage admissible. ► Évitez les fortes variations de températures ambiantes. ► Évitez un taux d’humidité élevé dans l’air. ► Fermez les raccords avec les bouchons de protection d’origine. ► Protégez le produit avec les protections de transport d’origine (si disponibles). 19/46 Installation 5 Installation 5.1 Raccord à vide DANGER Danger de mort par électrocution Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie. ► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé. ► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. (Les raccordement CF et VCR remplissent ces conditions.) ► Utilisez des anneaux de centrage et des circlips à couche conductrice pour les raccordements KF. AVERTISSEMENT Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant être également toxique. Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique. ► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide. ► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression. ► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un anneau de serrage). ► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur. AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement dû au rejet de gaz toxiques Les contraintes mécaniques, chimiques ou thermiques élevées provoquent des fuites au niveau du capteur. Dans les traitements impliquant des fluides toxiques, il existe un risque de blessure, voire de mort par empoisonnement à cause des fuites de gaz en cas de surpression du système de vide. ► Prévenez la formation de toute contrainte mécanique, chimique ou thermique élevée. ► Prévenez la formation de surpressions dans le système de vide. ► Prenez les mesures appropriées de façon à prévenir les risques et dommages provoqués par la fuite de fluides de traitement, comme une interruption d'alimentation en gaz, une évacuation ou un test de fuite. AVIS Défaillance due à la contamination et à la détérioration Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts nuisent au fonctionnement. ► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux sur les installations ultra-vide ou à vide élevé. ► Utilisez uniquement des outils propres. ► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse. ► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire. ► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé. 20/46 Installation AVIS Dégâts causés par les vibrations Les vibrations et les impacts détruisent le capteur céramique qui est sensible aux chocs. ► Manipulez la jauge avec précaution. ► Évitez les vibrations et les impacts. ► Ne faites pas tomber la jauge. Conditions préalables ● Conditions ambiantes appropriées ● Température de fonctionnement dans la plage permissible ● Espace disponible suffisant pour le raccordement électrique (p. ex., rayon de courbure permissible des câbles) 1 3 2 4 Fig. 3: Raccord à vide 1 Joint avec anneau de centrage 2 Obturateur de protection 3 4 Joint avec anneau de centrage et filtre Pièce de serrage Recommandations ► Dans la mesure du possible, vérifiez que la jauge n’est pas soumise à des vibrations pendant le fonctionnement. Ces vibrations entraînent des déviations dans les valeurs mesurées. ► Montez la jauge dans une orientation de montage horizontale à verticale (bride tournée vers le bas). – Ceci prévient toute accumulation de condensats et de particules dans la chambre de mesure. ► Une fois le bouton de la jauge monté, vérifiez qu’il est aisément accessible avec le stylet. ► Montez un joint avec un anneau de centrage et un filtre pour applications avec pollution et protéger le système de mesure contre la contamination. Procédure 1. Retirez l’obturateur de protection et rangez-le dans un endroit sûr. 2. Assemblez sur le système de vide la jauge avec les composants de vide de la boutique des composants Pfeiffer Vacuum. 21/46 Installation 5.2 Raccordement électrique DANGER Danger de mort en raison des tensions de contact dangereuses Les tensions supérieures à 30 V (CA) ou 60 V (CC) sont considérées comme dangereuses selon la norme EN 61010. Un contact avec une tension de contact dangereuse entraîne un risque de blessures ou un danger de mort par choc électrique. ► Raccordez le produit seulement aux appareils qui remplissent les critères suivants : ● Conditions de tension extra-basse de protection de terre (PELV) ● Source de puissance limitée (LPS) classe 2 ► Fixez la ligne sur le produit. – Les équipements de contrôle et de mesure Pfeiffer Vacuum remplissent ces conditions. AVIS Risque d’endommagement lié à un raccordement incorrect Un raccordement incorrect ou une polarité incorrecte, une tension d'alimentation non autorisée va endommager la jauge. ► Raccordez toujours la terre d'alimentation (broche 5) à la terre de l’unité d'alimentation. ► Raccordez toujours le blindage (broche 15) à la terre de l’unité d'alimentation. Outils requis ● Clé dynamométrique (≤ 0,4 Nm) Équipement nécessaire ● Câble de mesure pour appareil de commande et de mesure de pression totale Pfeiffer Vacuum de la gamme des accessoires CenterLine ● Câble de mesure de fabrication propre pour une unité d’évaluation par le client ● Prise de câble D-sub (15 broches, douilles) Status SP1 SP2 Ident 1M 680 nF 18 V 10 3 4 1 8 9 10 13 14 2 12 7 11 5 6 Remote Zero Adjust 14...30 V 15 V 15 case Fig. 4: 22/46 Schéma de raccordement 15 V Installation 1 → 8 9 → 15 Fig. 5: Prise de câble D-sub 1, 4 2 Relais SP1 (contact n.o.) Signal de mesure ou valeurs seuils SP1/SP2 8, 9 10 3 5 6 7, 11 Statut Masse de l’alimentation (GND) Tension d’alimentation (-15 V) Tension d’alimentation (+14 – +30 V ou +15 V) 12 13, 14 15, case Fig. 6: Relais SP2 (contact n.o.) Identification ou réglage zéro à distance Signal masse Ne pas raccorder Protection/enveloppe Câble de mesure Fabrication du câble de mesure Pour de plus amples informations sur le type de câble de mesure et les coupes transversales de raccordement, voir la fiche technique. 1. Respectez les étapes suivantes pour une qualité optimale de signal dans la mesure où les circuits de terre, les différences de potentiel ou la CEM ont un effet sur le signal de mesure. 2. Utilisez un câble avec un blindage tressé et un boîtier métallique de raccordement. 3. Raccordez la terre d’alimentation directement à la terre de protection pour le bloc d’alimentation. 4. Utilisez une entrée de mesure différentielle avec prise de terre séparée et terre l’alimentation. 5. Vérifiez que la différence de potentiel pour la protection anti-surtension entre la prise de terre d'alimentation et le boîtier est ≤ 18 V. 6. Installez la prise de câble D-sub. Installation de la prise de câble D-sub 1. Préparez la prise de câble D-sub. 2. Soudez le câble de raccordement comme indiqué sur le schéma de raccordement. 3. Installez la prise de câble D-sub. Raccordement électrique 1. Raccordez le câble de mesure à la jauge. 2. Serrez la vis d’arrêt sur la prise de câble D-sub. – Couple de serrage : ≤ 0,4 Nm 3. Raccordez la jauge à un appareil de commande et de mesure de pression totale Pfeiffer Vacuum ou à un appareil d'évaluation fournie par le client. 23/46 Fonctionnement 6 Fonctionnement Après l’activation de la tension d’alimentation, la jauge est prête pour l’utilisation. Le signal de mesure ne dépend pas du type de gaz. Recommandations ► Lors de la première mise en service, effectuez la calibration point zéro. ► Autorisez toujours un temps de démarrage d’au moins 1,5 minutes pour les mesures générales de la pression au sein des spécifications. ► Autorisez toujours un temps de démarrage d’au moins 3 heures pour des mesures de précision. 6.1 Modes de fonctionnement LED Statut Signification STATUT OFF Pas d’alimentation électrique S’allume en vert Tension d’alimentation OK, mode de mesure Clignote en vert (flash court) Avertissement, en-dehors de la gamme de mesure Clignote en vert (flash long) Démarrage S’allume en rouge Erreur S’allume en vert p ≤ niveau de point de consigne 1 Clignote en vert Régler le point de consigne 1 OFF p > point de consigne 1 S’allume en vert p ≤ niveau de point de consigne 2 Clignote en vert Régler le point de consigne 2 OFF p > point de consigne 2 SP1 SP2 Tab. 6: 6.2 Diodes électroluminescentes Conversion du signal de mesure et de la pression p 1.1×FS 1.0×FS 0.9×FS 0.8×FS 0.7×FS 0.6×FS 0.5×FS 0.4×FS 0.3×FS 0.2×FS 0.1×FS 0.0×FS 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 U [V] Fig. 7: Relation entre le signal de mesure et la pression p Pression 24/46 U Signal de mesure [V] (tension de sortie) Fonctionnement Signal de mesure (U) Pression (p) Constante (c) 1) [V] [Torr] 1,00 [hPa] 1 013.25/760 = 1,3332 [mbar] [Pa] Tab. 7: 101 325/760 = 133,3224 Constantes de conversion du signal de mesure et de la pression Conversion du signal de mesure et de la pression ► Observez les constantes de conversion du signal de mesure et de pression. ► Conversion du signal de mesure en pression : p = (U/10 V) × c (FS) ► Conversion de la pression en signal de mesure : U = (p × 10 V)/(c (FS) Exemple : Jauge avec 10 Torr FS et signal de mesure de 6 V p = (6 V/10 V) × 10 Torr = 0,6 × 10 Torr = 6 Torr 6.3 Réglage des valeurs seuils AVIS Anomalie liée à l’interruption du signal de mesure Vous pouvez presser le bouton (SP) pour interrompre le signal de mesure. La jauge émet alors la valeur seuil correspondante à la place au niveau de la sortie de signal de mesure. Cela peut entraîner des anomalies si vous contrôlez les processus avec la sortie de signal. ► Appuyez sur les boutons uniquement si vous êtes sûrs qu’aucune anomalie ne sera causée ou que des anomalies éventuelles n’entraîneront pas de dommage. État du relais et de la DEL L’état du relais et de la DEL reste inchangé même si vous appuyez sur le bouton. Valeur seuil supérieure (hystérèse) Le réglage usine pour la valeur seuil supérieure est 1 % plus élevé (hystérèse). Outils requis ● Stylet (max. Ø 1,1 mm) Aides requises ● Voltmètre 1) Source : Guide NPL (National Physical Laboratory) de la mesure de la pression et du vide ISBN 0904457x/ 1998 25/46 Fonctionnement max. ø1.1 mm Fig. 8: Utiliser le bouton « SP » pour la sélection du mode de fonction logique max. ø1.1 mm Fig. 9: Utiliser le bouton « zéro » pour régler la valeur seuil Réglage de la valeur seuil SP1 1. Pressez le bouton « SP » et maintenez-le enfoncé en utilisant un stylet. – La jauge change sur le mode de fonction logique et affiche la valeur seuil actuelle pendant 10 secondes au niveau de la sortie de signal de mesure. La LED correspondante clignote. 2. Appuyez sur et maintenez enfoncé le bouton « zéro » pour changer la valeur seuil. – La jauge change en continu la valeur seuil à partir de la valeur actuelle (rampe) jusqu’à ce que vous relâchiez le bouton ou dès que la limite de réglage est atteinte. 3. Relâchez le bouton « zéro » et appuyez à nouveau dessus dans les 3 à 5 s suivantes pour changer la direction (rampe inverse). – La fréquence de clignotement de la DEL d'état de la jauge change brièvement. 4. Relâchez le bouton « zéro » et appuyez à nouveau dessus dans les 3 s pour effectuer un réglage précis de la valeur seuil. – La jauge change la valeur seuil par étapes individuelles. 5. Relâchez le bouton « zéro » pendant 5 s. – La jauge retourne dans le mode de mesure. La jauge sauvegarde la valeur seuil et retourne au mode de mesure. L'instrument de mesure connecté affiche à nouveau la valeur de pression actuelle mesurée. Réglage de la valeur seuil SP2 1. Pressez le bouton « SP » deux fois en utilisant un stylet. – La jauge change sur le mode de fonction logique et affiche la valeur seuil actuelle pendant 10 secondes au niveau de la sortie de signal de mesure. La LED correspondante clignote. 2. Appuyez sur et maintenez enfoncé le bouton « zéro » pour changer la valeur seuil. – La jauge change en continu la valeur seuil à partir de la valeur actuelle (rampe) jusqu’à ce que vous relâchiez le bouton ou dès que la limite de réglage est atteinte. 3. Relâchez le bouton « zéro » et appuyez à nouveau dessus dans les 3 à 5 s suivantes pour changer la direction (rampe inverse). – La fréquence de clignotement de la DEL d'état de la jauge change brièvement. 26/46 Fonctionnement 4. Relâchez le bouton « zéro » et appuyez à nouveau dessus dans les 3 s pour effectuer un réglage précis de la valeur seuil. – La jauge change la valeur seuil par étapes individuelles. 5. Relâchez le bouton « zéro » pendant 5 s. – La jauge retourne dans le mode de mesure. La jauge sauvegarde la valeur seuil et retourne au mode de mesure. L'instrument de mesure connecté affiche à nouveau la valeur de pression actuelle mesurée. 27/46 Démontage 7 Démontage DANGER Danger de mort par électrocution Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie. ► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé. ► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. (Les raccordement CF et VCR remplissent ces conditions.) ► Utilisez des anneaux de centrage et des circlips à couche conductrice pour les raccordements KF. AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. AVERTISSEMENT Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant être également toxique. Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique. ► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide. ► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression. ► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un anneau de serrage). ► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur. AVIS Défaillance due à la contamination et à la détérioration Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts nuisent au fonctionnement. ► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux sur les installations ultra-vide ou à vide élevé. ► Utilisez uniquement des outils propres. ► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse. ► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire. ► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé. 28/46 Démontage AVIS Dégâts causés par les vibrations Les vibrations et les impacts détruisent le capteur céramique qui est sensible aux chocs. ► Manipulez la jauge avec précaution. ► Évitez les vibrations et les impacts. ► Ne faites pas tomber la jauge. Conditions préalables ● Système à vide ventilé à la pression atmosphérique ● Tension d’alimentation désactivée Démontage de la jauge 1. Déconnectez le câble de mesure de la jauge. 2. Démontez la jauge du système de vide. 3. Mettez l’obturateur de protection sur la bride de connexion. 29/46 Maintenance 8 Maintenance AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. Maintenance dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de services de maintenance pour tous les produits. Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter un Centre de service Pfeiffer Vacuum pour organiser la maintenance de produits et de composants défectueux. Nettoyage dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter le Centre de service Pfeiffer Vacuum local pour organiser la maintenance de produits et de composants défectueux. Demande de garantie Le fait d’ouvrir l’appareil pendant la période de garantie ou d’endommager/de supprimer le sceau de garantie annulera la garantie. Contactez le Centre de service Pfeiffer Vacuum en cas d’intervalle de maintenance raccourcis lié au processus. Garantie Tout dysfonctionnement de l’équipement résultant directement d’une contamination et de l’usure n’est pas couvert par la garantie. Commencer par lire intégralement les sections Lire intégralement la section consacrée aux instructions de travail avant de commencer à travailler. La jauge est sans entretien dans des conditions de fonctionnement propres. Le fonctionnement de longue durée ou la contamination peut entraîner un décalage du zéro. Un décalage du zéro nécessite un réajustage. 8.1 Nettoyage des composants DANGER Danger de mort dû au choc électrique causé par la pénétration d’humidité La pénétration d’eau dans l’unité cause des blessures aux personnes par chocs électriques. ► Utilisez seulement l’unité dans un environnement sec. ► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité. ► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, contactez Pfeiffer Vacuum Service. ► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité. 30/46 Maintenance AVERTISSEMENT Risques pour la santé dus aux agents nettoyants Les détergents utilisés peuvent nuire à la santé et causer un empoisonnement, des allergies, une irritation de la peau, des brûlures chimiques ou endommager les voies respiratoires. ► Respectez les réglementations en vigueur pour la manipulation des agents nettoyants. ► Respectez les mesures de sécurité concernant la manipulation et la mise au rebut des agents nettoyants. ► Attention aux réactions potentielles avec les matériaux du produit. AVIS Dégâts causés par la pénétration d’humidité La pénétration d’humidité, p. ex. sous forme de condensation ou d’égouttement, endommage l’unité. ► Protégez l’unité contre la pénétration de l’humidité. ► Utilisez seulement l’unité dans un environnement propre et sec. ► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité. ► Des précautions spécifiques doivent être prises en cas de risque d’égouttement d’eau. ► Ne mettez pas sous tension l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur. Contactez le Centre de service Pfeiffer Vacuum. AVIS Dommages causés par des détergents inappropriés L’usage d’agents nettoyants inadaptés endommage le produit. ► N’utilisez pas de solvants qui endommageraient sa surface. ► N’utilisez pas d’agents nettoyants agressifs ou abrasifs. Produits consommables requis ● Alcool industriel ● Chiffon (doux, non pelucheux) Nettoyage externe de l’appareil 1. Utilisez toujours un chiffon imbibé d'alcool industriel pour le nettoyage externe. 2. Laissez sécher les surfaces complètement après le nettoyage. 8.2 Calibration de la jauge Pfeiffer Vacuum a calibré la jauge au départ usine, en position debout à la verticale. Le signal de sortie dépend de la position d’installation. FS ΔU/90° (horizontal) 1000 Torr environ 2 mV 100 Torr environ 10 mV 10 Torr environ 50 mV 1 Torr environ 300 mV 0,1 Torr environ 1,8 V Tab. 8: Écart du signal de sortie entre la position verticale et la position horizontale FS Pression limite recommandée 1000 Torr < 5 × 10-2 torr 500 Torr < 3 × 10-2 torr 200 Torr < 1 × 10-2 torr 100 Torr < 5 × 10-3 torr 50 Torr < 3 × 10-3 torr 20 Torr < 1 × 10-3 torr 31/46 Maintenance FS Pression limite recommandée 10 Torr < 5 × 10-4 torr 5 Torr < 3 × 10-4 torr 2 Torr < 1 × 10-4 torr 1 Torr < 5 × 10-5 torr 0,5 Torr < 3 × 10-5 torr 0,25 Torr < 1 × 10-5 torr 0,1 Torr < 5 × 10-6 torr 0,05 Torr < 3 × 10-6 torr Tab. 9: Pression limite recommandée pour le calibrage du point zéro Fonctionnement avec un appareil de mesure Lorsque vous utilisez la jauge avec un appareil de mesure, il vous faut exécuter un réglage du zéro sur l’appareil de mesure, pour l’ensemble du système de mesure : Commencez par ajuster la jauge, puis l’appareil de mesure. Ajustement du zéro en cas de pression limite excessive L’ajustage du zéro en cas de pression limite excessive (> 25% de FS) signifie que vous n’atteindrez pas le zéro. La LED « RUN » clignote. Commencez par activer les paramètres d’usine, puis répétez l’ajustement du zéro. Calibrage du point zéro verrouillé Pendant la phase de démarrage et à la pression atmosphérique, le calibrage du point zéro est verrouillé afin de prévenir toute erreur de manipulation. Préparation de l’ajustage 1. Vérifiez que l’installation et les conditions ambiantes sont les mêmes que celles d’une utilisation normale. 2. Vérifiez l’absence de toute contamination du filtre. 3. Remplacez le filtre s’il est très contaminé ou endommagé. 4. Mettez la jauge en marche. 8.2.1 Exécution du calibrage du point zéro avec le bouton « zéro » Outils requis ● Stylet (max. Ø 1,1 mm) max. ø1.1 mm Fig. 10: Calibrage du point zéro avec le bouton « zéro » Procédure 1. Dans la mesure du possible, mettez la jauge en service dans l’orientation de montage subséquente. 2. Purgez la jauge jusqu’à la pression limite recommandée. 32/46 Maintenance 3. Faites fonctionner la jauge pendant au moins 3 heures jusqu’à ce que la valeur mesurée soit stable. 4. Utilisez un stylet pour appuyer brièvement sur le bouton « zéro ». Alternativement : Appliquez brièvement la tension d’alimentation sur la broche 10 (impulsion de >1 s à <5 s). – Le calibrage du point zéro est exécuté automatiquement. La DEL « STATUS » s’allume jusqu'à ce que le calibrage du point zéro soit terminé (durée du calibrage ≤ 8 s). La LED « STATUS » clignote si le calibrage du point zéro échoue, ou si le signal de sortie de la jauge est négatif (< -20 mV) pour la pression limite. À l’issue du calibrage du point zéro, la jauge revient automatiquement en mode de mesure. La LED « STATUS » s’allume. 8.2.2 Calibration point zéro avec le bouton « zero » (zéro) et la fonction de rampe Vous pouvez utiliser la fonction de rampe pour : ● Régler le point zéro, lorsque la pression de référence est connue et se situe dans la plage de mesure de la jauge ● Régler un décalage caractéristique pour la compensation d’un décalage de système de mesure ou la création d’un point zéro légèrement positif pour un transformateur 0 à 10 V AD. Outils requis ● Stylet (max. Ø 1,1 mm) max. ø1.1 mm Fig. 11: Calibrage du point zéro avec le bouton « zéro » Décalage < 2% de FS Le décalage ne doit pas être supérieur à 2% de FS. En cas de décalage positif supérieur, le risque est le dépassement de la limite supérieure de la gamme de mesure. Procédure 1. Dans la mesure du possible, mettez la jauge en service dans l’orientation de montage subséquente. 2. Faites fonctionner la jauge pendant au moins 3 heures jusqu’à ce que la valeur mesurée soit stable. 3. Utilisez un stylet pour appuyer sur le bouton « zéro » et maintenez-le enfoncé. – La DEL « STATUS » se met à clignoter. Au bout de 5 secondes, la valeur de réglage du zéro varie en continu (rampe), à partir de la valeur de sortie actuelle, jusqu'à ce que vous relâchiez le bouton ou que la limite de réglage (max. 25 % FS) soit atteinte. Le signal est restitué avec un retard d’environ 1 s. 4. Relâchez le bouton « zéro » puis enfoncez-le à nouveau dans les 3 à 5 s suivantes pour changer la direction (rampe inverse). – La DEL « STATUS » s'éteint brièvement puis clignote à nouveau. 5. Relâchez le bouton« zéro » et enfoncez-le à nouveau dans les 3 secondes (env. 1× par seconde) pour effectuer un réglage précis de la valeur de réglage du zéro. 6. Relâchez le bouton « zéro » pendant au moins 5 secondes. – La jauge retourne dans le mode de mesure. La DEL « STATUS » se met à clignoter si la jauge indique un signal de sortie négatif. 33/46 Maintenance 8.3 Chargement des réglages-usine Les réglages modifiés sont perdus Cette fonction vous permet de remettre à zéro tous les paramètres réglés/changés par l’utilisateur et de restaurer toutes les valeurs par défaut (réglages-usine). Tous les réglages modifiés sont perdus en cas de remise à zéro sur les réglages usine. Vous ne pouvez pas annuler cette fonction. Outils requis ● Stylet (max. Ø 1,1 mm) max. ø1.1 mm Fig. 12: Utilisez le bouton « zéro » pour charger les paramètres d'usine Procédure 1. Mise hors service de la jauge. 2. Mettez en service la jauge tout en maintenant le bouton « zéro » enfoncé à l’aide d'un stylet pendant plus de 5 secondes. – La jauge charge les réglages-usine. 34/46 Expédition 9 Expédition AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement par produits contaminés L’expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la santé et la sécurité du personnel de maintenance. ► Conforme aux avis pour une livraison en toute sécurité. Décontamination payante Pfeiffer Vacuum décontamine les produits qui ne sont pas clairement déclarés comme « Sans contaminants », à votre charge. Expédition en sécurité du produit ► L’expédition de produits microbiologiques, explosibles ou ayant subi une contamination radioactive est interdite. ► Respecter les consignes d’expédition des pays et des sociétés de transport impliqués. ► Les risques potentiels doivent être mis en évidence sur la face extérieure de l’emballage. ► Téléchargez les explications sur la contamination en vous connectant à Pfeiffer Vacuum Service. ► Toujours joindre une déclaration de contamination dûment remplie. 35/46 Recyclage et mise au rebut 10 Recyclage et mise au rebut AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. Protection de l’environnement Vous devez mettre au rebut le produit et ses composants conformément aux directives applicables pour la protection des personnes, de l’environnement et de la nature. ● Contribuez à la réduction du gaspillage des ressources naturelles. ● Évitez toute contamination. 10.1 Informations générales sur la mise au rebut Les produits Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables. ► Mettez au rebut nos produits en séparant : – Fer – Aluminium – Cuivre – Matière synthétique – Composants électroniques – Huiles et graisses, sans solvant ► Observez les mesures de sécurité spéciales pour la mise au rebut de : – Fluoroélastomères (FKM) – Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé 10.2 Mise au rebut des jauges Les jauges Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux que vous devez recycler. 1. Démantelez l’unité électronique. 2. Décontaminez les composants qui entrent en contact avec les gaz de procédé. 3. Séparez les composants en matériaux recyclables. 4. Recyclez les composants non contaminés. 5. Mettez au rebut le produit ou les composants de façon sûre en conformité avec toutes les directives applicables. 36/46 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 11 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum Nous offrons un service de première classe Une longue durée de vie des composants du vide, associée à des temps d’arrêt réduits, sont ce que vous attendez clairement de nous. Nous répondons à vos besoins par des produits efficaces et un service d’exception. Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien évidemment. Nos ingénieurs commerciaux et techniciens de service professionnels sont à votre disposition pour vous assurer un soutien pratique dans le monde entier. Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de services, allant des pièces de rechange d’origine aux accords de service. Profitez du service Pfeiffer Vacuum Qu'il s’agisse du service préventif sur place de notre service sur site, du remplacement rapide par des produits de rechange comme neufs ou de la réparation dans un centre de service proche de chez vous ; vous disposez d'une variété d’options pour maintenir la disponibilité de votre équipement. Vous trouverez des informations détaillées ainsi que les adresses sur notre site web dans la section Pfeiffer Vacuum Service. Des conseils sur la solution optimale sont disponibles auprès de votre interlocuteur Pfeiffer Vacuum. Pour un déroulement rapide et efficace de la procédure de service, nous recommandons de suivre les étapes suivantes : 1. Télécharger les modèles de formulaire actuels. ─ Déclaration de demande de service ─ Demande de service ─ Déclaration de contamination a) Démonter tous les accessoires et les conserver (toutes les pièces externes montées telles que la vanne, le filtre d’arrivée, etc.). b) Vidanger le fluide d'exploitation / lubrifiant si nécessaire. c) Vidanger le fluide de refroidissement si nécessaire. 2. Remplir la demande de service et la déclaration de contamination. ANFORDERUNG SERVICE ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 3. Envoyer les formulaires par e-mail, fax ou par courrier à votre centre de service local. 4. Vous recevrez une réponse de Pfeiffer Vacuum. Envoi de produits contaminés Aucune unité ne sera acceptée si elle est contaminée par des substances micro-biologiques, explosives ou radioactives. Si les produits sont contaminés ou si la déclaration de contamination est manquante, Pfeiffer Vacuum contactera le client avant de démarrer la maintenance. Par ailleurs, selon le produit et le niveau de contamination, des frais de décontamination supplémentaires peuvent être facturés. 37/46 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails contenus dans la déclaration de contamination. a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec. b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air. c) Sceller le produit dans un film de protection approprié. d) Emballer le produit dans des conteneurs de transport stables appropriés uniquement. e) Respecter les conditions de transport en vigueur. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 6. Joindre la déclaration de contamination sur l’extérieur de l’emballage. 7. Envoyer ensuite le produit à votre centre de service local. 8. Vous recevrez un message de confirmation / un devis de la part de Pfeiffer Vacuum. Pour toutes les demandes de service, nos Conditions générales de vente et de livraison ainsi que nos Conditions générales de réparation et de maintenance sont appliquées aux équipements et composants du vide. 38/46 Accessoires 12 Accessoires Vous trouverez sur notre site Internet la gamme des accessoires CenterLine. 12.1 Informations sur l’accessoire Joints avec anneau de centrage et filtre Filtre disponible avec différentes grandeurs de pores pour la protection du système de mesure contre toute contamination lorsque les applications représentent un risque de contamination 12.2 Commande d’accessoires Description Référence de commande Anneau de centrage avec filtre en métal fritté, grandeur de pores 0,02 mm, FKM DN 16 ISO-KF PF 117 216 -T Anneau de centrage avec filtre fin, grandeur de pores 0 004 mm, FKM/ acier inoxydable, DN 16 ISO-KF PT 120 132 -T 39/46 Caractéristiques techniques et dimensions 13 Caractéristiques techniques et dimensions 13.1 Généralités mbar bar Pa hPa kPa Torr | mm Hg 100 1 0,1 0,75 1 · 10 1000 100 1 · 10 1 0,01 1 · 10 7,5 · 10-3 1 1 · 10-3 100 1 0,1 0,75 kPa 10 0,01 1000 10 1 7,5 Torr | mm Hg 1,33 1,33 · 10-3 133,32 1,33 0,133 1 mbar 1 1 · 10 bar 1000 1 Pa 0,01 hPa -3 5 -5 1 Pa = 1 N/m Tab. 10: 2 Tableau de conversion : Unités de pression mbar l/s mbar l/s Pa m3/s sccm Torr l/s atm cm3/s 1 0,1 59,2 0,75 0,987 592 7,5 10 3 Pa m /s sccm 1 3 atm cm /s Tab. 11: 9,87 1,69 · 10 1,69 · 10 1 1,33 0,133 78,9 1 1,32 1,01 0,101 59,8 0,76 1 -2 Torr l/s 13.2 750 -3 -3 -2 1,27 · 10 1,67 · 10-2 Tableau de conversion : Unités de débit du gaz Fiche technique FS [Torr] 1 2 10 Méthode de mesure Capacitive Précision de mesure 0,4 % (de la valeur mesurée) Résolution 0,003 % FS Temps de réponse 30 ms Influence de la température sur le point zéro 0,005 % FS/ °C Influence de la température sur la gamme 0,02 % valeur mesurée/°C Pression, max. 260 kPa Tension(s) d’entrée 14 – 30 V DC Puissance absorbée, max. 19,5 W Identification Résistance RIdent: Résistance 13,2 kΩ contre la terre d'alimentation Tension ≤ 5 V Température ambiante 10 – 50 °C Température d’accumulation -40 – 65 °C Température de chauffage chauffé : 160 ℃ Température de dégazage sur la bride 200 ℃ Signal de sortie (gamme de mesure) 0 – 10 V Signal de sortie (charge minimum) 10 kΩ Point de commutation (nombre) 2 Point de commutation (gamme) 0 à 99 % FS Point de commutation (tension CC) 30 V CC Point de commutation (actuel CC) 0,5 A Degré de protection IP40 Volume 4,2 cm3 40/46 20 50 100 200 500 1000 400 kPa Caractéristiques techniques et dimensions FS [Torr] 1 Matériaux en contact avec le fluide Céramique (Al2O3 = 99,5 %), acier inoxydable (AISI 316L) Matière (bride) Acier inoxydable (AISI 316L) Poids DN 16 ISO-KF = 852 g DN 16 CF-R = 875 g 8 VCR, femelle = 897 g Filetage 1/2” = 837 g Tab. 12: 2 10 20 50 100 200 500 1000 Fiche technique CNR 39x FS [Torr] 1 Méthode de mesure Capacitive 2 10 20 50 100 200 500 1000 Précision de mesure 0,4 % (de la valeur mesurée) Résolution 0,003 % FS Temps de réponse 30 ms Influence de la température sur le point zéro 0,005 % FS/ °C Influence de la température sur la gamme 0,02 % valeur mesurée/°C Pression, max. 260 kPa Tension(s) d’entrée 21 – 30 V DC Puissance absorbée, max. 25 W Identification Résistance RIdent: Résistance 13,2 kΩ contre la terre d'alimentation 400 kPa Tension ≤ 5 V Température ambiante 10 – 50 °C Température d’accumulation -40 – 65 °C Température de chauffage chauffé : 200 ℃ Température de dégazage sur la bride 200 ℃ Signal de sortie (gamme de mesure) 0 – 10 V Signal de sortie (charge minimum) 10 kΩ Point de commutation (nombre) 2 Point de commutation (gamme) 0 à 99 % FS Point de commutation (tension CC) 30 V CC Point de commutation (actuel CC) 0,5 A Degré de protection IP40 Volume 4,2 cm3 Matériaux en contact avec le fluide Céramique (Al2O3 = 99,5 %), acier inoxydable (AISI 316L) Matière (bride) Acier inoxydable (AISI 316L) Poids DN 16 ISO-KF = 852 g DN 16 CF-R = 875 g 8 VCR, femelle = 897 g Filetage 1/2” = 837 g Tab. 13: Fiche technique CNR 30x 41/46 Caractéristiques techniques et dimensions Ø82 13 31.5 110.4 3.8 13.3 Dimensions DN 16 ISO-KF Fig. 13: Dimensions Dimensions en mm 42/46 DN 16 CF-R 1/2“ outer diameter 8 VCR internal thread ETL LISTED The products CNR 36x/37x/38x/39x/30x - conform to the UL standard UL 61010-1. 3103457 - are certified to the CAN/CSA standard CAN/CSA C22.2 No. 61010-1. Déclaration de conformité CE La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant. Déclaration pour produit(s) du type : Jauge capacitive CNR 39x CNR 30x Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes. Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE Restrictions d’utilisation de certaines substances dangereuses, directive déléguée 2015/863/UE Normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées : DIN EN IEC 61000-6-2:2019 DIN EN IEC 61000-6-3:2022 DIN EN 61010-1:2020 DIN EN IEC 61326-1:2022 DIN EN IEC 63000:2019 Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (Daniel Sälzer) Directeur général Asslar, 2024-12-09 Déclaration de Conformité UK La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant. Déclaration pour produit(s) du type : Jauge capacitive CNR 39x CNR 30x Nous déclarons par la présente que le produit cité satisfait à toutes les exigences applicables des Directives Britanniques suivantes. Réglementation 2016 sur la Compatibilité Electromagnétique Réglementation 2012 sur la Limitation de l'Utilisation de Certaines Substances Dangereuses dans les Equipements Electriques et Electroniques Standards et spécifications appliqués : EN IEC 61000-6-2:2019 EN IEC 61000-6-3:2021 EN 61010-1:2010 + A1:2019 + A1:2019/AC:2019 EN IEC 61326-1:2021 EN IEC 63000:2018 Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitution du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (Daniel Sälzer) Directeur général Asslar, 2024-12-09 *PG0047* ed. A - Date 2505 - P/N:PG0047BFR ">
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