Pfeiffer ATH 2800 / 3200 M_MT Mode d'emploi

Vous trouverez ci-dessous de brèves informations pour ATH 2800 M, ATH 2800 MT, ATH 3200 M, ATH 3200 MT. Ces pompes turbomoléculaires à paliers magnétiques actifs (PMA) sont conçues pour les procédés de dépôt et gravure plasma, de dépôts sur verre et d’autres applications de recherche. Elles se distinguent par leur résistance à la corrosion, leur robustesse et leur capacité de pompage de grand débit de gaz en hautes pressions.

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ATH 2800/3200 M/MT Manuel: AI Chat & PDF Accès | Fixfr
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Fonctionnalités clés

  • Résistance à la corrosion

  • Robustesse élevée

  • Capacité de pompage de grand débit de gaz en hautes pressions

  • Absence de maintenance

  • Versions M et MT disponibles pour différentes applications

Foire aux questions

Ces pompes sont particulièrement adaptées aux procédés de dépôt et gravure plasma, aux procédés de dépôts sur verre et d’autres applications de recherche.

La version MT est équipée d’un système de régulation de la température (TMS) permettant d'éviter la condensation des gaz dans la pompe. Elle est recommandée pour les applications nécessitant une température élevée de la pompe.

En cas de fixation incorrecte, lors d’un blocage inopiné du rotor, la pompe turbomoléculaire se désolidarise de l’équipement et peut provoquer des blessures graves voire mortelles, ainsi que des dommages matériels considérables.

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