Pfeiffer HPT 200 Mode d'emploi
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MANUEL DE L'UTILISATEUR FR Traduction d'original HPT 200 Jauge Pirani numérique/Bayard Alpert Cher client, Nous vous remercions d’avoir opté pour un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouvelle jauge a été conçue pour vous donner entière satisfaction pour votre application, de par sa conception rigoureuse et son parfait fonctionnement. La marque Pfeiffer Vacuum, synonyme de techniques du vide performantes, se décline en une gamme exhaustive et variée de produits de grande qualité, assortis d’un service client irréprochable. Forts de cette expérience pratique étendue, nous avons compilé une multitude d’informations qui peuvent contribuer à une implémentation efficace et à votre sécurité personnelle. Sachant que notre produit doit vous permettre d’éviter des arrêts de production coûteux, nous sommes confiants qu’il pourra vous offrir une solution pour une implémentation efficace et fiable de votre application individuelle. Veuillez lire ce manuel de l'utilisateur avant de mettre votre produit en service pour la première fois. Si vous avez des questions ou suggestions, n’hésitez pas à nous contacter par e-mail à l’adresse info@pfeiffer-vacuum.de. Vous trouverez d’autres manuels de l'utilisateur de Pfeiffer Vacuum dans le Centre de téléchargement sur notre site Internet. Exclusion de responsabilité Ce manuel d'instructions décrit tous les modèles et variantes de votre produit. Noter que votre produit peut ne pas être équipé de toutes les fonctionnalités décrites dans ce manuel. Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le manuel d'utilisation en ligne peut différer du document imprimé, fourni avec votre produit. D'autre part, Pfeiffer Vacuum n'assume aucune responsabilité pour les dommages résultant d'une utilisation contraire à l'usage prévu, ou d'une utilisation définie comme mauvaise utilisation prévisible. Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum. Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations contenues dans ce document. 2/56 Table des matières Table des matières 1 A propos de ce manuel 1.1 Validité 1.1.1 Documents applicables 1.1.2 Variantes 1.2 Groupe cible 1.3 Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte 1.3.2 Pictogrammes 1.3.3 Autocollants sur le produit 1.3.4 Abréviations 1.4 Justificatif de marque de commerce 7 7 7 7 7 8 8 8 8 9 9 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité 2.2 Consignes de sécurité 2.3 Mesures de sécurité 2.4 Limites d’utilisation du produit 2.5 Utilisation conforme 2.6 Utilisations non conformes prévisibles 10 10 10 12 13 13 13 3 Description du produit 3.1 Fonction 3.1.1 Mode de fonctionnement de la jauge 3.1.2 Systèmes de mesure 3.1.3 Gamme de mesure 3.1.4 Système de mesure Bayard-Alpert 3.1.5 Système de mesure Pirani 3.2 Identification du produit 3.3 Étendue de la livraison 15 15 15 15 15 16 16 17 17 4 Transport et stockage 4.1 Transport du produit 4.2 Stockage du produit 18 18 18 5 Installation 5.1 Raccord à vide 5.2 Création de la connexion « RS-485 » 19 19 20 6 Interfaces 6.1 Interface RS-485 6.2 Protocole Pfeiffer Vacuum pour l’interface RS-485 6.2.1 Cadre télégramme 6.2.2 Description du télégramme 6.2.3 Télégramme exemple 1 6.2.4 Télégramme exemple 2 6.2.5 Types de données 23 23 23 23 24 24 24 24 7 Ensemble de paramètres 7.1 Généralités 7.2 Aperçu des paramètres de la jauge HPT 7.3 Instructions de réglage 7.4 Requêtes d’état 7.5 Valeurs de pression et facteurs de correction 26 26 26 27 27 28 8 Fonctionnement 8.1 Sélection des gammes de commutation 8.2 Détermination de la pression efficace avec des facteurs de correction 29 30 31 3/56 Table des matières 8.3 8.4 8.5 8.6 4/56 Activation/désactivation du filament HIMS Lecture et réglage du relais et des points de commutation Exécution du dégazage Étuvage de la jauge 32 33 33 34 9 Démontage 35 10 Maintenance 10.1 Nettoyage des composants 10.2 Calibration de la jauge 10.3 Remplacement du système de mesure 37 37 38 39 11 Anomalies 41 12 Expédition 42 13 Recyclage et mise au rebut 13.1 Informations générales sur la mise au rebut 13.2 Mise au rebut des jauges 43 43 43 14 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 44 15 Pièces de rechange 46 16 Accessoires 16.1 Informations sur l’accessoire 16.2 Commande d’accessoires 47 47 47 17 Caractéristiques techniques et dimensions 17.1 Généralités 17.2 Fiche technique 17.3 Dimensions 49 49 49 51 Déclaration de conformité CE 53 Déclaration de Conformité UK 54 Liste des tableaux Liste des tableaux Tab. 1: Tab. 2: Tab. 3: Tab. 4: Tab. 5: Tab. 6: Tab. 7: Tab. 8: Tab. 9: Tab. 10: Tab. 11: Tab. 12: Tab. 13: Tab. 14: Tab. 15: Tab. 16: Tab. 17: Tab. 18: Tab. 19: Tab. 20: Tab. 21: Tab. 22: Tab. 23: Tab. 24: Tab. 25: Tab. 26: Documents applicables Variantes Abréviations utilisées Conditions ambiantes autorisées Caractéristiques de l’interface RS-485 Explication et signification des paramètres Aperçu des paramètres de la jauge HPT Jeu de paramètres | Instructions de réglage Jeu de paramètres | Requêtes d’état Ensemble de paramètres | Valeurs de pression et facteurs de correction Affichage du mode de travail via la LED « état appareil » Facteur de correction pour le fonctionnement avec Pirani uniquement Facteurs de correction pour HIMS Conditions d’activation/de désactivation, à l’aide de la gamme de commutation trans_HIGH Anomalies Pièces de rechange Accessoires Tableau de conversion : unités de pression Tableau de conversion : unités de débit de gaz Valeurs de mesure et de pression Données électriques Interface RS-485 Brides de raccordement et poids Conditions ambiantes Températures Substances en contact avec le fluide 7 7 9 13 23 26 26 27 27 28 29 31 32 32 41 46 48 49 49 49 49 50 50 50 50 50 5/56 Liste des figures Liste des figures Fig. 1: Fig. 2: Fig. 3: Fig. 4: Fig. 5: Fig. 6: Fig. 7: Fig. 8: Fig. 9: Fig. 10: Fig. 11: Fig. 12: Fig. 13: Fig. 14: 6/56 Structure de la jauge HPT Configuration de mesure Conception du système de mesure Bayard-Alpert Raccord à vide Interconnexion via la connexion RS-485 en utilisant les câbles de raccordement et les accessoires Interconnexion via la connexion RS-485 en utilisant OmniControl Affectation des raccordements du connecteur RS-485 Exemples de lecture des valeurs de pression actuelles via [P:740] Sélection des gammes de commutation Courbe de mesure en cas de fonctionnement avec jauge Pirani uniquement et avec facteurs de correction Remplacement du système de mesure HPT 200 avec DN 25 ISO-KF HPT 200 avec DN 40 ISO-KF HPT 200 avec DN 40 CF-F 15 15 16 20 21 21 23 29 30 31 39 51 51 52 A propos de ce manuel 1 A propos de ce manuel IMPORTANT Bien lire avant d'utiliser le produit. Conserver ce manuel pour une future utilisation. 1.1 Validité Ce document décrit la fonction des produits de la liste suivante et contient les informations les plus importantes pour une utilisation sécurisée. La description est rédigée conformément aux directives en vigueur. Les informations contenues dans ce document correspondent à l'état de développement actuel des produits. Le document conserve sa validité à condition que le client n'apporte aucune modification au produit. 1.1.1 Documents applicables Désignation Document Manuel de l’utilisateur de « l’appareil de commande » OmniControl PT 0670 Déclaration de conformité Un composant de ce manuel de l’utilisateur Tab. 1: Documents applicables Vous trouverez ces documents dans le Centre de téléchargement Pfeiffer Vacuum. 1.1.2 Variantes Ce document s’applique à tous les produits avec les références suivantes : Référence Désignation PT R39 140 HPT 200, DN 25 ISO-KF PT R39 150 HPT 200, DN 40 ISO-KF PT R39 350 HPT 200, DN 40 ISO-CF-F Tab. 2: Variantes La référence de pièce est disponible sur la plaque signalétique du produit. Pfeiffer Vacuum se réserve le droit d’apporter des modifications techniques sans préavis. Les informations concernant un seul des produits sont indiquées comme telles. Les figures de ce document ne sont pas à l’échelle. Les graphiques sans légende reflètent le produit équipé d’un raccord à vide DN 40 ISO-KF. Ils s’appliquent cependant aussi aux autres raccords à vide. Les dimensions sont indiquées en mm, sauf avis contraire. 1.2 Groupe cible Ce manuel d'utilisation s’adresse à toutes les personnes en charge ● ● ● ● ● ● du transport, de l'installation, de la commande et de l'utilisation, de la mise hors service, de la maintenance et du nettoyage, du stockage et du recyclage du produit. Les opérations décrites dans ce document doivent uniquement être effectuées par un personnel doté de la formation technique nécessaire (personnel qualifié), ou ayant suivi une formation correspondante de Pfeiffer Vacuum. 7/56 A propos de ce manuel 1.3 Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes. Action unique Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape. ► Il s'agit d’une étape unique. Action en plusieurs étapes Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique. 1. Étape 1 2. Étape 2 3. ... 1.3.2 Pictogrammes Les pictogrammes utilisés dans ce document indiquent des informations utiles. Remarque Conseil Portez des gants de laboratoire Contrôlez visuellement 1.3.3 Autocollants sur le produit Cette section décrit tous les autocollants sur le produit ainsi que leurs significations. Plaque signalétique La plaque signalétique se trouve à l’arrière de l’appareil. D-35614 Asslar Mod. HPT 200 P/N PT R39 xxx S/N 12345678 Range 5.0x10 -10 - 1000 hPa Input 24 V DC 9 W Made in Germany 2023/01 8/56 A propos de ce manuel 1.3.4 Abréviations Abréviation Explication AR Analogique/Relais ATM Atmosphère BA Bayard-Alpert C Facteur de correction pour le calcul de la pression des gaz autres que l’air Sensibilité du système de mesure Bayard-Alpert pour l’azote EC Collecteur d’électrons F Filament chauffé FKM Caoutchouc fluoré HIMS Système de mesure d’ionisation à cathode chaude HV Vide élevé IC Collecteur d’ions DEL Diode électroluminescente LPS Source de puissance limitée MSL Niveau moyen de la mer p Pression P Pirani PE Terre de protection (conducteur de protection) TBTP Très basse tension de protection U Signal de mesure [V] (tension de sortie) Tab. 3: 1.4 Abréviations utilisées Justificatif de marque de commerce ● Binder® est une marque déposée de Franz Binder GmbH + Co. Elektrische Bauelemente KG. 9/56 Sécurité 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit : DANGER Danger direct et imminent Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVERTISSEMENT Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger ATTENTION Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVIS Obligation ou signalement Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure physique. ► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le produit ou le présent document. 2.2 Consignes de sécurité Consignes de sécurité selon les étapes de la vie du produit Toutes les consignes de sécurité de ce document sont basées sur les résultats d’une évaluation des risques. Pfeiffer Vacuum a pris en compte toutes les étapes pertinentes de la vie du produit. Risques lors de l’installation DANGER Danger de mort par électrocution Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie. ► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé. ► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. (Les raccordement CF et VCR remplissent ces conditions.) ► Utilisez des anneaux de centrage et des circlips à couche conductrice pour les raccordements KF. 10/56 Sécurité DANGER Danger de mort en raison des tensions de contact dangereuses Les tensions supérieures à 30 V (CA) ou 60 V (CC) sont considérées comme dangereuses selon la norme EN 61010. Un contact avec une tension de contact dangereuse entraîne un risque de blessures ou un danger de mort par choc électrique. ► Raccordez le produit seulement aux appareils qui remplissent les critères suivants : ● Conditions de tension extra-basse de protection de terre (PELV) ● Source de puissance limitée (LPS) classe 2 ► Fixez la ligne sur le produit. – Les équipements de contrôle et de mesure Pfeiffer Vacuum remplissent ces conditions. DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Lors de l’application de tensions dépassant la très basse tension de sécurité spécifiée (conformément à IEC 60449 et VDE 0100), les mesures isolantes sont détruites. Danger de mort en cas d’électrocution au niveau des interfaces de communication. ► Connecter uniquement des appareils appropriés au système de bus. Risques pendant le fonctionnement DANGER Danger de mort dû au choc électrique causé par la pénétration d’humidité La pénétration d’eau dans l’unité cause des blessures aux personnes par chocs électriques. ► Utilisez seulement l’unité dans un environnement sec. ► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité. ► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, contactez Pfeiffer Vacuum Service. ► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité. AVERTISSEMENT Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant être également toxique. Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique. ► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide. ► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression. ► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un anneau de serrage). ► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur. Risques pendant la maintenance DANGER Danger de mort dû au choc électrique causé par la pénétration d’humidité La pénétration d’eau dans l’unité cause des blessures aux personnes par chocs électriques. ► Utilisez seulement l’unité dans un environnement sec. ► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité. ► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, contactez Pfeiffer Vacuum Service. ► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité. 11/56 Sécurité AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. AVERTISSEMENT Risques pour la santé dus aux agents nettoyants Les détergents utilisés peuvent nuire à la santé et causer un empoisonnement, des allergies, une irritation de la peau, des brûlures chimiques ou endommager les voies respiratoires. ► Respectez les réglementations en vigueur pour la manipulation des agents nettoyants. ► Respectez les mesures de sécurité concernant la manipulation et la mise au rebut des agents nettoyants. ► Attention aux réactions potentielles avec les matériaux du produit. Risques liés à l’expédition AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement par produits contaminés L’expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la santé et l’ sécurité du personnel de maintenance. ► Conforme aux instructions pour une distribution en toute sécurité. Risques pendant la mise au rebut AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. 2.3 Mesures de sécurité Le produit est conçu sur la base des technologies les plus récentes et des règles techniques de sécurité reconnues. Cependant, une utilisation incorrecte peut présenter un risque de blessure ou un danger de mort pour l'opérateur et toute autre personne, ainsi qu'un risque de dommages matériels sur le produit et autres. Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit. Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document. 12/56 Sécurité Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit d'origine ou installe un équipement supplémentaire ● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives européennes applicables avant de mettre en service ce système. Mesures de sécurité générales lors de la manipulation du produit ► Respectez toutes les dispositions de sécurité et de prévention des accidents en vigueur. ► Contrôlez régulièrement que toutes les mesures de sécurité sont respectées. ► Les consignes de sécurité doivent être transmises aux autres utilisateurs. ► N'exposez aucune partie du corps au vide. ► Assurez toujours un raccordement sûr au conducteur de terre (PE). ► Ne débranchez jamais les fiches de raccordement en cours de fonctionnement. ► Respectez les procédures d’arrêt ci-dessus. ► Tenez les conduites et les câbles éloignés des surfaces chaudes (> 70 °C). ► N'effectuez pas vous-même de conversions ou de modifications de l'appareil. ► Consultez le degré de protection de l’unité avant son installation ou fonctionnement dans d’autres environnements. ► Mettez en place des équipements de protection adaptés contre tout contact physique si la température de surface dépasse 70 °C. ► Il convient de toujours s'informer d'éventuelles contaminations avant de commencer à travailler. 2.4 Limites d’utilisation du produit Paramètre Valeur Pression d’air 800 à 1060 hPa Humidité relative de l’air À des températures atteignant +30 °C, 80 % max. À des températures atteignant +40 °C, 50 % max. sans condensation Orientation de montage Arbitraire Usage En intérieur uniquement Altitude maximum de l’installation 2 000 m NN Degré de protection IP54 Tab. 4: 2.5 Conditions ambiantes autorisées Utilisation conforme La jauge HPT 200 est utilisée pour la mesure du vide de l’air, des gaz et des jauges en dehors de leurs limites d’explosion, dans la gamme de 5 × 10-10 à 1000 hPa. Utilisation du produit conformément à son usage prévu ► Faites fonctionner la jauge avec un appareil de commande et de mesure de pression totale Pfeiffer Vacuum ou avec un appareil d'évaluation fournie par le client. ► Installez, mettez en fonctionnement et entretenez la jauge conformément à ce manuel de l'utilisateur. ► Observez les limites d’utilisation indiquées dans la fiche technique. ► Observer la fiche technique. 2.6 Utilisations non conformes prévisibles Toute utilisation non conforme du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité. Toute utilisation non conforme à l’objectif du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée comme non réglementaire, en particulier : Une utilisation du produit non spécifiée par Pfeiffer Vacuum affecte la protection fournie par le produit. 13/56 Sécurité ● Utilisation hors des limites mécaniques et électriques d’utilisation ● Utilisation avec des substances corrosives ou explosives, si cette utilisation n’est pas explicitement autorisée ● Utilisation pour la mesure de gaz combustibles ou hautement inflammables lorsqu’ils sont mélangés à un agent oxydant (comme l’oxygène atmosphérique) dans les limites explosives ● Utilisation en extérieur ● Utilisation suite à des modifications techniques (à l’intérieur ou à l’extérieur du produit) ● Utilisation avec des accessoires ou pièces de rechange inappropriés ou non approuvés 14/56 Description du produit 3 Description du produit 3.1 Fonction 3 RS485 2 device status 1 RS485 15 3 adr 13 5 11 7 9 1 Fig. 1: Structure de la jauge HPT 1 Commutateur sélectif de l’adresse RS-485 2 LED d’état de la jauge 3.1.1 3 Raccord « RS-485 » Mode de fonctionnement de la jauge Le système de mesure Pirani est toujours activé. Le signal de mesure Pirani sert à activer et désactiver le HIMS, protégeant ainsi le HIMS contre une contamination excessive ou une brûlure. Vous pouvez sélectionner 3 seuils différents d’activation/désactivation. Si la pression mesurée est supérieure au seuil d’activation, le HIMS reste désactivé et la valeur de mesure Pirani apparaît en tant que signal de sortie. La jauge active le HIMS contrôlé par le système de mesure Pirani seulement quand la valeur descend en dessous du seuil d’activation pon. La cathode froide est prête pour l’utilisation après quelques secondes de temps de démarrage. La DEL « État appareil » est allumée en continu et la valeur mesurée sur la cathode chaude est présente à la sortie. Si la pression dépasse le seuil de désactivation poff, la jauge désactive le HIMS et la DEL « État appareil » s’éteint. La valeur mesurée Pirani apparaît à nouveau à la sortie. 3.1.2 Systèmes de mesure La jauge a deux systèmes de mesure : ● Système de mesure Pirani (zone de contrôle) ● Système de mesure d’ionisation à cathode chaude (HIMS) selon Bayard-Alpert (BA) 3.1.3 Gamme de mesure La jauge couvre la gamme de mesure de 5 × 10-10 à 1000 hPa. La jauge a une caractéristique continue sur tout le domaine. Le signal de mesure dépend de la pression sur tout le domaine selon une échelle logarithmique. Dans un domaine de chevauchement défini, la jauge émet un signal mixte des deux systèmes de mesure. Au-dessus de ce, la jauge émet seulement le signal Pirani, en dessous, seulement le signal de la cathode chaude. La jauge applique la configuration de mesure optimale pour le domaine de pression respectif. er P low P on P of Hot cathode 5 × 10 -10 Fig. 2: hPa f Pirani P r pe up 1000 hPa Configuration de mesure 15/56 Description du produit Le point de commutation Pon correspond au point auquel le HIMS se met en marche lorsque la pression diminue. Le point de commutation Poff correspond au point auquel le HIMS est désactivé lorsque la pression augmente. La zone de transition entre Pupper et Plower est la plage de pression dans laquelle la jauge utilise proportionnellement à la fois le système de mesure Pirani et le HIMS pour déterminer la pression. La proportion de Pirani diminue lorsque la pression diminue. Dans la position de commutation « dure », la commutation entre Pirani et HIMS est immédiate, sans transition. 3.1.4 Système de mesure Bayard-Alpert Le système d'électrodes selon Bayard-Alpert est conçu pour une limite de rayons X basse. Les électrons émis par le filament (F1 ou F2) ionisent un nombre de molécules proportionnel à la pression dans la chambre de mesure. Le collecteur d’ions (IC) acquière le courant d’ions I+ ainsi généré et l’injecte dans l’amplificateur de l’électromètre dans le système électronique de la jauge. Le courant d’ions dépend du courant d’émission Ie, du type de gaz et de la pression de gaz p selon la relation suivante : I+ = Ie × p × C Le facteur C désigne la sensibilité de la jauge. Déterminé pour l'azote (N2), il est pris en compte pour le signal de sortie qui dépend logarithmiquement de la pression. La limite de mesure basse est de 5 × 10-10 hPa. Afin de couvrir de manière significative toute la plage de 5 × 10-10 à 1 × 10-2 hPa, le courant d'émission et l'amplification du signal sont adaptés au domaine de pression. Dans le domaine des hautes pressions, on utilise des courants d'émission faibles, tandis que dans la gamme des basses pressions, on utilise des courants d'émission élevés. Après la commutation, la valeur de la pression reste inchangée pendant une courte période, jusqu'à ce que la nouvelle condition se soit stabilisée. La jauge est munie de deux filaments. En cas de défaillance du premier filament, une permutation automatique vers le second filament se produit. IC EC F F! EC F F! IC VFIL Fig. 3: VAN Conception du système de mesure Bayard-Alpert F1 und F2 Filaments 1 et 2 (cathodes chaudes) IC Collecteur d’ions (collecteur) EC Collecteur d’électrons (grille d’anode) 3.1.5 VFIL VAN Tension de référence du filament Tension sur l’anode Système de mesure Pirani La conductivité de chaleur des gaz dépend de la pression dans certaines limites. Ce phénomène physique est utilisé dans un manomètre à vide à conduction thermique Pirani pour mesurer la pression. Un circuit de pontage à calibrage automatique est utilisé comme circuit de mesure. Un fil fin en tungstène est l’élément de mesure réel. Avec un circuit de commande approprié, la résistance du fil et donc sa température sont maintenues constantes. La puissance électrique alimentant le fil est une mesure de la chaleur dissipée dans le gaz par la conduction de la chaleur et donc une mesure pour la pression de gaz. Lorsque la pression augmente, la convection et d'autres effets viennent toujours plus se superposer à la dissipation de chaleur. En d’autres termes, dans la plage >100 hPa, le système de mesure Pirani ne permet plus d'effectuer des mesures de pression précises. 16/56 Description du produit 3.2 Identification du produit Toutes les données de la plaque signalétique sont nécessaires pour identifier assurément le produit pour toute communication avec Pfeiffer Vacuum. ► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, conservez toujours à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique. 3.3 Étendue de la livraison ● Jauge ● Manuel de l’utilisateur Déballage du produit et contrôle du contenu de la livraison 1. Déballer le produit. 2. Déposez les sécurités et les protections pour le transport, etc. 3. Rangez les sécurités et les protections pour le transport dans un endroit sûr. 4. Vérifier que toutes les pièces sont présentes. 5. Contrôler qu'aucune pièce n'a été endommagée. 17/56 Transport et stockage 4 Transport et stockage 4.1 Transport du produit AVIS Dégâts causés par un transport incorrect Un transport dans un emballage incorrect ou la non-installation de tous les verrous de transport peut endommager le produit. ► Conforme aux instructions pour un transport en toute sécurité. Emballage Nous recommandons de conserver l’emballage de transport et de protection d’origine. Transporter le produit en toute sécurité ► Observez le poids spécifié sur l’emballage de transport. ► Dans la mesure du possible, transportez ou expédiez toujours le produit dans son emballage d’origine de transport. ► Utilisez toujours un emballage compact qui protège le produit des chocs. ► Retirez le cache de protection et les dispositifs protecteurs de transport seulement juste avant l’installation. ► Avant chaque transport, les blocages et les protections correspondants doivent être remontés. 4.2 Stockage du produit AVIS Risque de détériorations causées par un entreposage incorrect Un entreposage incorrect provoquera des dégâts sur le produit. Les charges statiques, l’humidité, etc., provoquent des défauts sur les composants électroniques. ► Conforme aux instructions pour un entreposage en toute sécurité. Emballage Nous recommandons de stocker le produit dans son emballage d'origine. Stocker le produit en toute sécurité ► Conservez le produit dans un endroit frais, sec et sans poussière, où il n’est pas soumis à des chocs ni à des vibrations mécaniques. ► Utilisez toujours un emballage compact qui protège le produit des chocs. ► Dans la mesure du possible, stockez le produit dans son emballage d’origine. ► Stockez les composants électroniques dans un emballage antistatique. ► Maintenez la température d’entreposage admissible. ► Évitez les fortes variations de températures ambiantes. ► Évitez un taux d’humidité élevé dans l’air. ► Fermez les raccords avec les bouchons de protection d’origine. ► Protégez le produit avec les protections de transport d’origine (si disponibles). 18/56 Installation 5 Installation 5.1 Raccord à vide DANGER Danger de mort par électrocution Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie. ► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé. ► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. (Les raccordement CF et VCR remplissent ces conditions.) ► Utilisez des anneaux de centrage et des circlips à couche conductrice pour les raccordements KF. AVERTISSEMENT Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant être également toxique. Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique. ► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide. ► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression. ► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un anneau de serrage). ► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur. AVIS Défaillance due à la contamination et à la détérioration Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts nuisent au fonctionnement. ► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux sur les installations ultra-vide ou à vide élevé. ► Utilisez uniquement des outils propres. ► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse. ► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire. ► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé. Conditions préalables ● Conditions ambiantes appropriées ● Température de fonctionnement dans la plage permissible ● Espace disponible suffisant pour le raccordement électrique (p. ex., rayon de courbure permissible des câbles) 19/56 Installation 1 2 5 3 4 Fig. 4: Raccord à vide 1 Joint avec anneau de centrage 2 Jauge 3 Obturateur de protection 4 5 Joint avec anneau de centrage et filtre Pièce de serrage Recommandations 1. Dans la mesure du possible, vérifiez que la jauge n’est pas soumise à des vibrations pendant le fonctionnement. Ces vibrations entraînent des déviations dans les valeurs mesurées. 2. Vérifiez que le bouton et l’interrupteur de la gamme d'activation et de désactivation de la jauge sont facilement accessibles une fois qu’ils ont été montés. 3. Montez la jauge dans une orientation de montage horizontale à verticale (bride tournée vers le bas). – Ceci prévient toute accumulation de condensats et de particules dans la chambre de mesure. 4. Utilisez un joint métallique comme joint de bride de vide ; les joints en plastique (comme le FKM) peuvent déjà dégrader la précision de la mesure dans la gamme de pression de 10-6 hPa en raison de l’émission de gaz. 5. Enlevez temporairement l’unité électronique de la jauge lorsque l’installation est seulement possible après le démontage de l’unité électronique. – Ceci facilitera l’assemblage du raccord à bride CF. Procédure 1. Retirez l’obturateur de protection et rangez-le dans un endroit sûr. 2. Assemblez sur le système de vide la jauge avec les composants de vide de la boutique des composants Pfeiffer Vacuum. 5.2 Création de la connexion « RS-485 » DANGER Danger de mort en raison des tensions de contact dangereuses Les tensions supérieures à 30 V (CA) ou 60 V (CC) sont considérées comme dangereuses selon la norme EN 61010. Un contact avec une tension de contact dangereuse entraîne un risque de blessures ou un danger de mort par choc électrique. ► Raccordez le produit seulement aux appareils qui remplissent les critères suivants : ● Conditions de tension extra-basse de protection de terre (PELV) ● Source de puissance limitée (LPS) classe 2 ► Fixez la ligne sur le produit. – Les équipements de contrôle et de mesure Pfeiffer Vacuum remplissent ces conditions. 20/56 Installation AVIS Dommages matériels liés à la mise à la masse des composants électroniques La déconnexion ou la connexion du connecteur mâle-femelle « RS-485 » quand l’alimentation de tension est commutée va entraîner la destruction des composants électroniques. ► Coupez toujours l’alimentation de tension avant de connecter ou de déconnecter le connecteur d’alimentation électrique « RS-485 ». ► Couper le bloc d’alimentation. ► Après avoir désactivé l’unité de courant, attendez la dispersion complète de la charge résiduelle avant de déconnecter ou de connecter le connecteur mâle-femelle. L’interface désignée « RS-485 » est utilisée pour la connexion d’une unité de courant externe (TPS), d’un appareil de commande ou d’un PC. Outils nécessaires ● Tournevis à encoche 1 4 3 2 1 2 2 1 Fig. 5: 5 2 Interconnexion via la connexion RS-485 en utilisant les câbles de raccordement et les accessoires 1 Câble d’alimentation de l’unité de courant 2 Connecteur en Y pour RS-485 3 Câble d’interface M12 4 5 Convertisseur USB/RS-485 PC 2 3 1 2 Fig. 6: 1 1 2 1 Interconnexion via la connexion RS-485 en utilisant OmniControl 1 Connecteur en Y pour RS-485 2 Câble d’interface M12 3 Appareil de commande OmniControl Configurez l’adresse RS-485 1. Retirez le connecteur en caoutchouc du commutateur d’adresse RS-485. 2. Configurez l’adresse RS-485 avec le commutateur d’adresse RS-485 de la jauge. 3. Remettez en place le connecteur en caoutchouc sur le commutateur d’adresse RS-485. 21/56 Installation Assurer le degré de protection de la jauge ► Après avoir réglé l’adresse RS-485, replacez le bouchon en caoutchouc sur le sélecteur d’adresse RS-485 pour établir le degré de protection spécifié. Interconnexion via la connexion RS-485 1. Installez les appareils conformément à la spécification pour les interfaces RS-485. 2. Veillez à ce que tous les appareils raccordés au bus disposent d’une adresse RS-485 différente. 3. Raccordez au bus tous les appareils avec RS-485 D+ et RS-485 D-. Raccorder des unités de commande et d’affichage Pfeiffer Vacuum ou un PC ► Utilisez un câble de raccordement de la gamme des accessoires DigiLine. ► Ne connectez qu’un seul contrôleur de commande externe à l’interface RS-485 à la fois. ► Si nécessaire, raccordez un PC via le convertisseur USB/RS-485. 22/56 Interfaces 6 Interfaces 6.1 Interface RS-485 DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Lors de l’application de tensions dépassant la très basse tension de sécurité spécifiée (conformément à IEC 60449 et VDE 0100), les mesures isolantes sont détruites. Danger de mort en cas d’électrocution au niveau des interfaces de communication. ► Connecter uniquement des appareils appropriés au système de bus. La jauge communique via l’interface « RS-485 ». La jauge contient les adresses 1 à 16. Désignation Valeur Interface série RS-485 Vitesse de transmission en baud 9600 Baud Longueur de mot 8 bit Parité aucune (pas de parité) Bits d’arrêt 1 Tab. 5: 5 1 4 Caractéristiques de l’interface RS-485 2 3 Fig. 7: Affectation des raccordements du connecteur RS-485 1 RS-485 D+ 2 +24 V DC 3 GND 4 5 RS-485 Dnon raccordé 6.2 Protocole Pfeiffer Vacuum pour l’interface RS-485 6.2.1 Cadre télégramme Le cadre télégramme du protocole Pfeiffer Vacuum contient uniquement des caractères ASCII [32; 127], à l’exception du caractère final du télégramme CR. De manière générale, un host (par ex. un PC) envoie un télégramme, auquel un device (par ex. unité de commande électronique ou jauge) va répondre. a2 a1 a0 * 0 n2 n1 n0 l1 l0 dn … d0 c2 c1 c0 CR a2 – a0 Adresse de l’unité pour device ● Adresse individuelle de l’unité ["001";"016"] * Action selon la description du télégramme n2 – n0 Numéros de paramètre Pfeiffer Vacuum I1 – I0 Longueur de données dn à d0 dn – d0 Données dans le type de données correspondant (voir chapitre « Types de données », page 24). c2 – c0 Somme de contrôle (somme des valeurs ASCII des cellules a2 à d0) modulo 256 CR Retour à la ligne (ASCII 13) 23/56 Interfaces 6.2.2 Description du télégramme Interrogation des données --> ? a2 n2 n1 a1 a0 0 0 Instruction de réglage a2 a1 a0 1 --> ! n2 n1 0 n0 0 2 = l1 l0 dn … n0 Réponse des données / instruction de réglage comprise a2 a1 a0 1 0 Message d’erreur a2 a1 a0 1 0 n2 NO_DEF _RANGE _LOGIC 6.2.3 ? c2 c1 c0 cR d0 c2 c1 c0 cR c2 c1 c0 cR c1 c0 cR --> n2 n1 n0 l1 l0 dn … d0 0 6 N O _ D E F _ R A N G E _ L O G I C --> n1 n0 c2 Le numéro de paramètre n2–n0 n’existe plus Donnée dn–d0 en-dehors de la plage autorisée Erreur d'accès logique Télégramme exemple 1 Rechercher la valeur de pression Pression mesurée actuelle (paramètre [P:740], adresse du dispositif device : « 001 ») --> ? ASCII 0 0 1 0 0 7 4 0 0 2 = ? 1 0 6 cR 48 48 49 48 48 55 52 48 48 50 61 63 49 48 54 13 Réponse aux données : pression mesurée 1 × 10+3 hPa en exposant 1E+3 Pression mesurée actuelle (paramètre [P:740], adresse du dispositif device : « 001 ») --> 0 0 1 1 0 7 4 0 0 6 1 0 0 0 2 3 0 2 5 cR ASCII 48 48 49 49 48 55 52 48 48 54 49 48 48 48 50 51 48 50 53 13 c0 cR 6.2.4 Télégramme exemple 2 Instruction incorrecte Instruction incorrecte (paramètre [P:888], adresse d'appareil device : « 005 » --> ! ASCII 0 0 5 1 0 8 8 8 0 3 1 3 0 48 48 53 49 48 56 56 56 48 51 49 51 48 c2 c1 13 Instruction inconnue Instruction incorrecte (paramètre [P:888], adresse d'appareil device : « 005 » --> 0 0 5 1 0 8 8 8 0 6 N O _ D E F ASCII 48 48 53 49 48 56 56 56 48 54 78 79 95 68 69 70 6.2.5 24/56 c2 c1 c0 cR 13 Types de données Nº Type de donnée Description Longueur l1 – l0 Exemple 0 boolean_old Valeur logique (faux / vrai) 06 000000 est équivalent à faux 111111 est équivalent à vrai 1 u_integer Nombre entier positif 06 000000 à 999999 Interfaces Nº Type de donnée Description Longueur l1 – l0 Exemple 2 u_real Nombre à point fixe positif 06 001571 correspond à 15.71 4 string Chaîne de 6 caractères. Codes ASCII entre 32 et 127. 06 TC_110, TM_700 6 boolean_new Valeur logique (faux / vrai) 01 0 est équivalent à faux 1 est équivalent à vrai 7 u_short_int Nombre entier positif 03 000 à 999 10 u_expo_new Nombre exponentiel positif. Les deux derniers chiffres sont l’exposant avec une déduction de 20. 06 100023 est équivalent à 1,0 · 103 100000 est équivalent à 1,0 · 10-20 11 string16 Chaîne de 16 caractères. Codes ASCII entre 32 et 127. 16 BrezelBier&Wurst 12 string8 Chaîne de 8 caractères. Codes ASCII entre 32 et 127. 08 Exemple 25/56 Ensemble de paramètres 7 Ensemble de paramètres 7.1 Généralités Toutes les variables pertinentes pour la fonction sont stockées comme des paramètres dans la jauge. Chaque paramètre a un nombre à trois chiffres et une description. Le paramètre est accessible via les appareils de commande et d’affichage Pfeiffer Vacuum ou via RS-485 à l’aide du protocole Pfeiffer Vacuum. Réglages usine La jauge est pré-programmée en usine. La jauge est prête à fonctionner en toute sécurité sans configuration supplémentaire. # Nombre à trois chiffres du paramètre Description Brève description des paramètres Fonctions Description de la fonction des paramètres Type de donnée Type de formatage du paramètre pour l’utilisation avec le protocole Pfeiffer Vacuum Type d’accès R (lecture) : Accès en lecture ; W (écriture) : Accès en écriture Unité Unité physique de la variable décrite min./max. Valeurs limites autorisées pour la saisie d’une valeur par défaut Réglage par défaut en usine (en partie spécifique à la jauge) Le paramètre peut être enregistré dans la mémoire non volatile de la jauge Tab. 6: 7.2 26/56 Explication et signification des paramètres Aperçu des paramètres de la jauge HPT # Description 022 Sélection filament 040 Dégazage 041 HIMS marche/arrêt 049 Gammes de commutation 303 Code d’erreur actuel 312 Version du logiciel 349 Nom de l’appareil 354 Hardware version 355 Numéro de série 388 Référence de commande 730 Point de commutation de pression 1 1) 732 Point de commutation de pression 2 2) 740 Valeur de pression [hPa] 741 Point d’ajustage de pression 742 Facteur de correction (Pirani) 743 Facteur de correction (Bayard-Alpert) Tab. 7: Aperçu des paramètres de la jauge HPT 1) Version AR uniquement 2) Version AR uniquement Ensemble de paramètres 7.3 Instructions de réglage # Description Fonctions Type de donnée Type d’accès 022 Sélection filament 000 = auto 001= filament 1 002= filament 2 7 040 Dégazage 0 = arrêt 1 = marche 041 HIMS marche/ arrêt 049 Gammes de commutation min. max. par défaut RW 0 2 0 6 RW 0 1 0 0 = arrêt 1 = contrôlé par le capteur Pirani 6 RW 0 1 1 0 = interrupteur 1 = trans_LO 2 = trans_HIGH 7 RW 0 2 2 min. max. Tab. 8: Jeu de paramètres | Instructions de réglage 7.4 Requêtes d’état # Description Fonctions Type de donnée Type d’accès 303 Code d’erreur 000000 = Pas d’erreur Wrn001 = Filament 1 défectueux en mode « auto » Err001 = Capteur défectueux Err002 = Mémoire défectueuse Err003= Filament 1 défectueux Err004= Filament 2 défectueux Err005 = Deux filaments défectueux 4 R 312 Version du firmware de la jauge Exemple de la première version du firmware : 010100 4 R 349 Nom de l’appareil HPT200 4 R 354 Hardware version Exemple de la première version hardware : 010100 4 R 355 Numéro de série Exemple : 42501199 11 R 388 Référence de commande Exemple : PT R39 140 11 R Tab. 9: Unité Unité par défaut Jeu de paramètres | Requêtes d’état 27/56 Ensemble de paramètres 7.5 Valeurs de pression et facteurs de correction # Description Fonctions Type de donnée Type d’accès Unité min. max. 730 Point de commutation de pression 1 Lire et régler la valeur de pression pour le point de commutation 1 10 RW hPa 500010 (5×10-10 hPA) 100023 (1000 hPa) 732 Point de commutation de pression 2 Lire et régler la valeur de pression pour le point de commutation 2 10 RW hPa 500010 (5×10-10 hPA) 100023 (1000 hPa) 740 Valeur de pression Lire et régler la valeur de la pression actuelle (pendant le calibrage) 10 RW (peut être écrit sous condition) hPa 741 Point d’ajustage de pression 000= calibrage HV 001= calibrage ATM 7 W 000 001 742 Facteur de correction (Pirani) Lecture et réglage des facteurs de correction 2 RW 000020 000800 000100 743 Facteur de correction (BayardAlpert) Lecture et réglage des facteurs de correction 2 RW 000020 000800 000100 3) 4) Tab. 10: 28/56 par défaut Ensemble de paramètres | Valeurs de pression et facteurs de correction 3) Version AR uniquement 4) Version AR uniquement Fonctionnement 8 Fonctionnement Dès que la tension d’alimentation a été établie, le signal de mesure est disponible sur la connexion électrique. DEL Signification Désactivée Pas d’alimentation électrique Allumée en vert Tension d’alimentation OK, mode de mesure, valeurs de pression valides, capteur pour le domaine de basse pression actif Vert clignotant (1 Hz) Capteur pour le domaine de haute pression actif Allumée en jaune Fonction appareil OK, mais, à cause d’opérations internes (par ex. dégazage), des valeurs de mesure non valides apparaissent temporairement Gamme de mesure dépassée vers le haut/non atteint Après basculement automatique sur le filament 2 Allumée en rouge Erreur de logiciel ou de jauge Allumée pendant 1 s vert, jaune et rouge Test des LED après la mise en service ou la réinitialisation Rouge/vert clignotant (1 Hz) Mise à jour du logiciel en cours Tab. 11: Affichage du mode de travail via la LED « état appareil » Recommandations ► Respectez la période de stabilisation minimum de 10 minutes. ► Laissez la jauge toujours activée, quelle que soit la pression appliquée. Lire la valeur de pression actuelle [P:740] Les valeurs de pression sont transférées dans le format « aaaabb ». La chaîne « aaaa » est la mantisse d’un nombre exponentiel et « bb » est l’exposant avec un décalage de 20. « aaaa » est comprise entre « 1000 » (pour 1.000) et « 9999 » (pour 9.999). Les différents caractères de la chaîne sont les chiffres « 0 »(ASCII 48) à « 9 »(ASCII 57). En fonction de la jauge et de sa précision, le nombre de chiffres significatifs dans la mantisse peut varier. ► Lisez la valeur de pression actuelle via le paramètre [P:740]. [P:740] 327022 3270 22 1042 23 Offset 20 [hPa] Fig. 8: 3.270 × 10 750015 104223 2 7500 15 Offset 20 1.042 × 10 3 Offset 20 7.500 × 10 -5 Exemples de lecture des valeurs de pression actuelles via [P:740] Sélection du filament [P:022] 1. Sélectionnez le filament via le paramètre [P:022]. ● 000 = auto ─ La jauge fonctionne avec le filament 1 jusqu’au moment où celui-ci devient défectueux, puis elle bascule sur le filament 2. En cas de basculement sur le filament 2, la DEL « état appareil » s’allume en jaune comme avertissement. ● 001= filament 1 ─ La jauge fonctionne avec le filament 1 jusqu’au moment où celui-ci devient défectueux. La DEL « état appareil » s’allume en rouge pour signaler un défaut. ● 002= filament 2 ─ La jauge fonctionne avec le filament 2 jusqu’au moment où celui-ci devient défectueux. La DEL « état appareil » s’allume en rouge pour signaler un défaut. 29/56 Fonctionnement Lire le code d’erreur [P:303] ► Lisez le code d’erreur via le paramètre [P:303]. ● 000000 = Pas d’erreur ● Wrn001 = Filament 1 défectueux en mode « auto » ● Err001 = Capteur défectueux ● Err002 = Mémoire défectueuse ● Err003= Filament 1 défectueux ● Err004= Filament 2 défectueux ● Err005 = Deux filaments défectueux Lire la version du firmware [P:312] ► Lisez la version du firmware via le paramètre [P:312]. ● Exemple de la première version du firmware : 010100 Lire le nom de l’appareil [P:349] ► Lisez le nom de l’appareil via le paramètre [P:349]. Lecture de la version hardware [P:354] ► Lisez la version hardware via le paramètre [P:354]. Lecture du numéro de série [P:355] ► Lisez le numéro de série via le paramètre [P:355]. Lecture de la référence [P:388] ► Lisez la référence via le paramètre [P:388]. 8.1 Sélection des gammes de commutation La jauge permet d’adapter la gamme de commutation en choisissant le capteur Pirani ou le HIMS comme fonction de l’application. Cette fonctionnalité permet d’éviter : ● que le point de consigne ne se retrouve dans la plage de commutation lorsque la régulation de la pression a lieu ● que dans le cas des applications de déposition, la cathode chaude (BA) ne soit allumée et contaminée prématurément. -3 -3 1 2× trans_HIGH 0 Hot cathode Pirani -3 5 × 10-10 hPa 5× -3 ×1 1.0 trans_LO -3 10 1 0 8× 9× 0 1000 hPa 10 -3 -3 10 10 3× 4× Hot cathode Pirani -3 5 × 10-10 hPa × 2.0 10 1000 hPa -4 -4 0 × 1 × 10 0 . 6 4 switch Hot cathode 5 × 10-10 hPa Fig. 9: Pirani 1000 hPa Sélection des gammes de commutation Procédure ► Sélectionnez la gamme de commutation conformément au mode d’emploi de l’appareil d’affichage et de commande. ► Réglez le paramètre [P:049] sur « 0 » (interrupteur) pour commuter directement sur 4 × 10-4 hPa. ► Réglez le paramètre [P:049] sur « 1 » (trans_LO) pour un raccord continu entre la mesure de pression Pirani et Bayard-Alpert. ► Réglez le paramètre [P:049] sur « 2 » (trans_HI) pour un raccord continu entre la mesure de pression Pirani et Bayard-Alpert (sortie-usine). 30/56 Fonctionnement 8.2 Détermination de la pression efficace avec des facteurs de correction Le signal de mesure dépend du type de gaz. Domaine de pression > 10-4 hPa (fonctionnement Pirani seulement) 1E3 p [hPa] 1E2 1E1 1E0 1E-1 H2 He 1E-2 N2 Ar 1E-3 Kr 1E-4 1E-4 1E-3 1E-2 1E-1 1E0 1E1 1E2 1E3 peff [hPa] Fig. 10: Courbe de mesure en cas de fonctionnement avec jauge Pirani uniquement et avec facteurs de correction Type de gaz Facteur de correction (C) Azote (N2) 1,0 Air 1,0 Hydrogène (H2) 0,58 Hélium (He) 1,02 Argon (Ar) 1,59 Dioxyde de carbone (CO2) 0,89 Tétra fluorométhane (CF4, R14) 0,95 Tab. 12: Facteur de correction pour le fonctionnement avec Pirani uniquement Domaine de pression < 10-3 hPa (gamme d’ionisation) Dans le domaine de pression < 10-3 hPa, l’affichage est linéaire. Mélanges de gaz et de vapeurs Les gaz de procédé sont essentiellement des mélanges de gaz et de vapeurs. Une mesure précise des mélanges de gaz et de vapeurs est seulement possible avec des appareils de mesure à pression partielle, par exemple un spectromètre de masse quadripole. Type de gaz Facteur de correction (C) Hélium (He) 5,93 Hydrogène (H2) 2,39 31/56 Fonctionnement Type de gaz Facteur de correction (C) Argon (Ar) 0,80 Dioxyde de carbone (CO2) 0,74 Propane (C3H8) 0,32 Néon (Ne) 3,50 Krypton (Kr) 0,60 Xénon (Xe) 0,41 Dichlorodifluorométhane (CCl2F2, R12) 0,28 Tétra fluorométhane (CF4, R14) 0,57 Tab. 13: Facteurs de correction pour HIMS Utilisation des facteurs de correction Lecture et réglage du facteur de correction Pirani [P:742] ► Lisez le facteur de correction actuel via le paramètre [P:742]. ► Via le paramètre [P:742], réglez le facteur de correction sur une valeur comprise entre 0,2 et 8,0 avec 2 décimales. – Exemple : Facteur de correction 0,20 = 000020 – Exemple : Facteur de correction 1,00 = 000100 – Exemple : Facteur de correction 8,00 = 000800 Lecture et réglage du facteur de correction Bayard-Alpert [P:743] ► Lisez le facteur de correction actuel via le paramètre [P:743]. ► Via le paramètre [P:743], réglez le facteur de correction sur une valeur comprise entre 0,2 et 8,0 avec 2 décimales. – Exemple : Facteur de correction 0,20 = 000020 – Exemple : Facteur de correction 1,00 = 000100 – Exemple : Facteur de correction 8,00 = 000800 Calcul de la pression de gaz autres que l’air ► Calculez la pression efficace avec la formule suivante : Peff = C × p ● Peff = Pression efficace ● C = Facteur de correction ● p = Pression affichée (jauge calibrée pour l’air) 8.3 Activation/désactivation du filament HIMS La jauge permet d’activer ou de désactiver le HIMS en fonction du procédé. Au moment de la mise sous tension, le paramètre [P:041] est préréglé sur « 1 », c'est-à-dire que la jauge fonctionne normalement. La jauge n’enregistrera les modifications de ce paramètre que temporairement, jusqu’à la mise hors tension. Les modifications d’état de ce paramètre sont possibles à tout moment pendant le fonctionnement. Dispositif optionnel requis ● Appareil de commande et d’affichage Capteur [P:041] Pression Pirani (PP) Effet sur le HIMS Activé « 1 » (Marche) - Aucune Désactivée « 1 » (Marche) ≥ 9 × 10-3 hPa Désactivée « 0 » (Arrêt) ≥ 9 × 10 hPa Filament OFF sur PP <8 × 10-3 hPa Activé « 0 » (Arrêt) - Filament OFF Désactivée « 1 » (Marche) Tab. 14: 32/56 -3 -3 ≥ 8 × 10 hPa Filament ON sur PP <8 × 10-3 hPa Filament ON et démarrage du timer de mise sous tension Conditions d’activation/de désactivation, à l’aide de la gamme de commutation trans_HIGH Fonctionnement L’affichage Pirani dure jusqu’à l’expiration du timer de mise sous tension. Si la quantité de refoulement « ur » s’affiche comme valeur Pirani avant la commande « Marche », la quantité de refoulement 1 × 10-4 hPa mbar durera pendant la durée de fonctionnement du timer. Il est possible que la valeur « ur » soit interprétée comme un dépassement vers le bas BA pendant la durée de fonctionnement du timer. La quantité de refoulement de la valeur de combinaison depuis les capteurs Pirani et HIMS aura lieu lorsque la durée de fonctionnement du timer sera écoulée. Les commandes de réglage du paramètre [P:041] pendant le dégazage déclenchent le message d’erreur « _LOGIC » en réponse. Commutation du HIMS avec affichage et appareil de commande marche/arrêt ► Activez ou désactivez le HIMS comme décrit dans le manuel de l’utilisateur de l’affichage et de l’appareil de commande. Activation/désactivation du HIMS [P:041] ► Réglez le paramètre [P:041] sur « 1 » pour activer le HIMS. ► Réglez le paramètre [P:041] sur « 0 » pour désactiver le HIMS. 8.4 Lecture et réglage du relais et des points de commutation Les versions relais analogique (AR) des jauges DigiLine sont caractérisées par 2 contacts relais contrôlés par la pression et pouvant être configurés via l’interface RS-485 à l’aide d’un contrôleur externe. Le format des données est identique à celui du paramètre [P:740]. Lire les points de commutation via RS-485 1. Lisez la valeur de pression pour le point de commutation 1 via le paramètre [P:730]. 2. Lisez la valeur de pression pour le point de commutation 2 via le paramètre [P:732]. Régler les points de commutation via RS-485 1. Utilisez le paramètre [P:730] pour régler la valeur de la pression pour le point de commutation 1. 2. Utilisez le paramètre [P:732] pour régler la valeur de la pression pour le point de commutation 2. 8.5 Exécution du dégazage Garantie Tout dysfonctionnement de l’équipement résultant directement d’une contamination et de l’usure n’est pas couvert par la garantie. Pendant le process étuvé, la jauge continue à fournir des valeurs de mesure, cependant elles auront une valeur de tolérance légèrement plus élevée que pendant le fonctionnement normal. La contamination de la jauge dépend des éléments suivants : ● Pression dans la chambre de vide ● Type de fluide de procédé ● Toute contamination existante ou nouvellement accumulée et de sa pression partielle (par exemple, vapeurs, particules de procédé, etc.) ● Courant de mesure ● Temps de fonctionnement La valeur de mesure peut être instable du fait des dépôts sur le HIMS. Le procédé de dégazage cause l’échauffement de la grille de collecte des électrons jusqu’à environ 800 °C par chauffage ohmique, nettoyant ainsi l’élément de mesure. Le procédé de dégazage dure environ 3 minutes, mais il peut être interrompu à tout moment. Condition préalable ● Pression dans le système à vide < 2 × 10-6 hPa Dispositif optionnel requis ● Appareil de commande et d’affichage Fonction d’activation/désactivation avec affichage et appareil de commande ► Activez ou désactivez la fonction de dégazage comme décrit dans le manuel de l’utilisateur de l’affichage et de l’appareil de commande. Fonction d’activation/désactivation dégazage via interface [P:040] ► Réglez le paramètre [P:040] sur « 1 » pour activer la fonction de dégazage. ► Réglez le paramètre [P:040] sur « 0 » pour désactiver prématurément la fonction de dégazage. 33/56 Fonctionnement 8.6 Étuvage de la jauge AVIS Dommage dû à une température d’étuvage excessive Si la jauge est installée verticalement (bride vers le bas), l’augmentation de la chaleur pendant l’étuvage va endommager l’unité électronique. ► Retirez l’unité électronique du système de mesure avant l'étuvage à une température > 60 °C. ► Dégazez la bride uniquement. Condition préalable ● Unité électronique retirée Procédure 1. Étuvez la jauge jusqu’à max. 180 °C au niveau de la bride. 2. Laissez refroidir la jauge. 3. Installez l’unité électronique. 4. Calibrez la jauge. 34/56 Démontage 9 Démontage DANGER Danger de mort par électrocution Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie. ► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé. ► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. ► Utilisez des anneaux de centrage et des circlips à couche conductrice pour les raccordements KF. ► En cas de raccord à tube 1/2", agissez de façon appropriée pour satisfaire les exigences. AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. AVERTISSEMENT Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant être également toxique. Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique. ► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide. ► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression. ► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un anneau de serrage). ► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur. AVIS Défaillance due à la contamination et à la détérioration Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts nuisent au fonctionnement. ► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux sur les installations ultra-vide ou à vide élevé. ► Utilisez uniquement des outils propres. ► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse. ► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire. ► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé. Conditions préalables ● Système de vide mis à l’air à la pression atmosphérique ● Tension d’alimentation mise hors circuit 35/56 Démontage Démontage de la jauge 1. Déconnectez le câble de mesure de la jauge. 2. Démontez la jauge du système de vide. 3. Mettez l’obturateur de protection sur la bride de connexion. 36/56 Maintenance 10 Maintenance AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. Maintenance dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de services de maintenance pour tous les produits. Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter un Centre de service Pfeiffer Vacuum pour organiser la maintenance de produits et de composants défectueux. Maintenance dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter le Centre de service Pfeiffer Vacuum local pour organiser la maintenance de produits et de composants défectueux. Demande de garantie Ouvrir l’appareil pendant la période de garantie ou endommager/supprimer le sceau de garantie annulera la garantie. Contactez le Centre de service Pfeiffer Vacuum en cas d’intervalle de maintenance raccourcis lié au processus. Commencer par lire intégralement les sections Lire intégralement la section consacrée aux instructions de travail avant de commencer à travailler. D'autres conditions climatiques, un fonctionnement prolongé, des températures extrêmes, une orientation de montage différente, le vieillissement ou la contamination peuvent entraîner une fluctuation du point zéro dans le système de mesure Pirani. Un décalage du zéro va nécessiter un nouveau calibrage ou un nettoyage. 10.1 Nettoyage des composants DANGER Danger de mort dû au choc électrique causé par la pénétration d’humidité La pénétration d’eau dans l’unité cause des blessures aux personnes par chocs électriques. ► Utilisez seulement l’unité dans un environnement sec. ► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité. ► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, contactez Pfeiffer Vacuum Service. ► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité. 37/56 Maintenance AVERTISSEMENT Risques pour la santé dus aux agents nettoyants Les détergents utilisés peuvent nuire à la santé et causer un empoisonnement, des allergies, une irritation de la peau, des brûlures chimiques ou endommager les voies respiratoires. ► Respectez les réglementations en vigueur pour la manipulation des agents nettoyants. ► Respectez les mesures de sécurité concernant la manipulation et la mise au rebut des agents nettoyants. ► Attention aux réactions potentielles avec les matériaux du produit. AVIS Dégâts causés par la pénétration d’humidité La pénétration d’humidité, p. ex. sous forme de condensation ou d’égouttement, endommage l’unité. ► Protégez l’unité contre la pénétration de l’humidité. ► Utilisez seulement l’unité dans un environnement propre et sec. ► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité. ► Des précautions spécifiques doivent être prises en cas de risque d’égouttement d’eau. ► Ne mettez pas sous tension l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur. Contactez le Centre de service Pfeiffer Vacuum. AVIS Dégâts provoqués par des agents nettoyants inadaptés L'usage d'agents nettoyants inadaptés endommage le produit. ► Ne pas utiliser de solvants qui endommageraient sa surface. ► Ne pas utiliser d'agents nettoyants agressifs ou abrasifs. Produits consommables requis ● Alcool industriel ● Chiffon (doux, non pelucheux) Nettoyage externe de l’appareil 1. Utilisez toujours un chiffon imbibé d'alcool industriel pour le nettoyage externe. 2. Laissez sécher les surfaces complètement après le nettoyage. 10.2 Calibration de la jauge Pfeiffer Vacuum a calibré la jauge en usine sur les valeurs par défaut. Vous pouvez calibrer le système de mesure Pirani vous-même, si nécessaire. La jauge détecte automatiquement le point de calibrage (ATM ou HV) applicable. Le calibrage HV est exécuté automatiquement si les conditions suivantes sont applicables simultanément : ● La valeur mesurée du HIMS est <5 × 10-5 hPa. ● La valeur mesurée par le capteur Pirani reste constante pendant plus d'une minute et ne s'écarte que légèrement de la dernière valeur calibrée. Préparation du calibrage 1. Vérifiez que l’installation et les conditions ambiantes sont les mêmes que celles d’une utilisation normale. 2. Vérifiez l'absence de toute contamination du filtre. 3. Remplacez le filtre s’il est très contaminé ou endommagé. 4. Mettez la jauge en fonctionnement. Calibrage avec l’appareil d’affichage et de commande ► Calibrez la jauge conformément au mode d’emploi de l’appareil d’affichage et de commande. Calibrage HV 1. Mettez la jauge en marche. 2. Évacuez le système de vide jusqu’à ce que la pression soit << 1× 10-5 hPa. 3. Attendez au moins 10 minutes. 38/56 Maintenance 4. Via le paramètre [P:741], réglez le point d’ajustage de la pression sur « 000 » pour la basse pression. 5. Via le paramètre [P:740], réglez le point d’ajustage de la pression sur « 000000 » pour la basse pression. – Ceci équivaut à p < 1 ×10-5 (inférieur à la gamme). Calibration ATM 1. Mettez la jauge en marche. 2. Laissez la jauge fonctionner à la pression atmosphérique pendant au moins 10 minutes. 3. Via le paramètre [P:741], réglez le point d’ajustage de la pression sur « 001 » pour la haute pression. 4. Via le paramètre [P:740], réglez la valeur de pression sur la pression atmosphérique. – Exemple : 1000 hPa = [P:740] avec la valeur « 100023 » 10.3 Remplacement du système de mesure AVIS Défaillance due à la contamination et à la détérioration Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts nuisent au fonctionnement. ► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux sur les installations ultra-vide ou à vide élevé. ► Utilisez uniquement des outils propres. ► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse. ► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire. ► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé. Conditions préalables ● Système de mesure sévèrement contaminé, ● Système de mesure visiblement endommagé ou ● Jauge défectueuse (p. ex. rupture de filament) Pièce de rechange requise ● Système de mesure de remplacement 4 5 3 1 2 Fig. 11: Remplacement du système de mesure 1 Écrous moletés 2 Bagues d’étanchéité 3 Système de mesure 4 5 Joint Unité électronique 39/56 Maintenance Procédure 1. Retirez la jauge du système de vide. 2. Enlevez l’unité électronique du système de mesure défectueux. 3. Installez l’unité électronique sur le nouveau système de mesure. 4. Raccordez la jauge au système de vide. 5. Établissez le raccordement électrique. 6. Calibrez le nouveau système de mesure. 40/56 Anomalies 11 Anomalies Garantie Tout dysfonctionnement de l’équipement résultant directement d’une contamination et de l’usure n’est pas couvert par la garantie. Anomalie Cause possible Action corrective Erreur de communication : Jauge Pas d’alimentation électrique Raccordez un câble de données ou une unité de courant. Mauvaise adresse RS-485 définie Réglez correctement le sélecteur d’adresse RS-485. Jauge défectueuse Remplacez la jauge. Dégazage important du capteur Activez la fonction de dégazage. Jauge défectueuse Remplacez la jauge. Valeur mesurée dans le vide élevé excessive Tab. 15: Anomalies 41/56 Expédition 12 Expédition AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement par produits contaminés L’expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la santé et l’ sécurité du personnel de maintenance. ► Conforme aux instructions pour une distribution en toute sécurité. Décontamination payante Pfeiffer Vacuum décontamine les produits qui ne sont pas clairement déclarés comme « Sans contaminants », à votre charge. Expédier le produit en toute sécurité ► L’expédition de produits microbiologiques, explosibles ou ayant subi une contamination radioactive est interdite. ► Respecter les consignes d’expédition des pays et des sociétés de transport impliqués. ► Les risques potentiels doivent être mis en évidence sur la face extérieure de l’emballage. ► Téléchargez les explications sur la contamination en vous connectant à Pfeiffer Vacuum Service. ► Toujours joindre une déclaration de contamination dûment remplie. 42/56 Recyclage et mise au rebut 13 Recyclage et mise au rebut AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. Protection de l’environnement Vous devez mettre au rebut le produit et ses composants conformément aux directives applicables pour la protection des personnes, de l’environnement et de la nature. ● Contribuez à la réduction du gaspillage des ressources naturelles. ● Évitez toute contamination. 13.1 Informations générales sur la mise au rebut Les produits Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables. ► Mettez au rebut nos produits en séparant : – Fer – Aluminium – Cuivre – Matière synthétique – Composants électroniques – Huiles et graisses, sans solvant ► Observez les mesures de sécurité spéciales pour la mise au rebut de : – Fluoroélastomères (FKM) – Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé 13.2 Mise au rebut des jauges Les jauges Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux que vous devez recycler. 1. Démantelez l’unité électronique. 2. Décontaminez les composants qui entrent en contact avec les gaz de procédé. 3. Séparez les composants en matériaux recyclables. 4. Recyclez les composants non contaminés. 5. Mettez au rebut le produit ou les composants de façon sûre en conformité avec toutes les directives applicables. 43/56 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 14 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum Nous offrons un service de première classe Une longue durée de vie des composants du vide, associée à des temps d’arrêt réduits, sont ce que vous attendez clairement de nous. Nous répondons à vos besoins par des produits efficaces et un service d’exception. Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien évidemment. Nos ingénieurs commerciaux et techniciens de service professionnels sont à votre disposition pour vous assurer un soutien pratique dans le monde entier. Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de services, allant des pièces de rechange d’origine aux accords de service. Profitez du service Pfeiffer Vacuum Qu'il s’agisse du service préventif sur place de notre service sur site, du remplacement rapide par des produits de rechange comme neufs ou de la réparation dans un centre de service proche de chez vous ; vous disposez d'une variété d’options pour maintenir la disponibilité de votre équipement. Vous trouverez des informations détaillées ainsi que les adresses sur notre site web dans la section Pfeiffer Vacuum Service. Des conseils sur la solution optimale sont disponibles auprès de votre interlocuteur Pfeiffer Vacuum. Pour un déroulement rapide et efficace de la procédure de service, nous recommandons de suivre les étapes suivantes : 1. Télécharger les modèles de formulaire actuels. ─ Déclaration de demande de service ─ Demande de service ─ Déclaration de contamination a) Démonter tous les accessoires et les conserver (toutes les pièces externes montées telles que la vanne, le filtre d’arrivée, etc.). b) Vidanger le fluide d'exploitation / lubrifiant si nécessaire. c) Vidanger le fluide de refroidissement si nécessaire. 2. Remplir la demande de service et la déclaration de contamination. ANFORDERUNG SERVICE ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 3. Envoyer les formulaires par e-mail, fax ou par courrier à votre centre de service local. 4. Vous recevrez une réponse de Pfeiffer Vacuum. Envoi de produits contaminés Aucune unité ne sera acceptée si elle est contaminée par des substances micro-biologiques, explosives ou radioactives. Si les produits sont contaminés ou si la déclaration de contamination est manquante, Pfeiffer Vacuum contactera le client avant de démarrer la maintenance. Par ailleurs, selon le produit et le niveau de contamination, des frais de décontamination supplémentaires peuvent être facturés. 44/56 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails contenus dans la déclaration de contamination. a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec. b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air. c) Sceller le produit dans un film de protection approprié. d) Emballer le produit dans des conteneurs de transport stables appropriés uniquement. e) Respecter les conditions de transport en vigueur. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 6. Joindre la déclaration de contamination sur l’extérieur de l’emballage. 7. Envoyer ensuite le produit à votre centre de service local. 8. Vous recevrez un message de confirmation / un devis de la part de Pfeiffer Vacuum. Pour toutes les demandes de service, nos Conditions générales de vente et de livraison ainsi que nos Conditions générales de réparation et de maintenance sont appliquées aux équipements et composants du vide. 45/56 Pièces de rechange 15 Pièces de rechange Commande de pièces de rechange ► Vous devez vous munir du numéro de pièce ainsi que des informations complémentaires sur la plaque signalétique. ► Installez uniquement des pièces détachées d'origine. Référence Désignation Système de mesure de remplacement PT R39 14x A HPT 200, DN 25 ISO-KF PT 120 239 -T PT R39 15x HPT 200, DN 40 ISO-KF PT 120 217 -T PT R39 15x A PT R39 35x PT 120 237 -T HPT 200, DN 40 ISO-CF-F PT R39 35x A Tab. 16: 46/56 Pièces de rechange PT 120 218 -T PT 120 238 -T Accessoires 16 Accessoires Vous trouverez sur notre site Internet la gamme des accessoires DigiLine. 16.1 Informations sur l’accessoire Unités de courant Unités de courant pour montage mural ou sur rail standard pour alimenter les jauges DigiLine Appareil de commande OmniControl Appareil de commande universel pour tous les produits avec le protocole RS-485 Pfeiffer Vacuum. Il alimente jusqu’à deux transmetteurs et est équipé d’un affichage pour afficher la pression de jusqu’à 16 canaux de mesure. Logiciel DokuStar Plus Logiciel d’évaluation pour la représentation et pour la sauvegarde des données pour un maximum de 16 jauges DigiLine Accessoires pour RS-485 Câbles et éléments de fixation pour la création d’un bus de terrain RS-485 Câble d’interface et d’alimentation Câble de différentes longueurs, pour la connexion à une unité d’alimentation Pfeiffer Vacuum ou à un PC Joints avec anneau de centrage et filtre Filtre disponible avec différentes grandeurs de pores pour la protection du système de mesure contre toute contamination lorsque les applications représentent un risque de contamination 16.2 Commande d’accessoires Variantes OmniControl Pour les autres variantes OmniControl, reportez-vous au site Web Pfeiffer Vacuum. Numéro de commande Champ de sélection PT 348 105 -T Résistance de borne de connexion pour RS-485 PM 061 270 -X Accouplement M12 pour RS-485 PT 348 132 -T Séparateur de puissance pour RS-485 P 4723 010 Raccord en Y M12 pour RS-485 PT 348 133 -T Adaptateur RS-485, M12,à 4 broches – Prise D-sub à 9 broches, 0,2 m PT 348 106 -T Connecteur M12 m à 4 broches avec étriers à vis pour DigiLine RS-485, pour câbles spécifiques au client PM 061 207 -T Convertisseur USB RS-485 PT 348 163 -T Réseau d'alimentation DigiLine, M12, 4 broches pour TPS, 3 m PT 348 223 -T Câble de connexion, RS-485, M12/D-sub 9 broches, 3 m PM 061 283 -T Câble d’interface, M12 m droit/M12 m droit, 3 m PF 117 225 -T Anneau de centrage avec filtre en métal fritté, grandeur de pores 0,02 mm, FKM/acier inoxydable, DN 25 ISO-KF PF 117 240 -T Anneau de centrage avec filtre en métal fritté, grandeur de pores 0,02 mm, FKM/acier inoxydable, DN 40 ISO-KF PT 120 036 -T Anneau de centrage avec filtre fin, grandeur de pores 0 004 mm, FKM/acier inoxydable, DN 25 ISO-KF PT 120 037 -T Anneau de centrage avec filtre fin, grandeur de pores 0 004 mm, FKM/acier inoxydable, DN 40 ISO-KF PT 882 501 Logiciel DokuStar Plus, 16 canaux 47/56 Accessoires Numéro de commande Champ de sélection PM 061 340 -T TPS 110, unité de courant pour installation murale/sur rail standard PM 061 344 -T TPS 111, unité de courant 19", unité enfichable 3HU PE D50 000 0 OmniControl 200, unité châssis avec unité de courant intégrée PE E50 000 0 OmniControl 200, unité de table avec unité de courant intégrée Tab. 17: 48/56 Accessoires Caractéristiques techniques et dimensions 17 Caractéristiques techniques et dimensions 17.1 Généralités mbar bar Pa hPa kPa Torr | mm Hg 100 1 0,1 0,75 1 · 10 1,000 100 1 · 10 1 0,01 1 · 10 7.5 · 10-3 1 1 · 10-3 100 1 0,1 0,75 kPa 10 0,01 1,000 10 1 7,5 Torr | mm Hg 1,33 1,33 · 10-3 133,32 1,33 0,133 1 mbar 1 1 · 10 bar 1,000 1 Pa 0,01 hPa -3 5 -5 1 Pa = 1 N/m Tab. 18: 2 Tableau de conversion : unités de pression mbar l/s mbar l/s Pa m3/s sccm Torr l/s atm cm3/s 1 0,1 59,2 0,75 0,987 592 7,5 10 3 Pa m /s sccm 1 3 atm cm /s 9,87 1.69 · 10 1.69 · 10 1 1,33 0,133 78,9 1 1,32 1,01 0,101 59,8 0,76 1 -2 Torr l/s Tab. 19: 750 -3 -3 -2 1,27 · 10 1.67 · 10-2 Tableau de conversion : unités de débit de gaz 17.2 Fiche technique Paramètre Valeur Gamme de mesure (air, O2, CO, N2) 5 × 10-10 – 1000 hPa Pression maximum (absolue) 4000 hPa Principe de mesure Amenée de chaleur selon Pirani et Bayard-Alpert Nombre de filaments chauffés 2 Matière du filament Iridium, revêtement Y2O3 Cycle de mesure 10 ms Précision (N2) 1 × 10-8 – 1 hPa ± 10% de la valeur mesurée 20 à 1000 hPa ± 30% de la valeur mesurée 1 × 10-8 – 1 × 10-2 hPa ± 5% de la valeur mesurée Répétabilité -2 1 × 10 – 10 hPa Calibrage de la jauge Tab. 20: ± 2% de la valeur mesurée via interface RS-485 Valeurs de mesure et de pression Paramètre Valeur Tension d’alimentation 24 V DC Puissance absorbée 9W Raccordement (électrique) Connecteur M12 Binder, 5 broches, codé A Longueur de câble ≤100 m Tab. 21: Données électriques 49/56 Caractéristiques techniques et dimensions Paramètre Valeur Protocole ASCII, adressage (RS-485), protocole Pfeiffer Vacuum Format de données Trafic de données bidirectionnel, longueur des mots de données 8 bits, 1 bit d’arrêt, pas de bit de parité Vitesse de transmission en baud 9600 Raccordement Connecteur M12 Binder, 5 broches, codé A Tab. 22: Interface RS-485 Paramètre Poids Tab. 23: 475 g DN 40 ISO-KF 475 g DN 40 CF-F 670 g Brides de raccordement et poids Paramètre Valeur Pression d’air 800 à 1060 hPa Humidité relative de l’air À des températures atteignant +30 °C, 80 % max. À des températures atteignant +40 °C, 50 % max. sans condensation Orientation de montage Arbitraire Usage En intérieur uniquement Altitude maximum de l’installation 2 000 m MSL Degré de protection IP54 Tab. 24: Conditions ambiantes Paramètre Valeur Fonctionnement +5 – +60 °C Étuvage (raccord à vide) 180 °C Stockage -40 – +65 °C Tab. 25: Températures Paramètre Valeur Matériaux Acier inoxydable Tungstène Nickel Céramique Verre Tab. 26: 50/56 Valeur DN 25 ISO-KF Substances en contact avec le fluide Caractéristiques techniques et dimensions 50.5 24 Ø 40 145 17.3 Dimensions 66 Fig. 12: 45 HPT 200 avec DN 25 ISO-KF Ø 55 141 Dimensions en mm 66 Fig. 13: 45 HPT 200 avec DN 40 ISO-KF Dimensions en mm 51/56 145 Caractéristiques techniques et dimensions Ø 70 66 Fig. 14: HPT 200 avec DN 40 CF-F Dimensions en mm 52/56 45 Déclaration de conformité CE La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant. Déclaration pour produit(s) du type : Jauge Pirani numérique/Bayard Alpert HPT 200 Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes. Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses, directive déléguée 2015/863/UE Normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées : DIN EN IEC 61326-1:2022 DIN EN IEC 63000:2019 Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (Daniel Sälzer) Directeur général Asslar, 2023-01-20 Déclaration de Conformité UK La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant. Déclaration pour produit(s) du type : Jauge Pirani numérique/Bayard Alpert HPT 200 Nous déclarons par la présente que le produit cité satisfait à toutes les exigences applicables des Directives Britanniques suivantes. Réglementation 2016 sur la Compatibilité Electromagnétique Réglementation 2012 sur la Limitation de l'Utilisation de Certaines Substances Dangereuses dans les Equipements Electriques et Electroniques Normes et spécifications appliquées EN IEC 61326-1:2021 EN IEC 63000:2018 Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitution du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (Daniel Sälzer) Directeur général Asslar, 2023-01-20 55/56 *PG0024* ed. D - Date 2306 - P/N:PG0024BFR ">
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