Pfeiffer A 100 L Dry Pump Mode d'emploi

MANUEL DE L'UTILISATEUR
FR
Original
A 100 L - A 100 L ES
Pompe Roots multi-étagée compacte, pour applications propres
Exclusion de responsabilité
Ce manuel d'instructions décrit tous les modèles et variantes de votre produit. Noter que
votre produit peut ne pas être équipé de toutes les fonctionnalités décrites dans ce manuel.
Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le
manuel d'utilisation en ligne peut différer du document imprimé, fourni avec votre produit.
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d'une utilisation contraire à l'usage prévu, ou d'une utilisation définie comme mauvaise
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contenues dans ce document.
2/64
Table des matières
Table des matières
1
A propos de ce manuel
1.1 Validité
1.1.1 Documents applicables
1.1.2 Produits concernés
1.2 Groupe cible
1.3 Conventions
1.3.1 Instructions dans le texte
1.3.2 Pictogrammes
1.3.3 Etiquettes
1.3.4 Abréviations
7
7
7
7
7
7
7
8
8
9
2
Sécurité
2.1 Consignes générales de sécurité
2.1.1 Consignes de sécurité
2.1.2 Précautions
2.2 Usage conforme à la destination
2.3 Utilisation non conforme prévisible
10
10
10
12
13
13
3
Transport et stockage
3.1 Réception du produit
3.2 Manutention
3.3 Stockage
14
14
14
15
4
Description du produit
4.1 Identification du produit
4.1.1 Contenu de la livraison
4.1.2 Fonction
4.2 Interface homme/machine
17
17
17
17
17
5
Installation
5.1 Mise en place
5.1.1 Empilage des pompes
5.1.2 Installation dans un environnement sismique
5.1.3 Raccordement du circuit d'eau
5.1.4 Raccordement du circuit d'azote
5.1.5 Raccordement à la ligne de pompage
5.2 Test d'étanchéité de l'installation
5.3 Télécommande via le connecteur 16 broches
5.4 Télécommande via le connecteur 19 broches
5.5 Raccordement électrique
5.5.1 Protection de l'installation électrique du client
5.5.2 Raccordement secteur
18
18
18
19
20
21
22
22
23
24
25
26
26
6
Utilisation
6.1 Précautions préalables à l'utilisation
6.2 Différents modes de commande
6.3 Spécificités liées au fonctionnement du modèle A 100 L ES
6.4 Utilisation en mode local
6.5 Utilisation en mode télécommande
6.6 Surveillance de fonctionnement
28
28
28
29
29
30
30
7
Maintenance
7.1 Consignes de sécurité pour la maintenance
7.2 Intervalles de maintenance
7.3 Entretien sur site
7.4 Procédure d'échange par un produit de remplacement
7.4.1 Déconnexion de la pompe de l'installation
32
32
33
33
33
34
3/64
Table des matières
7.4.2 Vidange du circuit d'eau
7.4.3 Conditionnement de la pompe pour expédition
4/64
34
35
8
Mise hors service
8.1 Immobilisation prolongée
8.2 Remise en service
8.3 Mise au rebut
36
36
36
36
9
Dysfonctionnements
9.1 Signalement des mauvais fonctionnements et défauts
9.2 La pompe ne démarre pas
9.3 La pompe fonctionne, un voyant est allumé
9.4 La pompe s'arrête de fonctionner
37
37
37
37
38
10
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
39
11
Accessoires
41
12
Caractéristiques techniques et dimensions
12.1 Généralités
12.2 Caractéristiques techniques
12.2.1Conditions environnementales
12.2.2Caractéristiques de l'eau de refroidissement
12.2.3Caractéristiques de l'azote
12.2.4Caractéristiques de l'air sec comprimé (CDA)
12.2.5Caractéristiques électriques
12.3 Dimensions
42
42
42
43
44
44
44
45
45
13
Annexes
13.1 Installation de la liaison série RS-232/RS-485
13.2 Connexions
13.3 Paramétrage du protocole de communication RS-232
13.4 Liste des commandes du protocole de communication RS-232
13.5 Paramétrage du protocole de communication RS-485
13.6 Liste des commandes du protocole de communication RS-485
50
50
50
52
53
55
56
Marquage ETL
59
Certificat SEMI
60
Déclaration de Conformité UK
61
Déclaration d'incorporation de quasi-machines
62
Liste des tableaux
Liste des tableaux
Tab. 1:
Tab. 2:
Tab. 3:
Tab. 4:
Tab. 5:
Tab. 6:
Tab. 7:
Tab. 8:
Tab. 9:
Tab. 10:
Tab. 11:
Tableau de conversion : unités de pression
Tableau de conversion : unités de débit de gaz
Conditions environnementales
Caractéristiques de l'eau de refroidissement
Caractéristiques de l'azote
Caractéristiques de l'air sec comprimé (CDA)
Protection électrique réseau
Calibre disjoncteur réseau et section des câbles
Répartition des charges par pied : cas d'une seule pompe
Répartition des charges par pied : 2 pompes empilées
Répartition des charges sur les équerres parasismiques
43
43
43
44
44
44
45
45
46
47
49
5/64
Liste des figures
Liste des figures
Fig. 1:
Fig. 2:
Fig. 3:
Fig. 4:
Fig. 5:
Fig. 6:
Fig. 7:
Fig. 8:
Fig. 9:
Fig. 10:
Fig. 11:
6/64
Localisation des étiquettes de sécurité
Mise en place de la sangle de levage
Mise en place de la poignée amovible
Interface homme/machine
Position de fonctionnement
Empilage de deux pompes
Câblage connecteur télécommande 16 broches
Câblage connecteur télécommande 19 broches
Câblage connecteur électrique
Dimensions de la pompe
Dimensions de la pompe équipée d'équerres parasismiques
9
14
15
17
18
19
23
24
26
45
48
A propos de ce manuel
1 A propos de ce manuel
IMPORTANT
Bien lire avant d'utiliser le produit.
Conserver ce manuel pour une future utilisation.
1.1
Validité
Ce manuel de l'utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le produit et ses
fonctions et présente les informations importantes à connaître pour une utilisation sécurisée de l'appareil. La description est effectuée selon les directives en vigueur. Toutes les informations fournies dans
ce manuel de l'utilisateur correspondent au niveau de développement actuel du produit. La documentation est valide dans la mesure où le client n'a pas apporté de modifications au produit.
1.1.1
1.1.2
Documents applicables
Document
Référence
Manuel de l'utilisateur de la liaison série
fournie avec ce manuel
Conformité UL/CSA (Marque ETL)
fournie avec ce manuel
Certificat de conformité SEMI
fournie avec ce manuel
Déclaration d'incorporation de quasi-machines
fournie avec ce manuel
Déclaration de Conformité UK
fournie avec ce manuel
Produits concernés
Ce document s'applique aux produits ayant les références suivantes :
1.2
Référence
Description
A100L3XXXX et
A100L4XXXX
Modèle pour pompage de sas ou chambre de transfert
A100L5XXXX
Modèle pour pompage de sas ou chambre de transfert (modèle A 100 L
ES)
Groupe cible
Ce manuel de l‘utilisateur est destiné à toutes les personnes en charge du transport, de l'installation, de
la mise en service/hors service, de l'utilisation, de la maintenance ou du stockage du produit.
Les travaux décrits dans ce document doivent être effectués uniquement par des personnes ayant une
formation technique appropriée (personnel spécialisé) ou ayant reçu une formation de Pfeiffer Vacuum.
1.3
Conventions
1.3.1
Instructions dans le texte
Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à
réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes.
Action unique
Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape.
► Il s'agit d’une étape unique.
Action en plusieurs étapes
Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique.
1. Étape 1
2. Étape 2
3. ...
7/64
A propos de ce manuel
1.3.2
Pictogrammes
Les pictogrammes utilisés dans le document représentent des informations utiles.
Remarque
Conseil
1.3.3
Etiquettes
ON/OFF
Marche/Arrêt
INLET
Aspiration de la pompe
PUMP EXHAUST
Refoulement de la pompe
MAIN POWER
Alimentation secteur
SPI
Raccordement télécommande (SPI Smart Pump Interface)
WATER IN
Raccordement du circuit d'eau : entrée
PRESSURE MAX 101 PSI
(7 bars)
Pression maximum du circuit d'eau
WATER OUT
Raccordement du circuit d'eau : sortie
Loc/Rem
Interrupteur du mode de commande (local ou télécommande)
N2 IN
Raccordement du circuit d'azote ou d'air sec comprimé (A 100 L ES)
Raccordement de la terre de protection
1
Cette étiquette informe l’utilisateur des risques d’écrasement ou de coupure
liés aux pièces en mouvement : éviter de s’approcher et/ou de mettre les
mains à proximité des pièces en mouvement.
2
Cette étiquette indique que certains des composants internes sont sous
tension et peuvent entraîner un choc électrique en cas de contact : débrancher la pompe avant toute intervention ou verrouiller/déverrouiller correctement le disjoncteur de l’équipement avant intervention sur la pompe.
3
Cette étiquette met l'utilisateur en garde contre le risque de blessure en cas
de contact de la main avec une surface chaude : s'équiper de gants de protection avant toute intervention.
4
Cette étiquette indique que le produit ne doit pas être manipulé à la main du
fait de son poids : toujours utiliser des appareils de manutention appropriés.
5
SEISMIC TIE DOWN
Cette étiquette localise les trous de fixation des équerres parasismiques.
A 329 962 - 5
6
PUMP RUNNING
TEMP WARNING
PUMP ALARM
TURN OFF POWER SWITCH
TO RESET ALARM/HAZARD
8/64
Cette étiquette indique l'état de fonctionnement de la pompe via les voyants .
A propos de ce manuel
7
Cette étiquette indique que l'alimentation électrique doit être coupée avant
de connecter et/ou déconnecter la pompe.
The main power supply must be
switched off before connecting
and/or disconnecting the pump.
8
9
Cette étiquette indique que le produit a été certifié en conformité avec le
contrôle de qualité à la sortie de l'usine.
THREE PHASES
FOUR WIRES
200-230 V Δ
Full-Load current
12 Amp.
Cette étiquette indique le courant à pleine charge en sortie de moteur en
fonction de la tension secteur (valeur à titre d'exemple).
50/60 Hz
10
Plaque signalétique du produit (exemple)
98 avenue de Brogny F-74000 ANNECY
200-230V
100 kg
A100L31424
XYZXYSYSS
50/60 Hz
4 - 2016
A100L
A100L31424
7
1
2
6
3
4
3
5
5
5
Fig. 1:
1
2
3
4
1.3.4
Localisation des étiquettes de sécurité
Présence de pièces en mouvement
Risque de choc électrique
Surface chaude
Objet lourd
5
6
7
Point d'ancrage des équerres parasismiques
Etat de fonctionnement de la pompe
Sécurité électrique
Abréviations
CDA
Exh.
IN
Air sec comprimé (Compressed Dry Air)
Refoulement (Exhaust)
Aspiration (Inlet flange)
9/64
Sécurité
2 Sécurité
2.1
Consignes générales de sécurité
Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit :
DANGER
Danger direct et imminent
Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVERTISSEMENT
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
ATTENTION
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVIS
Obligation ou signalement
Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure
physique.
► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels
Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le
produit ou le présent document.
2.1.1
Consignes de sécurité
Toutes les consignes de sécurité contenues dans ce document sont basées sur les résultats de l’analyse de risque effectuée conformément à la Directive 2006/42/CE Annexe I relative aux machines et à la
norme EN ISO 12100 Section 5. Dans la mesure du possible, toutes les phases du cycle de vie du produit ont été prises en compte.
AVERTISSEMENT
Risque d’écrasement lors de l’élingage du produit
Compte tenu du poids du produit, il existe un risque d’écrasement lors de la manutention du produit
avec des appareils de levage. Le constructeur dégage toute responsabilité en cas de non-respect
des consignes suivantes :
► Seul un personnel habilité et formé aux règles de manutention des objets lourds peut manutentionner le produit.
► Utiliser obligatoirement les dispositifs de levage fournis et respecter les procédures décrites
dans ce document.
DANGER
Risque d'écrasement par la rupture des éléments de levage
Les équerres ne sont pas dimensionnées pour soulever deux pompes empilées, elles pourraient céder ou être arrrachées par le poids des deux pompes.
► Ne jamais soulever deux pompes empilées par les équerres de levage.
10/64
Sécurité
AVERTISSEMENT
Risque d'électrocution lié à une installation électrique non conforme
Le produit utilise la tension secteur comme alimentation électrique. Une installation électrique non
conforme ou réalisée de manière non professionnelle peut mettre en danger la vie des utilisateurs.
► Seul un personnel qualifié et formé aux règles de sécurité électrique, CEM peut réaliser l'installation électrique.
► Ne procéder à aucune transformation ou modification arbitraire du produit.
► Vérifier que le produit est correctement relié au circuit d'arrêt d'urgence de l'équipement (ou installation de pompage).
AVERTISSEMENT
Risque d'électrocution par contact lors de l'entretien ou la maintenance
Il y a un risque de choc électrique par contact avec un produit sous tension et non isolé électriquement.
► Avant toute intervention, placer l’interrupteur principal sur O.
► Débrancher le câble secteur du réseau électrique.
► Sécuriser correctement l’installation en repérant et condamnant le circuit de puissance pour éviter tout ré-enclenchement non intentionnel (LO/TO procédure de consignation/déconsignation).
AVERTISSEMENT
Risque de blessure au contact de l'eau sous pression
Le produit utilise de l’eau sous pression comme fluide de refroidissement. Une installation non conforme ou réalisée de manière non professionnelle peut mettre en danger la vie de l’utilisateur.
► Installer une vanne manuelle dans le circuit à une distance de 3 m du produit pour verrouiller
l’alimentation en eau.
► Respecter la pression et différence de pressions recommandées.
► Toujours verrouiller et débrancher le circuit d’eau avant d’intervenir sur le produit.
► Lors de la maintenance, sécuriser correctement l’installation en repérant et condamnant le circuit
d’eau sous pression pour éviter tout réenclenchement non intentionnel (LO/TO procédure de
consignation/déconsignation).
► Contrôler régulièrement l’état des canalisations et connexions du circuit d’alimentation.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure au contact de l’azote sous pression
Le produit utilise de l’azote sous pression comme gaz de balayage. Une installation non conforme ou
réalisée de manière non professionnelle peut mettre en danger la vie de l’utilisateur.
► Installer une vanne manuelle dans le circuit à une distance de 3 m du produit pour verrouiller
l’alimentation en azote.
► Respecter la pression d’alimentation recommandée.
► Toujours verrouiller et débrancher le circuit d’azote avant d’intervenir sur le produit.
► Lors de la maintenance, sécuriser correctement l’installation en repérant et condamnant le circuit
d’azote sous pression pour éviter tout réenclenchement non intentionnel (LO/TO procédure de
consignation/déconsignation).
► Contrôler régulièrement l’état des canalisations et connexions du circuit d’alimentation.
11/64
Sécurité
AVERTISSEMENT
Risque d'empoisonnement en présence de gaz de procédés dans l'atmosphère
Le constructeur n’a pas la possibilité de contrôler le type de gaz utilisé avec la pompe. Les gaz de
procédés sont fréquemment toxiques, inflammables, corrosifs, explosifs ou réactifs. Il existe un risque d’accident grave voire mortel lorsque ces gaz s’échappent librement dans l’atmosphère.
► Appliquer les consignes de sécurité spécifiques, conformément à la législation locale. Ces informations sont disponibles auprès du service sécurité de l’exploitant.
► Raccorder impérativement le refoulement de la pompe au système d'échappement des gaz
dangereux de l'installation.
► Vérifier régulièrement l’absence de fuites au niveau du raccordement de la pompe avec la canalisation d’échappement.
AVERTISSEMENT
Risque de brûlure par contact avec des surfaces chaudes
La température des pièces reste élevée même après l’arrêt de la pompe. Il y a risque de brûlure par
contact avec les surfaces chaudes, en particulier au niveau du refoulement de la pompe.
► Attendre le refroidissement complet avant d’intervenir sur le produit.
► Porter des gants de protection conformément à la norme EN ISO 21420.
AVERTISSEMENT
Risque d'écrasement et/ou de coupure au contact de pièces en mouvement
La bride d’aspiration est suffisamment grande pour permettre l’introduction d'une partie du corps (un
doigt, une main) : il y a risque d’écrasement par contact avec les pièces en mouvement. Les orifices
d'aspiration et de refoulement sont toujours fermés à l’aide d’obturateurs.
► Attendre le raccordement à la ligne de pompage pour retirer les obturateurs.
► Attendre que la pompe soit raccordée pour mettre sous tension.
2.1.2
Précautions
Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels
Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit.
Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du
produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document.
Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit
La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit
d'origine ou installe un équipement supplémentaire
● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le
cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives
européennes applicables avant de mettre en service ce système.
Seul un personnel qualifié et formé aux règles de sécurité (CEM, sécurité électrique, pollution chimique)
peut procéder à l’installation et à la maintenance décrites dans ce manuel. Nos centres de service peuvent dispenser les formations nécessaires.
Les risques potentiels sur un système de pompage sec destiné au pompage de sas concernent l'électricité, les surfaces chaudes, les circuits d'azote et d'eau sous pression.
► Ne pas exposer une partie du corps humain au vide.
► Respecter toutes les prescriptions en matière de sécurité et de prévention des risques conformément aux normes de sécurités locales.
► Vérifier régulièrement que toutes les mesures de précautions sont respectées.
► Ne pas retirer les obturateurs des orifices d’aspiration et de refoulement tant que le produit n’est
pas raccordé à la ligne de pompage.
► Ne pas mettre sous tension un produit dont l’aspiration et le refoulement ne sont pas raccordés à
la ligne de pompage.
12/64
Sécurité
► Ne pas metttre sous tension le produit en l'absence des capots.
► Ne jamais déplacer le produit lorsqu'il est en fonctionnement.
2.2
Usage conforme à la destination
● La pompe à vide est utilisée uniquement pour générer du vide en pompant des gaz.
● La pompe à vide peut fonctionner dans un environnement industriel.
● La pompe doit fonctionner sur des applications propres, non corrosives essentiellement pour le
pompage de sas, ou le prévidage de pompe turbomoléculaire.
2.3
Utilisation non conforme prévisible
Toute utilisation non conforme du produit entraîne l'annulation de la garantie et des droits de réclamations. Toute utilisation, même involontaire, qui diffère de celles précitées est considérée comme non
conforme, en particulier :
●
●
●
●
●
●
●
●
●
Le pompage de liquides
Le pompage de poussières
Le pompage de gaz hors argon, hélium, azote et air
Le pompage de fluides corrosifs ou explosifs
Le pompage de fluides réactifs
Le pompage de vapeurs condensables
L’utilisation de la pompe à vide pour générer de la pression
L’utilisation dans des zones à risque d'explosion
L'utilisation d'accessoires ou pièces de rechange qui ne sont pas mentionnés dans ce manuel
Le produit n’est pas conçu pour le transport de personnes, de charges, et ne fait pas office de siège,
d’escabeau ou de tout autre utilisation similaire.
13/64
Transport et stockage
3 Transport et stockage
3.1
Réception du produit
Etat de la livraison
● S'assurer que le produit n'a subi aucun dommage pendant le transport.
● Si le produit est endommagé, aviser le transporteur et informer le constructeur.
► Maintenir le produit dans son emballage d’origine pour préserver la propreté que nous lui avons
apportée : le déballer uniquement sur son lieu d’utilisation finale.
► Conserver les obturateurs présents sur les orifices d’aspiration, de refoulement et de purge jusqu'à ce que le produit soit raccordé à la ligne de pompage.
Conserver l’emballage (matériau recyclable) dans le cas où le produit doit être transporté
ou stocké.
3.2
Manutention
AVERTISSEMENT
Risque d’écrasement lors de l’élingage du produit
Compte tenu du poids du produit, il existe un risque d’écrasement lors de la manutention du produit
avec des appareils de levage. Le constructeur dégage toute responsabilité en cas de non-respect
des consignes suivantes :
► Seul un personnel habilité et formé aux règles de manutention des objets lourds peut manutentionner le produit.
► Utiliser obligatoirement les dispositifs de levage fournis et respecter les procédures décrites
dans ce document.
AVERTISSEMENT
Risque d’écrasement lié au basculement du produit
Bien que la conformité aux règles de sécurité de l'UE soit assurée, il y a risque de basculement lors
des déplacements au sol ou lorsque le produit n’est pas correctement fixé.
► Ne pas positionner le produit sur un plan incliné : du fait de son poids, il entraîne l’opérateur.
► Utiliser les roulettes uniquement pour le déplacer sur de courtes distances.
► Le positionner sur un sol plat et dur.
► Ne pas le pousser latéralement.
► Pour l’utiliser, positionner le produit sur ses pieds pour qu'il ne repose plus sur les roulettes.
1
2c
3
2b
3
2
2a
Fig. 2:
Mise en place de la sangle de levage
1 Sangle
2 Equerre (Qté 3)
14/64
3
Mousqueton (Qté 3)
Transport et stockage
Manutention avec un palan
Pour manutentionner la pompe, il est nécessaire de choisir un appareil de levage adapté à la masse du produit. La masse et la position du centre de gravité varient selon le modèle .
1. Sortir la pompe de son emballage
2. Utiliser une sangle à 3 brins ayant les caractéristiques suivantes :
– longueur de chaque brin : 1 m
– charge par brin :
– équerre (2a) : 261 N
– équerre (2b) : 236 N
– équerre (2c) : 570 N
3. Utiliser les mousquetons fixés aux équerres de levage.
4. Vérifier la position des mousquetons dans les équerres.
5. Hisser la pompe avec une sangle à 3 brins.
6. Remonter les pieds du châssis et poser la pompe sur les roulettes pour la déplacer sur de courtes
distances.
1
2
3
1
Fig. 3:
Mise en place de la poignée amovible
1 Poignée
2 Verrou
3
Support poignée
Déplacement de la pompe avec la poignée
La pompe est équipée d'une poignée amovible rangée sous le produit.
1. Vérifier que les pieds d'immobilisation ne sont pas en contact avec le sol avant de déplacer
la pompe.
2. Tirer la poignée le long du rail pour la retirer.
3. Déverrouiller le verrou.
4. Installer la poignée dans son support.
5. Vérifier que la poignée est correctement verrouillée avant de déplacer la pompe.
6. Ranger la poignée sous le produit lorsque la pompe est en place.
3.3
Stockage
AVIS
Détérioration des pièces internes en présence d’humidité
Il y a risque de corrosion des pièces internes par entrée d’humidité dans la pompe. Celle-ci est livrée
pressurisée à l’azote et fermée de façon étanche à l’aide d’obturateurs.
► Laisser impérativement en place les obturateurs à l’aspiration et au refoulement tant que la pompe n’est pas installée.
► Ne retirer ces obturateurs qu’au moment où la pompe est raccordée à la ligne de pompage.
Pfeiffer Vacuum recommande de stocker les produits dans leur emballage de transport
d'origine.
15/64
Transport et stockage
Stockage d'une pompe neuve
► Laisser en place l'enveloppe de protection.
► Laisser obligatoirement en place les obturateurs à l'aspiration et refoulement car la pompe est
pressurisée sous azote.
► Stocker la pompe pour une durée maximale de 1 an, selon les températures de stockage autorisées (voir chapitre « Caractéristiques environnementales »).
Si les obturateurs d’aspiration et de refoulement ont été retirés, il y a risque de corrosion des pièces
internes. Dans ce cas :
1. Pressuriser la pompe avec de l’azote, selon la procédure suivante.
2. Stocker la pompe pour une durée maximale de 1 an, dans un environnement propre et sec, à
température ambiante (voir chapitre « Caractéristiques environnementales »).
Au-delà de 1 an de stockage d’une pompe neuve, contacter notre centre de service avant
de démarrer la pompe.
Pressurisation en azote
Pour pressuriser la pompe, il est nécessaire de disposer d’une alimentation en azote ayant les caractéristiques requises (voir chapitre « Caractéristiques de l'azote ») et des obturateurs livrés avec le produit
ou disponibles en accessoires.
1. Obturer l’aspiration avec les accessoires étanches à l'air.
2. Raccorder l’azote sur le raccord gaz prévu à cet effet sur l’obturateur d’aspiration.
3. Pressuriser la pompe en azote à une pression relative de 200 hPa.
4. Lorsque l’azote s’échappe par le refoulement, fermer de manière étanche le refoulement au
moyen des accessoires fournis.
5. Déconnecter l'alimentation d'azote du raccord.
Ne jamais stocker une pompe qui a été utilisée ! La retourner au centre de service (voir chapitre « Solutions de service de Pfeiffer Vacuum », page 39).
16/64
Description du produit
4 Description du produit
4.1
Identification du produit
Pour identifier le produit de manière sûre et pour communiquer avec notre centre de service, se référer
aux informations figurant sur la plaque signalétique du produit (voir chapitre « Etiquettes »).
4.1.1
Contenu de la livraison
●
●
●
●
●
●
●
4.1.2
1 pompe à vide
2 connecteurs d'eau
1 câble secteur équipé d'un connecteur électrique femelle
1 bride de fixation de la prise secteur
3 vis CHcM8x16 et 3 rondelles
1 guide de sécurité et d'utilisation des mousquetons de levage
1 manuel de l'utilisateur
Fonction
Le constructeur a développé une pompe dédiée aux applications propres, non corrosives telles que le
pompage de sas ou de chambre de transfert pour l’industrie du semiconducteur ou du photovoltaïque,
le prévidage de pompe turbomoléculaire.
La pompe sèche multi-étagée A100 L est un modèle compact, qui s’intègre aisément dans les équipements, ne nécessite aucune maintenance préventive et présente une haute fiabilité.
Le modèle A100 L ES est équipé de l’option ’Energy Saving’ qui permet de réduire de 50% la consommation d’énergie. Cette option ’Energy Saving’ est automatiquement activée lorsque les conditions de
pompage sont requises.
4.2
Interface homme/machine
5
8
6
9
4
3
10
2
11
1
7
14
Fig. 4:
1
2
3
4
5
6
7
13 12
Interface homme/machine
Voyants de fonctionnement
Compteur horaire
Interrupteur mode de fonctionnement Loc-Rem
Disjoncteur ON/OFF
Support poignée
Equerre de levage
Poignée amovible
8
9
10
11
12
13
14
Connecteur télécommande
Alimentation secteur
Entrée circuit azote
Entrée/sortie d'eau
Aspiration
Refoulement
Connecteur Liaison série RS-232/RS-485
La pompe intègre un système de surveillance électronique assurant l'automatisme de fonctionnement
et la gestion des sécurités : alerte et alarme température. Il permet :
● l'affichage du fonctionnement de la pompe grâce aux voyants lumineux,
● l'affichage du temps de fonctionnement de la pompe sur le compteur horaire,
● l'interfaçage de la pompe avec l'équipement via un connecteur de télécommande ou la liaison série RS-232/RS-485.
17/64
Installation
5 Installation
5.1
Mise en place
IN
Exh.
IN
Exh.
1
Fig. 5:
1
1
Position de fonctionnement
1 Trous pour fixation de la pompe dans un châssis
IN Aspiration
Exh.
Refoulement de la pompe
Le produit doit fonctionner en position horizontale en appui sur ses pieds.
1. Déterminer l'emplacement de la pompe.
2. Manutentionner la pompe avec les moyens de levage recommandés (palan et mousquetons) (voir
chapitre « Manutention »).
3. Positionner la pompe et régler la hauteur des 4 pieds.
4. Utiliser un niveau pour vérifier que la pompe est positionnée dans un plan horizontal.
La pompe peut être fixée dans le châssis de l'équipement sur lequel elle est installée au moyen des
trous taraudés prévus à cet effet.
► Visser au minimum 4 vis M 10x25 classe 8-8 (fourniture client) dans les trous du châssis.
– couple de serrage : 40 N·m.
ATTENTION
Risque de chute due aux câbles ou canalisations mal fixés
L’espace autour de la pompe doit être dégagé afin de ne pas encombrer le passage au risque de
provoquer des chutes.
► Fixer les câbles électriques et les canalisations de pompage : les acheminer dans des goulottes.
5.1.1
Empilage des pompes
DANGER
Risque d'écrasement par la rupture des éléments de levage
Les équerres ne sont pas dimensionnées pour soulever deux pompes empilées, elles pourraient céder ou être arrrachées par le poids des deux pompes.
► Ne jamais soulever deux pompes empilées par les équerres de levage.
18/64
Installation
2
A
4
3
2
B
A
IN
A
1
B
IN
B
5
Fig. 6:
1
2
3
4
Empilage de deux pompes
Pied d'immobilisation (pompe A)
Equerre supérieure (pompe B)
Vis
Equerre inférieure (pompe A)
5
A
B
Pied d'immobilisation (pompe B)
Pompe supérieure
Pompe inférieure
Procédure pour empiler deux pompes
Le produit est équipé d'équerres qui permettent l'empilage de deux pompes.
1. Vérifier que les équerres sont correctement vissées.
– 3 équerres de levage sur le capot supérieur de la pompe A et de la pompe B
– 3 équerres sous le châssis de la pompe A
2. Ajuster les pieds d'immobilisation de la pompe inférieure B :
– ils doivent être en contact avec le sol ; en aucun cas, les roulettes ne sont en contact avec
le sol.
3. Utiliser un niveau pour vérifier que la pompe est positionnée dans un plan horizontal.
4. Ajuster les pieds d'immobilisation de la pompe supérieure A :
– les roulettes ne doivent pas être en contact avec le sol.
5. Hisser la pompe A avec un dispositif de levage (voir chapitre « Manutention »).
6. Positionner la pompe A sur le capot de la pompe B :
– les pieds doivent être positionnés dans les empreintes prévues sur le capot de la pompe B.
7. Verrouiller les pieds d'immobilisation de la pompe A :
– ils doivent être correctement verrouillés.
8. Utiliser un niveau pour vérifier que la pompe est positionnée dans un plan horizontal.
9. Assembler les pompes à l'aide des équerres.
10. Visser les 3 vis CHc M8x16 et les rondelles pour sécuriser l'empilage.
– Couple de serrage : 22 N·m
5.1.2
Installation dans un environnement sismique
Pour installer la pompe dans un environnement sismique, il est nécessaire de la fixer au sol à l'aide
d'équerres parasismiques (voir chapitre « Accessoires »). Le client doit fournir les vis pour la fixation au
sol en fonction de la répartition des charges sur les pieds et de la nature du sol .
Lorsque deux pompes sont empilées, seule la pompe inférieure est fixée au sol avec des équerres parasismiques.
19/64
Installation
D
TIE
MIC
S
I
E
N
OW
S
1
2
1 Emplacement des vis de fixation
(fournies)
2
Emplacement des accessoires de fixation (fourniture client)
Installation des équerres
La pompe doit être placée dans son emplacement d'utilisation.
1. Installer les 4 équerres en face des trous prévus à cet effet, repérés par une étiquette "Seismic tie
down".
2. Utiliser un niveau pour vérifier que la pompe est positionnée dans un plan horizontal.
3. Positionner les équerres et les fixer avec les vis de fixation fournies :
– couple de serrage 40 N·m.
4. Fixer les équerres de fixation au sol.
5.1.3
Raccordement du circuit d'eau
AVERTISSEMENT
Risque de blessure au contact de l'eau sous pression
Le produit utilise de l’eau sous pression comme fluide de refroidissement. Une installation non conforme ou réalisée de manière non professionnelle peut mettre en danger la vie de l’utilisateur.
► Installer une vanne manuelle dans le circuit à une distance de 3 m du produit pour verrouiller
l’alimentation en eau.
► Respecter la pression et différence de pressions recommandées.
► Toujours verrouiller et débrancher le circuit d’eau avant d’intervenir sur le produit.
► Lors de la maintenance, sécuriser correctement l’installation en repérant et condamnant le circuit
d’eau sous pression pour éviter tout réenclenchement non intentionnel (LO/TO procédure de
consignation/déconsignation).
► Contrôler régulièrement l’état des canalisations et connexions du circuit d’alimentation.
AVIS
Dégradation du circuit de refroidissement en cas d’utilisation d’un réseau urbain non réglementaire
L'utilisation d'un réseau d'eau urbain non réglementaire peut provoquer le colmatage du circuit
de refroidissement par des dépôts calcaires. En conséquence le circuit de refroidissement devra être
démonté pour nettoyage et maintenance.
D'autre part, la présence de micro-organismes (algues), ou substances biologiques (bactéries)
dans le réseau d'eau peut générer des problèmes dans le circuit de refroidissement.
► Raccorder le circuit de refroidissement à un réseau d’eau réglementaire.
► Appliquer les traitements nécessaires pour éviter la croissance de micro-organismes.
Continuité du refroidissement pour le procédé
Si l’arrêt du circuit d’eau génère un risque important pour le procédé, il est conseillé de
commander le refroidissement de la pompe par un système externe capable de prendre le
relais en cas de défaillance du circuit d’eau.
Pour limiter la corrosion et l’encrassement du circuit d’eau, il est recommandé de disposer d’une
alimentation en eau douce traitée ou en eau industrielle non agressive ayant les caractéristiques requi-
20/64
Installation
ses. Si les caractéristiques de pollution solides ne sont pas respectées, installer un filtre sur l’arrivée
d’eau.
WATER IN
WATER OUT
Raccordement du circuit d'eau
Les connecteurs d'eau choisis lors de la commande sont conditionnés séparément.
1. Raccorder les canalisations d'eau sur les connecteurs :
– Entrée d'eau = connecteur femelle
– Sortie d'eau = connecteur mâle
2. Raccorder les canalisations sur les connecteurs WATER IN et WATER OUT de la pompe.
3. Vérifier qu'il n'y ait aucune fuite au niveau des canalisations et connexions du circuit d'eau.
Raccordement du circuit d'azote
Remplacement de l'azote par de l'air sec comprimé (CDA)
Dans le cas où les gaz pompés sont inertes, l'utilisateur a la possibilité d'utiliser de l'air
sec comprimé en remplacement de l'azote.
Il est nécessaire de disposer d'une alimentation en air sec comprimé et filtré, ayant les caractéristiques requises (voir chapitre "Caractéristiques de l'air sec comprimé").
AVERTISSEMENT
Risque de blessure en cas de contact avec un gaz neutre sous pression
Le produit utilise un gaz neutre (azote par exemple) sous pression pour l'option « Energy Saving ».
Les installations non conformes ou non réalisées selon les normes professionnelles peuvent mettre
en danger la vie de l'utilisateur.
► Installer une vanne manuelle sur le circuit à une distance de 3 m du produit, afin de verrouiller
l'alimentation en gaz neutre.
► Respecter la pression d'alimentation recommandée.
► Toujours verrouiller et déconnecter le circuit de gaz neutre avant d'intervenir sur le produit.
► Vérifier régulièrement l'état des canalisations et des raccordements du circuit d'alimentation.
AVIS
Risque de détérioration de la pompe en cas de surpression du gaz
Un afflux soudain d’azote dans le circuit peut endommager les pièces internes de la pompe.
► Si votre installation est équipé d'un régulateur de pression, il est préférable de l'utiliser avant de
mettre le circuit sous pression.
1/8 NPT
1/8 NPT
4 mm
6 mm
5.1.4
N2 IN
Raccordement du circuit d'azote
Pour garantir les meilleures performances, il est nécessaire de disposer d’une alimentation en azote
sec et filtré, ayant les caractéristiques requises (voir chapitre « Caractéristiques de l'azote »).
21/64
Installation
Le connecteur d'azote conditionné séparément est prévu pour raccordement sur tube de 6 mm diam.
extérieur/ 4 mm intérieur (fourni par le client).
1. Raccorder la canalisation d'azote sur le connecteur fourni.
2. Raccorder ensuite sur le connecteur N2 IN de la pompe.
5.1.5
Raccordement à la ligne de pompage
L’utilisateur et/ou l’intégrateur du produit a l’entière responsabilité de l’installation et doit appliquer les
consignes de sécurité spécifiques, conformément à la législation locale.
AVERTISSEMENT
Risque d'écrasement et/ou de coupure au contact de pièces en mouvement
La bride d’aspiration est suffisamment grande pour permettre l’introduction d'une partie du corps (un
doigt, une main) : il y a risque d’écrasement par contact avec les pièces en mouvement. Les orifices
d'aspiration et de refoulement sont toujours fermés à l’aide d’obturateurs.
► Attendre le raccordement à la ligne de pompage pour retirer les obturateurs.
► Attendre que la pompe soit raccordée pour mettre sous tension.
Consignes générales pour une installation dans la ligne de pompage selon les règles de l'art
Les raccordements à l'aspiration et au refoulement de la pompe ne doivent pas engendrer de contraintes pouvant provoquer des fuites sur la ligne de pompage.
1. Utiliser dans la ligne de pompage, à l’aspiration comme au refoulement, des accessoires dont les
matériaux et l’étanchéité sont compatibles avec les gaz pompés. Consulter le catalogue des accessoires de raccordement sur le site pfeiffer-vacuum
2. Prévoir, lors du montage du circuit du vide, des accessoires pour isoler la pompe dans la ligne de
pompage et faciliter la maintenance (vannes d’isolement à l’aspiration et au refoulement, purge,
…).
3. Les joints toriques situés sous les obturateurs ne sont pas compatibles avec l'ensemble des applications. L'utilisateur ou l'intégrateur du produit a la responsabilité d'installer un joint compatible avec l'application.
4. Retirer les protections qui obturent les orifices d’aspiration et de refoulement.
5. Garder les obturateurs, vis, rondelles pour les réutiliser lors du transport de la pompe.
6. Veiller à ne pas faire tomber de vis, rondelles ou autres objets dans l’aspiration de la pompe.
7. Installer des canalisations flexibles dans la ligne de pompage pour limiter la transmission de vibrations.
8. Réaliser un test d'étanchéité sur l'ensemble de la ligne de pompage après installation de la pompe.
Raccordement côté aspiration
► Pour une vitesse de pompage optimum, prévoir une ligne de pompage la plus courte et la plus
droite possible avec un diamètre interne qui n'est pas inférieur à la bride d'aspiration de la
pompe.
Veiller à ce que les pièces ou enceintes raccordées à l’aspiration de nos produits supportent une dépression de 1·10-3 hPa absolue.
Raccordement côté refoulement
► Toujours raccorder le refoulement de la pompe à un système d'extraction et de traitement
des gaz.
S'assurer que tous les composants de la ligne de refoulement peuvent supporter une surpression supérieure à la pression maximale qui peut être générée par la pompe.
5.2
Test d'étanchéité de l'installation
L'étanchéité du produit est assurée en sortie d'usine pour les conditions normales d'utilisation. L'exploitant doit préserver ce niveau d'étanchéité particulièrement lors du pompage de gaz dangereux. Pour
davantage d'information concernant les tests d'étanchéité, contacter notre centre de service.
22/64
Installation
1. Réaliser un test d'étanchéité sur l'ensemble de la ligne de pompage après installation de la pompe.
2. Vérifier régulièrement l'absence de traces de gaz pompés dans l'environnement ainsi que toute
trace d'entrée d'air dans la ligne de pompage pendant le fonctionnement.
Télécommande via le connecteur 16 broches
AVIS
Sécurité des circuits très basse tension
Les circuits de télécommande sont équipés de sorties à contact sec (50 V - 1 A max.). Toute surtension ou surintensité peut entraîner des dommages électriques internes. L'utilisateur doit respecter les
conditions de câblages suivantes :
► Relier ces sorties conformément aux règles et protection des réseaux très basse tension de sécurité (TBTS).
► Alimenter ces contacts avec une tension inférieure à 50 V et un courant inférieur à 1 A.
11
+
4
5
-
+
6
-
7
8
+
-
9
+
10
11
12
13
14
-
+
-
+
-
S1
15
3
+
Fig. 7:
15
16
-
+0 VDC
+0 VDC
7
2
0/24 VDC
-
3
A2 0-10 VDC
1
1
Câblage connecteur télécommande 16 broches
Description
Le raccordement réalisé via le connecteur télécommande permet :
● la commande à distance des fonctions démarrage, arrêt et ajustement de la vitesse de rotation.
● la recopie de l'état de la pompe sous forme de contacts secs.
Câblage des entrées
Contact
Fonction
Entrée
logique
Le câblage est de la responsabilité du client.
S1 (1-2)
Marche/Arrêt de la pompe
● pour une mise en marche de la pompe :
tension appliquée 24 VDC
● pour l'arrêt de la pompe : tension appliquée 0 VDC
Entrée
analogique
5.3
A2 (15-16)
Consigne de fréquence de rotation
Cette fonction est possible si le
mode 'Rem' est configuré
(voir chapitre « Utilisation en mode
télécommande », page 30) .
Consigne de fréquence de rotation (entrée
0/10 VDC).
● pour la fréquence maximum : tension
appliquée 0 VDC
● pour la fréquence minimum : tension
appliquée 10 VDC
Câblage des sorties logiques
Il s'agit de contacts normalement ouverts (NO) : ces contacts s'ouvrent en présence d'un défaut.
Contact
Fonction
3-4
Etat de la pompe
7-8
Présence d'une alerte
9-10
Présence d'une alarme
11-12
Réservé
13-14
Autorisation de pilotage d'une vanne d'isolement de l'équipement
23/64
Installation
5.4
Etat de la pompe
3-4
7-8
9-10
11-12
13-14
Pompe en fonctionnement
fermé
fermé
fermé
fermé
fermé
Pompe arrêtée
ouvert
fermé
fermé
fermé
ouvert
Pompe en fonctionnement + une alerte
fermé
ouvert
fermé
fermé
fermé
Pompe arrêtée + une alarme
ouvert
fermé
ouvert
fermé
ouvert
Télécommande via le connecteur 19 broches
AVIS
Sécurité des circuits très basse tension
Les circuits de télécommande sont équipés de sorties à contact sec (50 V - 1 A max.). Toute surtension ou surintensité peut entraîner des dommages électriques internes. L'utilisateur doit respecter les
conditions de câblages suivantes :
► Relier ces sorties conformément aux règles et protection des réseaux très basse tension de sécurité (TBTS).
► Alimenter ces contacts avec une tension inférieure à 50 V et un courant inférieur à 1 A.
+15 VDC
G
H
J
K
L
M
N
P
-
+
-
+
-
+
-
+
-
R
S
T
U
-
+
-
V
(25mA)
F
+
+0 VDC
E
-
E
T
J
D
+
+15 VDC
D
S
K
C
+
A2 0-10 VDC
C
R
V
U
15-24 VDC
B
NP
L
+0 VDC
A
M
B
S1
A
-
F
H
G
Fig. 8:
Câblage connecteur télécommande 19 broches
Description
Le raccordement réalisé via le connecteur télecommande permet :
● la commande à distance des fonctions démarrage, arrêt et ajustement de la vitesse de rotation.
● la recopie de l'état de la pompe sous forme de contacts secs.
Câblage des entrées
Contact
Fonction
Entrée
logique
S1 (A-B)
Marche/Arrêt
de la pompe
Lorsqu'une tension entre 15 et 24 VDC est appliquée, la pompe
est en marche.
Si aucune tension n'est appliquée (0 VDC), la pompe s'arrête.
Entrée
analogique
Le câblage est de la responsabilité du client.
A2 (R-S)
Consigne de
fréquence de
rotation
Consigne de fréquence de rotation (entrée 0/10 VDC).
● pour la fréquence maximum : tension appliquée 0 VDC
● pour la fréquence minimum : tension appliquée 10 VDC
Cette fonction est possible si le mode 'Rem' est configuré
(voir chapitre « Utilisation en mode télécommande », page 30).
Câblage des sorties logiques
Il s'agit de contacts normalement ouverts (NO) : ces contacts s'ouvrent en présence d'un défaut.
24/64
Contact
Fonction
C-D
Etat de la pompe
E-F
Présence d'une alerte
Installation
5.5
Contact
Fonction
G-H
Présence d'une alerte
J-K
Présence d'une alarme pompe
L-M
Réservé
N-P
Autorisation de pilotage d'une vanne d'isolement de l'équipement
T-U
Défaillance pompe
Etat de la pompe
C-D
E-F
G-H
J-K
L-M
N-P
T-U
Pompe en fonctionnement
fermé
fermé
fermé
fermé
fermé
fermé
fermé
Pompe arrêtée
ouvert
fermé
fermé
fermé
fermé
ouvert
fermé
Pompe en fonctionnement + une alerte
fermé
ouvert
ouvert
fermé
fermé
fermé
fermé
Pompe arrêtée + une alarme
ouvert
fermé
fermé
ouvert
fermé
ouvert
ouvert
Raccordement électrique
AVERTISSEMENT
Risque d'électrocution lié à une installation électrique non conforme
Le produit utilise la tension secteur comme alimentation électrique. Une installation électrique non
conforme ou réalisée de manière non professionnelle peut mettre en danger la vie des utilisateurs.
► Seul un personnel qualifié et formé aux règles de sécurité électrique, CEM peut réaliser l'installation électrique.
► Ne procéder à aucune transformation ou modification arbitraire du produit.
► Vérifier que le produit est correctement relié au circuit d'arrêt d'urgence de l'équipement (ou installation de pompage).
AVIS
Risque de perturbation électromagnétique
Tensions et courants induisent une multitude de champs électromagnétiques et des signaux parasites. Une installation non conforme aux règles CEM perturbe les autres équipements ou plus généralement l’environnement.
► Utiliser des liaisons et raccordements blindés pour les interfaces dans les environnements perturbateurs.
Sécurité électrique
La pompe est équipée d'un disjoncteur 2 positions ON/OFF qui isole la pompe du circuit de puissance
lorsqu'il est en position OFF.
Le moteur de la pompe est équipé d'une protection thermique : lorsque la température interne du moteur dépasse la valeur limite préréglée, le moteur s'arrête.
L'alimentation de la surveillance électronique est protégée par une protection thermique.
Lorsque ces sécurités sont déclenchées, l'alimentation est coupée et la pompe est en position de sécurité.
Procédure pour redémarrer la pompe
1. couper l'alimentation générale (disjoncteur en position OFF),
2. supprimer l'origine du défaut, puis,
3. attendre environ 15 secondes,
4. basculer le disjoncteur en position ON.
Deux fusibles 0,1A/250 VAC à action semi-retardée protègent le circuit électronique : l'installateur ne
doit pas remplacer ces fusibles.
25/64
Installation
5.5.1
Protection de l'installation électrique du client
Protection par disjoncteur
Le réseau de puissance alimentant l’équipement doit être équipé d’un disjoncteur, courbe D suivant
IEC 60947-2, conforme aux certifications UL/CSA et à la législation locale. Le pouvoir de coupure en
court-circuit doit être d’une valeur minimum de 10 kA. Ce dispositif de protection sera placé de façon
visible à une distance maximum de 7 m du produit, facilement accessible et identifié comme dispositif
de coupure du produit.
Ce disjoncteur est de fourniture client : calibre du disjoncteur réseau (voir chapitre « Caractéristiques
électriques »).
Disjoncteur différentiel
Pour assurer la protection des personnes en cas de défaut d’isolation, il est indispensable d’installer un
disjoncteur différentiel (voir chapitre « Caractéristiques électriques »). Si besoin, consulter notre centre
de service. Dans tous les cas, se conformer aux réglementations électriques locales en vigueur.
Mise à la terre
L'installateur doit prévoir une double protection constituée d'un fil de terre de section égale au fil conducteur.
Le symbole IEC 60417 #5019
ment à la terre de protection.
est localisé en face arrière du produit pour permettre le raccorde-
► Raccorder le goujon de terre au point de mise à la terre de l'installation, par exemple au châssis
de l’installation.
5.5.2
Raccordement secteur
Le client doit prévoir un câble secteur ayant les caractéristiques requises (voir chapitre « Caractéristiques électriques »).
● Raccorder le réseau électrique suivant le schéma suivant.
● Raccorder le connecteur à la prise située sur le châssis de la pompe et la verrouiller.
GND
3
2
1
PE
3
2
1
4
Fig. 9:
Câblage connecteur électrique
Verrouillage du connecteur électrique basse tension
2
1
3
4
1 Connecteur femelle
2 Bague de serrage
3
4
Bride de fixation
Vis
1. Retirer la bride de fixation présente sur le connecteur femelle.
2. Visser la bague de serrage du connecteur femelle sur la prise d'alimentation.
3. Installer la bride de fixation à l'aide des 2 vis de fixation.
26/64
Installation
Verrouillage du connecteur électrique haute tension
1
2
1
2
Prise d'alimentation
Verrou
1. Verrouiller le connecteur femelle sur la prise d'alimentation avec le verrou.
Absence d'arrêt d'urgence
La pompe n'est pas équipée d'un dispositif d'arrêt d'urgence EMS ni de verrouillage électrique. La pompe est conçue pour être intégrée dans un équipement possédant un dispositif
d'arrêt d'urgence.
● Ce dispositif d'arrêt d'urgence doit mettre la pompe hors tension lorsqu'il est activé.
27/64
Utilisation
6 Utilisation
6.1
Précautions préalables à l'utilisation
AVERTISSEMENT
Risque d'empoisonnement en présence de gaz de procédés dans l'atmosphère
Le constructeur n’a pas la possibilité de contrôler le type de gaz utilisé avec la pompe. Les gaz de
procédés sont fréquemment toxiques, inflammables, corrosifs, explosifs ou réactifs. Il existe un risque d’accident grave voire mortel lorsque ces gaz s’échappent librement dans l’atmosphère.
► Appliquer les consignes de sécurité spécifiques, conformément à la législation locale. Ces informations sont disponibles auprès du service sécurité de l’exploitant.
► Raccorder impérativement le refoulement de la pompe au système d'échappement des gaz
dangereux de l'installation.
► Vérifier régulièrement l’absence de fuites au niveau du raccordement de la pompe avec la canalisation d’échappement.
AVERTISSEMENT
Risque de choc électrique au contact du connecteur secteur à la mise hors tension
Certains composants comportent des condensateurs chargés à plus de 60 VDC qui restent chargés
électriquement à la mise hors tension : des tensions résiduelles dues aux capacités des filtres provoquent des chocs électriques, y compris au niveau de la prise secteur.
► Attendre 5 minutes après la mise hors tension avant d’intervenir sur le produit.
AVERTISSEMENT
Danger de mort par électrocution en cas de dysfonctionnement
En cas de dysfonctionnement, les appareils raccordés au secteur peuvent être sous tension. Danger
de mort par électrocution en cas de contact avec des composants sous tension.
► Toujours conserver l’alimentation librement accessible de manière à pouvoir la débrancher à tout
moment.
Charge d'huile
La quantité d'huile nécessaire au fonctionnement a été introduite dans la pompe en usine.
● Ne pas retoucher au niveau d'huile.
● Ne pas vidanger la pompe : cette opération est réalisée par nos centres de service lors
de la révision.
Avant chaque mise en service :
1. Vérifier que l'aspiration de la pompe est bien raccordée à la ligne de pompage.
2. Vérifier que les canalisations de refoulement ne sont pas bloquées et que toutes les vannes du
systèmes d'extraction sont ouvertes.
3. Mettre en service le circuit d'eau et le circuit d'azote (si présent).
4. Activer le sectionneur de l'installation électrique du client.
6.2
Différents modes de commande
Ce chapitre décrit pour chaque mode de commande, les raccordements et protocoles associés. On distingue 3 modes de commande :
● LOCAL
La pompe est pilotée par le disjoncteur ON/OFF situé sur la face avant. La pompe fonctionne indépendamment de l'équipement sur lequel elle est intégrée.
● TELECOMMANDE
La pompe est pilotée à distance par l’ouverture ou la fermeture des différents contacts secs, sa
vitesse de rotation peut être réglée par application d'une tension sur les bornes de la prise télé-
28/64
Utilisation
commande 16 broches (voir chapitre « Télécommande via le connecteur 16 broches ») ou 19 broches (voir chapitre « Télécommande via le connecteur 19 broches »).
● LIAISON SERIE
La pompe est pilotée à partir des ordres de commande transmis sur la liaison série RS-232/
RS-485.
Sélection du mode de commande
L'interrupteur 'Loc-Rem' situé en face de la pompe permet de basculer d'un mode de commande à l'autre.
1
2
1 Interrupteur à gauche : 'Loc', fonctionnement en mode local
6.3
2
Interrupteur à droite : 'Rem', fonctionnement en
mode télécommande
Spécificités liées au fonctionnement du modèle A 100 L ES
Par sa conception, la pompe A 100 L ES se charactérise par sa réduction de consommation d'énergie
grâce à l'option "Energy Saving" :
L'option intègre un système qui réduit la puissance consommée lorsqu'elle est en fonctionnement à
pression limite. Ce système est géré automatiquement par la surveillance selon les conditions de pompage.
6.4
Utilisation en mode local
Démarrage du pompage
1. Vérifier que l'interrupteur est en mode local 'Loc' à gauche.
2. Positionner le disjoncteur de la pompe sur ON : la pompe démarre automatiquement.
● Le voyant vert s'éclaire.
● Les capteurs de surveillance de température sont activés.
Arrêt de la pompe
1. Positionner le disjoncteur sur OFF : la pompe s'arrête automatiquement.
● Le voyant vert s'éteint.
DANGER
Risque de blessure lié au démarrage automatique
En mode local, la pompe est configurée pour démarrer automatiquement lorsque le disjoncteur est
positionné sur I.
► Intégrer un dispositif de sécurité dans l'équipement pour alerter ou éviter le redémarrage automatique.
► Prendre toutes les mesures nécessaires pour éviter les risques découlant de ce type de fonctionnement.
Redémarrage après arrêt d'urgence (à partir de l'équipement)
L'arrêt d'urgence est géré par l'équipement dans lequel la pompe est intégrée. Après un arrêt d'urgence, pour redémarrer la pompe, il est nécessaire de :
1. corriger le problème,
2. déverrouiller le bouton d'arrêt d'urgence de l'équipement.
29/64
Utilisation
6.5
Utilisation en mode télécommande
Configuration préalable
1. Câbler et connecter le connecteur télécommande situé à l'arrière de la pompe (voir chapitre « Télécommande via le connecteur 16 broches ») ou (voir chapitre « Télécommande via le connecteur
19 broches »).
2. Positionner l'interrupteur mode télécommande'Rem' à droite.
Réglage de la vitesse de rotation
1. Appliquer une tension continue comprise entre 0 et 10 V sur l'entrée analogique A2 du connecteur
télécommande pour règler la vitesse de rotation de la pompe :
● la vitesse décroit de la valeur maximum (0 V) à la vitesse minimum (10 V).
Speed
Maxi
Mini
0V
8V
10V
Voltage
Démarrage du pompage
1. Positionner le disjoncteur de la pompe sur ON :
– La pompe est sous tension.
– Le compteur horaire est éclairé.
2. Appliquer une tension continue sur l'entrée S1 du connecteur télécommande (voir chapitre « Télécommande via le connecteur 16 broches ») ou (voir chapitre « Télécommande via le connecteur
19 broches »).
● La pompe fonctionne selon la vitesse réglée.
● Le voyant vert s'éclaire.
Arrêt du pompage
► Ne plus appliquer de tension sur l'entrée S1 (ouvrir le contact) :
● La pompe s'arrête automatiquement.
● Le voyant vert s'éteint.
Lors d'un arrêt sur coupure secteur, la pompe redémarre automatiquement après retour secteur à la vitesse réglée.
Mise hors tension
1. Positionner le disjoncteur sur OFF:
– La pompe n'est plus sous tension.
– Le compteur horaire s'éteint.
Redémarrage après arrêt d'urgence (à partir de l'équipement)
L'arrêt d'urgence est géré par l'équipement dans lequel la pompe est intégrée.
1. Pour redémarrer la pompe après un arrêt d'urgence :
– Corriger le problème,
– Déverrouiller le bouton d'arrêt d'urgence de l'équipement.
– Appliquer une tension sur le contact "Marche/Arrêt" du connecteur télécommande :
– La pompe redémarre à la vitesse réglée.
6.6
Surveillance de fonctionnement
La pompe est équipée de capteurs de surveillance de la température qui signalent :
● une alerte lorsque la température de la pompe atteint le seuil préréglé (réglage usine non modifiable),
● une alarme lorsque la température de la pompe ou la sécurité moteur dépasse ce seuil. La pompe
s'arrête immédiatement lorsqu'une alarme est détectée.
Lorsqu'un problème survient, l'utilisateur est averti par :
● l'éclairage du voyant relatif au défaut : jaune en cas d'alerte, rouge en cas d'alarme,
● l'activation des contacts défauts sur la prise télécommande,
30/64
Utilisation
● l'arrêt du pompage alors que la commande OFF n'a pas été activée,
● un message via la liaison RS-232 ou RS-485.
Message
Etat des voyants
Etat de la pompe
Voyants éteints
La pompe ne fonctionne pas.
Pump running
Voyant vert allumé
La pompe est en fonctionnement.
Warning
Voyants vert et jaune allumés
Premier niveau d'alerte température sur la pompe : la pompe continue de fonctionner à vitesse maximum.
● Remédier au problème pour supprimer le défaut .
Motor temp
alarm
Voyant rouge allumé
Présence d'une alarme température moteur : la pompe est arrêtée.
● La pompe doit être remplacée.
En cas d'anomalie de fonctionnement (voir chapitre « Dysfonctionnements », page 37)
31/64
Maintenance
7 Maintenance
7.1
Consignes de sécurité pour la maintenance
Les instructions de sécurité concernant les gaz corrosifs ne s’appliquent pas aux pompes destinées au
pompage de sas ou de chambre de transfert. En cas de présence accidentelle de gaz corrosifs, l’utilisateur doit respecter les précautions suivantes pour déconnecter la pompe de l’installation et intervenir
sur le produit.
DANGER
Risque pour la santé lié aux traces résiduelles de gaz de procédés à l'intérieur de la pompe
Les gaz de procédés sont toxiques et dangereux pour la santé. Ils peuvent entraîner l’empoisonnement ou la mort. Aussi, avant de déconnecter la pompe, il convient d’éliminer un maximum de traces
résiduelles de gaz de procédés.
► Effectuer obligatoirement un balayage de l’équipement (installation de pompage) avec un
flux d'azote pendant 30 minutes : la pression et le débit d'azote doivent être identiques aux
valeurs programmées pour le procédé.
DANGER
Risque d'empoisonnement par contact avec des substances toxiques et sous-produits générés par le procédé
La pompe à vide, les composants de la ligne de pompage, les fluides d'exploitation sont contaminés par des substances toxiques, corrosives, réactives ou radioactives liées au procédé. Tout contact avec les pièces contaminées ou les sous-produits générés par le procédé présente un risque
d’empoisonnement pour la santé.
► Porter les équipements de protection appropriés lors de la déconnexion pour maintenance de la
pompe, ainsi que pour le remplissage ou la vidange du fluide d’exploitation.
► Bien aérer le local ou effectuer la maintenance sous hotte ventilée.
► Ne pas jeter les sous-produits/résidus au réseau usuel : faire appel à un organisme compétent
pour leur destruction si nécessaire.
► Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air (obturateurs livrés avec
le produit et disponibles en accessoires).
AVERTISSEMENT
Risque d'électrocution par contact lors de l'entretien ou la maintenance
Il y a un risque de choc électrique par contact avec un produit sous tension et non isolé électriquement.
► Avant toute intervention, placer l’interrupteur principal sur O.
► Débrancher le câble secteur du réseau électrique.
► Sécuriser correctement l’installation en repérant et condamnant le circuit de puissance pour éviter tout ré-enclenchement non intentionnel (LO/TO procédure de consignation/déconsignation).
AVERTISSEMENT
Risque de brûlure par contact avec des surfaces chaudes
La température des pièces reste élevée même après l’arrêt de la pompe. Il y a risque de brûlure par
contact avec les surfaces chaudes, en particulier au niveau du refoulement de la pompe.
► Attendre le refroidissement complet avant d’intervenir sur le produit.
► Porter des gants de protection conformément à la norme EN ISO 21420.
32/64
Maintenance
AVERTISSEMENT
Risque d'intoxication en cas de fuites de gaz de procédés
Lors de la déconnexion/connexion de composants dans la ligne de pompage (pompe, canalisations,
vannes....) pour maintenance, l'étanchéité de l'installation est rompue : il y a un risque potentiel de
fuites de gaz de procédés.
► Pendant le démontage, toujours protéger les surfaces des brides d'aspiration et de refoulement.
► Après remontage, effectuer un test d'étanchéité sur l'ensemble de la ligne de pompage.
Recommandations générales pour la maintenance
● S’assurer que le technicien de maintenance est formé aux règles de sécurité qui concernent les
gaz pompés.
● La lumière dans la zone de maintenance doit être suffisante pour travailler et réaliser la maintenance de la pompe : luminosité supérieure à 300 lux.
● Débrancher le câble secteur du produit de toute source d’énergie avant d’intervenir sur le produit.
● Attendre 5 minutes après la mise hors tension avant d’intervenir sur les composants électriques.
● Fixer les câbles électriques, les canalisations de pompage : les acheminer dans des goulottes
pour éviter les chutes.
● Porter les protections de sécurité appropriées et démonter le produit dans un environnement ventilé ou sous hotte.
● Collecter les résidus de procédés et faire appel à un organisme compétent pour leur destruction.
● Toujours protéger les surfaces des brides d’aspiration et de refoulement.
● Les circuits pressurisés - azote et eau - sont des risques énergétiques potentiels : toujours verrouiller ces circuits (LO/TO procédure de consignation/déconsignation) avant d'intervenir sur le
produit.
7.2
Intervalles de maintenance
D’une manière générale, il n’y a pas d’opération de maintenance avant la révision du produit
dans un centre de service.
La périodicité de maintenance dépend du procédé et de l’équipement utilisé. Contacter notre centre de
service (voir chapitre « Solutions de service de Pfeiffer Vacuum », page 39).
Comment nous contacter ?
La révision du produit doit être réalisée par du personnel formé par le constructeur. Contacter notre centre de service le plus proche à l'adresse suivante : service.fr@pfeiffer-vacuum.com.
7.3
Entretien sur site
La pompe ne nécessite aucune maintenance sur le site client excepté l’entretien courant décrit dans ce
manuel. Toute autre maintenance doit être réalisée par notre centre de service (voir chapitre « Solutions de service de Pfeiffer Vacuum », page 39).
► Nettoyer les faces externes du produit à l’aide d’un chiffon propre non pelucheux et d’un produit
ne détériorant pas les surfaces sérigraphiées et les étiquettes autocollantes.
► Vérifier que la canalisation de refoulement ne soit pas obstruée.
► Vérifier l’état des canalisations et leurs connexions et les remettre en état si présence de corrosion ou de fuite.
► Comparer la couleur de l’huile à un échantillon d’huile neuve. Cela permet de contrôler le niveau
de pollution ou de dégradation du lubrifiant. Le changement d’huile est réalisé par nos centres de
service.
7.4
Procédure d'échange par un produit de remplacement
Pour procéder à un échange standard, il est nécessaire de respecter la chronologie des étapes suivantes :
1. Déconnexion de la pompe de l’installation.
2. Vidange du circuit d’eau.
3. Conditionnement de la pompe pour expédition.
33/64
Maintenance
4. Déclaration de contamination (voir chapitre « Solutions de service de Pfeiffer Vacuum », page 39).
5. Manutention de la nouvelle pompe (voir chapitre « Manutention »).
6. Mise en place d’une nouvelle pompe (voir chapitre « Mise en place »).
Pour tout retour d’un produit vers nos centres de service, prendre connaissance de la procédure de demande de Service et remplir la déclaration de contamination (voir chapitre « Solutions de service de
Pfeiffer Vacuum », page 39).
7.4.1
Déconnexion de la pompe de l'installation
Rappel des risques et mesures de sécurité
● Observer les consignes de sécurité pour la maintenance.
● Appliquer les consignes de sécurité spécifiques conformément à la législation locale :
ces informations sont disponibles auprès du service de sécurité du client.
Procédure de déconnexion
1. Mettre la pompe hors tension en positionnant le disjoncteur sur OFF.
2. Déclencher le disjoncteur réseau de l’installation client.
3. Déconnecter le câble secteur au niveau du connecteur électrique.
4. Déconnecter tous les connecteurs à l'arrière de la pompe.
5. Déconnecter le raccord WATER IN puis le raccord WATER OUT.
6. Déconnecter l'alimentation d'azote (si présente).
7. Désolidariser la pompe de la canalisation de pompage et obturer l’orifice d’aspiration avec les accessoires de raccordement étanches à l'air (accessoires).
8. Désolidariser le refoulement de la pompe et obturer l’orifice de refoulement avec les accessoires
de raccordement étanches à l'air (accessoires).
9. Retirer les équerres parasismiques (accessoires).
10. Relever les 4 pieds de positionnement.
– La pompe repose sur ses roulettes.
11. Dégager la pompe de l’installation.
7.4.2
Vidange du circuit d'eau
L'eau doit être évacuée de la pompe pour éviter le gel dans les canalisations pendant le transport. Pour
cela, le client doit prévoir des tuyaux flexibles et des raccords ainsi qu'un circuit d'air comprimé (pression de 2 à 5·103 hPa).
AIR PRESSURE
IN
OUT
1
2
3
1 Tuyau d'arrivée d'eau avec raccord femelle
2 Tuyau de vidange avec raccord mâle
34/64
3
Récipient (contenance supérieure à 1 litre).
Maintenance
Procédure de vidange du circuit d'eau
1. Connecter le tuyau de vidange sur le raccord WATER OUT et placer l’autre extrémité dans le récipient.
2. Connecter le tuyau d'arrivée sur le raccord WATER IN et raccorder l’autre extrémité au circuit
d’air comprimé.
3. Injecter de l’air comprimé dans la pompe jusqu’à ce que toute l’eau du circuit d’eau soit évacuée.
7.4.3
Conditionnement de la pompe pour expédition
► Installer les accessoires de raccordement étanches à l'air, fournis avec la pompe à la première
livraison.
► Pressuriser la pompe avec de l’azote, selon la procédure suivante.
Pressurisation en azote
Pour pressuriser la pompe, il est nécessaire de disposer d’une alimentation en azote ayant les caractéristiques requises (voir chapitre « Caractéristiques de l'azote ») et des obturateurs livrés avec le produit
ou disponibles en accessoires.
1. Obturer l’aspiration avec les accessoires étanches à l'air.
2. Raccorder l’azote sur le raccord gaz prévu à cet effet sur l’obturateur d’aspiration.
3. Pressuriser la pompe en azote à une pression relative de 200 hPa.
4. Lorsque l’azote s’échappe par le refoulement, fermer de manière étanche le refoulement au
moyen des accessoires fournis.
5. Déconnecter l'alimentation d'azote du raccord.
35/64
Mise hors service
8 Mise hors service
8.1
Immobilisation prolongée
Les pompes destinées au pompage de sas et de chambres de transfert sont conçues pour fonctionner
en continu sur les installations de pompage. Si la pompe doit être arrêtée pour une longue période, respecter les instructions suivantes :
1. Déconnecter la pompe de l’installation (voir chapitre « Déconnexion de la pompe de l'installation »).
2. Vidanger le circuit d’eau (voir chapitre « Vidange du circuit d'eau »).
3. Pressuriser la pompe et la stocker (voir chapitre « Conditionnement de la pompe pour expédition »).
8.2
Remise en service
Pour remettre en service la pompe après un arrêt prolongé, procédé à l'installation de la pompe
(voir chapitre « Installation », page 18)
8.3
Mise au rebut
Conformément à la Directive concernant le traitement des déchets des équipements électriques et électroniques (DEEE), et à la Directive relative à la restriction des matières dangereuses (RoHS), les produits en fin de vie seront retournés au constructeur pour décontamination et valorisation.
Toute obligation du constructeur de récupérer de tels équipements s’applique uniquement à des équipements complets, non modifiés, utilisant des pièces détachées d’origine Pfeiffer Vacuum SAS, vendues par Pfeiffer Vacuum et incluant tous leurs ensembles et sous-ensembles.
Cette obligation ne comprend pas les frais de transport du produit vers un centre de retraitement, ni la
prestation de service qui sera facturée au client.
Pour tout retour d’un produit vers nos centres de service, prendre connaissance de la procédure de demande de Service et remplir la déclaration de contamination (voir chapitre « Solutions de service de
Pfeiffer Vacuum », page 39).
Protection de l'environnement
La mise au rebut du produit ou de ses composants doit être réalisée conformément aux
réglementations en vigueur pour ce qui concerne la protection de l’environnement et
la santé des personnes, ceci afin de réduire le gaspillage des ressources naturelles et
prévenir de la pollution.
Nos produits contiennent différents matériaux qui doivent être recyclés : fer, acier, acier inoxydable, fonte, aluminium, cuivre, élastomères fluorés, PTFE, silicone, fluide d'exploitation, composants électriques
et électroniques. Prendre des précautions particulières pour :
● les élastomères fluorés qui peuvent se décomposer s’ils ont été soumis à de hautes températures,
● les composants en contact avec les produits résultant de procédés qui ont pu être contaminés,
● les batteries lithium.
36/64
Dysfonctionnements
9 Dysfonctionnements
9.1
Signalement des mauvais fonctionnements et défauts
Lorsqu'un problème survient, l'utilisateur est averti par :
●
●
●
●
Aucun voyant n'est allumé
9.2
La pompe ne démarre pas
Symptôme
Cause
Remède
L'interrupteur est en position ON et la pompe
ne fonctionne pas.
Le disjoncteur est en position OFF
Positionner le disjoncteur sur ON.
La tension de la pompe
n’est pas compatible avec la
tension d'alimentation de
l’installation
Vérifier la tension de l'installation.
L'interrupteur Loc-Rem est
sur 'Rem'
Vérifier la présence d'une tension 15
ou 24 VDC sur l'entrée analogique 12 ou A-B de la prise télécommande.
Mettre l'interrupteur en position 'Loc'.
9.3
Voyant vert allumé
L'éclairage du voyant relatif au défaut : jaune en cas d'alerte, rouge en cas d'alarme.
L'activation des contacts défauts sur la prise télécommande.
L'arrêt du pompage alors que la commande OFF n'a pas été activée.
Un message via la liaison série RS-232 ou RS-485.
L'interrupteur Loc-Rem est
sur 'Loc'
Contacter notre centre de service.
Autre problème
Contacter notre centre de service.
La pompe fonctionne, un voyant est allumé
Symptôme
Cause
Remède
Mauvais vide ou pas de vide.
La pompe ne fonctionne pas à
pleine vitesse
Vérifier l'abscence de tension appliquée sur l'entrée analogique 15-16 (ou Q-R) de la prise télécommande.
Fuite dans la ligne de prévidage
Déconnecter la ligne de prévidage et vérifier le niveau de vide.
Vérifier les raccordements et effectuer un test de
fuites.
Pompe bruyante
La pompe fonctionne à vitesse réduite
Vérifier les conditions de pompage.
Autre problème
Contacter notre centre de service.
La pompe n'est pas correctement
fixée sur l'équipement
Vérifier la fixation de la pompe sur l'équipement.
Le refoulement n'est pas raccordé
Vérifier le raccordement du refoulement.
Autre problème
Contacter notre centre de service.
37/64
Voyants vert et jaune allumés
Dysfonctionnements
Symptôme
Cause
Remède
La température du bloc fonctionnel est trop élevée
Problème
d'eau
Vérifier l'alimentation du circuit d'eau.
Vérifier que les canalisations d'eau ne sont pas obstruées ou l'éventuelle présence de fuites.
Vérifier que le débit d'eau est à 100 l/h mini.
Vérifier les conditions de pompage.
La pompe ne fonctionne pas à
vitesse maximum
Problème
d’eau
Vérifier l'alimentation du circuit d'eau.
Vérifier que les canalisations d'eau ne sont pas obstruées ou l'éventuelle présence de fuites.
Autre problème
Contacter notre centre de service.
Voyant rouge allumé
9.4
La pompe s'arrête de fonctionner
Symptôme
Cause
Remède
La pompe s’arrête alors qu’aucun ordre d’arrêt
n’a été activé.
La température du moteur est trop élevée
Déconnecter la pompe pour la remplacer
(voir chapitre « Maintenance »).
Autre problème
Contacter notre centre de service.
38/64
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
10
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
Nous offrons un service de première classe
Une longue durée de vie des composants du vide, associée à des temps d’arrêt réduits, sont ce que
vous attendez clairement de nous. Nous répondons à vos besoins par des produits efficaces et un service d’exception.
Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux
composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit
Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien
évidemment.
Nos ingénieurs commerciaux et techniciens de service professionnels sont à votre disposition pour
vous assurer un soutien pratique dans le monde entier. Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de
services, allant des pièces de rechange d’origine aux accords de service.
Profitez du service Pfeiffer Vacuum
Qu'il s’agisse du service préventif sur place de notre service sur site, du remplacement rapide par des
produits de rechange comme neufs ou de la réparation dans un centre de service proche de chez
vous ; vous disposez d'une variété d’options pour maintenir la disponibilité de votre équipement. Vous
trouverez des informations détaillées ainsi que les adresses sur notre site web dans la section Pfeiffer Vacuum Service.
Des conseils sur la solution optimale sont disponibles auprès de votre interlocuteur Pfeiffer Vacuum.
Pour un déroulement rapide et efficace de la procédure de service, nous recommandons de suivre les étapes suivantes :
1. Télécharger les modèles de formulaire actuels.
─ Déclaration de demande de service
─ Demande de service
─ Déclaration de contamination
a) Démonter tous les accessoires et les conserver (toutes les pièces externes
montées telles que la vanne, le filtre d’arrivée, etc.).
b) Vidanger le fluide d'exploitation / lubrifiant si nécessaire.
c) Vidanger le fluide de refroidissement si nécessaire.
2. Remplir la demande de service et la déclaration de contamination.
ANFORDERUNG SERVICE
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
3. Envoyer les formulaires par e-mail, fax ou par courrier à votre centre de service local.
4. Vous recevrez une réponse de Pfeiffer Vacuum.
Envoi de produits contaminés
Aucune unité ne sera acceptée si elle est contaminée par des substances micro-biologiques, explosives
ou radioactives. Si les produits sont contaminés ou si la déclaration de contamination est manquante,
Pfeiffer Vacuum contactera le client avant de démarrer la maintenance. Par ailleurs, selon le produit et
le niveau de contamination, des frais de décontamination supplémentaires peuvent être facturés.
39/64
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails contenus dans la déclaration de contamination.
a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec.
b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air.
c) Sceller le produit dans un film de protection approprié.
d) Emballer le produit dans des conteneurs de transport stables appropriés uniquement.
e) Respecter les conditions de transport en vigueur.
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
6. Joindre la déclaration de contamination sur l’extérieur de l’emballage.
7. Envoyer ensuite le produit à votre centre de service local.
8. Vous recevrez un message de confirmation / un devis de la part de
Pfeiffer Vacuum.
Pour toutes les demandes de service, nos Conditions générales de vente et de livraison ainsi que nos
Conditions générales de réparation et de maintenance sont appliquées aux équipements et composants du vide.
40/64
Accessoires
11
Accessoires
Accessoire
Description
Equerres parasismiques
Lot de 4 équerres
Dimension
Réf.
109790
Raccord femelle 1/4" NPT
Entrée d’eau
076721
Raccord mâle 1/4" NPT
Sortie d’eau
076720
Lot de pressurisation azote comprenant
Obturateur refoulement
DN 25 ISO-KF
Collier de serrage
DN 25 ISO-KF
Anneau de centrage équipé du joint torique
DN 25 ISO-KF
Obturateur aspiration + raccord gaz 1/8’’
DN 25 ISO-KF
Anneau de centrage équipé du joint torique
DN 25 ISO-KF
107956S
Dispositif anti-bruit
DN 25 ISO-KF
110868
Lot télécommande
Connecteur 16 broches (AMP182 642-1 +
AMP 182 655-1 + AMP 163 088-2)
112460
Lot télécommande
Connecteur 19 broches (ITT Canon
192926-0530 + 192922-1340 +
192990-0030)
112464
RS-232/RS-485 liaison série
Circuit imprimé, connecteur RS + platine
111923
Obturateurs, griffes de serrage, colliers de serrage, voir catalogue des accessoires de raccordement sur le site PfeifferVacuum. Choisir des matériaux compatibles avec l’application.
41/64
Caractéristiques techniques et dimensions
12
Caractéristiques techniques et dimensions
12.1
Généralités
Bases des caractéristiques techniques des pompes Roots multi-étagées compactes pour applications
propres de Pfeiffer Vacuum :
● Valeurs prédéfinies selon le comité PNEUROP PN5
● ISO 21360; 2007 : « Technique du vide - Procédé standard pour la mesure des données de puissance de pompes à vide - Description générale »
● Niveau de pression acoustique : distance par rapport à la pompe 1 m
12.2
Caractéristiques techniques
Caractéristiques
Unités
Vitesse de rotation maximale
A 100 L
A 100 L ES
-1
6000
6000
min
-1
3000
3000
3
100
min
Vitesse de rotation minimum
Vitesse de pompage
m /h
100
Pression limite (valeur moyenne) 1)
hPa
6,6 · 10-3
7 · 10-4
1)
hPa
-2
1,2 · 10
3 · 10- 3
Volume de pompage maximum 2)
m3
1
1
Taux de cycles maximum sur un volume de
20 L
cycle/h
90
90
Taux de cycles maximum sur un volume de
25 L
cycle/h
-
-
Flux continu maximum à l’aspiration
slm
20
20
Débit d'azote / CDA
slpm
-
30
3)
V
200-230 V 3 phases 50/60 Hz
ou
380-480 V 3 phases 50/60 Hz
200-230 V 3 phases 50/60 Hz
Consommation à pression limite (valeur maximale)
kW
1,6
< 0,8
Puissance maximale consommée
kW
3,5
3,5
Courant à pleine charge (200-230 V)
A
12
15
Courant à pleine charge (380-480 V)
A
7
-
Surpression maximale au refoulement
hPa
1200
1200
l/h
100 mini
100 mini
l
0,09
0,09
Bride d’aspiration
DN 50 ISO-KF
DN 50 ISO-KF
Bride de refoulement
DN 25 ISO-KF
DN 25 ISO-KF
Pression limite (valeur maximale)
Tension d’alimentation
Débit d’eau de refroidissement
4)
Capacité en huile
Poids
kg
100
100
Niveau de vibration sur la bride d’aspiration
(10-1000Hz) (valeur maximale)
g
< 0,1
< 0,1
Niveau sonore 5)(valeur moyenne)
dB(A)
< 55
< 52
Niveau sonore 5)(valeur maximale)
dB(A)
< 58
< 55
1) En fonctionnement très basse consommation.
2) Cette pompe est qualifiée sur un volume de 1 m3, avec un cyclage de 20 mn. Pour un volume supérieur ou une fréquence de cyclage supérieure, contacter Pfeiffer Vacuum.
3) Conformément aux réglementations CE, les pompes peuvent supporter une variation de tension de ± 10 %.
4) Selon les conditions d’utilisation . Contacter Pfeiffer Vacuum.
5) Mesuré à une distance de 1 m et à une hauteur de 1,6 m conformément à la norme ISO 9614-2
42/64
Caractéristiques techniques et dimensions
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr | mm Hg
mbar
1
1 · 10-3
100
1
0,1
0,75
bar
1,000
1
Pa
0,01
1 · 10-5
1 · 10
1,000
100
750
1
0,01
1 · 10-3
7.5 · 10-3
hPa
1
kPa
10
1 · 10
100
1
0,1
0,75
0,01
1,000
10
1
7,5
Torr | mm Hg
1,33
1,33
0,133
1
5
-3
133,32
-3
1,33 · 10
1 Pa = 1 N/m
Tab. 1:
Tableau de conversion : unités de pression
mbar l/s
Pa m3/s
sccm
Torr l/s
atm cm3/s
1
0,1
59,2
0,75
0,987
Pa m /s
10
1
592
7,5
9,87
sccm
1.69 · 10-2
1.69 · 10-3
1
1,27 · 10-2
1.67 · 10-2
Torr l/s
1,33
0,133
78,9
1
1,32
atm cm3/s
1,01
0,101
59,8
0,76
1
mbar l/s
3
Tab. 2:
12.2.1
2
Tableau de conversion : unités de débit de gaz
Conditions environnementales
Utilisation
intérieur
Altitude
jusqu'à 2000 m
Indice de protection
IP20 / IP22 2)
Température ambiante de fonctionnement
5 - 35 °C
Température de stockage
-25 - +55 °C
Humidité relative maximale
80% max. avec T ≤ 31 °C, à 50% max.
avec T ≤ 40 °C
Protection contre les surtensions transitoires 1)
catégorie II
Degré de pollution
niveau 2
1)
Surtensions transitoires jusqu'aux niveaux de la catégorie de surtension II. Surtensions temporaires
survenant sur le réseau d'alimentation.2)Si option IP22
Tab. 3:
Conditions environnementales
43/64
Caractéristiques techniques et dimensions
12.2.2
Caractéristiques de l'eau de refroidissement
Chlorure (ppm)
100
pH
5,5 à 9
Chlorure 1)
100 à 20 ppm selon le pH
Dureté
< 10 °fH (degré français)
< 2 milli-équivalent/L
< 100 mg/L de CaCO3 (carbonate
de calcium)
Résidus à sec
< 300 mg/L
Indice de Langelier LSI
= pH - pHs
- 0,5 < LSI < 0 à 20 °C
Taille des particules
< 0,2 mm
Résistivité
2 000 Ω·cm < R < 1 000 000 Ω·cm
Température d’entrée 2)
10-35 °C
Pression d’entrée relative
de 2 · 103 à 6 · 103 hPa
Différence de pression
entrée/sortie
> 2 · 103 hPa
50
40
20
pH
0
5
6
7
8
9
10
1) L’activité oxydante du chlore dépend du pH (agressivité de l’eau). La teneur en chlorures doit être
située dans la zone colorisée du graphique.
2) Selon les conditions d’utilisation. Nous contacter.
Tab. 4:
Caractéristiques de l'eau de refroidissement
Type de raccords
12.2.3
Entrée d’eau
Raccord mâle 1/4’’ NPT
Acier inoxydable
Sortie d’eau
Raccord femelle 1/4’’ NPT
Acier inoxydable
Caractéristiques de l'azote
Concentration H2O
< 10 ppm v
Concentration O2
< 5 ppm v
Poussière
< 1 µm
Huile
< 0,1 ppm v
Pression relative
2 · 103 à 6 · 103 hPa
Tab. 5:
Caractéristiques de l'azote
Type de raccords
12.2.4
Entrée d’azote
Raccord mâle 1/8’’ NPT
Acier inoxydable
Entrée d’azote
Raccord mâle pour tube 1/4’’
Acier inoxydable
Caractéristiques de l'air sec comprimé (CDA)
Type
Classe 4 selon norme ISO 8573-1
Poussière
< 15 µm
Huile
< 0,005 ppm v
Pression absolue
2 · 103 à 6 · 103 hPa
Tab. 6:
Caractéristiques de l'air sec comprimé (CDA)
Type de raccords
44/64
Caractéristiques techniques et dimensions
12.2.5
Entrée
Raccord mâle 1/8’’ NPT
Acier inoxydable
Entrée
Raccord mâle pour tube 1/4’’
Acier inoxydable
Caractéristiques électriques
Pouvoir de coupure en court-circuit du sectionneur
10 kA
Disjoncteur différentiel GFI (ou RCD) type B compatible réseau électrique type T.T
300 mA 1)
1)
pour un réseau de type T.N ou I.T, appliquer une protection adéquate
Tab. 7:
Protection électrique réseau
Tension secteur
Calibre
Section des conducteurs
200-230V 50/60 Hz
380-480V 50/60 Hz
15 A
15 A
2,08 mm2
2,08 mm2
AWG-14
AWG-14
Pour tout changement de tension d'alimentation par rapport à la configuration usine, contacter notre
centre de service.
Tab. 8:
Calibre disjoncteur réseau et section des câbles
12.3 Dimensions
Dimensions en mm
Centre de gravité (mm)
605
280
136
X
590
51
Y
53
30
53
32
70
140
Z
14
24
190,5
85
230
Fig. 10:
65
22
39
136
25
Exh.
14
14
30
73,5
98
300
208,5
50 46
IN
420
Dimensions de la pompe
45/64
Caractéristiques techniques et dimensions
1
2
4
3
Centre de gravité (mm)
1)
Charges par pied 1)
X
Y
Z
1
2
3
4
135
325
152
22 N
24 N
29 N
28 N
Selon norme Semi S2-200 Section 19
Tab. 9:
Répartition des charges par pied : cas d'une seule pompe
Dimensions pour des pompes empilées
280
590
51
511,5
46
IN
376,5
603
Exh.
208,5
Z
46
IN
73,5
Exh.
X
46/64
Y
Caractéristiques techniques et dimensions
1
3
2
4
Centre de gravité (mm)
1)
Charges par pied 1)
X
Y
Z
1
2
3
4
135
325
302
44 N
48 N
58 N
56 N
Selon norme Semi S2-200 Section 19
Tab. 10:
Répartition des charges par pied : 2 pompes empilées
47/64
280
70
140
348
426
34
11
73
23
Caractéristiques techniques et dimensions
29
600
23
8
302
590
Fig. 11:
Dimensions de la pompe équipée d'équerres parasismiques
2
4
1
3
1
2
3
4
X
69 N
33
27
-129
Y
-272 N
-183
-237
-258
Z
-580 N
155
19
-454
Répartition des charges sur les équerres parasismiques 1)
Cas d'une pompe seule
1)
48/64
Selon norme Semi S2-200 Section 19
Caractéristiques techniques et dimensions
1
2
3
4
X
334 N
-300
364
-368
Y
-356 N
-642
-391
-511
Z
-1845 N
1008
498
-1381
Répartition des charges sur les équerres parasismiques 1)
Cas de 2 pompes empilées
1)
Selon norme Semi S2-200 Section 19
Tab. 11:
Répartition des charges sur les équerres parasismiques
49/64
Annexes
13
Annexes
13.1
Installation de la liaison série RS-232/RS-485
AVIS
Risque de perturbation électromagnétique
Tensions et courants induisent une multitude de champs électromagnétiques et des signaux parasites. Une installation non conforme aux règles CEM perturbe les autres équipements ou plus généralement l’environnement.
► Utiliser des liaisons et raccordements blindés pour les interfaces dans les environnements perturbateurs.
AVERTISSEMENT
Risque de choc électrique par contact avec un produit non isolé électriquement
A la mise hors tension _interrupteur secteur sur O_, certains composants situés entre le connecteur
électrique et le disjoncteur restent sous tension. Il y a un risque de choc électrique par contact.
► Veiller à ce que le raccordement au secteur soit toujours visible et accessible pour pouvoir débrancher à tout moment.
► Débrancher le câble secteur du réseau électrique avant d'intervenir sur le produit.
Procédure
1. Basculer le disjoncteur en position OFF pour couper l'alimentation générale.
2. Déclencher le sectionneur réseau de l'installation client.
3. Déconnecter le câble secteur au niveau du connecteur électrique.
4. Retirer la plaque à l'arrière de la pompe en dévissant les 4 vis.
5. Couper le collier qui maintient le câble derrière la plaque.
6. Connecter l'accessoire RS-232/RS-485 sur le câble.
7. Positionner la carte RS-232/RS-485 dans le châssis et revisser les 4 vis.
8. Raccorder la pompe au réseau électrique.
9. Basculer le disjoncteur en position ON pour mettre la pompe sous tension.
Lorsque le disjoncteur est en position ON, la LED verte située sur la carte RS-232/RS-485 est allumée.
3
1
2
4
RS
1 Plaque
2 Carte RS-232/RS-485
3
4
LED
Interrupteur rouge (x2)
13.2 Connexions
Le connecteur Sub-D 9 broches permet de piloter et surveiller la pompe avec un ordinateur. Le connecteur Sub-D 9 broches permet également la mise en réseau de plusieurs pompes.
L’ordinateur connecté permet de modifier les paramètres initiaux de la liaison série (voir chapitre « Liste
des commandes du protocole de communication RS-232 »).
50/64
Annexes
Configuration initiale de la liaison série
Désignation
Valeur
Interface série
RS-232
Vitesse de transmission
9600 bauds
Longueur d'un mot de données
8 bits
Parité
aucune (no parity)
Bits de stop
1
Echo
non
Connecteur RS-232/RS-485 - 9 broches, mâle
Broche
Affectation
2
Réception données (RS-232)
3
Transmission données (RS-232)
5
GND
8
RS-485 : V-
9
RS-485 : V+
L’utilisateur doit assurer les blindages extérieurs permettant de satisfaire aux normes CEM et de sécurité électrique.
Connexion RS-232
Un ordinateur gère une seule pompe (P1) par liaison RS-232 via le connecteur RS-232/RS-485.
P1
Connexion RS-485
Un ordinateur gère plusieurs pompes (P1, P2, Pn,..) par liaison série RS-485 via le connecteur RS-232/
RS-485. Ce type de câblage parallèle permet de maintenir la communication entre les pompes même si
une pompe est déconnectée.
1. Positionner les interrupteurs de couleur rouge de chaque pompe sur 1 et 2.
2. Positionner les interrupteurs de couleur rouge de la pompe en bout de ligne sur ON.
51/64
Annexes
RS-485
communication
box
V(+)
V(-)
P1
P2
Pn
ON
ON
ON
1
2
1
2
1
2
13.3 Paramétrage du protocole de communication RS-232
Lorsque le câblage est réalisé, pour permettre le pilotage et la surveillance de la pompe :
1. Positionner le disjoncteur en position ON : la LED verte située sur la carte RS-232/RS-485 est allumée.
2. Envoyer une commande sur la liaison série : cette commande n’est pas prioritaire par rapport
au fonctionnement en mode télécommande via le connecteur SPI.
Les commandes
Caractère d'en-tête
Le réglage usine est le code décimal 035 du caractère #
Adresse
Numéro affecté à la pompe sur 3 caractères
Ordre
Commande envoyée sur la liaison série, sur 3 caractères
Paramètre
Format et nombre de caractère dépendent de la commande
Caractère de fin
Caractère de fin de message. Le réglage est le code ASCII 13 <CR> Le carac­
tère <LF> n'est pas pris en compte.
Exemple :
Caractère d'en-tête
Adresse de la pompe
Ordre
Paramètre
Caractère de fin
#
ADR
ODR
XXXX
<CR>
Les réponses
Caractère d'en-tête
Adresse de la pompe
Ordre
Caractère de fin
#
ADR
yyyxxxabc
<CR>
OK
Si tout est OK, ou réponse spécifique à l'ordre transmis
ERR0
Erreur de réglage
ERR1
Erreur d'ordre
ERR2
Erreur de paramètre
ERR3
Erreur d'ordre
ERR4
Erreur checksum
Exemple de dialogue
52/64
Commande
#005ECHON<CR>
Réponse
#005OK<CR>
Annexes
13.4 Liste des commandes du protocole de communication RS-232
ADR : Numéro affecté à la pompe dans la liaison
Paramètres
Limite de réglage
Modifiable pompe arrêtée
adr = Adresse de la pompe avant la commande
aaa = Nouvelle adresse
000-255
ECH : Autorisation de renvoi caractère reçu sur la liaison série
Description
Activé si ECHON
Désactivé si ECHOFF
HDR : Change le caractère d’en-tête de la commande
Paramètres
Limite de réglage
Valeur décimale du code ASCII du caractère.
020 : Correspond à "aucun caractère d’en-tête"
035 : Correspond à # (paramétrage usine)
001-127
IDN : Retourne la version du logiciel du produit en communication avec l’ordinateur
Paramètres
0 = Caractère d’en-tête
1-3 = Adresse
4 = Caractère séparateur
5-19 = Type de surveillance
20-24 = X version logiciel, ZZ édition logiciel
25 = Caractère fin de message
LEV : Etat des paramètres de fonctionnement définis avec la commande SET
Exemple : #adr,A001,A002,B001,B002,C001,C002,D001,D002,E001,E002,F001,F002,G000,
H0000,I0000,J0000,K0000,L0000,M0000,N0000,O001,O002,P001,P002,Q001,Q002<CR>
Paramètres
0 = Caractère d’en-tête
1-3 = Adresse
4 = Caractère séparateur
5-68 = Réservé
69 = Caractère séparateur
70-74 = Intervalle de révision (x 100h)
75 = Caractère séparateur
76-140 = Réservé
141 = Caractère fin de message
SEL : Etat des paramètres de configuration
Exemple : #adr,A,B,C,D,E,F,G,H,I,J,K,L,M,N,O,P,Q,R,S,T<CR>
Paramètres
0 = Caractère d’en-tête
1-3 = Adresse
4 = Caractère séparateur
53/64
Annexes
Paramètres
5-11 = Réservé
12 = Caractère séparateur
13 = Système sélectionné (5 = A 100 L/A 200 L/A 180 L)
14 = Caractère séparateur
15 = Réservé
16-27 = Réservé
28 = Caractère séparateur
29-43 = Réservé
44 = Caractère fin de message
SET : Réglage des paramètres de fonctionnement de la pompe
Exemple : # adrSETXXYZZZZ<CR>
Paramètres
Limite de réglage
XX= 07 Intervalle de révision : A 100 L/A 200 L/A 180 L. 0 = temps x100
0010-0420
ZZZZ= valeur
Exemple : 0010 correspond à 1000 heures
SYS : Démarrage/Arrêt la pompe
SYSON : La pompe démarre
SYSOFF : La pompe s'arrête
STA : Etat de la pompe
Exemple : #adr,ABCDEFGHIJK,L123,M123,N12,O12,P12,Q123,R1,abcdefghijllmnopqrstu,S123<CR>
Paramètres
0 = Caractère d’en-tête
1-3 = Adresse
4 = Caractère séparateur
5 = Etat de la pompe
0 = pompe arrêtée
1= pompe en fonctionnement
6-14 = Réservé
15 = Mode de commande
16 = Caractère séparateur
17-20 = Réservé
21 = Caractère séparateur
22-25 = Réservé
26 = Caractère séparateur
27-29 = Réservé
30 = Caractère séparateur
31-33 = Réservé
34 = Caractère séparateur
35-37 = Réservé
38 = Caractère séparateur
39-42 = Réservé
43 = Caractère séparateur
44-45 = Réservé
46 = Caractère séparateur
54/64
Bit 2,1,0 = 000 = local
Bit 2,1,0, = 001 = distance
Bit 4,5,6 = 0 libre
Bit 7 = toujours 1
Annexes
Paramètres
47-52 = Réservé
53 = Défaut de variateur de fréquence
0 = OK
2 = alarme
54 = Caractère séparateur
55 = Alimentation
0 = OK
2 = défaut (alarme)
56 = Défaut température moteur
0 = OK
1 = alerte
2 = alarme
57-59 = Réservé
60 = Révision
1 = OK
1 = alerte
61-65 = Réservé
66-67 = Libre
68 = Caractère séparateur
69-72 = Réservé
73 = Caractère fin de message
TPE : Définit les temps de maintenance
Exemple : # adr,TPEXXYYYY<CR>
Paramètres
XX = 00 Temps de fonctionnement
XX = 01 Révision du produit
XX = 02 Réservé
XX = 03 Réservé
XX = 04 Réservé
XX = 05 Réservé
XX = 06 Réservé
YYYY = Temps x 100h
TPS : Affiche le temps de maintenance
Exemple : #adr,A1234,B1234,C1234, D1234,E1234,F1234,G1234<CR>
Paramètres
0 = Caractère d’en-tête
1-3 = Adresse
4 = Caractère séparateur
5-9 = Temps de fonctionnement
10 = Caractère séparateur
11-15 = Temps de maintenance atteint (A 100 L/A 200 L/A 180 L)
16-45 = Caractère séparateur
46 = Caractère fin de message
13.5 Paramétrage du protocole de communication RS-485
Les commandes sont identiques à celles de la liaison série RS-232 : liste des commandes (voir chapitre « Liste des commandes du protocole de communication RS-232 », page 53)
Les commandes
Caractère d'en-tête
Le réglage usine est le code décimal 035 du caractère #
Adresse
Numéro affecté à la pompe sur 3 caractères
55/64
Annexes
Ordre
Commande envoyée sur la liaison série, sur 3 caractères
Paramètre
Format et nombre de caractère dépendent de la commande
Caractère de fin
Caractère de fin de message. Le réglage est le code ASCII 13 <CR> Le carac­
tère <LF> n'est pas pris en compte.
Exemple :
Caractère d'en-tête
Adresse de la pompe
Ordre
Paramètre
Caractère de fin
#
ADR
ODR
XXXX
<CR>
Les réponses
Les réponses aux commandes SEL et STA sont en caractères hexadécimaux.
Caractère d'en-tête
Adresse de la pompe
Ordre
Caractère de fin
#
ADR
ABCDEF
<CR>
OK
Si tout est OK, ou réponse spécifique à l'ordre transmis
ERR0
Erreur de réglage
ERR1
Erreur d'ordre
ERR2
Erreur de paramètre
ERR3
Erreur de contexte
ERR4
Erreur checksum
Exemple de dialogue
Commande
#005ECHON<CR>
Réponse
#005OK<CR>
13.6 Liste des commandes du protocole de communication RS-485
Ordre
Description
Fonctions
SEL
Etat des paramètres
de configuration
Exemple : #adr,A,B,C,D,E,F<CR>
SEL
SEL
56/64
A : état des paramètres bit 1
B : état des paramètres bit 2
A1A2A3A4A5A6A7A8 = état des paramètres bit 1*
B1B2B3B4B5B6B7B8 = état des paramètres bit 2*
C1C2C3C4C5C6C7C8 = état des paramètres bit 3*
D1D2D3D4D5D6D7D8 = état des paramètres bit 4*
E1E2E3E4E5E6E7E8 = état des paramètres bit 5*
F1F2F3F4F5F6F7F8 = état des paramètres bit 6*
* nécessite de convertir de hexadécimal à
binaire
Bit
7
6
5
4
3
2
1
0
Reserved
Reserved
Reserved
Reserved
Reserved
Reserved
Reserved
0
-
-
-
-
-
-
-
-
1
1
-
-
-
-
-
-
-
Bit
7
6
5
4
3
2
1
0
Reserved
Reserved
Reserved
Reserved
Reserved
Reserved
Reserved
0
-
-
-
-
-
-
-
-
1
1
-
-
-
-
-
-
-
Annexes
Ordre
Description
Fonctions
SEL
C : état des paramètres bit 3
Bit
SEL
SEL
SEL
D : état des paramètres bit 4
E : état des paramètres bit 5
F : état des paramètres bit 6
7
6
5
4
3
2
1
0
Reserved
Reserved
Reserved
Reserved
Reserved
Reserved
Reserved
Reserved
0
-
-
-
-
-
-
-
-
1
-
-
-
-
-
-
-
-
Bit
7
6
5
4
3
2
1
0
Reserved
Reserved
Reserved
Reserved
Reserved
Reserved
Reserved
Reserved
0
-
-
-
-
-
-
-
-
1
-
-
-
-
-
-
-
-
Bit
7
6
5
4
3
2
1
0
Reserved
Reserved
Reserved
Select
System
Reserved
Reserved
Reserved
-
-
-
0
-
-
-
-
-
1
1
-
-
-
bit 3,2,1,0 = 5 = ADP 100LON
Bit
7
6
5
4
3
2
1
0
Reserved
Reserved
Reserved
Reserved
Reserved
Reserved
Reserved
0
-
-
-
-
-
-
-
-
1
1
-
-
-
-
-
-
-
Ordre
Description
Fonctions
STA
Etat de la
pompe
Exemple :
#adr,A,B,000,000,E,0000,0000,000, 0000,00, abcdef <CR>
A1A2A3A4A5A6A7A8 = bit d’état 1*
B1B2B 3B4B5B6B7B8 = bit d’état 2*
E1E2E3E4E5E6E7E8 = bit d’état 3*
a à f = bit d’alertes et défauts*
* nécessite de convertir de hexadécimal à binaire
STA
STA
STA
STA
A : bit d’état
1
B : bit d’état
2
E : bit d’état
3
a : bit alerte
1
Bit
7
6
5
4
3
2
1
0
0
-
ADP
Reserved
Reserved
Reserved
Reserved
Reserved
Reserved
Pompe à
l'arrêt
-
-
-
-
-
-
1
1
Pompe en
fonctionnement
-
-
-
-
-
-
Bit
7
6
5
4
3
2
1
0
Reserved
Reserved
Reserved
(Free)
(Free)
(Free)
(Free)
0
-
-
-
-
-
-
-
-
1
1
-
-
-
-
-
-
-
Bit
7
6
5
4
3
2
1
0
(Free)
(Free)
(Free)
Reserved
-
-
0
-
-
-
-
-
-
1
1
-
-
-
-
bit 2,1,0 = 000 : mode local
bit 2,1,0 = 001 : mode remote
Bit
7
6
5
4
3
2
1
0
Reserved
(Free)
Reserved
Reserved
Reserved
(Free)
(Free)
0
-
-
-
-
-
-
-
-
1
1
-
-
-
-
-
-
-
57/64
Annexes
Ordre
Description
Fonctions
STA
b : bit alarme 1
Bit
7
0
-
1
Bit
STA
STA
STA
STA
58/64
c : bit alerte
2
d : bit alarme 2
e : bit alerte
3
f : bit alarme
3
6
5
4
3
2
1
0
Reserved
(Free)
Reserved
Reserved
Reserved
(Free)
(Free)
-
-
-
-
-
-
-
1
-
-
-
-
-
-
-
7
6
5
4
3
2
1
0
Reserved
Reserved
Reserved
Reserved
Reserved
Reserved
Reserved
0
-
-
-
-
-
-
-
-
1
1
-
-
-
-
-
-
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Bit
7
6
5
4
3
2
1
0
Reserved
Reserved
Reserved
Reserved
Reserved
Reserved
Variator
0
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OK
1
1
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Alarme
Bit
7
6
5
4
3
2
1
0
Reserved
Reserved
Motor temperature
Reserved
Reserved
Reserved
Maintenance
0
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OK
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0
1
1
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Alerte
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Alerte
Bit
7
6
5
4
3
2
1
0
Reserved
Reserved
Motor temperature
Reserved
Reserved
Reserved
Reserved
0
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-
OK
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1
1
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Alarme
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-
Déclaration de Conformité UK
La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant.
Déclaration pour produit(s) du type :
Pompes Roots Multi-étagées
A 100 L
A 100 L ES
Nous déclarons par la présente que le produit cité satisfait à toutes les exigences applicables des Directives Britanniques suivantes.
Réglementation 2008 (Sécurité) sur la Fourniture de Machines
Réglementation 2016 sur la Compatibilité Electromagnétique
Réglementation 2012 sur la Limitation de l'Utilisation de Certaines Substances Dangereuses dans les Equipements Electriques et Electroniques
Normes et spécifications appliquées :
EN 1012-2 : 2009
EN 61010-1 : 2011
EN 61000-6-2 : 2005
EN 61000-6-4 : 2007
Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitution du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park,
MK169PS Newport Pagnell.
Signature:
Pfeiffer Vacuum SAS
98, avenue de Brogny
74009 Annecy cedex
France
B.P. 2069
(Guillaume Kreziak)
Directeur Général
Annecy, le 31/05/2023
Déclaration d'incorporation de
quasi-machines
Déclaration pour produit(s) du type :
Pompe Roots multi-étagée, compacte
A 100 L
A 100 L ES
Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes.
Machines 2006/42/CE (Annexe II, n° 1 A)
Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE
Normes harmonisées et normes nationales appliquées :
EN 1012-2: 2009
EN 61010-1: 2010
EN 61000-6-2: 2005
EN 61000-6-4: 2007
Ce produit ne doit pas être mis en service avant que la machine finale dans laquelle il doit
être incorporé, ait été déclarée conforme à la Directive machines 2006/42/CE.
Les soussignés s'engagent également à transmettre les informations pertinentes concernant
la (les) quasi-machines(s), en réponse à toute demande motivée de façon adéquate formulée par une autorité nationale.
Le responsable de la constitution du dossier technique est M. d'Harboullé Philippe, Pfeiffer Vacuum SAS, 98, avenue de Brogny B.P. 2069, 74009 Annecy cedex.
Signature:
Pfeiffer Vacuum SAS
98, avenue de Brogny
74009 Annecy cedex
France
B.P. 2069
(Guillaume Kreziak)
Directeur Général
Annecy, le 2023/08/29
63/64
*119404*
Ed 05 - Date 2023/09 - P/N:119404OFR
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