Pfeiffer PTR 91 Mode d'emploi

MANUEL DE L'UTILISATEUR
FR
Traduction de l’original
PTR 91
BG 5041 BFR/B (2017-11)
FullRange® Transmitter
Identification du produit
Les données indiquées sur la plaque signalétique sont
nécessaires pour tous les échanges avec Pfeiffer Vacuum et
doivent pour cette raison être notées.
Validité
Le présent document concerne les produits avec les références
articles suivantes
(DN 25 ISO-KF)
PT T03 148 310
PT T03 158 310
(DN 40 ISO-KF)
(DN 40 CF-F)
PT T03 358 310
Les références articles (numéros) sont indiquées sur la plaque
signalétique.
Les figures ne portant pas d'inscription correspondent à la jauge
avec un raccord de vide DN 25 ISO-KF. Elles s’appliquent par
analogie également à d’autres jauges.
Sous réserve de modifications techniques sans notification préalable.
2
BG 5041 BFR/B
(2016-07)
Utilisation conforme
Les jauges PTR 91 FullRange® permettent de mesurer le vide
dans un domaine de pression de 1×10-9 … 1 000 mbar.
Il est interdit de les utiliser pour mesurer des gaz facilement
inflammables ou combustibles en mélange avec un agent
oxydant (par ex. oxygène atmosphérique) dans les limites
d’explosivité.
Elles peuvent être exploitées avec un appareil de mesure et de
commande Pfeiffer Vacuum pour jauges ou avec un appareil
d’évaluation propre au client.
Fonction
La jauge contient deux systèmes de mesure individuels
(système de mesure Pirani et système de mesure à cathode
froide selon le principe du magnétron inverse). Leurs signaux
sont reliés de manière à mettre un signal de sortie à disposition.
Sur toute la gamme de mesure, le signal de mesure dépend
logarithmiquement de la pression.
Livraison
1× jauge
1× palpeur
1× manuel de l’utilisateur en français
1× manuel de l’utilisateur en anglais
Marque
FullRange®
BG 5041 BFR/B
Pfeiffer Vacuum GmbH
(2016-07)11
3
Table des matières
Identification du produit
Validité
Utilisation conforme
Fonction
Livraison
Marque
2
2
3
3
3
3
1 Sécurité
1.1 Symboles utilisés
1.2 Qualification du personnel
1.3 Mentions fondamentales de sécurité
1.4 Responsabilité et garantie
6
6
6
7
7
2 Fiche technique
2.1 Rapport entre signal de sortie et pression
2.2 Dépendance de la nature du gaz PTR 91
8
12
13
3 Montage
3.1 Raccord de vide
3.2 Raccordement électrique
16
16
20
4 Fonctionnement
4.1 Affichage d’état
4.2 Mise en service de la jauge
4.3 Dépendance de la nature du gaz
4.4 Retard d'amorçage
4.5 Encrassement
22
22
23
24
24
25
5
26
Démontage
6 Entretien, remise en état
28
6.1 Ajustage de la jauge
28
6.2 Maintenance de la jauge, montage de pièces de rechange
30
6.2.1 Diagnostic des erreurs sur la chambre de mesure
31
6.2.2 Remplacement de la chambre d’ionisation et de l’aide à
l'amorçage
33
6.2.3 Remplacement de la chambre de mesure
35
4
BG 5041 BFR/B
(2016-07)
6.3
Élimination des erreurs
38
7
Renvoi du produit
40
8
Élimination du produit
41
9
Options
42
10 Accessoires
42
11 Pièces de rechange
11.1 Aide à l'amorçage
11.2 Chambre d’ionisation
11.3 Chambre de mesure complète (capteur de rechange)
43
43
43
44
Certificat ETL
45
Certificat de conformité UE
46
Le symbole (  XY) est utilisé pour renvoyer à des pages au
sein du texte.
BG 5041 BFR/B
(2016-07)11
5
1
Sécurité
1.1
Symboles utilisés
Indications pour la prévention de dommages corporels de tout
genre.
Indications pour la prévention d’importants dégâts matériels et
dommages environnementaux.
Indications pour le maniement ou l’utilisation. Le non-respect
peut entraîner des défauts ou dégâts matériels mineurs.
Incitation à consulter la notice d’utilisation (impression
sur plaque signalétique)
Remarque
<…>
1.2
Inscription
Qualification du personnel
Seules les personnes possédant la formation technique
appropriée et les connaissances nécessaires ou les personnes
ayant obtenu une initiation correspondante de l’utilisateur ont
le droit d’exécuter les travaux décrits dans le présent
document.
6
BG 5041 BFR/B
(2016-07)
1.3
Mentions fondamentales de sécurité
 Respectez les dispositions en vigueur et tenez compte des
mesures préventives lors du maniement des fluides de
processus utilisés.
Tenez compte des éventuelles réactions entre les matériaux
et les fluides de processus.
Tenez compte des éventuelles réactions des fluides de
processus suite au propre échauffement du produit.
 Tous les travaux doivent uniquement être effectués dans le
respect des dispositions en vigueur et des mesures
préventives. Veuillez également tenir compte des mentions de
sécurité indiquées dans le présent document.
 Avant de commencer à travailler, veuillez-vous informer sur la
possibilité d’une contamination. Respectez les dispositions en
vigueur et tenez compte des mesures préventives lors du
maniement de pièces contaminées.
Transmettez les mentions de sécurité à tous les autres
utilisateurs.
1.4
Responsabilité et garantie
Pfeiffer Vacuum décline toute responsabilité et garantie si
l’utilisateur ou une tierce personne
 ne tient pas compte du présent document
 utilise le produit de manière non conforme
 effectue tout type d’intervention (transformation, modifications
etc.) sur le produit
 utilise le produit avec des accessoires ne figurant pas dans
les documentations correspondantes du produit.
La responsabilité liée aux fluides de processus utilisés est du
ressort de l’utilisateur.
Les éventuels dysfonctionnements de la jauge dus à
l’encrassement ou à l’usure, ainsi que les pièces d’usure (par ex.
chambre d’ionisation, aide à l'amorçage, filament chauffé Pirani),
sont exclus de la garantie.
BG 5041 BFR/B
(2016-07)11
7
2
Fiche technique
Gamme de mesure (air, N2)
Précision (N2)
1×10-8 … 100 mbar
100 … 1 000 mbar
Répétabilité (N2)
1×10-8 … 100 mbar
Dépendance de la nature du
gaz
30% de la valeur mesurée
50% de la valeur mesurée
5% de la valeur mesurée
  13
Gamme de tension
(sortie analogique)
Gamme de mesure
Rapport entre signal de
mesure et pression
Signal d’erreur
0 … +10,5 V
Impédance de sortie
2 × 4,7 , protection contre les
courts-circuits
Impédance de charge
≥10 k, protection contre les
courts-circuits
selon la pression
<100 ms
1 s
Temps de réponse indicielle
>1×10-6 mbar
1×10-6 … 1×10-8 mbar
Identification des jauges
Signal d’état (sortie numérique)
Capacité de charge
Haute tension est activée
(ON)
Haute tension est
désactivée (OFF)
8
1×10-9 … 1 000 mbar
+1,397 … +8,6 V (dc)
0,6 V/décade, logarithmique
+9,5 … +10,5 V (dc)
85 k contre la masse
d’alimentation
100 mA
+14,5 … +30 V (dc) (selon la
tension d’alimentation)
0 V (dc)
BG 5041 BFR/B
(2016-07)
Alimentation
La jauge doit uniquement être raccordée à des
appareils d’alimentation et de mesure correspondant
aux exigences de la basse tension de protection mise à
la terre (PELV) et d’une source d’énergie à puissance
limitée (LPS) de catégorie 2. La conduite vers la jauge
doit être protégée. 1)
Tension d’alimentation
sur la jauge 2)
Ripple
Puissance absorbée
Fusible à monter en amont 1)
Catégorie 2 / LPS
+14,5 … +30 V (dc)
≤1 Vpp
≤2 W
≤1 AT
Haute tension dans la chambre de mesure
Tension d'amorçage
≤4,5 kV
Tension de fonctionnement
≤3,3 kV
Courant dans la chambre de
Courant fort
mesure
Raccordement électrique
Câble de mesure
Longueur de câble
FCC 68, à 8 pôles
à 8 pôles, blindé
≤50 m (0,14 mm2/brin)
Concept de mise à la terre
 "Raccordement électrique"
relié via 10 k
(différence de potentiel ≤16 V)
à conduite séparée ; nous
recommandons une mesure
différentielle
Raccord de vide – masse du
signal
Masse d’alimentation –
masse du signal
1)
2)
Les appareils de mesure et de commande Pfeiffer Vacuum répondent à
cette exigence.
La tension minimale de l'unité secteur doit être augmentée
proportionnellement à la longueur de la conduite.
BG 5041 BFR/B
(2016-07)11
9
Matériaux exposés au vide
Raccord de vide
Chambre de mesure
Filament chauffé Pirani
Exécution
Isolation
Anneau
Anode
Broche
Chambre d’ionisation
Aide à l'amorçage
Volume intérieur
DN 25 ISO-KF
DN 40 ISO-KF
DN 40 CF-F
Pression maximale (absolue)
Pression de rupture (absolue)
Températures admissibles
Fonctionnement
Filament chauffé Pirani
Dégazage
Stockage
Humidité relative pendant
30 jours par an
1×10-8 … 1×10-2 mbar
1×10-7 … 1×10-2 mbar
Position de montage
Utilisation
Type de protection
3)
10
Acier inoxydable (1.4435)
Acier inoxydable (1.4435)
W
Verre, céramique (Al2O3)
Acier inoxydable (1.4435)
Molybdène
Alliage Ni
Acier inoxydable (1.4301,
1.4016)
Acier inoxydable (1.4310)
3
19,9 cm
3
20,9 cm
3
25,2 cm
10 bar, limité aux gaz inertes
<55 °C
>13 bar
+5 °C … +55 °C
120 °C
≤150 °C 3)
–40 °C … +70 °C
≤70% (sans condensation)
≤95% (sans condensation)
quelconque
uniquement à l’intérieur,
hauteur max. de 6 000 m audessus du niveau de la mer
IP 40
Sans unité électronique.
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(2016-07)
Dimensions [mm]
Poids
DN 25 ISO-KF
DN 40 ISO-KF
DN 40 CF-F
BG 5041 BFR/B
(2016-07)11
<280 g
<320 g
<570 g
11
2.1
Rapport entre signal de sortie et pression
p = 10
1,667U d

-
Valide dans la gamme
c
d
avec
12
p
U
c,d
U = c + 0,6 log p
1×10-9 mbar < p < 1 000 mbar
7,5×10-10 Torr < p < 750 Torr
1×10-7 Pa < p < 1×105 Pa
mbar
Pa
Torr
6 798
11,33
5 598
9,333
6 873
11,46
Pression
Signal de mesure
Constante (selon l’unité de pression)
BG 5041 BFR/B
(2016-07)
2.2
Dépendance de la nature du gaz PTR 91
Gamme de mesure entre 102 et 10-2 mbar
(fonctionnement Pirani uniquement)
Pression affichée (jauge adaptée pour air)
BG 5041 BFR/B
(2016-07)11
13
Gamme de mesure entre 10-6 et 0,1 mbar
Pression affichée (jauge adaptée pour air)
14
BG 5041 BFR/B
(2016-07)
Gamme de mesure inférieure à 10-5 mbar
Dans la gamme inférieure à 10-5 mbar, l’affichage est linéaire.
Pour les gaz autres que l’air, la pression peut être déterminée
par une simple conversion :
peff = K × pression affichée
Avec :
Nature du gaz
K
Air (N2, O2, CO)
Xe
Kr
Ar
H2
Ne
He
1.0
0.4
0.5
0.8
2.4
4.1
5.9
Les facteurs de conversion indiqués sont des valeurs moyennes.
Il s’agit cependant souvent de mélanges à base de gaz
et de vapeurs. Dans de tels cas, il n'est possible d'avoir
une mesure précise qu'avec des appareils de mesure à
pression partielle, par ex. avec un spectromètre de
masse quadripole.
BG 5041 BFR/B
(2016-07)11
15
3
Montage
3.1
Raccord de vide
DANGER : surpression dans le système de vide
>1 bar
Risque de blessures suite à la projection de pièces
et d’atteintes à la santé suite à l’échappement de
fluide de processus si les éléments de serrage sont
ouverts alors que le système de vide est en
surpression.
Ne pas ouvrir les éléments de serrage tant que le
système de vide est en surpression. Utiliser des
éléments de serrage appropriés pour la
surpression.
DANGER : surpression dans le système de vide
>2,5 bar
Sur les raccords KF, les joints élastomères (par ex.
joints toriques) ne peuvent plus résister à la
pression. Cela peut porter atteinte à la santé suite
à l’échappement de fluide de processus.
Utiliser des joints toriques avec un anneau de
centrage extérieur.
16
BG 5041 BFR/B
(2016-07)
DANGER : mise à la terre
Une mise à la terre incorrecte des produits peut
avoir des conséquences mortelles en cas de
dysfonctionnement.
La jauge doit être reliée galvaniquement à
l’enceinte à vide mise à la terre. La liaison doit
répondre aux exigences d’une jonction de
protection selon la norme EN 61010 :
 Les raccords CF répondent à cette exigence.
 Un anneau de serrage conducteur d’électricité
doit être utilisé pour les raccords KF.
Attention : composants sous vide
Les saletés et les dégâts influencent le
fonctionnement des composants sous vide.
Pour le maniement de composants sous vide,
respecter les règles relatives à la propreté et à la
protection contre les dommages.
Attention : domaine sensible à l’encrassement
Le contact du produit ou des pièces à mains nues
augmente le taux de désorption.
Porter des gants propres et non pelucheux et
utiliser des outils propres.
BG 5041 BFR/B
(2016-07)11
17
Monter la jauge sans vibration dans la mesure du possible. Les
vibrations sur la jauge occasionnent de manière générale des
différences pour les valeurs mesurées.
La position de montage peut être librement choisie. Il est
toutefois recommandé de choisir une position horizontale à
verticale afin d’empêcher toute pénétration de condensats et de
particules dans la chambre de mesure.
Dans le cas d’applications potentiellement polluantes et afin de
protéger le système de mesure contre l’encrassement, il est
recommandé de monter un joint avec un anneau de centrage et
un filtre (options   42).
Retirer le capuchon protecteur et raccorder le produit au
système de vide.
Conserver le capuchon protecteur.
18
BG 5041 BFR/B
(2016-07)
Pour le montage sur des brides CF, il peut s’avérer
avantageux de retirer provisoirement l’unité électronique.
Conserver le capuchon protecteur.
AVERTISSEMENT : décharge électrique
L’hélium peut entraîner des décharges électriques
dans le système électronique du produit et le
détruire.
Toujours mettre le produit hors service et retirer
l’unité électronique avant d’effectuer un test
d’étanchéité.
BG 5041 BFR/B
(2016-07)11
19
3.2
Raccordement électrique
La jauge doit être raccordée correctement à l’appareil de
vide (  16).
La jauge doit uniquement être raccordée à des
appareils d’alimentation et de mesure
correspondant aux exigences de la basse tension
de protection mise à la terre (PELV) et d’une
source d’énergie à puissance limitée (LPS) de
catégorie 2. La conduite vers la jauge doit être
protégée. 4)
Les boucles de masse, différences de potentiel ou la
compatibilité électromagnétique peuvent influencer le
signal de mesure. Respectez les instructions de
montage indiquées ci-dessous pour obtenir une qualité
optimale du signal :
 Utiliser des câbles avec tresse de blindage et boîtier
métallique de connecteur.
 Relier la masse d’alimentation directement à l’unité
de courant avec terre de protection.
 Utiliser une entrée de mesure différentielle (masse du
signal et masse d’alimentation séparées).
 Différence de potentiel entre masse d’alimentation et
boîtier ≤18 V (protection contre la surtension).
4)
20
Les appareils de mesure et de commande Pfeiffer Vacuum répondent à
cette exigence.
BG 5041 BFR/B
(2016-07)
En cas d’absence de câble de mesure, fabriquer un câble de
mesure selon le schéma suivant. Raccorder le câble de mesure.
Raccordement électrique
Broche 1 Alimentation (14,5 … 30 V (dc))
Broche 2 Masse d’alimentation GND
Broche 3 Sortie de signal (signal de
mesure)
Broche 4 Identification de jauge
Broche 5 Masse du signal
Broche 6 Signal d’état
Les broches 7 et 8 ne sont pas affectées.
BG 5041 BFR/B
(2016-07)11
FCC 68
à 8 pôles
21
4
Fonctionnement
4.1
Affichage d’état
LED
<ST>
<HV-ST>
Signification
Éteinte
Éteinte
Pas de tension d’alimentation
Allumée en
vert
Éteinte
Tension d’alimentation = ok,
Pirani activé, cathode froide désactivée
Allumée en
jaune
Clignote
en vert
Tension d’alimentation = ok,
pression dans le domaine de la cathode
froide, cathode froide pas amorcée
Allumée en
vert
Allumée en
vert
Cathode froide amorcée
Allumée
en rouge
Éteinte
Erreur du système de mesure
Clignote
en rouge
Éteinte
Erreur EEPROM
Allumée en
jaune
Éteinte
Gamme de mesure dépassée
Allumée en
jaune
Allumée
en vert
Gamme de mesure pas atteinte
Élimination des erreurs (  39).
22
BG 5041 BFR/B
(2016-07)
4.2
Mise en service de la jauge
Le signal de mesure est disponible à la sortie de signal après
avoir appliqué la tension d’alimentation (  21).
Un temps de stabilisation de 10 minutes doit être respecté. La
jauge peut toujours rester en marche, indépendamment de la
pression appliquée.
Principe de mesure, comportement de mesure
La jauge contient deux systèmes de mesure individuels
(système de mesure Pirani et système de mesure à cathode
froide selon le principe du magnétron inverse). Leurs signaux
sont reliés de manière à mettre un signal de sortie à disposition.
La configuration optimale pour le domaine de pression respectif
est utilisée :
 Le circuit de mesure Pirani est toujours activé
 Le circuit de mesure à cathode froide commandé par le circuit
de mesure Pirani est uniquement activé à partir de pressions
p < 1×10-2 mbar
Tant que le circuit de mesure à cathode froide n'est pas allumé,
la sortie de signal fournit la simple valeur Pirani mesurée (si
p < 5×10-4 mbar : affichage "Pirani-Underrange").
BG 5041 BFR/B
(2016-07)11
23
4.3
Dépendance de la nature du gaz
Le signal de mesure dépend de la nature du gaz. La valeur
mesurée est valide pour air sec, O2, CO et N2. Pour tout autre
gaz, il doit être converti (  13).
Dans les cas où la jauge est utilisée avec un appareil de mesure
et de commande Pfeiffer Vacuum, il est possible d’entrer un
facteur de calibrage pour corriger la valeur mesurée affichée
(  de l’appareil respectif).
4.4
Retard d'amorçage
Les systèmes de mesure à cathode froide ont un retard
d'amorçage à la mise en marche. Ce retard augmente pour les
pressions basses et contribue typiquement à une jauge propre et
dégazée :
1×10-5 … 1×10-2 mbar
1×10-7 … 1×10-5 mbar
5×10-9 … 1×10-7 mbar
<5×10-9 mbar
< 1
<20
< 2
<20
seconde
secondes
minutes
minutes
L'amorçage est un processus statistique risquant d’être
fortement influencé rien que par de faibles dépôts sur les
surfaces intérieures.
Tant que le circuit de mesure à cathode froide n’est pas allumé,
la sortie de signal fournit la simple valeur Pirani mesurée. La
sortie d’état (= 0 V) signale un fonctionnement Pirani
uniquement.
Si la haute tension est activée à une pression
p < 3×10-9 mbar, la jauge ne peut pas reconnaître si le
système de mesure à cathode froide est allumé.
La jauge fixée par bride doit toujours rester en service,
indépendamment du domaine de pression. Le retard
d'amorçage du circuit de mesure à cathode froide est de
la sorte négligeable (<1 seconde) et les effets de
stabilisation thermique sont minimisés.
24
BG 5041 BFR/B
(2016-07)
4.5
Encrassement
Les éventuels dysfonctionnements de la jauge dus à
l’encrassement ou à l’usure, ainsi que les pièces d’usure (par ex.
chambre d’ionisation, aide à l'amorçage, filament chauffé Pirani),
sont exclus de la garantie.
L’encrassement de la jauge dépend du type des fluides de
processus, d’éventuels encrassements existants ou nouveaux et
de leur pression partielle. Un fonctionnement en continu dans la
plage de 10-4 mbar … 10-2 mbar peut conduire à un fort
encrassement et à de courtes durées de vie.
Un encrassement de la jauge conduit de manière générale à des
différences pour les valeurs mesurées :
 Dans la plage des hautes pressions
(1×10-3 mbar … 0,1 mbar), il en résulte une pression affichée
trop élevée (encrassement de l’élément Pirani). Nouveau
réglage du système de mesure Pirani   28.
 Dans la plage des basses pressions (p < 1×10-3 mbar), la pression
affichée est en conséquence trop faible (encrassement du système
à cathode froide). De forts encrassements entraînement également
l’apparition d’instabilités (détachement de couches dans la
chambre de mesure). En cas d’encrassement par couches
isolantes, une extinction complète de la décharge de gaz est même
possible (affichage "Underrange").
Le degré de l’encrassement peut dans une certaine mesure être
influencé :
 Par des mesures préventives géométriques (par ex. tôles de
blindage, coudes) pour des particules se propageant en ligne
droite.
 En choisissant précisément la position de la bride des jauges à un
endroit où la pression partielle de l’encrassement est minimale.
Une attention particulière est requise pour les vapeurs se
séparant dans le plasma (par ex. du système de mesure à
cathode froide). Si nécessaire, mettre la jauge hors marche ou
bien la cloisonner au moyen d’une vanne en présence de
vapeurs.
BG 5041 BFR/B
(2016-07)11
25
5
Démontage
DANGER : pièces contaminées
Les pièces contaminées présentent des risques
pour la santé et pour l’environnement.
Avant de commencer à travailler, veuillez-vous
informer sur la possibilité d’une contamination.
Respecter les dispositions en vigueur et tenir
compte des mesures préventives lors du
maniement de pièces contaminées.
Attention : composants sous vide
Les saletés et les dégâts influencent le
fonctionnement des composants sous vide.
Pour le maniement de composants sous vide,
respecter les règles relatives à la propreté et à la
protection contre les dommages.
Attention : domaine sensible à l’encrassement
Le contact du produit ou des pièces à mains nues
augmente le taux de désorption.
Porter des gants propres et non pelucheux et
utiliser des outils propres.
 Ventiler le système de vide.
 Mettre la jauge hors service et retirer le câble de mesure.
26
BG 5041 BFR/B
(2016-07)
 Démonter la jauge du système de vide et mettre le
capuchon protecteur en place.
Pour le démontage des brides CF, il peut s’avérer
avantageux de retirer provisoirement l’unité
électronique (  19).
BG 5041 BFR/B
(2016-07)11
27
6
Entretien, remise en état
Les éventuels dysfonctionnements de la jauge dus à
l’encrassement ou à l’usure, ainsi que les pièces d’usure
(par ex. chambre d’ionisation, aide à l'amorçage,
filament chauffé Pirani), sont exclus de la garantie.
Pfeiffer Vacuum décline toute responsabilité et garantie si
l’utilisateur ou une tierce personne effectue lui-même/elle-même
des travaux de remise en état.
6.1
Ajustage de la jauge
Le circuit de mesure à cathode froide dominant pour la plage de
basses pressions (<1×10-3 mbar) est réglé par défaut à une
valeur fixe. L'ajustage HV du circuit de mesure Pirani est
effectué automatiquement pendant le fonctionnement à des
pressions <1×10-5 mbar. La nouvelle valeur du point zéro est
enregistrée toutes les 15 minutes à titre de protection contre les
pannes de courant. L'ajustage influence à peine le domaine de
pression entre environ 10-2 mbar et 102 mbar.
Un fonctionnement à long terme, une application dans d’autres
conditions climatiques, des températures extrêmes, un
vieillissement ou un encrassement peuvent entraîner un
décalage du zéro dans le circuit de mesure ; un ajustage manuel
ou un nettoyage périodiques sont alors nécessaires.
Un ajustage HV manuel est nécessaire ( , ) si la jauge
n’émet plus de pressions <10-2 mbar.
Effectuer l'ajustage dans des conditions ambiantes constantes et
une position de montage identique à celle utilisée normalement
avec la jauge.
 Contrôler le degré d’encrassement du joint, avec anneau
de centrage et filtre, éventuellement mis en place ; le
remplacer si nécessaire ( "Démontage").
28
BG 5041 BFR/B
(2016-07)
 Mettre la jauge en service et l’exploiter au moins
10 minutes à pression atmosphérique.
 Pour l'ajustage ATM, appuyer brièvement sur le bouton
<ADJ> avec un crayon (ø max. 1,1 mm) : le capteur Pirani
se règle à 1 000 mbar (durée 5 s).
L'ajustage a été effectué avec succès si la pression
de 1 000 mbar est émise à la sortie du signal de
mesure. Dans le cas contraire, répéter l'ajustage.
 Évacuer le système de vide à p <10 mbar, puis attendre
-5
au moins 2 minutes.
 Pour l'ajustage HV, appuyer brièvement sur le bouton
<ADJ> avec un crayon (durée de l'ajustage 5 s).
L'ajustage a été effectué avec succès si une pression
<1×10-5 mbar est émise à la sortie du signal de
mesure. Dans le cas contraire, répéter l'ajustage.
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29
6.2
Maintenance de la jauge, montage de pièces
de rechange
En cas de fort encrassement ou de défaut (par ex.
rupture du filament chauffé Pirani), remplacer la
chambre de mesure complète (pièces de rechange
  43).
DANGER : pièces contaminées
Les pièces contaminées présentent des risques
pour la santé et pour l’environnement.
Avant de commencer à travailler, veuillez-vous
informer sur la possibilité d’une contamination.
Respecter les dispositions en vigueur et tenir
compte des mesures préventives lors du
maniement de pièces contaminées.
Attention : composants sous vide
Les saletés et les dégâts influencent le
fonctionnement des composants sous vide.
Pour le maniement de composants sous vide,
respecter les règles relatives à la propreté et à la
protection contre les dommages.
Attention : domaine sensible à l’encrassement
Le contact du produit ou des pièces à mains nues
augmente le taux de désorption.
Porter des gants propres et non pelucheux et
utiliser des outils propres.
30
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(2016-07)
DANGER : produits de nettoyage
Les produits de nettoyage présentent des risques
pour la santé et pour l’environnement.
Respecter les dispositions en vigueur et tenir
compte des mesures préventives pour le
maniement et l’élimination des produits de
nettoyage. Tenir compte des éventuelles réactions
avec les matériaux du produit (  10).
Condition
Jauge démontée.
6.2.1
Diagnostic des erreurs sur la chambre de mesure
Si le défaut est supposé être dans la chambre de mesure
proprement dite, un diagnostic approximatif est au moins
possible avec un ohmmètre.
Outils / matériel nécessaires
 Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, taille 2
 Pince pour circlip
 Ohmmètre
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 Desserrer la vis sans tête (4) et retirer la chambre de
mesure complète (3) de l’unité électronique (5).
 Retirer le circlip (1) et la chambre d’ionisation (2) de la
chambre de mesure (3).
 Contrôler le degré d’encrassement de la chambre
d’ionisation et de mesure :
 Seule la chambre d’ionisation est encrassée : remplacer
la chambre d’ionisation (  33)
 Chambre de mesure fortement encrassée : remplacer la
chambre de mesure complète (  35).
32
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 Au moyen d’un ohmmètre, effectuer les mesures suivantes
sur les broches de contact de la chambre de mesure.
Cause
probable
Mesure
entre
broches
1+4
39,5 … 40,5 Ω
(à 20 °C)
Valeurs audelà de la
plage
Rupture du
filament Pirani
1+2
1 000 … 1 100 Ω
(à 20 °C)
Valeurs audelà de la
plage
Rupture de la
sonde de
température Pirani
5 + chambre
de mesure
∞
<<∞
Encrassement,
court-circuit
cathode froide
Ces erreurs nécessitent le remplacement de la chambre de
mesure complète (  35).
 Nous recommandons d’effectuer un test de fuites (taux de
fuite <1×10-9 mbar l/s).
6.2.2
Remplacement de la chambre d’ionisation et de
l’aide à l'amorçage
Condition
Diagnostic des erreurs effectué sur la chambre de mesure
(  31).
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33
 En cas d’encrassement, retirer l’aide à l'amorçage en
utilisant l’outil de démontage (accessoires   42).
 Nous recommandons de polir les parois intérieures de la
chambre de mesure jusqu’à la rainure du circlip en utilisant
une toile de polissage.
 Usinage uniquement concentrique de la
surface d’étanchéité
 Ne pas déformer l’anode
 Placer une nouvelle aide à l'amorçage dans l’outil de
montage et la pousser sur l’anode (pièces de rechange
  43).
 Pousser une nouvelle chambre d’ionisation (2) dans la
chambre de mesure (3), jusqu’à la butée mécanique et
monter le circlip (1) (pièces de rechange   43).
34
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 Nous recommandons d’effectuer un test de fuites (taux de
fuite <1×10-9 mbar l/s).
 Pousser prudemment la chambre de mesure complète
jusqu’à la butée mécanique dans l’unité électronique (5).
Broches alignées en ligne droite.
 Bloquer la chambre de mesure (3) avec la vis sans tête (4).
6.2.3
Remplacement de la chambre de mesure
Condition
Diagnostic des erreurs effectué sur la chambre de mesure
(  31).
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 Ajuster la valeur d’étalonnage du capteur de rechange sur
l’interrupteur <CAL> de l’unité électronique (5).
 Pousser prudemment la chambre de mesure complète
jusqu’à la butée mécanique dans l’unité électronique (5).
Broches alignées en ligne droite.
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 Bloquer la chambre de mesure (3) avec la vis sans tête (4).
 Procéder à l'ajustage ATM et HV manuel du circuit de
mesure Pirani (  28).
 Nous recommandons d’effectuer un test de fuites (taux de
fuite <1×10-9 mbar l/s) et un test de fonctionnement sur le
détecteur de fuites.
AVERTISSEMENT : décharge électrique
L’hélium peut entraîner des décharges électriques
dans le système électronique du produit et le
détruire.
Toujours mettre le produit hors service et retirer
l’unité électronique avant d’effectuer un test
d’étanchéité.
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6.3
Élimination des erreurs
En cas d'erreur, nous recommandons de désactiver la
tension d’alimentation et de la réactiver après 5 s.
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(2016-07)
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39
Éteinte
Éteinte
Éteinte
Allumée en
vert
Allumée
en rouge
Clignote
en rouge
Tension à la sortie du signal
en permanence >5,6 V.
Tension à la sortie du signal
en permanence >9,5 V.
Allumée
en vert
Clignote
en vert
Tension à la sortie du signal Allumée en
ne descend pas à une valeur
jaune
<4,82 V.
Signal en permanence à env. Allumée en
5×10-4 mbar.
vert
Allumée
en vert
Allumée en
vert
Signal de mesure instable.
Éteinte
Chambre de mesure fortement
encrassée.
Mettre la jauge hors marche et la
remettre en marche après 5 s.
Erreur EEPROM.
Remplacer la chambre de
mesure complète (  35).
Remplacer la jauge.
Remplacer la chambre de
mesure complète (  35).
Effectuer un ajustage HV manuel
(  29).
Attendre l'amorçage de la
décharge de gaz (5 minutes
pour une pression de 10-9 mbar).
9
Activer l’alimentation.
Élimination
Pirani défectueux.
Décalage du zéro Pirani.
Décharge de gaz pas allumée.
Jauge encrassée.
Pas d’alimentation.
LED
Cause probable
<HV-ST>
Éteinte
LED
<ST>
Pas de tension à la sortie du
signal.
Défaut
7
Renvoi du produit
AVERTISSEMENT : envoi de produits contaminés
Les produits contaminés (par ex. de type radioactif,
toxique, corrosif ou micro-biologique) présentent
des risques pour la santé et pour l’environnement.
Les produits envoyés doivent dans la mesure du
possible être exempts de substances nocives.
Tenir compte des consignes d’expédition des pays
et transporteurs impliqués. Joindre la déclaration
de contamination *) remplie.
*)
Formulaire disponible sous le lien www.pfeiffer-vacuum.de
Les produits n’étant pas déclarés de manière univoque comme
étant "exempts de substances nocives" sont décontaminés
contre rémunération.
Si des produits sont envoyés sans la déclaration de
contamination remplie, ils sont retournés contre rémunération.
40
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Élimination du produit
DANGER : pièces contaminées
Les pièces contaminées présentent des risques pour la
santé et pour l’environnement.
Avant de commencer à travailler, veuillez-vous informer
sur la possibilité d’une contamination. Respecter les
dispositions en vigueur et tenir compte des mesures
préventives lors du maniement de pièces contaminées.
AVERTISSEMENT : substances dangereuses pour
l’environnement
Des produits ou des parties du produit (composants
mécaniques et électriques, fluides d’exploitation etc.)
présentent des risques pour l’environnement.
Éliminer les substances dangereuses pour
l’environnement conformément aux dispositions
locales.
Répartition des composants
Après le désassemblage du produit, les composants doivent, pour leur
élimination, être répartis dans les catégories suivantes :
 Composants contaminés
Les composants contaminés (radioactifs, toxiques,
caustiques, micro-biologiques, etc.) doivent être
décontaminés conformément aux dispositions spécifiques aux
différents pays ainsi que séparés et éliminés en fonction du
type de matériau.
 Composants non contaminés
Ces composants doivent être séparés en fonction du type de
matériau et doivent être amenés au recyclage.
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9
Options
Numéro de
commande
10
Joint avec anneau de centrage et filtre fin 4 µm,
DN 25 ISO-KF (acier inoxydable/FPM)
PT 120 036 -T
Joint avec anneau de centrage et filtre fin
20 µm, DN 25 ISO-KF (acier inoxydable/FPM)
PF 117 225 -T
Accessoires
Outil de montage / démontage pour aide à
l'amorçage
Câble de mesure FCC 68, 3 m
42
Numéro de
commande
PT 120 316 -T
PT 448 450 -T
BG 5041 BFR/B
(2016-07)
11
Pièces de rechange
Toujours commander les pièces de rechange avec :
 toutes les indications conformément à la plaque signalétique
 Position, description et numéro de commande conformément
à la liste de pièces de rechange
11.1
Aide à l'amorçage
Aide à l'amorçage (10 pièces)
11.2
Numéro de
commande
BN 845 995 -T
Chambre d’ionisation
Numéro de
commande
Chambre d’ionisation Acier inoxydable
BG 5041 BFR/B
(2016-07)
PT 120 312 -T
43
11.3
Chambre de mesure complète (capteur de
rechange)
La chambre de mesure complète est prémontée.
PTR 91
Numéro de
commande
44
PT T03 148 310
PT T03 158 310
DN 25 ISO-KF
DN 40 ISO-KF
PT 120 302 -T
PT 120 306 -T
PT T03 358 310
DN 40 CF-F
PT 120 310 -T
BG 5041 BFR/B
(2016-07)
Certificat ETL
RECOGNIZED
COMPONENT
ETL LISTED
The product PTR 91
 conforms to the UL Standard UL 61010-1
 is certified to the CAN/CSA Standard
C22.2 No. 61010-1-12
3103457
BG 5041 BFR/B
(2016-07)
45
Certificat de conformité UE
Par la présente nous, Pfeiffer Vacuum, déclarons que le produit
ci-dessous est conforme à la directive CEM 2014/30/UE et à la
directive RoHS 2011/65/UE.
Jauge FullRange®
PTR 91
Normes
Normes harmonisées et nationales/internationales ainsi que
spécifications :
 EN 61000-6-2:2005 (CEM Immunité)
 EN 61000-6-3:2007 + A1:2011 (CEM Émission de parasites)
 EN 61010-1:2010 (Règles de sécurité pour dispositifs électriques
de mesure et de commande)
 EN 61326-1:2013 (Exigences CEM pour dispositifs électriques de
mesure et de commande)
Fabricant / signatures
Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, D-35614 Asslar
mardi 12 avril 2016
Dr. Ulrich von Hülsen
Directeur général
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(2016-07)
Notes
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SOLUTIONS DE VIDE AUPRÈS D’UN SEUL FOURNISSEUR
Pfeiffer Vacuum est synonyme, dans le monde entier, de solutions de vide individuelles et innovantes,
de perfection technologique, de conseils compétents et de service fiable.
GAMME COMPLÈTE DE PRODUITS
Du simple composant au système complexe :
Nous sommes le seul fournisseur de technique du vide à offrir une gamme complète de produits.
COMPÉTENCE EN THÉORIE ET PRATIQUE
Profitez de notre savoir-faire et de nos offres de formation !
Nous vous assistons dans la planification de votre installation et offrons, dans le monde entier, un excellent
service sur site.
Vous recherchez une parfaite
solution de vide ?
N’hésitez pas à nous contacter :
www.pfeiffer-vacuum.de
bg5041bde/ b
Pfeiffer Vacuum GmbH
Headquarters
Tél. : +49 6441 802-0
info@pfeiffer-vacuum.de
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