Pfeiffer Sealing gas valve Mode d'emploi

MANUEL DE L'UTILISATEUR
FR
Traduction d'original
VANNE DU GAZ DE PRESSURISATION
Cher Client,
Nous vous remercions d’avoir opté pour un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouvel accessoire
Pfeiffer Vacuum vous donnera entière satisfaction pour votre application, de par sa
conception rigoureuse et son parfait fonctionnement. La marque Pfeiffer Vacuum, synonyme
de techniques du vide performantes, se décline en une gamme exhaustive et variée de
produits de grande qualité, assortis d’un service client irréprochable. En capitalisant sur notre
expertise, nous avons développé une multitude de compétences qui contribuent à la sécurité
et à l’efficacité de mise en œuvre de nos produits.
Nous sommes convaincus que notre produit sera à la hauteur de vos attentes : une solution
efficace et fonctionnelle pour votre application, sans perturber votre activité.
Veuillez lire ce mode d’emploi avant de mettre votre produit en service pour la première fois.
Pour toute question ou suggestion, n’hésitez pas à nous contacter par e-mail à l’adresse
info@pfeiffer-vacuum.de.
Vous trouverez d’autres modes d’emploi de Pfeiffer Vacuum dans le Centre de
téléchargement sur notre site Internet.
Exclusion de responsabilité
Ce manuel d'instructions décrit tous les modèles et variantes de votre produit. Noter que
votre produit peut ne pas être équipé de toutes les fonctionnalités décrites dans ce manuel.
Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le
manuel d'utilisation en ligne peut différer du document imprimé, fourni avec votre produit.
D'autre part, Pfeiffer Vacuum n'assume aucune responsabilité pour les dommages résultant
d'une utilisation contraire à l'usage prévu, ou d'une utilisation définie comme mauvaise
utilisation prévisible.
Droits d’auteur (Copyright)
Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce
document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits
ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations
contenues dans ce document.
2/16
Table des matières
Table des matières
1
A propos de ce manuel
1.1 Validité
1.2 Variantes
1.3 Public visé
1.4 Conventions
1.4.1 Instructions dans le texte
1.4.2 Abréviations
4
4
4
4
4
4
5
2
Sécurité
2.1 Consignes générales de sécurité
2.2 Utilisation conforme
2.3 Utilisations non conformes prévisibles
6
6
6
6
3
Description du produit
3.1 Limite de fourniture
3.2 Description fonctionnelle
7
7
7
4
Installation
8
5
Accessoires
11
6
Caractéristiques techniques et dimensions
6.1 Fiche technique
6.2 Dimensions
12
12
13
Déclaration de conformité UE
14
Déclaration de Conformité UK
15
3/16
A propos de ce manuel
1 A propos de ce manuel
IMPORTANT
Bien lire avant d'utiliser le produit.
Conserver ce manuel pour une future utilisation.
1.1
Validité
Ce manuel de l'utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le produit et ses
fonctions et présente les informations importantes à connaître pour une utilisation sécurisée de l'appareil. La description est effectuée selon les directives en vigueur. Toutes les informations fournies dans
ce manuel de l'utilisateur correspondent au niveau de développement actuel du produit. La documentation est valide dans la mesure où le client n'a pas apporté de modifications au produit.
1.2
Variantes
Numéro de commande
Champ de sélection
PM Z01 310
Vanne de gaz de balayage, blindée pour HiPace 30/60/80 avec TC 110
PM Z01 311
Vanne de la purge de gaz, blindée pour HiPace 300 avec TC 110/120
PM Z01 312
Vanne de purge de gaz neutre, blindée pour HiPace 300 avec TC 400 et
TM 700, TCP 350
PM Z01 313
Vanne de purge de gaz neutre, blindée pour version HiPace 400/700/800 P avec
TC 400 et HiPace 1200-2300 avec TC 1200
PM Z01 314
Vanne de gaz de balayage, blindée pour HiPace 1200–2300 avec TC 1200
PM Z01 322
Vanne de gaz de pressurisation, blindée pour HiPace 2800–3400 avec TC 1200
PM Z01 323
Vanne de gaz de pressurisation, blindée pour HiPace 2800–3400 avec TC 1200
Tab. 1:
1.3
Versions de vanne de la purge de gaz
Public visé
Ce manuel de l’utilisateur est destiné aux personnes qui
● installent,
● utilisent.
Les actions présentées dans ce document s’adressent uniquement aux personnes ayant suivi une formation technique convenable (niveau expert) ou une formation équivalente de Pfeiffer Vacuum.
1.4
Conventions
1.4.1
Instructions dans le texte
Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à
réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes.
Action unique
Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape.
► Il s'agit d’une étape unique.
Action en plusieurs étapes
Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique.
1. Étape 1
2. Étape 2
3. ...
4/16
A propos de ce manuel
1.4.2
Abréviations
DN
Diamètre nominal comme désignation de grandeur
ISO
Bride : Raccord conforme aux normes ISO 1609 et 2861
DEL
Diode électroluminescente
M8
Connecteur à filetage M8
M12
Connecteur à filetage M12
TC
Unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire (contrôleur de pompe turbomoléculaire)
TCP
Unité de commande électronique externe de la pompe turbomoléculaire (contrôleur de turbine) avec alimentation en courant
TM
Unité de commande électronique de pompe turbomoléculaire (contrôleur de turbine) et contrôleur de palier magnétique
WAF
largeur sur pans
Tab. 2:
Abréviations utilisées dans ce document
5/16
Sécurité
2 Sécurité
2.1
Consignes générales de sécurité
Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit :
DANGER
Danger direct et imminent
Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVERTISSEMENT
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
ATTENTION
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVIS
Obligation ou signalement
Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure
physique.
► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels
Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le
produit ou le présent document.
2.2
Utilisation conforme
► Utiliser la vanne du gaz de pressurisation uniquement pour l’admission régulable de gaz inertes
vers les pompes turbomoléculaires Pfeiffer Vacuum compatibles.
► Utiliser la vanne du gaz de pressurisation pour protéger la pompe de l’entrée de gaz corrosifs.
2.3
Utilisations non conformes prévisibles
Toute utilisation non conforme du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité.
Toute utilisation non conforme à l’objectif du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée
comme non réglementaire, en particulier :
● Raccordement sur des pompes à vide et des unités non conçues dans ce but selon leur manuel
de l’utilisateur
● Raccordement sur des unités avec des pièces nues sous tension
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Description du produit
3 Description du produit
3.1
Limite de fourniture
Pièces incluses dans la fourniture :
●
●
●
●
3.2
Vanne du gaz de pressurisation
1 joint annulaire
Filtre
Manuel de l’utilisateur
Description fonctionnelle
La purge de gaz neutre sert à protéger la pompe à vide dans les procédés poussiéreux ou à débit de
gaz excessif. La purge de gaz neutre empêche la pénétration de substances dommageables dans l’espace du moteur et du palier. La vanne de la purge de gaz Pfeiffer Vacuum alimente une pompe à vide
par un débit constant à commande électrique.
1
14
2
3
4
13
12
5
11
Fig. 1:
1
2
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5
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10
9
7
8
6
Présentation de la vanne de la purge de gaz Pfeiffer Vacuum
Fiche de connexion M8
Témoin de contrôle à diode électroluminescente
Câble de commande
Fiche de connexion M12
Filtre (fourni à la livraison)
Bouchon fileté
Adaptateur côté admission de gaz
8
9
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11
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14
Siège de vanne
Vanne magnétique
Corps du filtre avec capillarités
Sortie de gaz
Bouchon de protection
Joint annulaire
Connecteur d’alimentation électrique
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Installation
4 Installation
AVIS
Risque de dégâts causés par des gaz pompés non filtrés
La pénétration de gaz non filtrés à l’admission d’une pompe à vide peut provoquer une contamination
particulaire. Il existe un risque de détérioration, voire de destruction de composants de la pompe à
vide.
► Installer des filtres convenables de la gamme d’accessoires Pfeiffer Vacuum en amont de l’admission de gaz avant d’utiliser l’air ambiant ou tout autre gaz non purifié.
Préconisation d’utilisation
● Pfeiffer Vacuum recommande d’utiliser le gaz d'étanchéité à au moins 50 % du débit
maximal de gaz de la pompe à vide.
● La pression d'entrée admissible du gaz d'étanchéité est de 1 500 hPa absolue.
1
3
4
9
5
11
10
Fig. 2:
Exemple : Raccordement de la vanne de la purge de gaz M8 aux unités de commande
électronique TC 110, TC 120
1
2
3
4
5
6
8/16
2
8
Vis d’arrêt
Joint annulaire
Raccord de la purge de gaz neutre
Pompe turbomoléculaire
Câble de raccordement avec connexion d’accessoire
Ligne de commande
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11
Raccordement multifonction
Unité de commande électronique
Bouchon de protection
Vanne de la purge de gaz
Bouchon fileté
Installation
1
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10
Fig. 3:
1
2
3
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Bouchon fileté
Vis d’arrêt
Joint annulaire
Raccord de la purge de gaz neutre
Unité de commande électronique
1
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1
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5
7
Exemple : Raccordement de la vanne de la purge de gaz M12 aux unités de commande électronique TCP 350, TC 400 et TM 700
Raccordement des accessoires
Pompe turbomoléculaire
Ligne de commande
Bouchon de protection
Vanne de la purge de gaz
Fig. 4:
6
5
2
9
3
8
7
4
6
5
Exemple : Raccordement de la vanne de la purge de gaz M12 aux unités de commande électronique TC 1200, TCP 1200
Pompe turbomoléculaire
Raccord de la purge de gaz neutre
Joint annulaire
Vis d’arrêt
Bouchon fileté
6
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10
Vanne de la purge de gaz
Bouchon de protection
Ligne de commande
Raccordement des accessoires
Unité de commande électronique
Outils nécessaires
● Clé hexagonale, ouverture de clé 17 mm
● Clé dynamométrique calibrée (couple de serrage ≤ 1,6)
Installation de la vanne de la purge de gaz
1. Sur la pompe turbomoléculaire, dévissez le bouchon fileté et son joint annulaire du raccord de la
purge de gaz neutre.
2. Vissez la vanne de la purge de gaz, joint annulaire du côté de la sortie, dans le raccord de purge
de gaz neutre de la pompe turbomoléculaire.
– Couple de serrage : 5 Nm.
9/16
Installation
Raccordement de la vanne de la purge de gaz
Le raccordement électrique de la vanne de la purge de gaz dépend du type de connexion de l’unité de
commande électronique de la pompe turbomoléculaire.
► Configurez la sortie d’accessoire pour la purge de gaz neutre via les interfaces de votre unité de
commande électronique.
► TC 110, TC 120, TCP 350, TCP 1200 : Branchez la fiche de connexion du câble de commande à
l’unité de commande électronique à l’aide d’un adaptateur ou d'un câble de raccordement convenable.
► TC 400, TM 700, TC 1200 : Branchez la fiche de connexion du câble de commande directement à
la prise d’accessoire de l’unité de commande électronique.
Alimentation en gaz de pressurisation
1. Visser le filtre (inclus dans la fourniture) à la main du côté entrée de vanne si le gaz de pressurisation est l’air ambiant sec.
2. Alternative : Raccorder une arrivée de gaz inerte (p. ex. azote) côté entrée.
3. Si nécessaire, utiliser un adaptateur de raccordement de la gamme d’accessoires Pfeiffer Vacuum (hors fourniture).
10/16
Accessoires
5 Accessoires
Description
Référence de commande
Bride à filetage de tuyauterie, DN 16 ISO-KF, G 1/8"
PM 016 780 -T
Anneau de centrage avec filtre en métal fritté, grandeur de pores
0,02 mm, FKM DN 16 ISO-KF
PF 117 216 -T
Tab. 3:
Accessoires en option
11/16
Caractéristiques techniques et dimensions
6 Caractéristiques techniques et dimensions
6.1
Fiche technique
Débit de gaz
Le débit de gaz augmente en fonction de la pression d’admission.
mbar l/s
Pa m3/s
sccm
Torr l/s
atm cm3/s
1
0,1
59,2
0,75
0,987
Pa m /s
10
1
592
7,5
9,87
sccm
1.69 · 10-2
1.69 · 10-3
1
1,27 · 10-2
1.67 · 10-2
Torr l/s
1,33
0,133
78,9
1
1,32
atm cm3/s
1,01
0,101
59,8
0,76
1
mbar l/s
3
Tab. 4:
Tableau de conversion : unités de débit de gaz
Champ de
sélection
Vanne de
gaz de balayage,
blindée
pour HiPace 30/60/80
avec TC
110
Vanne de la
purge de
gaz, blindée pour
HiPace 300
avec TC
110/120
Vanne de
purge de
gaz neutre,
blindée
pour HiPace 300 avec
TC 400 et
TM 700,
TCP 350
Vanne de purge de gaz neutre, blindée
pour version
HiPace
400/700/800 P
avec TC 400 et
HiPace
1200-2300
avec TC 1200
Vanne de
gaz de balayage,
blindée
pour HiPace 1200–
2300 avec
TC 1200
Vanne de
gaz de
pressurisation, blindée pour
HiPace
2800–3400
avec TC
1200
Vanne de
gaz de
pressurisation, blindée pour
HiPace
2800–3400
avec TC
1200
Numéro de
commande
PM Z01 310
PM Z01 311
PM Z01 312
PM Z01 313
PM Z01 314
PM Z01 322
PM Z01 323
Flux de gaz
à pression
atmosphérique
7,5 –
9,5 sccm (0
°C)
12,5 –
15 sccm (0
°C)
12,5 –
15 sccm (0
°C)
17,5 – 20 sccm
(0 °C)
22 –
27 sccm (0
°C)
45 –
60 sccm (0
°C)
17,5 –
20 sccm (0
°C)
Pression
max. à l'aspiration
1 500 hPa
(absolue)
1 500 hPa
(absolue)
1 500 hPa
(absolue)
1 500 hPa (absolue)
1 500 hPa
(absolue)
1 500 hPa
(absolue)
1 500 hPa
(absolue)
Filetage
G 1/8''
G 1/8''
G 1/8''
G 1/8''
G 1/8''
G 1/8''
G 1/8''
Bride de
raccordement (sortie)
G 1/8"
G 1/8"
G 1/8"
G 1/8"
G 1/8"
G 1/8"
G 1/8"
Raccordement électrique
M8
M8
M12
M12
M12
M12
M12
Tension de
commande
24 V DC
24 V DC
24 V DC
24 V DC
24 V DC
24 V DC
24 V DC
Puissance
absorbée
2W
2W
2W
2W
2W
2W
2W
Poids
161 g
161 g
0,17 kg
0,17 kg
0,17 kg
185 g
185 g
Tab. 5:
12/16
Fiche technique des vannes de la purge de gaz Pfeiffer Vacuum
Caractéristiques techniques et dimensions
Dimensions
G1/8"
2
65.5
SW13
50.7
39.7
SW17
M8
G1/8"
89.7
7
96.7
Vanne de la purge de gaz avec câble de raccordement M8
2
G1/8"
65.5
M12
SW17
SW13
50.7
Fig. 5:
39.7
6.2
G1/8"
89.7
7
96.7
Fig. 6:
Vanne de la purge de gaz avec câble de raccordement M12
Dimensions en mm
13/16
Déclaration de conformité UE
Déclaration pour produit(s) du type :
Vanne de la purge de gaz
Pompes turbomoléculaires HiPace
Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes.
Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses, directive déléguée
2015/863/UE
Normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées :
DIN EN 61000-3-2 : 2019
DIN EN 61000-3-3 : 2020
DIN EN 61326-1 : 2018
DIN VDE 0580 : 2011
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Directeur général
Asslar, 2023-07-19
Déclaration de Conformité UK
La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant.
Déclaration pour produit(s) du type :
Vanne de la purge de gaz
Pompes turbomoléculaires HiPace
Nous déclarons par la présente que le produit cité satisfait à toutes les exigences applicables des Directives Britanniques suivantes.
Réglementation 2016 sur la Compatibilité Electromagnétique
Réglementation 2012 sur la Limitation de l'Utilisation de Certaines Substances Dangereuses dans les Equipements Electriques et Electroniques
Normes et spécifications appliquées:
EN IEC 61000-3-2: 2019
EN IEC 61000-3-3: 2013
EN IEC 61326-1: 2021
Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitution du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park,
MK169PS Newport Pagnell.
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Directeur général
Asslar, 2023-07-17
*PT0229*
ed. H - Date 2405 - P/N:PT0229BFR
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