Pfeiffer GSD 350 OmniStar/ThermoStar - Gas Analysis System Mode d'emploi

MANUEL DE L'UTILISATEUR
FR
Traduction d'original
GSD 350 OMNISTAR ∣ THERMOSTAR
Système d’analyse du gaz
Cher client,
Nous vous remercions d’avoir opté pour un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouveau système
d’analyse du gaz est conçu pour vous donner entière satisfaction pour votre application, de
par sa conception rigoureuse et son parfait fonctionnement. La marque Pfeiffer Vacuum,
synonyme de techniques du vide performantes, se décline en une gamme exhaustive et
variée de produits de grande qualité, assortis d’un service client irréprochable. Forts de cette
expérience pratique étendue, nous avons compilé une multitude d’informations qui peuvent
contribuer à une implémentation efficace et à votre sécurité personnelle.
Sachant que notre produit doit vous permettre d’éviter des arrêts de production coûteux,
nous sommes confiants qu’il pourra vous offrir une solution pour une implémentation efficace
et fiable de votre application individuelle.
Veuillez lire ce manuel de l'utilisateur avant de mettre votre produit en service pour la
première fois. Si vous avez des questions ou suggestions, n’hésitez pas à nous contacter par
e-mail à l’adresse info@pfeiffer-vacuum.de.
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contenues dans ce document.
2/116
Table des matières
Table des matières
1
A propos de ce manuel
1.1 Validité
1.1.1 Documents applicables
1.1.2 Variantes
1.2 Groupe cible
1.3 Conventions
1.3.1 Instructions dans le texte
1.3.2 Pictogrammes
1.3.3 Autocollants sur le produit
1.3.4 Abréviations
1.4 Justificatif de marque
10
10
10
11
11
12
12
12
12
13
14
2
Sécurité
2.1 Consignes générales de sécurité
2.2 Consignes de sécurité
2.3 Mesures de sécurité
2.4 Limites d’utilisation du produit
2.5 Utilisation conforme
2.6 Utilisation incorrecte envisageable
2.7 Qualification personnelle
2.7.1 Garantir la qualification du personnel
2.7.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation
2.7.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum
15
15
15
18
19
19
20
20
20
21
21
3
Description du produit
3.1 Description fonctionnelle
3.1.1 OmniStar
3.1.2 ThermoStar
3.1.3 Version pour gaz corrosifs
3.2 Commandes et indicateurs
3.2.1 Version avec écran
3.2.2 Version sans écran
3.3 Configuration de l’unité
3.3.1 Instrument fondamental
3.3.2 Panneau de connexion
3.3.3 Système d’admission de gaz
3.3.4 Unité de calibrage
3.3.5 Système côté vide élevé
3.3.6 Système de vide primaire
3.3.7 Système de purge de gaz neutre
3.3.8 Unité d’analyse de gaz
3.3.9 Chauffage et isolation
3.3.10Composants électroniques
3.4 Identification du produit
3.5 Contenu de la livraison
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22
22
23
23
23
23
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25
26
26
28
28
28
29
30
30
32
33
33
4
Transport et stockage
4.1 Transport du produit
4.2 Stockage du produit
35
35
35
5
Installation
5.1 Ventilation de l’unité
5.2 Établissement de la connexion Ethernet
5.3 Raccordement de la conduite d’échappement
5.3.1 Sectionnement du tuyau de gaz d'échappement
5.3.2 Raccordement du tuyau de gaz d’échappement
37
37
37
37
37
38
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Table des matières
4/116
5.4
Raccordement de la conduite de purge de gaz neutre
5.4.1 Sectionnement du tuyau de purge de gaz neutre
5.4.2 Raccordement de la conduite de purge de gaz neutre
5.5 Raccordement du capillaire
5.5.1 Raccordement du capillaire en acier inoxydable OmniStar
5.5.2 Raccordement du capillaire ThermoStar quartz
5.6 Adaptation de la position du tuyau flexible capillaire
5.7 Établissement d’une connexion au réseau
5.7.1 Adresses IP
5.7.2 Sous-réseaux
5.7.3 Changement de l’adresse IP pour le GSD 350
5.7.4 Modification de l’adresse IP de l’ordinateur hôte
5.8 Raccordement de la terre fonctionnelle
5.9 Raccordement de l’alimentation électrique
5.10 Installation du logiciel PV MassSpec
38
38
39
40
40
40
41
41
42
43
43
43
44
45
45
6
Interfaces et connexions
6.1 Alimentation
6.2 Borne de connexion de terre
6.3 Connexion « User I/O »
6.4 Connexion « AUX IO »
6.5 Connexion Ethernet (LAN)
47
47
47
47
49
50
7
Mise en service
7.1 Mise en circuit de l’unité
7.2 Démarrage du système de pompage
51
51
51
8
Fonctionnement via l’affichage
8.1 Écran « Dashboard »
8.1.1 Structure du menu avec les fonctions
8.2 Menu « Info »
8.3 Menu « Settings »
8.3.1 Création et édition des recettes de mesure
8.3.2 Ajustement des unités de chauffage
8.3.3 Ajustement des capteurs
8.3.4 Réglage de la langue
8.3.5 Réglage des fonctions de démarrage automatique
8.3.6 Réglage des paramètres réseau
8.3.7 Réglage des paramètres système GSD
8.3.8 Réinitialisation de l'unité aux réglages initiaux
8.3.9 Service
8.4 Menu « Alerts »
8.5 Menu « Control »
8.5.1 Pompage du système de vide
8.5.2 Ventilation du système de vide
8.5.3 Activation et désactivation des unités de chauffage
8.5.4 Ouverture et fermeture de l’admission de gaz (Omnistar)
8.5.5 Étuvage de l’enceinte à vide
8.5.6 Activation et désactivation de l’émission
8.5.7 Activation et désactivation du multiplicateur d'électrons
8.5.8 Ouverture et fermeture de la vanne de calibration
8.6 Menu « Measure »
53
53
54
56
56
57
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60
60
61
61
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62
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63
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64
65
65
65
66
66
67
67
9
Mise hors service
68
10
Maintenance
10.1 Opérations de maintenance et intervalles de maintenance
10.2 Maintenance de l’instrument fondamental
10.2.1Dépose/fixation du couvercle de l’admission de gaz
10.2.2Dépose/fixation des capots latéraux
69
69
71
72
72
Table des matières
10.2.3Dépose/fixation du couvercle de carter
10.2.4Nettoyage des pièces de carter
10.2.5Nettoyage des écrans de protection sur les ventilateurs
10.3 Maintenance du système de vide élevé
10.3.1Remplacez le réservoir du fluide d'exploitation sur la pompe turbomoléculaire
10.3.2Remplacement de la vanne de ventilation
10.4 Maintenance du système de vide primaire
10.4.1Remplacez la pompe à membrane
10.4.2Remplacez la membrane de la pompe à membrane
10.5 Maintenance de l’unité d’analyse de gaz
10.5.1Maintenance de l’analyseur QMA 250 M
10.5.2Maintenance du manomètre de pression totale
10.6 Maintenance du système d’admission de gaz sur l’Omnistar
10.6.1Dépose la bride de l’admission de gaz
10.6.2Remplacement de l’orifice.
10.6.3Remplacement du diffuseur de gaz intérieur et de l’orifice
10.6.4Installation de la bride d’admission de gaz
10.7 Maintenance du système d’admission de gaz sur le Thermostat
10.7.1Dépose la bride de l’admission de gaz
10.7.2Remplacement de l’orifice.
10.7.3Remplacement du diffuseur de gaz intérieur et de l’orifice
10.7.4Installation de la bride d’admission de gaz
10.8 Entretien du capillaire
10.8.1Réduisez la longueur du capillaire en acier inoxydable
10.8.2Remplacement du capillaire en acier inoxydable
10.8.3Sectionnement du capillaire en quartz
10.8.4Remplacement du capillaire en quartz
10.9 Maintenance des unités de chauffage
10.9.1Remplacez le tube capillaire
10.9.2Maintenance du chauffage de l’admission de gaz
10.9.3Entretien du chauffage de l’enceinte à vide
10.10 Entretien des composants électroniques
10.10. Remplacement de l’affichage
1
10.10. Remplacement de l'injecteur PoE
2
10.10. Remplacement de la platine principale
3
10.10. Remplacement de l'unité de courant
4
10.10. Remplacement de l’unité électronique QME 250
5
10.10. Remplacement de l’unité de commande électronique TC 110 sur la
6
pompe turbomoléculaire
10.11 Maintenance de l’unité de calibration
10.11. Ravitaillement en fluide de calibration
1
10.11. Remplacement de la vanne de calibration
2
10.12 Opérations de maintenance additionnelles pour la version pour gaz corrosif
10.12. Remplacez la vanne de purge de gaz neutre
1
10.12. Remplacement du régulateur de pression manuel
2
10.12. Remplacement du régulateur de pression numérique
3
73
74
75
76
76
76
76
76
78
79
79
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82
82
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91
91
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93
93
93
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93
94
94
94
94
94
94
94
95
95
95
96
97
5/116
Table des matières
6/116
11
Dépannage
98
12
Expédition
102
13
Recyclage et mise au rebut
13.1 Informations générales sur la mise au rebut
13.2 Élimination du système d’analyse du gaz
103
103
103
14
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
104
15
Pièces de rechange
106
16
Outil spécial
108
17
Accessoires
17.1 Informations sur les accessoires
17.2 Commande d’accessoires
109
109
109
18
Caractéristiques techniques et dimensions
18.1 Généralités
18.2 Fiche technique
18.3 Dimensions
110
110
110
112
Certification
113
Déclaration de conformité
114
Liste des tableaux
Liste des tableaux
Tab. 1:
Tab. 2:
Tab. 3:
Tab. 4:
Tab. 5:
Tab. 6:
Tab. 7:
Tab. 8:
Tab. 9:
Tab. 10:
Tab. 11:
Tab. 12:
Tab. 13:
Tab. 14:
Tab. 15:
Tab. 16:
Tab. 17:
Tab. 18:
Tab. 19:
Tab. 20:
Documents applicables
Variantes
Caractéristiques des variantes
Abréviations employées
Conditions ambiantes autorisées
Symboles et couleurs des icônes d’état et de composant
LEDs d’état et leur signification
Unités de chauffage sur l’unité
Exemples de sous-réseaux
État de la connexion Ethernet
Structure du menu avec les fonctions
Opérations de maintenance et intervalles de maintenance
Sensibilité déterminée de PrismaPro
Dépannage
Pièces de rechange
Outil spécial
Accessoires
Tableau de conversion : unités de pression
Tableau de conversion : unités de débit de gaz
Fiche technique
10
11
11
14
19
24
25
30
43
50
55
71
80
101
107
108
109
110
110
112
7/116
Liste des figures
Liste des figures
Fig. 1:
Fig. 2:
Fig. 3:
Fig. 4:
Fig. 5:
Fig. 6:
Fig. 7:
Fig. 8:
Fig. 9:
Fig. 10:
Fig. 11:
Fig. 12:
Fig. 13:
Fig. 14:
Fig. 15:
Fig. 16:
Fig. 17:
Fig. 18:
Fig. 19:
Fig. 20:
Fig. 21:
Fig. 22:
Fig. 23:
Fig. 24:
Fig. 25:
Fig. 26:
Fig. 27:
Fig. 28:
Fig. 29:
Fig. 30:
Fig. 31:
Fig. 32:
Fig. 33:
Fig. 34:
Fig. 35:
Fig. 36:
Fig. 37:
Fig. 38:
Fig. 39:
Fig. 40:
Fig. 41:
Fig. 42:
Fig. 43:
Fig. 44:
Fig. 45:
Fig. 46:
Fig. 47:
Fig. 48:
Fig. 49:
Fig. 50:
Fig. 51:
Fig. 52:
Fig. 53:
Fig. 54:
Fig. 55:
8/116
Position des autocollants sur le produit
Diagramme du vide de l’OmniStar
Diagramme du vide du ThermoStar
Alimentation supplémentaire en purge de gaz neutre dans la version pour
gaz corrosif
Écran d'affichage avec touches opérateur
Éléments du carter
Ouvertures de ventilation sur les côtés de l’unité
Panneau de connexion avec interfaces et connexions
Systèmes d’admission de gaz
Unité de calibration en admission de gaz
Pompe à membrane
Système de purge de gaz neutre
Composants de l’unité d’analyse de gaz
Chauffage et isolation de l’enceinte à vide
Chauffage de l’admission de gaz
Chauffage du capillaire
Composants électroniques
Équipement de montage pour analyseur QMA 250
Outil spécial pour l’orifice du système d’admission de gaz
Sectionnement du tuyau de gaz d'échappement
Raccordement du tuyau de gaz d’échappement
Sectionnement du tuyau de purge de gaz neutre
Raccordement de la conduite de purge de gaz neutre
Raccordement du capillaire
Position du tuyau flexible capillaire à la livraison
Raccordement pour la terre fonctionnelle
Connexion d'alimentation électrique avec fiche CEI 320 C13
Branchement secteur avec interrupteur principal et fusible
Connexion « USER IO »
Connexion « AUX IO »
Connexion Ethernet (LAN)
Écran « Dashboard » après démarrage du programme
Écran de « Control »
Écran « Dashboard »
Exemple de réglage de paramètre
Sous-menu « Recipes »
Recette de mesure pour le mode de mesure « Scan du spectre »
Recette de mesure pour le mode de mesure « Masses sélectionnées »
Mode de trempage de l’enceinte à vide
Sous-menu « Langue »
Sous-menu « Autostart »
Sous-menu « Réseau »
Sous-menu « GSD »
Sous-menu « Factory settings »
Menu « Control »
Dépose/fixation du couvercle de l’admission de gaz
Dépose/fixation des capots latéraux
Dépose/fixation du couvercle de carter
Face inférieure de l'unité
Remplacez la pompe à membrane
Raccordement et retrait du tuyau de gaz d’échappement et d’admission
Spectromètre de masse quadripôle PrismaPro
Gorge sur l’analyseur
Manomètre de pression totale sur l’unité d’analyse de gaz
Pièces du diffuseur de gaz interne sur l’Omnistar
13
22
23
23
24
25
26
26
27
28
29
29
30
31
31
32
32
33
34
38
38
39
39
40
41
45
45
47
48
50
50
51
52
54
57
57
58
58
59
60
61
61
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62
64
72
73
74
76
77
77
79
80
81
82
Liste des figures
Fig. 56:
Fig. 57:
Fig. 58:
Fig. 59:
Fig. 60:
Fig. 61:
Fig. 62:
Fig. 63:
Fig. 64:
Fig. 65:
Fig. 66:
Fig. 67:
Fig. 68:
Fig. 69:
Démontage du bloc de vannes
Pièces du diffuseur de gaz interne
Dépose la bride de l’admission de gaz
Longueur du capillaire en acier inoxydable avec raccord à vis à collier de
serrage
Entaillage et cassage du capillaire en acier inoxydable
Raccord à collier de serrage pour capillaire en acier inoxydable
Entaillage et cassage du capillaire de quartz
Raccord à vis avant du capillaire en quartz
Remplacement de l’affichage
Unité de calibrage
Vanne de la purge de gaz sur la pompe turbomoléculaire
Clé PV M40 813 pour couvercle de carter de la pompe turbomoléculaire
Adaptateur de tube capillaire
Dimensions
83
85
86
89
89
90
91
92
94
95
96
108
109
112
9/116
A propos de ce manuel
1 A propos de ce manuel
IMPORTANT
Bien lire avant d'utiliser le produit.
Conserver ce manuel pour une future utilisation.
1.1
Validité
Ce document décrit la fonction des produits de la liste suivante et contient les informations les plus importantes pour une utilisation sécurisée. La description est rédigée conformément aux directives en vigueur. Les informations contenues dans ce document correspondent à l'état de développement actuel
des produits. Le document conserve sa validité à condition que le client n'apporte aucune modification
au produit.
1.1.1
Documents applicables
Désignation
Document
Manuel de l'utilisateur « GSD 350 OmniStar/ThermoStar »
Fonctionnement via l'interface web et PV MassSpec
DA 0106
Manuel de l'utilisateur « Spectromètre de masse quadripole »
QMG 250 PrismaPro
BG 6001
Guide de démarrage rapide « Spectromètre de masse quadripole »
QMG 250 PrismaPro
BG 6003
Manuel de l'utilisateur « Pompe à membrane »
MVP 010-3 DC
PU 0071
Manuel de l'utilisateur « Pompe turbomoléculaire »
HiPace 80
PT 0208
Informations supplémentaires « Pompe turbomoléculaire »
SplitFlow 80
PT 0635
Manuel de l'utilisateur « Unité de commande électronique »
TC 110
PT 0204
Manuel de l'utilisateur « Manomètre de pression totale »
Jauge à cathode froide/Pirani DigiLine MPT 200 AR
PG 0025
Informations supplémentaires « Relais analogique »
Jauge DigiLine
PG 0029
Manuel de l'utilisateur « Mini vanne équerre » 1)
EVI 005 M
BP 5120
Manuel de l'utilisateur « Vanne de ventilation »
PT 0228
Manuel de l'utilisateur « Vanne de la purge de gaz » 2)
PT 0229
Documentation du logiciel
PV MassSpec
(Élément du logiciel)
Fiche technique de sécurité 3)
Perfluorotributylamine (PFTBA)
-
Manuel de l'utilisateur « Surveillance de la pression » 4)
-
Déclaration de conformité
(Composante de ces instructions)
Tab. 1:
1)
10/116
Documents applicables
uniquement pour la version avec unité de calibration
2)
uniquement pour la version pour gaz corrosifs
3)
uniquement pour la version avec unité de calibration
4)
uniquement pour la version pour gaz corrosifs
A propos de ce manuel
Vous trouverez ces documents dans le Centre de téléchargement Pfeiffer Vacuum.
1.1.2
Variantes
Ce document est applicable à tous les produits avec les références suivantes :
Variante
Version
Analyseur avec filament chauffé
Admission de gaz
Domaine de
masse
Affichage
PT Q8 = OmniStar
0 = Standard
GSD 350 O
1 = Gaz corrosif
GSD 350 O C
1 = Ir-Y2O3 (unité de calibrage)
2 = Ir-Y2O3
161 = Acier inoxydable/
sans tube capillaire
1 = 100 u
2 = 200 u
3 = 300 u
0 = oui
1 = non
1 = 100 u
2 = 200 u
3 = 300 u
0 = oui
1 = non
5 = W (unité de calibration)
6=W
171 = Acier
inoxydable/1 m/chauffage
à 200 °C
172 = Acier inoxydable / 2 m / chauffage
à 200 °C
173 = Acier inoxydable / 1 m / chauffage
à 350 °C
PT Q9 = ThermoStar
0 = Standard
GSD 350 T
1 = Gaz corrosif
GSD 350 T C
1 = Ir-Y2O3 (unité de calibrage)
2 = Ir-Y2O3
5 = W (unité de calibration)
6=W
101 = Quartz/sans tube
capillaire
111 = Quartz/1 m/chauffage à 200 °C
112 = Quartz / 2 m /
chauffage à 200 °C
113 = Quartz / 1 m /
chauffage à 350 °C
Tab. 2:
Variantes
Rupture basée sur l’exemple de la référence PT Q80 217 110
●
●
●
●
●
●
Version Omnistar
Version standard
Analyseur avec filament chauffé en Ir-Y2O3, sans unité de calibration
Admission de gaz avec capillaire de 1 m en acier inoxydable et chauffage jusqu’à 200 °C
Domaine de masse jusqu’à 100 u
Version avec écran
Caractéristique
OmniStar
ThermoStar
Capillaire
Acier inoxydable
(DE = 1/16 po, DI = 0,15 mm)
Quartz
(DE 0,23 mm, DI = 0,15 mm)
Orifice d’admission de gaz
Platinum/Iridium
Platinum/Iridium
Admission de gaz
Commande par 2 vannes
Ouvert en continu
Options
● Chauffage jusqu’à 200 °C ou 350 °C
● Version pour gaz corrosif avec raccord de la purge de gaz neutre
● Unité de calibration pour calibration de l’échelle de masse
(Fluide de calibration pour calibration de la masse : PFTBA)
Tab. 3:
Caractéristiques des variantes
Vous trouverez le numéro de la pièce sur la plaque signalétique du produit.
Pfeiffer Vacuum se réserve le droit d'apporter des modifications techniques sans préavis.
Les figures de ce document ne sont pas à l’échelle.
Les dimensions sont indiquées en mm, sauf avis contraire.
1.2
Groupe cible
Ce manuel d'utilisation s’adresse à toutes les personnes en charge
● du transport,
● de l'installation,
11/116
A propos de ce manuel
●
●
●
●
de la commande et de l'utilisation,
de la mise hors service,
de la maintenance et du nettoyage,
du stockage et du recyclage du produit.
Les opérations décrites dans ce document doivent uniquement être effectuées par un personnel doté
de la formation technique nécessaire (personnel qualifié), ou ayant suivi une formation correspondante
de Pfeiffer Vacuum.
1.3
Conventions
1.3.1
Instructions dans le texte
Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à
réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes.
Action unique
Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape.
► Il s'agit d’une étape unique.
Action en plusieurs étapes
Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique.
1. Étape 1
2. Étape 2
3. ...
1.3.2
Pictogrammes
Les pictogrammes utilisés dans ce document indiquent des informations utiles.
Remarque
Conseil
Portez des gants de laboratoire
Contrôlez visuellement
1.3.3
Autocollants sur le produit
Cette section décrit tous les autocollants sur le produit ainsi que leur signification.
Plaque signalétique (exemple)
Plaque signalétique de l'unité
D-35614 Asslar
Mod.
P/N
S/N
Input
GSD 350
PT Q80 ...
...
...
Made in Germany 2020/02
Avertissement, surface chaude
Cet autocollant avertit l'opérateur du risque de blessure lié
aux hautes températures en cas de contact sans protection
pendant le fonctionnement.
12/116
A propos de ce manuel
1
2
Fig. 1:
Position des autocollants sur le produit
1 Autocollant « Avertissement - surface chaude »
1.3.4
2
Plaque signalétique
Abréviations
Abréviation
Explication
AD
Diamètre externe
AI
Entrée analogique
AO
Sortie analogique
ATEX
Zones présentant un risque d’atmosphère explosive (atmosphères explosives)
C/B
Croisement (type de source d'ions)
DCU
Appareil de commande et d’affichage
DHCP
Protocole de communication pour l'attribution de la configuration du réseau (Dynamic
Host Communication Protocol)
DI
Entrée numérique
DO
Sortie numérique
EM
Multiplicateur d'électrons
EPDM
Caoutchouc éthylène-propylène-diène monomère, groupe M
FIL
Filament
FKM
Caoutchouc fluoré
ID
Diamètre interne
IP
Protocole internet
IQS
Norme pour les connecteurs mâle-femelle dans la technique du vide
Ir-Y2O3
Iridium recouvert d’oxyde d’yttrium (Y2O3) (Ir)
NBR
Caoutchouc butadiène-nitrile
MSL
Niveau moyen de la mer
PA
Polyamide
PE
Polyéthylène
PID
Régulateur proportionnel, intégral, dérivé
PV
Pfeiffer Vacuum
PVC
Polychlorure de vinyle (PVC)
PFTBA
Liquide incolore pour le calibration des masses (perfluorotributylamine)
PoE
Alimentation électrique par câble Ethernet (Power over Ethernet)
13/116
A propos de ce manuel
Abréviation
Explication
PWM
Type de modulation (impulsion avec modulation) dans laquelle une variable technique,
par ex. la tension électrique, varie entre 2 valeurs.
PTFE
Polymère de fluor et de carbone (polytétrafluoroéthylène)
RJ-45
Connecteur mâle-femelle normalisé pour le câblage de télécommunication (jack normalisé)
sccm
Centimètres cube standard par minute comme unité d’une quantité définie de débit de
gaz par unité de temps sous des conditions standard
slpm
Litres standard par minute comme unité d’une quantité définie de débit de gaz par unité de temps sous des conditions standard
VLAN
Réseau local virtuel (Virtual local area network)
W
Tungstène
Tab. 4:
1.4
Abréviations employées
Justificatif de marque
● Windows® et Internet Explorer® sont des marques déposées de Microsoft Corporation.
● OmniStar®, ThermoStar® et PrismaPro® sont des marques déposées de Pfeiffer Vacuum GmbH.
● Swagelok® est une marque de commerce déposée de la société Swagelok.
14/116
Sécurité
2 Sécurité
2.1
Consignes générales de sécurité
Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit :
DANGER
Danger direct et imminent
Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVERTISSEMENT
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
ATTENTION
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVIS
Obligation ou signalement
Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure
physique.
► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels
Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le
produit ou le présent document.
2.2
Consignes de sécurité
Consignes de sécurité selon les étapes de la vie du produit
Toutes les consignes de sécurité de ce document sont basées sur les résultats d'une évaluation des risques. Pfeiffer Vacuum a pris en compte toutes les étapes pertinentes de la
vie du produit.
Risques lors du transport
AVERTISSEMENT
Danger de blessures graves en cas de chute d’objets
La chute d’objets peut entraîner des blessures sur les membres, voire même des fractures osseuses.
► Soyez particulièrement vigilant lors du transport manuel du produit.
► Ne pas empiler le produit.
► Portez un équipement de protection, tel que des chaussures de sécurité.
15/116
Sécurité
AVERTISSEMENT
Risque de blessure lors du levage de charges lourdes
Le produit est lourd ; il peut peser jusqu’à 26 kg, selon la version. Une personne soulevant le produit
sans aide et de manière incorrecte risque de se blesser.
► Faites toujours appel à 2 personnes pour soulever le produit à deux mains.
► Prenez toujours les mesures de sécurité requises (portez par ex. des gants de protection).
► Respectez la réglementation locale.
► Conforme aux instructions pour un transport en toute sécurité.
Risques lors de l’installation
DANGER
Danger de mort en cas d’électrocution
Une mise à la terre inappropriée ou incorrecte de l’unité entraîne une tension sensible aux contacts
au niveau du boîtier. Lors de la connexion, des courants de fuite plus élevés vont déclencher un choc
électrique potentiellement mortel.
► Avant l’installation, contrôlez que les conducteurs d’alimentation ne sont pas sous tension.
► Acheminez le câble électrique conformément aux dispositions locales en vigueur.
► Assurez-vous que les valeurs de tension et de fréquence locales correspondent aux spécifications de la plaque signalétique.
► Veillez à ce que le câble d’alimentation et la rallonge soient conformes aux exigences de double
isolation entre la tension d’entrée et la tension de sortie, conformément aux normes CEI 61010
et CEI 60950.
► N'utilisez qu’un câble d'alimentation à 3 broches et une rallonge disposant d'une mise à la terre
correcte (conducteur mis à la terre).
► Ne branchez la fiche électrique que dans une prise disposant d'un contact de mise à la terre.
► Afin de garantir la protection de la mise à la terre, il convient de toujours brancher le câble électrique avant tous les autres.
DANGER
Électrocution en raison de l’absence de conducteur de protection interne
Le conducteur de protection interne est fixé au logement. Une unité sans conducteur de protection
interne peut présenter un danger de mort en cas de dysfonctionnement.
► Ne tournez pas ou ne débloquez pas le conducteur de protection interne.
Risques pendant le fonctionnement
DANGER
Chocs électriques en raison de la pénétration d'humidité dans l'appareil
L’humidité qui a pénétré dans l’appareil cause des blessures par électrisation.
► L'appareil ne peut être utilisé que dans un environnement sec.
► L'appareil doit être utilisé à distance de tout liquide et source d'humidité.
► Ne pas allumer l'appareil si un liquide y a pénétré. Contacter le Service Pfeiffer Vacuum.
► Toujours déconnecter l'alimentation électrique avant de nettoyer l'appareil.
AVERTISSEMENT
Risque de brûlure sur les surfaces chaudes
Pendant le fonctionnement, les températures montent très haut (> 50 °C) sur les surfaces de contact
des composants de chauffage et sur l’admission de gaz. Il existe un risque de brûlure.
► Prenez les mesures requises pour prévenir tout contact avec les pièces chaudes.
► Apposez des signaux d’avertissement.
► Veillez à ce que le produit se soit refroidi avant d’intervenir dessus.
► Portez des gants de protection (conformément à EN 420).
16/116
Sécurité
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement dû à la substance de processus toxique s’échappant de la conduite d’échappement
Lorsqu’elle fonctionne sans conduite de refoulement, la pompe à vide rejette les gaz et vapeurs de
refoulement dans l’air. Risque de blessure et de mort dû à l’empoisonnement par les substances de
processus toxiques.
► Respecter la réglementation en vigueur concernant le traitement des substances de processus
toxiques.
► Évacuer les substances de processus toxiques en toute sécurité par une conduite de refoulement.
► Employer des moyens de filtration appropriés pour séparer les substances de processus toxiques.
ATTENTION
Risques sanitaires et environnementaux dus aux de gaz de procédé utilisés
Les gaz utilisés (gaz de procédé) constituent un risque sanitaire et environnemental.
► Contrôler l'étanchéité des branchements avant de laisser le gaz de procédé pénétrer dans le
système.
► Veiller à ce que le système des gaz d'échappement soit compatible avec les gaz injectés.
► Tenir compte des interactions potentielles entre les matériaux et les gaz de procédé.
► Respecter les directives en vigueur lors de la manipulation de gaz utilisés.
► Respecter les mesures de protection.
Risques pendant la maintenance
DANGER
Danger de mort par électrocution
L'appareil présente des tensions élevées. Danger de mort en cas de contact avec des éléments sous
tension. La mise en service de l'appareil alors qu'il est visiblement endommagé implique un danger
de mort.
► Toute intervention sur l'appareil ouvert doit être confiée à un personnel spécialisé et qualifié.
► Avant d'exécuter une installation ou une opération de maintenance, arrêtez l'appareil et déconnectez-le de l'alimentation électrique.
► N’ouvrez jamais l'appareil lorsqu'il est branché à une source d'alimentation électrique.
► Prenez les mesures nécessaires pour éviter toute réactivation involontaire ou non autorisée.
► Ne faites jamais fonctionner un appareil ouvert ou défectueux.
► Prenez les mesures nécessaires pour empêcher l'utilisation accidentelle d'un appareil défectueux.
► Protégez l'appareil contre l'humidité.
AVERTISSEMENT
Risque de brûlure sur les surfaces chaudes
Pendant le fonctionnement, les températures montent très haut (> 50 °C) sur les surfaces de contact
des composants de chauffage et sur l’admission de gaz. Il existe un risque de brûlure.
► Prenez les mesures requises pour prévenir tout contact avec les pièces chaudes.
► Apposez des signaux d’avertissement.
► Veillez à ce que le produit se soit refroidi avant d’intervenir dessus.
► Portez des gants de protection (conformément à EN 420).
17/116
Sécurité
AVERTISSEMENT
Risques pour la santé dus aux agents nettoyants
Les détergents utilisés peuvent nuire à la santé et causer un empoisonnement, des allergies, une irritation de la peau, des brûlures chimiques ou endommager les voies respiratoires.
► Respectez les réglementations en vigueur pour la manipulation des agents nettoyants.
► Respectez les mesures de sécurité concernant la manipulation et la mise au rebut des agents
nettoyants.
► Attention aux réactions potentielles avec les matériaux du produit.
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
ATTENTION
Risque de blessure par éclatement du capillaire en quartz
Les capillaires au quartz éclatent en cas d’utilisation non conforme. Risque de grave blessure aux
yeux lié à la projection d'éclats.
► N’exercez pas de force en entaillant le capillaire en quartz.
► Portez des lunettes de protection.
Risques liés à l'expédition
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement par produits contaminés
L’expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la santé et l’ sécurité du personnel de maintenance.
► Conforme aux instructions pour une distribution en toute sécurité.
Risques pendant la mise au rebut
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
2.3
Mesures de sécurité
Le produit est conçu sur la base des technologies les plus récentes et des règles techniques de sécurité reconnues. Cependant, une utilisation incorrecte peut présenter un risque de blessure ou un danger
de mort pour l'opérateur et toute autre personne, ainsi qu'un risque de dommages matériels sur le produit et autres.
18/116
Sécurité
Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels
Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit.
Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du
produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document.
Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit
La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit
d'origine ou installe un équipement supplémentaire
● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le
cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives
européennes applicables avant de mettre en service ce système.
Mesures de sécurité générales lors de la manipulation du produit
► Respectez toutes les dispositions de sécurité et de prévention des accidents en vigueur.
► Contrôlez régulièrement que toutes les mesures de sécurité sont respectées.
► Les consignes de sécurité doivent être transmises aux autres utilisateurs.
► N'exposez aucune partie du corps au vide.
► Assurez toujours un raccordement sûr au conducteur de terre (PE).
► Ne débranchez jamais les fiches de raccordement en cours de fonctionnement.
► Respectez les procédures d’arrêt ci-dessus.
► Tenez les conduites et les câbles éloignés des surfaces chaudes (> 70 °C).
► N'effectuez pas vous-même de conversions ou de modifications de l'appareil.
► Consultez le degré de protection de l’unité avant son installation ou fonctionnement dans d’autres
environnements.
► Mettez en place des équipements de protection adaptés contre tout contact physique si la température de surface dépasse 70 °C.
► Il convient de toujours s'informer d'éventuelles contaminations avant de commencer à travailler.
2.4
Limites d’utilisation du produit
Emplacement de l’installation
protégé des intempéries (espace intérieur)
Altitude de l’installation
2 000 m max.
Humidité rel. de l’air
max. 80 %, à T <31°C,
jusqu’à max. 50 % à T <40°C
Classe de protection
I
Catégorie de surtension
II
Degré de protection admissible
IP30
Degré de pollution
2
Température ambiante
10 °C à 40 °C
Tab. 5:
2.5
Conditions ambiantes autorisées
Utilisation conforme
Le système d’analyse du gaz est utilisé pour le contrôle manuel ou l’analyse automatique des gaz non
corrosifs et non inflammables. La version pour gaz corrosifs du système d’analyse du gaz est compatible avec les applications spécifiques pour gaz corrosifs.
► L'installation, l'utilisation et l'entretien du produit doivent être exécutés exclusivement conformément au manuel de l'utilisateur.
► Conforme aux limites d'application.
► Observez la fiche technique.
► Contactez Pfeiffer Vacuum pour demander conseil sur les gaz corrosifs ou inflammables.
19/116
Sécurité
2.6
Utilisation incorrecte envisageable
Toute utilisation incorrecte du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité. Toute
utilisation non conforme à l’objectif du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée comme
abusive, en particulier :
● Utilisation hors des limites mécaniques et électriques d’application
● Utilisation avec des substances corrosives ou inflammables, si cette utilisation n’est pas explicitement autorisée
● Fonctionnement dans les zones potentiellement explosives 5)
● Fonctionnement dans des environnements susceptibles de contenir des mélanges gazeux explosifs.
● Fonctionnement à l’extérieur
● Utilisation suite à des modifications techniques (à l’intérieur ou à l’extérieur du produit)
● Utilisation d’accessoires ou de pièces de rechange non listés dans ces instructions
2.7
Qualification personnelle
L'utilisation décrite dans ce document doit être confiée à des personnes disposant des qualifications
professionnelles adéquates et de l'expérience nécessaire ou qui ont suivi la formation requise dispensée par Pfeiffer Vacuum.
Formation du personnel
1. Former le personnel technique sur le produit.
2. Ne laisser le personnel à former travailler avec et sur le produit que sous la supervision d'un personnel qualifié.
3. Seul un personnel technique formé est autorisé à travailler avec le produit.
4. Avant de commencer à travailler, s'assurer que le personnel engagé a lu et compris ce mode
d'emploi et tous les documents pertinents, en particulier les informations relatives à la sécurité, à
l'entretien et à la réparation.
2.7.1
Garantir la qualification du personnel
Spécialistes des travaux mécaniques
Seuls des spécialistes qualifiés peuvent effectuer des travaux mécaniques. Selon la définition de ce document, les spécialistes sont des personnes responsables de la construction, de l'installation mécanique, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes :
● Compétences dans le domaine mécanique conformément aux régulations nationales en vigueur
● Connaissance de cette documentation
Spécialisation dans les travaux d'ingénierie électriques
Seul un électricien qualifié peut effectuer des travaux d'ingénierie électriques. Selon la définition de ce
document, les électriciens sont des personnes responsables de l'installation électrique, de la mise en
service, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes :
● Compétences dans le domaine de l'ingénierie électrique conformément aux régulations nationales
en vigueur
● Connaissance de cette documentation
De plus, ces personnes doivent être familiarisées avec les réglementations et la législation en matière
de sécurité en vigueur, ainsi que les normes, directives et lois mentionnées dans cette documentation.
Les personnes mentionnées ci-dessus doivent avoir obtenu expressément l'autorisation d'utilisation afin
de mettre en service, de programmer, de configurer, de marquer et de mettre à la terre les appareils,
systèmes et circuits conformément aux standards technologiques en matière de sécurité.
Personnes qualifiées
Seules les personnes spécialement formées peuvent effectuer toutes les opérations relatives au transport, à l'entreposage, à l'utilisation et à la mise au rebut. Ce type de formation doit garantir que ces personnes sont capables d'exécuter correctement les activités et opérations requises, et en toute sécurité.
5)
20/116
Le système d’analyse du gaz n’est pas à l’épreuve des explosions, dans le sens de la norme ATEX.
Sécurité
2.7.2
Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation
Formations avancées
Pfeiffer Vacuum propose des formations avancées pour les niveaux de maintenance 2 et 3.
Les personnes adéquatement qualifiées sont :
● Maintenance de niveau 1
─ Client (spécialiste formé)
● Maintenance de niveau 2
─ Client avec formation technique
─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum
● Maintenance de niveau 3
─ Client avec formation à l'entretien Pfeiffer Vacuum
─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum
2.7.3
Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum
Pour une utilisation optimale et sans problème de ce produit, Pfeiffer Vacuum propose une gamme
complète de cours et de formations techniques.
Pour plus de précisions, contacter le service de formation technique Pfeiffer Vacuum.
21/116
Description du produit
3 Description du produit
3.1
Description fonctionnelle
Le GSD 350 peut analyser différents composants de gaz simultanément. Le gaz à analyser passe à
travers un étage de réduction de pression vers le PrismaPro qui fonctionne sous vide. Le PrismaPro
ionise une partie du gaz et sépare et détecte les différents composants du gaz à partir de leur différent
rapport masse/charge.
Deux versions du GSD 350 sont disponibles avec différents systèmes d’admission de gaz (OmniStar et
ThermoStar). Le système d’admission de gaz réduit la pression du gaz à analyser de 1000 hPa vers la
pression de travail du PrismaPro. L’unité d’analyse du gaz, le vide élevé et le système d’acheminement
du gaz sont les mêmes dans les deux versions.
3.1.1
OmniStar
14
15
1
2
12
4 5
6
10
13
3
7
8
11
Fig. 2:
1
2
3
4
5
6
7
8
22/116
9
Diagramme du vide de l’OmniStar
Analyseur QMA 250 M
Chauffage de l’enceinte à vide
Source d’ions
Vanne d’admission de gaz (V1) vers la source d’ions
Chauffage de l’admission de gaz
Capillaire en acier inoxydable avec chauffage
Vanne de pompe (V2)
Vanne d’isolement EVI 005 M sur l’unité de calibration
9
10
11
12
13
14
15
Unité de calibration (en option)
Pompe à membrane
Raccord de gaz d’échappement
Pompe turbomoléculaire
Vanne de mise à l’air
Unité électronique QME 250
Manomètre de pression totale
Description du produit
3.1.2
ThermoStar
1 2 3
13
12
4
5
8
6
11
9
7
10
Fig. 3:
1
2
3
4
5
6
7
3.1.3
Diagramme du vide du ThermoStar
Analyseur QMA 250 M
Source d’ions
Chauffage de l’enceinte à vide
Chauffage de l’admission de gaz
Capillaire en quartz avec chauffage
Vanne d’isolement EVI 005 M sur l’unité de calibration
Unité de calibration (en option)
8
9
10
11
12
13
Pompe turbomoléculaire
Pompe à membrane
Raccord de gaz d’échappement
Vanne de mise à l’air
Unité électronique QME 250
Manomètre de pression totale
Version pour gaz corrosifs
1
8
7
6
5
4
P
2
3
Fig. 4:
1
2
3
4
Alimentation supplémentaire en purge de gaz neutre dans la version pour gaz corrosif
Raccordement à l’enceinte à vide
Raccord de gaz d’échappement
Vanne de retenue
Pressostat numérique avec manomètre
3.2
Commandes et indicateurs
3.2.1
Version avec écran
5
6
7
8
Vanne du gaz de pressurisation
Raccord de la purge de gaz neutre
Régulateur de pression manuel
Vanne de mise à l’air
L’écran tactile 7 po est situé en face avant de l’unité et peut être retiré du boîtier via les 2 rainures de
dégagements sur le côté. Le champ opérateur et les touches opérateur sont sensibles au contexte et
changent afin de refléter les fonctions de l’écran. Les fonctions indisponibles sont grisées.
23/116
Description du produit
Messages d’avertissement ou de défaut
En cas de message d'avertissement ou de défaut, un triangle d’avertissement s'affiche en
haut à droite sur l’écran et la touche « Messages » est activée. Le triangle d’avertissement
est susceptible d’apparaître sur l’ensemble des écrans de menu. Une description de l’erreur est affichée quand le triangle d’avertissement est enfoncé.
8
1
2
7
6
6
5
Fig. 5:
3
Écran d'affichage avec touches opérateur
1 Barre de titre avec le nom du menu
2 Triangle d’avertissement ou notifiant les messages
d’anomalie
3 Icône d’état
4 Icône de composant
Symbole
5
6
Champ opérateur inactif à l’écran (grisé)
Commandes
7
8
Champ opérateur actif à l’écran
Lien vers la page d’accueil
Signification
Couleur
Vert clair
Activé, état de marche atteint
Vert foncé
Activé, état de marche pas encore atteint
Gris clair
Non activé
Gris foncé
En cours de désactivation, état de désactivation pas encore atteint
Coche sur l’icône d’état
état stable, état final d’activation ou de désactivation atteint
Arc tournant dans l’icône d’état
Fonction lancée ou stoppée, état final pas encore atteint
Tab. 6:
3.2.2
4
Symboles et couleurs des icônes d’état et de composant
Version sans écran
Diverses LED indiquent l’état des différents systèmes sur le modèle dépourvu d’écran. La commande
se fait uniquement via l’interface web.
24/116
LED
Fonction
Description
0
Puissance
La LED indique l’état de l’alimentation électrique. Lorsqu’elle est allumée, l’unité est sous tension.
1
Vide + unité opérationnelle
La LED clignote pendant la mise en route des pompes à vide ; elle reste
allumée fixe dès que la pompe à vide est évacuée et le système est
opérationnel pour effectuer une mesure.
2
Erreur
Message d’erreur générale
3
Dispositif de chauffage
La LED s’allume lorsque les unités de chauffage sont mises en marche.
Description du produit
LED
Fonction
Description
4
Filament chauffé
La LED s’allume en présence d’un flux dans le filament.
5
Purge
La LED s’allume lorsque le raccordement à la purge de gaz neutre est
établie ; elle clignote lorsque la surveillance de la purge de gaz neutre
est shuntée (uniquement pour les travaux de maintenance).
Tab. 7:
LEDs d’état et leur signification
3.3
Configuration de l’unité
3.3.1
Instrument fondamental
L’instrument fondamental est constitué d’un châssis et de couvercle amovibles.
Pour la ventilation, le GSD 350 est équipé de :
● 2 ouvertures de ventilation, avec ventilateurs sur les côtés
● Ouvertures de ventilation en haut et en bas des affichages amovibles
● Un ventilateur intégré dans l’unité de courant
2
1
3
12
11
8
5
9
10
Fig. 6:
4
6
7
Éléments du carter
1
Couvercle de carter
2, 3 Panneau de connexion en option pour
le tube capillaire chauffé
4
Ouverture de ventilation (sortie)
8
9
Ouverture de ventilation (admission)
Capot latéral (de droite)
10
5
Capot latéral (de gauche)
11
6
7
Cadre, châssis
Panneau de connexion
12
Panneau de connexion pour le tube capillaire
chauffé (position à la livraison)
Écran tactile 7 po
(Alternative : affichage à LED sans écran)
Couvercle de l’admission de gaz
25/116
Description du produit
1
2
Fig. 7:
Ouvertures de ventilation sur les côtés de l’unité
1 Admission avec ventilateur
3.3.2
2
Échappement avec ventilateur
Panneau de connexion
Le panneau de connexion contient toutes les interfaces et connexions de l’unité.
D-35614 Asslar
Mod. GSD 350
P/N PT Q80 ...
S/N ...
Input ...
8
Made in Germany 2020/02
7
1
Fig. 8:
1
2
3
4
3.3.3
2
3
4
5
6
Panneau de connexion avec interfaces et connexions
Connexion « AUX IO »
Connexion « USER IO »
Connexion Ethernet (RJ-45)
Pression numérique pour purge de gaz
neutre 7)
5
6
7
8
Raccord de la purge de gaz neutre 6)
Raccord de gaz d’échappement
Alimentation avec interrupteur de mise sous tension
Raccord de terre (terre fonctionnelle)
Système d’admission de gaz
Le diffuseur de gaz vers la source d’ions est vissé sur le système d’admission de gaz. Le diffuseur de
gaz retient l’orifice et dirige le flux de gaz vers la chambre de formation de la source d’ions. La douille
en céramique agit comme isolant électrique. Un ressort à pression comprime la douille en céramique
contre la chambre de formation de la source d’ions.
26/116
6)
uniquement pour la version pour gaz corrosifs
7)
uniquement pour la version pour gaz corrosifs
Description du produit
1
8
7
2
6
5
4
3
Fig. 9:
1
2
3
4
Systèmes d’admission de gaz
Admission de gaz Thermostat
Enceinte à vide
Pompe turbomoléculaire
Aspiration intermédiaire de la pompe turbomoléculaire
5
6
7
8
Bride de raccordement
Admission de gaz Omnistar
Vanne d’admission
Vanne de pompe
Système d’admission de gaz (OmniStar)
Lorsque l’admission de gaz est ouverte, un volume de 1 à 2 sccm du gaz à analyser reflue par le capillaire en acier inoxydable vers l’unité de vanne. Le gaz atteint l’orifice sans démixtion via la phase de
réduction de la pression. Le capillaire en acier inoxydable est situé dans un tube capillaire, qui peut être
chauffé à 200 °C, voire à 350 °C en option. Le chauffage capillaire activé chauffe le bloc de vanne. L’effet de la condensation peut être évité par l’augmentation de la température des gaz à analyser. La vanne d’admission de gaz permet d’interrompre le flux de gaz de l’échantillon dans la chambre à vide. Un
orifice encastré permet à une petite fraction du flux de gaz de pénétrer dans l’enceinte à vide. Le flux de
gaz résiduel atteint l’aspiration intermédiaire de la pompe turbomoléculaire. L'admission de gaz sépare
le PrismaPro du flux de gaz, permettant ainsi de déterminer et d'ajuster la quantité individuelle de gaz à
analyser. Pour ce faire, le système d’analyse des gaz ferme la vanne d’admission du gaz et la vanne de
pompe afin d’interrompre le flux de gaz dans les enceintes à vide et dans l’aspiration intermédiaire de la
pompe turbomoléculaire. L’environnement du spectromètre de masse peut être déterminé et soustrait.
La non linéarité de PrismaPro peut agir au détriment des mesures haute précision. L'admission d’un
gaz extrêmement pur (gaz zéro) dans le PrismaPro est ainsi avantageuse pour une détermination précise de l’environnement du spectromètre de masse. Le gaz zéro doit être injecté dans les mêmes conditions de pression que pour le gaz à analyser.
Système d’admission de gaz (ThermoStar)
1 à 2 sccm du gaz à analyser passent par le capillaire en quartz et atteignent l’orifice sans démixtion,
via l’étage intégré de réduction de la pression. Le capillaire en quartz est situé dans un tube capillaire,
qui peut être chauffé à 200 °C, voire à 350 °C en option. Le chauffage capillaire activé chauffe la bride
d’aspiration avec l’orifice. L’effet de la condensation peut être évité par l’augmentation de la température des gaz à analyser. Le capillaire en quartz se termine à 1 à 2mm avant l’orifice. Cela signifie qu’une
partie du gaz sortant du capillaire en quartz atteint le PrismaPro sans impact sur les parois dans l’étage
de réduction de la pression. Ceci est important pour identifier de faibles concentrations de gaz réactifs,
car ceux-ci ne doivent pas entrer en contact avec l'acier inoxydable. Le flux de gaz n’est pas séparé du
PrismaPro lors de l’utilisation de cette variante à admission de gaz. La quantité individuelle de gaz à
analyser ne peut donc pas être déterminée et ajustée. Si nécessaire, l'admission d’un gaz extrêmement
pur (gaz zéro) dans le PrismaPro est avantageuse pour une détermination précise de l’environnement
27/116
Description du produit
du spectromètre de masse. Le gaz zéro doit être injecté dans les mêmes conditions de pression que
pour le gaz à analyser.
3.3.4
Unité de calibrage
L’unité de calibrage optionnelle permet le calibrage dans le domaine de masse haut (> 200 u) de
l'échelle de masse, de la sensibilité et de la résolution du PrismaPro. Un récipient collecteur en verre
avec de la perfluortributylamine (PFTBA) sert de fluide de calibrage et est inséré dans l’enceinte à vide
via un orifice et une vanne d'isolement. L’enceinte à vide est raccordée sur le côté, via une bride
DN 40 CF sur la face avant. La vanne d’isolement sur l’unité de calibration peut être ouverte et fermée
via la commande du GSD 350.
Perfluorotributylamine (PFTBA) dans le signal de fond
Le PFTBA présente l'inconvénient de laisser des traces dans le signal de fond de l'unité
longtemps après la fermeture de la vanne de calibration. Si cela interfère avec l'analyse
des gaz prévue, Pfeiffer Vacuum recommande l’étuvage de l’enceinte à vide après le calibration avec le PFTBA.
1
2
3
4
Fig. 10:
Unité de calibration en admission de gaz
1 Admission de gaz
2 Tube en acier inoxydable 1/8 po
3.3.5
3
4
Vanne d’isolement EVI 005 M
Récipient collecteur en verre pour le fluide de calibration
PFTBA
Système côté vide élevé
La pompe turbomoléculaire fonctionne selon le principe SplitFlow et maintient une pression de fonctionnement < 5 × 10-5 hPa dans l’enceinte à vide avec l’admission de gaz ouverte. La pompe turbomoléculaire prend en charge la majorité du gaz qui s'écoule via le capillaire par aspiration intermédiaire.
3.3.6
Système de vide primaire
La pompe à membrane établit le vide primaire requis pour faire tourner la pompe turbomoléculaire. Le
branchement au raccord de vide primaire (filetage 1/4 po) sur la pompe turbomoléculaire se fait par un
tuyau flexible de raccordement. Pour une élimination spécifique du gaz pompé, la pompe à membrane
est dotée d’une conduite d’échappement qui vous pouvez relier à une conduite locale d’évacuation du
gaz ou acheminer hors du laboratoire.
28/116
Description du produit
Fig. 11:
3.3.7
Pompe à membrane
Système de purge de gaz neutre
Concentrations de gaz admissibles
Pour calculer la toxicité de la purge de gaz neutre, on part du principe que la purge de gaz
neutre dilue les concentrations des gaz d’admission par un facteur > 100.
6
1
Fig. 12:
1
2
3
4
5
2 3
4
7
8
9
5
Système de purge de gaz neutre
Pressostat numérique avec manomètre
Raccord de la purge de gaz neutre
Raccord de gaz d’échappement
Régulateur de pression manuel
Tuyau vers le raccord de gaz d’échappement
6
7
8
9
Vanne de mise à l’air
Tuyau vers la vanne de ventilation
Vanne du gaz de pressurisation
Tuyau vers la vanne de la purge de gaz
Sur la version pour gaz corrosif, la purge de gaz neutre protège les paliers de la pompe turbomoléculaire et assure que le gaz corrosif est évacué vers la pompe à membrane sous une forme diluée. Cela
améliore la durée de vie de la pompe à membrane et empêche la condensation des vapeurs dans la
pompe à membrane. La version pour gaz corrosif est dotée d’un régulateur de pression interne réglé en
usine qui utilise un rhéomètre pour assurer un flux adéquat d’azote. Une faible fraction de la purge de
gaz neutre atteint la vanne de purge de gaz neutre et de ventilation de la pompe turbomoléculaire via
un diviseur de débit. La fraction principale de la purge de gaz neutre, environ 300 sccm, s’écoule directement vers le raccord de gaz d’échappement. Si un conduit d’échappement ou un épurateur est raccordé, il ne doit pas y avoir de surpression au niveau du raccordement des gaz d’échappement.
Fonction du pressostat numérique :
● fournir un indicateur visuel de la pression interne de la purge de gaz neutre en aval du régulateur
de pression
● émettre un signal qui déclenche la procédure d’arrêt si la pression de la purge de gaz neutre dépasse ou tombe en dessous de la plage autorisée
29/116
Description du produit
3.3.8
Unité d’analyse de gaz
Principe de fonctionnement du PrismaPro
Le principe de fonctionnement du PrismaPro est décrit dans le manuel de l’utilisateur correspondant.
Le PrismaPro analyse la petite fraction de gaz à analyser pénétrant dans l’enceinte à vide via l’orifice.
Pour déterminer la pression dans l’enceinte à vide, l’unité d’analyse de gaz est dotée d’un manomètre
de pression totale situé sur l’enceinte à vide qui permet de mesurer en continu le vide dans la plage de
pressions de 1000 à 5 × 10-9 hPa. La pression totale mesurée peut être lue sur l’affichage et dans le
logiciel PV MassSpec.
1
9
8
2
3
7
Fig. 13:
3.3.9
6
4
5
Composants de l’unité d’analyse de gaz
1 Manomètre de pression totale
2 Unité électronique QME 250
6
7
3 Cartouche de chauffage dans l’enceinte à vide
4 Vanne de la purge de gaz sur la version pour gaz
corrosif
5 Vanne de mise à l’air
8
9
Pompe turbomoléculaire
Aspiration intermédiaire de la pompe turbomoléculaire
Source d’ions pour analyseur QMA 250 M
Enceinte à vide
Chauffage et isolation
AVERTISSEMENT
Risque de brûlure sur les surfaces chaudes
Pendant le fonctionnement, les températures montent très haut (> 50 °C) sur les surfaces de contact
des composants de chauffage et sur l’admission de gaz. Il existe un risque de brûlure.
► Prenez les mesures requises pour prévenir tout contact avec les pièces chaudes.
► Apposez des signaux d’avertissement.
► Veillez à ce que le produit se soit refroidi avant d’intervenir dessus.
► Portez des gants de protection (conformément à EN 420).
La commande des unités de chauffage sur l’unité peut se faire via la commande de l’unité
Type
Température (max.)
Température (réglable)
Chauffage du capillaire (200 °C)
200 °C
80 à 200 °C
Chauffage du capillaire (350 °C)
350 °C
80 à 350 °C
Chauffage de l’admission de gaz
100 °C
Réglé automatiquement
Chauffage de l’enceinte à vide
130 °C
100 à 130 °C
Tab. 8:
30/116
Unités de chauffage sur l’unité
Description du produit
Chauffage de récipient (étuvage)
2
1
4
3
Fig. 14:
Chauffage et isolation de l’enceinte à vide
1 Isolation (coudée)
2 Isolation de l’enceinte à vide
3+4
Cartouches de chauffage de l’enceinte à vide
L'étuvage réduit les gaz de condensation adhérant à la surface de l’enceinte à vide. Cela conduit à une
pression totale plus faible dans l’enceinte à vide, et à un signal de fond plus faible pendant les mesures.
La quantité d’eau est ainsi réduite dans le système de vide.
Autres caractéristiques du chauffage de récipient
● L’enceinte à vide dispose de 2 cartouches de chauffage.
● Vous pouvez enlever l’isolation de l’enceinte à vide et le raccord angulaire.
● Vous pouvez sélectionner la durée de l’étuvage de 1 à 24 h. La valeur standard pour l’étuvage est
de 6 heures.
● Vous pouvez annuler à tout moment le processus d'étuvage via la commande sur l’unité.
● Vous pouvez sélectionner une température entre 100 et 130 °C. La valeur standard de la température est de 120 °C.
Chauffage de l’admission de gaz
1
4
3
Fig. 15:
2
Chauffage de l’admission de gaz
1 Chauffage du capillaire dans le tube capillaire
2 Isolation en mousse de silicone dans le couvercle de l’admission de gaz
3
4
Coussin chauffant
Isolation en mousse de silicone
dans le bouchon borgne
31/116
Description du produit
Caractéristiques du chauffage de l’admission de gaz
● L’admission de gaz est munie d’un coussin chauffant et d’une isolation en mousse de silicone.
● Le chauffage de l’admission de gaz est toujours activé et désactivé parallèlement au chauffage du
capillaire.
● Le GSD 350 adapte automatiquement la température du coussin chauffant. Vous ne pouvez pas
régler la température du coussin chauffant.
Chauffage du capillaire
5
6
7
2
1
3
4
Fig. 16:
Chauffage du capillaire
1 Serpentin de chauffage
2 Élément d’isolement
4
5+6
3 Guide de capillaire
pour la variante à 200 °C : Tuyau flexible en PTFE
pour la variante à 350 °C : Tube en acier inoxydable
7
Capteur de température PT100
Raccordement électrique pour le
chauffage
Élément de fixation sur l’unité
Le capillaire est situé sur un tube capillaire avec un chauffage à résistance. Vous pouvez chauffer le
capillaire à 200 °C ou 350 °C. Selon le réglage de température et la variante du tube capillaire, les températures à la surface du tube capillaire peuvent atteindre > 70 °C. Vous pouvez régler des domaines
de température additionnels de 80 °C jusqu’à la valeur maximale. La valeur standard de la température
de chauffage du capillaire est de 120 °C.
3.3.10
Composants électroniques
1
3
4
2
5
6
Fig. 17:
Composants électroniques
1 Unité électronique QME 250
2 Unité de commande électronique TC 110
3 Unité de courant
4
5
6
Affichage
Injecteur PoE
Platine principale
Unité électronique QME 250
L’unité électronique QME 250 est montée sur l’ analyseur QMA 250 M et contient les interfaces PrismaPro.
Unité de commande électronique TC 110
L’unité de commande électronique TC 110 est un composant permanent de la pompe turbomoléculaire.
Le rôle de l’unité de commande électronique est d’entraîner, de surveiller et de commander l’ensemble
de la pompe turbomoléculaire.
32/116
Description du produit
Unité de courant
L’alimentation électrique étendue alimente en tension tous les composants du GSD 350.
Affichage
Commande le GSD 350 et interroge les fonctions via l'affichage.
Injecteur PoE
L’injecteur PoE alimente l’affichage en courant.
Platine principale
La platine principale est située sur la plaque de base du châssis et remplit les fonctions suivantes :
●
●
●
●
●
3.4
Serveur VLAN pour communiquer entre le PrismaPro et l’affichage
Commande de la pompe turbomoléculaire et de la pompe à membrane
Contrôle du chauffage en boucle ouverte et fermée
Commande du ventilateur pour la température du carter
Interfaces externes
Identification du produit
Toutes les données de la plaque signalétique sont nécessaires pour identifier assurément le produit
pour toute communication avec Pfeiffer Vacuum.
1. Relever les données sur la plaque signalétique produit.
2. Enregistrer ces données.
3. Toutes les caractéristiques de la plaque signalétique doivent toujours être disponibles.
3.5
Contenu de la livraison
Pièces incluses dans la livraison :
● GSD 350 OmniStar/ThermoStar
● Matériel d’installation et petites pièces
─ Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 2, WAF 2,5 et WAF 3
─ Clé à fourche métrique, WAF 8, WAF 10 (2x) et WAF 14
─ Clé à fourche, impérial, WAF 5/16 po, WAF 3/8 po et WAF 9/16 po
─ Clé à douille à deux côtés pour la source d'ions
─ Outil spécial pour l’orifice du système d’admission de gaz
─ 2 joints toriques en FKM, 9,25 × 1,78 mm et 18,77 × 1,78 mm
─ 2 fusibles lents, 10 A
─ pour OmniStar avec capillaire en acier surfin seulement
○ Clé à fourche pour douille hexagonale, TX20
○ Jeu de colliers de serrage pour tube 1/16 po (5 pièces)
─ pour ThermoStar ou GSD 350 avec capillaire au quartz seulement
○ Jeu de joints pour capillaire 250 µm (virole) (5 pièces)
● Protection pour le transport, pour l’analyseur QMA 250 M
● Équipement de montage pour analyseur QMA 250
● Câble Ethernet, 3 m de long, rouge
● Câble de secteur
● Manuel de l’utilisateur
─ GSD 350 OmniStar/ThermoStar
─ Composants (voir chapitre « Documents applicables », page 10)
Fig. 18:
Équipement de montage pour analyseur QMA 250
33/116
Description du produit
Fig. 19:
Outil spécial pour l’orifice du système d’admission de gaz
Déballage du produit et contrôle du contenu de la livraison
1. Déballer le produit.
2. Déposez les sécurités et les protections pour le transport, etc.
3. Rangez les sécurités et les protections pour le transport dans un endroit sûr.
4. Vérifier que toutes les pièces sont présentes.
5. Contrôler qu'aucune pièce n'a été endommagée.
34/116
Transport et stockage
4 Transport et stockage
AVERTISSEMENT
Risque de blessure lors du levage de charges lourdes
Le produit est lourd ; il peut peser jusqu’à 26 kg, selon la version. Une personne soulevant le produit
sans aide et de manière incorrecte risque de se blesser.
► Faites toujours appel à 2 personnes pour soulever le produit à deux mains.
► Prenez toujours les mesures de sécurité requises (portez par ex. des gants de protection).
► Respectez la réglementation locale.
► Conforme aux instructions pour un transport en toute sécurité.
AVERTISSEMENT
Danger de blessures graves en cas de chute d’objets
La chute d’objets peut entraîner des blessures sur les membres, voire même des fractures osseuses.
► Soyez particulièrement vigilant lors du transport manuel du produit.
► Ne pas empiler le produit.
► Portez un équipement de protection, tel que des chaussures de sécurité.
4.1
Transport du produit
AVIS
Dégâts causés par un transport incorrect
Un transport dans un emballage incorrect ou la non-installation de tous les verrous de transport peut
endommager le produit.
► Conforme aux instructions pour un entreposage en toute sécurité.
Emballage
Nous recommandons de conserver l’emballage de transport et de protection d’origine.
Informations générales sur le transport en toute sécurité
1. Prenez en compte le poids du produit.
2. Dans la mesure du possible, transportez ou expédiez toujours le produit dans son emballage
d'origine.
3. Utilisez toujours un emballage compact qui protège le produit des chocs.
4. Installez toujours l’ensemble de la protection pour le transport avant le transport.
5. Ne retirez le cache de protection existant qu'immédiatement avant l'installation.
4.2
Stockage du produit
AVIS
Risque de détériorations causées par un entreposage incorrect
Un entreposage incorrect provoquera des dégâts sur le produit.
► Conforme aux instructions pour un entreposage en toute sécurité.
Emballage
Nous recommandons de stocker le produit dans son emballage d'origine.
Informations générales sur le stockage en toute sécurité
► Conserver le produit dans un endroit frais, sec et sans poussière, où il n’est pas soumis à des
chocs ni à des vibrations mécaniques.
► Toujours utiliser un emballage compact qui protège le produit des chocs.
► Dans la mesure du possible, stockez le produit dans son emballage d'origine.
35/116
Transport et stockage
► Stocker les composants électroniques dans un emballage antistatique.
► Maintenir la température d’entreposage admissible.
► Éviter les fortes variations de températures ambiantes.
► Éviter un taux d'humidité élevé dans l'air.
► Fermer les raccords avec les bouchons de protection d'origine.
► Protégez le produit avec les protections de transport d'origine (si disponibles).
36/116
Installation
5 Installation
5.1
Ventilation de l’unité
AVIS
Dégâts causés par surchauffe
La température ambiante ne doit pas excéder la température de service admissible de l'appareil.
► Veillez à assurer une bonne circulation de l'air lors de l'installation de l'appareil.
► Si nécessaire, contrôlez et nettoyez régulièrement le filtre à air installé.
Procédure
1. Gardez toujours une zone > 25 mm propre autour de l’unité.
2. Si vous installez l’unité dans une armoire :
● Veillez à ce que l’armoire soit assez grande.
● Veillez à ce que l’armoire assure suffisamment d'aération par le ventilateur installé dans l’unité.
5.2
Établissement de la connexion Ethernet
Vous avez besoin d'une connexion Ethernet appropriée pour faire fonctionner le GSD 350 via l’interface
web ou le logiciel PV MassSpec en utilisant un PC (ordinateur hôte) ou un réseau.
Raccordement du câble Ethernet
► Reliez le câble Ethernet fourni au GSD 350 et au PC.
Les deux LED dans la prise RJ-45 indiquent le statut de l’interface (voir chapitre « Connexion Ethernet
(LAN) », page 50).
5.3
Raccordement de la conduite d’échappement
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement dû à la substance de processus toxique s’échappant de la conduite d’échappement
Lorsqu’elle fonctionne sans conduite de refoulement, la pompe à vide rejette les gaz et vapeurs de
refoulement dans l’air. Risque de blessure et de mort dû à l’empoisonnement par les substances de
processus toxiques.
► Respecter la réglementation en vigueur concernant le traitement des substances de processus
toxiques.
► Évacuer les substances de processus toxiques en toute sécurité par une conduite de refoulement.
► Employer des moyens de filtration appropriés pour séparer les substances de processus toxiques.
5.3.1
Sectionnement du tuyau de gaz d'échappement
Outil nécessaire
● Cutter à flexible
Équipement nécessaire
● Tuyau flexible PE (Ø extérieur = 6 mm)
37/116
Installation
Fig. 20:
Sectionnement du tuyau de gaz d'échappement
Procédure
1. Vous devez prendre beaucoup de précautions pour la coupe du tuyau flexible de gaz d'échappement.
– Le tuyau flexible de gaz d'échappement ne doit pas être déformé, éraflé ou fendillé.
2. Coupez proprement le tuyau flexible de gaz d'échappement :
● à la longueur requise
● aux bons angles
5.3.2
Raccordement du tuyau de gaz d’échappement
Condition préalable
● Conduite d'échappement non pressurisée
Équipement nécessaire
● Tuyau d’échappement PE (Ø extérieur = 6 mm)
● en option : connecteurs mâle-femelle IQS ou Schott supplémentaires
Connecteurs mâle-femelle IQS
Les connecteurs mâle-femelle IQS ont 2 points de pression : Griffe de maintien et joint.
Le tuyau flexible est correctement raccordé lorsque les deux points de pression sont passés.
2
1
Fig. 21:
Raccordement du tuyau de gaz d’échappement
1 Bague de déblocage
2
Tuyau flexible
Raccordement du tuyau de gaz d’échappement
1. Raccordez le tuyau de gaz d’échappement au raccord de gaz d’échappement sur l’unité.
2. Raccordez une conduite d’échappement à l’unité si vous utilisez cette dernière avec des substances corrosives.
3. Respectez la réglementation locale en vigueur concernant le traitement des gaz de processus.
5.4
Raccordement de la conduite de purge de gaz neutre
5.4.1
Sectionnement du tuyau de purge de gaz neutre
Outil nécessaire
● Cutter à flexible
Équipement nécessaire
● Tuyau flexible PE (Ø extérieur = 4 mm)
38/116
Installation
Fig. 22:
Sectionnement du tuyau de purge de gaz neutre
Procédure
1. Vous devez prendre beaucoup de précautions pour la coupe du tuyau flexible de purge de gaz
neutre.
– Le tuyau flexible de purge de gaz neutre ne doit pas être déformé, éraflé ou fendillé.
2. Coupez proprement le tuyau flexible de purge de gaz neutre :
● à la longueur requise
● aux bons angles
5.4.2
Raccordement de la conduite de purge de gaz neutre
Condition préalable
● Conduites de purge de gaz et d'échappement non pressurisées
Équipement nécessaire
● Tuyau de purge de gaz neutre PE (Ø extérieur = 4 mm)
● en option : connecteurs mâle-femelle IQS ou Schott supplémentaires
Connecteurs mâle-femelle IQS
Les connecteurs mâle-femelle IQS ont 2 points de pression : Griffe de maintien et joint.
Le tuyau flexible est correctement raccordé lorsque les deux points de pression sont passés.
2
1
Fig. 23:
Raccordement de la conduite de purge de gaz neutre
1 Bague de déblocage
2
Tuyau flexible
Raccordement du tuyau de purge de gaz neutre
1. Installez un système de réduction de pression si vous attendez un dépassement de la plage de
pression autorisée pour la purge de gaz neutre.
– L’unité ne dispose pas de sa propre vanne d’isolement de purge de gaz neutre.
2. Reliez le tuyau de purge de gaz neutre au raccord de la purge de gaz neutre sur l’unité.
3. Respectez la réglementation locale en vigueur concernant le traitement des gaz de processus.
39/116
Installation
5.5
Raccordement du capillaire
AVIS
Endommagement du système d’échantillonnage
Une manipulation incorrecte du capillaire peut endommager le système d’échantillonnage de l'unité.
► Tenez compte du rayon de courbure.
● Tuyau capillaire 200 °C : ≥ 50 mm
● Tuyau capillaire 350 °C : ≥ 200 mm
► N’isolez pas en plus le chauffage du capillaire.
► Ne couvrez pas en plus le chauffage du capillaire.
► N’exposez pas le capillaire à une chaleur supplémentaire, par ex. d'une bride chauffée.
AVIS
Défaillance due à la contamination et à la détérioration
Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et
entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts
nuisent au fonctionnement.
► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux
sur les installations ultra-vide ou à vide élevé.
► Utilisez uniquement des outils propres.
► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse.
► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire.
► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé.
Adaptateur de tube capillaire comme accessoire
Un adaptateur de tube capillaire est disponible comme accessoire pour raccorder correctement le tube capillaire.
1
Fig. 24:
Raccordement du capillaire
1 Bande adhésive
5.5.1
2
2
Exemple de sécurisation d’un tuyau capillaire
Raccordement du capillaire en acier inoxydable OmniStar
Procédure
1. Retirez la bande adhésive du capillaire en acier inoxydable.
2. Attachez le capillaire en acier inoxydable sur le point de mesure.
3. Utilisez l’adaptateur de tube capillaire en acier inoxydable de la gamme d’accessoires Pfeiffer Vacuum.
4. Fixez le tube capillaire.
5. Serrez le tube capillaire dans la zone solide et fixe à l’avant uniquement.
5.5.2
Raccordement du capillaire ThermoStar quartz
Procédure
1. Retirez la bande adhésive du capillaire en quartz.
2. Si nécessaire, tirez le capillaire en quartz ou insérez-le pour atteindre le point de mesure.
– Pour cela, retirez le capot de l’admission de gaz (voir chapitre « Dépose/fixation du couvercle
de l’admission de gaz », page 72).
3. Attachez le capillaire en quartz sur le point de mesure.
40/116
Installation
4. Utilisez l’adaptateur de tube capillaire en acier inoxydable de la gamme d’accessoires Pfeiffer Vacuum.
5. Fixez le tube capillaire.
6. Serrez le tube capillaire dans la zone solide et fixe à l’avant uniquement.
5.6
Adaptation de la position du tuyau flexible capillaire
AVERTISSEMENT
Risque de brûlure sur les surfaces chaudes
Pendant le fonctionnement, les températures montent très haut (> 50 °C) sur les surfaces de contact
des composants de chauffage et sur l’admission de gaz. Il existe un risque de brûlure.
► Prenez les mesures requises pour prévenir tout contact avec les pièces chaudes.
► Apposez des signaux d’avertissement.
► Veillez à ce que le produit se soit refroidi avant d’intervenir dessus.
► Portez des gants de protection (conformément à EN 420).
Pour optimiser le positionnement du tube capillaire pour des applications spécifiques, 3 positions du
tuyau flexible capillaire sont possibles. Pfeiffer Vacuum fournit toujours le GSD 350 avec le tuyau flexible capillaire sur le côté droit. Des bouchons borgnes viennent obturer les deux positions non utilisées.
Condition préalable
● Couvercle d’admission de gaz retiré
Outil nécessaire
● Clé Allen, WAF 2
1
2
3
Fig. 25:
Position du tuyau flexible capillaire à la livraison
1 Bouchon borgne, à gauche
2 Bouchon borgne, en haut
3
Tuyau flexible capillaire avec bouchon borgne, à droite
Procédure
1. Dévissez les 3 vis à tête conique et le bouchon borgne au niveau de la nouvelle position du tube
capillaire.
2. Dévissez les 3 vis à tête conique et le capuchon avec le tube capillaire.
3. Retirez soigneusement le capuchon avec le tube capillaire de sorte à pouvoir guider le capillaire
et le câble à travers la fente du boîtier.
– Le capillaire peut rester à demeure sur l’entrée.
4. Serrez le capuchon avec le tube capillaire sur la nouvelle position du tube capillaire, à l’aide des 3
vis à tête conique.
5. Obturez la position précédente du tube capillaire avec le bouchon borgne et les 3 vis à tête conique.
5.7
Établissement d’une connexion au réseau
Une connexion réseau correspondante est nécessaire pour le fonctionnement de GSD 350 via l’interface web ou du logiciel PV MassSpec à l’aide d’un PC (ordinateur de pilotage) ou via un réseau.
41/116
Installation
● Adresses IP
Un réseau utilise des adresses IP comme moyen d’identification des unités individuelles. Les
adresses IP sont uniques au sein d’un réseau, mais ne sont pas universelles. Cela signifie qu’une
seule unité dans un réseau peut avoir une certaine adresse IP, mais 2 unités dans des réseaux
séparés peuvent avoir la même adresse IP.
Les paragraphes suivants donnent des informations sur certains réseaux généraux disponibles pouvant
avoir un effet sur la connexion GDS 350 (voir chapitre « Réglage des paramètres réseau », page 61).
Procédure
► Réglez l’adresse IP du GSD 350.
► Réglez l’adresse IP du PC (ordinateur hôte) que vous utilisez.
► Définissez un sous-réseau.
5.7.1
Adresses IP
AVIS
Les adresses IP entrent en conflit en cas de raccordement de plusieurs unités
Pfeiffer Vacuum fournit à chaque GSD 350 la même adresse IP par défaut. Si vous souhaitez connecter plusieurs unités GSD 350, gardez à l’esprit que leurs adresses IP ne sont pas uniques au départ La connexion simultanée de plusieurs GSD 350 avec une adresse IP standard identique entraîne des conflits d'adresse IP dans le réseau.
► Modifiez l'adresse IP des unités que vous voulez connecter dans le réseau.
► Dans la mesure du possible, utilisez des adresses IP statiques.
► Connectez ensuite les unités à un réseau.
Utilisation des adresses IP
Pfeiffer Vacuum recommande d’utiliser des adresses IP statiques pour le GSD 350.
Réservez un bloc d'adresses IP statiques et vérifiez que ces adresses IP réservées sont
interdites sur le serveur DHCP (hôte). Cela évitera tout conflit avec des doublons d'adresses IP.
Si vous connectez le GSD 350 à un réseau local existant, vous aurez besoin d’une adresse IP statique pour chaque GSD 350 installé. Consultez votre administrateur réseau pour
qu’il attribue les différentes adresses IP.
Les adresses IP statiques protègent contre la perte de données.
Le logiciel PV MassSpec et l’interface web utilisent l'adresse IP du GSD 350 pour identifier
chaque GSD 350 connecté. L’adresse IP du GSD 350 ne doit pas changer pendant le fonctionnement.
Avec DHCP, l’hôte peut générer une nouvelle adresse IP à chaque connexion et reconnexion du GSD 350. DHCP peut également modifier automatiquement l’adresse IP en cas de
conflit d’adresse IP sur le réseau. Si l’adresse IP du GSD 350 est modifiée par accident
pendant l’acquisition des données, l’interface web et le logiciel PV MassSpec ne sont pas
automatiquement reconnectés au GSD 350, dans la mesure où le logiciel PV MassSpec ne
reconnaît pas l’adresse IP nouvellement attribuée. Il en résulte une rupture de communication et de données.
Les adresses IP statiques changent seulement si l’adresse IP est modifiée manuellement,
ce qui contribue à protéger le GSD 350 contre les pertes de communication et de données.
Adresse IP standard pour le GSD 350
● Préfixe réseau : 192.168.1.xxx
● Adresse IP : 192.168.1.100
Le GSD 350 utilise des adresses IP IPv4. Les adresses IP IPv4 sont composées de 32 bit en notation
décimale pointée. Elles sont constituées de quatre numéros décimaux, séparés chacun de 0 à 255 par
des points, par exemple : 192.168.1.100. Chaque numéro représente un octet. En principe, les adresses IP contiennent un préfixe réseau et un protocole hôte.
42/116
Installation
Réglage des adresses IP
► Recommandation : utilisez des adresses IP statiques.
– Vous pouvez régler et modifier manuellement les adresses IP statiques.
► N’utilisez pas d’adresses IP dynamiques.
– Un hôte (DHCP) règle automatiquement ces adresses IP
► Une alternative à la modification de l’adresse IP du consiste à modifier l’adresse IP de l’ordinateur
hôte, afin de permettre la communication entre l’ordinateur hôte et l’unité .
5.7.2
Sous-réseaux
Masque de sous-réseau standard pour GSD 350
● Masque de sous-réseau : 255.255.255.0
Un sous-réseau est une sous-division logique visuelle d’un réseau IP. Le fait de diviser un réseau IP en
plusieurs sous-réseaux est désigné par sous-réseautage. Le sous-réseautage définit la partie de
l’adresse IP qui est utilisée comme préfixe de réseau pour toutes les adresses IP au sein d’un sousréseau. Cette opération est effectuée par le masque de sous-réseau.
Exemple 1
Exemple 2
Exemple 3
Adresse IP
192.168.1.104
192.168.1.105
192.168.1.150
Masque de sous-réseau
255.255.255.0
255.255.0.0
255.255.255.192
Préfixe réseau
192.168.1.0
192.168.0.0
192.168.1.128
Protocole hôte
0.0.0.104
0.0.1.105
0.0.0.22
Tab. 9:
Exemples de sous-réseaux
Le masque de sous-réseau définit quel octet doit être utilisé par l’adresse IP comme préfixe réseau.
Pour permettre à 2 unités réseau de communiquer, les unités réseau doivent être dans le même sousréseau. Cela implique que non seulement, ils doivent être connectés au même réseau internet, mais
également qu’ils doivent avoir le même préfixe réseau.
5.7.3
Changement de l’adresse IP pour le GSD 350
Manuel de l'utilisateur pour l’interface web et le logiciel PV MassSpec
Des informations sur l'utilisation du GSD 350 via l'interface web et PV MassSpec sont disponibles dans le manuel de l'utilisateur en annexe, sous le numéro de document DA 0106.
Procédure
► Utilisation de l’affichage pour modifier l’adresse IP de l’unité (voir chapitre « Réglage des paramètres réseau », page 61).
► Utilisation de l’interface web pour modifier l’adresse IP de l’unité.
5.7.4
Modification de l’adresse IP de l’ordinateur hôte
Droits d’administrateur
Les étapes suivantes sont valables pour le système d’exploitation Windows 10. Toute modification de l’adresse IP de l’ordinateur hôte nécessite des droits d’administrateur. Contactez votre administrateur système le cas échéant.
Adresse IP par défaut 192.168.1.100
Par défaut, l'adresse IP de l’unité est 192.168.1.100. Vous ne pouvez pas l’utiliser ici.
Rétablissement de la valeur par défaut de l’adresse IP
Effectuez toutes les étapes depuis le début et remplacez à nouveau les propriétés IPv4 par
les valeurs standards pour régler l’adresse IP sur la valeur standard.
43/116
Installation
Procédure
1. Appuyez sur le bouton Démarrage dans la barre des tâche.
2. Appuyez sur Réglages.
– La fenêtre Réglages s'ouvre.
3. Cliquez sur Réseau & Internet.
4. Cliquez sur Sans fil.
5. Sélectionnez Gestion des réseaux connus.
6. Sélectionnez le réseau dont vous souhaitez modifier les réglages.
7. Sélectionnez Propriétés.
8. Sous Attribution IP, sélectionnez l'option Édition.
9. Sous Édition réglages IP, sélectionnez l'option Manuel.
10. Activez IPv4.
11. Saisissez l’adresse IP, la longueur du préfixe de sous-réseau et les réglages pour l’adresse
IP.
– Ne modifiez pas la passerelle.
– GSD 350 avec adresse IP par défaut : Utilisez 192.168.1.xxx comme adresse IP :, et
255.255.255.0 comme longueur de préfixe de sous-réseau.
– « xxx » ne doit pas correspondre à 100 dans l’adresse IP.
12. Sélectionnez Sauvegarder.
– L’adresse IP de votre ordinateur est alors réglée sur l’adresse IP manuelle sélectionnée.
13. Fermez toutes les fenêtres de réglages ouvertes.
5.8
Raccordement de la terre fonctionnelle
DANGER
Danger de mort en cas d’électrocution
Une mise à la terre inappropriée ou incorrecte de l’unité entraîne une tension sensible aux contacts
au niveau du boîtier. Lors de la connexion, des courants de fuite plus élevés vont déclencher un choc
électrique potentiellement mortel.
► Avant l’installation, contrôlez que les conducteurs d’alimentation ne sont pas sous tension.
► Acheminez le câble électrique conformément aux dispositions locales en vigueur.
► Assurez-vous que les valeurs de tension et de fréquence locales correspondent aux spécifications de la plaque signalétique.
► Veillez à ce que le câble d’alimentation et la rallonge soient conformes aux exigences de double
isolation entre la tension d’entrée et la tension de sortie, conformément aux normes CEI 61010
et CEI 60950.
► N'utilisez qu’un câble d'alimentation à 3 broches et une rallonge disposant d'une mise à la terre
correcte (conducteur mis à la terre).
► Ne branchez la fiche électrique que dans une prise disposant d'un contact de mise à la terre.
► Afin de garantir la protection de la mise à la terre, il convient de toujours brancher le câble électrique avant tous les autres.
DANGER
Électrocution en raison de l’absence de conducteur de protection interne
Le conducteur de protection interne est fixé au logement. Une unité sans conducteur de protection
interne peut présenter un danger de mort en cas de dysfonctionnement.
► Ne tournez pas ou ne débloquez pas le conducteur de protection interne.
44/116
Installation
D-35614 Asslar
Mod. GSD 350
P/N PT Q80 ...
S/N ...
Input ...
Fig. 26:
1
Made in Germany 2020/02
Raccordement pour la terre fonctionnelle
1 Raccordement pour la terre fonctionnelle (vis M5)
Procédure
► Si nécessaire, utilisez la vis M5 pour raccorder l’unité à la terre de référence du système via un
conducteur de protection par exemple.
5.9
Raccordement de l’alimentation électrique
DANGER
Danger de mort en cas d’électrocution
Une mise à la terre inappropriée ou incorrecte de l’unité entraîne une tension sensible aux contacts
au niveau du boîtier. Lors de la connexion, des courants de fuite plus élevés vont déclencher un choc
électrique potentiellement mortel.
► Avant l’installation, contrôlez que les conducteurs d’alimentation ne sont pas sous tension.
► Acheminez le câble électrique conformément aux dispositions locales en vigueur.
► Assurez-vous que les valeurs de tension et de fréquence locales correspondent aux spécifications de la plaque signalétique.
► Veillez à ce que le câble d’alimentation et la rallonge soient conformes aux exigences de double
isolation entre la tension d’entrée et la tension de sortie, conformément aux normes CEI 61010
et CEI 60950.
► N'utilisez qu’un câble d'alimentation à 3 broches et une rallonge disposant d'une mise à la terre
correcte (conducteur mis à la terre).
► Ne branchez la fiche électrique que dans une prise disposant d'un contact de mise à la terre.
► Afin de garantir la protection de la mise à la terre, il convient de toujours brancher le câble électrique avant tous les autres.
Fig. 27:
Connexion d'alimentation électrique avec fiche CEI 320 C13
Raccordement du câble d’alimentation électrique
1. Raccordez le câble d’alimentation à la prise de branchement du secteur.
2. Raccordez le connecteur du câble d’alimentation dans une prise adaptée.
5.10
Installation du logiciel PV MassSpec
Les opérations de mesure analytique exigeantes et les applications dans lesquelles les valeurs mesurées doivent être enregistrées nécessitent un fonctionnement direct de PrismaPro intégré dans le
GSD 350 à l’aide du logiciel PV MassSpec. Le logiciel PV MassSpec est utilisé pour paramétrer le PrismaPro et pour créer, ouvrir et démarrer des recettes de mesure. Tous les autres paramètres et toutes
45/116
Installation
les autres fonctions de l’unité GSD 350 peuvent encore être commandés via l’affichage ou l’interface
web.
Manuel de l'utilisateur pour l’interface web et le logiciel PV MassSpec
Des informations sur l'utilisation du GSD 350 via l'interface web et PV MassSpec sont disponibles dans le manuel de l'utilisateur en annexe, sous le numéro de document DA 0106.
46/116
Interfaces et connexions
6 Interfaces et connexions
Le GSD 350 dispose d’une interface Ethernet pour la communication et de 2 connexions entrée/sortie
(I/O), User I/O et AUX I/O, permettant au GSD 350 d’échanger des informations avec les appareils périphériques du client.
6.1
Alimentation
La prise de branchement secteur avec l’interrupteur principal et le fusible est située dans le panneau de
connexion de l’unité. Le câble de secteur nécessaire est compris dans la livraison.
4
1
2
3
Fig. 28:
Branchement secteur avec interrupteur principal et fusible
1 Prise de branchement secteur
(IEC 320 C14)
2 Fusible
6.2
3
Interrupteur principal
4
Câble de secteur avec fiche de l'appareil froid C13
Borne de connexion de terre
DANGER
Électrocution en raison de l’absence de conducteur de protection interne
Le conducteur de protection interne est fixé au logement. Une unité sans conducteur de protection
interne peut présenter un danger de mort en cas de dysfonctionnement.
► Ne tournez pas ou ne débloquez pas le conducteur de protection interne.
L’unité dispose de 2 conducteurs de protection :
● Le conducteur de protection interne est situé sous l’unité de courant.
● Le raccord vers la terre fonctionnelle est situé dans e panneau de connexion de l’unité.
6.3
Connexion « User I/O »
AVIS
Défaillance des branchements électriques causée par des influences perturbatrices externes
Les influences externes parasites liées aux émissions électromagnétiques entraînent des pannes de
l’unité et des dommages matériels.
Pfeiffer Vacuum recommande vivement le câblage des entrées analogiques (+) et (-) avec des paires
torsadées.
► Un câble blindé doit être utilisé pour la comptabilité électromagnétique (CEM).
► Évitez les influences externes de parasitage.
► Raccordez le blindage au boîtier de raccordement.
► Laissez l’autre extrémité ouverte ou reliez-la à la terre afin d’éliminer les courants de boucle de
terre.
La connexion « USER I/O » fournit une interface pour les entrées et les sorties numériques et analogiques.
Entrée numérique
L’entrée numérique est hautement active. Une résistance de rappel configure l’entrée sur haut en interne. Vous pouvez régler l’entrée sur bas via un contact ou un transistor vers la terre. En cas d’utilisation
47/116
Interfaces et connexions
avec le logiciel PV MassSpec, vous pouvez visualiser l'état de cette entrée ou l’utiliser pour la recette
ou la commande séquentielle.
● Nombre total de canaux : 1
● Connexion « USER IO » : Entrée numérique 1
Sortie relais
Vous pouvez réglez la sortie relais (24 V CA/CC, 1 A) via la sortie numérique DO8. Le contact normalement ouvert se trouve sur la broche 3 et le contact de référence sur la broche 4.
● Nombre total de canaux : 1
● Connexion « USER IO » : DO8
Entrées analogiques
Les entrées analogiques sont des entrées différentielles pour la gamme -10 à +10 V. Le logiciel
PV MassSpec enregistre les signaux d’entrée analogique ou contrôle les séquences de programme.
●
●
●
●
Nombre total de canaux : 2
Connexion « USER IO » : AI1 – AI2
Impédance d’entrée : 50 kΩ
Taux d’échantillonnage : 14 bit
Sortie analogique
Les sorties analogiques permettent la sortie de tensions dans la gamme 0 à +10 V. Le logiciel
PV MassSpec enregistre les signaux d’entrée analogique et contrôle les séquences de programme.
●
●
●
●
Nombre total de canaux : 2
Connexion « USER IO » : AO0 – AO1
Impédance de sortie : 100 Ω
Taux d’échantillonnage : 16 bit
Relais pour le statut du système de pompage
La connexion « USER I/O » inclut un relais indiquant le statut de la vitesse de la pompe turbomoléculaire. Lorsque la vitesse de la pompe turbomoléculaire atteint > 90 % (> 1350 Hz) de la vitesse de rotation nominale, le contact normalement ouvert se ferme. Cela indique que l’unité est prête pour la mesure.
● Connexion « USER IO » : broche 13 (relais contact inverseur, COM)
● Connexion « USER IO » : broche 14 (relais contact normalement ouvert, NO)
● Connexion « USER IO » : broche 15 (relais contact normalement fermé, NC)
Fig. 29:
1
→
15
→
8
9
Connexion « USER IO »
1 Terre (GND)
2 Entrée numérique DI1
3 Relais contact normalement ouvert DO8
4 Relais contact inverseur DO8
5 Entrée analogique AI2 (-)
6 Entrée analogique AI2 (+)
9
10
11
Terre analogique (PrismaPro EXT I/O)
Terre (GND)
Sortie analogique AO1
12
13
14
7 Entrée analogique AI1 (-)
15
Sortie analogique AO0
Relais contact inverseur (système de pompage)
Relais contact normalement ouvert (système de
pompage)
Relais contact normalement fermé (système de
pompage)
8 Entrée analogique AI1 (+)
48/116
Interfaces et connexions
6.4
Connexion « AUX IO »
AVIS
Défaillance des branchements électriques causée par des influences perturbatrices externes
Les influences externes parasites liées aux émissions électromagnétiques entraînent des pannes de
l’unité et des dommages matériels.
Pfeiffer Vacuum recommande vivement le câblage des entrées analogiques (+) et (-) avec des paires
torsadées.
► Un câble blindé doit être utilisé pour la comptabilité électromagnétique (CEM).
► Évitez les influences externes de parasitage.
► Raccordez le blindage au boîtier de raccordement.
► Laissez l’autre extrémité ouverte ou reliez-la à la terre afin d’éliminer les courants de boucle de
terre.
La connexion « AUX I/O » fournit une interface supplémentaire pour les entrées et les sorties numériques et analogiques.
Entrées numériques
Les entrées numériques sont hautement actives. Le logiciel PV MassSpec vous permet de régler les
actions activées par les entrées numériques sur bas actif. Une résistance de rappel configure ces entrées en interne sur +24 V. Les entrées peuvent être réglées sur bas via un contact ou sur la masse via
un transistor. En cas d’utilisation avec le logiciel PV MassSpec, l’état des entrées numériques peut être
visualisé ou utilisé pour la commande séquentielle.
● Nombre total de canaux : 3
● Connexion « AUX IO » : DI13 – DI15
Sorties numériques
Les sorties numériques sont des collecteurs ouverts et peuvent chacune supporter une charge max.
de 200 mA. En cas d’utilisation avec le logiciel PV MassSpec, vous pouvez régler les sorties numériques de façon permanente ou en fonction des courants, de l'état des unités et de l'état de la séquence.
Si vous activez la sortie, la sortie commute de la haute tension (> 20 V) sur 0 V.
● Nombre total de canaux : 6
● Connexion « AUX IO » : DO2 – DO7
Entrées analogiques
Les entrées analogiques sont des entrées différentielles pour la plage -10 à +10 V. En cas d’utilisation
avec le logiciel PV MassSpec, vous pouvez enregistrer simultanément les signaux d’entrée analogique
ou contrôler les séquences de programme.
●
●
●
●
Nombre total de canaux : 3
Connexion « AUX IO » : AI3 – AI5
Impédance d’entrée : 50 kΩ
Taux d’échantillonnage : 16 bit
Sortie analogique
Les sorties analogiques permettent la sortie de tensions dans la gamme de 0 à 10 V. En cas d’utilisation avec le logiciel PV MassSpec, les courants d'ions des masses individuelles peuvent être convertis
dans les tensions de sortie correspondantes à l’aide d’un configurateur, puis être sorties.
●
●
●
●
Nombre total de canaux : 2
Connexion « AUX IO » : AO2 – AO3
Impédance de sortie : 100 Ω
Taux d’échantillonnage : 16 bit
49/116
Interfaces et connexions
Fig. 30:
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
6.5
1
→
25
→
13
14
Connexion « AUX IO »
Sortie analogique AO2
Terre analogique
Entrée analogique AI3 (-)
Entrée analogique AI4 (-)
Entrée analogique AI5 (-)
Terre analogique
Entrée numérique DI13
Entrée numérique DI15
24 V
Sortie numérique DO3
Sortie numérique DO5
Sortie numérique DO7
Terre ou masse numérique
14
15
16
17
18
19
20
21
22
23
24
25
Sortie analogique AO3
Terre ou masse numérique
Entrée analogique AI3 (+)
Entrée analogique AI4 (+)
Entrée analogique AI5 (+)
Terre ou masse numérique
Entrée numérique DI14
Terre ou masse numérique
Sortie numérique DO2
Sortie numérique DO4
Sortie numérique DO6
non attribué
Connexion Ethernet (LAN)
La connexion Ethernet permet une communication directe avec l'appareil par le biais d'un ordinateur.
RJ-45
1
8
green yellow
Fig. 31:
Connexion Ethernet (LAN)
1 Transmission de données (TD+)
2 Transmission de données (TD-)
3 Réception de données (RD+)
6
4, 5, 7, 8
LED
État
Signification
Verte (lien)
allumée
Connexion de l'équipement présente
éteinte
Connexion de l'équipement absente
allumée (clignotement)
Transmission de données en cours
éteinte
Aucune transmission de données/absence de connexion
Jaune (activité)
Tab. 10:
50/116
État de la connexion Ethernet
Réception de données (RD-)
Non utilisé
Mise en service
7 Mise en service
AVIS
Une forte vibration endommage la pompe turbomoléculaire
De fortes vibrations en cours de fonctionnement et après la mise à l’arrêt peuvent endommager la
pompe turbomoléculaire.
► Évitez les chocs et les vibrations en cours de fonctionnement, par exemple en roulant sur les câbles ou les seuils de porte.
► Évitez toute vibration dans les 5 minutes suivant la mise hors circuit du système.
7.1
Mise en circuit de l’unité
Fig. 32:
Écran « Dashboard » après démarrage du programme
Procédure
1. Enclenchez l’interrupteur principal.
– L’unité démarre. Une fois que l’électronique et le commutateur VLAN interne ont démarré, le
système est opérationnel et peut être piloté à l’aide de l’écran ou de l’interface web.
2. Configurez la langue si nécessaire (voir chapitre « Réglage de la langue », page 60).
3. Démarrez le système de pompage.
7.2
Démarrage du système de pompage
Condition requise pour les mesures avec le spectromètre de masse
● Pression< 5 × 10-5 hPa
51/116
Mise en service
Fig. 33:
Écran de « Control »
Pompage du système de vide
1. Basculez sur l’écran « Control ».
2. Appuyez sur le bouton « Pump down » (voir chapitre « Pompage du système de vide », page 64).
L'unité peut exécuter la mesure.
52/116
Fonctionnement via l’affichage
8 Fonctionnement via l’affichage
Manuel de l'utilisateur pour l’interface web et le logiciel PV MassSpec
Des informations sur l'utilisation du GSD 350 via l'interface web et PV MassSpec sont disponibles dans le manuel de l'utilisateur en annexe, sous le numéro de document DA 0106.
Le GSD 350 peut fonctionner via l’affichage ou l’interface web. Sur les variantes sans affichage, seule
l’interface web est utilisée pour le fonctionnement.
Exécution de mesures sur spectromètre de masse
Trois types de mesures sur spectromètre de masse sont possibles.
► Effectuez les mesures sur spectromètre de masse selon l’une des 3 méthodes suivantes.
► Utilisez le logiciel PV MassSpec.
– Les données de mesure ne peuvent être sauvegardées que si vous utilisez le logiciel
PV MassSpec.
► Utilisez l’affichage.
– Vous ne pouvez pas sauvegarder les données de mesure via l'affichage.
► Utilisez l’interface web.
– Vous ne pouvez pas sauvegarder les données de mesure via l'interface web.
Exécution de mesures analytiques complexes
► Utilisez le logiciel PV MassSpec.
Navigation entre les écrans et les menus
Les fonctions de l’unité sont associées à différents écrans et menus.
► Actionnez les boutons correspondants sur l'affichage pour naviguer entre les écrans et les fonctions.
– Les boutons indisponibles sont grisés.
► Appuyez sur le bouton « Suivant » pour passer à la page suivante du menu et visualiser plus de
fonctions.
► Actionnez le bouton « Retour » pour revenir au niveau précédent dans l’arborescence du menu.
8.1
Écran « Dashboard »
Le premier écran qui apparaît après le démarrage du programme est le « Dashboard ». Toutes les
fonctions et informations peuvent être affichées directement ou indirectement à partir d’ici. Pour plus
d’informations sur les commandes et les affichages, voir : (voir chapitre « Commandes et indicateurs », page 23)
53/116
Fonctionnement via l’affichage
1
6
2
3
5
4
Fig. 34:
Écran « Dashboard »
1 Valeur actuelle de la pression dans l’enceinte à vide
2 Triangle d’avertissement
3 État du système
8.1.1
4
5
6
État du chauffage
État du système de vide
Lien vers la page d’accueil
Structure du menu avec les fonctions
Menu
Info
(voir page 56)
Sous-programmes, fonctions et informations
1. Niveau
2. Niveau
Pompes à vide
Pompe à membrane
Pompe turbomoléculaire
Capteurs
Spectromètre de masse
Manomètre de pression totale
Capteur de purge de gaz neutre
Clapets
Vanne d’entrée (V1)
Vanne d'entrée (V2)
Vanne de calibration
Unités de chauffage
Chauffage du capillaire
Chauffage de l’admission de gaz
Chauffage de l’enceinte à vide
GSD
Heures de fonctionnement, versions de micrologiciel, etc.
Réseau
Adresse IP
Masque de sous-réseau
Passerelle
Ventilateur
Ventilateur 1 (sortie)
Ventilateur 2 (entrée)
54/116
Fonctionnement via l’affichage
Menu
Sous-programmes, fonctions et informations
Settings
(voir page 56)
1. Niveau
2. Niveau
Recettes
Créer une nouvelle recette
Recettes par défaut pour l’air
Unités de chauffage
Chauffage du capillaire
Chauffage de l’admission de gaz
Chauffage de l’enceinte à vide
Capteurs
Spectromètre de masse
Manomètre de pression totale
Capteur de purge de gaz neutre
Langue
Allemand
Anglais
Démarrage automatique
Vide
Chauffage
Admission de gaz
Réseau
Adresse IP
Masque de sous-réseau
Passerelle
Réglages du système GSD
Pression
Température
Date/heure
Réglages initiaux
Reset à l’état de livraison
service 8)
Pompes à vide
Capteurs
Clapets
Unités de chauffage
GSD
Ventilateur
Alerts
(voir page 63)
-
-
Control
(voir page 63)
Refoulement (vers)
-
Ventilation
-
Marche/arrêt du chauffage
-
Ouvrir/fermer les vannes d’admission
de gaz 9)
-
Marche/arrêt de l’étuvage
-
Marche/arrêt émission
-
Marche/arrêt du multiplicateur d’électrons
-
Ouvrir/fermer la vanne de calibration
-
Sélection de la recette
-
10)
Measurement
(voir page 67)
Tab. 11:
Structure du menu avec les fonctions
8)
Disponible uniquement pour le personnel de maintenance après identification
9)
Uniquement pour OmniStar
10)
uniquement avec l’unité de calibration en option
55/116
Fonctionnement via l’affichage
8.2
Menu « Info »
Le menu « Info » affiche le statut actuel et les réglages des paramètres des composants du système.
Les réglages ne peuvent pas être modifiés dans le menu « Info ».
●
●
●
●
●
●
●
8.3
Pompes à vide
Capteurs
Clapets
Unités de chauffage
Système GSD
Réseau
Ventilateur
Menu « Settings »
AVIS
Dommages matériels dus à des modifications non intentionnelles dans le menu Service
Des modifications incorrectes ans le menu Service rendent les fonctions de l’unité inutilisables et endommagent l’unité et ses composants.
Le menu Service est réservé au Pfeiffer Vacuum Service et n’est accessible qu’après s’être identifié.
► Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Le menu « Settings » contient les fonctions et les sous-menus suivants :
● Sous-menu « Recipes »
─ Création, édition et suppression des recettes de mesure
● Sous-menu « Heating »
─ Spécifiez les températures de point de consigne pour le chauffage et réglez le mode de
chauffage de récipient.
● Sous-menu « Sensors »
─ Ajustement des capteurs
● Sous-menu « Language »
─ Réglage de la langue
● Sous-menu « Autostart »
─ Réglage des fonctions de démarrage automatique
● Sous-menu « Network »
─ Réglage du réseau
● Sous-menu « GSD »
─ Réglages du système sur l’unité (unités, date et heure)
● Sous-menu « Factory settings »
─ Réinitialisation des réglages initiaux
● Sous-menu « Service »
─ Fonctions de maintenance 11)
11)
56/116
Disponible uniquement pour le personnel de maintenance après identification
Fonctionnement via l’affichage
1
2
Fig. 35:
Exemple de réglage de paramètre
1 Symbole de l’interrupteur (marche)
2
Valeur numérique modifiable
Utilisation d’un interrupteur pour modifier les paramètres
1. Naviguez vers le paramètre souhaité.
2. Appuyez sur le symbole de l’interrupteur pour basculer ce dernier.
3. Appuyez sur le bouton « Save » pour enregistrer les modifications.
ou
Appuyez sur le bouton « Back » pour annuler les modifications.
4. Effectuez les autres modifications, si nécessaire.
Saisie des valeurs des paramètres
1. Naviguez vers le paramètre souhaité.
2. Appuyez sur le champ des paramètres.
– Un champ de saisie numérique apparaît.
3. Saisissez la valeur souhaitée.
– Pour les valeurs en-dehors de la plage de valeurs autorisée, le GSD 350 adopte automatiquement la valeur la plus haute ou la plus basse autorisée.
4. Appuyez sur le bouton « Save » pour enregistrer les modifications.
ou
Appuyez sur le bouton « Back » pour annuler les modifications.
5. Effectuez les autres modifications, si nécessaire.
8.3.1
Création et édition des recettes de mesure
Fig. 36:
Sous-menu « Recipes »
Vous pouvez sélectionner, modifier ou effacer des recettes de mesure existantes dans le sous-menu
« Recipes ». Vous pouvez créer jusqu’à 8 recettes de mesure.
Les recettes de mesure suivantes sont prédéfinies :
● Recette de mesure pour un scan (par défaut SCAN AIR)
● Recette de mesure pour mesurer diverses masses sur une période donnée (par défaut Masses
sélectionnées Air)
57/116
Fonctionnement via l’affichage
Fig. 37:
Recette de mesure pour le mode de mesure « Scan du spectre »
Édition de la recette de mesure pour le mode de mesure « Scan du spectre »
1. Appuyez sur le bouton « New recipe ».
2. Saisissez un nom pour la recette de mesure.
3. Sélectionnez le mode de mesure « Spectrum Scan ».
4. Définissez le domaine de masse en saisissant la masse de départ et la masse finale (FromAMU
et ToAMU).
5. Définissez le nombre de points de mesure par masse (PointsPerAMU).
6. Définissez le temps de mesure pour un point de masse (dwell).
7. Appuyez sur « Save » pour sauvegarder la recette de mesure sous le nom saisi.
ou
Appuyez sur « Back » pour annuler l’entrée actuelle.
ou
Appuyez sur « Delete » pour supprimer la recette de mesure actuelle.
Fig. 38:
58/116
Recette de mesure pour le mode de mesure « Masses sélectionnées »
Fonctionnement via l’affichage
Édition de la recette de mesure pour le mode de mesure « Masses sélectionnées »
1. Appuyez sur le bouton « New recipe ».
2. Saisissez un nom pour la recette de mesure.
3. Sélectionnez le mode de mesure « Selected Masses ».
4. Définissez le temps de mesure pour une masse (dwell).
5. Définissez les nombres de masse individuels (masse : nn) que vous voulez que le GSD 350 enregistre et affiche sur la durée.
6. Appuyez sur le bouton « New line » pour ajouter des nombres de masse supplémentaires.
7. Appuyez sur le bouton « Supprimer » pour supprimer les nombres de masse individuels.
8. Appuyez sur « Save » pour sauvegarder la recette de mesure sous le nom saisi.
ou
Appuyez sur « Back » pour annuler l’entrée actuelle.
ou
Appuyez sur « Delete » pour supprimer la recette de mesure actuelle.
8.3.2
Ajustement des unités de chauffage
Protection contre les surchauffes des unités de chauffage
Toutes les unités de chauffage sont protégées contre la surchauffe. Cette surveillance de
sécurité peut entraîner la coupure du GSD 350, potentiellement lors du réglage d’une nouvelle température nominale plus basse.
Recommandation : mettez hors circuit d’abord l’unité de chauffage concernée et laissez-la
refroidir jusqu’à ce qu’elle atteigne une température plus basse. Une fois l’unité refroidie,
remettez le chauffage en marche pour le laisser s’ajuster à la nouvelle température souhaitée.
Les paramètres de réglage du chauffage (températures nominales) sont affichées dans le sous-menu
« Heating ».
Unités de chauffage
● Chauffage de l’admission de gaz
● Chauffage du capillaire
● Chauffage de l’enceinte à vide
Fig. 39:
Mode de trempage de l’enceinte à vide
En principe, le GSD 350 ne chauffe pas l’enceinte à vide pendant une opération de mesure. Pour certaines mesures analytiques, vous pouvez activer le « Tempering mode » dans le sous-menu « Vacuum
chamber ». Lorsque le mode de trempageest activé, le GSD 350 chauffe toujours l’enceinte à vide à la
température nominale réglée lorsque le GSD 350 met en marche le chauffage capillaire.
Activation du mode tempérage de l’enceinte à vide
1. Utilisation du mode tempérage pour certaines mesures analytiques.
2. Dans le menu « Heating », appuyez sur le bouton « Vacuum chamber ».
3. Ajustez la température nominale pour le « Tempering set temperature ».
4. Activez le mode tempérage.
59/116
Fonctionnement via l’affichage
8.3.3
Ajustement des capteurs
Les paramètres courants du capteur sont affichés dans le sous-menu « Sensors ».
Capteurs
● Spectromètre de masse
Sélection du filament
● Manomètre de pression totale
Le système ignore l’activation/désactivation du capteur et les erreurs de capteur
● Capteur de purge de gaz neutre (seulement sur la version pour gaz corrosifs)
Ignore les erreurs de capteur
Recommandations pour les manomètres de pression totale
► Dans la mesure du possible, laissez les manomètres de pression totale en marche tout le temps,
pour assurer une protection des filaments chauffés et des pompes à vide du GSD 350.
► Coupez temporairement le manomètre de pression totale avec la fonction « Marche/arrêt capteur », si cela est requis pour certaines tâches d'analyse spécifiques.
► Désactivez la fonction d'arrêt du GSD 350 pour le manomètre de pression totale, avec la fonction
« Ignorer l'erreur du capteur » afin de pouvoir poursuivre les mesures en cours si le manomètre
de pression totale est défectueux.
► N'utilisez pas la fonction de désactivation plus longtemps que nécessaire.
► Remplacez immédiatement le manomètre pour pression totale dès qu'il s’avère défectueux.
Recommandations pour le capteur de purge de gaz neutre
► Dans la mesure du possible, laissez le capteur de purge de gaz neutre en marche tout le temps,
pour assurer une protection des pompes à vide du GSD 350.
► Utilisez la fonction "Ignorer l'erreur du capteur" pour désactiver temporairement la surveillance de
la purge de gaz neutre afin de réduire la consommation de la purge de gaz neutre pour les tâches
de mesure où le GSD 350 n'est pas exposé à des gaz corrosifs ou à des mélanges de gaz condensables.
► N'utilisez pas la fonction de désactivation plus longtemps que nécessaire.
8.3.4
Réglage de la langue
Fig. 40:
Sous-menu « Langue »
Les langues suivantes sont disponibles dans le sous-menu « Language » :
● Anglais (par défaut)
● Allemand
60/116
Fonctionnement via l’affichage
8.3.5
Réglage des fonctions de démarrage automatique
Fig. 41:
Sous-menu « Autostart »
Dans le sous-menu « Autostart », vous pouvez définir les fonctions du GSD 350 devant démarrer automatiquement après la mise en marche.
Fonctions de démarrage automatique
● Vacuum
Démarre la pompe à vide
● Heating
Monte le chauffage du capillaire jusqu’au point de consigne
● Inlet
Ouvrir la vanne d'entrée (V1) (OmniStar seulement)
Vide requis dans l’enceinte à vide
Les fonctions de démarrage automatique « Chauffage » et « Admission de gaz » sont disponibles uniquement en combinaison avec la fonction de démarrage automatique « Vide »,
car le vide requis doit avoir été établi dans l’enceinte à vide pour ces fonctions de démarrage automatique.
8.3.6
Réglage des paramètres réseau
Fig. 42:
Sous-menu « Réseau »
Vous pouvez définir les paramètres réseau du GSD 350 dans le sous-menu « Réseau ». Le GSD 350
doit être redémarré pour l’activation des nouveaux paramètres réseau.
Paramètres réseau
● Adresse IP
● Masque de sous-réseau
● Passerelle
61/116
Fonctionnement via l’affichage
Réglage de l’adresse IP pour le GSD 350
1. Saisissez la nouvelle adresse IP statique.
– Le réglage du DHCP est impossible.
2. Saisissez le nouveau masque de sous-réseau, si nécessaire.
3. Appuyez sur le bouton « Save ».
4. Attendez l’invite à la mise hors circuit du GSD 350.
5. Arrêtez l'appareil.
6. Réactivez l’unité après > 20 secondes.
Vous trouverez le GSD 350 dans les nouveaux réglages.
8.3.7
Réglage des paramètres système GSD
Fig. 43:
Sous-menu « GSD »
Vous pouvez sélectionner les différentes unités pour les variables physiques de température et de pression dans le guide du sous-menu « GSD ». Vous pouvez également régler la date et l’heure.
État de livraison
● Pression : hPa
● Température : °C
Réglage de l’heure et de la date
1. Appuyez sur la date et l'heure à l'écran.
2. Régler la date.
3. Régler l’heure.
4. Sélectionnez « Save » pour confirmer les réglages.
8.3.8
Réinitialisation de l'unité aux réglages initiaux
Les réglages modifiés sont perdus
Le fait de rétablir les réglages initiaux vient écraser tous les réglages modifiés, ou ces réglages sont tout simplement perdus. Vous ne pouvez pas annuler cette fonction.
Fig. 44:
Sous-menu « Factory settings »
Vous pouvez rétablir tous les réglages du GSD 350 sur les réglages initiaux, dans le sous-menu « Factory settings ».
Procédure
1. Activez l'interrupteur « Reset to as-delivered condition ».
2. Confirmez l'invite de sécurité en actionnant le bouton « Save ».
ou
Actionnez le bouton « Back » pour conserver les paramètres actuels.
62/116
Fonctionnement via l’affichage
8.3.9
Service
AVIS
Dommages matériels dus à des modifications non intentionnelles dans le menu Service
Des modifications incorrectes ans le menu Service rendent les fonctions de l’unité inutilisables et endommagent l’unité et ses composants.
Le menu Service est réservé au Pfeiffer Vacuum Service et n’est accessible qu’après s’être identifié.
► Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
●
●
●
●
●
●
8.4
Pompes à vide
Capteurs
Clapets
Unités de chauffage
GSD
Ventilateur
Menu « Alerts »
Le menu « Alerts » affiche les messages d’avertissement et de dysfonctionnement actuels de l’unité.
Accès aux messages d’avertissement et de dysfonctionnement
► Basculez dans le menu « Alerts » ou appuyez sur le triangle d’avertissement.
– Les messages d’avertissement et de dysfonctionnement apparaissent.
8.5
Menu « Control »
Le menu « Control » affiche le diagramme du vide du système et ses paramètres essentiels.
Le menu dispose des fonctions suivantes selon l’état de marche de l’unité et le type d'unité :
●
●
●
●
●
●
Pompage / ventilation du système de vide
Activation / désactivation du capillaire et du chauffage à l’entrée
Activation / désactivation du chauffage de l’enceinte à vide (étuvage)
Ouverture / fermeture de l’admission de gaz (OmniStar)
Activation / désactivation de l’émission (filament chauffé)
Activation / désactivation du multiplicateur d'électrons
Des explications sur le diagramme du vide sont disponibles ici : (voir chapitre « Description fonctionnelle », page 22)
63/116
Fonctionnement via l’affichage
1
3
2
Fig. 45:
Menu « Control »
1 Pression dans l’enceinte à vide (manomètre de pression
totale)
2 Vitesse de rotation de la pompe turbomoléculaire
8.5.1
3
Statut du filament chauffé PrismaPro et du multiplicateur d'électrons
Pompage du système de vide
Condition préalable
● Unité prête à l’utilisation
Procédure
1. Basculez dans le menu « Control ».
2. Appuyez sur le bouton « Pump down ».
Séquence
●
●
●
●
Le GSD 350 passe de l’état « Ventilé » à l’état « Pompage ».
La vanne de ventilation se coupe.
La pompe à membrane démarre et évacue le système de vide.
Après avoir atteint la valeur seuil (10 hPa), la pompe turbomoléculaire accélère jusqu’à la vitesse
de rotation finale de 1500 Hz.
● Au bout de quelques minutes, le système de vide atteint une pression < 5×10-5 hPa.
8.5.2
Ventilation du système de vide
Conditions préalables
● Mesures en cours terminées (voir chapitre « Menu « Measure » », page 67)
● Le filament chauffé sur le multiplicateur d’électrons est coupé (voir chapitre « Menu « Control » », page 63).
Procédure
1. Basculez dans le menu « Control ».
2. Appuyez sur le bouton « Vent ».
Séquence
● Le GSD 350 passe de l’état « Vide » à l’état « Ventilé ».
● Après confirmation de l’invite de sécurité, l’émission et le multiplicateur d’électrons sont coupés.
● Une fois l’émission désactivée, un timer interne démarre. Le timer permet au filament chauffé de
refroidir avant de ventiler l’enceinte à vide. Le timer est réglé sur 15 minutes ; il s’agit du laps de
temps réglé après coupure de l’émission. Si l’émission était encore activée au moment du démarrage de la « Ventilation », le timer enclenche ses 15 minutes. Le temps restant du timer est affiché en haut à droite de l’écran.
64/116
Fonctionnement via l’affichage
● Une fois le temps du timer écoulé, la pompe turbomoléculaire s’arrête.
─ En dessous de la vitesse de rotation de la ventilation (750 Hz), la vanne de ventilation permet
de ventiler la pompe turbomoléculaire et l’enceinte à vide.
─ La vanne de ventilation reste ouverte.
● La pompe à membrane s’arrête.
8.5.3
Activation et désactivation des unités de chauffage
Condition préalable
● La pompe turbomoléculaire tourne à la vitesse de rotation prédéfinie
Enclenchement du chauffage
1. Basculez dans le menu « Control ».
2. Actionnez le bouton « Heating on ».
Séquence d’activation
● Le GSD 350 active le chauffage du capillaire et le chauffage de l’admission de gaz.
● Une commande PID régule chaque circuit de chauffage avec les paramètres de commande correspondants pour atteindre la température de consigne requise.
Coupure du chauffage
1. Basculez dans le menu « Commande ».
2. Actionnez le bouton « Chauffage désactivé ».
Séquence de désactivation
● Le GSD 350 désactive le chauffage du capillaire et le chauffage de l’admission de gaz.
● À partir d'une valeur seuil de ≤ 40 °C, l'état « Chauffage désactivé » est atteint.
8.5.4
Ouverture et fermeture de l’admission de gaz (Omnistar)
Condition préalable
● La pompe turbomoléculaire tourne à la vitesse de rotation prédéfinie
Ouverture de l’admission de gaz
1. Basculez dans le menu « Control ».
2. Appuyez sur le bouton « Open inlet valve ».
Séquence d’ouverture
● La vanne de pompe V2 s’ouvre et se ferme plusieurs fois brièvement dans un intervalle défini afin
d’éviter des montée de pression non admissibles.
● La vanne de pompe V2 reste ouverte une fois le dernier intervalle dépassé.
● La vanne d’admission de gaz V1 s’ouvre après un retard de 7 secondes.
● Une commande PWM maintient alors les deux vannes ouvertes pour conserver un courant faible
dans le serpentin afin d'éviter tout échauffement dommageable.
Fermeture de l’admission de gaz
1. Basculez dans le menu « Commande ».
2. Appuyez sur le bouton « Fermer la vanne d’admission ».
Séquence de fermeture
● La vanne d’admission de gaz V1 se ferme.
● La vanne de pompe V2 se ferme.
8.5.5
Étuvage de l’enceinte à vide
Une fois le timer écoulé, l’étuvage est automatiquement désactivé, ou alors l'utilisateur peut sélectionner la fonction « Étuvage désactivé ».
Condition préalable
● La pompe turbomoléculaire tourne à la vitesse de rotation prédéfinie
Étuvage de l’enceinte à vide
1. Basculez dans le menu « Control ».
2. Actionnez le bouton « Bake out on ».
65/116
Fonctionnement via l’affichage
Séquence d'étuvage
● Le GSD 350 passe de l'état « Étuvage désactivé » à l'état « Étuvage activé ».
─ Le multiplicateur d'électrons sur le PrismaPro se coupe.
─ Le filament chauffé commence à émettre.
● Le GSD 350 enclenche les cartouches de chauffage de l’enceinte à vide.
─ Une commande PID régule le circuit de chauffage avec les paramètres de commande correspondants pour atteindre la température de consigne requise (par défaut = 120 °C, réglable
entre 100 °C et 130 °C)
─ Le GSD 350 coupe le chauffage lorsque la température risque d’être supérieure à la normale
dans l'unité.
L’affichage notifie cet état de fait.
● Le timer démarre.
─ Une fois le timer écoulé (entre 1 et 24 heures), l'étuvage est automatiquement désactivé.
Fin de l'étuvage de l’enceinte à vide
1. Basculez dans le menu « Control ».
2. Actionnez le bouton « Bake out off ».
Séquence de fin de processus
● Le GSD 350 passe de l'état « Étuvage activé » à l'état « Étuvage désactivé ».
● Le GSD 350 désactive les cartouches de chauffage de l’enceinte à vide.
─ À partir d'une valeur seuil de ≤ 40 °C, l'état « Étuvage désactivé » est atteint.
8.5.6
Activation et désactivation de l’émission
Des dysfonctionnements ou des conditions non admissibles se traduisent par une désactivation automatique de l'émission.
Conditions préalables
● La pompe turbomoléculaire tourne à la vitesse de rotation prédéfinie
● La pression dans l’enceinte à vide est de < 1× 10-4 hPa
Activation de l’émission
1. Basculez dans le menu « Control ».
2. Actionner le bouton « Emission on ».
Séquence d’activation
● Le GSD 350 enclenche l'émission du filament chauffé.
● Le GSD 350 maintient un courant d'émission constant sur le filament chauffé, avec une surveillance permanente.
Lorsque la pression dans l’enceinte à vide est excessive, le courant du filament chauffé devient
trop élevé, ou les variations d'émissions sont trop accentuées ; l’émission est automatiquement
coupée.
Désactivation de l’émission
1. Basculez dans le menu « Control ».
2. Actionnez le bouton « Emission off ».
Séquence de désactivation
● Le GSD 350 désactive l'émission du filament chauffé.
8.5.7
Activation et désactivation du multiplicateur d'électrons
Des dysfonctionnements ou des conditions non admissibles se traduisent par une désactivation automatique du multiplicateur d'électrons.
Si l'émission du filament est coupée manuellement ou automatiquement, le multiplicateur d'électrons
est également coupé automatiquement.
Conditions préalables
● La pompe turbomoléculaire tourne à la vitesse de rotation prédéfinie
● La pression dans l’enceinte à vide est de < 5× 10-5 hPa
● Émission activée
66/116
Fonctionnement via l’affichage
Activation du multiplicateur d'électrons
1. Basculez dans le menu « Control ».
2. Actionnez le bouton « EM on ».
Séquence d’activation
● Le GSD 350 enclenche le multiplicateur d'électrons.
Désactivation du multiplicateur d'électrons
1. Basculez dans le menu « Control ».
2. Actionnez le bouton « EM off ».
Séquence de désactivation
● Le GSD 350 désactive le multiplicateur d'électrons.
8.5.8
Ouverture et fermeture de la vanne de calibration
La vanne de calibration est disponible uniquement sur les variantes du GSD 350 avec une unité de calibration.
Condition préalable
● La pompe turbomoléculaire tourne à la vitesse de rotation prédéfinie
Ouverture de la vanne de calibration
1. Basculez dans le menu « Control ».
2. Appuyez sur le bouton « Open calibration valve ».
3. Calibrez l'échelle de masse sur le PrismaPro.
Séquence d’ouverture
● La vanne de calibration ouvre pour lancer un cycle.
● Le fluide de calibration circule dans l’enceinte à vide avec prismaPro.
Fermeture de la vanne de calibration
1. Basculez dans le menu « Control ».
2. Appuyez sur le bouton « Shut calibration valve ».
Séquence de fermeture
● La vanne de calibration se ferme.
8.6
Menu « Measure »
Le menu dispose des fonctions suivantes selon l’état de marche de l’unité :
● ouverture et démarrage des recettes de mesure existantes
● État à la livraison : scan de masse (par défaut SCAN AIR / scan du spectre) ou mesure des masses individuelles (par défaut masses d’air sélectionnées / masses sélectionnées)
Lancement de la mesure
1. Dans le menu « Control », activez le filament chauffé et, si nécessaire, le multiplicateur d'électrons.
2. Dans le menu « Measure », actionnez le bouton « Start ».
3. Si nécessaire, permutez l’affichage entre linéaire et logarithmique.
Arrêt de la mesure
1. Dans le menu « Measure », actionnez le bouton « Stop ».
2. Dans le menu « Control », désactivez le filament chauffé et, si nécessaire, le multiplicateur d'électrons.
67/116
Mise hors service
9 Mise hors service
AVIS
Une forte vibration endommage la pompe turbomoléculaire
De fortes vibrations en cours de fonctionnement et après la mise à l’arrêt peuvent endommager la
pompe turbomoléculaire.
► Évitez les chocs et les vibrations en cours de fonctionnement, par exemple en roulant sur les câbles ou les seuils de porte.
► Évitez toute vibration dans les 5 minutes suivant la mise hors circuit du système.
AVIS
Dommages matériels résultants de l’interruption de l'alimentation électrique pendant le fonctionnement
Débrancher la prise d’alimentation ou couper l’interrupteur principal en secteur de fonctionnement
peut fortement solliciter le filament chauffé et réduire sa durée de vie si l’unité est sous vide et l’émission activée. Le filament chauffé risque d’être irrémédiablement détruit.
► Veillez à toujours mettre correctement l’unité hors service.
► Mettez l’unité hors service avant de débrancher la prise secteur.
Protection du filament chauffé
Afin de protéger le filament chauffé, la pompe turbomoléculaire se coupe 15 minutes après
la coupure du filament chauffé au plus tôt. L’opération de ventilation actuelle, celle du système, démarre lorsque la pompe turbomoléculaire atteint une vitesse de rotation
de 750 Hz.
Recommandations pour les gaz corrosifs et les mélanges de gaz condensables
1. Laissez passer de l'air sec ou un gaz inerte par le capillaire.
2. Laissez le GSD 350 fonctionner encore pendant environ 30 minutes pour évacuer hors du système les résidus de gaz corrosifs et de gaz condensables.
Coupure de l'appareil
1. Coupez l'émission du PrismaPro (voir chapitre « Activation et désactivation de l’émission », page 66).
2. Coupez le multiplicateur d'électrons du PrismaPro (voir chapitre « Activation et désactivation du
multiplicateur d'électrons », page 66).
3. Ventilez le système de vide pour le désactiver (voir chapitre « Ventilation du système de vide », page 64).
4. Patientez jusqu’à ce que le GSD 350 ventile le système et coupe les pompes à vide.
5. Coupez l'interrupteur principal sur l’unité.
6. Débranchez le câble d'alimentation de l’alimentation.
Débranchement du tuyau de gaz d’échappement
1. Appuyez fermement des deux côtés sur la bague de déverrouillage pour la descendre au niveau
de la pièce de raccordement du gaz d’échappement afin d’ouvrir uniformément les griffes de
maintien et d’éviter tout rayure sur le tuyau de gaz d’échappement.
2. Tirez le tuyau de gaz d’échappement à la verticale pour le sortir de la pièce de raccordement du
gaz d’échappement sur l’unité.
Débranchement du tuyau de purge de gaz neutre
1. Appuyez fermement des deux côtés sur la bague de déverrouillage pour la descendre au niveau
de la pièce de raccordement afin d’ouvrir uniformément les griffes de maintien et d’éviter tout rayure sur le tuyau de purge de gaz neutre.
2. Tirez le tuyau de purge de gaz neutre à la verticale pour le sortir de la pièce de raccordement sur
l’unité.
68/116
Maintenance
10
Maintenance
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
Maintenance dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum
Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de services de maintenance pour tous les
produits.
Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter un Centre de service Pfeiffer Vacuum pour organiser la maintenance de produits et de composants défectueux.
Maintenance dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum
Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter le Centre de service Pfeiffer Vacuum local pour
organiser la maintenance de produits et de composants défectueux.
Annulation de la garantie
Les conditions suivantes entraînent une annulation de la garantie :
● Dégâts ou suppression du sceau de fermeture
● Ouverture de l'appareil pendant la période de garantie
Contacter le Centre de service Pfeiffer Vacuum en cas d'intervalle de maintenance raccourcis lié au processus.
Commencer par lire intégralement les sections
Lire intégralement la section consacrée aux instructions de travail avant de commencer à
travailler.
10.1 Opérations de maintenance et intervalles de maintenance
Remarques relatives aux intervalles de maintenance
Les durées des intervalles de maintenance dépendent fortement des conditions de procédé ; elles concernent les opérations avec des gaz de nettoyage et des gaz inertes. L’utilisation de gaz de processus corrosifs peut réduire considérablement les intervalles de maintenance.
● En cas de charges extrêmes ou de procédés spécifiques, consultez Pfeiffer Vacuum Service pour déterminer des intervalles de maintenance plus courts.
Vous pouvez procéder vous-même à des travaux de maintenance au niveau de maintenance 1.
Nous recommandons de faire appel à Pfeiffer Vacuum Service pour les travaux de maintenance du
niveau de maintenance 2 et du niveau de maintenance 3 (révision). Si les intervalles de maintenance recensés ci-dessous sont dépassés ou si l’intervention est mal exécutée, aucune réclamation de garantie ou de responsabilité ne sera acceptée de la part de Pfeiffer Vacuum. Ces consignes s’appliquent
aussi s’il ne s’agit pas de pièces de rechange d’origine.
69/116
Maintenance
Groupe de composants, module
et action
Intervalle
Niveau
de maintenance
Pièces de rechange/jeu de
pièces de rechange
Description
Nettoyage des pièces de carter
Si demandé
1
-
(voir page 74)
Nettoyage des grilles de protection sur le ventilateur
Une fois par mois
1
-
(voir page 75)
Remplacez le joint cuivre sur le
raccord à bride DN 40 CF
Toujours lorsque le raccord
à bride CF est ouvert
2
490DFL040-S-S5
-
Remplacez le réservoir du fluide
d’exploitation sur la pompe turbomoléculaire
4 ans
2
PM 143 740 -T
(voir page 76)
Voir également le
manuel de l’utilisateur de la pompe turbomoléculaire
Remplacez les paliers de la
pompe turbomoléculaire
4 ans
3
-
Voir le manuel de
l’utilisateur de la
pompe turbomoléculaire
Déposez/installez la pompe à
membrane
Si demandé
2
-
(voir page 76)
Remplacez la pompe à membrane
Si demandé
3
PK T05 072
Remplacez la membrane de la
pompe à membrane
après 15 000 heures de
fonctionnement
2
PU E22 030 -T
(voir page 78)
Voir également le
manuel de l’utilisateur de la pompe à
membrane
Installez/démontez l’analyseur
QMA 250 M
Si demandé
2
-
Remplacez le filament chauffé
(en tungstène)
Si demandé
Après défaillance du premier des 2 filaments chauffés
2
PT 163 331
(voir page 79)
Voir également le
manuel de l’utilisateur du PrismaPro
2
PT 163 332
Remplacez la source d’ions (filaments chauffés en tungstène)
Si contaminé
2
PT 163 291
Remplacez la source d’ions (filaments chauffés Ir-Y2O3)
Si contaminé
2
PT 163 292
Remplacez le capteur sur le manomètre de pression totale
Si contaminé
2
PT 120 212 -T
(voir page 81)
Voir également le
manuel de l’utilisateur pour la mesure
de la pression totale
Remplacez le manomètre de
pression totale
en cas de défaut
2
PT R40 351 -A
(voir page 81)
Installez/déposez l’admission de
gaz (Omnistar)
Si demandé
2
-
(voir page 82)
(voir page 84)
Remplacez l’admission de gaz
(Omnistar)
Si demandé
2
PT 167 016 -T
Installez/déposez l’admission de
gaz (Thermostat)
Si demandé
2
-
Remplacez l’admission de gaz
(Thermostat)
Si demandé
2
PT 167 013 -T
Remplacez l’orifice (Omnistar)
Si connecté
2
BK212576
Remplacez l’orifice (ThermoStar)
Si connecté
2
Instrument fondamental
Système côté vide élevé
Système de vide primaire
Unité d’analyse de gaz
Remplacez le filament chauffé
(Ir-Y2O3)
Système d’admission de gaz
70/116
(voir page 86)
(voir page 87)
(voir page 83)
(voir page 87)
Maintenance
Groupe de composants, module
et action
Intervalle
Niveau
de maintenance
Pièces de rechange/jeu de
pièces de rechange
Description
Remplacez l’orifice et le diffuseur
de gaz interne (Omnistar)
Si demandé
2
PT 167 014 -T
(voir page 84)
Remplacez l’ Orifice et le diffuseur de gaz interne (ThermoStar)
Si demandé
2
Réduisez la longueur du capillaire en acier inoxydable
Si connecté
2
-
(voir page 88)
Remplacez le capillaire en acier
inoxydable
Si connecté
2
PT 167 060
PT 167 017 -T
(voir page 89)
Sectionnement des capillaires en
quartz
Si connecté
2
-
(voir page 91)
Remplacez les capillaires en
quartz
Si connecté
2
B1975082EC
PT 167 015 -T
(voir page 91)
en cas de défaut
2
PT 167 025
(voir page 93)
Si demandé
2
PT 167 031
(voir page 94)
(voir page 87)
Capillaire
Composants électroniques
Remplacez l’affichage
Unité de calibrage (option)
Faites l’appoint en fluide de calibration (PFTBA)
Tab. 12:
10.2
Opérations de maintenance et intervalles de maintenance
Maintenance de l’instrument fondamental
DANGER
Danger de mort par électrocution
L'appareil présente des tensions élevées. Danger de mort en cas de contact avec des éléments sous
tension. La mise en service de l'appareil alors qu'il est visiblement endommagé implique un danger
de mort.
► Toute intervention sur l'appareil ouvert doit être confiée à un personnel spécialisé et qualifié.
► Avant d'exécuter une installation ou une opération de maintenance, arrêtez l'appareil et déconnectez-le de l'alimentation électrique.
► N’ouvrez jamais l'appareil lorsqu'il est branché à une source d'alimentation électrique.
► Prenez les mesures nécessaires pour éviter toute réactivation involontaire ou non autorisée.
► Ne faites jamais fonctionner un appareil ouvert ou défectueux.
► Prenez les mesures nécessaires pour empêcher l'utilisation accidentelle d'un appareil défectueux.
► Protégez l'appareil contre l'humidité.
AVERTISSEMENT
Risque de brûlure sur les surfaces chaudes
Pendant le fonctionnement, les températures montent très haut (> 50 °C) sur les surfaces de contact
des composants de chauffage et sur l’admission de gaz. Il existe un risque de brûlure.
► Prenez les mesures requises pour prévenir tout contact avec les pièces chaudes.
► Apposez des signaux d’avertissement.
► Veillez à ce que le produit se soit refroidi avant d’intervenir dessus.
► Portez des gants de protection (conformément à EN 420).
71/116
Maintenance
10.2.1
Dépose/fixation du couvercle de l’admission de gaz
2
1
Fig. 46:
Dépose/fixation du couvercle de l’admission de gaz
1 Couvercle de l’admission de gaz
2
Vis à six pans creux intérieurs (8×M3)
Conditions préalables
● GSD 350 à l’arrêt
● Câble d’alimentation débranché
Outil nécessaire
● Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 2
Dépose du couvercle de l’admission de gaz
1. Desserrez les vis à six pans creux intérieurs sur le couvercle de l’admission de gaz, sur le châssis.
2. Retirez avec précaution le couvercle de l’admission de gaz par l’avant.
– Faites attention à l'isolation.
Fixation du couvercle de l’admission de gaz
1. Posez le couvercle de l’admission de gaz sur le châssis.
– Faites attention à l'isolation.
2. Fixez le couvercle de l’admission de gaz sur le châssis à l’aide des vis à six pans creux intérieurs.
10.2.2
Dépose/fixation des capots latéraux
Ne retirez pas le couvercle de l’admission de gaz
Il est inutile de retirer le couvercle de l’admission de gaz pour enlever les capots latéraux.
72/116
Maintenance
2
1
3
3
Fig. 47:
Dépose/fixation des capots latéraux
1 Capot latéral de droite
2 Capot latéral de gauche
3
Vis à six pans creux intérieurs (2×M3)
Conditions préalables
● GSD 350 à l’arrêt
● Câble d’alimentation débranché
Outil nécessaire
● Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 2
Retrait des capots latéraux
1. Desserrez et retirez les vis à six pans creux intérieurs sur le capot latéral du châssis.
2. Retirez avec précaution le capot latéral par l’arrière.
– Faites attention aux sangles de montage sur le capot latéral.
3. Desserrez le connecteur mâle-femelle du câble de terre, sur le capot latéral.
Fixation des capots latéraux
1. Fixez le connecteur mâle-femelle du câble de terre sur le capot latéral.
2. Montez prudemment le capot latéral depuis l’arrière.
– Faites attention aux sangles de montage sur le capot latéral.
3. Serrez les vis à six pans creux intérieure du capot latéral sur le châssis.
10.2.3
Dépose/fixation du couvercle de carter
Conditions préalables
● GSD 350 à l’arrêt
● Câble d’alimentation débranché
● Capots latéraux retirés
Outil nécessaire
● Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 2
73/116
Maintenance
1
2
2
Fig. 48:
Dépose/fixation du couvercle de carter
1 Couvercle de carter
2
Vis à six pans creux intérieurs (2×M3)
Dépose du couvercle de carter
1. Desserrez les vis à six pans creux intérieurs sur le couvercle de carter, sur le châssis.
2. Retirez le couvercle de carter avec précaution, en tirant vers le haut.
3. Desserrez le connecteur mâle-femelle du câble de terre, sur le couvercle de carter.
Fixation du couvercle de carter
1. Fixez le connecteur mâle-femelle du câble de terre sur le couvercle de carter.
2. Montez prudemment le couvercle de carter depuis le haut.
3. Serrez les vis à six pans creux intérieurs du couvercle de carter sur le châssis.
10.2.4
Nettoyage des pièces de carter
DANGER
Chocs électriques en raison de la pénétration d'humidité dans l'appareil
L’humidité qui a pénétré dans l’appareil cause des blessures par électrisation.
► L'appareil ne peut être utilisé que dans un environnement sec.
► L'appareil doit être utilisé à distance de tout liquide et source d'humidité.
► Ne pas allumer l'appareil si un liquide y a pénétré. Contacter le Service Pfeiffer Vacuum.
► Toujours déconnecter l'alimentation électrique avant de nettoyer l'appareil.
AVERTISSEMENT
Risques pour la santé dus aux agents nettoyants
Les détergents utilisés peuvent nuire à la santé et causer un empoisonnement, des allergies, une irritation de la peau, des brûlures chimiques ou endommager les voies respiratoires.
► Respectez les réglementations en vigueur pour la manipulation des agents nettoyants.
► Respectez les mesures de sécurité concernant la manipulation et la mise au rebut des agents
nettoyants.
► Attention aux réactions potentielles avec les matériaux du produit.
74/116
Maintenance
AVIS
Dégâts causés par la pénétration d'humidité
La pénétration d'humidité, sous la forme de condensation ou d'égouttement, endommage l'appareil.
► Protéger l'appareil contre la pénétration de l'humidité.
► L'appareil ne peut être utilisé que dans un environnement propre et sec.
► L'appareil doit être utilisé à distance de tout liquide et source d'humidité.
► Des précautions spécifiques doivent être prises en cas de risque d'égouttement d'eau.
► Ne pas allumer l'appareil si un liquide y a pénétré. Contacter le Centre de service Pfeiffer Vacuum.
AVIS
Dégâts provoqués par des agents nettoyants inadaptés
L'usage d'agents nettoyants inadaptés endommage le produit.
► Ne pas utiliser de solvants qui endommageraient sa surface.
► Ne pas utiliser d'agents nettoyants agressifs ou abrasifs.
Conditions préalables
● GSD 350 mis hors circuit
● Câble d’alimentation débranché
Consommables nécessaires
● Détergent à nettoyer (détergent doux, par exemple)
● Chiffon (propre, doux, non pelucheux)
● Air comprimé
Exigences relatives à l’air comprimé
─
─
─
─
Exempt d’huile
Sec
Sans particules > 30 μm
< 2 bar de surpression
Nettoyage des pièces de carter
1. Utilisez un chiffon doux humide pour nettoyer l’extérieur de l’habillage.
2. Laissez sécher les surfaces complètement après le nettoyage.
3. Éliminez les couches de poussière à l’intérieur en les soufflant prudemment à l’air comprimé.
10.2.5
Nettoyage des écrans de protection sur les ventilateurs
Intervalle de nettoyage
Définissez l'intervalle de nettoyage par des inspection visuelles et en fonction du dégagement de poussière sur site.
De manière générale, il suffit d’aspirer occasionnellement l’écran de protection à travers les ouvertures
de ventilation en utilisant un aspirateur.
Conditions préalables
● GSD 350 à l’arrêt
● Câble d’alimentation débranché
● Capots latéraux retirés
Équipement requis
● Aspirateur
Procédure
1. Nettoyez l’écran de protection dès qu'une couche est visible et avant que la circulation de l'air ne
tombe au-dessous du niveau requis.
2. Utilisez un aspirateur pour éliminer la poussière sur l’écran de protection.
75/116
Maintenance
10.3 Maintenance du système de vide élevé
10.3.1
Remplacez le réservoir du fluide d'exploitation sur la pompe turbomoléculaire
Conditions préalables
● GSD 350 à l’arrêt
● Câble d’alimentation débranché
● Pompe turbomoléculaire à l’arrêt
Outil nécessaire
● Tournevis, 4 mm
Outil spécial requis
● Clé pour couvercle de carter (référence PV M40 813)
Équipement nécessaire
● Réservoir du fluide d'exploitation (référence PM 143 740 -T)
1
Fig. 49:
Face inférieure de l'unité
1
Couvercle de carter sur la pompe turbomoléculaire
Procédure
1. Positionnez le GSD 350 avec précaution sur le côté.
2. Ouvrez le couvercle de carter de la pompe turbomoléculaire à l’aide d'une clé à fourche spéciale
pour le couvercle de carter.
3. Remplacez le réservoir du fluide d'exploitation et les tiges Poroplast en suivant les instructions du
manuel de l'utilisateur de la pompe turbomoléculaire.
4. Fermez le couvercle de carter de la pompe turbomoléculaire à l’aide d'une clé à fourche spéciale
pour le couvercle de carter.
5. Redressez le GSD 350 avec précaution.
10.3.2
Remplacement de la vanne de ventilation
Pfeiffer Vacuum Service prend en charge le remplacement.
► Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
10.4
Maintenance du système de vide primaire
10.4.1
Remplacez la pompe à membrane
Conditions préalables
● GSD 350 mis hors circuit
● Câble d’alimentation débranché
● Pompe turbomoléculaire à l’arrêt
76/116
Maintenance
● Capots latéraux retirés
● Couvercle de carter retiré
Outillage nécessaire
● Clé à fourche, WAF 7
● Clé Allen, WAF 3
● Tournevis cruciforme
Équipement requis
● Unité de commande CCU 110, CCU 180 ou CCU 310 avec câble de raccordement
Pièce détachée requise
● Pompe à membrane MVP 010-3 CC (référence PK T05 072)
1
2
3
4
10
9
8
11
5
6
7
Fig. 50:
1
2
3
4
5
6
Remplacez la pompe à membrane
Boulon six pans (4×)
Pompe à membrane
Connecteur D-Sub
Bride d’aspiration
Raccord de gaz d’échappement
Buffer en caoutchouc (4×)
7
8
9
10
11
Plaque de fixation
Support de pompe à membrane
Disques de blocage (2×)
Vis à six pans creux intérieurs (2×)
Borne de connexion de terre
2
1
Fig. 51:
Raccordement et retrait du tuyau de gaz d’échappement et d’admission
1 Bague de déblocage
2
Tuyau flexible
Retrait de la pompe à membrane
1. Définissez l’adresse RS485 de la nouvelle pompe à membrane sur une valeur de « 10 » à l’aide
d’une DCU 110/180/310 et du câble de connexion approprié.
2. Appuyez fermement des deux côtés sur la bague de déverrouillage pour la descendre au niveau
du raccordement du gaz d’échappement sur la pompe à membrane, afin d’ouvrir uniformément
les griffes de maintien et d’éviter tout rayure sur le tuyau de gaz d’échappement.
3. Tirez le tuyau de gaz d’échappement verticalement pour le sortir de la pompe à membrane.
77/116
Maintenance
4. Appuyez fermement des deux côtés sur la bague de déverrouillage pour la descendre au niveau
de la bride d’aspiration sur la pompe à membrane, afin d’ouvrir uniformément les griffes de maintien et d’éviter tout rayure sur le tuyau d’aspiration.
5. Tirez le tuyau d’aspiration verticalement pour le sortir de la pompe à membrane.
6. Desserrez les vis de blocage sur le connecteur D-Sub de la pompe à membrane.
7. Débranchez le connecteur D-Sub sur la pompe à membrane.
8. Desserrez le raccord de terre sur la pompe à membrane.
9. Desserrez les vis à six pans creux intérieurs et les circlips.
10. Retirez la pompe à membrane et son support de la plaque de fixation, en tournant doucement.
11. Desserrez les boulon six pans.
12. Séparez le support de pompe à membrane et la pompe à membrane.
Installation de la pompe à membrane
1. Utilisez les vis à six pans creux intérieurs pour fixer la pompe à membrane sur le support de pompe à membrane.
2. Utilisez les vis à six pans creux intérieurs et les circlips pour fixer la pompe à membrane et le support de pompe à membrane sur la plaque de fixation.
3. Branchez le connecteur D-Sub sur la pompe à membrane.
4. Fixez les vis de blocage sur le connecteur D-Sub.
5. Fixez le raccord de terre sur la pompe à membrane.
6. Insérez le tuyau de gaz d’échappement dans le raccord de gaz d’échappement sur la pompe à
membrane.
– Faites attention à la bonne position sur le côté gaz d'échappement.
7. Insérez le tuyau de gaz d’admission dans le raccord à vide sur la pompe à membrane.
– Faites attention à la bonne position côté aspiration.
10.4.2
Remplacez la membrane de la pompe à membrane
La durée de vie courante des membranes et des vannes est de 15 000 heures de fonctionnement, à
vitesse nominale, dans des conditions de fonctionnement propres et avec le GSD 350 analysant uniquement des gaz inertes.
Conditions préalables
●
●
●
●
●
●
GSD 350 mis hors circuit
Câble d’alimentation débranché
Pompe turbomoléculaire à l’arrêt
Capots latéraux retirés
Couvercle de carter retiré
Pompe à membrane enlevée du GSD 350
Équipement nécessaire
● Lot de révision (référence PU E22 030 -T)
Procédure
1. Remplacez les membranes et les vannes au plus tard après 15 000 heures de fonctionnement.
2. Remplacez les membranes et les vannes en suivant les instructions du manuel de l’utilisateur de
la pompe à membrane.
78/116
Maintenance
10.5 Maintenance de l’unité d’analyse de gaz
10.5.1
Maintenance de l’analyseur QMA 250 M
AVIS
Défaillance liée à la contamination et à la détérioration
Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et
entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts
nuisent au fonctionnement.
► Lors de l’assemblage et de la maintenance sur les systèmes à vide élevé ou à ultra-vide, veiller à
toujours porter des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre.
► Utilisez uniquement des outils propres.
► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse.
► Enlevez les obturateurs de protection et les couvercles protecteurs des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire.
► Enlevez la protection pour le transport de l’analyseur seulement lorsque cela est nécessaire.
► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé.
Manuel de l’utilisateur du PrismaPro
Les informations relatives au démontage et au montage de l’unité électronique (QME) et de
l’analyseur (QMA) sont développées dans le manuel de l’utilisateur du PrismaPro.
Conditions préalables
●
●
●
●
●
GSD 350 mis hors circuit
Câble d’alimentation débranché
Pompe turbomoléculaire à l’arrêt
Capots latéraux retirés
Couvercle de carter retiré
Outil nécessaire
● 2 clés à fourche, WAF 10
Accessoires requis
● Équipement de montage pour analyseur QMA 250
4
3
2
1
Fig. 52:
Spectromètre de masse quadripôle PrismaPro
1 Analyseur QMA 250 M
2 Bride
3
4
Collier de serrage
Unité électronique QME 250
79/116
Maintenance
1
Fig. 53:
Gorge sur l’analyseur
1 Gorge sur l’analyseur
Détermination de la sensibilité de PrismaPro
Si vous constatez une perte de sensibilité de la mesure, la cause peut être une diminution du gain du
multiplicateur d’électrons intégré (EM) ou la contamination de la source d’ions. Dans ce cas, Pfeiffer Vacuum recommande de déterminer la sensibilité de PrismaPro avec le multiplicateur d’électrons à l’arrêt,
c.à.d. uniquement avec le détecteur Faraday.
1. Déterminez la sensibilité de PrismaPro avec le détecteur Faraday.
2. Laissez l’air circuler dans le système via l’entrée du capillaire.
3. Ajoutez les courants d’ions (pics maximums) des 8 à 10 pics les plus élevés.
4. Calculez le courant d’ions total par rapport à la pression totale.
– Cela vous donne une bonne approximation de la sensibilité en A/hPa. La valeur doit être
> 4 × 10-5 A/hPa.
5. Compensez l’usure du multiplicateur d’électrons en réglant une tension plus élevée de l’amplificateur.
Valeur
Résultat
Remède
< 4 × 10-5 A/hPa
Contamination de la source d’ions
Remplacez la source d’ions.
Filament chauffé en fin de vie
Remplacez le filament chauffé.
Usure du multiplicateur d’électrons
Augmentez la tension de l’amplificateur.
> 4 × 10-5 A/hPa
Tab. 13:
Sensibilité déterminée de PrismaPro
Remplacement des filaments chauffés
Si l’un des filaments chauffés est défectueux, la mesure peut continuer temporairement avec le deuxième filament chauffé.
► Recommandation : Remplacez les deux filaments chauffés dès que possible en cas de défaillance d’un filament chauffé.
► Vérifiez également l’état de la source d’ions.
– En cas de forte contamination de la source d’ions, Pfeiffer Vacuum recommande le remplacement de l’ensemble de la source d’ions.
Maintenance de l’analyseur
1. Débranchez tous les câbles de raccordement sur la platine frontale de l’unité électronique
QME 250.
2. Retirez le collier de serrage noir sur l’unité électronique et dégagez l’unité électronique de l’analyseur.
3. Retirez le raccord à bride entre l’analyseur et l’enceinte à vide.
4. Sortez avec précaution l’analyseur de l’enceinte à vide.
5. Insérez l’analyseur dans l’équipement de montage avec la bride pointant vers le bas.
6. Exécutez les opérations de maintenance requises sur l’analyseur, en suivant le manuel de l’utilisateur du PrismaPro :
● Remplacement des filaments chauffés ou
● Remplacement de la source d’ions
80/116
Maintenance
7. Remettez l’analyseur en place dans l’enceinte à vide, avec un nouveau joint cuivre plaqué argent.
– Prenez garde à ce que la gorge sur l’analyseur soit bien orientée (« position à 9h ») sur la
bride de passage.
8. Placez l’unité électronique sur l’analyseur.
– La gorge dans l’analyseur doit s’engager dans la patte sur l’unité électronique.
9. Serrez le collier de serrage noir sur l’unité électronique.
10. Branchez tous les câbles de raccordement sur la platine frontale de l’unité électronique QME 250.
10.5.2
Maintenance du manomètre de pression totale
Le manomètre de pression totale MPT 200 AR du GSD 350 est un tube de mesure combinée, composé
d’un capteur Pirani et d’une capteur à cathode froide. Selon l’utilisation du GSD 350, il arrive souvent
lorsque des mélanges gazeux à forte teneur en argon sont utilisés, que le manomètre de pression totale soit pollué et que le capteur à cathode froide ne s’allume plus. Dans un tel cas, l’unité n’affiche souvent que des pressions > 1 × 10-4 hPa alors que le système de pompage fonctionne normalement et
qu’il n’y a pas de fuites. Il devient alors impossible d’activer le filament chauffé PrismaPro. Ce problème
peut être résolu en remplaçant le manomètre ou l’insert de capteur de manomètre.
Conditions préalables
●
●
●
●
●
GSD 350 mis hors circuit
Câble d’alimentation débranché
Pompe turbomoléculaire à l’arrêt
Capots latéraux retirés
Couvercle de carter retiré
Outillage nécessaire
● 2 clés à fourche, WAF 10
Pièces détachées requises
● Joint cuivre, (DN 40 CF, plaqué argent) (référence 490DFL040-S-G-S5)
● Pour le remplacement de l’insert de capteur :
─ Capteur (référence PT 120 212 -T)
● Pour le remplacement du manomètre de pression totale :
─ Manomètre de pression totale (numéro de commande : PT R40 351)
2
3
1
Fig. 54:
4
Manomètre de pression totale sur l’unité d’analyse de gaz
1 Manomètre de pression totale
2 Raccord à bride
3
4
Joint cuivre
Raccord angulaire avec coussin d’isolation (non illustré)
Procédure
1. Retirez le matelas isolant autour du raccord angulaire et de la bride de manomètre.
2. Desserrez les câbles de raccordement sur le manomètre.
3. Ouvrez le raccord à bride entre le manomètre et le raccord angulaire et retirez le manomètre.
4. Remplacez l’insert de capteur sur le manomètre en suivant le manuel de l’utilisateur du manomètre, ou utilisez un nouveau manomètre.
5. Si vous utilisez un nouveau manomètre : Sur le sélecteur d’adresse du manomètre, définissez
l’adresse sur une valeur de « 1 ».
6. Installez la jauge sur le raccord angulaire à l’aide d’un nouveau joint cuivre plaqué argent.
7. Mettez le matelas isolant en place autour du raccord angulaire et la bride de manomètre.
8. Connectez les câbles de raccordement au manomètre.
81/116
Maintenance
10.6 Maintenance du système d’admission de gaz sur l’Omnistar
AVIS
Défaillance due à la contamination et à la détérioration
Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et
entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts
nuisent au fonctionnement.
► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux
sur les installations ultra-vide ou à vide élevé.
► Utilisez uniquement des outils propres.
► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse.
► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire.
► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé.
Réduisez d'abord la longueur ou remplacez le capillaire en acier inoxydable.
Pfeiffer Vacuum recommande d’abord de réduire la longueur ou de remplacer le capillaire
en acier inoxydable , et de ne remplacer l’orifice que si les opérations sur le capillaire en
acier inoxydable ne donnent pas les résultats escomptés.
Si vous ouvrez la vanne d’admission de gaz et que la pression dans le GSD 350 n’augmente pas du
tout ou augmente très légèrement (la pression reste < 1 × 10-6 hPa), on peut supposer que soit le capillaire en acier inoxydable, soit l’orifice sur l’admission de gaz, est partiellement ou intégralement bloqué.
La probabilité d’un capillaire en acier inoxydable bloqué est supérieure à celle d’un orifice bloqué.
4
5
6
3
2
1
Fig. 55:
Pièces du diffuseur de gaz interne sur l’Omnistar
1 Douille en céramique
2 Ressort de compression
3 Diffuseur de gaz
10.6.1
4
5
6
Orifice
Joint torique, intérieur
Joint torique, extérieur
Dépose la bride de l’admission de gaz
AVIS
Destruction de la pompe turbomoléculaire en raison d'un diffuseur de gaz interne incomplet
Si la douille en céramique, le ressort de pression ou l'un des deux joints toriques du diffuseur de gaz
intérieur sont absents, la mise en service du GSD 350 entraîne la destruction de la pompe turbomoléculaire.
► Veillez à ce que le diffuseur de gaz interne soit complet.
► Veillez à ce que le ressort de compression et la douille en céramique soient bien en place sur le
diffuseur de gaz.
► Retirez les pièces manquantes de l’enceinte à vide avant de redémarrer le GSD 350.
82/116
Maintenance
Conditions préalables
●
●
●
●
GSD 350 à l’arrêt
Câble d’alimentation débranché
Pompe turbomoléculaire à l’arrêt
Couvercle d’admission de gaz retiré
Outils nécessaires
● Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 2,5
● Clé plate, WAF 5/16"
● Clé plate, WAF 9/16"
5
6
1
2
Fig. 56:
3
4
Démontage du bloc de vannes
1 Bloc de vannes
2 Jauge de température
3 Rondelle d’arrêt
4
5
6
Vis de fixation
Disque de blocage (2×)
Vis hexagonale (2 x)
Procédure
1. Retirez le chapeau isolant sur le carter de l’admission de gaz.
2. Desserrez les câbles de raccordement sur les vannes.
3. Tirez doucement le capillaire en acier inoxydable dans le carter d’admission en verre pour le sortir
légèrement du tuyau flexible de capillaire.
– Si cela n’est pas possible : ouvrez le raccord à vis du capillaire sur le bloc de vanne à l’aide
d’une clé à fourche. Sortez le capillaire en acier inoxydable
4. Desserrez la vis de fixation sur le capteur de température.
5. Desserrez les vis à six pans creux intérieurs sur le bloc de vanne.
6. Dégagez le bloc de vannes avec précaution par l’avant.
7. Veillez à ce que le diffuseur de gaz interne soit complet.
8. Exécutez les opérations suivantes :
– Remplacement de l’orifice. (voir chapitre « Remplacement de l’orifice. », page 83)
– Remplacement du diffuseur de gaz intérieur et de l’orifice (voir chapitre « Remplacement du
diffuseur de gaz intérieur et de l’orifice », page 84)
– Remplacement de l’admission de gaz complète
10.6.2
Remplacement de l’orifice.
Conditions préalables
●
●
●
●
GSD 350 mis hors circuit
Câble d’alimentation débranché
Pompe turbomoléculaire à l’arrêt
Admission de gaz déposée
Outil nécessaire
● Outil spécial pour l’orifice du système d’admission de gaz
83/116
Maintenance
Pièce détachée requise
● Orifice, 50 μm (référence BK212576)
Procédure
1. Dévissez et retirez le diffuseur de gaz sur le bloc de vannes.
2. Tournez l’admission de gaz de sorte à dégager l’orifice.
3. Percez manuellement l’orifice avec un outil spécial et sortez l’orifice du bloc de vanne si l’orifice
reste coincé.
4. Placez le nouvel orifice sur le diffuseur de gaz.
5. Serrez le diffuseur de gaz à la main dans le bloc de vannes.
– N’utilisez pas une clé à fourche.
10.6.3
Remplacement du diffuseur de gaz intérieur et de l’orifice
Conditions préalables
●
●
●
●
GSD 350 mis hors circuit
Câble d’alimentation débranché
Pompe turbomoléculaire à l’arrêt
Admission de gaz déposée
Outil nécessaire
● Outil spécial pour l’orifice du système d’admission de gaz
Pièces détachées requises
● Lot de pièces de rechange (référence PT 167 014 -T)
Procédure
1. Dévissez et retirez le diffuseur de gaz sur le bloc de vannes.
2. Tournez l’admission de gaz de sorte à dégager l’orifice.
3. Percez manuellement l’orifice avec un outil spécial et sortez l’orifice du bloc de vanne si l’orifice
reste coincé.
4. Remplacez les joints toriques intérieurs et extérieurs sur le bloc de vannes.
5. Remplacez le diffuseur de gaz, l’anneau de compression et la douille en céramique.
6. Placez le nouvel orifice sur le diffuseur de gaz.
7. Serrez le diffuseur de gaz à la main dans le bloc de vannes.
– N’utilisez pas une clé à fourche.
10.6.4
Installation de la bride d’admission de gaz
AVIS
Destruction de la pompe turbomoléculaire en raison d'un diffuseur de gaz interne incomplet
Si la douille en céramique, le ressort de pression ou l'un des deux joints toriques du diffuseur de gaz
intérieur sont absents, la mise en service du GSD 350 entraîne la destruction de la pompe turbomoléculaire.
► Veillez à ce que le diffuseur de gaz interne soit complet.
► Veillez à ce que le ressort de compression et la douille en céramique soient bien en place sur le
diffuseur de gaz.
► Retirez les pièces manquantes de l’enceinte à vide avant de redémarrer le GSD 350.
Conditions préalables
●
●
●
●
GSD 350 à l’arrêt
Câble d’alimentation débranché
Pompe turbomoléculaire à l’arrêt
Couvercle d’admission de gaz retiré
Outils nécessaires
● Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 2,5
● Clé plate, WAF 5/16"
● Clé plate, WAF 9/16"
84/116
Maintenance
Procédure
1. Contrôlez l’assise du ressort de compression et de la douille en céramique.
2. Insérez prudemment le bloc de vannes dans la contre-bride sur l’enceinte à vide.
3. Serrez les deux vis à six pans creux intérieurs sur le bloc de vannes.
4. Enfoncez à nouveau le capillaire en acier inoxydable dans le tube capillaire.
– Si vous aviez retiré le capillaire en acier inoxydable, montez le capillaire en acier inoxydable
sur le bloc de vannes (voir chapitre « Remplacement du capillaire en acier inoxydable », page 89).
5. Serrez le capteur de température sur le bloc de vannes à l’aide de la vis de fixation.
6. Branchez les câbles de raccordement sur les vannes.
– Veillez à ce que ce tout corresponde bien.
7. Montez le chapeau isolant sur le carter de l’admission de gaz.
10.7 Maintenance du système d’admission de gaz sur le Thermostat
AVIS
Défaillance due à la contamination et à la détérioration
Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et
entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts
nuisent au fonctionnement.
► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux
sur les installations ultra-vide ou à vide élevé.
► Utilisez uniquement des outils propres.
► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse.
► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire.
► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé.
Réduisez d'abord la longueur ou remplacez le capillaire en quartz.
Pfeiffer Vacuum recommande d’abord de réduire la longueur ou de remplacer le capillaire
quart, et de ne remplacer l’orifice que si les opérations sur le capillaire quartz ne donnent
pas les résultats escomptés.
Si la pression dans le GSD 350 reste toujours à < 1 × 10-6 hPa malgré la présence d’une pression atmosphérique en entrée du capillaire en quartz, on peut supposer que soit le capillaire en quartz, soit
l’orifice sur l’admission de gaz, est partiellement ou intégralement bloqué. La probabilité d’un quartz capillaire bloqué est supérieure à celle d’un orifice bloqué.
4
5
6
3
2
1
Fig. 57:
Pièces du diffuseur de gaz interne
1 Douille en céramique
2 Ressort de compression
3 Diffuseur de gaz
4
5
6
Orifice
Joint torique, intérieur
Joint torique, extérieur
85/116
Maintenance
10.7.1
Dépose la bride de l’admission de gaz
AVIS
Destruction de la pompe turbomoléculaire en raison d'un diffuseur de gaz interne incomplet
Si la douille en céramique, le ressort de pression ou l'un des deux joints toriques du diffuseur de gaz
intérieur sont absents, la mise en service du GSD 350 entraîne la destruction de la pompe turbomoléculaire.
► Veillez à ce que le diffuseur de gaz interne soit complet.
► Veillez à ce que le ressort de compression et la douille en céramique soient bien en place sur le
diffuseur de gaz.
► Retirez les pièces manquantes de l’enceinte à vide avant de redémarrer le GSD 350.
Conditions préalables
●
●
●
●
GSD 350 mis hors circuit
Câble d’alimentation débranché
Pompe turbomoléculaire à l’arrêt
Couvercle d’admission de gaz retiré
Outillage nécessaire
●
●
●
●
Clé Allen, WAF 2,5
Clé plate, WAF 5,5
Clé plate, WAF 1/4 po
Clé plate, WAF 3/8 po
6
1
2
3
Fig. 58:
1
2
3
4
7
4
5
Dépose la bride de l’admission de gaz
Vis à tête conique
Bride d’aspiration de gaz
Rondelle d’arrêt
Capteur de température
5
6
7
Écrou de fixation
Disques de blocage (2×)
Vis à six pans creux intérieurs (2×)
Procédure
1. Retirez le chapeau isolant sur le carter de l’admission de gaz.
2. Tirez doucement le capillaire en quartz dans le carter d’admission en verre pour le sortir légèrement du tuyau flexible de capillaire.
– Si cela n’est pas possible : ouvrez le raccord à vis du capillaire sur la bride d’admission de
gaz. Tirez sur le capillaire au quartz pour le sortir.
3. Desserrez les deux vis à six pans creux intérieurs sur la bride d’admission de gaz.
4. Desserrez l’écrou de fixation sur le capteur de température.
5. Dégagez la bride d’aspiration de gaz avec précaution par l’avant.
6. Veillez à ce que le diffuseur de gaz interne soit complet.
7. Exécutez les opérations suivantes :
– Remplacement de l’orifice. (voir chapitre « Remplacement de l’orifice. », page 87)
– Remplacement du diffuseur de gaz intérieur et de l’orifice (voir chapitre « Remplacement du
diffuseur de gaz intérieur et de l’orifice », page 87)
– Remplacement de l’admission de gaz complète
86/116
Maintenance
10.7.2
Remplacement de l’orifice.
Conditions préalables
●
●
●
●
GSD 350 mis hors circuit
Câble d’alimentation débranché
Pompe turbomoléculaire à l’arrêt
Admission de gaz déposée
Outil nécessaire
● Outil spécial pour l’orifice du système d’admission de gaz
Pièce détachée requise
● Orifice, 50 μm (référence BK212576)
Procédure
1. Dévissez et retirez le diffuseur de gaz sur la bride d’aspiration de gaz.
2. Tournez l’admission de gaz de sorte à dégager l’orifice.
3. Percez manuellement l’orifice avec un outil spécial et sortez l’orifice du bloc de vanne si l’orifice
reste coincé.
4. Placez le nouvel orifice sur le diffuseur de gaz.
5. Serrez le diffuseur de gaz à la main dans la bride d’aspiration de gaz.
– N’utilisez pas une clé à fourche.
10.7.3
Remplacement du diffuseur de gaz intérieur et de l’orifice
Conditions préalables
●
●
●
●
GSD 350 mis hors circuit
Câble d’alimentation débranché
Pompe turbomoléculaire à l’arrêt
Admission de gaz déposée
Outil nécessaire
● Outil spécial pour l’orifice du système d’admission de gaz
Pièces détachées requises
● Lot de pièces de rechange (référence PT 167 014 -T)
Procédure
1. Dévissez et retirez le diffuseur de gaz sur la bride d’aspiration de gaz.
2. Tournez l’admission de gaz de sorte à dégager l’orifice.
3. Percez manuellement l’orifice avec un outil spécial et sortez l’orifice du bloc de vanne si l’orifice
reste coincé.
4. Remplacez les joints toriques intérieur et extérieur, sur la bride d’aspiration de gaz.
5. Remplacez le diffuseur de gaz, l’anneau de compression et la douille en céramique.
6. Placez le nouvel orifice sur le diffuseur de gaz.
7. Serrez le diffuseur de gaz à la main dans la bride d’aspiration de gaz.
– N’utilisez pas une clé à fourche.
10.7.4
Installation de la bride d’admission de gaz
AVIS
Destruction de la pompe turbomoléculaire en raison d'un diffuseur de gaz interne incomplet
Si la douille en céramique, le ressort de pression ou l'un des deux joints toriques du diffuseur de gaz
intérieur sont absents, la mise en service du GSD 350 entraîne la destruction de la pompe turbomoléculaire.
► Veillez à ce que le diffuseur de gaz interne soit complet.
► Veillez à ce que le ressort de compression et la douille en céramique soient bien en place sur le
diffuseur de gaz.
► Retirez les pièces manquantes de l’enceinte à vide avant de redémarrer le GSD 350.
87/116
Maintenance
Conditions préalables
●
●
●
●
GSD 350 à l’arrêt
Câble d’alimentation débranché
Pompe turbomoléculaire à l’arrêt
Couvercle d’admission de gaz retiré
Outils nécessaires
●
●
●
●
Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 2,5
Clé plate, WAF 5,5
Clé plate, WAF 1/4"
Clé plate, WAF 3/8"
Procédure
1. Contrôlez l’assise du ressort de compression et de la douille en céramique.
2. Serrez le capteur de température sur la bride d’admission de gaz à l’aide de la vis de fixation.
3. Insérez prudemment la bride d’admission de gaz dans la contre-bride sur l’enceinte à vide.
4. Serrez les deux vis à six pans creux intérieurs sur la bride d’admission de gaz.
5. Enfoncez à nouveau le capillaire en quartz dans le tube capillaire.
– Si vous aviez retiré le capillaire en quartz, montez le capillaire en quartz sur la bride d’admission de gaz (voir chapitre « Remplacement du capillaire en quartz », page 91).
6. Montez le chapeau isolant sur le carter de l’admission de gaz.
10.8 Entretien du capillaire
Réduction de la longueur ou remplacement du capillaire
Pfeiffer Vacuum recommande d’abord de réduire la longueur ou de remplacer le capillaire,
et de ne remplacer l’orifice que si les opérations sur le capillaire ne donnent pas les résultats escomptés.
Lorsque la pression totale escomptée n’est pas atteinte dans le GSD 350 et que la pression total reste
à < 1 × 10-6 hPa avec l’admission de gaz ouverte (OmniStar), on peut supposer que soit le capillaire,
soit l’orifice sur l’admission de gaz, est partiellement ou intégralement bloqué. La probabilité d’un capillaire bloqué est supérieure à celle d’un orifice bloqué.
10.8.1
Réduisez la longueur du capillaire en acier inoxydable
Lorsque le capillaire en acier inoxydable est bloqué, le blocage se produit fréquemment dans la zone
frontale du côté atmosphère sur le capillaire en acier inoxydable. Une réduction du capillaire en acier
inoxydable permet de dégager le blocage.
Conditions préalables
●
●
●
●
●
GSD 350 mis hors circuit
Câble d’alimentation débranché
Pompe turbomoléculaire à l’arrêt
Capillaire en acier inoxydable déconnecté du point de mesure
Longueur du capillaire en acier inoxydable encore suffisante après réduction
Outillage nécessaire
● Tube ou cutter de capillaire (1/16 po) lime coupante
88/116
Maintenance
2
3
1
Fig. 59:
Longueur du capillaire en acier inoxydable avec raccord à vis à collier de serrage
1 Capillaire en acier inoxydable
2 Raccord à vis à collier de serrage
≈1
Fig. 60:
0m
3
Joint capillaire (virole)
m
Entaillage et cassage du capillaire en acier inoxydable
Sectionnement du capillaire en acier inoxydable avec le tube ou les cutters de capillaire
1. Tirez le capillaire en acier inoxydable suffisamment pour le sortir du tube de capillaire.
2. Coupez le capillaire en acier inoxydable avec le tube ou les cutters de capillaire.
Sectionnement du capillaire en acier inoxydable avec une lime
1. Tirez le capillaire en acier inoxydable suffisamment pour le sortir du tube de capillaire.
2. Entaillez avec précaution le capillaire en acier inoxydable en deux endroits opposés.
– Entailles = profondeur max. 0,5 mm
3. Pliez avec précaution le capillaire en acier inoxydable jusqu’à ce qu’il se rompe au niveau des entailles.
Mise en service de l'unité
1. Démarrez le système de pompage.
2. Patientez jusqu’à l’accélération de la pompe turbomoléculaire (env. 10 minutes).
Contrôle de la pression dans l’enceinte à vide
1. Contrôlez la pression dans l’enceinte à vide.
– La pression affichée doit être de ≥ 1 × 10-6 hPa avec la vanne d’admission de gaz ouverte.
2. Si la pression affichée est < 1 × 10-6 hPa, les causes suivantes sont possibles :
– Capillaire en acier inoxydable bouché sur toute sa longueur (voir chapitre « Remplacement
du capillaire en acier inoxydable », page 89)
– Orifice bouché (voir chapitre « Remplacement de l’orifice. », page 83) ou (voir chapitre « Remplacement du diffuseur de gaz intérieur et de l’orifice », page 84)
10.8.2
Remplacement du capillaire en acier inoxydable
Conditions préalables
●
●
●
●
●
GSD 350 mis hors circuit
Câble d’alimentation débranché
Pompe turbomoléculaire à l’arrêt
Capillaire en acier inoxydable déconnecté du point de mesure
Couvercle d’admission de gaz retiré
89/116
Maintenance
Outillage nécessaire
● Clé plate, WAF 9/16 po
● Clé plate, WAF 5/16 po
● Tube ou cutter de capillaire (1/16 po) lime coupante
Pièces détachées requises
● Capillaire en acier inoxydable (référence PT 167 060 -T)
● Joints capillaires (référence PT 167 017 -T)
5
1
Fig. 61:
2
3
4
Raccord à collier de serrage pour capillaire en acier inoxydable
1 Adaptateur
2 Écrou
3 Collier de serrage avant
4
5
Collier de serrage arrière
Capillaire en acier inoxydable
Procédure
1. Sectionnez la longueur du capillaire en acier inoxydable (voir chapitre « Réduisez la longueur du
capillaire en acier inoxydable », page 88).
– Longueur du capillaire = longueur du tube capillaire + 15 cm + longueur requise au
point de mesure
2. Retirez le chapeau isolant sur le carter de l’admission de gaz.
3. Ouvrez le raccord à chapeau de serrage de refroidissement.
4. Retirez l’ancien capillaire en acier inoxydable.
5. Enfilez le raccords à chapeau de serrage et un nouveau joint capillaire sur le nouveau capillaire
en acier inoxydable sectionné.
6. Enfilez le capillaire en acier inoxydable, avec le joint capillaire et le raccord à chapeau de serrage,
dans le raccord fileté sur le bloc de vannes.
7. Vissez légèrement le raccord à chapeau de serrage, de sorte que les capillaires en acier inoxydable puissent continuer de bouger.
8. Poussez le capillaire en acier inoxydable jusqu’en butée.
9. Ramenez le capillaire en acier inoxydable d’1 ou 2 mm en arrière.
10. Serrez le raccords à chapeau de serrage avec les clés à fourche.
11. Enfilez avec précaution l’extrémité libre du capillaire en acier inoxydable dans le tube capillaire.
90/116
Maintenance
10.8.3
Sectionnement du capillaire en quartz
ATTENTION
Risque de blessure par éclatement du capillaire en quartz
Les capillaires au quartz éclatent en cas d’utilisation non conforme. Risque de grave blessure aux
yeux lié à la projection d'éclats.
► N’exercez pas de force en entaillant le capillaire en quartz.
► Portez des lunettes de protection.
Lorsque le capillaire en quartz est bloqué, le blocage se produit fréquemment dans la zone frontale du
côté atmosphère sur le capillaire en quartz. Une réduction du capillaire en quartz permet de dégager le
blocage.
Conditions préalables
●
●
●
●
●
GSD 350 à l’arrêt
Câble d’alimentation débranché
Pompe turbomoléculaire à l’arrêt
Capillaire en quartz déconnecté du point de mesure
Longueur du capillaire en quartz encore suffisante après réduction
Outils nécessaires
● Outil de coupe du capillaire
≈1
Fig. 62:
0m
m
Entaillage et cassage du capillaire de quartz
Sectionnement du capillaire en quartz
1. Tirez le capillaire en quartz suffisamment pour le sortir du tube de capillaire.
2. Entaillez avec précaution le capillaire en quartz, sans forcer.
3. Rompez avec précaution le capillaire en quartz à l’endroit entaillé précédemment.
Mise en service de l'unité
1. Démarrez le système de pompage.
2. Patientez jusqu’à l’accélération de la pompe turbomoléculaire (env. 10 minutes).
Contrôle de la pression dans l’enceinte à vide
1. Contrôlez la pression dans l’enceinte à vide.
– La pression affichée doit être de ≥ 1 × 10-6 hPa.
2. Si la pression affichée est < 1 × 10-6 hPa, les causes suivantes sont possibles :
– Capillaire en quartz bouché sur toute sa longueur
– Orifice bouché
10.8.4
Remplacement du capillaire en quartz
Conditions préalables
●
●
●
●
●
GSD 350 mis hors circuit
Câble d’alimentation débranché
Pompe turbomoléculaire à l’arrêt
Capillaire en quartz déconnecté du point de mesure
Couvercle d’admission de gaz retiré
91/116
Maintenance
Outillage nécessaire
● Clé plate, WAF 1/4 po
● Clé plate, WAF 3/8 po
● Outil de coupe du capillaire
Pièces détachées requises
● Capillaire en quartz (référence B1975082EC)
● Joints capillaires (référence PT 167 015 -T)
Ne desserrez pas le raccord à vis arrière
Vous ne devez pas ouvrir le raccord à vis arrière sur la bride d’aspiration de gaz. Pour remplacer le capillaire, ouvrez seulement le raccord à vis avant.
1
Fig. 63:
2
3
4
5
Raccord à vis avant du capillaire en quartz
1 Raccord à vis arrière
2 Raccord à vis avant
3 Joint (virole)
4
5
Vis de pression
Capillaire en quartz
Procédure
1. Sectionnez la longueur du capillaire en quartz (voir chapitre « Sectionnement du capillaire en
quartz », page 91).
– Longueur du capillaire = longueur du tube capillaire + 30 cm + longueur requise au
point de mesure
2. Retirez le chapeau isolant sur le carter de l’admission de gaz.
3. Desserrez le raccord à vis avant.
4. Retirez l’ancien capillaire en quartz.
5. Enfilez le raccord à vis avant et un nouveau joint capillaire sur le nouveau capillaire en quartz sectionné.
– Distance entre l’extrémité du capillaire et la virole = env. 25 mm
6. Enfilez le capillaire en quartz, avec le joint capillaire et le raccord à vis avant, dans le raccord à vis
arrière, sur la bride d'aspiration de gaz.
7. Vissez légèrement le raccord à vis avant, de sorte que les capillaires en quartz puissent continuer
de bouger.
8. Poussez le capillaire en quartz jusqu’en butée.
9. Ramenez le capillaire en quartz d’1 ou 2 mm en arrière.
10. Serrez le raccord à vis avant avec les clés à fourche.
11. Enfilez avec précaution l’extrémité libre du capillaire en quartz dans le tube capillaire.
92/116
Maintenance
10.9 Maintenance des unités de chauffage
AVERTISSEMENT
Risque de brûlure sur les surfaces chaudes
Pendant le fonctionnement, les températures montent très haut (> 50 °C) sur les surfaces de contact
des composants de chauffage et sur l’admission de gaz. Il existe un risque de brûlure.
► Prenez les mesures requises pour prévenir tout contact avec les pièces chaudes.
► Apposez des signaux d’avertissement.
► Veillez à ce que le produit se soit refroidi avant d’intervenir dessus.
► Portez des gants de protection (conformément à EN 420).
10.9.1
Remplacez le tube capillaire
Pfeiffer Vacuum Service prend en charge le remplacement.
► Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
10.9.2
Maintenance du chauffage de l’admission de gaz
Si le GSD 350 a un défaut dans le chauffage de l’admission de gaz, remplacez le chauffage et/ou le
capteur de température.
Pfeiffer Vacuum Service prend en charge le remplacement.
► Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
10.9.3
Entretien du chauffage de l’enceinte à vide
Lorsque la température dans l’enceinte à vide n’atteint pas la température définie lors de l’étuvage, même après un laps de temps prolongé, ou si le GSD 350 notifie une défaillance du chauffage de l’enceinte à vide, remplacez le chauffage et/ou le capteur de température concerné.
Pfeiffer Vacuum Service prend en charge le remplacement.
► Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
10.10 Entretien des composants électroniques
Tous les composants électroniques sur le GSD 350 sont sans entretien. Vous devez remplacer tous les
composants électroniques défectueux.
10.10.1
Remplacement de l’affichage
Conditions préalables
● GSD 350 mis hors circuit
● Câble d’alimentation débranché
● Pompe turbomoléculaire à l’arrêt
Outil nécessaire
● Tournevis cruciforme
Pièce détachée requise
● Écran tactile 7 po (référence PT 167 025)
Afficher la tension d’alimentation
L'injecteur PoE du GSD 350 alimente l'écran en tension via le câble de raccordement. Ne
connectez pas d’autres composants Ethernet à ce câble de raccordement.
93/116
Maintenance
1
2
3
Fig. 64:
Remplacement de l’affichage
1 Affichage
2 Élément de fixation du câble
3
Vis à tête conique (2×)
Procédure
1. Retirez avec précaution l’affichage du GSD 350.
2. A l’arrière de l’affichage, desserrez les vis à tête conique sur les éléments de fixation.
3. Déconnectez le câble de raccordement sur l’affichage.
4. Branchez le câble de raccordement au nouvel affichage.
5. A l’arrière de l’affichage, serrez les vis à tête conique sur les éléments de fixation.
6. Placez l’affichage dans le GSD 350.
Pendant la phase d’accélération, le GSD 350 synchronise automatiquement l’affichage avec la configuration du GSD 350.
10.10.2
Remplacement de l'injecteur PoE
Pfeiffer Vacuum Service prend en charge le remplacement.
► Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
10.10.3
Remplacement de la platine principale
Pfeiffer Vacuum Service prend en charge le remplacement.
► Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
10.10.4
Remplacement de l'unité de courant
Pfeiffer Vacuum Service prend en charge le remplacement.
► Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
10.10.5
Remplacement de l’unité électronique QME 250
Pfeiffer Vacuum Service prend en charge le remplacement.
► Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
10.10.6 Remplacement de l’unité de commande électronique TC 110 sur la pompe turbomoléculaire
Pfeiffer Vacuum Service prend en charge le remplacement.
► Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
10.11 Maintenance de l’unité de calibration
10.11.1
Ravitaillement en fluide de calibration
Conditions préalables
● GSD 350 mis hors circuit
● Câble d’alimentation débranché
94/116
Maintenance
● Pompe turbomoléculaire à l’arrêt
● Capots latéraux retirés
● Couvercle de carter retiré
Outillage nécessaire
● Clé Allen, WAF 2,5
● Clé plate, WAF 17
Consommables nécessaires
● Fluide de calibration (PFTBA) (référence PT 167 031)
1
2
3
4
5
6
Fig. 65:
Unité de calibrage
1 Vanne d’isolement EVI 005 M
2 Joint
3 Orifice
4
5
6
Joint
Récipient collecteur en verre
Raccord à vis
Procédure
1. Dévissez manuellement le raccord à vis au-dessus du récipient collecteur en verre.
2. Tirez le récipient collecteur en verre vers le bas pour le dégager de la vanne d’isolement.
– Attention au disque et à l’orifice.
3. Remplissez le récipient collecteur en verre avec le fluide de calibration.
4. Montez le récipient collecteur sur la vanne d’isolement.
– Attention au disque et à l’orifice.
5. Serrez manuellement le raccord à vis au-dessus du récipient collecteur en verre.
10.11.2
Remplacement de la vanne de calibration
Pfeiffer Vacuum Service prend en charge le remplacement.
► Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
10.12 Opérations de maintenance additionnelles pour la version pour gaz
corrosif
10.12.1
Remplacez la vanne de purge de gaz neutre
Conditions préalables
●
●
●
●
●
GSD 350 mis hors circuit
Câble d’alimentation débranché
Pompe turbomoléculaire à l’arrêt
Capots latéraux retirés
Couvercle de carter retiré
Outillage nécessaire
● Clé Allen, WAF 2,5
● Clé Allen, WAF 3
95/116
Maintenance
● Clé plate, WAF 15
● Clé plate, WAF 17
Pièce détachée requise
● Vanne de la purge de gaz (référence PM Z01 310 A)
1
2
3
4
5
6
Fig. 66:
Vanne de la purge de gaz sur la pompe turbomoléculaire
1 Raccordement électrique
2 Vis d’arrêt
3 Connecteur d’alimentation électrique
4
5
6
Raccord rapide coudé
Vanne du gaz de pressurisation
Arrivée de purge de gaz neutre
Enlever la pompe turbomoléculaire (optionnel)
En raison de l’espace exigu dans le GSD 350, il peut s’avérer utile de retirer d’abord la
pompe turbomoléculaire avant de commencer à retirer ou à installer la vanne.
1. Enlevez l’unité électronique sur le PrismaPro
2. Enlevez la bride de l’admission de gaz
3. Remettez les composants en place après avoir remplacé la vanne.
Remplacez la vanne de purge de gaz neutre
1. Desserrez la vis d’arrêt sur le connecteur d’alimentation électrique.
2. Déconnectez le connecteur de l’alimentation électrique sur la vanne de la purge de gaz.
3. Déconnectez l’alimentation en purge de gaz neutre sur la vanne de la purge de gaz.
4. Dévissez et retirez la vanne de la purge de gaz sur la pompe turbomoléculaire.
5. Dévissez et retirez le raccord rapide coudé sur la vanne de la purge de gaz usagée.
6. Montez le raccord rapide coudé sur la nouvelle vanne de la purge de gaz.
7. Connectez la nouvelle vanne de la purge de gaz en suivant le manuel de l'utilisateur de la pompe
turbomoléculaire.
8. Branchez le connecteur de l’alimentation électrique dans la vanne de la purge de gaz.
9. Serrez la vis d’arrêt sur le connecteur d’alimentation électrique.
10. Connectez l’alimentation en purge de gaz neutre sur la vanne de la purge de gaz.
10.12.2
Remplacement du régulateur de pression manuel
Réglage par défaut du régulateur de pression
Ne modifiez pas ce réglage par défaut. Pfeiffer Vacuum a réglé par défaut le régulateur de
pression.
Pfeiffer Vacuum Service prend en charge le remplacement.
► Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
96/116
Maintenance
10.12.3
Remplacement du régulateur de pression numérique
Réglage par défaut du régulateur de pression
Ne modifiez pas ce réglage par défaut. Pfeiffer Vacuum a réglé par défaut le régulateur de
pression.
Pfeiffer Vacuum Service prend en charge le remplacement.
► Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
97/116
Dépannage
11
Dépannage
Notes sur la gestion des dysfonctionnement dans les menus d’aide
Pour de plus amples informations sur les messages d'anomalie et le dépannage lors de
l’utilisation de l’appareil via l’interface web ou lors de l’utilisation du logiciel PV MassSpec,
se référer aux menus d’aide correspondants.
Problème
Cause possible
Remède
L’écran reste noir après sa mise en route.
Absence d’alimentation sur le module
Vérifiez l’alimentation et le câble de secteur
Fusibles secteur
(2×10 AT) défaillants
Remplacez les fusibles secteur.
Câble de l’écran mal
branché
Vérifiez le branchement du
connecteur mâle-femelle sur
l’écran.
Le temps d’accélération n’est pas écoulé
Patientez jusqu’à la fin du
temps d’accélération < 60 secondes.
Une fois l’écran mis en marche, le « tableau de bord » de démarrage de l’écran
n’apparaît pas.
L’unité a été mise
hors circuit, puis remise en circuit trop
rapidement
1. Mettez l’unité hors circuit.
2. Patientez 15 secondes.
3. Remettez l’unité en circuit.
Connexion du câble
desserrée
Vérifiez le connecteur mâle-femelle sur la pompe à membrane et sur la platine principale.
Pompe à membrane
défaillante
Effectuez l’entretien de la pompe à membrane ou remplacez
la pompe à membrane.
Pression de la purge
de gaz neutre insuffisante (pour la version pour gaz corrosif)
Contrôlez l’alimentation de la
purge de gaz neutre.
Après l’instruction de réglage « Pomper »,
la pompe à membrane ne parvient pas à
atteindre la vitesse de rotation nominale
(l’icône reste en vert foncé).
Pompe à membrane
défaillante
Effectuez l’entretien de la pompe à membrane ou remplacez
la pompe à membrane.
Après l’instruction de réglage « Refouler »,
la pompe turbomoléculaire ne parvient pas
à démarrer (l’icône reste en gris clair).
Activation du vide
à 10 hPa pas encore
atteinte
Patientez jusqu’à la fin du pompage pour le vide primaire (cible < 60 s).
Humidité excessive
dans le système de
vide
Étuvage de l’enceinte à vide.
Après l’instruction de réglage « Refouler »,
la pompe à membrane ne parvient pas à
démarrer (l’icône reste en gris clair).
98/116
Condensats dans la
pompe à membrane
1. Démontez et nettoyez la
pompe à membrane.
2. Séchez les pompe à membrane.
Pompe à membrane
défaillante
Effectuez l’entretien de la pompe à membrane ou remplacez
la pompe à membrane.
Connexion du câble
desserrée
Vérifiez le connecteur mâle-femelle sur l’unité de commande
électronique et sur la platine
principale.
Pompe turbomoléculaire défaillante
Remplacez la pompe turbomoléculaire.
Dépannage
Problème
Cause possible
Remède
Après l’instruction de réglage « Refouler »,
la pompe turbomoléculaire ne parvient pas
à atteindre la vitesse de rotation nominale
(l’icône reste en vert foncé).
Le temps d’accélération de la pompe turbomoléculaire n’est
pas écoulé
Patientez jusqu’à la fin du
temps d’accélération < 8 minutes.
Pression d’entrée
trop élevée (seulement pour Thermostat)
Réduisez la pression du côté
entrée du capillaire à
< 1200 hPa.
Non étanchéité
Contrôlez le joint capillaire
dans la zone d’admission de
gaz.
pression de vide préliminaire trop haute
Contrôlez l’étanchéité du raccord à vide de la pompe à
membrane/pompe turbomoléculaire.
La pompe à membrane s’arrête.
La pompe turbomoléculaire se met hors
circuit.
Les deux pompes à vide sont mises hors
circuit et le système est automatiquement
coupé.
Température excessive
1. Vérifiez les ventilateurs.
2. Effectuez la maintenance
de la pompe à membrane.
Connexion du câble
desserrée
Vérifiez le connecteur mâle-femelle sur la pompe à membrane et sur la platine principale.
Pompe à membrane
défaillante
Effectuez l’entretien de la pompe à membrane ou remplacez
la pompe à membrane.
Température excessive
1. Vérifiez les ventilateurs.
2. Effectuez la maintenance
de la pompe turbomoléculaire.
Pression d’entrée
trop élevée
Réduisez la pression du côté
entrée du capillaire à
< 1200 hPa.
Non étanchéité
Contrôlez le joint capillaire
dans la zone d’admission de
gaz.
pression de vide préliminaire trop haute
Contrôlez l’étanchéité du raccord à vide de la pompe à
membrane/pompe turbomoléculaire.
Condensats dans la
pompe à membrane
1. Démontez et nettoyez la
pompe à membrane.
2. Séchez les pompe à membrane.
Pompe à membrane
défaillante
Effectuez l’entretien de la pompe à membrane ou remplacez
la pompe à membrane.
Température excessive
1. Vérifiez les ventilateurs.
2. Nettoyez les grilles de protection sur les ventilateurs.
3. Maintenez la température
ambiante admissible.
Pression de la purge
de gaz neutre insuffisante (pour la version pour gaz corrosif)
Contrôlez l’alimentation de la
purge de gaz neutre.
99/116
Dépannage
Problème
Cause possible
Remède
La pression dans les enceintes à vide avec
la fermeture de la vanne d’admission de
gaz est > 1 × 10-7 hPa (seulement pour
OmniStar).
Le système n’est pas
en route depuis longtemps
Poursuivez le pompage.
Humidité excessive
dans le système de
vide
Étuvage de l’enceinte à vide.
Vanne d’entrée non
étanche
Remplacez le bloc de vannes.
pression de vide préliminaire trop haute
Contrôlez l’étanchéité du raccord à vide de la pompe à
membrane/pompe turbomoléculaire.
La pression dans l’enceinte à vide est excessive (> 3 × 10-5 hPa) (sur ThermoStar
et/ou OmniStar avec vanne d’admission de
gaz ouverte).
Pression excessive dans l’enceinte à vide
(> 1 × 10-3 hPa).
La pression dans l’enceinte à vide est insuffisante (< 1 × 10-6 hPa) (sur ThermoStar
et/ou OmniStar avec vanne d’admission de
gaz ouverte).
100/116
Condensats dans la
pompe à membrane
1. Démontez et nettoyez la
pompe à membrane.
2. Séchez les pompe à membrane.
Pompe à membrane
défaillante
Effectuez l’entretien de la pompe à membrane ou remplacez
la pompe à membrane.
Pression d’entrée
trop élevée
Réduisez la pression du côté
entrée du capillaire à
< 1200 hPa.
Non étanchéité
Contrôlez le joint capillaire
dans la zone d’admission de
gaz.
Humidité excessive
dans le système de
vide
Étuvage de l’enceinte à vide.
pression de vide préliminaire trop haute
Contrôlez l’étanchéité du raccord à vide de la pompe à
membrane/pompe turbomoléculaire.
Condensats dans la
pompe à membrane
1. Démontez et nettoyez la
pompe à membrane.
2. Séchez les pompe à membrane.
Pompe à membrane
défaillante
Effectuez l’entretien de la pompe à membrane ou remplacez
la pompe à membrane.
Vanne de pompe encrassée (seulement
sur Omnistar)
Remplacez le bloc de vannes.
Vanne de pompe défaillante (seulement
sur Omnistar)
Remplacez le bloc de vannes.
Manomètre de pression totale encrassé
Nettoyez le manomètre le pression totale.
Manomètre pour
pression totale défaillant
Remplacez le manomètre pour
pression totale.
Pression d’entrée insuffisante
Augmentez la pression du côté
entrée du capillaire.
Capillaire bloqué
Sectionnez le capillaire ou remplacez-le.
Orifice bouché
Remplacez l’orifice.
Dépannage
Problème
Cause possible
Remède
Difficulté d’ouverture de la vanne d’admission de gaz (seulement sur Omnistar)
Temporisation pour
le passage de la
vanne pas encore
écoulée
Patientez jusqu’à la fin de la
temporisation < 7 secondes.
La vanne d’admission de gaz ne répond pas à la commande.
Vérifiez le connecteur mâle-femelle sur la vanne d’admission
de gaz et sur la platine principale.
Vanne d’entrée de
gaz encrassée
Remplacez le bloc de vannes.
Vanne d’entrée de
gaz défaillante
Remplacez le bloc de vannes.
Sensibilité de PrismaPro insuffisante
Voir le manuel de l’utilisateur
de PrismaPro.
Stock de fluide de
calibration insuffisant
Faites l’appoint en fluide de calibration.
La vanne d’isolement
sur l’unité de calibration ne répond pas à
la commande.
Vérifiez le connecteur mâle-femelle sur la vanne d’isolement
et sur la platine principale.
Vanne d’isolement
sur l’unité de calibration polluée
Remplacez la vanne d’isolement sur l’unité de calibration.
La vanne d’isolement
sur l’unité de calibration est défaillante
Remplacez la vanne d’isolement sur l’unité de calibration.
Erreur durant la mesure
Anomalie sur le PrismaPro
Voir le manuel de l’utilisateur
de PrismaPro.
Sensibilité de mesure insuffisante
Réglages de PrismaPro erronés
Voir le manuel de l’utilisateur
de PrismaPro.
Forme de pic médiocre
Réglages de PrismaPro erronés
Voir le manuel de l’utilisateur
de PrismaPro.
Niveau de bruit élevé
Réglages de PrismaPro erronés
Voir le manuel de l’utilisateur
de PrismaPro.
Après l’instruction de réglage « Ventiler »,
les pompes à vide continuent de fonctionner et le système n’est pas ventilé.
Temporisation pour
la ventilation pas encore écoulée
Patientez jusqu’à la fin de la
temporisation < 15 minutes.
(Temps affiché en haut à droite
de l’écran.)
A l’issue de l’instruction de réglage « Ventilation », la vanne de ventilation ne parvient pas à s’ouvrir.
Temporisation pour
la ventilation pas encore écoulée
Patientez jusqu’à la fin de la
temporisation < 15 minutes.
(Temps affiché en haut à droite
de l’écran.)
La vanne de ventilation ne répond pas à
la commande.
Vérifiez le connecteur mâle-femelle sur la vanne de ventilation et sur la platine principale.
Vanne de ventilation
encrassée.
Remplacez la vanne de ventilation.
Vanne de ventilation
défaillante
Remplacez la vanne de ventilation.
Pas de pic de masse visible dans la plage
> 200 u lors du calibration de l’échelle de
masse (sur la version avec unité de calibration)
Tab. 14:
Dépannage
101/116
Expédition
12
Expédition
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement par produits contaminés
L’expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la santé et l’ sécurité du personnel de maintenance.
► Conforme aux instructions pour une distribution en toute sécurité.
Décontamination payante
Pfeiffer Vacuum décontamine les produits qui ne sont pas clairement déclarés comme
« Sans contaminants », à votre charge.
Consignes pour une expédition sécurisée
► L’expédition de produits microbiologiques, explosibles ou ayant subi une contamination radioactive est interdite.
► Respecter les consignes d'expédition des pays et des sociétés de transport impliqués.
► Les risques potentiels doivent être mis en évidence sur la face extérieure de l'emballage.
► Téléchargez les explications sur la contamination en vous connectant à Pfeiffer Vacuum Service.
► Toujours joindre une déclaration de contamination dûment remplie.
102/116
Recyclage et mise au rebut
13
Recyclage et mise au rebut
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
Protection de l’environnement
Vous devez mettre au rebut le produit et ses composants conformément aux directives applicables pour la protection des personnes, de l’environnement et de la nature.
● Contribuez à la réduction du gaspillage des ressources naturelles.
● Évitez toute contamination.
Protection de l'environnement
La mise au rebut du produit ou de ses composants doit être réalisée conformément aux
réglementations en vigueur pour ce qui concerne la protection de l’environnement et
la santé des personnes, ceci afin de réduire le gaspillage des ressources naturelles et
prévenir de la pollution.
13.1 Informations générales sur la mise au rebut
Les produits Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables.
► Mettez au rebut nos produits en séparant :
– Fer
– Aluminium
– Cuivre
– Matière synthétique
– Composants électroniques
– Huiles et graisses, sans solvant
► Observez les mesures de sécurité spéciales pour la mise au rebut de :
– Fluoroélastomères (FKM)
– Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé
13.2
Élimination du système d’analyse du gaz
Les systèmes d’analyse du gaz Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables.
1. Démontez les éléments du boîtier.
2. Démontez tous les composants individuels.
3. Démontez les composants électroniques.
4. Décontaminez les composants qui entrent en contact avec les gaz de procédé.
5. Séparez les composants en matériaux recyclables.
6. Recyclez les composants non contaminés.
7. Mettez au rebut le produit ou les composants de façon sûre en conformité avec toutes les directives applicables.
103/116
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
14
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
Nous offrons un service de première classe
Une longue durée de vie des composants du vide, associée à des temps d’arrêt réduits, sont ce que
vous attendez clairement de nous. Nous répondons à vos besoins par des produits efficaces et un service d’exception.
Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux
composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit
Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien
évidemment.
Nos ingénieurs commerciaux et techniciens de service professionnels sont à votre disposition pour
vous assurer un soutien pratique dans le monde entier. Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de
services, allant des pièces de rechange d’origine aux accords de service.
Profitez du service Pfeiffer Vacuum
Qu'il s’agisse du service préventif sur place de notre service sur site, du remplacement rapide par des
produits de rechange comme neufs ou de la réparation dans un centre de service proche de chez
vous ; vous disposez d'une variété d’options pour maintenir la disponibilité de votre équipement. Vous
trouverez des informations détaillées ainsi que les adresses sur notre site web dans la section Pfeiffer Vacuum Service.
Des conseils sur la solution optimale sont disponibles auprès de votre interlocuteur Pfeiffer Vacuum.
Pour un déroulement rapide et efficace de la procédure de service, nous recommandons de suivre les étapes suivantes :
1. Télécharger les modèles de formulaire actuels.
─ Déclaration de demande de service
─ Demande de service
─ Déclaration de contamination
a) Démonter tous les accessoires et les conserver (toutes les pièces externes
montées telles que la vanne, le filtre d’arrivée, etc.).
b) Vidanger le fluide d'exploitation / lubrifiant si nécessaire.
c) Vidanger le fluide de refroidissement si nécessaire.
2. Remplir la demande de service et la déclaration de contamination.
ANFORDERUNG SERVICE
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
3. Envoyer les formulaires par e-mail, fax ou par courrier à votre centre de service local.
4. Vous recevrez une réponse de Pfeiffer Vacuum.
Envoi de produits contaminés
Aucune unité ne sera acceptée si elle est contaminée par des substances micro-biologiques, explosives
ou radioactives. Si les produits sont contaminés ou si la déclaration de contamination est manquante,
Pfeiffer Vacuum contactera le client avant de démarrer la maintenance. Par ailleurs, selon le produit et
le niveau de contamination, des frais de décontamination supplémentaires peuvent être facturés.
104/116
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails contenus dans la déclaration de contamination.
a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec.
b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air.
c) Sceller le produit dans un film de protection approprié.
d) Emballer le produit dans des conteneurs de transport stables appropriés uniquement.
e) Respecter les conditions de transport en vigueur.
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
6. Joindre la déclaration de contamination sur l’extérieur de l’emballage.
7. Envoyer ensuite le produit à votre centre de service local.
8. Vous recevrez un message de confirmation / un devis de la part de
Pfeiffer Vacuum.
Pour toutes les demandes de service, nos Conditions générales de vente et de livraison ainsi que nos
Conditions générales de réparation et de maintenance sont appliquées aux équipements et composants du vide.
105/116
Pièces de rechange
15
Pièces de rechange
Commande de pièces de rechange
► Vous devez vous munir du numéro de pièce ainsi que des informations complémentaires sur la
plaque signalétique.
► Installez uniquement des pièces détachées d'origine.
Désignation
Numéro de
commande
Description/contenu de la livraison
Admission de gaz (Omnistar)
PT 167 016 -T
Insert de bride avec vannes, orifice 50 µm, 2 joints toriques et diffuseur de gaz,
sans capillaire en acier inoxydable
Admission de gaz (ThermoStar)
PT 167 013 -T
Insert de bride, orifice 50 µm, 2 joints toriques
et diffuseur de gaz, sans capillaire en quartz
Jeu de pièces de rechange
pour admission de gaz (Omnistar)
PT 167 014 -T
2 joints toriques, orifice de 50 µm, tube de diffuseur de gaz, ressort de compression
BK212576
50 μm
Capillaire (acier inoxydable)
PT 167 060
1/16 po, 0,12 mm × 5 m
Capillaire (quartz)
B1975082EC
0,23 po, 0,14 mm × 5 m
Joints capillaires (capillaire en
acier inoxydable)
PT 167 017 -T
Joints capillaires (viroles) (pack de 10)
Joints capillaires (capillaire en
quartz)
PT 167 015 -T
Tube capillaire
PT 167 050 -T
200 °C, 1 m, sans capillaire
PT 167 051 -T
200 °C, 2 m, sans capillaire
PT 167 052 -T
350 °C, 1 m, sans capillaire
Kit de révision pour pompe à
membrane
PU E22 030 -T
Membranes et vannes de la pompe à membrane
● 4 membranes EPDM/PTFE
● 8 plaques de vanne EPDM
● 8 joints annulaires EPDM
Pompe à membrane
PK T05 072
Pompe à membrane MVP 010-3 CC
Capteur du manomètre de
pression totale
PT 120 212 -T
Capteur MPT, DN 40 CF
Manomètre de pression totale
PT R40 351 -A
Tube de mesure de rechange MPT 200 AR
Unité de filament chauffé pour
analyseur QMA 250 M
PT 163 331
Unité de filaments chauffés en tungstène
avec 2 filaments chauffés
PT 163 332
Unité de filaments chauffés Ir-Y2O3avec 2 filaments chauffés
PT 163 231
Source d’ions complète avec 2 filaments chauffés en tungstène
PT 163 232
Source d’ions complète 2 filaments chauffés IrY2O3
Réservoir du fluide d’exploitation
PM 143 740 -T
Pour la pompe turbomoléculaire
Vanne de mise à l’air
PM Z01 290 -T
Vanne du gaz de pressurisation
PM Z01 310 A
Joint cuivre
490DFL040-S-GS5
Jeu de pièces de rechange
pour admission de gaz (ThermoStar)
Orifice pour admission de gaz
(ThermoStar)
Orifice pour admission de gaz
(ThermoStar)
Source d’ions pour analyseur
QMA 250 M
106/116
DN 40 CF, plaqué argent (jeu de 5)
Pièces de rechange
Désignation
Numéro de
commande
Description/contenu de la livraison
Écran tactile 7 po
PT 167 025
Module d’affichage, sans câble
Fluide de calibration (PFTBA)
PT 167 031
En flacon de 5 ml
Tab. 15:
Pièces de rechange
107/116
Outil spécial
16
108/116
Outil spécial
Désignation
Numéro de commande
Utilisation
Clé pour couvercle
de carter
PV M40 813
(voir chapitre « Remplacez le réservoir du fluide d'exploitation sur la pompe turbomoléculaire », page 76)
Tab. 16:
Outil spécial
Fig. 67:
Clé PV M40 813 pour couvercle de carter de la pompe turbomoléculaire
Accessoires
17
Accessoires
Vous trouverez sur notre site Internet la gamme des accessoires ThermoStar et OmniStar.
17.1 Informations sur les accessoires
Adaptateur de tube capillaire
L’adaptateur de tube capillaire est utilisé pour raccorder correctement le tube capillaire.
Fig. 68:
17.2
Adaptateur de tube capillaire
Commande d’accessoires
Description
Numéro de commande
Adaptateur de tube capillaire
PT 167 070 -T
Tab. 17:
Accessoires
109/116
Caractéristiques techniques et dimensions
18
Caractéristiques techniques et dimensions
18.1
Généralités
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr | mm Hg
100
1
0,1
0,75
1 · 10
1,000
100
1 · 10
1
0,01
1 · 10
7.5 · 10-3
1
1 · 10-3
100
1
0,1
0,75
kPa
10
0,01
1,000
10
1
7,5
Torr | mm Hg
1,33
1,33 · 10-3
133,32
1,33
0,133
1
mbar
1
1 · 10
bar
1,000
1
Pa
0,01
hPa
-3
5
-5
1 Pa = 1 N/m
Tab. 18:
750
-3
2
Tableau de conversion : unités de pression
mbar l/s
mbar l/s
Pa m3/s
sccm
Torr l/s
atm cm3/s
1
0,1
59,2
0,75
0,987
592
7,5
10
3
Pa m /s
sccm
1
1.69 · 10
1,27 · 10
1.67 · 10-2
1,33
0,133
78,9
1
1,32
1,01
0,101
59,8
0,76
1
1.69 · 10
Torr l/s
3
atm cm /s
Tab. 19:
9,87
1
-2
-3
-2
Tableau de conversion : unités de débit de gaz
18.2 Fiche technique
Configuration (domaine de masse)
1 à 100 u
1 à 200 u
1 à 300 u
Type
PrismaPro QMG 250 M1
PrismaPro QMG 250 M2
PrismaPro QMG 250 M3
Détecteur
C-SEM
Source d’ions
Crossbeam (C/B)
Nombre de filaments chauffés
2
Spectromètre de masse quadripôle
Performance du capteur en fonction du domaine de masse12)
Limites de détection minimales (C-SEM)
< 100 ppb
< 1 ppm
< 10 ppm
Quantité de masse voisine(40/41)
< 10 ppm
< 20 ppm
< 50 ppm
Dwell
Réglable de 1 ms/u à 16 s/u
Admission de gaz/gaz de procédé
Type
OmniStar : avec vanne d'entrée
ThermoStar : ouvert en permanence
Pression de gaz échantillon, max.
1 200 hPa
Débit de gaz
1 à 2 sccm
Contaminants
Grandeur des particules ≤ 1 μm
Commande de vanne (OmniStar)
Via écran d’affichage en couleur 7 po ou interface web
Capillaire
requis
OmniStar : Acier inoxydable
ThermoStar : Quartz
Longueur
1 m (2 m également disponible)
12)
110/116
Les spécifications du domaine de masse s'appliquent seulement aux gaz/espèces sans interférence.
Caractéristiques techniques et dimensions
Configuration (domaine de masse)
1 à 100 u
1 à 200 u
Diamètre
OmniStar : DE = 1/16 po., DI = 0,15 mm
ThermoStar : DE = 0,23 mm, DI = 0,15 mm
Température de fonctionnement du capillaire
200 °C (350 °C également disponible)
1 à 300 u
Gaz d’échappement
Pression admissible
≤ pression atmosphérique
Connexion
Connecteurs mâle-femelle IQS, 6 mm
Tuyau flexible PE (Ø extérieur = 6 mm)
Purge de gaz neutre (version de gaz corrosif)
Gaz de pressurisation
Gaz inerte, azote ou argon recommandé
Pression
5 000 à 7 000 hPa
Débit de gaz
300 sccm env.
Impuretés
≤ 100 ppm oxygène
Connexion
Connecteurs mâle-femelle IQS, 4 mm
Tuyau flexible PE (Ø extérieur = 4 mm)
Unité de calibrage (option)
Fluide pour calibrage de la masse
PFTBA
Conditions ambiantes
Température de transport et stockage
-20 à 55 °C
Température de service
10 à 40 °C
Humidité relative
max. 80 % jusqu’à 31 °C, diminution linéaire jusqu’à 50 % à 40 °C
Emplacement de l’installation
À l’intérieur, à l’abri des intempéries
Altitude de l’installation
≤ 2 000 m au-dessus du niveau de la mer
Classe de protection
I
Catégorie de surtension
II
Degré de protection
IP30
Degré de pollution
2
Matériaux côté vide
Tube capillaire
PTFE, acier inoxydable, FKM
Admission de gaz
Acier inoxydable, FKM
Orifice
Platinum/Iridium
Enceinte à vide
Aluminium/acier inoxydable
Analyseur
Acier inoxydable, cuivre, argent, or, verre de quart, céramique
Filament chauffé
Ir-Y2O3 ou W
Pompe turbomoléculaire
Aluminium, acier inoxydable, résine époxy, lubrifiant
Pompe à membrane
EPDM, aluminium, PVC, laiton, polyamide
Manomètre de pression totale
Tungstène, acier inoxydable, nickel, molybdène, verre
Alimentation
Tension
100 à 240 V CA
Fréquence
50-60 Hz
Consommation de courant
830 W
Fusible secteur
2× 10 A (lent)
Relais
Quantité
2
Tension d’enclenchement
24 V CA/CC
Courant de commutation
1A
Interfaces utilisateur
Fonctionnement
Via écran d’affichage tactile en couleur 7 po ou interface web
Logiciel
PV MassSpec
Transfert de données
Ethernet TCP/IP
111/116
Caractéristiques techniques et dimensions
Configuration (domaine de masse)
1 à 100 u
1 à 200 u
1 à 300 u
Caractéristiques de la pompe
Disponibilité opérationnelle
Après 10 minutes
Temps entre la mise hors circuit et le redémarrage
> 10 secondes
Temps de mise hors circuit
15 minutes
Commande utilisateur
Entrées analogiques
5× ±10 V, résolution 14 et 16 bit
Entrées numériques
4× nominal +24 V
Sorties analogiques
4× 0 à 10 V, Imax = 10 mA, résolution 16 bit
Sorties numériques
6× collecteurs ouverts, nominal 24 V, Imax = 200 mA
Nombre de relais
2
Tension d'enclenchement des relais
24 V CA/CC
Courant de commutation des relais
1A
Relais pour le statut du système de pompage
Connexion « USER IO » : Broches 13, 14 et 15
Connecteur multiple
USER I/O : 15 broches, D-Sub
AUX I/O : 25 broches, D-Sub
Niveau de bruit
< 50 dB au fonctionnement maximum
Poids
23 kg à 26 kg (en fonction de la version respective)
Tab. 20:
Fiche technique
18.3 Dimensions
274
358
50
216
Dimensions en mm.
60
615
Fig. 69:
112/116
Dimensions
The product GSD 350 OmniStar/ThermoStar
- conforms to the UL standards
UL 61010-1:2012 R4.16
Safety requirements for electrical equipment for measurement, control and laboratory use
Part 1: General requirements
UL 61010-2-010:2014
Safety requirements for electrical equipment for measurement, control and laboratory use
Part 2-010: Particular requirements for laboratory equipment for the heating of materials
- is certified to the CAN/CSA standards
CAN/CSA No. 61010-1:2012 + GI1 + GI2 (R2017)
Safety requirements for electrical equipment for measurement, control and laboratory use
Part 1: General requirements
CAN/CSA No. 61010-2-010:2014
Safety requirements for electrical equipment for measurement, control and laboratory use
Part 2-010: Particular requirements for laboratory equipment for the heating of materials
- conforms to the following rules and regulations
FCC, Title 47 CFR, Part 15, Subpart B
Telecommunication - Radio Frequency Devices - Unintentional Radiators
Déclaration de conformité
Déclaration pour produit(s) du type :
Système d’analyse du gaz
GSD 350 OmniStar
GSD 350 ThermoStar
Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes.
Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses, directive déléguée
2015/863/UE
Normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées :
IEC 61010-1:2010 + corr. :2011
IEC 61010-2-010:2014
EN ISO 12100:2010
EN 61326-1:2013
EN 55011:2009 + A1:2011
EN 61000-3-2:2014
EN 61000-3-3:2013
IEC 60529:1989 + A1:1999 + A2:2013
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Directeur général
Aßlar, 2020-06-10
115/116
*DA0105*
ed. A - Date 2007 - P/N:DA0105BFR
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