Pfeiffer TPR 280/TPR 281 Manuel utilisateur

A PASSION FOR
Explication des signes
DANGER
Indications concernant la prévention de dommages corporels de toute nature.
AVERTISSEMENT
Indications concernant la prévention de dégradations de
l'environnement et d'importants dégâts matériels.
TPR 280, TPR 281
Compact Pirani Gauge
Indications relatives à une manipulation ou un usage corrects. Le non-respect des instructions peut provoquer des
disfonctionnements ou des dégâts matériels mineurs.
Principe de mesure
conductance thermique selon
Pirani
5×10-4 … 1000 hPa
Gamme de mesure
(air, O2, CO, N2)
Précision (N2)
°C
+5 … +60
°C
°C
80 2) en cas d'installation
80 2) en position horizontale
110
–20 … +65
1×10-3 … 100 hPa
±15% de la mesure
Filament
Stockage
°C
°C
5×10-4 … 1×10-3 hPa
±50% de la mesure
Humidité relative
%
100 … 1000 hPa
Résolution
±50% de la mesure
1% de la mesure
Répétabilité avec air
1×10-3 … 100 hPa
2% de la mesure
≤80 à températures
≤+31 °C, diminuant à 50 à
+40 °C
espaces clos, hauteur
max. 2000 m NN
indifférente
IP40
Utilisation
Position de montage
Protection
Signal de sortie (mesure)
Gamme de tension
VDC
Gamme de mesure
VDC
Relation tension–
pression
Signal d'erreur
V
Rupture de filament
0 … +9.0
+2.2 … +8.5
logarithmique
1.0 V/décade
0 … +0.5
+0.1
Impédance de sortie
Ω
2×4.7
16
Impédance chargée
minimale
Temps de réponse
kΩ
10, protégée contre
courts-circuits
80
22.5
ms
mm
Identification du produit
Les indications figurant sur la plaque signalétique du produit
sont nécessaires pour toutes communications à Pfeiffer
Vacuum. Reporter ces indications ci-dessous.
Pfeiffer Vacuum, D-35614 Asslar
Ce document est valable pour les produits avec le numéro de
référence:
TPR 280
TPR 281
(W filament)
Utilisation prévue
Les Compact Pirani Gauge TPR 280 et TPR 281 servent à la
mesure du vide des gaz dans la gamme des pressions de
5×10-4 … 1000 hPa.
Il est interdit de les employer pour la mesure de gaz
facilement inflammables ou combustibles mélangés à un
oxydant (p. ex. oxygène atmosphérique) dans les limites
explosives.
Elles peuvent être exploitées avec un instrument de mesure
Pfeiffer Vacuum pour jauges compactes ou avec un
instrument d’évaluation du client.
Responsabilité et garantie
Pfeiffer Vacuum est dégagé de toute responsabilité et la
garantie devient nulle et non avenue si le détenteur ou une
tierce personne
• n'observe pas les indications figurant dans ce document
• utilise ce produit de manière non conforme à l’utilisation
prévue
H2
8
6
Air
O2
CO
N2
CO2
Ar
Freon 12
Kr
Vapeur
d'eau
8
6
4
DN 16 CF-R
116
Raccordement électrique
Couple de serrage
Câble jauge
Longueur du câble
Nm
Conception de la terre
→ "Raccordement
électrique"
• modifie ce produit d’une façon quelconque
• utilise le produit avec des accessoires non répertoriés
dans la documentation du produit correspondante.
Raccord à vide–
masse signal
La responsabilité relative aux gaz utilisés dans les procédés
incombe au détenteur.
Masse alimentation–
masse signal
Les pannes du produit dues à des impuretes ou à l’usure, et
aussi des pièces d'usure (p. ex. filaments), sont exclues de la
garantie.
Matériaux au contact du
vide
prise d'appareil Hirschmann type GO 6, 6 pôles
≤0.2
5 pôles plus blindage
≤150 m (5×0.25 mm2)
≤200 m (5×0.34 mm2)
reliés par 1 MΩ (différence
de tension <15 V)
conduit séparément, pour
mesure différentielle
DN 16 ISO-KF
tube long
PT R26 950, PT R21 950 g
PT R26 951, PT R21 951 g
PT R26 960, PT R21 960 g
PT R26 961, PT R21 961 g
80
100
130
140
Rapport signal de mesure–pression
1E+05
Pa
1E+04
1E+03
hPa
1E+02
torr
1E+01
1E+00
1E–01
1E–02
1E–03
1E–05
0.0 0.5 1.0 1.5 2.0 2.5 3.0 3.5 4.0 4.5 5.0 5.5 6.0 6.5 7.0 7.5 8.0 8.5 9.0 9.5 10.0
10.3
Signal de mesure U[V]
p = 10
Pression admissible
absolue
≈1.5
≈1.5
10–1 2
4
6
100
2
4
6
101
2
4
6
102
peff = C × pression indiquée
He
Ne
Ar
Kr
Xe
0.8
1.4
1.7
2.4
3.0
Type de gaz
Facteur de
conversion C
H2
air, O2, CO, N2
CO2
vapeur d'eau
fréon 12
0.5
1.0
0.9
0.5
0.7
DANGER
DANGER: mise à la masse
Les produits incorrectement mis à la masse
peuvent être extrêmement dangereux en cas
d'un défaut.
La jauge doit être connectée directement à l'enceinte à vide mise à la masse. Le raccordement
doit répondre aux exigences d'une connexion de
protection selon la norme EN 61010:
• Les raccords à vide CF satisfont à ces
exigences.
• Pour les brides KF il faudra utiliser un collier
de serrage conducteur.
Attention
Pression p
(U-c)
Volume interne
PT R26 950,
cm
PT R21 950
cm3
PT R26 951, PT R21 951
PT R26 960, PT R21 960 cm3
PT R26 961, PT R21 961 cm3
6
Attention: composant à vide
Tout encrassement ou dommage porte atteinte
au fonctionnement du composant à vide.
En utilisant des composants à vide, prendre les
mesures appropriées pour assurer la propreté et
la prévention des dommages éventuels.
Poids
W
Ni
3
4
Attention
Filament
PT R26 xxx
PT R21 xxx
10–2 2
Type de Facteur de
gaz
conversion C
1E–04
DIN 1.4301, DIN 1.4305,
DIN 1.4435, verre, Ni,
NiFe
6
Facteurs de conversion pour la gamme des pressions
inférieure à 1 hPa
DN 16 CF-R
tube long
W
AT
(lente)
4
peff (hPa)
La jauge ne peut être branchée qu'à des alimentations ou appareils de mesure répondant
aux exigences pour les basses tensions mis à la
terre (PELV). Il faudra protéger la ligne vers la
jauge 1).
Puissance absorbée
Fusible à insérer 1)
DANGER
2
10–3
10–3 2
DANGER
+14 … +30
≤1
<500
(courant max. de mise en
service)
≤1
1
DANGER: surpression dans le système à vide
>100 kPa
Si des éléments de serrage sont ouverts lorsque
il règne une surpression dans le système à vide,
des composants peuvent être projetés et causer
des blessures. Des gaz peuvent également
s’échapper et avoir des effets nuisibles pour la
santé.
Ne pas ouvrir les éléments de serrage lorsque il
règne une surpression dans le système à vide.
Utiliser des éléments de serrage convenables
pour la surpression.
DANGER: surpression dans le système à vide
>250 kPa
Les anneaux d'étanchéité en élastomère (p. ex.
joints toriques) des brides KF ne peuvent pas
résister à de telles pressions. Des gaz peuvent
donc s’échapper et avoir des effets nuisibles
pour la santé.
Utiliser des joints toriques pourvus d'un anneau
de centrage extérieur.
4
2
Raccordement au vide
Xe
8
6
résistance 3.0 kΩ contre la
masse alimentation
(tension à la pin 1 ≤5 V)
VDC
Vpp
mA
Ne
2
10–2
DN 16 ISO-KF
Tension d'alimentation
à la jauge
ripple
Courant absorbé
He
4
10–1
33
un commutateur pour ajustement ATM et HV
(Ni filament)
PT R26 950 PT R21 950 (DN 16 ISO-KF)
PT R26 951 PT R21 951 (DN 16 CF-R)
PT R26 960 PT R21 960 (DN 16 ISO-KF tube long)
PT R26 961 PT R21 961 (DN 16 CF-R
tube long)
Le numéro de référence (No) figure sur la plaque signalétique.
Les illustrations sans indication particulière se réfèrent aux
jauges avec le raccord à vide DN 16 ISO-KF et sont applicables aux autres raccords à vide par analogie.
Nous nous réservons le droit de réaliser des modifications
techniques sans préavis.
Toutes dimensions en mm.
Pression indiquée (jauge ajustée pour l'air)
p (hPa)
4
overrange
Validité
• Se renseigner avant le début de l'intervention sur une
éventuelle contamination. Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes à la manipulation d'éléments contaminés.
Communiquer les indications concernant la sécurité aux
autres utilisateurs.
Dépendance du type de gaz
102
Installation
DANGER
8
6
Alimentation
• Observer les prescriptions essentielles et prendre les
précautions appropriées concernant toute intervention.
Tenir également compte des dispositions de précaution figurant dans ce document.
p pression
U signal de mesure
c constante (en fonction de l'unité de pression)
2
underrange
W
où
4
Indications concernant la sécurité
• Observer les prescriptions essentielles et prendre les
précautions afférentes aux gaz utilisés.
Considérer les réactions possibles entre les matériaux du
produit et les gaz de procédés.
Considérer des réactions possibles des gaz de procédés à
la chaleur générée par le produit (p. ex. explosions).
c
2.625
3.5
6.5
100
sensor error
Typ:
No:
F-No:
V
Ajustement
p
[micron]
[Pa]
[kPa]
101
20.5
15
Identification de la jauge
U
[V]
[V]
[V]
8
6
Personnel qualifié
Les travaux décrits dans ce document ne peuvent être
effectués que par des personnes ayant une formation
technique appropriée et l'expérience nécessaire ou ayant
été formés en conséquence par le détenteur du produit.
c
5.5
2.5
5.625
2.625
14
Qualification du personnel
p
[hPa]
[µbar]
[Torr]
[mTorr]
2
Dimensions
69
BG 5178 BFR / C (2016-03)
Manuel de l'utilisateur
Attention
Caractéristiques techniques
U
[V]
[V]
[V]
[V]
115
Sécurité
Températures admissibles
Service
Raccord à vide
DN 16 ISO-KF
DN 16 CF-R
16
PERFECTION
valable pour gamme
≈10
≈10
⇔
Attention: zone sensible à la pollution
Si le produit ou des parties du produit sont touchés avec les mains nues le taux de dégazage
est augmenté.
Porter des gants propres, exempts de peluches
et utiliser des outils propres.
La position d'installation n'est pas imposée, mais
pour éviter que les particules et condensats entrent
dans le système de mesure, il est préférable de
l'installer horizontalement ou debout. L'utilisation
d'un joint avec anneau de centrage et filtre peut être
nécessaire. Si l'ajustement de la jauge montée est
désirable, il faut assurer que le commutateur soit accessible pour la manipulation avec une goupille
(→ "Ajustement de la jauge").
U = c + log10 p
5×10-4 hPa <p< 1000 hPa
3.75×10-4 Torr <p< 750 Torr
5×10-2 Pa <p< 1×105 Pa
1000, seulement pour gaz
kPa
(abs.) inertes
bg5178bf r / c
1)
Les contrôleurs Pfeiffer Vacuum satisfont à ces exigences.
2)
Tube long: 250 °C.
Source: Allemand BG 5178 BDE / C (2016-03)
(2016-03)
Retirer le protecteur et installer la jauge sur l'équipement.
Fonctionnement
Joint avec anneau de
centrage
Élément de
serrage
Démontage
Après l'application de la tension d'alimentation, on dispose
entre les broches 2 et 3 du signal de mesure (rapport signal
de mesure–pression → "Caractéristiques techniques").
Le temps de stabilisation est au moins de 10 minutes. Maintenez la jauge en fonctionnement permanent, indépendamment de la pression.
ou
Protecteur
Dépendance du type de gaz
Joint avec anneau de
centrage et filtre
Si la jauge est exploitée avec un instrument de mesure
Pfeiffer Vacuum pour jauges compactes, il est alors possible
de saisir un facteur de calibrage pour la correction de la
valeur mesurée affichée (→  de l’instrument de mesure
correspondant).
Raccordement électrique
Assurez-vous que la jauge est correctement raccordée (→ "Raccordement au vide").
 Si un câble de mesure n'est pas disponible, veuillez en
fabriquer un selon le schéma suivant.
Si vous utilisez la jauge avec un contrôleur PfeifferVacuum,
vous pouvez y enter un facteur de conversion pour corriger la
valeur de mesure actuelle (→  du contrôleur correspondant).
DANGER: composants contaminés
Les composants contaminés peuvent nuire à la
santé et polluer l'environnement.
Se renseigner avant le début de l'intervention sur
une éventuelle contamination. Observer les
prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes à la manipulation de composants
contaminés.
La jauge est étalonnée en usine. Son vieillissement et des
impuretés peuvent provoquer une dérive du zéro. Contrôler le
zéro à intervalles réguliers et l'ajuster si nécessaire.
Procéder à l'ajustement du zéro aux conditions d'ambiance
régnant pendant le service normal de la jauge et dans sa
position d'utilisation habituelle.
La jauge est ajustée à des valeurs par défaut, mais elle peut
aussi être ajustée à d'autres valeurs de pression. Cela
suppose qu'on connaisse les valeurs de pression exactes
(mesure de référence).
 Si vous utilisez un joint avec anneau de centrage et
filtre, vérifiez leur propreté et remplacez-les si nécessaire (→ "Démontage").
1M
Affectation des contacts
Pin 1 Identification
Pin 2 Sortie du signal (mesure)
Pin 3 Masse signal
Pin 4 Alimentation
Pin 5 Masse alimentation
Pin 6 Blindage
2
3
1
4
5
6
+
–
+
–
Pfeiffer Vacuum est dégagé de toute responsabilité et la
garantie devient nulle et non avenue si des travaux de
réparation sont effectués par le détenteur ou des tiers.
DANGER: composant à vide
Tout encrassement ou dommage porte atteinte
au fonctionnement du composant à vide.
En utilisant des composants à vide, prendre les
mesures appropriées pour assurer la propreté et
la prévention des dommages éventuels.
3
2
4
5
1
6
AVERTISSEMENT: substances polluantes
Certains produits ou leurs éléments (composants
mécaniques ou électriques, fluides etc.) peuvent
polluer l'environnement.
Eliminer les substances polluantes conformément à la réglementation locale.
Pièces de rechange
Les commandes de pièces de rechange doivent toujours
comprendre:
• toutes les indications figurant sur la plaque signalétique
DANGER: zone sensible à la pollution
Si le produit ou des parties du produit sont touchés avec les mains nues le taux de dégazage
est augmenté.
Porter des gants propres, exempts de peluches
et utiliser des outils propres.
Numéro de
référence
Ni capteur
pour jauge
Numéro de
référence
PT R26 950
PT R26 951
PT R26 960
PT R26 961
PT 120 133-T
PT 120 135-T
PT 120 134-T
PT 120 136-T
PT R21 950
PT R21 951
PT R21 960
PT R21 961
PT 120 141-T
PT 120 143-T
PT 120 142-T
PT 120 144-T
 Mettre la jauge hors tension.
• Composants contaminés
Décontaminer les composants contaminés (par des
substances radioactives, toxiques, corrosives ou microbiologiques) conformément à la réglementation nationale,
les trier en fonction de leurs matériaux et les éliminer.
Transport du produit
 Dévisser la vis de blocage et débrancher le câble
Normes harmonisées, normes internationales et nationales
ainsi que spécifications:
• EN 61010-1:2010 (Règles de sécurité pour appareils
électriques de mesurage, de régulation et de laboratoire)
• EN 61326-1:2013 (exigences CEM pour les équipements de
mesure et de commande)
Fabricant / Signature
Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Strasse 43, D-35614 Asslar
15 mars 2016
15 mars 2016
Manfred Bender
Président
Dr. Matthias Wiemer
Président
AVERTISSEMENT
jauge.
AVERTISSEMENT: transport de produits
contaminés
Les produits contaminés (par des substances
radioactives, toxiques, caustiques ou microbiologiques) peuvent nuire à la santé et polluer
l'environnement.
Les produits qui nous sont envoyés seront dans
la mesure du possible exempts de substances
nocives. Observer les prescriptions de transport
des pays et entreprises de transport concernés.
Inclure une déclaration de contamination
rempli *).
 Pour l'ajustement ATM (pression atmosphérique)
 Retirer la jauge de l'équipement.
Normes
• EN 61000-6-3:2007 + A1:2011 (CEM: émission)
Tri des composants
Après le démontage du produit, trier ses composants selon
les critères suivants:
• Composants non contaminés
Trier ces composants en fonction de leurs matériaux et les
récupérer.
 Remettre la jauge à la pression atmosphérique.
Produits
• EN 61000-6-2:2005 (CEM: immunité)
• description et numéro de référence selon la liste des pièces de rechange
W capteur
pour jauge
Par la présente, nous, Pfeiffer Vacuum,
déclarons que les produits mentionnés en bas
répondent aux prescriptions de la directive
relative à la compatibilité électromagnétique
2014/30/UE et de la directive relative à la
limitation de l’utilisation de certaines substances dangereuses dans les équipements
électriques et électroniques 2011/65/UE.
TPR 280
TPR 281
AVERTISSEMENT
tionnement à la pression atmosphérique pendant
10 minutes au moins.
appuyer sur le commutateur avec une goupille (max.
ø1.1 mm): La jauge est ajustée à 1000 hPa (8.50 VDC)
par défaut. Si vous appuyez sur le commutateur
pendant >5 s la pression augmente vers 1200 hPa (ou
si vous appuyez encore une fois, elle diminue vers
500 hPa), jusqu'à ce que vous lâchiez le commutateur
ou que la limite de la gamme d'ajustement soit atteinte.
DANGER: composants contaminés
Les composants contaminés peuvent nuire à la
santé et polluer l'environnement.
Se renseigner avant le début de l'intervention sur
une éventuelle contamination. Observer les
prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes à la manipulation de composants
contaminés.
Les pannes du produit dues à des impuretes ou à
l’usure, et aussi des pièces d'usure (p. ex.
filaments), sont exclues de la garantie.
 Mettre la jauge en service et la maintenir en fonc4.7
4.7
Ident
Déclaration UE de conformité
DANGER
Attention
Attention
Ajustement de la jauge
Recyclage
En cas d'un encrassement sévère ou d'un défaut, le capteur
peut être remplacé.
DANGER
Le signal de mesure dépend de la nature du gaz. La valeur
de mesure correspond à l'air , O2, CO et N2. Pour d'autres
gaz, procéder à la conversion (→ "Caractéristiques techniques").
Garder le protecteur.
Maintenance, Réparation
*)
Formulaire disponible sur www.pfeiffer-vacuum.com
Table de conversion des unités de
pression
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr
mm HG
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
1
1×103
0.01
1
10
1×10-3
1
1×10-5
1×10-3
0.01
100
1×105
1
100
1×103
1
0.1
0.75
1×103 100
750
0.01 1×10-3 7.5×10-3
1
0.1
0.75
10
1
7.5
1.332 1.332×10-3 133.32 1.3332 0.1332
Torr
mm HG
1
1 Pa = 1 N/m2
En absence de confirmation univoque que le produit est
"exempt de substances nocives", le produit est décontaminé
aux frais du client.
En absence d'une déclaration de contamination dûment
rempli, le produit est renvoyé à l'expéditeur à ses frais.
ATM
HV
Prise secteur
côté soudures
 Fixer la prise secteur du câble jauge sur la jauge avec
max. ø1.1 mm
Protecteur
la vis de blocage (couple de serrage ≤0.2 Nm).
 Amenez la jauge à une pression << 10 hPa (recom-4
mandée) ou à une pression dans la gamme
10-4 … 10-2 hPa, et attendez au moins 2 minutes.
 Pour l'ajustement HV (vide poussé) appuyer sur le
 Brancher le câble jauge à l'appareil de mesure.
commutateur avec une goupille: La jauge est ajustée à
1×10-4 hPa (1.50 VDC) par défaut. Si vous appuyez sur
le commutateur >5 s, la pression augmente vers
1×10-2 hPa, jusqu'à ce que vous lâchiez le commutateur ou que la gamme d'ajustement soit atteinte.
Berliner Straße 43
D–35614 Asslar
Deutschland
Tel +49 (0) 6441 802-0
Fax +49 (0) 6441 802-1202
info@pfeiffer-vacuum.de
www.pfeiffer-vacuum.com
">