Pfeiffer CNR 36x - Capacitive gauge Mode d'emploi

MANUEL DE L'UTILISATEUR
FR
Traduction d'original
CNR 36X
Jauge capacitive
Cher client,
Nous vous remercions d’avoir opté pour un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouvelle jauge a
été conçue pour vous donner entière satisfaction pour votre application, de par sa conception
rigoureuse et son parfait fonctionnement. La marque Pfeiffer Vacuum, synonyme de
techniques du vide performantes, se décline en une gamme exhaustive et variée de produits
de grande qualité, assortis d’un service client irréprochable. Forts de cette expérience
pratique étendue, nous avons compilé une multitude d’informations qui peuvent contribuer à
une implémentation efficace et à votre sécurité personnelle.
Sachant que notre produit doit vous permettre d’éviter des arrêts de production coûteux,
nous sommes confiants qu’il pourra vous offrir une solution pour une implémentation efficace
et fiable de votre application individuelle.
Veuillez lire ce manuel de l'utilisateur avant de mettre votre produit en service pour la
première fois. Si vous avez des questions ou suggestions, n’hésitez pas à nous contacter par
e-mail à l’adresse info@pfeiffer-vacuum.de.
Vous trouverez d’autres manuels de l'utilisateur de Pfeiffer Vacuum dans le Centre de
téléchargement sur notre site Internet.
Exclusion de responsabilité
Ce manuel de l’utilisateur décrit l’ensemble des modèles et variantes de votre produit.
Veuillez noter qu’il est possible que votre produit ne dispose pas de toutes les
caractéristiques d’équipement décrites dans ce document. Pfeiffer Vacuum adapte en
permanence et sans avis préalable ses produits afin qu’ils soient à la fine pointe de la
technologie. Veuillez prendre en compte qu’il y avoir des divergences entre le manuel de
l’utilisateur en ligne et la manuel de l’utilisateur imprimé fourni avec votre produit.
En outre, Pfeiffer Vacuum décline toute responsabilité ou obligation pour tout dommage
résultant de l’utilisation du produit en contradiction avec son utilisation conforme à l’usage
prévu ou en cas d’utilisation explicitement définie comme étant une mauvaise utilisation
prévisible.
Droits d’auteur (Copyright)
Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce
document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits
ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations
contenues dans ce document.
2/44
Table des matières
Table des matières
1
Au sujet de ce manuel
1.1 Validité
1.1.1 Documents applicables
1.1.2 Variantes
1.2 Groupe cible
1.3 Conventions
1.3.1 Instructions dans le texte
1.3.2 Pictogrammes
1.3.3 Étiquettes sur le produit
1.3.4 Abréviations
1.4 Preuve de marque déposée
7
7
7
7
8
8
8
8
8
9
9
2
Sécurité
2.1 Information générale sur la sécurité
2.2 Consignes de sécurité
2.3 Mesures de sécurité
2.4 Limites d’utilisation du produit
2.5 Utilisation conforme
2.6 Utilisations non conformes prévisibles
2.7 Responsabilité et garantie
2.8 Conditions opérateur
2.9 Qualification personnelle
2.9.1 Garantissez la qualification du personnel
2.9.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation
2.9.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum
2.10 Conditions opérateur
10
10
10
13
14
14
14
14
14
15
15
15
16
16
3
Description du produit
3.1 Fonction
3.2 Bouton et affichage de l’état
3.3 Fonctions logiques
3.4 Identification du produit
3.5 Étendue de la livraison
17
17
17
17
18
18
4
Transport et stockage
4.1 Transport du produit
4.2 Stockage du produit
19
19
19
5
Installation
5.1 Raccord à vide
5.2 Raccordement électrique
20
20
22
6
Fonctionnement
6.1 Modes de fonctionnement
6.2 Conversion du signal de mesure et de la pression
6.3 Réglage des valeurs seuils
24
24
24
25
7
Démontage
27
8
Maintenance
8.1 Nettoyage des composants
8.2 Calibration de la jauge
8.2.1 Exécution du calibrage du point zéro avec le bouton « zéro »
8.2.2 Calibration point zéro avec le bouton « zero » (zéro) et la fonction
de rampe
8.3 Chargement des réglages-usine
29
29
30
31
32
32
3/44
Table des matières
4/44
9
Expédition
34
10
Recyclage et mise au rebut
10.1 Informations générales sur la mise au rebut
10.2 Mise au rebut des jauges
35
35
35
11
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
36
12
Accessoires
12.1 Informations sur l’accessoire
12.2 Commande d’accessoires
38
38
38
13
Caractéristiques techniques et dimensions
13.1 Généralités
13.2 Fiche technique
13.3 Dimensions
39
39
39
40
Certification ETL
41
Déclaration de conformité CE
42
Déclaration de Conformité UK
43
Liste des tableaux
Liste des tableaux
Tab. 1:
Tab. 2:
Tab. 3:
Tab. 4:
Tab. 5:
Tab. 6:
Tab. 7:
Tab. 8:
Tab. 9:
Tab. 10:
Tab. 11:
Documents applicables
Variantes CNR 36x avec filtre commande P
Abréviations utilisées
Conditions ambiantes autorisées
Diodes électroluminescentes
Constantes de conversion du signal de mesure et de la pression
Écart du signal de sortie entre la position verticale et la position horizontale
Pression limite recommandée pour le calibrage du point zéro
Tableau de conversion : Unités de pression
Tableau de conversion : Unités de débit du gaz
Fiche technique CNR 36x
7
7
9
14
24
25
30
31
39
39
40
5/44
Liste des figures
Liste des figures
Fig. 1:
Fig. 2:
Fig. 3:
Fig. 4:
Fig. 5:
Fig. 6:
Fig. 7:
Fig. 8:
Fig. 9:
Fig. 10:
Fig. 11:
Fig. 12:
Fig. 13:
6/44
Bouton et LED
Contacts de relais dépendants des points de commutation
Raccord à vide
Schéma de raccordement
Prise de câble D-sub
Câble de mesure
Relation entre le signal de mesure et la pression
Utiliser le bouton « SP » pour la sélection du mode de fonction logique
Utiliser le bouton « zéro » pour régler la valeur seuil
Calibrage du point zéro avec le bouton « zéro »
Calibrage du point zéro avec le bouton « zéro »
Utilisez le bouton « zéro » pour charger les paramètres d'usine
Dimensions
17
17
21
22
23
23
24
25
26
31
32
33
40
Au sujet de ce manuel
1 Au sujet de ce manuel
IMPORTANT
À lire attentivement avant utilisation.
Gardez le manuel pour pouvoir le consulter ultérieurement.
1.1
Validité
Ce document décrit la fonction des produits de la liste suivante et contient les informations les plus importantes pour une utilisation sécurisée. La description est rédigée conformément aux directives en vigueur. Les informations contenues dans ce document correspondent à l’état de développement actuel
des produits. Le document conserve sa validité à condition que le client n’apporte aucune modification
au produit.
1.1.1
Documents applicables
Désignation
Document
CenterOne | CenterTwo | CenterThree « Unité de commande et
de mesure de la pression totale »
BG 5044
Déclaration de conformité
Un composant de ce manuel de
l’utilisateur
Tab. 1:
Documents applicables
Vous trouverez ces documents dans le Centre de téléchargement Pfeiffer Vacuum.
1.1.2
Variantes
Ce document s’applique aux produits suivants :
Variante
Type
Bride/raccord
Connecteur
Interface
FS
PT T
20 = 25 °C
13 = DN 16 ISO-KF
31 = DN 16 CF-R
43 = 8 VCR, femelle
22 = Filetage 1/2”
6 = D-Sub, 15 broches
22 = Analogique 0 à 10 V, relais
SP
1 = 1 000 Torr
2 = 100 Torr
3 = 10 Torr
4 = 1 Torr
5 = 0,1 Torr
6 = 500 Torr
7 = 200 Torr
8 = 50 Torr
9 = 20 Torr
0 = 2 Torr
a = 0,5 Torr
b = 0,25 Torr
Tab. 2:
Variantes CNR 36x avec filtre commande P
Vous trouverez le numéro de la pièce sur la plaque signalétique du produit.
Pfeiffer Vacuum se réserve le droit d'apporter des modifications techniques sans préavis.
Les informations concernant un seul des produits sont indiquées comme telles.
Les figures de ce document ne sont pas à l’échelle.
Les figures représentent le produit avec un raccord vide DN 16 ISO-KF. Elles s'appliquent cependant
aussi aux autres raccords vides sous réserve de compatibilité.
Les dimensions sont fournies en mm, sauf avis contraire.
7/44
Au sujet de ce manuel
1.2
Groupe cible
Ce manuel de l’utilisateur cible toutes les personnes effectuant les activités suivantes sur le produit :
●
●
●
●
●
●
Transport
Configuration (installation)
Utilisation et fonctionnement
Mise hors service
Maintenance et nettoyage
Stockage ou mise au rebut
Seules les personnes avec les qualifications techniques appropriées (personnel expert) ou ayant reçu
la formation pertinente de Pfeiffer Vacuum sont autorisées à effectuer le travail décrit dans ce document.
1.3
Conventions
1.3.1
Instructions dans le texte
Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à
réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes.
Action unique
Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape.
► Il s'agit d’une étape unique.
Action en plusieurs étapes
Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique.
1. Étape 1
2. Étape 2
3. ...
1.3.2
Pictogrammes
Les pictogrammes utilisés dans ce document indiquent des informations utiles.
Remarque
Conseil
Portez des gants de laboratoire
Contrôlez visuellement
1.3.3
Étiquettes sur le produit
Ce paragraphe décrit toutes les étiquettes sur le produit ainsi que leur signification.
8/44
Au sujet de ce manuel
Mod.
P/N
ID
S/N
Input
Mod.
P/N
ID
S/N
Input
1.3.4
3103457
Range xxxx Torr
Made in Liechtenstein 2024/12
3103457
Range xxxx Torr
Made in Liechtenstein 2024/12
Abréviations
Abréviation
Explication
CA
Courant alternatif (CA)
OD
Analogique/Numérique
ATM
Atmosphère
c
Constante de conversion du signal de mesure et de la pression
CC
Courant continu
CEM
Compatibilité électromagnétique
FKM
Caoutchouc fluoré
FS
Gamme de mesure max. (échelle max.)
GND
Masse
HV
Vide élevé
LPS
Source de puissance limitée
MSL
Niveau moyen de la mer
n.o.
Normalement ouvert
p
Pression
PE
Terre de protection (conducteur de protection)
TBTP
Très basse tension de protection
PDC
Point de consigne
U
Signal de mesure [V] (tension de sortie)
V
Volt
Tab. 3:
1.4
CNR 36x
2000123456
PT T20 136 22x
DExxxxxxxxxxx
14 ... 30 V DC 1 W LPS
CNR 36x
2000123456
PT T20 136 22x
DExxxxxxxxxxx
14 ... 30 V DC 1 W LPS
Plaque signalétique
La plaque signalétique est
située sur le
côté de l’unité.
Abréviations utilisées
Preuve de marque déposée
● VCR® est une marque déposée de Swagelok Company.
9/44
Sécurité
2 Sécurité
2.1
Information générale sur la sécurité
Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit :
DANGER
Danger immédiat
Indique un danger imminent causant la mort ou de graves blessures s’il est ignoré.
► Instructions pour éviter la situation dangereuse
AVERTISSEMENT
Danger potentiel
Indique un danger pouvant causer la mort ou de graves blessures s’il est ignoré.
► Instructions pour éviter la situation dangereuse
ATTENTION
Danger potentiel
Indique un danger pouvant causer des blessures bénignes s’il est ignoré.
► Instructions pour éviter la situation dangereuse
AVIS
Risque de dommages matériels
Est utilisé pour signaler des actions qui ne sont pas associées à des blessures.
► Instructions pour éviter les dommages matériels
Les notes, les conseils ou les exemples correspondent à des remarques importantes sur le
produit ou sur ce document.
2.2
Consignes de sécurité
Consignes de sécurité selon les étapes de la vie du produit
Toutes les consignes de sécurité de ce document sont basées sur les résultats d’une évaluation des risques. Pfeiffer Vacuum a pris en compte toutes les étapes pertinentes de la
vie du produit.
Risques pendant l’installation
DANGER
Danger de mort en raison des tensions de contact dangereuses
Les tensions supérieures à 30 V (CA) ou 60 V (CC) sont considérées comme dangereuses selon la
norme EN 61010. Un contact avec une tension de contact dangereuse entraîne un risque de blessures ou un danger de mort par choc électrique.
► Raccordez le produit seulement aux appareils qui remplissent les critères suivants :
● Conditions de tension extra-basse de protection de terre (PELV)
● Source de puissance limitée (LPS) classe 2
► Fixez la ligne sur le produit.
– Les équipements de contrôle et de mesure Pfeiffer Vacuum remplissent ces conditions.
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Sécurité
DANGER
Danger de mort par électrocution
Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie.
► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé.
► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. (Les raccordement CF et VCR remplissent ces conditions.)
► Utilisez des anneaux de centrage et des circlips à couche conductrice pour les raccordements
KF.
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement dû au rejet de gaz toxiques
Les contraintes mécaniques, chimiques ou thermiques élevées provoquent des fuites au niveau du
capteur. Dans les traitements impliquant des fluides toxiques, il existe un risque de blessure, voire de
mort par empoisonnement à cause des fuites de gaz en cas de surpression du système de vide.
► Prévenez la formation de toute contrainte mécanique, chimique ou thermique élevée.
► Prévenez la formation de surpressions dans le système de vide.
► Prenez les mesures appropriées de façon à prévenir les risques et dommages provoqués par la
fuite de fluides de traitement, comme une interruption d'alimentation en gaz, une évacuation ou
un test de fuite.
Risques pendant le fonctionnement
AVERTISSEMENT
Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide
L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide
peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant
être également toxique.
Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des
pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique.
► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide.
► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression.
► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un
anneau de serrage).
► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur.
Risques pendant le démontage
DANGER
Danger de mort par électrocution
Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie.
► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé.
► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. (Les raccordement CF et VCR remplissent ces conditions.)
► Utilisez des anneaux de centrage et des circlips à couche conductrice pour les raccordements
KF.
11/44
Sécurité
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide
L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide
peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant
être également toxique.
Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des
pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique.
► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide.
► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression.
► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un
anneau de serrage).
► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur.
Risques pendant la maintenance
DANGER
Danger de mort dû au choc électrique causé par la pénétration d’humidité
La pénétration d’eau dans l’unité cause des blessures aux personnes par chocs électriques.
► Utilisez seulement l’unité dans un environnement sec.
► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité.
► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, contactez Pfeiffer Vacuum Service.
► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité.
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
AVERTISSEMENT
Risques pour la santé dus aux agents nettoyants
Les détergents utilisés peuvent nuire à la santé et causer un empoisonnement, des allergies, une irritation de la peau, des brûlures chimiques ou endommager les voies respiratoires.
► Respectez les réglementations en vigueur pour la manipulation des agents nettoyants.
► Respectez les mesures de sécurité concernant la manipulation et la mise au rebut des agents
nettoyants.
► Attention aux réactions potentielles avec les matériaux du produit.
12/44
Sécurité
Risques liés à l’expédition
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement par produits contaminés
L’expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la santé et la sécurité du personnel de maintenance.
► Conforme aux avis pour une livraison en toute sécurité.
Risques pendant la mise au rebut
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
2.3
Mesures de sécurité
Le produit est conçu sur la base des technologies les plus récentes et des règles techniques de sécurité reconnues. Cependant, une utilisation incorrecte peut présenter un risque de blessure ou un danger
de mort pour l'opérateur et toute autre personne, ainsi qu'un risque de dommages matériels sur le produit et autres.
Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels
Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit.
Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du
produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document.
Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit
La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit
d'origine ou installe un équipement supplémentaire
● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le
cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives
européennes applicables avant de mettre en service ce système.
Mesures de sécurité générales lors de la manipulation du produit
► Respectez toutes les dispositions de sécurité et de prévention des accidents en vigueur.
► Contrôlez régulièrement que toutes les mesures de sécurité sont respectées.
► Les consignes de sécurité doivent être transmises aux autres utilisateurs.
► N'exposez aucune partie du corps au vide.
► Assurez toujours un raccordement sûr au conducteur de terre (PE).
► Ne débranchez jamais les fiches de raccordement en cours de fonctionnement.
► Respectez les procédures d’arrêt ci-dessus.
► Tenez les conduites et les câbles éloignés des surfaces chaudes (> 70 °C).
► N'effectuez pas vous-même de conversions ou de modifications de l'appareil.
► Consultez le degré de protection de l’unité avant son installation ou fonctionnement dans d’autres
environnements.
► Mettez en place des équipements de protection adaptés contre tout contact physique si la température de surface dépasse 70 °C.
► Il convient de toujours s'informer d'éventuelles contaminations avant de commencer à travailler.
13/44
Sécurité
2.4
Limites d’utilisation du produit
Paramètre
Valeur
Humidité relative de l’air
À des températures atteignant +31 °C, 80 % max.
À des températures atteignant +40 °C, 50 % max.
Orientation de montage
Arbitraire
Usage
En intérieur uniquement
Altitude maximum de l’installation
2 000 m MSL
Degré de pollution
2
Degré de protection
IP30
Tab. 4:
2.5
Conditions ambiantes autorisées
Utilisation conforme
La jauge est utilisée pour la mesure du vide des gaz dans sa gamme de mesure définie.
Utilisation du produit conformément à son usage prévu
► Faites fonctionner la jauge avec un appareil de commande et de mesure de pression totale Pfeiffer Vacuum ou avec un appareil d'évaluation fournie par le client.
► Installez, mettez en fonctionnement et entretenez la jauge conformément à ce manuel de l'utilisateur.
► Observez les limites d’utilisation indiquées dans la fiche technique.
► Observer la fiche technique.
2.6
Utilisations non conformes prévisibles
Toute utilisation non conforme du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité.
Toute utilisation non conforme à l’objectif du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée
comme non réglementaire, en particulier :
● Utilisation hors des limites mécaniques et électriques d’utilisation
● Utilisation avec des substances corrosives ou explosives, si cette utilisation n’est pas explicitement autorisée
● Utilisation pour la mesure de gaz combustibles ou hautement inflammables lorsqu’ils sont mélangés à un agent oxydant (comme l’oxygène atmosphérique) dans les limites explosives
● Utilisation en extérieur
● Utilisation suite à des modifications techniques (à l’intérieur ou à l’extérieur du produit)
● Utilisation avec des accessoires ou pièces de rechange inappropriés ou non approuvés
2.7
Responsabilité et garantie
Pfeiffer Vacuum décline toute responsabilité et garantie si la société qui exploite le produit ou une partie
tierce :
● ignore ce document
● n’utilise pas le produit pour l’usage prévu
● apporte des modifications au produit (conversions, changements, etc.) qui ne sont pas mentionnées dans la documentation produit correspondante
● utilise le produit avec des accessoires qui ne sont pas mentionnés dans la documentation produit
correspondante
L’opérateur est responsable du gaz de procédé employé.
2.8
Conditions opérateur
Travail respectueux des normes de sécurité
1. Le produit ne peut être utilisé que s'il est en parfait état technique.
2. Le produit doit être utilisé selon l’usage pour lequel il a été conçu, conformément au mode d’emploi, dans le respect des consignes de sécurité, et en restant conscient des dangers qu’il implique.
14/44
Sécurité
3. Observez les recommandations suivantes et surveillez l’observation des recommandations suivantes :
– Utilisation conforme à l’usage prévu
– Consignes de sécurité généralement applicables et règles de prévention des accidents
– Normes et directives applicables au niveau local, national et international
– Directives et régulations supplémentaires relatives au produit
4. Utiliser exclusivement des pièces d’origine et approuvées par Pfeiffer Vacuum.
5. Conserver le mode d’emploi accessible sur le lieu d’installation du produit.
6. Garantir la qualification du personnel.
2.9
Qualification personnelle
L’utilisation décrite dans ce document doit être confiée à des personnes disposant des qualifications
professionnelles adéquates et de l’expérience nécessaire ou qui ont suivi la formation requise dispensée par Pfeiffer Vacuum.
Formation du personnel
1. Formez le personnel technique sur le produit.
2. Ne laissez le personnel à former opérer avec et sur le produit que sous la supervision d’un personnel qualifié.
3. Seul un personnel technique formé est autorisé à travailler avec le produit.
4. Avant de commencer à travailler, assurez-vous que le personnel engagé a lu et compris ce manuel de l’utilisateur et tous les documents pertinents, en particulier les informations relatives à la
sécurité, à l’entretien et à la réparation.
2.9.1
Garantissez la qualification du personnel
Spécialistes des travaux mécaniques
Seuls des spécialistes qualifiés peuvent effectuer des travaux mécaniques. Selon la définition de ce document, les spécialistes sont des personnes responsables de la construction, de l’installation mécanique, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes :
● Compétences dans le domaine mécanique conformément aux régulations nationales en vigueur
● Connaissance de cette documentation
Spécialiste des travaux électrotechniques
Seul un électricien qualifié peut effectuer des travaux d’ingénierie électriques. Selon la définition de ce
document, les électriciens sont des personnes responsables de l’installation électrique, de la mise en
service, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes :
● Compétences dans le domaine de l’ingénierie électrique conformément aux régulations nationales
en vigueur
● Connaissance de cette documentation
De plus, ces personnes doivent être familiarisées avec les réglementations et la législation en matière
de sécurité en vigueur, ainsi que les normes, directives et lois mentionnées dans cette documentation.
Les personnes mentionnées ci-dessus doivent avoir reçu explicitement l’autorisation d’utilisation afin de
mettre en service, de programmer, de configurer, de marquer et de mettre à la terre les dispositifs, systèmes et circuits conformément aux standards technologiques en matière de sécurité.
Personnes qualifiées
Seules les personnes avec la formation qui convient peuvent effectuer toutes les opérations relatives au
transport, à l’entreposage, à l’utilisation et à la mise au rebut. Ce type de formation doit garantir que ces
personnes sont capables d’exécuter correctement les activités et opérations requises, et en toute sécurité.
2.9.2
Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation
Formations avancées
Pfeiffer Vacuum offre des formations avancées pour les maintenances niveaux 2 et 3.
15/44
Sécurité
Les personnes adéquatement qualifiées sont :
● Maintenance niveau 1
─ Client (spécialiste formé)
● Maintenance niveau 2
─ Client avec formation technique
─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum
● Maintenance niveau 3
─ Client avec formation à l’entretien Pfeiffer Vacuum
─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum
2.9.3
Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum
Pour une utilisation optimale et sans problème de ce produit, Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de cours et de formations techniques.
Pour plus de précisions, contactez le service de formation technique Pfeiffer Vacuum.
2.10
Conditions opérateur
Analyse des documents et données concernés
1. Lire, analyser et respecter le mode d’emploi ainsi que les instructions de travail préparées par la
société d’exploitation, en particulier les consignes de sécurité et les avertissements.
2. L’installation, l’utilisation et l’entretien du produit doivent être exécutés exclusivement conformément au manuel de l’utilisateur.
3. Exécuter toutes les opérations uniquement sur la base du manuel de l’utilisateur et des documents pertinents.
4. Se conformer aux limites d’utilisation.
5. Observer la fiche technique.
6. Si ce manuel de l’utilisateur ne permet pas de répondre à toutes les questions posées lors de l’utilisation ou de l’entretien du produit, contacter le Pfeiffer Vacuum Service Center.
– Des informations sont disponibles dans la zone de service Pfeiffer Vacuum.
16/44
Description du produit
3 Description du produit
3.1
Fonction
La jauge comporte un élément de mesure de la capacité avec diaphragme en céramique. La pression
entraîne une déflexion du diaphragme en céramique. La jauge interprète cette déviation du diaphragme
comme une variation de capacité. Les éléments électroniques convertissent la variation de capacité en
signal de sortie (DC). Le signal de sortie évolue linéairement en fonction de la pression à mesurer. La
pression de sortie est indépendante du type de gaz à mesurer.
3.2
Bouton et affichage de l’état
1
Fig. 1:
2
ZERO
RUN
1
2
5
4
SP
3
Bouton et LED
1 LED « RUN » (état de la jauge)
2 Bouton « ZERO »
3 Bouton « SP »
3.3
4
5
LED « PDC2 »
LED « PDC1 »
Fonctions logiques
Les deux points de commutation SP1 et SP2 peuvent être ajustés sur toute pression comprise dans la
gamme de mesure complète de la jauge. Un contact de relais sans potentiel est disponible pour chaque
point de commutation. Les deux points de commutation sont réglés en départ d'usine sur la limite de
plage de mesure inférieure afin qu’ils ne commutent pas.
Si la pression dans le système de vide tombe au-dessous de la valeur seuil réglée, la LED correspondante s’allume et le relais se ferme.
p
4
2
1
3
2
t
Off
Fig. 2:
On
Off
Contacts de relais dépendants des points de commutation
p Pression
t Temps
1 Point de commutation
2
3
4
Limite, valeur seuil
Hystérèse
Valeur mesurée
17/44
Description du produit
3.4
Identification du produit
Toutes les données de la plaque signalétique sont nécessaires pour identifier assurément le produit
pour toute communication avec Pfeiffer Vacuum.
► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, conservez
toujours à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique.
3.5
Étendue de la livraison
●
●
●
●
Transmetteur (dans un emballage en salle blanche)
Stylet (Ø 1,1 mm)
Certificat d’étalonnage
Manuel de l’utilisateur
Déballage du produit et contrôle du contenu de la livraison
1. Déballez le produit.
2. Déposez les sécurités et les protections pour le transport, etc.
3. Rangez les sécurités et les protections pour le transport dans un endroit sûr.
4. Vérifier que toutes les pièces sont présentes.
5. Contrôlez qu’aucune pièce n’a été endommagée.
18/44
Transport et stockage
4 Transport et stockage
4.1
Transport du produit
AVIS
Dégâts causés par un transport incorrect
Un transport dans un emballage incorrect ou la non-installation de tous les verrous de transport peut
endommager le produit.
► Conforme aux instructions pour un transport en toute sécurité.
Emballage
Nous recommandons de conserver l’emballage de transport et de protection d’origine.
Transport en toute sécurité du produit
► Observez le poids spécifié sur l’emballage de transport.
► Dans la mesure du possible, transportez ou expédiez toujours le produit dans son emballage
d’origine de transport.
► Utilisez toujours un emballage compact qui protège le produit des chocs.
► Retirez l’obturateur de protection existant et les protections pour le transport seulement juste
avant l’installation.
► Avant chaque transport, les blocages et les protections correspondants doivent être remontés.
4.2
Stockage du produit
AVIS
Risque de détériorations causées par un stockage incorrect
Un stockage incorrect provoquera des dégâts sur le produit.
Les charges statiques, l’humidité, etc., provoquent des défauts sur les composants électroniques.
► Conforme aux instructions pour un stockage en toute sécurité.
Emballage
Nous recommandons de stocker le produit dans son emballage d’origine.
Stockage en toute sécurité du produit
► Conservez le produit dans un endroit frais, sec et sans poussière, où il n’est pas soumis à des
chocs ni à des vibrations mécaniques.
► Utilisez toujours un emballage compact qui protège le produit des chocs.
► Dans la mesure du possible, stockez le produit dans son emballage d’origine.
► Stockez les composants électroniques dans un emballage antistatique.
► Maintenez la température de stockage admissible.
► Évitez les fortes variations de températures ambiantes.
► Évitez un taux d’humidité élevé dans l’air.
► Fermez les raccords avec les bouchons de protection d’origine.
► Protégez le produit avec les protections de transport d’origine (si disponibles).
19/44
Installation
5 Installation
5.1
Raccord à vide
DANGER
Danger de mort par électrocution
Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie.
► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé.
► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. (Les raccordement CF et VCR remplissent ces conditions.)
► Utilisez des anneaux de centrage et des circlips à couche conductrice pour les raccordements
KF.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide
L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide
peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant
être également toxique.
Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des
pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique.
► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide.
► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression.
► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un
anneau de serrage).
► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur.
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement dû au rejet de gaz toxiques
Les contraintes mécaniques, chimiques ou thermiques élevées provoquent des fuites au niveau du
capteur. Dans les traitements impliquant des fluides toxiques, il existe un risque de blessure, voire de
mort par empoisonnement à cause des fuites de gaz en cas de surpression du système de vide.
► Prévenez la formation de toute contrainte mécanique, chimique ou thermique élevée.
► Prévenez la formation de surpressions dans le système de vide.
► Prenez les mesures appropriées de façon à prévenir les risques et dommages provoqués par la
fuite de fluides de traitement, comme une interruption d'alimentation en gaz, une évacuation ou
un test de fuite.
AVIS
Défaillance due à la contamination et à la détérioration
Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et
entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts
nuisent au fonctionnement.
► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux
sur les installations ultra-vide ou à vide élevé.
► Utilisez uniquement des outils propres.
► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse.
► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire.
► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé.
20/44
Installation
AVIS
Dégâts causés par les vibrations
Les vibrations et les impacts détruisent le capteur céramique qui est sensible aux chocs.
► Manipulez la jauge avec précaution.
► Évitez les vibrations et les impacts.
► Ne faites pas tomber la jauge.
Conditions préalables
● Conditions ambiantes appropriées
● Température de fonctionnement dans la plage permissible
● Espace disponible suffisant pour le raccordement électrique (p. ex., rayon de courbure permissible des câbles)
1
3
2
4
Fig. 3:
Raccord à vide
1 Joint avec anneau de centrage
2 Obturateur de protection
3
4
Joint avec anneau de centrage et filtre
Pièce de serrage
Recommandations
► Dans la mesure du possible, vérifiez que la jauge n’est pas soumise à des vibrations pendant le
fonctionnement. Ces vibrations entraînent des déviations dans les valeurs mesurées.
► Montez la jauge dans une orientation de montage horizontale à verticale (bride tournée vers le
bas).
– Ceci prévient toute accumulation de condensats et de particules dans la chambre de mesure.
► Une fois le bouton de la jauge monté, vérifiez qu’il est aisément accessible avec le stylet.
► Montez un joint avec un anneau de centrage et un filtre pour applications avec pollution et protéger le système de mesure contre la contamination.
Procédure
1. Retirez l’obturateur de protection et rangez-le dans un endroit sûr.
2. Assemblez sur le système de vide la jauge avec les composants de vide de la boutique des composants Pfeiffer Vacuum.
21/44
Installation
5.2
Raccordement électrique
DANGER
Danger de mort en raison des tensions de contact dangereuses
Les tensions supérieures à 30 V (CA) ou 60 V (CC) sont considérées comme dangereuses selon la
norme EN 61010. Un contact avec une tension de contact dangereuse entraîne un risque de blessures ou un danger de mort par choc électrique.
► Raccordez le produit seulement aux appareils qui remplissent les critères suivants :
● Conditions de tension extra-basse de protection de terre (PELV)
● Source de puissance limitée (LPS) classe 2
► Fixez la ligne sur le produit.
– Les équipements de contrôle et de mesure Pfeiffer Vacuum remplissent ces conditions.
AVIS
Risque d’endommagement lié à un raccordement incorrect
Un raccordement incorrect ou une polarité incorrecte, une tension d'alimentation non autorisée va
endommager la jauge.
► Raccordez toujours la terre d'alimentation (broche 5) à la terre de l’unité d'alimentation.
► Raccordez toujours le blindage (broche 15) à la terre de l’unité d'alimentation.
Outils requis
● Clé dynamométrique (≤ 0,4 Nm)
Équipement nécessaire
● Câble de mesure pour appareil de commande et de mesure de pression totale Pfeiffer Vacuum de
la gamme des accessoires CenterLine
● Câble de mesure de fabrication propre pour une unité d’évaluation par le client
● Prise de câble D-sub (15 broches, douilles)
4
1
8
9
10
13
14
2
12
7
11
5
SP1
SP2
Ident
1M
100nF
18 V
10
15
case
Fig. 4:
22/44
Schéma de raccordement
Installation
1 → 8
9 → 15
Fig. 5:
1, 4
2
5
7, 11
8, 9
Fig. 6:
Prise de câble D-sub
Relais SP1 (contact n.o.)
Signal de mesure ou valeurs seuils SP1/SP2
Masse de l’alimentation (GND)
Tension d’alimentation
Relais SP2 (contact n.o.)
10
12
13, 14
15, case
3, 6
Identification
Signal masse
Ne pas raccorder
Protection/enveloppe
non attribué
Câble de mesure
Fabrication du câble de mesure
Pour de plus amples informations sur le type de câble de mesure et les coupes transversales de raccordement, voir la fiche technique.
1. Respectez les étapes suivantes pour une qualité optimale de signal dans la mesure où les circuits
de terre, les différences de potentiel ou la CEM ont un effet sur le signal de mesure.
2. Utilisez un câble avec un blindage tressé et un boîtier métallique de raccordement.
3. Raccordez la terre d’alimentation directement à la terre de protection pour le bloc d’alimentation.
4. Utilisez une entrée de mesure différentielle avec prise de terre séparée et terre l’alimentation.
5. Vérifiez que la différence de potentiel pour la protection anti-surtension entre la prise de terre d'alimentation et le boîtier est ≤ 18 V.
6. Installez la prise de câble D-sub.
Installation de la prise de câble D-sub
1. Préparez la prise de câble D-sub.
2. Soudez le câble de raccordement comme indiqué sur le schéma de raccordement.
3. Installez la prise de câble D-sub.
Raccordement électrique
1. Raccordez le câble de mesure à la jauge.
2. Serrez la vis d’arrêt sur la prise de câble D-sub.
– Couple de serrage : ≤ 0,4 Nm
3. Raccordez la jauge à un appareil de commande et de mesure de pression totale Pfeiffer Vacuum
ou à un appareil d'évaluation fournie par le client.
23/44
Fonctionnement
6 Fonctionnement
Après l’activation de la tension d’alimentation, la jauge est prête pour l’utilisation. Le signal de mesure
ne dépend pas du type de gaz.
Recommandations
► Lors de la première mise en service, effectuez l’ajustement du zéro.
► Autorisez toujours un temps de démarrage d’au moins 15 minutes pour les mesures générales de
la pression au sein des spécifications.
► Autorisez toujours un temps de démarrage d’au moins 2 heures pour des mesures de précision et
l’ajustement du zéro.
6.1
Modes de fonctionnement
LED
Statut
Signification
RUN
OFF
Pas d’alimentation électrique
allumée
Tension d’alimentation OK, mode de mesure
allumée
Autre mode (par exemple, réglage zéro), erreur, hors de la gamme de mesure
allumée
p ≤ niveau de point de consigne 1
clignote
Régler le point de consigne 1
allumée
p ≤ niveau de point de consigne 2
clignote
Régler le point de consigne 2
1
2
Tab. 5:
6.2
Diodes électroluminescentes
Conversion du signal de mesure et de la pression
p
1.1×FS
1.0×FS
0.9×FS
0.8×FS
0.7×FS
0.6×FS
0.5×FS
0.4×FS
0.3×FS
0.2×FS
0.1×FS
0.0×FS
0
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
U [V]
Fig. 7:
Relation entre le signal de mesure et la pression
p Pression
24/44
U
Signal de mesure [V] (tension de sortie)
Fonctionnement
Signal de mesure (U)
Pression (p)
Constante (c) 1)
[V]
[Torr]
1,00
[hPa]
1 013.25/760 = 1,3332
[mbar]
[Pa]
Tab. 6:
101 325/760 = 133,3224
Constantes de conversion du signal de mesure et de la pression
Conversion du signal de mesure et de la pression
► Observez les constantes de conversion du signal de mesure et de pression.
► Conversion du signal de mesure en pression :
p = (U/10 V) × c (FS)
► Conversion de la pression en signal de mesure :
U = (p × 10 V)/(c (FS)
Exemple : Jauge avec 10 Torr FS et signal de mesure de 6 V
p = (6 V/10 V) × 10 Torr = 0,6 × 10 Torr = 6 Torr
6.3
Réglage des valeurs seuils
AVIS
Anomalie liée à l’interruption du signal de mesure
Vous pouvez presser le bouton (SP) pour interrompre le signal de mesure. La jauge émet alors la
valeur seuil correspondante à la place au niveau de la sortie de signal de mesure. Cela peut entraîner des anomalies si vous contrôlez les processus avec la sortie de signal.
► Appuyez sur les boutons uniquement si vous êtes sûrs qu’aucune anomalie ne sera causée ou
que des anomalies éventuelles n’entraîneront pas de dommage.
État du relais et de la DEL
L’état du relais et de la DEL reste inchangé même si vous appuyez sur le bouton.
Valeur seuil supérieure (hystérèse)
Le réglage usine pour la valeur seuil supérieure est 1 % plus élevé (hystérèse).
Outils requis
● Stylet (max. Ø 1,1 mm)
Aides requises
● Voltmètre
max. ø1.1 mm
Fig. 8:
1)
Utiliser le bouton « SP » pour la sélection du mode de fonction logique
Source : Guide NPL (National Physical Laboratory) de la mesure de la pression et du vide ISBN 0904457x/
1998
25/44
Fonctionnement
max. ø1.1 mm
Fig. 9:
Utiliser le bouton « zéro » pour régler la valeur seuil
Réglage de la valeur seuil SP1
1. Pressez le bouton « SP » et maintenez-le enfoncé en utilisant un stylet.
– La jauge change sur le mode de fonction logique et affiche la valeur seuil actuelle pendant
10 secondes au niveau de la sortie de signal de mesure. La LED correspondante clignote.
2. Appuyez sur et maintenez enfoncé le bouton « zéro » pour changer la valeur seuil.
– La jauge change en continu la valeur seuil à partir de la valeur actuelle (rampe) jusqu’à ce
que vous relâchiez le bouton ou dès que la limite de réglage est atteinte.
3. Relâchez le bouton « zéro » et appuyez à nouveau dessus dans les 3 à 5 s suivantes pour changer la direction (rampe inverse).
– La fréquence de clignotement de la DEL d'état de la jauge change brièvement.
4. Relâchez le bouton « zéro » et appuyez à nouveau dessus dans les 3 s pour effectuer un réglage
précis de la valeur seuil.
– La jauge change la valeur seuil par étapes individuelles.
5. Relâchez le bouton « zéro » pendant 5 s.
– La jauge retourne dans le mode de mesure.
La jauge sauvegarde la valeur seuil et retourne au mode de mesure. L'instrument de mesure connecté
affiche à nouveau la valeur de pression actuelle mesurée.
Réglage de la valeur seuil SP2
1. Pressez le bouton « SP » deux fois en utilisant un stylet.
– La jauge change sur le mode de fonction logique et affiche la valeur seuil actuelle pendant
10 secondes au niveau de la sortie de signal de mesure. La LED correspondante clignote.
2. Appuyez sur et maintenez enfoncé le bouton « zéro » pour changer la valeur seuil.
– La jauge change en continu la valeur seuil à partir de la valeur actuelle (rampe) jusqu’à ce
que vous relâchiez le bouton ou dès que la limite de réglage est atteinte.
3. Relâchez le bouton « zéro » et appuyez à nouveau dessus dans les 3 à 5 s suivantes pour changer la direction (rampe inverse).
– La fréquence de clignotement de la DEL d'état de la jauge change brièvement.
4. Relâchez le bouton « zéro » et appuyez à nouveau dessus dans les 3 s pour effectuer un réglage
précis de la valeur seuil.
– La jauge change la valeur seuil par étapes individuelles.
5. Relâchez le bouton « zéro » pendant 5 s.
– La jauge retourne dans le mode de mesure.
La jauge sauvegarde la valeur seuil et retourne au mode de mesure. L'instrument de mesure connecté
affiche à nouveau la valeur de pression actuelle mesurée.
26/44
Démontage
7 Démontage
DANGER
Danger de mort par électrocution
Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie.
► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé.
► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. (Les raccordement CF et VCR remplissent ces conditions.)
► Utilisez des anneaux de centrage et des circlips à couche conductrice pour les raccordements
KF.
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide
L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide
peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant
être également toxique.
Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des
pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique.
► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide.
► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression.
► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un
anneau de serrage).
► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur.
AVIS
Défaillance due à la contamination et à la détérioration
Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et
entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts
nuisent au fonctionnement.
► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux
sur les installations ultra-vide ou à vide élevé.
► Utilisez uniquement des outils propres.
► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse.
► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire.
► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé.
27/44
Démontage
AVIS
Dégâts causés par les vibrations
Les vibrations et les impacts détruisent le capteur céramique qui est sensible aux chocs.
► Manipulez la jauge avec précaution.
► Évitez les vibrations et les impacts.
► Ne faites pas tomber la jauge.
Conditions préalables
● Système à vide ventilé à la pression atmosphérique
● Tension d’alimentation désactivée
Démontage de la jauge
1. Déconnectez le câble de mesure de la jauge.
2. Démontez la jauge du système de vide.
3. Mettez l’obturateur de protection sur la bride de connexion.
28/44
Maintenance
8 Maintenance
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
Maintenance dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum
Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de services de maintenance pour tous les
produits.
Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter un Centre de service Pfeiffer Vacuum pour organiser la maintenance de produits et de composants défectueux.
Nettoyage dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum
Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter le Centre de service Pfeiffer Vacuum local pour
organiser la maintenance de produits et de composants défectueux.
Demande de garantie
Le fait d’ouvrir l’appareil pendant la période de garantie ou d’endommager/de supprimer le
sceau de garantie annulera la garantie.
Contactez le Centre de service Pfeiffer Vacuum en cas d’intervalle de maintenance raccourcis lié au processus.
Garantie
Tout dysfonctionnement de l’équipement résultant directement d’une contamination et de
l’usure n’est pas couvert par la garantie.
Commencer par lire intégralement les sections
Lire intégralement la section consacrée aux instructions de travail avant de commencer à
travailler.
La jauge est sans entretien dans des conditions de fonctionnement propres. Le fonctionnement de longue durée ou la contamination peut entraîner un décalage du zéro. Un décalage du zéro nécessite un
réajustage.
8.1
Nettoyage des composants
DANGER
Danger de mort dû au choc électrique causé par la pénétration d’humidité
La pénétration d’eau dans l’unité cause des blessures aux personnes par chocs électriques.
► Utilisez seulement l’unité dans un environnement sec.
► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité.
► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, contactez Pfeiffer Vacuum Service.
► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité.
29/44
Maintenance
AVERTISSEMENT
Risques pour la santé dus aux agents nettoyants
Les détergents utilisés peuvent nuire à la santé et causer un empoisonnement, des allergies, une irritation de la peau, des brûlures chimiques ou endommager les voies respiratoires.
► Respectez les réglementations en vigueur pour la manipulation des agents nettoyants.
► Respectez les mesures de sécurité concernant la manipulation et la mise au rebut des agents
nettoyants.
► Attention aux réactions potentielles avec les matériaux du produit.
AVIS
Dégâts causés par la pénétration d’humidité
La pénétration d’humidité, p. ex. sous forme de condensation ou d’égouttement, endommage l’unité.
► Protégez l’unité contre la pénétration de l’humidité.
► Utilisez seulement l’unité dans un environnement propre et sec.
► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité.
► Des précautions spécifiques doivent être prises en cas de risque d’égouttement d’eau.
► Ne mettez pas sous tension l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur. Contactez le Centre de service Pfeiffer Vacuum.
AVIS
Dommages causés par des détergents inappropriés
L’usage d’agents nettoyants inadaptés endommage le produit.
► N’utilisez pas de solvants qui endommageraient sa surface.
► N’utilisez pas d’agents nettoyants agressifs ou abrasifs.
Produits consommables requis
● Alcool industriel
● Chiffon (doux, non pelucheux)
Nettoyage externe de l’appareil
1. Utilisez toujours un chiffon imbibé d'alcool industriel pour le nettoyage externe.
2. Laissez sécher les surfaces complètement après le nettoyage.
8.2
Calibration de la jauge
Pfeiffer Vacuum a calibré la jauge au départ usine, en position debout à la verticale. Le signal de sortie
dépend de la position d’installation.
FS
ΔU/90° (horizontal)
1000 Torr
environ 2 mV
100 Torr
environ 10 mV
10 Torr
environ 50 mV
1 Torr
environ 300 mV
0,1 Torr
environ 1,8 V
Tab. 7:
30/44
Écart du signal de sortie entre la position verticale et la position horizontale
FS
Pression limite recommandée
1000 Torr
< 5 × 10-2 torr
500 Torr
< 2,5 × 10-2 torr
200 Torr
< 1 × 10-2 torr
100 Torr
< 5 × 10-3 torr
50 Torr
< 2,5 × 10-3 torr
20 Torr
< 1 × 10-3 torr
Maintenance
FS
Pression limite recommandée
10 Torr
< 5 × 10-4 torr
5 Torr
< 2,5 × 10-4 torr
2 Torr
< 1 × 10-4 torr
1 Torr
< 5 × 10-5 torr
0,5 Torr
< 2,5 × 10-5 torr
0,25 Torr
< 1 × 10-5 torr
0,1 Torr
< 5 × 10-6 torr
Tab. 8:
Pression limite recommandée pour le calibrage du point zéro
Fonctionnement avec un appareil de mesure
Lorsque vous utilisez la jauge avec un appareil de mesure, il vous faut exécuter un réglage
du zéro sur l’appareil de mesure, pour l’ensemble du système de mesure :
Commencez par ajuster la jauge, puis l’appareil de mesure.
Ajustement du zéro en cas de pression limite excessive
L’ajustage du zéro en cas de pression limite excessive (> 25% de FS) signifie que vous
n’atteindrez pas le zéro. La LED « RUN » clignote. Commencez par activer les paramètres
d’usine, puis répétez l’ajustement du zéro.
Préparation de l’ajustage
1. Vérifiez que l’installation et les conditions ambiantes sont les mêmes que celles d’une utilisation
normale.
2. Vérifiez l’absence de toute contamination du filtre.
3. Remplacez le filtre s’il est très contaminé ou endommagé.
4. Mettez la jauge en marche.
8.2.1
Exécution du calibrage du point zéro avec le bouton « zéro »
Outils requis
● Stylet (max. Ø 1,1 mm)
max. ø1.1 mm
Fig. 10:
Calibrage du point zéro avec le bouton « zéro »
Procédure
1. Dans la mesure du possible, mettez la jauge en service dans l’orientation de montage subséquente.
2. Purgez la jauge jusqu’à la pression limite recommandée.
3. Faites fonctionner la jauge pendant au moins 2 heures jusqu’à ce que la valeur mesurée soit stable.
4. Utilisez un stylet pour appuyer brièvement sur le bouton « zéro ».
– L’ajustement du zéro survient automatiquement.
La LED « RUN » s’allume jusqu’à ce que l’ajustement du zéro soit terminé (durée ≤ 8 s). La LED
« RUN » clignote si l’ajustement du zéro a échoué, ou si le signal de sortie de la jauge est négatif
31/44
Maintenance
(< -20 mV) pour la pression limite. Suite à l’ajustement du zéro, la jauge revient automatiquement en
mode de mesure. La LED « RUN » s’allume.
8.2.2
Calibration point zéro avec le bouton « zero » (zéro) et la fonction de rampe
Vous pouvez utiliser la fonction de rampe pour :
● Régler le point zéro, lorsque la pression de référence est connue et se situe dans la plage de mesure de la jauge
● Régler un décalage caractéristique pour la compensation d’un décalage de système de mesure
ou la création d’un point zéro légèrement positif pour un transformateur 0 à 10 V AD.
Outils requis
● Stylet (max. Ø 1,1 mm)
max. ø1.1 mm
Fig. 11:
Calibrage du point zéro avec le bouton « zéro »
Décalage < 2% de FS
Le décalage ne doit pas être supérieur à 2% de FS. En cas de décalage positif supérieur,
le risque est le dépassement de la limite supérieure de la gamme de mesure.
Procédure
1. Dans la mesure du possible, mettez la jauge en service dans l'orientation de montage subséquente.
2. Faites fonctionner la jauge pendant au moins 2 heures jusqu'à ce que la valeur mesurée soit stable.
3. Utilisez un stylet pour appuyer sur le bouton « zéro » et maintenez-le enfoncé.
– La DEL « RUN » se met à clignoter. Au bout de 5 s, la valeur de réglage du zéro varie en
continu (rampe), à partir de la valeur de sortie actuelle, jusqu'à ce que vous relâchiez le bouton ou que la limite de réglage (max. 25 % FS) soit atteinte. Le signal est restitué avec un
retard d’environ 1 s.
4. Relâchez le bouton « zéro » puis enfoncez-le à nouveau dans les 3 à 5 s suivantes pour changer
la direction (rampe inverse).
– La DEL « RUN » s'éteint brièvement puis clignote à nouveau.
5. Relâchez le bouton« zéro » et enfoncez-le à nouveau dans les 3 secondes (env. 1× par seconde)
pour effectuer un réglage précis de la valeur de réglage du zéro.
6. Relâchez le bouton « zéro » pendant au moins 5 secondes.
– La jauge retourne dans le mode de mesure.
La DEL « RUN » se met à clignoter si la jauge indique un signal de sortie négatif.
8.3
Chargement des réglages-usine
Les réglages modifiés sont perdus
Cette fonction vous permet de remettre à zéro tous les paramètres réglés/changés par l’utilisateur et de restaurer toutes les valeurs par défaut (réglages-usine). Tous les réglages
modifiés sont perdus en cas de remise à zéro sur les réglages usine. Vous ne pouvez pas
annuler cette fonction.
32/44
Maintenance
Outils requis
● Stylet (max. Ø 1,1 mm)
max. ø1.1 mm
Fig. 12:
Utilisez le bouton « zéro » pour charger les paramètres d'usine
Procédure
1. Mise hors service de la jauge.
2. Mettez en service la jauge tout en maintenant le bouton « zéro » enfoncé à l’aide d'un stylet pendant plus de 5 secondes.
– La jauge charge les réglages-usine.
33/44
Expédition
9 Expédition
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement par produits contaminés
L’expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la santé et la sécurité du personnel de maintenance.
► Conforme aux avis pour une livraison en toute sécurité.
Décontamination payante
Pfeiffer Vacuum décontamine les produits qui ne sont pas clairement déclarés comme
« Sans contaminants », à votre charge.
Expédition en sécurité du produit
► L’expédition de produits microbiologiques, explosibles ou ayant subi une contamination radioactive est interdite.
► Respecter les consignes d’expédition des pays et des sociétés de transport impliqués.
► Les risques potentiels doivent être mis en évidence sur la face extérieure de l’emballage.
► Téléchargez les explications sur la contamination en vous connectant à Pfeiffer Vacuum Service.
► Toujours joindre une déclaration de contamination dûment remplie.
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Recyclage et mise au rebut
10
Recyclage et mise au rebut
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
Protection de l’environnement
Vous devez mettre au rebut le produit et ses composants conformément aux directives applicables pour la protection des personnes, de l’environnement et de la nature.
● Contribuez à la réduction du gaspillage des ressources naturelles.
● Évitez toute contamination.
10.1 Informations générales sur la mise au rebut
Les produits Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables.
► Mettez au rebut nos produits en séparant :
– Fer
– Aluminium
– Cuivre
– Matière synthétique
– Composants électroniques
– Huiles et graisses, sans solvant
► Observez les mesures de sécurité spéciales pour la mise au rebut de :
– Fluoroélastomères (FKM)
– Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé
10.2
Mise au rebut des jauges
Les jauges Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux que vous devez recycler.
1. Démantelez l’unité électronique.
2. Décontaminez les composants qui entrent en contact avec les gaz de procédé.
3. Séparez les composants en matériaux recyclables.
4. Recyclez les composants non contaminés.
5. Mettez au rebut le produit ou les composants de façon sûre en conformité avec toutes les directives applicables.
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Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
11
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
Nous offrons un service de première classe
Une longue durée de vie des composants du vide, associée à des temps d’arrêt réduits, sont ce que
vous attendez clairement de nous. Nous répondons à vos besoins par des produits efficaces et un service d’exception.
Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux
composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit
Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien
évidemment.
Nos ingénieurs commerciaux et techniciens de service professionnels sont à votre disposition pour
vous assurer un soutien pratique dans le monde entier. Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de
services, allant des pièces de rechange d’origine aux accords de service.
Profitez du service Pfeiffer Vacuum
Qu'il s’agisse du service préventif sur place de notre service sur site, du remplacement rapide par des
produits de rechange comme neufs ou de la réparation dans un centre de service proche de chez
vous ; vous disposez d'une variété d’options pour maintenir la disponibilité de votre équipement. Vous
trouverez des informations détaillées ainsi que les adresses sur notre site web dans la section Pfeiffer Vacuum Service.
Des conseils sur la solution optimale sont disponibles auprès de votre interlocuteur Pfeiffer Vacuum.
Pour un déroulement rapide et efficace de la procédure de service, nous recommandons de suivre les étapes suivantes :
1. Télécharger les modèles de formulaire actuels.
─ Déclaration de demande de service
─ Demande de service
─ Déclaration de contamination
a) Démonter tous les accessoires et les conserver (toutes les pièces externes
montées telles que la vanne, le filtre d’arrivée, etc.).
b) Vidanger le fluide d'exploitation / lubrifiant si nécessaire.
c) Vidanger le fluide de refroidissement si nécessaire.
2. Remplir la demande de service et la déclaration de contamination.
ANFORDERUNG SERVICE
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
3. Envoyer les formulaires par e-mail, fax ou par courrier à votre centre de service local.
4. Vous recevrez une réponse de Pfeiffer Vacuum.
Envoi de produits contaminés
Aucune unité ne sera acceptée si elle est contaminée par des substances micro-biologiques, explosives
ou radioactives. Si les produits sont contaminés ou si la déclaration de contamination est manquante,
Pfeiffer Vacuum contactera le client avant de démarrer la maintenance. Par ailleurs, selon le produit et
le niveau de contamination, des frais de décontamination supplémentaires peuvent être facturés.
36/44
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails contenus dans la déclaration de contamination.
a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec.
b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air.
c) Sceller le produit dans un film de protection approprié.
d) Emballer le produit dans des conteneurs de transport stables appropriés uniquement.
e) Respecter les conditions de transport en vigueur.
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
6. Joindre la déclaration de contamination sur l’extérieur de l’emballage.
7. Envoyer ensuite le produit à votre centre de service local.
8. Vous recevrez un message de confirmation / un devis de la part de
Pfeiffer Vacuum.
Pour toutes les demandes de service, nos Conditions générales de vente et de livraison ainsi que nos
Conditions générales de réparation et de maintenance sont appliquées aux équipements et composants du vide.
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Accessoires
12
Accessoires
Vous trouverez sur notre site Internet la gamme des accessoires CenterLine.
12.1 Informations sur l’accessoire
Joints avec anneau de centrage et filtre
Filtre disponible avec différentes grandeurs de pores pour la protection du système de mesure contre
toute contamination lorsque les applications représentent un risque de contamination
12.2
38/44
Commande d’accessoires
Description
Référence de commande
Anneau de centrage avec filtre en métal fritté, grandeur de pores
0,02 mm, FKM DN 16 ISO-KF
PF 117 216 -T
Anneau de centrage avec filtre fin, grandeur de pores 0 004 mm, FKM/
acier inoxydable, DN 16 ISO-KF
PT 120 132 -T
Caractéristiques techniques et dimensions
13
Caractéristiques techniques et dimensions
13.1
Généralités
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr | mm Hg
100
1
0,1
0,75
1 · 10
1000
100
1 · 10
1
0,01
1 · 10
7,5 · 10-3
1
1 · 10-3
100
1
0,1
0,75
kPa
10
0,01
1000
10
1
7,5
Torr | mm Hg
1,33
1,33 · 10-3
133,32
1,33
0,133
1
mbar
1
1 · 10
bar
1000
1
Pa
0,01
hPa
-3
5
-5
1 Pa = 1 N/m
Tab. 9:
2
Tableau de conversion : Unités de pression
mbar l/s
mbar l/s
Pa m3/s
sccm
Torr l/s
atm cm3/s
1
0,1
59,2
0,75
0,987
592
7,5
10
3
Pa m /s
sccm
1
3
atm cm /s
Tab. 10:
9,87
1,69 · 10
1,69 · 10
1
1,33
0,133
78,9
1
1,32
1,01
0,101
59,8
0,76
1
-2
Torr l/s
13.2
750
-3
-3
-2
1,27 · 10
1,67 · 10-2
Tableau de conversion : Unités de débit du gaz
Fiche technique
FS [Torr]
0,1
Méthode de mesure
Capacitive
Précision de mesure
0,5 % (de la
valeur mesurée)
0,25
0,5
0,25 % (de la valeur mesurée)
1
2
10
20
50
100
200
500
1000
0,2 % (de la valeur mesurée)
Résolution
0,003 % FS
Temps de réponse
30 ms
Influence de la température sur le
point zéro
0,02 % FS/ °C
Influence de la température sur la
gamme
0,03 % valeur mesurée/°C
0,01 % valeur mesurée/°C
Pression, max.
130 kPa
260 kPa
0,015 % FS/ °C
0,005 % FS/ °C
Tension(s) d’entrée
14 – 30 V DC
Puissance absorbée, max.
1W
Identification
Résistance RIdent: Résistance 13,2 kΩ contre la terre d'alimentation
400 kPa
Tension ≤ 5 V
Température ambiante
5 – 50 °C
Température d’accumulation
-40 – 65 °C
Température de
chauffage
Compensation de la température
39/44
Caractéristiques techniques et dimensions
FS [Torr]
0,1
Température de
dégazage sur la
bride
110 ℃
Signal de sortie
(gamme de mesure)
0 – 10 V
Signal de sortie
(charge minimum)
10 kΩ
Point de commutation (nombre)
2
Point de commutation (gamme)
0 à 99 % FS
Point de commutation (tension CC)
30 V CC
Point de commutation (actuel CC)
0,5 A
Degré de protection
IP30
Volume
3,6 cm3
Matériaux en contact avec le fluide
Céramique (Al2O3 = 99,5 %), acier inoxydable (AISI 316L)
Matière (bride)
Acier inoxydable (AISI 316L)
Poids
DN 16 ISO-KF = 330 g
DN 16 CF-R = 350 g
8 VCR, femelle = 370 g
Filetage 1/2” = 310 g
Tab. 11:
0,5
1
2
10
20
50
Fiche technique CNR 36x
Dimensions
Ø55
26
44
69
3.8
13.3
0,25
DN 16 ISO-KF
DN 16 CF-R
8 VCR
internal thread
Fig. 13:
Dimensions
Dimensions en mm
40/44
1/2“
outer diameter
100
200
500
1000
ETL LISTED
The products CNR 36x/37x/38x/39x/30x
- conform to the UL standard
UL 61010-1.
3103457
- are certified to the CAN/CSA standard
CAN/CSA C22.2 No. 61010-1.
Déclaration de conformité CE
La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant.
Déclaration pour produit(s) du type :
Jauge capacitive
CNR 36x
Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes.
Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE
Restrictions d’utilisation de certaines substances dangereuses, directive déléguée
2015/863/UE
Normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées :
DIN EN IEC 61000-6-2:2019
DIN EN IEC 61000-6-3:2022
DIN EN 61010-1:2020
DIN EN IEC 61326-1:2022
DIN EN IEC 63000:2019
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Directeur général
Asslar, 2024-12-02
Déclaration de Conformité UK
La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant.
Déclaration pour produit(s) du type :
Jauge capacitive
CNR 36x
Nous déclarons par la présente que le produit cité satisfait à toutes les exigences applicables des Directives Britanniques suivantes.
Réglementation 2016 sur la Compatibilité Electromagnétique
Réglementation 2012 sur la Limitation de l'Utilisation de Certaines Substances Dangereuses dans les Equipements Electriques et Electroniques
Standards et spécifications appliqués :
EN IEC 61000-6-2:2019
EN IEC 61000-6-3:2021
EN 61010-1:2010 + A1:2019 + A1:2019/AC:2019
EN IEC 61326-1:2021
EN IEC 63000:2018
Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitution du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park,
MK169PS Newport Pagnell.
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Directeur général
Asslar, 2024-12-02
*PG0045*
ed. A - Date 2505 - P/N:PG0045BFR
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