MANUEL DE L'UTILISATEUR Traduction du manuel de l'utilisateur IKR 261 BG 5153 BFR / D (2017-07 Jauge compacte à cathode froide avec joint métallique Identification du produit Les indications figurant sur la plaque signalétique du produit sont nécessaires pour toutes communications à Pfeiffer Vacuum. Validité Ce document est valable pour les produits avec les numéros de référence PT R26 250 (DN 25 ISO-KF, Version courte) PT R26 251 (DN 40 CF-F, Version courte) (DN 40 CF-F, Version longue) PT R26 252 Le numéro de référence (No) figure sur la plaque signalétique Nous réservons le droit de réaliser des modifications techniques sans préavis. Utilisation prévue La jauge à cathode froide IKR 261 permet la mesure du vide de gaz sur une plage -9 -2 de pression de 2×10 … 1×10 hPa. La jauge peut être exploitée avec un appareil de mesure et de commande Pfeiffer Vacuum pour jauges compactes ou avec un instrument d'évaluation du client. Principe de fonctionnement Le signal de mesure varie de manière logarithmique avec la pression sur toute la plage de mesure. Un circuit de mesure à ionisation à cathode froide (suivant le principe du magnétron inverti) est utilisé. 2 BG 5153 BFR / D (2017-07) IKR 261 Sommaire Identification du produit Validité Utilisation prévue Principe de fonctionnement 2 2 2 2 1 Sécurité 1.1 Explication des signes 1.2 Qualification du personnel 1.3 Indications concernant la sécurité 1.4 Responsabilité et garantie 4 4 4 4 5 2 Caractéristiques techniques 6 3 Installation 3.1 Raccordement au vide 3.1.1 Démontage de l'unité magnétique (uniquement pour les brides CF 3.2 Raccordement électrique 3.2.1 Utilisation avec appareil de mesure Pfeiffer Vacuum 3.2.2 Utilisation avec d'autres appareils d'évaluation 9 9 10 11 11 11 4 Fonctionnement 13 5 Maintenance 5.1 Nettoyage des tubes de mesure / Montage des pièces de rechange 5.1.1 Démontage 5.1.2 Nettoyage de la jauge 5.1.3 Assemblage de la jauge 5.1.4 Ajustage des tubes de mesure 5.2 Comportement en présence d'un défaut 14 14 15 17 18 21 21 6 Démontage 22 7 Retour du produit 23 8 Accessoires 23 9 Pièces de rechange 24 10 24 Recyclage Annexe A: Table de conversion des unités de pression B: Rapport signal de mesure – pression C: Dépendance du type de gaz 25 25 25 26 Certification ETL 27 Pour des références aux pages de ce document, le signe (→ XY) est utilisé, pour des références à d'autres documents, le signe (→ [Z]). BG 5153 BFR / D (2017-07) IKR 261 3 1 Sécurité 1.1 Explication des signes DANGER Indications concernant la prévention de dommages corporels de toute nature. AVERTISSEMENT Indications concernant la prévention de dégradations de l'environnement et d'importants dégâts matériels. Attention Indications relatives à une manipulation ou un usage corrects. Le non-respect des instructions peut provoquer des disfonctionnements ou des dégâts matériels mineurs. 1.2 Qualification du personnel Personnel qualifié Les travaux décrits dans ce document ne peuvent être effectués que par des personnes ayant une formation technique appropriée et l'expérience nécessaire ou ayant été formées en conséquence par le détenteur du produit. 1.3 Indications concernant la sécurité • Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes aux gaz utilisés. Considérer les réactions possibles entre les matériaux du produit (→ 7) et les gaz des procédés. Considérer des réactions possibles des gaz de procédés à la chaleur générée par le produit. • Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions appropriées concernant toute intervention. Tenir également compte des dispositions de précaution figurant dans ce document. • Se renseigner avant le début de l'intervention sur une éventuelle contamination. Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes à la manipulation d'éléments contaminés. DANGER DANGER : champs magnétiques Les champs magnétiques puissants peuvent perturber ou gêner le fonctionnement des appareils électroniques, p. ex. des stimulateurs cardiaques. Observer une distance de sécurité supérieure ou égale à 10 cm entre le stimulateur cardiaque et l'aimant ou éviter toute perturbation émanant de champs magnétiques puissants en installant des blindages adéquats. Communiquer les indications concernant la sécurité aux autres utilisateurs. 4 BG 5153 BFR / D (2017-07) IKR 261 1.4 Responsabilité et garantie Pfeiffer Vacuum est dégagée de toute responsabilité et la garantie devient nulle et non avenue si le détenteur ou une tierce personne • n'observe pas les indications figurant dans ce document • utilise ce produit de manière non conforme à l'utilisation prévue • modifie ce produit d'une façon quelconque • utilise le produit avec des accessoires non répertoriés dans la documentation du produit correspondante. La responsabilité relative aux gaz utilisés dans les procédés incombe au détenteur. Les pannes du produit dues à des impuretés ou à l'usure, ainsi que les pièces d'usure (p. ex. filament), sont exclues de la garantie. BG 5153 BFR / D (2017-07) IKR 261 5 2 Caractéristiques techniques Températures admissibles Stockage Service Toutes les versions Version longue Etuvage Versions courtes Version longue Humidité relative Utilisation -40 °C ... +65 °C + 5 °C ... +55 °C 250 °C dans la zone de chauffage conformément au dessin coté (sans blindage magnétique) +250 °C (sans unité électronique, ni blindage magnétique) 250 °C dans la zone de chauffage conformément au dessin coté (sans blindage magnétique) ≤ 80% à température jusqu'à +31 °C, diminuant à 50% à +40 °C en salle, altitude max. 2000 m Gamme de mesure (air, N2) Précision 2×10-9 ... 1×10-2 hPa Reproductibilité ≈ ± 5 % mesure dans la gamme -8 -3 1×10 ... ... 1×10 hPa Dépendance du type de gaz → Annexe C Compensation Le tube de mesure est ajusté à l’usine et sans entretien. Protection Pression max. (absolue) IP 40 1000 kPa limitée aux gaz inertes et aux températures < 100 °C ≈ ± 30% mesure dans la gamme 1×10-8 ... 1×10-3 hPa Alimentation DANGER La jauge ne pourra être branchée qu'à des alimentations ou appareils de mesure répondant aux exigences pour les basses tensions mises à la masse (PELV). Il faudra protéger la ligne vers la jauge.1) Tension à la jauge 15,0 ... 30,0 V= (ondulation 1 Vpp) Puissance absorbée ≤2W 1) ≤ 1 Alerte Fusible La tension minimale de l'appareil d'alimentation doit être augmentée proportionnellement à la longueur du câble de mesure. Tension d'alimentation à longueur max. du câble 16,0 ... 30,0 V= (ondulation 1 Vpp) Raccordement électrique Couple de serrage Câble jauge Longueur max. du câble 1) 6 connecteur compact Hirschmann, type GO 60 UM 6 pôles, mâle ≤ 0.2 Nm 5 pôles, blindé 100 m (conducteurs 0,25 mm²) 150 m (conducteurs 0,34 mm²) 500 m (conducteurs 1,0 mm²) Les instruments de mesure et de commande Pfeiffer Vacuum pour jauges compactes satisfont à cette exigence. BG 5153 BFR / D (2017-07) IKR 261 Tension de service (dans la chambre de mesure) Courant de service (dans la chambre de mesure) Signal de sortie (mesure) Gamme de mesure Relation tension – pression Signaux d'erreur Impédance de sortie Impédance chargée minimale Temps de réponse -6 p > 10 hPa -8 p = 10 hPa 2×10 Ω 10 kΩ, résistant aux courts-circuits en fonction de la pression <10 ms ≈ 1s Conception de la terre → Figure 2 Matériaux au contact du vide Isolation de traversée Joints internes Bride Chambre de mesure Anode Dispositif d'allumage Volume interne IKR 261 ≈ 0 V ... ≈ +10,5 V logarithmique, 1 V / décade (→ Annexe B) <0,5 V (sans alimentation) Résistance 5,1 kΩ contre terre alimentation → Figure 2 Masse alimentation – masse signal (2017-07) ≤ 500 µA Identification de la jauge Raccord à vide – masse alimentation BG 5153 BFR / D ≤ 3,3 kV reliés par 10 kΩ (différence max. de tension pour sécurité ±50 V pour précision ±10 V) conduites séparément; avec les câbles de grande longueur (≥10 m) nous recommandons une mesure différentielle céramique (Al2O3) Ag acier inoxydable (1.4306 / AISI 304L) acier inoxydable (1.4306 / AISI 304L) Mo acier inoxydable l (1.4310/AISI 301) ≈ 20 cm³ 7 Dimensions [mm] Poids 8 700 g (DN 40 ISO-KF Version courte) Version courte) 950 g (DN 40 CF-F 1100 g (DN 40 CF-F Version longue) BG 5153 BFR / D (2017-07) IKR 261 3 Installation 3.1 Raccordement au vide Attention Attention : composant à vide Tout encrassement ou dommage porte atteinte au fonctionnement du composant à vide. En utilisant des composants à vide, prendre les mesures appropriées pour assurer la propreté et la prévention des dommages éventuels. La position d'installation n'est pas imposée, veiller cependant à ce que les particules ne puissent pas pénétrer dans la chambre de mesure (→ 13). L'encombrement requis est indiqué sur le plan coté (→ 8). Procédure à suivre Retirer le protecteur. Garder le protecteur en vue de travaux de maintenance. Raccorder la jauge au système à vide. En cas d'utilisation de brides CF, il peut être avantageux d'enlever momentanément l'unité magnétique (→ section 3.1.1). DANGER DANGER : surpression dans le système à vide > 250 kPa Les anneaux d'étanchéité en élastomère (p. ex. joints toriques) des raccords à brides KF ne peuvent pas résister à de telles pressions. Des gaz peuvent donc s'échapper et avoir des effets nuisibles pour la santé. Utiliser des anneaux d'étanchéité pourvus d'un anneau de centrage extérieur. DANGER DANGER : surpression dans le système à vide > 100 kPa Si des éléments de serrage sont ouverts lorsque il règne une surpression dans le système à vide, des composants peuvent être projetés et causer des blessures. Des gaz peuvent également s'échapper et avoir des effets nuisibles pour la santé. Utiliser des éléments de serrage convenables pour la surpression. BG 5153 BFR / D (2017-07) IKR 261 9 DANGER La jauge doit être connectée directement à la chambre à vide mise à la masse. Le raccordement doit répondre aux exigences d'une connexion de protection selon la norme EN 61010 : • Les raccords à vide CF satisfont à ces exigences. • Pour les brides KF il faudra utiliser un collier de serrage conducteur AVERTISSEMENT AVERTISSEMENT : amorçage électrique L'hélium peut provoquer des amorçages électriques à l'intérieur de l'électronique du produit et détruire l'électronique. Avant de réaliser un test d'étanchéité, mettre hors service le produit et démonter l'unité électronique. 3.1.1 Démontage de l'unité magnétique (uniquement pour les brides CF Outillage requis Procédure à suivre • Clé pour vis à six pans creux de 1.5 • Clé à fourche de 7 Retirer la vis sans tête (1) sur le côté de l'unité électronique (2) (→ Figure 1). Retirer l’unité électronique (2). Dévisser la vis hexagonale (3) de l'unité magnétique (4) puis retirer l'unité magnétique. Attention En raison de l'exposition à la force magnétique et de la tendance à se coincer, la séparation de l'unité magnétique et de la chambre de mesure (7) n'est pas facile. Raccorder la jauge au système à vide. Mettre en place l'unité magnétique puis la fixer à l'aide de la vis hexagonale (3). Mettre en place avec précaution l'unité électronique (2). Enfoncer à fond l'unité électronique puis la fixer à l'aide de la vis sans tête (1). 10 BG 5153 BFR / D (2017-07) IKR 261 2 3 4 2 7 1 3 4 1 7 Figure 1 3.2.1 Utilisation avec appareil de mesure Pfeiffer Vacuum Pour l'utilisation de la jauge avec un appareil de mesure et de commande Pfeiffer Vacuum pour jauges compactes, un câble de raccordement compatible est requis (→ 23). • 3.2.2 Utilisation avec d'autres appareils d'évaluation Procédure à suivre Fixer la prise du câble de raccordement sur la jauge avec la vis (couple de serrage ≤ 0.2 Nm). VACUUM Raccordement électrique Compact Cold Cathode Gauge 3.2 Avec les câbles de longueur inférieure ou égale à 10 m (avec une section de 2 conducteur de 0.34 mm ), le signal de mesure peut directement être mesuré, sans perte de précision, entre la sortie positive du signal (broche 2) et la masse alimentation (broche 5). Avec les câbles de longueur supérieure, il est recommandé de réaliser une mesure différentielle entre la sortie du signal et la masse signal (broche 3) (avec un câble de longueur maximal admissible, le signal de mode commun s'élève à ≈ 1.0 V suite à une chute de tension par le biais du conducteur de la masse alimentation). la prise de Préparer raccordement (numéro de référence → 23). BG 5153 BFR / D (2017-07) IKR 261 11 Souder le câble de raccordement dans la prise selon le schéma suivant. 10 10 5.1 k 2 V 3 – 1 4 + – 5 10k + 6 Figure 2: Affectation des contacts Broche 1 Identification Broche 2 Sortie du signal (mesure) Broche 3 Masse signal Broche 4 Alimentation Broche 5 Masse alimentation Broche 6 Blindage 3 2 4 5 1 6 Prise côté soudures AVERTISSEMENT La masse alimentation (broche 5) ainsi que le blindage (broche 6) du dispositif d'alimentation doivent impérativement être reliés à la terre. Un raccordement incorrect, une polarité incorrecte ou une tension d'alimentation non autorisée peuvent endommager la jauge. Assembler la prise de raccordement. Emboîter la prise. VACUUM 12 Compact Cold Cathode Gauge Fixer la prise sur la jauge à l'aide de la vis (couple de serrage ≤ 0.2 Nm). BG 5153 BFR / D (2017-07) IKR 261 4 Fonctionnement Après l'application de la tension d'alimentation, on dispose entre les broches 2 et 3 du signal de mesure qui est émis comme logarithme de la pression dans toute la gamme de mesure (rapport entre le signal de et la pression → Annexe B). La lampe verte du tube de mesure indique l’état de fonctionnement : Tension d’alimentation existante. Tension d’alimentation inexistante. Attention Ne mettez en circuit les tubes de mesure qu’avec une pression -2 <10 hPa pour éviter un encrassement excessif. Avec les appareils de mesure Pfeiffer Vacuum pour tubes de mesure compacts avec deux raccords de tubes de mesure au minimum, le tube de mesure à cathode froide peut par exemple être commandé par un tube de mesure Pirani. Dépendance du type de gaz La valeur de mesure dépend de la nature du gaz. Elle correspond à l'air sec, à l'oxygène (O2), au monoxyde de carbone (CO), et à l'azote (N2). Pour d'autres gaz, procéder à la conversion (→ Annexe C). Avec les instruments de mesure Pfeiffer Vacuum, cela peut être réalisé en saisissant le facteur de correction correspondant (→ de l'instrument de mesure correspondant). Délai d'amorçage À la mise en circuit de la jauge, le système de cathode froide s'active avec temporisation. Celle-ci augmente à des pressions plus basses et celle de jauges dégazées propres atteint les valeurs typiques suivantes à : -7 10 hPa ≈ 0.1 Minute -8 10 hPa ≈ 1 Minute 2×10-9 hPa ≈ 5 Minutes L'allumage constitue un processus statistique pouvant être fortement influencé dès la présence d'infimes dépôts sur les surfaces intérieures. Encrassement Les pannes du produit dues à des impuretés ou à l'usure, ainsi que les pièces d'usure (p. ex. garniture), sont exclues de la garantie. L'encrassement de la jauge dépend du type de gaz des procédés, le cas échéant des impuretés existantes ou de la formation de nouvelles impuretés et de leur pression partielle. Une exploitation constante dans la gamme comprise entre 10-4 hPa et 10-2 hPa peut provoquer un encrassement important et de courtes durées de vie et intervalles de maintenance. En présence de basses pressions constantes (p < 1×10-6 hPa), il est possible d'atteindre des durées de vie > 1 an jusqu'à ce qu'un nettoyage s'impose (nettoyage de la jauge → 17). Un encrassement de la jauge provoque en général des écarts des valeurs mesurées : • BG 5153 BFR / D (2017-07) IKR 261 -3 Dans la gamme de basse pression (p < 1×10 hPa), l'affichage de la pression est en général trop faible (encrassement du système de cathode froide). Un encrassement important provoque des instabilités (décollement de couches à l'intérieur de la chambre de mesure). En cas d'encrassement par les couches isolantes, cela peut même provoquer une extinction complète de la décharge gazeuse. 13 Le degré d'encrassement peut, dans une certaine mesure, être influencé : • Au moyen de mesures de protection géométriques (tôles de protection, raccords coudés) pour les particules à diffusion rectiligne. • En installant la bride de la jauge à un emplacement où la pression partielle de l'encrassement est minimale. En présence de vapeurs dégagées par le plasma (p. ex. du système de cathode froide), faire preuve d'une grande prudence. En cas de besoin, éteindre la jauge jusqu'à ce que les vapeurs aient disparu. 5 Maintenance Les pannes du produit dues à des impuretés ou à l'usure, ainsi que les pièces d'usure (p. ex. garniture), sont exclues de la garantie. DANGER DANGER : composants contaminés Les composants contaminés peuvent nuire à la santé et polluer l'environnement. Se renseigner avant le début de l'intervention sur une éventuelle contamination. Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes à la manipulation de composants contaminés. 5.1 Nettoyage des tubes de mesure / Montage des pièces de rechange Outillage requis / Matériel 14 DANGER DANGER : nettoyant Les nettoyants peuvent provoquer des dommages de santé et environnementaux. Observer les règles applicables et respecter les mesures de protection relatives à la manipulation et à l’élimination des nettoyants. Tenir compte des réactions possibles avec les matériaux du produit (→ 8). • Clé pour vis à six pans creux de 1.5 • Clé pour vis à six pans creux de 3.0 • Clé à fourche de 7 • Pince pour circlip • Chiffon de polissage (grain 400) ou Scotch-Brite • Pincette • Alcool industriel • Outil de montage pour dispositif d'allumage (→ 24) • Dispositif d'allumage (→ 24) • Garniture métallique (11) pour exécution anode (→ 24) BG 5153 BFR / D (2017-07) IKR 261 5.1.1 Démontage 2 3 4 7 1 Figure 3a 7 11 12 10a 10 9a 9 8a 8 6 5 Figure 3b Procédure version courte Démonter le tube de mesure (→ 22). Dévisser la vis sans tête (1) sur le côté de l'unité électronique (2) (→ Figure 3aa). Retirer l'unité électronique. Attention Le capot de l'unité électronique n'est pas amovible. Dévisser la vis hexagonale (3) de l’unité magnétique (4) puis également retirer l'unité magnétique (4). Attention En raison de l'exposition à la force magnétique et de la tendance à se coincer, la séparation de l'unité magnétique et de la chambre de mesure (7) n'est pas facile. Retirer le circlip (5) et l'embout polaire (6) de la chambre de mesure. Retirer 4 vis à six pans creux I (8) avec les rondelles de sécurité (8a) du dos de la chambre de mesure. BG 5153 BFR / D (2017-07) IKR 261 15 Retirer peu à peu et avec le soin nécessaire le membre de pression (9), la rondelle (9a) l’anode complète (10) et la garniture métallique (11) avec la bague de centrage (12). Vous pouvez maintenant nettoyer ou remplacer les pièces. Procédure version longue 2 3 4 1 7 Figure 4a 18 19 20 17 14 15 16 13 7 Figures 4b 7 11 12 10a 10 9a 9 8a 8 6 5 Figures 4c 16 BG 5153 BFR / D (2017-07) IKR 261 Démonter le tube de mesure (→ 22). Retirer la vis sans tête (1) sur le côté de l'unité électronique (2) (→ Figure 4a). Retirer l'unité électronique. Attention Le capot de l'unité électronique n'est pas amovible. Dévisser la vis hexagonale (3) de l’unité magnétique (4), puis également retirer l'unité magnétique. Attention En raison de l'exposition à la force magnétique et de la tendance à se coincer, la séparation de l'unité magnétique et de la chambre de mesure (7) n'est pas facile. Retirer le circlip (5) et l'embout polaire (6) de la chambre de mesure. Retirer 2 vis à six pans creux (20) avec les freins de vis (19) de la rallonge. Retirer l’un après l’autre et avec le soin nécessaire le membre de pression (18), l’isolateur (17) et la rallonge de l’anode (13). Retirer 2 vis à six pans creux (16) avec les freins de vis (15) et le tube Retirer 4 vis à six pans creux I (8) avec les rondelles de sécurité (8a) du dos de la chambre de mesure. Retirer l’un après l’autre et avec le soin nécessaire le membre de pression (9), la rondelle (9a), l’anode complète (10) et la garniture métallique (11) avec la bague de centrage (12). Vous pouvez maintenant nettoyer ou remplacer les pièces. 5.1.2 Nettoyage de la jauge Les dysfonctionnements des tubes de mesure dus à l’encrassement sont exclus de la garantie. Procédure à suivre Polir les parois intérieures de la chambre de mesure et l'embout polaire à l'aide d'un chiffon de polissage. Attention Polir les parois intérieures de la chambre de mesure et l'embout polaire à l'aide d'un chiffon de polissage. Rincer la chambre de mesure et l'embout polaire avec de l'alcool industriel. Sécher ces deux éléments. BG 5153 BFR / D (2017-07) IKR 261 17 Nettoyer ou remplacer l'anode: Démonter l'ancien dispositif d'allumage (10a) par exemple à l'aide d'une pincette (→ Figure 3a). Polir la broche de l'anode à l'aide du chiffon de polissage. Attention Ne pas plier l'anode. Ne pas traiter la céramique à l'aide d'un dispositif mécanique. Rincer l'anode avec de l'alcool industriel. Sécher l'anode. Insérer le nouveau dispositif d'allumage (10a) dans l'outil de montage. Anode avec précaution l'anode (nettoyée ou Enfoncer la nouvelle anode) en la centrant parallèlement Dispositif à l'axe de l'outil dans le dispositif d'allumage puis l'insérer de ≈ 15 mm. Le positionnement définitif doit uniquement être réalisé après le montage de l'anode. d'allumage Outil 5.1.3 Assemblage de la jauge Procédure version courte Insérer une nouvelle garniture métallique (11) avec la bague de centrage (12) dans la chambre de mesure. La surface d’étanchéité, la garniture et la céramique doivent être propres (→ Figure 3b). Insérer précautionneusement l’anode (10) avec le dispositif d’allumage (10a) dans la chambre de mesure. Placer la rondelle (9a) et le membre de pression (9) sur la chambre de mesure et serrer régulièrement jusqu’à la butée avec les 4 vis (8) avec les rondelles de sécurité (8a). Positionnement du dispositif d’allumage (10a): emboîter l’outil de montage pour le dispositif d’allumage sur la broche de l’anode et pousser jusqu’à la butée. Souffler les particules de la chambre de mesure avec de l’azote sèche (en tenant la chambre de mesure avec la bride vers le bas). Insérer l'embout polaire (6) jusqu'à la butée mécanique dans la chambre de mesure. Mettre en place le circlip (5) sur l'embout polaire. Attention Réaliser un contrôle visuel afin de s'assurer que la broche de l'anode soit centrée par rapport au trou de l'embout polaire (excentricité admissible ≤ 0 5 mm). 18 BG 5153 BFR / D (2017-07) IKR 261 Si possible, réaliser un test d'étanchéité (taux de fuite < 10 hPa l/s). –9 AVERTISSEMENT AVERTISSEMENT : amorçage électrique L'hélium peut provoquer des amorçages électriques à l'intérieur de l'électronique du produit et détruire l'électronique. Avant de réaliser un test d'étanchéité, mettre hors service le produit et démonter l'unité électronique. Mettre en place l'unité magnétique (4) puis la fixer à l'aide de la vis (3). Placer l'unité électronique (2) puis la fixer à l'aide de la vis sans tête (1). DANGER L'absence de raccordement à la terre lorsque la vis sans tête (1) n'est pas en place ou mal serrée provoque des tensions dangereuses en cas de contact et alors peut endommager les composants électroniques. Procédure version longue Insérer une nouvelle garniture métallique (11) avec la bague de centrage (12) dans la chambre de mesure. La surface d’étanchéité, la garniture et la céramique doivent être propres (→ Figure 4c). Insérer précautionneusement l’anode (10) avec le dispositif d’allumage (10a) dans la chambre de mesure. Placer la rondelle (9a) et le membre de pression (9) sur la chambre de mesure et serrer régulièrement jusqu’à la butée avec les 4 vis (8) avec les rondelles de sécurité (8a). Positionnement du dispositif d’allumage (10a): emboîter l’outil de montage pour le dispositif d’allumage sur la broche de l’anode et pousser jusqu’à la butée. Souffler les particules de la chambre de mesure avec de l’azote sèche (en tenant la chambre de mesure avec la bride vers le bas). Insérer l'embout polaire (6) jusqu'à la butée mécanique dans la chambre de mesure. Mettre en place le circlip (5) sur l'embout polaire. Attention Réaliser un contrôle visuel afin de s'assurer que la broche de l'anode soit centrée par rapport au trou de l'embout polaire (excentricité admissible ≤ 0.5 mm). BG 5153 BFR / D (2017-07) IKR 261 19 Si possible, réaliser un test d'étanchéité (taux de fuite < 10 hPa l/s). –9 AVERTISSEMENT AVERTISSEMENT : amorçage électrique L'hélium peut provoquer des amorçages électriques à l'intérieur de l'électronique du produit et détruire l'électronique. Avant de réaliser un test d'étanchéité, mettre hors service le produit et démonter l'unité électronique. Poser la chambre de mesure complète sur une table avec la bride vers le bas et emboîter avec précaution le rallonge (13) sur la broche de l‘anode (→ Figure 5). Emboutir avec précaution le tube (14) et visser avec les 2 vis (16) et les freins à vis (15). Enrouler l’isolateur (17) de la manière illustrée sur la rallonge (13) et visser le membre de pression (18) avec 2 vis (20) et les freins de vis (19). Attention L’intérieur du tube et l’isolateur doivent être entièrement propre et sans peluches. Placer l'unité magnétique (4) (et la bloquer avec la vis à six pans creux (3). Placer l'unité électronique (2) puis la fixer à l'aide de la vis sans tête (1). DANGER L'absence de raccordement à la terre lorsque la vis sans tête (1) n'est pas en place ou mal serrée provoque des tensions dangereuses en cas de contact et alors peut endommager les composants électroniques. 20 BG 5153 BFR / D (2017-07) IKR 261 20 19 18 17 14 16 15 13 7 Figure 5 5.1.4 Ajustage des tubes de mesure Les tubes de mesure sont ajustés à l’usine et sont sans entretien. En cas de défaut, les remplacer entièrement (→ 24). 5.2 Comportement en présence d'un défaut Défaut Signal de mesure constamment < 0.5 V et lampe verte non allumée Signal de mesure constamment < 0.5 V et Cause possible Pas d’alimentation. Solution Mettre en circuit l'alimentation. Alimentation trop faible. Augmenter la tension d’alimentation (→ 6). Unité électronique défectueuse. Pression dans chambre de Signal de mesure -9 constamment dans la zone vide <2×10 hPa. Remplacer l’unité électronique (→ 6). – 0.5 … 1.8 V (underrange). Décharge de gaz non allumée. Signal de mesure instable. Jauge encrassée. Attendre l’allumage de la décharge de gaz (≈5 minutes pour une pression de 10-9 hPa). Nettoyer la jauge (→ 17). lampe verte allumée. BG 5153 BFR / D (2017-07) IKR 261 21 6 Démontage DANGER DANGER : composants contaminés Les composants contaminés peuvent nuire à la santé et polluer l'environnement. Se renseigner avant le début de l'intervention sur une éventuelle contamination. Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes à la manipulation de composants contaminés. Attention Attention : composant à vide Tout encrassement ou dommage porte atteinte au fonctionnement du composant à vide. En utilisant des composants à vide, prendre les mesures appropriées pour assurer la propreté et la prévention des dommages éventuels. Procédure à suivre Mettre la jauge hors circuit. VACUUM Compact Cold Cathode Gauge le câble de Détacher raccordement. la jauge du système à Démonter vide. le raccord à vide à Recouvrir l'aide du protecteur. 22 BG 5153 BFR / D (2017-07) IKR 261 7 Retour du produit AVERTISSEMENT AVERTISSEMENT : transport de produits contaminés Les produits qui nous sont envoyés seront dans la mesure du possible exempts de substances nocives (radioactives, toxiques, caustiques ou microbiologiques). Observer les prescriptions de transport des pays et entreprises de transport concernés. Inclure une déclaration de contamination remplie. *) Formulaire disponible sur www.pfeiffer-vacuum.com En absence de confirmation univoque que le produit est « exempt de substances nocives », le produit est décontaminé aux frais du client. Sans déclaration de contamination remplie, les produits envoyés seront retournés avec les frais à charge. 8 Accessoires Numéro de référence Câble de raccordement pour utilisation avec appareil de mesure Pfeiffer Vacuum pour jauges compactes 3m 6m 10 m Prise de raccordement, Hirschmann GO 6 WF, à 6 pôles, coudée, douilles Blindage magnétique BG 5153 BFR / D (2017-07) IKR 261 PT 448 250 -T PT 448 251 -T PT 448 252 -T B 4707 283 MA PT 443 155 -X 23 9 Pièces de rechange Les commandes de pièces de rechange doivent toujours comprendre : • indication du type de produit • numéro de fabrication figurant sur la plaque signalétique • repère, description et numéro de référence selon la liste des pièces de rechange Les pièces suivantes peuvent être commandées sous forme de kits de pièces de rechange : Rep ère 2 3 4 7 Numéro de référence 10a 11 12 9a Kit de maintenance comprenant : 3× Dispositif d'allumage 1× Joint HNV 100 (9×1,6) 1× Anneau de centrage 1× Rondelle BN 846 241 -T 10 10a 11 12 9a Kit de réparation comprenant : 1× Anode complète 3× Dispositif d'allumage 1× Joint HNV 100 (9×1,6) 1× Anneau de centrage 1× Rondelle BN 846 240 -T 10a Kit de dispositifs d'allumage comprenant : 10× Dispositif d'allumage BN 845 995 -T Outil de montage pour dispositif d'allumage BG 510 600 Unité électronique IKR 261 PT 120 160 -T Système de mesure complet Bride DN 40 ISO-KF Bride DN 40 ISO-KF Bride DN 40 CF-F BN 846 465 -T BN 846 466 -T BN 846 467 -T Jauge de rechange (renvoyer la jauge défectueuse) Bride DN 40 ISO-KF, Version courte Bride DN 40 CF-F, Version courte Bride DN 40 CF-F, Version longue PT R25 750 -A PT R25 751 -A PT R25 761 -A 1 7 5 Description 11 12 6 10a 10 9a 9 8a 8 2 10 Recyclage AVERTISSEMENT AVERTISSEMENT : substances polluantes Certains produits ou leurs éléments (composants mécaniques ou électriques, fluides etc.) peuvent polluer l'environnement. Prendre contact avec le point de service après-vente Pfeiffer Vacuum le plus près pour une élimination conforme. 24 BG 5153 BFR / D (2017-07) IKR 261 Annexe A: Table de conversion des unités de pression mbar bar Pa hPa kPa Torr mm HG mbar bar Pa hPa kPa 1 1×103 0.01 1 10 1×10-3 1 1×10-5 1×10-3 0.01 100 1×105 1 100 1×103 1 1×103 0.01 1 10 0.1 100 1×10-3 0.1 1 Torr mm HG 0.75 750 7.5×10-3 0.75 7.5 1.332 1.332×10 133.32 1.3332 0.1332 1 -3 1 Pa = 1 N/m2 B: Rapport signal de mesure – pression Formules de conversion p = 10U-c Noter Courbe de conversion U = c + log10 p ⇔ p U c [hPa] [V] 10,5 [µbar] [V] 7,5 [Torr] [V] 10,625 [mTorr] [V] [micron] [V] 7,625 7,625 [Pa] [V] 8,5 [kPa] [V] 11,5 p pression U signal de mesure c, d constante (en fonction de l'unité de pression) valable pour -9 -2 2×10 hPa < p < 1×10 hPa -9 -3 1,5×10 Torr < p < 7,5×10 Torr -7 2×10 Pa < p < 1 Pa Pression p 1E+00 Pa 1E–01 1E–03 Torr 1E–05 1E–06 overrange 1E–04 underrange hPa sensor error 1E–02 1E–07 1E–08 1E–09 1E–10 0.0 0.5 1.0 1.5 2.0 2.5 3.0 3.5 4.0 4.5 5.0 5.5 6.0 6.5 7.0 7.5 8.0 8.5 9.0 9.5 10.0 10.5 Signal de mesure U [V] BG 5153 BFR / D (2017-07) IKR 261 25 Tableau de conversion Signal de mesure U [V] < 0.5 0.5 … 1.8 1.8 2.5 3.5 4.5 5.5 6.5 7.5 8.5 8.5 ... 10.5 C: Dépendance du type de gaz Pression p [Torr] [hPa] [Pa] Erreur du capteur (sensor error) Sous-dépassement de la gamme de mesure (underrange) -9 1.5×10-9 2.0×10-7 2.0×10 -8 -9 -6 1.0×10 7.5×10 1.0×10 -7 -8 -5 1.0×10 7.5×10 1.0×10 -6 -7 1.0×10 7.5×10 1.0×10-4 -5 -6 -3 1.0×10 7.5×10 1.0×10 -4 -5 -2 1.0×10 7.5×10 1.0×10 -3 -4 1.0×10 7.5×10 0.1 1.0×10-2 7.5×10-3 1.0 Dépassement de la gamme de mesure (overrange) Pression affichée (jauge ajustée pour l'air sec)) p (hPa) 4 Xe Kr 2 Ar Air O2 CO N2 H2 10-3 8 6 4 2 10-4 8 6 4 2 10-5 8 6 4 2 10 -6 8 6 4 2 10-7 10-7 2 4 6 10-6 2 4 6 10-5 2 4 6 10-4 2 4 6 10-3 2 4 6 10-2 peff (hPa) 26 BG 5153 BFR / D (2017-07) IKR 261 Gamme d'indication < 10-5 hPa Dans la gamme au-dessous de 10-5 hPa l'indication est linéaire. Pour d'autres gaz que l'air, la pression peut être déterminée par une simple conversion: peff = K × pression affichée où Type de gaz C Air (N2, O2, CO) Xe Kr Ar H2 Ne He 1,0 0,4 0,5 0,8 2,4 4,1 5,9 Les facteurs de conversion indiqués sont des valeurs moyennes. Attention On rencontre souvent des mélanges de gaz et de vapeurs. Un enregistrement précis est alors uniquement possible à l'aide d'instruments de mesure à pression partielle, p. ex. avec un spectromètre de masse quadripolaire. Certification ETL RECOGNIZED COMPONENT ETL LISTED The product IKR 261 • conforms to the UL Standard UL 61010-1 • is certified to the CAN/CSA Standard C22.2 No. 61010-1 3103457 BG 5153 BFR / D (2017-07) IKR 261 27 UN SEUL FOURNISSEUR DE SOLUTIONS DE VIDE Dans le monde entier, Pfeiffer Vacuum est reconnu pour ses solutions de vide innovantes et adaptées, son approche technologique, ses conseils et la fiabilité de son service. UNE LARGE GAMME DE PRODUITS Du composant au système complexe, nous sommes votre seul fournisseur de solutions de vide offrant une gamme complète de produits. UN SAVOIR FAIRE THEORIQUE ET PRATIQUE Profitez de notre savoir-faire et de nos offres de formation ! Nous vous assistons pour concevoir vos installations, grâce à un service de proximité de première qualité dans le monde entier. Êtes-vous à la recherche d'une solution de vide dédiée à vos besoins ? Contactez-nous : Pfeiffer Vacuum GmbH Headquarters ● Germany T +49 6441 802-0 info@pfeiffer-vacuum.de Pfeiffer Vacuum SAS ; France T +33 (0) 4 50 65 77 77 info@pfeiffer-vacuum.fr www.pfeiffer-vacuum.com bg5153bf r / d ">
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