Pfeiffer IKT 010 / IKT 011 Mode d'emploi

MANUEL DE L'UTILISATEUR
FR
Traduction d'original
IKT 010 ∣ IKT 011
Capteur à cathode froide pour la mesure de pression intégrée
Cher client,
Nous vous remercions d’avoir opté pour un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouveau capteur a
été conçu pour vous donner entière satisfaction pour votre application, de par sa conception
rigoureuse et son parfait fonctionnement. Le nom Pfeiffer Vacuum représente une technique
du vide de haute qualité, se décline en une gamme exhaustive et variée de produits de
grande qualité, assortis d’un service client irréprochable. Forts de cette expérience pratique
étendue, nous avons compilé une multitude d’informations qui peuvent contribuer à une
implémentation efficace et à votre sécurité personnelle.
Sachant que notre produit doit vous permettre d’éviter des arrêts de production coûteux,
nous sommes confiants qu’il pourra vous offrir une solution pour une implémentation efficace
et fiable de votre application individuelle.
Veuillez lire ce manuel de l’utilisateur avant de mettre votre produit en service pour la
première fois. Si vous avez des questions ou suggestions, n’hésitez pas à nous contacter par
e-mail à l’adresse info@pfeiffer-vacuum.de.
Vous trouverez d’autres manuels de l’utilisateur de Pfeiffer Vacuum dans le Centre de
téléchargement sur notre site Internet.
Exclusion de responsabilité
Ce manuel d'instructions décrit tous les modèles et variantes de votre produit. Noter que
votre produit peut ne pas être équipé de toutes les fonctionnalités décrites dans ce manuel.
Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le
manuel d'utilisation en ligne peut différer du document imprimé, fourni avec votre produit.
D'autre part, Pfeiffer Vacuum n'assume aucune responsabilité pour les dommages résultant
d'une utilisation contraire à l'usage prévu, ou d'une utilisation définie comme mauvaise
utilisation prévisible.
Droits d’auteur (Copyright)
Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce
document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits
ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations
contenues dans ce document.
2/46
Table des matières
Table des matières
1
A propos de ce manuel
1.1 Validité
1.1.1 Documents applicables
1.1.2 Variantes
1.2 Groupe cible
1.3 Conventions
1.3.1 Instructions dans le texte
1.3.2 Pictogrammes
1.3.3 Autocollants sur le produit
1.3.4 Abréviations
1.4 Justificatif de marque déposée
7
7
7
7
7
8
8
8
8
8
9
2
Sécurité
2.1 Consignes générales de sécurité
2.2 Consignes de sécurité
2.3 Mesures de sécurité
2.4 Limites d’utilisation du produit
2.5 Utilisation conforme
2.6 Utilisations non conformes prévisibles
10
10
10
12
13
13
13
3
Description du produit
3.1 Fonction
3.2 Interrupteur et affichage de l’état
3.3 Identification du produit
3.4 Fournitures
14
14
14
14
14
4
Transport et stockage
4.1 Transport du produit
4.2 Stockage du produit
15
15
15
5
Installation
5.1 Raccord à vide
5.2 Raccordement électrique
5.2.1 Raccordement du capteur avec TIC 010 au HiPace
5.2.2 Raccordement du capteur avec AccessLink
16
16
17
18
18
6
Fonctionnement
6.1 Détermination de la pression efficace avec des facteurs de correction
6.2 Temporisation d'amorçage
6.3 Pollution
19
19
21
21
7
Retrait
22
8
Maintenance
8.1 Maintenance du capteur
8.2 Démontage du capteur
8.3 Remplacement de l’aide d'amorçage
8.4 Nettoyage des composants
8.5 Installez le capteur
24
24
25
26
27
29
9
Dysfonctionnements
9.1 Dépanner
9.2 Identification des erreurs sur chambre de mesure
31
31
31
10
Expédition
33
11
Recyclage et mise au rebut
11.1 Informations générales sur la mise au rebut
34
34
3/46
Table des matières
4/46
11.2 Mise au rebut des capteurs
34
12
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
35
13
Pièces de rechange
37
14
Accessoires
14.1 Informations sur l’accessoire
14.2 Commande d’accessoires
38
38
38
15
Caractéristiques techniques et dimensions
15.1 Généralités
15.2 Fiche technique
15.3 Dimensions
39
39
39
41
Certification
42
Déclaration de conformité CE
43
Déclaration de Conformité UK
44
Liste des tableaux
Liste des tableaux
Tab. 1:
Tab. 2:
Tab. 3:
Tab. 4:
Tab. 5:
Tab. 6:
Tab. 7:
Tab. 8:
Tab. 9:
Tab. 10:
Tab. 11:
Tab. 12:
Tab. 13:
Tab. 14:
Tab. 15:
Tab. 16:
Tab. 17:
Tab. 18:
Documents applicables
Variantes
Abréviations utilisées
Conditions ambiantes autorisées
Unités de commande électronique et versions de micrologiciel requises
Diodes électroluminescentes
Facteur de correction pour un domaine de pression < hPa
Dysfonctionnements
Mesure
Pièces de rechange
Tableau de conversion : unités de pression
Tableau de conversion : unités de débit de gaz
Valeurs de mesure et de pression
Données électriques
Volume interne et poids
Conditions ambiantes
Températures
Substances en contact avec le fluide
7
7
9
13
18
19
20
31
32
37
39
39
39
40
40
40
40
41
5/46
Liste des figures
Liste des figures
Fig. 1:
Fig. 2:
Fig. 3:
Fig. 4:
Fig. 5:
Fig. 6:
Fig. 7:
Fig. 8:
Fig. 9:
Fig. 10:
Fig. 11:
Fig. 12:
Fig. 13:
Fig. 14:
6/46
Interrupteur et DEL
Raccord à vide
Raccord AccessLink (micro USB, type B)
Pression affichée
Retrait du capteur
Démontage du capteur
Retrait de l’aide à l’amorçage
Insertion de l'aide d'amorçage dans l'outil de montage
Insertion de l’aide à l’amorçage
Interrupteur pour valeur de calibrage CAL
Installez le capteur
Broches de contact de la chambre de mesure
Chambre de mesure complète (jauge de remplacement)
Dimensions
14
17
18
20
23
25
26
27
27
29
30
32
37
41
A propos de ce manuel
1 A propos de ce manuel
IMPORTANT
Bien lire avant d'utiliser le produit.
Conserver ce manuel pour une future utilisation.
1.1
Validité
Ce document décrit la fonction des produits de la liste suivante et contient les informations les plus importantes pour une utilisation sécurisée. La description est rédigée conformément aux directives en vigueur. Les informations contenues dans ce document correspondent à l'état de développement actuel
des produits. Le document conserve sa validité à condition que le client n'apporte aucune modification
au produit.
1.1.1
Documents applicables
Désignation
Document
Manuel de l'utilisateur « Unité d’entraînement électronique » TC
(selon l’appareil utilisé)
Manuel de l’utilisateur de la « pompe turbomoléculaire » HiPace
(selon l’appareil utilisé)
Manuel de l’utilisateur de « Appareil de commande » OmniControl
PT 0670
Déclaration de conformité
Un composant de ce manuel de
l’utilisateur
Tab. 1:
Documents applicables
Vous trouverez ces documents dans le Centre de téléchargement Pfeiffer Vacuum.
1.1.2
Variantes
Ce document s’applique à tous les produits avec les références suivantes :
Référence
Désignation
Raccordement
Version
PT R72 100
KIT 010, DN 25 ISO-KF, câble de 1,0 m
Molex
Courant de faible intensité
PT R73 100
KIT 011, DN 25 ISO-KF, câble de 1,0 m
PT R72 550
KIT 010, DN 25 ISO-KF, câble de 0,5 m
PT R73 550
KIT 011, DN 25 ISO-KF, câble de 0,5 m
Tab. 2:
Courant fort
AccessLink
Courant de faible intensité
Courant fort
Variantes
Vous trouverez le numéro de la pièce sur la plaque signalétique du produit.
Pfeiffer Vacuum se réserve le droit d'apporter des modifications techniques sans préavis.
Les figures de ce document ne sont pas à l’échelle.
Les dimensions sont indiquées en mm, sauf avis contraire.
1.2
Groupe cible
Ce manuel d'utilisation s’adresse à toutes les personnes en charge
●
●
●
●
●
●
du transport,
de l'installation,
de la commande et de l'utilisation,
de la mise hors service,
de la maintenance et du nettoyage,
du stockage et du recyclage du produit.
Les opérations décrites dans ce document doivent uniquement être effectuées par un personnel doté
de la formation technique nécessaire (personnel qualifié), ou ayant suivi une formation correspondante
de Pfeiffer Vacuum.
7/46
A propos de ce manuel
1.3
Conventions
1.3.1
Instructions dans le texte
Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à
réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes.
Action unique
Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape.
► Il s'agit d’une étape unique.
Action en plusieurs étapes
Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique.
1. Étape 1
2. Étape 2
3. ...
1.3.2
Pictogrammes
Les pictogrammes utilisés dans ce document indiquent des informations utiles.
Remarque
Conseil
Portez des gants de laboratoire
Contrôlez visuellement
1.3.3
Autocollants sur le produit
Cette section décrit tous les autocollants sur le produit ainsi que leurs significations.
Plaque signalétique
La plaque signalétique est située sur le côté de l’unité
électronique du capteur.
D-35614 Asslar
Mod.
P/N
S/N
Input
1.3.4
8/46
IKT 01x
PT R7x xxx
xxxxxxxxx
5 V DC 2 W
Made in Liechtenstein 2024/05
Abréviations
Abréviation
Explication
ATM
Atmosphère
c
Constante de conversion du signal de mesure et de la pression
C
Facteur de correction pour le calcul de la pression des gaz autres que l’air
CAL
Calibration
A propos de ce manuel
Abréviation
Explication
EEPROM
Mémoire morte programmable et effaçable électriquement
HV
Vide élevé
HV-ST
État vide élevé
LPS
Source de puissance limitée
MSL
Niveau moyen de la mer
OR
Plage dépassée vers le haut
[P:000]
Paramètre de l’unité de commande électronique avec numéro
p
Pression
PLC
Contrôleur logique programmable
ST
État
WAF
Largeur sur pans
TC
Unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire (contrôleur de pompe
turbomoléculaire)
U
Signal de mesure [V] (tension de sortie)
UR
Plage dépassée vers le bas
Tab. 3:
1.4
Abréviations utilisées
Justificatif de marque déposée
● HiPace® est une marque déposée de Pfeiffer Vacuum GmbH.
● Molex® est une marque déposée de Molex Incorporated, Lisle, Illinois, USA.
9/46
Sécurité
2 Sécurité
2.1
Consignes générales de sécurité
Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit :
DANGER
Danger direct et imminent
Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVERTISSEMENT
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
ATTENTION
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVIS
Obligation ou signalement
Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure
physique.
► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels
Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le
produit ou le présent document.
2.2
Consignes de sécurité
Consignes de sécurité selon les étapes de la vie du produit
Toutes les consignes de sécurité de ce document sont basées sur les résultats d’une évaluation des risques. Pfeiffer Vacuum a pris en compte toutes les étapes pertinentes de la
vie du produit.
Risques lors de l’installation
DANGER
Danger de mort par électrocution
Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie.
► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé.
► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. (Les raccordement CF et VCR remplissent ces conditions.)
► Utilisez des anneaux de centrage et des circlips à couche conductrice pour les raccordements
KF.
10/46
Sécurité
Risques pendant le fonctionnement
AVERTISSEMENT
Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide
L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide
peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant
être également toxique.
Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des
pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique.
► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide.
► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression.
► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un
anneau de serrage).
► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur.
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement dû au rejet de gaz toxiques
Les contraintes mécaniques, chimiques ou thermiques élevées provoquent des fuites au niveau du
capteur. Dans les traitements impliquant des fluides toxiques, il existe un risque de blessure, voire de
mort par empoisonnement à cause des fuites de gaz en cas de surpression du système de vide.
► Prévenez la formation de toute contrainte mécanique, chimique ou thermique élevée.
► Prévenez la formation de surpressions dans le système de vide.
► Prenez les mesures appropriées de façon à prévenir les risques et dommages provoqués par la
fuite de fluides de traitement, comme une interruption d'alimentation en gaz, une évacuation ou
un test de fuite.
Risques pendant la maintenance
DANGER
Danger de mort par électrocution
En l'absence de raccordement à la terre, la circulation de la tension est dangereuse en cas de contact et peut endommager les composants électroniques.
► Serrez toujours l’unité électronique avec la vis moletée.
► Vérifiez que la vis moletée de l’unité électronique a été serrée correctement.
DANGER
Danger de mort dû au choc électrique causé par la pénétration d’humidité
La pénétration d’eau dans l’unité cause des blessures aux personnes par chocs électriques.
► Utilisez seulement l’unité dans un environnement sec.
► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité.
► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, contactez Pfeiffer Vacuum Service.
► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité.
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
11/46
Sécurité
AVERTISSEMENT
Risques pour la santé dus aux agents nettoyants
Les détergents utilisés peuvent nuire à la santé et causer un empoisonnement, des allergies, une irritation de la peau, des brûlures chimiques ou endommager les voies respiratoires.
► Respectez les réglementations en vigueur pour la manipulation des agents nettoyants.
► Respectez les mesures de sécurité concernant la manipulation et la mise au rebut des agents
nettoyants.
► Attention aux réactions potentielles avec les matériaux du produit.
Risques liés à l’expédition
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement par produits contaminés
L’expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la santé et l’ sécurité du personnel de maintenance.
► Conforme aux instructions pour une distribution en toute sécurité.
Risques pendant la mise au rebut
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
2.3
Mesures de sécurité
Le produit est conçu sur la base des technologies les plus récentes et des règles techniques de sécurité reconnues. Cependant, une utilisation incorrecte peut présenter un risque de blessure ou un danger
de mort pour l'opérateur et toute autre personne, ainsi qu'un risque de dommages matériels sur le produit et autres.
Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels
Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit.
Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du
produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document.
Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit
La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit
d'origine ou installe un équipement supplémentaire
● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le
cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives
européennes applicables avant de mettre en service ce système.
Mesures de sécurité générales lors de la manipulation du produit
► Respectez toutes les dispositions de sécurité et de prévention des accidents en vigueur.
► Contrôlez régulièrement que toutes les mesures de sécurité sont respectées.
► Les consignes de sécurité doivent être transmises aux autres utilisateurs.
► N'exposez aucune partie du corps au vide.
► Assurez toujours un raccordement sûr au conducteur de terre (PE).
12/46
Sécurité
► Ne débranchez jamais les fiches de raccordement en cours de fonctionnement.
► Respectez les procédures d’arrêt ci-dessus.
► Tenez les conduites et les câbles éloignés des surfaces chaudes (> 70 °C).
► N'effectuez pas vous-même de conversions ou de modifications de l'appareil.
► Consultez le degré de protection de l’unité avant son installation ou fonctionnement dans d’autres
environnements.
► Mettez en place des équipements de protection adaptés contre tout contact physique si la température de surface dépasse 70 °C.
► Il convient de toujours s'informer d'éventuelles contaminations avant de commencer à travailler.
2.4
Limites d’utilisation du produit
Paramètre
Humidité relative de l’air
(pour 30 jours par an)
-2
≤ 70 % (sans condensation)
-7
-2
≤ 95 % (sans condensation)
1 × 10 – 1 × 10 hPa
1 × 10 – 1 × 10 hPa
Orientation de montage
Arbitraire
Usage
En intérieur uniquement
Altitude maximum de l’installation
6000 m MSL
Degré de pollution
2
Degré de protection
IP40
Tab. 4:
2.5
Valeur
-8
Conditions ambiantes autorisées
Utilisation conforme
Le capteur est utilisé pour des mesures de pression intégrées dans les pompes turbomoléculaires HiPace Pfeiffer Vacuum sur toute la plage de pression admissible.
Utilisation du produit conformément à son usage prévu
1. Installez, utilisez et entretenez le capteur seulement dans les conditions prescrites dans ce manuel de l'utilisateur.
2. Utilisez le capteur seulement pour la mesure de pression d’air, de gaz inertes et de mélanges de
gaz en dehors de leurs limites d'explosion.
3. Raccordez le capteur au raccord correspondant.
4. Se conformer aux limites d’application.
5. Observer la fiche technique.
2.6
Utilisations non conformes prévisibles
Toute utilisation non conforme du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité.
Toute utilisation non conforme à l’objectif du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée
comme non réglementaire, en particulier :
● Utilisation hors des limites mécaniques et électriques d’utilisation
● Utilisation avec des substances corrosives ou explosives, si cette utilisation n’est pas explicitement autorisée
● Utilisation en extérieur
● Utilisation suite à des modifications techniques (à l’intérieur ou à l’extérieur du produit)
● Utilisation avec des accessoires ou pièces de rechange inappropriés ou non approuvés
13/46
Description du produit
3 Description du produit
3.1
Fonction
Le capteur a un système de mesure à cathode froide basé sur le principe du magnétron inversé. Le
capteur émet le signal de mesure sous forme numérique.
3.2
Interrupteur et affichage de l’état
2
3
1
Fig. 1:
Interrupteur et DEL
1 Interrupteur pour la valeur de calibrage (CAL)
2 DEL « ST » (tension d’alimentation/erreur)
3.3
3
DEL « HV-ST » (haute tension/cathode froide)
Identification du produit
Toutes les données de la plaque signalétique sont nécessaires pour identifier assurément le produit
pour toute communication avec Pfeiffer Vacuum.
► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, conservez
toujours à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique.
3.4
Fournitures
Pièces incluses dans la livraison :
● Capteur avec câble et connecteur
● Manuel de l’utilisateur
Déballage du produit et contrôle du contenu de la livraison
1. Déballer le produit.
2. Déposez les sécurités et les protections pour le transport, etc.
3. Rangez les sécurités et les protections pour le transport dans un endroit sûr.
4. Vérifier que toutes les pièces sont présentes.
5. Contrôler qu'aucune pièce n'a été endommagée.
14/46
Transport et stockage
4 Transport et stockage
4.1
Transport du produit
AVIS
Dégâts causés par un transport incorrect
Un transport dans un emballage incorrect ou la non-installation de tous les verrous de transport peut
endommager le produit.
► Conforme aux instructions pour un transport en toute sécurité.
Emballage
Nous recommandons de conserver l’emballage de transport et de protection d’origine.
Transporter le produit en toute sécurité
► Observez le poids spécifié sur l’emballage de transport.
► Dans la mesure du possible, transportez ou expédiez toujours le produit dans son emballage
d’origine de transport.
► Utilisez toujours un emballage compact qui protège le produit des chocs.
► Retirez le cache de protection et les dispositifs protecteurs de transport seulement juste avant
l’installation.
► Avant chaque transport, les blocages et les protections correspondants doivent être remontés.
4.2
Stockage du produit
AVIS
Risque de détériorations causées par un entreposage incorrect
Un entreposage incorrect provoquera des dégâts sur le produit.
Les charges statiques, l’humidité, etc., provoquent des défauts sur les composants électroniques.
► Conforme aux instructions pour un entreposage en toute sécurité.
Emballage
Nous recommandons de stocker le produit dans son emballage d'origine.
Stocker le produit en toute sécurité
► Conservez le produit dans un endroit frais, sec et sans poussière, où il n’est pas soumis à des
chocs ni à des vibrations mécaniques.
► Utilisez toujours un emballage compact qui protège le produit des chocs.
► Dans la mesure du possible, stockez le produit dans son emballage d’origine.
► Stockez les composants électroniques dans un emballage antistatique.
► Maintenez la température d’entreposage admissible.
► Évitez les fortes variations de températures ambiantes.
► Évitez un taux d’humidité élevé dans l’air.
► Fermez les raccords avec les bouchons de protection d’origine.
► Protégez le produit avec les protections de transport d’origine (si disponibles).
15/46
Installation
5 Installation
5.1
Raccord à vide
DANGER
Danger de mort par électrocution
Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie.
► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé.
► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. (Les raccordement CF et VCR remplissent ces conditions.)
► Utilisez des anneaux de centrage et des circlips à couche conductrice pour les raccordements
KF.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide
L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide
peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant
être également toxique.
Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des
pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique.
► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide.
► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression.
► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un
anneau de serrage).
► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur.
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement dû au rejet de gaz toxiques
Les contraintes mécaniques, chimiques ou thermiques élevées provoquent des fuites au niveau du
capteur. Dans les traitements impliquant des fluides toxiques, il existe un risque de blessure, voire de
mort par empoisonnement à cause des fuites de gaz en cas de surpression du système de vide.
► Prévenez la formation de toute contrainte mécanique, chimique ou thermique élevée.
► Prévenez la formation de surpressions dans le système de vide.
► Prenez les mesures appropriées de façon à prévenir les risques et dommages provoqués par la
fuite de fluides de traitement, comme une interruption d'alimentation en gaz, une évacuation ou
un test de fuite.
AVIS
Défaillance due à la contamination et à la détérioration
Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et
entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts
nuisent au fonctionnement.
► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux
sur les installations ultra-vide ou à vide élevé.
► Utilisez uniquement des outils propres.
► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse.
► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire.
► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé.
16/46
Installation
AVIS
Éclats électriques liés à l’hélium
L'hélium peut causer des éclats électriques dans les circuits électroniques de l’unité, ce qui va les
détruire.
► Mettez l’unité hors circuit avant d’effectuer un test d'étanchéité.
► Démontez l’unité électronique avant d’effectuer un test d'étanchéité.
Conditions préalables
● Conditions ambiantes appropriées
● Température de fonctionnement dans la plage permissible
● Espace disponible suffisant pour le raccordement électrique (p. ex., rayon de courbure permissible des câbles)
1
2
3
4
5
Fig. 2:
Raccord à vide
1 Joint avec anneau de centrage
2 Unité électronique
3 Obturateur de protection
4
5
Joint avec anneau de centrage et filtre
Pièce de serrage
Recommandations
► Dans la mesure du possible, vérifiez que le capteur n’est pas soumis à des vibrations pendant le
fonctionnement. Ces vibrations entraînent généralement des écarts dans les valeurs mesurées.
► Montez le capteur dans une orientation de montage horizontale à verticale (bride tournée vers le
bas).
– Ceci prévient toute accumulation de condensats et de particules dans la chambre de mesure.
► Montez un joint avec un anneau de centrage et un filtre pour protéger les applications et le système de mesure contre tout risque de contamination.
Procédure
1. Retirez l’obturateur de protection et rangez-le dans un endroit sûr.
2. Installez le capteur sur l’installation à vide élevé en utilisant les composants de vide de la boutique
de composants de vide Pfeiffer.
5.2
Raccordement électrique
AVIS
Dommages matériels sur l'électronique ou le capteur
Le débranchement du connecteur mâle-femelle lorsque la tension d’alimentation est appliquée, peut
entraîner la destruction des composants électroniques.
► Mettez toujours hors tension avant de brancher ou de débrancher le câble de raccordement du
capteur.
17/46
Installation
5.2.1
Raccordement du capteur avec TIC 010 au HiPace
Manuel de l'utilisateur de l’unité de commande électronique
Respectez les informations sur le raccordement dans le manuel de l’utilisateur de l’unité
d’entraînement électronique.
Instructions d'assemblage pour le TIC 010
Respectez les informations sur l'assemblage dans les instructions d'assemblage pour le
TIC 010.
Les contacts enfichables de l’adaptateur TIC 010 sont numérotés sur sa platine et correspondent aux
paramètres et valeurs de sortie par la suite. Vous pouvez sélectionner la borne femelle comme désiré.
Unité de commande électronique
Version du micrologiciel (ou postérieure)
TC 110
012500
TC 120
010300
TC 400
012400
TC 1200
012400
TM 700
010600
Tab. 5:
Unités de commande électronique et versions de micrologiciel requises
Conditions préalables
● Les versions de micrologiciels requises pour l'unité de commande électronique sont disponibles
● Tous les raccords sont hors tension électrique
Accessoires nécessaires
● TIC 010, adaptateur pour deux capteurs
Procédure
1. Connectez le câble au TIC 010 au raccord « Pv.can » de l’unité de commande électronique.
2. Effectuez les réglages et la commande par les interfaces de l’unité de commande électronique.
5.2.2
Raccordement du capteur avec AccessLink
Manuel de l'utilisateur de la pompe à Vide
Respectez les informations sur le raccordement dans le manuel de l’utilisateur de la pompe
à vide.
Condition préalable
● Tous les raccords sont hors tension électrique
5
3
4
Fig. 3:
1
2
Raccord AccessLink (micro USB, type B)
1 + 5 V (bleu)
2 Capteur RxD / TxD hôte (blanc)
3 Capteur TxD / RxD hôte (vert)
4
5
Non raccordé (rouge)
GND (noir)
Procédure
1. Raccordez le câble à un AccessLink libre de la pompe à vide.
2. Effectuez les réglages et la commande par les interfaces de l’unité de commande électronique.
18/46
Fonctionnement
6 Fonctionnement
L'unité de capteurs connectés est prête à fonctionner dès la mise sous tension de l'unité de commande
électronique.
DEL
Signification
« ST »
« HV-ST »
Désactivée
Désactivée
Pas d’alimentation électrique
Allumée en jaune
Désactivée
Tension d'alimentation OK, cathode froide désactivée
Allumée en jaune
Clignote en vert
Tension d’alimentation OK, pression dans la gamme cathode
froide, cathode froide non allumée
Allumée en vert
Allumée en vert
Cathode froide allumée
Clignote en rouge
Désactivée
Erreur EEPROM
Allumée en jaune
Allumée en vert
Gamme de mesure pas atteinte ou dépassée vers le haut
Allumée en rouge
Désactivée
Tension d’alimentation instable
Tab. 6:
Diodes électroluminescentes
Évaluation des signaux par l’intermédiaire des interfaces de sorties
Les interfaces de sortie de l’unité de commande électronique avec le protocole Pfeiffer Vacuum applicable et le paramètre Pfeiffer Vacuum réglé sont utilisés pour faire fonctionner
les dispositifs d’accessoires connectés sur une pompe à vide Pfeiffer Vacuum.
Voir les manuels de l'utilisateur pour les unités de commande électronique utilisées.
6.1
Détermination de la pression efficace avec des facteurs de correction
Le signal de mesure dépend du type de gaz. Les caractéristiques s’appliquent pour l’azote (N2), l’oxygène (O2), l’air sec et le monoxyde de carbone (CO).
19/46
Fonctionnement
p [hPa]
4
2
10
Xe Kr
Ar
Air
O2
CO
N2 H2 Ne He
–3
8
6
4
2
10–4
8
6
4
2
10–5
8
6
4
2
10–6
8
6
4
2
10–7
10–7 2
4 6 10–6 2
4 6
10–5 2
4 6
10–4 2
4
6
10–3 2
4 6
10–2
peff [hPa]
Fig. 4:
Pression affichée
Dans le domaine de pression < 10-5 hPa, l’affichage est linéaire.
Mélanges de gaz et de vapeurs
Les gaz de procédé sont essentiellement des mélanges de gaz et de vapeurs. Une mesure
précise des mélanges de gaz et de vapeurs est seulement possible avec des appareils de
mesure à pression partielle, par exemple un spectromètre de masse quadripole.
Type de gaz
Facteur de correction (C)
Air, oxygène (O2), monoxyde de carbone, (CO), azote (N2)
1,0
Hydrogène (H2)
2,4
Hélium (He)
5,9
Néon (Ne)
4,1
Argon (Ar)
0,8
Krypton (Kr)
0,5
Xénon (Xe)
0,4
Les facteurs de correction fournis ici sont des valeurs moyennes.
Tab. 7:
Facteur de correction pour un domaine de pression < 10 -5 hPa
Réglage du facteur de correction sur l’unité de commande électronique
► Utilisez [P:742] pour entrer le facteur de correction et la valeur mesurée affichée correcte.
20/46
Fonctionnement
Calcul de la pression de gaz autres que l’air
► Calculez la pression efficace avec la formule suivante :
Peff = C × p
● Peff = Pression efficace
● C = Facteur de correction
● p = Pression affichée (capteur calibré pour l’air)
6.2
Temporisation d'amorçage
Les systèmes de mesure à cathode froide ont une temporisation d'amorçage à l'activation. Cette temporisation d'amorçage est plus longue pour les basses pressions et est typiquement dans les unités dégazées propres :
●
●
●
●
1 × 10-5 à 1 × 10-2 hPa < 1 seconde
1 × 10-7 à 1 × 10-5 hPa < 20 secondes
5 × 10-9 à 1 × 10-7 hPa < 2 minutes
< 5 × 10-9 hPa < 20 minutes
L'amorçage est un processus statique pour lequel des dépôts même minimes peuvent avoir une grande
influence sur les surfaces intérieures.
6.3
Pollution
Garantie
Tout dysfonctionnement de l’équipement résultant directement d’une contamination et de
l’usure n’est pas couvert par la garantie.
La contamination du capteur dépend
● de la pression dans les enceintes à vide
● du type de fluide de process
● de la contamination existante ou nouvellement accumulée ou sa pression partielle (p. ex. vapeurs,
particules de process, etc.)
● de la durée de service
Le fonctionnement continu dans la plage comprise entre 10-4 hPa et 10-2 hPa peut causer une contamination grave et réduire la durée de vie et les intervalles d’entretien.
La contamination du capteur entraîne généralement des écarts dans les valeurs mesurées :
● Dans la gamme de basses pressions (< 1 × 10-3 hPa), la pression affichée est généralement
trop basse (contamination du système à cathode froide). Une contamination excessive va causer
des instabilités (séparation des couches dans la chambre de mesure). Ceci peut entraîner des
courts-circuits. Un étanchement complet de la décharge de gaz est aussi possible en cas de contamination résultant de couches isolées.
Modification du degré de contamination
Dans une certaine mesure, le niveau de contamination peut être influencé. Des précautions particulières doivent être prises dans le cas de vapeurs formant des dépôts dans le plasma (p. ex. du système
de mesure à cathode froide).
► Implémentez des mesures préventives géométriques (tôles de protection, angles) pour les particules se propageant en ligne droite.
► Choisissez une position de bride avec une pression partielle de contamination minimale.
► Désactivez le capteur en présence de vapeurs de dépôt,
ou
Fermez de façon étanche le capteur au moyen d’une vanne en présence de vapeurs de dépôt.
21/46
Retrait
7 Retrait
DANGER
Danger de mort par électrocution
Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie.
► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé.
► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. (Les raccordement CF et VCR remplissent ces conditions.)
► Utilisez des anneaux de centrage et des circlips à couche conductrice pour les raccordements
KF.
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide
L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide
peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant
être également toxique.
Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des
pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique.
► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide.
► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression.
► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un
anneau de serrage).
► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur.
AVIS
Défaillance due à la contamination et à la détérioration
Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et
entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts
nuisent au fonctionnement.
► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux
sur les installations ultra-vide ou à vide élevé.
► Utilisez uniquement des outils propres.
► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse.
► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire.
► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé.
Conditions préalables
● Système de vide mis à l’air à la pression atmosphérique
● Alimentation de tension interrompue
22/46
Retrait
1
2
3
Fig. 5:
Retrait du capteur
1 Joint avec anneau de centrage
2 Obturateur de protection
3
Pièce de tensionnement
Retrait du capteur
1. Déconnectez le câble du capteur de l’unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire.
2. Retirez le capteur du système de vide.
3. Placez l’obturateur de protection sur la bride connexion.
23/46
Maintenance
8 Maintenance
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
Maintenance dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum
Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de services de maintenance pour tous les
produits.
Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter un Centre de service Pfeiffer Vacuum pour organiser la maintenance de produits et de composants défectueux.
Maintenance dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum
Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter le Centre de service Pfeiffer Vacuum local pour
organiser la maintenance de produits et de composants défectueux.
Demande de garantie
Ouvrir l’appareil pendant la période de garantie ou endommager/supprimer le sceau de garantie annulera la garantie.
Contactez le Centre de service Pfeiffer Vacuum en cas d’intervalle de maintenance raccourcis lié au processus.
Garantie
Tout dysfonctionnement de l’équipement résultant directement d’une contamination et de
l’usure n’est pas couvert par la garantie.
Commencer par lire intégralement les sections
Lire intégralement la section consacrée aux instructions de travail avant de commencer à
travailler.
8.1
Maintenance du capteur
Pfeiffer Vacuum a calibré le capteur à l’usine sur les valeurs standard. Le capteur est sans entretien.
Remplacement des composants défectueux
► Remplacez la chambre d’ionisation et l’aide d'amorçage ou toute la chambre de mesure (sonde
de remplacement) seulement si l’unité est défectueuse.
► Remplacez toute la chambre de mesure si celle-ci est défectueuse ou fortement contaminée.
24/46
Maintenance
8.2
Démontage du capteur
AVIS
Défaillance due à la contamination et à la détérioration
Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et
entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts
nuisent au fonctionnement.
► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux
sur les installations ultra-vide ou à vide élevé.
► Utilisez uniquement des outils propres.
► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse.
► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire.
► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé.
Condition préalable
● Capteur retiré du système de vide
Outils nécessaires
● Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 2
● Pinces pour circlip
● Pinces
3
4
2
5
1
Fig. 6:
Démontage du capteur
1 Circlip
2 Chambre d'ionisation
3 Chambre de mesure
4
5
Unité électronique
Vis moletée
Démontage du capteur
1. Desserrez la vis moletée du côté de l'unité électronique.
2. Retirez la chambre de mesure complète et retirez-la de l’unité électronique.
3. Retirez le circlip.
4. Retirez la chambre d'ionisation de la chambre de mesure.
25/46
Maintenance
8.3
Remplacement de l’aide d'amorçage
AVIS
Défaillance due à la contamination et à la détérioration
Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et
entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts
nuisent au fonctionnement.
► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux
sur les installations ultra-vide ou à vide élevé.
► Utilisez uniquement des outils propres.
► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse.
► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire.
► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé.
Outils nécessaires
● Outil de montage pour l’aide d'amorçage
● Pinces
Pièce détachée requise
● Aide d'amorçage
1
2
Fig. 7:
Retrait de l’aide à l’amorçage
1 Aide d'amorçage
2
Retrait de l’aide à l’amorçage
► Retirez l’aide à l’amorçage.
26/46
Outil de montage
Maintenance
1
3
2
Fig. 8:
Insertion de l'aide d'amorçage dans l'outil de montage
1 Aide d'amorçage
2 Extrémité dentelée de l’aide d'amorçage
3
Outil de montage
Insertion de l'aide d'amorçage dans l'outil de montage
1. Insérez la nouvelle aide d'amorçage dans l'outil de montage.
2. Vérifiez que la position de l’aide d'amorçage est correcte (extrémité dentelée en bas).
1
2
3
Fig. 9:
Insertion de l’aide à l’amorçage
1 Chambre de mesure (avec anode)
2 Aide d'amorçage
3
Outil de montage
Insertion de l’aide à l’amorçage
► Poussez doucement la chambre de mesure avec l’anode (neuve ou nettoyée) dans l’outil de montage jusqu’à la butée. La chambre doit être au centre et parallèle à l'axe de l’outil.
8.4
Nettoyage des composants
DANGER
Danger de mort dû au choc électrique causé par la pénétration d’humidité
La pénétration d’eau dans l’unité cause des blessures aux personnes par chocs électriques.
► Utilisez seulement l’unité dans un environnement sec.
► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité.
► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, contactez Pfeiffer Vacuum Service.
► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité.
27/46
Maintenance
AVERTISSEMENT
Risques pour la santé dus aux agents nettoyants
Les détergents utilisés peuvent nuire à la santé et causer un empoisonnement, des allergies, une irritation de la peau, des brûlures chimiques ou endommager les voies respiratoires.
► Respectez les réglementations en vigueur pour la manipulation des agents nettoyants.
► Respectez les mesures de sécurité concernant la manipulation et la mise au rebut des agents
nettoyants.
► Attention aux réactions potentielles avec les matériaux du produit.
AVIS
Dégâts causés par la pénétration d’humidité
La pénétration d’humidité, p. ex. sous forme de condensation ou d’égouttement, endommage l’unité.
► Protégez l’unité contre la pénétration de l’humidité.
► Utilisez seulement l’unité dans un environnement propre et sec.
► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité.
► Des précautions spécifiques doivent être prises en cas de risque d’égouttement d’eau.
► Ne mettez pas sous tension l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur. Contactez le Centre de service Pfeiffer Vacuum.
AVIS
Dégâts provoqués par des agents nettoyants inadaptés
L'usage d'agents nettoyants inadaptés endommage le produit.
► Ne pas utiliser de solvants qui endommageraient sa surface.
► Ne pas utiliser d'agents nettoyants agressifs ou abrasifs.
Condition préalable
● Capteur démonté selon les besoins
Outil nécessaire
● Pinces
Consommables requis
● Alcool industriel
● Chiffon (doux, non pelucheux)
Nettoyage externe de l’appareil
1. Utilisez toujours un chiffon imbibé d'alcool industriel pour le nettoyage externe.
2. Laissez sécher les surfaces complètement après le nettoyage.
Contrôle des composants quant à une contamination éventuelle
1. Contrôlez la chambre d’ionisation quant à une contamination éventuelle.
2. Contrôlez la chambre de mesure quant à une contamination éventuelle.
3. Contrôlez l’aide d'amorçage quant à une contamination éventuelle.
4. Remplacez la chambre d’ionisation si celle-ci est le seul élément contaminé.
5. Remplacez toute la chambre de mesure si celle-ci est très contaminée.
6. Remplacez l’aide d'amorçage si l’amorçage est contaminé.
Nettoyage des composants
1. Enlevez l'aide à l’amorçage usée.
2. Effectuez seulement le travail concentriquement sur les surfaces d'étanchéité.
3. Avec le chiffon de lustrage, frottez les parois internes de la chambre de mesure jusqu’à la rainure
du circlip jusqu’à ce qu’elles brillent.
4. Insérez l’aide à l’amorçage neuve.
5. Réinstallez le capteur.
28/46
Maintenance
8.5
Installez le capteur
DANGER
Danger de mort par électrocution
En l'absence de raccordement à la terre, la circulation de la tension est dangereuse en cas de contact et peut endommager les composants électroniques.
► Serrez toujours l’unité électronique avec la vis moletée.
► Vérifiez que la vis moletée de l’unité électronique a été serrée correctement.
AVIS
Défaillance due à la contamination et à la détérioration
Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et
entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts
nuisent au fonctionnement.
► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux
sur les installations ultra-vide ou à vide élevé.
► Utilisez uniquement des outils propres.
► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse.
► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire.
► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé.
AVIS
Éclats électriques liés à l’hélium
L'hélium peut causer des éclats électriques dans les circuits électroniques de l’unité, ce qui va les
détruire.
► Mettez l’unité hors circuit avant d’effectuer un test d'étanchéité.
► Démontez l’unité électronique avant d’effectuer un test d'étanchéité.
La chambre de mesure complète (jauge de remplacement) est préassemblée.
1
8
Fig. 10:
E 0 2
4
C
A 8 6
Interrupteur pour valeur de calibrage CAL
1 Autocollant pour la valeur de calibrage du capteur de remplacement
Réglage de la valeur de calibrage de la jauge de remplacement
► Réglez la valeur de calibrage de la jauge de remplacement sur l’interrupteur de la valeur de calibrage (CAL) de l'unité électronique.
29/46
Maintenance
1
6
5
2
3
4
Fig. 11:
Installez le capteur
1 Chambre de mesure
2 Unité électronique
3 Vis moletée
4
5
6
Chambre de mesure (complète)
Circlip
Chambre d'ionisation
Outils nécessaires
● Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 2
● Pinces pour circlip
● Pinces
Installation du capteur
1. Respectez l'arrangement de la chambre d’ionisation.
2. Poussez la chambre d’ionisation dans la chambre de mesure jusqu’à la butée mécanique.
3. Montez le circlip.
4. Poussez la chambre de mesure complète dans l’unité électronique jusqu’à la butée mécanique.
5. Vérifiez que les broches restent droites.
6. Fixez la vis moletée du côté de l'unité électronique.
7. Effectuez un test d’étanchéité sur la chambre de mesure lorsque cela est possible.
– Taux de fuite < 10-9 hPa l/s
30/46
Dysfonctionnements
9 Dysfonctionnements
Garantie
Tout dysfonctionnement de l’équipement résultant directement d’une contamination et de
l’usure n’est pas couvert par la garantie.
Rectification des dysfonctionnements (Reset)
En cas de dysfonctionnement, Pfeiffer Vacuum recommande de débrancher la tension
d'alimentation et de la rebrancher après 5 secondes.
9.1
Dépanner
Perturbation
LED
« ST »
Pas de communication
via l’interface numérique
Éteinte
Pas d'alimentation
1. Contrôlez la connexion du capteur.
2. Établissez la tension d’alimentation.
Valeur mesurée instable
Allumée en vert
Capteur contaminé
● Remplacez la chambre d’ionisation.
● Remplacez la chambre de mesure complète.
Valeur mesurée
« 999999 » (dépassement vers le haut de la
plage)
Allumée
en jaune
Pas de haute tension
dans la
chambre de
mesure
Activez la haute tension via
[P:041].
Clignote
en rouge
LED
« HVST »
Éteinte
Éteinte
Cause possible
Action corrective
Surpression
dans la
chambre de
mesure
1. Évacuez à p < 1 × 10-2 hPa
2. Désactivez le capteur via l’interface, attendez 5 secondes
et réactivez-le (remise à zéro).
Erreur EEPROM
Désactivez le capteur via l’interface, attendez 5 secondes et réactivez-le (remise à zéro).
Remplacez le capteur.
Valeur mesurée
« 000000 » (dépassement vers le bas de la
plage)
Allumée
en jaune
Valeur mesurée constante à env.
5 × 10-4 hPa.
Allumée en vert
Tab. 8:
9.2
Clignote
en vert
La décharge
d'un gaz n’a
pas été
amorcée
Attendez l’amorçage de la décharge de gaz (environ 5 minutes à une
pression de 10-9 hPa).
Chambre de
mesure fortement contaminée
Remplacez la chambre de mesure
complète.
Dysfonctionnements
Identification des erreurs sur chambre de mesure
Si vous êtes presque certain de la cause d’une erreur de chambre de mesure, utilisez un ohmmètre
pour un diagnostic approximatif. Il est inutile de remettre à l’air le système de vide.
Condition préalable
● Unité électronique retirée
Instrument nécessaire
● Ohmmètre
31/46
Dysfonctionnements
3
4
2
1
5
6
Fig. 12:
Broches de contact de la chambre de mesure
1 – 5 Broche de contact
6
Chambre de mesure
Mesure entre
Plage de point
de consigne
Causes pour lesquelles les valeurs sont en dehors de la
plage de point de consigne
5 et 6
∞
Valeur <<∞ : contamination, court-circuit de la cathode froide
Tab. 9:
Mesure
Test de résistance
1. Mesurez sur les broches de contact de la chambre de mesure avec un ohmmètre.
2. Remplacez toute la chambre de mesure si la valeur mesurée est en dehors de la gamme du point
de consigne.
32/46
Expédition
10
Expédition
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement par produits contaminés
L’expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la santé et l’ sécurité du personnel de maintenance.
► Conforme aux instructions pour une distribution en toute sécurité.
Décontamination payante
Pfeiffer Vacuum décontamine les produits qui ne sont pas clairement déclarés comme
« Sans contaminants », à votre charge.
Expédier le produit en toute sécurité
► L’expédition de produits microbiologiques, explosibles ou ayant subi une contamination radioactive est interdite.
► Respecter les consignes d’expédition des pays et des sociétés de transport impliqués.
► Les risques potentiels doivent être mis en évidence sur la face extérieure de l’emballage.
► Téléchargez les explications sur la contamination en vous connectant à Pfeiffer Vacuum Service.
► Toujours joindre une déclaration de contamination dûment remplie.
33/46
Recyclage et mise au rebut
11
Recyclage et mise au rebut
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
Protection de l’environnement
Vous devez mettre au rebut le produit et ses composants conformément aux directives applicables pour la protection des personnes, de l’environnement et de la nature.
● Contribuez à la réduction du gaspillage des ressources naturelles.
● Évitez toute contamination.
11.1 Informations générales sur la mise au rebut
Les produits Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables.
► Mettez au rebut nos produits en séparant :
– Fer
– Aluminium
– Cuivre
– Matière synthétique
– Composants électroniques
– Huiles et graisses, sans solvant
► Observez les mesures de sécurité spéciales pour la mise au rebut de :
– Fluoroélastomères (FKM)
– Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé
11.2
Mise au rebut des capteurs
Les capteurs Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux qui doivent être recyclés.
1. Démantelez l’unité électronique.
2. Décontaminez les composants qui entrent en contact avec les gaz de procédé.
3. Séparez les composants en matériaux recyclables.
4. Recyclez les composants non contaminés.
5. Mettez au rebut le produit ou les composants de façon sûre en conformité avec toutes les directives applicables.
34/46
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
12
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
Nous offrons un service de première classe
Une longue durée de vie des composants du vide, associée à des temps d’arrêt réduits, sont ce que
vous attendez clairement de nous. Nous répondons à vos besoins par des produits efficaces et un service d’exception.
Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux
composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit
Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien
évidemment.
Nos ingénieurs commerciaux et techniciens de service professionnels sont à votre disposition pour
vous assurer un soutien pratique dans le monde entier. Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de
services, allant des pièces de rechange d’origine aux accords de service.
Profitez du service Pfeiffer Vacuum
Qu'il s’agisse du service préventif sur place de notre service sur site, du remplacement rapide par des
produits de rechange comme neufs ou de la réparation dans un centre de service proche de chez
vous ; vous disposez d'une variété d’options pour maintenir la disponibilité de votre équipement. Vous
trouverez des informations détaillées ainsi que les adresses sur notre site web dans la section Pfeiffer Vacuum Service.
Des conseils sur la solution optimale sont disponibles auprès de votre interlocuteur Pfeiffer Vacuum.
Pour un déroulement rapide et efficace de la procédure de service, nous recommandons de suivre les étapes suivantes :
1. Télécharger les modèles de formulaire actuels.
─ Déclaration de demande de service
─ Demande de service
─ Déclaration de contamination
a) Démonter tous les accessoires et les conserver (toutes les pièces externes
montées telles que la vanne, le filtre d’arrivée, etc.).
b) Vidanger le fluide d'exploitation / lubrifiant si nécessaire.
c) Vidanger le fluide de refroidissement si nécessaire.
2. Remplir la demande de service et la déclaration de contamination.
ANFORDERUNG SERVICE
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
3. Envoyer les formulaires par e-mail, fax ou par courrier à votre centre de service local.
4. Vous recevrez une réponse de Pfeiffer Vacuum.
Envoi de produits contaminés
Aucune unité ne sera acceptée si elle est contaminée par des substances micro-biologiques, explosives
ou radioactives. Si les produits sont contaminés ou si la déclaration de contamination est manquante,
Pfeiffer Vacuum contactera le client avant de démarrer la maintenance. Par ailleurs, selon le produit et
le niveau de contamination, des frais de décontamination supplémentaires peuvent être facturés.
35/46
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails contenus dans la déclaration de contamination.
a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec.
b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air.
c) Sceller le produit dans un film de protection approprié.
d) Emballer le produit dans des conteneurs de transport stables appropriés uniquement.
e) Respecter les conditions de transport en vigueur.
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
6. Joindre la déclaration de contamination sur l’extérieur de l’emballage.
7. Envoyer ensuite le produit à votre centre de service local.
8. Vous recevrez un message de confirmation / un devis de la part de
Pfeiffer Vacuum.
Pour toutes les demandes de service, nos Conditions générales de vente et de livraison ainsi que nos
Conditions générales de réparation et de maintenance sont appliquées aux équipements et composants du vide.
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Pièces de rechange
13
Pièces de rechange
Commande de pièces de rechange
► Vous devez vous munir du numéro de pièce ainsi que des informations complémentaires sur la
plaque signalétique.
► Installez uniquement des pièces détachées d'origine.
3
2
1
Fig. 13:
Chambre de mesure complète (jauge de remplacement)
1 Circlip
2 Chambre d'ionisation
3
Chambre de mesure
Description
Numéro de commande
Kits d'aide d'amorçage (10 x)
BN 845 995 -T
Outil de montage pour l’aide d'amorçage
PT 120 316 -T
Chambre d’ionisation (titane, acier inoxydable)
IKT 010
PT 120 313 -T
Chambre d'ionisation (acier surfin)
IKT 011
PT 120 312 -T
Chambre de mesure complète
IKT 010
PT 120 320 -T
IKT 011
PT 120 300 -T
Tab. 10:
Pièces de rechange
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Accessoires
14
Accessoires
Reportez-vous à la gamme des accessoires de pompes turbomoléculaires HiPace à palier
hybride (capteurs de pression) sur notre site Internet.
Reportez-vous à la gamme des accessoires de pompes turbomoléculaires HiPace à lévitation magnétique (capteurs de pression) sur notre site Internet.
14.1 Informations sur l’accessoire
Joints avec anneau de centrage et filtre
Filtre disponible avec différentes grandeurs de pores pour la protection du système de mesure contre
toute contamination lorsque les applications représentent un risque de contamination
14.2
38/46
Commande d’accessoires
Description
Référence de commande
Anneau de centrage avec filtre en métal fritté, grandeur de pores
0,02 mm, FKM/acier inoxydable, DN 25 ISO-KF
PF 117 225 -T
Caractéristiques techniques et dimensions
15
Caractéristiques techniques et dimensions
15.1
Généralités
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr | mm Hg
100
1
0,1
0,75
1 · 10
1,000
100
1 · 10
1
0,01
1 · 10
7.5 · 10-3
1
1 · 10-3
100
1
0,1
0,75
kPa
10
0,01
1,000
10
1
7,5
Torr | mm Hg
1,33
1,33 · 10-3
133,32
1,33
0,133
1
mbar
1
1 · 10
bar
1,000
1
Pa
0,01
hPa
-3
5
-5
1 Pa = 1 N/m
Tab. 11:
2
Tableau de conversion : unités de pression
mbar l/s
mbar l/s
Pa m3/s
sccm
Torr l/s
atm cm3/s
1
0,1
59,2
0,75
0,987
592
7,5
10
3
Pa m /s
sccm
1
3
atm cm /s
9,87
1.69 · 10
1.69 · 10
1
1,33
0,133
78,9
1
1,32
1,01
0,101
59,8
0,76
1
-2
Torr l/s
Tab. 12:
750
-3
-3
-2
1,27 · 10
1.67 · 10-2
Tableau de conversion : unités de débit de gaz
15.2 Fiche technique
Paramètre
Valeur
Gamme de mesure (air, N2)
5 × 10-8 – 1 × 10-2 hPa
Pression maximum (absolue)
10 000 hPa, limitée aux gaz inertes
Pression de rupture (absolue)
> 13 000 hPa
Principe de mesure
Cathode froide
Précision (N2)
30 % de la valeur mesurée
Répétabilité (N2)
5 % de la valeur mesurée
Tab. 13:
Valeurs de mesure et de pression
Paramètre
Valeur
Temps de réponse
en fonction de la pression
< 100 ms
-6
p > 10 hPa
-6
-8
p = 10 – 10 hPa
Tension d’alimentation
environ 1 s
Classe 2/LPS
sur le capteur
+ 5 V DC (± 5 %)
Ondulation
0,1 Vpp max.
Tension d'amorçage (dans la chambre de mesure)
≤ 4,5 kV
Tension de fonctionnement (dans la chambre de mesure)
≤ 3,3 kV
Courant de service (dans la chambre de mesure)
IKT 010
Courant de faible intensité
IKT 011
Courant fort
Puissance absorbée
≤2W
Fusible (à raccorder en série)
≤ 1 AT
39/46
Caractéristiques techniques et dimensions
Paramètre
Valeur
Raccordement (électrique)
Longueur de câble (l)
Concept de mise à la terre
Tab. 14:
PT R7x 0xx
PT R7x 1xx
Molex PicoBlade, 4 broches,
blindé
(câble avec connecteur approprié adapté pour TIC 010)
PT R7x 5xx
Connecteur AccessLink
(Câble avec connecteur approprié pour HiPace Neo)
PT R7x 05x
PT R7x 55x
0,5 m
PT R7x 100
1m
PT R7x 150
1,5 m
Raccord vide et masse signal
raccordé à 10 kΩ (différence
de potentiel ≤ 16 V)
Données électriques
Paramètre
Valeur
Volume interne
19,9 cm3 environ
Poids
< 280 g
Tab. 15:
Volume interne et poids
Paramètre
Humidité relative de l’air
(pour 30 jours par an)
1 × 10 – 1 × 10 hPa
≤ 70 % (sans condensation)
1 × 10-7 – 1 × 10-2 hPa
≤ 95 % (sans condensation)
-2
Orientation de montage
Arbitraire
Usage
En intérieur uniquement
Altitude maximum de l’installation
6000 m MSL
Degré de pollution
2
Degré de protection
IP40
Tab. 16:
Conditions ambiantes
Paramètre
Valeur
Fonctionnement
5 – 55 °C
Stockage
-40 – +70 °C
Étuvage
≤ 150 °C 1)
Tab. 17:
Températures
Paramètre
Valeur
Bride
Acier surfin (1.4435)
Chambre de mesure
Acier surfin (1.4435)
Passage (isolation)
Céramique (Al2O3), verre
Passage (anneau)
Acier surfin (1.4435)
Passage (anode)
Molybdène (Mo)
Passage (broche)
Alliage nickel (Ni)
1)
40/46
Valeur
-8
Sans unité électronique
Caractéristiques techniques et dimensions
Paramètre
Valeur
Chambre d'ionisation
IKT 010 : Titane, acier inoxydable (1.4016)
IKT 011 : Acier surfin (1.4301, 1.4016)
Aide d'amorçage
Tab. 18:
Substances en contact avec le fluide
Dimensions
15
79
l
DN 25 ISO-KF
44
15.3
Acier surfin (1.4310)
44
Fig. 14:
Dimensions
Dimensions en mm.
l Longueur du câble de raccordement
41/46
The products IKT 010 and IKT 011
- conform to the UL standard
UL 61010-1:2012.
- are certified to the CAN/CSA standard
CAN/CSA C22.2 No. 61010-1-12.
Déclaration de conformité CE
La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant.
Déclaration pour produit(s) du type :
Capteur à cathode froide
IKT 010
IKT 011
Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes.
Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses, directive déléguée
2015/863/UE
Normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées :
DIN EN IEC 61000-6-2:2019
DIN EN IEC 61000-6-3:2022
DIN EN 61010-1:2020
DIN EN IEC 61326-1:2022
DIN EN IEC 63000:2019
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Directeur général
Asslar, 2023-02-22
Déclaration de Conformité UK
La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant.
Déclaration pour produit(s) du type :
Capteur à cathode froide
IKT 010
IKT 011
Nous déclarons par la présente que le produit cité satisfait à toutes les exigences applicables des Directives Britanniques suivantes.
Réglementation 2016 sur la Compatibilité Electromagnétique
Réglementation 2012 sur la Limitation de l'Utilisation de Certaines Substances Dangereuses dans les Equipements Electriques et Electroniques
Standards et spécifications appliqués :
EN IEC 61000-6-2:2019
EN IEC 61000-6-3:2021
EN 61010-1:2010 + A1:2019 + A1:2019/AC:2019
EN IEC 61326-1:2021
EN IEC 63000:2018
Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitution du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park,
MK169PS Newport Pagnell.
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Directeur général
Asslar, 2023-02-22
45/46
*BG5163*
ed. D - Date 2405 - P/N:BG5163BFR
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