Pfeiffer QMH 800-x - High-frequency generator Mode d'emploi

MANUEL DE L'UTILISATEUR
FR
Traduction d'original
QMH 800-X
Générateur de haute fréquence pour QMG 800 HiQuad® Neo
Cher client,
Nous vous remercions d’avoir opté pour un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouveau
générateur de haute fréquence a été conçu pour vous donner entière satisfaction pour votre
application, de par sa conception rigoureuse et son parfait fonctionnement. Le nom
Pfeiffer Vacuum représente une technique du vide de haute qualité, se décline en une
gamme exhaustive et variée de produits de grande qualité, assortis d’un service client
irréprochable. Forts de cette expérience pratique étendue, nous avons compilé une multitude
d’informations qui peuvent contribuer à une implémentation efficace et à votre sécurité
personnelle.
Sachant que notre produit doit vous permettre d’éviter des arrêts de production coûteux,
nous sommes confiants qu’il pourra vous offrir une solution pour une implémentation efficace
et fiable de votre application individuelle.
Veuillez lire ce manuel de l’utilisateur avant de mettre votre produit en service pour la
première fois. Si vous avez des questions ou suggestions, n’hésitez pas à nous contacter par
e-mail à l’adresse info@pfeiffer-vacuum.de.
Vous trouverez d’autres manuels de l’utilisateur de Pfeiffer Vacuum dans le Centre de
téléchargement sur notre site Internet.
Exclusion de responsabilité
Ce manuel de l’utilisateur décrit l’ensemble des modèles et variantes de votre produit.
Veuillez noter qu’il est possible que votre produit ne dispose pas de toutes les
caractéristiques d’équipement décrites dans ce document. Pfeiffer Vacuum adapte en
permanence et sans avis préalable ses produits afin qu’ils soient à la fine pointe de la
technologie. Veuillez prendre en compte qu’il y avoir des divergences entre le manuel de
l’utilisateur en ligne et la manuel de l’utilisateur imprimé fourni avec votre produit.
En outre, Pfeiffer Vacuum décline toute responsabilité ou obligation pour tout dommage
résultant de l’utilisation du produit en contradiction avec son utilisation conforme à l’usage
prévu ou en cas d’utilisation explicitement définie comme étant une mauvaise utilisation
prévisible.
Droits d’auteur (Copyright)
Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce
document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits
ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations
contenues dans ce document.
2/50
Table des matières
Table des matières
1
Au sujet de ce manuel
1.1 Validité
1.1.1 Documents applicables
1.1.2 Variantes
1.2 Groupe cible
1.3 Conventions
1.3.1 Instructions dans le texte
1.3.2 Pictogrammes
1.3.3 Étiquettes sur le produit
1.3.4 Abréviations
1.4 Justificatif de marque de commerce
7
7
7
7
7
8
8
8
8
9
9
2
Sécurité
2.1 Information générale sur la sécurité
2.2 Consignes de sécurité
2.3 Mesures de sécurité
2.4 Limites d’utilisation du produit
2.5 Utilisation conforme à l’usage prévu
2.6 Utilisations non conformes prévisibles
2.7 Responsabilité et garantie
2.8 Conditions opérateur
2.9 Qualification personnelle
2.9.1 Garantissez la qualification du personnel
2.9.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation
2.9.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum
2.10 Conditions opérateur
10
10
10
12
13
13
14
14
14
14
14
15
15
15
3
Description du produit
3.1 Réalisation, construction
3.2 Description fonctionnelle
3.3 Raccordements
3.3.1 Connexion QC à l'appareil de commande QC 800
3.3.2 Raccordements FA et RF+ / RF- à l'analyseur QMA
3.3.3 Connexion EP au pré-amplificateur de l'électromètre EP 822
3.3.4 Connexion LAN à l’appareil de commande QC 800
3.4 Identification du produit
3.5 Étendue de la livraison
17
17
17
18
18
19
20
21
21
21
4
Transport et stockage
4.1 Transport du produit
4.2 Stockage du produit
22
22
22
5
Installation
5.1 Installation du générateur HF
5.1.1 Respect des conditions ambiantes
5.1.2 Respect de l’orientation de montage
5.1.3 Installation d'un générateur de haute fréquence avec support sur
QMA
5.2 Établir une connexion électrique par connecteur mâle/femelle
5.2.1 Établissement d’un raccord de terre
5.2.2 Raccordement du câble de commande
5.2.3 Raccordement des câbles coaxiaux HF
5.2.4 Raccordement du câble d'axe de champ
5.2.5 Raccordement des pré-amplificateurs d’électromètre
23
23
23
24
24
Mettre en service
6.1 Temps d'attente
28
28
6
25
25
26
26
26
26
3/50
Table des matières
6.2
4/50
Contrôle du réglage
28
7
Fonctionnement
7.1 Mesure de spectres
7.2 Calibrage de l'échelle de masse (MASS CALIBRATION LOW/HIGH)
7.3 Temps d'attente
30
30
30
30
8
Maintenance
8.1 Maintenance du produit
8.2 Nettoyer l’appareil
31
31
32
9
Anomalies
34
10
Expédition
37
11
Recyclage et mise au rebut
11.1 Informations générales sur la mise au rebut
11.2 Élimination du système du spectromètre de masse
38
38
38
12
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
39
13
Informations de commande
13.1 Commande de pièces
13.2 Commande de PDR et accessoires
41
41
41
14
Caractéristiques techniques et dimensions
14.1 Fiche technique
14.2 Données électriques
14.3 Données de travail avec l'analyseur quadrupolaire
14.4 Dimensions
42
42
42
43
44
15
Annexe
15.1 Comportement comme fonction de temps
15.1.1Réponse par pas
15.1.2Balayages de masse rapides
15.2 Méthode de calibrage du nombre de masse M et de la largeur de ligne
ΔM
15.2.1Position apparente du pic et largeur de ligne
15.2.2Position apparente du pic et forme du pic
15.2.3Définition du nombre de masse et de la largeur de ligne
15.2.4Écarts par rapport à M et ΔM
45
45
45
45
46
Déclaration de conformité UE
48
Déclaration de Conformité UK
49
46
46
46
47
Liste des tableaux
Liste des tableaux
Tab. 1:
Tab. 2:
Tab. 3:
Tab. 4:
Tab. 5:
Tab. 6:
Tab. 7:
Tab. 8:
Tab. 9:
Tab. 10:
Tab. 11:
Tab. 12:
Tab. 13:
Tab. 14:
Tab. 15:
Tab. 16:
Tab. 17:
Tab. 18:
Tab. 19:
Tab. 20:
Tab. 21:
Documents applicables
Abréviations utilisées
Conditions ambiantes autorisées
Affectation des broches du raccordement QC
Fonctions
Codage
Affectation des broches du raccordement FA
Affectation des broches des raccordements RF+ and RF
Affectation des broches du raccordement EP
État de la connexion Ethernet
Affichages sur l’affichage LED
Anomalies
Pièces de rechange
Accessoires
Fiche technique
Conditions ambiantes
Données électriques
Types QMH et QMA
Données de travail avec l'analyseur quadrupolaire
Délais d'attente pour l'engagement du QMH
Retard échelle de masse
7
9
13
19
19
19
20
20
20
21
28
36
41
41
42
42
43
43
44
45
45
5/50
Liste des figures
Liste des figures
Fig. 1:
Fig. 2:
Fig. 3:
Fig. 4:
Fig. 5:
Fig. 6:
Fig. 7:
Fig. 8:
Fig. 9:
Fig. 10:
Fig. 11:
Fig. 12:
Fig. 13:
Fig. 14:
Fig. 15:
6/50
Réalisation, construction
Affectation des broches du raccordement QC
Affectation des broches du raccordement FA
Affectation des broches du raccordement EP
Raccordement « Ethernet » (LAN)
Installation d'un générateur de haute fréquence avec support sur QMA
Positions d’installation possibles
Affichage LED « RÉGLAGE »
Points finaux OPC UA
Non-linéarité de M et ΔM
Dimensions
Le sommet du pic se déplace avec ΔM
Le sommet du pic se déplace avec la forme du pic
Méthode de calibrage du nombre de masse M et de la largeur de ligne ΔM
1 = pic mesuré | 2 = pic de référence ΔM = 1 u
17
18
19
20
21
24
25
28
29
44
44
46
46
47
47
Au sujet de ce manuel
1 Au sujet de ce manuel
IMPORTANT
À lire attentivement avant utilisation.
Gardez le manuel pour pouvoir le consulter ultérieurement.
1.1
Validité
Ce document décrit la fonction des produits de la liste suivante et contient les informations les plus importantes pour une utilisation sécurisée. La description est rédigée conformément aux directives en vigueur. Les informations contenues dans ce document correspondent à l’état de développement actuel
des produits. Le document conserve sa validité à condition que le client n’apporte aucune modification
au produit.
1.1.1
Documents applicables
Désignation
Document
Manuel de l’utilisateur QMG 800 HiQuad Neo
BG 6013
Manuel de l’utilisateur pour pré-amplificateur électromètre EP 822
Manuel de l’utilisateur pour module entrée/sortie IO 820
Manuel de l'utilisateur pour analyseur QMA 4x0
BG 6018
Documentation du logiciel PV MassSpec
Un composant du logiciel
Déclaration de conformité
Un composant de ces instructions
Tab. 1:
Documents applicables
Vous trouverez ces documents dans le Centre de téléchargement Pfeiffer Vacuum.
1.1.2
Variantes
Ce document s’applique à tous les produits avec les références suivantes :
Référence
Désignation
PT M22 001
QMH 800-3
PT M22 000
QMH 800-5
Vous trouverez le numéro de la pièce sur la plaque signalétique du produit.
Pfeiffer Vacuum se réserve le droit d'apporter des modifications techniques sans préavis.
Les figures de ce document ne sont pas à l’échelle.
Les dimensions sont indiquées en mm, sauf avis contraire.
1.2
Groupe cible
Ce manuel de l’utilisateur cible toutes les personnes effectuant les activités suivantes sur le produit :
●
●
●
●
●
●
Transport
Configuration (installation)
Utilisation et fonctionnement
Mise hors service
Maintenance et nettoyage
Stockage ou mise au rebut
Seules les personnes avec les qualifications techniques appropriées (personnel expert) ou ayant reçu
la formation pertinente de Pfeiffer Vacuum sont autorisées à effectuer le travail décrit dans ce document.
7/50
Au sujet de ce manuel
1.3
Conventions
1.3.1
Instructions dans le texte
Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à
réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes.
Action unique
Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape.
► Il s'agit d’une étape unique.
Action en plusieurs étapes
Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique.
1. Étape 1
2. Étape 2
3. ...
1.3.2
Pictogrammes
Les pictogrammes utilisés dans le document représentent des informations utiles.
Remarque
Conseil
1.3.3
Étiquettes sur le produit
Ce paragraphe décrit toutes les étiquettes sur le produit ainsi que leur signification.
Plaque signalétique
La plaque signalétique est
située sur le côté de l’unité.
D-35614 Asslar
Mod.
P/N
S/N
Input
8/50
QMH 800-x
PT Mxx xxx
xxxxxxxxx
24 V DC 110 W
Made in United States 2024/04
Au sujet de ce manuel
1.3.4
Abréviations
Abréviation
Explication
ARM
Machine RISC évoluée (processeur principal)
ESD
Décharge électrostatique
FA
Axes de champ
FPGA
Matrice prédiffusée programmable par l’utilisateur
HF
Haute fréquence
QMA
Analyseur de spectromètre de masse quadripôle
QMH
Générateur de haute fréquence de spectromètre de masse quadripôle
RF
Fréquence radio (haute fréquence)
RISC
Ordinateur à jeu d’instructions réduit
SEM
Multiplicateur d’électrons secondaire
SOM
Module sur système
Tab. 2:
1.4
Abréviations utilisées
Justificatif de marque de commerce
● HiQuad® est une marque déposée de Pfeiffer Vacuum GmbH.
9/50
Sécurité
2 Sécurité
2.1
Information générale sur la sécurité
Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit :
DANGER
Danger immédiat
Indique un danger imminent causant la mort ou de graves blessures s’il est ignoré.
► Instructions pour éviter la situation dangereuse
AVERTISSEMENT
Danger potentiel
Indique un danger pouvant causer la mort ou de graves blessures s’il est ignoré.
► Instructions pour éviter la situation dangereuse
ATTENTION
Danger potentiel
Indique un danger pouvant causer des blessures bénignes s’il est ignoré.
► Instructions pour éviter la situation dangereuse
AVIS
Risque de dommages matériels
Est utilisé pour signaler des actions qui ne sont pas associées à des blessures.
► Instructions pour éviter les dommages matériels
Les notes, les conseils ou les exemples correspondent à des remarques importantes sur le
produit ou sur ce document.
2.2
Consignes de sécurité
Consignes de sécurité selon les étapes de la vie du produit
Toutes les consignes de sécurité de ce document sont basées sur les résultats d’une évaluation des risques. Pfeiffer Vacuum a pris en compte toutes les étapes pertinentes de la
vie du produit.
10/50
Sécurité
Risques lors de l’installation
DANGER
Danger de mort en cas d’électrocution
Une mise à la terre inappropriée ou incorrecte de l’unité entraîne une tension sensible aux contacts
au niveau du boîtier. Lors de la connexion, des courants de fuite plus élevés vont déclencher un choc
électrique potentiellement mortel.
► Avant l’installation, contrôlez que les conducteurs d’alimentation ne sont pas sous tension.
► Acheminez le câble électrique conformément aux dispositions locales en vigueur.
► Assurez-vous que les valeurs de tension et de fréquence locales correspondent aux spécifications de la plaque signalétique.
► Veillez à ce que le câble d’alimentation et le câble d’extension sont conformes aux exigences de
double isolation entre la tension d’entrée et la tension de sortie, conformément aux normes
IEC 61010 et IEC 60950.
► Utilisez seulement un câble d’alimentation à 3 broches et un câble d’extension disposant d’une
mise à la terre correcte (conducteur mis à la terre).
► Ne connectez le connecteur de réseau que dans une prise disposant d’un contact de mise à la
terre.
► Afin de garantir la protection de la mise à la terre, il convient de toujours raccorder le câble de
secteur avant tous les autres.
Risques pendant le fonctionnement
DANGER
Danger de mort dû au choc électrique causé par la pénétration d’humidité
La pénétration d’eau dans l’unité cause des blessures aux personnes par chocs électriques.
► Utilisez seulement l’unité dans un environnement sec.
► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité.
► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, contactez Pfeiffer Vacuum Service.
► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité.
Risques pendant la maintenance
DANGER
Danger de mort en cas de contact avec la haute tension
De hautes tensions existent dans le dispositif. Danger de mort en cas de contact avec des éléments
sous tension. En cas de dommage visible, il y a un risque de blessure mortelle lors de la mise en
service du dispositif.
► Déconnectez toujours l’unité avant d’ouvrir l’alimentation électrique.
► Toute intervention sur le dispositif ouvert doit être confiée à un personnel spécialisé et qualifié.
► Avant d’exécuter une installation ou une opération de maintenance, arrêtez le dispositif et déconnectez-le de l’alimentation électrique.
– Une fois mis hors circuit, attendez environ 60 secondes avant de déconnecter tous les câbles (câble pour courant fort en dernier).
► Sécurisez l’alimentation en tension contre toute réactivation involontaire ou non autorisée.
► N’insérez pas d’objets dans les ouvertures d’aération.
► N’ouvrez jamais une unité de courant externe.
► Ne faites jamais fonctionner un dispositif ouvert ou défectueux.
► Prenez les mesures nécessaires pour empêcher l’utilisation accidentelle d’un dispositif défectueux.
► Protégez le dispositif contre l’humidité.
11/50
Sécurité
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
AVERTISSEMENT
Risques pour la santé dus aux agents nettoyants
Les détergents utilisés peuvent nuire à la santé et causer un empoisonnement, des allergies, une irritation de la peau, des brûlures chimiques ou endommager les voies respiratoires.
► Respectez les réglementations en vigueur pour la manipulation des agents nettoyants.
► Respectez les mesures de sécurité concernant la manipulation et la mise au rebut des agents
nettoyants.
► Attention aux réactions potentielles avec les matériaux du produit.
Risques liés à l’expédition
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement par produits contaminés
L’expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la santé et la sécurité du personnel de maintenance.
► Conforme aux avis pour une livraison en toute sécurité.
Risques pendant la mise au rebut
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
2.3
Mesures de sécurité
Le produit est conçu sur la base des technologies les plus récentes et des règles techniques de sécurité reconnues. Cependant, une utilisation incorrecte peut présenter un risque de blessure ou un danger
de mort pour l'opérateur et toute autre personne, ainsi qu'un risque de dommages matériels sur le produit et autres.
Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels
Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit.
Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du
produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document.
12/50
Sécurité
Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit
La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit
d'origine ou installe un équipement supplémentaire
● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le
cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives
européennes applicables avant de mettre en service ce système.
Mesures de sécurité générales lors de la manipulation du produit
► Respectez toutes les dispositions de sécurité et de prévention des accidents en vigueur.
► Contrôlez régulièrement que toutes les mesures de sécurité sont respectées.
► Les consignes de sécurité doivent être transmises aux autres utilisateurs.
► N'exposez aucune partie du corps au vide.
► Assurez toujours un raccordement sûr au conducteur de terre (PE).
► Ne débranchez jamais les fiches de raccordement en cours de fonctionnement.
► Respectez les procédures d’arrêt ci-dessus.
► Tenez les conduites et les câbles éloignés des surfaces chaudes (> 70 °C).
► N'effectuez pas vous-même de conversions ou de modifications de l'appareil.
► Consultez le degré de protection de l’unité avant son installation ou fonctionnement dans d’autres
environnements.
► Mettez en place des équipements de protection adaptés contre tout contact physique si la température de surface dépasse 70 °C.
► Il convient de toujours s'informer d'éventuelles contaminations avant de commencer à travailler.
2.4
Limites d’utilisation du produit
Paramètre
Valeur
Lieu de mise en place
Résistant aux intempéries (espace intérieur)
Degré de protection
IP 20
Classe de protection
I
Altitude d’installation
2000 m max.
Degré de pollution
2
Température d’accumulation
-20 – +60 °C
Température de service
+5 – +40 °C
Température de câble (HF/FA)
Max. 200 °C
Humidité relative
Max. 80% à des températures jusqu’à +31 °C.
Diminution linéaire à 50 % à +40 °C.
Tab. 3:
2.5
Conditions ambiantes autorisées
Utilisation conforme à l’usage prévu
Le générateur de haute fréquence QMH 800-x est un composant du système de spectromètre de masse quadripole Pfeiffer Vacuum QMG 800 HiQuad Neo et génère les tensions HF et DC requises pour le
système de tige de l’analyseur quadrupolaire QMA. Le générateur de haute fréquence est exclusivement destiné à être utilisé comme unité d’alimentation pour un analyseur quadrupolaire QMA 4xx Pfeiffer Vacuum.
Utilisation du produit conformément à son usage prévu
► L’installation, l’utilisation et l’entretien du produit doivent être exécutés exclusivement conformément au manuel de l’utilisateur.
► Se conformer aux limites d’utilisation.
► Observer la fiche technique.
13/50
Sécurité
2.6
Utilisations non conformes prévisibles
Toute utilisation non conforme du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité.
Toute utilisation non conforme à l’objectif du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée
comme non réglementaire, en particulier :
●
●
●
●
●
●
2.7
Utilisation en dehors des limites prescrites dans la fiche technique
Utilisation pour des mesures déterminant la sécurité de personnes ou de grandes valeurs
Utilisation avec des substances corrosives ou explosives
Utilisation en extérieur
Utilisation suite à des modifications techniques (à l’intérieur ou à l’extérieur du produit)
Utilisation avec des accessoires ou pièces de rechange inappropriés ou non approuvés
Responsabilité et garantie
Pfeiffer Vacuum décline toute responsabilité et garantie si la société qui exploite le produit ou une partie
tierce :
● ignore ce document
● n’utilise pas le produit pour l’usage prévu
● apporte des modifications au produit (conversions, changements, etc.) qui ne sont pas mentionnées dans la documentation produit correspondante
● utilise le produit avec des accessoires qui ne sont pas mentionnés dans la documentation produit
correspondante
L’opérateur est responsable du gaz de procédé employé.
2.8
Conditions opérateur
Travail respectueux des normes de sécurité
1. Le produit ne peut être utilisé que s'il est en parfait état technique.
2. Le produit doit être utilisé selon l’usage pour lequel il a été conçu, conformément au mode d’emploi, dans le respect des consignes de sécurité, et en restant conscient des dangers qu’il implique.
3. Observez les recommandations suivantes et surveillez l’observation des recommandations suivantes :
– Utilisation conforme à l’usage prévu
– Consignes de sécurité généralement applicables et règles de prévention des accidents
– Normes et directives applicables au niveau local, national et international
– Directives et régulations supplémentaires relatives au produit
4. Utiliser exclusivement des pièces d’origine et approuvées par Pfeiffer Vacuum.
5. Conserver le mode d’emploi accessible sur le lieu d’installation du produit.
6. Garantir la qualification du personnel.
2.9
Qualification personnelle
L’utilisation décrite dans ce document doit être confiée à des personnes disposant des qualifications
professionnelles adéquates et de l’expérience nécessaire ou qui ont suivi la formation requise dispensée par Pfeiffer Vacuum.
Formation du personnel
1. Formez le personnel technique sur le produit.
2. Ne laissez le personnel à former opérer avec et sur le produit que sous la supervision d’un personnel qualifié.
3. Seul un personnel technique formé est autorisé à travailler avec le produit.
4. Avant de commencer à travailler, assurez-vous que le personnel engagé a lu et compris ce manuel de l’utilisateur et tous les documents pertinents, en particulier les informations relatives à la
sécurité, à l’entretien et à la réparation.
2.9.1
Garantissez la qualification du personnel
Spécialistes des travaux mécaniques
Seuls des spécialistes qualifiés peuvent effectuer des travaux mécaniques. Selon la définition de ce document, les spécialistes sont des personnes responsables de la construction, de l’installation mécani-
14/50
Sécurité
que, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes :
● Compétences dans le domaine mécanique conformément aux régulations nationales en vigueur
● Connaissance de cette documentation
Spécialiste des travaux électrotechniques
Seul un électricien qualifié peut effectuer des travaux d’ingénierie électriques. Selon la définition de ce
document, les électriciens sont des personnes responsables de l’installation électrique, de la mise en
service, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes :
● Compétences dans le domaine de l’ingénierie électrique conformément aux régulations nationales
en vigueur
● Connaissance de cette documentation
De plus, ces personnes doivent être familiarisées avec les réglementations et la législation en matière
de sécurité en vigueur, ainsi que les normes, directives et lois mentionnées dans cette documentation.
Les personnes mentionnées ci-dessus doivent avoir reçu explicitement l’autorisation d’utilisation afin de
mettre en service, de programmer, de configurer, de marquer et de mettre à la terre les dispositifs, systèmes et circuits conformément aux standards technologiques en matière de sécurité.
Personnes qualifiées
Seules les personnes avec la formation qui convient peuvent effectuer toutes les opérations relatives au
transport, à l’entreposage, à l’utilisation et à la mise au rebut. Ce type de formation doit garantir que ces
personnes sont capables d’exécuter correctement les activités et opérations requises, et en toute sécurité.
2.9.2
Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation
Formations avancées
Pfeiffer Vacuum offre des formations avancées pour les maintenances niveaux 2 et 3.
Les personnes adéquatement qualifiées sont :
● Maintenance niveau 1
─ Client (spécialiste formé)
● Maintenance niveau 2
─ Client avec formation technique
─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum
● Maintenance niveau 3
─ Client avec formation à l’entretien Pfeiffer Vacuum
─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum
2.9.3
Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum
Pour une utilisation optimale et sans problème de ce produit, Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de cours et de formations techniques.
Pour plus de précisions, contactez le service de formation technique Pfeiffer Vacuum.
2.10
Conditions opérateur
Analyse des documents et données concernés
1. Lire, analyser et respecter le mode d’emploi ainsi que les instructions de travail préparées par la
société d’exploitation, en particulier les consignes de sécurité et les avertissements.
2. L’installation, l’utilisation et l’entretien du produit doivent être exécutés exclusivement conformément au manuel de l’utilisateur.
3. Exécuter toutes les opérations uniquement sur la base du manuel de l’utilisateur et des documents pertinents.
4. Se conformer aux limites d’utilisation.
15/50
Sécurité
5. Observer la fiche technique.
6. Si ce manuel de l’utilisateur ne permet pas de répondre à toutes les questions posées lors de l’utilisation ou de l’entretien du produit, contacter le Pfeiffer Vacuum Service Center.
– Des informations sont disponibles dans la zone de service Pfeiffer Vacuum.
16/50
Description du produit
3 Description du produit
3.1
Réalisation, construction
1
5
7
Fig. 1:
3.2
2
6
4
3
Réalisation, construction
1 Raccordement pour l’appareil de commande QMS
2 Raccordement pour l’appareil de commande LAN 2
5
6
3 Raccordement pour pré-amplificateur de l'électromètre
« EP1 (faraday) »
4 Raccordement pour pré-amplificateur de l'électromètre
« EP2 (sem) »
7
Affichage LED « RÉGLAGE »
Raccordement pour tension
d'axe de champ « FA »
Raccordements pour câbles coaxiaux HF RF+ et RF-
Description fonctionnelle
Câblage du système du QMG 800 HiQuad Neo
Pour de plus amples informations sur le câblage du système, référez-vous au manuel de
l’utilisateur du QMG 800 HiQuad Neo.
Le générateur de haute fréquence QMH génère les tensions nécessaires au fonctionnement d'un filtre
de masse quadripolaire :
● Composant HF avec fréquence stabilisée par quartz
● Composant DC superposé
Le générateur de haute fréquence QMH a trois composants principaux :
● Carte de commande
● Platine HF
● Platine DC
La carte de commande (SOM) est un processeur ARM combiné à un FPGA. Le processeur ARM fonctionne sous Linux et établit une connexion Ethernet au QMS 800. Les balayages de masse du QMH
800 sont contrôlés par le signal de balayage 0–10,14 V pour le QMS 800. Le calibrage de masse est
enregistré dans une table de réglage numérique à points multiples enregistrée dans le QMH 800.
Les circuits HF de haute qualité assurent une basse consommation de courant. Un four à température
constante maintient les influences de la température à un niveau bas. Le QMH doit être raccordé à une
charge HF adaptée avec précision. Pour ce faire, il faut raccorder l'analyseur à l'aide des câbles HF
fournis dont la capacité est définie avec précision. Les tolérances de fabrication peuvent être compensées. Pendant le fonctionnement et la réglage, l'état d'adaptation est contrôlé et signalé à l’aide de
LED. Le QMH est protégé contre la surchauffe et la destruction résultant d'une charge HF mal adaptée,
d'un court-circuit ou d'un fonctionnement à vide. Le potentiel de l'axe de champ est fourni en externe.
Les raccordements EP1 (Faraday) et EP2 (SEM) sont utilisées pour raccorder deux pré-amplificateurs
d'électromètre EP 822.
L'appareil de commande QMS fournit les signaux d'alimentation et de commande, et contient les composants électroniques traitant les signaux de l'électromètre. Avec l'appareil de commande QMS, les
fonctions suivantes du QMH peuvent être utilisées :
● Nombre de masse M (amplitude HF)
● Largeur de pic ΔM
17/50
Description du produit
●
●
●
●
Spectre intégral (désactivé en DC)
RF OFF
Plage de l'électromètre
Signal de l'électromètre 1 ou 2
L'instrument signale l'état de disponibilité opérationnelle ou d'erreur à l'appareil de contrôle QMS.
3.3
Raccordements
3.3.1
Connexion QC à l'appareil de commande QC 800
Interfaces sur QC 800
Pour de plus amples informations sur les interfaces sur le QC 800, référez-vous au manuel
de l’utilisateur de QMG 800 HiQuad Neo.
18/50
1
→
13
14
→
25
Fig. 2:
Affectation des broches du raccordement QC
Broche
Mot de signalisation
Direction
du signal
Niveau
Impédance
1,2,14
-24 V
IN
Voir « Fiche technique »
3,15,16
+24 V
Alimentation / alimentation électrique
4,6,17,19
0 V 1)
GND
10 Ω (voir Châssis)
5
SCAN + 2)
0 – +10,24 V
100 kΩ
18
SCAN - 3)
0V
7
EP + 4)
20
EP - 5)
8
RESOL + 6)
21
RESOL - 7)
9
RESERVE 1 H
IN
10
RF OK L
OUT
2,2 kΩ
11
MODE 1 H
IN
100 kΩ vers le bas
23
MODE 2 H
12
GAMME 1 H
24
GAMME 0 H
13
EP 2 H
OUT
0V
47 Ω
0 – ±16 V
IN
0 – +10,24 V
100 kΩ
0V
CMOS numérique 8)
100 kΩ
1)
La ligne 0 V doit être à ±0,5 Vp max. par rapport à la GND du châssis.
2)
Signal en mode commun admissible : ±0,5 Vp max. pour SCAN±, RESOL± et EP±
3)
Signal en mode commun admissible : ±0,5 Vp max. pour SCAN±, RESOL± et EP±
4)
Signal en mode commun admissible : ±0,5 Vp max. pour SCAN±, RESOL± et EP±
5)
Signal en mode commun admissible : ±0,5 Vp max. pour SCAN±, RESOL± et EP±
6)
Signal en mode commun admissible : ±0,5 Vp max. pour SCAN±, RESOL± et EP±
7)
Signal en mode commun admissible : ±0,5 Vp max. pour SCAN±, RESOL± et EP±
8)
Niveau numérique CMOS : L : 0 – +0,75 V DC | H : +11.0 – +12.7 V DC
Description du produit
Broche
Mot de signalisation
Direction
du signal
Niveau
Impédance
22
BLINDAGE
---
GND
33 Ω (voir Châssis)
25
RESERVE 2 H
IN
CMOS numérique 9)
100 kΩ vers le bas
Tab. 4:
Affectation des broches du raccordement QC
Directions des signaux
● IN = QMH est récepteur
● OUT = QMH est émetteur
Mot de signalisation
Niveau
Fonction de QMH
SCAN±
0 – +10,24 V
MASSE = (SCAN/10,24 V) x Mmax
RESOL±
0 – +10,24 V
ΔM = ΔMmin + (RESOL/10,24 V) x ΔMmax
EP±
0 – ±16 V
Signal de sortie du pré-amplificateur de l'électromètre (EP)
Tab. 5:
Fonctions
Mot de signalisation
GAMME – H
EP 2 H
MODE – H
RF OK L
Tab. 6:
3.3.2
...1...
...0...
Gamme de mesure de l'électromètre :
L
L
10-5 A
L
H
10-7 A
H
L
10-11 A
H
H
10-9 A
L
EP1, faraday
H
EP2, sem
...2...
...1...
Mode de fonctionnement :
L
L
VEILLE, non utilisé
L
H
INTEGRAL (DC OFF)
H
L
SPECTRE (DC ON)
H
H
RF OFF
L
QMH est OK
H
QMH n'est pas OK
Codage
Raccordements FA et RF+ / RF- à l'analyseur QMA
Tension d'axe de champ
Pour de plus amples informations sur la tension d'axe de champ, référez-vous au manuel
de l'utilisateur de l'analyseur QMA.
1
2
Fig. 3:
9)
Affectation des broches du raccordement FA
Niveau numérique CMOS : L : 0 – +0,75 V DC | H : +11.0 – +12.7 V DC
19/50
Description du produit
Broche
Mot de signalisation
Direction du signal
Niveau
Impédance
1
FA
IN
Max. ±500 V / 2 mAmax
9 MΩ
2
non attribué
---
---
---
Carter
GND
IN
GND, blindage
---
Tab. 7:
Affectation des broches du raccordement FA
Mot de signalisation
Direction du signal
Niveau et charge
RF+ et RF-
OUT
Charge adaptée
Carter
OUT
GND, blindage
Connecteur : coaxial, SHV
Tab. 8:
Affectation des broches des raccordements RF+ and RF
Directions des signaux
● IN = QMH est récepteur
● OUT = QMH est émetteur
3.3.3
Connexion EP au pré-amplificateur de l'électromètre EP 822
Interfaces sur EP 822
Pour de plus amples informations sur les interfaces sur l’EP 822, référez-vous au manuel
de l’utilisateur de QMG 800 HiQuad Neo.
5
1
9
6
Fig. 4:
Affectation des broches du raccordement EP
Broche
Mot de signalisation
Direction du signal
Niveau
1
EP GND
IN
0V
2
+16 V
OUT
+16 V ±0,2 V/27 mAmax
3
0 V EP
OUT
EP GND
4
-16 V
OUT
-16 V ±0,2 V/12 mAmax
5
EXP 5 L
OUT
Numérique 1)
6
EP OUT
IN
0 – ±16 V
7
BLINDAGE
---
GND du châssis
8
EXP 7 L
OUT
Numérique
9
EXP 9 L
OUT
Numérique
Tab. 9:
Affectation des broches du raccordement EP
Directions des signaux
● IN = QMH est récepteur
● OUT = QMH est émetteur
Niveau numérique
●
●
●
●
20/50
L : 0 – +0.75 V DC
H : +16,5 – +17,0 V DC avec rappel externe >5 kΩ contre +16 V
Les niveaux sont relatifs à 0 V EP.
A l'exception de EP OUT et EP GND, les deux connecteurs sont raccordés en parallèle.
Description du produit
3.3.4
Connexion LAN à l’appareil de commande QC 800
Interfaces sur QC 800
Pour de plus amples informations sur les interfaces sur le QC 800, référez-vous au manuel
de l’utilisateur de QMG 800 HiQuad Neo.
La connexion entre le QMH 800-x et le QC 800 est établie via le câble Ethernet fourni dans l’étendue de
la livraison. L’état de l’interface est détecté par les deux LED dans la douille RJ-45.
RJ-45
1
8
green yellow
Fig. 5:
Raccordement « Ethernet » (LAN)
1 Données de transmission (TD+)
2 Données de transmission (TD-)
3 Données de réception (RD+)
Données de réception (RD-)
Non utilisé
LED
Statut
Signification
Verte (lien)
allumée
La connexion du matériel existe
éteinte
Pas de connexion du matériel
allumée (clignotement)
Transmission de données en cours
éteinte
Aucune transmission de données/pas de connexion
Jaune (activité)
Tab. 10:
3.4
6
4, 5, 7, 8
État de la connexion Ethernet
Identification du produit
Toutes les données de la plaque signalétique sont nécessaires pour identifier assurément le produit
pour toute communication avec Pfeiffer Vacuum.
► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, conservez
toujours à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique.
3.5
Étendue de la livraison
● Générateur de haute fréquence QMH
● Câble de raccordement pour QMS 800/QC 800
Déballage du produit et contrôle du contenu de la livraison
1. Déballer le produit.
2. Vérifier que toutes les pièces sont présentes.
3. Contrôler qu'aucune pièce n'a été endommagée.
21/50
Transport et stockage
4 Transport et stockage
4.1
Transport du produit
AVIS
Dégâts causés par un transport incorrect
Un transport dans un emballage incorrect ou la non-installation de tous les verrous de transport peut
endommager le produit.
► Conforme aux instructions pour un transport en toute sécurité.
Emballage
Nous recommandons de conserver l’emballage de transport et de protection d’origine.
Transport en toute sécurité du produit
► Observez le poids spécifié sur l’emballage de transport.
► Dans la mesure du possible, transportez ou expédiez toujours le produit dans son emballage
d’origine de transport.
► Utilisez toujours un emballage compact qui protège le produit des chocs.
► Retirez l’obturateur de protection existant et les protections pour le transport seulement juste
avant l’installation.
► Avant chaque transport, les blocages et les protections correspondants doivent être remontés.
4.2
Stockage du produit
AVIS
Risque de détériorations causées par un stockage incorrect
Un stockage incorrect provoquera des dégâts sur le produit.
Les charges statiques, l’humidité, etc., provoquent des défauts sur les composants électroniques.
► Conforme aux instructions pour un stockage en toute sécurité.
Emballage
Nous recommandons de stocker le produit dans son emballage d’origine.
Stockage en toute sécurité du produit
► Conservez le produit dans un endroit frais, sec et sans poussière, où il n’est pas soumis à des
chocs ni à des vibrations mécaniques.
► Utilisez toujours un emballage compact qui protège le produit des chocs.
► Dans la mesure du possible, stockez le produit dans son emballage d’origine.
► Stockez les composants électroniques dans un emballage antistatique.
► Maintenez la température de stockage admissible.
► Évitez les fortes variations de températures ambiantes.
► Évitez un taux d’humidité élevé dans l’air.
► Fermez les raccords avec les bouchons de protection d’origine.
► Protégez le produit avec les protections de transport d’origine (si disponibles).
22/50
Installation
5 Installation
DANGER
Danger de mort en cas de contact avec la haute tension
De hautes tensions existent dans le dispositif. Danger de mort en cas de contact avec des éléments
sous tension. En cas de dommage visible, il y a un risque de blessure mortelle lors de la mise en
service du dispositif.
► Déconnectez toujours l’unité avant d’ouvrir l’alimentation électrique.
► Toute intervention sur le dispositif ouvert doit être confiée à un personnel spécialisé et qualifié.
► Avant d’exécuter une installation ou une opération de maintenance, arrêtez le dispositif et déconnectez-le de l’alimentation électrique.
– Une fois mis hors circuit, attendez environ 60 secondes avant de déconnecter tous les câbles (câble pour courant fort en dernier).
► Sécurisez l’alimentation en tension contre toute réactivation involontaire ou non autorisée.
► N’insérez pas d’objets dans les ouvertures d’aération.
► N’ouvrez jamais une unité de courant externe.
► Ne faites jamais fonctionner un dispositif ouvert ou défectueux.
► Prenez les mesures nécessaires pour empêcher l’utilisation accidentelle d’un dispositif défectueux.
► Protégez le dispositif contre l’humidité.
DANGER
Danger de mort en cas d’électrocution
Une mise à la terre inappropriée ou incorrecte de l’unité entraîne une tension sensible aux contacts
au niveau du boîtier. Lors de la connexion, des courants de fuite plus élevés vont déclencher un choc
électrique potentiellement mortel.
► Avant l’installation, contrôlez que les conducteurs d’alimentation ne sont pas sous tension.
► Acheminez le câble électrique conformément aux dispositions locales en vigueur.
► Assurez-vous que les valeurs de tension et de fréquence locales correspondent aux spécifications de la plaque signalétique.
► Veillez à ce que le câble d’alimentation et le câble d’extension sont conformes aux exigences de
double isolation entre la tension d’entrée et la tension de sortie, conformément aux normes
IEC 61010 et IEC 60950.
► Utilisez seulement un câble d’alimentation à 3 broches et un câble d’extension disposant d’une
mise à la terre correcte (conducteur mis à la terre).
► Ne connectez le connecteur de réseau que dans une prise disposant d’un contact de mise à la
terre.
► Afin de garantir la protection de la mise à la terre, il convient de toujours raccorder le câble de
secteur avant tous les autres.
5.1
Installation du générateur HF
Composants du système
Ce document décrit uniquement l'installation du générateur de haute fréquence. Tenez
également compte des documents de l'appareil de commande QMS et des autres composants du système.
5.1.1
Respect des conditions ambiantes
Recommandations
► Évitez de faire fonctionner l'appareil s'il est exposé à une forte humidité, à une atmosphère poussiéreuse, à des vibrations mécaniques et à des fluctuations extrêmes de la température ambiante.
► Veillez à ce que l'air ambiant de l'appareil s’échauffe jusqu'à max. 50 °C pendant le fonctionnement (mesuré à une distance de 30 cm).
► Pour obtenir la meilleure précision de mesure, évitez les fluctuations de température.
► Assurez une circulation d’air adéquate.
23/50
Installation
► Prenez les mesures appropriées pour garantir la circulation de l'air si vous installez l'appareil dans
un carter supplémentaire.
► Si des tuyaux flexible d'eau ou d’agent de refroidissement cheminent à proximité de l'appareil,
protégez-le contre les gouttes et les éclaboussures.
5.1.2
Respect de l’orientation de montage
Distance admissible par rapport à QMA
Une distance approx. de 0,5 m est possible (longueur de câble 0,7 m).
Recommandations
► Sélectionnez la position d’installation en vérifiant que le réglage LED et les affichages d’état sont
clairement visibles sur la face avant.
– Il est possible d'installer l’appareil sur la bride en utilisant le support fourni avec le QMA.
► Montez le QMH horizontalement ou avec une déclivité de 30° à un emplacement où il y a le moins
de vibrations possible.
5.1.3
Installation d'un générateur de haute fréquence avec support sur QMA
1
3
2
4
5
6
7
24/50
Fig. 6:
Installation d'un générateur de haute fréquence avec support sur QMA
1
2
3
4
5
6
7
8
Analyseur QMA
Générateur de haute fréquence QMH
Support
Boulons M4
Disque de freinage
Support
Face avant du QMH
Circlip
Installation
Fig. 7:
Positions d’installation possibles
Procédure
1. Placez l'appareil sur une surface appropriée et pratique pour travailler dessus.
2. Fixez l’appareil sur le support.
3. Fixer l'appareil avec le support sur le QMA.
5.2
Établir une connexion électrique par connecteur mâle/femelle
5.2.1
Établissement d’un raccord de terre
AVIS
Défaillance des branchements électriques causée par des influences perturbatrices externes
Pour des raisons de compatibilité électromagnétique (CEM) (effets d'interférence externe), nous recommandons fortement un point de prise de terre central pour tous les appareils accouplés ensemble (par exemple, le groupe de pompage, l’unité de commande, le PC, l’enregistreur, etc.). Une prise
multiple, ou mieux, un distributeur de puissance avec un interrupteur secteur remplit la fonction de
façon simple.
Sauf : pour les ordinateurs installés éloignés les uns des autres ou dans un environnement fortement
perturbé.
► Utilisez une prise multiple ou un distributeur de puissance avec un interrupteur secteur.
► Acheminez séparément le câble de commande par rapport à la source d'interférence.
Tension max. admissible
La tension max. admissible entre le QMH et l’enveloppe de l’appareil de commande (SC)
est de 0,5 Vpic.
Lorsque le générateur HF est installé sur une bride QMA correctement mise à la terre à l’aide du support, le carter du générateur HF est mis à la terre en toute sécurité.
25/50
Installation
5.2.2
Raccordement du câble de commande
Procédure
► Assurez-vous toujours que l'appareil de commande a été désactivé avant de raccorder ou de débrancher le câble de commande QC.
► Utilisez un câble de la longueur requise correspondante.
5.2.3
Raccordement des câbles coaxiaux HF
AVIS
Endommagement de l'analyseur causé par des tensions et des champs magnétiques externes
N’exposez jamais le système d'électrodes de l'analyseur à des tensions externes dangereuses en
cas de contact, provenant de connexions galvaniques, d'un contact, d’un éclat, de faisceau d'électrons ou d'ions, etc. Si des sources dangereuses de ce type existent dans l’enceinte à vide, vous devez fournir des mesures protectrices qui éliminent en toute sécurité ces influences. Des tensions externes, même faibles, sur l'analyseur vont endommager l'électronique et entraîner des résultats de
mesure inexacts.
► Prenez des mesures protectrices efficaces contre les tensions externes (par exemple, meilleure
disposition, blindage, prise de terre, etc.).
► Ne montez pas l’analyseur à côté de champs magnétiques de > 0,2 mT.
► Assurez une protection mécanique contre le contact de l’analyseur et les composants installés.
► Assurez une séparation obligatoire de l’alimentation en courant lors de l’ouverture du système
(par exemple, en utilisant un contact de porte).
► Observez les standards applicables au système de vide.
Procédure
► À l’aide des deux câbles coaxiaux HF de 0,7 M fournis, raccordez les douilles RF+ et RF- du
QMH aux douilles RF A et RF B du QMA.
► Si nécessaire, reportez-vous au journal de test pour ce qui concerne la polarité.
– Les tests d’usine sont effectués avec une polarité normale pour optimiser la forme du pic.
L’inversion de la polarité est autorisée bien que cela puisse nécessiter un réajustement de la
HF (non recommandé).
► Utilisez uniquement les câbles fournis par Pfeiffer Vacuum, avec la longueur et la capacité spécifiées.
► Raccordez le connecteur adapté à un tuyau flexible en téflon au QMA, afin de s'assurer que l'étuvage y est possible.
► Ne pliez jamais les câbles.
► Si les câbles sont trop courts, utilisez une méthode de montage différente.
5.2.4
Raccordement du câble d'axe de champ
Les points suivants s'appliquent au raccordement d'une alimentation externe d'axe de champ :
● La tension admissible par rapport au potentiel du châssis est de ±500 V DC max.
● Le potentiel effectif de l'axe de champ correspond à 99,9% de la tension fournie.
● L'alimentation FA externe doit être limitée en courant à 2 mA, pour des raisons de sécurité.
Procédure
► Raccordez les douilles FA sur QMH et QMA avec les câbles fournis.
– Ainsi, vous fournissez la tension d'axe de champ depuis l'appareil de commande via le câble
de la source d'ions. Le réglage de la tension FA se situe dans le journal de test de l'ensemble
du système.
► Si vous n'utilisez pas le câble fourni : Utilisez un câble blindé dont le blindage est placé sur le
carter.
5.2.5
Raccordement des pré-amplificateurs d’électromètre
Les deux pré-amplificateurs d’électromètre peuvent être raccordés simultanément.
26/50
Installation
Procédure
► Pour mesure avec coupe de Faraday (ions positifs) : Raccordez le pré-amplificateur de l'électromètre qui correspond à l'appareil de commande QMS à EP1 (Faraday).
► Pour mesure un signal SEM (électrons) : Raccordez le pré-amplificateur de l'électromètre qui correspond à l'appareil de commande QMS à EP2 (SEM).
27/50
Mettre en service
6 Mettre en service
Conditions préalables
● Toutes les connexions électriques établies
● Toutes les conditions initiales de l’ensemble du système remplies (par ex. vide adéquat)
6.1
Temps d'attente
Pas de fonctionnement avec des masses plus élevées pendant le temps d'attente
Pendant le temps d'attente, ne faites pas fonctionner le QMH avec des masses plus élevées (PREMIÈRE MASSE + LARGEUR DE BALAYAGE ≤0,5 Mmax), car cela pourrait nuire
au fonctionnement de l'appareil de commande en raison de la charge élevée sur l'alimentation électrique.
Au terme du temps d’attente d’env. 10 minutes, la LED « TEMP» s’allume sur la face avant du QMH.
Si la LED « DÉFAILLANCE» ne clignote pas, l’instrument remet à zéro le signal d’erreur transmis à l’appareil de commande.
6.2
Contrôle du réglage
Fig. 8:
Affichage LED « RÉGLAGE »
LED
Signification
RÉSULTAT
OPTIMAL
La LED s’allume pour indiquer que le générateur a été réglé avec précision.
DÉFAILLANCE
La LED clignote lorsque le déréglage dépasse la valeur admissible ou lorsqu’il y a
une erreur (p. ex., câble HF non raccordé). L'appareil envoie cet état à l'appareil de
commande comme signal d'erreur.
La LED est allumée en continu si la HF a été désactivée via l’appareil de commande
(RF OFF).
TEMP
Four RF chauffé au point de consigne de fonctionnement (PRÊT)
PUISSANCE
Niveau de puissance actuel (l’intensité augmente avec l’augmentation de la plage de
balayage de masse)
RÉGLAGE
Déviation dans la résonance à droite et à gauche de la résonance idéale
Tab. 11:
Affichages sur l’affichage LED
Tandis que le système balaie le domaine de masse supérieur et inférieur à 250 u, il est normal que les LED « RÉGLAGE » s’allument au-dessus et en dessous de RÉSULTAT OPTIMAL.
L’état disponible est disponible via les points finaux OPC UA.
28/50
Mettre en service
Fig. 9:
Points finaux OPC UA
Contrôle du réglage
1. Lors de la mise en service initiale, contrôlez le réglage.
– La qualité du réglage est affichée par les LED « RÉGLAGE ».
2. Réglez un nombre de masse fixe (pas de balayage) d’env. ≤ ½ Mmax.
3. Si « RÉSULTAT OPTIMAL » ne s’allume pas : Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
29/50
Fonctionnement
7 Fonctionnement
7.1
Mesure de spectres
Informations sur le PV MassSpec
Pour des informations détaillées, reportez-vous à la section « Aide » du logiciel.
7.2
Calibrage de l'échelle de masse (MASS CALIBRATION LOW/HIGH)
Un nouveau calibrage peut s'avérer nécessaire en raison du vieillissement ou après le remplacement
du QMA.
Informations sur le PV MassSpec
Pour des informations détaillées, reportez-vous à la section « Aide » du logiciel.
7.3
Temps d'attente
Après écoulement d'un temps de préchauffage d'approx. 20 minutes à partir du démarrage du QMH
froid et du temps de préchauffage du QMA (EMISSION ON), les résultats de mesure sont conformes
aux valeurs calibrées (M et DM). Selon les exigences de précision, le temps de préchauffage est de 0,5
à 5 heures.
En cas de changements de pas dans le nombre de masse, il faut plusieurs ms (selon la taille et la direction du pas et le type de QMH) jusqu'à ce que les valeurs HF et DC se stabilisent dans le nouvel état.
Les appareils de commande de Pfeiffer Vacuum tiennent compte de ce phénomène dans le logiciel intégré.
Recommandations
► Si nécessaire, optimisez manuellement le temps d'attente à l'aide du paramètre « PAUSE ».
30/50
Maintenance
8 Maintenance
Demande de garantie
Le fait d’ouvrir l’appareil pendant la période de garantie ou d’endommager/de supprimer le
sceau de garantie annulera la garantie.
Contactez le Centre de service Pfeiffer Vacuum en cas d’intervalle de maintenance raccourcis lié au processus.
Garantie
Tout dysfonctionnement de l’équipement résultant directement d’une contamination et de
l’usure n’est pas couvert par la garantie.
Commencer par lire intégralement les sections
Lire intégralement la section consacrée aux instructions de travail avant de commencer à
travailler.
Maintenance dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum
Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de services de maintenance pour tous les
produits.
Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter un Centre de service Pfeiffer Vacuum pour organiser la maintenance de produits et de composants défectueux.
Nettoyage dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum
Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter le Centre de service Pfeiffer Vacuum local pour
organiser la maintenance de produits et de composants défectueux.
8.1
Maintenance du produit
AVIS
Détérioration de l’unité à cause d’une décharge électrostatique
Une décharge électrostatique endommage les composants électroniques. Si cet avertissement n’est
pas respecté, les défauts qui en résultent ne sont pas pris en charge par la garantie.
► Les opérations sur les stations de travail à protection CEM doivent être effectuées conformément
aux méthodes appropriées.
► Lorsque l’unité est ouverte, prenez les mesures de précaution appropriées contre les charges
électrostatiques.
► Stockez toujours les unités électroniques et les composants dans des emballages antistatiques.
► Observez la norme EN 61340, 5-1 et 5-2, « Protection des appareils électroniques contre les
phénomènes électrostatiques ».
AVIS
Dommage sur composants électroniques lié à une réparation incorrecte
Pfeiffer Vacuum a accordé très précisément les platines de l'appareil avec les autres groupes d'assemblage. Un calibrage correct peut uniquement être effectué en usine.
► Ne remplacez jamais les platines ou d'autres composants lors de réparations sur l'appareil.
Dans des conditions normales de fonctionnement, le générateur HF ne nécessite pas de maintenance.
Il se peut que l'échelle de masse et la résolution doivent parfois être recalibrées, si l'analyse des valeurs de mesure indique que cela est nécessaire. Les LED « Défaut » ou « meilleur résultat » indiquent quand il est nécessaire de reconfigurer l’ « ajustage ».
31/50
Maintenance
Remédier aux fortes pertes HF par séchage
► Il est possible de remédier aux pertes élevées de HF (symptôme F4) causées par un stockage
dans une humidité élevée par un séchage à max. 70 °C ou par un fonctionnement sur une période prolongée jusqu’à saturation maximale possible.
8.2
Nettoyer l’appareil
DANGER
Danger de mort dû au choc électrique causé par la pénétration d’humidité
La pénétration d’eau dans l’unité cause des blessures aux personnes par chocs électriques.
► Utilisez seulement l’unité dans un environnement sec.
► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité.
► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, contactez Pfeiffer Vacuum Service.
► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité.
AVERTISSEMENT
Risques pour la santé dus aux agents nettoyants
Les détergents utilisés peuvent nuire à la santé et causer un empoisonnement, des allergies, une irritation de la peau, des brûlures chimiques ou endommager les voies respiratoires.
► Respectez les réglementations en vigueur pour la manipulation des agents nettoyants.
► Respectez les mesures de sécurité concernant la manipulation et la mise au rebut des agents
nettoyants.
► Attention aux réactions potentielles avec les matériaux du produit.
AVIS
Dégâts causés par la pénétration d’humidité
La pénétration d’humidité, p. ex. sous forme de condensation ou d’égouttement, endommage l’unité.
► Protégez l’unité contre la pénétration de l’humidité.
► Utilisez seulement l’unité dans un environnement propre et sec.
► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité.
► Des précautions spécifiques doivent être prises en cas de risque d’égouttement d’eau.
► Ne mettez pas sous tension l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur. Contactez le Centre de service Pfeiffer Vacuum.
AVIS
Risque de mauvais ajustage ou d'autres dommages
Si des procédures incorrectes sont suivies lors de l'ouverture de l'appareil et du nettoyage de son
intérieur, des dommages peuvent en résulter.
► Ne pliez pas ou ne déplacez pas les petits câbles, composants, etc.
► Vérifiez les exigences en matière d'air comprimé.
AVIS
Dommages causés par des détergents inappropriés
L’usage d’agents nettoyants inadaptés endommage le produit.
► N’utilisez pas de solvants qui endommageraient sa surface.
► N’utilisez pas d’agents nettoyants agressifs ou abrasifs.
Conditions préalables
● L’appareil est mis hors circuit
● Le connecteur de réseau est retiré
32/50
Maintenance
Consommables requis
● Agent nettoyant ordinaire (détergent ménager doux, par exemple).
● Chiffon doux et propre
● Air comprimé sec, exempt d’huile et exempt de particules (surpression < 2 bars)
Nettoyage des pièces de carter
1. Utilisez un chiffon doux humide pour nettoyer l’extérieur de l’habillage.
2. Laissez sécher les surfaces complètement après le nettoyage.
3. Éliminez les couches de poussière à l’intérieur en les soufflant prudemment à l’air comprimé.
33/50
Anomalies
9 Anomalies
DANGER
Danger de mort en cas de contact avec la haute tension
De hautes tensions existent dans le dispositif. Danger de mort en cas de contact avec des éléments
sous tension. En cas de dommage visible, il y a un risque de blessure mortelle lors de la mise en
service du dispositif.
► Déconnectez toujours l’unité avant d’ouvrir l’alimentation électrique.
► Toute intervention sur le dispositif ouvert doit être confiée à un personnel spécialisé et qualifié.
► Avant d’exécuter une installation ou une opération de maintenance, arrêtez le dispositif et déconnectez-le de l’alimentation électrique.
– Une fois mis hors circuit, attendez environ 60 secondes avant de déconnecter tous les câbles (câble pour courant fort en dernier).
► Sécurisez l’alimentation en tension contre toute réactivation involontaire ou non autorisée.
► N’insérez pas d’objets dans les ouvertures d’aération.
► N’ouvrez jamais une unité de courant externe.
► Ne faites jamais fonctionner un dispositif ouvert ou défectueux.
► Prenez les mesures nécessaires pour empêcher l’utilisation accidentelle d’un dispositif défectueux.
► Protégez le dispositif contre l’humidité.
Vous trouverez ci-dessous des dysfonctionnements typiques pouvant survenir à la suite d'erreurs de la
part de l'opérateur, lors de la mise en service initiale ou après une période de fonctionnement prolongée, ainsi que leurs causes et remèdes possibles.
Symptôme d'erreur
Causes possibles et localisation
Remède
F1
Charge HF inexistante
ou incorrecte au niveau
des douilles RF+ et RF-
● Connectez l'analyseur QMA avec les câbles
coaxiaux HF fournis (RF+ et RF-).
● Ajustez le générateur HF QMH.
Charge HF supérieure
ou inférieure aux données
● Contrôlez la combinaison générateur HF QMH
et analyseur QMA utilisés (dans le manuel de
l'utilisateur du QMG 800)
Défaut dans la charge
HF
● Contrôlez que le câble coaxial HF et les lignes
HF de l'analyseur QMA ne présentent pas d'interruptions ou de courts-circuits.
● Mesurez les valeurs de capacité (conducteur
interne RF A, RF B).
Défaut dans le circuit HF
du générateur HF
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Court-circuit dans le circuit de charge HF
● Débranchez le câble coaxial HF au niveau des
raccords RF+ et RF et contrôlez que les câbles
ne présentent pas de court-circuit.
● Contrôlez les connexions HF de l'analyseur
QMA.
● Débranchez tous les câbles et contrôlez l'isolation du châssis au niveau des douilles RF+ et
RF.
Si < 9 MΩ : Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
(voir symptôme F11)
F2
34/50
« DÉFAILLANCE » clignote en
continu.
« RF ERREUR » apparaît à partir
d'approx. 5% de Mmax
« DÉFAILLANCE » clignote en
continu.
« IS ERR #1 » apparaît.
Anomalies
Symptôme d'erreur
Causes possibles et localisation
Remède
F3
Le générateur HF de
QMH n'est pas réglé.
● Ajustez le générateur HF QMH.
Décharges Corona en
raison d'une pression
trop élevée dans l'analyseur QMA
● Purgez l’enceinte à vide.
● Réduisez la pression dans l’enceinte à vide.
Décharges Corona en
raison d'un câble coaxial
HF ou d’une ligne HF
défectueuse dans l'analyseur QMA
● Procédez à une inspection visuelle.
Décharges Corona en
raison de la poussière
dans le générateur HF
QMH
● Soufflez délicatement le générateur HF QMH à
l'air comprimé.
Défaut dans le générateur QMH HF
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Consommation de courant trop élevée en raison de pertes de HF excessives dans le circuit
de charge HF
● Contrôlez le câble de raccordement HF.
● Contrôlez la combinaison générateur HF QMH
et analyseur QMA utilisés (dans le manuel de
l'utilisateur du QMG 800)
● Faites fonctionner le générateur QMH HF dans
un environnement sec.
● Faites fonctionner le générateur QMH HF pendant une longue période avec de petites masses, de sorte que la chaleur de l'appareil fasse
évaporer l'humidité.
Défaut dans le générateur QMH HF
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Éclats individuels dans
le circuit de charge HF
(voir symptôme F3).
● (Comme le symptôme d'erreur F3)
Consommation de courant proche du seuil admissible (voir symptôme
F3).
● (Comme le symptôme d'erreur F3)
F4
F5
« DÉFAILLANCE » clignote uniquement pour des masses élevées.
« RF ERREUR » apparaît.
« DÉFAILLANCE » clignote pour
les masses les plus élevées, bien
que « RÉGLAGE » soit OK pour
les masses plus petites, p. ex.
« RÉSULTAT OPTIMAL » est allumée.
« DÉFAILLANCE » clignote occasionnellement avec une masse
élevée.
F6
« DÉFAILLANCE » est allumée
en continu.
Pas d’erreur
Le générateur HF est à l'arrêt.
L’appareil de commande transmet RF OFF, par ex.
pour DEGAS.
F7
« RÉSULTAT OPTIMAL » s’est
éteinte.
« DÉFAILLANCE » ne clignote
pas.
Pas d’erreur
L'état de l'ajustage peut changer légèrement.
F8
Tous les indicateurs du générateur HF QMH sont éteints.
Le câble QC n'est pas
raccordé ou l'appareil de
commande QMS est
désactivé.
● Raccordez le câble QC.
● Activez l'appareil de commande QMS.
Le fusible F1 du générateur QMH HF est défectueux.
1. Désactivez l'appareil de commande QMS et
débranchez tous les câbles.
2. Dévissez et retirez le capot gauche (avec fenêtre d'affichage).
3. Sur la carte de platine de liaison, vérifiez les fusibles F1 et F2.
4. Si les fusibles sont défectueux, il est possible
qu'il y ait des défauts supplémentaires dans le
générateur QMH HF.
Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Le générateur QMH HF
n'a été mis en marche
que récemment.
● Attendez que « prêt » se mette à briller.
F9
« PRÊT » n’est pas allumée.
« DÉFAILLANCE » ne clignote
pas.
« RF ERREUR » apparaît.
35/50
Anomalies
Symptôme d'erreur
Causes possibles et localisation
Remède
F10
« PRÊT » n’est pas allumée, bien
que la période d’attente se soit
écoulée.
« DÉFAILLANCE » clignote en
continu, même lorsque vous effectuez un réglage.
« RÉSULTAT OPTIMAL » est allumée.
Les pics ne correspondent pas
aux attentes.
Le fusible F2 est défectueux (voir symptôme
d'erreur F8).
● Contrôlez la tension secteur de l'appareil de
commande QMS.
● Contrôlez les tensions d'alimentation sur le câble QC.
─ Affectation des broches
─ Valeurs : +24 V/-24 V (±0,5 V)
F11
« DÉFAILLANCE » ne clignote
pas.
« ERREUR SOURCE D’IONS »
apparaît.
Les sources d'ions et/ou
les tensions d’axes de
champ ne correspondent
pas au point de consigne
Lorsqu'il y a un message d'erreur, il peut être réinitialisé comme suit :
● Débranchez le câble FA et vérifiez l'absence de
court-circuit.
● Débranchez le câble IS et vérifiez l'absence de
court-circuit.
F12
Pics pour les masses plus élevées trop larges ou trop étroits,
bien que « RÉSOLUTION » ΔM =
1 u soit configurée sur l’appareil
de commande.
La commande pour « résolution grossière » a
été ajustée.
● Réglez la résolution.
F13
Pics pour les plus petites masses
trop étroits ou non visibles, bien
que « RÉSOLUTION » ΔM = 1 u
soit configurée sur l’appareil de
commande.
La commande pour
« faible résolution »
n'est pas sur le réglage
pour ΔM = 1 u.
● Réglez la résolution pour les petites masses.
F14
Pics irréguliers, forme irrégulière
La tension de l'axe de
champ n'est pas raccordée au connecteur FA .
● Raccordez le câble de l'axe de champ au générateur HF QMH et à l'analyseur QMA.
La valeur de la tension
d'axe de champ est trop
élevée.
● Contrôlez et corrigez les réglages.
La polarité du câble coaxial HF au niveau des
douilles RF+ et RF- n'est
pas correcte.
● Contrôlez et corrigez la polarité du câble coaxial HF.
Câble FA interrompu.
● Contrôlez la continuité du câble FA (affectation
des broches).
● Débranchez les câbles FA et QC.
a. Risol à la broche 1 de la douille FA > 9 MΩ
contre le châssis.
b. En cas de court-circuit : voir F2 et F11.
F15
Signal de mesure présent, mais
pas de pics résolus
Appareil de commande
réglé sur le mode de
fonctionnement INTEGRAL.
● Réglez les modes de fonctionnement.
Observez le manuel de l’utilisateur du HiQuad
Neo QMG 800.
F16
Valeur de mesure manquante,
bien que tous les paramètres
aient été configurés correctement.
Le pré-amplificateur de
l'électromètre EP n'est
pas raccordé ou est raccordé sur un mauvais
connecteur (EP1, EP2).
● Contrôlez la connexion du pré-amplificateur de
l'électromètre EP.
Erreur dans le câblage
de l’analyseur QMA.
● Contrôlez le raccordement de l’analyseur.
Observez le manuel de l’utilisateur du HiQuad
Neo QMG 800.
Tab. 12:
36/50
Anomalies
Expédition
10
Expédition
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement par produits contaminés
L’expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la santé et la sécurité du personnel de maintenance.
► Conforme aux avis pour une livraison en toute sécurité.
Décontamination payante
Pfeiffer Vacuum décontamine les produits qui ne sont pas clairement déclarés comme
« Sans contaminants », à votre charge.
Expédition en sécurité du produit
► L’expédition de produits microbiologiques, explosibles ou ayant subi une contamination radioactive est interdite.
► Respecter les consignes d’expédition des pays et des sociétés de transport impliqués.
► Les risques potentiels doivent être mis en évidence sur la face extérieure de l’emballage.
► Téléchargez les explications sur la contamination en vous connectant à Pfeiffer Vacuum Service.
► Toujours joindre une déclaration de contamination dûment remplie.
37/50
Recyclage et mise au rebut
11
Recyclage et mise au rebut
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
Protection de l’environnement
Vous devez mettre au rebut le produit et ses composants conformément aux directives applicables pour la protection des personnes, de l’environnement et de la nature.
● Contribuez à la réduction du gaspillage des ressources naturelles.
● Évitez toute contamination.
11.1 Informations générales sur la mise au rebut
Les produits Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables.
► Mettez au rebut nos produits en séparant :
– Fer
– Aluminium
– Cuivre
– Matière synthétique
– Composants électroniques
– Huiles et graisses, sans solvant
► Observez les mesures de sécurité spéciales pour la mise au rebut de :
– Fluoroélastomères (FKM)
– Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé
11.2
Élimination du système du spectromètre de masse
Les systèmes de spectromètre de masse Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux que vous devez
recycler.
1. Démontez les éléments du boîtier.
2. Démontez tous les composants individuels.
3. Démontez les composants électroniques.
4. Décontaminez les composants qui entrent en contact avec les gaz de procédé.
5. Séparez les composants en matériaux recyclables.
6. Recyclez les composants non contaminés.
7. Mettez au rebut le produit ou les composants de façon sûre en conformité avec toutes les directives applicables.
38/50
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
12
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
Nous offrons un service de première classe
Une longue durée de vie des composants du vide, associée à des temps d’arrêt réduits, sont ce que
vous attendez clairement de nous. Nous répondons à vos besoins par des produits efficaces et un service d’exception.
Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux
composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit
Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien
évidemment.
Nos ingénieurs commerciaux et techniciens de service professionnels sont à votre disposition pour
vous assurer un soutien pratique dans le monde entier. Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de
services, allant des pièces de rechange d’origine aux accords de service.
Profitez du service Pfeiffer Vacuum
Qu'il s’agisse du service préventif sur place de notre service sur site, du remplacement rapide par des
produits de rechange comme neufs ou de la réparation dans un centre de service proche de chez
vous ; vous disposez d'une variété d’options pour maintenir la disponibilité de votre équipement. Vous
trouverez des informations détaillées ainsi que les adresses sur notre site web dans la section Pfeiffer Vacuum Service.
Des conseils sur la solution optimale sont disponibles auprès de votre interlocuteur Pfeiffer Vacuum.
Pour un déroulement rapide et efficace de la procédure de service, nous recommandons de suivre les étapes suivantes :
1. Télécharger les modèles de formulaire actuels.
─ Déclaration de demande de service
─ Demande de service
─ Déclaration de contamination
a) Démonter tous les accessoires et les conserver (toutes les pièces externes
montées telles que la vanne, le filtre d’arrivée, etc.).
b) Vidanger le fluide d'exploitation / lubrifiant si nécessaire.
c) Vidanger le fluide de refroidissement si nécessaire.
2. Remplir la demande de service et la déclaration de contamination.
ANFORDERUNG SERVICE
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
3. Envoyer les formulaires par e-mail, fax ou par courrier à votre centre de service local.
4. Vous recevrez une réponse de Pfeiffer Vacuum.
Envoi de produits contaminés
Aucune unité ne sera acceptée si elle est contaminée par des substances micro-biologiques, explosives
ou radioactives. Si les produits sont contaminés ou si la déclaration de contamination est manquante,
Pfeiffer Vacuum contactera le client avant de démarrer la maintenance. Par ailleurs, selon le produit et
le niveau de contamination, des frais de décontamination supplémentaires peuvent être facturés.
39/50
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails contenus dans la déclaration de contamination.
a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec.
b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air.
c) Sceller le produit dans un film de protection approprié.
d) Emballer le produit dans des conteneurs de transport stables appropriés uniquement.
e) Respecter les conditions de transport en vigueur.
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
6. Joindre la déclaration de contamination sur l’extérieur de l’emballage.
7. Envoyer ensuite le produit à votre centre de service local.
8. Vous recevrez un message de confirmation / un devis de la part de
Pfeiffer Vacuum.
Pour toutes les demandes de service, nos Conditions générales de vente et de livraison ainsi que nos
Conditions générales de réparation et de maintenance sont appliquées aux équipements et composants du vide.
40/50
Informations de commande
13
Informations de commande
13.1 Commande de pièces
Commande de pièces détachées, d’accessoires ou de composants optionnels
► Toujours préciser les informations suivantes pour commander des pièces détachées, des accessoires ou des composants optionnels :
● Tous les détails de la plaque signalétique
● Description et référence de commande correspondant à la liste des pièces
13.2
Commande de PDR et accessoires
Description
Référence
Remarque
Câble coaxial HF
PT 168 560 -T
0,7 m, 3,5 kV
Câble d'axe de champ
PT 168 550 -T
0,7 m, 500 V
Description
Référence
Remarque
Câble QMH-QC (24 V)
PT 168 531 -T
1,5 m de long
PT 168 532 -T
3 m de long
PT 168 533 -T
10 m de long
PT 168 534 -T
15 m de long
PT 168 541 -T
1,5 m de long
PT 168 542 -T
3 m de long
PT 168 543 -T
10 m de long
PT 168 544 -T
15 m de long
Tab. 13:
Pièces de rechange
Câble QMH-QC (Ethernet)
Tab. 14:
Accessoires
41/50
Caractéristiques techniques et dimensions
14
Caractéristiques techniques et dimensions
14.1
Fiche technique
Paramètre
Valeur
Dimensions
235 × 193 × 340 mm
Carter 10) (l × H × P) (approx.)
Longueurs de câble
Câble de commande (QC)
1, 5 m, 3 m ou 10 m
Prolongateur de câble de commande
Longueurs telles que requises (voir chapitre « Commande de PDR et accessoires », page 41)
Câble coaxial HF
0,7 m
Câble d'axe de champ
Poids (câble incl.)
Sans emballage
4,5 kg
Avec emballage
6,8 kg
Orientation de montage
Déclivité horizontale max. ±30°
Tab. 15:
Fiche technique
Paramètre
Valeur
Lieu de mise en place
Résistant aux intempéries (espace intérieur)
Degré de protection
IP 20
Classe de protection
I
Altitude d’installation
2000 m max.
Degré de pollution
2
Température d’accumulation
-20 – +60 °C
Température de service
+5 – +40 °C
±0,01 u/°C à 10 – 40 °C
Température de câble (HF/FA)
Max. 200 °C
Humidité relative
Max. 80% à des températures jusqu’à +31 °C.
Diminution linéaire à 50 % à +40 °C.
Tab. 16:
14.2
Conditions ambiantes
Données électriques
Paramètre
Valeur
Fréquence
2,25 MHz
Amplitudes HF (RF+, RF-)
1,5–2 350 Vp
Tension DC (spectre)
0,5–394 ± V DC
Tension d’alimentation
+24 ±0,5 V DC / -24 ±0,5 V DC
Consommation de courant (désajustage max. admissible)
● Four froid
≤ 2,5 A
● Four chaud
≤2,3 A
● Si RF OFF
≤0,9 A
Perte de puissance interne
● Four chaud, désajustage max. admissible
10)
42/50
≤100 W
Un espace supplémentaire est nécessaire pour les câbles.
Caractéristiques techniques et dimensions
Paramètre
Valeur
Températures
● Température de la surface du carter supérieure à la
normale 11)
Typique 30 °C, max. 35 °C
Temps d'auto-échauffement
● Point de commutation du thermostat de protection
contre les surcharges
Env. 100 °C
Approx. 15 minutes (systèmes de refroidissement)
Approx. 60 minutes (carter)
Tension d'axe de champ (FA)
Max. admissible ±500 V avec une limitation du courant à
±2 mA max.
Raccordements du pré-amplificateur de l'électromètre
Alimentation intégrée, sélection de la plage et sélection du signal à distance
Protection des sorties HF
Contre les désajustages inadmissibles, ainsi que le fonctionnement à vide et les courts-circuits
Tension de sortie en fonctionnement à vide
Potentiel d’axe de champ + HF 50 Vp max.
Fusibles
(voir chapitre « Commande de PDR et accessoires », page 41)
Affectation des broches et signaux
(voir chapitre « Raccordements », page 18)
Tab. 17:
14.3
Données électriques
Données de travail avec l'analyseur quadrupolaire
Type QMH
Domaine de masse [u]
Type QMA
Diamètre de tige [mm]
QMH 800-3
300
QMA 430
8
QMH 800-5
512
QMA 400
8
Tab. 18:
Types QMH et QMA
Les grandeurs d'erreur se rapportent aux valeurs de tension des composants HF et CC ; elles ont été
converties en unités de masse pour une meilleure compréhension. La dérive de démarrage des analyseurs (ÉMISSION réglée sur « MARCHE » pour l’analyseur froid) de dM = environ -0,02%/h pendant
4 à 5 h, ainsi que d’autres influences de l’analyseur n’ont pas été prises en compte dans les valeurs
d’erreur spécifiées dM et dΔM. La puissance HF appliquée réchauffe le QMA - cet effet est le rapport
carré du nombre de masse et ne joue donc un rôle que dans le tiers supérieur de l'échelle de masse.
L'effet est approx. le même que celui de l'échauffement à l’aide de la source d'ions.
Paramètre
QMH 800-x
Type d'analyseur QMA
(voir table « Types QMH et QMA », page 43)12)
Système à tiges
(voir table « Types QMH et QMA », page 43)
Domaine de masse Mmin – Mmax 13)
0,5 à 512 u
Domaine de réglage de la résolution
● Largeur de pic constant ΔM10, télécommandée avec le signal RESOLUTION
0,3 à 7 u
● Une résolution constante ΔM/M peut être réglée : résolution grossière
0à2%
(ΔM > 0,3 u)
Période d'attente après un saut d'étape dans le point de consigne
(voir chapitre « Réponse par pas », page 45)
Tailles d'erreur dM et dΔM à Mmax 14)
11)
Température supérieure à la normale = augmentation par rapport à la température ambiante
12)
Avec le QMA 800-3, les informations ne s’appliquent que jusqu’à une masse de 300 u.
13)
Cela permet d'afficher les pics complets jusqu'à Mmax - 1.
43/50
Caractéristiques techniques et dimensions
Paramètre
QMH 800-x
● Dérive par pas, Mmin -> Mmax
environ 0,05 u
● Dérive à long terme, par 100 h
environ 0,03 u
● Dérive à court terme, par 1 h
environ 0,01 u
● Dérive de température (environnement, 10 à 40 °C) par °C
environ 0,01 u
● Impact mécanique, dérive par 10 G
environ 0,02 u
Tab. 19:
Données de travail avec l'analyseur quadrupolaire
+0.1
dM, dΔM [%Mmax]
dM
#1
#2
+0.05
12
5u
0
20
30
40
50
60
70
80
90
100%
M [% Mmax]
M
#1
-0.05
dΔM
-0.1
Fig. 10:
14.4
Non-linéarité de M et ΔM10
Dimensions
Fig. 11:
Dimensions
Dimensions en mm
14)
44/50
Sans erreurs de calibrage, erreurs de stabilité, non-linéarité du signal de commande, mesuré avec QMA 400
ou QMA 410 (méthode de mesure : (voir chapitre « Annexe », page 45)).
Annexe
15
Annexe
15.1
Comportement comme fonction de temps
15.1.1
Réponse par pas
Si le nombre de masse passe de M1 à M2, il faut attendre que le nouvel état soit stable. Il faut masquer
le signal de mesure dans la zone de transition, car il n'a aucun rapport avec la valeur de mesure du
nouveau nombre de masse. La période d'attente nécessaire dépend de M1 et M2, de la direction de la
réponse en as, du type de QMH et de la précision de mesure requise. Pfeiffer Vacuum recommande
d'expérimenter pour optimiser les périodes d'attente, en particulier pour les vitesses de mesure rapides.
C'est le seul moyen de trouver le meilleur compromis entre vitesse et précision de mesure. Les valeurs
indicatives suivantes s’appliquent pour la résolution unitaire (ΔM10 = 1 u), jusqu’à ce que le signal du
détecteur ait atteint 98 % de la valeur finale. Elles ne concernent que le comportement du QMH. Les
délais des systèmes de détection d'ions n'ont pas été pris en compte.
Le temps d'attente tw pour que le QMH s'enclenche est calculé comme suit :
tw = t1 + t2 × |M2 – M1| [ms]
Pour les petits pas de masse (M2 - M1 < 0,5 u), la formule ci-dessus ne s’applique plus - il y a un retard
td résultant du taux de variation fini des signaux HF et DC. De petits pas continus (M2 - M1 < 0,1 u) ont
le même effet qu’une rampe linéaire pour un signal de balayage.
Générateur HF
QMH 800
ML
5u
Type de pas
M1 > M2
M2 > M1
t1
2 ms
2 ms
t2
0,01 ms
0,02 ms
t1
4 ms
4 ms
t2
0,5 ms
1 ms
td
0,15 ms
M1 et/ou M2 ≥ ML
M1 et M2 < ML
M2 - M1 < 0,5 u [ms/u]
Tab. 20:
15.1.2
Délais d'attente pour l'engagement du QMH
Balayages de masse rapides
Pendant les balayages de masse rapides avec une fonction de rampe linéaire, l'échelle de masse est
en retard sur le signal d'entrée (dM) et un écart de largeur de pic (dΔM) se produit.
Pour la vitesse de balayage la plus rapide de 0,5 ms/u et le balayage vers le haut (M1 < M2), ce qui suit
s'applique :
Générateur HF
QMH 800
dM0.5 [u]
0,2
dΔM0.5 [u]
0,15
Tab. 21:
Retard échelle de masse
En cas de balayage vers le bas, les deux signes sont négatifs.
Pour un balayage lent, ce qui suit s'applique :
● dM = dM0,5 × 0,5 / VITESSE [ms/u], et
● dΔM = dΔM0,5 × 0,5 / VITESSE [ms/u]
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Annexe
15.2 Méthode de calibrage du nombre de masse M et de la largeur de ligne ΔM
La position du maximum di pic sur l'échelle de masse est souvent utilisée pour définir le nombre de
masse d'un pic. Cependant, cette méthode est sujette à erreurs. Pour de plus amples informations concernant l'échelle de masse et la largeur de pic, une définition de la méthode de mesure correspondante
est nécessaire.
15.2.1
Position apparente du pic et largeur de ligne
La position apparente de la masse dépend de la largeur de ligne ΔM (c'est-à-dire de la résolution). Ce
décalage des maxima de pic avec la largeur de ligne est un phénomène naturel du spectromètre de
masse quadripôle. C’est pour cela que la position du sommet du pic sur l'échelle de masse n'est pas un
indicateur précis du nombre de masse.
∆M = 2 u
∆M = 1u
∆ M = 0.2 u
M [u]
Fig. 12:
15.2.2
Le sommet du pic se déplace avec ΔM
Position apparente du pic et forme du pic
La position apparente du pic varie en fonction de la forme du pic. Des différentes formes de pic peuvent
apparaître sur différentes positions de l'échelle de masse, même si tous les autres paramètres restent
constants. La forme du pic varie également en fonction du domaine de masse, du filtre quadripolaire
individuel ou de la source d'ions.
M [u]
Fig. 13:
15.2.3
Le sommet du pic se déplace avec la forme du pic
Définition du nombre de masse et de la largeur de ligne
Méthode de calibrage du nombre de masse M et de la largeur de ligne ΔM :
● La largeur de ligne ΔM10 = 1 u est mesurée à 10 % de la hauteur du pic.
● Le nombre de masse se situe au milieu de la ligne ΔM10.
● Le milieu de cette ligne de 10 % est utilisé comme valeur indicative pour le nombre de masse M.
46/50
Annexe
100%
0.5 u
10%
0.5 u
M [u]
0%
M
Fig. 14:
15.2.4
Méthode de calibrage du nombre de masse M et de la largeur de ligne ΔM
Écarts par rapport à M et ΔM
Les diagrammes montrent comment les écarts par rapport aux valeurs indicatives peuvent être déterminés. Ici, dM est l'écart par rapport au point de consigne de la position de la masse M et dΔM est l'écart
par rapport au point de consigne de la largeur de ligne ΔM.
140%
1
100%
2
∆ M + d∆ M
∆M=1
14%
10%
0%
M [u]
M
Fig. 15:
M + dM
1 = pic mesuré | 2 = pic de référence ΔM10 = 1 u
47/50
Déclaration de conformité UE
La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant.
Déclaration pour produit(s) du type :
Générateur de haute fréquence
QMH 800-3
QMH 800-5
Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes.
Basse tension 2014/35/UE
Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE
Restrictions d’utilisation de certaines substances dangereuses, 2011/65/UE (article 2,
numéro 4 d, e, et j)
Standards harmonisés et standards et spécifications nationaux appliqués :
DIN EN 61010-1:2011-07
DIN EN 61326-1:2013-07
DIN EN 55011:2009 + A1:2010 (Classe A)
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Directeur général
Asslar, 2024-04-24
Déclaration de Conformité UK
La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant.
Déclaration pour produit(s) du type :
Générateur de haute fréquence
QMH 800-3
QMH 800-5
Nous déclarons par la présente que le produit cité satisfait à toutes les exigences applicables des Directives Britanniques suivantes.
Réglementation 2016 (Sécurité) sur les Equipements Electriques
Réglementation 2016 sur la Compatibilité Electromagnétique
Réglementation 2012 sur la Limitation de l'Utilisation de Certaines Substances Dangereuses dans les Equipements Electriques et Electroniques
Standards et spécifications appliqués :
EN 61010-1:2010 + A1:2019 + A1:2019/AC:2019
EN IEC 61326-1:2021
EN 55011:2016 + A1:2017 + A11:2020 + A2:2021
Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitution du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park,
MK169PS Newport Pagnell.
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Directeur général
Asslar, 2024-04-24
*BG6016*
ed. A - Date 2503 - P/N:BG6016BFR
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