APA 450 Original riebsan Manuel de l’utilisateur FR Table des matières Table des matières 1 A propos de ce manuel ......................................................... 4 1.1 1.2 2 Sécurité .................................................................................. 9 2.1 2.2 2.3 3 Préparation de l’équipement .................................................................... 21 Fixation au sol .......................................................................................... 23 Installation des analyseurs / générateurs ................................................ 24 Raccordement circuits pressurisés .......................................................... 24 Raccordement électrique ......................................................................... 25 Arrêt d’urgence client ............................................................................... 26 Connexion au réseau Ethernet client (Network) ...................................... 26 Raccordement au réseau AMHS ............................................................. 27 Raccordement évacuation ....................................................................... 27 Utilisation...............................................................................30 6.1 6.2 6.3 6.4 6.5 7 Identification du produit ............................................................................ 16 Conditions de fonctionnement.................................................................. 17 Interface homme/machine........................................................................ 18 Modules de sécurité ................................................................................. 20 Installation .............................................................................21 5.1 5.2 5.3 5.4 5.5 5.6 5.7 5.8 5.9 6 Manutention.............................................................................................. 13 Conditions de stockage et de transport ................................................... 14 Déballage ................................................................................................. 14 Description du produit ...........................................................16 4.1 4.2 4.3 4.4 5 Consignes de sécurité.............................................................................. 9 Conformité d’utilisation ............................................................................. 12 Usage non conforme à la destination ...................................................... 12 Manutention et stockage ......................................................13 3.1 3.2 3.3 4 Validité...................................................................................................... 4 Conventions ............................................................................................. 4 Précautions préalables............................................................................. 30 Mise sous tension .................................................................................... 30 Interface du logiciel .................................................................................. 35 Mesure d’un FOUP / MAC ....................................................................... 37 Arrêt de la mesure ................................................................................... 38 Interfaces de commande ......................................................39 7.1 7.2 7.3 7.4 7.5 7.6 7.7 7.8 7.9 Description des touches........................................................................... 39 Home screen............................................................................................ 40 History screen .......................................................................................... 40 Local screen............................................................................................. 41 Advanced Gas Monitoring........................................................................ 41 Maintenance screen................................................................................. 42 Events screen .......................................................................................... 43 Ambient screen ........................................................................................ 44 SECS/GEM screen .................................................................................. 45 1 Table des matières 7.10 7.11 7.12 Settings screen ........................................................................................ 46 Alarms screen .......................................................................................... 51 Login/Logout............................................................................................. 51 8 Périodicité de maintenance ..................................................52 9 Dysfonctionnement ................................................................55 9.1 9.2 9.3 9.4 9.5 Ce qui se passe en cas de défaut ........................................................... 55 Comment acquitter une alarme................................................................ 55 Le système ne démarre pas .................................................................... 55 Défaut d’alimentation ............................................................................... 56 Liste des warnings / alarmes / remèdes .................................................. 56 10 Instructions de maintenance ................................................61 10.1 10.2 10.3 10.4 10.5 10.6 10.7 10.8 10.9 Consigne de sécurité relative à la maintenance ...................................... 61 Localisation des étiquettes à l’intérieur de l’équipement ......................... 63 Localisation des composants ................................................................... 65 Nettoyage Load Port / Equipement.......................................................... 66 Leak test des IMS .................................................................................... 66 Remplacement du module batteries de l’onduleur .................................. 67 Réarmement disjoncteur .......................................................................... 69 Edition des journaux................................................................................. 70 Liste des pièces de rechange .................................................................. 70 11 Mise hors service ..................................................................72 11.1 11.2 11.3 Immobilisation prolongée ......................................................................... 72 Remise en service.................................................................................... 72 Mise au rebut ........................................................................................... 72 12 Service après vente ..............................................................73 13 Caractéristiques techniques .................................................74 13.1 13.2 13.3 Caractéristiques générales ...................................................................... 74 Caractéristiques des servitudes ............................................................... 74 Dimensions (mm) ..................................................................................... 76 14 Déclaration de conformité CE ...............................................78 2 Table des matières Figures Fig. 1 : Localisation étiquettes extérieures........................................................... 8 Fig. 2 : Déballage ................................................................................................. 14 Fig. 3 : Exemple de plaque signalétique .............................................................. 16 Fig. 4 : Interface homme/machine........................................................................ 18 Fig. 5 : Localisation des capteurs de sécurité...................................................... 20 Fig. 6 : Préparation au sol .................................................................................... 21 Fig. 7 : Positionnement......................................................................................... 22 Fig. 8 : Réglage des pieds ................................................................................... 23 Fig. 9 : Fixation équerres parasismiques ............................................................. 23 Fig. 10 : Raccordement au réseau AMHS ........................................................... 27 Fig. 11 : Raccordement évacuations thermiques ................................................. 28 Fig. 12 : Raccordement évacuation chimique ...................................................... 29 Fig. 13 : Localisation des étiquettes de sécurité intérieures ................................ 61 Fig. 14 : Armoire électrique .................................................................................. 62 3 A propos de ce manuel 1 A propos de ce manuel 1.1 Validité Ce manuel de l’utilisateur s’adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le fonctionnement du produit et comporte les informations essentielles garantissant sa sécurité d’utilisation. La description est conforme aux directives européennes. Toutes les informations fournies dans ce manuel correspondent au niveau du développement actuel du produit. La documentation est valide dans la mesure où le client n’a pas apporté de modifications au produit. Les manuels de l’utilisateur sont également disponibles sur Internet www.pfeiffer-vacuum.com. La langue française est la langue originale du manuel. 1.1.1 Documents utiles APA 450 SECS/GEM* Manuel de communication * fichiers PDF sur le PC de l’APA 450 1.2 Conventions 1.2.1 Consignes de sécurité Les consignes de sécurité des manuels de l’utilisateur Pfeiffer Vacuum sont inspirées des normes de certification UL, CSA, ANSI Z-535, SEMI S2, ISO 3864. Le présent document détaille les niveaux de danger et informations suivants : DANGER Danger direct et imminent Peut entraîner des blessures ou la mort. AVERTISSEMENT Risque potentiel Peut entraîner des blessures graves ou des dommages matériel importants. ATTENTION Risque potentiel Peut entraîner des blessures légères ou des dommages matériel. AVIS Recommandation ou indication Information ou obligation d’action pour assurer la pérennité du produit. 4 A propos de ce manuel 1.2.2 Définition des pictogrammes dans le manuel Interdiction de procéder à une action pour des raisons de sécurité. Le non-respect de cette interdiction peut conduire à de graves accidents. Avertissement contre le danger représenté par le symbole. Obligation d’action pour éviter tout risque d’accident. Le non respect de cette obligation peut générer des accidents graves. Informations importantes concernant le produit ou le présent document. 1.2.3 Instructions dans le texte Î Instruction de travail : vous devez exécuter une opération à cette étape de la procédure. [....] Bouton : intitulé d’un bouton d’action de l’interface utilisateur. 1.2.4 Abréviations/symboles utilisés dans le document APA : adixen Pod Analyser. AMHS : Automated Materiel Handling System. BP : Bilateral Plane. CDA : Compressed Dry Air. EMO : Emergency Off. Fab : Semiconductor manufacturing. FOUP : )URQW2SHQLQJ8QL¿HG3RG FP : Facial Plane. HMI / IHM : Human Machine Interface. HOST : Automation. HP : Horizontal Plane. LB : Load Boundary LP : Load Port. MAC : Multi Application Carrier. OHT : Overhead Hoist Transport. PGV : Person Guided Vehicle. PM : Preventive Maintenance. SECS/GEM : SEMI Equipment Communication Standard. UPS : Uninterruptible Power Supply. VOC : Volatile Organic Compounds. XCDA : Extremely Clean Dry Air. 5 A propos de ce manuel 1.2.5 Marquage et symboles utilisés Power On Emergency switching Off Main Switch Sur les capots Bouton : mise en énergie de l’équipement. Bouton : arrêt d’urgence. Sectionneur : coupure électrique générale. 230 VAC Voyant : Présence 230 VAC. 24 VDC Voyant : Présence 24 VDC. Maintenance Raccordement communication pour maintenance. Pneumatic Gas Raccordement du gaz de commande pneumatique. Process Gas Raccordement du gaz de process. Ripple Power Supply Power Supply Network Raccordement électrique pour alimentation extérieure ondulée. Raccordement électrique pour alimentation extérieure. Raccordement réseau client. Customer EMO Raccordement arrêt d’urgence client. Ground Raccordement de la terre de protection. Interface Raccordement retour information client. 1.2.6 Étiquettes Repère 1 : Cette étiquette indique que certains des composants internes sont sous tension et peuvent entraîner un choc électrique en cas de contact. Elle recommande de débrancher l’équipement avant toute intervention ou de Contact may cause electric shock or burn. verrouiller/déverrouiller correctement le sectionneur de l’équipement avant Turn off & lock out system before servicing. intervention. Le danger se situe sur l’ensemble des panneaux donnant un accès à des composants électriques à risque, plus particulièrement sur le module d’entrée électrique, l’armoire électrique, les borniers d’alimentation au fond des baies d’analyseurs, les analyseurs et les générateurs. The filter and the electrical cable are ALWAYS UNDER VOLTAGE after you switch off the main switch. UPS VOLTAGE PRESENT WHEN POWER IS OFF. Contact may cause electrical shock or burn. Turn off and lock-out UPS output power before servicing. Repère 2 : Cette étiquette informe l’utilisateur de la présence de tension dans le filtre et les câbles après coupure du sectionneur général. Le danger se situe sur l’arrière de l’équipement lors de l’ouverture du panneau donnant accès à l’armoire électrique. Repère 3 : Cette étiquette informe l’utilisateur des risques électriques liés à l’onduleur de l’équipement après une coupure électrique. Il est recommandé d’éteindre l’onduleur avant toute intervention sur les éléments maintenus en puissance par l’onduleur. Le danger se situe sur l’arrière de l’équipement lors de l’ouverture du panneau donnant accès à l’armoire électrique. Repère 4 : Cette étiquette informe l’utilisateur des risques d’écrasement ou coupure liés aux pièces en mouvement. MOVING PARTS PRESENT Eviter de s’approcher et/ou de mettre les mains à proximité des pièces en Moving parts can crush and cut. mouvement. Keep hands or feet away from moving parts. Le danger se situe sur l’avant de l’équipement au niveau des Load Port. HEAVY OBJECT Heavy object can cause muscle strain or back injury. Two person lift required. 6 Repère 5 : Cette étiquette indique que le produit ne doit pas être manipulé seul mais qu’il faut toujours être deux personnes pour manipuler ce produit. Le danger se situe sur l’arrière et l’avant de l’équipement lors de l’ouverture des panneaux donnant accès aux baies d’analyseurs, plus particulièrement pour les analyseurs générateurs suivant : Air zero generator, SO2 analyzer, HF_ID+ analyzer et VOC FID analyzer. A propos de ce manuel RADIOACTIVE The IMS analysers contain radioactive sources (NI63, 370Mq) Repère 6 : Cette étiquette indique que le produit contient des sources radioactives (NI63, 370MBq). Le danger se situe sur l’arrière de l’équipement lors de l’ouverture des panneaux donnant accès aux baies d’analyseurs, plus particulièrement dans les analyseurs NH3, Acid et Amines. Avoid contact and inhalation. Can cause severe injury or death. Repère 7 : Cette étiquette indique que le produit contient des éléments toxiques pouvant causer des blessures graves ou entrainer la mort. Le danger se situe dans les FOUP, mais aussi dans l’équipement lors de l’ouverture des panneaux donnant accès à l’arrière des baies d’analyseurs, au niveau de l’évacuation chimique de l’équipement, des tubes de raccordement et du générateur de gaz NH3, HF, SO2. WARNING ASPHYXIANT WA W Repère 8 : Cette étiquette indique que le produit contient des gaz asphyxiant (N2) et qu’il peut y avoir un manque d’oxygène dans l’atmosphère de l’équipement. Le danger se situe dans l’équipement lors de l’ouverture des panneaux donnant accès à l’intérieur de l’équipement. WARNING FLAMMABLE GAS Repère 9 : Cette étiquette indique que le produit contient des gaz inflammable (H2). Le danger se situe sur l’arrière de l’équipement lors de l’ouverture des panneaux donnant accès aux baies d’analyseurs. Plus particulièrement pour les analyseurs générateurs suivant : H2 generator 3080+ et VOC FID analyzer. TOXIC CHEMICAL Possible oxygen deficient atmosphere within Poss P enc enclosure. Leak may cause severe injury. Re Refer to User Manual. Lock out Nitrogen supply before servicing. Hydrogen source inside. Leak may cause fire or severe personal injury. Shut off before maintenance. See instructions in manual. HOT SURFACE Contact with valve body may cause burn. Switch off and wait until valve cooled before servicing. HOT SURFACE Contact with analyser body may cause burn. Switch off and wait until analyser cooled before servicing. CLASS 1 LASER PRODUCT IEC 60825-1 : 2007 Repère 10 : Cette étiquette indique que le produit contient des surfaces chaudes. Le danger se situe sur l’arrière de l’équipement lors de l’ouverture des panneaux donnant accès aux servitudes. Plus particulièrement pour les éléments suivant : DI water electrovalve. Repère 11 : Cette étiquette indique que le produit contient des surfaces chaudes. Le danger se situe sur l’arrière de l’équipement lors de l’ouverture des panneaux donnant accès aux baies d’analyseurs. Plus particulièrement pour les éléments suivant : SO2 analyzer. Repère 12 : Cette etiquette informe l’utilisateur de la présence d’un laser de classe 1. Le danger concerne le laser embarqué dans l’analyseur HF_ID+. 7 A propos de ce manuel 1 8 6 6 7 7 8 9 8 1 2 1 8 1 4 7 8 Fig. 1 : Localisation étiquettes extérieures 8 1 Sécurité 2 Sécurité 2.1 Consignes de sécurité AVIS Obligation d’informer Toute personne chargée de l’installation, de l’utilisation ou de l’entretien de l’équipement APA 450 doit avoir lu les consignes de sécurité de ce manuel et doit les respecter. AVERTISSEMENT Risque lié à une installation électrique non conforme La sécurité du fonctionnement après l’installation est de la responsabilité de l’exploitant. Î Raccorder le produit à une installation conforme aux normes de sécurités locales. Î Ne procéder à aucune transformation ou modification du produit de votre propre initiative. Î Vérifier que l’équipement est correctement relié à un système d’arrêt d’urgence client. Î Pour davantage d’informations, appeler votre centre de service. AVERTISSEMENT Risque de choc électrique en cas de contact Lorsque le sectionneur de l’équipement est positionné sur O ou lorsque l’arrêt d’urgence est activé, certains composants internes restent chargés électriquement. Le danger se situe sur l’ensemble des panneaux donnant un accès à des composants électriques à risque, plus particulièrement sur le module d’entrée électrique, l’armoire électrique, les borniers d’alimentation au fond des baies d’analyseurs, les analyseurs et les générateurs. Î Veiller à ce que le raccordement au secteur soit toujours visible et accessible pour pouvoir débrancher à tout moment. Î Débrancher le câble secteur de toute source d’énergie avant d’intervenir sur l’équipement. AVERTISSEMENT Risque lié aux différentes sources d’énergie Le circuit électrique ainsi que les circuits pressurisés sont des risques énergétiques potentiels. Î Toujours verrouiller ces sources d’énergie avant d’intervenir sur le produit. AVERTISSEMENT Risque lié aux sources radioactives (concerne les équipements avec analyseurs IMS : NH3 / Acid, Amine) Les analyseurs IMS contiennent des sources radioactives (Ni63, 370MBq). Le danger se situe sur l’arrière de l’équipement lors de l’ouverture des panneaux donnant accès aux baies d’analyseurs, plus particulièrement dans les analyseurs NH3, Acid et Amines. Î L’exploitant devra obtenir les autorisations nécessaires à l’importation et à l’utilisation de tels systèmes embarquant des sources radioactives. AVERTISSEMENT Risque de blessure liée aux charges lourdes Compte tenu du poids de l’équipement, seul un personnel habilité et formé aux règles de manutention des objets lourds peut sortir le produit de son emballage. Î Utiliser un transpalette ou un chariot élévateur. Î Le constructeur dégage toute responsabilité en cas d’utilisation d’autres moyens de manutention. 9 Sécurité AVERTISSEMENT Risque lié aux pièces en mouvement Certaines pièces mobiles peuvent provoquer un écrasement de la main ou des doigts ainsi que des coupures en cas de contact : Ɣ Les deux plateaux de chargement des Load Port. DANGER Risque pour la santé en cas de contact avec des substances toxiques Le refoulement des gaz corrosifs peut entrainer des blessures graves ou la mort. Î Toujours raccorder l’évacuation chimique de l’équipement à un système d’extraction et de traitement des gaz (acid exhaust). Î Veiller à ce que ce raccordement soit réalisé par des personnes habilitées. Î Veiller à ce que le système d’extraction soit toujours fonctionnel. Flux = 20 L/min. AVERTISSEMENT Cas de puissance maintenue Ɣ L’UPS* maintient en puissance après coupure électrique les éléments suivants : Le PC, une alimentation 24 V, le switch Ethernet, les entrées automates, les cartes de sécurité eau et le détecteur d’hydrogène. Tous les fils d’alimentation maintenus en puissance par l’UPS possèdent un marquage jaune et l’inscription : "Live after EMO". Ɣ L’UPS* maintient en puissance après un arrêt d’urgence les éléments suivants : Le PC, une alimentation 24 V, le switch Ethernet, les entrées automates, les cartes de sécurité eau et le détecteur d’hydrogène. Tous les fils d’alimentation maintenus en puissance par l’UPS possèdent un marquage jaune et l’inscription : «Live after EMO». (*) Manuels utilisateur (UPS _ user manual _ APC-smart) disponible dans le software de l’APA (Appuyer sur [Events] Puis sur [components manual]) Ɣ Après coupure du sectionneur les éléments suivants restent sous tension : le filtre secteur et les câbles reliant la prise électrique de l’équipement au sectionneur. Ces éléments sont identifiés par une étiquette repère 2 du chapitre 1.2.6 et un marquage orange. AVERTISSEMENT Risques liés aux gaz de procédé L’utilisateur et/ou l’intégrateur du produit ont l’entière responsabilité des conditions de sécurités liées au fonctionnement de l’équipement. Le constructeur n’a pas la possibilité de contrôler le type de gaz utilisé avec l’équipement. Le danger se situe dans les FOUP, mais aussi dans l’équipement lors de l’ouverture des panneaux donnant accès à l’arrière des baies d’analyseurs, au niveau de l’évacuation chimique de l’équipement, des tubes de raccordement et du générateur de gaz NH3, HF, SO2. Les gaz de procédés sont fréquemment toxiques, inflammables, corrosifs, explosifs ou réactifs. Ces gaz étant dangereux, il appartient donc à l’utilisateur du procédé : Î D’appliquer les consignes de sécurité spécifiques, conformément à la législation locale. Ces informations sont disponibles auprès de son service sécurité. Î Ces gaz peuvent causer des blessures graves ou la mort, il est impératif de relier le refoulement de l’équipement au système d’échappement des gaz dangereux de l’installation, doté de filtres appropriés, de sorte que l’échappement soit conforme aux règles de protection contre la pollution de l’eau et de l’air. Î Pour davantage d’informations, appeler votre centre de service. AVERTISSEMENT Risques liés à l’asphyxie L’équipement contient des gaz asphyxiant (N2) qui peuvent créer un manque d’oxygène dans l’atmosphère de l’équipement. Le danger se situe dans l’équipement lors de l’ouverture des panneaux donnant accès à l’intérieur de l’équipement. L’installation devra comporter un orifice calibré avec un flux maximal de 10 slm. Î Avant intervention dans l’équipement, isoler la source de N2 et vérifier avec un appareil adéquate, que le taux d’oxygène est supérieur à 19.4% d’O2. 10 Sécurité AVERTISSEMENT Risques liés aux gaz inflammable L’équipement contient des gaz inflammable (H2). Le danger se situe sur l’arrière de l’équipement lors de l’ouverture des panneaux donnant accès aux baies d’analyseurs. Plus particulièrement pour les analyseurs générateurs suivant : H2 generator 3080+ et VOC FID analyzer. Î Avant intervention dans l’équipement, isoler les sources électriques. AVERTISSEMENT Risques liés aux surfaces chaudes L’équipement contient des surfaces chaudes. Le danger se situe sur l’arrière de l’équipement lors de l’ouverture des panneaux donnant accès aux baies d’analyseurs et aux servitudes. Plus particulièrement pour les éléments suivant : SO2 analyzer et DI water electrovalve. Î Porter des gants de protection et attendre que les éléments soient complétement froid avant intervention dessus. AVERTISSEMENT Risque lié aux sources de rayonnement laser (concerne les équipements avec analyseur HF_ID+) L’analyseur HF_ID+ contient une source de rayonnement laser classe 1. Ɣ Ne pas ouvrir la cellule d’analyse de l’analyseur HF_ID+. Ɣ Retourner la cellule d’analyse en cas de maintenance. Informations laser : 1. Fabricant : NTT Electronics 2. Modéle : NLK1U5AAA. 3. L’unité d’analyse est classe 1 et est conforme avec les normes 21 CFR 1040.10 et 1040.11 et IEC 60825-1:2007. (la diode laser est elle, classe IIIB, mais complètement isolé pendant l’utilisation de l’analyseur est donc permet d’être considéré comme classe 1). 4. Numéro CDRH Accession : 1210026-000. 5. Le laser classe IIIB, fonctionne dans les longueurs d’onde proche de l’infra-rouge dans la gamme de 1200-1800 nm avec une puissance maximale de 20 mW. 6. Pas de pièce de maintenance : déconnecter l’analyseur et le renvoyer pour sa maintenance. Le générateur 3 gaz utilisé pour la calibration contient 3 modules équipés de tube à perméation insérés chacun dans leur four respectif. Les gaz générés par ces tubes à perméation sont : SO2, NH3, HF. Thresholds TLV-TWA (*) LFL (**) SO2 0.25 ppm N/A NH3 25 ppm 15 % in air Safety Data Sheet Health effects Inhalation VERY TOXIC. Irritation of nose and throat, pulmonary edema, blindness. Symptoms : Coughing, shortness of breath, difficult breathing and tightness in the chest. VERY TOXIC. Irritation of nose and throat, pulmonary edema, blindness. Symptoms: Coughing, shortness of breath, difficult breathing and tightness in the chest. Dermal MSDS (***) MSDS_SO2_sulfur dioxide_Praxair.pdf CORROSIVE Irritates or burns the skin, frostbite. Symptoms : Burning sensation and stiffness. The skin may become waxy white or yellow. MSDS_NH3 ammonia_P4562_Praxair.pdf CORROSIVE. Irritates or burns the skin, frostbite. Symptoms: Burning sensation and stiffness. The skin may become waxy white or yellow. 11 Sécurité Thresholds TLV-TWA (*) LFL (**) HF 0.5 ppm N/A Safety Data Sheet Health effects Inhalation Dermal HIGHLY TOXIC Irritation of eyes, nose and throat. Symptoms : Irritation, pulmonary edema, rhinitis, bronchitis, bone changes. HIGHLY CORROSIVE Irritation of eyes, skin and mucous membranes. Skin absorption. Symptoms : Irritation, eye and skin burns, bone changes. MSDS (***) MSDS_ HydrogenFluoride-1015_121305_ Praxair.pdf (*) Threshold Limit Value – Time Weighted Average (concentration for a normal 8-hour workday or 40-hour workweek) / data from ACGIH) (**) Lower Flammable Limit (***) MSDS available on APA software (Press [Events] then [components manual]) Les risques potentiels sur cet équipement concernent l’électricité, les procédés chimiques (radioactivité, génération d’hydrogène), les surfaces chaudes, le circuit CDA / gaz de procédé. Ɣ Seul un personnel qualifié et formé aux règles de sécurité (CEM, sécurité électrique, pollution chimique) peut procéder à l’installation et à la maintenance décrite dans ce manuel. Nos centres de service peuvent dispenser les formations nécessaires. Ɣ Ne pas obstruer les ports de prélèvement. Ɣ Respecter toutes les prescriptions de sécurité et de prévention des risques conformément aux normes de sécurités locales et nationales. Ɣ Vérifier régulièrement que toutes les mesures de précautions sont respectées. Ɣ Ne pas mettre en service l’équipement en l’absence des capots. 2.2 Conformité d’utilisation AVIS Conformité CE La déclaration de conformité du fabricant expire si le produit d’origine a été modifié par l’exploitant ou si ce dernier a ajouté des dispositifs supplémentaires ! Î Après incorporation dans une installation et avant la mise en service, l’exploitant s’engage à vérifier la conformité de l’ensemble du système dans l’esprit des directives UE en vigueur, et de la réévaluer en conséquence. Î Pour les analyseurs IMS, l’exploitant devra obtenir une autorisation pour l’importation et l’utilisation de tels systèmes embarquant des sources radioactives. Ɣ Le système est spécialement conçu pour contrôler des FOUP et MAC de plaques de silicium (wafer) 450 mm. Il fournit des informations sur le taux de contamination moléculaire à l’intérieur des FOUP et MAC. 2.3 Usage non conforme à la destination En cas d’usage non conforme, tout recours en responsabilité et en garantie sera rejeté. Est réputée non conforme toute utilisation à des fins qui différent de celles précitées, dont notamment : – l’utilisation d’accessoires ou pièces de rechange qui n’ont pas été désignés dans ce manuel, – l’utilisation d’analyseurs et générateurs non qualifiés par Pfeiffer Vacuum, – présence d’un opérateur dans l’équipement, – l’exploitation dans des zones à risque d’explosion. 12 Manutention et stockage 3 Manutention et stockage A la livraison, assurez-vous que le produit n’a subi aucun dommage pendant le transport. S’il a été endommagé, prendre contact avec le transporteur et en informer le constructeur. Dans tous les cas, nous recommandons de : Î maintenir le produit dans son emballage d’origine pour préserver la propreté résultant des soins que nous lui avons apportés, ne le déballer que sur le lieu d’utilisation finale, Î conserver l’emballage, dans le cas où le produit doit être transporté ou stocké. 3.1 Manutention 3.1.1 Manutention équipement APA 450 AVERTISSEMENT Risque de blessure liée aux charges lourdes Compte tenu du poids de l’équipement, seul un personnel habilité et formé aux règles de manutention des objets lourds peut sortir le produit de son emballage. Î Utiliser un transpalette ou un chariot élévateur. Î Le constructeur dégage toute responsabilité en cas d’utilisation d’autres moyens de manutention. AVERTISSEMENT Risque de basculement Bien que la conformité aux règles de sécurité de la CEE soit assurée, il convient de prendre les précautions nécessaires lors des opérations de manutention, d’installation et d’exploitation du produit. Î Ne pas positionner le produit sur un plan incliné, il peut entraîner l’opérateur du fait de son poids : Î utiliser les roulettes uniquement pour le déplacer sur de courtes distances, Î le positionner sur un sol plat et dur, Î utiliser un transpalette ou un chariot élévateur pour les déplacements, Î le positionner sur ses pieds pour l’utiliser, de sorte à ce qu’il ne soit pas en appui sur les roulettes. Voir chapitre 13.3 pour la position du centre de gravité (Poids machine à vide et pleine). 3.1.2 Manutention des analyseurs / générateurs Certains analyseurs / générateurs sont transportés à part de l’équipement, car ils nécessitent une attention particulière de transport, d’emballage et de stockage. AVERTISSEMENT Risque de blessure liée aux charges lourdes Compte tenu de leur poids, la manipulation des analyseurs / générateurs peut entraîner de la fatigue musculaire ou des blessures au dos. Les analyseurs / générateurs doivent toujours être manutentionnés en position horizontale. 13 Manutention et stockage 3.2 Conditions de stockage et de transport Lors d’un stockage prolongé, les facteurs tels que la température, l’humidité, brouillard salin, etc..., peuvent endommager le système. 3.3 Température de stockage +1°C à 45°C Humidité 30% à 80% Choc et vibration Choc < 1g ; vibration < 0,2g @ 5 Hz Position Horizontale Déballage 3.3.1 Déballage de l’équipement APA 450 Le poids approximatif du système varie selon sa configuration entre 685 kg et 1045 kg, avec un poids maximum par pied de 200 kg à 440 kg. Î Utiliser un chariot élévateur adapté à la masse maximale de l’équipement. Fig. 2 : Déballage Î Enlever les panneaux latéraux de la caisse de transport. Î Enlever les cales de protections. Î Soulever l’équipement pour permettre le dégagement du plateau support. Î Enlever les emballages de protection en sas propre. Î Déplacer l’équipement sur son lieu d’installation. 14 Manutention et stockage 3.3.2 Déballage des analyseurs / générateurs AVERTISSEMENT Risque de blessure liée aux charges lourdes Compte tenu de leur poids, la manipulation des analyseurs / générateurs peut entraîner de la fatigue musculaire ou des blessures au dos. Î Enlever les panneaux latéraux de la caisse de transport. Î Enlever les cales de protections. Î Soulever l’appareil à deux personnes pour permettre le dégagement du plateau support. Î Enlever les emballages de protection en sas propre. Î Déplacer l’appareil sur son lieu d’installation délicatement en position horizontale (sans vibration et choc). ATTENTION Stockage en position horizontale (sans vibration et choc). 3.3.3 Déplacement de l’APA 450 en salle blanche ATTENTION Avant de déplacer l’équipement, l’utilisateur doit lire les consignes de sécurité fournies et les respecter. L’APA 450 est équipé de quatre roulettes pivotantes. AVERTISSEMENT Compte tenu de son poids, la manipulation de l’équipement peut entraîner de la fatigue musculaire ou des blessures au dos. Utiliser les dispositifs de manutention appropriés. 15 Description du produit 4 Description du produit 4.1 Identification du produit Pour identifier l’équipement de manière sûre et pour communiquer avec Pfeiffer Vacuum, référez vous aux informations figurant sur la plaque signalétique du produit : Fig. 3 : Exemple de plaque signalétique 4.1.1 Contenu de la livraison Ɣ Un équipement complet, Ɣ Une boîte contenant : – un manuel de l’utilisateur, – une prise d’alimentation électrique, – une prise bouchon Arrêt d’Urgence client, – quatre équerres parasismiques (visserie incluse), – un module d’évacuation chimique, – deux modules d’évacuation thermique, – quatre lockout pin. Ɣ Un sachet plastique contenant : – deux tubes flexibles Ø 180 mm pour déporter l’évacuation thermique (dont colliers). Ɣ Une ou plusieurs caisses complémentaires en fonction des types d’analyseurs / générateurs commandés. 16 Description du produit 4.1.2 Les différents accessoires Un modèle standard : – APA 450 standard (référence 200101) Des accessoires : Ɣ L’ensemble des analyseurs / générateurs présents au catalogue sont disponibles (précision à la commande). Analyseurs / générateurs Référence Manuels utilisateur (*) HF_ID+ analyzer 122852S HF_ID+ analyzer_user manual_Tiger-i M7020 Rev H VOC FID analyzer IS0960S VOC FID analyzer_user manual_HC51M SO2 analyzer IS0961S SO2 analyzer_user manual_APSA370 NH3 / acid analyzer IS1123S NH3-acid-amine analyzer_user manual_IMS Amine analyzer IS1122S NH3-acid-amine analyzer_user manual_IMS Air Zero generator IS1078S Air zero generator_user manual H2 generator 3080+ 123593 H2 generator_user manual_SONIMIX 3080 Gas generator IS1105S Gas generator_user manual Hygrometer analyzer IS1023 Hygrometer analyzer_user manual_TESTO 6651 Module injection APA 450 200106 N/A (*) Manuels utilisateur disponible dans le software de l’APA (Appuyer sur [Events] Puis sur [components manual]) – – 4.2 Un module d’injection d’air propre dans le carrier est disponible (précision à la commande). L’air injecté provient du réseau client, possibilité d’ajouter à ce module un générateur d’air zéro afin de purifier l’air fourni. (précision à la commande), les voyants du Load Port sont personnalisables : précision à la commande. Conditions de fonctionnement Se référer au chapitre 13. 17 Description du produit 4.3 Interface homme/machine Face avant 1 2 3 4 5 24 6 7 1 Indication d’état LP (x2) 4 Mise sous tension (Power ON) 6 Load Port 1 2 Tour lumineuse 5 Arrêt d’urgence (EMO) 7 Load Port 2 3 IHM Face arrière 8 9 10 11 12 13 1 0 14 24 16 23 22 21 19 18 17 16 8 Ouverture panneaux 14 Terre 20 Entrée gaz de procédé 15 9 Armoire électrique 15 Arrêt d’urgence client 21 Entrée eau déionisée (2 bar max.) 10 LED 230 V / LED 24 V 16 Evacuation thermique 22 Vanne de sécurité eau déionisée 11 Arrêt d’urgence 17 Maintenance (RJ 45) 23 Evacuation chimique 12 Sectionneur principal 18 Interface Sub-D 24 Baies d’analyseurs / générateurs 13 Gaz pneumatique (CDA) 19 Prise réseau client Fig. 4 : Interface homme/machine 18 20 Description du produit 4.3.1 Tour lumineuse et sonore Située sur la face avant de l’équipement. Règles d’activation de la lampe : Indicateurs Description Lampe ROUGE allumée Lampe ORANGE allumée Lampe VERTE allumée Lampe BLEUE allumée Lampe BLANCHE allumée Fonctions Selon configuration client, précisée à la commande Avertisseur sonore 4.3.2 Indicateurs Load Port Indicateurs Description Fonctions Prêt à charger Prêt à décharger Selon configuration client,précisée à la commande ..... ..... LP1 LP2 Load Load Load : permet de valider le bon positionnement du carrier. Lorsqu’un carrier est posé sur la platine de chargement, le bouton s’allume. Il faut appuyer sur le bouton pour valider le placement du carrier (dépend de la configuration client précisée à la commande). 19 Description du produit 4.4 Modules de sécurité Afin de sécuriser l’équipement, des modules de sécurité et des capteurs associés ont été mis en place. Capteur d’hydrogène, déclenchement de l’EMO : – En cas de fuite d’hydrogène dans la ligne reliant le générateur d’hydrogène à l’analyseur à alimenter. – En cas de panne du détecteur d’hydrogène. Capteur de fuite d’eau, déclenchement de l’EMO : – En cas de détection de fuite d’eau sur le ruban de détection. Capteur de surconsommation d’eau, déclenchement de l’EMO : – En cas de détection de surconsommation d’eau par le mesureur de débit d’eau. Modules de sécurité Capteurs associés Localisation des capteurs Fuite d’hydrogène dans l’équipement. Relais de sécurité : 04H2D1 Cellule de détection d’hydrogène Détail A Fuite d’eau dans l’équipement. Relais de sécurité : 04RAR1 Rubans de détection d’eau Détail B Surconsommation d’eau de l’équipement. Relais de sécurité : 04FMR1 Débitmètre d’eau Détail C Risques / Condition d’activation Relais de sécurité - 04H2D1 - 04RAR1 - 04FMR1 Détail B Détail A Fig. 5 : Localisation des capteurs de sécurité 20 Détail C Installation 5 Installation 5.1 Préparation de l’équipement L’ APA 450 doit fonctionner en position horizontale en appui sur ses pieds. Î Définir le Point Zéro pour l’emplacement. Î Préparer les trous pour la fixation au sol de l’équipement (voir chapitre 5.1.1). Î Manutentionner l’équipement à l’aide d’un chariot élévateur ou d’un transpalette (voir chapitre 3.1). Î Positionner l’équipement à partir de son Point Zéro (voir chapitre 5.1.1). Î Utiliser si besoin un niveau pour vérifier que l’équipement est positionné dans un plan horizontal. ATTENTION Risque d’arrachement ou de chute Î Fixer les câbles électriques et les canalisations (gaz de procédé, CDA et eau déionisée) et les acheminer dans des goulottes. 5.1.1 Préparation au sol Zone de Maintenance 700 1364 100 8 trous Ø 12 mm fixation équerres parasismiques 110 Ouverture pour arrivée servitudes 300 724,5 Ouverture pour évacuation air chaud 100 420 Ouverture pour évacuation chimique 2064 50 15 100 100 110 699,5 Ouverture pour évacuation air chaud 269 1439 300 300 LB POINT ZERO Fig. 6 : Préparation au sol 21 Installation 5.1.2 Positionnement 3364 1200 Zone de Maintenance BP LP2 2654,15 BP LP1 600 600 FP LP1/LP2 252,5 voir détail A 638 LB 524,25 15 252,5 DETAIL A 524,25 LB POINT ZERO 913 ± 10 réglable HP LP1/LP2 105 Zone réservée PGV 126 Zone réservée PGV Fig. 7 : Positionnement 22 374,25 638 524,25 Installation 5.2 Fixation au sol Î Régler la hauteur des quatre pieds (tiges filetées en acier inox) afin que la cote HP soit à la hauteur souhaitée par rapport au sol. Hauteur de réglage variant de 903mm à 923mm (voir chapitre 5.1.2). Î Utiliser une clé plate de 24 mm pour régler les pieds et une clé plate de 24 mm pour serrer les contre écrous (x4). x4 Fig. 8 : Réglage des pieds Î Fixer les quatre équerres parasismiques à l’aide des 8 vis CHC M10x30 inox + 8 rondelles M10 inox fournies. Utiliser une clé hexagonale mâle appropriée. Les vis de fixation des équerres au sol ne sont pas fournies. Il conviendra d’utiliser des vis de type CHC M10 avec rondelles (longueur à définir sur site). x4 x8 x8 Fig. 9 : Fixation équerres parasismiques 23 Installation 5.3 Installation des analyseurs / générateurs AVERTISSEMENT L’installation et les raccordements des analyseurs / générateurs à l’équipement doivent être réalisés par des personnes qualifiées et sous la supervision de Pfeiffer Vacuum. Prendre contact avec votre centre de service. Ne jamais intervenir sur un analyseur et/ou un générateur. AVERTISSEMENT Risque de blessure liée aux charges lourdes Compte tenu de leur poids, la manipulation des analyseurs / générateurs peut entraîner de la fatigue musculaire ou des blessures au dos. Les analyseurs / générateurs doivent toujours être manutentionnés en position horizontale. 5.4 Raccordement circuits pressurisés La ligne de gaz pneumatique est équipée d’une vanne à décompression verrouillable qui permet d’assurer la sécurité lors des interventions sur les lignes de gaz de l’équipement. La ligne de gaz procédé est équipée d’une vanne permettant l’isolement de cette ligne de gaz procédé. 5.4.1 Raccordement du gaz de procédé (XCDA ou N2 ou CDA) Si vous disposez de l’accessoire "module d’injection d’air propre dans le carrier" et de la configuration de cet accessoire : – Connecter l’arrivée "process gas" sur le connecteur double bague 1/4’ à son emplacement spécifié (voir chapitre 4.3). – En cas d’utilisation de N2, l’installation devra comporter un orifice calibré avec un flux maximal de 10 slm. Avant intervention dans l’équipement, isoler la source de N2 et vérifier avec un appareil adéquate, que le taux d’oxygène est supérieur à 19.4% d’O2. 5.4.2 Raccordement du circuit pneumatique (CDA) – Connecter l’arrivée "pneumatic gas" sur le connecteur double bague 1/4’ à son emplacement spécifié (voir chapitre 4.3). 5.4.3 Raccordement du circuit d’eau déionisée Si vous disposez de l’analyseur "VOC FID" et du générateur "H2 generator 3080+" et de la configuration de cet accessoire : – Connecter l’arrivée "DI water" sur le connecteur double bague 1/4’ à son emplacement spécifié (voir chapitre 4.3). 24 Installation 5.5 Raccordement électrique AVERTISSEMENT Risque de choc électrique Courant et tension peuvent provoquer des chocs électriques. Seul un personnel qualifié et formé aux règles de sécurité (CEM, sécurité électrique, pollution chimique) peut intervenir sur le produit. Î Passer le sectionneur en position « OFF/0 », débrancher la prise d’alimentation et la verrouiller avant d’intervenir sur l’équipement et/ou de retirer les panneaux. AVIS Risque de perturbations électromagnétiques Les performances des produits en CEM sont obtenues sous réserve que l’installation soit effectuée dans le respect des règles applicables en CEM. Î Utiliser des liaisons et raccordements blindés pour les interfaces, dans les environnements perturbateurs. AVERTISSEMENT Risque lié à une installation électrique non conforme La sécurité du fonctionnement après l’installation est de la responsabilité de l’exploitant. Î Raccorder l’équipement à une installation conforme aux normes de sécurités locales. Î Ne procéder à aucune transformation ou modification de l’équipement de votre propre initiative. Î Vérifier que l’équipement est correctement relié au système d’arrêt d’urgence. Î Pour davantage d’informations, appeler votre centre de service. Il reste à la charge de l’installateur le raccordement électrique de l’alimentation générale. AVIS Sécurité électrique L’équipement est protégé contre les surcharges par des disjoncteurs de type composants électromécaniques. Î Ne pas neutraliser ces sécurités pendant l’installation, l’utilisation ou l’entretien. Lorsque ces disjoncteurs sont déclenchés, l’alimentation est coupée et l’équipement est en position de sécurité. Pour réarmer ces disjoncteurs, il faudra : Î supprimer l’origine du défaut, Î passer le sectionneur en position « OFF/0 », Î débrancher la prise d’alimentation et la verrouiller, Î ouvrir le panneau haut à l’arrière de l’équipement (armoire électrique), Î réarmer les disjoncteurs. 5.5.1 Protection de l’installation électrique du client Protection par disjoncteur Le réseau de puissance alimentant l’équipement doit être équipé d’un disjoncteur 40 A courbe D suivant IEC 60947-2, il doit être conforme à la législation locale et avoir un pouvoir de coupure en court-circuit d’une valeur minimum de 10 kAIC (Ampere Interrupting Capacity). Ce dispositif de protection sera placé de façon visible à une distance maximum de 7 m du produit et identifié comme dispositif de coupure du produit. 25 Installation 5.5.2 Raccordement au réseau électrique Raccorder le réseau électrique en suivant les instructions suivantes : Î Ouvrir le panneau arrière de facilities. Î Passer le câble par le dessous de l’équipement et à travers le presseétoupe. Î Serrer le presse étoupe pour assurer la fixation du câble. Î Connecter les fils de phase et de neutre sur le disjoncteur 04Q2, avec un couple de serrage de 3,5 N.m. Î Connecter le fil de terre principal sur la masse du panneau, avec un couple de serrage de 3,5 N.m. Î Vérifier que la tension d’alimentation est compatible avec la configuration de la puissance de l’équipement. 5.5.3 Connexion de la masse de l’équipement Î Connecter la masse générale sur la masse de l’équipement (GROUND). Serrer modérément. 5.6 Arrêt d’urgence client Cet arrêt d’urgence permet au client de couper l’alimentation de l’équipement. Il est impératif d’utiliser un câble blindé pour raccorder l’installation à l’arrêt d’urgence client. En cas de non utilisation, la prise bouchon fournie devra être connectée. 5.7 Connexion au réseau Ethernet client (Network) – Utiliser le connecteur RJ45 pour connecter l’équipement au réseau Ethernet. 26 Installation 5.8 Raccordement au réseau AMHS AMHS LP2 AMHS LP1 Fig. 10 : Raccordement au réseau AMHS 5.9 Raccordement évacuation 5.9.1 Raccordement des évacuations thermiques Î Enlever les capots latéraux. Remarque : Le panneau du bas (coté gauche de l’équipement) n’est pas amovible, le raccordement pourra néanmoins être effectué sans gène pour l’intervenant. Î Fixer les deux évacuations thermiques à l’aide des 2 x 4 vis CHC M8x20 inox fournies. Utiliser une clé hexagonale mâle appropriée. Î Connecter électriquement les deux ventilateurs. Î Connecter les deux conduits flexibles* Ø 180 mm sur les lignes d’évacuation air chaud. * fourniture adixen Evacuations thermiques 27 Installation Fig. 11 : Raccordement évacuations thermiques 5.9.2 Raccordement de l’évacuation chimique DANGER Risque pour la santé en cas de contact avec des substances toxiques Le refoulement des gaz corrosifs peut entrainer des blessures graves ou la mort. Î Toujours raccorder l’évacuation chimique de l’équipement à un système d’extraction et de traitement des gaz (acid exhaust). Î Veiller à ce que ce raccordement soit réalisé par des personnes habilitées. Î Veiller à ce que le système d’extraction soit toujours fonctionnel. Flux = 20 L/min. Î Porter des gants nitriles. Î Porter des gants antiacide au dessus des gants nitrile. Î Porter un tablier. Î Porter une visière. Î Enlever le capot en face avant. Î Fixer l’évacuation chimique à l’aide des quatre vis CHC M5x16 inox fournies. Utiliser une clé hexagonale mâle appropriée. Î Connecter l’ensemble des tubes d’évacuation provenant des analyseurs au système d’évacuation chimique de l’APA 450. Î Connecter un conduit sur la ligne d’évacuation chimique de l’équipement. Raccordement en DN 40 iso-KF. Flux de 20 L/min maximum. 28 Installation Evacuation chimique Fig. 12 : Raccordement évacuation chimique 29 Utilisation 6 Utilisation Les étapes suivantes décrivent l’utilisation de l’équipement. L’organe de contrôle est le bras «IHM» composé du clavier et de l’écran tactile. Se référer au chapitre 4.3 pour la description de l’interface homme-machine. 6.1 Précautions préalables Se référer au chapitre 5. AVERTISSEMENT Risques liés aux gaz de procédé L’utilisateur et/ou l’intégrateur du produit ont l’entière responsabilité des conditions de sécurités liées au fonctionnement de l’équipement. Le constructeur n’a pas la possibilité de contrôler le type de gaz utilisé avec l’équipement. Les gaz de procédés sont fréquemment toxiques, inflammables, corrosifs, explosifs ou réactifs. Ces gaz étant dangereux, il appartient donc à l’utilisateur du procédé : Î D’appliquer les consignes de sécurité spécifiques, conformément à la législation locale. Ces informations sont disponibles auprès de son service sécurité. Î Ces gaz peuvent causer des blessures graves ou la mort, il est impératif de relier le refoulement de l’équipement au système d’échappement des gaz dangereux de l’installation, doté de filtres appropriés, de sorte que l’échappement soit conforme aux règles de protection contre la pollution de l’eau et de l’air. Î Vérifier que l’équipement est correctement raccordé aux servitudes. Î Pour davantage d’informations, appeler votre centre de service. Avant la première mise en service et après un arrêt du système pour maintenance : Î Vérifier les connexions de l’équipement (gaz, eau, évacuations chimiques / thermiques, connexions électriques). Î Vérifier que le connecteur "arrêt d’urgence client" soit équipé de la prise bouchon ou qu’il soit câblé sur l’installation arrêt d’urgence client. 6.2 Mise sous tension AVIS Vérifier que la tension d’alimentation est compatible avec la configuration de l’équipement. 6.2.1 Mise sous tension Î Connecter les câbles d’alimentation électrique phase, neutre et terre. (couple de serrage de 3,5 N.m). Î Vérifier que la tension d’alimentation est compatible avec la configuration de la puissance de l’équipement. 30 Utilisation Î Commuter le sectionneur principal sur « ON/1 ». Î Ouvrir la vanne de sécurité du circuit pressurisé (CDA). Î Ouvrir la vanne de sécurité d’eau déionisée (si l’équipement est équipé). Î Allumer l’onduleur (UPS). Appuyez sur la touche panneau avant. I Test du 6.2.2 Démarrage de l’équipement Lors du démarrage de l’équipement, d’un redémarrage PC, d’un redémarrage après un arrêt d’urgence ou redémarrage après coupure secteur, suivre la démarche suivante : Î Déverrouiller les deux arrêts d’urgence. Avant Arrière Î Appuyer sur le bouton poussoir "Power On" pour remettre l’équipement en énergie. Î Afin que l’équipement soit de nouveau fonctionnel, l’opérateur doit s’identifier et appuyer sur [ALARM], et acquitter les défauts. AVIS Une mesure ne pourra être lancée qu’après un délai nécessaire. Se reporter au chapitre 13.1 31 Utilisation 6.2.3 Arrêt d’urgence Les deux arrêts d’urgence situés en face avant et arrière ainsi que l’arrêt d’urgence client situé en face arrière coupent l’alimentation de tous les organes de l’équipement (dont le gaz pneumatique CDA et l’eau déionisée) sauf : – Le sectionneur principal ; – Le filtre secteur ; – Le disjoncteur principal ; – L’onduleur ; – Les entrées automate (24 V) ; – Le PC (24 V) ; – Le Switch Ethernet (24 V). 6.2.4 Arrêt équipement L’arrêt de l’équipement se fait de la façon suivante : Î S’identifier avec des droits suffisants. Î Appuyer sur [Settings] puis sur [Exit] et enfin sur [Shutdown Computer]. Attendre que le PC s’arrête (voir chapitre 7.10.1). Î Appuyer sur l’arrêt d’urgence de l’équipement. Î Eteindre l’onduleur (UPS). Appuyer sur la touche du panneau avant. Î Passer le sectionneur en position « OFF/0 ». Î Couper l’alimentation électrique client en amont de l’équipement. Î Vérifier avec un V.A.T.* que la tension est à « 0 » (* Vérificateur d’Absence de Tension). Î Fermer les vannes des servitudes. Î Déconnecter les servitudes. 6.2.5 Isolation des sources d’énergie Alimentation eau déionisée Ligne d’eau déionisée sous pression : 2 · 10 3 hPa maximum Î Fermer la vanne manuelle de sécurité. Alimentation gaz pneumatique Ligne d’air sous pression : 6 · 10 3 hPa Î Dépressuriser la ligne en fermant la vanne à décompression située sur la face arrière de l’équipement. Il s’agit d’une vanne trois voies: la troisième voie est destinée à libérer la pression dans les conduites pneumatiques, et est équipée d’un silencieux. Î Mettre un cadenas sur cette vanne pour la verrouiller. Î Vérifier que la jauge de pression pneumatique indique « 0 ». 32 Utilisation Alimentation gaz de procédé Ligne d’air sous pression : 6 · 10 3 hPa Î Dépressuriser la ligne en fermant la vanne d’isolement située dans l’équipement derrière l’arrivée du gaz de procédé sur l’équipement. Alimentation électrique Î Passer le sectionneur en position "OFF/0". Î Mettre un cadenas sur le sectionneur. Î Couper l’alimentation électrique client en amont de l’équipement. Î Vérifier avec un V.A.T.* que la tension est à "0". *(Vérificateur d’Absence de Tension). Î Déconnecter les câbles d’alimentation. 6.2.6 Remise en service de l’équipement Alimentation gaz pneumatique Î Retirer le cadenas installé sur la vanne d’isolement de la ligne de gaz pneumatique. Î Ouvrir la vanne de sécurité. Alimentation eau déionisée Î Ouvrir la vanne de sécurité. 33 Utilisation Alimentation gaz de procédé Î Ouvrir la vanne d’isolement. Alimentation électrique Î Connecter les câbles d’alimentation électrique phase, neutre et terre. (couple de serrage de 3,5 N.m). Î Vérifier que la tension d’alimentation est compatible avec la configuration de la puissance de l’équipement. Î Mettre l’interrupteur principal « ON/1 ». Î Vérifier que la tension est correcte (voir chapitre 5.5.2). Î Allumer l’onduleur (UPS). Appuyer sur la touche panneau avant. I Test du Évacuations chimique et thermiques Î Vérifier le bon raccordement de ces évacuations ainsi que leur fonctionnement. AVIS Une mesure ne pourra être lancée qu’après un délai nécessaire. Se reporter au chapitre 13.1 34 Utilisation 6.3 Interface du logiciel L’écran de l’IHM est organisé de la façon suivante : – 1 zone d’informations située en haut de l’écran qui s’affiche de manière permanente (il s’agit d’une zone en lecture seule qui contient les zones 1 et 2), – 1 zone (écran) sur laquelle les fonctions de l’APA 450 apparaissent, – 1 zone de boutons (barre d’outils des boutons) située en bas de l’écran, qui s’affiche de manière permanente et permet un accès aux fonctions. NOTE Utilisez l’écran tactile à l’aide de vos doigts ou d’un objet à bout arrondi. Zone d’informations Zone 1 Zone 2 Ecran principal Barre d’outils des boutons 35 Utilisation 6.3.1 Description des icônes de la zone 1 Zone d’informations située en haut de l’écran. Les icônes du Load Port, SECS/GEM control state et SECS/GEM communication sont disponibles dans cette zone. Il suffit de placer le curseur de la souris sur une icône pour que sa description apparaisse sous la forme d’un texte. Icon Description RTL Le Load Port est prêt à charger un FOUP / MAC. TB Le Load Port n’est pas prêt à charger ou décharger un FOUP / MAC par l’intermédiaire de l’AMHS ou d’un opérateur. RTU Le Load Port est prêt à décharger un FOUP / MAC. OOS Le Load Port a été désactivé par l’opérateur. Aucune action ne peut être effectuée. R Système en «remote» mode (mode d’exploitation standard). L Système en «local» mode. E Communication SECS/GEM activée et communique avec l’automation : cela correspond à l’utilisation standard du système. D Communication SECS/GEM désactivée. E SECS/GEM : Communication SECS activée mais sans connexion avec l’automation. Une icône représentant une enveloppe indique qu’un message du terminal envoyé par l’automatisation n’a pas encore été lu. Lorsque vous cliquez sur cette icône, le message s’affiche dans une fenêtre. Lorsque vous avez lu le message, cliquez sur le bouton « Message lu » afin de signaler à l’automation que la lecture a été effectuée. Ce cadre résume les informations importantes comme le statut actuel. 6.3.2 Description des icônes de la zone 2 Dans cette zone s’affichent : – – – – – – la date et l’heure du système, la version du logiciel, le nom de l’utilisateur connecté, les six derniers événements ou informations, une icône indiquant les avertissements en cours, une icône indiquant les alarmes non visualisées. Les six derniers événements/informations sont structurés de la façon suivante : – type de message (Information, Warning ou Alarm), – émetteur du message (IHM, LP1), – heure de l’émission, – texte du message. 36 Utilisation Lorsque l’arrière-plan est rouge, il s’agit d’une alarme activée. Le message passe au vert lorsque l’alarme a été visualisée. Icône Description Cette icône signifie qu’il y a un avertissement en cours. Lorsque vous cliquez sur celle-ci, une fenêtre s’ouvre pour vous indiquer quel composant est concerné. Il n’est pas nécessaire d’ acquitter l’avertissement. Lorsque l’avertissement disparaît, le message disparaît également. Cette icône signifie qu’il y a une alarme en cours. Lorsque vous cliquez sur celle-ci, une fenêtre s’ouvre pour vous indiquer quel composant est concerné. Une alarme doit être acquittée. 2 boutons sont disponibles : – [Acknowledge] : acquitter le message sélectionné, – [Acknowledge All] : marquer simultanément toutes les alarmes comme acquittées. Cette icône permet de couper le son de l’alarme sonore. 6.3.3 Ecran Principal Dans cette zone, s’affichent : – – – l’état des LP les résultats (xxxxxxxxxxxx .........) le statut de la mesure en cours ainsi qu’une zone de commentaire client. 6.3.4 Barre d’outils des boutons Zone de boutons située en bas de l’écran. Cette zone de boutons permet de faire apparaître les écrans de fonctions du logiciel APA 450 (voir chapitre 7.1). Par défaut, tous les boutons apparaissent en gris et sont désactivés, sauf le bouton de [Login]. Se référer au chapitre 7.12 pour la description des boutons [Login] et [Logout]. 6.4 Mesure d’un FOUP / MAC Un carrier (FOUP / MAC) peut être chargé manuellement ou de façon automatique. – Dans le cas d’un chargement automatique (mode AUTO activé sur le Load Port), un véhicule de type AMHS peut faire le chargement. L’opérateur n’est pas autorisé à faire le chargement manuel. – Dans le cas d’un chargement manuel (mode MANUAL activé sur le Load Port), l’opérateur est le seul à pouvoir charger un FOUP / MAC sur le Load Port. En fonction de la configuration de la machine, l’opérateur devra appuyer ou non sur le bouton [LOAD] pour valider le bon placement. Les trois façons de lancer une mesure de FOUP / MAC sont décrites ci-dessous. Se référer au chapitre 7 pour le détail des différents boutons et menus. 6.4.1 Mode «Remote» Dans ce mode, la Fab pilote l’APA 450 : lorsqu’un FOUP / MAC est placé sur le Load Port, l’opérateur n’a aucune action à faire, c’est le HOST de la Fab qui envoie tous les ordres via la communication SECS/GEM. 37 Utilisation 6.4.2 Mode «Local» identifié Dans ce mode, l’opérateur doit être identifié. Lorsqu’ un FOUP / MAC est placé sur le Load Port, l’opérateur doit effectuer les actions suivantes : Î Cliquer sur [Local]. Î Dans l’écran Local, cliquer sur le dessin du FOUP / MAC du Load Port concerné : LP1 ou LP2. Sur la partie droite de l’écran, des boutons d’actions deviennent accessibles : [Carrier In] et [Cancel Carrier] Î Appuyer sur [Carrier In], puis sur [Execute] : Le FOUP / MAC est clampé. Î Cliquer sur le dessin du FOUP / MAC du Load Port concerné : LP1 ou LP2. La liste des recettes disponibles apparait. Î Sélectionner la recette et appuyer sur [Start process]. Le process démarre. 6.4.3 Mode «Local» non identifié («Operator») Dans ce mode il ne faut pas être Identifié et l’équipement doit être en mode Local. Lorsqu’un FOUP / MAC est placé sur le Load Port, la mesure démarre automatiquement si la configuration a été faite au préalable. Se référer au paragraphe chapitre 7.10.4 (Operator mode) pour la configuration de ce mode. 6.4.4 Déroulement de la mesure La buse de prélèvement monte et vient se plaquer contre le FOUP / MAC. L’air contenu dans le FOUP / MAC est aspiré puis analysé. A la fin de la mesure, la concentration de chaque gaz est affichée à l’écran. Le FOUP / MAC est déclampé automatiquement (avec le paramétrage SECS/GEM Carrier Hold = Equipement release, le FOUP / MAC est libéré et le Load Port passe en « Ready to Unload » (RTU)). Sinon il faut aller dans la page Local, puis cliquer sur le bouton [CarrierRelease] 6.5 Arrêt de la mesure La mesure peut être arrêtée soit sur défaut, soit par la Fab, soit par l’opérateur en appuyant sur [Abort]. Lors d’un arrêt sur défaut, l’opérateur devra acquiter les alarmes (voir chapitre 9.2) pour libérer le FOUP / MAC. Dans les 2 autres cas, avec le paramétrage SECS/GEM Carrier Hold = Equipement release, le FOUP / MAC est libéré et le Load Port passe en « Ready to Unload » (RTU). 38 Interfaces de commande 7 Interfaces de commande Pour sélectionner un écran (une fonction), appuyez sur le bouton, il devient orange. Liste des écrans disponibles : – Home screen, – History screen, – Local screen, – Advanced gas monitoring, – Maintenance screen, – Events, – Ambient, – SECS/GEM, – Settings, – Alarms. Ils sont détaillés dans les paragraphes de ce chapitre. 7.1 Description des touches Bouton Description [Home] Page principale, par défaut et en lecture seule, lorsqu’aucun utilisateur n’est identifié. [History] Affiche la liste des mesures en cours et terminées, ainsi que les rapports associés. [Local] Permet de lancer des recettes par un opérateur. Permet de visualiser l’état de chaque analyseur ( valeur instantanée, paramètres ,…. ), générateur de gaz, [Advanced Gas Monitoring] vérification du bon fonctionnement des analyseurs ( AutoCheck ) Affiche l’état du plateau ( capteurs et actionneurs ), et permet de contrôler les actionneurs ( clamp et buses ) en fonction des droits de l’utilisateur. [Maintenance] Cet écran affiche également les vannes actives et les informations du circuit d’injection ( si présent ). Affichage de la liste de tous les événements qui ont eu lieu [Events] sur l’équipement (Warning, Alarm...) et l’accès au manuel utilisateur. Affiche les mesures ambiantes effectuées lorsque l’équipement ne mesure pas de FOUP / MAC. [Ambient] On peut faire un affichage du jour, mois, semaine, année. [Secs/Gem] Ecran de contrôle de la communication SECS/GEM. [Settings] Accès à des sous-menus de configuration ou d’information. [Alarms] Affichage et acquittement de la liste des alarmes en cours sur l’équipement. [Login/Logout] Permet à l’utilisateur de s’identifier ou de se déconnecter. Certains menus ont des restrictions d’accès : selon les droits de l’utilisateur. 39 Interfaces de commande 7.2 Home screen Bouton [Home] Description C’est l’écran par défaut lorsque le logiciel est lancé. Il est en lecture seule. Il affiche les informations suivantes: – l’état des Load Port, – le nom des FOUP / MAC, – l’état de la séquence de mesure (FOUP / MAC en position de mesure, mouvements en cours …), – les informations sur la mesure en cours (durée, étape en cours...), – les résultats de la contamination par espèce en ppbv (parts per billion by volume) du FOUP / MAC et de la dernière mesure ambiante qui a été effectuée. Selon les droits de l’utilisateur identifié, celui-ci peut changer le mode de chargement du Load Port (Auto, Manu). Pendant une mesure, l’opérateur peut saisir un commentaire dans les champs "Comments". 7.3 History screen Bouton [History] [Export to CSV] 40 Description – Cet écran affiche la liste de toutes les mesures en cours ou terminées. – Par défaut, seul les sept derniers jours sont affichés. – En cliquant sur le bouton sélectionnable [All], toutes les mesures s’afficheront. Le tableau contient : – le nom du FOUP / MAC, – le numéro du Load Port, – l’heure de démarrage de la mesure, – le nom de la recette, – le mode défini dans la recette, – la valeur du ControlState lors du lancement de la recette (local ou remote), – le nom du ControlJob, – le nom du ProcessJob, – les champs des commentaires, – le nom du rapport PDF. – On peut exporter la liste des mesures en CSV (Comma Separated Values), – On peut exporter également les rapports de mesure (PDF), – Il suffit de sélectionner des lignes dans la grille et de choisir si l’on souhaite exporter les rapports PDF. Il est possible de filtrer les enregistrements de la liste de deux façons : – Version Simplifiée : On peut saisir des caractères du nom du FOUP / MAC et cliquer sur le bouton contenant une loupe pour lancer la recherche sur la colonne CarrierID, – Version avancée : On peut remplir différents champs de saisie correspondants aux colonnes de la grille. Le mode avancé s’active en cliquant sur le carré bleu contenant un chevron. En cliquant sur le bouton [Search] on lance la recherche sur tous les champs remplis. Interfaces de commande 7.4 Local screen Bouton [Local] [Carrier In] Description Le bouton [Local] affiche une fenêtre qui permet de lancer une recette sur un FOUP / MAC placé sur un des deux Load Port. Cet écran est accessible uniquement si l’équipement est en mode LOCAL (voir le bouton [SECS/GEM]) et si l’utilisateur a le droit d’y accéder. L’écran représente les deux Load Port de l’équipement. En cliquant sur un FOUP / MAC sur un des deux Load Port, différentes actions sont possibles : Î Cliquer sur le bouton [Carrier In]. Î Le bouton [Execute] apparait. [Carrier Release] [CancelJob] ou [CancelCarrier] [Carrier Recreate] Î Puis cliquer sur le bouton [Execute]. Le FOUP / MAC va être clampé. Î Cliquer sur le bouton [Carrier Release] pour libérer le FOUP / MAC. Le FOUP / MAC va être libéré. Le FOUP / MAC va passer en mode Ready To Unload. Pour annuler une mesure en cours. Le FOUP / MAC va passer en mode Ready To Unload. Quand le FOUP / MAC est prêt à être déchargé, en cliquant sur [Carrier Recreate], le FOUP / MAC passe en Transfer Block, et une mesure peut de nouveau être lancée. Si le FOUP / MAC est dans un état qui autorise de lancer une mesure (FOUP / MAC en position dock), la moitié basse de l’écran permet de lancer une mesure. La liste de toutes les recettes est affichée en fonction du niveau de l’utilisateur. Bouton Description Î Cliquer sur une recette dans la liste. [Run Process] [Abort] 7.5 Î Cliquer sur le bouton [Run Process]. La mesure s’effectue. Ce bouton est accessible uniquement lorsque la mesure en cours a été lancée en mode Local. Î Cliquer sur [Abort]. La mesure en cours s’arrête. Advanced Gas Monitoring Cet écran est subdivisé en deux parties : La partie de gauche liste tous les analyseurs de gaz présents dans l’équipement ( NH3, ACIDS,…. ) sous forme d’un bouton cliquable. Bouton Description [Common] Ecran qui regroupe les actions communes à tous les analyseurs. [Gas Generator] Affiche l’écran de configuration du générateur de gaz. [H2 Gas Generator] Est actif lorsque un analyseur VOC est intégré dans l’équipement. La partie de droite affiche un écran d’informations. Cet écran est subdivisé en deux onglets minimum ( ou plus en fonction des droits de l’utilisateur). 41 Interfaces de commande L’onglet [MAIN] donne des informations sur la valeur instantanée, l’état de l’analyseur. Selon les droits de l’utilisateur, on peut activer une ligne. Pilotage de la ligne de mesure : Selon les droits de l’utilisateur, on peut activer une ligne de mesure, de Zero ou de Sample. Il faut d’abord cliquer sur [Manual Control], dans le panel Line Selection, pour activer le contrôle des lignes, puis cliquer sur le bouton de son choix : – [Sample] : Ligne par défaut qui va à la buse de prélèvement, – [Zero] : Ligne qui va sur un générateur d’air pur. Cela permet de faire descendre la contamination dans la ligne de l’analyseur, – [Span] : Ligne qui va au générateur de gaz, ou à une bouteille ( cela dépend de la configuration des tuyaux ). Pilotage de la calibration : Si l’analyseur le permet et selon les droits de l’utilisateur, on peut lancer un Zero ou une calibration. Il faut d’abord cliquer sur [Manual Control] , dans le panel Calibration, pour activer le contrôle des lignes, puis cliquer sur le bouton de son choix : 7.6 – [Run Zero] : pour lancer sur l’analyseur une calibration "Zero", – [Run Span] : pour lancer sur l’analyseur une calibration "Span", – L’onglet [SETTINGS] donne accès au paramétrage de l’analyseur. Maintenance screen Cet écran permet de visualiser l’état des capteurs et actionneurs (vannes, buses,… ) ainsi que les flux. En fonction des droits de l’utilisateur, il est possible de prendre le contrôle des actionneurs et les manipuler manuellement. 3 vues sont disponibles : – Plates : vue Plateau, – Sampling : vue de l’échantillonnage, – Injection : vue de l’injection (disponible si option présente). Cet écran est scindé en 2 parties : 42 – La partie gauche représente les 3 vues sous forme de vignettes, en lecture seule. Il s’agit d’une représentation en temps réel. Pour agrandir une vue, cliquer sur une vignette, celle-ci s’affiche dans la partie droite de l’écran. – La partie droite de l’écran correspond à l’affichage grande échelle de la vignette sélectionnée, en lecture seule. Les 3 vignettes restent disponibles en affichage miniature. Bouton Description [MANUAL] En fonction des droits de l’utilisateur, un bouton [MANUAL] est disponible. En cliquant dessus, l’utilisateur prend le contrôle des actionneurs. Il peut ainsi : – monter ou descendre une buse, – activer/désactiver un clamp (verrouilage du FOUP/MAC), – piloter les vannes en cliquant sur le dessin pour exécuter l’action. [AUTO CYCLE] Cela permet de lancer un cyclage automatique des buses et clamps. Tant que le bouton est actif, le cyclage se fait. Interfaces de commande 7.7 Events screen Cet écran affiche l’historique de tous les évènements ou messages qui ont eu lieu sur l’APA 450, du plus récent au plus ancien, tels que les alarmes (Alarms), les alertes (Warnings) et les messages d’informations, qui ont été affichés dans le panneau d’information Zone 2 (Se référer au chapitre 6.3). Message structure 1 2 3 4 5 6 1 Icône correspondant au type de message (Information, alerte ou alarme). 2 Emetteur du message (HMI, LP…). 3 Date et heure du message. 4 N° d’identification du message. 5 Texte du message. 6 Date et heure à laquelle l’alarme ou l’alerte a été acquittée. Sur la partie droite de l’écran, des boutons permettent les actions suivantes : Bouton Description [Display Last messages] Raffraîchit la liste de tous les messages. [Display Warnings only] Affiche uniquement la liste des alertes (Warnings). [Display Alarms only] Affiche uniquement la liste des alarmes (Alarms). [Previous] [Next] [Acknowledge All Alarms] [Export to CSV] Par défaut, la liste n’affiche que les cent derniers messages. Ces boutons permettent d’afficher les cent suivants, ou les cent précédents. Acquitte toutes les alarmes. Il a la même fonction que le bouton de la fenêtre alarme (se référer au chapitre 6.3.2) Ce bouton est visible en fonction de la configuration client. Permet d’exporter la liste au format .csv. [Operating Instructions] Permet d’afficher le manuel de l’utilisateur au format .pdf. [Components Manual] Permet d’accéder aux manuels des composants de l’équipement au format .pdf. [Text Search] Permet de rechercher parmi le texte de tous les messages. Permet d’ouvrir un panneau avec différents champs de recherche tels que la date, l’heure, l’émetteur et le type de message. 43 Interfaces de commande 7.8 Ambient screen Cet écran permet d’afficher les mesures d’ambiant. Lorsque l’équipement ne mesure pas de FOUP / MAC, une mesure de l’air ambiant est réalisée à travers les buses des plateaux. Chaque mesure est enregistrée dans une base de données et peut-être visualisée à l’écran avec différentes plages d’affichage. Lorsqu’une mesure d’ambiant est en cours et qu’une mesure de FOUP / MAC est demandée, la mesure du FOUP / MAC est prioritaire : la mesure d’ambiant qui était commencée est annulée. En condition normale, lorsque l’on enchaine les mesures FOUP / MAC à la suite, une mesure d’ambiant est forcée toutes les 15 minutes. Cet écran est subdivisé en 3 parties : – Partie gauche : liste des gaz disponibles dans l’équipement, – Partie bas : bandeau de navigation, – Partie centrale : le graphique. Partie de gauche : Bouton Description [nom gas] Chaque bouton représente un gaz disponible dans l’équipement. En cliquant dessus, on peut masquer la courbe dans le graphique. Partie du bas : Bouton [1 year] [1 month] [1 week] [1 day] [Navigation] [Today] [Previous] [Next] [Search] [Display] [Advanced Search] [Display] [Save] [Export] [Save As] [Export] 44 Description Permet d’afficher l’ambiant sur l’année entière. La période d’affichage est une année. Permet d’afficher l’ambiant sur un mois La période d’affichage est un mois. Permet d’afficher l’ambiant sur une semaine. La période d’affichage est une semaine. Permet d’afficher l’ambiant du jour en cours. La période d’affichage est un jour. Permet de caler la période par rapport au jour courant tout en conservant le choix de l’affichage. Exemple : si on était en affichage d’une semaine et que l’on était remonté de trois semaines, cela remet l’affichage sur la semaine en cours. Permet de décaler l’affichage d’une période précédente. Permet de décaler l’affichage d’une période suivante. Permet de faire une recherche précise dans la période. Les champs de saisies s’affichent en fonction du type de période en cours. Choisir une date et cliquer sur [Display] pour afficher les données de l’ambiant correspondantes. Permet une recherche encore plus précise en laissant définir à l’utilisateur la période de son choix. Choisir une période date et heure, puis cliquer sur [Display] pour afficher les données de l’ambiant correspondantes. Permet d’exporter tous les points visibles à l’écran sous forme de fichier .CSV. Ni le nom, ni le chemin du fichier n’est demandé. Le nom est généré automatiquement avec la date et heure du jour, à l’endroit où sont enregistrés les fichiers XML. Même action que [Save], mais propose à l’utilisateur de nommer et choisir l’emplacement du fichier. Permet d’exporter sous forme de bitmap le graphe en cours. Interfaces de commande Bouton Description Affiche tous les gaz. Cela a pour effet d’activer tous les [Select All] boutons dans la partie de droite. Désélectionne tous les gaz. Cela a pour effet de désactiver [Unselect All] tous les boutons dans la partie de droite. [Gas] [Auto] Définit l’axe Y en automatique. [Value] Définit la valeur maximum pour l’axe Y. [Graph] [Color Palette] Définit une palette de couleur. [Set] 7.9 Applique la nouvelle palette de couleur. SECS/GEM screen – – – – – – – Cet écran affiche le panneau de contrôle de la communication SECS/GEM. Selon les droits d’accès de l’utilisateur certaines actions sont disponibles. Change le mode (Local / remote). Active ou désactive la communication avec le HOST. Change la communication de l’équipement en OFF Line ou en ON Line. Envoie un message textuel au HOST. Fait une demande de synchronisation de la date et heure avec le HOST. 7.9.1 Local production mode En mode Local, vous pouvez utiliser les commandes manuelles de l’opérateur. Vous pouvez accéder à l’écran «Local» en appuyant sur le bouton [Local]. La communication entre le système et l’automatisation est opérationnelle. Toutes les actions possibles sont définies à partir de l’écran «Local». Icône L Description E Ces deux icônes signifient que l’équipement est en mode Local (voir chapitre 6.3.1). 7.9.2 Remote production mode En mode Remote, l’automatisation contrôle le système. Toutes les commandes provenant de l’opérateur sont refusées ainsi que les commandes locales. Vous ne pouvez pas mesurer de FOUP / MAC en mode Remote. La communication entre le système et l’automatisation est opérationnelle. Icône R Description E Ces deux icônes signifient que l’équipement est en mode Remote (voir chapitre 6.3.1). 7.9.3 Description menu Bouton SECS/GEM control State [Local] SECS/GEM control State [Remote] Description L’opérateur contrôle les actions de l’équipement, telles que le transfert de FOUP / MAC, lancement de recette. Les commandes du HOST sont refusées. Le HOST contrôle les actions de l’équipement. Les actions de l’opérateur sont limitées. 45 Interfaces de commande Bouton Description SECS/GEM Communication [Enabled] Active la communication SECS/GEM. SECS/GEM Communication [Disabled] Désactive la communication SECS/GEM. Tool Maintenance [ON line] Active le mode standard dans lequel l’équipement peut communiquer. Tool Maintenance [OFF line] Active un mode dans lequel toutes les commandes de l‘Automatisation sont refusées. 7.10 Settings screen Cet écran rassemble les différents écrans d’informations et de configurations liés à l’APA 450. Certains boutons des settings sont accessibles en fonction des droits de l’utilisateur. Les écrans suivants sont disponibles dans les settings : – Arrêt, redémarrage de l’ordinateur. – Gestion des utilisateurs. – Configuration de la colonne lumineuse. – Configuration du process pour le mode opérateur. – Cahier de maintenance. – Configuration avancée SECS/GEM. – Transfert USB des fichiers. – Paramétrage. – Affichage des logs. – Outils pour la maintenance. – Statut des Process Jobs et Control Jobs. – Configuration de l’ARAMS. – Configuration de l’EPT. 7.10.1 Menu Exit Ce menu permet d’arrêter ou de redémarrer l’ordinateur. Bouton Description [Run] Permet de lancer une fenêtre de saisie dans laquelle on peut taper le nom d’un exécutable Windows. [Restart] [Shutdown Computer] [Exit Application] [Explorer] [Eject] [Previous] 46 Permet de relancer l’ordinateur. Permet d’arrêter l’ordinateur. Permet d’arrêter l’Interface Homme Machine uniquement. Permet de lancer l’explorateur Windows. Permet d’éjecter un périphérique tel qu’une clé USB. Après avoir choisi le périphérique à éjecter, il suffit de cliquer sur le bouton [Eject] Permet de revenir sur la liste de tous les boutons des settings. Interfaces de commande 7.10.2 User Manager (Gestion des utilisateurs) Ce menu permet d’ajouter, modifier ou supprimer des utilisateurs. Par défaut l’écran affiche la liste de tous les utilisateurs créés sur l’équipement. Selon les droits de l’utilisateur identifié, seuls les utilisateurs de niveau équivalent ou inférieur sont modifiables. Bouton [Add User] Description Ce bouton permet d’ajouter un utilisateur. L’écran de création d’utilisateur est subdivisé en trois onglets. User Information : Cet onglet permet de renseigner les informations importantes de l’utilisateur tel que : - son nom, - son mot de passe, - son niveau d’accès, - un commentaire, - le temps de déconnexion automatique. Privilèges : Cet onglet liste tous les privilèges (droits spécifiques) attribués à cet utilisateur. Screen configurations : Cet onglet rassemble tous les réglages de détails pour chaque écran. La disquette enregistre les paramètres. La croix rouge annule les modifications. 7.10.3 [Edit User] Active la modification des paramètres d’un utilisateur. Cet écran est le même que pour l’ajout d’un utilisateur. [Delete User] Supprime l’utilisateur sélectionné. [Rename User] Renomme un utilisateur existant. Menu Light Tower Cet écran permet de configurer la colonne lumineuse : – Pour chacune des 5 couleurs (blanc, bleu, vert, jaune et rouge), il est possible de définir la cause qui déclenche l’allumage et la cause qui déclenche le clignotement, ainsi que la priorité entre ces deux actions (allumage ou clignotement). – Pour l’alarme sonore, il est possible de définir la cause qui déclenche sa mise en route. 7.10.4 Operator Mode Il est possible d’activer un mode opérateur permettant d’enchainer les mesures de FOUP / MAC sans avoir besoin de s’identifier. Ɣ Ce mode est disponible lorsque l’équipement est en mode LOCAL. Ɣ Ce mode s’active depuis le menu Presets. Dans l’arborescence de gauche, cliquer sur la clé Operator Mode, puis dans la partie de droite, double cliquer sur le paramètre Enabled Operator Mode et cocher la case. Î Se déloguer. Dans la zone 1 d’information (voir chapitre 6.3), un voyant Operator Mode Enable est affiché. Dorénavant, lorsqu’un FOUP / MAC est placé sur le Load Port, après appuis sur le bouton Load, la mesure démarre automatiquement. 47 Interfaces de commande 7.10.5 Maintenance Notebook Cet écran est le cahier de maintenance de l’équipement : possibilité de lister les actions de maintenance, update logiciel faites sur l’équipement. Bouton 7.10.6 Description [Add] Permet d’ajouter une nouvelle action. Il faut choisir une catégorie, un titre et un texte. [Edit] Permet de modifier une note existante. Accessible selon le niveau utilisateur. [Delete] Supprime une action existante. Accessible selon le niveau utilisateur. SECS/GEM Cet écran rassemble tous les paramètres concernant la communication SECS/GEM. Il est subdivisé en quatre onglets. Driver Settings Cet onglet est lui-même subdivisé en six onglets. Onglet Common SECS-II SECS-I HSMS 48 Description Permet de définir : – le type de communication : SECS-I ou HSMS, – le nom de l’équipement. Permet de visualiser : – la version du logiciel, – le nom du modèle (APA 450). Permet de définir les paramètres suivants : – T3 Reply Timeout, – Device ID. Cet onglet est utilisé si le type de communication est SECS-I. Il permet de définir : – T1 Inter character timeout, – T2 Protocol timeout, – T4 Interblock timeout, – Retry limit, – Is Master, – Is Host. Cet onglet est utilisé si le type de communication est HSMS. Il permet de définir : – T5 Connect separation timeout, – T6 Control transaction timeout, – T7 Not selected timeout, – T8 Network intercharacter timeout, – Linktest. Interfaces de commande Onglet TCP/IP Serial Link Description Cet onglet rassemble la configuration réseau SECS/GEM pour le type de connexion HSMS. Il permet de définir : – le mode PASSIVE : L’adresse IP, le port d’écoute. – le mode ACTIVE : l’adresse IP du HOST, le port d’ écoute du HOST. – le choix du mode de connexion (Active ou Passive). Rassemble la configuration réseau SECS/GEM pour le type de connexion SECS-I. Il permet de définir : – le N° du port série, – la vitesse du port. Le bouton [Update Secsgem driver settings] permet de mémoriser les paramètres saisis et de les appliquer. Note : La communication avec le HOST sera coupée quelques secondes. Secsgem Config Cet onglet permet de définir les paramètres par défaut comme défini dans le standard GEM E30 : – l’état de la communication (ENABLED ou DISABLED), – du mode de control (Local, Remote...), – le mode en cas de perte de communication avec le HOST. Le bouton [Save Settings] mémorise les paramètres qui seront appliqués lors du prochain redémarrage de la communiction SECS/GEM. EC Editor Permet l’édition des Equipment Constants (EC). Bouton [Refresh] [Edit] Description Permet de rafraîchir la liste. Permet l’édition de l’EC sélectionné. Attention : si l’équipement est en mode REMOTE, l’édition ne sera pas possible. ALARMS Permet d’afficher l’état de toutes les alarmes SECS/GEM. Bouton 7.10.7 Description [Refresh] Permet de rafraîchir la liste. [Set] Permet d’activer une alarme. [Clear] Permet d’annuler une alarme. USB File Transfer Permet de transférer les rapports de mesure sur une clé USB. 49 Interfaces de commande 7.10.8 Presets Permet de modifier les paramètres de l’équipement. 7.10.9 Show Logs Permet de voir tous les fichiers de suivi (logs) de l’équipement. 7.10.10 Tools Cet écran permet d’accéder à des outils de maintenance. Bouton [Run Silverbox admin] [Reset ADs] [Open Log Folder] [Open Scripts Folder] Description Lance l’outil de gestion des modules SECS/GEM. Permet de redémarrer tous les modules SECS/GEM. Attention : tous les mouvements seront arrêtés et la communication avec le HOST sera coupée. Ouvre le dossier Windows qui contient tous les fichiers de suivi (logs) des modules SECS/GEM Ouvre le dossier Windows qui contient les fichiers de configuration SECS/GEM. [Run MySQLcc] Lance l’outil de gestion de la base de données. [Acknowledge All] Acquitte toutes les alarmes actives. 7.10.11 Control Job / Process Job Cet écran affiche des informations détaillées sur les FOUP / MAC au niveau SECS/GEM, ainsi que le Control Job et Process Job associés à ces FOUP / MAC. Bouton Description [Abort PJ] Ce bouton est valide lorsque l’équipement est en LOCAL. Il permet d’arrêter un Process Job en cours. [Abort CJ] Ce bouton est valide lorsque l’équipement est en LOCAL. Il permet d’arrêter un Control Job en cours. 7.10.12 ARAMS Cet écran permet de définir la configuration ARAMS (Automated Reliability, Availability and maintenabilty). 7.10.13 EPT Cet écran permet de visualiser les compteurs de performance de l’équipement : EPT (Equipment Performance Tracking). 50 Interfaces de commande 7.11 Alarms screen En cliquant sur le bouton [Alarms], une fenêtre liste toutes les alarmes en cours. Bouton [Acknowledge] [Acknowledge All] Description Acquitte le message sélectionné dans la liste. Acquitte tous les défauts actifs. Ce bouton est accessible selon la configuration client. [Refresh] Force un rafraîchissement des alarmes. [Close] Ferme la fenêtre. Icône Description Lorsque vous cliquez sur le bouton de connexion, une fenêtre d’identification s’ouvre. Lorsque l’utilisateur est connecté (après avoir saisi son identifiant et son mot de passe), certains boutons sont activés en fonction de son niveau d’accès. – Les boutons bleus sont activés, – Les boutons gris sont désactivés. Lorsque vous cliquez sur le bouton de déconnexion, l’utilisateur est déconnecté du logiciel. L’écran d’accueil apparaît alors automatiquement. Le bouton de déconnexion permet à l’utilisateur actuel de se déconnecter, ce qui le redirige automatiquement sur la page d’accueil. Remarque : Une fonction de déconnexion automatique se déclenche lorsque la souris, le clavier et l’écran tactile ne sont pas utilisés pendant plus de deux minutes (ce qui correspond aux paramètres par défaut, mais peut être modifié jusqu’à une durée de 9999 secondes). 7.12 Login/Logout [Login] [Logout] 51 Périodicité de maintenance 8 Périodicité de maintenance IMS (NH3, Acids, Amines) Analyzer Frequency Description Max estimated PM time Stabilization time after PM 6 months Ni63 radioactive source leak wipe test 1 hour None 1 year Exchange sampling pump diaphragm and valves 2 hours 24 hours 4 years Exchange Dopant module Acids cell and cell calibration 4 hours 24 hours 15 years Exchange Dopant modules NH3 / Amines cells 4 hours 24 hours 6 months IMS flow check 2 hours 24 hours 6 months IMS calibration check 24 hours 24 hours Gas Generator (NH3, SO2, HF) Frequency 2 years Description Exchange permeation tubes (NH3, SO2, HF) Max estimated PM time Stabilization time after PM 2 hours 24 hours Max estimated PM time Stabilization time after PM Air zero Generator Frequency Description 1 year Exchange cartridges filters 2 hours 48 hours 1 year Exchange purge filter 2 hours 48 hours 1 year Exchange particles filters 1 hour 24 hours Max estimated PM time Stabilization time after PM FOUP sampling line Frequency Description 3 months Visual check 1 hour None 6 months FOUP sampling airtightness checking 2 hours 48 hours Depends on visual or airtightness check results Exchange FOUP seals on loadport 1 hour 24 hours 52 Périodicité de maintenance H2 generator 3080+ Frequency Description Max estimated PM time Stabilization time after PM 1 year Internal leak check 2 hours 24 hours 1 year Replacement of de-ionization bag 1 hour 24 hours 1 year Exchange of H2 particles filter 1 hour 24 hours Max estimated PM time Stabilization time after PM FID VOC Analyzer Frequency Description 1 year Exchange of sample Teflon filter 1 hour 2 hours 1 year Exchange of pump diaphragm and valves 2 hours 24 hours 1 year Total VOC calibration check 2 hours 24 hours 6 months Check of metrological parameter 1 hour None 1 year Exchange of CH4/HCnM oven and Air zero scrubber 2 hours 24 hours 6 months Total VOC analyzer flows check 2 hours 24 hours if flows are modified Max estimated PM time Stabilization time after PM SO2 Analyzer Frequency Description 1 year Exchange of components with maintenance kit (old or new pump version) 6 hours 24 hours 6 months SO2 analyzer calibration 4 hours 24 hours 1 year Exchange of xenon lamp 2 hours 24 hours Max estimated PM time Stabilization time after PM 1 hour 24 hours H2 safety detector Frequency 1 year Description H2 cell replacement for H2 safety sensor 53 Périodicité de maintenance HF_ID+ Frequency 1 year Description Exchange of sampling pump diaphragm and valves Max estimated PM time Stabilization time after PM 1 hour 24 hours Max estimated PM time Stabilization time after PM 1 hour None Max estimated PM time Stabilization time after PM UPS Frequency 3 years Description Exchange of the batteries Hygrometer Frequency Description 1 year Exchange diaphragm and valves of the sampling pump 2 hours None 1 year Hygrometer analyzer calibration (analyzer exchange) 2 hours 24 hours 1 year Hygrometer analyzer calibration (1 or 2 points calibration with references) 2 hours 24 hours Cleaning the Load Ports/Equipment Frequency 1 week 54 Description Cleaning in the proximity of the mechanical elements of the Load Port. Max estimated PM time Stabilization time after PM 10 minutes 1 hour Dysfonctionnement 9 Dysfonctionnement AVIS Î Prendre connaissance des consignes de sécurité relatives à la maintenance (voir chapitre 10.1) 9.1 Ce qui se passe en cas de défaut Lorsqu’un problème survient l’utilisateur est averti : – – – – 9.2 L’IHM remonte tous les défauts de l’équipement. Le bandeau permanent du haut (Zone 2 voir chapitre 6.3) affiche les listes des six derniers messages. En cas d’alarme, un contour rouge clignote autour de [ALARMS]. Par la tour lumineuse, selon configuration client. Comment acquitter une alarme En fonction de l’alarme, un simple acquittement ([Acknowledge]) suffit pour que l’équipement soit de nouveau opérationnel. Au préalable, l’opérateur doit s’assurer visuellement de l’absence de risque avant d’appuyer sur [Acknowledge]. Si une alarme acquittée persiste après l’acquittement, appeler votre centre de service. 9.3 Le système ne démarre pas Symptôme Le système ne démarre pas Cause Remède Arrêt d’urgence enclenché. Déverrouiller l’arrêt d’urgence par une rotation du bouton. Arrêt d’urgence client enclenché. Voir chapitre 5.6 Mise sous tension de l’équipement. Mettre l’équipement sous tension en appuyant sur le bouton « Power On » en face avant. Le PC ne s’allume pas. Vérifier que l’onduleur est en fonctionnement. Il y a une alarme active. Vérifier que toutes les alarmes ont bien été acquittées. – Ouvrir l’armoire électrique. – S’assurer que les cartes relais hydrogène et eau ne sont pas en alarme. Absence air comprimé ou pression insuffisante. Vérifier présence air comprimé ou ajuster la valeur de pression. Fuite d’eau dans l’équipement. Carte relais eau en alarme. Fuite d’hydrogène dans l’équipement. Carte relais hydrogène en alarme. Appeler votre centre de service. 55 Dysfonctionnement 9.4 Défaut d’alimentation Symptôme Le voyant secteur 230 VAC ne s’allume pas Le voyant secteur 24 VDC ne s’allume pas L’écran IHM ne s’allume pas 9.5 Cause Remède Absence d’alimentation secteur. Vérifier l’alimentation. Prise secteur non branchée et verrouillée Déverrouiller la prise et la brancher Sectionneur sur position « 0 ». Passer en position « 1 ». Onduleur hors tension. Vérifier que l’onduleur est en fonctionnement. L’écran n’a pas été allumé. Appuyer sur le bouton « ON » de l’écran IHM. Liste des warnings / alarmes / remèdes 9.5.1 Messages Warning Messages Warning Maintenance -> 15 days less Cause Prévoir maintenance. Remède Appeler votre centre de service Maintenance Needed - Call Attendre la fin de l'action. Initializing System, please wait... Injection flow too low Le flux d'injection est inférieur à la limite de warning. Excess flow too low Le flux d'excès est inférieur à la limite de warning. Vérifier la pression de la ligne de gaz process. Gas Generator Cycle in progress Attendre la fin de l'action. HF: Centering in progress Centrage en cours. HF: AutoCheck scheduled Vérification automatique programmée. Déprogrammation possible. Appeler votre centre de service. HF: AutoCheck in progress Vérification automatique en cours. Attendre la fin de l'action. HF: Analyzer maintenance required Prévoir maintenance. VOC FID: Test or Stand-by L'analyseur est en stand-by. VOC FID: WARMUP. Please Wait... L'analyseur est en chauffe. VOC FID: Zero Reference. Please Wait... Calibration zéro en cours. VOC FID: Zero line active Analyseur sur ligne zéro. En cas de mesure, passer l'analyseur sur ligne sample. VOC FID: Auto-Span in progress. Please Wait... Auto-span en cours. Attendre la fin de l'action VOC FID: Span line active Analyseur sur ligne span. En cas de mesure, passer l'analyseur sur ligne sample. VOC FID: Saturation Saturation de l'analyseur détectée. Attendre la fin de l'action. VOC FID: AutoCheck scheduled Vérification automatique programmée. Déprogrammation possible, appeler votre centre de service . VOC FID: AutoCheck in progress Vérification automatique en cours. PMS: NH3 WARMUP. Please Wait... L'analyseur est en chauffe. PMS: NH3 Zero running. Please Wait... Calibration zéro en cours. PMS: NH3 Saturation Saturation de l'analyseur détectée. 56 Appeler votre centre de service. Attendre la fin de l'action. Attendre la fin de l'action. Dysfonctionnement Messages Warning Cause PMS: ACIDS WARMUP. Please Wait... L'analyseur est en chauffe. PMS: ACIDS Zero running. Please Wait... Calibration zéro en cours. PMS: ACIDS Saturation Saturation de l'analyseur détectée. PMS: Amines WARMUP. Please Wait... L'analyseur est en chauffe. PMS: Amines Zero running. Please Wait... Calibration zero en cours. PMS: Amines Saturation Saturation de l'analyseur détectée. Remède Attendre la fin de l'action. PMS: NH3 Reactant Peak Middle Height Out Of Range PMS: NH3 Reactant Peak Symmetry Out Of Range PMS: NH3 Baseline Out Of Range PMS: ACIDS Reactant Peak Middle Height Out Of Range PMS: ACIDS Reactant Peak Symmetry Out Of Range Spectre incorrect. Appeler votre centre de service. Vérification automatique programmée. Déprogrammation possible, appeler votre centre de service. Vérification automatique en cours. Attendre la fin de l'action. PMS: ACIDS Baseline Out Of Range PMS: Amines Reactant Peak Middle Height Out Of Range PMS: Amines Reactant Peak Symmetry Out Of Range PMS: Amines Baseline Out Of Range PMS NH3: AutoCheck scheduled PMS ACIDS: AutoCheck scheduled PMS AMINE: AutoCheck scheduled PMS NH3: AutoCheck in progress PMS ACIDS: AutoCheck in progress PMS AMINES: AutoCheck in progress SO2: Pressure 0 Error à SO2: Pressure 9 Error Pression incorrecte. SO2: Flow 0 Error à SO2: Flow 9 Error Flux incorrect. SO2: Temp. 0 Error à SO2: Temp. 9 Error Température incorrecte. SO2: 1st Comp. Zero Cal. Calibration Zéro incorrecte. SO2: 1st Comp. Span Cal. Calibration Span incorrecte. SO2: 2nd Comp. Zero Cal. Calibration Zéro incorrecte. SO2: 2nd Comp. Span Cal. Calibration Span incorrecte. SO2: 3rd Comp. Zero Cal. Calibration Zéro incorrecte. SO2: 3rd Comp. Span Cal. Calibration Span incorrecte. SO2: Zero gas Cylinder Pressure Pression bouteille Zéro incorrecte. SO2: Span Gas 1 Cylinder Pressure Pression bouteille Span incorrecte. SO2: Span Gas 2 Cylinder Pressure Pression bouteille Span incorrecte. SO2: AutoCheck scheduled Vérification automatique programmée. Déprogrammation possible, appeler votre centre de service. SO2: AutoCheck in progress Vérification automatique en cours. Attendre la fin de l'action. Appeler votre centre de service. 57 Dysfonctionnement 9.5.2 Messages Alarmes Messages Alarmes Cause Remède PLC Error Dysfonctionnement de la communication ou câble Ethernet mal connecté. – Acquitter le défaut. – Si le défaut persiste, vérifier la bonne connexion des câbles Ethernet. General Failure EMO. – Vérifier qu'un EMO n'est pas enclenché. High level values detected Mesure d'un ou plusieurs analyseurs dépassant un seuil de concentration. – Attendre la fin de l'action. LP1 clamp error Erreur lors du verrouillage ou déverrouillage des clamps du LP1. – Acquitter le défaut. – Si le défaut persiste, appeler votre centre de service. LP1 nozzle move error Erreur lors du mouvement des buses de prélèvement du LP1. LP2 clamp error Erreur lors du verrouillage ou dévérrouillage des clamps du LP2. LP2 nozzle move error Erreur lors du mouvement des buses de prélèvement du LP2. E84 TP1 Alarm occurred on LP1 Signal E84 TR_REQ n'est pas passé à "ON" durant le temps imparti. E84 TP2 Alarm occurred on LP1 Signal E84 BUSY n'est pas passé à "ON" durant le temps imparti. E84 TP3 Alarm occurred on LP1 le FOUP n'a pas été détecté/enlevé durant le temps imparti. E84 TP4 Alarm occurred on LP1 Signal E84 BUSY n'est pas passé à "OFF" durant le temps imparti. E84 TP5 Alarm occurred on LP1 Signal E84 VALID n’est pas passé à "OFF" durant le temps imparti. E84 TP6 Alarm occurred on LP1 Signal E84 VALID n'est pas passé à "ON" durant le temps imparti. E84 Protocol Error occurred on LP1 Des signaux ont changé d'état alors qu'ils n'auraient pas dû. E84 Handoff Sequence aborted by equipment on LP1 L'équipement a arrêté la séquence de chargement/déchargement. E84 Access Mode Violation occurred on LP1 Un FOUP a été placé/enlevé alors que le Load Port était en "AUTO". E84 TP1 Alarm occurred on LP2 Signal E84 TR_REQ n'est pas passé à "ON" durant le temps imparti. E84 TP2 Alarm occurred on LP2 Signal E84 BUSY n'est pas passé à "ON" durant le temps imparti. E84 TP3 Alarm occurred on LP2 le FOUP n'a pas été détecté/enlevé durant le temps imparti. E84 TP4 Alarm occurred on LP2 Signal E84 BUSY n'est pas passé à "OFF" durant le temps imparti. E84 TP5 Alarm occurred on LP2 Signal E84 VALID n'est pas passé à "OFF" durant le temps imparti. E84 TP6 Alarm occurred on LP2 Signal E84 VALID n'est pas passé à "ON" durant le temps imparti. 58 – Acquitter le défaut. – Si le défaut persiste, appeler votre centre de service. – Acquitter le défaut. – Vérifier le connecteur 25 points de la prise E84/OHT sur l'équipement. – Si le défaut persiste, appeler votre centre de service. Dysfonctionnement Messages Alarmes Cause E84 Protocol Error occurred on LP2 Des signaux ont changé d'état alors qu'ils n'auraient pas dû. E84 Handoff Sequence aborted by equipment on LP2 L'équipement a arrêté la séquence de chargement/déchargement. E84 Access Mode Violation occurred on LP2 Un FOUP à été placé/enlevé alors que le Load Port était en "AUTO". Injection flow too low Flux d'injection inférieur à la limite d'alarme. Excess flow too low Flux d'excès inférieur à la limite d'alarme. CDA pressure too low Pression de CDA trop faible. Water leak Fuite d'eau. Water overconsumption Détection d'un fort flux d'eau par le débitmètre. Fuite sur circuit d'eau. H2O: Humidity Sensor overflow Erreur de mesure. H2O: Humidity Sensor not connected Erreur de communication. H2O: Temperature Sensor not connected Erreur de communication. HF: Communication Error Dysfonctionnement de la communication ou câble mal connecté. HF: RingDown Status Alarm Signal ringDown trop faible. HF: Pressure alarm Pression incorrecte HF: Laser Temperature Alarm Température laser incorrecte Remède – Acquitter le défaut. – Vérifier le connecteur 25 points de la prise E84/OHT sur l’équipement. – Si le défaut persiste, appeler votre centre de service. – Vérifier la pression de la ligne de gaz process. Vérifier l'alimentation générale de CDA. – Vérifier la présence d'eau sous/dans l'équipement. – Vérifier si le ruban de sécurité est humide. – Si le problème persiste, appeler votre centre de service. – Vérifier la présence d'eau sous/dans l’équipement. – Si le problème persiste, appeler votre centre de service. Appeler votre centre de service. – Acquitter le défaut. – Si le défaut persiste, vérifier la bonne connexion des câbles. Appeler votre centre de service. Seuil de concentration (niveau 1) dépassé. Seuil de concentration (niveau 2) dépassé. Attendre la fin de l'action. Dysfonctionnement de la communication ou câble mal connecté. – Acquitter le défaut. – Si le défaut persiste, vérifier la bonne connexion des câbles. PMS: NH3 Fault ( See log ) Analyseur en faute. Appeler votre centre de service. PMS: ACIDS Sensor not connected Dysfonctionnement de la communication ou câble mal connecté. – Acquitter le défaut. – Si le défaut persiste, vérifier la bonne connexion des câbles. PMS: ACIDS Fault ( See log ) Analyseur en faute. Appeler votre centre de service. PMS: Amines Sensor not connected Dysfonctionnement de la communication ou câble mal connecté. – Acquitter le défaut. – Si le défaut persiste, vérifier la bonne connexion des câbles. PMS: Amines Fault ( See log ) Analyseur en faute. Appeler votre centre de service. HF: User Alarm 1 HF: User Alarm 2 PMS: PLC Rack 1 not connected PMS: PLC Rack 2 not connected PMS: NH3 Sensor not connected 59 Dysfonctionnement Messages Alarmes Cause Remède PMS: NH3 Saturation Analyseur en saturation. Attendre la fin de l'action. SO2: Sensor not connected Dysfonctionnement de la communication ou câble mal connecté. – Acquitter le défaut. – Si le défaut persiste vérifier la bonne connexion des câbles. SO2: Pressure 0 Error à SO2: Pressure 9 Error Pression incorrecte. SO2: Flow 0 Error à SO2: Flow 9 Error Flux incorrect. SO2: Temp. 0 Error à SO2: Temp. 9 Error Température incorrecte. SO2: 1st Comp. Zero Cal. Calibration Zéro incorrecte. SO2: 1st Comp. Span Cal. Calibration Span incorrecte. SO2: 2nd Comp. Zero Cal. Calibration Zéro incorrecte. SO2: 2nd Comp. Span Cal. Calibration Span incorrecte. SO2: 3rd Comp. Zero Cal. Calibration Zéro incorrecte. SO2: 3rd Comp. Span Cal. Calibration Span incorrecte. SO2: Zero Drift Error Dérive du Zéro. SO2: Span Drift Error Dérive du Span. SO2: Internal Error 0 à SO2: Internal Error 7 SO2: External Error 0 à SO2: External Error 7 Erreur de communication interne. PMS: Total Acids Saturation PMS: Other Amines Saturation VOC FID: Communication Error VOC FID: Fault (See log) VOC FID: H2 Generator communication error Erreur de communication externe. Dysfonctionnement de la communication ou câble mal connecté. Analyseur VOC en alarme. H2 generator 3080+ en alarme. Dysfonctionnement de la communication ou câble mal connecté. VOC FID: H2 Generator Fault (See log) H2 generator 3080+ en erreur. VOC FID: Stability Pressure Error Analyseur en erreur. VOC FID: TOTAL VOC Saturation Saturation de l'analyseur. 60 Appeler votre centre de service. – Acquitter le défaut. – Si le défaut persiste, vérifier la bonne connexion des câbles. Appeler votre centre de service. – Acquitter le défaut. – Si le défaut persiste, vérifier la bonne connexion des câbles. Appeler votre centre de service. Attendre l'appareil retrouve une valeur de concentration inférieure au niveau haut défini. Instructions de maintenance 10 Instructions de maintenance 10.1 Consigne de sécurité relative à la maintenance Dans certaines situations, la manipulation de l’équipement et des composants associés nécessite le port d’un équipement de protection individuelle. L’exploitant se doit de mettre à disposition de l’utilisateur les équipements nécessaires : ceux-ci doivent être régulièrement vérifiés et utilisés conformément aux recommandations du fournisseur. AVIS Exclusion de responsabilité Pfeiffer Vacuum décline toute responsabilité concernant les dégâts matériels, perturbations de service, dommages corporels résultant d’une maintenance réalisée par un technicien non formé aux règles de sécurité (CEM, sécurité électrique, pollution chimique). Les recours en responsabilité et en garantie sont, dans ce cas, irrecevables. AVERTISSEMENT L’entretien doit être effectué par un technicien de maintenance qualifié formé aux aspects de santé et de sécurité pertinentes (CEM, risques électriques, etc...). Isoler l’équipement de toutes les sources d’énergie (réseau électrique, air comprimé, etc) avant de commencer le travail. Les révisions majeures doivent être effectuées par un personnel qualifié ayant reçu une formation auprès du fabricant. Appeler votre centre de service. AVERTISSEMENT Risques liés aux gaz de procédé L’utilisateur et/ou l’intégrateur du produit ont l’entière responsabilité des conditions de sécurités liées au fonctionnement de l’équipement. Le constructeur n’a pas la possibilité de contrôler le type de gaz utilisé avec l’équipement. Le danger se situe dans les FOUP, mais aussi dans l’équipement lors de l’ouverture des panneaux donnant accès à l’arrière des baies d’analyseurs, au niveau de l’évacuation chimique de l’équipement, des tubes de raccordement et du générateur de gaz NH3, HF, SO2. Les gaz de procédés sont fréquemment toxiques, inflammables, corrosifs, explosifs ou réactifs. Ces gaz étant dangereux, il appartient donc à l’utilisateur du procédé : Î D’appliquer les consignes de sécurité spécifiques, conformément à la législation locale. Ces informations sont disponibles auprès de son service sécurité. Î Ces gaz peuvent causer des blessures graves ou la mort, il est impératif de relier le refoulement de l’équipement au système d’échappement des gaz dangereux de l’installation, doté de filtres appropriés, de sorte que l’échappement soit conforme aux règles de protection contre la pollution de l’eau et de l’air. Î Pour davantage d’informations, appeler votre centre de service. AVERTISSEMENT Risques de brûlures L’équipement est conçu de façon à ne procurer aucun risque thermique pour la sécurité de l’utilisateur. Toutefois, des conditions d’utilisation spécifiques peuvent générer des températures nécessitant une attention particulière de la part de l’utilisateur pouvant provoquer des brûlures. Î Mettre des gants avant le dépannage et attendre le refroidissement complet avant d’intervenir sur l’équipement. Risques d’écrasement Î Risque d’écrasement ou de coupure liés aux pièces en mouvement. 61 Instructions de maintenance AVERTISSEMENT Risque de choc électrique en cas de contact Courant et tension peuvent provoquer des chocs électriques. Le danger se situe sur l’ensemble des panneaux donnant un accès à des composants électriques à risque, plus particulièrement sur le module d’entrée électrique, l’armoire électrique, les borniers d’alimentation au fond des baies d’analyseurs, les analyseurs et les générateurs. Î Passer le sectionneur en position « OFF/0 », débrancher la prise d’alimentation et la verrouiller avant d’intervenir sur l’équipement et/ou de retirer les panneaux. Î Seul un personnel autorisé et compétent peut intervenir sur le produit. Attention ! La partie électrique en amont du sectionneur reste sous tension même après son ouverture. Î Il est impératif de déconnecter l’alimentation générale du produit. AVERTISSEMENT Risque de blessure liée aux charges lourdes Compte tenu du poids de l’équipement, seul un personnel habilité et formé aux règles de manutention des objets lourds peut sortir le produit de son emballage. Î Utiliser un transpalette ou un chariot élévateur. Î Le constructeur dégage toute responsabilité en cas d’utilisation d’autres moyens de manutention. kg AVERTISSEMENT Risque de blessure dû à des chutes d’objet Lors du transport de pièces/composants, ou lors de la maintenance du produit, il existe un risque de blessures dû aux chutes ou glissement de charge. Î Transporter à deux mains et deux personnes les composants de cette charge. Î Porter des chaussures de sécurité avec protection des orteils conformément à la norme EN 347. AVERTISSEMENT Cas de puissance maintenue Ɣ L’UPS* maintient en puissance après coupure électrique les éléments suivants : Le PC, une alimentation 24 V, le switch Ethernet, les entrées automates, les cartes de sécurité eau et le détecteur d’hydrogène. Tous les fils d’alimentation maintenus en puissance par l’UPS possèdent un marquage jaune et l’inscription : "Live after EMO". Ɣ L’UPS* maintient en puissance après un arrêt d'urgence les éléments suivants : Le PC, une alimentation 24 V, le switch Ethernet, les entrées automates, les cartes de sécurité eau et le détecteur d’hydrogène. Tous les fils d’alimentation maintenus en puissance par l’UPS possèdent un marquage jaune et l’inscription : "Live after EMO". (*) Manuels utilisateur (UPS _ user manual _ APC-smart) disponible dans le software de l'APA (Appuyer sur [Events] Puis sur [components manual]) Ɣ Après coupure du sectionneur les éléments suivants restent sous tension : le filtre secteur et les câbles reliant la prise électrique de l’équipement au sectionneur. Ces éléments sont identifiés par une étiquette repère 2 du chapitre 1.2.6 et un marquage orange. AVERTISSEMENT Risque lié aux sources radioactives (concerne les équipements avec analyseurs IMS : NH3 / Acid, Amine) Les analyseurs IMS contiennent des sources radioactives (Ni63, 370MBq). Le danger se situe sur l’arrière de l’équipement lors de l’ouverture des panneaux donnant accès aux baies d’analyseurs, plus particulièrement dans les analyseurs NH3, Acid et Amines. Î L’exploitant devra obtenir les autorisations nécessaires à l’importation et à l’utilisation de tels systèmes embarquant des sources radioactives. 62 Instructions de maintenance DANGER Risque pour la santé en cas de contact avec des substances toxiques Le refoulement des gaz corrosifs peut entrainer des blessures graves ou la mort. Î Toujours raccorder l’exhaust chimique de l’équipement à un système d’extraction et de traitement des gaz (acid exhaust). Î Veiller à ce que ce raccordement soit réalisé par des personnes habilitées. Î Veiller à ce que le système d’extraction soit toujours fonctionnel. Flux = 20 L/min. Î Porter des gants nitriles. Î Porter des gants antiacide au dessus des gants nitrile. Î Porter un tablier. Î Porter une visière. 10.2 Localisation des étiquettes à l’intérieur de l’équipement PNEUMATIC GAS 6-10 bar Ligne de gaz pneumatique PROCESS GAS 6-10 bar Ligne de gaz de procédé VALVE LP1 NOZZLE 1 / NOZZLE 2 Vanne de switch LP1 Buse 1 / Buse 2 VALVE LP2 NOZZLE 1 / NOZZLE 2 Vanne de switch LP2 Buse 1 / Buse 2 VALVE LP1 ANALYZERS / ENGINEERING Vanne de switch LP1 Analyseurs / Module Engineering VALVE LP2 ANALYZERS / ENGINEERING Vanne de switch LP2 Analyseurs / Module Engineering VALVE SWITCH LP1 / LP2 Sampling Vanne de switch Prélèvement LP1 / LP2 VALVE SWITCH FOUP / MAC Vanne de switch FOUP / MAC VALVE SWITCH LP1 / LP2 Injection Vanne de switch Injection LP1 / LP2 FLOWMETER INJECTION Débitmètre injection FLOWMETER OUTPUT FLOW Débitmètre excès CHEMICAL EXHAUST Evacuation chimique THERMAL EXHAUST Evacuation thermique INFOPAD A B C Capteurs INFOPAD A B C LP1 et LP2 INFOPAD D E F Capteurs INFOPAD D E F LP1 et LP2 ACTUATOR PIPE 1 Vérin linéaire 1 LP1 et LP2 ACTUATOR PIPE 2 Vérin linéaire 2 LP1 et LP2 ACTUATOR PIPE 3 Vérin linéaire 3 LP1 et LP2 ACTUATOR PIPE 4 Vérin linéaire 4 LP1 et LP2 ACTUATOR CLAMP 5 + 6 Vérin rotatif verrouillage FOUP LP1 et LP2 PRESSURE REGULATOR Régulateur de pression PRESSURE SENSOR Capteur de pression SENSOR RFID LP1 Capteur RFID LP1 SENSOR RFID LP2 Capteur RFID LP2 PLACEMENT SENSOR Capteur de placement FOUP LP1 et LP2 PRESENCE SENSOR Capteur de présence FOUP LP1 et LP2 DISTRIBUTOR LP1 Ilot pneumatique actionneur LP1 DISTRIBUTOR LP2 Ilot pneumatique actionneur LP2 DISTRIBUTOR VALVES Ilot pneumatique vannes PROCESS GAS VALVE Vanne d’isolation gaz de procédé H2 DETECTOR DI WATER FLOWMETER DI WATER ELECTROVALVE DI WATER DROPLET DETECTION Détecteur d’hydrogène Débitmètre d’eau déionisée Vanne électrique d’eau déionisée Détecteur de fuite d’eau 63 Instructions de maintenance Voir chapitre 1.2.6 pour le détail des repères. 5 6 11 7 5 3 5 9 10 5 7 Fig. 13 : Localisation des étiquettes de sécurité intérieures 64 Instructions de maintenance 10.3 Localisation des composants 17 16 1 2 3 4 18 5 15 6 7 8 14 19 13 9 12 10 11 Fig. 14 : Armoire électrique Rep. Désignation Fonction Convertisseur RS232-Ethernet (analyseurs/générateurs) Etiquette 1 Convertisseur RS232-Ethernet 2 Hub 8 ports (quantité : 2) Hub Ethernet 04HUB1/04HUB2 3 Carte communication E84 (quantité : 2) Carte communication E84 05E84-1/05E84-2 4 Carte relais détecteur hydrogène Carte relais de sécurité (détecteur hydrogène) 04H2D1 5 Carte relais détection sur consommation eau Prise de courant 2P+T 220 V/16A (quantité : 3) Carte relais de sécurité (sur consommation d'eau) 04FMR1 6 Prises 220 V pour maintenance 05SW1 06PC1/06PC2/06PC3 7 Carte relais détection fuite d'eau Carte relais de sécurité (fuite d'eau) 04RAR1 8 Disjoncteur C60 UL1077 - 6 A courbe C Alimentation Prise de courant maintenance 06Q1 8 Interrupteur différentiel GFPBI 25 A 30 mA 230 VAC interrupteur différentiel prise de courant maintenance 8 Disjoncteur C60 UL1077 - 1 A courbe C Alimentation écran machine 8 Disjoncteur C60 UL1077 - 4 A courbe C 8 Disjoncteur C60 UL1077 - 6 A courbe C 8 Disjoncteur C60 UL1077 - 3 A courbe C 8 Disjoncteur C60 UL1077 - 3 A courbe C Alimentation baie 1 : prises WP11/WP12/WP13/WP14 Alimentation baie 1 : prises WP16/WP17/WP18/WP19/WP20 Alimentation baie 2 : prises WP22/WP23/WP24/WP25/WP26 Alimentation baie 2 : prises WP28/WP29/WP30/WP31 06Q1 diff 06Q2 07Q1 08Q1 09Q1 10Q1 65 Instructions de maintenance Rep. Désignation Fonction Etiquette Alimentation baie Engineering : prises WP33/WP34/WP35 Alimentation baie Engineering : prises WP37/WP38/WP39 Alimentation 230 V (UPS/carte relais RAR / alimentation 24 V secourue 8 Disjoncteur C60 UL1077 - 3 A courbe C 8 Disjoncteur C60 UL1077 - 3 A courbe C 9 Disjoncteur C60 UL1077 - 3 A courbe C 10 Contacteur de puissance 40 A 1NO + 1NF 24 VDC Contacteur de mise en énergie 11 PC industriel PC machine 11Q1 12Q1 04Q03 12KM1 PC Alimentation 24 V secourue (HUB/PC/PLC/cartes sécurités : FMR/H2D) Alimentation HUB/PC/PLC/cartes sécurités : FMR/ H2D Alimentation 24 V non secourue (RFID/E84/ Convertisseur RS-Ethernet/Flowmeter injection et output flow/ventilateurs) Alimentation RFID/E84/Convertisseur RS-Ethernet/ Flowmeter injection et output flow/ventilateurs 12 Disjoncteur C60 UL1077 - 4 A courbe D 12 Disjoncteur C60 UL1077 - 6 A courbe C 12 Disjoncteur C60 UL1077 - 4 A courbe D 12 Disjoncteur C60 UL1077 - 6 A courbe C 13 Alimentation 230 V / 24 V - 10 A / 240 W Alimentation 24 V pour la puissance (secourue) 04U1 14 Alimentation 230 V / 24 V - 10 A / 240 W Alimentation 24 V pour la puissance (non secourue) 04U2 15 PLC Automate industriel API1 16 Interrupteur différentiel GFPBI 40 A 30 mA 230 VAC Interrupteur différentiel général 04Q02 17 Filtre secteur alimentation 230 V - 55 A Filtre CEM secteur 04FL01 18 Disjoncteur UL - 400 V - 40 A courbe C Disjoncteur général 04Q01 19 Onduleur rack 230 V (UPS) Onduleur machine (UPS) 04UPS1 04Q04 04Q05 04Q06 04Q07 10.4 Nettoyage Load Port / Equipement AVERTISSEMENT Nettoyage à proximité des éléments mécaniques du Load Port. Î Ne pas faire tomber de goutte de produit dans les buses de prélèvement. Nettoyer les Load Port et le reste de l’équipement à l’aide d’un chiffon doux non pelucheux et d’un produit ne détériorant pas la peinture et les étiquettes (ex : IPA) Remarque : Le nettoyage peut avoir un impact sur la concentration des composés organiques volatiles (VOC) dans l’air ambiant. Une alarme « saturation » peut se déclencher suivant le seuil d’alarme réglé dans le software. La période de stabilisation pour retrouver le niveau habituel en VOC dans la salle blanche peut prendre un certain temps et dépend de la concentration atteinte lors du nettoyage. 10.5 Leak test des IMS AVERTISSEMENT Eteindre l’équipement avant de poursuivre l’opération de maintenance Se reporter au chapitre 6.2.4 La source scellée de Ni63 est installée à l’intérieur de l’analyseur IMS. Un analyseur IMS peut contenir 1 ou 2 sources Ni63. 66 Instructions de maintenance Il est recommandé de pratiquer ce test de fuites radioactives tous les 6 mois ou avant/ après tout transport de l'analyseur IMS Matériel Utilisé : kit de test de fuite (Réf. : IS1079) Î Ouvrir les panneaux arrières de l’APA 450. Î Enlever les quatre vis de fixation et sortir l’analyseur en le tirant sur ses glissières. Î Eteindre l’analyseur IMS par le bouton marche/arrêt situé sur la face arrière de l’appareil. Î Insérer un coton tige (approximativement 2 cm de profondeur) dans chacun des trous repérés par la mention "wipe test port". Ils permettent d’amener le coton tige au contact du boîtier contenant la source radioactive. Î Placer les cotons tiges dans les pochettes marquées "Cell surface wipe". Noter le N° de la cellule sur chaque pochette. wipe test port Si l'IMS contient deux cellules, prévoir d'approvisionner deux kits de test de fuite. vue de dessous Î Déconnecter le tuyau d’évacuation sur la face arrière de l’IMS. Î Frotter la surface interne du connecteur d’évacuation repéré "exhaust wipe test port" avec un coton tige puis le placer dans la pochette "Exhaust port wipe". Î Reconnecter le tuyau d’évacuation puis redémarrer l’analyseur IMS. Le replacer ensuite dans l’APA 450. Î Remettre les quatre vis de fixation. Î Refermer les panneaux arrières de l'équipement. Î Mettre les 3 pochettes dans l’enveloppe PMS et remplir le document d’informations pour envoi à adixen Vacuum Products. 10.6 Remplacement du module batteries de l’onduleur AVIS Obligation d’informer Toute personne chargée de l’installation, de l’utilisation ou de l’entretien de l’équipement APA 450 doit avoir lu les consignes de sécurité de ce manuel et doit les respecter. DANGER L’opération de remplacement du module batteries nécessite d’accéder à l’intérieur de l’équipement où des composants sont sous tension. 67 Instructions de maintenance AVERTISSEMENT Cas de puissance maintenue Ɣ L’UPS* maintient en puissance après coupure électrique les éléments suivants : Le PC, une alimentation 24 V, le switch Ethernet, les entrées automates, les cartes de sécurité eau et le détecteur d’hydrogène. Tous les fils d’alimentation maintenus en puissance par l’UPS possèdent un marquage jaune et l’inscription : "Live after EMO". Ɣ L’UPS* maintient en puissance après un arrêt d'urgence les éléments suivants : Le PC, une alimentation 24 V, le switch Ethernet, les entrées automates, les cartes de sécurité eau et le détecteur d’hydrogène. Tous les fils d’alimentation maintenus en puissance par l’UPS possèdent un marquage jaune et l’inscription : "Live after EMO". (*) Manuels utilisateur (UPS _ user manual _ APC-smart) disponible dans le software de l'APA (Appuyer sur [Events] Puis sur [components manual]) Ɣ Après coupure du sectionneur les éléments suivants restent sous tension : le filtre secteur et les câbles reliant la prise électrique de l’équipement au sectionneur. Ces éléments sont identifiés par une étiquette repère 2 du chapitre 1.2.6 et un marquage orange. Le remplacement du module batteries de l’onduleur est une procédure ne présentant aucun risque d’électrocution. Vous pouvez laisser en marche l’onduleur et le matériel connecté pendant l’opération. AVIS L’accès à l’onduleur peut nécessiter l’utilisation d’un marchepied. Î Ouvrir le panneau central arrière de l’APA 450. Î Retirer la face avant de l'onduleur. Fiche batterie Î Débrancher les fiches de la batterie à l’onduleur. Î Retirer les vis de fixation du logement module batteries. x4 AVERTISSEMENT Risque de blessure liée aux charges lourdes Compte tenu du poids du module batteries, veuillez respecter les règles de manutention d' objets lourds. 68 Instructions de maintenance Î Remplacer le module batteries par un neuf. Î Remettre en place les quatre vis de fixation. x4 Î Brancher les fiches de la batterie à l’onduleur. Î Ranger le cordon de batterie blanc dans l’espace au-dessus du connecteur. Î Remettre la face avant de l'onduleur. AVIS Pb Pb Rapporter le module batteries usagées dans un lieu prévu pour le recyclage ou le renvoyer chez APC dans l’emballage prévu à cet effet. Î Fermer le panneau central arrière de l’APA 450. 10.7 Réarmement disjoncteur DANGER Cette opération est effectuée à proximité de composants électriques sous tension. Il est impératif de porter les Equipements de Protection Individuelle (EPI) pour toute intervention dans le tableau électrique. Par l'intermédiaire du software, vérifier la cause ayant provoqué la mise en sécurité du disjoncteur. Si nécessaire, contacter votre centre de service avant de réarmer le disjoncteur. Î Ouvrir le panneau arrière de l' APA 450. Î Enclencher le disjoncteur concerné. Î Vérifier l'intégrité des composants redémarrés. Î Fermer le panneau arrière. 69 Instructions de maintenance 10.8 Edition des journaux Afin d'examiner les problèmes liés au software ou à la communication SECS/GEM, un outil permettant d’éditer tous les journaux de l'équipement est disponible sur le PC. Cet outil est accessible via l’explorateur Windows au chemin suivant : D:\MakeLogBackup. Remarque : pour le reste des opérations, un accès software de niveau ingénieur minimum est requis (voir chapitre 7.10.2). Depuis l’écran « Home » du software APA 450 et selon les droits utilisateurs prédéfinis : Î Aller dans [Settings] puis dans [Explorer] ou bien Î Cliquer sur [Run] et taper « explorer » dans l’invite de commande. Î Aller ensuite au chemin spécifié ci-dessus et double cliquer sur BackupLogAPA.exe. Les paramètres doivent être : – Local – Tool name : doit être le nom de l'équipement – Days before : "6" est la valeur recommandée, mais vous pouvez la changer suivant vos besoins (cependant après 6 jours, certains journaux ne sont plus disponibles). Générer ensuite les journaux Process en sélectionnant [Archive ProcessLog]. Ces journaux sont suffisants pour la majorité des dépannages. Si une erreur SECS/GEM s’est produite, générer les journaux SECS/GEM. Contacter votre centre de service qui vous indiquera si nécessaire les journaux supplémentaires requis pour un dépannage. 10.9 Liste des pièces de rechange IMS (NH3, Acids, Amines) Analyser Désignation Référence Kit tests de fuites sources Ni63 IS1079S Kit maintenance pompe IMS IS1055 Module dopant cellule acids IS1080S Module dopant cellule NH3/Amines IS1081S Gas Generator (NH3, SO2, HF) Désignation Exchange permeation tubes (NH3, SO2, HF) Référence IS1066 Air zero Generator Désignation 70 Référence Kit 2 cartridges filters IS1019 Purge filter IS1020 2 particles filters SW ¼ IS1021 Instructions de maintenance H2 Generator 3080+ Désignation Référence DI Water bag IS1058 1 particles filter VCR ¼ IS1059 Kit 2 dryer cartridges IS1060 VOC analyzer Désignation Référence Kit PM VOC FID IS1061 Oven HCT/CH4/HCnM IS1062 (x2) SO2 analyzer Désignation Référence Kit maintenance SO2, Horiba pump IS1076 Xenon lamp IS1068 H2 safety detector Désignation H2 cell for H2 safety sensor Référence IS1113 HF_ID+ Désignation Référence Kit PM pump HF_ID+ 123129S HF permeation tube 250 ppb 123128S Hygrometer analyzer Désignation Référence Kit PM HG pump IS1057 Hygrometer analyzer calibration (analyzer exchange) IS1023 Hygrometer analyzer calibration On demand UPS Désignation UPS batteries APA 450 Référence 123131S FOUP sampling line Désignation Kit FOUP nozzle seals Référence On demand 71 Mise hors service 11 Mise hors service 11.1 Immobilisation prolongée En cas d’immobilisation prolongée dans une zone non salle blanche : Î Prévoir un emballage de l’équipement afin d’éviter la contamination particulaire. Î Stocker l’équipement en respectant les consignes de stockage (voir chapitre 3.2). 11.2 Remise en service Suivre la procédure d’installation décrite au chapitre 5. 11.3 Mise au rebut Conformément à la Directive 2002/96/CE concernant le traitement des déchets des équipements électriques et électroniques, et à la Directive 2011/65/CE relative à la restriction des matières dangereuses, les produits adixen en fin de vie seront retournés au constructeur pour décontamination et valorisation. Toute obligation du constructeur de récupérer de tels équipements s’applique uniquement à des équipements complets, non modifiés, non rétrofités, utilisant des pièces détachées d’origine adixen Vacuum Products, vendues par Pfeiffer Vacuum et incluant tous leurs ensembles et sous-ensembles. Cette obligation ne comprend pas les frais de transport du produit vers un centre de retraitement, ni la prestation de service qui sera facturée au client. Pour tout retour d’un produit vers nos centres de service, prendre connaissance de la procédure Service après vente, chapitre 12, et remplir la déclaration de contamination disponible sur notre site Internet. AVERTISSEMENT Protection de l’environnement La mise au rebut du produit ou de ses composants doit être réalisée conformément aux réglementations en vigueur pour ce qui concerne la protection de l’environnement et la santé des personnes, ceci afin de réduire le gaspillage des ressources naturelles et prévenir de la pollution. Nos produits contiennent différents matériaux qui doivent être recyclés : – Acier. – Acier inoxydable. – Aluminium. – Cuivre. – Elastomères fluorés. – PTFE. – POM. – PVC. – Polycarbonate. – Polyuréthane. – Batterie lithium. – Composants électroniques / électrotechniques. – Polyamide. – PFA – Source radioactive Ni63 – Cartouche générateur gaz (HF, SO2, NH3). 72 Service après vente 12 Service après vente Pfeiffer Vacuum vous propose un service client haut de gamme ! Ɣ Maintenance sur site pour de nombreux produits. Ɣ Révision / Réparation dans un centre de service proche de chez vous. Ɣ Remplacement rapide par des produits d’échange standard reconditionnés. Ɣ Conseils sur la solution la plus avantageuse et la plus rapide. Informations détaillées, adresses et formulaires à l’adresse suivante : www.pfeiffer-vacuum.com (Service). Révision et réparation dans votre centre de service Pfeiffer Vacuum Les recommandations suivantes permettront de garantir un service rapide et de qualité : Î Remplissez le formulaire «Demande de service» et renvoyez-le à votre contact Pfeiffer Vacuum local. Î A cet envoi, joignez la confirmation de prise en charge transmise par Pfeiffer Vacuum. Î Remplissez la déclaration de contamination et joignez-la obligatoirement à l’envoi du produit. La déclaration de contamination est valable pour tout produit comportant un élément exposé au vide. Î Démontez et gardez tous les accessoires. Î Obturez de manière étanche tous les orifices avec les obturateurs de protection d’origine ou des obturateurs métalliques pour les produits contaminés. Envoi des appareils contaminés Les appareils contaminés avec des substances microbiologiques, explosives ou radioactives sont systématiquement refusés. Les «substances toxiques» sont les substances et composés chimiques cités dans la réglementation actuellement applicable, concernant les substances dangereuses. Î Obturez toutes les ouvertures des appareils pour les rendre étanches à l’air. Î Conditionnez l’appareil sous une feuille de protection adaptée et scellée. Î Renvoyez l’appareil uniquement dans un conteneur de transport approprié et robuste, en respectant les conditions de transport applicables. Tout produit retourné sans cette déclaration de contamination dûment remplie et/ou non sécurisé dans son emballage par rapport à l’environnement extérieur sera décontaminé et/ ou retourné à ses frais à l’expéditeur. Produits d’échange ou réparés Les produits d’échange standard ou réparés sont fournis selon configuration et paramétrage usine. Si votre application fonctionne avec un paramétrage spécifique, vous devrez de nouveau modifier le paramétrage du produit. Commandes de service après-vente Toutes les commandes de service après-vente sont exécutées exclusivement selon nos conditions de service en vigueur et disponibles sur notre site Internet. 73 Caractéristiques techniques 13 Caractéristiques techniques 13.1 Caractéristiques générales Charactérisques générales de l’équipement Poids mini 685 Kg (avec un maximum par pied de 200 Kg) Poids maxi 1045 Kg (avec un maximum par pied de 440 Kg) Dimensions HxLxP (hors HMI et connecteurs) 1868 x 2164 x 1442 mm Logiciel Système d’exploitation Microsoft Windows XP embarqué Protection par mot de passe Oui Connexion compatible Ethernet Oui Enregistrement des données Oui Exportation de fichiers .csv, .pdf, .bmp Temps avant lancement mesure Première utilisation ou après déplacement de l’équipement 48 h Réinitialisation après arrêt d’urgence < 1 heure 2h Réinitialisation après arrêt d’urgence > 1 heure 24 h 13.2 Caractéristiques des servitudes Les conditions d’exploitation Température de fonctionnement 18 – 25 °C Zone d’exploitation Salle blanche (jusqu’à ISO 4) Humidité relative 30 – 50 % Niveau sonore* < 70 dB A *mesuré à une distance de 1 mètre, à une hauteur de 1,6 mètre conformément à la norme ISO 9614-2. Alimentation électrique Alimentation 74 230 VAC ±10% monophasé Fréquence 50 – 60 Hz Consommation électrique maximale 7,8 kW Consommation électrique minimale 300 W Capacité de courant de court-cicuit admissible 10 kA Mise à la Terre oui Câble (minimum) 8AWG cuivre Caractéristiques techniques Consommation individuelles des analyseurs / générateurs La consommation électrique minimale de l’APA 450 sans analyseurs / générateurs est de 300 W. A cette consommation électrique minimale s’ajoute la consommation des analyseurs / générateurs installés dans l’APA 450. La consommation électrique de l’APA 450 dépendra de sa configuration. Ci-dessous le tableau de synthèse des consommations électriques de chaque analyseur / générateur, ainsi que la puissance électrique de réserve pour l’installation de futurs analyseurs / générateurs (extension de la gamme d’analyse de l’APA). Analyseurs / générateurs Consommation (Puissance W) HF_ID + analyzer 160 W VOC FID analyzer 700 W (au démarrage), 100 W (stabilisé) SO2 analyzer 150 W NH3 / acid analyzer 120 W Amine analyzer 120 W Hygrometer analyzer 50 W Air Zero generator 50 W H2 generator 3080+ 120 W Gas generator 200 W Réserve 3000 W Servitude gaz Gaz de procédé* Caractéristiques Gaz sec comprimé (non corrosif) et sans poussière : - Classe 1 selon ISO 8573-1. (selon - Point de rosé : < -60°C. configuration - Raccord : ¼ G femelle. machine) Pression - 6-10 bar à l’entrée de l’équipement. (XCDA ou N2) - Flux = 10 Slm à 6 bar. Gaz pneumatique Caractéristiques Gaz sec comprimé (non corrosif) et sans poussière : - Classe 2 selon ISO 8573-1. (CDA) - Point de rosé : < -40°C. - Raccord : ¼ G femelle. Pression - 6-10 bar à l’entrée de l’équipement. - Flux = 10 Slm à 6 bar. (*) Gaz utilisé pour remplacer le gaz prélevé dans le carrier. Ce gaz est en contact direct avec les wafers. Servitude eau déionisée Eau déionisée Caractéristiques - Conductivité : < 20 μS/cm. - 5pVLVWLYLWp!NFP - Filtration : < 0,2 μm (< 100 mg/l). - Température : 18 - 25°C. - Raccord : ¼ G femelle. Pression - 1,8 – 2,1 bar à l’entrée de l’équipement. - Flux = 0,2 l/jour. Servitude évacuation chimique Air Caractéristiques - Raccord : DN40 iso-KF. Pression - < 900 hPa à la sortie de l’équipement. - Flux = 20 L/min maximum. 75 Caractéristiques techniques 13.3 Dimensions (mm) 1868 Vue de face 2164 2684 Vue de coté 1442 2183 76 50 Caractéristiques techniques Vue de dessus avec zone de maintenance 3364 1200 Zone de maintenance 600 2654,15 600 POINT ZERO Centre de gravité Centre de gravité à vide 1042 1104 630 Centre de gravité pleine 400 1060 Centre de gravité à vide 830 812 1284 Centre de gravité pleine 880 77 Annexes 14 Déclaration de conformité CE 78 Dans le monde entier, Pfeiffer Vacuum est reconnu pour ses solutions de vide innovantes et adaptées, son approche WHFKQRORJLTXHVHVFRQVHLOVHWOD¿DELOLWpGHVRQVHUYLFH Une large gamme de produits Du composant au système complexe, nous sommes votre seul fournisseur de solutions de vide offrant une gamme complète de SURGXLWV Un savoir faire théorique et pratique 3UR¿WH]GHQRWUHVDYRLUIDLUHHWGHQRVRIIUHVGHIRUPDWLRQ Nous vous assistons pour concevoir vos installations, grâce à un VHUYLFHGHSUR[LPLWpGHSUHPLqUHTXDOLWpGDQVOHPRQGHHQWLHU Ed 02-Date: 03/15-P/N : 123576 Un seul fournisseur de solutions de vide ">
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