Pfeiffer PBR 260 Manuel utilisateur

Tension à la jauge
Caractéristiques techniques
MaxiGauge™
FullRange®
INFICON GmbH
Pfeiffer Vacuum GmbH
Sécurité
Explication des signes
DANGER
INSTRUCTIONS D'UTILISATION
BG 5131 BFR / B (2017-02)
Traduction du manuel de l'utilisateur
Indications concernant la prévention de dommages corporels de toute nature.
Gamme de mesure (air, N2)
5×10-10 … 1000 hPa
Gamme de transition
cathode chaude – Pirani
"high" (réglage d'usine)
"low"
Précision
(10-8 ... 10-2 hPa)
5.5×10–3 … 2.0×10–2 hPa
2.0×10–3 … 8.0×10–3 hPa
≈ 15% mesure
(après 5 min. de stabilisation)
Répétabilité
(10-8 ... 10-2 hPa)
≈ 5% mesure
(après 5 min. de stabilisation)
Emission de la cathode
chaude
Pression d'activation
"high"
Pression de désactivation
"high"
Pression d'activation
"low"
Pression de désactivation
"low"
Courant d'émission
(pression diminuante)
7.2×10-6 hPa < p <
2.4×10-2 hPa
p ≤ 7.2×10-6 hPa
AVERTISSEMENT
Indications concernant la prévention de dégradations de
l'environnement et d'importants dégâts matériels.
PBR 260
Jauge FullRange® BA, modèle compact
Attention
Indications relatives à une manipulation ou un usage corrects. Le non-respect des instructions peut provoquer des
disfonctionnements ou des dégâts matériels mineurs.
Commutation du courant
d'émission
25 µA  5 mA
(pression diminuante)
5 mA  25 µA
(pression augmentante)
Identification du produit
Les indications figurant sur la plaque signalétique du produit
sont nécessaires pour toutes communications à Pfeiffer
Vacuum. Reporter ces indications ci-dessous.
Qualification du personnel
Personnel qualifié
Pfeiffer Vacuum, D-35614 Asslar
Typ:
No:
F-No:
V
W
Validité
Ce document est valable pour les produits avec les numéros
de référence
PT R27 000 (DN 25 ISO-KF)
PT R27 001 (DN 40 ISO-KF)
PT R27 002 (DN 40 CF-R)
Le numéro de référence (No) figure sur la plaque signalétique.
Les illustrations sans indication particulière se réfèrent aux
jauges avec le raccord à vide DN 25 ISO-KF et sont applicables aux autres raccords à vide par analogie.
Nous nous réservons le droit de réaliser des modifications
techniques sans préavis.
Toutes dimensions en mm.
Utilisation prévue
®
Les jauges FullRange BA PBR 260 servent à la mesure du
vide des gaz dans la gamme des pressions de
5×10-10 … 1000 hPa.
Elles ne doivent pas être employées pour la mesure de gaz
facilement inflammables ou combustibles mélangés à un
oxydant (p. ex. oxygène atmosphérique) dans les limites
explosives.
La jauge PBR 260 fait partie de la famille des jauges
compactes Pfeiffer Vacuum et peut être utilisée avec
l'appareil de mesure et de commande de la pression totale
MaxiGauge™ ou avec un instrument d'évaluation du client.
Principe de fonctionnement
Dans toute la gamme de mesure, la jauge PBR 260 a une
courbe caractéristique continue et le signal de mesure est
émis comme logarithme de la pression.
Ceci s'obtient par l'intégration d'un système de mesure par
ionisation à cathode chaude selon Bayard-Alpert et d'un
système Pirani dans la même jauge. Dans une gamme
définie où les deux systèmes de mesure se recouvrent, un
signal mixte est émis. Au-dessus de cette gamme, seul le
signal Pirani est émis, au-dessous, seul le signal du système
d'ionisation à cathode chaude est émis. Le signal Pirani est
utilisé pour activer/désactiver le système d'ionisation à
cathode chaude et donc pour le protéger contre claquage et
encrassement. On peut choisir entre deux seuils d'activation/désactivation.
Les travaux décrits dans ce document ne peuvent être effectués que par des personnes ayant une formation technique appropriée et l'expérience nécessaire ou ayant été
formées en conséquence par le détenteur du produit.
• Observer les prescriptions essentielles et prendre les
précautions afférentes aux gaz utilisés.
Considérer les réactions possibles entre les matériaux du
produit (→ "Caractéristiques techniques") et les gaz des
procédés.
Considérer des réactions possibles des gaz des procédés
à la chaleur générée par le produit (p. ex. explosions).
Relation tension –
pression
Signaux d'erreur
0.3 V
0.5 V
Dépassement vers le bas
Dépassement vers le haut
• Se renseigner avant le début de l'intervention sur une
éventuelle contamination. Observer les prescriptions
essentielles et prendre les précautions afférentes à la
manipulation d'éléments contaminés.
Responsabilité et garantie
Pfeiffer Vacuum est dégagée de toute responsabilité et la
garantie devient nulle et non avenue si le détenteur ou une
tierce personne
3.2×10-2 hPa (réglage
d'usine)
9.9×10-3 hPa
Conception de la masse
25 µA
5 mA
-6
7.2×10 hPa
3.2×10-5 hPa
0 … 10.2 V
0.774 V … 10 V
(5×10-10 hPa … 1000 hPa)
logarithmique,
0.75 V / décade
→  [1]
cathode chaude
électronique mal montée
Identification de la jauge
(Umax = 4.25 V)
Résistance 17.2 kΩ contre
masse alimentation
ATM (touche <ATM>)
• modifie ce produit d'une façon quelconque
Compensation du point
zéro (touche <ATM>)
• utilise le produit avec des accessoires non répertoriés
dans la documentation du produit correspondante.
Cathode chaude
La responsabilité relative aux gaz utilisés dans les procédés
incombe au détenteur.
102
2
101
≤ 1.4 A
Matériaux au contact du vide
Boîtier, fixations,
blindages
Passages
Isolateur
Cathode
Support de cathode
Elément Pirani
Volume interne
DN 25 ISO-KF
DN 40 ISO-KF
DN 40 CF-R
Pression
connecteur compact Hirschmann, type GO 6, 6 pôles,
mâle
≤ 0.2 Nm
5 pôles plus blindage
Humidité relative
Moyenne annuelle
pendant 60 jours
Utilisation
Protection
8
6
4
2
Poids
Vapeur
d'eau
10-2
10–3 2
285 g (bride DN 25 ISO-KF)
315 g (bride DN 40 ISO-KF)
550 g (bride DN 40 CF-R)
4 6 810–2 2
4 6 810–1 2
4 6 8100 2
Rapport signal de mesure – pression
Installation
Pression p [hPa]
Raccordement au vide
1E+03
underrange
1E+01
1E–01
1E–03
200 kPa (absolue)
1E–07
4 6 8102
peff (hPa)
DANGER : surpression dans le système à vide
> 100 kPa
Si des éléments de serrage sont ouverts lorsque
il règne une surpression dans le système à vide,
des composants peuvent être projetés et causer
des blessures. Des gaz peuvent également
échapper et avoir des effets nuisibles pour la
santé.
Utiliser des éléments de serrage convenables
pour la surpression (p. ex. anneau de serrage
muni d'un collier de fixation).
1E+00
1E–02
4 6 8101 2
DANGER
1E+02
1E–04
1E–05
1E–06
overrange
1E–09
1E–10
0.0
1.0
2.0
3.0
4.0
5.0
6.0
7.0
8.0
9.0
10.0
DANGER
Signal de mesure U[V]
p = 10(U-7.75)/0.75+c
≤ 65% (pas de condensation)
≤ 85% (pas de condensation)
en salle, altitude jusqu'à
2000 m
IP 30
Dimensions [mm]
U
p
c
[V]
[V]
[V]
[hPa]
[Pa]
[Torr]
0
2
-0.125
où
p pression
U signal de mesure
c constante (en fonction de
l'unité de pression)
valable pour gamme
0.774 V ≤ U ≤ 10.000 V
Gamme ionisation à cathode chaude
Pour d'autres gaz que l'air, la pression dans la gamme de
mesure p < 10-3 hPa peut être déterminée par une simple
conversion :
peff = C × pression affichée
où
DANGER : protection par mise à la masse
Les produits mal raccordés à la masse
présentent un danger mortel en cas de panne.
La jauge doit être connectée directement à la
chambre à vide mise à la masse. Le
raccordement doit répondre aux exigences d'une
connexion de protection selon la norme
EN 61010 :
• Les brides CF satisfont à ces exigences.
• Pour les brides KF il faudra utiliser un anneau
de serrage conducteur.
Attention
Dépendance du type de gaz
ajustement automatique par
cathode chaude
à 1 … 3×10-3 hPa
ajustement par touche
<ATM> (appuyer ≥ 5 s) à
pression atmosphérique
ajustement par touche
<ATM> (appuyer ≥ 2 s) à
≤ 1×10-4 hPa
ajustée en usine, aucun
ajustement nécessaire
Freon 12
Kr
Xe
2
≤ 24 cm3
≤ 24 cm3
≤ 25 cm3
–20 … +70 °C
0 … +50 °C
150 °C (sans électronique ou
avec extension)
CO2
Ar
10-1
1E–08
Températures admissibles
Stockage
Service
Etuvage
Air
O2
CO
N2
8
6
4
1E+04
acier inoxydable
NiFe nickelé
verre
iridium, oxyde yttrique
molybdène
tungstène, cuivre
Gamme d'indication
au-dessus de 10-2 hPa)
100
(∅ 0.25 mm²)
(∅ 0.34 mm²)
(∅ 1.0 mm²)
→ Figure 1
Ne
2
21 … 28 VDC
(ondulation max.
2 Vpp)
Alimentation
type de gaz
C (moyenne)
air, O2, CO, N2
Xe
Kr
Ar
H2
Ne
He
1.0
0.4
0.5
0.8
2.4
4.1
5.9
Attention : composant à vide
Tout encrassement ou dommage porte atteinte
au fonctionnement du composant à vide.
En utilisant des composants à vide, prendre les
mesures appropriées pour assurer la propreté et
la prévention des dommages éventuels.
Attention
Attention : zone sensible à la pollution
Si le produit ou des composants du produit sont
touchés à mains nues, le taux de dégazage est
augmenté.
Porter des gants propres, exempts de peluches
et utiliser des outils propres.
Monter la jauge de sorte qu’elle ne vibre pas. La position de
montage n'est pas imposée mais les particules ne doivent
pas pénétrer dans la chambre de mesure. Veiller à ce que la
jauge installée soit accessible pour un ajustement ultérieur.
Retirer le protecteur et raccorder la jauge à système à vide.
DANGER
DN 40 KF
La jauge ne pourra être branchée qu'à des alimentations ou appareils de mesure répondant
aux exigences pour les basses tensions mises à
la masse (PELV). Il faudra protéger la ligne vers
la jauge.1)
Garder le protecteur.
2)
1)
8
6
4
≤ 16 W
≤ 1.25 A (lente)
35 m
50 m
100 m
H2 He
8
6
4
DN 25 KF
Ajustement
Pirani
vide élevé
p (hPa)
≤ 0.5 A
≤ 0.8 A
0.5 V < U < 0.774 V
Impédance chargée minimale
• utilise ce produit de manière non conforme à l'utilisation
prévue
Couple de serrage
Câble
Longueur du câble
1.3×10-2 hPa
10 V < U ≤ 10.2 V
(signal de mesure limité à
10.2 V par le logiciel)
10 kΩ
• n'observe pas les indications figurant dans ce document
Les pannes du produit dues à des impuretés ou à l'usure,
ainsi que les pièces d'usure (filament), sont exclues de la
garantie.
2.4×10-2 hPa (réglage
d'usine)
0 V / 24 V, niveau API haut =
dégazage actif
Durée
≤ 3 minutes, après,
désactivation automatique
Pendant le dégazage, PBR 260 continue à fournir des
résultats de mesure mais les tolérances peuvent être plus
grandes que pendant le fonctionnement normal.
• Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions appropriées concernant toute intervention. Tenir
également compte des dispositions de précaution figurant
dans ce document.
Communiquer les indications concernant la sécurité aux
autres utilisateurs.
Connecteur électrique
Signal de commande
Signal de sortie (mesure)
Gamme de tension
Gamme de mesure
Gamme Pirani
DN 40 CF-R
Dégazage
(seulement à p < 7.2×10-6 hPa)
Courant
≈ 16 mA / ≈ 4.0 W
Indications concernant la sécurité
Consommation de courant
Standard
Dégazage
Démarrage de l'émission
(200 ms)
Puissance absorbée
Fusible à insérer 1)
Tension sur le dispositif
d'alimentation avec un câble
de longueur maximale
2)
20 … 28 VDC
(ondulation max.
2 Vpp)
Sensor error
Marques
MaxiGaugeTM satisfait à ces exigences.
La tension minimale de l'appareil d'alimentation doit être
augmentée proportionnellement à la longueur du câble de
mesure.
bg5131bf r / b
Source : Allemand BG 5131 BDE / B (2017-02)
Raccordement électrique
Sélection de la gamme d'activation/de
désactivation
Condition préalable : Jauge raccordée au système à vide.
Mettre la commande hors circuit avant de réaliser ou
de couper une connexion vers le produit.
 Si vous ne disposez pas d'un câble de raccordement,
confectionnez en un selon le schéma suivant.
La jauge PBR 260 à deux gammes d'activation/de désactivation sélectionnables par l'utilisateur avec leurs gammes de
transition. Ainsi, on peut éviter que la pression de travail soit
située dans la gamme d'activation/de désactivation. On sélectionne entre les gammes "high" (réglage d'usine) et "low"
moyennant le commutateur <P ↔ BA> . Sélectionnez de
préférence la position "low" car la contamination du système
à cathode chaude est plus faible à une pression basse.
+
–
2
Figure 1 Affectation des contacts
3
1
Broche 1 a) Dégazage
b) Identification (U ≤4.25 V)
Broche 2 Sortie du signal (mesure)
Broche 3 Masse signal GND
6
Broche 4 Alimentation
4
5
Broche 5 Masse alimentation GND
Prise
Broche 6 Blindage
côté soudures
 Fixer la prise du câble de raccordement sur la jauge
high
avec la vis (couple de serrage ≤ 0.2 Nm).
 Brancher la jauge à l'appareil de mesure.
low
high
5.5
×
2.0
low
2.
Gamme de mesure
• L'élément Pirani surveille constamment la pression.
• La cathode chaude (commandée par l'élément Pirani) ne
s'amorce que lorsque la pression tombe au-dessous du
seuil d'activation (pactivation). Après quelques secondes de
fonctionnement, la cathode chaude est prête au service.
Cela est indiqué par la lampe <EMI ON>.
• Lorsque la pression monte au-dessus du seuil de désactivation (pdésactivation), la cathode chaude est désactivée et la
lampe <EMI ON> s'éteint.
Dans la gamme de pression supérieure, la valeur de mesure
Pirani est émise, dans la gamme inférieure, c'est la valeur de
la cathode chaude. Dans la gamme où les deux systèmes de
mesures se recouvrent (pinférieure … psupérieure), un signal mixte
est émis :
Cathode chaude
5 × 10-10 hPa
appuyer sur la touche pendant 2 secondes.
×
10
La jauge est étalonnée en usine. L'utilisation de la jauge dans
un climat différent ou une autre position de montage, son
vieillissement, des impuretés ou l'échange du capteur
peuvent provoquer une dérive de la courbe caractéristique et
un ajustage peut devenir nécessaire. Seul le système Pirani
peut être ajusté. Le système à cathode chaude est étalonné
en usine.
L'élément Pirani est ajusté automatiquement par le système
à cathode chaude à une pression p ≈ 2×10-3 hPa.
Ajustement atmosphérique
Laisser la jauge en service pendant ≈ 10 minutes à
 pression
atmosphérique. Si la jauge était auparavant
au mode de ionisation à cathode chaude, il faut la
laisser refroidir pendant ≈ 30 minutes (température de
jauge = température ambiante).
Insérer une goupille dans l'ouverture <ATM> et appuyer sur la touche pendant ≥ 5 secondes.
p on p off
bar
Pa
hPa
kPa
1
1×103
0.01
1
10
1×10-3
1
1×10-5
1×10-3
0.01
100
1×105
1
100
1×103
1
0.1
0.75
1×103 100
750
0.01 1×10-3 7.5×10-3
1
0.1
0.75
10
1
7.5
1.332 1.332×10-3 133.32 1.3332 0.1332
Déclaration UE de conformité
Par la présente, nous, Pfeiffer Vacuum,
déclarons que le produit ci-après est conforme
à la directive relative à la compatibilité
électromagnétique 2014/30/UE et de la
directive relative à la limitation de l’utilisation
de certaines substances dangereuses dans
les équipements électriques et électroniques
2011/65/UE.
Torr
mm HG
1
Produits
PBR 260
Retour du produit
AVERTISSEMENT
AVERTISSEMENT : transport de produits
contaminés
Les produits qui nous sont envoyés seront dans
la mesure du possible exempts de substances
nocives (p. ex. radioactives, toxiques, caustiques
ou microbiologiques).
Observer les prescriptions de transport des pays
et entreprises de transport concernés. Inclure
une déclaration de contamination remplie.*)
*)
Formulaire disponible sur www.pfeiffer-vacuum.com.
En absence de confirmation univoque que le produit est
"exempt de substances nocives", le produit est décontaminé
aux frais du client.
Si vous envoyez le produit à notre S.A.V. en vue de sa
maintenance, utilisez un emballage étanche, résistant aux
chocs.
Informations supplémentaires
 [1]
 [2]
www.pfeiffer-vacuum.com
Manuel de l'utilisateur
Jauge FullRange® BA, modèle compact PBR 260
BG 5171 BDE (allemand)
BG 5171 BEN (anglais)
BG 5171 BFR (français)
Pfeiffer Vacuum GmbH, D–35614 Asslar, Allemagne
www.pfeiffer-vacuum.com
Manuel de l'utilisateur
MaxiGauge™ TPG 256 A
BG 5186 BDE (allemand)
BG 5186 BEN (anglais)
BG 5186 BFR (français)
Pfeiffer Vacuum GmbH, D–35614 Asslar, Allemagne
Normes
Normes harmonisées, normes internationales et nationales
ainsi que spécifications :
• EN 61000-6-2:2005 (Compatibilité électromagnétique :
immunité)
• EN 61000-6-3:2007 + A1:2011 (Compatibilité
électromagnétique : émission)
• EN 61010-1:2010 (Règles de sécurité pour appareils
électriques de mesurage, de régulation et de laboratoire)
• EN 61326-1:2013 (Exigences relatives à la compatibilité
électromagnétique pour matériel électrique de mesure, de
commande et de laboratoire)
Fabricant / Signature
Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, D-35614 Asslar
7 mars 2016
Dr. Ulrich von Hülsen
Président
DANGER
Démontage
1000 hPa
Ajustement de la jauge

La contamination des électrodes du système d'ionisation à
cathode chaude peut entraîner des instabilités des valeurs de
mesure.
Dans ce cas, nous recommandons de procéder à l'étuvage
(dégazage) de l'anode à une pression de 7.2×10-6 hPa
(courant d'émission 5 mA). L'étuvage se démarre, selon la
configuration utilisée, à l'aide de l'appareil de mesure et de
commande MaxiGauge™, d'un commutateur manuel ou
automatiquement par la commande du système (p. ex. API).
PBR 260 désactive l'étuvage automatiquement après
3 minutes s'il n'a pas été terminé auparavant.
Le dégazage est amorcé par la commutation du signal de
commande (broche 1) de OFF (0 V) à ON (24 V). Il est
terminé par la commutation du signal de commande de ON
(24 V) à OFF (0 V) ou automatiquement après 3 minutes.
Pour un dégazage répété, le signal de commande doit
d'abord commuter de ON (24 V) à OFF (0 V) et ensuite
redémarrer le dégazage en commutant à ON (24 V). Pour
éviter des états indéfinis, nous recommandons de remettre le
signal du dégazage à OFF (0 V) par la commande du
système après chaque étuvage de 3 minutes.
Pendant le dégazage, la grille du collecteur d'électrons est
chauffée à ≈ 700 °C par bombardement d'électrons.
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr
mm HG
mbar
1 Pa = 1 N/m2
Dégazage
DANGER
DANGER : composants contaminés
Les composants contaminés peuvent nuire à la
santé et polluer l'environnement.
Se renseigner avant le début de l'intervention sur
une éventuelle contamination. Observer les
prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes à la manipulation de composants
contaminés.
Attention
Attention : composant à vide
Tout encrassement ou dommage porte atteinte
au fonctionnement du composant à vide.
En utilisant des composants à vide, prendre les
mesures appropriées pour assurer la propreté et
la prévention des dommages éventuels.
Attention
Attention : zone sensible à la pollution
Si le produit ou des composants du produit sont
touchés à mains nues, le taux de dégazage est
augmenté.
Porter des gants propres, exempts de peluches
et utiliser des outils propres.
e
ur
re
ieu
ér
p sup
Les pannes du produit dues à des impuretés ou à
l'usure, ainsi que les pièces d'usure (filament), sont
exclues de la garantie.
 Insérer une goupille dans l'ouverture <ATM> et
La procédure de compensation dure 2 minutes et se
déroule automatiquement.
Table de conversion des unités de
pression
→  [1]
Recyclage
Ajustement vide élevé
La jauge PBR 260 recouvre la gamme de mesure
5×10-10 mbar … 1000 hPa.
-4
Maintenance, résolution de
problèmes
pendant environ 10 minutes.
-2
Pirani
-3
8.0
Si vous utilisez la jauge avec appareil de mesure et de
commande MaxiGauge™, vous pouvez y entrer le facteur de
correction correspondant (→  [2]).
 Laisser la jauge en service à une pression ≤ 1×10 hPa
10 10
×
×
9.9 1.3
Cathode chaude
Dépendance du type de gaz
1000 hPa
10
-3
-3
10
5 × 10-10 hPa
ie
ér
0
0
×1 ×1
2.4 3.2
0
-2
0×
-2
Pirani
5 × 10-10 hPa
Le temps de stabilisation est environ 10 min. Maintenez la
jauge en fonctionnement permanent, indépendamment de la
pression.
p inf
×1
-2
-3
Cathode chaude
Fonctionnement
La valeur de mesure dépend de la nature du gaz. Elle
correspond à l'air sec, à l'oxygène (O2), au monoxyde de
carbone (CO) et à l'azote (N2). Pour d'autres gaz, procéder à
la conversion (→ "Caractéristiques techniques").
Pour cette compensation, nous recommandons également
d'employer la touche pour la compensation de l'atmosphère.
Attention
Il faut sélectionner la gamme d'activation/de
désactivation avant de mettre la jauge en circuit
parce que la position du commutateur est
uniquement prise en compte lors de l'activation
de la jauge.
+
–
Après l'application de la tension d'alimentation, on dispose
entre les broches 2 et 3 du signal de mesure qui est émis
comme logarithme de la pression dans toute la gamme de
mesure (rapport signal de mesure – pression → "Caractéristiques techniques").
• dans le cadre des activités de maintenance habituelles en
vue de l'assurance qualité.
DANGER : composants contaminés
Les composants contaminés peuvent nuire à la
santé et polluer l'environnement.
Se renseigner avant le début de l'intervention sur
une éventuelle contamination. Observer les
prescriptions essentielles et prendre les
précautions afférentes à la manipulation de
composants contaminés.
AVERTISSEMENT
AVERTISSEMENT : substances polluantes
Les composants électriques doivent être triés en
vue de recyclage.
Eliminer les substances polluantes
conformément à la réglementation locale.
Tri des composants
Après le démontage du produit, trier ses composants selon
les critères suivants :
• Composants contaminés
Décontaminer les composants contaminés (par des substances radioactives, toxiques, caustiques ou microbiologiques) conformément à la réglementation nationale, les
trier en fonction de leurs matériaux et les éliminer.
• Composants non contaminés
Trier ces composants en fonction de leurs matériaux et les
récupérer.
 Remettre le système à vide à la pression
Pirani
atmosphérique.
1000 hPa
Compensation du point zéro :
Une compensation du point zéro est recommandée
• après un remplacement du capteur
 Mettre la jauge hors circuit.
 Débrancher le câble de raccordement.
 Démonter la jauge du système à vide et mettre le
protecteur en place.
Berliner Straße 43
D–35614 Asslar
Allemagne
Tel +49 (0) 6441 802-0
Fax +49 (0) 6441 802-1202
info@pfeiffer-vacuum.de
www.pfeiffer-vacuum.com
">