A PASSION FOR Explication des signes DANGER Indications concernant la prévention de dommages corporels de toute nature. AVERTISSEMENT Indications concernant la prévention de dégradations de l'environnement et d'importants dégâts matériels. TPR 280, TPR 281 Compact Pirani Gauge Indications relatives à une manipulation ou un usage corrects. Le non-respect des instructions peut provoquer des disfonctionnements ou des dégâts matériels mineurs. Principe de mesure conductance thermique selon Pirani 5×10-4 … 1000 hPa Gamme de mesure (air, O2, CO, N2) Précision (N2) °C +5 … +60 °C °C 80 2) en cas d'installation 80 2) en position horizontale 110 –20 … +65 1×10-3 … 100 hPa ±15% de la mesure Filament Stockage °C °C 5×10-4 … 1×10-3 hPa ±50% de la mesure Humidité relative % 100 … 1000 hPa Résolution ±50% de la mesure 1% de la mesure Répétabilité avec air 1×10-3 … 100 hPa 2% de la mesure ≤80 à températures ≤+31 °C, diminuant à 50 à +40 °C espaces clos, hauteur max. 2000 m NN indifférente IP40 Utilisation Position de montage Protection Signal de sortie (mesure) Gamme de tension VDC Gamme de mesure VDC Relation tension– pression Signal d'erreur V Rupture de filament 0 … +9.0 +2.2 … +8.5 logarithmique 1.0 V/décade 0 … +0.5 +0.1 Impédance de sortie Ω 2×4.7 16 Impédance chargée minimale Temps de réponse kΩ 10, protégée contre courts-circuits 80 22.5 ms mm Identification du produit Les indications figurant sur la plaque signalétique du produit sont nécessaires pour toutes communications à Pfeiffer Vacuum. Reporter ces indications ci-dessous. Pfeiffer Vacuum, D-35614 Asslar Ce document est valable pour les produits avec le numéro de référence: TPR 280 TPR 281 (W filament) Utilisation prévue Les Compact Pirani Gauge TPR 280 et TPR 281 servent à la mesure du vide des gaz dans la gamme des pressions de 5×10-4 … 1000 hPa. Il est interdit de les employer pour la mesure de gaz facilement inflammables ou combustibles mélangés à un oxydant (p. ex. oxygène atmosphérique) dans les limites explosives. Elles peuvent être exploitées avec un instrument de mesure Pfeiffer Vacuum pour jauges compactes ou avec un instrument d’évaluation du client. Responsabilité et garantie Pfeiffer Vacuum est dégagé de toute responsabilité et la garantie devient nulle et non avenue si le détenteur ou une tierce personne • n'observe pas les indications figurant dans ce document • utilise ce produit de manière non conforme à l’utilisation prévue H2 8 6 Air O2 CO N2 CO2 Ar Freon 12 Kr Vapeur d'eau 8 6 4 DN 16 CF-R 116 Raccordement électrique Couple de serrage Câble jauge Longueur du câble Nm Conception de la terre → "Raccordement électrique" • modifie ce produit d’une façon quelconque • utilise le produit avec des accessoires non répertoriés dans la documentation du produit correspondante. Raccord à vide– masse signal La responsabilité relative aux gaz utilisés dans les procédés incombe au détenteur. Masse alimentation– masse signal Les pannes du produit dues à des impuretes ou à l’usure, et aussi des pièces d'usure (p. ex. filaments), sont exclues de la garantie. Matériaux au contact du vide prise d'appareil Hirschmann type GO 6, 6 pôles ≤0.2 5 pôles plus blindage ≤150 m (5×0.25 mm2) ≤200 m (5×0.34 mm2) reliés par 1 MΩ (différence de tension <15 V) conduit séparément, pour mesure différentielle DN 16 ISO-KF tube long PT R26 950, PT R21 950 g PT R26 951, PT R21 951 g PT R26 960, PT R21 960 g PT R26 961, PT R21 961 g 80 100 130 140 Rapport signal de mesure–pression 1E+05 Pa 1E+04 1E+03 hPa 1E+02 torr 1E+01 1E+00 1E–01 1E–02 1E–03 1E–05 0.0 0.5 1.0 1.5 2.0 2.5 3.0 3.5 4.0 4.5 5.0 5.5 6.0 6.5 7.0 7.5 8.0 8.5 9.0 9.5 10.0 10.3 Signal de mesure U[V] p = 10 Pression admissible absolue ≈1.5 ≈1.5 10–1 2 4 6 100 2 4 6 101 2 4 6 102 peff = C × pression indiquée He Ne Ar Kr Xe 0.8 1.4 1.7 2.4 3.0 Type de gaz Facteur de conversion C H2 air, O2, CO, N2 CO2 vapeur d'eau fréon 12 0.5 1.0 0.9 0.5 0.7 DANGER DANGER: mise à la masse Les produits incorrectement mis à la masse peuvent être extrêmement dangereux en cas d'un défaut. La jauge doit être connectée directement à l'enceinte à vide mise à la masse. Le raccordement doit répondre aux exigences d'une connexion de protection selon la norme EN 61010: • Les raccords à vide CF satisfont à ces exigences. • Pour les brides KF il faudra utiliser un collier de serrage conducteur. Attention Pression p (U-c) Volume interne PT R26 950, cm PT R21 950 cm3 PT R26 951, PT R21 951 PT R26 960, PT R21 960 cm3 PT R26 961, PT R21 961 cm3 6 Attention: composant à vide Tout encrassement ou dommage porte atteinte au fonctionnement du composant à vide. En utilisant des composants à vide, prendre les mesures appropriées pour assurer la propreté et la prévention des dommages éventuels. Poids W Ni 3 4 Attention Filament PT R26 xxx PT R21 xxx 10–2 2 Type de Facteur de gaz conversion C 1E–04 DIN 1.4301, DIN 1.4305, DIN 1.4435, verre, Ni, NiFe 6 Facteurs de conversion pour la gamme des pressions inférieure à 1 hPa DN 16 CF-R tube long W AT (lente) 4 peff (hPa) La jauge ne peut être branchée qu'à des alimentations ou appareils de mesure répondant aux exigences pour les basses tensions mis à la terre (PELV). Il faudra protéger la ligne vers la jauge 1). Puissance absorbée Fusible à insérer 1) DANGER 2 10–3 10–3 2 DANGER +14 … +30 ≤1 <500 (courant max. de mise en service) ≤1 1 DANGER: surpression dans le système à vide >100 kPa Si des éléments de serrage sont ouverts lorsque il règne une surpression dans le système à vide, des composants peuvent être projetés et causer des blessures. Des gaz peuvent également s’échapper et avoir des effets nuisibles pour la santé. Ne pas ouvrir les éléments de serrage lorsque il règne une surpression dans le système à vide. Utiliser des éléments de serrage convenables pour la surpression. DANGER: surpression dans le système à vide >250 kPa Les anneaux d'étanchéité en élastomère (p. ex. joints toriques) des brides KF ne peuvent pas résister à de telles pressions. Des gaz peuvent donc s’échapper et avoir des effets nuisibles pour la santé. Utiliser des joints toriques pourvus d'un anneau de centrage extérieur. 4 2 Raccordement au vide Xe 8 6 résistance 3.0 kΩ contre la masse alimentation (tension à la pin 1 ≤5 V) VDC Vpp mA Ne 2 10–2 DN 16 ISO-KF Tension d'alimentation à la jauge ripple Courant absorbé He 4 10–1 33 un commutateur pour ajustement ATM et HV (Ni filament) PT R26 950 PT R21 950 (DN 16 ISO-KF) PT R26 951 PT R21 951 (DN 16 CF-R) PT R26 960 PT R21 960 (DN 16 ISO-KF tube long) PT R26 961 PT R21 961 (DN 16 CF-R tube long) Le numéro de référence (No) figure sur la plaque signalétique. Les illustrations sans indication particulière se réfèrent aux jauges avec le raccord à vide DN 16 ISO-KF et sont applicables aux autres raccords à vide par analogie. Nous nous réservons le droit de réaliser des modifications techniques sans préavis. Toutes dimensions en mm. Pression indiquée (jauge ajustée pour l'air) p (hPa) 4 overrange Validité • Se renseigner avant le début de l'intervention sur une éventuelle contamination. Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes à la manipulation d'éléments contaminés. Communiquer les indications concernant la sécurité aux autres utilisateurs. Dépendance du type de gaz 102 Installation DANGER 8 6 Alimentation • Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions appropriées concernant toute intervention. Tenir également compte des dispositions de précaution figurant dans ce document. p pression U signal de mesure c constante (en fonction de l'unité de pression) 2 underrange W où 4 Indications concernant la sécurité • Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes aux gaz utilisés. Considérer les réactions possibles entre les matériaux du produit et les gaz de procédés. Considérer des réactions possibles des gaz de procédés à la chaleur générée par le produit (p. ex. explosions). c 2.625 3.5 6.5 100 sensor error Typ: No: F-No: V Ajustement p [micron] [Pa] [kPa] 101 20.5 15 Identification de la jauge U [V] [V] [V] 8 6 Personnel qualifié Les travaux décrits dans ce document ne peuvent être effectués que par des personnes ayant une formation technique appropriée et l'expérience nécessaire ou ayant été formés en conséquence par le détenteur du produit. c 5.5 2.5 5.625 2.625 14 Qualification du personnel p [hPa] [µbar] [Torr] [mTorr] 2 Dimensions 69 BG 5178 BFR / C (2016-03) Manuel de l'utilisateur Attention Caractéristiques techniques U [V] [V] [V] [V] 115 Sécurité Températures admissibles Service Raccord à vide DN 16 ISO-KF DN 16 CF-R 16 PERFECTION valable pour gamme ≈10 ≈10 ⇔ Attention: zone sensible à la pollution Si le produit ou des parties du produit sont touchés avec les mains nues le taux de dégazage est augmenté. Porter des gants propres, exempts de peluches et utiliser des outils propres. La position d'installation n'est pas imposée, mais pour éviter que les particules et condensats entrent dans le système de mesure, il est préférable de l'installer horizontalement ou debout. L'utilisation d'un joint avec anneau de centrage et filtre peut être nécessaire. Si l'ajustement de la jauge montée est désirable, il faut assurer que le commutateur soit accessible pour la manipulation avec une goupille (→ "Ajustement de la jauge"). U = c + log10 p 5×10-4 hPa <p< 1000 hPa 3.75×10-4 Torr <p< 750 Torr 5×10-2 Pa <p< 1×105 Pa 1000, seulement pour gaz kPa (abs.) inertes bg5178bf r / c 1) Les contrôleurs Pfeiffer Vacuum satisfont à ces exigences. 2) Tube long: 250 °C. Source: Allemand BG 5178 BDE / C (2016-03) (2016-03) Retirer le protecteur et installer la jauge sur l'équipement. Fonctionnement Joint avec anneau de centrage Élément de serrage Démontage Après l'application de la tension d'alimentation, on dispose entre les broches 2 et 3 du signal de mesure (rapport signal de mesure–pression → "Caractéristiques techniques"). Le temps de stabilisation est au moins de 10 minutes. Maintenez la jauge en fonctionnement permanent, indépendamment de la pression. ou Protecteur Dépendance du type de gaz Joint avec anneau de centrage et filtre Si la jauge est exploitée avec un instrument de mesure Pfeiffer Vacuum pour jauges compactes, il est alors possible de saisir un facteur de calibrage pour la correction de la valeur mesurée affichée (→ de l’instrument de mesure correspondant). Raccordement électrique Assurez-vous que la jauge est correctement raccordée (→ "Raccordement au vide"). Si un câble de mesure n'est pas disponible, veuillez en fabriquer un selon le schéma suivant. Si vous utilisez la jauge avec un contrôleur PfeifferVacuum, vous pouvez y enter un facteur de conversion pour corriger la valeur de mesure actuelle (→ du contrôleur correspondant). DANGER: composants contaminés Les composants contaminés peuvent nuire à la santé et polluer l'environnement. Se renseigner avant le début de l'intervention sur une éventuelle contamination. Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes à la manipulation de composants contaminés. La jauge est étalonnée en usine. Son vieillissement et des impuretés peuvent provoquer une dérive du zéro. Contrôler le zéro à intervalles réguliers et l'ajuster si nécessaire. Procéder à l'ajustement du zéro aux conditions d'ambiance régnant pendant le service normal de la jauge et dans sa position d'utilisation habituelle. La jauge est ajustée à des valeurs par défaut, mais elle peut aussi être ajustée à d'autres valeurs de pression. Cela suppose qu'on connaisse les valeurs de pression exactes (mesure de référence). Si vous utilisez un joint avec anneau de centrage et filtre, vérifiez leur propreté et remplacez-les si nécessaire (→ "Démontage"). 1M Affectation des contacts Pin 1 Identification Pin 2 Sortie du signal (mesure) Pin 3 Masse signal Pin 4 Alimentation Pin 5 Masse alimentation Pin 6 Blindage 2 3 1 4 5 6 + – + – Pfeiffer Vacuum est dégagé de toute responsabilité et la garantie devient nulle et non avenue si des travaux de réparation sont effectués par le détenteur ou des tiers. DANGER: composant à vide Tout encrassement ou dommage porte atteinte au fonctionnement du composant à vide. En utilisant des composants à vide, prendre les mesures appropriées pour assurer la propreté et la prévention des dommages éventuels. 3 2 4 5 1 6 AVERTISSEMENT: substances polluantes Certains produits ou leurs éléments (composants mécaniques ou électriques, fluides etc.) peuvent polluer l'environnement. Eliminer les substances polluantes conformément à la réglementation locale. Pièces de rechange Les commandes de pièces de rechange doivent toujours comprendre: • toutes les indications figurant sur la plaque signalétique DANGER: zone sensible à la pollution Si le produit ou des parties du produit sont touchés avec les mains nues le taux de dégazage est augmenté. Porter des gants propres, exempts de peluches et utiliser des outils propres. Numéro de référence Ni capteur pour jauge Numéro de référence PT R26 950 PT R26 951 PT R26 960 PT R26 961 PT 120 133-T PT 120 135-T PT 120 134-T PT 120 136-T PT R21 950 PT R21 951 PT R21 960 PT R21 961 PT 120 141-T PT 120 143-T PT 120 142-T PT 120 144-T Mettre la jauge hors tension. • Composants contaminés Décontaminer les composants contaminés (par des substances radioactives, toxiques, corrosives ou microbiologiques) conformément à la réglementation nationale, les trier en fonction de leurs matériaux et les éliminer. Transport du produit Dévisser la vis de blocage et débrancher le câble Normes harmonisées, normes internationales et nationales ainsi que spécifications: • EN 61010-1:2010 (Règles de sécurité pour appareils électriques de mesurage, de régulation et de laboratoire) • EN 61326-1:2013 (exigences CEM pour les équipements de mesure et de commande) Fabricant / Signature Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Strasse 43, D-35614 Asslar 15 mars 2016 15 mars 2016 Manfred Bender Président Dr. Matthias Wiemer Président AVERTISSEMENT jauge. AVERTISSEMENT: transport de produits contaminés Les produits contaminés (par des substances radioactives, toxiques, caustiques ou microbiologiques) peuvent nuire à la santé et polluer l'environnement. Les produits qui nous sont envoyés seront dans la mesure du possible exempts de substances nocives. Observer les prescriptions de transport des pays et entreprises de transport concernés. Inclure une déclaration de contamination rempli *). Pour l'ajustement ATM (pression atmosphérique) Retirer la jauge de l'équipement. Normes • EN 61000-6-3:2007 + A1:2011 (CEM: émission) Tri des composants Après le démontage du produit, trier ses composants selon les critères suivants: • Composants non contaminés Trier ces composants en fonction de leurs matériaux et les récupérer. Remettre la jauge à la pression atmosphérique. Produits • EN 61000-6-2:2005 (CEM: immunité) • description et numéro de référence selon la liste des pièces de rechange W capteur pour jauge Par la présente, nous, Pfeiffer Vacuum, déclarons que les produits mentionnés en bas répondent aux prescriptions de la directive relative à la compatibilité électromagnétique 2014/30/UE et de la directive relative à la limitation de l’utilisation de certaines substances dangereuses dans les équipements électriques et électroniques 2011/65/UE. TPR 280 TPR 281 AVERTISSEMENT tionnement à la pression atmosphérique pendant 10 minutes au moins. appuyer sur le commutateur avec une goupille (max. ø1.1 mm): La jauge est ajustée à 1000 hPa (8.50 VDC) par défaut. Si vous appuyez sur le commutateur pendant >5 s la pression augmente vers 1200 hPa (ou si vous appuyez encore une fois, elle diminue vers 500 hPa), jusqu'à ce que vous lâchiez le commutateur ou que la limite de la gamme d'ajustement soit atteinte. DANGER: composants contaminés Les composants contaminés peuvent nuire à la santé et polluer l'environnement. Se renseigner avant le début de l'intervention sur une éventuelle contamination. Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes à la manipulation de composants contaminés. Les pannes du produit dues à des impuretes ou à l’usure, et aussi des pièces d'usure (p. ex. filaments), sont exclues de la garantie. Mettre la jauge en service et la maintenir en fonc4.7 4.7 Ident Déclaration UE de conformité DANGER Attention Attention Ajustement de la jauge Recyclage En cas d'un encrassement sévère ou d'un défaut, le capteur peut être remplacé. DANGER Le signal de mesure dépend de la nature du gaz. La valeur de mesure correspond à l'air , O2, CO et N2. Pour d'autres gaz, procéder à la conversion (→ "Caractéristiques techniques"). Garder le protecteur. Maintenance, Réparation *) Formulaire disponible sur www.pfeiffer-vacuum.com Table de conversion des unités de pression mbar bar Pa hPa kPa Torr mm HG mbar bar Pa hPa kPa 1 1×103 0.01 1 10 1×10-3 1 1×10-5 1×10-3 0.01 100 1×105 1 100 1×103 1 0.1 0.75 1×103 100 750 0.01 1×10-3 7.5×10-3 1 0.1 0.75 10 1 7.5 1.332 1.332×10-3 133.32 1.3332 0.1332 Torr mm HG 1 1 Pa = 1 N/m2 En absence de confirmation univoque que le produit est "exempt de substances nocives", le produit est décontaminé aux frais du client. En absence d'une déclaration de contamination dûment rempli, le produit est renvoyé à l'expéditeur à ses frais. ATM HV Prise secteur côté soudures Fixer la prise secteur du câble jauge sur la jauge avec max. ø1.1 mm Protecteur la vis de blocage (couple de serrage ≤0.2 Nm). Amenez la jauge à une pression << 10 hPa (recom-4 mandée) ou à une pression dans la gamme 10-4 … 10-2 hPa, et attendez au moins 2 minutes. Pour l'ajustement HV (vide poussé) appuyer sur le Brancher le câble jauge à l'appareil de mesure. commutateur avec une goupille: La jauge est ajustée à 1×10-4 hPa (1.50 VDC) par défaut. Si vous appuyez sur le commutateur >5 s, la pression augmente vers 1×10-2 hPa, jusqu'à ce que vous lâchiez le commutateur ou que la gamme d'ajustement soit atteinte. Berliner Straße 43 D–35614 Asslar Deutschland Tel +49 (0) 6441 802-0 Fax +49 (0) 6441 802-1202 info@pfeiffer-vacuum.de www.pfeiffer-vacuum.com ">
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