MANUEL DE L'UTILISATEUR FR Traduction d'original HIPACE 350 Pompe turbomoléculaire Cher client, Nous vous remercions d’avoir opté pour un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouvelle pompe turbomoléculaire est conçue pour vous aider par ses performances, son parfait fonctionnement, sans interférer avec votre application. Le nom Pfeiffer Vacuum est synonyme de technologie du vide de haute qualité, d’une gamme étendue et complète de produits de qualité supérieure et d’un service clients qui se distingue par son excellence. Forts de cette expertise, nous avons acquis une multitude de compétences contribuant à une implémentation efficace et sécurisée de notre produit. Sachant que tout arrêt de production est pénalisant, nous espérons vous offrir une solution efficace et fiable pour le fonctionnement continu de votre application. Veuillez lire ce manuel de l'utilisateur avant de mettre votre produit en service pour la première fois. Si vous avez des questions ou suggestions, n’hésitez pas à nous contacter par e-mail info@pfeiffer-vacuum.de. Vous trouverez d’autres manuels de l’utilisateur de nos produits à l'adresse Download Center sur notre site internet. Exclusion de responsabilité Ce manuel d'instructions décrit tous les modèles et variantes de votre produit. Noter que votre produit peut ne pas être équipé de toutes les fonctionnalités décrites dans ce manuel. Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le manuel d'utilisation en ligne peut différer du document imprimé, fourni avec votre produit. D'autre part, Pfeiffer Vacuum n'assume aucune responsabilité pour les dommages résultant d'une utilisation contraire à l'usage prévu, ou d'une utilisation définie comme mauvaise utilisation prévisible. Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum. Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations contenues dans ce document. 2/66 Table des matières Table des matières 1 A propos de ce manuel 1.1 Validité 1.1.1 Documents applicables 1.1.2 Variantes 1.2 Groupe cible 1.3 Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte 1.3.2 Pictogrammes 1.3.3 Autocollants sur le produit 1.3.4 Abréviations 1.4 Justificatif de marque de fabrique 7 7 7 7 7 7 7 8 8 9 9 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité 2.2 Consignes de sécurité 2.3 Mesures de sécurité 2.4 Limites d’utilisation du produit 2.5 Utilisation conforme 2.6 Utilisations non conformes prévisibles 2.7 Qualification personnelle 2.7.1 Garantir la qualification du personnel 2.7.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation 2.7.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum 10 10 10 14 15 15 16 16 16 17 17 3 Description du produit 3.1 Fonction 3.1.1 Refroidissement 3.1.2 Paliers du rotor 3.1.3 Entraînement 3.2 Identification du produit 3.2.1 Types de produit 3.2.2 Caractéristiques du produit 3.3 Contenu de la livraison 18 18 18 18 18 19 19 19 19 4 Transport et stockage 4.1 Transport 4.2 Stockage 20 20 20 5 Installation 5.1 Travail préparatoire 5.2 Serrage de la pompe turbomoléculaire à la partie inférieure 5.3 Raccordement côté vide élevé 5.3.1 Dimensions exigées d'une contre-bride 5.3.2 Prise en compte de la protection antisismique 5.3.3 Utilisation d'un bouclier pare-éclats ou d'un écran protecteur 5.3.4 Utilisation du compensateur de vibrations 5.3.5 Orientations de montage 5.3.6 Installation d'une bride ISO-K sur ISO-K 5.3.7 Fixation de la bride ISO-K à l'ISO-F 5.3.8 Fixation d’une bride CF sur CF-F 5.4 Raccorder le côté vide primaire 5.5 Raccordement des accessoires 5.6 Raccordement de l’alimentation électrique 5.6.1 Relier la pompe turbomoléculaire à la terre 5.6.2 Raccordement électrique 21 21 22 22 22 23 24 24 25 25 26 27 29 30 31 31 31 6 Utilisation 34 3/66 Table des matières 6.1 6.2 6.3 6.4 6.5 4/66 Mise en service Modes de fonctionnement 6.2.1 Fonctionnement sans unité de fonctionnement 6.2.2 Fonctionnement via la connexion multifonctions « X3 » 6.2.3 Fonctionnement via la connexion « E74 » 6.2.4 Fonctionnement via l’appareil de commande Pfeiffer Vacuum 6.2.5 Fonctionnement via un bus de terrain Mise en marche de la pompe turbo Surveillance des opérations 6.4.1 Affichage du mode de travail via diodes électroluminescentes 6.4.2 Surveillance de la température Mise hors circuit et mise à l'air 6.5.1 Mise hors circuit 6.5.2 Mise à l'air 34 35 35 35 35 35 36 36 36 36 37 37 37 38 7 Maintenance 7.1 Informations générales sur la maintenance 7.2 Liste de contrôle pour les inspections et l’entretien 7.3 Remplacement du réservoir de fluide d’exploitation 7.3.1 Retirer le réservoir du fluide d'exploitation 7.3.2 Assembler le réservoir du fluide d'exploitation 7.4 Remplacement de l’unité d’entraînement électronique 7.4.1 Démonter l’unité de commande électronique 7.4.2 Installation de l’unité de commande électronique 7.4.3 Confirmation de la spécification de vitesse 39 39 39 41 41 42 43 44 45 45 8 Mise hors service 8.1 Mise hors service pendant une période prolongée 8.2 Remettre en service 47 47 47 9 Recyclage et mise au rebut 9.1 Informations générales sur la mise au rebut 9.2 Mettre au rebut des pompes turbomoléculaires 48 48 48 10 Dysfonctionnements 49 11 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 52 12 Pièces de rechange HiPace 350 54 13 Accessoires 13.1 Informations sur l’accessoire 13.2 Commande d’accessoires 55 55 55 14 Caractéristiques techniques et dimensions 14.1 Généralités 14.2 Fiche technique 14.3 Caractéristiques 14.4 Substances en contact avec la substance à pomper 14.5 Dimensions 58 58 58 61 62 62 Déclaration de conformité CE 64 Déclaration de Conformité UK 65 Liste des tableaux Liste des tableaux Tab. 1: Tab. 2: Tab. 3: Tab. 4: Tab. 5: Tab. 6: Tab. 7: Tab. 8: Tab. 9: Tab. 10: Tab. 11: Tab. 12: Tab. 13: Tab. 14: Tab. 15: Tab. 16: Tab. 17: Tab. 18: Tab. 19: Tab. 20: Tab. 21: Abréviations utilisées dans ce document Conditions ambiantes autorisées Désignation de produit des pompes turbomoléculaires HiPace Pfeiffer Vacuum Caractéristiques de la pompe turbo Exigences relatives à la fixation de la pompe turbomoléculaire à la partie inférieure Dimensionnement requis du raccord de vide élevé fourni par le client Réduction de la vitesse de pompage lors de l’utilisation d'un bouclier pareéclats ou d'un écran protecteur Réglages d’usine de l’unité de commande électronique des pompes turbomoléculaires à la livraison Comportement et signification des LED de l’unité de commande électronique Paramètres d’usine pour la mise à l'air retardée dans les pompes turbo Intervalles de maintenance Vitesses de rotation nominales caractéristiques des pompes turbomoléculaires Dépannage des pompes turbomoléculaires Pièces de rechange disponibles Accessoires Autres accessoires pour TC 120 | 48 V DC Tableau de conversion : unités de pression Tableau de conversion : unités de débit de gaz Fiche technique pour HiPace 350 | TC 110 Fiche technique pour HiPace 350 | TC 120 Matières entrant en contact avec la substance du procédé 9 15 19 19 22 23 24 34 37 38 40 46 51 54 57 57 58 58 60 61 62 5/66 Liste des figures Liste des figures Fig. 1: Fig. 2: Fig. 3: Fig. 4: Fig. 5: Fig. 6: Fig. 7: Fig. 8: Fig. 9: Fig. 10: Fig. 11: Fig. 12: Fig. 13: Fig. 14: Fig. 15: Fig. 16: Fig. 17: Fig. 18: Fig. 19: Fig. 20: Fig. 21: Fig. 22: Fig. 23: Fig. 24: 6/66 Position des autocollants sur le produit Construction HiPace 350 Exemple : Fixation contre le risque de déplacement et de basculement lié à des vibrations externes Alignement recommandé du raccord de vide préliminaire lors de l’utilisation de pompes primaires à bain d’huile Raccord à bride ISO-K à ISO-F, boulons-agrafes à tête bombée Raccordement d’une bride ISO-K à une bride ISO-F, vis à tête hexagonale et trou taraudé Raccordement d’une bride ISO-K à une bride ISO-F, goujon fileté et trou taraudé Raccordement d’une bride ISO-K à une bride ISO-F, goujon fileté et trou traversant Raccord à bride CF-F, vis à tête hexagonale et trous traversants Raccord à bride CF-F, goujons et trous taraudés Raccord à bride CF-F, goujons et trous traversants Exemple de raccord de vide primaire Exemple de raccordement d'accessoires via adaptateur TCS 12 Exemple : Raccordez le câble de terre Raccordement de l’unité de commande électronique à l’unité de courant Retirer le réservoir du fluide d'exploitation Assembler le réservoir du fluide d'exploitation Retrait de l’unité de commande électronique TC 110|TC 120 Installation de l’unité de commande électronique TC 110|TC 120 Pièces de rechange HiPace 350 Caractéristiques du débit du gaz en fonction de la vitesse de rotation HiPace 350 | DN 100 ISO-K HiPace 350 | DN 100 ISO-F HiPace 350 | DN 100 CF-F 9 18 24 25 25 26 26 27 28 28 28 29 30 31 32 42 43 44 45 54 61 62 63 63 A propos de ce manuel 1 A propos de ce manuel IMPORTANT Bien lire avant d'utiliser le produit. Conserver ce manuel pour une future utilisation. 1.1 Validité Ce manuel de l'utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le produit et ses fonctions et présente les informations importantes à connaître pour une utilisation sécurisée de l'appareil. La description est effectuée selon les directives en vigueur. Toutes les informations fournies dans ce manuel de l'utilisateur correspondent au niveau de développement actuel du produit. La documentation est valide dans la mesure où le client n'a pas apporté de modifications au produit. 1.1.1 Documents applicables Document Numéro Manuel de l’utilisateur, unité de commande électronique TC 110 standard PT 0204 BN Manuel de l’utilisateur pour unité de commande électronique TC 110 PB PT 0245 BN Manuel de l’utilisateur, unité de commande électronique TC 110 E74 PT 0301 BN Manuel de l’utilisateur pour unité de commande électronique TC 110 RS PT 0351 BN Déclaration de conformité Partie du présent document Vous trouverez ces documents dans le Centre de téléchargement Pfeiffer Vacuum. 1.1.2 Variantes ● ● ● ● ● ● 1.2 HiPace 350, DN 100 ISO-K, TC 110 HiPace 350, DN 100 ISO-K, TC 120 HiPace 350, DN 100 ISO-F, TC 110 HiPace 350, DN 100 ISO-F, TC 120 HiPace 350, DN 100 CF-F, TC 110 HiPace 350, DN 100 CF-F, TC 120 Groupe cible Ce manuel d'utilisation s’adresse à toutes les personnes en charge ● ● ● ● ● ● du transport, de l'installation, de la commande et de l'utilisation, de la mise hors service, de la maintenance et du nettoyage, du stockage et du recyclage du produit. Les opérations décrites dans ce document doivent uniquement être effectuées par un personnel doté de la formation technique nécessaire (personnel qualifié), ou ayant suivi une formation correspondante de Pfeiffer Vacuum. 1.3 Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes. 7/66 A propos de ce manuel Action unique Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape. ► Il s'agit d’une étape unique. Action en plusieurs étapes Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique. 1. Étape 1 2. Étape 2 3. ... 1.3.2 Pictogrammes Les pictogrammes utilisés dans le document représentent des informations utiles. Remarque Conseil 1.3.3 Autocollants sur le produit Cette section décrit tous les autocollants sur le produit ainsi que leurs significations. D-35614 Asslar Berliner Str. 43 Mod. HiPace 350 P/N PM P07X XXXXX Type 12 S/N - - - - - - - IPx4 Oil PM XXX XXX -T n, f 66000 1/min, 1100 Hz Mass 7.2 kg Made in Germany 2023/01 Plaque signalétique La plaque signalétique est située sur la partie inférieure de la pompe. TÜV Rheinland C US UL / CSA 61010-1 Remarque concernant le manuel de l’utilisateur Cet autocollant indique que ce manuel de l’utilisateur doit être lu avant d’exécuter une tâche. Classe de protection Ce symbole décrit la classe de protection III pour le produit. Son emplacement indique la position de la mise à la terre fonctionnelle. warranty seal 8/66 Sceau de garantie Le produit est scellé, départ d’usine. L’endommagement ou le retrait d’un sceau de garantie rend tout recours en garantie caduque. A propos de ce manuel 2 1 4 Fig. 1: 3 Position des autocollants sur le produit 1 Remarque concernant le manuel de l’utilisateur 2 Sceau de garantie 1.3.4 Informations sur la mise à la terre 4 Plaque signalétique sur la pompe turbomoléculaire Abréviations Abréviation Signification dans ce document CF Bride : raccord à fermeture métallique conforme à la norme ISO 3669 d Valeur diamètre (en mm) DC Courant continu DN Diamètre nominal comme désignation de grandeur f Valeur de la vitesse de rotation d’une pompe à vide (fréquence, en trs/min ou Hz) HPU Unité de programmation portative. Auxiliaire de commande et de surveillance des paramètres de la pompe HT Bride de vide élevé, côté vide élevé ISO Bride : raccord conforme aux normes ISO 1609 et ISO 2861 DEL Diode électroluminescente FE Terre fonctionnelle FKM Caoutchouc polymère fluoré [P:xxx] Paramètres de commande de l’unité de commande électronique. Inscrits en gras sous forme de nombre à trois chiffres entre crochets. Souvent associés à une courte description. Exemple : [P:312] version logicielle WAF Largeur sur pans T Température (en °C) TC Unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire (contrôleur de pompe turbomoléculaire) TPS Alimentation de tension (alimentation électrique turbo) VV Bride de vide primaire, raccord de vide primaire X3 Connecteur D-Sub 15 broches sur l’unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire Tab. 1: 1.4 3 Abréviations utilisées dans ce document Justificatif de marque de fabrique ● Torx® est une marque de fabrique d’Acument Intellectual Properties, LLC. ● Profibus® est une marque de fabrique de Profibus Nutzerorganisation e.V. 9/66 Sécurité 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit : DANGER Danger direct et imminent Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVERTISSEMENT Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger ATTENTION Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVIS Obligation ou signalement Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure physique. ► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le produit ou le présent document. 2.2 Consignes de sécurité Toutes les consignes de sécurité contenues dans ce document sont basées sur les résultats de l’analyse de risque effectuée conformément à la Directive 2006/42/CE Annexe I relative aux machines et à la norme EN ISO 12100 Section 5. Dans la mesure du possible, toutes les phases du cycle de vie du produit ont été prises en compte. Risques lors du transport AVERTISSEMENT Danger de blessures graves en cas de chute d’objets La chute d’objets peut entraîner des blessures sur les membres, voire même des fractures osseuses. ► Soyez particulièrement vigilant lors du transport manuel du produit. ► Ne pas empiler le produit. ► Portez un équipement de protection, tel que des chaussures de sécurité. 10/66 Sécurité Risques lors de l’installation DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Les blocs d’alimentation électrique non spécifiés et non approuvés peuvent entraîner de graves blessures, voire la mort. ► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences avec une double isolation entre la tension d’entrée de secteur et la tension de sortie, conformément à IEC 61010-1, IEC 60950-1 and IEC 62368-1. ► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences des normes IEC 61010-1, IEC 60950-1 et IEC 62368-1. ► Si possible, utilisez des blocs d’alimentation électrique d'origine ou uniquement des blocs d’alimentation correspondant aux normes de sécurité en vigueur. AVERTISSEMENT Danger de mort dû à un sectionneur de réseau manquant La pompe à vide et l'unité de commande électronique ne sont pas équipées d'un sectionneur de réseau (interrupteur principal). ► Installez un sectionneur de réseau conformément à SEMI-S2. ► Prévoyez un coupe-circuit avec un taux d'interruption de 10 000 A minimum. AVERTISSEMENT Risque de blessure en cas d'installation inappropriée Des situations dangereuses peuvent survenir suite à une installation non sécurisée ou incorrecte. ► Ne pas effectuer soi-même des conversions ou modifications d'unité. ► Veiller à l’intégration dans un circuit de sécurité de secours. AVERTISSEMENT Risque de coupure lié aux pièces coupantes en mouvement, accessibles par l'ouverture de la bride de vide élevé L'ouverture de la bride de vide élevé permet le contact avec des pièces aux arêtes vives. Une rotation manuelle du rotor rend la situation encore plus dangereuse : il y a un risque de coupure et de sectionnement de membres (p ex. extrémités des doigts). Les cheveux et les vêtements amples risquent d’être entraînés. Toute chute d’objet dans la pompe turbomoléculaire provoque des dommages lors de la prochaine utilisation. ► L’obturateur d'origine ne doit être retiré qu’au moment de la connexion de la bride de vide élevé. ► Ne jamais approcher les mains de l'intérieur de la bride de vide élevé. ► Porter des gants de protection pendant l'installation. ► Ne jamais démarrer la pompe turbomoléculaire lorsque les brides de vide ne sont pas raccordées. ► L'installation mécanique doit être achevée avant de procéder à l'installation électrique. ► Empêcher l'accès à la bride de vide élevé de la pompe du côté de l'opérateur (p. ex. chambre de vide ouverte). AVERTISSEMENT Danger de mort par empoisonnement lié à la fuite de liquides de processus toxiques en cas d'endommagement des connexions Une torsion soudaine de la pompe turbo en cas de défaut entraîne l'accélération des raccords. Il y a un risque d'endommagement des connexions sur site (p. ex. conduite de vide préliminaire) entraînant des fuites. Le liquide de processus risque alors de fuir. Dans les procédés impliquant des milieux toxiques, il existe un risque d’intoxication susceptible de provoquer des lésions ou la mort. ► Les masses connectées à la pompe turbo doivent être aussi basses que possibles. ► Si nécessaire, utiliser des conduites flexibles pour la connexion de la pompe turbo. 11/66 Sécurité AVERTISSEMENT Risque de blessure lié à la rupture et à la projection de la pompe turbo avec le compensateur de vibration en cas de dysfonctionnement Un blocage soudain du rotor génère des couples hautement destructeurs conformément à la norme ISO 27892. L'utilisation d'un compensateur de vibration entraînerait probablement la rupture et la projection de la pompe turbo en fonctionnement. L'énergie ainsi libérée pourrait projeter la pompe turbo ou des fragments de l'intérieur de celle-ci dans l'espace environnant. Des gaz potentiellement dangereux pourraient être libérés. Il y a un risque de très graves blessures, voire de mort, et de dommages matériels très importants. ► Des mesures de sécurité sur site pour la compensation des couples doivent être prises. ► Avant d'installer un compensateur de vibration, vous devez d'abord contacter Pfeiffer Vacuum. AVERTISSEMENT Risque de blessure par coupure suite à un démarrage inattendu L'utilisation de prises bouchon sur les connecteurs des unités de commande électronique (accessoires) permet le démarrage automatique de la pompe à vide dès la mise sous tension. L’installation de ces prises bouchon avant ou pendant le raccordement de la pompe provoque la mise en mouvement des pièces, d’où le risque de coupure par les arêtes vives du côté de la bride à vide élevé. ► Ne jamais installer ces prises bouchons sur les connecteurs des unités de commande avant d'avoir raccordé la bride de vide élevé. ► Mettre la pompe sous tension uniquement au moment de l'utiliser. Risques pendant le fonctionnement AVERTISSEMENT Risque de brûlure lié à l'utilisation d'équipements additionnels de chauffe pendant le fonctionnement L'utilisation d'équipements additionnels de chauffe de la pompe à vide ou pour l'optimisation des processus engendre des températures très élevées sur les surfaces pouvant être touchées. Il existe un risque de brûlure. ► Si nécessaire, installer une protection isolante. ► Si nécessaire, appliquer des autocollants d'avertissement sur les points dangereux. ► Vérifier que la pompe à vide est à température ambiante avant de travailler dessus ou à proximité. ► Porter un équipements de protection, p. ex. gants. AVERTISSEMENT Risque de grave blessure lié à la destruction de la pompe à vide en raison d'une surpression L'entrée de gaz à très haute surpression entraîne la destruction de la pompe à vide. Il existe un risque de grave blessure lié à l'éjection d'objets. ► Ne jamais dépasser la pression d'entrée autorisée de 1 500 hPa (absolue) sur le côté aspiration ou la connexion de mise à l'air et de gaz de pressurisation. ► Vérifier que les surpressions liées au processus ne peuvent entrer directement dans la pompe à vide. ATTENTION Risque de blessure lié au contact avec le vide pendant la mise à l'air Lors de la mise à l'air de la pompe à vide, il y a un risque de blessures bénignes lié au contact direct de certaines parties du corps avec le vide, p. ex. hématome. ► La vis de mise à l'air du corps de la pompe turbo ne doit pas être complètement dévissée pendant la mise à l’air. ► Rester à distance de sécurité des appareils automatiques de mise à l'air comme les vannes de mise à l'air. 12/66 Sécurité Risques pendant la maintenance, la mise hors service et la mise au rebut AVERTISSEMENT Danger de mort lié à un choc électrique pendant la maintenance et l’entretien L’appareil n’est complètement hors tension que lorsque la prise secteur a été débranchée et que la pompe turbomoléculaire est à l’arrêt. Danger de mort par électrocution en cas de contact avec des composants sous tension. ► Avant tout travail, mettez hors circuit l’interrupteur secteur. ► Attendez l'arrêt de la pompe turbomoléculaire (vitesse de rotation f = 0). ► Débranchez la prise secteur de l’appareil. ► Sécurisez l’appareil contre tout redémarrage intempestif. AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. AVERTISSEMENT En mettant les mains dans la connexion de vide secondaire ouverte, risque de coupure lié aux pièces coupantes en mouvement Une manipulation incorrecte de la pompe turbomoléculaire avant le travail de maintenance entraîne une situation dangereuse avec un risque de blessure. Lors du démontage de la pompe turbomoléculaire, il y a un risque de coupure en manipulant des pièces en rotation avec des faces acérées. ► Attendez l'arrêt de la pompe turbomoléculaire (vitesse de rotation f = 0). ► Mettez correctement hors circuit la pompe turbomoléculaire. ► Sécurisez la pompe turbomoléculaire contre tout risque de redémarrage. ► Fermez immédiatement les connexions ouvertes après démontage en utilisant le cache d'origine. AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement lié au contact avec des substances toxiques Le réservoir du fluide d’exploitation et les pièces de la pompe turbo peuvent contenir des substances toxiques provenant du liquide pompé. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Prendre les mesures de sécurité appropriées pour prévenir les risques liés aux dangers toxiques ou à la pollution de l’environnement. ► Respecter les informations de la fiche technique de sécurité du fluide d’exploitation. ► Se débarrasser du réservoir du fluide d’exploitation usagé conformément à la réglementation en vigueur. Risques liés aux anomalies de fonctionnement AVERTISSEMENT Danger de mort par électrocution en cas de dysfonctionnement En cas de dysfonctionnement, les appareils raccordés au secteur peuvent être sous tension. Danger de mort par électrocution en cas de contact avec des composants sous tension. ► Toujours conserver l’alimentation librement accessible de manière à pouvoir la débrancher à tout moment. 13/66 Sécurité AVERTISSEMENT Danger de mort lié à l'éjection de composants de la pompe turbomoléculaire en cas de défaut Un blocage soudain du rotor génère des couples hautement destructeurs conformément à la norme ISO 27892. Si la pompe turbomoléculaire n'est pas correctement fixée, elle peut rompre. L'énergie ainsi libérée pourrait projeter la pompe turbomoléculaire ou des fragments de l'intérieur de celle-ci dans l'espace environnant. Des gaz potentiellement dangereux pourraient être libérés. Il y a un risque de très graves blessures, voire de mort, et de dommages matériels très importants. ► Les instructions d'installation de cette pompe turbomoléculaire doivent être respectées. ► Les exigences de stabilité et de structure de la contre-bride doivent être observées. ► Utilisez uniquement les accessoires d'origine ou des matériaux de fixation agréés par Pfeiffer Vacuum pour l'installation. AVERTISSEMENT Danger de mort par empoisonnement lié à la fuite de liquides de processus toxiques en cas d'endommagement des connexions Une torsion soudaine de la pompe turbo en cas de défaut entraîne l'accélération des raccords. Il y a un risque d'endommagement des connexions sur site (p. ex. conduite de vide préliminaire) entraînant des fuites. Le liquide de processus risque alors de fuir. Dans les procédés impliquant des milieux toxiques, il existe un risque d’intoxication susceptible de provoquer des lésions ou la mort. ► Les masses connectées à la pompe turbo doivent être aussi basses que possibles. ► Si nécessaire, utiliser des conduites flexibles pour la connexion de la pompe turbo. AVERTISSEMENT Risque de blessure lié à la rupture et à la projection de la pompe turbo avec le compensateur de vibration en cas de dysfonctionnement Un blocage soudain du rotor génère des couples hautement destructeurs conformément à la norme ISO 27892. L'utilisation d'un compensateur de vibration entraînerait probablement la rupture et la projection de la pompe turbo en fonctionnement. L'énergie ainsi libérée pourrait projeter la pompe turbo ou des fragments de l'intérieur de celle-ci dans l'espace environnant. Des gaz potentiellement dangereux pourraient être libérés. Il y a un risque de très graves blessures, voire de mort, et de dommages matériels très importants. ► Des mesures de sécurité sur site pour la compensation des couples doivent être prises. ► Avant d'installer un compensateur de vibration, vous devez d'abord contacter Pfeiffer Vacuum. 2.3 Mesures de sécurité Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit. Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document. Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit d'origine ou installe un équipement supplémentaire ● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives européennes applicables avant de mettre en service ce système. Mesures de sécurité générales lors de la manipulation du produit ► Respecter toutes les dispositions de sécurité et de prévention des accidents en vigueur. ► Contrôler régulièrement que toutes les mesures de sécurité sont respectées. ► N’exposer aucune partie du corps au vide. ► Toujours assurer un raccordement sûr au conducteur de terre (PE). ► Ne jamais débrancher les fiches de raccordement en cours de fonctionnement. 14/66 Sécurité ► Respecter les procédures d’arrêt ci-dessus. ► Avant de travailler sur le raccord de vide secondaire, attendre que le rotor se soit complètement arrêté (vitesse de rotation f =0). ► L'appareil ne doit jamais être mis en route lorsque le raccord de vide secondaire est ouvert. ► Tenir les conduites et les câbles éloignés des surfaces chaudes (> 70°C). ► Ne jamais remplir ou faire fonctionner l’appareil avec des produits de nettoyage ou leurs résidus. ► Ne pas effectuer soi-même des conversions ou modifications d'unité. ► Consulter la classe de protection de l’unité avant son installation ou fonctionnement dans d’autres environnements. 2.4 Limites d’utilisation du produit Lieu de mise en place Protégé des intempéries (espace intérieur) Pression d’air 530 hPa à 1 060 hPa Altitude d’installation Max. 5000 m Humidité rel. de l’air max. 80%, à T < 31°C, jusqu’à max. 50 % à T < 40 °C Classe de protection III Catégorie de surtension II Degré de protection admissible IP44, Type 12 conformément à UL 50E Degré de pollution 2 Température ambiante 5 °C à 30 °C avec refroidissement par convection sans débit de gaz 5 °C à 35 °C avec refroidissement par air 5 °C à 40 °C avec refroidissement à l’eau Champ magnétique environnant maximum admissible Voir « Caractéristiques techniques » Rayonnement thermique maximum 2,4 W Température maximum admissible du rotor de la pompe turbomoléculaire 90 °C Température de dégazage maximum admissible au niveau de la bride de vide élevé 120 °C Tab. 2: Conditions ambiantes autorisées Remarques sur les conditions ambiantes Les températures ambiantes admissibles spécifiées s'appliquent au fonctionnement de la pompe turbo à la pression de secours maximum admissible ou avec un débit de gaz maximum, en fonction du type de refroidissement. La pompe est intrinsèquement sûre grâce à la surveillance redondante de la température. ● La réduction de la pression de vide ou du débit du gaz permet le fonctionnement de la pompe turbomoléculaire à des températures ambiantes plus élevées. ● Si la température de fonctionnement maximum admissible de la pompe turbomoléculaire est dépassée, l'unité d’entraînement électronique va d'abord réduire la vitesse d'entraînement, puis la mettre hors circuit si nécessaire. 2.5 Utilisation conforme ► Utilisation de la pompe turbomoléculaire uniquement pour générer du vide. ► Utiliser la pompe turbomoléculaire uniquement en combinaison avec une pompe de secours appropriée pouvant générer la pression de vide préliminaire maximum requise. ► Utiliser la pompe turbomoléculaire uniquement à l'abri, dans un local fermé. ► Utiliser la pompe turbomoléculaire uniquement pour l'évacuation de gaz secs et inertes. 15/66 Sécurité 2.6 Utilisations non conformes prévisibles Toute utilisation non conforme du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité. Toute utilisation non conforme à l’objectif du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée comme non réglementaire, en particulier : ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● Raccordement de l’alimentation électrique sans installation correcte Installation avec du matériel de fixation non spécifié Pomper des substances explosives Pompage de substances corrosives Pompage de vapeurs de condensation Pompage de fluides Pompage de poussière Fonctionnement avec un débit de gaz élevé non admissible Fonctionnement avec une pression de vide primaire élevée non admissible Fonctionnement avec un rayonnement thermique excessif Fonctionnement dans des champs magnétiques d’intensité élevée non admissibles Fonctionnement dans un mode gaz incorrect Mise à l'air avec un débit de mise à l'air élevé non admissible Utilisation pour générer de la pression Utilisation dans des zones à rayonnement ionisant Fonctionnement dans des zones potentiellement explosives Utilisation dans des systèmes où des charges et des vibrations sporadiques ou des forces périodiques agissent sur l’appareil ● Création de conditions de fonctionnement dangereuses en raison d'un réglage par défaut sur l'unité de commande électronique contraire au processus ● Utilisation d’accessoires ou de pièces de rechange non répertoriées dans ces instructions 2.7 Qualification personnelle L'utilisation décrite dans ce document doit être confiée à des personnes disposant des qualifications professionnelles adéquates et de l'expérience nécessaire ou qui ont suivi la formation requise dispensée par Pfeiffer Vacuum. Formation du personnel 1. Former le personnel technique sur le produit. 2. Ne laisser le personnel à former travailler avec et sur le produit que sous la supervision d'un personnel qualifié. 3. Seul un personnel technique formé est autorisé à travailler avec le produit. 4. Avant de commencer à travailler, s'assurer que le personnel engagé a lu et compris ce mode d'emploi et tous les documents pertinents, en particulier les informations relatives à la sécurité, à l'entretien et à la réparation. 2.7.1 Garantir la qualification du personnel Spécialistes des travaux mécaniques Seuls des spécialistes qualifiés peuvent effectuer des travaux mécaniques. Selon la définition de ce document, les spécialistes sont des personnes responsables de la construction, de l'installation mécanique, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes : ● Compétences dans le domaine mécanique conformément aux régulations nationales en vigueur ● Connaissance de cette documentation Spécialisation dans les travaux d'ingénierie électriques Seul un électricien qualifié peut effectuer des travaux d'ingénierie électriques. Selon la définition de ce document, les électriciens sont des personnes responsables de l'installation électrique, de la mise en service, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes : ● Compétences dans le domaine de l'ingénierie électrique conformément aux régulations nationales en vigueur ● Connaissance de cette documentation 16/66 Sécurité De plus, ces personnes doivent être familiarisées avec les réglementations et la législation en matière de sécurité en vigueur, ainsi que les normes, directives et lois mentionnées dans cette documentation. Les personnes mentionnées ci-dessus doivent avoir obtenu expressément l'autorisation d'utilisation afin de mettre en service, de programmer, de configurer, de marquer et de mettre à la terre les appareils, systèmes et circuits conformément aux standards technologiques en matière de sécurité. Personnes qualifiées Seules les personnes spécialement formées peuvent effectuer toutes les opérations relatives au transport, à l'entreposage, à l'utilisation et à la mise au rebut. Ce type de formation doit garantir que ces personnes sont capables d'exécuter correctement les activités et opérations requises, et en toute sécurité. 2.7.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation Formations avancées Pfeiffer Vacuum propose des formations avancées pour les niveaux de maintenance 2 et 3. Les personnes adéquatement qualifiées sont : ● Maintenance de niveau 1 ─ Client (spécialiste formé) ● Maintenance de niveau 2 ─ Client avec formation technique ─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum ● Maintenance de niveau 3 ─ Client avec formation à l'entretien Pfeiffer Vacuum ─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum 2.7.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum Pour une utilisation optimale et sans problème de ce produit, Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de cours et de formations techniques. Pour plus de précisions, contacter le service de formation technique Pfeiffer Vacuum. 17/66 Description du produit 3 Description du produit 3.1 Fonction La pompe turbomoléculaire forme une unité compacte avec l'unité de commande électronique. Les packs d’alimentation électrique Pfeiffer Vaccum servent d’alimentation en tension. 1 11 Fig. 2: 3.1.1 10 2 9 8 5 4 3 7 6 Construction HiPace 350 1 Couvercle protecteur de la bride de vide poussé 2 Partie inférieure de la pompe 3 Borne de connexion de terre (alternative : surface de montage du refroidissement par air) 4 Corps de pompe 7 8 9 Connexion multifonctions « X3 » Unité de commande électronique Vis de ventilation 10 5 Raccord de vide secondaire, DN 100 CF-F 6 Rotor 11 Cache pour raccord de vide primaire, DN 16 ISO-KF Raccord de la purge de gaz neutre Refroidissement ● Refroidissement par convexion ● Refroidissement par air (option) ● Refroidissement par eau (option) L’unité de commande électronique régule automatiquement l’arrêt de la commande en cas de température excessive. 3.1.2 Paliers du rotor pompe turbo à paliers hybrides ● Côté vide secondaire : paliers magnétiques permanents sans usure ● Côté vide préliminaire : roulement à billes en céramique Les pompes turbomoléculaires HiPace à paliers hybrides utilisent des roulements à billes en céramique pour le palier du rotor côté vide préliminaire. La pompe à fluide d’exploitation assure une lubrification définie et le fonctionnement continu des roulements à billes. 3.1.3 Entraînement ● Unité de commande électronique TC 110 ─ Tension de service 24 V CC ● Unité de commande électronique TC 120 ─ Tension de service 48 V CC 18/66 Description du produit 3.2 Identification du produit ► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, toujours conserver à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique. ► Pour plus d'informations sur les certifications, se référer aux libellés correspondants sur le produit ou consulter www.certipedia.com avec l'ID de société 000021320. 3.2.1 Types de produit La désignation de produit des séries de pompes turbomoléculaires Pfeiffer Vacuum HiPace est composée du nom de famille, de la taille (basée sur la vitesse de pompage de la pompe à vide) et, si nécessaire, de la description d'une caractéristique supplémentaire. Famille Taille/modèle Propriétés, attributs, caractéristiques HiPace 10 à 2800 aucun/aucune = version standard mini = version compacte U = version suspendue C = version gaz corrosif P = processus M = palier magnétique actif T = gestion de température Plus = faible vibration, faible champ magnétique E = haut rendement H = compression élevée I = implantation ion Tab. 3: 3.2.2 Désignation de produit des pompes turbomoléculaires HiPace Pfeiffer Vacuum Caractéristiques du produit Caractéristique Bride HV DN 100 ISO-K DN 100 ISO-F DN 100 CF-F Matériau de bride Aluminium Aluminium Inox Tab. 4: 3.3 Version Caractéristiques de la pompe turbo Contenu de la livraison ● ● ● ● Pompe turbomoléculaire avec unité de commande électronique Cache protecteur de la connexion de vide secondaire Cache protecteur de la connexion de vide préliminaire Manuel de l’utilisateur 19/66 Transport et stockage 4 Transport et stockage 4.1 Transport AVERTISSEMENT Danger de blessures graves en cas de chute d’objets La chute d’objets peut entraîner des blessures sur les membres, voire même des fractures osseuses. ► Soyez particulièrement vigilant lors du transport manuel du produit. ► Ne pas empiler le produit. ► Portez un équipement de protection, tel que des chaussures de sécurité. Recommandation Pfeiffer Vacuum recommande de conserver l’emballage de transport et de protection d’origine. Transport en toute sécurité du produit ► Transportez la pompe turbomoléculaire uniquement dans les limites admissibles de température. ► Observez le poids spécifié sur la plaque signalétique. ► Dans la mesure du possible, transportez ou expédiez toujours la pompe turbomoléculaire dans son emballage d'origine. ► Portez toujours la pompe turbomoléculaire avec les deux mains. ► Retirez le couvercle protecteur seulement juste avant l’installation. 4.2 Stockage Recommandation Pfeiffer Vacuum recommande de stocker le produit dans son conditionnement de transport d’origine. Stockage de la pompe turbomoléculaire 1. Obturez hermétiquement toutes les ouvertures de bride avec les capuchons de protection d'origine. 2. Fermez toutes les autres connexions (raccord de mise à l'air, etc.) avec les pièces d'origine correspondantes. 3. Rangez la pompe turbomoléculaire uniquement dans un local dans les limites admissibles de température. 4. Dans les locaux où l’atmosphère est humide ou corrosive : Scellez la pompe turbomoléculaire avec un agent dessiccant dans un sac en plastique hermétique. 20/66 Installation 5 Installation L'installation de la turbopompe et sa fixation sont d'une importance primordiale. Le rotor de la pompe turbomoléculaire tourne à grande vitesse. En pratique, il n’est pas exclu que le rotor entre en contact avec le stator (par ex. en cas de pénétration de corps étrangers dans la bride de vide élevé). En l’espace de quelques fractions de secondes, l'énergie cinétique libérée agit sur le boîtier et sur l'ancrage de la pompe turbomoléculaire. Des calculs et des tests approfondis effectués selon la norme ISO 27892 garantissent la protection de la pompe turbomoléculaire contre la démolition (destruction des pales du rotor) et l'éclatement (rupture de l’arbre du rotor). Les résultats expérimentaux et théoriques se traduisent par des mesures de sécurité et des recommandations à suivre pour une fixation conforme et sûre de la pompe turbomoléculaire. 5.1 Travail préparatoire AVERTISSEMENT Risque de coupure lié aux pièces coupantes en mouvement, accessibles par l'ouverture de la bride de vide élevé L'ouverture de la bride de vide élevé permet le contact avec des pièces aux arêtes vives. Une rotation manuelle du rotor rend la situation encore plus dangereuse : il y a un risque de coupure et de sectionnement de membres (p ex. extrémités des doigts). Les cheveux et les vêtements amples risquent d’être entraînés. Toute chute d’objet dans la pompe turbomoléculaire provoque des dommages lors de la prochaine utilisation. ► L’obturateur d'origine ne doit être retiré qu’au moment de la connexion de la bride de vide élevé. ► Ne jamais approcher les mains de l'intérieur de la bride de vide élevé. ► Porter des gants de protection pendant l'installation. ► Ne jamais démarrer la pompe turbomoléculaire lorsque les brides de vide ne sont pas raccordées. ► L'installation mécanique doit être achevée avant de procéder à l'installation électrique. ► Empêcher l'accès à la bride de vide élevé de la pompe du côté de l'opérateur (p. ex. chambre de vide ouverte). Remarques générales pour l’installation des composants de vide ► L’emplacement de l’installation doit être choisi de façon à permettre à tout moment d'accéder au produit et aux conduites d'alimentation. ► Observez les conditions ambiantes indiquées pour les limites d’utilisation. ► L'assemblage doit être effectué en veillant à une propreté maximale. ► Pendant l’installation, les composants de brides doivent être parfaitement dégraissés, dépoussiérés et secs. Sélection de l'emplacement de l’installation 1. Observer les instructions de transport jusqu'à l'emplacement de l’installation. 2. Vérifier que les options de refroidissement sont suffisantes pour la pompe turbo. 3. Installer des blindages appropriés si les champs magnétiques environnants excèdent les niveaux admissibles. 4. Installer le blindage approprié de façon à ce que le rayonnement thermique ne dépasse pas les valeurs admissibles lorsque des températures élevées sont générées en raison du procédé. 5. Respecter les températures admissibles pour le raccord de vide. 21/66 Installation 5.2 Serrage de la pompe turbomoléculaire à la partie inférieure AVIS Dommage à la pompe turbomoléculaire à cause d’une force agissant sur le côté vide élevé En cas de fixation à la partie inférieure de la pompe et simultanément au côté vide élevé à l'aide d’un raccord tubulaire rigide, il existe un risque que des forces réactives agissent sur la pompe turbomoléculaire. Les charges mécaniques ainsi générées peuvent endommager voire détruire la pompe turbomoléculaire. ► Créez un raccord flexible vers la bride de vide élevé. ► Respectez les exigences au moment de fixer la pompe turbomoléculaire à la partie inférieure. ► Si le rotor se bloque soudainement, vérifiez que tous les couples de serrage générés sont absorbés par la plaque de montage du côté opérateur. Accessoires requis ● ● ● ● Trous conformes aux dimensions de la pompe turbomoléculaire Vis de fixation, classe de force ≥ 8,8, galvanisée Rondelle, DIN EN ISO 7090 ou DIN EN ISO 7092 Plaque de montage fournie par le client Outils nécessaires ● Clé hexagonale, WAF 6 ● Clé à écrou, en alternative pour les boulons six pans DIN 933 ● Clé dynamométrique calibrée (couple de serrage ≤ 1,6) Serrage de la pompe turbomoléculaire à la partie inférieure 1. Retirez les bouchons en plastique de la partie inférieure de la pompe. 2. Placez la pompe turbomoléculaire de champ sur la plaque de montage. 3. Vissez la partie inférieure de la pompe sur la plaque de montage avec le nombre de vis de fixation et de rondelles requis. – Respectez la profondeur de vissage indiquée. – Respectez le couple de serrage admis. Pompe turbomoléculaire Plaque de montage Épaisseur minimum | Résistance à la traction Taille du filetage Quantité Profondeur de vissage Couple de serrage HiPace 350 HiPace 400 HiPace 450 HiPace 700 HiPace 800 3 mm | > 270 MPa M8 6 ≥ 1,3 × d 25 Nm ± 10 % Tab. 5: Exigences relatives à la fixation de la pompe turbomoléculaire à la partie inférieure 5.3 Raccordement côté vide élevé 5.3.1 Dimensions exigées d'une contre-bride AVIS Risque d'endommagement lié à une conception incorrecte de la contre-bride Une irrégularité de la contre-bride côté opérateur soumet le corps de la pompe à vide à de fortes contraintes, même lorsque la fixation a été correctement effectuée. Cela risque de provoquer une fuite ou d'affecter négativement les caractéristiques de fonctionnement. ► Les tolérances de forme de la contre-bride doivent être respectées. ► Respecter les divergences maximales de planéité sur toute la surface. 22/66 Installation Pièces de superstructure et robinetterie sur le raccord de vide élevé La responsabilité de l'installation des pièces de superstructure et de la robinetterie sur le raccord de vide élevé incombe à la société d'exploitation. La capacité de charge de la bride de vide secondaire est spécifique à la pompe turbomoléculaire utilisée. ● Le poids total des pièces de superstructure ne doit pas excéder les valeurs axiales maximum spécifiées. ● Assurez-vous que tous les moments de force générés lorsque le moteur bloque soudainement sont absorbés par le système du côté opérateur et le raccord de vide élevé. ● Utilisez exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccord de vide secondaire de la pompe turbomoléculaire. Paramètre HiPace 350 Couple maximum généré en cas d’éclatement1) 3500 Nm Charge axiale maximum autorisée sur la bride de vide secondaire2) 1 000 N (équivalent à 100 kg) Planéité ± 0,05 mm Résistance à la traction minimum du matériau de bride dans tous les états de fonctionnement par rapport à la profondeur d’engagement des vis de fixation 170 N/mm2 @ 2,5 x d 270 N/mm2 @ 1,5 x d Température maximum admissible du rotor 90 °C Tab. 6: 5.3.2 Dimensionnement requis du raccord de vide élevé fourni par le client Prise en compte de la protection antisismique AVIS Endommagement de la pompe à vide lié à des vibrations externes En cas de tremblement de terre ou d’autres vibrations externes, le rotor risque d’entrer en contact avec les paliers de sécurité. La paroi du corps peut aussi toucher la pompe turbo. Les charges mécaniques ainsi générées peuvent endommager voire détruire la pompe turbo. ► Il faut s'assurer que tous les raccords de bride et de sûreté absorbent les forces résultantes. ► La chambre de vide doit être fixée en toute sécurité pour prévenir tout risque de déplacement ou de basculement. 1) Le couple théorique calculé en cas d’éclatement (rupture de l’arbre du rotor) conformément à la norme ISO 27892 n’a pas été atteint pendant les tests expérimentaux. 2) Une charge qui s’exerce sur un seul côté n’est pas autorisée. 23/66 Installation VACUUM CHAMBER Fig. 3: Exemple : Fixation contre le risque de déplacement et de basculement lié à des vibrations externes Raccordement de sûreté, côté client 5.3.3 Utilisation d'un bouclier pare-éclats ou d'un écran protecteur Les anneaux de centrage Pfeiffer Vacuum avec bouclier pare-éclats ou écran protecteur dans la bride de vide secondaire protègent la pompe turbo contre les matières étrangères provenant de la chambre de vide. La vitesse de pompage est réduite conformément aux valeurs de référence de passage et à la taille de la bride de vide secondaire. Taille de bride Réduction de la vitesse de pompage en % par type de gaz H2 He N2 Ar Bouclier pare-éclats DN 100 5 7 24 24 Écran protecteur DN 100 2 2 10 8 Tab. 7: Réduction de la vitesse de pompage lors de l’utilisation d'un bouclier pare-éclats ou d'un écran protecteur Procédure ► Pour les brides ISO, utiliser des anneaux de centrage avec un écran protecteur ou un pare-éclats. ► Pour des brides CF, insérez toujours la grille de protection ou le pare-éclats en tournant les talons de serrage vers le rotor dans la bride de vide élevé. 5.3.4 Utilisation du compensateur de vibrations AVERTISSEMENT Risque de blessure lié à la rupture et à la projection de la pompe turbo avec le compensateur de vibration en cas de dysfonctionnement Un blocage soudain du rotor génère des couples hautement destructeurs conformément à la norme ISO 27892. L'utilisation d'un compensateur de vibration entraînerait probablement la rupture et la projection de la pompe turbo en fonctionnement. L'énergie ainsi libérée pourrait projeter la pompe turbo ou des fragments de l'intérieur de celle-ci dans l'espace environnant. Des gaz potentiellement dangereux pourraient être libérés. Il y a un risque de très graves blessures, voire de mort, et de dommages matériels très importants. ► Des mesures de sécurité sur site pour la compensation des couples doivent être prises. ► Avant d'installer un compensateur de vibration, vous devez d'abord contacter Pfeiffer Vacuum. Les compensateurs de vibrations Pfeiffer Vacuum sont destinés aux systèmes sensibles aux vibrations. 24/66 Installation Installation du compensateur de vibrations 1. Seul un compensateur de vibrations à passage vertical peut être installé. 2. Tenir compte de la résistance à l’écoulement. 3. Fixer la pompe turbo également à la bride de vide secondaire. 4. Respecter la fixation des brides ISO. 5.3.5 Orientations de montage Les pompes turbomoléculaires Pfeiffer Vacuum de la série HiPace sont adaptées à une utilisation avec les pompes de secours de type compression à vide pour un montage dans toutes les positions. ► Lors de l'utilisation de pompes de secours à bain d'huile, évitez le retour de la plage de vide primaire. HV VV Fig. 4: VV ± 25° max VV Alignement recommandé du raccord de vide préliminaire lors de l’utilisation de pompes primaires à bain d’huile Détermination de l’orientation horizontale de montage de la pompe turbomoléculaire avec des pompes primaires à bain d’huile 1. Alignez toujours le raccordement de vide primaire verticalement et vers le bas. – Déviation admissible ± 25° 2. Les raccordements des tubes devant la pompe turbomoléculaire doivent être fixés sur des supports. 3. Les forces générées par le système de tuyauterie ne doivent pas s'exercer sur la pompe turbomoléculaire. 4. Ne chargez pas la bride de vide élevé de la pompe turbomoléculaire sur un côté. 5.3.6 Installation d'une bride ISO-K sur ISO-K Raccords à bride ISO Pour le raccordement des brides dans une configuration ISO-KF ou ISO-K, une torsion peut se produire en cas de blocage soudain du rotor, même avec une installation correctement exécutée. ● Cette situation n'entraîne toutefois aucun risque pour l'étanchéité du raccord à bride. Outillage nécessaire ● Clé, WAF 15 ● Clé dynamométrique étalonnée (facteur de serrage ≤ 1,6) Fig. 5: Raccord à bride ISO-K à ISO-F, boulons-agrafes à tête bombée 25/66 Installation Raccordement avec boulon-agrafe à tête bombée 1. Pour le raccordement de la pompe turbo, utiliser uniquement les kits de montage agréé Pfeiffer Vacuum. 2. Raccorder la bride aux composants du kit de montage conformément à la figure. 3. Utiliser tous les composants prescrits pour la pompe turbo. 4. Serrer les boulons-agrafes à tête bombée en croix en 3 étapes. – Couple de serrage : 5, 15, 25 ± 2 Nm 5.3.7 Fixation de la bride ISO-K à l'ISO-F Les types de raccordement pour l’installation d’une bride ISO-K avec une bride ISO-F sont : ● « Vis à tête hexagonale et trous taraudés » ● « Goujons avec trous taraudés » ● « Goujons avec trous traversants » Raccords à bride ISO Pour le raccordement des brides dans une configuration ISO-KF ou ISO-K, une torsion peut se produire en cas de blocage soudain du rotor, même avec une installation correctement exécutée. ● Cette situation n'entraîne toutefois aucun risque pour l'étanchéité du raccord à bride. Outillage nécessaire ● Clé hexagonale (15 WAF) ● Clé dynamométrique étalonnée (facteur de serrage ≤ 1,6) Fig. 6: Raccordement d’une bride ISO-K à une bride ISO-F, vis à tête hexagonale et trou taraudé Raccordement des vis à tête hexagonale et des trous taraudés 1. Utiliser exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccordement de la pompe turbo. 2. Placer la bride à chapeau au-dessus de la bride de vide secondaire sur la pompe turbomoléculaire. 3. Insérer le circlip dans la gorge latérale sur la bride de vide secondaire de la pompe turbomoléculaire. 4. Fixer la pompe turbomoléculaire avec la bride à chapeau, le circlip et l'anneau de centrage à la contre-bride conformément à la figure. 5. Utiliser tous les composants prescrits pour la pompe turbo. 6. Visser les vis à tête hexagonale dans les trous taraudés. – Observer la résistance à la traction minimale du matériau de bride et la profondeur des vis. 7. Serrer les vis à tête hexagonale en croix en 3 étapes. – Couple de serrage : 5, 15, 25 ± 2 Nm Fig. 7: 26/66 Raccordement d’une bride ISO-K à une bride ISO-F, goujon fileté et trou taraudé Installation Raccordement des goujons et des trous taraudés 1. Utiliser exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccordement de la pompe turbo. 2. Visser le nombre requis de goujons avec l'extrémité la plus courte dans les trous de la contre-bride. – Observer la résistance à la traction minimale du matériau de bride et la profondeur des vis. 3. Placer la bride à chapeau au-dessus de la bride de vide secondaire sur la pompe turbomoléculaire. 4. Insérer le circlip dans la gorge latérale sur la bride de vide secondaire de la pompe turbomoléculaire. 5. Fixer la pompe turbomoléculaire avec la bride à chapeau, le circlip et l'anneau de centrage à la contre-bride conformément à la figure. 6. Utiliser tous les composants prescrits pour la pompe turbo. 7. Bloquer les écrous en croix en 3 étapes. – Couple de serrage : 5, 15, 25 ± 2 Nm Fig. 8: Raccordement d’une bride ISO-K à une bride ISO-F, goujon fileté et trou traversant Raccordement des goujons et des trous traversants 1. Utiliser exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccordement de la pompe turbo. 2. Placer la bride à chapeau au-dessus de la bride de vide secondaire sur la pompe turbomoléculaire. 3. Insérer le circlip dans la gorge latérale sur la bride de vide secondaire de la pompe turbomoléculaire. 4. Fixer la pompe turbomoléculaire avec la bride à chapeau, le circlip et l'anneau de centrage à la contre-bride conformément à la figure. 5. Utiliser tous les composants prescrits pour la pompe turbo. 6. Serrer les écrous en croix en 3 étapes. 7. Couple de serrage : 5, 15, 25 ± 2 Nm 5.3.8 Fixation d’une bride CF sur CF-F Les types de raccordement pour l'installation de la bride CF avec une bride CF sont : ● « Vis à tête hexagonale et trous traversants » ● « Goujons avec trous taraudés » ● « Goujons avec trous traversants » AVIS Des fuites peuvent se produire en raison d'une installation incorrecte des brides CF Le manque de propreté lors de la manipulation des brides CF et des joints de cuivre entraîne des fuites et peut entraîner une dégradation de fonctionnement. ► Toujours porter des gants adéquats avant de toucher ou d'installer tout composant. ► Ne monter que des joints secs et dépourvus de graisse. ► Corriger les surfaces endommagées et les bords coupés. ► Remplacer les composants endommagés. Outillage nécessaire ● Clé hexagonale (13 WAF) ● Clé dynamométrique étalonnée (facteur de serrage ≤ 1,6) 27/66 Installation Fig. 9: Raccord à bride CF-F, vis à tête hexagonale et trous traversants Raccordement des vis à tête hexagonale et des trous traversants 1. Pour le raccordement de la pompe turbomoléculaire, utiliser uniquement les kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum. 2. Si utilisés : Insérez l'écran protecteur ou le pare-éclats en orientant les pattes vers le bas dans la bride de vide secondaire de la pompe turbomoléculaire. 3. Placer le joint parfaitement dans la partie creuse. 4. Raccorder la bride aux composants du kit de montage conformément à la figure. 5. Serrer complètement les raccords vissés. – Couple de serrage : 22 ± 2 Nm 6. Étant donné que l'afflux de matériau d'étanchéité peut entraîner le besoin de resserrer les vis, il convient de vérifier le couple. Fig. 10: Raccord à bride CF-F, goujons et trous taraudés Raccordement des goujons et des trous taraudés 1. Pour le raccordement de la pompe turbomoléculaire, utiliser uniquement les kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum. 2. Visser le nombre requis de goujons avec l'extrémité la plus courte dans les trous de la contre-bride. 3. Si utilisés : Insérez l'écran protecteur ou le pare-éclats en orientant les pattes vers le bas dans la bride de vide secondaire de la pompe turbomoléculaire. 4. Placer le joint parfaitement dans la partie creuse. 5. Raccorder la bride aux composants du kit de montage conformément à la figure. 6. Serrer complètement les raccords vissés. – Couple de serrage : 22 ± 2 Nm 7. Étant donné que l'afflux de matériau d'étanchéité peut entraîner le besoin de resserrer les vis, il convient de vérifier le couple. Fig. 11: Raccord à bride CF-F, goujons et trous traversants Raccordement des goujons et des trous traversants 1. Pour le raccordement de la pompe turbomoléculaire, utiliser uniquement les kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum. 2. Si utilisés : Insérez l'écran protecteur ou le pare-éclats en orientant les pattes vers le bas dans la bride de vide secondaire de la pompe turbomoléculaire. 3. Placer le joint parfaitement dans la partie creuse. 28/66 Installation 4. Raccorder la bride aux composants du kit de montage conformément à la figure. 5. Serrer complètement les raccords vissés. – Couple de serrage : 22 ± 2 Nm 6. Étant donné que l'afflux de matériau d'étanchéité peut entraîner le besoin de resserrer les vis, il convient de vérifier le couple. 5.4 Raccorder le côté vide primaire AVERTISSEMENT Danger de mort par empoisonnement lié à la fuite de liquides de processus toxiques en cas d'endommagement des connexions Une torsion soudaine de la pompe turbo en cas de défaut entraîne l'accélération des raccords. Il y a un risque d'endommagement des connexions sur site (p. ex. conduite de vide préliminaire) entraînant des fuites. Le liquide de processus risque alors de fuir. Dans les procédés impliquant des milieux toxiques, il existe un risque d’intoxication susceptible de provoquer des lésions ou la mort. ► Les masses connectées à la pompe turbo doivent être aussi basses que possibles. ► Si nécessaire, utiliser des conduites flexibles pour la connexion de la pompe turbo. Pompe primaire appropriée Utiliser la pompe turbomoléculaire uniquement en combinaison avec une pompe primaire appropriée générant le niveau de vide primaire requis. Utiliser pour générer le niveau de vide primaire, une pompe à vide ou une station de pompage appropriée de la gamme Pfeiffer Vacuum. Dans ce cas, la pompe primaire est commandée directement via les interfaces de l'unité d’entraînement électronique de la pompe turbomoléculaire (p. ex. coffret de relais ou câble de connexion). 1 7 Fig. 12: 2 3 4 5 6 Exemple de raccord de vide primaire 1 Raccord de vide primaire pompe turbomoléculaire 2 Vis à tête cylindrique 5 Composants de vide DN 16 ISO-KF 6 3 Bride pleine 4 Anneau de centrage 7 Pompe à vide primaire (p. ex. pompe à plusieurs étages) Blocage de pince 29/66 Installation Établissez le raccord de vide primaire Outils nécessaires ● Clé Allen, WAF 5 mm ● Clé dynamométrique calibrée (facteur de serrage ≤ 1,6) 1. Démontez l’obturateur sur le raccord de vide primaire et rangez-le dans un endroit sûr. 2. Avec des raccords tubulaires rigides, vous devez inclure des soufflets pour atténuer les vibrations externes. 3. Installez un raccord de vide primaire avec des composants à petite bride, p. ex. éléments de raccordement et composants de tube DN 16 ISO-KF de la gamme de composants Pfeiffer Vacuum. 4. Appliquez des mesures contre le reflux des fluides d'exploitation ou des condensats de la zone de vide primaire. 5. Observez les informations du manuel de l'utilisateur de la pompe de secours ou de la station de pompage lors du raccordement et du fonctionnement. 6. Serrez les vis à tête cylindrique uniformément sur le blocage de pince. – Couple de serrage : 2 Nm. 5.5 Raccordement des accessoires Installation et fonctionnement des accessoires Pfeiffer Vacuum propose une série d’accessoires spéciaux, compatibles avec ses produits. ● Les informations et options de commande pour les accessoires pour pompes turbomoléculaires hybrides approuvés se trouvent en ligne. Raccordement des accessoires des unités de commande électroniques TC 110 et TC 120 ● L'utilisation d'accessoires Pfeiffer Vacuum via les unités de commande électroniques TC 110 et TC 120 est activée par un câble de raccordement correspondant ou un adaptateur sur la connexion multifonctions X3. ● La sortie d’accessoire requise est configurée via RS-485 en utilisant des appareils de commande Pfeiffer Vacuum ou un PC. ● Pour de plus amples informations, voir la notice d’utilisation de l’unité de commande électronique. 1 3 Fig. 13: 1 2 3 4 5 DO1 7 4 DO2 B1 ACC A1 X3 2 6 Exemple de raccordement d'accessoires via adaptateur TCS 12 Connexion multifonctions X3 Adaptateur TCS Connexion des accessoires B1 Connexion RS-485 5 6 7 Sortie numérique DO2 Sortie numérique DO1 Connexion des accessoires A1 Utiliser les accessoires 1. Respectez les instructions d’installation du manuel de l’utilisateur concernant l’accessoire correspondant. 2. Observez la configuration des connexions et des lignes de commande existantes. 3. Quand une configuration est nécessaire, utilisez un appareil de commande Pfeiffer Vacuum. 30/66 Installation 5.6 Raccordement de l’alimentation électrique AVERTISSEMENT Danger de mort dû à un sectionneur de réseau manquant La pompe à vide et l'unité de commande électronique ne sont pas équipées d'un sectionneur de réseau (interrupteur principal). ► Installez un sectionneur de réseau conformément à SEMI-S2. ► Prévoyez un coupe-circuit avec un taux d'interruption de 10 000 A minimum. AVERTISSEMENT Risque de blessure en cas d'installation inappropriée Des situations dangereuses peuvent survenir suite à une installation non sécurisée ou incorrecte. ► Ne pas effectuer soi-même des conversions ou modifications d'unité. ► Veiller à l’intégration dans un circuit de sécurité de secours. 5.6.1 Relier la pompe turbomoléculaire à la terre Pfeiffer Vacuum recommande le raccordement d’un câble de mise à la terre approprié pour décharger les interférences applicatives. M4 Fig. 14: Exemple : Raccordez le câble de terre 1. Utilisez la connexion de terre de la pompe turbomoléculaire (filetage femelle M4). 2. Acheminez le raccordement conformément aux dispositions locales en vigueur. 5.6.2 Raccordement électrique DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Les blocs d’alimentation électrique non spécifiés et non approuvés peuvent entraîner de graves blessures, voire la mort. ► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences avec une double isolation entre la tension d’entrée de secteur et la tension de sortie, conformément à IEC 61010-1, IEC 60950-1 and IEC 62368-1. ► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences des normes IEC 61010-1, IEC 60950-1 et IEC 62368-1. ► Si possible, utilisez des blocs d’alimentation électrique d'origine ou uniquement des blocs d’alimentation correspondant aux normes de sécurité en vigueur. 31/66 Installation AVERTISSEMENT Risque de blessure par coupure suite à un démarrage inattendu L'utilisation de prises bouchon sur les connecteurs des unités de commande électronique (accessoires) permet le démarrage automatique de la pompe à vide dès la mise sous tension. L’installation de ces prises bouchon avant ou pendant le raccordement de la pompe provoque la mise en mouvement des pièces, d’où le risque de coupure par les arêtes vives du côté de la bride à vide élevé. ► Ne jamais installer ces prises bouchons sur les connecteurs des unités de commande avant d'avoir raccordé la bride de vide élevé. ► Mettre la pompe sous tension uniquement au moment de l'utiliser. 1 2 3 4 9 8 5 7 DC out 6 Fig. 15: Raccordement de l’unité de commande électronique à l’unité de courant 1 Câble de raccordement 6 2 Raccord RS 485 (optionnel) 3 Raccord d’accessoire (optionnel) 4 Unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire 5 Connexion multifonctions X3 7 8 9 Unité de courant | Appareil de commande avec unité de courant Raccord DCount Entrée CA alimentation Interrupteur principal Des unités de courant d’origine (par exemple TPS) ou des appareils de commande sont disponibles pour l’alimentation électrique de l’unité de commande électronique. Type de câble de raccordement Fonction Câble de raccordement avec interface RS-485 et pontages à partir de la TC 110 ou TC 120 vers l'unité de courant ● Tension d’alimentation via unité de courant ● Démarrage progressif automatique via pontages sur les broches 2, 5, 7 ● Connexion à l'appareil de commande via RS-485 Câble de raccordement avec interface RS-485 et raccords à partir de la TC 110 ou TC 120 vers l'unité de courant ● Tension d’alimentation via unité de courant ● Connecteurs pour les unités d’accessoires avec bouchon M8 ● Connexion à l'appareil de commande via RS-485 Câble de raccordement avec pontages à partir de la TC 110 ou TC 120 vers l'unité de courant ● Tension d’alimentation via unité de courant ● Démarrage progressif automatique via pontages sur les broches 2, 5, 7 Câble de raccordement avec pontages et raccords à partir de la TC 110 ou TC 120 vers l'unité de courant ● Tension d’alimentation via unité de courant ● Démarrage progressif automatique via pontages sur les broches 2, 5, 7 ● Connecteurs pour les unités d’accessoires avec bouchon M8 Raccordement de l’unité de commande électronique 1. Assurez-vous que la tension d’alimentation est correcte. 2. Vérifier que l’interrupteur secteur du pack d’alimentation électrique est coupé avant de procéder au raccordement. 3. Utilisez un câble de raccordement adapté de la gamme d’accessoires Pfeiffer Vacuum. 4. Branchez le câble de raccordement à 15 broches dans la connexion X3 sur l’unité de commande électronique et sécurisez-la. 32/66 Installation 5. Insérer le câble de raccordement dans le raccord « DCout » sur le pack d’alimentation électronique et fermer la fermeture à baïonnette. 6. Si vous utilisez un appareil de commande Pfeiffer Vacuum : raccordez le raccord « RS-485 » à l’appareil de commande en utilisant un câble d’extension qui convient. 33/66 Utilisation 6 Utilisation 6.1 Mise en service AVERTISSEMENT Risque de blessure par coupure suite à un démarrage inattendu L'utilisation de prises bouchon sur les connecteurs des unités de commande électronique (accessoires) permet le démarrage automatique de la pompe à vide dès la mise sous tension. L’installation de ces prises bouchon avant ou pendant le raccordement de la pompe provoque la mise en mouvement des pièces, d’où le risque de coupure par les arêtes vives du côté de la bride à vide élevé. ► Ne jamais installer ces prises bouchons sur les connecteurs des unités de commande avant d'avoir raccordé la bride de vide élevé. ► Mettre la pompe sous tension uniquement au moment de l'utiliser. AVIS Destruction de la pompe à vide liée à une entrée excessive d'énergie pendant le fonctionnement La charge simultanée par l'intermédiaire d'une puissance d’entrée élevée (débit de gaz, pression du vide préliminaire), rayonnement calorifique élevé ou de puissants champs magnétiques entraîne un échauffement incontrôlé du rotor et peut détruire la pompe à vide. ► Avant de combiner des charges variables sur la pompe à vide, consulter Pfeiffer Vacuum. Des valeurs limites inférieures s'appliquent. AVIS Destruction de la pompe turbo liée à des gaz avec des masses moléculaires trop élevées Le pompage de gaz de masse moléculaire non autorisée provoque la destruction de la pompe turbo. ► S'assurer que le mode de gaz [P:027] est correctement réglé dans l’unité d’entraînement électronique. ► Contacter Pfeiffer Vacuum avant d’utiliser des gaz avec une masse moléculaire plus élevée (> 80). Les réglages et variables fonctionnelles importants sont programmés en usine sous forme de paramètres dans l’unité de commande électronique de la pompe à vide. Chaque paramètre a un nombre à trois chiffres et une description. La commande et la régulation par paramètres sont assurées par l’appareil de contrôle Pfeiffer Vacuum ou en externe via RS-485 à l’aide du protocole Pfeiffer Vacuum. Paramètre Nom Désignation Réglage ou valeur [P:027] GasMode Mode du gaz 0 = gaz lourds [P:035] CfgAccA1 Connexion des accessoires A1 0 = ventilateur (fonctionnement continu) [P:036] CfgAccB1 Connexion des accessoires B1 1 = vanne de mise à l'air [P:700] RUTimeSVal Définir la valeur du temps de démarrage 8 min. [P:701] SpdSwPt1 Point de commutation 1 vitesse de rotation 80 % [P:707] SpdSVal Spécification de fonctionnement en mode de contrôle de vitesse 65 % [P:708] PwrSVal Valeur de consigne de la consommation électrique 100 % [P:720] VentSpd Mise à l'air à la vitesse de rotation, mise à l’air retardée 50 % [P:721] VentTime Durée de ventilation, ventilation temporisée 3600 s Tab. 8: 34/66 Réglages d’usine de l’unité de commande électronique des pompes turbomoléculaires à la livraison Utilisation Notes de mise en service de la pompe turbomoléculaire 1. Respectez le débit et la circulation de l'eau de refroidissement. 2. Lorsqu’un gaz de pressurisation est utilisé, respecter la valeur de flux de débit du gaz de pressurisation. 3. Branchez l’alimentation en courant sur l’unité de courant. 6.2 Modes de fonctionnement Il existe plusieurs modes de fonctionnement pour la pompe turbomoléculaire. ● ● ● ● ● 6.2.1 Utilisation sans appareil de commande Fonctionnement via la connexion « X3 » Fonctionnement via l’interface RS-485 de l’appareil de commande Pfeiffer Vacuum ou PC Fonctionnement via la connexion « E74 » Fonctionnement via un bus de terrain Fonctionnement sans unité de fonctionnement Démarrage automatique Après dérivation des contacts au niveau des broches 2, 5 et 7 sur la connexion « X3 » ou en cas d'utilisation d’un câble de raccordement doté de ponts et d’application de la tension d’alimentation, la pompe turbomoléculaire démarre immédiatement. Fonctionnement sans unité de commande 1. Utilisez uniquement les câbles de raccordement agréés Pfeiffer Vacuum avec des pontages sur la connexion X3 de l'unité de commande électronique. 2. L'alimentation secteur de la pompe turbo ne doit être mise en circuit que juste avant la mise en route. Après application de la tension de fonctionnement, l'unité d’entraînement électronique effectue un test automatique pour contrôler la tension d’alimentation. Si le test s'est terminé avec succès, la pompe turbomoléculaire démarre et active les équipements additionnels conformément à la configuration. 6.2.2 Fonctionnement via la connexion multifonctions « X3 » La commande à distance est disponible via la connexion D-Sub à 15 broches avec la désignation « X3 » sur l'unité de commande électronique. Les fonctions individuelles accessibles sont mappées avec les « niveaux API ». Instructions pour le fonctionnement avec commande à distance ► Voir le manuel de l'utilisateur de l’unité d’entraînement électronique. 6.2.3 Fonctionnement via la connexion « E74 » Le fonctionnement est possible via la connexion D-Sub à 15 broches avec la désignation « E74 » sur l'unité d’entraînement électronique. En plus des signaux définis dans la directive SEMI E74-0301, la connexion est fournie avec un signal d'alarme inversé et une sortie analogique. Instructions d'utilisation avec E74 ► Voir les instructions d'utilisation de l'unité de commande électronique avec la version E74. 6.2.4 Fonctionnement via l’appareil de commande Pfeiffer Vacuum Le raccordement d’un appareil de commande Pfeiffer Vacuum permet de contrôler la pompe turbomoléculaire via des paramètres statiques mémorisés dans l’unité de commande électronique. Utilisation de l’appareil de commande 1. Observez le manuel de l'utilisateur approprié pour la manipulation des appareils de commande Pfeiffer Vacuum : – Manuel de l’utilisateur à télécharger à la rubrique Download Center. 2. Observez le manuel de l’utilisateur de l’unité de commande électronique inclus dans la livraison de la pompe à vide. 35/66 Utilisation 3. Raccordez l'appareil de commande à la connexion multifonctions « X3 » de l'unité de commande électronique. – Utilisez un câble de raccordement adéquat avec connexion « RS-485 » ou un adaptateur pour « X3 ». 4. Activez l’alimentation électrique de la pompe turbomoléculaire via l’unité de courant externe ou l’appareil de commande avec unité de courant intégrée. 6.2.5 Fonctionnement via un bus de terrain Les pompes turbo Pfeiffer Vacuum peuvent être intégrées et fonctionner dans le système de bus de terrain du client lorsqu'une unité d’entraînement électronique avec le panneau de connexion correspondant est utilisée. Les éléments suivants sont disponibles : ● Profibus Instructions pour le fonctionnement avec un bus de terrain ► Consultez les instructions d'utilisation de l'unité d’entraînement électronique avec le panneau de connexion correspondant. 6.3 Mise en marche de la pompe turbo AVERTISSEMENT Risque de brûlure lié à l'utilisation d'équipements additionnels de chauffe pendant le fonctionnement L'utilisation d'équipements additionnels de chauffe de la pompe à vide ou pour l'optimisation des processus engendre des températures très élevées sur les surfaces pouvant être touchées. Il existe un risque de brûlure. ► Si nécessaire, installer une protection isolante. ► Si nécessaire, appliquer des autocollants d'avertissement sur les points dangereux. ► Vérifier que la pompe à vide est à température ambiante avant de travailler dessus ou à proximité. ► Porter un équipements de protection, p. ex. gants. AVERTISSEMENT Risque de grave blessure lié à la destruction de la pompe à vide en raison d'une surpression L'entrée de gaz à très haute surpression entraîne la destruction de la pompe à vide. Il existe un risque de grave blessure lié à l'éjection d'objets. ► Ne jamais dépasser la pression d'entrée autorisée de 1 500 hPa (absolue) sur le côté aspiration ou la connexion de mise à l'air et de gaz de pressurisation. ► Vérifier que les surpressions liées au processus ne peuvent entrer directement dans la pompe à vide. Mise en marche de la pompe turbo ► Brancher le bloc d’alimentation à l'alimentation électrique côté client. ► Allumez le bloc d’alimentation. 6.4 Surveillance des opérations 6.4.1 Affichage du mode de travail via diodes électroluminescentes Les DEL sur l’unité de commande électronique indiquent les principaux états de fonctionnement de la pompe à vide. Une erreur différenciée et un affichage d’alerte ne sont possibles que pour le fonctionnement avec l’appareil de commande Pfeiffer Vacuum ou un PC. 36/66 Utilisation LED Symbole Vert Jaune Rouge Tab. 9: 6.4.2 État LED Affichage Signification Désactivé Sans courant Activé, clignotant « Groupe de pompage DÉSACTIVÉ », vitesse de rotation ≤ 60 tr/min Activé, clignotement inverse « Groupe de pompage ACTIVÉ », vitesse de rotation prescrite non atteinte Activé, éclairé en continu « Groupe de pompage ACTIVÉ », vitesse de rotation prescrite atteinte Activé, clignotant « Groupe de pompage DÉSACTIVÉ », vitesse de > 60 tr/min Désactivé Pas d'avertissement Activé, éclairé en continu Avertissement Désactivé Pas d'erreur, pas d'avertissement Activé, éclairé en continu Erreur, dysfonctionnement Comportement et signification des LED de l’unité de commande électronique Surveillance de la température Si les valeurs seuils sont dépassées, des signaux de sortie des capteurs de température permettent d’amener la pompe turbomoléculaire dans un état sécurisé. Selon le type, les seuils de température pour les messages d’avertissement et d’erreur sont mémorisés systématiquement dans l’unité de commande électronique. À titre d'information, différentes demandes d’état sont définies dans l’ensemble de paramètres. ● Afin d’éviter que la pompe turbomoléculaire ne se coupe, l'unité de commande électronique réduit déjà la consommation de courant en cas de dépassement du seuil d’avertissement pour l’excès de température. ─ Exemples : température moteur inadmissible, surchauffe inadmissible du corps de pompe. ● Le point de commutation de la vitesse de rotation peut ne pas être atteint en cas de réduction supplémentaire de la puissance d’entraînement et par conséquent de la vitesse. La pompe turbomoléculaire se coupe. ● Le dépassement du seuil de température pour les messages d’erreur entraîne la coupure immédiate de la pompe turbomoléculaire. 6.5 Mise hors circuit et mise à l'air Recommandation Purger la pompe turbo après son arrêt. Cette opération permet d'éviter le reflux des particules dans le système de vide depuis la zone de vide préliminaire. 6.5.1 Mise hors circuit Remarques relatives à la mise hors circuit de la pompe turbomoléculaire 1. Arrêtez la pompe turbomoléculaire via l’appareil de commande ou la commande à distance. 2. Fermez la conduite de vide primaire. 3. Désactivez la pompe à vide primaire, si nécessaire. 4. Ventilez la pompe turbomoléculaire. 5. Fermez les conduites d’alimentation (eau de refroidissement, purge de gaz neutre). 37/66 Utilisation 6.5.2 Mise à l'air ATTENTION Risque de blessure lié au contact avec le vide pendant la mise à l'air Lors de la mise à l'air de la pompe à vide, il y a un risque de blessures bénignes lié au contact direct de certaines parties du corps avec le vide, p. ex. hématome. ► La vis de mise à l'air du corps de la pompe turbo ne doit pas être complètement dévissée pendant la mise à l’air. ► Rester à distance de sécurité des appareils automatiques de mise à l'air comme les vannes de mise à l'air. AVIS Endommagement de la pompe turbo lié à une augmentation rapide et inadmissible de la pression pendant la mise à l'air L'augmentation rapide d'une pression élevée est inadmissible et soumet le rotor et le palier magnétique de la pompe turbo à une contrainte significative. Lors de la mise à l'air de très petits volumes dans la chambre de vide ou la pompe turbo, il existe un risque d'augmentation incontrôlable de la pression. La pompe turbo peut être endommagée mécaniquement ou détruite. ► La vitesse maximum d'augmentation de la pression de 15 hPa/s ne doit pas être dépassée. ► La mise à l'air manuelle et non contrôlée de très petits volumes est à éviter. ► Utiliser une vanne de mise à l'air de la gamme d’accessoires de Pfeiffer Vacuum si nécessaire. Mise à l'air manuelle La mise à l'air manuelle décrit la procédure standard de mise à l'air du groupe de pompage. 1. Vérifier que le système de vide est à l'arrêt. 2. Dévisser d'un tour au maximum la vis noire de mise à l'air sur la pompe turbo. 3. Attendre l'équilibrage de la pression avec la pression atmosphérique dans le système de vide. 4. Revisser la vis de mise à l'air. Utilisation d'une vanne de mise à l'air Pfeiffer Vacuum La vanne de mise à l'air Pfeiffer Vacuum est un accessoire optionnel à installer sur la pompe turbo. La vanne de mise à l'air est normalement fermée. Elle est commandée par l'intermédiaire de l'unité d’entraînement électronique de la pompe turbo et la configuration des paramètres [P:012] et [P:030]. En cas de panne de courant, la pompe turbo génère suffisamment d'énergie pendant sa phase d'arrêt progressif pour initier une mise à l'air correcte. Lorsque le courant revient, la mise à l'air est interrompue. ► Mettre la pompe turbo hors circuit. – Le processus de mise à l'air démarre automatiquement. Vitesse de mise à l'air [P:720] Durée de mise à l'air [P:721] Durée de mise à l'air en cas de panne de courant 50 % de la vitesse nominale 3 600 s 3 600 s Tab. 10: Paramètres d’usine pour la mise à l'air retardée dans les pompes turbo Informations générales sur la mise à l'air rapide Pfeiffer Vacuum recommande la mise à l'air rapide de grands volumes en 4 étapes. 1. Utiliser une vanne de mise à l'air Pfeiffer Vacuum pour la pompe turbo. Alternativement, la section transversale de la vanne doit correspondre à la taille du récipient et au taux maximal de mise à l'air. 2. Mettre à l'air le système de vide avec une augmentation de pression maximale de 15 hPa/s pendant 20 secondes. 3. Mettre ensuite à l'air avec une deuxième vanne de mise à l'air de taille quelconque, par exemple directement sur la chambre de vide. 4. Attendre l'équilibrage de la pression avec la pression atmosphérique dans le système de vide. 38/66 Maintenance 7 Maintenance 7.1 Informations générales sur la maintenance AVERTISSEMENT Danger de mort lié à un choc électrique pendant la maintenance et l’entretien L’appareil n’est complètement hors tension que lorsque la prise secteur a été débranchée et que la pompe turbomoléculaire est à l’arrêt. Danger de mort par électrocution en cas de contact avec des composants sous tension. ► Avant tout travail, mettez hors circuit l’interrupteur secteur. ► Attendez l'arrêt de la pompe turbomoléculaire (vitesse de rotation f = 0). ► Débranchez la prise secteur de l’appareil. ► Sécurisez l’appareil contre tout redémarrage intempestif. AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. AVERTISSEMENT En mettant les mains dans la connexion de vide secondaire ouverte, risque de coupure lié aux pièces coupantes en mouvement Une manipulation incorrecte de la pompe turbomoléculaire avant le travail de maintenance entraîne une situation dangereuse avec un risque de blessure. Lors du démontage de la pompe turbomoléculaire, il y a un risque de coupure en manipulant des pièces en rotation avec des faces acérées. ► Attendez l'arrêt de la pompe turbomoléculaire (vitesse de rotation f = 0). ► Mettez correctement hors circuit la pompe turbomoléculaire. ► Sécurisez la pompe turbomoléculaire contre tout risque de redémarrage. ► Fermez immédiatement les connexions ouvertes après démontage en utilisant le cache d'origine. 7.2 Liste de contrôle pour les inspections et l’entretien Périodicité de maintenance et durées utiles La périodicité de maintenance et les durées utiles dépendent du processus. Les valeurs indicatives recommandées sont réduites en cas de contamination ou de charges chimiques et thermiques. ● Déterminer les durées utiles pendant le premier intervalle de fonctionnement. ● Consultez Pfeiffer Vacuum Service si vous souhaitez réduire la périodicité de maintenance. Maintenance niveau 2 et niveau 3 Nous recommandons que le Pfeiffer Vacuum Service (PV) prenne en charge les opérations de maintenance de niveau 2 et 3 (inspection). Si les intervalles spécifiés sont dépassés ou si l’opération de maintenance est mal réalisée, aucune réclamation de garantie ou de responsabilité ne sera acceptée de la part de Pfeiffer Vacuum. Cela concerne également les pièces autres que les pièces de rechange d’origine. 39/66 Maintenance Recommandations pour l'exécution des opérations de maintenance ► Vous pouvez effectuer vous-même les opérations de maintenance de niveau 1. ► Utilisez un chiffon non pelucheux et un peu d'isopropanol pour le nettoyage. ► Respectez les intervalles de remplacement du fluide d’exploitation. ► Pour toute question relative à la maintenance, contactez le centre Pfeiffer Vacuum Service approprié. Action Inspection Maintenance niveau 1 Maintenance niveau 2 Maintenance niveau 3 Description dans le document OI OI/MM MM SI Intervalle Si demandé ≤ 5 ans ≤ 5 ans ≤ 5 ans Inspection ■ Contrôle visuel et acoustique ■ Lire et analyser les données de la pompe3) ■ Mise à jour du logiciel en option4) ■ Préparer une recommandation pour action5) ■ Équipement nécessaire Maintenance niveau 1 – remplacement du réservoir du fluide d’exploitation Nettoyer l’extérieur de la pompe à vide, nettoyer la partie inférieure, Remplacer le réservoir du fluide d’exploitation, Test de fonctionnement ■ Réservoir du fluide d’exploitation Maintenance niveau 2 – remplacement des pièces d’usure pertinentes Nettoyer l’extérieur de la pompe à vide, nettoyer la partie inférieure, Démonter partiellement la pompe à vide, Remplacer le réservoir du fluide d’exploitation, Remplacer le palier de roulement, Test de fonctionnement ■ Lot de pièces de rechange 1 – Palier Maintenance de niveau 3 – Révision Démonter et nettoyer la pompe à vide, Remplacer tous les joints et toutes les pièces d’usure, Test de fonctionnement Tab. 11: 40/66 Intervalles de maintenance 3) Pour la maintenance par Pfeiffer Vacuum Service. 4) Pour la maintenance par Pfeiffer Vacuum Service. 5) Pour la maintenance par Pfeiffer Vacuum Service. ■ Lot de pièces de rechange 1 – Palier Jeu de joints Maintenance 7.3 Remplacement du réservoir de fluide d’exploitation AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement lié au contact avec des substances toxiques Le réservoir du fluide d’exploitation et les pièces de la pompe turbo peuvent contenir des substances toxiques provenant du liquide pompé. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Prendre les mesures de sécurité appropriées pour prévenir les risques liés aux dangers toxiques ou à la pollution de l’environnement. ► Respecter les informations de la fiche technique de sécurité du fluide d’exploitation. ► Se débarrasser du réservoir du fluide d’exploitation usagé conformément à la réglementation en vigueur. AVIS Endommagement des surfaces d'étanchéité par des outils inappropriés L’utilisation d'outils inappropriés pour retirer ou insérer des joints annulaires peut endommager les surfaces d'étanchéité, entraînant une fuite de la pompe à vide. ► N'utilisez jamais d'outils métalliques tranchants (p. ex. pincettes). ► Retirez uniquement les joints annulaires avec un outil de montage pour joint torique. Remplacement du réservoir de fluide d'exploitation En fonction de sa construction, le réservoir du fluide d'exploitation de la pompe turbomoléculaire peut être doté de tiges capillaires. ● Quand vous commandez des pièces de rechange, assurez-vous d'utiliser la référence correcte de la pompe et du réservoir du fluide d'exploitation. ● Cette information peut être trouvée sur la plaque signalétique de la pompe. Scannez ce code QR ou cliquez ici pour voir le niveau d’entretien 1 Remplacement du réservoir de fluide d’exploitation. La fiche technique de sécurité est disponible sur le Pfeiffer Vacuum Download Center. Conditions préalables ● ● ● ● ● 7.3.1 Pompe turbomoléculaire arrêtée Système à vide ventilé à la pression atmosphérique Alimentation électrique débranchée Tous les câbles sont débranchés Toutes les ouvertures sont rendues étanches avec les couvercles d'origine et des bouchons Retirer le réservoir du fluide d'exploitation Consommables requis ● Chiffon propre, non pelucheux ● Gants de laboratoire Outils nécessaires ● Clé hexagonale, WAF 3 ● Pinces ● Récolteur de joint torique 41/66 Maintenance 2 1 3 5 6 7 Fig. 16: 1 2 3 4 Retirer le réservoir du fluide d'exploitation Vis à six pans creux intérieurs Bouchon à vis Joint torique Réservoir du fluide d’exploitation 5 6 7 Tiges capillaires (9×) Buse d’injection Obturateur de protection Retirer le réservoir du fluide d'exploitation 1. Portez des gants de laboratoire pour éviter tout contact avec la peau. 2. Placez la pompe turbomoléculaire sur la bride de vide secondaire fermée. 3. Dévissez toutes les vis à tête hexagonale du culot fileté sur la partie inférieure de la pompe. 4. Retirez le culot fileté. 5. Retirez le joint torique de la gorge à l’aide d’un récolteur de joint torique. – Ne rayez pas la surface. 6. Retirer le réservoir de fluide d'exploitation du corps de palier à l’aide des pinces. 7. Tirez les anciennes tiges capillaires hors de la partie inférieure de la pompe à l’aide des pinces. 8. Nettoyez le culot fileté avec un chiffon propre, non pelucheux. – N'utilisez pas de détergent. 7.3.2 Assembler le réservoir du fluide d'exploitation Consommables requis ● Gants de laboratoire ● Réservoir du fluide d’exploitation Outils nécessaires ● Clé hexagonale, WAF 3 ● Pinces ● Clé dynamométrique calibrée (facteur de serrage ≤ 1,6) 42/66 Maintenance 1 2 4 3 5 6 7 Fig. 17: 1 2 3 4 Assembler le réservoir du fluide d'exploitation Réservoir du fluide d’exploitation Tiges capillaires (9×) Buse d’injection Vis à six pans creux intérieurs 5 6 7 Bouchon à vis Joint torique Obturateur de protection Assembler le réservoir du fluide d'exploitation 1. Portez des gants de laboratoire pour éviter tout contact avec la peau. 2. Insérez toutes les nouvelles tiges capillaires à l’aide des pinces. 3. Insérez le réservoir du fluide d'exploitation dans le corps de palier avec le côté feutré en direction de la buse d’injection. – Ne pas exercer de pression sur le réservoir du fluide d'exploitation. 4. Introduisez le joint torique dans la rainure de la partie inférieure de la pompe. 5. Installez le culot fileté. 6. Serrez uniformément les 3 vis à tête hexagonale. – Couple de serrage : 2,5 Nm. 7.4 Remplacement de l’unité d’entraînement électronique AVIS Endommagement de la pompe à vide et de l’unité de commande électronique en cas de déconnexion incorrecte des composants Même après la mise hors circuit de l'alimentation électrique, la pompe à vide continue de fournir de l’énergie électrique tant qu’elle n’est pas complètement à l’arrêt. Une déconnexion prématurée de la pompe à vide et de l’unité de commande électronique présente un risque de contact du corps et par conséquent un risque de destruction des composants électroniques. ► Ne déconnectez jamais la pompe à vide et l’unité de commande électronique l'une de l'autre si elles sont encore sous tension ou que le rotor est en rotation. ► Surveillez la vitesse de rotation via les paramètres disponibles dans l’unité de commande électronique (p. ex. [P:398]). ► Attendez que la pompe à vide soit totalement à l’arrêt (vitesse de rotation f = 0). 43/66 Maintenance AVIS Dommages matériels dus à une décharge électrostatique Si les mesures de précaution visant à prévenir les risques électrostatiques ne sont pas observées, les composants électroniques peuvent être endommagés ou détruits ► Les mesures de sécurité contre les dommages électrostatiques doivent être implémentées sur le poste de travail. ► Observer la norme EN 61340 « Protection des appareils électroniques contre les phénomènes électrostatiques ». Sauvegarde des réglages effectués par le client Les paramètres d’usine sont toujours activés par défaut sur les unités de rechange. Tous les réglages effectués par le client sur l’unité de commande électronique d’origine sont perdus lors de son remplacement. Pour conserver vos réglages personnalisés, vous pouvez : 1. Sauvegardez tous vos paramètres en tant que jeu de paramètres dans une HPU. 2. Chargez un jeu de paramètres de sauvegarde par l’intermédiaire d’une HPU dans la nouvelle unité de commande électronique. 3. Programmez manuellement les paramètres individuels dans la nouvelle unité de commande électronique. 4. Voir le manuel de l’utilisateur de l’unité de commande électronique et de la HPU. L'unité d’entraînement électronique de la pompe turbomoléculaire ne peut pas être réparée. En cas de défaut, remplacer toute l'unité d’entraînement électronique par une unité de rechange. Conditions préalables ● ● ● ● ● ● 7.4.1 Pompe turbomoléculaire arrêtée Pompe turbomoléculaire refroidie. Système de vide mis à l’air à la pression atmosphérique. Alimentation électrique débranchée. Tous les câbles sont débranchés de l'unité de commande électronique. Toutes les ouvertures sont étanchéifiées avec les caches d'origine et tous les bouchons filetés. Démonter l’unité de commande électronique Outils nécessaires ● Tournevis torx TX 10 ● Clé dynamométrique calibrée (facteur de serrage ≤ 1,6) 4 2 1 3 5 Fig. 18: Retrait de l’unité de commande électronique TC 110|TC 120 1 Vis torx 2 Unité de commande électronique 3 Plaque d’adaptation 44/66 4 5 Cache de protection d'origine Bride pleine Maintenance Procédure 1. Installez la pompe turbomoléculaire à la verticale si nécessaire. 2. Dévissez les 4 vis à tête hexagonale de l’unité de commande électronique. 3. Sortez l’ancienne unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire, en prenant soin de la maintenir droite. 4. Installez une nouvelle unité de commande électronique bien droite sur le raccord de la plaque d’adaptation de la pompe turbomoléculaire. 5. Vissez l’unité de commande électronique sur la pompe turbomoléculaire avec les 4 vis à tête hexagonale. – Couple de serrage : 0,8 Nm 7.4.2 Installation de l’unité de commande électronique Outils nécessaires ● Tournevis Torx TX 10 ● Clé dynamométrique calibrée (couple de serrage ≤ 1,6) 4 2 1 3 5 Fig. 19: Installation de l’unité de commande électronique TC 110|TC 120 1 Vis Torx 2 Unité de commande électronique 3 Plaque d’adaptation 4 5 Cache de protection d'origine Bride pleine Procédure 1. Installez la pompe turbomoléculaire à la verticale si nécessaire. 2. Positionnez la nouvelle unité de commande électronique bien droite sur le raccord de la plaque d'adaptation de la pompe turbomoléculaire. 3. Vissez l’unité de commande électronique sur la pompe turbomoléculaire avec les 4 vis à tête hexagonale. – Couple de serrage : 0,8 Nm 7.4.3 Confirmation de la spécification de vitesse La vitesse de rotation nominale typique d’une pompe turbomoléculaire est préréglée en usine dans l’unité de commande électronique. Si l’unité de commande électronique est remplacée ou si un autre type de pompe est utilisé, la présélection de consignes pour la vitesse de rotation nominale est effacée. La confirmation manuelle de la vitesse de rotation nominale fait partie d’un système de sécurité redondant et sert de mesure de prévention contre les vitesses de rotation excessives. La confirmation redondante de la vitesse de rotation nominale d’une pompe turbomoléculaire est possible en réglant le paramètre [P:777] NomSpdConf dans l’unité de commande électronique. HiPace Vitesse de rotation nominale 10 | 30 | 60 | 80 1500 Hz 300 1000 Hz 45/66 Maintenance HiPace Vitesse de rotation nominale 350 | 450 1100 Hz 400 | 700 | 800 820 Hz Tab. 12: Vitesses de rotation nominales caractéristiques des pompes turbomoléculaires Accessoires requis ● Appareil de commande Pfeiffer Vacuum raccordé ● Connaissance de la configuration et du réglage des paramètres de fonctionnement de l’unité de commande électronique. Réglage de confirmation de la vitesse de rotation nominale 1. Observer le manuel de l'utilisateur de l’appareil de commande. 2. Voir le manuel de l’utilisateur de l’unité de commande électronique. 3. Définir le paramètre [P:794] sur « 1 » et activer le jeu de paramètres étendu. 4. Ouvrir et éditer le paramètre [P:777]. 5. Définir le paramètre [P:777] sur la valeur requise de la vitesse de rotation nominale en Hertz. Alternative d’ajustement de la confirmation de la vitesse de rotation nominale Les unités de rechange incluent un Pfeiffer Vacuum SpeedConfigurator pour la définition immédiate du paramètre [P:777]. 46/66 Mise hors service 8 Mise hors service 8.1 Mise hors service pendant une période prolongée AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. Procédure pour un arrêt prolongé de la pompe turbomoléculaire (> 1 an) 1. Si nécessaire, retirez la pompe turbomoléculaire du système de vide. 2. Au besoin, remplacez le réservoir de fluide d'exploitation de la pompe turbomoléculaire. 3. Fermez la bride de vide secondaire de la pompe turbomoléculaire. 4. Évacuez la pompe turbomoléculaire par l'intermédiaire du raccordement de vide préliminaire. 5. Mettez à l'air la pompe turbomoléculaire par l'intermédiaire du raccordement correspondant avec de l'air sans huile et sec ou du gaz inerte. 6. Obturez hermétiquement toutes les ouvertures de bride avec les capuchons de protection d'origine. 7. Fixez la pompe turbomoléculaire à la verticale avec la bride de vide secondaire vers le haut. 8. Rangez la pompe turbomoléculaire dans un local à la température spécifiée. 9. Dans les locaux où l’atmosphère est humide ou corrosive : Scellez la pompe turbomoléculaire avec un agent dessiccant dans un sac en plastique hermétique. 8.2 Remettre en service AVIS Risque d'endommagement de la pompe turbo lié au vieillissement du fluide d’exploitation après la remise en service La durée de conservation du fluide d’exploitation de la pompe turbo est limitée. Le vieillissement du fluide d’exploitation peut entraîner la défaillance du roulement à billes et endommager la pompe turbo. ► Respecter les intervalles de remplacement du fluide d’exploitation : ● après 2 ans au maximum sans fonctionnement, ● après 5 ans au maximum en combinant périodes de fonctionnement et d'arrêt. ► Respecter les instructions de maintenance et informer le service Pfeiffer Vacuum. Procédures de remise en service de la pompe turbomoléculaire 1. Contrôlez la pompe turbomoléculaire à la recherche de signes de pollution et d’humidité. 2. Nettoyez l’extérieur de la pompe turbomoléculaire avec un chiffon sans fusel et un peu d’alcool isopropylique. 3. Si nécessaire, demandez au service Pfeiffer Vacuum de nettoyer complètement la pompe turbomoléculaire. 4. Observez la durée de fonctionnement totale de la pompe turbomoléculaire. Si nécessaire, demandez à Pfeiffer Vacuum Service de remplacer le palier. 5. Remplacer le réservoir de fluide d'exploitation de la pompe turbo. 6. Installez la pompe turbomoléculaire conformément à ces instructions (voir chapitre « Installation », page 21). 7. Remettez en service la pompe turbomoléculaire conformément à ces instructions (voir chapitre « Mise en service », page 34). 47/66 Recyclage et mise au rebut 9 Recyclage et mise au rebut AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. Protection de l’environnement Vous devez mettre au rebut le produit et ses composants conformément aux directives applicables pour la protection des personnes, de l’environnement et de la nature. ● Contribuez à la réduction du gaspillage des ressources naturelles. ● Évitez toute contamination. 9.1 Informations générales sur la mise au rebut Les produits Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables. ► Mettez au rebut nos produits en séparant : – Fer – Aluminium – Cuivre – Matière synthétique – Composants électroniques – Huiles et graisses, sans solvant ► Observez les mesures de sécurité spéciales pour la mise au rebut de : – Fluoroélastomères (FKM) – Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé 9.2 Mettre au rebut des pompes turbomoléculaires Les pompes turbomoléculaires Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux que vous devez recycler. 1. Enlevez tout le réservoir du fluide d’exploitation. 2. Enlevez l’unité de commande électronique. 3. Décontaminez les composants qui sont entrés en contact avec les gaz de procédé. 4. Séparez les composants en matériaux recyclables. 5. Recyclez les composants non contaminés. 6. Mettez au rebut le produit ou les composants de façon sûre en conformité avec toutes les directives applicables. 48/66 Dysfonctionnements 10 Dysfonctionnements AVERTISSEMENT Danger de mort par empoisonnement lié à la fuite de liquides de processus toxiques en cas d'endommagement des connexions Une torsion soudaine de la pompe turbo en cas de défaut entraîne l'accélération des raccords. Il y a un risque d'endommagement des connexions sur site (p. ex. conduite de vide préliminaire) entraînant des fuites. Le liquide de processus risque alors de fuir. Dans les procédés impliquant des milieux toxiques, il existe un risque d’intoxication susceptible de provoquer des lésions ou la mort. ► Les masses connectées à la pompe turbo doivent être aussi basses que possibles. ► Si nécessaire, utiliser des conduites flexibles pour la connexion de la pompe turbo. AVERTISSEMENT Danger de mort lié à l'éjection de composants de la pompe turbomoléculaire en cas de défaut Un blocage soudain du rotor génère des couples hautement destructeurs conformément à la norme ISO 27892. Si la pompe turbomoléculaire n'est pas correctement fixée, elle peut rompre. L'énergie ainsi libérée pourrait projeter la pompe turbomoléculaire ou des fragments de l'intérieur de celle-ci dans l'espace environnant. Des gaz potentiellement dangereux pourraient être libérés. Il y a un risque de très graves blessures, voire de mort, et de dommages matériels très importants. ► Les instructions d'installation de cette pompe turbomoléculaire doivent être respectées. ► Les exigences de stabilité et de structure de la contre-bride doivent être observées. ► Utilisez uniquement les accessoires d'origine ou des matériaux de fixation agréés par Pfeiffer Vacuum pour l'installation. AVERTISSEMENT Risque de blessure lié à la rupture et à la projection de la pompe turbo avec le compensateur de vibration en cas de dysfonctionnement Un blocage soudain du rotor génère des couples hautement destructeurs conformément à la norme ISO 27892. L'utilisation d'un compensateur de vibration entraînerait probablement la rupture et la projection de la pompe turbo en fonctionnement. L'énergie ainsi libérée pourrait projeter la pompe turbo ou des fragments de l'intérieur de celle-ci dans l'espace environnant. Des gaz potentiellement dangereux pourraient être libérés. Il y a un risque de très graves blessures, voire de mort, et de dommages matériels très importants. ► Des mesures de sécurité sur site pour la compensation des couples doivent être prises. ► Avant d'installer un compensateur de vibration, vous devez d'abord contacter Pfeiffer Vacuum. En cas de dysfonctionnement, des informations sur les causes possibles et leur résolution sont disponibles ici. Le manuel de l’utilisateur de l'unité d’entraînement électronique associée contient une description plus détaillée des erreurs. Problème Causes possibles Action corrective La pompe turbomoléculaire ne démarre pas ; aucune des DEL sur l’unité de commande électronique ne s’éclaire ● L’alimentation électrique a été coupée ● Vérifiez les contacts des fiches sur le pack d’alimentation électrique. ● Vérifiez les lignes d’alimentation électrique. ● Contrôlez la tension de sortie sur le raccordement de l’unité de courant « DC out ». ─ En fonction de la version de l’unité de courant, la tension appliquée est de 24 V CC ou 48 V CC. ● Tension de fonctionnement incorrecte ● Respectez les données sur la plaque signalétique de l’unité de commande électronique. ● Alimentez avec la tension de fonctionnement correcte. ● Pas de tension de fonctionnement ● Alimentez avec la tension de fonctionnement correcte. ● Activez l’unité de courant. ● Unité de commande électronique défectueuse ● Remplacez l’unité de commande électronique. ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. 49/66 Dysfonctionnements La pompe turbomoléculaire ne démarre pas ; la DEL verte sur l’unité de commande électronique clignote La pompe turbomoléculaire n’atteint pas la vitesse de rotation nominale dans le temps d’accélération paramétré La pompe turbomoléculaire n’atteint pas la pression ultime 50/66 ● Fonctionnement sans appareil de commande : Les broches 2-7 et 5-7 ne sont pas connectées sur la connexion « X3 » ● Raccordez les connexions conformément au schéma de raccordement de l’unité de commande électronique. ● Contrôlez les pontages sur le câble de raccordement. ● Pour le fonctionnement via RS-485 : le pontage entre les broches 5 et 7 inhibe les instructions de réglage ● Retirez le pontage sur la connexion « X3 ». ● Vérifiez le câble de raccordement. ● Pour le fonctionnement via RS-485 : les paramètres ne sont pas réglés dans l’unité de commande électronique ● Réglez les paramètres [P: 010] et [P: 023] via l’interface RS-485 sur 1 = "ON". ● La chute de tension dans le câble est trop grande ● Vérifiez le câble de raccordement. ● Utilisez un câble de raccordement adéquat. ● Pression de vide primaire trop haute ● Vérifiez la compatibilité de la pompe de secours (voir les caractéristiques techniques). ● Vérifiez si la pompe de secours fonctionne. ● Fuite sur la pompe turbomoléculaire ● Repérez les fuites. ● Vérifiez les joints et les raccords de bride. ● Éliminez les fuites. ● Débit de gaz trop élevé ● Réduisez la charge de gaz de procédé. ● Le rotor tourne avec des à-coups, le palier est défectueux ● Vérifiez la pompe turbomoléculaire pour détecter tout bruit étrange ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. ● Point de consigne de temps d’accélération réglé trop bas ● Utilisez un appareil de commande pour étendre la valeur de réglage du temps d’accélération [P:700]. Charge thermique due à : ● défaut de ventilation ● débit d’eau insuffisant ● Pression de vide primaire trop haute ● température ambiante trop élevée ● Réduisez la charge thermique. ─ Assurez une circulation d’air suffisante. ─ Ajustez le débit d’eau de refroidissement. ─ Réduisez la pression du vide primaire. ─ Adaptez les conditions ambiantes. ● La pompe turbomoléculaire est polluée ● Chauffez la pompe turbomoléculaire si nécessaire. ● Faites-la nettoyer. ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. ● Fuite au niveau de l’enceinte à vide, des tuyauteries ou de la pompe turbomoléculaire ● Repérez les fuites en commençant par l’enceinte à vide. ● Vérifiez les joints et les raccords de bride. ● Éliminez les fuites dans le système de vide. Dysfonctionnements Bruits de fonctionnement inhabituels La DEL rouge s’éclaire sur l’unité de commande électronique Tab. 13: ● Le palier du rotor est endommagé ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. ● Rotor endommagé ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. ● Pare-éclats ou écran protecteur desserré ● Vérifiez et corrigez le siège du pare-éclats ou de l’écran protecteur dans la bride de vide élevé. ● Suivez les instructions d’installation. ● Erreur de groupe ● Réinitialisez l’anomalie en mettant l’alimentation en courant hors circuit et en circuit. ● Réinitialisez le dysfonctionnement avec V+ sur la broche 6 sur la connexion « X3 ». ● Réglez le paramètre [P: 009] via l’interface RS-485 sur 1 = Validation anomalie. ● Réglez le paramètre [P: 010] via l’interface RS-485 sur 0 = Arrêt et ensuite sur 1 = Marche et validation anomalie. ● Réalisez une analyse différenciée des anomalies à l'aide d'un appareil de commande. ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. Dépannage des pompes turbomoléculaires 51/66 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 11 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum Nous offrons un service de première classe Une longue durée de vie des composants du vide, associée à des temps d’arrêt réduits, sont ce que vous attendez clairement de nous. Nous répondons à vos besoins par des produits efficaces et un service d’exception. Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien évidemment. Nos ingénieurs commerciaux et techniciens de service professionnels sont à votre disposition pour vous assurer un soutien pratique dans le monde entier. Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de services, allant des pièces de rechange d’origine aux accords de service. Profitez du service Pfeiffer Vacuum Qu'il s’agisse du service préventif sur place de notre service sur site, du remplacement rapide par des produits de rechange comme neufs ou de la réparation dans un centre de service proche de chez vous ; vous disposez d'une variété d’options pour maintenir la disponibilité de votre équipement. Vous trouverez des informations détaillées ainsi que les adresses sur notre site web dans la section Pfeiffer Vacuum Service. Des conseils sur la solution optimale sont disponibles auprès de votre interlocuteur Pfeiffer Vacuum. Pour un déroulement rapide et efficace de la procédure de service, nous recommandons de suivre les étapes suivantes : 1. Télécharger les modèles de formulaire actuels. ─ Déclaration de demande de service ─ Demande de service ─ Déclaration de contamination a) Démonter tous les accessoires et les conserver (toutes les pièces externes montées telles que la vanne, le filtre d’arrivée, etc.). b) Vidanger le fluide d'exploitation / lubrifiant si nécessaire. c) Vidanger le fluide de refroidissement si nécessaire. 2. Remplir la demande de service et la déclaration de contamination. ANFORDERUNG SERVICE ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 3. Envoyer les formulaires par e-mail, fax ou par courrier à votre centre de service local. 4. Vous recevrez une réponse de Pfeiffer Vacuum. Envoi de produits contaminés Aucune unité ne sera acceptée si elle est contaminée par des substances micro-biologiques, explosives ou radioactives. Si les produits sont contaminés ou si la déclaration de contamination est manquante, Pfeiffer Vacuum contactera le client avant de démarrer la maintenance. Par ailleurs, selon le produit et le niveau de contamination, des frais de décontamination supplémentaires peuvent être facturés. 52/66 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails contenus dans la déclaration de contamination. a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec. b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air. c) Sceller le produit dans un film de protection approprié. d) Emballer le produit dans des conteneurs de transport stables appropriés uniquement. e) Respecter les conditions de transport en vigueur. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 6. Joindre la déclaration de contamination sur l’extérieur de l’emballage. 7. Envoyer ensuite le produit à votre centre de service local. 8. Vous recevrez un message de confirmation / un devis de la part de Pfeiffer Vacuum. Pour toutes les demandes de service, nos Conditions générales de vente et de livraison ainsi que nos Conditions générales de réparation et de maintenance sont appliquées aux équipements et composants du vide. 53/66 Pièces de rechange HiPace 350 12 Pièces de rechange HiPace 350 1 2 54/66 Fig. 20: Pièces de rechange HiPace 350 Position Désignation Référence Remarque Pièces 1 Unité de commande électronique TC 110|TC 120 se référer à la plaque signalétique en fonction du panneau de connexion 1 2 Réservoir du fluide d’exploitation se référer à la plaque signalétique incl. tiges Poroplast et joint torique 1 Tab. 14: Pièces de rechange disponibles Accessoires 13 Accessoires Vous trouverez sur notre site Internet la gamme des accessoires pour pompes turbomoléculaires hybrides à paliers. 13.1 Informations sur l’accessoire Matériel de fixation Ensembles assemblés spécifiques au type avec anneau de centrage et joint, vérifiez la sécurité de la fixation de la pompe à vide. En option avec pare-éclats ou écran protecteur. Unités de courant et appareils de commande Les unités de courant pour tension d’alimentation optimale des produits Pfeiffer Vacuum sont caractérisées par leur taille compacte et une tension d’alimentation adaptée pour une fiabilité maximum. Les appareils de commande sont utilisés pour la vérification et l’ajustement des paramètres de travail. Câbles et adaptateurs Les câbles secteur, interface, raccordement et rallonge offrent un raccordement sûr et adapté. Autres longueurs disponibles sur demande Accessoires de ventilation Une vanne de mise à l'air Pfeiffer Vacuum offre une sécurité de fonctionnement et de processus maximum. Commande automatique via l’unité de commande électronique intégrée de la pompe turbomoléculaire. Alimentation en gaz de pressurisation Le gaz de pressurisation est utilisé pour la protection de la pompe à vide contre la poussière et les processus corrosifs ou les débits excessifs de gaz. La purge de gaz neutre empêche la pénétration de substances dommageables dans l’espace du moteur et du palier. L’alimentation est assurée soit par l’intermédiaire d’une vanne de purge de gaz neutre ou d’un étranglement de purge de gaz neutre sans commande. Refroidissement par air Pour les processus avec un débit faible de gaz et une bonne pression de vide primaire, le refroidissement par air peut être utilisé indépendamment de l’alimentation d’eau. Commande automatique via l’unité de commande électronique intégrée de la pompe turbomoléculaire. Chauffage Les chemises chauffantes permettent d’atteindre une pression limite plus rapidement pendant le nettoyage process. Commande automatique via l’unité de commande électronique intégrée de la pompe turbomoléculaire. Commande de pompe à vide primaire L’unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire permet une commande utile des pompes à vide primaire. En fonction de la pompe à vide primaire utilisée, différents modes de fonctionnement sont disponibles. Mesure intégrée de la pression Évaluation et contrôle via l’unité de commande électronique intégrée, indépendamment d’une alimentation électrique supplémentaire. 13.2 Commande d’accessoires Description Référence de commande Kit de fixation pour DN 100 ISO-K vers ISO-F, avec bride à chapeau, anneau de centrage recouvert, boulons hexagonaux PM 016 940 -T Kit de fixation pour DN 100 ISO-K vers ISO-F, avec bride à chapeau, anneau de centrage recouvert, goujons filetés PM 016 945 -T Kit de fixation pour HiPace 300 avec DN 100 ISO-K, anneau de centrage avec revêtement et boulons-agrafes à tête bombée inclus PM 016 365 -T 55/66 Accessoires 56/66 Description Référence de commande Kit de fixation pour DN 100 ISO-F, avec anneau de centrage revêtu, goujons filetés PM 016 455 -T Kit de fixation pour DN 100 ISO-F, avec anneau de centrage revêtu, vis à tête hexagonale PM 016 450 -T Jeu de vis hexagonales pour brides avec trou traversant, DN 100 CF-F PM 016 690 -T Jeu de goujons filetés pour brides avec trou fileté, DN 100 CF-F PM 016 734 -T Jeu de goujons filetés pour brides avec un trou fileté, DN 100 CF-F PM 016 866 -T Amortisseur de vibrations pour HiPace 300/400, DN 100 CF-F PM 006 488 -X Amortisseur de vibrations pour HiPace 300/400, DN 100 ISO-K/F PM 006 459 AX TPS 180, unité de courant pour installation murale/sur rail standard PM 061 341 -T TPS 181, unité d’alimentation en courant 19 po., connecteur partiel unité 3HE PM 061 345 -T Câble de secteur 230 VAC, CEE 7/7 à C13, 3 m P 4564 309 ZA Câble de secteur 115 VAC, NEMA 5-15 à C13, 3 m P 4564 309 ZE Câble de secteur 208 V CA, NEMA 6-15 à C13, 3 m P 4564 309 ZF Câble de raccordement de l’unité de courant 24V / 48V vers l’unité de commande électronique. Avec une interface RS-485 PM 061 350 -T Câble de raccordement avec interface RS-485 et 2 ports accessoires entre TC110/120 et unité de courant PM 061 351 -T OmniControl 001 mobile, appareils de commande PE D20 000 0 OmniControl 001, unité châssis sans unité de courant intégrée PE D40 000 0 OmniControl 200, unité châssis avec unité de courant intégrée PE D50 000 0 Raccord en Y M12 pour RS-485 P 4723 010 Convertisseur USB RS-485 PM 061 207 -T Câble d’interface, M12 m droit/M12 m droit, 3 m PM 061 283 -T TIC 010, adaptateur pour deux capteurs PT R70 000 TCS 11, Adaptateur pour TC 110/120 avec interface RS-485 PM 061 636 -U TCS 12, adaptateur pour TC 110/120 avec interface RS-485, 4 ports accessoires et jeu d'accouplement PM 061 638 -U TCS 13, adaptateur pour TC 110/120 avec interface RS-485, 2 ports accessoires et jeu d'accouplement PM 061 856 -U Câble de raccordement avec interface RS-485 et 3 ports accessoires entre TC110/120 et unité de courant PM 061 512 -T Câble de raccordement pour HiPace avec TC 110/120 PM 061 543 -T Câble de raccordement avec 2 ports accessoires à partir de la TC 110/120 vers l'unité de courant PM 061 552 -T Câble de rallonge M8 vers M8 PM 061 783 -T Vanne de remise à l'air, blindée, 24 V CC, G 1/8" pour le raccord à TC 110/120 PM Z01 290 Vanne de la purge de gaz, blindée pour HiPace 300 avec TC 110/120 PM Z01 311 Refroidissement par air, blindée, pour HiPace 350/450 avec TC 110/120 PM Z01 373 Refroidissement à eau pour HiPace 350 | HiPace 400 | HiPace 450 | HiPace 700 | HiPace 800 avec raccord rapide 8 mm PM 026 068 -T Refroidissement par eau pour HiPace 60 P/80/350/450 et pour SplitFlow 50/80 avec raccord rapide, 8 mm PM 016 623 -T Manchon chauffant blindé, pour HiPace 350/450 avec TC 110/120, 230 V AC, fiche à contact de protection PM 071 700 -T Manchon chauffant, blindé, pour HiPace 350/450 avec TC 110/120, 208 V CA, connecteur UL PM 071 701 -T Manchon chauffant, blindé, pour HiPace 350/450 avec TC 110/120, 115 V CA, connecteur UL PM 071 702 -T Boîtier de relais, blindé, pour pompe à vide primaire, moteur monophasé 7 A pour TC 110/120 et TCP 350, connecteur M8 PM 071 282 -X Boîtier de relais pour pompes primaires, moteur monophasé 20 A pour TC 110/120 et TCP 350, connecteur M8 PM 061 373 -T RPT 010, sonde numérique Piezo/Pirani PT R71 100 Accessoires Description Référence de commande IKT 010, sonde de mesure à cathode froide numérique, courant de faible intensité PT R72 100 IKT 011, sonde de mesure à cathode froide numérique, courant de forte intensité PT R73 100 Tab. 15: Accessoires Description Référence de commande OmniControl 400, unité châssis avec unité de courant intégrée PE D70 000 0 TPS 400, unité de courant 48 V DC, pour fixation murale/sur rail standard PM 061 343 -T TPS 401, unité de courant 48 V DC, 19", connecteur partiel 3HU PM 061 347 -T Tab. 16: Autres accessoires pour TC 120 | 48 V DC 57/66 Caractéristiques techniques et dimensions 14 Caractéristiques techniques et dimensions 14.1 Généralités Cette section décrit les bases des données techniques des pompe turbo Pfeiffer Vacuum. Caractéristiques techniques Les valeurs maximum se rapportent exclusivement à l'entrée en tant que charge simple. ● Spécifications selon la commission PNEUROP PN5 ● ISO 27892 2010 : « Technique du vide - Pompes turbomoléculaires - Mesure du couple d'arrêt rapide » ● ISO 21360 2012 : « Technique du vide - Méthodes normalisées pour mesurer les performances des pompes à vide - Partie 1 : Description générale » ● ISO 21360 2018 : « Technique du vide - Méthodes normalisées pour mesurer les performances des pompes à vide - Partie 4 : Pompes à vide turbomoléculaires » ● Pression ultime avec dôme de test après 48 h ● Débit de gaz avec refroidissement à eau ; pompe de secours = pompe à palettes rotative (10 m3/h) ● Consommation d’eau de refroidissement à débit maximum de gaz, température de l’eau de refroidissement 25 °C ● Taux de fuite intégral avec une concentration de 100 % d'hélium, durée de mesure 10 s ● Niveau de pression acoustique à une distance = 1 m de la pompe à vide mbar bar Pa 100 hPa kPa Torr | mm Hg 1 0,1 0,75 mbar 1 1 · 10 bar 1,000 1 1 · 10 1,000 100 750 Pa 0,01 1 · 10-5 1 0,01 1 · 10-3 7.5 · 10-3 hPa 1 1 · 10 100 1 0,1 0,75 kPa 10 0,01 1,000 10 1 7,5 Torr | mm Hg 1,33 1,33 0,133 1 -3 5 -3 133,32 -3 1,33 · 10 1 Pa = 1 N/m Tab. 17: 2 Tableau de conversion : unités de pression mbar l/s Pa m3/s sccm Torr l/s atm cm3/s 1 0,1 59,2 0,75 0,987 Pa m /s 10 1 592 7,5 9,87 sccm 1.69 · 10-2 1.69 · 10-3 1 1,27 · 10-2 1.67 · 10-2 Torr l/s 1,33 0,133 78,9 1 1,32 atm cm3/s 1,01 0,101 59,8 0,76 1 mbar l/s 3 Tab. 18: Tableau de conversion : unités de débit de gaz 14.2 Fiche technique 58/66 Champ de sélection HiPace® 350 avec TC 110, DN 100 ISO-K HiPace® 350 avec TC 110, DN 100 CF-F Bride de raccordement (entrée) DN 100 ISO-K DN 100 CF-F Bride de raccordement (sortie) DN 16 ISO-KF / G 3/8" DN 16 ISO-KF / G 3/8" Vitesse de rotation ± 2 % 66000 rpm 66000 rpm Vitesse de rotation variable 60 – 100 % 60 – 100 % Temps d'accélération 5,3 min 5,3 min Caractéristiques techniques et dimensions Champ de sélection HiPace® 350 avec TC 110, DN 100 ISO-K HiPace® 350 avec TC 110, DN 100 CF-F Pression limite 1 · 10-7 hPa 5 · 10-10 hPa Débit pour Ar 270 l/s 270 l/s Débit pour H2 300 l/s 300 l/s Débit pour He 350 l/s 350 l/s Débit pour N2 300 l/s 300 l/s Débit max. de gaz à vitesse finale pour Ar 0,7 mbar l/s 0,7 mbar l/s Débit max. de gaz à vitesse finale pour H2 11 mbar l/s 11 mbar l/s Débit max. de gaz à vitesse finale pour He 7 mbar l/s 7 mbar l/s Débit max. de gaz à vitesse finale pour N2 2 mbar l/s 2 mbar l/s 11 Taux de compression pour Ar > 1 · 10 > 1 · 1011 Taux de compression pour H2 2 · 106 2 · 106 Taux de compression pour He > 1 · 108 > 1 · 108 Taux de compression pour N2 > 1 · 10 11 > 1 · 1011 Vide primaire max. pour N2 10 mbar 10 mbar Vide primaire max. pour H2 6 mbar 6 mbar Vide primaire max. pour Ar 10 mbar 10 mbar Vide primaire max. pour He 10 mbar 10 mbar Unité de commande électronique TC 110 TC 110 Tension de service : CC 24 V 24 V Tension d'entrée : tolérance ±10 % ±10 % Courant, max. 7,5 A 7,5 A Puissance absorbée maximale 180 W 180 W Interfaces I/O RS-485, à distance RS-485, à distance Caractéristique puissance au mode de gaz 0, point de repère C 90/66000 W/min Caractéristique puissance au mode de gaz 0, point de repère D 100/60000 W/min-1 100/60000 W/min-1 Caractéristique puissance au mode de gaz 1, point de repère A 110/66000 W/min-1 110/66000 W/min-1 Caractéristique puissance au mode de gaz 1, point de repère B 130/60000 W/min-1 130/60000 W/min-1 Caractéristique puissance au mode de gaz 2, point de repère E 150/66000 W/min-1 150/66000 W/min-1 Caractéristique puissance au mode de gaz 2, point de repère F 150/60000 W/min-1 150/60000 W/min-1 Orientation de montage Arbitraire Arbitraire Palier Hybride Hybride Type de refroidissement Convection Convection Type de refroidissement, en option Air, Eau Air, Eau Débit d'eau de refroidissement 100 l/h 100 l/h Température de l'eau de refroidissement 15 – 25 °C 15 – 25 °C Humidité relative de l'air 5 – 85 % 5 – 85 % Température de transport et de stockage -20 – 55 °C -20 – 55 °C Raccordement de remise à l'air G 1/8" G 1/8" Pression d'entrée max. pour vanne de remise à l'air/gaz de balayage 1500 hPa 1500 hPa Type de protection IP44, Type 12 IP44, Type 12 Niveau de la pression acoustique ≤50 dB(A) ≤50 dB(A) Taux de fuite intégral 1 · 10-7 mbar l/s 1 · 10-7 mbar l/s Champ magnétique radial maximum autorisé 4,5 mT 4,5 mT -1 90/66000 W/min-1 59/66 Caractéristiques techniques et dimensions Champ de sélection HiPace® 350 avec TC 110, DN 100 ISO-K HiPace® 350 avec TC 110, DN 100 CF-F Champ magnétique axial maximum autorisé 20 mT 20 mT Poids 7,2 kg 10 kg Tab. 19: 60/66 Fiche technique pour HiPace 350 | TC 110 Champ de sélection HiPace® 350 avec TC 120, DN 100 ISO-K HiPace® 350 avec TC 120, DN 100 CF-F Bride de raccordement (entrée) DN 100 ISO-K DN 100 CF-F Bride de raccordement (sortie) DN 16 ISO-KF / G 3/8" DN 16 ISO-KF / G 3/8" Vitesse de rotation ± 2 % 66000 rpm 66000 rpm Vitesse de rotation variable 60 – 100 % 60 – 100 % Temps d'accélération 4 min 4 min Pression limite 1 · 10 hPa 5 · 10-10 hPa Débit pour Ar 270 l/s 270 l/s Débit pour H2 300 l/s 300 l/s Débit pour He 350 l/s 350 l/s Débit pour N2 300 l/s 300 l/s Débit max. de gaz à vitesse finale pour Ar 0,7 mbar l/s 0,7 mbar l/s Débit max. de gaz à vitesse finale pour H2 11 mbar l/s 11 mbar l/s Débit max. de gaz à vitesse finale pour He 7 mbar l/s 7 mbar l/s Débit max. de gaz à vitesse finale pour N2 2 mbar l/s 2 mbar l/s Taux de compression pour Ar > 1 · 1011 > 1 · 1011 -7 Taux de compression pour H2 2 · 10 2 · 106 Taux de compression pour He > 1 · 108 > 1 · 108 Taux de compression pour N2 > 1 · 1011 > 1 · 1011 Vide primaire max. pour N2 10 mbar 10 mbar Vide primaire max. pour H2 6 mbar 6 mbar Vide primaire max. pour Ar 10 mbar 10 mbar Vide primaire max. pour He 10 mbar 10 mbar Unité de commande électronique TC 120 TC 120 Tension de service : CC 48 V 48 V Tension d'entrée : tolérance ±10 % ±10 % Courant, max. 3,75 A 3,75 A Puissance absorbée maximale 180 W 180 W Interfaces I/O RS-485, à distance 6 RS-485, à distance Caractéristique puissance au mode de gaz 0, point de repère C 90/66000 W/min Caractéristique puissance au mode de gaz 0, point de repère D 100/60000 W/min-1 100/60000 W/min-1 Caractéristique puissance au mode de gaz 1, point de repère A 110/66000 W/min-1 110/66000 W/min-1 Caractéristique puissance au mode de gaz 1, point de repère B 130/60000 W/min-1 130/60000 W/min-1 Caractéristique puissance au mode de gaz 2, point de repère E 150/66000 W/min-1 150/66000 W/min-1 Caractéristique puissance au mode de gaz 2, point de repère F 150/60000 W/min-1 150/60000 W/min-1 Orientation de montage Arbitraire Arbitraire Palier Hybride Hybride Type de refroidissement Convection Convection Type de refroidissement, en option Air, Eau Air, Eau -1 90/66000 W/min-1 Caractéristiques techniques et dimensions Champ de sélection HiPace® 350 avec TC 120, DN 100 ISO-K HiPace® 350 avec TC 120, DN 100 CF-F Débit d'eau de refroidissement 100 l/h 100 l/h Température de l'eau de refroidissement 15 – 25 °C 15 – 25 °C Humidité relative de l'air 5 – 85 % 5 – 85 % Température de transport et de stockage -20 – 55 °C -20 – 55 °C Raccordement de remise à l'air G 1/8" G 1/8" Pression d'entrée max. pour vanne de remise à l'air/gaz de balayage 1500 hPa 1500 hPa Type de protection IP44, Type 12 IP44, Type 12 Niveau de la pression acoustique ≤50 dB(A) ≤50 dB(A) Taux de fuite intégral 1 · 10 mbar l/s 1 · 10-7 mbar l/s Champ magnétique radial maximum autorisé 4,5 mT 4,5 mT Champ magnétique axial maximum autorisé 20 mT 20 mT Poids 7,2 kg 10 kg Tab. 20: -7 Fiche technique pour HiPace 350 | TC 120 14.3 Caractéristiques Gas throughput [hPa l/s] 25 Backing pump: HiScroll 18 20 15 10 5 0 700 800 H! [hPa l/s] 900 1.000 1.100 1.200 Rotation speed [Hz] He [hPa l/s] N! [hPa l/s] Ar [hPa l/s] Fig. 21: Caractéristiques du débit du gaz en fonction de la vitesse de rotation 61/66 Caractéristiques techniques et dimensions 14.4 Substances en contact avec la substance à pomper Substances en contact avec la substance à pomper Alliage d'aluminium Acier inoxydable Aimants en terres rares Plastiques renforcés de fibres de carbone Résine synthétique FKM Nickel Feutre Fluide d’exploitation (huile d’ester) Céramique oxydée, comme demandé Tab. 21: 14.5 Matières entrant en contact avec la substance du procédé Dimensions Dimensions en mm HV 207 ! 118 214 228 100 M8 (6x) 203 DN 100 ISO-K 30° 30° 55.5 !1 67 .5 7 112.5 Fig. 22: 62/66 HiPace 350 | DN 100 ISO-K VV DN 16 ISO-KF Caractéristiques techniques et dimensions HV DN 100 ISO-F 228 214 203 100 M8 (6x) 207 18 1 30° 55.5 1 67. 5 30° 7 112.5 Fig. 23: VV DN 16 ISO-KF HiPace 350 | DN 100 ISO-F HV 228 2 07 203 100 M8 (6x) 214 DN 100 CF-F 55.5 Ø1 67 .5 7 112.5 Fig. 24: VV DN 16 ISO-KF HiPace 350 | DN 100 CF-F 63/66 Déclaration de conformité CE La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant. Déclaration pour produit(s) du type : Pompe turbomoléculaire HiPace 350 Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes. ● ● ● ● Machines 2006/42/CE (Annexe II, n° 1 A) Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses, directive déléguée 2015/863/UE Normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées : DIN EN ISO 12100 : 2011 DIN EN 61326-1 : 2013 DIN EN 1012-2 : 2011 DIN EN 62061 : 2016 DIN EN IEC 61000-3-2 : 2019 DIN ISO 21360-1 : 2020 DIN EN 61000-3-3 : 2020 ISO 21360-4 : 2018 DIN EN 61010-1 : 2020 DIN EN IEC 63000 : 2019 Le représentant habilité à constituer la documentation technique est M. Tobias Stoll, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Asslar Allemagne. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (Daniel Sälzer) Directeur général Asslar, 2022-11-07 Déclaration de Conformité UK La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant. Déclaration pour produit(s) du type : Pompe turbomoléculaire HiPace 350 Nous déclarons par la présente que le produit cité satisfait à toutes les exigences applicables des Directives Britanniques suivantes. Réglementation 2008 (Sécurité) sur la Fourniture de Machines Réglementation 2016 sur la Compatibilité Electromagnétique Réglementation 2012 sur la Limitation de l'Utilisation de Certaines Substances Dangereuses dans les Equipements Electriques et Electroniques Normes et spécifications en vigueur : ISO 12100:2010 EN 1012-2+A1:1996 IEC 61000-3-2:2018 IEC 61000-3-3+A1:2013 IEC 61010-1+A1:2010 IEC 61326-1:2012 IEC 62061:2005 ISO 21360-1:2020 ISO 21360-4:2018 IEC 63000:2018 Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitution du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (Daniel Sälzer) Directeur général Asslar, 2022-11-07 Notizen / Notes: *PT0666* ed. C - Date 2307 - P/N:PT0666BFR ">
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