Pfeiffer IKR 251 Mode d'emploi

MANUEL DE L'UTILISATEUR
FR
Traduction d'original
IKR 251
Jauge à cathode froide
Cher client,
Nous vous remercions d’avoir opté pour un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouvelle jauge a
été conçue pour vous donner entière satisfaction pour votre application, de par sa conception
rigoureuse et son parfait fonctionnement. La marque Pfeiffer Vacuum, synonyme de
techniques du vide performantes, se décline en une gamme exhaustive et variée de produits
de grande qualité, assortis d’un service client irréprochable. Forts de cette expérience
pratique étendue, nous avons compilé une multitude d’informations qui peuvent contribuer à
une implémentation efficace et à votre sécurité personnelle.
Sachant que notre produit doit vous permettre d’éviter des arrêts de production coûteux,
nous sommes confiants qu’il pourra vous offrir une solution pour une implémentation efficace
et fiable de votre application individuelle.
Veuillez lire ce manuel de l'utilisateur avant de mettre votre produit en service pour la
première fois. Si vous avez des questions ou suggestions, n’hésitez pas à nous contacter par
e-mail à l’adresse info@pfeiffer-vacuum.de.
Vous trouverez d’autres manuels de l'utilisateur de Pfeiffer Vacuum dans le Centre de
téléchargement sur notre site Internet.
Exclusion de responsabilité
Ce manuel d'instructions décrit tous les modèles et variantes de votre produit. Noter que
votre produit peut ne pas être équipé de toutes les fonctionnalités décrites dans ce manuel.
Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le
manuel d'utilisation en ligne peut différer du document imprimé, fourni avec votre produit.
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d'une utilisation contraire à l'usage prévu, ou d'une utilisation définie comme mauvaise
utilisation prévisible.
Droits d’auteur (Copyright)
Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce
document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits
ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations
contenues dans ce document.
2/48
Table des matières
Table des matières
1
A propos de ce manuel
1.1 Validité
1.1.1 Documents applicables
1.1.2 Variantes
1.2 Groupe cible
1.3 Conventions
1.3.1 Instructions dans le texte
1.3.2 Pictogrammes
1.3.3 Autocollants sur le produit
1.3.4 Abréviations
1.4 Justificatif de marque du produit
7
7
7
7
7
8
8
8
8
9
9
2
Sécurité
2.1 Consignes générales de sécurité
2.2 Consignes de sécurité
2.3 Mesures de sécurité
2.4 Limites d’utilisation du produit
2.5 Utilisation conforme
2.6 Utilisations non conformes prévisibles
10
10
10
12
13
13
14
3
Description du produit
3.1 Fonction
3.2 Affichage de l’état
3.3 Identification du produit
3.4 Contenu de la livraison
15
15
15
15
15
4
Transport et stockage
4.1 Transport du produit
4.2 Stockage du produit
17
17
17
5
Installation
5.1 Raccord à vide
5.2 Dépose/installation de l’unité magnétique
5.3 Raccordement électrique
18
18
20
21
6
Fonctionnement
6.1 Conversion du signal de mesure et de la pression
6.2 Détermination de la pression efficace avec des facteurs de correction
6.3 Respect de la temporisation d’amorçage
6.4 Pollution
23
23
24
26
26
7
Démontage
27
8
Maintenance
8.1 Entretien de la jauge
8.2 Démontage de la jauge
8.3 Nettoyage des composants
8.4 Assemblage de la jauge
29
29
30
31
32
9
Anomalies
34
10
Expédition
35
11
Recyclage et mise au rebut
11.1 Informations générales sur la mise au rebut
11.2 Mise au rebut des jauges
36
36
36
12
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
37
3/48
Table des matières
4/48
13
Pièces de rechange
39
14
Accessoires
14.1 Informations sur les accessoires
14.2 Commande d'accessoires
40
40
40
15
Caractéristiques techniques et dimensions
15.1 Généralités
15.2 Fiche technique
15.3 Dimensions
41
41
41
43
Certification ETL
44
Déclaration de conformité CE
45
Déclaration de Conformité UK
46
Liste des tableaux
Liste des tableaux
Tab. 1:
Tab. 2:
Tab. 3:
Tab. 4:
Tab. 5:
Tab. 6:
Tab. 7:
Tab. 8:
Tab. 9:
Tab. 10:
Tab. 11:
Tab. 12:
Tab. 13:
Tab. 14:
Tab. 15:
Tab. 16:
Tab. 17:
Documents applicables
Variantes
Abréviations utilisées
Conditions ambiantes autorisées
État de fonctionnement
Constantes de conversion du signal de mesure et de la pression
Tableau de conversion
Facteur de correction pour un domaine de pression < hPa
Anomalies
Tableau de conversion : unités de pression
Tableau de conversion : unités de débit de gaz
Valeurs de mesure et de pression
Données électriques
Volume interne et poids
Conditions ambiantes
Températures
Substances en contact avec le fluide
7
7
9
13
15
23
24
25
34
41
41
41
42
42
42
43
43
5/48
Liste des figures
Liste des figures
Fig. 1:
Fig. 2:
Fig. 3:
Fig. 4:
Fig. 5:
Fig. 6:
Fig. 7:
Fig. 8:
Fig. 9:
Fig. 10:
Fig. 11:
Fig. 12:
6/48
Diode électroluminescente
Raccord à vide
Dépose/installation de l’unité magnétique
Schéma de raccordement
Câble de mesure et prise de câble Hirschmann
Relation entre le signal de mesure et la pression
Pression affichée
Retrait de la jauge
Pièces individuelles
Outil de montage pour l’aide d'amorçage
Pièces de rechange
Dimensions
15
19
20
21
22
23
25
28
30
33
39
43
A propos de ce manuel
1 A propos de ce manuel
IMPORTANT
Bien lire avant d'utiliser le produit.
Conserver ce manuel pour une future utilisation.
1.1
Validité
Ce document décrit la fonction des produits de la liste suivante et contient les informations les plus importantes pour une utilisation sécurisée. La description est rédigée conformément aux directives en vigueur. Les informations contenues dans ce document correspondent à l'état de développement actuel
des produits. Le document conserve sa validité à condition que le client n'apporte aucune modification
au produit.
1.1.1
Documents applicables
Désignation
Document
Guide rapide « Jauge à cathode froide » IKR 251
BG 5110
Manuel de l’utilisateur de « Appareil de commande » OmniControl
PT 0670
Manuel de l’utilisateur « Appareil de commande et de mesure de la pression totale » TPG 366
BG 5501
Déclaration de conformité
Un composant de ce manuel de l’utilisateur
Tab. 1:
Documents applicables
Vous trouverez ces documents dans le Centre de téléchargement Pfeiffer Vacuum.
1.1.2
Variantes
Ce document s’applique à tous les produits avec les références suivantes :
Référence
Désignation
PT R25 500
IKR 251, DN 25 ISO-KF
PT R25 501
IKR 251, DN 40 ISO-KF
PT R25 502
IKR 251, DN 40 CF-F
Tab. 2:
Variantes
Vous trouverez le numéro de la pièce sur la plaque signalétique du produit.
Pfeiffer Vacuum se réserve le droit d'apporter des modifications techniques sans préavis.
Les informations concernant un seul des produits sont indiquées comme telles.
Les figures de ce document ne sont pas à l’échelle.
Les graphiques sans légende reflètent le produit équipé d’un raccord à vide DN 25 ISO-KF. Ils s'appliquent cependant aussi aux autres raccords à vide.
Les dimensions sont indiquées en mm, sauf avis contraire.
1.2
Groupe cible
Ce manuel d'utilisation s’adresse à toutes les personnes en charge
●
●
●
●
●
●
du transport,
de l'installation,
de la commande et de l'utilisation,
de la mise hors service,
de la maintenance et du nettoyage,
du stockage et du recyclage du produit.
7/48
A propos de ce manuel
Les opérations décrites dans ce document doivent uniquement être effectuées par un personnel doté
de la formation technique nécessaire (personnel qualifié), ou ayant suivi une formation correspondante
de Pfeiffer Vacuum.
1.3
Conventions
1.3.1
Instructions dans le texte
Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à
réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes.
Action unique
Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape.
► Il s'agit d’une étape unique.
Action en plusieurs étapes
Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique.
1. Étape 1
2. Étape 2
3. ...
1.3.2
Pictogrammes
Les pictogrammes utilisés dans ce document indiquent des informations utiles.
Remarque
Conseil
Portez des gants de laboratoire
Contrôlez visuellement
1.3.3
Autocollants sur le produit
Cette section décrit tous les autocollants sur le produit ainsi que leurs significations.
D-35614 Asslar
Mod.
P/N
S/N
Input
IKR xxx
PT Rxx xxx
3103457
Made in Liechtenstein 2023/06
xxxxxxxxx
15...30 V DC 2 W
10 cm
4”
8/48
Plaque signalétique
La plaque signalétique se trouve sur la
partie supérieure de l' unité.
Avertissement concernant les champs
magnétiques
L'avertissement sur l'autocollant indique
que le champ magnétique de la jauge
peut affecter le fonctionnement des stimulateurs cardiaques et spécifie la distance minimale à respecter par rapport à
la jauge par les personnes porteuses d'un
stimulateur cardiaque.
A propos de ce manuel
1.3.4
Abréviations
Abréviation
Explication
c
Constante de conversion du signal de mesure et de la pression
C
Facteur de correction pour le calcul de la pression des gaz autres que l’air
d
Constante de conversion du signal de mesure et de la pression
FKM
Caoutchouc fluoré
MSL
Niveau moyen de la mer
p
Pression
WAF
Largeur sur pans
U
Signal de mesure [V] (tension de sortie)
Tab. 3:
1.4
Abréviations utilisées
Justificatif de marque du produit
● Hirschmann® est une marque de produit Hirschmann Electronics GmbH.
● Scotch-Brite® est une marque de produit 3M Company.
9/48
Sécurité
2 Sécurité
2.1
Consignes générales de sécurité
Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit :
DANGER
Danger direct et imminent
Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVERTISSEMENT
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
ATTENTION
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVIS
Obligation ou signalement
Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure
physique.
► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels
Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le
produit ou le présent document.
2.2
Consignes de sécurité
Consignes de sécurité selon les étapes de la vie du produit
Toutes les consignes de sécurité de ce document sont basées sur les résultats d’une évaluation des risques. Pfeiffer Vacuum a pris en compte toutes les étapes pertinentes de la
vie du produit.
Risques lors de l’installation
DANGER
Danger de mort en raison des tensions de contact dangereuses
Les tensions supérieures à 30 V (CA) ou 60 V (CC) sont considérées comme dangereuses selon la
norme EN 61010. Un contact avec une tension de contact dangereuse entraîne un risque de blessures ou un danger de mort par choc électrique.
► Raccordez le produit seulement aux appareils qui remplissent les critères suivants :
● Conditions de tension extra-basse de protection de terre (PELV)
● Source de puissance limitée (LPS) classe 2
► Fixez la ligne sur le produit.
– Les équipements de contrôle et de mesure Pfeiffer Vacuum remplissent ces conditions.
10/48
Sécurité
DANGER
Danger de mort par électrocution
Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie.
► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé.
► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. (Les raccordement CF et VCR remplissent ces conditions.)
► Utilisez des anneaux de centrage et des circlips à couche conductrice pour les raccordements
KF.
AVERTISSEMENT
Risques liés aux champs magnétiques
Le produit émet un champ magnétique perturbant le fonctionnement des appareils électriques (notamment les stimulateurs cardiaques).
► Se tenir à la distance prescrite par le fabricant des stimulateurs cardiaques.
– Pfeiffer Vacuum préconise une distance de sécurité d’au moins 130 mm entre le stimulateur cardiaque et le produit.
► Éviter l'influence de champs magnétiques puissants en utilisant des écrans de protection contre
les champs magnétiques.
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement dû au rejet de gaz toxiques
Les contraintes mécaniques, chimiques ou thermiques élevées provoquent des fuites au niveau du
capteur. Dans les traitements impliquant des fluides toxiques, il existe un risque de blessure, voire de
mort par empoisonnement à cause des fuites de gaz en cas de surpression du système de vide.
► Prévenez la formation de toute contrainte mécanique, chimique ou thermique élevée.
► Prévenez la formation de surpressions dans le système de vide.
► Prenez les mesures appropriées de façon à prévenir les risques et dommages provoqués par la
fuite de fluides de traitement, comme une interruption d'alimentation en gaz, une évacuation ou
un test de fuite.
Risques pendant le fonctionnement
AVERTISSEMENT
Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide
L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide
peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant
être également toxique.
Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des
pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique.
► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide.
► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression.
► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un
anneau de serrage).
► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur.
Risques pendant la maintenance
DANGER
Danger de mort par électrocution
En l'absence de raccordement à la terre, la circulation de la tension est dangereuse en cas de contact et peut endommager les composants électroniques.
► Serrez toujours l’unité électronique avec la vis moletée.
► Vérifiez que la vis moletée de l’unité électronique a été serrée correctement.
11/48
Sécurité
DANGER
Danger de mort dû au choc électrique causé par la pénétration d’humidité
La pénétration d’eau dans l’unité cause des blessures aux personnes par chocs électriques.
► Utilisez seulement l’unité dans un environnement sec.
► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité.
► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, contactez Pfeiffer Vacuum Service.
► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité.
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
AVERTISSEMENT
Risques pour la santé dus aux agents nettoyants
Les détergents utilisés peuvent nuire à la santé et causer un empoisonnement, des allergies, une irritation de la peau, des brûlures chimiques ou endommager les voies respiratoires.
► Respectez les réglementations en vigueur pour la manipulation des agents nettoyants.
► Respectez les mesures de sécurité concernant la manipulation et la mise au rebut des agents
nettoyants.
► Attention aux réactions potentielles avec les matériaux du produit.
Risques liés à l’expédition
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement par produits contaminés
L’expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la santé et l’ sécurité du personnel de maintenance.
► Conforme aux instructions pour une distribution en toute sécurité.
Risques pendant la mise au rebut
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
2.3
Mesures de sécurité
Le produit est conçu sur la base des technologies les plus récentes et des règles techniques de sécurité reconnues. Cependant, une utilisation incorrecte peut présenter un risque de blessure ou un danger
12/48
Sécurité
de mort pour l'opérateur et toute autre personne, ainsi qu'un risque de dommages matériels sur le produit et autres.
Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels
Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit.
Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du
produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document.
Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit
La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit
d'origine ou installe un équipement supplémentaire
● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le
cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives
européennes applicables avant de mettre en service ce système.
Mesures de sécurité générales lors de la manipulation du produit
► Respectez toutes les dispositions de sécurité et de prévention des accidents en vigueur.
► Contrôlez régulièrement que toutes les mesures de sécurité sont respectées.
► Les consignes de sécurité doivent être transmises aux autres utilisateurs.
► N'exposez aucune partie du corps au vide.
► Assurez toujours un raccordement sûr au conducteur de terre (PE).
► Ne débranchez jamais les fiches de raccordement en cours de fonctionnement.
► Respectez les procédures d’arrêt ci-dessus.
► Tenez les conduites et les câbles éloignés des surfaces chaudes (> 70 °C).
► N'effectuez pas vous-même de conversions ou de modifications de l'appareil.
► Consultez le degré de protection de l’unité avant son installation ou fonctionnement dans d’autres
environnements.
► Mettez en place des équipements de protection adaptés contre tout contact physique si la température de surface dépasse 70 °C.
► Il convient de toujours s'informer d'éventuelles contaminations avant de commencer à travailler.
2.4
Limites d’utilisation du produit
Paramètre
Valeur
Humidité relative de l’air
À des températures atteignant +31 °C, 80 % max.
À des températures atteignant +40 °C, 50 % max.
Orientation de montage
Arbitraire
Usage
En intérieur uniquement
Altitude maximum de l’installation
2 000 m MSL
Degré de pollution
2
Degré de protection
IP40
Tab. 4:
2.5
Conditions ambiantes autorisées
Utilisation conforme
La jauge fournit une mesure du vide de gaz dans la gamme 2 × 10-9à 1 × 10-2 hPa.
Utilisation du produit conformément à son usage prévu
► Faites fonctionner la jauge avec un appareil de commande et de mesure de pression totale Pfeiffer Vacuum ou avec un appareil d'évaluation fournie par le client.
► Installez, mettez en fonctionnement et entretenez la jauge conformément à ce manuel de l'utilisateur.
► Observez les limites d’utilisation indiquées dans la fiche technique.
► Observer la fiche technique.
13/48
Sécurité
2.6
Utilisations non conformes prévisibles
Toute utilisation non conforme du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité.
Toute utilisation non conforme à l’objectif du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée
comme non réglementaire, en particulier :
● Utilisation hors des limites mécaniques et électriques d’utilisation
● Utilisation avec des substances corrosives ou explosives, si cette utilisation n’est pas explicitement autorisée
● Utilisation en extérieur
● Utilisation suite à des modifications techniques (à l’intérieur ou à l’extérieur du produit)
● Utilisation avec des accessoires ou pièces de rechange inappropriés ou non approuvés
14/48
Description du produit
3 Description du produit
3.1
Fonction
AVERTISSEMENT
Risques liés aux champs magnétiques
Le produit émet un champ magnétique perturbant le fonctionnement des appareils électriques (notamment les stimulateurs cardiaques).
► Se tenir à la distance prescrite par le fabricant des stimulateurs cardiaques.
– Pfeiffer Vacuum préconise une distance de sécurité d’au moins 130 mm entre le stimulateur cardiaque et le produit.
► Éviter l'influence de champs magnétiques puissants en utilisant des écrans de protection contre
les champs magnétiques.
Le point de mesure a un système de mesure à cathode froide fonctionnant selon le principe de magnétron inversé. La relation entre le signal de mesure et la pression sur toute la gamme de mesure est de
type logarithmique.
3.2
Affichage de l’état
La DEL sur le dessus de la jauge indique l'état de fonctionnement de la jauge.
1
Fig. 1:
Diode électroluminescente
1 DEL verte
DEL
État de fonctionnement
allumée
Tension d’alimentation disponible
Éteinte
Pas de tension d’alimentation disponible
Tab. 5:
3.3
État de fonctionnement
Identification du produit
Toutes les données de la plaque signalétique sont nécessaires pour identifier assurément le produit
pour toute communication avec Pfeiffer Vacuum.
► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, conservez
toujours à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique.
3.4
Contenu de la livraison
Pièces incluses dans la livraison :
15/48
Description du produit
● Jauge
● Brèves instructions
Déballage du produit et contrôle du contenu de la livraison
1. Déballer le produit.
2. Déposez les sécurités et les protections pour le transport, etc.
3. Rangez les sécurités et les protections pour le transport dans un endroit sûr.
4. Vérifier que toutes les pièces sont présentes.
5. Contrôler qu'aucune pièce n'a été endommagée.
16/48
Transport et stockage
4 Transport et stockage
4.1
Transport du produit
AVIS
Dégâts causés par un transport incorrect
Un transport dans un emballage incorrect ou la non-installation de tous les verrous de transport peut
endommager le produit.
► Conforme aux instructions pour un transport en toute sécurité.
Emballage
Nous recommandons de conserver l’emballage de transport et de protection d’origine.
Transporter le produit en toute sécurité
► Observez le poids spécifié sur l’emballage de transport.
► Dans la mesure du possible, transportez ou expédiez toujours le produit dans son emballage
d’origine de transport.
► Utilisez toujours un emballage compact qui protège le produit des chocs.
► Retirez le cache de protection et les dispositifs protecteurs de transport seulement juste avant
l’installation.
► Avant chaque transport, les blocages et les protections correspondants doivent être remontés.
4.2
Stockage du produit
AVIS
Risque de détériorations causées par un entreposage incorrect
Un entreposage incorrect provoquera des dégâts sur le produit.
Les charges statiques, l’humidité, etc., provoquent des défauts sur les composants électroniques.
► Conforme aux instructions pour un entreposage en toute sécurité.
Emballage
Nous recommandons de stocker le produit dans son emballage d'origine.
Stocker le produit en toute sécurité
► Conservez le produit dans un endroit frais, sec et sans poussière, où il n’est pas soumis à des
chocs ni à des vibrations mécaniques.
► Utilisez toujours un emballage compact qui protège le produit des chocs.
► Dans la mesure du possible, stockez le produit dans son emballage d’origine.
► Stockez les composants électroniques dans un emballage antistatique.
► Maintenez la température d’entreposage admissible.
► Évitez les fortes variations de températures ambiantes.
► Évitez un taux d’humidité élevé dans l’air.
► Fermez les raccords avec les bouchons de protection d’origine.
► Protégez le produit avec les protections de transport d’origine (si disponibles).
17/48
Installation
5 Installation
5.1
Raccord à vide
DANGER
Danger de mort par électrocution
Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie.
► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé.
► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. (Les raccordement CF et VCR remplissent ces conditions.)
► Utilisez des anneaux de centrage et des circlips à couche conductrice pour les raccordements
KF.
DANGER
Danger de mort par électrocution
En l'absence de raccordement à la terre, la circulation de la tension est dangereuse en cas de contact et peut endommager les composants électroniques.
► Serrez toujours l’unité électronique avec la vis moletée.
► Vérifiez que la vis moletée de l’unité électronique a été serrée correctement.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide
L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide
peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant
être également toxique.
Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des
pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique.
► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide.
► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression.
► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un
anneau de serrage).
► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur.
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement dû au rejet de gaz toxiques
Les contraintes mécaniques, chimiques ou thermiques élevées provoquent des fuites au niveau du
capteur. Dans les traitements impliquant des fluides toxiques, il existe un risque de blessure, voire de
mort par empoisonnement à cause des fuites de gaz en cas de surpression du système de vide.
► Prévenez la formation de toute contrainte mécanique, chimique ou thermique élevée.
► Prévenez la formation de surpressions dans le système de vide.
► Prenez les mesures appropriées de façon à prévenir les risques et dommages provoqués par la
fuite de fluides de traitement, comme une interruption d'alimentation en gaz, une évacuation ou
un test de fuite.
18/48
Installation
AVIS
Défaillance due à la contamination et à la détérioration
Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et
entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts
nuisent au fonctionnement.
► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux
sur les installations ultra-vide ou à vide élevé.
► Utilisez uniquement des outils propres.
► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse.
► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire.
► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé.
AVIS
Éclats électriques liés à l’hélium
L'hélium peut causer des éclats électriques dans les circuits électroniques de l’unité, ce qui va les
détruire.
► Mettez l’unité hors circuit avant d’effectuer un test d'étanchéité.
► Démontez l’unité électronique avant d’effectuer un test d'étanchéité.
Conditions préalables
● Conditions ambiantes appropriées
● Température de fonctionnement dans la plage permissible
● Espace disponible suffisant pour le raccordement électrique (p. ex., rayon de courbure permissible des câbles)
1
4
Fig. 2:
2
3
Raccord à vide
1 Unité magnétique
2 Pièce de serrage
3
4
Petits composants de bride
Obturateur de protection
Recommandations
► Dans la mesure du possible, vérifiez que la jauge n’est pas soumise à des vibrations pendant le
fonctionnement. Ces vibrations entraînent généralement des déviations dans les valeurs mesurées.
► Montez la jauge dans une orientation de montage horizontale à verticale (bride tournée vers le
bas).
– Ceci prévient toute accumulation de condensats et de particules dans la chambre de mesure.
► Montez un joint avec un anneau de centrage et un filtre pour protéger les applications et le système de mesure contre tout risque de contamination.
► Retirez temporairement l’unité magnétique de la jauge lorsque l'installation est seulement possible
après le démontage de l’unité magnétique.
– Ceci facilitera l’assemblage du raccord à bride CF.
Procédure
1. Retirez l’obturateur de protection et rangez-le dans un endroit sûr.
2. Assemblez sur le système de vide la jauge avec les composants de vide de la boutique des composants Pfeiffer Vacuum.
19/48
Installation
5.2
Dépose/installation de l’unité magnétique
AVIS
Défaillance due à la contamination et à la détérioration
Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et
entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts
nuisent au fonctionnement.
► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux
sur les installations ultra-vide ou à vide élevé.
► Utilisez uniquement des outils propres.
► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse.
► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire.
► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé.
La dépose de l’unité magnétique va faciliter l’installation du jauge.
Outils nécessaires
● Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 1,5
● Clé à fourche, WAF 7
4
3
2
1
5
Fig. 3:
Dépose/installation de l’unité magnétique
1 Chambre de mesure
2 Boulon six pans
3 Unité magnétique
4
5
Unité électronique
Vis moletée
Dépose de l’unité magnétique
1. Desserrez la vis moletée du côté de l'unité électronique.
2. Retirez l’unité électronique sans exercer de mouvement rotatif.
3. Dévissez la vis à tête hexagonale sur l'unité magnétique.
4. Retirez l'unité magnétique.
– La séparation de l'unité magnétique et de la chambre de mesure est compliquée par l'effet de
la force magnétique. En outre, ces pièces ont tendance à basculer facilement.
Installation de l’unité magnétique
1. Montez l'unité magnétique.
– Le montage de l'unité magnétique est compliqué par l'effet de la force magnétique et parce
que l'unité a tendance à basculer facilement.
2. Fixez la boulon six pans sur l’unité magnétique.
3. Montez avec précaution l’unité électronique.
4. Poussez l’unité électronique jusqu’à la butée.
5. Fixez la vis moletée du côté de l’unité électronique.
20/48
Installation
5.3
Raccordement électrique
DANGER
Danger de mort en raison des tensions de contact dangereuses
Les tensions supérieures à 30 V (CA) ou 60 V (CC) sont considérées comme dangereuses selon la
norme EN 61010. Un contact avec une tension de contact dangereuse entraîne un risque de blessures ou un danger de mort par choc électrique.
► Raccordez le produit seulement aux appareils qui remplissent les critères suivants :
● Conditions de tension extra-basse de protection de terre (PELV)
● Source de puissance limitée (LPS) classe 2
► Fixez la ligne sur le produit.
– Les équipements de contrôle et de mesure Pfeiffer Vacuum remplissent ces conditions.
AVIS
Risque d’endommagement lié à un raccordement incorrect
Un raccordement incorrect ou une polarité incorrecte, une tension d'alimentation non autorisée va
endommager la jauge.
► Raccordez toujours la terre d'alimentation (broche 5) à la terre de l’unité d'alimentation.
► Raccordez toujours le blindage (broche 6) à la terre de l’unité d'alimentation.
Outils nécessaires
● Tournevis cruciforme
● Clé dynamométrique (≤ 0,2 Nm)
Équipement nécessaire
● Câble de mesure pour appareil de commande et de mesure de la pression totale Pfeiffer Vacuum
disponible dans les accessoires ActiveLine
● Câble de mesure de fabrication propre pour une unité d’évaluation par le client
● Boîtier de contacteurs
Raccordement électrique
1. Raccordez le câble de mesure à la jauge.
2. Resserrez la vis d'arrêt sur la prise de câble Hirschmann.
– Couple de serrage : ≤ 0,2 Nm
3. Raccordez la jauge à un appareil de commande et de mesure de pression totale Pfeiffer Vacuum
ou à un appareil d'évaluation fournie par le client.
10Ω
10Ω
5.1kΩ
10kΩ
Fig. 4:
2
3
1
4
5
6
+
V–
+
–
Schéma de raccordement
1 Identification
2 Signal de mesure
3 Signal masse
4
5
6
Alimentation
Masse de l’alimentation (GND)
Blindage
21/48
Installation
3
2
1
6
4
Fig. 5:
5
Câble de mesure et prise de câble Hirschmann
Fabrication du câble de mesure
Pour de plus amples informations sur le type de câble de mesure et les coupes transversales de raccordement, voir la fiche technique.
1. Respectez les étapes suivantes pour une qualité optimale de signal dans la mesure où les circuits
de terre, les différences de potentiel ou la CEM ont un effet sur le signal de mesure.
2. Utilisez un câble avec un blindage tressé.
3. Raccordez la terre d’alimentation directement à la terre de protection pour le bloc d’alimentation.
4. Utilisez une entrée de mesure différentielle avec prise de terre séparée et terre l’alimentation.
5. Vérifiez que la différence de potentiel pour la protection anti-surtension entre la prise de terre d'alimentation et le boîtier est ≤ 6 V.
6. Assemblez la prise de câble Hirschmann.
Assemblage de la prise de câble Hirschmann
1. Préparez la prise de câble Hirschmann conformément au diagramme « Câble de mesure et prise
de câble Hirschmann ».
2. Soudez le câble de raccordement comme indiqué sur le schéma de raccordement.
3. Assemblez la prise de câble Hirschmann.
22/48
Fonctionnement
6 Fonctionnement
Dès que la tension d’alimentation a été établie, le signal de mesure est disponible sur le raccordement
électrique entre les broches 2 et 3.
Contrôle du point de mesure IKR avec un point de mesure Pirani
Sur les appareils de commande et de mesure de pression totale Pfeiffer Vacuum avec au
moins 2 raccordements de points de mesure, le point de mesure IKR peut être commandé
par un point de mesure Pirani, par exemple.
Recommandations
► Observez la relation entre le signal de mesure et la pression.
► La jauge ne doit être mise en circuit qu’à des pressions < 10-2 hPa pour éviter une contamination
excessive.
Conversion du signal de mesure et de la pression
p
1E+00
Pa
1E–01
hPa
1E–02
torr
1E–03
1E–06
overrange
1E–05
underrange
1E–04
sensor error
6.1
1E–07
1E–08
1E–09
1E–10
0.0 0.5 1.0 1.5 2.0 2.5 3.0 3.5 4.0 4.5 5.0 5.5 6.0 6.5 7.0 7.5 8.0 8.5 9.0 9.5 10.0 10.5
U [V]
Fig. 6:
Relation entre le signal de mesure et la pression
p Pression
U
Signal de mesure [V] (tension de sortie)
Signal de mesure (U)
Pression (p)
Constante (c) 1)
[V]
[hPa]
10,5
[mbar]
Tab. 6:
1)
[Torr]
10,625
[micron]
7,625
[Pa]
8,5
Constantes de conversion du signal de mesure et de la pression
En fonction de l’unité de pression
23/48
Fonctionnement
Signal de mesure (U)
Pression (p)
[V]
[hPa]
< 0,5
Erreur de capteur
0,5 – 1,8
Plage dépassée vers le bas
1,8
2,0 × 10-9
1,5 × 10-9
2,0 × 10-7
2,5
1,0 × 10-8
7,5 × 10-9
1,0 × 10-6
3,5
1,0 × 10
-7
7,5 × 10
-8
1,0 × 10-5
4,5
1,0 × 10-6
7,5 × 10-7
1,0 × 10-4
5,5
1,0 × 10
-5
7,5 × 10
-6
1,0 × 10-3
6,5
1,0 × 10-4
7,5 × 10-5
1,0 × 10-2
7,5
1,0 × 10-3
7,5 × 10-4
0,1
8,5
1,0 × 10
-2
-3
1,0
8,5 – 10,5
Plage dépassée vers le haut
Tab. 7:
[Torr]
[Pa]
7,5 × 10
Tableau de conversion
Conversion du signal de mesure et de la pression
Gamme de validité
● 2 × 10-9 hPa < p < 1 × 10-2 hPa
● 1,5 × 10-9 torr < p < 7,5 × 10-3 torr
● 2 × 10-7 Pa < p < 1 Pa
► Observez les constantes de conversion du signal de mesure et de pression.
► Conversion du signal de mesure en pression :
p = 10(U-c)
► Conversion de la pression en signal de mesure :
U = c + log10 p
6.2
Détermination de la pression efficace avec des facteurs de correction
Le signal de mesure dépend du type de gaz. Les caractéristiques s’appliquent pour l’azote (N2), l’oxygène (O2), l’air sec et le monoxyde de carbone (CO).
24/48
Fonctionnement
p [hPa]
4
2
10
Xe Kr
Ar
Air
O2
CO
N2 H2 Ne He
–3
8
6
4
2
10–4
8
6
4
2
10–5
8
6
4
2
10–6
8
6
4
2
10–7
10–7 2
4 6 10–6 2
4 6
10–5 2
4 6
10–4 2
4
6
10–3 2
4 6
10–2
peff [hPa]
Fig. 7:
Pression affichée
Dans le domaine de pression < 10-5 hPa, l’affichage est linéaire.
Mélanges de gaz et de vapeurs
Les gaz de procédé sont essentiellement des mélanges de gaz et de vapeurs. Une mesure
précise des mélanges de gaz et de vapeurs est seulement possible avec des appareils de
mesure à pression partielle, par exemple un spectromètre de masse quadripole.
Type de gaz
Facteur de correction (C)
Air, oxygène (O2), monoxyde de carbone, (CO), azote (N2)
1,0
Hydrogène (H2)
2,4
Hélium (He)
5,9
Néon (Ne)
4,1
Argon (Ar)
0,8
Krypton (Kr)
0,5
Xénon (Xe)
0,4
Les facteurs de correction fournis ici sont des valeurs moyennes.
Tab. 8:
Facteur de correction pour un domaine de pression < 10 -5 hPa
Saisie du facteur de correction dans l’appareil de commande et de mesure de pression totale
► Saisissez le facteur de correction pour corriger la valeur mesurée qui est affichée.
25/48
Fonctionnement
Calcul de la pression de gaz autres que l’air
► Calculez la pression efficace avec la formule suivante :
Peff = C × p
● Peff = Pression efficace
● C = Facteur de correction
● p = Pression affichée (jauge calibrée pour l’air)
6.3
Respect de la temporisation d’amorçage
Les systèmes de mesure à cathode froide ont une temporisation d'amorçage quand ils sont activés.
Cette temporisation d'amorçage augmente à basse pression et est typiquement dans les unités dégazées propres :
● 10-7 hPa environ 6 secondes
● 10-8 hPa environ 1 minute
● 2 × 10-9 hPa environ 5 minutes
L'amorçage est un processus statique pour lequel des dépôts même minimes peuvent avoir une grande
influence sur les surfaces intérieures.
6.4
Pollution
Garantie
Toute anomalie de l’unité résultant directement d’une contamination et de l’usure (comme
l’aide d'amorçage) n’est pas couverte par la garantie.
La contamination du jauge dépend
● de la pression dans les enceintes à vide
● du type de fluide de process
● de la contamination existante ou nouvellement accumulée ou sa pression partielle (p. ex. vapeurs,
particules de process, etc.)
● de la durée de service
Le fonctionnement continu dans la plage comprise entre 10-4 hPa et 10-2 hPa peut causer une contamination grave et réduire la durée de vie et les intervalles d’entretien. Avec des basses pression constantes (p < 1 × 10-6 hPa), une durée de vie de > 1 an peut être atteinte avant qu’un nettoyage ne soit nécessaire.
La contamination de la jauge entraîne généralement des déviations dans les valeurs mesurées :
● Dans la gamme de basses pressions (< 1 × 10-3 hPa), la pression affichée est généralement
trop basse (contamination du système à cathode froide). Une contamination excessive va causer
des instabilités (séparation des couches dans la chambre de mesure). Ceci peut entraîner des
courts-circuits. Un étanchement complet de la décharge de gaz est aussi possible en cas de contamination résultant de couches isolées.
Effet sur le degré de pollution
Dans une certaine mesure, le niveau de contamination peut être influencé. Des précautions particulières doivent être prises dans le cas de vapeurs formant des dépôts dans le plasma (p. ex. du système
de mesure à cathode froide).
► Implémentez des mesures préventives géométriques (tôles de protection, angles) pour les particules se propageant en ligne droite.
► Choisissez une position de bride avec une pression partielle de contamination minimale.
► Désactivez la jauge en présence de vapeurs de dépôt.
► Protégez le capteur pendant la séparation de vapeurs à l’aide de dispositifs de sectionnement
(p. ex. vanne).
26/48
Démontage
7 Démontage
DANGER
Danger de mort par électrocution
Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie.
► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé.
► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. (Les raccordement CF et VCR remplissent ces conditions.)
► Utilisez des anneaux de centrage et des circlips à couche conductrice pour les raccordements
KF.
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide
L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide
peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant
être également toxique.
Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des
pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique.
► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide.
► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression.
► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un
anneau de serrage).
► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur.
AVIS
Défaillance due à la contamination et à la détérioration
Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et
entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts
nuisent au fonctionnement.
► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux
sur les installations ultra-vide ou à vide élevé.
► Utilisez uniquement des outils propres.
► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse.
► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire.
► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé.
Conditions préalables
● Système à vide ventilé à la pression atmosphérique
● Tension d’alimentation désactivée
Outil nécessaire
● Tournevis cruciforme
27/48
Démontage
1
2
3
Fig. 8:
Retrait de la jauge
1 Câble de mesure
2 Pièce de serrage
3
Obturateur de protection
Retrait de la jauge
1. Desserrez la vis d’arrêt sur la prise de câble Hirschmann de la jauge.
2. Déconnectez le câble de mesure de la jauge.
3. Recommandation : retirez temporairement l’unité magnétique du jauge si le démontage de la bride est seulement possible avec l'unité magnétique retirée.
– Ceci facilitera le démontage du raccord à bride CF.
4. Retirez la jauge du système de vide.
5. Placez l’obturateur de protection sur la bride de raccordement.
28/48
Maintenance
8 Maintenance
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
AVERTISSEMENT
Risques liés aux champs magnétiques
Le produit émet un champ magnétique perturbant le fonctionnement des appareils électriques (notamment les stimulateurs cardiaques).
► Se tenir à la distance prescrite par le fabricant des stimulateurs cardiaques.
– Pfeiffer Vacuum préconise une distance de sécurité d’au moins 130 mm entre le stimulateur cardiaque et le produit.
► Éviter l'influence de champs magnétiques puissants en utilisant des écrans de protection contre
les champs magnétiques.
Maintenance dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum
Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de services de maintenance pour tous les
produits.
Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter un Centre de service Pfeiffer Vacuum pour organiser la maintenance de produits et de composants défectueux.
Maintenance dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum
Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter le Centre de service Pfeiffer Vacuum local pour
organiser la maintenance de produits et de composants défectueux.
Demande de garantie
Ouvrir l’appareil pendant la période de garantie ou endommager/supprimer le sceau de garantie annulera la garantie.
Contactez le Centre de service Pfeiffer Vacuum en cas d’intervalle de maintenance raccourcis lié au processus.
8.1
Entretien de la jauge
Pfeiffer Vacuum a calibré la jauge à l’usine sur les valeurs standards. La jauge est sans entretien.
Remplacement d’une jauge défectueuse
► Si la jauge est défectueuse, vous devez la remplacer entièrement.
29/48
Maintenance
8.2
Démontage de la jauge
AVIS
Défaillance due à la contamination et à la détérioration
Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et
entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts
nuisent au fonctionnement.
► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux
sur les installations ultra-vide ou à vide élevé.
► Utilisez uniquement des outils propres.
► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse.
► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire.
► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé.
Outils nécessaires
●
●
●
●
●
Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 1,5
Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 3
Clé à fourche, WAF 7
Pinces pour circlip
Pinces
1
14
13
12
2
5
11
4
10
3
6
7
8
9
Fig. 9:
1
2
3
4
5
6
7
30/48
Pièces individuelles
Unité électronique
Vis moletée
Aide d'amorçage
Disques de blocage (4×)
Vis à six pans creux (4×)
Pièce de compression
Anode
8
9
10
11
12
13
14
Anneau intérieur
Joint FKM (douille anode)
Circlip
Embout de polarité
Chambre de mesure
Boulon six pans
Unité magnétique
Maintenance
Démontage de la jauge
1. Retirez la jauge du système de vide.
2. Desserrez la vis moletée du côté de l'unité électronique.
3. Retirez l’unité électronique sans exercer de mouvement rotatif.
– Le capot de l'unité électronique ne peut pas être enlevé.
4. Desserrez le boulon six pans sur l’unité magnétique.
5. Retirez l'unité magnétique.
– La séparation de l'unité magnétique et de la chambre de mesure est compliquée par l'effet de
la force magnétique. En outre, ces pièces ont tendance à basculer facilement.
6. Retirez le circlip et l'embout de polarité de la chambre de mesure.
7. Retirez les vis à six pans creux et les disques de verrouillage à l’arrière de la chambre de mesure.
8. Retirez successivement en prenant des précautions
● Pièce de compression
● Anode complète
● Joint FKM, bague intérieure comprise
8.3
Nettoyage des composants
DANGER
Danger de mort dû au choc électrique causé par la pénétration d’humidité
La pénétration d’eau dans l’unité cause des blessures aux personnes par chocs électriques.
► Utilisez seulement l’unité dans un environnement sec.
► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité.
► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, contactez Pfeiffer Vacuum Service.
► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité.
AVERTISSEMENT
Risques pour la santé dus aux agents nettoyants
Les détergents utilisés peuvent nuire à la santé et causer un empoisonnement, des allergies, une irritation de la peau, des brûlures chimiques ou endommager les voies respiratoires.
► Respectez les réglementations en vigueur pour la manipulation des agents nettoyants.
► Respectez les mesures de sécurité concernant la manipulation et la mise au rebut des agents
nettoyants.
► Attention aux réactions potentielles avec les matériaux du produit.
AVIS
Dégâts causés par la pénétration d’humidité
La pénétration d’humidité, p. ex. sous forme de condensation ou d’égouttement, endommage l’unité.
► Protégez l’unité contre la pénétration de l’humidité.
► Utilisez seulement l’unité dans un environnement propre et sec.
► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité.
► Des précautions spécifiques doivent être prises en cas de risque d’égouttement d’eau.
► Ne mettez pas sous tension l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur. Contactez le Centre de service Pfeiffer Vacuum.
AVIS
Dégâts provoqués par des agents nettoyants inadaptés
L'usage d'agents nettoyants inadaptés endommage le produit.
► Ne pas utiliser de solvants qui endommageraient sa surface.
► Ne pas utiliser d'agents nettoyants agressifs ou abrasifs.
Outil nécessaire
● Pinces
31/48
Maintenance
Consommables nécessaires
● Chiffon de lustrage (degré 400 ou Scotch Brite)
● Alcool industriel
● Chiffon (propre, doux, non pelucheux)
Nettoyage externe de l’appareil
1. Utilisez toujours un chiffon imbibé d'alcool industriel pour le nettoyage externe.
2. Laissez sécher les surfaces complètement après le nettoyage.
Nettoyage de la chambre de mesure et de l’insert de polarité
1. Démontez la jauge autant que nécessaire.
2. Vérifiez que tous les travaux sur les surfaces d'étanchéité sont exécutés de façon concentrique.
3. Frottez les parois internes de la chambre de mesure et l’insert de polarité avec le chiffon doux
jusqu’à ce qu’ils brillent.
4. Rincez la chambre de mesure et l’insert de polarité avec de l’alcool industriel.
5. Laissez bien sécher les pièces.
6. Remontez la jauge.
Nettoyage de l’anode
1. Démontez la jauge autant que nécessaire.
2. Retirez l'ancienne aide d’amorçage avec des pinces.
3. Frottez la broche de l’anode avec un chiffon doux jusqu’à ce qu’elle brille en prenant soin de ne
pas plier l'anode.
– Ne soumettez pas la céramique à un traitement mécanique.
4. Rincez l’anode avec de l’alcool industriel.
5. Laissez bien sécher l’anode.
6. Remplacez l’aide d'amorçage.
8.4
Assemblage de la jauge
DANGER
Danger de mort par électrocution
En l'absence de raccordement à la terre, la circulation de la tension est dangereuse en cas de contact et peut endommager les composants électroniques.
► Serrez toujours l’unité électronique avec la vis moletée.
► Vérifiez que la vis moletée de l’unité électronique a été serrée correctement.
AVIS
Défaillance due à la contamination et à la détérioration
Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et
entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts
nuisent au fonctionnement.
► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux
sur les installations ultra-vide ou à vide élevé.
► Utilisez uniquement des outils propres.
► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse.
► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire.
► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé.
AVIS
Éclats électriques liés à l’hélium
L'hélium peut causer des éclats électriques dans les circuits électroniques de l’unité, ce qui va les
détruire.
► Mettez l’unité hors circuit avant d’effectuer un test d'étanchéité.
► Démontez l’unité électronique avant d’effectuer un test d'étanchéité.
32/48
Maintenance
Outils nécessaires
●
●
●
●
●
●
Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 1,5
Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 3,0
Clé à fourche, WAF 7
Pinces pour circlip
Outil de montage pour l’aide d'amorçage
Pinces
Pièces de rechange requises
● Jeu de réparation BN 846 252 -T
Consommables requis
● Azote sec pour le soufflage
1
2
3
Fig. 10:
Outil de montage pour l’aide d'amorçage
1 Anode
2 Aide d'amorçage
3
Outil de montage
Remplacement de l’aide d'amorçage
1. Insérez la nouvelle aide d'amorçage dans l'outil de montage.
2. Poussez avec précaution l’anode (neuve ou nettoyée) dans l'aide d'amorçage en la centrant et
parallèlement à l'axe de l’outil.
3. Insérez l’anode d’env. 15 mm.
Vous pouvez trouver les différentes pièces ici : (voir chapitre « Démontage de la jauge », page 30)
Assemblage de la jauge
1. Vérifiez que les surfaces d'étanchéité, les joints et l'anode céramique sont propres.
2. Insérez le joint FKM (douille anode) avec l'anneau intérieur au centre de la chambre de mesure.
3. Insérez avec précaution l'anode avec l'aide d'amorçage dans la chambre de mesure.
4. Montez soigneusement la pièce de compression sur la chambre de mesure et serrez les vis à têtes hexagonales et les disques de verrouillage de façon uniforme jusqu'en butée.
5. Poussez doucement la chambre de mesure avec l’anode dans l’outil de montage jusqu’en butée
en la centrant parallèlement à l’axe de l’outil.
– Ce faisant, vous positionnez l'aide d'amorçage.
6. Tenez la chambre de mesure avec la bride orientée vers le bas et soufflez les particules dans la
chambre de mesure avec l'azote sec.
7. Poussez l'embout de polarité à l’intérieur de la chambre de mesure jusqu'à la butée mécanique.
8. Insérez le circlip correctement sur l'insert de polarité.
9. Inspectez visuellement que la broche de l'anode est au centre de l'alésage central de l'embout de
polarité.
– Excentricité max. admissible = 0,5 mm
10. Si possible, effectuez un test d'étanchéité.
– Taux de fuite < 10-9 hPa l/s
11. Montez l'unité magnétique.
– Le montage de l'unité magnétique est compliqué par l'effet de la force magnétique et parce
que l'unité a tendance à basculer facilement.
12. Fixez la boulon six pans sur l’unité magnétique.
13. Montez avec précaution l’unité électronique.
14. Poussez l’unité électronique jusqu’à la butée.
15. Fixez la vis moletée du côté de l’unité électronique.
33/48
Anomalies
9 Anomalies
Garantie
Toute anomalie de l’unité résultant directement d’une contamination et de l’usure (comme
l’aide d'amorçage) n’est pas couverte par la garantie.
Anomalie
Cause possible
Action corrective
Signal de mesure continu < 0,5 V et
DEL verte éteinte
Pas d’alimentation
Mettez en circuit l’alimentation.
Signal mesure continu < 0,5 V et DEL
verte allumée
Tension d'alimentation insuffisante
Augmentez la tension d’alimentation.
Unité électronique défectueuse
Remplacez l’unité électronique.
Signal de mesure continu dans la
gamme 0,5 à 1,8 V (gamme dépassée vers le bas)
Pression dans l’enceinte à vide < 2 × 10-9 hPa
-
La décharge de gaz n’a pas
été amorcée.
Attendez l’amorçage de la
décharge d’un gaz (≈ 5 minutes à une pression de
10-9 hPa).
Signal de mesure instable
Jauge contaminé
Nettoyez la jauge.
Tab. 9:
34/48
Anomalies
Expédition
10
Expédition
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement par produits contaminés
L’expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la santé et l’ sécurité du personnel de maintenance.
► Conforme aux instructions pour une distribution en toute sécurité.
Décontamination payante
Pfeiffer Vacuum décontamine les produits qui ne sont pas clairement déclarés comme
« Sans contaminants », à votre charge.
Expédier le produit en toute sécurité
► L’expédition de produits microbiologiques, explosibles ou ayant subi une contamination radioactive est interdite.
► Respecter les consignes d’expédition des pays et des sociétés de transport impliqués.
► Les risques potentiels doivent être mis en évidence sur la face extérieure de l’emballage.
► Téléchargez les explications sur la contamination en vous connectant à Pfeiffer Vacuum Service.
► Toujours joindre une déclaration de contamination dûment remplie.
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Recyclage et mise au rebut
11
Recyclage et mise au rebut
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
Protection de l’environnement
Vous devez mettre au rebut le produit et ses composants conformément aux directives applicables pour la protection des personnes, de l’environnement et de la nature.
● Contribuez à la réduction du gaspillage des ressources naturelles.
● Évitez toute contamination.
11.1 Informations générales sur la mise au rebut
Les produits Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables.
► Mettez au rebut nos produits en séparant :
– Fer
– Aluminium
– Cuivre
– Matière synthétique
– Composants électroniques
– Huiles et graisses, sans solvant
► Observez les mesures de sécurité spéciales pour la mise au rebut de :
– Fluoroélastomères (FKM)
– Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé
11.2
Mise au rebut des jauges
Les jauges Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux que vous devez recycler.
1. Démantelez l’unité électronique.
2. Décontaminez les composants qui entrent en contact avec les gaz de procédé.
3. Séparez les composants en matériaux recyclables.
4. Recyclez les composants non contaminés.
5. Mettez au rebut le produit ou les composants de façon sûre en conformité avec toutes les directives applicables.
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Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
12
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
Nous offrons un service de première classe
Une longue durée de vie des composants du vide, associée à des temps d’arrêt réduits, sont ce que
vous attendez clairement de nous. Nous répondons à vos besoins par des produits efficaces et un service d’exception.
Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux
composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit
Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien
évidemment.
Nos ingénieurs commerciaux et techniciens de service professionnels sont à votre disposition pour
vous assurer un soutien pratique dans le monde entier. Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de
services, allant des pièces de rechange d’origine aux accords de service.
Profitez du service Pfeiffer Vacuum
Qu'il s’agisse du service préventif sur place de notre service sur site, du remplacement rapide par des
produits de rechange comme neufs ou de la réparation dans un centre de service proche de chez
vous ; vous disposez d'une variété d’options pour maintenir la disponibilité de votre équipement. Vous
trouverez des informations détaillées ainsi que les adresses sur notre site web dans la section Pfeiffer Vacuum Service.
Des conseils sur la solution optimale sont disponibles auprès de votre interlocuteur Pfeiffer Vacuum.
Pour un déroulement rapide et efficace de la procédure de service, nous recommandons de suivre les étapes suivantes :
1. Télécharger les modèles de formulaire actuels.
─ Déclaration de demande de service
─ Demande de service
─ Déclaration de contamination
a) Démonter tous les accessoires et les conserver (toutes les pièces externes
montées telles que la vanne, le filtre d’arrivée, etc.).
b) Vidanger le fluide d'exploitation / lubrifiant si nécessaire.
c) Vidanger le fluide de refroidissement si nécessaire.
2. Remplir la demande de service et la déclaration de contamination.
ANFORDERUNG SERVICE
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
3. Envoyer les formulaires par e-mail, fax ou par courrier à votre centre de service local.
4. Vous recevrez une réponse de Pfeiffer Vacuum.
Envoi de produits contaminés
Aucune unité ne sera acceptée si elle est contaminée par des substances micro-biologiques, explosives
ou radioactives. Si les produits sont contaminés ou si la déclaration de contamination est manquante,
Pfeiffer Vacuum contactera le client avant de démarrer la maintenance. Par ailleurs, selon le produit et
le niveau de contamination, des frais de décontamination supplémentaires peuvent être facturés.
37/48
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails contenus dans la déclaration de contamination.
a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec.
b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air.
c) Sceller le produit dans un film de protection approprié.
d) Emballer le produit dans des conteneurs de transport stables appropriés uniquement.
e) Respecter les conditions de transport en vigueur.
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
6. Joindre la déclaration de contamination sur l’extérieur de l’emballage.
7. Envoyer ensuite le produit à votre centre de service local.
8. Vous recevrez un message de confirmation / un devis de la part de
Pfeiffer Vacuum.
Pour toutes les demandes de service, nos Conditions générales de vente et de livraison ainsi que nos
Conditions générales de réparation et de maintenance sont appliquées aux équipements et composants du vide.
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Pièces de rechange
13
Pièces de rechange
1
5
2
3
4
Fig. 11:
Pièces de rechange
1 Unité électronique
2 Anode, complète
3 Anneau intérieur
4
5
Joint torique (FKM75, 10,82×1,78 mm)
Aide d'amorçage
Description
Référence de commande
Kit de maintenance
Article 3 (1×), article 4 (1×), article 5 (3×)
Non utilisé pour ce jauge : 1× Joint torique (FKM75, 3,69×1,78 mm)
BN 846 239 -T
Kit de réparation
Article 2 (1×), article 3 (1×), article 4 (1×), article 5 (3×)
BN 846 252 -T
Kit d'aide d'amorçage
Article 5 (10×)
BN 845 995 -T
Outil de montage pour l’aide d'amorçage
BG 510 600
Unité électronique IKR 251
Article 1 (1×)
PT 120 160 -T
Système de mesure, complet (DN 25 ISO-KF)
BN 846 462 -T
Système de mesure, complet (DN 40 ISO-KF)
BN 846 463 -T
Système de mesure, complet (DN 40 CF-F)
BN 846 464 -T
Jauge de rechange (DN 25 ISO-KF) 2)
PT R25 500 -A
Jauge de rechange (DN 40 ISO-KF) 3)
PT R25 501 -A
Jauge de rechange (DN 40 CF- F) 4)
PT R25 502 -A
2)
Retournez la jauge défectueuse à Pfeiffer Vacuum.
3)
Retournez la jauge défectueuse à Pfeiffer Vacuum.
4)
Retournez la jauge défectueuse à Pfeiffer Vacuum.
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Accessoires
14
Accessoires
Vous trouverez sur notre site Internet la gamme des accessoires ActiveLine.
14.1 Informations sur les accessoires
Câble de mesure
Câble de mesure de différentes longueurs pour le raccordement à une unité de mesure et de contrôle
de la pression totale Pfeiffer Vacuum
Connecteur-bouchon
Douille de câble pour la fabrication d’un câble de raccordement spécifique pour l’application
Blindage magnétique
Pour le blindage de l'aimant permanent, pour la protection des personnes contre le rayonnement magnétique, par exemple
14.2
40/48
Commande d'accessoires
Description
Numéro de commande
Câble de mesure, 3 m
PT 448 250 -T
Câble de mesure, 6 m
PT 448 251 -T
Câble de mesure, 10 m
PT 448 252 -T
Connecteur-bouchon, 6 pôles
B4707283MA
Blindage magnétique
PT 443 155 -X
Caractéristiques techniques et dimensions
15
Caractéristiques techniques et dimensions
15.1
Généralités
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr | mm Hg
100
1
0,1
0,75
1 · 10
1,000
100
1 · 10
1
0,01
1 · 10
7.5 · 10-3
1
1 · 10-3
100
1
0,1
0,75
kPa
10
0,01
1,000
10
1
7,5
Torr | mm Hg
1,33
1,33 · 10-3
133,32
1,33
0,133
1
mbar
1
1 · 10
bar
1,000
1
Pa
0,01
hPa
-3
5
-5
1 Pa = 1 N/m
Tab. 10:
750
-3
2
Tableau de conversion : unités de pression
mbar l/s
mbar l/s
Pa m3/s
sccm
Torr l/s
atm cm3/s
1
0,1
59,2
0,75
0,987
592
7,5
10
3
Pa m /s
sccm
1
Torr l/s
3
atm cm /s
Tab. 11:
9,87
1.69 · 10
1.69 · 10
1
1,33
0,133
78,9
1
1,32
1,01
0,101
59,8
0,76
1
-2
-3
-2
1,27 · 10
1.67 · 10-2
Tableau de conversion : unités de débit de gaz
15.2 Fiche technique
Paramètre
Valeur
Gamme de mesure (air, N2)
2 × 10–9 – 1 × 10-2 hPa
Pression maximum (absolue)
10 000 hPa, limitée aux gaz inertes et aux températures < 55 °C
Principe de mesure
Cathode froide
Précision
env. ±30 % dans la gamme 1 × 10-8– 1 × 10-3 hPa
Répétabilité
env. ±5 % dans la gamme 1 × 10-8– 1 × 10-3 hPa
Tab. 12:
Valeurs de mesure et de pression
Paramètre
Signal de sortie (signal de
mesure)
Valeur
Gamme de tension
environ 0 V – environ +10,5 V
Signal d'erreur
< 0,5 V (pas d'alimentation)
Rapport tension-pression
logarithmique, élévation 1 V/
décade
Impédance de sortie
2 × 10 Ω
Impédance de charge (charge minimum)
10 kΩ, résistant aux courts-circuits
Temps de réponse
en fonction de la pression
p > 10-6 hPa
-8
p = 10 hPa
Identification de la jauge
< 10 ms
environ 1 s
Résistance 5,1 kΩ contre la terre
d'alimentation
41/48
Caractéristiques techniques et dimensions
Paramètre
Tension d’alimentation
Valeur
Sur la jauge
15,0 – 30,0 V DC
sur l’unité d’alimentation à la
longueur de câble max. 5)
16,0 – 30,0 V DC
Ondulation
1 Vpp max.
Tension de fonctionnement (dans la chambre de mesure)
≤ 3,3 kV
Courant de service (dans la chambre de mesure)
≤ 500 μA
Puissance absorbée
≤2W
Fusible (à raccorder en série)6)
≤ 1 AT
Raccordement (électrique)
Hirschmann GO 6 (6 broches)
Câble de mesure
5 broches, blindage inclus
Longueur de câble
100 m max. (0,25 mm2/conducteur)
150 m max. (0,34 mm2/conducteur)
500 m max. (1,0 mm2/conducteur)
Concept de mise à la terre
Tab. 13:
(voir chapitre « Raccordement électrique », page 21)
Raccord vide et masse signal
Raccordement 10 kΩ (tension différentielle max. tenant compte de
± 50 V de sécurité et d'une précision de ± 10 V)
Terre d'alimentation et masse
signal
Raccordés séparément, mesure
différentielle recommandée pour
les longueurs de câble supérieures (≥ 10 m)
Données électriques
Paramètre
Valeur
Volume interne
20 cm3 environ
Poids
700 g, ISO-KF
950 g, CF-F
Tab. 14:
Paramètre
Valeur
Humidité relative de l’air
À des températures atteignant +31 °C, 80 % max.
À des températures atteignant +40 °C, 50 % max.
Orientation de montage
Arbitraire
Usage
En intérieur uniquement
Altitude maximum de l’installation
2 000 m MSL
Degré de pollution
2
Degré de protection
IP40
Tab. 15:
42/48
Volume interne et poids
Conditions ambiantes
5)
La tension minimum de l’unité d’alimentation doit être augmentée proportionnellement à la longueur de câble.
6)
Les unités de commande et de mesure Pfeiffer Vacuum sont conformes à cette exigence.
Caractéristiques techniques et dimensions
Paramètre
Valeur
Fonctionnement
5 – 55 °C
Stockage
-40 – +65 °C
Étuvage
≤ 150 °C 7)
Tab. 16:
Températures
Paramètre
Valeur
Bride
pour DN 25 : Acier surfin (1.4104)
pour DN 40 : Acier surfin (1.4306)
Chambre de mesure
Acier surfin (1.4104)
Douille d'isolation
Céramique (Al2O3), verre
Joints internes
FKM75
Anode
Molybdène (Mo)
Aide d'amorçage
Acier surfin (1.4310)
Tab. 17:
Dimensions
101.5
28
55
20
ø 63.5
VACUUM
Compact
Full RangeTM
Gauge
VACUUM
18.5
28
55
20
VACUUM
ø 63.5
18
DN 40 CF-F DN 40 ISO-KF
101
DN 25 ISO-KF
15.3
Substances en contact avec le fluide
Compact
Full RangeTM
Gauge
VACUUM
24
107
Fig. 12:
Dimensions
Dimensions en mm
7)
Sans unité électronique et blindage magnétique
43/48
ETL LISTED
The product IKR 251
- conforms to the UL standard
UL 61010-1.
3103457
- is certified to the CAN/CSA standard
CAN/CSA C22.2 No. 61010-1.
Déclaration de conformité CE
La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant.
Déclaration pour produit(s) du type :
Jauge à cathode froide
IKR 251
Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes.
Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses, directive déléguée
2015/863/UE
Normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées :
DIN EN IEC 61000-6-2:2019
DIN EN IEC 61000-6-3:2022
DIN EN 61010-1:2020
DIN EN IEC 61326-1:2022
DIN EN IEC 63000:2019
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Directeur général
Asslar, 2023-01-17
Déclaration de Conformité UK
La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant.
Déclaration pour produit(s) du type :
Jauge à cathode froide
IKR 251
Nous déclarons par la présente que le produit cité satisfait à toutes les exigences applicables des Directives Britanniques suivantes.
Réglementation 2016 sur la Compatibilité Electromagnétique
Réglementation 2012 sur la Limitation de l'Utilisation de Certaines Substances Dangereuses dans les Equipements Electriques et Electroniques
Standards et spécifications appliqués :
EN IEC 61000-6-2:2019
EN IEC 61000-6-3:2021
EN 61010-1:2010 + A1:2019 + A1:2019/AC:2019
EN IEC 61326-1:2021
EN IEC 63000:2018
Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitution du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park,
MK169PS Newport Pagnell.
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Directeur général
Asslar, 2023-01-17
47/48
*BG5151*
ed. E - Date 2307 - P/N:BG5151BFR
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