Pfeiffer IKR 050 Manuel utilisateur

A PASSION FOR
PERFECTION
Sécurité
Caractéristiques techniques
Explication des signes
Personnel qualifié
Les travaux décrits dans ce document ne peuvent être
effectués que par des personnes ayant une formation
technique appropriée et l'expérience nécessaire ou ayant
été formés en conséquence par le détenteur du produit.
DANGER
IKR 050
Indications concernant la prévention de dommages corporels de toute nature.
Températures admissibles
Stockage
–40 °C … +150 °C
(sans câble)
+5 °C … +80 °C
(avec câble normal)
+5 °C … +150 °C
(avec câble à haute
résistance thermique)
≤80% à température jusqu'à
+31 °C, diminuant à 50% à
+40 °C
en espaces clos, altitude
max. 2000 m
Service
Humidité relative
Utilisation
-9
-3
Gamme de mesure (air, N2)
Dépendance du type de gaz
2×10 … 5×10 hPa
→ Annexe
Protection
Surpression
IP 40
≤900 kPa (absolue)
limitée aux gaz inertes et aux
températures <55 °C
Jauge à cathode froide avec joint FPM
AVERTISSEMENT
Indications concernant la prévention de dégradations de
l'environnement et d'importants dégâts matériels.
Attention
Indications relatives à une manipulation ou un usage corrects. Le non-respect des instructions peut provoquer des
disfonctionnements ou des dégâts matériels mineurs.
Remarque
Indications concernant la sécurité
Typ:
No:
F-No:
• Observer les prescriptions essentielles et prendre les
précautions afférentes aux gaz utilisés.
• Considérer les réactions possibles entre les matériaux du
produit (→ Caractéristiques techniques) et les gaz de
procédés.
• Considérer des réactions possibles des gaz de procédés à
la chaleur générée par le produit (p. ex. explosions).
• Observer les prescriptions essentielles et prendre les
précautions appropriées concernant toute intervention.
Tenir également compte des dispositions de précaution figurant dans ce document.
• Se renseigner avant le début de l'intervention sur une
éventuelle contamination. Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes à la manipulation d'éléments contaminés.
Utilisation prévue
Les jauges à cathode froide servent à la mesure du vide dans
la gamme des pressions de 2×10-9 … 5×10-3 hPa.
Elles doivent être exploitées avec un appareil de mesure et
de commande TPG 300 de la société Pfeiffer Vacuum.
La relation entre la pression et le signal de mesure est
logarithmique sur toute la gamme de mesure.
Les jauges fonctionnent avec un circuit de mesure à
ionisation à cathode froide (selon le principe du magnétron
inverse).
≤700 µA
Les pannes du produit dues à des impuretés sont exclues de
la garantie.
En utilisant des composants à vide, prendre les
mesures appropriées pour assurer la propreté et la
prévention des dommages éventuels.
DANGER
Avec les raccords de vide KF à bagues d'étanchéité en
élastomère (p. ex. joints toriques) et en présence d'une
surpression >250 kPa, la bague d'étanchéité doit être
équipée d'un anneau de centrage externe.
En présence de surpressions >100 kPa, employer un
élément de serrage pouvant uniquement être ouvert et
fermé à l'aide d'un outil (p. ex. anneau de serrage muni
d'un collier de serrage).
Si la jauge IKR 050 peut entrer en contact avec des
particules chargées (plasma, faisceau ionique, etc.),
assurez-vous qu'elle soit raccordée au moyen d'une
liaison galvanique à la chambre à vide mise à la terre. En
tel cas, employez toujours des anneaux de centrage et
des éléments de serrage métalliques conducteurs.
La position de montage n'est pas imposée mais les particules
ne doivent pas pénétrer dans la chambre de mesure (espace
nécessaire → Caractéristiques techniques).
Matériaux au contact du vide
Raccordement au vide
Chambre de mesure
DN 25 ISO-KF
DN 40 ISO-KF
DN 40 CF-F
Isolation de traversée
Joints internes
Anode
Dispositifs d'allumage
Volume interne
Dépendance du type de gaz
Après leur mise en marche, les jauges à cathode froide
présentent un retard à l'allumage. Ce dernier augmente en
présence de basses pressions et s'élève à :
1×10-7 hPa ≈ 0.1 minute
1×10-8 hPa ≈ 1 minute
1×10-9 hPa ≈ 5 minutes
Encrassement
Les pannes du produit dues à des impuretés sont exclues de
la garantie.
max. 100 m
(40 m en cas d'utilisation de
la limite inférieure de la
gamme de mesure,
→ Manuel de l'utilisateur de
l'appareil de mesure
Pfeiffer Vacuum)
Responsabilité et garantie
Pfeiffer Vacuum est dégagée de toute responsabilité et la
garantie devient nulle et non avenue si le détenteur ou une
tierce personne
• n'observe pas les indications figurant dans ce document
acier inoxydable (1.4104)
acier inoxydable (1.4306)
acier inoxydable (1.4306)
céramique (Al2O3)
FPM
Mo
acier inoxydable (1.4310)
≈20 cm³
Chambre
à vide
• utilise le produit avec des accessoires non répertoriés
dans la documentation du produit correspondante.
La responsabilité relative aux gaz utilisés dans les procédés
incombe au détenteur.
Les pannes du produit dues à des impuretés sont exclues de
la garantie.
• Clé pour vis à six pans creux de 3
• de la pression à l'intérieur de la chambre à vide
• Pincette
• des impuretés contenues dans la chambre à vide
(vapeurs, particules des processus industriels, etc.)
• du courant de mesure
• Pince pour circlip
• Chiffon de polissage (grain 400) ou Scotch-Brite
• Outil de montage pour dispositif d'allumage
• Alcool industriel
Démontage de la jauge
Activez uniquement la jauge en présence de
pressions <10-2 hPa afin d'éviter un encrassement
trop important.
Si la jauge est souvent exploitée dans la gamme de
pression comprise entre 3×10-5 hPa et 1×10-2 hPa,
employez des cartes de mesure avec lesquelles le
courant de mesure est limité au maximum à 100 µA
(→ Manuel de l'utilisateur des cartes de mesure pour
l'appareil de mesure TPG 300).
(→ Figure 1, page suivante)
Condition préalable
• Jauge démontée
Marche à suivre
 Dévisser la vis à tête hexagonale (3) de l'unité
magnétique (4) puis retirer l'unité magnétique.
En raison de l'exposition à la force magnétique
et de la tendance à se coincer, la séparation
de l'unité magnétique et de la chambre de
mesure (7) n'est pas facile.
Pour des raisons liées aux tolérances,
réinstaller la même unité magnétique en cas
de nouveau montage.
 Retirer le circlip (5) et l'embout polaire (6) de la
chambre de mesure (7).
Pour des raisons liées aux tolérances, réinstaller la
même unité magnétique en cas de nouveau
montage.
• Clé pour vis à six pans creux de 1.5
• Clé à fourche de 7
Marche à suivre
(→ Figure 1, page suivante)
 Dévisser la vis à tête hexagonale (3) de l'unité
Size 7
600 g (DN 25 ISO-KF)
600 g (DN 40 ISO-KF)
850 g (DN 40 CF-F)
magnétique (4) puis retirer l'unité magnétique.
En raison de l'exposition à la force magnétique
et de la tendance à se coincer, la séparation
de l'unité magnétique et de la chambre de
mesure (7) n'est pas facile.
 Raccorder la jauge au système de vide.
 Mettre en place l'unité magnétique puis la bloquer à
l'aide de la vis à tête hexagonale (3).
 Desserrer les deux vis à six pans creux (1a) puis retirer
Démontage
la fiche coaxiale (2a).
Outillage requis
• utilise ce produit de manière non conforme à l'utilisation
prévue
• modifie ce produit d'une façon quelconque
Outillage requis
• Clé à fourche de 7
Du point de vue de la technique de mesure, un encrassement
se traduit généralement par une indication de pressions trop
basses. En présence d'un encrassement important, le
système devient instable. Des couches peuvent se décoller
de la chambre de mesure et provoquer un court-circuit.
En fonction des conditions d'utilisation, les intervalles de
nettoyage peuvent varier entre quelques jours et plusieurs
années.
acier inoxydable (1.4306)
DANGER : champs magnétiques
Les champs magnétiques puissants peuvent
perturber ou gêner le fonctionnement des
appareils électroniques, p. ex. des stimulateurs
cardiaques.
Communiquer les indications concernant la sécurité aux
autres utilisateurs.
Nettoyage de la jauge / montage
de pièces de rechange
Les jauges à cathode froide sont sensibles à l'encrassement.
Le degré d'encrassement et ainsi la précision de mesure
dépendent des facteurs suivants :
Démontage de l'unité magnétique
ø63.5
Observer une distance de sécurité de ≥10 cm
entre le stimulateur cardiaque et l'aimant ou
empêcher toute perturbation émanant de
champs magnétiques puissants en installant des
blindages adéquats.
DANGER : composants contaminés
Les composants contaminés peuvent nuire à la
santé et polluer l'environnement.
Se renseigner avant le début de l'intervention sur
une éventuelle contamination. Observer les
prescriptions essentielles et prendre les
précautions afférentes à la manipulation de
composants contaminés.
Retard à l'allumage
Dimensions [mm]
DANGER
DANGER
La valeur mesurée dépend du type de gaz. L'affichage
s'applique à l'air sec,à l'azote (N2), à l'oxygène (O2) et au
monoxyde de carbone (CO). Pour d'autres types de gaz,
procéder à la conversion ou au réglage du facteur de
conversion sur l'appareil de mesure Pfeiffer Vacuum
(→ Annexe).
• de la durée de service
SHV
Câble coaxial
Longueur du câble entre la
jauge et l'appareil de mesure
Poids
Principe de fonctionnement
Raccordement au vide
En cas d'utilisation de raccords de vide CF, il peut s'avérer
avantageux de temporairement enlever l'unité magnétique
(→ Section suivante).
92
Ce document est valable pour les produits avec les numéros
de référence :
PT R18 500 (DN 25 ISO-KF)
PT R18 501 (DN 40 ISO-KF)
PT R18 502 (DN 40 CF-F)
Le numéro de référence (No) figure sur la plaque signalétique.
Maintenance
Après l'application de la tension la jauge est prête à
fonctionner.
(Uniquement pour le raccord de vide CF)
Pfeiffer Vacuum, D-35614 Asslar
Validité
Fonctionnement
≤3.3 kV
Raccordement électrique
Fiche
Type
Identification du produit
Les indications figurant sur la plaque signalétique du produit
sont nécessaires pour toutes communications à Pfeiffer
Vacuum. Reporter ces indications ci-dessous.
Tension de service
(dans la chambre de
mesure)
Courant de service
(dans la chambre de
mesure)
97.5
BG 5031 BFR / A (2013-11)
Manuel de l'utilisateur
Installation
DANGER
DANGER : composants contaminés
Les composants contaminés peuvent nuire à la
santé et polluer l'environnement.
Se renseigner avant le début de l'intervention sur
une éventuelle contamination. Observer les
prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes à la manipulation de composants
contaminés.
 Retirer les quatre (ou deux) vis à six pans creux (8), y
compris les rondelles d'arrêt (8a), au dos de la
chambre de mesure (7).
 Retirer successivement avec la diligence requise
l'élément de serrage (9), l'anode complète (10), la
bague intérieure (11) et le joint FPM (12).
Les pièces peuvent maintenant être nettoyées ou remplacées
séparément (→ Section suivante).
En utilisant des composants à vide, prendre les
mesures appropriées pour assurer la propreté et la
prévention des dommages éventuels.
Marche à suivre
 Mettre la jauge hors circuit.
 Détacher le câble de raccordement.
 Démonter la jauge de la chambre à vide.
Raccordement électrique
• Raccorder la jauge à la chambre à vide mise à la terre.
• Raccorder la jauge à l'appareil de mesure Pfeiffer Vacuum
(→ Manuel de l'utilisateur de la carte de mesure
employée).
Recouvrez le raccord de vide à l'aide du couvercle
de protection correspondant.
bg5031bf r / a
Source : Allemand BG 5031 BDE / A (2013-11)
(2013-11)
 Installer la fiche coaxiale (2a) sur la chambre de
Nettoyage
Marche à suivre
DANGER
En cas d'utilisation de produits de nettoyage, observer les
prescriptions essentielles et prendre les précautions
appropriées concernant leur manipulation et élimination.
mesure (7) puis serrer à fond les deux vis à six pans
creux (1a).
 Mettre en place l'unité magnétique (4) puis la bloquer à
l'aide de la vis (3).
Figure 1 :
Cause possible
Solution
Les valeurs de
pression indiquées
par la jauge sont
trop basses
Jauge
encrassée
Nettoyer
la jauge
3
Pièces de rechange
l'embout polaire à l'aide d'un chiffon de polissage.
Les commandes de pièces de rechange doivent toujours
comprendre :
Attention
Uniquement traiter la surface d'étanchéité de
manière concentrique.
• toutes les indications figurant sur la plaque signalétique
• description et numéro de référence selon la liste des pièces de rechange
 Rincer la chambre de mesure et l'embout polaire avec
7
de l'alcool industriel.
Repère
→ Figure 1
6
5
8a
Nettoyer ou remplacer l'anode (10) :
 Démonter l'ancien dispositif d'allumage (10a) par
8
10a
exemple à l'aide d'une pincette.
 Polir la broche de l'anode à l'aide du chiffon de
9
polissage.
10
12
Attention
 Rincer l'anode avec de l'alcool industriel.
 Sécher l'anode.
 Insérer le nouveau dispositif d'allumage (10a) dans
Défaut
1a
 Polir les parois intérieures de la chambre de mesure et
Ne pas plier l'anode.
Ne pas traiter la céramique à l'aide d'un moyen
mécanique.
Retour du produit
2a
4
Nettoyer la chambre de mesure et l'embout polaire :
 Sécher ces deux éléments.
Dépannage
7
11
Kit de maintenance
Bague intérieure
Joint torique FPM,
3.69×1.78
Joint torique FPM,
10.82×1.78
Dispositif d'allumage
Kit de réparation
Joint torique FPM,
10.82×1.78
Anode complète
Bague intérieure
Dispositif d'allumage
1)
No de
référence
BN 846 239-T
(11)
—
BN 846 252-T
Le joint torique n'est pas requis.
nouvelle) en la centrant parallèlement à l'axe de l'outil
dans le dispositif d'allumage puis l'insérer de ≈15 mm.
Le positionnement définitif doit uniquement être réalisé
après le montage de l'anode.
Assemblage de la jauge
Dépendance du type de gaz
DANGER
AVERTISSEMENT
Pression indiquée (jauge ajustée pour l'air)
DANGER : composants contaminés
Les composants contaminés peuvent nuire à la
santé et polluer l'environnement.
Se renseigner avant le début de l'intervention sur
une éventuelle contamination. Observer les
prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes à la manipulation de composants
contaminés.
AVERTISSEMENT : transport de produits
contaminés
Les produits contaminés (par des substances
radioactives, toxiques, caustiques ou microbiologiques) peuvent nuire à la santé et polluer
l'environnement.
Les produits qui nous sont envoyés seront dans
la mesure du possible exempts de substances
nocives. Observer les prescriptions de transport
des pays et entreprises de transport concernés.
Inclure une "Déclaration de contamination" remplie *).
p (hPa)
Air
O2
CO
Ar N2 H2 Ne He
4
Xe Kr
2
10–3
8
6
4
2
10–4
8
6
4
2
AVERTISSEMENT
10–5
AVERTISSEMENT : substances polluantes
Certains produits ou leurs éléments (composants
mécaniques ou électriques, fluides etc.) peuvent
polluer l'environnement.
Eliminer les substances polluantes conformément à la réglementation locale.
*) Formulaire disponible sur www.pfeiffer-vacuum.com
En absence de confirmation univoque que le produit est
"exempt de substances nocives", le produit est décontaminé
aux frais du client.
En absence d'une "Déclaration de contamination" dûment
remplie, le produit est renvoyé à l'expéditeur à ses frais.
• Composants contaminés
Décontaminer les composants contaminés (par des
substances radioactives, toxiques, corrosives ou microbiologiques) conformément à la réglementation nationale,
les trier en fonction de leurs matériaux et les éliminer.
• Composants non contaminés
Trier ces composants en fonction de leurs matériaux et les
récupérer.
Table de conversion des unités de
pression
l'outil de montage.
 Enfoncer avec précaution l'anode (nettoyée ou
Annexe
Tri des composants
Après le démontage du produit, trier ses composants selon
les critères suivants :
1)
(12)
(10a)
(12)
(10)
(11)
(10a)
Recyclage
mbar
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr
mm HG
1
1×103
0.01
1
10
bar
-3
1×10
1
1×10-5
1×10-3
0.01
Pa
hPa
kPa
100
1×105
1
100
1×103
1
0.1
0.75
1×103 100
750
-3
0.01 1×10 7.5×10-3
1
0.1
0.75
10
1
7.5
1.332 1.332×10-3 133.32 1.3332 0.1332
1 Pa = 1 N/m
Torr
mm HG
8
6
4
2
10–6
8
6
4
2
10–7
10–7 2
4
6
10–6 2
4
6
10–5 2
4
6
10–4 2
4
6
10–3 2
4
6
10–2
peff (hPa)
Dans la gamme au-dessous de 10-5 hPa l'indication est
linéaire. Pour d'autres gaz que l'air, la pression peut être
déterminée par une simple conversion.
peff = C × pression indiquée
où
Type de gaz
C
Air (N2, O2, CO)
Xe
Kr
Ar
H2
Ne
He
1.0
0.4
0.5
0.8
2.4
4.1
5.9
Les facteurs de conversion indiqués sont des valeurs
moyennes.
On rencontre souvent des mélanges de gaz et de
vapeurs. Une mesure précise est alors uniquement
possible à l'aide d'un instrument de mesure à
pression partielle, p. ex. à l'aide d'un spectromètre
de masse quadripolaire Pfeiffer Vacuum.
1
2
Marche à suivre
 Insérer le joint FPM (12) avec la bague intérieure (11)
en les centrant à l'intérieur de la chambre de mesure
(7). La surface d'étanchéité, le joint et la céramique
doivent être propres (→ Figure 1).
 Insérer avec précaution l'anode (10), y compris le
dispositif d'allumage (10a), à l'intérieur de la chambre
de mesure.
 Installer avec précaution l'élément de serrage (9) sur la
chambre de mesure (7) puis le serrer à fond de
manière homogène à l'aide des vis (8), y compris les
rondelles d'arrêt (8a).
 Positionnement du dispositif d'allumage (10a) :
Emboîter l'outil de montage pour le dispositif
d'allumage sur la broche de l'anode puis l'insérer à
fond.
 Souffler les particules à l'intérieur de la chambre de
mesure (7) à l'aide d'azote sec (en tenant le raccord de
vide de la chambre de mesure vers le bas).
 Insérer l'embout polaire (6) jusqu'à la butée mécanique
dans la chambre de mesure (→ Figure 1).
 Mettre en place le circlip (5) sur l'embout polaire.
Réaliser un contrôle visuel afin de s'assurer
que la broche de l'anode soit centrée par
rapport au trou de l'embout polaire
(excentricité admissible ≤0.5 mm).
 Si possible, réaliser un test d'étanchéité (taux de fuite
<10–9 hPa l/s).
Berliner Straße 43
D–35614 Asslar
Allemagne
Tel +49 (0) 6441 802-0
Fax +49 (0) 6441 802-1202
info@pfeiffer-vacuum.de
www.pfeiffer-vacuum.com
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