Pfeiffer QMG 220 PrismaPlus - Compact Mass Spectrometer Mode d'emploi

MANUEL DE L’UTILISATEUR
FR
Traduction du manuel de l‘utilisateur
PRISMAPLUS®
BG 5214 BFR / D (2202)
QMG 220™ Système de spectrométrie de masse compact
Marque déposée
La marque déposée des produits mentionnés dans ce manuel est détenue par les sociétés qui
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QUADERA® est une marque déposée de INFICON AG.
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indirectement lié à l’utilisation de ce produit.
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à modifications sans préavis.
Copyright
©2022 Tous droits réservés.
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2
Table des matières
Table des matières
Marque déposée. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2
Avertissement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2
Copyright . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2
Table des matières. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
1
Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.1 Identification du produit. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.2 Validité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.3 Usage prévu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
2
Sécurité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
2.1 Symboles . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
2.2 Qualifications du personnel. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
2.3 Instructions générales de sécurité . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
2.4 Responsabilité et garantie . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
2.5 Formation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
3
Données techniques . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
3.1 Présentation du système . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
3.2 Données système . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11
3.3 Dimensions [mm] . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
4
Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
4.1 Déballage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
4.2 Assemblage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
4.3 Exigences en matière d’espace . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
4.4 Outils requis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
4.5 Installation du QMA 200 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
4.6 Installation du QME 220 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
4.7 Installation/désinstallation du module d’entrée/sortie IO 220 . . . . . . . . . . 24
4.8 Connexions électriques . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
4.9 Installation des logiciels . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37
5
Fonctionnement. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38
5.1 Premier démarrage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38
5.2 Avant le démarrage. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38
6
Maintenance. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40
6.1 QMA 200 (Remplacement des filaments) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40
6.2 QME 220. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 47
7
Accessoires . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 50
8
Options . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51
9
Pièces de rechange . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 52
10
Stockage. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 53
11
Retour du produit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 54
12
Service . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 55
13
Mise au rebut . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 56
Déclaration de conformité. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 57
3
Introduction
1
Introduction
1.1
Identification du produit
Dans toutes les communications avec Pfeiffer Vacuum, veuillez spécifier les
informations figurant sur la plaque signalétique du produit. Pour plus de commodité,
copiez ces informations système de référence dans les espaces prévus à cet effet.
Pfeiffer Vacuum, D-35614 Asslar
Model:
PN:
SN:
V
A
ATTENTION
Lisez attentivement ces instructions avant d’utiliser le QMG 220. Gardez ce document
à proximité de l’équipement, afin que tous les utilisateurs y aient accès.
Le chapitre Sécurité contient des informations importantes concernant les symboles
utilisés. Vous devez impérativement prêter attention à ces informations pour utiliser le
QMG 220 en toute sécurité.
4
Introduction
1.2
Validité
Ce document s’applique aux produits dont les références sont répertoriées.
Analyseurs
(tous les analyseurs de type QMA 200)
Détecteur
Référence
Faraday
PT M25 250
■
PT M25 251
■
C-SEM
PT M25 253
■
PT M25 254
■
PT M25 255
■
PT M25 256
■
■
■
PT M25 271
■
Fermé
Fils en
molybdène
300 °C
Orifice
d’extraction
2 mm
Remarques
■
■
■
■
■
■
■
■
■
PT M25 270
Iridium,
yttrié
■
■
PT M25 261
Tungstène
Données techniques supplémentaires
■
PT M25 252
PT M25 257
Filaments
■
■
■
■
■
■
■
■
PT M25 272
■
■
PT M25 273
■
■
PT M25 274
■
■
■
PT M25 275
■
■
■
PT M25 276
■
■
■
PT M25 277
■
■
■
■
■
PT M25 278
■
■
■
■
■
PT M25 282
■
■
■
■
PT M25 283
■
PT M25 285
■
■
PT M25 286
■
■
PT M25 290
■
■
Source d’ions à faisceau
croisé filament 0,15 mm
PT M25 291
■
■
Source d’ions à faisceau
croisé filament 0,13 mm
PT M25 292
■
■
PT M25 293
■
■
PT M25 294
■
PT M25 295
■
■
PT M25 296
■
■
PT M25 297
■
■
■
■
■
■
■
Source d’ions à grille
■
■
■
■
Source d’ions à grille
réglable
■
Source d’ions à faisceau
croisé filament 0,15 mm
■
Source d’ions à faisceau
croisé filament 0,13 mm
■
réglable
Source d’ions à faisceau
croisé, rotation 90°
■
Source d’ions à faisceau
croisé filament 0,15 mm
5
Introduction
IO 220
PT M28 699
QME 220
SP220
Module E/S IO 220 complet.
Référence
Plage de masse
amu
Connexion de
l’analyseur
IO 220
PT M28 601
1 … 100
droit
sans
PT M28 602
1 … 200
droit
sans
PT M28 603
1 … 300
droit
sans
PT M28 611
1 … 100
droit
avec
PT M28 612
1 … 200
droit
avec
PT M28 613
1 … 300
droit
avec
PT M28 621
1 … 100
90°
sans
PT M28 622
1 … 200
90°
sans
PT M28 623
1 … 300
90°
sans
PT M28 631
1 … 100
90°
avec
PT M28 632
1 … 200
90°
avec
PT M28 633
1 … 300
90°
avec
Alimentation 24 VCC (type P66A 6PI)
La référence peut être prise sur la plaque signalétique du produit.
1.3
Usage prévu
Le spectromètre de masse PrismaPlus® est conçu pour les analyses de pression
partielle à des pressions <10-4 mbar. Applications courantes : mesure, surveillance et
fonctions de contrôle des procédés dans les systèmes de vide.
Le PrismaPlus n’est pas conçu pour fournir des résultats de mesure dont dépendent la
sécurité des personnes ou des actifs importants. Pour les applications de ce type, la
sécurité doit être assurée par des mesures supplémentaires.
6
Sécurité
2
Sécurité
2.1
Symboles
DANGER
Informations permettant d’éviter tout type de blessure physique.
AVERTISSEMENT
Informations permettant d’éviter d’importants dommages matériels et environnementaux.
ATTENTION
Informations sur la manipulation ou l’utilisation appropriée. Le non-respect de ces
informations peut entraîner des dysfonctionnements ou des dommages matériels mineurs.
AVIS
Notice.
2.2
Qualifications du personnel
Tous les travaux décrits dans ce document ne peuvent être exécutés que par des
personnes ayant suivi une formation technique appropriée et disposant de l'expérience
nécessaire ou ayant été instruites par l'utilisateur final du produit.
2.3
Instructions générales de sécurité

Respectez les règlements en vigueur et prenez les précautions nécessaires pour les
produits de procédés utilisés.

Respectez les règlements en vigueur et prenez les précautions nécessaires pour les
tâches que vous effectuez ; tenez compte des instructions de sécurité de ce
document.

Avant de commencer le travail, déterminez si des composants de vide sont
contaminés. Respectez les règlements en vigueur et prenez les précautions
nécessaires lors de la manipulation des pièces contaminées.
Communiquez les instructions de sécurité à tous les autres utilisateurs.
2.4
Responsabilité et garantie
Pfeiffer Vacuum n'assume aucune responsabilité et la garantie est nulle et non avenue
si l'utilisateur final ou des parties tierces :

ignorent les informations figurant dans ce document,

utilisent le produit d'une manière non conforme,

effectuent toutes sortes d'interventions (modifications, altérations, etc.) sur le
produit,

utilisent le produit avec des accessoires et des options non répertoriés dans la
documentation correspondante du produit.
L'utilisateur final assume la responsabilité quant aux produits de procédés utilisés.
2.5
Formation
Pfeiffer Vacuum propose des cours sur l'application, l'utilisation et la maintenance afin
de permettre l'utilisation optimale de ce produit. Veuillez contacter votre représentant
Pfeiffer Vacuum local.
7
Données techniques
3
Données techniques
3.1
Présentation du système
Le système de spectrométrie de masse comprend les composants suivants :
PC
Logiciel Quadera
Liaison avec le PC
(Ethernet)
Source
d’ions
Détecteur Faraday
Filtre de masse
C-SEM
Appareil
électronique
QME 220
Module
d’entrée/sortie
IO 220
Analyseur QMA 200
Alimentation
électrique
SP 220
DI AI DO AO
Jauge à vide
Secteur
AVIS
Dans toutes les communications avec Pfeiffer Vacuum, veuillez spécifier les
informations figurant sur la plaque signalétique. Pour plus de commodité, copiez
les informations de référence de tous les ensembles sur les reproductions de plaque
signalétique dans ce manuel.
Pfeiffer Vacuum, D-35614 Asslar
Model:
PN:
SN:
V
A
8
Données techniques
Appareil électronique
QME 220
ou
Appareil électronique
QME 220 avec
connexion 90°
Module d’entrée/
sortie IO 220 (en
option)
Analyseur
QMA 200 F,
détecteur Faraday
Analyseur
QMA 200 M,
multiplicateur
d’électrons
secondaires (C-SEM)
9
Données techniques
Alimentation
électrique
SP 220
Câble secteur
Logiciel QUADERA®
10
Aide en ligne du logiciel QUADERA® (CD-ROM).
Données techniques
3.2
Données système
Éléments du panneau
avant QME 220
VACUUM
VACUUM
VACUUM
24V=
LAN
USB
I/O
Panneau avant QME 220 sans
module IO 220
EMISS
TP
GAUGE
RUN
2
EMISS
RUN
24V=
24V=
1
AL
RI
SE
6
3
/O
AN
AL
O
G
LI
ITA
I/O
DIG
5
4
24V=
LAN
USB
I/O
Panneau avant QME 220 avec module
IO 220 installé
Élément du panneau avant
Description
Connecteurs < 24 V= >
Connecteur pour QME 220alimentation secteur SP 220 (1)
p. 27
 = connecteur sur le module IO 220
pour une alimentation SP 220
supplémentaire (2) pour les jauges
consommant beaucoup d’électricité
p. 36
DEL < 24 V= >
Témoin : 24 V o.k.
p. 38
DEL < RUN >
Témoin : micrologiciel QME 220 en
cours d’exécution
p. 38
DEL < EMISS >
Témoin : émission active
p. 38
Connecteur < LAN >
Connexion Ethernet (PC)
p. 28
Connecteur < USB >
Connexion USB
(usage réservé au centre de service)
Connecteur < I/O >
Interconnexion au module IO 220
Connecteur < TP GAUGE >
Connecteur de la jauge
(analogique)
p. 29
Entrée PROT_EXT
Connecteur
< ANALOG I/O >
Entrées / sorties analogiques
Connecteur
< DIGITAL I/O >
Entrées / sorties numériques
Connecteur < SERIAL >
Connecteur de la jauge (numérique)
p. 35
p. 30
p. 32
p. 35
11
Données techniques
QMG 220 F,
détecteur Faraday
Données générales
Type de détecteur
Faraday
Résolution de l’appareil (vallée, plage de
masse totale)
à 10 % de hauteur de pic, réglable
%
u
<10
0,5 … 2,5
Pression de fonctionnement max.
mbar
1×10-4
Reproductibilité du rapport de pic
(conditions constantes pendant 8 h, N2
et Ar de l’air)
%
±0,5
°C
0 … +150
°C
max. +200
Température de fonctionnement du
QMA 200
Température d’étuvage
(QME 220 retiré)
Orientation du montage
n’importe laquelle (p. 21)
Poids
kg
2,4 (2,7 avec connexion 90°)
Bride de connexion
Source d’ions HS (source
d’ions haute sensibilité)
Principe de conception,
champ d’application
DN 40 CF
Conception ouverte, symétrie radiale, adaptée pour l’analyse de
gaz résiduel, 2 filaments (iridium yttrié ou tungstène), dégazage
par bombardement d’électrons (10 mA, 300 V)
Plage de masse
u
1 … 100
1 … 200
1 … 300
Pression partielle minimum détectable
mbar
<1×10-12
<2×10-12
<4×10-12
Sensibilité à l’argon
A/mbar
>1×10-3
>6×10-4
>3×10-4
Contribution à la masse environnante
(40/41)
ppm
<10
<20
<50
Source d’ions HS fermée
Principe de conception,
champ d’application
Plage de masse
u
1 … 100
1 … 200
1 … 300
Conductance
l/s
1
1
1
Pression partielle minimum détectable 1)
ppm
10
20
50
Contribution à la masse environnante
(40/41)
ppm
<10
<20
<50
1)
12
Conception fermée, adaptée à une analyse de gaz quantitative,
suppression efficace des composants du gaz résiduel,
2 filaments (iridium yttrié ou tungstène)
Pour les composants qui ne se chevauchent pas avec une masse > 4 u
Données techniques
Source d’ions
à faisceau croisé
Principe de conception,
champ d’application
Conception ouverte, adaptée pour les expériences de faisceaux
moléculaires, 2 filaments (iridium yttrié ou tungstène), dégazage
par bombardement d’électrons (10 mA, 300 V)
Plage de masse
u
1 … 100
1 … 200
1 … 300
Pression partielle minimum détectable
mbar
3×10-11
6×10-11
1.2×10-10
Sensibilité
A/mbar
4×10-5
2×10-5
1×10-5
Contribution à la masse environnante
(40/41)
ppm
<10
<20
<50
Source d’ions à grille
Principe de conception,
champ d’application
Conception ouverte, adaptée pour l’analyse de gaz résiduel
ultra-haute tension, 2 filaments (tungstène), dégazage par
bombardement d’électrons (10 mA, 300 V)
Plage de masse
u
1 … 100
1 … 200
1 … 300
Pression partielle minimum détectable
mbar
5×10-12
2×10-12
1×10-12
Sensibilité
A/mbar
2×10-4
1×10-4
5×10-5
Contribution à la masse environnante
(40/41)
ppm
<50
<100
<200
QMG 220 M
(détecteur C-SEM)
Données générales
Type de détecteur
C-SEM / Faraday
Résolution de l’appareil (vallée, plage de
masse totale)
à 10 % de hauteur de pic, réglable
%
u
<10
0,5 … 2,5
Pression de fonctionnement max.
mbar
1×10-4
Reproductibilité du rapport de pic
(conditions constantes pendant 8 h, N2
et Ar de l’air)
%
±0.5
°C
0 … +150
°C
max. +200
Température de fonctionnement du
QMA 200
Température d’étuvage
(QME 220 retiré)
Orientation du montage
Poids
Bride de connexion
n’importe laquelle (p. 21)
kg
3,8 (4,1 avec connexion 90°)
DN 40 CF
13
Données techniques
Source d’ions HS
(Source d’ions
haute sensibilité)
Principe de conception,
champ d’application
Conception ouverte, symétrie radiale, adaptée pour l’analyse de
gaz résiduel, 2 filaments (iridium yttrié ou tungstène), dégazage
par bombardement d’électrons (10 mA, 300 V)
Plage de masse
u
1 … 100
1 … 200
1 … 300
Pression partielle minimum détectable
mbar
<1×10-14 /
5×10-12
<1×10-14 /
1×10-11
<2×10-14 /
2×10-11
Sensibilité à l’argon
A/mbar
>200 /
>5×10-4
>200 /
>3×10-4
>100 /
>1.5×10-4
Contribution à la masse environnante
(40/41)
ppm
<10
<20
<50
Source d’ions HS fermée
Principe de conception,
champ d’application
Plage de masse
u
1 … 100
1 … 200
1 … 300
Conductance
l/s
1
1
1
Pression partielle minimum détectable 1)
ppm
<1 / 20
<1 / 40
<1 / 100
Contribution à la masse environnante
(40/41)
ppm
<10
<20
<50
1)
Source d’ions
à faisceau croisé
Conception fermée, adaptée à une analyse de gaz quantitative,
suppression efficace des composants de gaz résiduel,
2 filaments (iridium yttrié ou tungstène)
Pour les composants qui ne se chevauchent pas avec une masse > 4 u.
Principe de conception,
champ d’application
Conception ouverte, adaptée pour les expériences de faisceaux
moléculaires, 2 filaments (iridium yttrié ou tungstène), dégazage
par bombardement d’électrons (10 mA, 300 V)
Plage de masse
u
1 … 100
1 … 200
1 … 300
Pression partielle minimum détectable
mbar
3×10-13 /
5×10-11
6×10-13 /
1×10-12
1.2×10-12 /
2.5×10-12
Sensibilité
A/mbar
100 /
2×10-5
100 /
1×10-5
50 /
7×10-6
Contribution à la masse environnante
(40/41)
ppm
<10
<20
<50
Source d’ions à grille
Principe de conception,
champ d’application
Conception ouverte, adaptée pour l’analyse de gaz résiduel
ultra-haute tension, 2 filaments (tungstène), dégazage par
bombardement d’électrons (10 mA, 300 V)
Plage de masse
14
u
1 … 100
1 … 200
1 … 300
Pression partielle minimum détectable
mbar
1×10-13 /
1×10-11
2×10-13 /
2×10-11
4×10-13 /
4×10-11
Sensibilité
A/mbar
200 /
1×10-4
200 /
5×10-5
100 /
3×10-5
Contribution à la masse environnante
(40/41)
ppm
<50
<100
<200
Données techniques
QME 220
Système de mesure
Canaux de mesure
128
Modes de mesure
Balayage analogique, balayage de
diagramme à barres, MID
Cycles de mesure
cycles mono- / multicanal 1 … 9999
ou répétition
MID-temps d’arrêt
2 ms … 60 s
Vitesse de mesure
pic balayage analogique +
diagramme à barres
balayage d'escaliers de
diagramme à barres
20 ms/u … 60 s/u
2 ms/u … 60 s/u
Amplificateur électromètre
110-5 … 110-12 A (f.s.),
fixe et plage automatique
Filtre de signal
Filtre RIF
Alimentation électrique
24 VCC / 2 A, SP 220
Interfaces
Fonctionnement, contrôle
Ethernet
Rallonge
module d’entrée/sortie IO 220
PROTECTION_EXTERNE
borne flottante
Entrées/sorties
Alimentation
électrique SP 220
Analogiques
 IO 220
Numériques
 IO 220
Poids
1,9 (2,2 kg avec connexion 90°)
Tension secteur
90 … 264 VCA
Fréquence secteur
47 … 63 Hz
Consommation électrique secteur
1,5 A (100 VCA)
Tension en sortie
24 VCC, stabilisée
Courant en sortie
2,75 CAN
Isolation
100 MΩ / 500 VCC
Norme de sécurité
EN 60950
Poids
0,6 kg
15
Données techniques
Module d’entrée/
sortie IO 220
Entrées analogiques
Sorties analogiques
Entrées numériques
PROTECTION_
EXTERNE
(PROT_EXT)
1)
Connecteur (<ANALOG I/O>)
X7, connecteur D-Sub 15 broches
(femelle)
Nombre de canaux
5
Configuration de l’entrée
différentielle
Plage de tensions en entrée
nominale 10 V, max. 14 V réf.
à la terre
Résistance en entrée
50 kΩ
Résolution
14 bits
Connecteur
X7, connecteur D-Sub 15 broches
(femelle)
Nombre de canaux
4
Configuration de la sortie
unique
Plage de tensions en sortie
0 … +10 V
Courant en sortie
≤100 µA
Résistance en sortie
200 Ω
Référence à la terre
via 33 Ω à la terre (Imax. 50 mA)
Résolution
12 bits
Connecteur (<DIGITAL I/O>)
X2, connecteur Sub-D 25 broches (mâle)
Nombre de canaux
4 (+ PROT_EXT 1))
Tension en entrée
<+5 V (basse)
nominale +24 V (élevée), max. +28 V
Courant en entrée
1,9 mA
Tension d’alimentation pour borne
flottante
+24 V via 1,2 kΩ (Imax. 10 mA)
Référence à la terre pour
alimentation externe
via 100 Ω à la terre (Imax. 50 mA)
Données électriques
Fonction
identiques aux entrées numériques
fonction de contrôle, selon le mode
PROT_EXT sélectionné 1)
Table de fonction de l’entrée PROT_EXT
QUADERA\Online Help\Cross-References from Manuals\#004).
Mode PROT_EXT
INTERN-OFF
EXTERN-ON-OFF
EXTERN-OFF
Entrée
PROT_EXT
non pertinent
+24 V
0 V (ouverte)
+24 V
0 V (ouverte)
16
Fonction
FIL et SEM peuvent être activés et
désactivés (manuellement, sans
protection externe).
FIL et C-SEM activés
FIL et C-SEM désactivés
FIL et SEM peuvent être activés et
désactivés (manuellement).
FIL et C-SEM désactivés. Pour les
réactiver, l’entrée PROT_EXT doit être
connectée à +24 V avant l’utilisation
manuelle de FIL et de C-SEM.
Données techniques
Sorties numériques
1)
Interface numérique pour
jauges
Interface de la jauge
(analogique)
Connecteur (<DIGITAL I/O>)
X2, connecteur Sub-D 25 broches (mâle)
Nombre de canaux
16
Configuration de la sortie
collecteur ouvert (écoulement), isolé
optiquement
Tension en sortie
nominale +24 V, max. +28 V
Tension de saturation (basse)
+0,9 V
Courant en sortie (écoulement)
Les 16 canaux sont utilisés :
60 mA/canal
4 canaux utilisés :
250 mA/canal 1)
En interne, les 16 canaux sont divisés en deux groupes:
Groupe A : numéros de canaux impairs 1 … 15
Groupe B : numéros de canaux pairs 2 … 16
Pour des raisons thermiques, les canaux utilisés doivent être affectés de la même
manière aux deux groupes (par exemple : 2 canaux au groupe A et 2 canaux au
groupe B).
Connecteur (<SERIAL>)
X1, connecteur Sub-D 9 broches
(femelle)
Type d’interface
RS485
Usage
utilisation des jauges avec interfaces
numériques.
Connecteur (<TP GAUGE>)
X5, prise C91 Amphenol 6 broches
Type d’interface
analogique
Usage
utilisation des jauges avec interfaces
analogiques.
Conditions ambiantes
Fonctionnement
uniquement en intérieur
Altitude
max. 2 000 m au-dessus du niveau de la
mer
Indice de protection
IP 30
Degré de pollution
2
Températures
Stockage/transport
–25 … +70 °C
Fonctionnement
0 … +40 °C
Humidité relative
max. 80 % jusqu'à 31 °C,
diminution linéaire jusqu'à 50 % à 40 °C
17
Données techniques
Dimensions [mm]
L
(60)
168
54
DN 40 CF-F
141
(60)
168
184
83
ø37
130
127.5
Appareil électronique
QME 220 +
Analyseur
QMA 200 M avec
détecteur
C-SEM + Faraday
118
ø37
Appareil électronique
QME 220 +
Analyseur QMA 200 F
avec détecteur
Faraday
127.5
3.3
DN 40 CF-F
141
Appareil électronique
QME 220 90°+
Analyseur
QMA 200 A avec
détecteur Faraday
253
127.4
168
27
127.5
(60)
118
141
DN 40 CF-F
ø37
18
Données techniques
Appareil électronique
QME 220 90°+
Analyseur
QMA 200 M avec
détecteur C-SEM
253
168
27
127.5
127.4
(60)
83
130
141
DN 40 CF-F
127.5
Appareil électronique
QME 220 + module
d’entrée/sortie IO 220
(55)
31
168
(X2)
IO 220
ø37
QME
141
43.5
Alimentation
électrique SP 220
19
Installation
4
Installation
4.1
Déballage
AVIS
Rangez les dispositifs d’attache pour le transport et remettez-les en place avant de
transporter à nouveau le produit.
DANGER
La mise en marche d’un produit présentant des dommages visibles peut être
extrêmement dangereuse. Si le produit présente des dommages visibles, ne le mettez
pas en marche et veillez à ce qu’il ne soit pas mis en marche par inadvertance.
4.2
Assemblage
DANGER
Le QMA 200 peut atteindre une tension allant jusqu'à 330 VCC en cours de
fonctionnement.
D’autres pièces de la chambre à vide (p. ex., les jauges) peuvent être exposées à cette
tension dans des conditions défavorables. Ainsi, si ces pièces (y compris les câbles et
le matériel connecté) deviennent dangereuses, elles doivent être disposées ou
protégées de telle sorte que des formations d’étincelles ou des transferts de charge ne
puissent se produire.
Si le QMA 200 est accessible lorsque le système de vide est ouvert, une protection
supplémentaire est requise, p. ex:

une protection mécanique empêchant le contact tactile,

l’interruption forcée de l’alimentation SP 220 lorsque le système est ouvert.
DANGER
Les tensions dangereuses externes ne sont pas autorisées à être transférées vers les
électrodes du QMA 200 (contact galvanique, formation d’étincelles, faisceaux d’ions ou
d’électrons, etc.). Si de telles sources de danger existent dans la chambre à vide, des
mesures de sécurité supplémentaires (p. ex., meilleur emplacement, protection, mise à
la terre, etc.) doivent être prises afin d’exclure ces risques de manière fiable. Par
ailleurs, des tensions externes basses agissant sur le QMA 200 peuvent endommager
les parties électroniques et donner lieu à des résultats de mesure douteux. Les
précautions appropriées doivent être prises comme mentionné ci-dessus.
AVERTISSEMENT
Le QMA 200 doit être installé correctement du point de vue de la technique du vide :
les gaz à détecter doivent bénéficier d’un accès libre à l’analyseur.
Le revêtement sous vide de l’analyseur doit être évité.
AVIS
Veillez à respecter les exigences spécifiques en matière de propreté et de prévention
des dommages lorsque vous travaillez avec les composants de vide.
20
Installation
4.3
Exigences en matière d’espace
AVERTISSEMENT
Le QMA 200 F ne peut être installé que dans les brides ou tubes dont le diamètre
interne est 37 mm. Dans le cas contraire, des courts-circuits peuvent se produire
contre la paroi.
Le diamètre du tube de rallonge pour le QMA 200 M doit être d’au moins 40,5 mm.
AVIS
Veuillez noter la profondeur d’installation requise. N’entortillez pas les câbles
Dimensions des composants système.
4.4
Outils requis
Clé Allen, AF 4
Tournevis Torx T10
Clé plate (2 fourches), AF 10
4.5
Installation du QMA 200
DANGER
La bride de l’analyseur doit être mise à la terre correctement.

Pour cela, connectez les 6 vis au système de vide correctement mis à la terre.

Si la bride de montage n’est pas correctement mise à la terre, la bride QMA 200
(vis de mise à la terre M4) doit être connectée à la terre pour des raisons de
protection au moyen d’un conducteur de mise à la terre distinct. Réalisez cette
connexion avec un fil jaune/vert isolé ou un fil torsadé en cuivre nu.

2,5 mm² s’il est protégé mécaniquement

4 mm² s’il n’est pas protégé
AVIS
Le QMA 200 doit être monté à l'horizontale de préférence (rainure de
guidage vers le bas). Cela permet de protéger le QME 220 des chutes d’objets de
manière optimale et donne lieu à une installation facile et à un accès idéal au panneau
avant.
Sur le QMG 220 avec connexion 90°, cela donne lieu à une suspension verticale du
QME 220.
21
Installation
Retrait de la cale de
transport et bridage de
l’analyseur à la chambre
à vide
QMA 200 F
QMA 200 M
Cale de transport
Rainure de guidage
Outil de montage
1 Placez le QMA 200 dans l’outil de montage fourni.
2 Retirez soigneusement le capot de transport du QMA 200 et rangez-le pour une
réutilisation éventuelle.
3 Enlevez soigneusement la cale de transport et rangez-la pour une réutilisation
éventuelle.
4 Bridez l’analyseur à la chambre à vide.
22
Installation
4.6
Installation du QME 220
DANGER
Le QME 220 ne peut être monté que sur un QMA 200 correctement installé car la seule
connexion à la terre s’effectue via la bride du QMA 200.
La ligne d’alimentation 24 V de la SP 220 ne doit jamais être connectée si le QMA 200
n’est pas vissé au QME 220.
Rainure de guidage
Patte de mise à la terre
1 À l’aide de la clé Allen (AF 4), desserrez les deux vis de la pièce de connexion en
plastique noir du QME 220 afin que la partie amovible ait un jeu de 2 … 3 mm.
2 Faites soigneusement glisser le QME 220 sur le QMA 200 monté jusqu’à l’encoche.
Assurez-vous que le positionnement du QME 220 est correct en vérifiant la patte de
mise à la terre et la rainure de guidage du QMA 200.
REMARQUE
Ne forcez pas.
3 Serrez fermement les deux vis Allen. Ces vis fixent mécaniquement le QME 220 et
assurent la sécurité électrique en offrant un contact à la terre.
23
Installation
4.7
Installation/désinstallation du module d’entrée/sortie IO 220
Le module E/S IO 220 en option permet d’utiliser des interfaces supplémentaires.
Le QME 220 peut être commandé avec le module IO 220 déjà installé ou être mis à
niveau ultérieurement.
Outil requis
Tournevis Torx T10
Matériel requis
Module E/S IO 220
Procédure, installation
1 Déconnectez l’alimentation de la prise secteur et débranchez toutes les connexions
électriques au QME 220.
2 Retirez le QME 220 de l’analyseur en suivant la procédure décrite au Installation du
QME 220 dans l’ordre inverse.
3 Placez le QME 220 sur une base stable afin de pouvoir travailler sur le panneau
avant.
4 Desserrez et retirez les vis 1 … 3.
1
2
3
5 Retirez les trois écrous de transport M3 à l’arrière du module IO 220.
6 Placez soigneusement le module IO 220 sur le panneau avant du QME 220.
Utilisez vos deux mains et assurez-vous que la connexion Sub-D entre le module
IO 220 et le QME 220 est correctement engagée.
24
Installation
7 Vissez les trois vis Torx M340 mm fournies avec le module IO 220.
8 Réinstallez le QME 220 retiré en suivant la procédure écrite ci-dessus et continuez
avec le chapitre ’Connexions électriques’, p. 27.
Procédure, désinstallation
Les étapes 1 … 3 sont identiques à celles de la section Procédure, installation.
1 Déconnectez l’alimentation de la prise secteur et débranchez toutes les connexions
électriques au QME 220.
2 Retirez le QME 220 de l’analyseur en suivant la procédure décrite au ’Installation du
QME 220’, p. 23 dans l’ordre inverse.
3 Placez le QME 220 sur une base stable afin de pouvoir travailler sur le panneau
avant.
4 Desserrez et retirez les vis 1 … 3.
1
2
3
25
Installation
5 Retirez soigneusement le module IO 220 du panneau avant du QME 220 en utilisant
vos deux mains.
6 Fixez les trois vis dans le module IO 220 avec les écrous de transport M3.
7 Insérez et vissez les petites vis Torx 1 … 3.
1
2
3
8 Réinstallez le QME 220 en suivant la procédure décrite ci-dessus et continuez avec
le chapitre ’Connexions électriques’, p. 27.
26
Installation
4.8
Connexions électriques
Connexion du
QME 220
AVERTISSEMENT
Toutes les connexions électriques doivent être dotées d’un collier de serrage des câbles.
Acheminez les câbles à l’écart des sources d'interférences électromagnétiques.
AVERTISSEMENT
Pour des raisons de compatibilité électromagnétique (interférences externes), il est
vivement recommandé de recourir à un point de mise à la terre central unique pour tous
les appareils connectés (station de pompage, SP 220, ordinateur, enregistreurs, etc.).
Une prise secteur multiple ou un distributeur de tension de ligne commune avec
interrupteur répond à cette exigence de manière simple.
Exception: Un PC installé à distance et/ou un environnement présentant de fortes
interférences électromagnétiques.
Alimentation SP 220
pour la connexion du
QME 220
AVERTISSEMENT
Ne connectez pas le câble secteur de la SP 220 à la prise secteur pour le moment.
24V=
EMISS
RUN
24V=
VACUUM
LAN
USB
I/O
SP 220
1 Disposez l’alimentation de telle sorte:

qu’elle ne puisse pas être mouillée, p. ex., par de l’eau renversée sur le sol,

que la circulation de l’air ne soit pas entravée et que les conditions ambiantes
requises soient satisfaites.
2 Insérez le connecteur de sortie de la SP 220 dans le connecteur 24 VCC du
QME 220.
27
Installation
Connexion au PC
Étant donné que le QMG 220 ne dispose pas d’un panneau de commande local, il est
exploité via une interface PC ou en tant que périphérique dans un réseau.
Il existe plusieurs manières de connecter un QME 220 et un PC:
Interface Ethernet

Pour une liaison directe entre un QME 220 et un PC, le câble de connexion croisé
8 brins fourni avec le QME 220 est utilisé (rouge, longueur 3 m, connecteurs RJ45
aux deux extrémités).

Pour une interconnexion via un interrupteur ou en réseau, le câble de connexion
droit (1:1) est utilisé (gris, longueur 3 m, connecteurs RJ45 aux deux extrémités,
également fourni avec le QME 220).
EMISS
24V=
RUN
VACUUM
24V=
LAN
USB
PC
I/O
Cáble de connexion croisé (rouge)
.
24V=
Réseau, commutateur
EMISS
RUN
24V=
VACUUM
LAN
USB
I/O
PC
Cáble de connexion 1:1 (gris)
28
Installation
Témoins de connexion
LAN
L’état de l’interface est signalé par deux DEL intégrées au connecteur RJ45.
DEL
vert
RJ45
vert
jaune
jaune
État
Signification
allumé
taux de transfert
des données
100 Mbit/s
sombre
taux de transfert
des données
100 Mbit/s
allumé
transfert de
(clignotant) données en cours
sombre
Le connecteur <I/O> (X3) sert principalement de liaison avec le module IO 220.
Cependant, si le module IO 220 n’est pas installé, l’accès à la fonction de contrôle
PROTECTION_EXTERNE est possible.
Schéma de connexion X3
PROTECTION_EXTERNE
X3
QME 220
EXT_PROT
4
S
1)
1
2
3
5
IO 220 bus
6
7
Module E/S
IO 220
Interface E/S
aucun transfert de
données (ou pas
de connexion)
9
0V
8
Écran
Canal terre
1)
L’entrée PROTECTION_EXTERNE requiert une borne flottante S entre la broche 4 et
la terre (broche 8).
29
Installation
Affectation
des broches X3
N° broche
Description
1
Bus IO 220
1)
2
Bus IO 220
1)
3
Bus IO 220
1)
4
PROTECTION_EXTERNE
5
Bus IO 220
1)
6
Bus IO 220
1)
7
Bus IO 220
1)
8
0 V, référence à la terre
9
Bus IO 220
1)
1)
Les broches marquées « Bus IO 220 » sont exclusivement réservées à l’échange de
données entre le QME 220 et le module IO 220.
AVIS
Les entrées et sorties analogiques et numériques décrites ci-dessous sont uniquement
disponibles avec le module IO 220 en option installée.
Connexions des
entrées et sorties
analogiques IO 220
Les entrées et sorties analogiques sont disponibles sur un connecteur Sub-D
15 broches (<ANALOG I/O>, X7).
VACUUM
9
1
VACUUM
X7
2
24V=
TP
GAUGE
24V=
EMiSS
1
RUN
6
3
AL
RI
SE
5
4
/O
AN
AL
O
G
LI
ITA
I/O
8
DIG
15
LAN
USB
I/O
Câblage approprié
Type de câble
Le nombre de brins dépend des fonctions utilisées.
AVERTISSEMENT
Pour des raisons de compatibilité électromagnétique (interférences externes), un câble
blindé doit être utilisé. L’écran doit être relié au boîtier du connecteur. L’extrémité
opposée doit être laissée ouverte ou mise à la terre afin de supprimer les courants
circulant dans les boucles de mise à la terre.
Il est vivement recommandé d’utiliser des paires torsadées pour le câblage (+) et (–)
des entrées analogiques.
30
Installation
Procédure
1 Ouvrez le connecteur Sub-D.
2 Préparez les extrémités du câble et soudez/sertissez le câble conformément au
schéma ci-dessous.
Schéma de connexion X7
IO 220
X7
Canal 1
1 kΩ
–
1
1 kΩ
+
9
1 nF
1 nF
Canal 2
Canal 3
–
2
+
10
–
3
+
11
–
Canal 4
+
–
Canal 5
+
Entrées analogiques
4
12
5
13
Canal 1
100 Ω
100 Ω
6
10 nF
Canal 2
7
Canal 3
14
Canal 4
15
Sorties analogiques
33 Ω
Terre analogique
8
Écran
Canal terre
31
Installation
Affectation
des broches X7
N° broche
Description
1
entrée analogique, canal 1 (–)
2
entrée analogique, canal 2 (–)
3
entrée analogique, canal 3 (–)
4
entrée analogique, canal 4 (–)
5
entrée analogique, canal 5 (–)
6
sortie analogique, canal 1
7
sortie analogique, canal 2
8
référence à la terre des sorties analogiques
9
entrée analogique, canal 1 (+)
10
entrée analogique, canal 2 (+)
11
entrée analogique, canal 3 (+)
12
entrée analogique, canal 4 (+)
13
entrée analogique, canal 5 (+)
14
sortie analogique, canal 3
15
sortie analogique, canal 4
3 Assemblez le connecteur.
4 Préparez et connectez l’extrémité opposée du câble.
5 Connectez le câble au module IO 220 et serrez les vis de blocage du connecteur.
Connexions des
entrées et sorties
numériques IO 220
Les entrées et sorties numériques sont disponibles sur un connecteur Sub-D 25 broches
(<DIGITAL I/O>, X2).
13
25
1
14
VACUUM
VACUUM
X2
AN
A
/O
LO
G
LI
IT A
I/O
DIG
RI
SE
TP
GAUGE
24V=
2
24V=
EMISS
1
RUN
6
3
AL
5
4
LAN
USB
I/O
Câblage approprié
Type de câble
Le nombre de brins dépend des fonctions utilisées.
AVERTISSEMENT
Pour des raisons de compatibilité électromagnétique (interférences externes), un câble
blindé doit être utilisé. L’écran doit être relié au boîtier du connecteur. L’extrémité opposée
doit être laissée ouverte ou mise à la terre afin de supprimer les courants circulant dans les
boucles de mise à la terre.
32
Installation
Procédure
1 Ouvrez le connecteur Sub-D.
2 Préparez les extrémités du câble et soudez/sertissez le câble conformément au
schéma ci-dessous.
Schéma de connexion des
entrées numériques (X2)
IO 220
+24 V
1K2
X2
22
Canal 1
1)
11
Canal 2
12
Canal 3
13
Canal 4
24
Protection_ext
25
2)
+
100 Ω
Canal terre
Schéma de connexion des
sorties numériques (X2)
IO 220
–
23
Écran
Canal terre
Canal 1
DO_V+
3)
X2
1
IL
RL
DO_0V
Canal 2
2
Canal 3
3
Canal 4
4
Canal 5
5
Canal 6
6
Canal 7
7
Canal 8
8
Canal 9
14
Canal 10
15
Canal 11
16
Canal 12
17
Canal 13
18
Canal 14
19
Canal 15
20
Canal 16
21
DO_V+
30 V
DO_0V
+
10
DO_V
9
–
Écran
Canal terre
33
Installation
Affectation
des broches X2
N° broche
Description
1
sortie numérique, canal 1
2
sortie numérique, canal 2
3
sortie numérique, canal 3
4
sortie numérique, canal 4
5
sortie numérique, canal 5
6
sortie numérique, canal 6
7
sortie numérique, canal 7
8
sortie numérique, canal 8
9
référence à la terre pour les sorties numériques
(DO_0V)
10
tension d’alimentation pour les sorties numériques
(DO_V+, externe)
11
entrée numérique, canal 1
12
entrée numérique, canal 2
13
entrée numérique, canal 3
14
sortie numérique, canal 9
15
sortie numérique, canal 10
16
sortie numérique, canal 11
17
sortie numérique, canal 12
18
sortie numérique, canal 13
19
sortie numérique, canal 14
20
sortie numérique, canal 15
21
sortie numérique, canal 16
22
+24 V pour les entrées numériques
23
référence à la terre (0 V) pour les entrées
numériques
24
entrée numérique, canal 4
25
entrée numérique, PROTECTION_EXTERNE
1)
L’entrée requiert une borne flottante.
2)
Le contrôle des entrées requiert une tension externe (p. ex., une sortie de
contrôleur programmable).
3) La charge R
L peut être un relais, une valve à solénoïde ou un témoin lumineux.
La valeur max. actuelle dépend du nombre de facteurs et est décrite au chapitre
’Données techniques’, p. 8.
3 Assemblez le connecteur.
4 Préparez et connectez l’extrémité opposée du câble.
5 Connectez le câble au module IO 220 et serrez les vis de blocage du connecteur.
34
Installation
Connexion des
jauges à vide
Les jauges suivantes peuvent être connectées au système à condition que le module
IO 220 soit installé.
Type de
jauge
Interface
Connecteur
PKR251/261
analogique
X5, <TP GAUGE>, 6 broches
non
interne
PBR260
analogique
X5, <TP GAUGE>, 6 broches
oui
SP 220 1)
TPR280/281
analogique
X5, <TP GAUGE>, 6 broches
non
interne
HPT100
RS485
X1, <SERIAL>, 9 broches
oui
SP 220 1)
PPT100
RS485
X1, <SERIAL>, 9 broches
non
interne
RPT100
RS485
X1, <SERIAL>, 9 broches
non
interne
1)
Dégazage
Alimentation
électrique
Le fonctionnement de ces jauges requiert une alimentation supplémentaire
du type SP 220.
AVIS
Le type de jauges connectées au QME 220 est automatiquement identifié par le
QME 220 après la séquence d’alimentation. Après un changement de jauges,
l'alimentation 24 VCC du QME 220 doit être déconnectée du secteur. Elle peut être
reconnectée au bout de 10 secondes. Cette procédure contraint le QME 220
(SP 220 [1]) à identifier à nouveau le type de jauge réellement connectée
(’Fonctionnement’, p. 38).
Les jauges compactes TPR et PKR peuvent être connectées à X5, <TP GAUGE>.
VACUUM
VACUUM
DIG
X5
5
2
1
2
3
TP
GAUGE
2
3
24V=
4
6
4
3
24V=
EMiSS
6
4
1
1
AL
RI
SE
5
RUN
6
5
/O
AN
AL
O
G
LI
ITA
I/O
Connexion des
jauges
analogiques
LAN
USB
I/O
Type de câble
Utilisez uniquement les câbles et connecteurs répertoriés dans le manuel des jauges.
Connexion des
jauges numériques
Les jauges HPT-, PPT- et RPT peuvent être connectées à X1, <SERIAL>.
VACUUM
VACUUM
AN
A
/O
LO
LI
G
IT A
I/O
DIG
X1
RI
SE
2
24V=
3
TP
GAUGE
24V=
Type de câble
6
5
9
EMISS
1
RUN
6
AL
5
4
1
LAN
USB
I/O
Utilisez uniquement les câbles et connecteurs répertoriés dans le manuel des jauges.
35
Installation
Connexion de
l’alimentation
électrique
supplémentaire
Certaines jauges ont des besoins électriques élevés qui ne peuvent être satisfaits par
l’alimentation QME 220 principale (SP 220 (1)). Dans cette situation, une seconde
SP 220 (SP 220 (2)) est requise.
AVERTISSEMENT
Ne connectez pas les câbles secteur des deux alimentations SP 220 à la prise secteur
pour le moment.
VAC UUM
VACUUM
AN
I/O
AL
O
G
L
ITA
I/O
DIG
TP
GAUGE
24V=
2
24V=
EMISS
1
RUN
6
3
L
RIA
SE
5
4
LAN
USB
I/O
SP 220 (2)
SP 220 (1)
36
Installation
VACUUM
VACUUM
Analog I/O (X7)
24V=
TP
GAUGE
EMISS
2
RUN
1
AL
RI
SE
6
3
24V=
Entrées
analogiques

4.9
/O
AN
AL
O
G
LI
ITA
5
4
Digital I/O (X2)
G
DI
I/O
Utilisation des
interfaces analogique
et numérique
Lecture des 
valeurs de
mesure,
p. ex.,
pression,
température,

débit de gaz,
etc.
LAN
USB
I/O
Sorties
analogiques
Valeurs de
mesure,
p. ex.,
courants
d’ions, etc.
Valeurs
calculées,
p. ex.,
concentrations
, etc.
Entrées
numériques

Contrôle
logiciel,
p. ex.,
séquences
de mesure,
etc.
Sorties
numériques

Points de
commutation

Contrôle des
vannes
(ouverture/
fermeture)
Installation des logiciels
Description et installation de la suite logicielle QUADERA® (CD ROM).
37
Fonctionnement
5
Fonctionnement
5.1
Premier démarrage
DANGER
DANGER : Produits de nettoyage.
Les produits de nettoyage peuvent être nocifs pour la santé et l'environnement.
Respectez les règlements correspondants et prenez les précautions nécessaires
lorsque vous manipulez les produits de nettoyage et que vous les mettez au rebut.
Pensez aux réactions éventuelles avec les matériaux du produit. (Mise au rebut p. 56.)
DANGER
Vérifiez la bonne installation de tous les composants système et la conformité avec les
données techniques avant de mettre l’équipement sous tension.
5.2
Avant le démarrage
Avant de démarrer le système, vérifiez les éléments suivants :

Le câble secteur de la SP 220 n’est pas connecté au secteur

Installation correcte de tous les composants système et modules

Bon état de la chambre à vide/de procédé

Câblage correct des composants système

Installation d’une liaison LAN-PC directe ou via le réseau

PC prêt à être utilisé
AVIS
Consultez les instructions d’utilisation de tous les composants système impliqués avant
de démarrer le système.
Dans le cas de systèmes complets (configurés en usine), les réglages et paramètres
ont été alignés de manière optimale. Ne les modifiez pas sans raison.
DANGER
DANGER : Tension d'alimentation.
Les produits mis à la terre de manière incorrecte peuvent être extrêmement dangereux
en cas de défaillance.
Le connecteur d'alimentation ne peut être branché qu'à une prise munie d'une
protection à la terre. La protection ne doit pas être annulée par l’utilisation d’une
rallonge sans protection à la terre
AVERTISSEMENT
Vérifiez le vide dans le QMA 200 avant d’insérer la prise électrique de la SP 200.
Conditions de vide requises :
<10-4 mbar avec un détecteur de type Faraday
<10-5 mbar avec un connecteur de type C-SEM
Si vous utilisez la tête de jauge compacte connectée au QME 220 (IO 220), la prise
d’alimentation peut être insérée sans que vous deviez vérifier les conditions de vide.
Toutefois, n’activez pas l’émission et la tension du C-SEM avant que les limites supérieures
n’aient été atteintes. Activez la surveillance PROT_EXT.
38
Fonctionnement
Mise sous tension
Une fois les vérifications ci-dessus effectuées, le système peut être mis sous tension.
AVERTISSEMENT
Vous pouvez uniquement activer et désactiver le QME 220 en branchant et en
débranchant la prise d’alimentation de la SP 220. Le connecteur 24 VCC de la SP 220
doit toujours rester connecté au QME 220.
AVIS
Si deux alimentations électriques SP 220 sont utilisées, un distributeur secteur est
recommandé.
Procédure
1 Branchez les prises d’alimentation SP 220.
REMARQUE
La prise SP 220 [2] doit être mise sous tension en premier (dans le cas où un module
IO 220 est installé et où des jauges sont utilisées et requièrent la deuxième SP 220).
Le témoin <24 V=> du QME 220 s’allume. Le QMG 220 est prêt à être utilisé.
2 Après environ 10 secondes, le témoin <RUN> commence à clignoter à une
fréquence de 2 Hz, indiquant que le micrologiciel interne du QME 220 est en cours
d’exécution.
3 Mettez le PC sous tension et lancez le logiciel d'exploitation QUADERA®. La DEL
clignotante du connecteur Ethernet dans le QME 220 (connecteur RJ45) indique que
la communication des données est en cours.
REMARQUE
Si cette DEL reste éteinte, il faut soupçonner une erreur de communication entre le
QMG 220 et le PC. Dans ce cas, vérifiez les câbles et les composants le long de la voie
de communication. Vérifiez également que le PC est correctement configuré et installé
(logiciel d’application, état du pare-feu, etc.).
4 Réalisez les procédures suivantes sous QUADERA®. (Aide en ligne du logiciel
QUADERA®.)

Configuration du système :
QUADERA\Online Help\Cross-References from Manuals\#001.

Premier démarrage (mise en service) :
QUADERA\Online Help\Cross-References from Manuals\#002.

Fonctionnement (mode mesure) :
QUADERA\Online Help\Cross-References from Manuals\#003.
39
Maintenance
6
Maintenance
6.1
QMA 200 (Remplacement des filaments)
ATTENTION
Les filaments sont fournis sous forme d’unités préassemblées. Ils ne doivent être
changés que par du personnel qualifié.
Source d’ions HS
Outils requis
Matériel requis

Clé plate AF 10

Pince à bec plat

Tournevis taille 0

Clé à douille spéciale AF 3/3,2
Kit filament de remplacement
Procédure
Outil de montage
1 Débranchez toutes les connexions électriques du QME 220.
2 Séparez le QME 220 de l’analyseur en répétant les étapes décrites au
’Installation du QME 220’, p. 23 dans l’ordre inverse.
3 Retirez l’analyseur de la chambre à vide.
4 Placez l’analyseur dans l’outil de montage fourni.
5 Serrez les sections en U à l’aide de la pince à bec plat et desserrez les 3 vis de
pression de sorte que les sections en U soient seulement maintenues en place par
les vis de pression.
6 Retirez les 3 écrous.
7 Tirez soigneusement le kit filament vers le haut.
40
Maintenance
8 Mettez au rebut le kit filament usagé.
9 Retirez le kit filament de remplacement de sa boîte de transport.
AVERTISSEMENT
Ne touchez pas le filament, même si vous portez des gants.
10 Montez le filament de remplacement sur la source d’ions. Faites glisser le kit filament
vers les vis de pression de sorte que la plaque du kit filament soit parallèle à la plaque
de la source d’ions.
ATTENTION
Ne tordez pas le kit filament ; vous risqueriez de déformer la chambre d’ionisation.
11 Montez les 3 écrous sur les vis de pression et serrez-les avec la clé à douille
spéciale.
12 Serrez les sections en U à l’aide de la pince à bec plat, introduisez les connexions
électriques du filament latéralement, au niveau des sections en U, et serrez les vis
de pression.
13 Réassemblez le produit (1 … 4) en suivant les étapes dans l’ordre inverse.
Source d’ions HS
fermée
Outils requis
Matériel requis

Clé plate AF 10

Pince à bec plat

Tournevis taille 0

Clé à douille spéciale AF 3/3,2
Kit filament de remplacement
Procédure
Outil de montage
41
Maintenance
1 Débranchez toutes les connexions électriques du QME 220.
2 Séparez le QME 220 de l’analyseur en répétant les étapes décrites au
’Installation du QME 220’, p. 23 dans l’ordre inverse.
3 Retirez l’analyseur de la chambre à vide.
4 Placez l’analyseur dans l’outil de montage fourni.
5 Retirez le tube en céramique (ressort inclus) de la source d’ions en le tournant dans
le sens des aiguilles d’une montre tout en le tirant.
6 Serrez les sections en U à l’aide de la pince à bec plat et desserrez les 3 vis de
pression de sorte que les sections en U soient seulement maintenues en place par
les vis de pression.
7 Retirez les 3 écrous.
8 Tirez soigneusement le kit filament vers le haut.
9 Mettez au rebut le kit filament usagé.
10 Retirez le kit filament de remplacement de sa boîte de transport.
AVERTISSEMENT
Ne touchez pas le filament, même si vous portez des gants.
11 Montez le filament de remplacement sur la source d’ions. Faites glisser le kit filament
vers les vis de pression de sorte que la plaque du kit filament soit parallèle à la plaque
de la source d’ions.
ATTENTION
Ne tordez pas le kit filament ; vous risqueriez de déformer la chambre d’ionisation.
12 Montez les 3 écrous sur les vis de pression et serrez-les avec la clé à douille
spéciale.
13 Serrez les sections en U à l’aide de la pince à bec plat, introduisez les connexions
électriques du filament latéralement, au niveau des sections en U, et serrez les vis
de pression.
14 Réinstallez le tube en céramique (ressort inclus) sur la source d’ions en le tournant
dans le sens des aiguilles d’une montre tout en le poussant.
15 Réassemblez le produit (étapes 1 … 4, en suivant les étapes dans l’ordre inverse).
42
Maintenance
Source d’ions à
faisceau croisé
Outils requis
Matériel requis

Clé plate AF 10

Pince à bec plat

Tournevis taille 0

Clé à douille spéciale AF 3/3,2
Kit filament de remplacement
Procédure
Outil de montage
1 Débranchez toutes les connexions électriques du QME 220.
2 Séparez le QME 220 de l’analyseur en répétant les étapes décrites au
’Installation du QME 220’, p. 23 dans l’ordre inverse.
3 Retirez l’analyseur de la chambre à vide.
4 Placez l’analyseur dans l’outil de montage fourni.
5 Desserrez les vis des contacts du filament et retirez les sections en U.
AVIS
Serrez les sections en U à l’aide de la pince à bec plat tout en desserrant les vis de
pression afin de contrer le couple appliqué avec le tournevis.
6 Desserrez et retirez l’écrou de maintien.
7 Retirez soigneusement l’ancien kit filament de même que l’isolation avec manchon
de céramique.
AVIS
Ne retirez pas la rondelle rectangulaire.
8 Mettez au rebut le kit filament usagé.
9 Ouvrez le tube d’emballage, retirez le kit filament de remplacement après avoir retiré
l’écrou de retenue.
43
Maintenance
2 kits filament
de remplacement
AVERTISSEMENT
Ne touchez pas le filament, même si vous portez des gants.
10 Placez soigneusement le nouveau kit filament sur la source d’ions.
11 Assurez-vous que le manchon en céramique et la rondelle rectangulaire sont
correctement positionnés et serrez l’écrou de maintien.
AVIS
Le wehnelt et le filament doivent maintenant être à la bonne hauteur et parallèles à la
chambre de formation. Si ce n’est pas le cas, l’une des pièces n’est pas correctement
placée ou dimensionnée.
12 Placez les deux sections en U avec les vis de pression sur les extrémités du
connecteur et les câbles d’alimentation.
13 Serrez les sections en U à l’aide de la pince à bec plat tout en serrant les vis.
AVIS
Usez d’aussi peu de force que possible sur les extrémités du connecteur du filament
afin de ne pas endommager les parties en céramique.
14 Vérifiez que le filament est parallèle à la chambre de formation. Si nécessaire,
alignez-le.
15 Réassemblez le produit (1 … 4, en suivant les étapes dans l’ordre inverse).
44
Maintenance
Source d’ions à grille
Outils requis
Matériel requis

Petite pince

Tournevis taille 0
Filament de remplacement
Procédure
Outil de montage
1 Débranchez toutes les connexions électriques du QME 220.
2 Séparez le QME 220 de l’analyseur en répétant les étapes décrites au
’Installation du QME 220’, p. 23 dans l’ordre inverse.
3 Retirez l’analyseur de la chambre à vide.
4 Placez l’analyseur dans l’outil de montage fourni.
5 Desserrez et retirez les 3 vis maintenant le filament.
6 Pliez légèrement les câbles d’alimentation.
7 Retirez et mettez au rebut le filament usagé.
8 Ouvrez la boîte contenant le filament de remplacement. Sortez soigneusement le
nouveau filament en utilisant la petite pince et en le prenant par la patte de connexion
centrale.
AVERTISSEMENT
Ne touchez pas le filament, même si vous portez des gants.
9 Placez le nouveau filament sur le support de filament.
45
Maintenance
AVIS
Les trous des pattes de connexion doivent être exactement alignés au-dessus des
entailles.
ATTENTION
Ne pliez pas le filament.
10 Poussez les boucles des câbles d’alimentation au-dessus des entailles en veillant à
ne pas déplacer les pattes de connexion du filament.
11 Mettez les 3 vis en place et serrez-les soigneusement.
12 Réassemblez le produit (étapes 1 … 4, en suivant les étapes dans l’ordre inverse).
Courts-circuits et
défaillances de mise à la
terre dans l’analyseur
AVIS
Les courts-circuits et défaillances de mise à la terre à l'intérieur de l'analyseur peuvent
être détectés et réparés à l'aide d'un ohmmètre ou d'un contrôleur de continuité.
L’illustration et le tableau suivants présentent l’affectation des broches du connecteur
QMA 200 :
12
1
2
11
10
3
13
9
4
8
5
7
46
13 broches, mâle
6
N° broche
Description
N° broche Description
1
Réserve
8
RF –
2
Extr
9
Terre
3
Mise au point
10
Terre
4
HT –
11
RF +
5
Filament 1
12
Commun, filament
6
Filament 2
13
EP
7
Anode
Maintenance
6.2
QME 220
Nettoyage
AVERTISSEMENT
N'oubliez pas de procéder au nettoyage, même si l’appareil est installé de telle sorte
que la contamination est peu visible.
AVIS
Aucun liquide ne doit couler dans l’appareil. N’utilisez pas l’appareil avant qu’il ne soit
complètement sec.
DANGER
Déconnectez l’alimentation 24 V (SP 220) du QME 220 de la source électrique secteur
avant de procéder au nettoyage humide.
Assurez-vous de ne pas mouiller les connecteurs.
Pour nettoyer le boîtier, utilisez uniquement un chiffon légèrement humidifié avec de
l’eau et éventuellement du liquide vaisselle. N'utilisez pas de produits de nettoyage
agressifs ou corrosifs.
Remplacement de la
natte filtrante
La natte filtrante au niveau de l’arrivée d’air doit être nettoyée en cas d’accumulation
d’une couche de poussière. Utilisez un aspirateur pour nettoyer la natte filtrante.
En cas d’encrassement important de la natte filtrante, il est recommandé de
la remplacer :
Tournevis Torx T10
Outils requis

Matériel requis
Natte filtrante de remplacement
Procédure
1 Débranchez l’alimentation SP 220 du secteur. Débranchez toutes les connexions
électriques du QME 220.
2 Séparez le QME 220 de l’analyseur en répétant les étapes décrites au ’Installation du
QME 220’, p. 23 dans l’ordre inverse.
3 Placez le QME 220 sur une base stable afin de pouvoir travailler sur le panneau
avant.
AVIS
Si un module IO 220 est installé, déconnectez-le du QME 220 tel que décrit page.
47
Maintenance
4 Desserrez les vis 1 … 4 et retirez le panneau avant.
1
4
2
3
5 Remplacez la natte filtrante.
AVIS
Mettez l’ancienne natte filtrante au rebut. Si elle est contaminée, respectez le règlement
en vigueur (’Mise au rebut’, p. 56).
6 Réassemblez le produit (étapes 1 … 4 en suivant les étapes dans l’ordre inverse).
Réglage du
générateur RF
Le circuit RF doit être réglé: lors de la première mise en service de l'appareil, lors d'un
changement d'analyseur (passage de Faraday à C-SEM, notamment) ou lors de
l'affichage d'un message d'erreur correspondant sur l'écran.
Un réglage correct assure une précision optimale des mesures sur la plage de masse
totale. Par conséquent, une vérification annuelle du réglage est recommandée.
Taille de tournevis 1 … 2, de préférence avec une pointe isolée.
Outils requis

Procédure
1 Retirez le petit capuchon sur le côté du QME 220. Ce trou donne accès à la vis de
réglage.
2 Sélectionnez la fonction appropriée dans QUADERA®:
QUADERA\Online Help\Cross-References from Manuals\#007.
3 Suivez les instructions du logiciel.
4 Positionnez la vis de réglage TUNE-VOLTAGE pour une tension minimale.
48
Maintenance
AVIS
Serrez soigneusement ; aucune force n’est requise. Ne serrez pas complètement la vis
de réglage et ne l’enlevez pas complètement.
Optimisation de la
sensibilité de la
source d’ions
La sensibilité de la source d’ions doit être optimisée lors de la première mise en service
de l’appareil ou après un changement de filament.
Procédure
1 Sélectionnez la fonction appropriée dans QUADERA®:
QUADERA\Online Help\Cross-References from Manuals\#006.
2 Suivez les instructions du logiciel.
3 Enregistrez les paramètres et les données.
Remplacement du
QME 220
Si le QME 220 ou le QMA 200 doivent être remplacés, suivez la procédure d’installation
initiale.
Procédure
1 Installation du QME 220, ’Installation du QME 220’, p. 23.
2 Connexion du QME 220, ’Connexion du QME 220’, p. 27.
3 Réglage du générateur RF, ’Réglage du générateur RF’, p. 48.
4 Optimisation de la sensibilité de la source d’ions, ’Optimisation de la sensibilité de la
source d’ions’, p. 49.
49
Accessoires
7
Accessoires
Référence de
commande
50
Clé à douille spéciale AF 3/3,2
BK 370 096
Kit de vis (25 pièces)
PF 505 001 -T
Joint en cuivre DN 40 CF (10 pièces)
PF 501 404 -T
Outil de montage QMA 200
BG 444 456
Câble de connexion torsadé non blindé, 3 m, 1:1, gris
45-0006
Câble de connexion torsadé non blindé, 3 m, croisé, rouge
45-0007
Options
8
Options
Référence de
commande
Module E/S IO 220 complet
PT M28 699
51
Pièces de rechange
9
Pièces de rechange
Lors de la commande de pièces de rechange, indiquez toujours :
QMA 200
PT M25 250
PT M25 251
PT M25 252
PT M25 253
PT M25 254
PT M25 255
PT M25 256
PT M25 257
PT M25 261
PT M25 270
PT M25 271
PT M25 272
PT M25 273
PT M25 274
PT M25 275
PT M25 276
PT M25 277
PT M25 278
PT M25 282
PT M25 283
PT M25 285
PT M25 286
PT M25 290
PT M25 291
PT M25 292
PT M25 293
PT M25 294
PT M25 295
PT M25 296
PT M25 297
Référence de
commande
source d’ions
BN 846 137 -T
BN 846 279 -T
BN 846 137 -T
BN 846 279 -T
BN 846 137 -T
BN 846 280 -T
BN 846 450 -T
BN 846 280 -T
BN 846 279 -T
BN 846 137 -T
BN 846 279 -T
BN 846 137 -T
BN 846 279 -T
449-027
BN 846 280 -T
449-028
BN 846 280 -T
BN 846 279 -T
BN 846 450 -T
BN 846 450 -T
BN 528 370 -T
BN 528 370 -T
BG 444 000 -T
BG 444 000 -T
450-401
BG 444 000 -T
BG 444 000 -T
450-401
BG 444 000 -T
BG 444 000 -T

toutes les informations figurant sur la plaque signalétique du produit,

la description et la référence de commande mentionnées sur la liste des pièces
de rechange.
Référence de
commande
filament
BN 846 138 -T
BN 846 139 -T
BN 846 138 -T
BN 846 139 -T
BN 846 138 -T
BN 846 281 -T
BN 846 395 -T
BN 846 281 -T
BN 846 139 -T
BN 846 138 -T
BN 846 139 -T
BN 846 138 -T
BN 846 139 -T
BN 846 281 -T
BN 846 281 -T
BN 846 395 -T
BN 846 281 -T
BN 846 139 -T
BN 846 395 -T
BN 846 395 -T
BN 845 291 -T
BN 845 291 -T
BN 845 088 -T
PT 160 000 -T
BN 846 138 -T
BN 845 282 -T
PT 160 000 -T
BN 846 138 -T
499-036
BN 845 088 -T
Légende :
Matériau
filament
Ir
W
Ir
W
Ir
W
Ir
W
W
Ir
W
Ir
W
W
W
Ir
Ir
W
Ir
Ir
W
W
W
W
Ir
Ir
W
Ir
Ir
W
Détecteur :
Filaments :
Données techniques
supplémentaires :
C-SEM
Alimentation 24 VCC, SP 220
Natte filtrante (10 pièces)
Petites pièces diverses QMA 200
52
Détecteur
F
F
C
C
C
C
C
F
C
F
F
C
C
C
C
C
C
C
C
C
C
C
C
C
C
C
C
C
C
C
Données techniques
supplémentaires
IS ouverte
IS ouverte
IS ouverte
IS ouverte
Mo-W
fermée
fermée
fermée
Mo-W
300 °C
300 °C
300 °C
300 °C
fermée, speciale .
fermée, 300 °C
fermée, speciale .
fermée, speciale ., Mo-W
fermée, speciale ., Mo-W
fermée, Mo-W
fermée
G-IS
G-IS, 300 °C
[0,15] CB-IS (IS sans filament)
[0,13] CB-IS (IS sans filament)
réglable
[0,15] CB-IS, 300 °C (IS sans filament)
[0,13] CB-IS, 300 °C (IS sans filament)
réglable, 300 °C
CB-IS, rotation 90°, (IS sans filament)
[0,15] CB-IS, 300 °C (IS sans filament)
F
C
W
Ir
[…]
=
=
=
=
=
Faraday
C-SEM
Tungstène
Iridium, yttrié
Diamètre du filament en mm
IS
Mo-W
spéc.
CB-IS
G-IS
=
=
=
=
=
Source d'ions
Fils en molybdène
Diamètre de l’orifice d’extraction 2 mm
Source d’ions à faisceau croisé
Source d’ions à grille
Référence de commande
BN 846 182 -T
PT 160 200
BN 846 231 -T
BN 846 279 -T
Stockage
10
Stockage
ATTENTION
Attention : Composant électronique.
Un stockage inapproprié (électricité statique, humidité, etc.) peut endommager les
composants électroniques.
Stockez le produit dans un sac ou un contenant antistatique. Respectez les
caractéristiques correspondantes dans les Données techniques.
53
Retour du produit
11
Retour du produit
AVERTISSEMENT
AVERTISSEMENT : Transfert de produits contaminés.
Les produits contaminés (p. ex., radioactifs, toxiques, caustiques ou présentant un
risque biologique) peuvent être nocifs pour la santé et l'environnement.
Les produits retournés à Pfeiffer Vacuum doivent de préférence être dépourvus de
substances nuisibles. Respectez tous les règlements liés au transfert des pays
impliqués et entreprises de transfert et joignez à votre envoi une déclaration dûment
complétée concernant la contamination.
Les produits qui ne sont pas clairement déclarés comme « dépourvus de substances
nuisibles » seront décontaminés aux frais du client.
Les produits non accompagnés d’une déclaration dûment complétée concernant la
contamination seront renvoyés à l’expéditeur aux frais de ce dernier. 1)
1)
Disponible sous service au www.pfeiffer-vacuum.com.
AVERTISSEMENT
Remettez en place les dispositifs de sécurité pour le transport avant d’envoyer
le produit.
54
Service
12
Service
Pfeiffer Vacuum propose un service de première classe !

Changement sur site des fluides de fonctionnement et des paliers par le service sur
le terrain de Pfeiffer Vacuum

Maintenance / réparation dans le centre de service proche

Remplacement rapide avec un échange de produits en état exceptionnel

Conseils sur la solution la plus économique et la plus rapide
Informations détaillées, adresses et formulaires à :
www.pfeiffer-vacuum.com (Service).
Maintenance et réparations au centre de services de Pfeiffer Vacuum
Les étapes suivantes sont nécessaires pour garantir un processus de service rapide et
impeccable :
1 Téléchargez les formulaires « Service Request » (Demande de service) et «
Declaration of Contamination » (Déclaration de contamination).1)
2 Remplissez le formulaire « Service Request » (Demande de service) et envoyez-le
par télécopie ou par e-mail à votre adresse de service.
3 Incluez la confirmation de la demande de services provenant de Pfeiffer Vacuum
avec votre expédition.
4 Remplissez la Déclaration de contamination et incluez-la avec l'expédition
(obligatoire !).
5 Détachez tous les accessoires.
6 Dans la mesure du possible, expédiez l'appareil dans l'emballage d'origine.
Envoi de pompes ou appareils contaminés
Aucun appareil ne sera accepté s'il est contaminé par des substances microbiologiques,
explosives ou radioactives. Les « substances dangereuses » sont des substances et
composés correspondant à la directive sur les biens dangereux (version actuelles). Si
des appareils sont contaminés ou que la déclaration de contamination est manquante,
Pfeiffer Vacuum effectuera la décontamination aux frais de l'expéditeur.
1 Neutralisez l'appareil en le rinçant avec de l'azote ou de l'air sec.
2 Fermez hermétiquement toutes les ouvertures.
3 Scellez l'appareil dans un film protecteur adapté.
4 Retournez l'appareil uniquement dans un conteneur de transport adapté et robuste
et envoyez-le selon les conditions de transport en vigueur.
Appareil de remplacement
Les paramètres de fonctionnement d'usine sont toujours prédéfinis sur les appareils de
remplacement. Si vous utilisez des paramètres modifiés pour votre application, vous
devrez les définir à nouveau.
Commandes de service
Toutes les commandes de service sont exécutées exclusivement selon nos conditions
de réparation pour les appareils et composants de vide.
1)
Formulaires à www.pfeiffer-vacuum.com
55
Mise au rebut
13
Mise au rebut
DANGER
DANGER : Pièces contaminées.
Les pièces contaminées peuvent être nocives pour la santé et l'environnement.
Avant de commencer le travail, déterminez si des pièces sont contaminées. Respectez
les règlements en vigueur et prenez les précautions nécessaires lors de la manipulation
des pièces contaminées.
AVERTISSEMENT
AVERTISSEMENT : Substances nocives pour l'environnement.
Les produits ou pièces des produits (composants mécaniques et électriques, fluides de
fonctionnement, etc.) peuvent être nocifs pour l'environnement.
Mettez ces substances au rebut conformément aux règlements locaux en vigueur.
Tri des composants
Après le démontage du produit, triez ses composants conformément aux critères
suivants :
Composants
contaminés
Les composants contaminés (radioactifs, toxiques, caustiques ou présentant un risque
biologique, etc.) doivent être décontaminés conformément aux règlements nationaux en
vigueur, triés selon leurs matériaux et mis au rebut.
Autres composants
Ces composants peuvent être triés selon leurs matériaux et recyclés.
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Déclaration de conformité
Déclaration pour produit(s) du type :
Système de spectrométrie de masse compact
QMG 220 PrismaPlus®
Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européen­
nes suivantes.
Basse tension 2014/35/CE
Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses, directive déléguée
2015/863/UE
Normes harmonisées et normes nationales appliquées:
EN 61010-1:2010
EN 61326-1:2013
CISPR 11 group 1, class A
FCC, title 47 CFR, part 18, class A
RoHS: Entièrement conforme
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Directeur général
Asslar, 2022-02-01
UN SEUL FOURNISSEUR DE SOLUTIONS DE VIDE
Dans le monde entier, Pfeiffer Vacuum est reconnu pour ses solutions de vide innovantes
et adaptées, son approche technologique, ses conseils et la fiabilité de son service.
UNE LARGE GAMME DE PRODUITS
Du composant au système complexe, nous sommes votre seul fournisseur
de solutions de vide offrant une gamme complète de produits.
UN SAVOIR FAIRE THÉORIQUE ET PRATIQUE
Profitez de notre savoir-faire et de nos offres de formation !
Nous vous assistons pour concevoir vos installations, grâce à un service de proximité
de première qualité dans le monde entier.
Êtes-vous à la recherche
d'une solution de vide dédiée
à vos besoins ?
Contactez-nous :
Pfeiffer Vacuum GmbH
Headquarters
T +49 6441 802-0
info@pfeiffer-vacuum.de
Pfeiffer Vacuum SAS, France
T +33 (0) 4 50 65 77 77
info@pfeiffer-vacuum.fr
www.pfeiffer-vacuum.com
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