Pfeiffer APR Mode d'emploi

Vous trouverez ci-dessous de brèves informations pour APA 450. Ce système est spécialement conçu pour le contrôle des FOUP et MAC de plaques de silicium (wafer) 450 mm. Il fournit des informations sur le taux de contamination moléculaire à l'intérieur des FOUP et MAC. L'analyse des gaz de procédé donne des informations essentielles sur la sécurité.

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Pfeiffer Vacuum APA 450 : Manuel IA & PDF | Fixfr

Caractéristiques clés

  • Contrôle de la contamination moléculaire dans les FOUP/MAC
  • Analyse de plaques de silicium (wafer) 450 mm
  • Équipement de sécurité grâce à des modules dédiés
  • Interface homme-machine intuitive

Questions fréquemment posées

Température de stockage : +1°C à 45°C, humidité : 30% à 80%, choc < 1g ; vibration < 0,2g @ 5 Hz, position horizontale.

HF_ID+ analyzer, VOC FID analyzer, SO2 analyzer, NH3 / acid analyzer, Amine analyzer, Air Zero generator, H2 generator 3080+, Gas generator, Hygrometer analyzer, etc. (précision à la commande).

Les gaz de procédés sont fréquemment toxiques, inflammables, corrosifs, explosifs ou réactifs. Ces gaz étant dangereux, il appartient donc à l’utilisateur du procédé d’appliquer les consignes de sécurité spécifiques, conformément à la législation locale.

Le capteur d’hydrogène déclenche l'EMO en cas de fuite d’hydrogène dans la ligne reliant le générateur d’hydrogène à l’analyseur à alimenter ou en cas de panne du détecteur d’hydrogène.
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