MANUEL DE L’UTILISATEUR FR Traduction du manuel de l‘utilisateur PRISMAPLUS® BG 5214 BFR / D (2202) QMG 220™ Système de spectrométrie de masse compact Marque déposée La marque déposée des produits mentionnés dans ce manuel est détenue par les sociétés qui les produisent. PrismaPlus® est une marque déposée de Pfeiffer Vacuum GmbH. QUADERA® est une marque déposée de INFICON AG. Avertissement Les informations contenues dans ce manuel sont supposées être exactes et fiables. Pfeiffer Vacuum n’assume cependant aucune responsabilité pour leur utilisation et ne pourrait être tenu responsable de tout dommage spécial, directement ou indirectement lié à l’utilisation de ce produit. En raison de notre programme continu d’amélioration des produits, les informations sont sujettes à modifications sans préavis. Copyright ©2022 Tous droits réservés. La reproduction ou l’adaptation d’une partie de ce document sans permission est interdite. 2 Table des matières Table des matières Marque déposée. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2 Avertissement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2 Copyright . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2 Table des matières. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3 1 Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4 1.1 Identification du produit. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4 1.2 Validité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5 1.3 Usage prévu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6 2 Sécurité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7 2.1 Symboles . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7 2.2 Qualifications du personnel. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7 2.3 Instructions générales de sécurité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7 2.4 Responsabilité et garantie . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7 2.5 Formation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7 3 Données techniques . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8 3.1 Présentation du système . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8 3.2 Données système . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11 3.3 Dimensions [mm] . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18 4 Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20 4.1 Déballage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20 4.2 Assemblage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20 4.3 Exigences en matière d’espace . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21 4.4 Outils requis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21 4.5 Installation du QMA 200 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21 4.6 Installation du QME 220 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23 4.7 Installation/désinstallation du module d’entrée/sortie IO 220 . . . . . . . . . . 24 4.8 Connexions électriques . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27 4.9 Installation des logiciels . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37 5 Fonctionnement. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38 5.1 Premier démarrage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38 5.2 Avant le démarrage. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38 6 Maintenance. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40 6.1 QMA 200 (Remplacement des filaments) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40 6.2 QME 220. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 47 7 Accessoires . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 50 8 Options . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51 9 Pièces de rechange . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 52 10 Stockage. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 53 11 Retour du produit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 54 12 Service . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 55 13 Mise au rebut . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 56 Déclaration de conformité. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 57 3 Introduction 1 Introduction 1.1 Identification du produit Dans toutes les communications avec Pfeiffer Vacuum, veuillez spécifier les informations figurant sur la plaque signalétique du produit. Pour plus de commodité, copiez ces informations système de référence dans les espaces prévus à cet effet. Pfeiffer Vacuum, D-35614 Asslar Model: PN: SN: V A ATTENTION Lisez attentivement ces instructions avant d’utiliser le QMG 220. Gardez ce document à proximité de l’équipement, afin que tous les utilisateurs y aient accès. Le chapitre Sécurité contient des informations importantes concernant les symboles utilisés. Vous devez impérativement prêter attention à ces informations pour utiliser le QMG 220 en toute sécurité. 4 Introduction 1.2 Validité Ce document s’applique aux produits dont les références sont répertoriées. Analyseurs (tous les analyseurs de type QMA 200) Détecteur Référence Faraday PT M25 250 ■ PT M25 251 ■ C-SEM PT M25 253 ■ PT M25 254 ■ PT M25 255 ■ PT M25 256 ■ ■ ■ PT M25 271 ■ Fermé Fils en molybdène 300 °C Orifice d’extraction 2 mm Remarques ■ ■ ■ ■ ■ ■ ■ ■ ■ PT M25 270 Iridium, yttrié ■ ■ PT M25 261 Tungstène Données techniques supplémentaires ■ PT M25 252 PT M25 257 Filaments ■ ■ ■ ■ ■ ■ ■ ■ PT M25 272 ■ ■ PT M25 273 ■ ■ PT M25 274 ■ ■ ■ PT M25 275 ■ ■ ■ PT M25 276 ■ ■ ■ PT M25 277 ■ ■ ■ ■ ■ PT M25 278 ■ ■ ■ ■ ■ PT M25 282 ■ ■ ■ ■ PT M25 283 ■ PT M25 285 ■ ■ PT M25 286 ■ ■ PT M25 290 ■ ■ Source d’ions à faisceau croisé filament 0,15 mm PT M25 291 ■ ■ Source d’ions à faisceau croisé filament 0,13 mm PT M25 292 ■ ■ PT M25 293 ■ ■ PT M25 294 ■ PT M25 295 ■ ■ PT M25 296 ■ ■ PT M25 297 ■ ■ ■ ■ ■ ■ ■ Source d’ions à grille ■ ■ ■ ■ Source d’ions à grille réglable ■ Source d’ions à faisceau croisé filament 0,15 mm ■ Source d’ions à faisceau croisé filament 0,13 mm ■ réglable Source d’ions à faisceau croisé, rotation 90° ■ Source d’ions à faisceau croisé filament 0,15 mm 5 Introduction IO 220 PT M28 699 QME 220 SP220 Module E/S IO 220 complet. Référence Plage de masse amu Connexion de l’analyseur IO 220 PT M28 601 1 … 100 droit sans PT M28 602 1 … 200 droit sans PT M28 603 1 … 300 droit sans PT M28 611 1 … 100 droit avec PT M28 612 1 … 200 droit avec PT M28 613 1 … 300 droit avec PT M28 621 1 … 100 90° sans PT M28 622 1 … 200 90° sans PT M28 623 1 … 300 90° sans PT M28 631 1 … 100 90° avec PT M28 632 1 … 200 90° avec PT M28 633 1 … 300 90° avec Alimentation 24 VCC (type P66A 6PI) La référence peut être prise sur la plaque signalétique du produit. 1.3 Usage prévu Le spectromètre de masse PrismaPlus® est conçu pour les analyses de pression partielle à des pressions <10-4 mbar. Applications courantes : mesure, surveillance et fonctions de contrôle des procédés dans les systèmes de vide. Le PrismaPlus n’est pas conçu pour fournir des résultats de mesure dont dépendent la sécurité des personnes ou des actifs importants. Pour les applications de ce type, la sécurité doit être assurée par des mesures supplémentaires. 6 Sécurité 2 Sécurité 2.1 Symboles DANGER Informations permettant d’éviter tout type de blessure physique. AVERTISSEMENT Informations permettant d’éviter d’importants dommages matériels et environnementaux. ATTENTION Informations sur la manipulation ou l’utilisation appropriée. Le non-respect de ces informations peut entraîner des dysfonctionnements ou des dommages matériels mineurs. AVIS Notice. 2.2 Qualifications du personnel Tous les travaux décrits dans ce document ne peuvent être exécutés que par des personnes ayant suivi une formation technique appropriée et disposant de l'expérience nécessaire ou ayant été instruites par l'utilisateur final du produit. 2.3 Instructions générales de sécurité Respectez les règlements en vigueur et prenez les précautions nécessaires pour les produits de procédés utilisés. Respectez les règlements en vigueur et prenez les précautions nécessaires pour les tâches que vous effectuez ; tenez compte des instructions de sécurité de ce document. Avant de commencer le travail, déterminez si des composants de vide sont contaminés. Respectez les règlements en vigueur et prenez les précautions nécessaires lors de la manipulation des pièces contaminées. Communiquez les instructions de sécurité à tous les autres utilisateurs. 2.4 Responsabilité et garantie Pfeiffer Vacuum n'assume aucune responsabilité et la garantie est nulle et non avenue si l'utilisateur final ou des parties tierces : ignorent les informations figurant dans ce document, utilisent le produit d'une manière non conforme, effectuent toutes sortes d'interventions (modifications, altérations, etc.) sur le produit, utilisent le produit avec des accessoires et des options non répertoriés dans la documentation correspondante du produit. L'utilisateur final assume la responsabilité quant aux produits de procédés utilisés. 2.5 Formation Pfeiffer Vacuum propose des cours sur l'application, l'utilisation et la maintenance afin de permettre l'utilisation optimale de ce produit. Veuillez contacter votre représentant Pfeiffer Vacuum local. 7 Données techniques 3 Données techniques 3.1 Présentation du système Le système de spectrométrie de masse comprend les composants suivants : PC Logiciel Quadera Liaison avec le PC (Ethernet) Source d’ions Détecteur Faraday Filtre de masse C-SEM Appareil électronique QME 220 Module d’entrée/sortie IO 220 Analyseur QMA 200 Alimentation électrique SP 220 DI AI DO AO Jauge à vide Secteur AVIS Dans toutes les communications avec Pfeiffer Vacuum, veuillez spécifier les informations figurant sur la plaque signalétique. Pour plus de commodité, copiez les informations de référence de tous les ensembles sur les reproductions de plaque signalétique dans ce manuel. Pfeiffer Vacuum, D-35614 Asslar Model: PN: SN: V A 8 Données techniques Appareil électronique QME 220 ou Appareil électronique QME 220 avec connexion 90° Module d’entrée/ sortie IO 220 (en option) Analyseur QMA 200 F, détecteur Faraday Analyseur QMA 200 M, multiplicateur d’électrons secondaires (C-SEM) 9 Données techniques Alimentation électrique SP 220 Câble secteur Logiciel QUADERA® 10 Aide en ligne du logiciel QUADERA® (CD-ROM). Données techniques 3.2 Données système Éléments du panneau avant QME 220 VACUUM VACUUM VACUUM 24V= LAN USB I/O Panneau avant QME 220 sans module IO 220 EMISS TP GAUGE RUN 2 EMISS RUN 24V= 24V= 1 AL RI SE 6 3 /O AN AL O G LI ITA I/O DIG 5 4 24V= LAN USB I/O Panneau avant QME 220 avec module IO 220 installé Élément du panneau avant Description Connecteurs < 24 V= > Connecteur pour QME 220alimentation secteur SP 220 (1) p. 27 = connecteur sur le module IO 220 pour une alimentation SP 220 supplémentaire (2) pour les jauges consommant beaucoup d’électricité p. 36 DEL < 24 V= > Témoin : 24 V o.k. p. 38 DEL < RUN > Témoin : micrologiciel QME 220 en cours d’exécution p. 38 DEL < EMISS > Témoin : émission active p. 38 Connecteur < LAN > Connexion Ethernet (PC) p. 28 Connecteur < USB > Connexion USB (usage réservé au centre de service) Connecteur < I/O > Interconnexion au module IO 220 Connecteur < TP GAUGE > Connecteur de la jauge (analogique) p. 29 Entrée PROT_EXT Connecteur < ANALOG I/O > Entrées / sorties analogiques Connecteur < DIGITAL I/O > Entrées / sorties numériques Connecteur < SERIAL > Connecteur de la jauge (numérique) p. 35 p. 30 p. 32 p. 35 11 Données techniques QMG 220 F, détecteur Faraday Données générales Type de détecteur Faraday Résolution de l’appareil (vallée, plage de masse totale) à 10 % de hauteur de pic, réglable % u <10 0,5 … 2,5 Pression de fonctionnement max. mbar 1×10-4 Reproductibilité du rapport de pic (conditions constantes pendant 8 h, N2 et Ar de l’air) % ±0,5 °C 0 … +150 °C max. +200 Température de fonctionnement du QMA 200 Température d’étuvage (QME 220 retiré) Orientation du montage n’importe laquelle (p. 21) Poids kg 2,4 (2,7 avec connexion 90°) Bride de connexion Source d’ions HS (source d’ions haute sensibilité) Principe de conception, champ d’application DN 40 CF Conception ouverte, symétrie radiale, adaptée pour l’analyse de gaz résiduel, 2 filaments (iridium yttrié ou tungstène), dégazage par bombardement d’électrons (10 mA, 300 V) Plage de masse u 1 … 100 1 … 200 1 … 300 Pression partielle minimum détectable mbar <1×10-12 <2×10-12 <4×10-12 Sensibilité à l’argon A/mbar >1×10-3 >6×10-4 >3×10-4 Contribution à la masse environnante (40/41) ppm <10 <20 <50 Source d’ions HS fermée Principe de conception, champ d’application Plage de masse u 1 … 100 1 … 200 1 … 300 Conductance l/s 1 1 1 Pression partielle minimum détectable 1) ppm 10 20 50 Contribution à la masse environnante (40/41) ppm <10 <20 <50 1) 12 Conception fermée, adaptée à une analyse de gaz quantitative, suppression efficace des composants du gaz résiduel, 2 filaments (iridium yttrié ou tungstène) Pour les composants qui ne se chevauchent pas avec une masse > 4 u Données techniques Source d’ions à faisceau croisé Principe de conception, champ d’application Conception ouverte, adaptée pour les expériences de faisceaux moléculaires, 2 filaments (iridium yttrié ou tungstène), dégazage par bombardement d’électrons (10 mA, 300 V) Plage de masse u 1 … 100 1 … 200 1 … 300 Pression partielle minimum détectable mbar 3×10-11 6×10-11 1.2×10-10 Sensibilité A/mbar 4×10-5 2×10-5 1×10-5 Contribution à la masse environnante (40/41) ppm <10 <20 <50 Source d’ions à grille Principe de conception, champ d’application Conception ouverte, adaptée pour l’analyse de gaz résiduel ultra-haute tension, 2 filaments (tungstène), dégazage par bombardement d’électrons (10 mA, 300 V) Plage de masse u 1 … 100 1 … 200 1 … 300 Pression partielle minimum détectable mbar 5×10-12 2×10-12 1×10-12 Sensibilité A/mbar 2×10-4 1×10-4 5×10-5 Contribution à la masse environnante (40/41) ppm <50 <100 <200 QMG 220 M (détecteur C-SEM) Données générales Type de détecteur C-SEM / Faraday Résolution de l’appareil (vallée, plage de masse totale) à 10 % de hauteur de pic, réglable % u <10 0,5 … 2,5 Pression de fonctionnement max. mbar 1×10-4 Reproductibilité du rapport de pic (conditions constantes pendant 8 h, N2 et Ar de l’air) % ±0.5 °C 0 … +150 °C max. +200 Température de fonctionnement du QMA 200 Température d’étuvage (QME 220 retiré) Orientation du montage Poids Bride de connexion n’importe laquelle (p. 21) kg 3,8 (4,1 avec connexion 90°) DN 40 CF 13 Données techniques Source d’ions HS (Source d’ions haute sensibilité) Principe de conception, champ d’application Conception ouverte, symétrie radiale, adaptée pour l’analyse de gaz résiduel, 2 filaments (iridium yttrié ou tungstène), dégazage par bombardement d’électrons (10 mA, 300 V) Plage de masse u 1 … 100 1 … 200 1 … 300 Pression partielle minimum détectable mbar <1×10-14 / 5×10-12 <1×10-14 / 1×10-11 <2×10-14 / 2×10-11 Sensibilité à l’argon A/mbar >200 / >5×10-4 >200 / >3×10-4 >100 / >1.5×10-4 Contribution à la masse environnante (40/41) ppm <10 <20 <50 Source d’ions HS fermée Principe de conception, champ d’application Plage de masse u 1 … 100 1 … 200 1 … 300 Conductance l/s 1 1 1 Pression partielle minimum détectable 1) ppm <1 / 20 <1 / 40 <1 / 100 Contribution à la masse environnante (40/41) ppm <10 <20 <50 1) Source d’ions à faisceau croisé Conception fermée, adaptée à une analyse de gaz quantitative, suppression efficace des composants de gaz résiduel, 2 filaments (iridium yttrié ou tungstène) Pour les composants qui ne se chevauchent pas avec une masse > 4 u. Principe de conception, champ d’application Conception ouverte, adaptée pour les expériences de faisceaux moléculaires, 2 filaments (iridium yttrié ou tungstène), dégazage par bombardement d’électrons (10 mA, 300 V) Plage de masse u 1 … 100 1 … 200 1 … 300 Pression partielle minimum détectable mbar 3×10-13 / 5×10-11 6×10-13 / 1×10-12 1.2×10-12 / 2.5×10-12 Sensibilité A/mbar 100 / 2×10-5 100 / 1×10-5 50 / 7×10-6 Contribution à la masse environnante (40/41) ppm <10 <20 <50 Source d’ions à grille Principe de conception, champ d’application Conception ouverte, adaptée pour l’analyse de gaz résiduel ultra-haute tension, 2 filaments (tungstène), dégazage par bombardement d’électrons (10 mA, 300 V) Plage de masse 14 u 1 … 100 1 … 200 1 … 300 Pression partielle minimum détectable mbar 1×10-13 / 1×10-11 2×10-13 / 2×10-11 4×10-13 / 4×10-11 Sensibilité A/mbar 200 / 1×10-4 200 / 5×10-5 100 / 3×10-5 Contribution à la masse environnante (40/41) ppm <50 <100 <200 Données techniques QME 220 Système de mesure Canaux de mesure 128 Modes de mesure Balayage analogique, balayage de diagramme à barres, MID Cycles de mesure cycles mono- / multicanal 1 … 9999 ou répétition MID-temps d’arrêt 2 ms … 60 s Vitesse de mesure pic balayage analogique + diagramme à barres balayage d'escaliers de diagramme à barres 20 ms/u … 60 s/u 2 ms/u … 60 s/u Amplificateur électromètre 110-5 … 110-12 A (f.s.), fixe et plage automatique Filtre de signal Filtre RIF Alimentation électrique 24 VCC / 2 A, SP 220 Interfaces Fonctionnement, contrôle Ethernet Rallonge module d’entrée/sortie IO 220 PROTECTION_EXTERNE borne flottante Entrées/sorties Alimentation électrique SP 220 Analogiques IO 220 Numériques IO 220 Poids 1,9 (2,2 kg avec connexion 90°) Tension secteur 90 … 264 VCA Fréquence secteur 47 … 63 Hz Consommation électrique secteur 1,5 A (100 VCA) Tension en sortie 24 VCC, stabilisée Courant en sortie 2,75 CAN Isolation 100 MΩ / 500 VCC Norme de sécurité EN 60950 Poids 0,6 kg 15 Données techniques Module d’entrée/ sortie IO 220 Entrées analogiques Sorties analogiques Entrées numériques PROTECTION_ EXTERNE (PROT_EXT) 1) Connecteur (<ANALOG I/O>) X7, connecteur D-Sub 15 broches (femelle) Nombre de canaux 5 Configuration de l’entrée différentielle Plage de tensions en entrée nominale 10 V, max. 14 V réf. à la terre Résistance en entrée 50 kΩ Résolution 14 bits Connecteur X7, connecteur D-Sub 15 broches (femelle) Nombre de canaux 4 Configuration de la sortie unique Plage de tensions en sortie 0 … +10 V Courant en sortie ≤100 µA Résistance en sortie 200 Ω Référence à la terre via 33 Ω à la terre (Imax. 50 mA) Résolution 12 bits Connecteur (<DIGITAL I/O>) X2, connecteur Sub-D 25 broches (mâle) Nombre de canaux 4 (+ PROT_EXT 1)) Tension en entrée <+5 V (basse) nominale +24 V (élevée), max. +28 V Courant en entrée 1,9 mA Tension d’alimentation pour borne flottante +24 V via 1,2 kΩ (Imax. 10 mA) Référence à la terre pour alimentation externe via 100 Ω à la terre (Imax. 50 mA) Données électriques Fonction identiques aux entrées numériques fonction de contrôle, selon le mode PROT_EXT sélectionné 1) Table de fonction de l’entrée PROT_EXT QUADERA\Online Help\Cross-References from Manuals\#004). Mode PROT_EXT INTERN-OFF EXTERN-ON-OFF EXTERN-OFF Entrée PROT_EXT non pertinent +24 V 0 V (ouverte) +24 V 0 V (ouverte) 16 Fonction FIL et SEM peuvent être activés et désactivés (manuellement, sans protection externe). FIL et C-SEM activés FIL et C-SEM désactivés FIL et SEM peuvent être activés et désactivés (manuellement). FIL et C-SEM désactivés. Pour les réactiver, l’entrée PROT_EXT doit être connectée à +24 V avant l’utilisation manuelle de FIL et de C-SEM. Données techniques Sorties numériques 1) Interface numérique pour jauges Interface de la jauge (analogique) Connecteur (<DIGITAL I/O>) X2, connecteur Sub-D 25 broches (mâle) Nombre de canaux 16 Configuration de la sortie collecteur ouvert (écoulement), isolé optiquement Tension en sortie nominale +24 V, max. +28 V Tension de saturation (basse) +0,9 V Courant en sortie (écoulement) Les 16 canaux sont utilisés : 60 mA/canal 4 canaux utilisés : 250 mA/canal 1) En interne, les 16 canaux sont divisés en deux groupes: Groupe A : numéros de canaux impairs 1 … 15 Groupe B : numéros de canaux pairs 2 … 16 Pour des raisons thermiques, les canaux utilisés doivent être affectés de la même manière aux deux groupes (par exemple : 2 canaux au groupe A et 2 canaux au groupe B). Connecteur (<SERIAL>) X1, connecteur Sub-D 9 broches (femelle) Type d’interface RS485 Usage utilisation des jauges avec interfaces numériques. Connecteur (<TP GAUGE>) X5, prise C91 Amphenol 6 broches Type d’interface analogique Usage utilisation des jauges avec interfaces analogiques. Conditions ambiantes Fonctionnement uniquement en intérieur Altitude max. 2 000 m au-dessus du niveau de la mer Indice de protection IP 30 Degré de pollution 2 Températures Stockage/transport –25 … +70 °C Fonctionnement 0 … +40 °C Humidité relative max. 80 % jusqu'à 31 °C, diminution linéaire jusqu'à 50 % à 40 °C 17 Données techniques Dimensions [mm] L (60) 168 54 DN 40 CF-F 141 (60) 168 184 83 ø37 130 127.5 Appareil électronique QME 220 + Analyseur QMA 200 M avec détecteur C-SEM + Faraday 118 ø37 Appareil électronique QME 220 + Analyseur QMA 200 F avec détecteur Faraday 127.5 3.3 DN 40 CF-F 141 Appareil électronique QME 220 90°+ Analyseur QMA 200 A avec détecteur Faraday 253 127.4 168 27 127.5 (60) 118 141 DN 40 CF-F ø37 18 Données techniques Appareil électronique QME 220 90°+ Analyseur QMA 200 M avec détecteur C-SEM 253 168 27 127.5 127.4 (60) 83 130 141 DN 40 CF-F 127.5 Appareil électronique QME 220 + module d’entrée/sortie IO 220 (55) 31 168 (X2) IO 220 ø37 QME 141 43.5 Alimentation électrique SP 220 19 Installation 4 Installation 4.1 Déballage AVIS Rangez les dispositifs d’attache pour le transport et remettez-les en place avant de transporter à nouveau le produit. DANGER La mise en marche d’un produit présentant des dommages visibles peut être extrêmement dangereuse. Si le produit présente des dommages visibles, ne le mettez pas en marche et veillez à ce qu’il ne soit pas mis en marche par inadvertance. 4.2 Assemblage DANGER Le QMA 200 peut atteindre une tension allant jusqu'à 330 VCC en cours de fonctionnement. D’autres pièces de la chambre à vide (p. ex., les jauges) peuvent être exposées à cette tension dans des conditions défavorables. Ainsi, si ces pièces (y compris les câbles et le matériel connecté) deviennent dangereuses, elles doivent être disposées ou protégées de telle sorte que des formations d’étincelles ou des transferts de charge ne puissent se produire. Si le QMA 200 est accessible lorsque le système de vide est ouvert, une protection supplémentaire est requise, p. ex: une protection mécanique empêchant le contact tactile, l’interruption forcée de l’alimentation SP 220 lorsque le système est ouvert. DANGER Les tensions dangereuses externes ne sont pas autorisées à être transférées vers les électrodes du QMA 200 (contact galvanique, formation d’étincelles, faisceaux d’ions ou d’électrons, etc.). Si de telles sources de danger existent dans la chambre à vide, des mesures de sécurité supplémentaires (p. ex., meilleur emplacement, protection, mise à la terre, etc.) doivent être prises afin d’exclure ces risques de manière fiable. Par ailleurs, des tensions externes basses agissant sur le QMA 200 peuvent endommager les parties électroniques et donner lieu à des résultats de mesure douteux. Les précautions appropriées doivent être prises comme mentionné ci-dessus. AVERTISSEMENT Le QMA 200 doit être installé correctement du point de vue de la technique du vide : les gaz à détecter doivent bénéficier d’un accès libre à l’analyseur. Le revêtement sous vide de l’analyseur doit être évité. AVIS Veillez à respecter les exigences spécifiques en matière de propreté et de prévention des dommages lorsque vous travaillez avec les composants de vide. 20 Installation 4.3 Exigences en matière d’espace AVERTISSEMENT Le QMA 200 F ne peut être installé que dans les brides ou tubes dont le diamètre interne est 37 mm. Dans le cas contraire, des courts-circuits peuvent se produire contre la paroi. Le diamètre du tube de rallonge pour le QMA 200 M doit être d’au moins 40,5 mm. AVIS Veuillez noter la profondeur d’installation requise. N’entortillez pas les câbles Dimensions des composants système. 4.4 Outils requis Clé Allen, AF 4 Tournevis Torx T10 Clé plate (2 fourches), AF 10 4.5 Installation du QMA 200 DANGER La bride de l’analyseur doit être mise à la terre correctement. Pour cela, connectez les 6 vis au système de vide correctement mis à la terre. Si la bride de montage n’est pas correctement mise à la terre, la bride QMA 200 (vis de mise à la terre M4) doit être connectée à la terre pour des raisons de protection au moyen d’un conducteur de mise à la terre distinct. Réalisez cette connexion avec un fil jaune/vert isolé ou un fil torsadé en cuivre nu. 2,5 mm² s’il est protégé mécaniquement 4 mm² s’il n’est pas protégé AVIS Le QMA 200 doit être monté à l'horizontale de préférence (rainure de guidage vers le bas). Cela permet de protéger le QME 220 des chutes d’objets de manière optimale et donne lieu à une installation facile et à un accès idéal au panneau avant. Sur le QMG 220 avec connexion 90°, cela donne lieu à une suspension verticale du QME 220. 21 Installation Retrait de la cale de transport et bridage de l’analyseur à la chambre à vide QMA 200 F QMA 200 M Cale de transport Rainure de guidage Outil de montage 1 Placez le QMA 200 dans l’outil de montage fourni. 2 Retirez soigneusement le capot de transport du QMA 200 et rangez-le pour une réutilisation éventuelle. 3 Enlevez soigneusement la cale de transport et rangez-la pour une réutilisation éventuelle. 4 Bridez l’analyseur à la chambre à vide. 22 Installation 4.6 Installation du QME 220 DANGER Le QME 220 ne peut être monté que sur un QMA 200 correctement installé car la seule connexion à la terre s’effectue via la bride du QMA 200. La ligne d’alimentation 24 V de la SP 220 ne doit jamais être connectée si le QMA 200 n’est pas vissé au QME 220. Rainure de guidage Patte de mise à la terre 1 À l’aide de la clé Allen (AF 4), desserrez les deux vis de la pièce de connexion en plastique noir du QME 220 afin que la partie amovible ait un jeu de 2 … 3 mm. 2 Faites soigneusement glisser le QME 220 sur le QMA 200 monté jusqu’à l’encoche. Assurez-vous que le positionnement du QME 220 est correct en vérifiant la patte de mise à la terre et la rainure de guidage du QMA 200. REMARQUE Ne forcez pas. 3 Serrez fermement les deux vis Allen. Ces vis fixent mécaniquement le QME 220 et assurent la sécurité électrique en offrant un contact à la terre. 23 Installation 4.7 Installation/désinstallation du module d’entrée/sortie IO 220 Le module E/S IO 220 en option permet d’utiliser des interfaces supplémentaires. Le QME 220 peut être commandé avec le module IO 220 déjà installé ou être mis à niveau ultérieurement. Outil requis Tournevis Torx T10 Matériel requis Module E/S IO 220 Procédure, installation 1 Déconnectez l’alimentation de la prise secteur et débranchez toutes les connexions électriques au QME 220. 2 Retirez le QME 220 de l’analyseur en suivant la procédure décrite au Installation du QME 220 dans l’ordre inverse. 3 Placez le QME 220 sur une base stable afin de pouvoir travailler sur le panneau avant. 4 Desserrez et retirez les vis 1 … 3. 1 2 3 5 Retirez les trois écrous de transport M3 à l’arrière du module IO 220. 6 Placez soigneusement le module IO 220 sur le panneau avant du QME 220. Utilisez vos deux mains et assurez-vous que la connexion Sub-D entre le module IO 220 et le QME 220 est correctement engagée. 24 Installation 7 Vissez les trois vis Torx M340 mm fournies avec le module IO 220. 8 Réinstallez le QME 220 retiré en suivant la procédure écrite ci-dessus et continuez avec le chapitre ’Connexions électriques’, p. 27. Procédure, désinstallation Les étapes 1 … 3 sont identiques à celles de la section Procédure, installation. 1 Déconnectez l’alimentation de la prise secteur et débranchez toutes les connexions électriques au QME 220. 2 Retirez le QME 220 de l’analyseur en suivant la procédure décrite au ’Installation du QME 220’, p. 23 dans l’ordre inverse. 3 Placez le QME 220 sur une base stable afin de pouvoir travailler sur le panneau avant. 4 Desserrez et retirez les vis 1 … 3. 1 2 3 25 Installation 5 Retirez soigneusement le module IO 220 du panneau avant du QME 220 en utilisant vos deux mains. 6 Fixez les trois vis dans le module IO 220 avec les écrous de transport M3. 7 Insérez et vissez les petites vis Torx 1 … 3. 1 2 3 8 Réinstallez le QME 220 en suivant la procédure décrite ci-dessus et continuez avec le chapitre ’Connexions électriques’, p. 27. 26 Installation 4.8 Connexions électriques Connexion du QME 220 AVERTISSEMENT Toutes les connexions électriques doivent être dotées d’un collier de serrage des câbles. Acheminez les câbles à l’écart des sources d'interférences électromagnétiques. AVERTISSEMENT Pour des raisons de compatibilité électromagnétique (interférences externes), il est vivement recommandé de recourir à un point de mise à la terre central unique pour tous les appareils connectés (station de pompage, SP 220, ordinateur, enregistreurs, etc.). Une prise secteur multiple ou un distributeur de tension de ligne commune avec interrupteur répond à cette exigence de manière simple. Exception: Un PC installé à distance et/ou un environnement présentant de fortes interférences électromagnétiques. Alimentation SP 220 pour la connexion du QME 220 AVERTISSEMENT Ne connectez pas le câble secteur de la SP 220 à la prise secteur pour le moment. 24V= EMISS RUN 24V= VACUUM LAN USB I/O SP 220 1 Disposez l’alimentation de telle sorte: qu’elle ne puisse pas être mouillée, p. ex., par de l’eau renversée sur le sol, que la circulation de l’air ne soit pas entravée et que les conditions ambiantes requises soient satisfaites. 2 Insérez le connecteur de sortie de la SP 220 dans le connecteur 24 VCC du QME 220. 27 Installation Connexion au PC Étant donné que le QMG 220 ne dispose pas d’un panneau de commande local, il est exploité via une interface PC ou en tant que périphérique dans un réseau. Il existe plusieurs manières de connecter un QME 220 et un PC: Interface Ethernet Pour une liaison directe entre un QME 220 et un PC, le câble de connexion croisé 8 brins fourni avec le QME 220 est utilisé (rouge, longueur 3 m, connecteurs RJ45 aux deux extrémités). Pour une interconnexion via un interrupteur ou en réseau, le câble de connexion droit (1:1) est utilisé (gris, longueur 3 m, connecteurs RJ45 aux deux extrémités, également fourni avec le QME 220). EMISS 24V= RUN VACUUM 24V= LAN USB PC I/O Cáble de connexion croisé (rouge) . 24V= Réseau, commutateur EMISS RUN 24V= VACUUM LAN USB I/O PC Cáble de connexion 1:1 (gris) 28 Installation Témoins de connexion LAN L’état de l’interface est signalé par deux DEL intégrées au connecteur RJ45. DEL vert RJ45 vert jaune jaune État Signification allumé taux de transfert des données 100 Mbit/s sombre taux de transfert des données 100 Mbit/s allumé transfert de (clignotant) données en cours sombre Le connecteur <I/O> (X3) sert principalement de liaison avec le module IO 220. Cependant, si le module IO 220 n’est pas installé, l’accès à la fonction de contrôle PROTECTION_EXTERNE est possible. Schéma de connexion X3 PROTECTION_EXTERNE X3 QME 220 EXT_PROT 4 S 1) 1 2 3 5 IO 220 bus 6 7 Module E/S IO 220 Interface E/S aucun transfert de données (ou pas de connexion) 9 0V 8 Écran Canal terre 1) L’entrée PROTECTION_EXTERNE requiert une borne flottante S entre la broche 4 et la terre (broche 8). 29 Installation Affectation des broches X3 N° broche Description 1 Bus IO 220 1) 2 Bus IO 220 1) 3 Bus IO 220 1) 4 PROTECTION_EXTERNE 5 Bus IO 220 1) 6 Bus IO 220 1) 7 Bus IO 220 1) 8 0 V, référence à la terre 9 Bus IO 220 1) 1) Les broches marquées « Bus IO 220 » sont exclusivement réservées à l’échange de données entre le QME 220 et le module IO 220. AVIS Les entrées et sorties analogiques et numériques décrites ci-dessous sont uniquement disponibles avec le module IO 220 en option installée. Connexions des entrées et sorties analogiques IO 220 Les entrées et sorties analogiques sont disponibles sur un connecteur Sub-D 15 broches (<ANALOG I/O>, X7). VACUUM 9 1 VACUUM X7 2 24V= TP GAUGE 24V= EMiSS 1 RUN 6 3 AL RI SE 5 4 /O AN AL O G LI ITA I/O 8 DIG 15 LAN USB I/O Câblage approprié Type de câble Le nombre de brins dépend des fonctions utilisées. AVERTISSEMENT Pour des raisons de compatibilité électromagnétique (interférences externes), un câble blindé doit être utilisé. L’écran doit être relié au boîtier du connecteur. L’extrémité opposée doit être laissée ouverte ou mise à la terre afin de supprimer les courants circulant dans les boucles de mise à la terre. Il est vivement recommandé d’utiliser des paires torsadées pour le câblage (+) et (–) des entrées analogiques. 30 Installation Procédure 1 Ouvrez le connecteur Sub-D. 2 Préparez les extrémités du câble et soudez/sertissez le câble conformément au schéma ci-dessous. Schéma de connexion X7 IO 220 X7 Canal 1 1 kΩ – 1 1 kΩ + 9 1 nF 1 nF Canal 2 Canal 3 – 2 + 10 – 3 + 11 – Canal 4 + – Canal 5 + Entrées analogiques 4 12 5 13 Canal 1 100 Ω 100 Ω 6 10 nF Canal 2 7 Canal 3 14 Canal 4 15 Sorties analogiques 33 Ω Terre analogique 8 Écran Canal terre 31 Installation Affectation des broches X7 N° broche Description 1 entrée analogique, canal 1 (–) 2 entrée analogique, canal 2 (–) 3 entrée analogique, canal 3 (–) 4 entrée analogique, canal 4 (–) 5 entrée analogique, canal 5 (–) 6 sortie analogique, canal 1 7 sortie analogique, canal 2 8 référence à la terre des sorties analogiques 9 entrée analogique, canal 1 (+) 10 entrée analogique, canal 2 (+) 11 entrée analogique, canal 3 (+) 12 entrée analogique, canal 4 (+) 13 entrée analogique, canal 5 (+) 14 sortie analogique, canal 3 15 sortie analogique, canal 4 3 Assemblez le connecteur. 4 Préparez et connectez l’extrémité opposée du câble. 5 Connectez le câble au module IO 220 et serrez les vis de blocage du connecteur. Connexions des entrées et sorties numériques IO 220 Les entrées et sorties numériques sont disponibles sur un connecteur Sub-D 25 broches (<DIGITAL I/O>, X2). 13 25 1 14 VACUUM VACUUM X2 AN A /O LO G LI IT A I/O DIG RI SE TP GAUGE 24V= 2 24V= EMISS 1 RUN 6 3 AL 5 4 LAN USB I/O Câblage approprié Type de câble Le nombre de brins dépend des fonctions utilisées. AVERTISSEMENT Pour des raisons de compatibilité électromagnétique (interférences externes), un câble blindé doit être utilisé. L’écran doit être relié au boîtier du connecteur. L’extrémité opposée doit être laissée ouverte ou mise à la terre afin de supprimer les courants circulant dans les boucles de mise à la terre. 32 Installation Procédure 1 Ouvrez le connecteur Sub-D. 2 Préparez les extrémités du câble et soudez/sertissez le câble conformément au schéma ci-dessous. Schéma de connexion des entrées numériques (X2) IO 220 +24 V 1K2 X2 22 Canal 1 1) 11 Canal 2 12 Canal 3 13 Canal 4 24 Protection_ext 25 2) + 100 Ω Canal terre Schéma de connexion des sorties numériques (X2) IO 220 – 23 Écran Canal terre Canal 1 DO_V+ 3) X2 1 IL RL DO_0V Canal 2 2 Canal 3 3 Canal 4 4 Canal 5 5 Canal 6 6 Canal 7 7 Canal 8 8 Canal 9 14 Canal 10 15 Canal 11 16 Canal 12 17 Canal 13 18 Canal 14 19 Canal 15 20 Canal 16 21 DO_V+ 30 V DO_0V + 10 DO_V 9 – Écran Canal terre 33 Installation Affectation des broches X2 N° broche Description 1 sortie numérique, canal 1 2 sortie numérique, canal 2 3 sortie numérique, canal 3 4 sortie numérique, canal 4 5 sortie numérique, canal 5 6 sortie numérique, canal 6 7 sortie numérique, canal 7 8 sortie numérique, canal 8 9 référence à la terre pour les sorties numériques (DO_0V) 10 tension d’alimentation pour les sorties numériques (DO_V+, externe) 11 entrée numérique, canal 1 12 entrée numérique, canal 2 13 entrée numérique, canal 3 14 sortie numérique, canal 9 15 sortie numérique, canal 10 16 sortie numérique, canal 11 17 sortie numérique, canal 12 18 sortie numérique, canal 13 19 sortie numérique, canal 14 20 sortie numérique, canal 15 21 sortie numérique, canal 16 22 +24 V pour les entrées numériques 23 référence à la terre (0 V) pour les entrées numériques 24 entrée numérique, canal 4 25 entrée numérique, PROTECTION_EXTERNE 1) L’entrée requiert une borne flottante. 2) Le contrôle des entrées requiert une tension externe (p. ex., une sortie de contrôleur programmable). 3) La charge R L peut être un relais, une valve à solénoïde ou un témoin lumineux. La valeur max. actuelle dépend du nombre de facteurs et est décrite au chapitre ’Données techniques’, p. 8. 3 Assemblez le connecteur. 4 Préparez et connectez l’extrémité opposée du câble. 5 Connectez le câble au module IO 220 et serrez les vis de blocage du connecteur. 34 Installation Connexion des jauges à vide Les jauges suivantes peuvent être connectées au système à condition que le module IO 220 soit installé. Type de jauge Interface Connecteur PKR251/261 analogique X5, <TP GAUGE>, 6 broches non interne PBR260 analogique X5, <TP GAUGE>, 6 broches oui SP 220 1) TPR280/281 analogique X5, <TP GAUGE>, 6 broches non interne HPT100 RS485 X1, <SERIAL>, 9 broches oui SP 220 1) PPT100 RS485 X1, <SERIAL>, 9 broches non interne RPT100 RS485 X1, <SERIAL>, 9 broches non interne 1) Dégazage Alimentation électrique Le fonctionnement de ces jauges requiert une alimentation supplémentaire du type SP 220. AVIS Le type de jauges connectées au QME 220 est automatiquement identifié par le QME 220 après la séquence d’alimentation. Après un changement de jauges, l'alimentation 24 VCC du QME 220 doit être déconnectée du secteur. Elle peut être reconnectée au bout de 10 secondes. Cette procédure contraint le QME 220 (SP 220 [1]) à identifier à nouveau le type de jauge réellement connectée (’Fonctionnement’, p. 38). Les jauges compactes TPR et PKR peuvent être connectées à X5, <TP GAUGE>. VACUUM VACUUM DIG X5 5 2 1 2 3 TP GAUGE 2 3 24V= 4 6 4 3 24V= EMiSS 6 4 1 1 AL RI SE 5 RUN 6 5 /O AN AL O G LI ITA I/O Connexion des jauges analogiques LAN USB I/O Type de câble Utilisez uniquement les câbles et connecteurs répertoriés dans le manuel des jauges. Connexion des jauges numériques Les jauges HPT-, PPT- et RPT peuvent être connectées à X1, <SERIAL>. VACUUM VACUUM AN A /O LO LI G IT A I/O DIG X1 RI SE 2 24V= 3 TP GAUGE 24V= Type de câble 6 5 9 EMISS 1 RUN 6 AL 5 4 1 LAN USB I/O Utilisez uniquement les câbles et connecteurs répertoriés dans le manuel des jauges. 35 Installation Connexion de l’alimentation électrique supplémentaire Certaines jauges ont des besoins électriques élevés qui ne peuvent être satisfaits par l’alimentation QME 220 principale (SP 220 (1)). Dans cette situation, une seconde SP 220 (SP 220 (2)) est requise. AVERTISSEMENT Ne connectez pas les câbles secteur des deux alimentations SP 220 à la prise secteur pour le moment. VAC UUM VACUUM AN I/O AL O G L ITA I/O DIG TP GAUGE 24V= 2 24V= EMISS 1 RUN 6 3 L RIA SE 5 4 LAN USB I/O SP 220 (2) SP 220 (1) 36 Installation VACUUM VACUUM Analog I/O (X7) 24V= TP GAUGE EMISS 2 RUN 1 AL RI SE 6 3 24V= Entrées analogiques 4.9 /O AN AL O G LI ITA 5 4 Digital I/O (X2) G DI I/O Utilisation des interfaces analogique et numérique Lecture des valeurs de mesure, p. ex., pression, température, débit de gaz, etc. LAN USB I/O Sorties analogiques Valeurs de mesure, p. ex., courants d’ions, etc. Valeurs calculées, p. ex., concentrations , etc. Entrées numériques Contrôle logiciel, p. ex., séquences de mesure, etc. Sorties numériques Points de commutation Contrôle des vannes (ouverture/ fermeture) Installation des logiciels Description et installation de la suite logicielle QUADERA® (CD ROM). 37 Fonctionnement 5 Fonctionnement 5.1 Premier démarrage DANGER DANGER : Produits de nettoyage. Les produits de nettoyage peuvent être nocifs pour la santé et l'environnement. Respectez les règlements correspondants et prenez les précautions nécessaires lorsque vous manipulez les produits de nettoyage et que vous les mettez au rebut. Pensez aux réactions éventuelles avec les matériaux du produit. (Mise au rebut p. 56.) DANGER Vérifiez la bonne installation de tous les composants système et la conformité avec les données techniques avant de mettre l’équipement sous tension. 5.2 Avant le démarrage Avant de démarrer le système, vérifiez les éléments suivants : Le câble secteur de la SP 220 n’est pas connecté au secteur Installation correcte de tous les composants système et modules Bon état de la chambre à vide/de procédé Câblage correct des composants système Installation d’une liaison LAN-PC directe ou via le réseau PC prêt à être utilisé AVIS Consultez les instructions d’utilisation de tous les composants système impliqués avant de démarrer le système. Dans le cas de systèmes complets (configurés en usine), les réglages et paramètres ont été alignés de manière optimale. Ne les modifiez pas sans raison. DANGER DANGER : Tension d'alimentation. Les produits mis à la terre de manière incorrecte peuvent être extrêmement dangereux en cas de défaillance. Le connecteur d'alimentation ne peut être branché qu'à une prise munie d'une protection à la terre. La protection ne doit pas être annulée par l’utilisation d’une rallonge sans protection à la terre AVERTISSEMENT Vérifiez le vide dans le QMA 200 avant d’insérer la prise électrique de la SP 200. Conditions de vide requises : <10-4 mbar avec un détecteur de type Faraday <10-5 mbar avec un connecteur de type C-SEM Si vous utilisez la tête de jauge compacte connectée au QME 220 (IO 220), la prise d’alimentation peut être insérée sans que vous deviez vérifier les conditions de vide. Toutefois, n’activez pas l’émission et la tension du C-SEM avant que les limites supérieures n’aient été atteintes. Activez la surveillance PROT_EXT. 38 Fonctionnement Mise sous tension Une fois les vérifications ci-dessus effectuées, le système peut être mis sous tension. AVERTISSEMENT Vous pouvez uniquement activer et désactiver le QME 220 en branchant et en débranchant la prise d’alimentation de la SP 220. Le connecteur 24 VCC de la SP 220 doit toujours rester connecté au QME 220. AVIS Si deux alimentations électriques SP 220 sont utilisées, un distributeur secteur est recommandé. Procédure 1 Branchez les prises d’alimentation SP 220. REMARQUE La prise SP 220 [2] doit être mise sous tension en premier (dans le cas où un module IO 220 est installé et où des jauges sont utilisées et requièrent la deuxième SP 220). Le témoin <24 V=> du QME 220 s’allume. Le QMG 220 est prêt à être utilisé. 2 Après environ 10 secondes, le témoin <RUN> commence à clignoter à une fréquence de 2 Hz, indiquant que le micrologiciel interne du QME 220 est en cours d’exécution. 3 Mettez le PC sous tension et lancez le logiciel d'exploitation QUADERA®. La DEL clignotante du connecteur Ethernet dans le QME 220 (connecteur RJ45) indique que la communication des données est en cours. REMARQUE Si cette DEL reste éteinte, il faut soupçonner une erreur de communication entre le QMG 220 et le PC. Dans ce cas, vérifiez les câbles et les composants le long de la voie de communication. Vérifiez également que le PC est correctement configuré et installé (logiciel d’application, état du pare-feu, etc.). 4 Réalisez les procédures suivantes sous QUADERA®. (Aide en ligne du logiciel QUADERA®.) Configuration du système : QUADERA\Online Help\Cross-References from Manuals\#001. Premier démarrage (mise en service) : QUADERA\Online Help\Cross-References from Manuals\#002. Fonctionnement (mode mesure) : QUADERA\Online Help\Cross-References from Manuals\#003. 39 Maintenance 6 Maintenance 6.1 QMA 200 (Remplacement des filaments) ATTENTION Les filaments sont fournis sous forme d’unités préassemblées. Ils ne doivent être changés que par du personnel qualifié. Source d’ions HS Outils requis Matériel requis Clé plate AF 10 Pince à bec plat Tournevis taille 0 Clé à douille spéciale AF 3/3,2 Kit filament de remplacement Procédure Outil de montage 1 Débranchez toutes les connexions électriques du QME 220. 2 Séparez le QME 220 de l’analyseur en répétant les étapes décrites au ’Installation du QME 220’, p. 23 dans l’ordre inverse. 3 Retirez l’analyseur de la chambre à vide. 4 Placez l’analyseur dans l’outil de montage fourni. 5 Serrez les sections en U à l’aide de la pince à bec plat et desserrez les 3 vis de pression de sorte que les sections en U soient seulement maintenues en place par les vis de pression. 6 Retirez les 3 écrous. 7 Tirez soigneusement le kit filament vers le haut. 40 Maintenance 8 Mettez au rebut le kit filament usagé. 9 Retirez le kit filament de remplacement de sa boîte de transport. AVERTISSEMENT Ne touchez pas le filament, même si vous portez des gants. 10 Montez le filament de remplacement sur la source d’ions. Faites glisser le kit filament vers les vis de pression de sorte que la plaque du kit filament soit parallèle à la plaque de la source d’ions. ATTENTION Ne tordez pas le kit filament ; vous risqueriez de déformer la chambre d’ionisation. 11 Montez les 3 écrous sur les vis de pression et serrez-les avec la clé à douille spéciale. 12 Serrez les sections en U à l’aide de la pince à bec plat, introduisez les connexions électriques du filament latéralement, au niveau des sections en U, et serrez les vis de pression. 13 Réassemblez le produit (1 … 4) en suivant les étapes dans l’ordre inverse. Source d’ions HS fermée Outils requis Matériel requis Clé plate AF 10 Pince à bec plat Tournevis taille 0 Clé à douille spéciale AF 3/3,2 Kit filament de remplacement Procédure Outil de montage 41 Maintenance 1 Débranchez toutes les connexions électriques du QME 220. 2 Séparez le QME 220 de l’analyseur en répétant les étapes décrites au ’Installation du QME 220’, p. 23 dans l’ordre inverse. 3 Retirez l’analyseur de la chambre à vide. 4 Placez l’analyseur dans l’outil de montage fourni. 5 Retirez le tube en céramique (ressort inclus) de la source d’ions en le tournant dans le sens des aiguilles d’une montre tout en le tirant. 6 Serrez les sections en U à l’aide de la pince à bec plat et desserrez les 3 vis de pression de sorte que les sections en U soient seulement maintenues en place par les vis de pression. 7 Retirez les 3 écrous. 8 Tirez soigneusement le kit filament vers le haut. 9 Mettez au rebut le kit filament usagé. 10 Retirez le kit filament de remplacement de sa boîte de transport. AVERTISSEMENT Ne touchez pas le filament, même si vous portez des gants. 11 Montez le filament de remplacement sur la source d’ions. Faites glisser le kit filament vers les vis de pression de sorte que la plaque du kit filament soit parallèle à la plaque de la source d’ions. ATTENTION Ne tordez pas le kit filament ; vous risqueriez de déformer la chambre d’ionisation. 12 Montez les 3 écrous sur les vis de pression et serrez-les avec la clé à douille spéciale. 13 Serrez les sections en U à l’aide de la pince à bec plat, introduisez les connexions électriques du filament latéralement, au niveau des sections en U, et serrez les vis de pression. 14 Réinstallez le tube en céramique (ressort inclus) sur la source d’ions en le tournant dans le sens des aiguilles d’une montre tout en le poussant. 15 Réassemblez le produit (étapes 1 … 4, en suivant les étapes dans l’ordre inverse). 42 Maintenance Source d’ions à faisceau croisé Outils requis Matériel requis Clé plate AF 10 Pince à bec plat Tournevis taille 0 Clé à douille spéciale AF 3/3,2 Kit filament de remplacement Procédure Outil de montage 1 Débranchez toutes les connexions électriques du QME 220. 2 Séparez le QME 220 de l’analyseur en répétant les étapes décrites au ’Installation du QME 220’, p. 23 dans l’ordre inverse. 3 Retirez l’analyseur de la chambre à vide. 4 Placez l’analyseur dans l’outil de montage fourni. 5 Desserrez les vis des contacts du filament et retirez les sections en U. AVIS Serrez les sections en U à l’aide de la pince à bec plat tout en desserrant les vis de pression afin de contrer le couple appliqué avec le tournevis. 6 Desserrez et retirez l’écrou de maintien. 7 Retirez soigneusement l’ancien kit filament de même que l’isolation avec manchon de céramique. AVIS Ne retirez pas la rondelle rectangulaire. 8 Mettez au rebut le kit filament usagé. 9 Ouvrez le tube d’emballage, retirez le kit filament de remplacement après avoir retiré l’écrou de retenue. 43 Maintenance 2 kits filament de remplacement AVERTISSEMENT Ne touchez pas le filament, même si vous portez des gants. 10 Placez soigneusement le nouveau kit filament sur la source d’ions. 11 Assurez-vous que le manchon en céramique et la rondelle rectangulaire sont correctement positionnés et serrez l’écrou de maintien. AVIS Le wehnelt et le filament doivent maintenant être à la bonne hauteur et parallèles à la chambre de formation. Si ce n’est pas le cas, l’une des pièces n’est pas correctement placée ou dimensionnée. 12 Placez les deux sections en U avec les vis de pression sur les extrémités du connecteur et les câbles d’alimentation. 13 Serrez les sections en U à l’aide de la pince à bec plat tout en serrant les vis. AVIS Usez d’aussi peu de force que possible sur les extrémités du connecteur du filament afin de ne pas endommager les parties en céramique. 14 Vérifiez que le filament est parallèle à la chambre de formation. Si nécessaire, alignez-le. 15 Réassemblez le produit (1 … 4, en suivant les étapes dans l’ordre inverse). 44 Maintenance Source d’ions à grille Outils requis Matériel requis Petite pince Tournevis taille 0 Filament de remplacement Procédure Outil de montage 1 Débranchez toutes les connexions électriques du QME 220. 2 Séparez le QME 220 de l’analyseur en répétant les étapes décrites au ’Installation du QME 220’, p. 23 dans l’ordre inverse. 3 Retirez l’analyseur de la chambre à vide. 4 Placez l’analyseur dans l’outil de montage fourni. 5 Desserrez et retirez les 3 vis maintenant le filament. 6 Pliez légèrement les câbles d’alimentation. 7 Retirez et mettez au rebut le filament usagé. 8 Ouvrez la boîte contenant le filament de remplacement. Sortez soigneusement le nouveau filament en utilisant la petite pince et en le prenant par la patte de connexion centrale. AVERTISSEMENT Ne touchez pas le filament, même si vous portez des gants. 9 Placez le nouveau filament sur le support de filament. 45 Maintenance AVIS Les trous des pattes de connexion doivent être exactement alignés au-dessus des entailles. ATTENTION Ne pliez pas le filament. 10 Poussez les boucles des câbles d’alimentation au-dessus des entailles en veillant à ne pas déplacer les pattes de connexion du filament. 11 Mettez les 3 vis en place et serrez-les soigneusement. 12 Réassemblez le produit (étapes 1 … 4, en suivant les étapes dans l’ordre inverse). Courts-circuits et défaillances de mise à la terre dans l’analyseur AVIS Les courts-circuits et défaillances de mise à la terre à l'intérieur de l'analyseur peuvent être détectés et réparés à l'aide d'un ohmmètre ou d'un contrôleur de continuité. L’illustration et le tableau suivants présentent l’affectation des broches du connecteur QMA 200 : 12 1 2 11 10 3 13 9 4 8 5 7 46 13 broches, mâle 6 N° broche Description N° broche Description 1 Réserve 8 RF – 2 Extr 9 Terre 3 Mise au point 10 Terre 4 HT – 11 RF + 5 Filament 1 12 Commun, filament 6 Filament 2 13 EP 7 Anode Maintenance 6.2 QME 220 Nettoyage AVERTISSEMENT N'oubliez pas de procéder au nettoyage, même si l’appareil est installé de telle sorte que la contamination est peu visible. AVIS Aucun liquide ne doit couler dans l’appareil. N’utilisez pas l’appareil avant qu’il ne soit complètement sec. DANGER Déconnectez l’alimentation 24 V (SP 220) du QME 220 de la source électrique secteur avant de procéder au nettoyage humide. Assurez-vous de ne pas mouiller les connecteurs. Pour nettoyer le boîtier, utilisez uniquement un chiffon légèrement humidifié avec de l’eau et éventuellement du liquide vaisselle. N'utilisez pas de produits de nettoyage agressifs ou corrosifs. Remplacement de la natte filtrante La natte filtrante au niveau de l’arrivée d’air doit être nettoyée en cas d’accumulation d’une couche de poussière. Utilisez un aspirateur pour nettoyer la natte filtrante. En cas d’encrassement important de la natte filtrante, il est recommandé de la remplacer : Tournevis Torx T10 Outils requis Matériel requis Natte filtrante de remplacement Procédure 1 Débranchez l’alimentation SP 220 du secteur. Débranchez toutes les connexions électriques du QME 220. 2 Séparez le QME 220 de l’analyseur en répétant les étapes décrites au ’Installation du QME 220’, p. 23 dans l’ordre inverse. 3 Placez le QME 220 sur une base stable afin de pouvoir travailler sur le panneau avant. AVIS Si un module IO 220 est installé, déconnectez-le du QME 220 tel que décrit page. 47 Maintenance 4 Desserrez les vis 1 … 4 et retirez le panneau avant. 1 4 2 3 5 Remplacez la natte filtrante. AVIS Mettez l’ancienne natte filtrante au rebut. Si elle est contaminée, respectez le règlement en vigueur (’Mise au rebut’, p. 56). 6 Réassemblez le produit (étapes 1 … 4 en suivant les étapes dans l’ordre inverse). Réglage du générateur RF Le circuit RF doit être réglé: lors de la première mise en service de l'appareil, lors d'un changement d'analyseur (passage de Faraday à C-SEM, notamment) ou lors de l'affichage d'un message d'erreur correspondant sur l'écran. Un réglage correct assure une précision optimale des mesures sur la plage de masse totale. Par conséquent, une vérification annuelle du réglage est recommandée. Taille de tournevis 1 … 2, de préférence avec une pointe isolée. Outils requis Procédure 1 Retirez le petit capuchon sur le côté du QME 220. Ce trou donne accès à la vis de réglage. 2 Sélectionnez la fonction appropriée dans QUADERA®: QUADERA\Online Help\Cross-References from Manuals\#007. 3 Suivez les instructions du logiciel. 4 Positionnez la vis de réglage TUNE-VOLTAGE pour une tension minimale. 48 Maintenance AVIS Serrez soigneusement ; aucune force n’est requise. Ne serrez pas complètement la vis de réglage et ne l’enlevez pas complètement. Optimisation de la sensibilité de la source d’ions La sensibilité de la source d’ions doit être optimisée lors de la première mise en service de l’appareil ou après un changement de filament. Procédure 1 Sélectionnez la fonction appropriée dans QUADERA®: QUADERA\Online Help\Cross-References from Manuals\#006. 2 Suivez les instructions du logiciel. 3 Enregistrez les paramètres et les données. Remplacement du QME 220 Si le QME 220 ou le QMA 200 doivent être remplacés, suivez la procédure d’installation initiale. Procédure 1 Installation du QME 220, ’Installation du QME 220’, p. 23. 2 Connexion du QME 220, ’Connexion du QME 220’, p. 27. 3 Réglage du générateur RF, ’Réglage du générateur RF’, p. 48. 4 Optimisation de la sensibilité de la source d’ions, ’Optimisation de la sensibilité de la source d’ions’, p. 49. 49 Accessoires 7 Accessoires Référence de commande 50 Clé à douille spéciale AF 3/3,2 BK 370 096 Kit de vis (25 pièces) PF 505 001 -T Joint en cuivre DN 40 CF (10 pièces) PF 501 404 -T Outil de montage QMA 200 BG 444 456 Câble de connexion torsadé non blindé, 3 m, 1:1, gris 45-0006 Câble de connexion torsadé non blindé, 3 m, croisé, rouge 45-0007 Options 8 Options Référence de commande Module E/S IO 220 complet PT M28 699 51 Pièces de rechange 9 Pièces de rechange Lors de la commande de pièces de rechange, indiquez toujours : QMA 200 PT M25 250 PT M25 251 PT M25 252 PT M25 253 PT M25 254 PT M25 255 PT M25 256 PT M25 257 PT M25 261 PT M25 270 PT M25 271 PT M25 272 PT M25 273 PT M25 274 PT M25 275 PT M25 276 PT M25 277 PT M25 278 PT M25 282 PT M25 283 PT M25 285 PT M25 286 PT M25 290 PT M25 291 PT M25 292 PT M25 293 PT M25 294 PT M25 295 PT M25 296 PT M25 297 Référence de commande source d’ions BN 846 137 -T BN 846 279 -T BN 846 137 -T BN 846 279 -T BN 846 137 -T BN 846 280 -T BN 846 450 -T BN 846 280 -T BN 846 279 -T BN 846 137 -T BN 846 279 -T BN 846 137 -T BN 846 279 -T 449-027 BN 846 280 -T 449-028 BN 846 280 -T BN 846 279 -T BN 846 450 -T BN 846 450 -T BN 528 370 -T BN 528 370 -T BG 444 000 -T BG 444 000 -T 450-401 BG 444 000 -T BG 444 000 -T 450-401 BG 444 000 -T BG 444 000 -T toutes les informations figurant sur la plaque signalétique du produit, la description et la référence de commande mentionnées sur la liste des pièces de rechange. Référence de commande filament BN 846 138 -T BN 846 139 -T BN 846 138 -T BN 846 139 -T BN 846 138 -T BN 846 281 -T BN 846 395 -T BN 846 281 -T BN 846 139 -T BN 846 138 -T BN 846 139 -T BN 846 138 -T BN 846 139 -T BN 846 281 -T BN 846 281 -T BN 846 395 -T BN 846 281 -T BN 846 139 -T BN 846 395 -T BN 846 395 -T BN 845 291 -T BN 845 291 -T BN 845 088 -T PT 160 000 -T BN 846 138 -T BN 845 282 -T PT 160 000 -T BN 846 138 -T 499-036 BN 845 088 -T Légende : Matériau filament Ir W Ir W Ir W Ir W W Ir W Ir W W W Ir Ir W Ir Ir W W W W Ir Ir W Ir Ir W Détecteur : Filaments : Données techniques supplémentaires : C-SEM Alimentation 24 VCC, SP 220 Natte filtrante (10 pièces) Petites pièces diverses QMA 200 52 Détecteur F F C C C C C F C F F C C C C C C C C C C C C C C C C C C C Données techniques supplémentaires IS ouverte IS ouverte IS ouverte IS ouverte Mo-W fermée fermée fermée Mo-W 300 °C 300 °C 300 °C 300 °C fermée, speciale . fermée, 300 °C fermée, speciale . fermée, speciale ., Mo-W fermée, speciale ., Mo-W fermée, Mo-W fermée G-IS G-IS, 300 °C [0,15] CB-IS (IS sans filament) [0,13] CB-IS (IS sans filament) réglable [0,15] CB-IS, 300 °C (IS sans filament) [0,13] CB-IS, 300 °C (IS sans filament) réglable, 300 °C CB-IS, rotation 90°, (IS sans filament) [0,15] CB-IS, 300 °C (IS sans filament) F C W Ir […] = = = = = Faraday C-SEM Tungstène Iridium, yttrié Diamètre du filament en mm IS Mo-W spéc. CB-IS G-IS = = = = = Source d'ions Fils en molybdène Diamètre de l’orifice d’extraction 2 mm Source d’ions à faisceau croisé Source d’ions à grille Référence de commande BN 846 182 -T PT 160 200 BN 846 231 -T BN 846 279 -T Stockage 10 Stockage ATTENTION Attention : Composant électronique. Un stockage inapproprié (électricité statique, humidité, etc.) peut endommager les composants électroniques. Stockez le produit dans un sac ou un contenant antistatique. Respectez les caractéristiques correspondantes dans les Données techniques. 53 Retour du produit 11 Retour du produit AVERTISSEMENT AVERTISSEMENT : Transfert de produits contaminés. Les produits contaminés (p. ex., radioactifs, toxiques, caustiques ou présentant un risque biologique) peuvent être nocifs pour la santé et l'environnement. Les produits retournés à Pfeiffer Vacuum doivent de préférence être dépourvus de substances nuisibles. Respectez tous les règlements liés au transfert des pays impliqués et entreprises de transfert et joignez à votre envoi une déclaration dûment complétée concernant la contamination. Les produits qui ne sont pas clairement déclarés comme « dépourvus de substances nuisibles » seront décontaminés aux frais du client. Les produits non accompagnés d’une déclaration dûment complétée concernant la contamination seront renvoyés à l’expéditeur aux frais de ce dernier. 1) 1) Disponible sous service au www.pfeiffer-vacuum.com. AVERTISSEMENT Remettez en place les dispositifs de sécurité pour le transport avant d’envoyer le produit. 54 Service 12 Service Pfeiffer Vacuum propose un service de première classe ! Changement sur site des fluides de fonctionnement et des paliers par le service sur le terrain de Pfeiffer Vacuum Maintenance / réparation dans le centre de service proche Remplacement rapide avec un échange de produits en état exceptionnel Conseils sur la solution la plus économique et la plus rapide Informations détaillées, adresses et formulaires à : www.pfeiffer-vacuum.com (Service). Maintenance et réparations au centre de services de Pfeiffer Vacuum Les étapes suivantes sont nécessaires pour garantir un processus de service rapide et impeccable : 1 Téléchargez les formulaires « Service Request » (Demande de service) et « Declaration of Contamination » (Déclaration de contamination).1) 2 Remplissez le formulaire « Service Request » (Demande de service) et envoyez-le par télécopie ou par e-mail à votre adresse de service. 3 Incluez la confirmation de la demande de services provenant de Pfeiffer Vacuum avec votre expédition. 4 Remplissez la Déclaration de contamination et incluez-la avec l'expédition (obligatoire !). 5 Détachez tous les accessoires. 6 Dans la mesure du possible, expédiez l'appareil dans l'emballage d'origine. Envoi de pompes ou appareils contaminés Aucun appareil ne sera accepté s'il est contaminé par des substances microbiologiques, explosives ou radioactives. Les « substances dangereuses » sont des substances et composés correspondant à la directive sur les biens dangereux (version actuelles). Si des appareils sont contaminés ou que la déclaration de contamination est manquante, Pfeiffer Vacuum effectuera la décontamination aux frais de l'expéditeur. 1 Neutralisez l'appareil en le rinçant avec de l'azote ou de l'air sec. 2 Fermez hermétiquement toutes les ouvertures. 3 Scellez l'appareil dans un film protecteur adapté. 4 Retournez l'appareil uniquement dans un conteneur de transport adapté et robuste et envoyez-le selon les conditions de transport en vigueur. Appareil de remplacement Les paramètres de fonctionnement d'usine sont toujours prédéfinis sur les appareils de remplacement. Si vous utilisez des paramètres modifiés pour votre application, vous devrez les définir à nouveau. Commandes de service Toutes les commandes de service sont exécutées exclusivement selon nos conditions de réparation pour les appareils et composants de vide. 1) Formulaires à www.pfeiffer-vacuum.com 55 Mise au rebut 13 Mise au rebut DANGER DANGER : Pièces contaminées. Les pièces contaminées peuvent être nocives pour la santé et l'environnement. Avant de commencer le travail, déterminez si des pièces sont contaminées. Respectez les règlements en vigueur et prenez les précautions nécessaires lors de la manipulation des pièces contaminées. AVERTISSEMENT AVERTISSEMENT : Substances nocives pour l'environnement. Les produits ou pièces des produits (composants mécaniques et électriques, fluides de fonctionnement, etc.) peuvent être nocifs pour l'environnement. Mettez ces substances au rebut conformément aux règlements locaux en vigueur. Tri des composants Après le démontage du produit, triez ses composants conformément aux critères suivants : Composants contaminés Les composants contaminés (radioactifs, toxiques, caustiques ou présentant un risque biologique, etc.) doivent être décontaminés conformément aux règlements nationaux en vigueur, triés selon leurs matériaux et mis au rebut. Autres composants Ces composants peuvent être triés selon leurs matériaux et recyclés. 56 Déclaration de conformité Déclaration pour produit(s) du type : Système de spectrométrie de masse compact QMG 220 PrismaPlus® Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européen­ nes suivantes. Basse tension 2014/35/CE Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses, directive déléguée 2015/863/UE Normes harmonisées et normes nationales appliquées: EN 61010-1:2010 EN 61326-1:2013 CISPR 11 group 1, class A FCC, title 47 CFR, part 18, class A RoHS: Entièrement conforme Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (Daniel Sälzer) Directeur général Asslar, 2022-02-01 UN SEUL FOURNISSEUR DE SOLUTIONS DE VIDE Dans le monde entier, Pfeiffer Vacuum est reconnu pour ses solutions de vide innovantes et adaptées, son approche technologique, ses conseils et la fiabilité de son service. UNE LARGE GAMME DE PRODUITS Du composant au système complexe, nous sommes votre seul fournisseur de solutions de vide offrant une gamme complète de produits. UN SAVOIR FAIRE THÉORIQUE ET PRATIQUE Profitez de notre savoir-faire et de nos offres de formation ! Nous vous assistons pour concevoir vos installations, grâce à un service de proximité de première qualité dans le monde entier. Êtes-vous à la recherche d'une solution de vide dédiée à vos besoins ? Contactez-nous : Pfeiffer Vacuum GmbH Headquarters T +49 6441 802-0 info@pfeiffer-vacuum.de Pfeiffer Vacuum SAS, France T +33 (0) 4 50 65 77 77 info@pfeiffer-vacuum.fr www.pfeiffer-vacuum.com ">
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