Pfeiffer ATH 500 M Mode d'emploi

Vous trouverez ci-dessous de brèves informations sur ATH 500 M, ATH 500 MT. Ces pompes turbomoléculaires à paliers magnétiques actifs sont idéales pour les procédés de dépôt et de gravure plasma, les dépôts sur verre et autres applications de recherche. Elles se distinguent par leur résistance à la corrosion, leur robustesse et leur capacité à pomper de grands débits de gaz à des pressions élevées.

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ATH 500 M/MT : Manuel d'Utilisateur + IA Chat & PDF | Fixfr

Caractéristiques clés

  • Paliers magnétiques actifs (PMA)
  • Résistance à la corrosion (versions spécifiques)
  • Capacité de pompage de grands débits
  • Refroidissement air ou eau
  • Système de régulation de la température (TMS) (version MT)
  • Interface de commande RS-232/RS-485 et REMOTE
  • Conçues pour être intégrées dans des équipements industriels

Questions fréquemment posées

La version M est la version standard pour les applications propres, tandis que la version MT est équipée d'un système de régulation de la température (TMS) pour éviter la condensation des gaz.

La pompe peut être pilotée via la liaison série RS-232/RS-485, le connecteur REMOTE ou avec le boîtier de commande déportable HHR (en option).

Ces pompes sont particulièrement adaptées aux procédés de dépôt et de gravure plasma, aux procédés de dépôts sur verre et à d’autres applications de recherche.
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