Pfeiffer PKR 261 Mode d'emploi

MANUEL DE L'UTILISATEUR
FR
Traduction d'original
PKR 261
Jauge Pirani/à cathode froide
Cher client,
Nous vous remercions d’avoir opté pour un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouvelle jauge a
été conçue pour vous donner entière satisfaction pour votre application, de par sa conception
rigoureuse et son parfait fonctionnement. La marque Pfeiffer Vacuum, synonyme de
techniques du vide performantes, se décline en une gamme exhaustive et variée de produits
de grande qualité, assortis d’un service client irréprochable. Forts de cette expérience
pratique étendue, nous avons compilé une multitude d’informations qui peuvent contribuer à
une implémentation efficace et à votre sécurité personnelle.
Sachant que notre produit doit vous permettre d’éviter des arrêts de production coûteux,
nous sommes confiants qu’il pourra vous offrir une solution pour une implémentation efficace
et fiable de votre application individuelle.
Veuillez lire ce manuel de l'utilisateur avant de mettre votre produit en service pour la
première fois. Si vous avez des questions ou suggestions, n’hésitez pas à nous contacter par
e-mail à l’adresse info@pfeiffer-vacuum.de.
Vous trouverez d’autres manuels de l'utilisateur de Pfeiffer Vacuum dans le Centre de
téléchargement sur notre site Internet.
Exclusion de responsabilité
Ce manuel d'instructions décrit tous les modèles et variantes de votre produit. Noter que
votre produit peut ne pas être équipé de toutes les fonctionnalités décrites dans ce manuel.
Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le
manuel d'utilisation en ligne peut différer du document imprimé, fourni avec votre produit.
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d'une utilisation contraire à l'usage prévu, ou d'une utilisation définie comme mauvaise
utilisation prévisible.
Droits d’auteur (Copyright)
Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce
document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits
ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations
contenues dans ce document.
2/54
Table des matières
Table des matières
1
A propos de ce manuel
1.1 Validité
1.1.1 Documents applicables
1.1.2 Variantes
1.2 Groupe cible
1.3 Conventions
1.3.1 Instructions dans le texte
1.3.2 Pictogrammes
1.3.3 Autocollants sur le produit
1.3.4 Abréviations
1.4 Marques
7
7
7
7
7
8
8
8
8
9
9
2
Sécurité
2.1 Consignes générales de sécurité
2.2 Consignes de sécurité
2.3 Mesures de sécurité
2.4 Utilisation conforme
2.5 Utilisations incorrectes envisageables
2.6 Responsabilité et garantie
2.7 Conditions propriétaire
2.8 Qualification personnelle
2.8.1 Garantir la qualification du personnel
2.8.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation
2.8.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum
2.9 Conditions opérateur
10
10
10
14
14
14
15
15
15
15
16
16
16
3
Transport et stockage
17
4
Description du produit
4.1 Identification du produit
4.2 Contenu de la livraison
4.3 Fonction
18
18
18
18
5
Installation
5.1 Raccordement du vide
5.2 Dépose/installation de l'unité magnétique
5.3 Raccordement électrique
19
19
20
21
6
Fonctionnement
6.1 Affichage d'état
6.2 Relation : signal de mesure et pression
6.3 Dépendance du type de gaz
6.4 Temporisation d'amorçage
6.5 Contamination
24
24
25
26
28
28
7
Démontage
30
8
Maintenance
8.1 Calibrage du jauge
8.2 Démontage du jauge
8.3 Nettoyage des composants
8.4 Assemblage du jauge
32
32
34
35
37
9
Dysfonctionnements
40
10
Expédition
41
11
Mise au rebut
42
3/54
Table des matières
4/54
12
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
43
13
Informations de commande
13.1 Commande de pièces
13.2 Pièces de rechange
13.3 Accessoires
45
45
45
46
14
Données techniques et dimensionnelles
47
15
Annexe
15.1 Unités de pression
15.2 Débits de gaz
50
50
50
Listé ETL
51
Déclaration de conformité
52
Liste des tableaux
Liste des tableaux
Tab. 1:
Tab. 2:
Tab. 3:
Tab. 4:
Tab. 5:
Tab. 6:
Tab. 7:
Tab. 8:
Tab. 9:
Tab. 10:
Tab. 11:
Tab. 12:
Tab. 13:
Tab. 14:
Tab. 15:
Tab. 16:
Documents applicables
Variantes
Abréviations employées
Modes de fonctionnement
Constantes
Tableau de conversion
Facteurs de calibrage pour la plage de pression < 10 hPa
Dysfonctionnements
Valeurs de mesure et de pression
Données électriques
Volume interne et poids
Conditions ambiantes
Températures
Matière contre le vide
Unités de pression et leur conversion
Débits de gaz et leur conversion
7
7
9
24
25
26
28
40
47
48
48
48
48
48
50
50
5/54
Liste des figures
Liste des figures
Fig. 1:
Fig. 2:
Fig. 3:
Fig. 4:
Fig. 5:
Fig. 6:
Fig. 7:
Fig. 8:
Fig. 9:
Fig. 10:
Fig. 11:
Fig. 12:
Fig. 13:
Fig. 14:
Fig. 15:
Fig. 16:
6/54
Configuration de mesure
Raccordement du vide
Dépose/installation de l'unité magnétique (recommandation pour CF-F)
Schéma des connexions
Câble de mesure et prise de câble Hirschmann
Diode électroluminescente (LED)
Relation : signal de mesure et pression
Plage de pression > 10 hPa, fonctionnement Pirani seul
Plage de pression comprise entre 10 et 0,1 hPa
Démontage du jauge
Calibrage du jauge (HV)
Calibrage du jauge (ATM)
Pièces individuelles
Outil de montage pour l’aide d'amorçage
Pièces de rechange
Dimensions
18
20
21
22
22
24
25
26
27
30
33
33
34
37
45
49
A propos de ce manuel
1 A propos de ce manuel
IMPORTANT
Bien lire avant d'utiliser le produit.
Conserver ce manuel pour une future utilisation.
1.1
Validité
Ce document décrit la fonction des produits de la liste suivante et contient les informations les plus importantes pour une utilisation sécurisée. La description est rédigée conformément aux directives en vigueur. Les informations contenues dans ce document correspondent à l'état de développement actuel
des produits. Le document conserve sa validité à condition que le client n'apporte aucune modification
au produit.
1.1.1
Documents applicables
Désignation
Document
Brèves instructions pour le « jauge à cathode froide/Pirani »
PKR 261
BG 5122
Manuel de l'utilisateur « Unité de contrôle et de mesure de la pression totale »
TPG 361 | TPG 362
BG 5500
Manuel de l'utilisateur « Unité de contrôle et de mesure de la pression totale »
TPG 366
BG 5501
Déclaration de conformité
(Partie du présent
document)
Tab. 1:
Documents applicables
Les brèves instructions du jauge font partie de la livraison.
1.1.2
Variantes
Ce document est applicable à tous les produits avec les références suivantes :
Référence
Désignation
PT R26 250
PKR 261 (DN 25 ISO-KF)
PT R26 251
PKR 261 (DN 40 ISO-KF)
PT R26 252
PKR 261 (DN 40 CF-F)
Tab. 2:
Variantes
Les informations concernant un seul des appareils sont indiquées comme telles. Sauf indication contraire, les illustrations correspondent à l’appareil avec un raccord de vide DN 25 ISO-KF, tout en s'appliquant également de façon correspondante aux autres raccords de vide.
La référence est disponible sur la plaque signalétique du produit.
Pfeiffer Vacuum se réserve le droit d'apporter des modifications techniques sans préavis.
Les chiffres présentés dans ce document ne sont pas à l'échelle (dimensions au mm).
1.2
Groupe cible
Ce manuel d'utilisation s’adresse à toutes les personnes en charge
●
●
●
●
●
●
du transport,
de l'installation,
de la commande et de l'utilisation,
de la mise hors service,
de la maintenance et du nettoyage,
du stockage et du recyclage du produit.
7/54
A propos de ce manuel
Les opérations décrites dans ce document doivent uniquement être effectuées par un personnel doté
de la formation technique nécessaire (personnel qualifié), ou ayant suivi une formation correspondante
de Pfeiffer Vacuum.
1.3
Conventions
1.3.1
Instructions dans le texte
Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à
réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes.
Action unique
Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape.
► Il s'agit d’une étape unique.
Action en plusieurs étapes
Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique.
1. Étape 1
2. Étape 2
3. ...
1.3.2
Pictogrammes
Les pictogrammes utilisés dans ce document indiquent des informations utiles.
Remarque
Conseil
Portez des gants de laboratoire
Contrôlez visuellement
1.3.3
Autocollants sur le produit
Cette section décrit tous les autocollants sur le produit ainsi que leur signification.
8/54
A propos de ce manuel
D-35614 Asslar
Mod.
P/N
S/N
Input
PKR 261
PT R26 xxx
3103457
Made in Liechtenstein 2019/04
xxxxxxxxx
15...30 V DC 2 W
10 cm
4”
1.3.4
Avertissement : champs magnétiques
L'autocollant vous avertit que le champ
magnétique risque de nuire au fonctionnement de stimulateurs cardiaques et indique la distance minimale par rapport au
jauge que les personnes portant des implants doivent respecter.
Abréviations
Abréviation
Explication
ATM
Atmosphère
HV
Vide élevé
cpl.
Unité complète
MSL
Niveau moyen de la mer
s
Secondes
WAF
Largeur sur pans (Width Across Flats)
Tab. 3:
1.4
Plaque signalétique
La plaque signalétique se trouve sur la
partie supérieure de l'appareil.
Abréviations employées
Marques
● FullRange® est une marque de Pfeiffer Vacuum GmbH.
9/54
Sécurité
2 Sécurité
2.1
Consignes générales de sécurité
Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit :
DANGER
Danger direct et imminent
Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVERTISSEMENT
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
ATTENTION
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVIS
Obligation ou signalement
Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure
physique.
► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels
Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le
produit ou le présent document.
2.2
Consignes de sécurité
Consignes de sécurité selon les étapes de la vie du produit
Toutes les consignes de sécurité de ce document sont basées sur les résultats d'une évaluation des risques. Pfeiffer Vacuum a pris en compte toutes les étapes pertinentes de la
vie du produit.
Risques liés au transport
AVIS
Dégâts causés par un transport incorrect
Un transport dans un emballage incorrect ou la non-installation de tous les verrous de transport peut
endommager le produit.
► Conforme aux instructions pour un entreposage en toute sécurité.
10/54
Sécurité
Risques pendant l’entreposage
AVIS
Risque de détériorations causées par un entreposage incorrect
Un entreposage incorrect provoquera des dégâts sur le produit.
Les charges statiques, l'humidité, etc., provoquent des dégâts sur les composants électroniques.
► Conforme aux instructions pour un entreposage en toute sécurité.
Risques lors de l’installation
DANGER
Danger de mort en raison des tensions de contact dangereuses
Les tensions supérieures à 30 V (CA) ou 60 V (CC) sont considérées comme dangereuses selon la
norme EN 61010. Un contact avec une tension de contact dangereuse entraîne un risque de blessures ou un danger de mort par choc électrique.
► Raccordez le produit seulement aux appareils qui remplissent les critères suivants :
● Conditions de tension extra-basse de protection de terre (PELV)
● Source de puissance limitée (LPS) classe 2
► Fixez la ligne sur le produit.
– Les équipements de contrôle et de mesure Pfeiffer Vacuum remplissent ces conditions.
DANGER
Danger de mort par électrocution
Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie.
► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé.
► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. (Les raccordement CF et VCR remplissent ces conditions.)
► Utilisez des anneaux de centrage et des circlips à couche conductrice pour les raccordements
KF.
AVERTISSEMENT
Risques liés aux champs magnétiques
Le produit émet un champ magnétique perturbant le fonctionnement des appareils électriques (notamment les stimulateurs cardiaques).
► Se tenir à la distance prescrite par le fabricant des stimulateurs cardiaques.
– Pfeiffer Vacuum préconise une distance de sécurité d’au moins 130 mm entre le stimulateur cardiaque et le produit.
► Éviter l'influence de champs magnétiques puissants en utilisant des écrans de protection contre
les champs magnétiques.
AVIS
Risque d’endommagement lié à un raccordement incorrect
Un raccordement incorrect ou une polarité incorrecte, une tension d'alimentation non autorisée va
endommager la jauge.
► Raccordez toujours la terre d'alimentation (broche 5) à la terre de l’unité d'alimentation.
► Raccordez toujours le blindage (broche 6) à la terre de l’unité d'alimentation.
11/54
Sécurité
Risques pendant le fonctionnement
AVERTISSEMENT
Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide
L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide
peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant
être également toxique.
Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des
pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique.
► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide.
► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression.
► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un
anneau de serrage).
► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur.
Risques pendant la maintenance
DANGER
Danger de mort par électrocution
En l'absence de raccordement à la terre, la circulation de la tension est dangereuse en cas de contact et peut endommager les composants électroniques.
► Serrez toujours l’unité électronique avec la vis moletée.
► Vérifiez que la vis moletée de l’unité électronique a été serrée correctement.
DANGER
Chocs électriques en raison de la pénétration d'humidité dans l'appareil
L’humidité qui a pénétré dans l’appareil cause des blessures par électrisation.
► L'appareil ne peut être utilisé que dans un environnement sec.
► L'appareil doit être utilisé à distance de tout liquide et source d'humidité.
► Ne pas allumer l'appareil si un liquide y a pénétré. Contacter le Service Pfeiffer Vacuum.
► Toujours déconnecter l'alimentation électrique avant de nettoyer l'appareil.
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
AVERTISSEMENT
Risques pour la santé dus aux agents nettoyants
Les agents nettoyants utilisés constituent des risques pour la santé.
► Respecter les réglementations en vigueur pour la manipulation des agents nettoyants.
► Respecter les mesures de sécurité concernant la manipulation et la mise au rebut des agents
nettoyants.
► Attention aux réactions potentielles avec les matériaux du produit.
12/54
Sécurité
AVIS
Défaillance due à la contamination et à la détérioration
Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et
entraîne des mesures incorrectes. La saleté (par ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts
nuisent au fonctionnement.
► Lors de l’assemblage et de la maintenance sur les systèmes à vide poussé ou à ultra-vide, veiller
à toujours porter des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre.
► Utiliser uniquement des outils propres.
► Lors de l’assemblage, veiller à ce que les brides de raccordement soient sans graisse.
► Retirer les capuchons de protection et les caches de protection des brides et des raccordements
uniquement lorsque cela est nécessaire.
► Effectuer toutes les opérations dans un espace bien éclairé.
AVIS
Éclats électriques liés à l’hélium
L'hélium peut causer des éclats électriques dans les circuits électroniques de l’unité, ce qui va les
détruire.
► Mettez l’unité hors circuit avant d’effectuer un test d'étanchéité.
► Déposez l’unité électronique avant d’effectuer un test d'étanchéité.
AVIS
Dégâts causés par la pénétration d'humidité
La pénétration d'humidité, sous la forme de condensation ou d'égouttement, endommage l'appareil.
► Protéger l'appareil contre la pénétration de l'humidité.
► L'appareil ne peut être utilisé que dans un environnement propre et sec.
► L'appareil doit être utilisé à distance de tout liquide et source d'humidité.
► Des précautions spécifiques doivent être prises en cas de risque d'égouttement d'eau.
► Ne pas allumer l'appareil si un liquide y a pénétré. Contacter le Centre de service Pfeiffer Vacuum.
AVIS
Dégâts provoqués par des agents nettoyants inadaptés
L'usage d'agents nettoyants inadaptés endommage le produit.
► Ne pas utiliser de solvants qui endommageraient sa surface.
► Ne pas utiliser d'agents nettoyants agressifs ou abrasifs.
Risques liés à l'expédition
AVERTISSEMENT
Risque d'empoisonnement par produits contaminés
L'expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la sécurité du personnel de maintenance.
► Conforme aux instructions pour une expédition en toute sécurité.
Risques pendant la mise au rebut
ATTENTION
Risque pour la santé en raison de substances dangereuses pour l'environnement
Les produits, fluides d'exploitations, composants électriques, gaz d'étalonnage résiduels (provenant
des fuites de test par exemple) ou similaire entraînent des risques pour la santé.
► Mettre au rebut les substances dangereuses pour l'environnement conformément aux réglementations locales.
► Mettre au rebut les gaz d'étalonnage et les fuites de test conformément aux réglementations locales.
13/54
Sécurité
2.3
Mesures de sécurité
Le produit est conçu sur la base des technologies les plus récentes et des règles techniques de sécurité reconnues. Cependant, une utilisation incorrecte peut présenter un risque de blessure ou un danger
de mort pour l'opérateur et toute autre personne, ainsi qu'un risque de dommages matériels sur le produit et autres.
Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels
Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit.
Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du
produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document.
Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit
La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit
d'origine ou installe un équipement supplémentaire
● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le
cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives
européennes applicables avant de mettre en service ce système.
Respecter les consignes de sécurité fondamentales
1. Respecter les directives en vigueur lors de la manipulation de gaz et de pièces contaminées usés.
2. Respecter les mesures de protection.
3. Respecter les consignes de sécurité mentionnées dans ce document.
– Toute opération ne peut être effectuée que si les directives pertinentes et les mesures de protection sont respectées.
4. Il convient de toujours s'informer d'éventuelles contaminations avant de commencer à travailler.
5. Les consignes de sécurité doivent être transmises aux autres utilisateurs.
2.4
Utilisation conforme
La jauge à gamme complète fournit une mesure de vide de gaz dans une plage comprise entre 5 × 10-9
et 1000 hPa.
Ce jauge ne peut pas être utilisé pour la mesure de gaz combustibles ou hautement inflammables lorsqu’ils sont mélangés à un agent oxydant (comme l’oxygène atmosphérique) dans les limites explosives.
La jauge peut fonctionner avec une unité de mesure et de contrôle de la pression totale Pfeiffer Vacuum ou une unité d'évaluation fournie par le client.
Utilisation du produit conformément à son usage prévu
1. L'installation, l'utilisation et l'entretien du produit doivent être exécutés exclusivement conformément au mode d'emploi.
2. Conforme aux limites d'application.
3. Respecter les données techniques.
2.5
Utilisations incorrectes envisageables
Toute utilisation incorrecte du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité. Toute
utilisation non conforme à l'objectif du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée comme
abusive, en particulier :
● Utilisation hors des limites mécaniques et électriques d'application (données techniques)
● Utilisation avec des substances corrosives ou explosives (si cette utilisation n'est pas explicitement autorisée)
● Utilisation en extérieur
● Utilisation suite à des modifications techniques (à l'intérieur ou à l'extérieur du produit)
● Utilisation avec des accessoires ou pièces de rechange inappropriés ou non approuvés
14/54
Sécurité
2.6
Responsabilité et garantie
Pfeiffer Vacuum décline toute responsabilité et garantie si la société exploitant le produit ou une partie
tierce :
● ignore ce document.
● n'utilise pas le produit pour l'usage prévu.
● apporte des modifications au produit (conversions, changements, travaux de maintenance, etc.)
qui ne sont pas mentionnées dans le manuel de l'utilisateur correspondant.
● utilise le produit avec des accessoires qui ne sont pas mentionnés dans le manuel de l'utilisateur
correspondant.
L'opérateur est responsable du gaz de procédé employé.
2.7
Conditions propriétaire
Travailler en toute sécurité
1. Le produit ne peut être utilisé que s'il est en parfait état technique.
2. Le produit doit être utilisé selon l'usage pour lequel il a été conçu, seulement conformément au
mode d'emploi, dans le respect des consignes de sécurité et en restant conscient des dangers
qu'il implique.
3. Suivez les instructions ci-dessous et assurez-vous que ces instructions soient suivies :
– Utilisation conforme
– Consignes de sécurité généralement applicables et règles de prévention des accidents
– Normes et directives applicables au niveau local, national et international
– Directives et régulations supplémentaires relatives au produit
4. Utiliser exclusivement des pièces d'origine et approuvées par Pfeiffer Vacuum.
5. Conserver le mode d'emploi accessible sur le lieu d'installation du produit.
6. Garantir la qualification du personnel.
2.8
Qualification personnelle
L'utilisation décrite dans ce document doit être confiée à des personnes disposant des qualifications
professionnelles adéquates et de l'expérience nécessaire ou qui ont suivi la formation requise dispensée par Pfeiffer Vacuum.
Formation du personnel
1. Former le personnel technique sur le produit.
2. Ne laisser le personnel à former travailler avec et sur le produit que sous la supervision d'un personnel qualifié.
3. Seul un personnel technique formé est autorisé à travailler avec le produit.
4. Avant de commencer à travailler, s'assurer que le personnel engagé a lu et compris ce mode
d'emploi et tous les documents pertinents, en particulier les informations relatives à la sécurité, à
l'entretien et à la réparation.
2.8.1
Garantir la qualification du personnel
Spécialistes des travaux mécaniques
Seuls des spécialistes qualifiés peuvent effectuer des travaux mécaniques. Selon la définition de ce document, les spécialistes sont des personnes responsables de la construction, de l'installation mécanique, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes :
● Compétences dans le domaine mécanique conformément aux régulations nationales en vigueur
● Connaissance de cette documentation
Spécialisation dans les travaux d'ingénierie électriques
Seul un électricien qualifié peut effectuer des travaux d'ingénierie électriques. Selon la définition de ce
document, les électriciens sont des personnes responsables de l'installation électrique, de la mise en
service, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes :
● Compétences dans le domaine de l'ingénierie électrique conformément aux régulations nationales
en vigueur
● Connaissance de cette documentation
15/54
Sécurité
De plus, ces personnes doivent être familiarisées avec les réglementations et la législation en matière
de sécurité en vigueur, ainsi que les normes, directives et lois mentionnées dans cette documentation.
Les personnes mentionnées ci-dessus doivent avoir obtenu expressément l'autorisation d'utilisation afin
de mettre en service, de programmer, de configurer, de marquer et de mettre à la terre les appareils,
systèmes et circuits conformément aux standards technologiques en matière de sécurité.
Personnes qualifiées
Seules les personnes spécialement formées peuvent effectuer toutes les opérations relatives au transport, à l'entreposage, à l'utilisation et à la mise au rebut. Ce type de formation doit garantir que ces personnes sont capables d'exécuter correctement les activités et opérations requises, et en toute sécurité.
2.8.2
Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation
Formations avancées
Pfeiffer Vacuum propose des formations avancées pour les niveaux de maintenance 2 et 3.
Les personnes adéquatement qualifiées sont :
● Maintenance de niveau 1
─ Client (spécialiste formé)
● Maintenance de niveau 2
─ Client avec formation technique
─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum
● Maintenance de niveau 3
─ Client avec formation à l'entretien Pfeiffer Vacuum
─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum
2.8.3
Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum
Pour une utilisation optimale et sans problème de ce produit, Pfeiffer Vacuum propose une gamme
complète de cours et de formations techniques.
Pour plus de précisions, contacter le service de formation technique Pfeiffer Vacuum.
2.9
Conditions opérateur
Analyse des documents et données concernés
1. Lire, analyser et respecter le mode d'emploi ainsi que les instructions de travail préparées par la
société d'exploitation, en particulier les consignes de sécurité et les avertissements.
2. L'installation, l'utilisation et l'entretien du produit doivent être exécutés exclusivement conformément au manuel de l'utilisateur.
3. Exécuter toutes les opérations uniquement sur la base du manuel de l'utilisateur et des documents pertinents.
4. Conforme aux limites d'application.
5. Respecter les données techniques.
6. Si ce manuel de l'utilisateur ne permet pas de répondre à toutes les questions posées lors de l'utilisation ou de l'entretien du produit, contacter le Centre de service Pfeiffer Vacuum.
– Des informations sont disponibles dans la zone de service Pfeiffer Vacuum.
16/54
Transport et stockage
3 Transport et stockage
AVIS
Dégâts causés par un transport incorrect
Un transport dans un emballage incorrect ou la non-installation de tous les verrous de transport peut
endommager le produit.
► Conforme aux instructions pour un entreposage en toute sécurité.
AVIS
Risque de détériorations causées par un entreposage incorrect
Un entreposage incorrect provoquera des dégâts sur le produit.
Les charges statiques, l'humidité, etc., provoquent des dégâts sur les composants électroniques.
► Conforme aux instructions pour un entreposage en toute sécurité.
Transport du produit en toute sécurité
1. Prendre en compte le poids du produit.
2. Dans la mesure du possible, toujours transporter ou expédier le produit dans son emballage d'origine.
3. Toujours utiliser un emballage compact qui protège le produit des chocs.
4. Retirer le cache de protection et les dispositifs protecteurs de transport seulement juste avant
l'installation.
5. Avant chaque transport, les blocages et les protections correspondants doivent être remontés.
Stockage du produit en toute sécurité
1. Conserver le produit dans un endroit frais, sec et sans poussière, où il n’est pas soumis à des
chocs ni à des vibrations mécaniques.
2. Toujours utiliser un emballage compact qui protège le produit des chocs.
3. Dans la mesure du possible, stocker le produit dans son emballage d'origine.
4. Stocker les composants électroniques dans un emballage antistatique.
5. Maintenir la température d’entreposage admissible.
6. Éviter les fortes variations de températures ambiantes.
7. Éviter un taux d'humidité élevé dans l'air.
8. Fermer les raccords avec les bouchons de protection d'origine.
9. Protéger le produit avec les protections de transport d'origine (si disponibles).
17/54
Description du produit
4 Description du produit
4.1
Identification du produit
Toutes les données de la plaque signalétique sont nécessaires pour identifier assurément le produit
pour toute communication avec Pfeiffer Vacuum.
Enregistrement des données de la plaque signalétique
1. Relever les données sur la plaque signalétique produit.
2. Enregistrer ces données.
3. Toutes les caractéristiques de la plaque signalétique doivent toujours être disponibles.
4.2
Contenu de la livraison
Pièces incluses dans la fourniture :
● Jauge
● Brèves instructions
Déballage du produit et contrôle du contenu de la livraison
1. Déballer le produit.
2. Déposez les sécurités et les protections pour le transport, etc.
3. Rangez les sécurités et les protections pour le transport dans un endroit sûr.
4. Vérifier que toutes les pièces sont présentes.
5. Contrôler qu'aucune pièce n'a été endommagée.
4.3
Fonction
La jauge a 2 systèmes de mesure :
● Système de mesure Pirani
● Système de mesure à cathode froide fonctionnant selon le principe de magnétron inversé
Le circuit de mesure Pirani est toujours enclenché. Le circuit de mesure à cathode froide contrôlé par le
circuit de mesure Pirani est seulement activé par la jauge lorsque les pressions atteignent p < 1 × 10-2
hPa. La liaison spécifique des deux systèmes de mesure garantit que les systèmes de mesure réagissent généralement comme un système de mesure normalisé pour l’utilisateur. La relation entre le signal
de mesure et la pression sur toute la gamme de mesure est de type logarithmique.
La jauge applique la configuration de mesure optimale pour le domaine de pression respectif :
1000 hPa
10-4 hPa
Cold Cathode
5×10-9 hPa
Fig. 1:
18/54
Pirani
10-2 hPa
Configuration de mesure
Installation
5 Installation
5.1
Raccordement du vide
DANGER
Danger de mort par électrocution
Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie.
► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé.
► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. (Les raccordement CF et VCR remplissent ces conditions.)
► Utilisez des anneaux de centrage et des circlips à couche conductrice pour les raccordements
KF.
DANGER
Danger de mort par électrocution
En l'absence de raccordement à la terre, la circulation de la tension est dangereuse en cas de contact et peut endommager les composants électroniques.
► Serrez toujours l’unité électronique avec la vis moletée.
► Vérifiez que la vis moletée de l’unité électronique a été serrée correctement.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide
L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide
peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant
être également toxique.
Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des
pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique.
► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide.
► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression.
► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un
anneau de serrage).
► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur.
AVIS
Défaillance due à la contamination et à la détérioration
Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et
entraîne des mesures incorrectes. La saleté (par ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts
nuisent au fonctionnement.
► Lors de l’assemblage et de la maintenance sur les systèmes à vide poussé ou à ultra-vide, veiller
à toujours porter des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre.
► Utiliser uniquement des outils propres.
► Lors de l’assemblage, veiller à ce que les brides de raccordement soient sans graisse.
► Retirer les capuchons de protection et les caches de protection des brides et des raccordements
uniquement lorsque cela est nécessaire.
► Effectuer toutes les opérations dans un espace bien éclairé.
AVIS
Éclats électriques liés à l’hélium
L'hélium peut causer des éclats électriques dans les circuits électroniques de l’unité, ce qui va les
détruire.
► Mettez l’unité hors circuit avant d’effectuer un test d'étanchéité.
► Déposez l’unité électronique avant d’effectuer un test d'étanchéité.
19/54
Installation
2
1
Fig. 2:
Raccordement du vide
1 Capuchon de protection
2
Pièce de tensionnement
Procédure
1. Vérifiez que la température de fonctionnement autorisée du jauge n’est pas dépassée vers le
haut.
2. Respectez l’espace nécessaire au raccordement électrique (p. ex. rayons de courbure autorisés
pour les câbles).
3. Montez la jauge en éliminant dans la mesure du possible toute exposition éventuelle aux vibrations.
– Si la jauge est soumis à des vibrations, cela entraîne généralement des divergences des valeurs de mesure.
4. Vérifiez que la position montée est appropriée.
5. Recommandation : Montez la jauge avec une position de service horizontale ou verticale.
– Les condensats et les particules ne pourront ainsi pas s'accumuler dans la chambre de mesure.
– Vous devez installer la jauge à l’horizontale si vous voulez utiliser la température de service
maximale de la bride de 150 °C.
6. Si nécessaire, montez un joint à anneau de centrage et un filtre en cas de risque de contamination pendant le fonctionnement ou comme dispositif de protection du système de mesure contre la
contamination.
7. Recommandation : retirez temporairement l’unité électronique du jauge si le montage de la bride
est seulement possible avec l'unité magnétique démontée.
– Ceci facilitera l’installation du raccord à bride CF.
8. Assurez-vous que les deux potentiomètres du jauge sont facilement accessibles avec un tournevis, une fois le montage terminé.
9. Retirez le capuchon de protection et rangez-le dans un endroit sûr.
10. Raccordez la jauge au système de vide.
11. S’il s'était avéré nécessaire de retirer l’unité magnétique du jauge, réinstallez-la.
5.2
Dépose/installation de l'unité magnétique
AVIS
Défaillance due à la contamination et à la détérioration
Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et
entraîne des mesures incorrectes. La saleté (par ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts
nuisent au fonctionnement.
► Lors de l’assemblage et de la maintenance sur les systèmes à vide poussé ou à ultra-vide, veiller
à toujours porter des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre.
► Utiliser uniquement des outils propres.
► Lors de l’assemblage, veiller à ce que les brides de raccordement soient sans graisse.
► Retirer les capuchons de protection et les caches de protection des brides et des raccordements
uniquement lorsque cela est nécessaire.
► Effectuer toutes les opérations dans un espace bien éclairé.
La dépose de l’unité magnétique va faciliter l’installation du jauge.
20/54
Installation
4
3
2
1
5
Fig. 3:
Dépose/installation de l'unité magnétique (recommandation pour CF-F)
1 Chambre de mesure
2 Vis à tête hexagonale
3 Unité magnétique
4
5
Unité électronique
Vis moletée
Dépose de l’unité magnétique
Outillage nécessaire
● Clé Allen (1,5 WAF)
● Clé plate (WAF 7 mm)
1. Desserrez la vis moletée du côté de l'unité électronique.
2. Déposez l’unité électronique sans exercer de mouvement rotatif.
3. Desserrez la vis à tête hexagonale sur l’unité magnétique.
4. Retirez l’unité magnétique.
– La séparation de l’unité magnétique et de la chambre de mesure est plus difficile en raison de
l’effet de la force magnétique et de leur tendance à facilement basculer.
Installation de l’unité magnétique
Outillage nécessaire
● Clé Allen (1,5 WAF)
● Clé plate (WAF 7 mm)
1. Installez l’unité magnétique.
– L’installation de l’unité magnétique est plus difficile en raison de l’effet de la force magnétique
et de sa tendance à facilement basculer.
2. Fixez la vis à tête hexagonale sur l’unité magnétique.
3. Installez l’unité électronique avec précaution.
– Le connecteur mâle de l’élément Pirani doit s’engager dans l’ouverture correspondante de
l’unité électronique.
4. Poussez l’unité électronique jusqu’à la butée.
5. Fixez la vis moletée du côté de l'unité électronique.
5.3
Raccordement électrique
DANGER
Danger de mort en raison des tensions de contact dangereuses
Les tensions supérieures à 30 V (CA) ou 60 V (CC) sont considérées comme dangereuses selon la
norme EN 61010. Un contact avec une tension de contact dangereuse entraîne un risque de blessures ou un danger de mort par choc électrique.
► Raccordez le produit seulement aux appareils qui remplissent les critères suivants :
● Conditions de tension extra-basse de protection de terre (PELV)
● Source de puissance limitée (LPS) classe 2
► Fixez la ligne sur le produit.
– Les équipements de contrôle et de mesure Pfeiffer Vacuum remplissent ces conditions.
21/54
Installation
AVIS
Risque d’endommagement lié à un raccordement incorrect
Un raccordement incorrect ou une polarité incorrecte, une tension d'alimentation non autorisée va
endommager la jauge.
► Raccordez toujours la terre d'alimentation (broche 5) à la terre de l’unité d'alimentation.
► Raccordez toujours le blindage (broche 6) à la terre de l’unité d'alimentation.
Pour le fonctionnement du jauge avec une unité de contrôle et de mesure de la pression totale Pfeiffer
Vacuum, vous avez besoin d’un câble de mesure ActiveLine Accessories. Sinon, vous pouvez aussi fabriquer un câble de mesure spécifique à cet effet.
Raccordement électrique
Outillage nécessaire
● Clé dynamométrique (≤ 0,2 Nm)
Équipement nécessaire
● Câble de mesure (comme accessoire ou fabriqué à cet effet)
1. Raccordez le câble de mesure au point de mesure.
2. Resserrez la vis d'arrêt sur la prise de câble Hirschmann.
– Couple de serrage : ≤ 0,2 Nm
10Ω
10Ω
Ident
10kΩ
Fig. 4:
22/54
V
+
–
+
–
Schéma des connexions
1 Identification
2 Signal de mesure
3 Signal de masse
Fig. 5:
2
3
1
4
5
6
4
5
6
Alimentation
Masse de l’alimentation (masse)
Protection, blindage
3
2
4
5
1
6
Câble de mesure et prise de câble Hirschmann
Installation
Fabrication d’un câble de mesure
1. Respectez les étapes suivantes pour une qualité optimale de signal dans la mesure où les circuits
de terre, les différences de potentiel ou la CEM ont un effet sur le signal de mesure.
– Utilisez un câble avec un blindage tressé et un boîtier métallique de raccordement.
– Pour de plus amples informations sur le type de câble de mesure et les coupes transversales de raccordement, voir la fiche technique.
– Raccordez la terre d’alimentation directement à la terre de protection pour le bloc d’alimentation.
– Utilisez une entrée de mesure différentielle (signal séparé terre et terre d'alimentation).
– Vérifiez que la différence de potentiel entre la terre d'alimentation et le boîtier est ≤ 6 V (protection contre les surtensions).
2. Assemblez la prise de câble Hirschmann.
Assemblage de la prise de câble Hirschmann
Accessoires nécessaires
● Prise de câble Hirschmann
1. Préparez la prise de câble Hirschmann conformément au diagramme « Câble de mesure et prise
de câble Hirschmann ».
2. Soudez le câble de raccordement conformément au diagramme de raccordement.
3. Assemblez la prise de câble Hirschmann.
23/54
Fonctionnement
6 Fonctionnement
Dès que la tension d’alimentation a été établie, le signal de mesure est disponible sur le raccordement
électrique (broches 2 et 3).
Fonctionnement du jauge
1. Observez la période de stabilisation de 10 minutes minimum.
2. Observez la relation entre le signal de mesure et la pression.
3. Recommandation : La jauge doit toujours rester enclenché, quelle que soit la pression.
6.1
Affichage d'état
1
Fig. 6:
Diode électroluminescente (LED)
1 LED verte
Pression
DEL
Mode de fonctionnement
Identification
-2
Désactivé
Fonctionnement Pirani
11,1 kΩ (Pirani)
-2
allumée
Fonctionnement Pirani (système de mesure à
cathode froide pas allumé)
11,1 kΩ (Pirani)
Fonctionnement combiné
9,1 kΩ (combinaison)
p > 1×10 hPa
p < 1×10 hPa
Tab. 4:
Modes de fonctionnement
La sortie d’identification montre l'état de fonctionnement correspondant du jauge. Tant que le circuit de
mesure à cathode froide ne s’est pas allumé, le signal de sortie n’émet que la valeur Pirani mesurée
une nouvelle fois. (if p < 5 × 10-4 hPa : affichage « Pirani underrange »).
24/54
Fonctionnement
Relation : signal de mesure et pression
p
Pa
1E+04
1E–02
1E–04
overrange
overrange
1E+00
underrange
1E+02
sensor error
hPa
torr
sensor error
6.2
1E–06
1E–08
0.0 0.5
1.5
2.5
3.5
4.5
5.5
6.5
7.5
8.5
9.5
10.5
U [V]
Fig. 7:
Relation : signal de mesure et pression
p Pression
U
Signal de mesure [V]
Calcul
Gamme de validité :
● 5 × 10-9 hPa < p < 1000 hPa
● 3,8 × 10-9 Torr < p < 750 Torr
● 5 × 10-7 Pa < p < 1 × 105 Pa
Formule : p = 10(1,667 × U - d) ↔ U = c + 0,6 × log10 p
Signal de mesure (U)
Pression (p)
Constante (c) 1)
Constante (d) 2)
[V]
[hPa]
6,8
11,33
[Torr]
6,875
11,46
[micron]
5,075
8,458
[Pa]
5,6
9,333
[mbar]
Tab. 5:
Constantes
1)
En fonction de l’unité de pression
2)
En fonction de l’unité de pression
25/54
Fonctionnement
Signal de mesure (U)
Pression (p)
[V]
[hPa]
< 0,5
Erreur de capteur
0,5 – 1,82
Gamme dépassée vers le bas
1,82
5,0 × 10-9
3,8 × 10-9
5,0 ×10-7
2,0
1,0 × 10-8
7,5 × 10-9
1,0 × 10-6
2,6
1,0 × 10
-7
7,5 × 10
-8
1,0 × 10-5
3,2
1,0 × 10-6
7,5 × 10-7
1,0 × 10-4
3,8
1,0 × 10
-5
7,5 × 10
-6
1,0 × 10-3
4,4
1,0 × 10-4
7,5 × 10-5
1,0 × 10-2
5,0
1,0 × 10-3
7,5 × 10-4
0,1
5,6
1,0 × 10
-2
7,5 × 10
-3
1,0
6,2
0,1
7,5 × 10-2
10
6,8
1,0
0,75
100
7,4
10
7,5
1000
8,0
100
75
1,0 × 104
8,6
1000
750
1,0 × 105
8,6 – 9,5
Gamme dépassée vers le haut
9,5 – 10,5
Erreur de capteur (Pirani défectueux)
Tab. 6:
6.3
[Torr]
[Pa]
Tableau de conversion
Dépendance du type de gaz
Le signal de mesure dépend du type de gaz. Les caractéristiques s’appliquent pour l’azote (N2), l’oxygène (O2), l’air sec et le monoxyde de carbone (CO). Pour le fonctionnement du jauge avec une unité
de contrôle et de mesure de pression totale Pfeiffer Vacuum (TPG), vous pouvez saisir un facteur de
calibrage pour l’ajustement de la valeur mesurée.
Plage de pression > 10-2 hPa (fonctionnement Pirani seul)
p [hPa]
102
H2 He
8
Ne
6
4
Air
N2
O2
CO
2
CO2
Ar
101
8
6
4
Freon 12
Kr
2
Xe
100
8
6
4
2
10–1
8
6
4
2
Water vapor
10–2
10–3 2
4 6 810–2 2
4 6 810–1 2
4 6 8 100
2
4 6 8 101
4 6 8 102
2
peff [hPa]
Fig. 8:
26/54
Plage de pression > 10-2 hPa, fonctionnement Pirani seul
Fonctionnement
Plage de pression comprise entre 10-6 et 0,1 hPa
p [hPa]
10–1
8
6
4
2
10–2
8
6
4
2
Ar
10–3
8
6
4
2
10–4
Air
N2
O2
CO
8
6
4
2
He
10–5
8
6
4
2
10–6
10–6 2
4 6 810–5 2
4 6 810–4 2
4 6 810–3 2
4 6 810–2 2
4 6 810–1
peff [hPa]
Fig. 9:
Plage de pression comprise entre 10-6 et 0,1 hPa
Facteurs de calibrage
Dans la plage de pression < 10-5 hPa, l’affichage est linéaire. Pour les gaz autres que l’air, vous pouvez
déterminer la pression en appliquant une simple conversion :
Calcul : Peff = C × p
● Peff
Pression efficace
● C
Facteur de calibrage
● p
Pression affichée
(Jauge calibré pour l’air)
Mélange de gaz
Des mélanges de gaz et de vapeurs font ici souvent leur apparition. Dans de tels cas, une
mesure précise est seulement possible avec des instruments de mesure de pression partielle comme un spectromètre de masse quadrupole.
Type de gaz
Facteur de calibrage (C)
Air, oxygène (O2), monoxyde de carbone (CO), azote (N2)
1,0
Hydrogène (H2)
2,4
Hélium (He)
5,9
Les facteurs de calibrage fournis ici sont des valeurs moyennes.
27/54
Fonctionnement
Type de gaz
Facteur de calibrage (C)
Néon (Ne)
4,1
Argon (Ar)
0,8
Krypton (Kr)
0,5
Xénon (Xe)
0,4
Les facteurs de calibrage fournis ici sont des valeurs moyennes.
Tab. 7:
6.4
Facteurs de calibrage pour la plage de pression < 10-5 hPa
Temporisation d'amorçage
Les systèmes de mesure à cathode froide ont une temporisation d'amorçage à l'activation. Cette temporisation d'amorçage est plus longue pour les basses pressions et est typiquement dans les unités dégazées propres :
● 10-5 hPa environ 1 seconde
● 10-7 hPa environ 20 secondes
● 5 × 10-9 hPa environ 2 minutes
Activation avec pression p < 3 x 10-9 hPa
Lors de l’activation du point de mesure avec une pression p < 3 x 10-9 hPa, le point de mesure ne détectera pas d'amorçage du système à cathode froide. Le point de mesure affiche
« Pirani underrange » (gamme Pirani dépassée vers le bas).
Entretien du fonctionnement du point de mesure
Si le point de mesure monté sur bride fonctionne en continu quelle que soit la gamme de
pression, la temporisation d'amorçage du circuit de mesure à cathode froide est toujours
négligeable (< 1 s), avec un effet minimal de stabilisation thermique.
L'amorçage est un processus statique pour lequel des dépôts même minimes peuvent avoir une grande
influence sur les surfaces intérieures. Tant que le circuit de mesure à cathode froide ne s’est pas allumé, seules les valeurs mesurées Pirani sont émises (affichage « Pirani underrange » gamme Pirani dépassée vers le bas pour des pressions p < 5 × 10-4 hPa). La sortie d’identification signale seulement le
fonctionnement Pirani.
6.5
Contamination
Garantie
Tout dysfonctionnement de l’équipement résultant directement d’une contamination et de
l’usure (comme l’aide d'amorçage) n’est pas couvert par la garantie.
La contamination du jauge dépend
● de la pression dans les enceintes à vide
● du type de fluide de process
● Contamination existante ou nouvellement accumulée ou sa pression partielle (p. ex. vapeurs, particules de process, etc.)
● Durée de service
Le fonctionnement continu dans la plage comprise entre 10-4 hPa et 10-2 hPa peut causer une contamination grave et réduire la durée de vie et les intervalles d’entretien. Avec des basses pression constantes (p < 1 × 10-6 hPa), une durée de vie de > 1 an peut être atteinte avant qu’un nettoyage ne soit nécessaire.
La contamination du jauge entraîne généralement des déviations des valeurs mesurées :
● Dans la plage des hautes pressions (1 × 10-3 hPa to 0.1 hPa), la pression affichée est trop élevée (contamination de l’élément Pirani). Le système de mesure Pirani doit être recalibré.
● Dans la plage de basses pressions (< 1 × 10-3 hPa), la pression affichée est généralement trop
basse (contamination du système à cathode froide). Une contamination excessive va causer des
28/54
Fonctionnement
instabilités (séparation des couches dans la chambre de mesure). Ceci peut entraîner des courtscircuits. Un étanchement complet de la décharge de gaz est aussi possible en cas de contamination résultant de couches isolées (affichage : « underrange » ou gamme dépassée vers le bas).
Modification du degré de contamination
Dans une certaine mesure, le niveau de contamination peut être influencé. Les vapeurs séparées dans
le plasma (p. ex. à partir du système de mesure à cathode froide) nécessitent une attention particulière.
1. Implémentez des mesures préventives géométriques (tôles de protection, angles) pour les particules se propageant en ligne droite.
2. Choisissez une position de bride avec une pression partielle de contamination minimale.
3. Mettez le point de mesure hors circuit en cas de vapeurs de séparation.
ou
Isolez le point de mesure avec une vanne en cas de vapeurs de séparation.
29/54
Démontage
7 Démontage
DANGER
Danger de mort par électrocution
Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie.
► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé.
► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. (Les raccordement CF et VCR remplissent ces conditions.)
► Utilisez des anneaux de centrage et des circlips à couche conductrice pour les raccordements
KF.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide
L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide
peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant
être également toxique.
Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des
pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique.
► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide.
► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression.
► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un
anneau de serrage).
► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur.
AVIS
Défaillance due à la contamination et à la détérioration
Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et
entraîne des mesures incorrectes. La saleté (par ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts
nuisent au fonctionnement.
► Lors de l’assemblage et de la maintenance sur les systèmes à vide poussé ou à ultra-vide, veiller
à toujours porter des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre.
► Utiliser uniquement des outils propres.
► Lors de l’assemblage, veiller à ce que les brides de raccordement soient sans graisse.
► Retirer les capuchons de protection et les caches de protection des brides et des raccordements
uniquement lorsque cela est nécessaire.
► Effectuer toutes les opérations dans un espace bien éclairé.
1
2
3
Fig. 10:
Démontage du jauge
1 Câble de mesure
2 Pièce de tensionnement
30/54
3
Capuchon de protection
Démontage
Démontage du jauge
1. Décompresser le système de vide.
2. Mettez la jauge hors circuit.
3. Desserrez la vis d'arrêt sur la prise de câble Hirschmann du jauge.
4. Déconnectez le câble de mesure du jauge.
5. Recommandation : retirez temporairement l’unité magnétique du jauge si le démontage de la bride est seulement possible avec l'unité magnétique démontée.
– Ceci facilitera le démontage du raccord à bride CF.
6. Déconnectez la jauge du système de vide.
7. Mettez le capuchon de protection sur la bride de connexion.
31/54
Maintenance
8 Maintenance
Maintenance dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum
Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de services de maintenance pour tous les
produits.
Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter un Centre de service Pfeiffer Vacuum pour organiser la maintenance de produits et de composants défectueux.
Maintenance dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum
Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter le Centre de service Pfeiffer Vacuum local pour
organiser la maintenance de produits et de composants défectueux.
Annulation de la garantie
Les conditions suivantes entraînent une annulation de la garantie :
● Dégâts ou suppression du sceau de fermeture
● Ouverture de l'appareil pendant la période de garantie
Contacter le Centre de service Pfeiffer Vacuum en cas d'intervalle de maintenance raccourcis lié au processus.
Commencer par lire intégralement les sections
Lire intégralement la section consacrée aux instructions de travail avant de commencer à
travailler.
8.1
Calibrage du jauge
Pfeiffer Vacuum a calibré la jauge à l’usine sur les valeurs standards.
Le circuit de mesure à cathode froide dominant a été calibré en usine sur une valeur fixe par Pfeiffer
Vacuum pour la plage de basse pression (< 1 × 10-3 hPa). Toutefois, il est possible de réajuster le circuit de mesure Pirani. Le calibrage a un effet négligeable sur la plage de pression de pression entre
approximativement 10-2 hPa et 102 hPa.
Préparation du calibrage
1. Le calibrage doit être effectué régulièrement.
– L’utilisation dans d'autres conditions climatiques, le fonctionnement sur le long terme, des
températures extrêmes, une orientation différente de montage, le vieillissement ou la contamination peuvent entraîner une fluctuation du point zéro dans le circuit de mesure Pirani. Par
conséquent, un calibrage ou un nettoyage devient nécessaire.
2. Le calibrage doit être réalisé dans les mêmes conditions ambiantes et avec la même orientation
de montage que celles qui sont normalement utilisées pour le point de mesure.
3. Les joints avec un anneau de centrage et un filtre doivent être contrôlés à la recherche d'une contamination éventuelle.
4. Remplacez ces joints s’ils sont contaminés ou endommagés.
5. Réalisez la mise en service du point de mesure.
Vous pouvez maintenant calibrer.
32/54
Maintenance
VACUUM
Compact
FullRangeTM
Gauge
1
3
Fig. 11:
2
Calibrage du jauge (HV)
1 Bouton
2 Potentiomètre « HV »
3
Plaque signalétique (pivotante)
Calibrage HV
Outillage nécessaire
● Tournevis (1,5 mm)
● Stylet (max. Ø 3 mm)
Accessoires requis
● Appareil de commande ou voltmètre
VACUUM
Compact
FullRangeTM
Gauge
1. Activez la jauge aussi près que possible de la position de fonctionnement subséquente.
2. Évacuez le système de vide jusqu’à p << 10-4 hPa.
3. Attendez au moins 10 minutes.
4. Tournez la plaque signalétique jusqu’en butée dans le sens antihoraire.
5. Appuyez sur le bouton à l’aide d'un stylet tout en calibrant simultanément le potentiomètre « HV »
avec l’appareil de commande ou le voltmètre.
– Appareil de commande : 5 × 10-4 hPa
– Voltmètre : 4,2 V
6. Pivotez le potentiomètre d’1/3 de tour dans le sens antihoraire.
7. Retournez la plaque signalétique dans sa position d'origine.
1
2
Fig. 12:
Calibrage du jauge (ATM)
1 Potentiomètre « ATM »
2
Plaque signalétique (pivotante)
Calibrage ATM
Outillage nécessaire
● Tournevis (1,5 mm)
● Stylet (max. Ø 3 mm)
33/54
Maintenance
Accessoires requis
● Appareil de commande ou voltmètre
1. Activez la jauge aussi près que possible de la position de fonctionnement subséquente.
2. Laissez la jauge fonctionner à la pression atmosphérique pendant au moins 10 minutes.
3. Tournez la plaque signalétique jusqu’en butée dans le sens horaire.
4. Calibrez le potentiomètre « ATM » avec l’appareil de commande ou le voltmètre.
– Appareil de commande : 1 × 103 hPa
– Voltmètre : 8,6 V
5. Retournez la plaque signalétique dans sa position d'origine.
8.2
Démontage du jauge
AVIS
Défaillance due à la contamination et à la détérioration
Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et
entraîne des mesures incorrectes. La saleté (par ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts
nuisent au fonctionnement.
► Lors de l’assemblage et de la maintenance sur les systèmes à vide poussé ou à ultra-vide, veiller
à toujours porter des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre.
► Utiliser uniquement des outils propres.
► Lors de l’assemblage, veiller à ce que les brides de raccordement soient sans graisse.
► Retirer les capuchons de protection et les caches de protection des brides et des raccordements
uniquement lorsque cela est nécessaire.
► Effectuer toutes les opérations dans un espace bien éclairé.
1
18
16
17
19
20
2
15
3
5
4
14
6
13
7
10
12
Fig. 13:
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
34/54
9
8
11
Pièces individuelles
Unité électronique
Vis moletée
Rondelle de blocage (4×)
Vis à tête hexagonale (4×)
Élément d’isolement
Vis moletée (isolement)
Pièce de pression
Extension d’anode
Anode
Aide d'amorçage
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
Anneau de centrage
Joint en métal (extension d’anode)
Circlip
Insert de polarité
Chambre de mesure
Joint cuivre
Raccord à vis
Élément de mesure Pirani
Vis à tête hexagonale
Unité magnétique
Maintenance
Démontage du jauge
Outillage nécessaire
●
●
●
●
●
●
Clé Allen (1,5 WAF)
Clé Allen (3,0 WAF)
Clé plate (WAF 6 mm)
Clé plate (WAF 7 mm)
Pinces pour circlip
Pinces
1. Déconnectez la jauge du système de vide.
2. Desserrez la vis moletée du côté de l'unité électronique.
3. Déposez l’unité électronique sans exercer de mouvement rotatif.
– Il est impossible de retirer le capot de l’unité électronique.
4. Desserrez la vis à tête hexagonale sur l’unité magnétique.
5. Retirez l’unité magnétique.
– La séparation de l’unité magnétique et de la chambre de mesure est plus difficile en raison de
l’effet de la force magnétique et de leur tendance à facilement basculer.
6. Retirez le circlip et l’insert de polarité de la chambre de mesure.
7. Desserrez la vis moletée (isolement) et retirez l’élément d’isolement sans le tordre.
8. Retirez les vis à tête hexagonale et les rondelles de blocage à l’arrière de la chambre de mesure.
9. Retirez les pièces suivantes avec le plus grand soin et sans exercer de force sur l’élément de mesure Pirani
● la pièce de pression,
● l’extension d’anode,
● l’anode complète,
● le joint en métal et l’anneau de centrage.
10. Desserrez le raccord de pression de l’élément de mesure Pirani.
11. Retirez l’élément de mesure Pirani avec le joint cuivre.
8.3
Nettoyage des composants
DANGER
Chocs électriques en raison de la pénétration d'humidité dans l'appareil
L’humidité qui a pénétré dans l’appareil cause des blessures par électrisation.
► L'appareil ne peut être utilisé que dans un environnement sec.
► L'appareil doit être utilisé à distance de tout liquide et source d'humidité.
► Ne pas allumer l'appareil si un liquide y a pénétré. Contacter le Service Pfeiffer Vacuum.
► Toujours déconnecter l'alimentation électrique avant de nettoyer l'appareil.
AVERTISSEMENT
Risques pour la santé dus aux agents nettoyants
Les agents nettoyants utilisés constituent des risques pour la santé.
► Respecter les réglementations en vigueur pour la manipulation des agents nettoyants.
► Respecter les mesures de sécurité concernant la manipulation et la mise au rebut des agents
nettoyants.
► Attention aux réactions potentielles avec les matériaux du produit.
AVIS
Dégâts causés par la pénétration d'humidité
La pénétration d'humidité, sous la forme de condensation ou d'égouttement, endommage l'appareil.
► Protéger l'appareil contre la pénétration de l'humidité.
► L'appareil ne peut être utilisé que dans un environnement propre et sec.
► L'appareil doit être utilisé à distance de tout liquide et source d'humidité.
► Des précautions spécifiques doivent être prises en cas de risque d'égouttement d'eau.
► Ne pas allumer l'appareil si un liquide y a pénétré. Contacter le Centre de service Pfeiffer Vacuum.
35/54
Maintenance
AVIS
Dégâts provoqués par des agents nettoyants inadaptés
L'usage d'agents nettoyants inadaptés endommage le produit.
► Ne pas utiliser de solvants qui endommageraient sa surface.
► Ne pas utiliser d'agents nettoyants agressifs ou abrasifs.
Nettoyage de la chambre de mesure
Pfeiffer Vacuum recommande de remplacer l'élément de mesure Pirani lors du nettoyage
de la chambre de mesure.
Remplacement de l’élément de mesure Pirani
Pfeiffer Vacuum recommande de remplacer les éléments de mesure Pirani fortement contaminés ou défectueux.
Nettoyage externe de l’appareil
Produits consommables requis
● Alcool industriel
● Chiffon (doux, non pelucheux)
1. Utilisez toujours un chiffon imbibé d'alcool industriel pour le nettoyage externe.
2. Laissez sécher les surfaces complètement après le nettoyage.
Nettoyage de la chambre de mesure et de l’insert de polarité
Produits consommables requis
● Chiffon de lustrage (degré 400 ou Scotch Brite)
● Alcool industriel
1. Démontez la jauge autant que nécessaire.
2. Vérifiez que tous les travaux sur les surfaces d'étanchéité sont exécutés de façon concentrique.
3. Frottez les parois internes de la chambre de mesure et l’insert de polarité avec le chiffon doux
jusqu’à ce qu’ils brillent.
4. Rincez la chambre de mesure et l’insert de polarité avec de l’alcool industriel.
5. Laissez bien sécher les pièces.
6. Remontez la jauge.
Nettoyage de l’anode
Produits consommables requis
● Chiffon de lustrage (degré 400 ou Scotch Brite)
● Alcool industriel
Outillage nécessaire
● Pinces
1. Démontez la jauge autant que nécessaire.
2. Enlevez l'ancienne aide d’amorçage avec des pinces.
3. Frottez la broche de l’anode avec un chiffon doux jusqu’à ce qu’elle brille.
– Ne tordez pas l'anode.
– Ne soumettez pas la céramique à un traitement mécanique.
4. Rincez l’anode avec de l’alcool industriel.
5. Laissez bien sécher l’anode.
6. Remplacez l’aide d'amorçage.
7. Remontez la jauge.
Nettoyage de l’élément de mesure Pirani
Produits consommables requis
● Alcool industriel
Accessoires requis
● Pistolet à air chaud (< 150 °C)
36/54
Maintenance
Pièces détachées requises
● Raccord à vis
● Joint cuivre
1. Démontez la jauge autant que nécessaire.
2. Retirez le raccord à vis et le joint cuivre de l'élément de mesure Pirani.
3. Remplissez le petit tube de l'élément de mesure avec de l’alcool industriel.
4. Laissez l’alcool industriel agir quelque temps.
5. Videz l’alcool industriel qui se trouve dans le petit tube.
6. Laissez bien sécher le petit tube.
– Vous pouvez utiliser un pistolet à air chaud.
7. Placez un joint cuivre neuf et le raccord à vis sur l'élément de mesure Pirani.
8. Remontez la jauge.
8.4
Assemblage du jauge
DANGER
Danger de mort par électrocution
En l'absence de raccordement à la terre, la circulation de la tension est dangereuse en cas de contact et peut endommager les composants électroniques.
► Serrez toujours l’unité électronique avec la vis moletée.
► Vérifiez que la vis moletée de l’unité électronique a été serrée correctement.
AVIS
Défaillance due à la contamination et à la détérioration
Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et
entraîne des mesures incorrectes. La saleté (par ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts
nuisent au fonctionnement.
► Lors de l’assemblage et de la maintenance sur les systèmes à vide poussé ou à ultra-vide, veiller
à toujours porter des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre.
► Utiliser uniquement des outils propres.
► Lors de l’assemblage, veiller à ce que les brides de raccordement soient sans graisse.
► Retirer les capuchons de protection et les caches de protection des brides et des raccordements
uniquement lorsque cela est nécessaire.
► Effectuer toutes les opérations dans un espace bien éclairé.
AVIS
Éclats électriques liés à l’hélium
L'hélium peut causer des éclats électriques dans les circuits électroniques de l’unité, ce qui va les
détruire.
► Mettez l’unité hors circuit avant d’effectuer un test d'étanchéité.
► Déposez l’unité électronique avant d’effectuer un test d'étanchéité.
1
2
3
Fig. 14:
Outil de montage pour l’aide d'amorçage
1 Anode
2 Aide d'amorçage
3
Outil de montage
37/54
Maintenance
Remplacement de l’aide d'amorçage
Outillage nécessaire
● Outil de montage pour l’aide d'amorçage
Pièce détachée requise
● Aide d'amorçage
1. Insérez la nouvelle aide d'amorçage dans l'outil de montage.
2. Poussez avec précaution l’anode (neuve ou nettoyée) dans l'aide d'amorçage en la centrant et
parallèlement à l'axe de l’outil.
3. Insérez l’anode d’env. 15 mm.
Positionnement de l'anode
Le positionnement final se fera uniquement après l’installation de l’anode.
Les différentes pièces sont disponibles ici : (voir chapitre « Démontage du jauge », page 34)
Assemblage du jauge
Outillage nécessaire
●
●
●
●
●
●
●
Clé Allen (1,5 WAF)
Clé Allen (3,0 WAF)
Clé plate (WAF 6 mm)
Clé plate (WAF 7 mm)
Pinces pour circlip
Outil de montage pour l’aide d'amorçage
Pinces
Pièces détachées requises
● Kit de réparation BN 846 242 -T
Produits consommables requis
● Azote sec pour le soufflage
1. Assurez-vous que les surfaces d'étanchéité et la céramique (anode) sont bien propres.
2. Glissez le raccord à vis et le joint cuivre sur le petit tube de l’élément de mesure Pirani.
3. Insérez l'élément de mesure Pirani, raccord à vis et joint cuivre compris, dans l’alésage conique
de la chambre de mesure.
4. Tout en maintenant l’élément de mesure Pirani, exercez une légère pression et serrez le raccord
à vis à la main.
5. Serrez le raccord à vis d’un tour avec la clé plate.
6. Insérez le nouveau joint en métal et l'anneau de centrage en les centrant dans la chambre de mesure.
7. Insérez avec précaution l’anode, avec l'aide d’amorçage et l’extension d’anode installée, dans la
chambre de mesure.
8. Installez avec précaution la pièce de pression dans la chambre de mesure et serrez les vis à tête
hexagonale et les rondelles de blocage de manière uniforme jusqu’en butée.
9. Poussez avec précaution d'élément d’isolement sur la pièce de pression.
10. Bloquez l’élément d’isolement avec la vis moletée (isolement).
11. Poussez doucement la chambre de mesure avec l’anode dans l’outil de montage jusqu’en butée
en la centrant parallèlement à l’axe de l’outil.
– Cette opération permet de positionner l’aide d’amorçage.
12. Maintenez la chambre de mesure avec la bride orientée vers le bas et évacuez les particules encore présentes dans la chambre de mesure avec de l’azote sec.
13. Poussez l’insert de polarité dans la chambre de mesure jusqu’à la butée mécanique.
14. Insérez le circlip correctement sur l'insert de polarité.
15. Procédez à un contrôle visuel pour vous assurer que la broche de l’anode est centrée par rapport
à l'alésage central de l’insert de la broche.
– Excentrage maximal autorisé = 0,5 mm
16. Si possible, effectuez un test d'étanchéité.
– Taux de fuite < 10-9 hPa l/s
– Si nécessaire, resserrez doucement le raccord à vis.
38/54
Maintenance
17. Installez l’unité magnétique.
– L’installation de l’unité magnétique est plus difficile en raison de l’effet de la force magnétique
et de sa tendance à facilement basculer.
18. Fixez la vis à tête hexagonale sur l’unité magnétique.
19. Installez l’unité électronique avec précaution.
– Le connecteur mâle de l’élément Pirani doit s’engager dans l’ouverture correspondante de
l’unité électronique.
20. Poussez l’unité électronique jusqu’à la butée.
21. Fixez la vis moletée du côté de l'unité électronique.
22. Calibrez la jauge.
39/54
Dysfonctionnements
9 Dysfonctionnements
Garantie
Tout dysfonctionnement de l’équipement résultant directement d’une contamination et de
l’usure (comme l’aide d'amorçage) n’est pas couvert par la garantie.
Problème
Cause possible
Remède
Signal de mesure continu < 0,5 V
« Error low » (erreur basse)
Pas d'alimentation
Mettez l’alimentation en circuit
Signal de mesure continu> 9,5 V
« Error high » (erreur haute)
Élément de mesure Pirani
défectueux (filament cassé)
Remplacez l’élément de
mesure Pirani
Unité électronique non inséré complètement
Assurez-vous que l’unité
électronique est complètement insérée
La décharge de la cathode froide ne s’est pas activée.
Attendez que la décharge
de gaz s’allume. (une défaillance totale est possible
dans le cas d’une contamination avec les couches
d’isolement.)
La jauge était uniquement
activé à p < 3 × 10-9 hPa.
Laissez entrer un peu de
gaz.
Circuit de mesure Pirani
non calibré, par ex. fortement contaminé
Calibrez le circuit de mesure Pirani ou remplacez l’élément Pirani si le calibrage
n’est plus possible
Mesure de gaz lourds
Conversion conformément
à la dépendance au type de
gaz
Gaz d’échappement importants dans la chambre
de mesure à cathode froide
Nettoyez la chambre de
mesure
Jauge contaminé
Nettoyez la jauge
La LED verte s’allume et l’afficheur indique fonctionnement Pirani exclusif.
(signal de mesure continu > 4,0 V)
(« Pirani underrange ») (Gamme basse
Pirani)
Signal de mesure continu > 5 V ou affichage > 10-3 hPa, malgré un vide optimal
Signal de mesure instable
Tab. 8:
40/54
Dysfonctionnements
Expédition
10
Expédition
AVERTISSEMENT
Risque d'empoisonnement par produits contaminés
L'expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la sécurité du personnel de maintenance.
► Conforme aux instructions pour une expédition en toute sécurité.
Expédition du produit en toute sécurité
Décontamination payante
Pfeiffer Vacuum décontamine les produits qui ne sont pas clairement déclarés comme
« Sans contaminants », à votre charge.
1. L’expédition de produits microbiologiques, explosibles ou ayant subi une contamination radioactive est interdite.
2. Respecter les consignes d'expédition des pays et des sociétés de transport impliqués.
3. Les risques potentiels doivent être mis en évidence sur la face extérieure de l'emballage.
4. Télécharger la déclaration de contamination. (Pfeiffer Vacuum Service).
5. Toujours joindre une déclaration de contamination dûment remplie.
41/54
Mise au rebut
11
Mise au rebut
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
ATTENTION
Risque pour la santé en raison de substances dangereuses pour l'environnement
Les produits, fluides d'exploitations, composants électriques, gaz d'étalonnage résiduels (provenant
des fuites de test par exemple) ou similaire entraînent des risques pour la santé.
► Mettre au rebut les substances dangereuses pour l'environnement conformément aux réglementations locales.
► Mettre au rebut les gaz d'étalonnage et les fuites de test conformément aux réglementations locales.
Tri des composants
► Après le démontage, classer les composants selon les catégories suivantes en vue de leur mise
au rebut :
● composants contaminés en contact avec les gaz de procédé
● composants non contaminés sans contact avec les gaz de procédé
Mise au rebut de composants contaminés en contact avec les gaz de procédé
1. Les substances doivent être mises au rebut de manière sûre, conformément à la réglementation
locale en vigueur, si les gaz de procédé utilisés ont été contaminés par voie radioactive, toxique,
caustique ou microbiologique.
2. Respecter l'environnement et les consignes de sécurité de chaque pays.
Mise au rebut des composants qui ne sont pas en contact avec les gaz de procédé
1. Séparer les composants selon leur nature :
● composants électroniques
● composants électriques
● piles et batteries rechargeables
● composants mécaniques
2. Recycler les composants.
3. Mettre au rebut les substances de manière sûre, conformément à la réglementation locale en vigueur.
4. Respecter l'environnement et les consignes de sécurité de chaque pays.
42/54
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
12
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
Nous offrons un service de première classe
Une longue durée de vie des composants du vide, associée à des temps d’arrêt réduits, sont ce que
vous attendez clairement de nous. Nous répondons à vos besoins par des produits efficaces et un service d’exception.
Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux
composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit
Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien
évidemment.
Nos ingénieurs commerciaux et techniciens de service professionnels sont à votre disposition pour
vous assurer un soutien pratique dans le monde entier. Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de
services, allant des pièces de rechange d’origine aux accords de service.
Profitez du service Pfeiffer Vacuum
Qu'il s’agisse du service préventif sur place de notre service sur site, du remplacement rapide par des
produits de rechange comme neufs ou de la réparation dans un centre de service proche de chez
vous ; vous disposez d'une variété d’options pour maintenir la disponibilité de votre équipement. Vous
trouverez des informations détaillées ainsi que les adresses sur notre site web dans la section Pfeiffer Vacuum Service.
Des conseils sur la solution optimale sont disponibles auprès de votre interlocuteur Pfeiffer Vacuum.
Pour un déroulement rapide et efficace de la procédure de service, nous recommandons de suivre les étapes suivantes :
1. Télécharger les modèles de formulaire actuels.
─ Déclaration de demande de service
─ Demande de service
─ Déclaration de contamination
a) Démonter tous les accessoires et les conserver (toutes les pièces externes
montées telles que la vanne, le filtre d’arrivée, etc.).
b) Vidanger le fluide d'exploitation / lubrifiant si nécessaire.
c) Vidanger le fluide de refroidissement si nécessaire.
2. Remplir la demande de service et la déclaration de contamination.
ANFORDERUNG SERVICE
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
3. Envoyer les formulaires par e-mail, fax ou par courrier à votre centre de service local.
4. Vous recevrez une réponse de Pfeiffer Vacuum.
Envoi de produits contaminés
Aucune unité ne sera acceptée si elle est contaminée par des substances micro-biologiques, explosives
ou radioactives. Si les produits sont contaminés ou si la déclaration de contamination est manquante,
Pfeiffer Vacuum contactera le client avant de démarrer la maintenance. Par ailleurs, selon le produit et
le niveau de contamination, des frais de décontamination supplémentaires peuvent être facturés.
43/54
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails contenus dans la déclaration de contamination.
a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec.
b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air.
c) Sceller le produit dans un film de protection approprié.
d) Emballer le produit dans des conteneurs de transport stables appropriés uniquement.
e) Respecter les conditions de transport en vigueur.
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
6. Joindre la déclaration de contamination sur l’extérieur de l’emballage.
7. Envoyer ensuite le produit à votre centre de service local.
8. Vous recevrez un message de confirmation / un devis de la part de
Pfeiffer Vacuum.
Pour toutes les demandes de service, nos Conditions générales de vente et de livraison ainsi que nos
Conditions générales de réparation et de maintenance sont appliquées aux équipements et composants du vide.
44/54
Informations de commande
13
Informations de commande
13.1 Commande de pièces
Commande de pièces détachées, d’accessoires ou de composants optionnels
► Toujours préciser les informations suivantes pour commander des pièces détachées, des accessoires ou des composants optionnels :
● Tous les détails de la plaque signalétique
● Description et référence de commande correspondant à la liste des pièces
13.2
Pièces de rechange
1
9
8
7
4
6
Fig. 15:
1
2
3
4
5
3
2
5
Pièces de rechange
Unité électronique
Extension d’anode
Anode, complète
Aide d'amorçage
Anneau de centrage
6
7
8
9
Joint (HNV 100, 9×1.6)
Joint cuivre
Raccord à vis
Élément de mesure Pirani, avec bague en verre
Description
Numéro de
commande
Kit de maintenance
Article 4 (3×), article 5 (1×), article 6 (1×)
Non utilisé pour ce jauge : 1× rondelle
BN 846 241 -T
Kit de réparation, PKR 261, complet
Article 2 (1×), article 3 (1×), article 4 (3×), article 5 (1×), article 6 (1×), article 7 (1×),
article 8 (1×), article 9 (1×)
BN 846 242 -T
Kit de réparation, cathode froide seulement
Article 3 (1×), article 4 (3×), article 5 (1×), article 6 (1×)
BN 846 240 -T
Kit d’aide d'amorçage
Article 4 (10×)
BN 845 995 -T
Outil de montage pour l’aide d'amorçage
BG 510 600
Élément de mesure Pirani
Article 7 (1×), article 8 (1×), article 9 (1×)
BN 846 228 -T
45/54
Informations de commande
Description
Numéro de
commande
Unité électronique PKR 261
Article 1 (1×)
PT 120 140 -T
Système de mesure, complet (DN 25 ISO-KF)
BN 846 472 -T
Système de mesure, complet (DN 40 ISO-KF)
BN 846 473 -T
Système de mesure, complet (DN 40 CF- F)
BN 846 474 -T
Jauge de rechange (DN 25 ISO-KF) 3)
PT R26 250 -A
Jauge de rechange (DN 40 ISO-KF) 4)
PT R26 251 -A
Jauge de rechange (DN 40 CF-F) 5)
PT R26 252 -A
13.3 Accessoires
Installation et fonctionnement des accessoires
Pfeiffer Vacuum propose une série d’accessoires spéciaux, compatibles avec ses produits.
● Les informations et options de commande pour les accessoires ActiveLine sont disponibles en ligne.
46/54
Description
Numéro de commande
Câble de raccordement, 3 m
PT 448 250 -T
Câble de raccordement, 6 m
PT 448 251 -T
Câble de raccordement, 10 m
PT 448 252 -T
Prise de raccordement
B 4707 283 MA
Blindage magnétique
PT 443 155 -X
3)
Vous devez renvoyer la jauge défectueux à Pfeiffer Vacuum.
4)
Vous devez renvoyer la jauge défectueux à Pfeiffer Vacuum.
5)
Vous devez renvoyer la jauge défectueux à Pfeiffer Vacuum.
Données techniques et dimensionnelles
14
Données techniques et dimensionnelles
Paramètre
Valeur
Plage de mesure (air, N2)
entre 5×10-9 et 1000 hPa
Pression maximum (absolue)
10 000 hPa, limitée aux gaz inertes et aux températures < 55 °C
Principe de mesure
Pirani/cathode froide
Précision
environ ±30 % dans la plage comprise entre 1 × 10-8 et 100 hPa
Répétabilité
environ ±5 % dans la plage comprise entre 1 × 10-8 et 100 hPa
Calibrage du jauge (HV)
(circuit de mesure Pirani)
à < 1 × 10-4 hPa (avec le bouton simultanément actionné)
Calibrage du jauge (ATM)
(circuit de mesure Pirani)
à la pression atmosphérique
Tab. 9:
Valeurs de mesure et de pression
Paramètre
Signal de sortie (signal
de mesure)
Valeur
Gamme de tension
approx. 0 V jusqu’à approx. +10,5 V
Signal d'erreur
< 0,5 V (pas d'alimentation)
> 9,5 V (élément de mesure Pirani défectueux, filament cassé)
Rapport tension-pression
logarithmique, élévation 0,6 V/décade
Impédance de sortie
2 × 10 Ω
Impédance de charge (charge minimum)
10 kΩ, résistant aux courts-circuits
Temps de réponse
en fonction de la pression
p > 10 hPa
approx. 10 ms
p = 10-8 hPa
approx. 1 s
Fonctionnement Pirani seulement
Résistance 11,1 kΩ contre la terre
d'alimentation
Fonctionnement combiné Pirani/cathode froide
Résistance 9,1 kΩ contre la terre d'alimentation
-6
Identification du jauge
Conditions préalables :
● La polarité de la broche 1 doit toujours être positive par rapport à la
terre d'alimentation.
● Mesures avec courant continu : Courant de mesure dans la gamme
0,2 à 0,3 mA
● Mesures avec tension continue : Tension de mesure dans la gamme
2à3V
Tension d’alimentation
sur la jauge
15,0 à 30,0 V CC
sur l’unité d'alimentation avec
la longueur de câble max. 6)
16,0 à 30,0 V CC
Ondulation
1 Vpp max.
Tension de fonctionnement (dans la chambre de mesure)
≤ 3,3 kV
Courant de service (dans la chambre de mesure)
≤ 500 μA
Entrée de puissance
≤2W
Fusible (à raccorder en série)7)
≤ 1 AT
Raccordement (électrique)
Hirschmann GO 6 (6 broches)
Câble de mesure
5 broches, blindage inclus
Longueur de câble
75 m max. (0,25 mm2/conducteur)
100 m max. (0,34 mm2/conducteur)
300 m max. (1,0 mm2/conducteur)
6)
La tension minimum de l’unité d'alimentation doit être augmentée proportionnellement à la longueur de câble.
7)
Les équipements de contrôle et de mesure Pfeiffer Vacuum remplissent ces conditions.
47/54
Données techniques et dimensionnelles
Paramètre
Valeur
Concept de mise à la
terre
Tab. 10:
(voir chapitre « Raccordement électrique », page 21)
Raccord de vide et signal de
masse
Connecté avec 10 kΩ (tension différentielle max. en termes de sécurité
± 50 V, en termes de précision ± 10 V)
Terre d'alimentation et signal
de masse
Raccordés séparément, mesure différentielle recommandée pour les longueurs de câble supérieures (≥ 6 m)
Données électriques
Paramètre
Valeur
Volume interne
approx. 20 cm3
Poids
700 g (DN 25 ISO-KF)
750 g (DN 40 ISO-KF)
995 g (DN 40 CF-F)
Tab. 11:
Volume interne et poids
Paramètre
Valeur
Humidité relative
80 % max. pour les températures jusqu’à +31 °C, réduction à
50 % à +40 °C
Position montée
Arbitraire
Utilisation
En intérieur uniquement
Altitude maximum de l’installation
2000 m au-dessus du niveau moyen de la mer
Catégorie de protection
IP40
Tab. 12:
Conditions ambiantes
Paramètre
Valeur
Fonctionnement
5 à 55 °C
Jusqu’à 150 °C au niveau de la bride en cas de montage horizontal, sans blindage
magnétique
Stockage
-40 à +65 °C
Fusion
≤ 150 °C 8)
Tab. 13:
Températures
Paramètre
Valeur
Bride
pour DN 25: Acier surfin (1.4104)
pour DN 40: Acier surfin (1.4306)
Chambre de mesure
Acier surfin (1.4104)
Douille d’isolement
Céramique (Al2O3), verre
Joints internes
Argent (Ag), cuivre (Cu), brasage tendre (étain/argent (Sn/Ag))
Anode
Molybdène (Mo)
Aide d'amorçage
Acier surfin (1.4310)
Tube de mesure Pirani
Nickel (Ni), or (Au)
Filament Pirani
Tungstène (W)
Tab. 14:
8)
48/54
Matière contre le vide
Sans unité électronique ni blindage magnétique
Données techniques et dimensionnelles
122.5
DN 25 ISO-KF
18
32
15.5
57
20
ø 63.5
VACUUM
Compact
Full RangeTM
Gauge
VACUUM
32
15.5
57
20
VACUUM
ø 63.5
DN 40 CF-F DN 40 ISO-KF
123
18.5
Compact
Full RangeTM
Gauge
VACUUM
24
128.5
Fig. 16:
Dimensions
Dimensions en mm.
49/54
Annexe
15
Annexe
15.1
Unités de pression
Unité
mbar
mbar
1
bar
Pa
hPa
kPa
Torr / mm Hg
100
1
0,1
1 · 10
0,75
bar
1000
1
1 · 10
1000
100
Pa
0,01
1 · 10
1
0,01
1 · 10
7,5 · 10-3
hPa
1
1 · 10-3
100
1
0,1
0,75
kPa
10
0,01
1000
10
1
7,5
Torr / mm Hg
1,33
1,33 · 10-3
133,32
1,33
0,133
1
-3
5
-5
750
-3
2
1 Pa = 1 N/m
Tab. 15:
15.2
Unités de pression et leur conversion
Débits de gaz
Unité
mbar l/s
Pa m3/s
sccm
Torr l/s
atm cm3/s
mbar l/s
1
0,1
59,2
0,75
0,987
Pa m3/s
10
1
592
7,5
sccm
Torr l/s
3
atm cm /s
Tab. 16:
50/54
9,87
1,69 · 10
1
1,27 · 10
1,67 · 10-2
1,33
0,133
78,9
1
1,32
1,01
0,101
59,8
0,76
1
1,69 · 10
-2
-3
Débits de gaz et leur conversion
-2
ETL LISTED
The product PKR 261
- conforms to the UL standard
UL 61010-1.
3103457
- is certified to the CAN/CSA standard
CAN/CSA C22.2 No. 61010-1.
Déclaration de conformité
Par la présente, nous déclarons que le produit cité ci-dessous est conforme à toutes les dispositions des directives UE suivantes :
● Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE
● Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE
Jauge Pirani/à cathode froide
PKR 261
Normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées :
DIN EN 61000-6-2:2006-03
DIN EN 61000-6-3:2011-09
DIN EN 61010-1:2011-07
DIN EN 61326-1:2013-07
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Aßlar
Allemagne
(Dr Ulrich von Hülsen)
Managing Director
Aßlar, 2019-04-11
53/54
*BG5157*
ed. D - Date 1908 - P/N:BG5157BFR
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