Pfeiffer CMR 361/CMR 362/CMR 363/CMR 364/CMR 365 Mode d'emploi

A PASSION FOR PERFECTION
CMR 361 … CMR 365
Jauge capacitive avec capteur en céramique
BG 5136 BFR / C (2019-05)
Manuel de l'utilisateur
Identification du produit
Les indications figurant sur la plaque signalétique du produit
sont nécessaires pour toutes communications à Pfeiffer
Vacuum. Reporter ces indications ci-dessous :
2
BG 5136 BFR / C
(2019-05)
Validité
Ce document est valable pour les produits avec les numéros de
référence :
Type
CMR 361
CMR 362
CMR 363
CMR 364
CMR 365
P/N
Gamme de mesure
min. (0 V)
F.S. (9 V)
max. (9.8 V)
[hPa]
[hPa]
[hPa]
[Pascal]
[Pascal]
[Pascal]
Bride
PT R24 600
tube ½"
PT R24 601
DN 16 ISO-KF
PT R24 602
DN 16 CF-R
10-1
101
1000
100'000
1100
110'000
10-2
100
100
10'000
110
11'000
10-3
10-1
10
1000
11
1100
10-4
-2
10
1
100
1.1
110
10-5
10-3
0.1
10
0.11
11
®
PT R24 603
8 VCR
PT R24 610
tube ½"
PT R24 611
DN 16 ISO-KF
PT R24 612
DN 16 CF-R
PT R24 613
®
8 VCR
PT R24 620
tube ½"
PT R24 621
DN 16 ISO-KF
PT R24 622
DN 16 CF-R
PT R24 623
®
8 VCR
PT R24 630
tube ½"
PT R24 631
DN 16 ISO-KF
PT R24 632
DN 16 CF-R
®
PT R24 633
8 VCR
PT R24 640
tube ½"
PT R24 641
DN 16 ISO-KF
PT R24 642
DN 16 CF-R
PT R24 643
8 VCR
®
Le numéro de référence (No) figure sur la plaque signalétique.
Les illustrations sans indication particulière se réfèrent aux
jauges CMR 361 avec le raccord à vide DN 16 ISO-KF et sont
applicables aux autres raccords à vide par analogie.
Nous nous réservons le droit de réaliser des modifications techniques sans préavis.
Toutes dimensions en mm.
BG 5136 BFR / C
(2019-05)
3
Utilisation prévue
Les jauges capacitives de la série CMR 36X sont des vacuomètres mesurant la pression absolue de gaz dans de différentes
gammes (→  3).
Principe de fonctionnement
Les jauges CMR se composent d'un élément capteur, capacitif,
en céramique et d'un circuit électronique transformant les variations de la capacité en un signal de sortie à tension continue.
Le signal de sortie est linéaire avec la pression à mesurer et
indépendant du type de gaz à mesurer.
Marques de commerce
VCR®
Swagelok Marketing Co.
Brevets
EP 1070239 B1, 1040333 B1
US Patents 6528008, 6591687, 7107855, 7140085
Étendue de livraison
1 jauge CMR 36X
1 palpeur
1 certificat de calibrage
1 manuel de l'utilisateur en allemand
1 manuel de l'utilisateur en anglais
1 manuel de l'utilisateur en français
4
BG 5136 BFR / C
(2019-05)
Sommaire
Identification du produit
Validité
Utilisation prévue
Principe de fonctionnement
Marques de commerce
Brevets
Étendue de livraison
2
3
4
4
4
4
4
1 Sécurité
1.1 Explication des signes
1.2 Qualification du personnel
1.3 Indications concernant la sécurité
1.4 Responsabilité et garantie
6
6
6
7
7
2
Caractéristiques techniques
8
3 Installation
3.1 Raccordement au vide
3.2 Raccordement électrique
13
13
17
4 Fonctionnement
4.1 Indications
4.2 Ajustement de la jauge
4.3 Charger les valeurs par défaut (Factory Reset)
19
19
19
23
5
Démontage
24
6
Maintenance, Réparation
26
7
Retour du produit
27
8
Recyclage
28
Table de conversion
Certificat ETL
29
29
Déclaration CE de conformité
30
Pour des références aux pages de ce document, le
signe (→  XY) est utilisé.
BG 5136 BFR / C
(2019-05)
5
1
Sécurité
1.1
Explication des signes
DANGER
Indications concernant la prévention de dommages corporels
de toute nature.
AVERTISSEMENT
Indications concernant la prévention de dégradations de l'environnement et d'importants dégâts matériels.
Attention
Indications relatives à une manipulation ou un usage corrects.
Le non-respect des instructions peut provoquer des disfonctionnements ou des dégâts matériels mineurs.
Remarque
1.2
Qualification du personnel
Personnel qualifié
Les travaux décrits dans ce document ne peuvent être effectués que par des personnes ayant une formation technique
appropriée et l'expérience nécessaire ou ayant été formées en
conséquence par le détenteur du produit.
6
BG 5136 BFR / C
(2019-05)
1.3
Indications concernant la sécurité
• Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes aux gaz utilisés.
Considérer les réactions possibles entre les matériaux du
produit et les gaz des procédés.
• Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions appropriées concernant toute intervention. Tenir également compte des dispositions de précaution figurant dans ce
document.
• Se renseigner avant le début de l'intervention sur une éventuelle contamination. Observer les prescriptions essentielles
et prendre les précautions afférentes à la manipulation d'éléments contaminés.
Communiquer les indications concernant la sécurité aux autres
utilisateurs.
1.4
Responsabilité et garantie
Pfeiffer Vacuum est dégagée de toute responsabilité et la
garantie devient nulle et non avenue si le détenteur ou une
tierce personne
• n'observe pas les indications figurant dans ce document
• utilise ce produit de manière non conforme à l'utilisation prévue
• modifie ce produit d'une façon quelconque
• utilise le produit avec des accessoires non répertoriés dans la
documentation du produit correspondante.
La responsabilité relative aux gaz utilisés dans les procédés
incombe au détenteur.
Les pannes de la jauge causées par des impuretés ou l'usure
sont exclues de la garantie.
BG 5136 BFR / C
(2019-05)
7
2
Caractéristiques techniques
Gamme de mesure
Précision 1)
PT R24 600 … PT R24 633
PT R24 640 … PT R24 643
Influence de la température sur le
zéro
PT R24 600 … PT R24 623
PT R24 630 … PT R24 633
PT R24 640 … PT R24 643
Influence de la température sur la
gamme
PT R24 600 … PT R24 633
PT R24 640 … PT R24 643
Résolution
Dépendance du type de gaz
Signal de sortie analogique
(mesure)
Gamme de tension
Gamme de mesure
Relation tension – pression
Signaux d'erreur
0.20 % de la mesure
0.50 % de la mesure
0.0050 % F.S./ °C
0.015 % F.S./ °C
0.020 % F.S./ °C
0.01 % de la mesure / °C
0.03 % de la mesure / °C
0.003 % F.S.
aucune
0 … +11 V
+1.0 … +9.8 V
linéaire
< 0.4 V (pas d'alimentation,
erreur du capteur)
> 9.8 V (dépassement au
dessus de la gamme
("overrange"")
Impédance de sortie
< 10 Ω
Impédance chargée minimale
10 kΩ (protégée contre
courts-circuits)
1)
8
→ "Validité"
Non-linéarité, hystérésis, fidélité de reproduction dans la gamme
calibrée avec une température ambiante de 25 °C sans influence
de la température après 2 h de fonctionnement.
BG 5136 BFR / C
(2019-05)
Temps de réponse
PT R24 600 … PT R24 633
PT R24 640 … PT R24 643
Identification de la jauge
30 ms
130 ms
13.2 kΩ résistance contre la
masse alimentation
Alimentation
DANGER
La jauge ne pourra être branchée qu'à des alimentations, appareils de mesure ou systèmes de réglage et de commande répondant aux exigences
pour les basses tensions mises à la masse (SELV).
Il faudra protéger la ligne vers la jauge.
Tension d'alimentation
A la jauge
Ondulation
Courant absorbé
+14 … +30 VDC
≤ 1 Vpp
< 500 mA (courant max. de
mise en service)
Puissance consommée (en fonction de la tension d'alimentation)
Fusible interne
≤ 1.0 W
1 A (à action retardée) à
réarmement automatique
(Polifuse)
La jauge est protégée contre les inversions de polarité de la
tension d'alimentation.
Raccordement électrique
prise d'appareil Hirschmann
type GO 6, 6 pôles, mâle
Câble jauge
5 pôles plus blindage
Longueur du câble
≤ 120 m (conducteurs
0.25 mm²)
Pour des câbles plus longs, des sections plus importantes seront
nécessaires (Rconducteur ≤ 1.0 Ω).
BG 5136 BFR / C
(2019-05)
9
Conception de la terre
Raccord à vide – masse signal
Masse alimentation – masse
signal
Matériaux au contact du vide
Bride, tube
Capteur et diaphragme
Liant capteur – diaphragme
Liant céramique – métal
Volume interne
Pression admissible (absolue)
PT R24 600 … PT R24 603
PT R24 610 … PT R24 633
PT R24 640 … PT R24 643
Pression d'éclatement (absolue)
Températures admissibles
Stockage
Service
Etuvage (jauge hors circuit)
Humidité relative
Utilisation
Protection
10
→ "Raccordement
électrique"
conduites séparément, pour
mesure différentielle (10 Ω)
acier inoxydable AISI 316L
céramique (Al2O3 ≥ 99.5 %)
vitrocéramique
brasure forte AgTiCu,
Vacon 70 (28 % Ni,
23 % Co, 49 % Fe)
≤ 3.6 cm3
300 kPa
200 kPa
130 kPa
500 kPa
–40 °C … +65 °C
+5 °C … +50 °C
≤ 110 °C au raccord à vide
≤ 80 % à températures
≤ +31 °C diminuant à 50 %
à +40 °C
en salle, altitude jusqu'à
2000 m
IP 30
BG 5136 BFR / C
(2019-05)
55
26
44
69
23
Dimensions [mm]
ED½"
DN 16 ISO-KF DN 16 CF-R
8 VCR
femelle
Poids
BG 5136 BFR / C
≤ 370 g
(2019-05)
11
Relation signal de mesure analogique – pression
Pression p [hPa]
1.1
F.S.
1.0
0.9
0.8
0.7
0.6
sensor
sensorerror
error
underrange
underrange
overrange
overrange
0.5
0.4
0.3
0.2
0.1
0
0
0.6
1
2
3
4
5
6
7
8
9
9.8
10
Signal de mesure U [V]
p = (U - 1) × c (F.S.)
c
hPa
Pa
Torr
0.125
12.5
0.094
Exemple : Jauge CMR 361 avec 1000 hPa F.S.
Signal de mesure Uout = 6 V
p = (6 V - 1 V) × 0.125 × 1000 hPa
= 625 hPa
12
BG 5136 BFR / C
(2019-05)
3
Installation
AVERTISSEMENT
AVERTISSEMENT : danger de rupture
Les chocs peuvent détruire le capteur en
céramique.
Ne pas laisser tomber le produit et éviter les chocs
violents.
3.1
Raccordement au vide
DANGER
DANGER : surpression dans le système à vide
> 100 kPa
Si des éléments de serrage sont ouverts lorsque il
règne une surpression dans le système à vide, des
composants peuvent être projetés et causer des
blessures. Des gaz peuvent également s'échapper
et avoir des effets nuisibles pour la santé.
Ne pas ouvrir les éléments de serrage lorsqu'il
règne une surpression dans le système à vide.
Utiliser des éléments de serrage convenables pour
la surpression.
BG 5136 BFR / C
(2019-05)
13
DANGER
DANGER : surpression dans le système à vide
> 250 kPa
Les anneaux d'étanchéité en élastomère (p. ex.
joints toriques) des raccords à brides ne peuvent
pas résister à de telles pressions. Des gaz peuvent
donc s'échapper et avoir des effets nuisibles pour
la santé.
Utiliser des anneaux d'étanchéité pourvus d'un
anneau de centrage extérieur.
DANGER
DANGER : protection par mise à la masse
Les produits mal raccordés à la masse représentent un danger mortel en cas de panne.
La jauge doit être connectée directement à la
chambre à vide mise à la masse. Le raccordement
doit répondre aux exigences d'une connexion de
protection selon la norme EN 61010 :
• Les raccords CF et VCR satisfont à cette
exigence.
• Pour les brides KF il faudra utiliser un anneau
de serrage conducteur.
• Avec le tube ½", satisfaire à cette exigence en
prenant les mesures qui s'imposent.
14
BG 5136 BFR / C
(2019-05)
Attention
Attention : composant à vide
Tout encrassement ou dommage porte atteinte au
fonctionnement du composant à vide.
En utilisant des composants à vide, prendre les
mesures appropriées pour assurer la propreté et la
prévention des dommages éventuels.
Attention
Attention : zone sensible à la pollution
Si le produit ou des composants du produit sont
touchés à mains nues le taux de dégazage est
augmenté.
Porter des gants propres, exempts de peluches et
utiliser des outils propres.
Monter la jauge de sorte qu'elle ne vibre pas. La position
de montage n'est pas imposée mais pour prévenir la
pénétration des particules et des condensats dans la
chambre de mesure, il est préférable de la monter dans
une position horizontale ou debout et d'éventuellement
utiliser un joint avec un anneau de centrage et filtre. Si
l'ajustement de la jauge montée est désirable, il faut
assurer que le commutateur soit accessible pour la
manipulation avec une goupille (→  19).
BG 5136 BFR / C
(2019-05)
15
Retirer le protecteur et raccorder la jauge au système à vide.
Joint avec anneau
de centrage
ou
Protecteur
Joint avec anneau
de centrage et filtre
Elément de serrage
Garder le protecteur.
16
BG 5136 BFR / C
(2019-05)
3.2
Raccordement électrique
S'assurer que la jauge est correctement raccordée au
système à vide (→  13).
DANGER
La jauge ne pourra être branchée qu'à des alimentations, appareils de mesure ou systèmes de réglage et de commande répondant aux exigences
pour les basses tensions mises à la masse (SELV).
Il faudra protéger la ligne vers la jauge.
Les boucles de masse, les différences de potentiel ou
CEM peuvent perturber le signal de mesure. Afin de
garantir une qualité optimale du signal, observer les
instructions de montage suivantes :
• Uniquement raccorder le blindage du câble à la
masse d'un seul côté au moyen du boîtier de la prise.
L'autre extrémité de blindage reste libre.
• Directement raccorder la masse alimentation du bloc
d'alimentation à la masse de protection.
• Employer une entrée de mesure à différentiel (masse
signal et masse alimentation distinctes).
• Différence de potentiel entre la masse alimentation et
le boîtier ≤ 18 V (protection contre la surtension).
BG 5136 BFR / C
(2019-05)
17
 Si vous ne disposez pas d'un câble jauge compatible,
confectionnez en un selon le schéma suivant.
2
+
–
3
1
13K2
4
+
–
1MΩ
100nF
18 V
5
Affectation des contacts
Broche 1 ldentification de Ia jauge
Broche 2 Sortie du signal (mesure)
Broche 3 Masse signal
Broche 4 Alimentation
Broche 5 Masse alimentation
Broche 6 Blindage (châssis)
6
3
2
1
6
5
Prise
côté soudures
4
 Brancher le câble jauge à la jauge et fixer la prise avec la
vis.
 Brancher le câble jauge à l'appareil de mesure.
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BG 5136 BFR / C
(2019-05)
4
Fonctionnement
Mettre la jauge en circuit.
Attendre le temps de réchauffement (au moins 15 minutes, pour
des mesures à haute précision d'au moins 2 heures).
4.1
Indications
Seulement pour réglage des
paramètres par l'usine
RUN
4.2
ZERO
DEL
Etat
Signification
<RUN>
allumée
clignotante
mode de mesure
mode différent, erreur,
hors gamme de mesure
Ajustement de la jauge
La jauge est étalonnée en usine à la verticale (→ "Calibration
Test Report").
Nous recommandons d'ajuster le zéro lors de la première mise en service.
Un service de longue durée et des impuretés peuvent provoquer
une dérive du zéro, et un ajustement périodique du zéro devient
alors nécessaire.
Effectuer le réglage du zéro dans la même position et aux mêmes conditions ambiantes constantes que lors du fonctionnement normal de la jauge.
BG 5136 BFR / C
(2019-05)
19
Le signal de sortie dépend de la position de montage. Le
passage d'une position de montage verticale à une position
horizontale équivaut à :
F.S.
1000 hPa
100 hPa
10 hPa
1 hPa
0.1 hPa
ΔU / 90°
≈ 2 mV
≈ 10 mV
≈ 50 mV
≈ 300 mV
≈ 1.8 V
Si la jauge fonctionne avec un appareil de mesure, le
zéro du système de mesure entier doit être ajusté
moyennant l'appareil de mesure : D'abord ajuster la
jauge puis l'appareil de mesure.
4.2.1
Ajustage du <ZERO>
 Evacuer la jauge jusqu'à une pression selon le tableau
suivant :
F.S.
1100 hPa
110 hPa
11 hPa
1.1 hPa
0.11 hPa
Pression finale recommandée pour
régler le zéro
< 5×10-2 hPa
< 6.65×100 Pa
-3
< 5×10 hPa
< 6.65×10-1 Pa
< 5×10-4 hPa
< 6.65×10-2 Pa
< 5×10-5 hPa
< 6.65×10-3 Pa
< 5×10-6 hPa
< 6.65×10-4 Pa
Si le zéro est ajusté à une pression finale trop haute
(> 25 % de F.S.), le zéro ne peut pas être atteint et la DEL
<RUN> clignote. Dans ce cas il faut restaurer les valeurs
par défaut et procéder de nouveau à l'ajustage du zéro
(→  23).
 Maintenir la jauge en service pendant ≥ 15 minutes
(jusqu'à ce que la valeur mesurée soit stable).
20
BG 5136 BFR / C
(2019-05)
 Appuyer brièvement sur le commutateur <ZERO> avec
une goupille (ø ≤ 1.1 mm). L'ajustage du zéro se fait
automatiquement. La DEL <RUN> clignote jusqu'à ce que
le calibrage soit terminé (durée ≤ 8 s).
Appuyer brièvement
sur le commutateur
max. ø1.1 mm
Quand l'ajustage est terminé, la jauge retourne automatiquement au mode de mesure. La DEL <RUN>
s'allume.
La DEL <RUN> clignote :
• lorsque le transmetteur affiche un signal de sortie négatif
(> 22 mV) pour la pression finale ou
• lorsque le calibrage du zéro a échoué.
4.2.2
Réglage du <ZÉRO> avec fonction de rampe
La rampe permet de régler le zéro pour une pression de référence connue qui se situe dans la gamme de mesure de la
jauge.
BG 5136 BFR / C
(2019-05)
21
Par ailleurs, la rampe permet de régler une valeur offset pour la
courbe caractéristique afin de :
• compenser une valeur offset du système de mesure ou
• générer un zéro légèrement positif pour un convertisseur AN
0 … 10 V.
La valeur offset ne devrait pas être supérieure à 2 % du F.S.
(+160 mV). Une valeur offset supérieure provoque un dépassement de la limite supérieure de la gamme de mesure.
Procédure recommandée pour le réglage de la valeur
offset des systèmes de mesure : → Remarque  20.
 Maintenir la jauge en service pendant ≥ 15 minutes
(jusqu'à ce que la valeur mesurée soit stable).
 Appuyer sur le commutateur <ZERO> avec une goupille
(ø ≤ 1.1 mm) et le maintenir enfoncé. La DEL <RUN>
commence à clignoter. Après 5 s la valeur Zero-Adjust est
modifiée continuellement à partir de la valeur de sortie
(rampe) jusqu'à ce que le commutateur soit relâché ou la
limite de la gamme d'ajustage soit atteinte (max. 25 %
F.S.). La sortie du signal envoie ici le signal avec une
temporisation d'environ 1 s.
Maintenir le commutateur enfoncé
max. ø1.1 mm
22
BG 5136 BFR / C
(2019-05)
 Appuyer de nouveau sur le commutateur <ZERO> :
Réglage précis
dans les 0...3 s :
Changement de
direction dans les
3...5 s :
La valeur Zero-Adjust est modifiée
d'une unité à la fois (appuyer sur le
commutateur ≈ 1 fois par seconde)
L'ajustage Zero-Adjust change de direction (la fréquence du clignotement
DEL <RUN> change brièvement)
Si l'on n'appuie pas sur le commutateur <ZERO> pendant ≥ 5 s, la jauge retourne au mode de mesure.
La DEL <RUN> clignote lorsque la jauge émet un signal de
sortie négatif.
4.3
Charger les valeurs par défaut (Factory Reset)
Tous les paramètres définis ou modifiés par l'utilisateur (par ex.
zéro, filtre) sont réinitialisés aux valeurs standard (valeurs par
défaut).
La réinitialisation aux valeurs par défaut ne peut pas
être annulée.
Chargement des valeurs par défaut :
 Mettre la jauge hors circuit.
 Durant la mise en circuit, appuyer sur le commutateur
<ZÉRO> pendant ≥ 5 secondes.
BG 5136 BFR / C
(2019-05)
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5
Démontage
AVERTISSEMENT
AVERTISSEMENT : danger de rupture
Les chocs peuvent détruire le capteur en
céramique.
Ne pas laisser tomber le produit et éviter les chocs
violents.
DANGER
DANGER : composants contaminés
Les composants contaminés peuvent nuire à la
santé et polluer l'environnement.
Se renseigner avant le début de l'intervention sur
une éventuelle contamination. Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions
afférentes à la manipulation de composants
contaminés.
Attention
Attention : composant à vide
Tout encrassement ou dommage porte atteinte au
fonctionnement du composant à vide.
En utilisant des composants à vide, prendre les
mesures appropriées pour assurer la propreté et la
prévention des dommages éventuels.
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BG 5136 BFR / C
(2019-05)
Attention
Attention : zone sensible à la pollution
Si le produit ou des composants du produit sont
touchés à mains nues le taux de dégazage est
augmenté.
Porter des gants propres, exempts de peluches et
utiliser des outils propres.
 Remettre le système à vide à la pression atmosphérique.
 Mettre la jauge hors circuit.
 Dévisser la vis de fixation et débrancher le câble jauge.
 Démonter la jauge du système à vide et remettre le
protecteur en place.
BG 5136 BFR / C
(2019-05)
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6
Maintenance, Réparation
Dans des conditions de service propres, le produit ne demande
pas de maintenance.
Les pannes de la jauge causées par des impuretés ou
l'usure sont exclues de la garantie.
Nous recommandons un contrôle périodique du zéro
(→  20).
Pfeiffer Vacuum est dégagée de toute responsabilité et la garantie devient nulle et non avenue si des travaux de réparation
sont effectués par le détenteur du produit ou des tiers.
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BG 5136 BFR / C
(2019-05)
7
Retour du produit
AVERTISSEMENT
AVERTISSEMENT : transport de produits contaminés
Les produits contaminés (par des substances
radioactives, toxiques, caustiques ou microbiologiques) peuvent nuire à la santé et polluer
l'environnement.
Les produits qui nous sont envoyés seront dans la
mesure du possible exempts de substances nocives. Observer les prescriptions de transport des
pays et entreprises de transport concernés. Inclure
le "Déclaration sur l'état de contamination"
remplie. *)
*)
Formulaire disponible sur www.pfeiffer-vacuum.com.
En absence de confirmation univoque que le produit est "exempt
de substances nocives", le produit est décontaminé aux frais du
client.
En absence d'une déclaration sur l'état de contamination dûment
remplie, le produit est renvoyé à l'expéditeur à ses frais.
BG 5136 BFR / C
(2019-05)
27
8
Recyclage
DANGER
DANGER : composants contaminés
Les composants contaminés peuvent nuire à la
santé et polluer l'environnement.
Se renseigner avant le début de l'intervention sur
une éventuelle contamination. Observer les
prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes à la manipulation de composants contaminés.
AVERTISSEMENT
AVERTISSEMENT : substances polluantes
Certains produits ou leurs éléments (composants
mécaniques ou électriques, fluides etc.) peuvent
polluer l'environnement.
Eliminer les substances polluantes conformément
à la réglementation locale.
Tri des composants
Après le démontage du produit, trier ses composants selon les
critères suivants :
• Composants contaminés
Décontaminer les composants contaminés (par des substances radioactives, toxiques, caustiques ou microbiologiques) conformément à la réglementation nationale, les
trier en fonction de leurs matériaux et les éliminer.
• Composants non contaminés
Trier ces composants en fonction de leurs matériaux et les
récupérer.
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BG 5136 BFR / C
(2019-05)
Table de conversion
mbar
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr
mm HG
bar
Pa
-3
hPa
kPa
Torr
mm HG
0.75
1
1×10
100
1
0.1
1×103
1
1×105
1×103
100
750
0.01
1
1×10-5
1×10-3
1
100
0.01
1
1×10-3
0.1
7.5×10-3
0.75
10
0.01
1×103
10
1
7.5
1.332
1.332×10-3
133.32
1.3332
0.1332
1
1 Pa = 1 N/m
2
Certificat ETL
ETL LISTED
The products CMR 361 … CMR 365
• conform to the UL Standard
UL 61010-1
3103457
BG 5136 BFR / C
(2019-05)
• are certified to the CSA Standard
CSA C22.2 # 61010-1
29
Déclaration CE de conformité
Par la présente, nous, Pfeiffer Vacuum, déclarons que le produit
ci-après est conforme à la Directive relative à la compatibilité
électromagnétique 2014/30/CE et la Directive relative à la
limitation de l'utilisation de certaines substances dangereuses
dans les équipements électriques et électroniques 2011/65/UE.
Jauge capacitive avec capteur en céramique
CMR 361 … CMR 365
Normes
Normes harmonisées, normes internationales et nationales ainsi
que spécifications :
• EN 61000-6-2:2005 (CEM : Immunité)
• EN 61000-6-3:2007 + A1:2011 (CEM : Émission)
• EN 61010-1:2010 (Règles de sécurité pour appareils électriques
de mesurage, de régulation et de laboratoire)
• EN 61326-1:2013 (Exigences relatives à la compatibilité électro-
magnétique pour matériel électrique de mesure, de commande et de
laboratoire)
Fabricant / Signatures
Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, D-35614 Asslar
Asslar, 18 Avril 2016
Dr. Ulrich von Hülsen
Président
30
BG 5136 BFR / C
(2019-05)
Notes
BG 5136 BFR / C
(2019-05)
31
A PASSION FOR PERFECTION
Un seul fournisseur de
solutions de vide
Dans le monde entier, Pfeiffer Vacuum est reconnu pour
ses solutions de vide innovantes et adaptées, son approche
technologique, ses conseils et la fiabilité de son service.
Une large gamme de
produits
Du composant au système complexe, nous sommes votre
seul fournisseur de solutions de vide offrant une gamme
complète de produits.
Un savoir faire théorique
et pratique
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Contactez-nous :
Pfeiffer Vacuum GmbH
Headquarters ● Germany
Tél. +49 6441 802-0
info@pfeiffer-vacuum.de
www.pfeiffer-vacuum.com
adixen Vacuum Products
France
Tél. +33 (0)4 50 65 77 77
info@adixen.fr
Source : Allemand BG 5136 BFR / C (2019-05)
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