Pfeiffer HiCube Neo Mode d'emploi

MANUEL DE L'UTILISATEUR
FR
Traduction d'original
HICUBE NEO
Groupe de pompage turbomoléculaire
Cher client,
Nous vous remercions d’avoir choisi un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouveau groupe de
pompage turbomoléculaire a été conçu pour vous donner entière satisfaction pour votre
application, de par sa conception rigoureuse et son parfait fonctionnement. Le nom
Pfeiffer Vacuum représente une technique du vide de haute qualité, se décline en une
gamme exhaustive et variée de produits de grande qualité, assortis d’un service client
irréprochable. En capitalisant sur notre expertise, nous avons développé une multitude de
compétences qui contribuent à la sécurité et à l’efficacité de mise en œuvre de nos produits.
Nous sommes convaincus que notre produit sera à la hauteur de vos attentes : une solution
efficace et fonctionnelle pour votre application, sans perturber votre activité.
Veuillez lire ce manuel de l’utilisateur avant de mettre votre produit en service pour la
première fois. Si vous avez des questions ou suggestions, n’hésitez pas à nous contacter par
courriel à l’adresse info@pfeiffer-vacuum.de.
Vous trouverez d’autres manuels de l’utilisateur de Pfeiffer Vacuum dans le Centre de
téléchargement sur notre site Internet.
Exclusion de responsabilité
Ce manuel de l’utilisateur décrit l’ensemble des modèles et variantes de votre produit.
Veuillez noter qu’il est possible que votre produit ne dispose pas de toutes les
caractéristiques d’équipement décrites dans ce document. Pfeiffer Vacuum adapte en
permanence et sans avis préalable ses produits afin qu’ils soient à la fine pointe de la
technologie. Veuillez prendre en compte qu’il y avoir des divergences entre le manuel de
l’utilisateur en ligne et la manuel de l’utilisateur imprimé fourni avec votre produit.
En outre, Pfeiffer Vacuum décline toute responsabilité ou obligation pour tout dommage
résultant de l’utilisation du produit en contradiction avec son utilisation conforme à l’usage
prévu ou en cas d’utilisation explicitement définie comme étant une mauvaise utilisation
prévisible.
Droits d’auteur (Copyright)
Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce
document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits
ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations
contenues dans ce document.
2/88
Table des matières
Table des matières
1
Au sujet de ce manuel
1.1 Validité
1.1.1 Documents applicables
1.1.2 Variantes
1.2 Groupe cible
1.3 Conventions
1.3.1 Instructions dans le texte
1.3.2 Pictogrammes
1.3.3 Étiquettes sur le produit
1.3.4 Abréviations
9
9
9
9
9
9
9
10
10
11
2
Sécurité
2.1 Information générale sur la sécurité
2.2 Consignes de sécurité
2.3 Mesures de sécurité
2.4 Limites d’utilisation du produit
2.5 Utilisation conforme à l’usage prévu
2.6 Utilisations non conformes prévisibles
13
13
13
15
16
17
17
3
Description du produit
3.1 Fonction
3.1.1 Interface de fonctionnement
3.1.2 Actionneur
3.1.3 Refroidissement
3.2 Identification du produit
3.3 Caractéristiques du produit
3.3.1 Options de combinaison pour modèle de bureau HiCube Neo
3.3.2 Options de combinaison modèle autonome HiCube Neo
3.4 Étendue de la livraison
18
18
18
19
19
19
20
20
21
22
4
Transport et stockage
4.1 Transport du groupe de pompage
4.2 Stocker le groupe de pompage
23
23
24
5
Installation
5.1 Préparatifs pour l'installation
5.2 Configuration du groupe de pompage
5.3 Ancrage du groupe de pompage
5.4 Raccordement côté vide élevé
5.4.1 Construction de la contre-bride
5.4.2 Utilisation d’un pare-éclats ou d’écran protecteur
5.4.3 Utilisation du compensateur de vibrations
5.4.4 Raccordement externe de la pompe turbomoléculaire
5.4.5 Installation d'une bride ISO-KF
5.4.6 Installation d'une bride ISO-K sur ISO-K
5.4.7 Fixation de la bride ISO-K à l’ISO-F
5.4.8 Fixation d’une bride CF sur CF-F
5.5 Raccordement côté d’échappement
5.6 Appoint de fluide d’exploitation
5.7 Raccordement d’accessoires
5.8 Raccordement au réseau d’alimentation
26
26
26
27
28
28
29
30
30
31
31
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33
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37
39
6
Interfaces et raccordements
6.1 Raccordement « Ethernet » (LAN)
6.2 Interface RS-485
6.3 Option jauge/IO
6.4 Connexion à l’interface web
40
40
41
42
42
3/88
Table des matières
6.5
4/88
6.4.1 Raccordement de l’interface web via la configuration réseau DHCP
réglée par défaut à l’usine
6.4.2 Raccordement de l’interface web via l’adresse IP statique réglée
par défaut à l’usine
6.4.3 Connexion de l’interface web via l’adresse IP définie par l’utilisateur
Connexion au serveur OPC UA
6.5.1 Connexion au serveur OPC UA
6.5.2 Découverte de l’adresse IP de la HiCube Neo
6.5.3 Accès au serveur OPC UA HiCube Neo
42
43
43
43
43
44
44
7
Fonctionnement
7.1 Tableau de bord
7.2 Menu principal
7.3 Sous-menus
7.4 Écran de contrôle de vide
7.5 Mis en circuit/hors circuit du groupe de pompage
7.6 Tendances
7.6.1 Ajout et édition de tendances
7.6.2 Visualisation des détails d’une tendance
7.7 Gestion des dispositifs
7.7.1 Ajout d’un nouveau dispositif
7.7.2 Édition et filtrage des informations détaillées
7.8 Page d’aide
7.9 Messages
7.10 Réglages
7.10.1Réglages généraux
7.10.2Réglages du réseau
7.10.3Conversion d’unités
7.11 Mise à jour du micrologiciel via le Cloud
7.11.1Téléversement du micrologiciel vers le dispositif
7.11.2Procédure de mise à jour
7.11.3Achèvement d’une mise à jour
45
45
46
47
47
49
51
51
52
53
54
55
56
57
58
58
58
59
59
59
60
60
8
Maintenance
8.1 Informations générales sur la maintenance
8.2 Intervalles de maintenance et responsabilités
8.3 Retrait de composants pour la maintenance
8.4 Démontage des raccordements électriques
8.5 Installation/retrait de la pompe turbomoléculaire
8.5.1 Retrait de la pompe turbomoléculaire du modèle de bureau
8.5.2 Retrait de la pompe turbomoléculaire du modèle autonome
8.5.3 Installation de la pompe turbomoléculaire dans un modèle de bureau
8.5.4 Installation de la pompe turbomoléculaire dans le modèle autonome
8.6 Installation/retrait de la pompe primaire
8.6.1 Retrait de la pompe primaire du modèle de bureau
8.6.2 Démontage de la pompe primaire du modèle autonome
8.6.3 Installation de la pompe primaire dans le modèle de table
8.6.4 Installation de la pompe primaire dans le modèle autonome
61
61
61
62
62
63
63
64
65
9
Mise hors service
9.1 Mettre hors service pour de longues périodes
9.2 Remettre en service
71
71
71
10
Recyclage et mise au rebut
10.1 Informations générales sur la mise au rebut
10.2 Mettre au rebut des pompes turbomoléculaires
10.3 Élimination de la pompe rotative à palettes
10.4 Mise au rebut des pompes roots à plusieurs étages
10.5 Mise au rebut de la pompe Scroll
72
72
72
72
73
73
66
67
67
67
68
69
Table des matières
10.6 Mise au rebut des pompes à diaphragme
73
11
Dysfonctionnements
11.1 Généralités
11.2 Dépannage
11.3 Messages d’anomalie de fonctionnement
74
74
74
75
12
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
77
13
Accessoires
79
14
Caractéristiques techniques et dimensions
14.1 Généralités
14.2 Fiche technique
14.2.1Fiche technique de l’unité de bureau
14.2.2Fiche technique du modèle autonome
14.3 Substances en contact avec le fluide
14.4 Dimensions
80
80
80
80
81
83
83
Déclaration de conformité CE
86
Déclaration de Conformité UK
87
5/88
Liste des tableaux
Liste des tableaux
Tab. 1:
Tab. 2:
Tab. 3:
Tab. 4:
Tab. 5:
Tab. 6:
Tab. 7:
Tab. 8:
Tab. 9:
Tab. 10:
Tab. 11:
Tab. 12:
Tab. 13:
Tab. 14:
Tab. 15:
Tab. 16:
Tab. 17:
Tab. 18:
Tab. 19:
Tab. 20:
Tab. 21:
Tab. 22:
Tab. 23:
Tab. 24:
Tab. 25:
Tab. 26:
Tab. 27:
Tab. 28:
Tab. 29:
Tab. 30:
Tab. 31:
Tab. 32:
Tab. 33:
Tab. 34:
Tab. 35:
Tab. 36:
Tab. 37:
Tab. 38:
6/88
Étiquettes sur le produit
Abréviations utilisées dans ce document
Limites d’utilisation de la HiCube Neo
Symboles et couleurs des icônes d’état et des composants
Modèle de bureau HiCube Neo | Combinaisons de composants
Modèle de burau HiCube Neo | Accessoires
Modèle autonome HiCube Neo | Combinaisons de composants
Modèle autonome HiCube Neo | Accessoires
Conditions requises pour le raccord de vide élevé sur site
Conditions requises pour le raccord de vide élevé sur site
Réduction de la vitesse de pompage lors de l’utilisation d’un bouclier pareéclats ou d’un écran protecteur
Raccordements d’accessoires préréglés sur l’unité de commande électronique TC 80 et TC 110
Raccordements d’accessoires préréglés sur l’unité de commande électronique TC 400
État de la connexion Ethernet
Caractéristiques de l’interface RS-485
Agencement de la terminaison de la borne de connexion M12 RS-485
Vue d’ensemble de tous les utilisateurs
Informations sur l’état
Raccordements des accessoires préréglés pour TC 80 et TC 110
Raccordements des accessoires préréglés pour TC 400
Couple de serrage pour la fixation des pompes turbomoléculaires
Dépannage
Tableau de conversion : Unités de pression
Tableau de conversion : Unités de débit du gaz
Fiche technique HiCube 80 Neo
Fiche technique HiCube 300 Neo
Fiche technique HiCube 80 Neo
Fiche technique HiCube 300 Neo
Fiche technique HiCube 450 Neo
Fiche technique HiCube 800 Neo
Matières entrant en contact avec la substance du procédé
Dimensions HiCube 80 Neo
Dimensions HiCube 300 Neo
Dimensions HiCube 80 Neo
Dimensions HiCube 300 Neo
Dimensions HiCube 350 Neo
Dimensions HiCube 450 Neo
Dimensions HiCube 700 Neo
10
12
17
19
20
20
21
22
29
29
30
38
39
41
41
41
46
48
62
62
63
75
80
80
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82
82
82
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83
84
84
84
84
85
85
85
Liste des figures
Liste des figures
Fig. 1:
Fig. 2:
Fig. 3:
Fig. 4:
Fig. 5:
Fig. 6:
Fig. 7:
Fig. 8:
Fig. 9:
Fig. 10:
Fig. 11:
Fig. 12:
Fig. 13:
Fig. 14:
Fig. 15:
Fig. 16:
Fig. 17:
Fig. 18:
Fig. 19:
Fig. 20:
Fig. 21:
Fig. 22:
Fig. 23:
Fig. 24:
Fig. 25:
Fig. 26:
Fig. 27:
Fig. 28:
Fig. 29:
Fig. 30:
Fig. 31:
Fig. 32:
Fig. 33:
Fig. 34:
Fig. 35:
Fig. 36:
Fig. 37:
Fig. 38:
Fig. 39:
Fig. 40:
Fig. 41:
Fig. 42:
Fig. 43:
Fig. 44:
Fig. 45:
Fig. 46:
Fig. 47:
Fig. 48:
Fig. 49:
Fig. 50:
Fig. 51:
Fig. 52:
Fig. 53:
Position des étiquettes sur le produit – modèle de bureau
Position des étiquettes sur le produit – modèle autonome
Vue d’ensemble du produit avec des exemples de combinaisons – modèle
de bureau
Vue d’ensemble du produit avec des exemples de combinaisons – modèle
autonome
Tableau de bord HiCube Neo
Transport du groupe de pompage sans emballage — modèle de table
Transport du groupe de pompage sans emballage — modèle autonome
Ancrage du modèle de table
Ancrage du modèle autonome
Raccord à bride ISO-KF à ISO-KF
Raccord à bride ISO-K à ISO-F, boulons-agrafes à tête bombée
Raccordement de la bride ISO-K avec ISO-F, vis à tête hexagonale et trou
taraudé
Raccord à bride ISO-K avec ISO-F, goujon fileté et trou taraudé
Raccord à bride ISO-K avec ISO-F, goujon fileté et trou traversant
Raccord à bride CF-F, vis à tête hexagonale et trous traversants
Raccord à bride CF-F, goujons et trous taraudés
Raccord à bride CF-F, goujons et trous traversants
Exemple de raccord d’échappement MVP
Exemple de raccord d’échappement HiScroll
Appoint de fluide d’exploitation – Exemple SmartVane
Raccordement de dispositifs accessoires pour TC 80 et TC 110
Raccordement des dispositifs accessoires pour TC 400
Raccordement au réseau d’alimentation
Vue d’ensemble de toutes les interfaces et de tous les raccordements
Raccordement « Ethernet » (LAN)
Option jauge/IO
Tableau de bord HiCube Neo
Vue d’ensemble de tous les utilisateurs
Menu principal pour HiCube Neo
Sous-menu des réglages HiCube Neo
Appel du panneau de commande Informations
Panneau de commande Informations de l’écran de contrôle de vide
Paramètres dans l’écran de contrôle de vide
Démarrage du groupe de pompage
Arrêt du groupe de pompage
Page de vue d’ensemble des tendances HiCube Neo
Ajout de nouvelles tendances
Suppression de tendances
Visualisation des détails d’une tendance
Visualisation de la valeur détaillée
Écran de vue d’ensemble des dispositifs
Vue d’ensemble à vignettes
Saisie des informations
Ajout d’un nouveau dispositif
Liste des paramètres d’un dispositif
Visualisation et édition des informations détaillées
Filtrage de la liste des paramètres par code/nom Pfeiffer Vacuum
Page d’aide HiCube Neo
Journaux HiCube Neo
Vue d’ensemble de tous les messages
Visualisation des informations détaillées sur un message
Réglages généraux
Changement de l’adresse IP
11
11
18
18
19
23
24
27
28
31
31
32
32
33
33
34
34
35
36
37
38
38
39
40
41
42
45
46
46
47
47
48
48
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50
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51
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54
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54
55
55
56
56
57
57
57
58
58
7/88
Liste des figures
Fig. 54:
Fig. 55:
Fig. 56:
Fig. 57:
Fig. 58:
Fig. 59:
Fig. 60:
Fig. 61:
Fig. 62:
Fig. 63:
Fig. 64:
Fig. 65:
Fig. 66:
Fig. 67:
Fig. 68:
Fig. 69:
Fig. 70:
Fig. 71:
Fig. 72:
8/88
Vue d’ensemble des unités
Téléversement du micrologiciel vers le dispositif
Procédure de mise à jour
Achèvement d’une mise à jour
Démontage des raccordements électriques
Détachement du boîtier supérieur – modèle de bureau
Retrait de la pompe turbomoléculaire – modèle de bureau
Retrait de la pompe turbomoléculaire – modèle autonome
Installation de la pompe turbomoléculaire – modèle de bureau
Installation du boîtier supérieur – modèle de bureau
Installation de la pompe turbomoléculaire – modèle autonome
Retrait de la pompe primaire – modèle de bureau
Retrait de la pompe primaire – HiScroll
Installation de la pompe primaire – modèle de bureau
Exemple d’installation de la pompe primaire – HiScroll
Exemple de message d’erreur sur le tableau de bord
Exemple de message d’erreur dans le menu Messages
Dimensions HiCube Neo – modèle de bureau
Dimensions HiCube Neo – modèle autonome
59
59
60
60
62
63
64
64
65
66
66
67
68
69
69
75
76
83
84
Au sujet de ce manuel
1 Au sujet de ce manuel
IMPORTANT
À lire attentivement avant utilisation.
Gardez le manuel pour pouvoir le consulter ultérieurement.
1.1
Validité
Ce manuel de l’utilisateur est un document Pfeiffer Vacuum destiné au client. Le manuel de l’utilisateur
décrit les fonctions du produit mentionné et fournit les informations les plus importantes pour une utilisation en toute sécurité du dispositif. La description est rédigée conformément aux directives en vigueur.
Les informations dans ce manuel de l’utilisateur se réfèrent à l’état de développement actuel du produit.
Le document reste valide tant que le client n’apporte aucun changement au produit.
1.1.1
Documents applicables
HiCube Neo
Manuel de l’utilisateur
Manuel de l’utilisateur pour les composants individuels
voir la description du produit
Déclarations de conformité
Un composant de ces instructions
Vous trouverez ces documents dans le Centre de téléchargement Pfeiffer Vacuum.
1.1.2
Variantes
Ces instructions s’appliquent aux groupes de pompage turbomoléculaires de la série HiCube Neo :
●
●
●
●
●
●
●
1.2
HiCube 80 Neo
HiCube 300 Neo
HiCube 350 Neo
HiCube 400 Neo
HiCube 450 Neo
HiCube 700 Neo
HiCube 800 Neo
Groupe cible
Ce manuel de l’utilisateur cible toutes les personnes effectuant les activités suivantes sur le produit :
●
●
●
●
●
●
Transport
Configuration (installation)
Utilisation et fonctionnement
Mise hors service
Maintenance et nettoyage
Stockage ou mise au rebut
Seules les personnes avec les qualifications techniques appropriées (personnel expert) ou ayant reçu
la formation pertinente de Pfeiffer Vacuum sont autorisées à effectuer le travail décrit dans ce document.
1.3
Conventions
1.3.1
Instructions dans le texte
Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à
réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes.
Action unique
Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape.
► Il s'agit d’une étape unique.
9/88
Au sujet de ce manuel
Action en plusieurs étapes
Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique.
1. Étape 1
2. Étape 2
3. ...
1.3.2
Pictogrammes
Les pictogrammes utilisés dans le document représentent des informations utiles.
Remarque
Conseil
1.3.3
Étiquettes sur le produit
Ce paragraphe décrit toutes les étiquettes sur le produit ainsi que leur signification.
Plaque signalétique (exemple)
La plaque signalétique se trouve à l’arrière du carter du groupe
de pompage.
Classe de protection
Cette étiquette décrit la classe de protection 1 du produit. Le positionnement indique la position de la mise à la terre.
Avertissement tension électrique
Cette étiquette avertit du risque d’électrocution lors d’interventions avec le carter ouvert.
Remarque concernant le manuel de l’utilisateur
Cette étiquette indique que ce manuel de l’utilisateur doit être lu
avant d’exécuter une tâche.
warranty seal
Tab. 1:
10/88
Sceau de garantie
Le produit est étanché, départ d’usine. L’endommagement ou le
retrait d’un sceau de garantie rend tout recours en garantie caduque.
Étiquettes sur le produit
Au sujet de ce manuel
1
4
3
2
Fig. 1:
Position des étiquettes sur le produit – modèle de bureau
1 Remarque : Lire le manuel de l’utilisateur
3
2 Plaque signalétique
4
Signe d’avertissement de tension électrique (unité
de courant)
Sceau de garantie
1
4
3
2
Fig. 2:
1.3.4
Position des étiquettes sur le produit – modèle autonome
1 Remarque : Lire le manuel de l’utilisateur
3
2 Plaque signalétique
4
Signe d’avertissement de tension électrique (unité
de courant)
Sceau de garantie
Abréviations
Abréviation
Signification dans ce document
BA
Manuel de l’utilisateur ou le numéro du manuel de l’utilisateur
CF
Bride : raccord métallique étanche conforme à la norme ISO 3669
DHCP
Dynamic Host Configuration Protocol (Ethernet)
DN
Diamètre nominal comme désignation de grandeur
f
Valeur de la vitesse de rotation d’une pompe à vide (fréquence, en tr/min ou Hz)
FKM
Caoutchouc fluoré
H
Compression élevée
HV
Bride de vide élevé, côté vide élevé
ISO
Bride : raccordement conforme aux spécifications ISO 1609 et ISO 2861
LAN
Réseau local
LED
Diode électroluminescente
MVP
Pompe à vide à membrane
PE
Terre de protection (conducteur de protection)
11/88
Au sujet de ce manuel
Abréviation
Signification dans ce document
RJ-45
Connecteur mâle-femelle normalisé pour le câblage de télécommunication (jack normalisé)
RS-485
Standard pour une interface physique, pour la transmission asynchrone de données
série (standard recommandé)
T
Température (en °C)
TC
Unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire (contrôleur turbomoléculaire)
USB
Bus universel en série
VV
Bride de vide primaire, raccord de vide primaire
Tab. 2:
12/88
Abréviations utilisées dans ce document
Sécurité
2 Sécurité
2.1
Information générale sur la sécurité
Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit :
DANGER
Danger immédiat
Indique un danger imminent causant la mort ou de graves blessures s’il est ignoré.
► Instructions pour éviter la situation dangereuse
AVERTISSEMENT
Danger potentiel
Indique un danger pouvant causer la mort ou de graves blessures s’il est ignoré.
► Instructions pour éviter la situation dangereuse
ATTENTION
Danger potentiel
Indique un danger pouvant causer des blessures bénignes s’il est ignoré.
► Instructions pour éviter la situation dangereuse
AVIS
Risque de dommages matériels
Est utilisé pour signaler des actions qui ne sont pas associées à des blessures.
► Instructions pour éviter les dommages matériels
Les notes, les conseils ou les exemples correspondent à des remarques importantes sur le
produit ou sur ce document.
2.2
Consignes de sécurité
Toutes les consignes de sécurité contenues dans ce document sont basées sur les résultats de l’analyse de risque effectuée conformément à la Directive 2006/42/CE Annexe I relative aux machines et à la
norme EN ISO 12100 Section 5. Dans la mesure du possible, toutes les phases du cycle de vie du produit ont été prises en compte.
Risques pendant le transport
AVERTISSEMENT
Danger de blessures graves en cas de chute d’objets
La chute d’objets peut entraîner des blessures sur les membres, voire même des fractures osseuses.
► Soyez particulièrement vigilant lors du transport manuel du produit.
► Ne pas empiler le produit.
► Portez un équipement de protection, tel que des chaussures de sécurité.
ATTENTION
Risque de blessures en cas de basculement ou de dérive du groupe de pompage
Les pièces de la superstructure modifient le centre de gravité. Il existe un danger d’écrasement en
cas de basculement ou de dérive.
► Placez le groupe de pompage sur une surface d’installation plane.
► Ancrez le groupe de pompage sur l’emplacement de l’installation.
► Portez des équipements de protection individuelle.
13/88
Sécurité
Risques pendant l’installation
AVERTISSEMENT
Danger de mort par électrocution en cas de dysfonctionnement
En cas de dysfonctionnement, les appareils raccordés au secteur peuvent être sous tension. Danger
de mort par électrocution en cas de contact avec des composants sous tension.
► Toujours conserver l’alimentation librement accessible de manière à pouvoir la débrancher à tout
moment.
AVERTISSEMENT
Risque de coupure lié aux pièces coupantes en mouvement, accessibles par l'ouverture de la
bride de vide élevé
L'ouverture de la bride de vide élevé permet le contact avec des pièces aux arêtes vives. Une rotation manuelle du rotor rend la situation encore plus dangereuse : il y a un risque de coupure et de
sectionnement de membres (p ex. extrémités des doigts). Les cheveux et les vêtements amples risquent d’être entraînés. Toute chute d’objet dans la pompe turbomoléculaire provoque des dommages
lors de la prochaine utilisation.
► L’obturateur d'origine ne doit être retiré qu’au moment de la connexion de la bride de vide élevé.
► Ne jamais approcher les mains de l'intérieur de la bride de vide élevé.
► Porter des gants de protection pendant l'installation.
► Ne jamais démarrer la pompe turbomoléculaire lorsque les brides de vide ne sont pas raccordées.
► L'installation mécanique doit être achevée avant de procéder à l'installation électrique.
► Empêcher l'accès à la bride de vide élevé de la pompe du côté de l'opérateur (p. ex. chambre de
vide ouverte).
AVERTISSEMENT
Risque de blessure lié à la rupture et à la projection de la pompe turbo avec le compensateur
de vibration en cas de dysfonctionnement
Un blocage soudain du rotor génère des couples hautement destructeurs conformément à la norme
ISO 27892. L'utilisation d'un compensateur de vibration entraînerait probablement la rupture et la
projection de la pompe turbo en fonctionnement. L'énergie ainsi libérée pourrait projeter la pompe
turbo ou des fragments de l'intérieur de celle-ci dans l'espace environnant. Des gaz potentiellement
dangereux pourraient être libérés. Il y a un risque de très graves blessures, voire de mort, et de dommages matériels très importants.
► Des mesures de sécurité sur site pour la compensation des couples doivent être prises.
► Avant d'installer un compensateur de vibration, vous devez d'abord contacter Pfeiffer Vacuum.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure fatale lié à un choc électrique causé par une installation incorrecte
L'alimentation électrique de l'appareil utilise des tensions mortelles. Une installation non sécurisée ou
inappropriée peut entraîner des situations dangereuses en raison des électrocutions lors des opérations avec ou sur l’unité.
► Veiller à l’intégration dans un circuit de sécurité de secours.
► Ne pas effectuer soi-même des conversions ou modifications d'unité.
ATTENTION
Risque de blessures en cas de basculement ou de dérive du groupe de pompage
Les pièces de la superstructure modifient le centre de gravité. Il existe un danger d’écrasement en
cas de basculement ou de dérive.
► Placez le groupe de pompage sur une surface d’installation plane.
► Ancrez le groupe de pompage sur l’emplacement de l’installation.
► Portez des équipements de protection individuelle.
14/88
Sécurité
Risques liés aux interfaces et aux raccordements
DANGER
Électrocution en raison de l’absence de conducteur de protection interne
Le conducteur de protection interne est fixé au logement. Une unité sans conducteur de protection
interne peut présenter un danger de mort en cas de dysfonctionnement.
► Ne tournez pas ou ne débloquez pas le conducteur de protection interne.
DANGER
Danger de mort en cas d’électrocution
Lors de l’application de tensions dépassant la très basse tension de sécurité spécifiée (conformément à IEC 60449 et VDE 0100), les mesures isolantes sont détruites. Danger de mort en cas d’électrocution au niveau des interfaces de communication.
► Connecter uniquement des appareils appropriés au système de bus.
Risques liés aux anomalies de fonctionnement
AVERTISSEMENT
Danger de mort lié à l'éjection de composants de la pompe turbomoléculaire en cas de défaut
Un blocage soudain du rotor génère des couples hautement destructeurs conformément à la norme
ISO 27892. Si la pompe turbomoléculaire n'est pas correctement fixée, elle peut rompre. L'énergie
ainsi libérée pourrait projeter la pompe turbomoléculaire ou des fragments de l'intérieur de celle-ci
dans l'espace environnant. Des gaz potentiellement dangereux pourraient être libérés. Il y a un risque de très graves blessures, voire de mort, et de dommages matériels très importants.
► Les instructions d'installation de cette pompe turbomoléculaire doivent être respectées.
► Les exigences de stabilité et de structure de la contre-bride doivent être observées.
► Utilisez uniquement les accessoires d'origine ou des matériaux de fixation agréés par Pfeiffer Vacuum pour l'installation.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure lié à la rupture et à la projection de la pompe turbo avec le compensateur
de vibration en cas de dysfonctionnement
Un blocage soudain du rotor génère des couples hautement destructeurs conformément à la norme
ISO 27892. L'utilisation d'un compensateur de vibration entraînerait probablement la rupture et la
projection de la pompe turbo en fonctionnement. L'énergie ainsi libérée pourrait projeter la pompe
turbo ou des fragments de l'intérieur de celle-ci dans l'espace environnant. Des gaz potentiellement
dangereux pourraient être libérés. Il y a un risque de très graves blessures, voire de mort, et de dommages matériels très importants.
► Des mesures de sécurité sur site pour la compensation des couples doivent être prises.
► Avant d'installer un compensateur de vibration, vous devez d'abord contacter Pfeiffer Vacuum.
2.3
Mesures de sécurité
Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels
Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit.
Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du
produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document.
15/88
Sécurité
Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit
La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit
d'origine ou installe un équipement supplémentaire
● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le
cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives
européennes applicables avant de mettre en service ce système.
Mesures de sécurité générales lors de la manipulation du produit
► Respecter toutes les dispositions de sécurité et de prévention des accidents en vigueur.
► Contrôler régulièrement que toutes les mesures de sécurité sont respectées.
► N’exposer aucune partie du corps au vide.
► Toujours assurer un raccordement sûr au conducteur de terre (PE).
► Ne jamais débrancher les fiches de raccordement en cours de fonctionnement.
► Respecter les procédures d’arrêt ci-dessus.
► Avant de travailler sur le raccord de vide secondaire, attendre que le rotor se soit complètement
arrêté (vitesse de rotation f =0).
► L'appareil ne doit jamais être mis en route lorsque le raccord de vide secondaire est ouvert.
► Tenir les conduites et les câbles éloignés des surfaces chaudes (> 70°C).
► Ne jamais remplir ou faire fonctionner l’appareil avec des produits de nettoyage ou leurs résidus.
► Ne pas effectuer soi-même des conversions ou modifications d'unité.
► Consulter la classe de protection de l’unité avant son installation ou fonctionnement dans d’autres
environnements.
2.4
Limites d’utilisation du produit
Remarques sur les conditions ambiantes
Les températures ambiantes admissibles spécifiées s'appliquent au fonctionnement de la
pompe turbo à la pression de secours maximum admissible ou avec un débit de gaz maximum, en fonction du type de refroidissement. La pompe est intrinsèquement sûre grâce à
la surveillance redondante de la température.
● La réduction de la pression de vide ou du débit du gaz permet le fonctionnement de la
pompe turbomoléculaire à des températures ambiantes plus élevées.
● Si la température de fonctionnement maximum admissible de la pompe turbomoléculaire est dépassée, l'unité d’entraînement électronique va d'abord réduire la vitesse
d'entraînement, puis la mettre hors circuit si nécessaire.
16/88
Paramètre
Valeur limite
Lieu de mise en place
Résistant aux intempéries (espace intérieur)
Pression d’air
750 hPa à 1 060 hPa
Altitude d’installation
5 000 m max.
Humidité rel. de l’air
max. 80 %, à T < 31 °C
jusqu’à max. 50 % à T < 40 °C
Planéité du plan d’appui
≤5°
Classe de protection
III
Catégorie de surtension
II
Degré de protection admissible
IP20
Type de carter (conformément à UL 50E)
Type 1
Degré de pollution
2
Température ambiante
5 °C à 30 °C avec refroidissement par convection sans débit du gaz
5 °C à 35 °C avec refroidissement par air
5 °C à 40 °C avec refroidissement à l’eau
Champ magnétique admissible ambiant max.
Voir la fiche technique de la pompe turbomoléculaire
Entrée thermique irradiée maximum
Voir la fiche technique de la pompe turbomoléculaire
Sécurité
Paramètre
Valeur limite
Température maximum admissible du rotor de la
pompe turbomoléculaire
90 ℃
Température de dégazage maximum admissible sur
la bride HV
120 ℃
Tab. 3:
2.5
Limites d’utilisation de la HiCube Neo
Utilisation conforme à l’usage prévu
● Utilisez le groupe de pompage turbomoléculaire exclusivement pour produire un vide élevé.
● Utilisez le groupe de pompage turbomoléculaire seulement dans les zones intérieures fermées.
● Faites fonctionner la variante du groupe de pompage turbomoléculaire telle que livrée seulement
avec les accessoires approuvés pour elle.
2.6
Utilisations non conformes prévisibles
Toute utilisation non conforme du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité.
Toute utilisation non conforme à l’objectif du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée
comme non réglementaire, en particulier :
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
Raccordement de l’alimentation électrique sans installation correcte
Installation avec du matériel de fixation non spécifié
Démarrage sans installation correcte (y compris la marche d’essai)
Pompage de substances toxiques
Pompage de substances radioactives
Pompage de substances contaminées biologiquement
Pompage de substances explosives
Pompage de substances corrosives
Pompage de vapeurs de condensation
Pompage de fluides
Pompage de poussière
Fonctionnement avec un débit de gaz élevé non admissible
Fonctionnement avec une pression de vide primaire élevée non admissible
Fonctionnement avec une quantité de refoulement excessive de chaleur irradiée
Fonctionnement dans des champs magnétiques d’intensité élevée non admissibles
Fonctionnement dans un mode gaz incorrect
Mise à l’air avec un débit de mise à l’air élevé non admissible
Utilisation pour générer de la pression
Utilisation dans des zones à rayonnement ionisant
Fonctionnement dans les zones potentiellement explosives
Utilisation dans des systèmes où des charges et des vibrations sporadiques ou des forces périodiques agissent sur le dispositif
● Création de conditions de fonctionnement dangereuses en raison d’un réglage par défaut sur
l’unité de commande électronique contraire au processus
● Utilisation d’accessoires ou de pièces de rechange non répertoriées dans ces instructions
● Utilisation en tant qu’outillage de transport
17/88
Description du produit
3 Description du produit
3.1
Fonction
Les groupes de pompage turbomoléculaires des séries de modèles HiCube Neo sont des unités de
pompage automatiques, prêtes à être raccordées. Le groupe de pompage turbomoléculaire est conçu
en tant que modèle de bureau portable ou que modèle autonome mobile ; il consiste en une pompe
turbomoléculaire et une pompe primaire spécialement adaptée pour elle.
2
1
5
3
4
Fig. 3:
Vue d’ensemble du produit avec des exemples de combinaisons – modèle de bureau
1 Carter
2 Pompe turbomoléculaire
3 Fente d’ancrage, 2×
4
5
Affichage tactile 7"
Pompe primaire
1
6
2
4
5
Fig. 4:
Vue d’ensemble du produit avec des exemples de combinaisons – modèle autonome
1 Pompe turbomoléculaire
2 Anneau de levage, 4×
3 Pompe primaire
3.1.1
3
4
5
6
Roulettes, 4×
Châssis
Affichage tactile 7"
Interface de fonctionnement
L’interface de fonctionnement intégrée est utilisée pour la commande et la surveillance de tout le groupe de pompage turbomoléculaire. L’affichage tactile 7" est situé sur la face avant de l’unité. Les champs
de l’opérateur sont contextuels et changent pour refléter l’affichage.
18/88
Description du produit
1
2
3
7
4
6
5
Fig. 5:
Tableau de bord HiCube Neo
1 Affichage du groupe de pompage (pompe)
2 État du système
3 Affichage de la pression (pression)
Symbole
Couleur
Diagramme de vide (écran de contrôle du vide)
Liste des paramètres
Vitesse de rotation actuelle
Signification
vert
État de marche atteint
vert foncé
État de marche pas encore atteint
gris
État de marche atteint
gris foncé
État de marche pas encore atteint
violet
État de marche atteint
violet foncé
État de marche pas encore atteint
turquoise
État de marche atteint
turquoise foncé
État de marche pas encore atteint
Coche sur l’icône d’état
État stable, absence d’avertissements ou d’erreurs
Arc tournant dans l’icône d’état
Fonction démarrée ou stoppée, état final pas encore atteint
Tab. 4:
3.1.2
4
5
6
Symboles et couleurs des icônes d’état et des composants
Actionneur
● Unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire
● Unité de commande électronique de pompe primaire
Pour les spécifications des composants individuels, consultez le manuel de l’utilisateur qui s’applique
(voir chapitre « Caractéristiques du produit », page 20).
3.1.3
Refroidissement
● Refroidissement par air
● Refroidissement par eau (option)
À des températures excessivement élevées, l'unité d'entraînement électronique réduit automatiquement
la puissance d'entraînement.
3.2
Identification du produit
► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, conservez
toujours à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique.
► Pour plus d'informations sur les certifications, se référer aux libellés correspondants sur le produit
ou consulter www.certipedia.com avec l'ID de société 000021320.
19/88
Description du produit
3.3
Caractéristiques du produit
3.3.1
Options de combinaison pour modèle de bureau HiCube Neo
Caractéristique
Modèle de bureau HiCube Neo
DN 40 ISO-KF
DN63 ISO-K
DN 63 CF-F
Bride HV
HiPace 80 Neo
PT 0660 BN
Pompe turbomoléculaire
Unité de commande électronique
HiPace 300
PT 0735 BN
HiPace 300 H
PT 0692 BN
TC 80
PT 0659 BN
TC 110
Refroidissement par air
BA
DN 100 ISO-K
DN 100 CF-F
oui
PT 0204 BN
PT 0500 BN1)
PT 0739 BN2)
Pompe à diaphragme
Alimentation en courant
MVP 015-2 DC
PU 0106 BN
MVP 030-3 DC
PU 0076 BN
Unité de courant intégrée
Unité de commande
Affichage tactile 7"
Tab. 5:
Modèle de bureau HiCube Neo | Combinaisons de composants
Caractéristique
Modèle de bureau HiCube Neo
Refroidissement par eau
en option
BA
PT 0747 BN3)
PT 0744 BN4)
I/O jauge
en option
PT 0687 BN
Vanne de ventilation
en option
PT 0771 BN5)
PT 0228 BN
Chauffage du carter 6)
En option, avec bride CF uniquement
PT 0233 BN
Tab. 6:
20/88
Modèle de burau HiCube Neo | Accessoires
1)
Pour HiPace 300
2)
Pour HiPace 80 Neo
3)
Pour HiPace 80 Neo
4)
Pour HiPace 300
5)
Pour HiPace 80 Neo
6)
Refroidissement par eau requis
Description du produit
3.3.2
Options de combinaison modèle autonome HiCube Neo
Caractéristique
Modèle autonome HiCube Neo
Bride HV
DN 40 ISO-KF
DN63 ISO-K
DN 63 CF-F
Pompe turbomoléculaire
HiPace 80 Neo
DN 100 ISO-K
DN 100 CF-F
BA
DN 160 ISO-K
DN 160 CF-F
DN 200 ISO-K
DN 200 CF-F
PT 0660 BN
HiPace 300
PT 0749 BN
HiPace 300 H
PT 0702 BN
HiPace 350
PT 0667 BN
HiPace 400
Unité de commande électronique
PT 0210 BN
HiPace 450
PT 0647 BN
HiPace 700
PT 0209 BN
HiPace 700 H
PT 0621 BN
HiPace 800
PT 0273 BN
HiPace 800 H
PT 0693 BN
TC 80
PT 0659 BN
TC 400
Refroidissement par air
PT 0203 BN
oui
PT 0500 BN7)
PT 0739 BN8)
Pompe primaire :
Pompe rotative à palettes
SmartVane 55
SmartVane 70
PD 0114 BN
Duo 6 M
PD 0062 BN
Duo 11 M
PD 0070 BN
Duo 20 M
PK 0203 BN
Pompe primaire :
Pompe roots à plusieurs étages
ACP 15
128853 BN
ACP 28
ACP 40
128852 BN
Pompe primaire :
Pompe Scroll
HiScroll 6 ATEX
HiScroll 12 ATEX
HiScroll 18 ATEX
PU 0097 BN
Alimentation en courant
Unité de courant intégrée
Unité de commande
Affichage tactile 7"
Tab. 7:
Modèle autonome HiCube Neo | Combinaisons de composants
Caractéristique
Modèle autonome HiCube Neo
Bride HV
DN 40 ISO-KF
DN63 ISO-K
DN 63 CF-F
Refroidissement par eau
en option
DN 100 ISO-K
DN 100 CF-F
BA
DN 160 ISO-K
DN 160 CF-F
Le raccord existe
DN 200 ISO-K
DN 200 CF-F
PT 0747 BN9)
PT 0745 BN10)
I/O jauge
en option
PT 0687 BN
Vanne de ventilation
en option
PT 0771 BN11)
PT 0228 BN12)
7)
Pour HiPace 300 - 800
8)
Pour HiPace 80 Neo
9)
Pour HiPace 80 Neo
10)
Pour HiPace 350 | HiPace 450
11)
Pour HiPace 80 Neo
12)
Pour HiPace 300 - 800
21/88
Description du produit
Caractéristique
Modèle autonome HiCube Neo
BA
Vanne de sécurité de vide primaire
en option
PM 0263 BN
Chauffage du carter 13)
En option, avec bride CF uniquement
PT 0233 BN
Tab. 8:
3.4
Étendue de la livraison
●
●
●
●
●
●
22/88
Modèle autonome HiCube Neo | Accessoires
Groupe de pompage turbomoléculaire HiCube Neo
Obturateur de protection de la bride de vide élevé
Câble d’alimentation électrique, spécifique au pays
Fluide d’exploitation et tuyau flexible de remplissage 14)
Manuel de l’utilisateur du groupe de pompage turbomoléculaire
Manuel de l’utilisateur de la pompe à vide
13)
Refroidissement par eau requis
14)
Seulement avec pompe rotative à palettes comme pompe primaire
Transport et stockage
4 Transport et stockage
4.1
Transport du groupe de pompage
AVERTISSEMENT
Danger de blessures graves en cas de chute d’objets
La chute d’objets peut entraîner des blessures sur les membres, voire même des fractures osseuses.
► Soyez particulièrement vigilant lors du transport manuel du produit.
► Ne pas empiler le produit.
► Portez un équipement de protection, tel que des chaussures de sécurité.
ATTENTION
Risque de blessures en cas de basculement ou de dérive du groupe de pompage
Les pièces de la superstructure modifient le centre de gravité. Il existe un danger d’écrasement en
cas de basculement ou de dérive.
► Placez le groupe de pompage sur une surface d’installation plane.
► Ancrez le groupe de pompage sur l’emplacement de l’installation.
► Portez des équipements de protection individuelle.
Emballage
Nous recommandons de conserver l’emballage de transport et de protection d’origine.
Informations générales sur le transport en toute sécurité
► Observez le poids spécifié sur l’emballage.
– Utilisez un équipement de transport si nécessaire (chariot, chariot élévateur).
► Dans la mesure du possible, transportez ou expédiez le groupe de pompage dans son emballage
d’origine.
► Le produit doit toujours être déplacé en position verticale et sur la surface la plus plane possible.
► Le produit doit toujours être placé sur une surface plane aux dimensions adéquates.
► Retirez l’obturateur de protection seulement immédiatement avant l’installation.
HiCube Neo – modèle de table
1
2
3
Fig. 6:
Transport du groupe de pompage sans emballage — modèle de table
1 Obturateur de protection
2 Zone de préhension
3
Base
23/88
Transport et stockage
Transport du groupe de pompage sans emballage — modèle de table
Pour un transport sans emballage, les groupes de pompage turbomoléculaires HiCube Neo sont équipés de zones de préhension de chaque côté du bâti.
1. Observez le poids spécifié sur la plaque signalétique.
2. Levez le groupe de pompage turbomoléculaire en plaçant les mains sur les deux zones de préhension.
3. Transportez toujours le groupe de pompage turbomoléculaire à la verticale, avec sa base vers le
bas.
4. Placez toujours le groupe de pompage turbomoléculaire de façon sécurisée sur une surface de
niveau, de taille adéquate.
HiCube Neo – modèle autonome
1
3
2
Fig. 7:
Transport du groupe de pompage sans emballage — modèle autonome
1 Équipement de levage
2 Anneaux de levage, 4×
3
Obturateur de protection
Transport du groupe de pompage sans emballage — modèle autonome
Pour un transport sans emballage, les groupes de pompage turbomoléculaires HiCube Neo sont équipés de points de fixation sur le bâti.
1. Sécurisez un dispositif de levage qui convient sur l’anneau de levage.
2. Faites attention à l’utilisation correcte et au serrage conforme de l’équipement de levage.
3. Levez le groupe de pompage verticalement (par exemple, hors de l’emballage).
4. Placez le groupe de pompage turbomoléculaire de façon sécurisée sur une surface de niveau, de
taille adéquate.
4.2
Stocker le groupe de pompage
Emballage
Nous recommandons de stocker le produit dans son emballage d’origine.
Stocker le groupe de pompage
1. Obturez hermétiquement l’ouverture de la bride avec le couvercle protecteur d’origine.
2. Rendez étanche tous les autres raccordements (comme l’échappement) avec les obturateurs de
protection correspondants.
24/88
Transport et stockage
3. Stockez la pompe à vide uniquement dans un local sec et sans poussière, dans les conditions
ambiantes spécifiées.
4. Dans les locaux où l’atmosphère est humide ou corrosive : Placez le groupe de pompage turbomoléculaire et un produit dessiccant dans un sac en plastique hermétique.
25/88
Installation
5 Installation
L'installation de la turbopompe et sa fixation sont d'une importance primordiale. Le rotor de la pompe
turbomoléculaire tourne à grande vitesse. En pratique, il n’est pas exclu que le rotor entre en contact
avec le stator (par ex. en cas de pénétration de corps étrangers dans la bride de vide élevé). En l’espace de quelques fractions de secondes, l'énergie cinétique libérée agit sur le boîtier et sur l'ancrage de la
pompe turbomoléculaire.
Des calculs et des tests approfondis effectués selon la norme ISO 27892 garantissent la protection de
la pompe turbomoléculaire contre la démolition (destruction des pales du rotor) et l'éclatement (rupture
de l’arbre du rotor). Les résultats expérimentaux et théoriques se traduisent par des mesures de sécurité et des recommandations à suivre pour une fixation conforme et sûre de la pompe turbomoléculaire.
5.1
Préparatifs pour l'installation
AVERTISSEMENT
Danger de mort par électrocution en cas de dysfonctionnement
En cas de dysfonctionnement, les appareils raccordés au secteur peuvent être sous tension. Danger
de mort par électrocution en cas de contact avec des composants sous tension.
► Toujours conserver l’alimentation librement accessible de manière à pouvoir la débrancher à tout
moment.
Remarques générales pour l’installation des composants de vide
► L’emplacement de l’installation doit être choisi de façon à permettre à tout moment d'accéder au
produit et aux conduites d'alimentation.
► Observez les conditions ambiantes indiquées pour les limites d’utilisation.
► L'assemblage doit être effectué en veillant à une propreté maximale.
► Pendant l’installation, les composants de brides doivent être parfaitement dégraissés, dépoussiérés et secs.
5.2
Configuration du groupe de pompage
AVERTISSEMENT
Risque de coupure lié aux pièces coupantes en mouvement, accessibles par l'ouverture de la
bride de vide élevé
L'ouverture de la bride de vide élevé permet le contact avec des pièces aux arêtes vives. Une rotation manuelle du rotor rend la situation encore plus dangereuse : il y a un risque de coupure et de
sectionnement de membres (p ex. extrémités des doigts). Les cheveux et les vêtements amples risquent d’être entraînés. Toute chute d’objet dans la pompe turbomoléculaire provoque des dommages
lors de la prochaine utilisation.
► L’obturateur d'origine ne doit être retiré qu’au moment de la connexion de la bride de vide élevé.
► Ne jamais approcher les mains de l'intérieur de la bride de vide élevé.
► Porter des gants de protection pendant l'installation.
► Ne jamais démarrer la pompe turbomoléculaire lorsque les brides de vide ne sont pas raccordées.
► L'installation mécanique doit être achevée avant de procéder à l'installation électrique.
► Empêcher l'accès à la bride de vide élevé de la pompe du côté de l'opérateur (p. ex. chambre de
vide ouverte).
Procédure
1. Respecter une distance minimum de 50 cm avec les limites latérales et appareils adjacents.
2. Respecter une distance minimum de 10 cm avec les bords de table exposés.
3. Vérifier que les options de refroidissement sont suffisantes pour le groupe de pompage.
4. Installer des blindages appropriés si les champs magnétiques environnants excèdent les niveaux
admissibles.
26/88
Installation
5. Si un chauffage de boîtier ou un refroidissement par eau est utilisé, s'assurer que la température
au niveau de la bride de raccordement à la chambre de vide n'excède pas 120 °C.
6. Installer le blindage approprié de façon à ce que le rayonnement thermique ne dépasse pas les
valeurs admissibles lorsque des températures élevées sont générées en raison du procédé.
5.3
Ancrage du groupe de pompage
ATTENTION
Risque de blessures en cas de basculement ou de dérive du groupe de pompage
Les pièces de la superstructure modifient le centre de gravité. Il existe un danger d’écrasement en
cas de basculement ou de dérive.
► Placez le groupe de pompage sur une surface d’installation plane.
► Ancrez le groupe de pompage sur l’emplacement de l’installation.
► Portez des équipements de protection individuelle.
Ancrer le groupe de pompage
L'opérateur est responsable de l’ancrage.
● Vérifiez que la fixation du bâti de pompage installé par l’opérateur absorbe le couple
généré en cas de blocage soudain du rotor de la pompe turbomoléculaire.
En cas de blocage soudain du rotor de la pompe turbomoléculaire, le couple de serrage résultant doit
être absorbé via le cadre du groupe de pompage par les appareils fournis par le client. L’ancrage est
absolument essentiel pour sécuriser le groupe de pompage.
HiCube Neo – modèle de table
Aides requises
● 2 sangles d’attache de longueur et de capacité de charge suffisantes ; largeur d’environ 3 cm
● Points de fixation sur site pour la retenue des sangles d’attache
1
2
Fig. 8:
Ancrage du modèle de table
1 Fente d'ancrage
2
Sangle d’attache
Ancrage du modèle de table
1. Utilisez toujours des sangles d’attache pour fixer le groupe de pompage aux deux fentes d’ancrage.
2. Vérifiez que les sangles d’attache sont correctement ajustées et tendues.
3. Fixez les sangles d’attache à l’équipement du client de façon à ce qu’elles puissent absorber des
charges de 2 000 N par point de fixation.
27/88
Installation
HiCube Neo – modèle autonome
Aides requises
● 2 sangles d’attache de longueur et de capacité de charge suffisantes ; largeur d’environ 3 cm
● Points de fixation sur site pour la retenue des sangles d’attache
1
2
Fig. 9:
Ancrage du modèle autonome
1 Anneaux de levage, 4×
2
Sangle d’attache, 2×
Ancrage du modèle autonome
1. Fixez toujours le groupe de pompage avec les sangles d’attache sur tous les quatre anneaux de
levage.
2. Vérifiez que les sangles d’attache sont correctement ajustées et tendues.
3. Fixez les sangles d’attache à l’équipement du client de façon à ce qu’elles puissent absorber des
charges de 2 000 N par point de fixation.
5.4
Raccordement côté vide élevé
5.4.1
Construction de la contre-bride
AVIS
Risque d'endommagement lié à une conception incorrecte de la contre-bride
Une irrégularité de la contre-bride côté opérateur soumet le corps de la pompe à vide à de fortes
contraintes, même lorsque la fixation a été correctement effectuée. Cela risque de provoquer une fuite ou d'affecter négativement les caractéristiques de fonctionnement.
► Les tolérances de forme de la contre-bride doivent être respectées.
► Respecter les divergences maximales de planéité sur toute la surface.
28/88
Installation
Pièces de superstructure et robinetterie sur le raccord de vide élevé
La responsabilité de l'installation des pièces de superstructure et de la robinetterie sur le
raccord de vide élevé incombe à la société d'exploitation. La capacité de charge de la bride
de vide secondaire est spécifique à la pompe turbomoléculaire utilisée.
● Le poids total des pièces de superstructure ne doit pas excéder les valeurs axiales
maximum spécifiées.
● Assurez-vous que tous les moments de force générés lorsque le moteur bloque soudainement sont absorbés par le système du côté opérateur et le raccord de vide élevé.
● Utilisez exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccord de
vide secondaire de la pompe turbomoléculaire.
En cas de blocage soudain du rotor, les couples générés par le système et la bride de vide élevé doivent être absorbés. Les éléments d’installation pour pompes turbomoléculaires ont été spécialement
conçus par Pfeiffer Vacuum.
Construction de la contre-bride
► Utilisez exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccord de vide élevé
de la pompe turbomoléculaire.
Groupe de pompage turbomoléculaire
Couple de serrage
appliqué15)
Champ magnétique16)
Apport de chaleur17)
HiCube 80 Neo
620 Nm
3,1 mT
0,9 W
HiCube 300 Neo
2 000 Nm
5,5 mT
2,4 W
HiCube 350 Neo
3 500 Nm
4,5 mT
2,4 W
HiCube 400 Neo
4 200 Nm
6 mT
4,2 W
HiCube 450 Neo
3 500 Nm
4,5 mT
2,4 W
HiCube 700 Neo
4 200 Nm
6 mT
4,2 W
HiCube 800 Neo
4 200 Nm
6 mT
4,2 W
Tab. 9:
Groupe de pompage turbomoléculaire
Composants
superstructurels18)
Planéité
Résistance à la
traction19)
Profondeur de
vissage 20)
HiCube Neo21)
50 kg
± 0,05 mm
170 N/mm2
2,5 x d
Tab. 10:
5.4.2
Conditions requises pour le raccord de vide élevé sur site
Conditions requises pour le raccord de vide élevé sur site
Utilisation d’un pare-éclats ou d’écran protecteur
Les anneaux de centrage Pfeiffer Vacuum avec pare-éclats ou écran protecteur dans la bride de vide
élevé protègent la pompe turbomoléculaire contre les corps étrangers provenant de l’enceinte à vide.
La vitesse de pompage de la pompe turbomoléculaire diminue en fonction de la conductivité et de la
grandeur de la bride de vide élevé.
15)
Couple de serrage maximum appliqué en cas d’éclatement : Le couple de serrage calculé théoriquement en
cas d’éclatement (rupture de l’axe du rotor) conformément à la norme ISO 27892 n’a pas été atteint pendant
les tests expérimentaux.
16)
Champ magnétique admissible maximal autour du groupe de pompage
17)
Absorption de chaleur admissible maximale dans le groupe de pompage
18)
Poids total admissible des composants superstructurels sur le groupe de pompage
19)
Résistance à la traction du matériau de contre-bride dans toutes les conditions de fonctionnement, conformément à la profondeur de vissage
20)
Profondeur de vissage des vis de fixation dans la contre-bride
21)
Toutes les grandeurs
29/88
Installation
Taille de bride
Réduction de la vitesse de pompage en % pour le type de gaz
H2
He
N2
Ar
Pare-éclats DN 40
6
9
17
18
Pare-éclats DN 63
3
6
15
16
Écran protecteur DN 63
1
1
4
4
Pare-éclats DN 100
5
7
24
24
Écran protecteur DN 100
2
2
10
8
Pare-éclats DN 160
6
9
20
23
Écran protecteur DN 160
1
2
6
7
Tab. 11:
Réduction de la vitesse de pompage lors de l’utilisation d’un bouclier pare-éclats ou
d’un écran protecteur
Utilisation d’un pare-éclats ou d’écran protecteur
► Pour les brides ISO, utilisez des anneaux de centrage avec un écran protecteur ou un pareéclats.
► Pour des brides CF, insérez toujours l’écran protecteur ou le pare-éclats en tournant les talons de
serrage vers le rotor dans la bride de vide élevé.
5.4.3
Utilisation du compensateur de vibrations
AVERTISSEMENT
Risque de blessure lié à la rupture et à la projection de la pompe turbo avec le compensateur
de vibration en cas de dysfonctionnement
Un blocage soudain du rotor génère des couples hautement destructeurs conformément à la norme
ISO 27892. L'utilisation d'un compensateur de vibration entraînerait probablement la rupture et la
projection de la pompe turbo en fonctionnement. L'énergie ainsi libérée pourrait projeter la pompe
turbo ou des fragments de l'intérieur de celle-ci dans l'espace environnant. Des gaz potentiellement
dangereux pourraient être libérés. Il y a un risque de très graves blessures, voire de mort, et de dommages matériels très importants.
► Des mesures de sécurité sur site pour la compensation des couples doivent être prises.
► Avant d'installer un compensateur de vibration, vous devez d'abord contacter Pfeiffer Vacuum.
Les compensateurs de vibrations Pfeiffer Vacuum sont destinés aux systèmes sensibles aux vibrations.
Installation du compensateur de vibrations
1. Seul un compensateur de vibrations à passage vertical peut être installé.
2. Tenir compte de la résistance à l’écoulement.
3. Fixer la pompe turbo également à la bride de vide secondaire.
4. Respecter la fixation des brides ISO.
5.4.4
Raccordement externe de la pompe turbomoléculaire
En fonction de la configuration, la pompe turbomoléculaire peut fonctionner indépendamment du groupe de pompage.
Démantèlement de la pompe turbomoléculaire
Veuillez observer les descriptions pour le retrait d’une pompe turbomoléculaire du groupe
de pompage.
Raccordement externe de la pompe turbomoléculaire
1. Suivez les instructions d’installation de la pompe turbomoléculaire dans le manuel de l’utilisateur
associé pour les composants individuels.
2. Utilisez le kit de câbles approprié à partir des accessoires.
– D’autres longueurs sont disponibles sur demande.
3. Étendez la conduite de vide primaire ou utilisez une conduite de la longueur requise.
30/88
Installation
5.4.5
Installation d'une bride ISO-KF
Raccords à bride ISO
Pour le raccordement des brides dans une configuration ISO-KF ou ISO-K, une torsion
peut se produire en cas de blocage soudain du rotor, même avec une installation correctement exécutée.
● Cette situation n'entraîne toutefois aucun risque pour l'étanchéité du raccord à bride.
Outillage nécessaire
● Clé Allen
● Clé dynamométrique étalonnée (facteur de serrage ≤ 1,6)
Fig. 10:
Raccord à bride ISO-KF à ISO-KF
Utilisation d'un collier de serrage
1. Utiliser exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccordement.
2. Fixer le raccord de vide secondaire sur la pompe turbo et le collier de serrage sur la contre-bride.
3. Utiliser tous les composants prescrits pour la pompe turbo.
4. Serrer les vis du collier de serrage de manière uniforme.
– Couple de serrage : 3,7 Nm.
5.4.6
Installation d'une bride ISO-K sur ISO-K
Raccords à bride ISO
Pour le raccordement des brides dans une configuration ISO-KF ou ISO-K, une torsion
peut se produire en cas de blocage soudain du rotor, même avec une installation correctement exécutée.
● Cette situation n'entraîne toutefois aucun risque pour l'étanchéité du raccord à bride.
Outillage nécessaire
● Clé, WAF 15
● Clé dynamométrique étalonnée (facteur de serrage ≤ 1,6)
Fig. 11:
Raccord à bride ISO-K à ISO-F, boulons-agrafes à tête bombée
Raccordement avec boulon-agrafe à tête bombée
1. Pour le raccordement de la pompe turbo, utiliser uniquement les kits de montage agréé Pfeiffer Vacuum.
2. Raccorder la bride aux composants du kit de montage conformément à la figure.
3. Utiliser tous les composants prescrits pour la pompe turbo.
4. Serrer les boulons-agrafes à tête bombée en croix en 3 étapes.
– Couple de serrage : 5, 15, 25 ± 2 Nm
31/88
Installation
5.4.7
Fixation de la bride ISO-K à l’ISO-F
Les types de raccordement pour l’installation de la bride ISO-K avec une bride ISO-F sont :
● « Vis à tête hexagonale et trou taraudé »
● « Goujon fileté avec trou taraudé »
● « Goujon fileté avec trou traversant »
Raccords à bride ISO
Pour le raccordement des brides dans une configuration ISO-KF ou ISO-K, une torsion
peut se produire en cas de blocage soudain du rotor, même avec une installation correctement exécutée.
● Cette situation n'entraîne toutefois aucun risque pour l'étanchéité du raccord à bride.
Outils requis
● Clé à écrou hexagonal (13 WAF)
● Clé dynamométrique calibrée (couple de serrage ≤ 1,6)
Fig. 12:
Raccordement de la bride ISO-K avec ISO-F, vis à tête hexagonale et trou taraudé
Raccordement de la vis à tête hexagonale et du trou taraudé
1. Utilisez seulement des kits de montage approuvés Pfeiffer Vacuum pour le raccordement.
2. Placez la bride à chapeau au-dessus de la bride de vide élevé de la pompe turbomoléculaire.
3. Insérez le circlip dans la gorge latérale sur la bride de vide élevé de la pompe turbomoléculaire.
4. Fixez la pompe turbomoléculaire avec la bride à chapeau, le circlip et l’anneau de centrage à la
contre-bride conformément à la figure.
5. Utilisez tous les composants prescrits pour la pompe turbomoléculaire.
6. Vissez les vis à tête hexagonale dans les trous taraudés.
– Observez la résistance minimum de traction élastique du matériau de bride et la profondeur
des vis.
7. Serrez les vis à tête hexagonale en croix en 3 étapes.
– Couple de serrage :
● HiPace 80 - 300 (H) : 5, 10, 16 Nm
● À partir de la HiPace 350 : 5, 15, 25 Nm
Fig. 13:
Raccord à bride ISO-K avec ISO-F, goujon fileté et trou taraudé
Raccordement du goujon fileté et du trou taraudé
1. Utilisez seulement des kits de montage approuvés Pfeiffer Vacuum pour le raccordement.
2. Vissez le nombre requis de goujons avec l’extrémité la plus courte dans les trous de la contrebride.
– Observez la résistance minimum de traction élastique du matériau de bride et la profondeur
des vis.
3. Placez la bride à chapeau au-dessus de la bride de vide élevé de la pompe turbomoléculaire.
4. Insérez le circlip dans la gorge latérale sur la bride de vide élevé de la pompe turbomoléculaire.
32/88
Installation
5. Fixez la pompe turbomoléculaire avec la bride à chapeau, le circlip et l’anneau de centrage à la
contre-bride conformément à la figure.
6. Utilisez tous les composants prescrits pour la pompe turbomoléculaire.
7. Sécurisez les écrous en croix en 3 étapes.
– Couple de serrage :
● HiPace 80 - 300 (H) : 5, 10, 16 Nm
● À partir de la HiPace 350 : 5, 15, 25 Nm
Fig. 14:
Raccord à bride ISO-K avec ISO-F, goujon fileté et trou traversant
Raccordement des goujons et des trous traversants
1. Utilisez seulement des kits de montage approuvés Pfeiffer Vacuum pour le raccordement.
2. Placez la bride à chapeau au-dessus de la bride de vide élevé de la pompe turbomoléculaire.
3. Insérez le circlip dans la gorge latérale sur la bride de vide élevé de la pompe turbomoléculaire.
4. Fixez la pompe turbomoléculaire avec la bride à chapeau, le circlip et l’anneau de centrage à la
contre-bride conformément à la figure.
5. Utilisez tous les composants prescrits pour la pompe turbomoléculaire.
6. Serrez les écrous en croix en 3 étapes.
7. Couple de serrage :
● HiPace 80 - 300 (H) : 5, 10, 16 Nm
● À partir de la HiPace 350 : 5, 15, 25 Nm
5.4.8
Fixation d’une bride CF sur CF-F
Les types de raccordement pour l'installation de la bride CF avec une bride CF sont :
● « Vis à tête hexagonale et trous traversants »
● « Goujons avec trous taraudés »
● « Goujons avec trous traversants »
AVIS
Des fuites peuvent se produire en raison d'une installation incorrecte des brides CF
Le manque de propreté lors de la manipulation des brides CF et des joints de cuivre entraîne des
fuites et peut entraîner une dégradation de fonctionnement.
► Toujours porter des gants adéquats avant de toucher ou d'installer tout composant.
► Ne monter que des joints secs et dépourvus de graisse.
► Corriger les surfaces endommagées et les bords coupés.
► Remplacer les composants endommagés.
Outillage nécessaire
● Clé hexagonale (13 WAF)
● Clé dynamométrique étalonnée (facteur de serrage ≤ 1,6)
Fig. 15:
Raccord à bride CF-F, vis à tête hexagonale et trous traversants
33/88
Installation
Raccordement des vis à tête hexagonale et des trous traversants
1. Pour le raccordement de la pompe turbomoléculaire, utiliser uniquement les kits de montage
agréés Pfeiffer Vacuum.
2. Si utilisés : Insérez l'écran protecteur ou le pare-éclats en orientant les pattes vers le bas dans la
bride de vide secondaire de la pompe turbomoléculaire.
3. Placer le joint parfaitement dans la partie creuse.
4. Raccorder la bride aux composants du kit de montage conformément à la figure.
5. Serrer complètement les raccords vissés.
– Couple de serrage : 22 ± 2 Nm
6. Étant donné que l'afflux de matériau d'étanchéité peut entraîner le besoin de resserrer les vis, il
convient de vérifier le couple.
Fig. 16:
Raccord à bride CF-F, goujons et trous taraudés
Raccordement des goujons et des trous taraudés
1. Pour le raccordement de la pompe turbomoléculaire, utiliser uniquement les kits de montage
agréés Pfeiffer Vacuum.
2. Visser le nombre requis de goujons avec l'extrémité la plus courte dans les trous de la contre-bride.
3. Si utilisés : Insérez l'écran protecteur ou le pare-éclats en orientant les pattes vers le bas dans la
bride de vide secondaire de la pompe turbomoléculaire.
4. Placer le joint parfaitement dans la partie creuse.
5. Raccorder la bride aux composants du kit de montage conformément à la figure.
6. Serrer complètement les raccords vissés.
– Couple de serrage : 22 ± 2 Nm
7. Étant donné que l'afflux de matériau d'étanchéité peut entraîner le besoin de resserrer les vis, il
convient de vérifier le couple.
Fig. 17:
Raccord à bride CF-F, goujons et trous traversants
Raccordement des goujons et des trous traversants
1. Pour le raccordement de la pompe turbomoléculaire, utiliser uniquement les kits de montage
agréés Pfeiffer Vacuum.
2. Si utilisés : Insérez l'écran protecteur ou le pare-éclats en orientant les pattes vers le bas dans la
bride de vide secondaire de la pompe turbomoléculaire.
3. Placer le joint parfaitement dans la partie creuse.
4. Raccorder la bride aux composants du kit de montage conformément à la figure.
5. Serrer complètement les raccords vissés.
– Couple de serrage : 22 ± 2 Nm
6. Étant donné que l'afflux de matériau d'étanchéité peut entraîner le besoin de resserrer les vis, il
convient de vérifier le couple.
34/88
Installation
5.5
Raccordement côté d’échappement
AVERTISSEMENT
Danger de mort par empoisonnement en raison des gaz toxiques émis, en l’absence de conduite d’échappement
En utilisation normale, le groupe de pompage émet librement des vapeurs et gaz. Dans le cas de
procédés avec des substances toxiques, il existe un risque d’intoxication susceptible de provoquer
des lésions ou la mort.
► Respecter la réglementation en vigueur concernant le traitement de substances toxiques.
► Les gaz de procédé toxiques doivent être évacués selon une méthode sécurisée par une conduite d’échappement.
ATTENTION
Danger de blessure lié à l’éclatement de la conduite d’échappement en cas de pression excessive
Des conduites d’échappement défaillantes ou inappropriées peuvent entraîner des situations dangereuses, p. ex. une augmentation de la pression d'échappement. Il existe alors un risque d’éclatement. Risque de blessures dues à la dispersion de fragments ou l’éjection de gaz sous pression et
d’endommager les matériels.
► Installez la conduite d’échappement sans appareil de fermeture.
► Respectez les pressions admissibles et les pressions différentielles que le produit peut supporter.
► Vérifiez régulièrement le fonctionnement de la conduite d’échappement.
Séparateur de condensat
Pfeiffer Vacuum recommande l'installation d'un séparateur de condensat avec écoulement
de condensat placé au point le plus bas de la conduite de refoulement.
HiCube Neo – modèle de bureau
1
2
Fig. 18:
Exemple de raccord d’échappement MVP
1 Pompe à diaphragme
2
Silencieux d’échappement (inclus dans la livraison)
Raccordement côté d’échappement – modèle de table
1. Choisissez une coupe transversale de conduite d’échappement au minimum égale à la grandeur
du raccord d’échappement.
2. Si nécessaire, dévissez le silencieux d’échappement de la pompe primaire.
3. Installez la tuyauterie vers le bas à partir de la pompe à vide pour éviter le retour des condensats.
35/88
Installation
HiCube Neo – modèle autonome
2
3
4
1
5
Fig. 19:
Exemple de raccord d’échappement HiScroll
1 Silencieux
2 Anneau de centrage
3 Anneau de serrage
4
5
Composants de vide DN 25 ISO-KF
Raccord d’échappement silencieux
Raccordement côté d’échappement – modèle autonome
1. Retirez l’obturateur de protection du raccord d’échappement.
2. Assurez-vous que l’anneau de centrage et le joint torique sont correctement positionnés dans la
bride d’échappement.
3. Choisissez une coupe transversale de conduite d’échappement au minimum égale au diamètre
nominal de la bride de raccordement.
4. Installez un raccord à vide avec des composants petite bride, comme la bride à visser DN 16 ISOKF de la boutique de composants Pfeiffer Vacuum.
5. Installez la tuyauterie vers le bas à partir de la pompe à vide pour éviter le retour des condensats.
6. Fixez ou accrochez la tuyauterie de la pompe à vide pour éviter toute contrainte mécanique sur la
pompe à vide.
7. Raccordez les deux brides au moyen d’un circlip.
5.6
Appoint de fluide d’exploitation
Utilisation de fluides d’exploitation
S’applique seulement aux modèles autonomes HiCube Neo avec une pompe rotative à palettes en tant que pompe primaire.
AVIS
Risque de dégâts en cas d’utilisation d’un fluide d’exploitation non approuvé
Les données de performance du produit ne sont pas respectées. Les réclamations de responsabilité
et de garantie auprès de Pfeiffer Vacuum sont exclues.
► Utiliser uniquement des fluides d’exploitation approuvés.
► Consulter Pfeiffer Vacuum avant d’utiliser tout autre fluide d’exploitation spécifique à une application.
● Le fluide d’exploitation pour les pompes rotatives à palettes est inclus dans l’étendue de la livraison.
● Le réservoir du fluide d’exploitation sur la pompe turbomoléculaire est déjà rempli et installé.
● La pompe Scroll à compression sèche ne nécessite pas de fluide d’exploitation.
● La pompe à diaphragme à compression sèche ne nécessite pas de fluide d’exploitation.
Fluide d’exploitation approuvé
● P3 (Duo 6 M | Duo 11 M | Duo 20 M)
● H1 (fluide d’exploitation standard SmartVane 55 | SmartVane 70)
● F4 (SmartVane 55 | SmartVane 70)
36/88
Installation
Lecture du type de fluide d’exploitation sur la plaque signalétique
► Veuillez vous référer à la plaque signalétique de la pompe primaire pour connaître le type et la
quantité de fluide d’exploitation préconisé.
Consommables requis
● Fluide d’exploitation
Outils requis
● Clé mâle coudée pour vis à six pans creux
● Clé dynamométrique six pans creux
Aides requises
● Tuyau de remplissage
1
2
3
4
Fig. 20:
Appoint de fluide d’exploitation – Exemple SmartVane
1 Tuyau de remplissage
2 Bouteille de fluide d’exploitation
3
4
Bouchon fileté de remplissage avec joint
Pompe rotative à palettes
Appoint de fluide d’exploitation
1. Dévissez et enlevez la vis d’arrêt sur la bouteille de fluide d’exploitation.
2. Vissez le tuyau de remplissage sur la bouteille de fluide d’exploitation.
3. Retirez la vis de remplissage avec le joint de la pompe rotative à palettes.
4. Remplissez avec du fluide d’exploitation conformément au manuel de l’utilisateur de la pompe rotative à palettes.
5. Vissez la vis de remplissage avec le joint dans la pompe rotative à palettes.
– Couple de serrage : comme spécifié dans le manuel de l’utilisateur de la pompe rotative à palettes.
5.7
Raccordement d’accessoires
Installation et fonctionnement des accessoires
Pfeiffer Vacuum propose une série d’accessoires spéciaux, compatibles avec ses produits.
● Les informations et options de commande pour les accessoires pour pompes turbomoléculaires hybrides approuvés se trouvent en ligne.
37/88
Installation
1 2
Fig. 21:
Raccordement de dispositifs accessoires pour TC 80 et TC 110
1 Prise AccessLink « Accessoire B1 »
2
Prise AccessLink « Accessoire A1 »
Raccordement de dispositifs accessoires pour TC 80 et TC 110
► Utilisez les accessoires Pfeiffer Vacuum sur les prises AccessLink du groupe de pompage avec
les câbles ou les adaptateurs de raccordement correspondants.
► Configurez la sortie d’accessoire souhaitée via RS-485 en utilisant l’interface d’exploitation ou le
PC.
Unité de commande électronique
Raccordement de l’unité de commande électronique
Configuration pré-réglée
TC 80
TC 110
Accessoire A1
Ventilateur (thermorégulé)
ou
Chauffage
Accessoire B1
Vanne de ventilation
Tab. 12:
Raccordements d’accessoires préréglés sur l’unité de commande électronique TC 80
et TC 110
1
2
Fig. 22:
Raccordement des dispositifs accessoires pour TC 400
1 Raccordement d’accessoire « Accessoire B »
2
Raccordement d’accessoire « Accessoire A »
Raccordement des dispositifs accessoires pour TC 400
► Utilisez les accessoires Pfeiffer Vacuum sur les raccordements des accessoires de l’unité de commande électronique avec les câbles ou les adaptateurs de raccordement correspondants.
► Configurez la sortie d’accessoire souhaitée via RS-485 en utilisant l’interface d’exploitation ou le
PC.
38/88
Installation
Raccordement de l’unité de commande électronique
Configuration pré-réglée
Accessoire A
Ventilateur (thermorégulé)
ou
Chauffage
Accessoire B
Vanne de ventilation
Tab. 13:
5.8
Raccordements d’accessoires préréglés sur l’unité de commande électronique
TC 400
Raccordement au réseau d’alimentation
AVERTISSEMENT
Risque de blessure fatale lié à un choc électrique causé par une installation incorrecte
L'alimentation électrique de l'appareil utilise des tensions mortelles. Une installation non sécurisée ou
inappropriée peut entraîner des situations dangereuses en raison des électrocutions lors des opérations avec ou sur l’unité.
► Veiller à l’intégration dans un circuit de sécurité de secours.
► Ne pas effectuer soi-même des conversions ou modifications d'unité.
AVERTISSEMENT
Danger de mort par électrocution en cas de dysfonctionnement
En cas de dysfonctionnement, les appareils raccordés au secteur peuvent être sous tension. Danger
de mort par électrocution en cas de contact avec des composants sous tension.
► Toujours conserver l’alimentation librement accessible de manière à pouvoir la débrancher à tout
moment.
1
3
Fig. 23:
2
Raccordement au réseau d’alimentation
1 Interrupteur principal
2 Connecteur
3
Câble d’alimentation
Raccordement au réseau d’alimentation
1. Assurez-vous que l’interrupteur principal est sur arrêt avant de raccorder.
2. Assurez toujours un raccordement sûr au conducteur de protection (PE).
3. Connectez le câble d’alimentation fourni à la livraison au connecteur d'alimentation électrique du
groupe de pompage.
4. Raccordez le câble d’alimentation au réseau d’alimentation du site.
39/88
Interfaces et raccordements
6 Interfaces et raccordements
Le groupe de pompage HiCube Neo a une interface Ethernet pour la communication et une interface
USB, une interface étiquetée « RS-485 » et un module en option « Jauge/IO » activant un échange d’informations entre la HiCube Neo et les périphériques fournis par le client.
1
2
3
4
5
6
11
Fig. 24:
10
9
8
Vue d’ensemble de toutes les interfaces et de tous les raccordements
1 Modèle de bureau :Prise D-Sub à 15 broches
(IO, alimentation en tension, signaux de commande pour pompe turbomoléculaire)
2 RS-485 (raccordement de cellule de charge
pression/DigiLine)
3 USB (type A) pour le service après-vente
7
Alimentation AC de la pompe primaire
8
Vanne de sécurité VV
9
4 AccessLink pour ventilateur et/ou vanne de
ventilation, pompe turbomoléculaire
5 Interrupteur principal
10
Modèle de bureau : Prise D-Sub à 15 broches (IO, alimentation de tension, signaux de
commande pour la pompe primaire)
Modèle autonome : Prise D-Sub à 15 broches (IO, alimentation en tension, signaux de
commande pour la pompe turbomoléculaire)
Ethernet (LAN)
6 Alimentation (IEC 60320 C20)
6.1
7
11
Modèle autonome : Prise D-Sub à 15 broches (IO, alimentation de tension, signaux de
commande pour la pompe primaire)
Raccordement « Ethernet » (LAN)
Le raccordement « Ethernet » active la communication directe avec l’unité via un ordinateur en plus de
la commande standard via l’affichage.
40/88
Interfaces et raccordements
1
RJ-45
8
green yellow
Fig. 25:
1
2
3
4
Raccordement « Ethernet » (LAN)
Ligne de données (D1+)
Ligne de données (D1-)
Ligne de données (D2+)
Ligne de données (D2-)
Ligne de données (D3+)
Ligne de données (D3-)
Ligne de données (D4+)
Ligne de données (D4-)
LED
Statut
Signification
Verte (lien)
allumée
La connexion du matériel existe
éteinte
Pas de connexion du matériel
allumée (clignotement)
Transmission de données en cours
éteinte
Aucune transmission de données/pas de connexion
Jaune (activité)
Tab. 14:
6.2
5
6
7
8
État de la connexion Ethernet
Interface RS-485
DANGER
Danger de mort en cas d’électrocution
Lors de l’application de tensions dépassant la très basse tension de sécurité spécifiée (conformément à IEC 60449 et VDE 0100), les mesures isolantes sont détruites. Danger de mort en cas d’électrocution au niveau des interfaces de communication.
► Connecter uniquement des appareils appropriés au système de bus.
L’interface avec la désignation « RS-485 » est destinée au raccordement d’un appareil de commande
Pfeiffer Vacuum ou d’un PC externe. Les raccordements sont séparés galvaniquement et isolés de la
tension d’alimentation maximale de l’unité de commande électronique. Les connexions électriques sont
découplées visuellement en interne.
Désignation
Valeur
Interface série
RS-485
Vitesse de transmission en bauds
9 600 Baud
Longueur de mot de données
8 bit
Parité
aucune (pas de parité)
Bits de départ
1
Bits d’arrêt
1
Tab. 15:
1
5
4
Tab. 16:
Caractéristiques de l’interface RS-485
2
3
Broche
Affectation
1
RS-485 D+
2
Sortie +24 V, ≤ 350 mA capacité de charge
3
GND
4
RS-485 D-
5
non raccordé
Agencement de la terminaison de la borne de connexion M12 RS-485
41/88
Interfaces et raccordements
6.3
Option jauge/IO
Mesure de la pression avec la HiCube Neo
La HiCube Neo offre un affichage précis de la pression pour une fonction jauge/IO existante.
L’option désignée « jauge/IO » sur la HiCube Neo est prévue pour le raccordement d’un manomètre
Pfeiffer Vacuum. Les raccordements de l’unité de courant intégrée de la HiCube Neo possèdent une
isolation de sécurité galvanique de la tension d’alimentation maximum sur la HiCube Neo.
1
2
9
15
5 6 1
1
8
4
IO
Fig. 26:
gauge
3
2
3
Option jauge/IO
1 Raccordement D-sub à 15 broches (IO)
2 LED sur la prise de la jauge
3
Prise de la jauge
Pour de plus amples informations, consultez le manuel de l’utilisateur correspondant dans le Pfeiffer
Vacuum Download Center.
6.4
Connexion à l’interface web
Connexion de l’unité d’exploitation avec l’interface web
► Connectez l’unité d’exploitation (par exemple, ordinateur portable ou PC) au même réseau que la
HiCube Neo.
► Si nécessaire, ouvrez une connexion à l’ordinateur à l’aide de la fonction Bureau à Distance pour
accéder au même réseau que la HiCube Neo.
– L’interface web fonctionne sur l’ordinateur avec la fonction Bureau à Distance.
Réglages réseau par défaut pour la HiCube Neo
● DHCP
● Retour à l’état d’origine DHCP
● La HiCube Neo retourne à l’état d’origine de son adresse IP statique si le réseau connecté n’a
pas de serveur DHCP (routeur).
● Adresse IP par défaut : 192.168.1.100
● Vous pouvez configurer l’adresse IP statique pour l’exploitation réseau statique et/ou pour le retour à l’état d’origine DHCP.
6.4.1 Raccordement de l’interface web via la configuration réseau DHCP réglée par
défaut à l’usine
Conditions préalables
● Unité d’exploitation et HiCube Neo raccordées au même réseau
● Le réseau a un routeur ou un serveur DHCP
● Le serveur DHCP sur le réseau a automatiquement affecté des adresses IP à l’unité d’exploitation
et à la HiCube Neo.
Options pour la découverte de l’adresse IP affectée à la HiCube Neo
● Pour connaître l’adresse IP, consultez la page Aide sur l’affichage.
● Visualisez les dispositifs réseau sur le routeur.
● Effectuez un balayage du réseau à l’aide de l’unité d’exploitation.
42/88
Interfaces et raccordements
Procédure
1. Dans la barre d’adresse du navigateur Internet, tapez l’adresse IP déterminée pour la HiCube Neo.
2. Appuyez sur Entrée.
– Le navigateur Internet est connecté à la HICube Neo et le tableau de bord apparaît.
6.4.2 Raccordement de l’interface web via l’adresse IP statique réglée par défaut à
l’usine
Serveur DHCP introuvable sur le réseau
● La HiCube Neo repasse sur son adresse IP réglée par défaut si le DHCP est activé,
mais la HiCube Neo ne peut pas trouver un serveur DHCP sur le réseau.
● Adresse IP par défaut : 192.168.1.100
Conditions préalables
● Unité d’exploitation et HiCube Neo raccordées au même réseau, par exemple via un raccordement direct
● Le réseau n’a pas de routeur ou de serveur DHCP
● Unité d’exploitation configurée avec une adresse IP sur le même réseau que la HiCube Neo (par
exemple, 192.168.1.101)
Procédure
► Dans la barre d’adresse du navigateur Internet, tapez l’adresse IP par défaut de la HiCube Neo.
► Appuyez sur Entrée.
– Le navigateur Internet est connecté à la HICube Neo et le tableau de bord apparaît.
6.4.3
Connexion de l’interface web via l’adresse IP définie par l’utilisateur
Adresse IP inconnue
Si vous avez changé l’adresse IP et perdu la nouvelle adresse IP, veuillez contacter Pfeiffer Vacuum.
Procédure
1. Dans la barre d’adresse du navigateur Internet, tapez l’adresse IP définie par l’utilisateur de la HiCube Neo.
2. Appuyez sur Entrée.
– Le navigateur Internet est connecté à la HICube Neo et le tableau de bord apparaît.
6.5
Connexion au serveur OPC UA
Accès au serveur OPC UA non protégé
Le serveur OPC UA HiCube Neo est librement accessible sur le réseau. L’accès au serveur OPC UA HiCube Neo n’est pas protégé par un mot de passe ou une procédure d’authentification similaire.
La HiCube Neo a une interface OPC UA pour l’appel et la gestion des paramètres système. Le serveur
OPC UA est accessible sur l’adresse IP de la HiCube Neo et le port par défaut OPC UA 4840.
6.5.1
Connexion au serveur OPC UA
Procédure
► Ouvrez une connexion au serveur OPC UA en utilisant l’URL de connexion suivante :
1 opc.tcp://<ip>:<port>
43/88
Interfaces et raccordements
6.5.2
Découverte de l’adresse IP de la HiCube Neo
Procédure
► Pour connaître l’adresse IP, consultez la page Aide sur l’affichage.
– Notez les réglages du réseau, l’adresse IP statique ou DHCP.
Si vous utilisez l’adresse IP statique par défaut, 192.168.1.100, l’URL pour le raccordement est la suivante : 1 opc.tcp://192.168.1.100:4840
6.5.3
Accès au serveur OPC UA HiCube Neo
Procédure
► Utilisez un client OPC UA pour accéder au serveur OPC UA HiCube Neo.
– Alternativement, utilisez une unité avec la fonctionnalité OPC UA, par exemple un automate
programmable (PLC).
44/88
Fonctionnement
7 Fonctionnement
AVIS
Dommage sur le dispositif dû à un fonctionnement imprévu
Un fonctionnement imprévu peut entraîner un dommage sur le dispositif.
► Pour vous assurer que les réglages sont corrects, le manuel de l’utilisateur doit être accessible
aux opérateurs et au personnel qualifié.
7.1
Tableau de bord
Le tableau de bord apparaît automatiquement quand vous mettez en circuit le groupe de pompage HiCube Neo. Le tableau de bord fournit des informations sur :
●
●
●
●
●
●
État de marche de la pompe à vide raccordée
État du système
Pression (si la jauge est raccordée)
État des composants en marche/pendant l’arrêt
Liste des paramètres
Vitesse de rotation actuelle
1
2
3
7
4
6
5
Fig. 27:
1
2
3
4
Tableau de bord HiCube Neo
Affichage du groupe de pompage (pompe)
État du système
Affichage de la pression (pression)
Diagramme de vide (écran de contrôle du vide)
5
6
7
Liste des paramètres
Vitesse de rotation actuelle
Maintenance des utilisateurs
Maintenance des utilisateurs
Pour vous connecter en tant qu’utilisateur, entrez le mot de passe 1255 .
45/88
Fonctionnement
2
1
3
Fig. 28:
Vue d’ensemble de tous les utilisateurs
1 Utilisateur
2 Invité
7.2
3
Utilisateur service après-vente
Fonctionnement via l’écran
Fonctionnement via l’interface
web
lecture seule
écriture des données
lecture seule
écriture des données
Invité
x
activation/désactivation du
groupe de pompage uniquement
x
-
Utilisateur
(mot de passe : 1255)
x
x
x
x
Service
Service Pfeiffer uniquement
Tab. 17:
Vue d’ensemble de tous les utilisateurs
Menu principal
1
3
2
10
9
8
7
Fig. 29:
1
2
3
4
5
46/88
6
5
4
Menu principal pour HiCube Neo
Tableau de bord
Automatisations
Menu des tendances
Réglages
Dispositifs
6
7
8
9
10
Messages
Info
Date et heure
Sélection de la langue (allemand/anglais)
Profil
Fonctionnement
Navigation vers les autres options à partir du menu principal
► Naviguer à partir du menu principal vers :
● Tableau de bord
● Menu automatisations
● Menu des tendances
● Page info
● Vue d’ensemble des messages
● Gestion des dispositifs
● Réglages.
7.3
Sous-menus
1
2
Fig. 30:
Sous-menu des réglages HiCube Neo
1 Généralités
2
Mise à jour
Appel du sous-menu
► Effleurez le sous-menu souhaité pour appeler l’option de menu correspondante.
7.4
Écran de contrôle de vide
1
2
Fig. 31:
Appel du panneau de commande Informations
1 Appel du panneau de commande Informations
2
Écran de contrôle de vide
L’écran de contrôle de vide montre les informations sur l’état des composants individuels en tant qu’affichage graphique.
Appel du panneau de commande Informations
► Effleurez
pour appeler le panneau de commande Informations de l’écran de contrôle de vide.
47/88
Fonctionnement
Fig. 32:
Panneau de commande Informations de l’écran de contrôle de vide
Accès aux composants individuels
► Accédez directement aux composants individuels en effleurant les composants dans l’écran de
contrôle de vide.
Désignations
État 0
État 1
État 2
État 3
Pompe turbomoléculaire
P1
OFF
ON
Mode de réglage de la vitesse de rotation
Veille
Vanne de ventilation
P1VB1
Fermé
Ouvert
réservé
réservé
Pompe primaire
P2
OFF
ON
Mode de réglage de la vitesse de rotation
Veille
Soupape de lest d’air
P2GBV1
Fermé
Ouvert
Auto
réservé
Vanne de sécurité de vide
primaire
FVSV
Fermé
Ouvert
réservé
réservé
Tab. 18:
Informations sur l’état
Fig. 33:
Paramètres dans l’écran de contrôle de vide
Navigation vers les paramètres
► Effleurez les composants individuels de l’écran de contrôle de vide pour naviguer vers les paramètres d’une unité sur le tableau de bord.
48/88
Fonctionnement
7.5
Mis en circuit/hors circuit du groupe de pompage
AVERTISSEMENT
Risque de coupure lié aux pièces coupantes en mouvement, accessibles par l'ouverture de la
bride de vide élevé
L'ouverture de la bride de vide élevé permet le contact avec des pièces aux arêtes vives. Une rotation manuelle du rotor rend la situation encore plus dangereuse : il y a un risque de coupure et de
sectionnement de membres (p ex. extrémités des doigts). Les cheveux et les vêtements amples risquent d’être entraînés. Toute chute d’objet dans la pompe turbomoléculaire provoque des dommages
lors de la prochaine utilisation.
► L’obturateur d'origine ne doit être retiré qu’au moment de la connexion de la bride de vide élevé.
► Ne jamais approcher les mains de l'intérieur de la bride de vide élevé.
► Porter des gants de protection pendant l'installation.
► Ne jamais démarrer la pompe turbomoléculaire lorsque les brides de vide ne sont pas raccordées.
► L'installation mécanique doit être achevée avant de procéder à l'installation électrique.
► Empêcher l'accès à la bride de vide élevé de la pompe du côté de l'opérateur (p. ex. chambre de
vide ouverte).
ATTENTION
Risque de blessures en cas de basculement ou de dérive du groupe de pompage
Les pièces de la superstructure modifient le centre de gravité. Il existe un danger d’écrasement en
cas de basculement ou de dérive.
► Placez le groupe de pompage sur une surface d’installation plane.
► Ancrez le groupe de pompage sur l’emplacement de l’installation.
► Portez des équipements de protection individuelle.
AVIS
Risque d'endommagement lié à une conception incorrecte de la contre-bride
Une irrégularité de la contre-bride côté opérateur soumet le corps de la pompe à vide à de fortes
contraintes, même lorsque la fixation a été correctement effectuée. Cela risque de provoquer une fuite ou d'affecter négativement les caractéristiques de fonctionnement.
► Les tolérances de forme de la contre-bride doivent être respectées.
► Respecter les divergences maximales de planéité sur toute la surface.
Condition préalable
● Enceinte à vide raccordée sur le côté HV
49/88
Fonctionnement
1
3
2
Fig. 34:
Démarrage du groupe de pompage
1 Affichage indiquant le groupe de pompage en fonctionnement
2 État des composants pendant le fonctionnement
3
Vitesse de rotation actuelle
Démarrage du groupe de pompage
1. Effleurez le bouton Tableau de bord dans le menu principal.
2. Effleurez l’interrupteur ON/OFF pour démarrer le groupe de pompage.
1
2
Fig. 35:
Arrêt du groupe de pompage
1 Affichage de la mise à l’arrêt du groupe de pompage
2
État des composants pendant l’arrêt
Arrêt du groupe de pompage
► Effleurez l’interrupteur ON/OFF pour arrêter le groupe de pompage.
50/88
Fonctionnement
7.6
Tendances
5
Fig. 36:
3
2
1
4
Page de vue d’ensemble des tendances HiCube Neo
1 Affichage de la valeur de la pression (pression)
4
2 Affichage de la vitesse de rotation actuelle (vitesse
de rotation actuelle)
3 [P1] Affichage du courant de l’entraînement (courant de l’entraînement)
5
Affichage de la température de la pompeà vide (température de la pompe)
[P2] Affichage du courant de l’entraînement (courant de l’entraînement)
Dans la vue des tendances, vous pouvez voir plusieurs éléments des données de procédé, ajouter de
nouvelles tendances ainsi qu’éditer et supprimer des tendances existantes.
Vue d’ensemble des tendances
1. Dans la vue des tendances, vous pouvez voir plusieurs éléments des données de procédé, ajouter de nouvelles tendances ainsi qu’éditer et supprimer des tendances existantes.
Vue d’ensemble des dispositifs
P1
P2
7.6.1
Pompe turbomoléculaire
Pompe primaire
G1
Jauges
Ajout et édition de tendances
Fig. 37:
Ajout de nouvelles tendances
Ajout de nouvelles tendances
1. Effleurez le bouton Éditer le tableau de bord des tendances.
2. Effleurez [Ajouter] pour ajouter les nouveaux paramètres de tendance.
3. Sélectionnez le dispositif.
– Vous pouvez ajouter les paramètres pour de multiples dispositifs.
4. Sélectionnez le ou les paramètres.
– La colonne Paramètres sélectionnés vous montre une vue d’ensemble des paramètres que
vous avez sélectionnés.
51/88
Fonctionnement
5. Effleurez [Ajouter des paramètres] pour terminer la procédure.
6. Effleurez [Annuler] pour annuler la procédure.
Fig. 38:
Suppression de tendances
Suppression de tendances
1. Effleurez le bouton Éditer le tableau de bord des tendances pour éditer le tableau de bord.
– Vous voyez une vue d’ensemble de toutes les tendances ajoutées.
2. Sélectionnez les paramètres que vous voulez supprimer.
3. Effleurez [Retirer] pour supprimer les paramètres sélectionnés.
7.6.2
Visualisation des détails d’une tendance
1
2
Fig. 39:
Visualisation des détails d’une tendance
1 Affichage de l’intervalle de temps
2
Affichage des tendances
Visualisation des détails d’une tendance
1. Sélectionnez une tendance.
2. Sélectionnez un intervalle de temps préréglé.
– Vous pouvez sélectionner un intervalle de temps de 30 secondes, 1 minute, 5 minutes ou
10 minutes.
52/88
Fonctionnement
Fig. 40:
Visualisation de la valeur détaillée
Visualisation de la valeur détaillée
► Effleurez le temps requis dans la vue d’ensemble des tendances pour voir la valeur exacte pour
ce temps.
7.7
Gestion des dispositifs
2
1
Fig. 41:
Écran de vue d’ensemble des dispositifs
1 Affichages des composants
2
Ajouter un dispositif
Appel de la page Vue d’ensemble
► Effleurez le bouton Dispositifs dans le menu principal pour accéder à la page Vue d’ensemble
des tous les dispositifs ajoutés.
– Vous pouvez changer l’arrangement de l’affichage, visualiser et filtrer la liste des paramètres
d’un dispositif, ajouter un nouveau dispositif et éditer un dispositif existant.
53/88
Fonctionnement
1
Fig. 42:
Vue d’ensemble à vignettes
1 Passer à la vue d’ensemble à vignettes
Passer à la vue d’ensemble à vignettes
► Effleurez
gnettes.
7.7.1
pour passer de la vue d’ensemble sous forme de liste à la vue d’ensemble à vi-
Ajout d’un nouveau dispositif
Fig. 43:
Saisie des informations
Saisie des informations
1. Pour ajouter des informations sur un nouveau dispositif, effleurez [Ajouter dispositif] sur l’écran
de vue d’ensemble des dispositifs.
2. Entrez le nom, l’ID et le raccordement du dispositif dans les champs correspondants.
– Vous pouvez aussi ajouter le type de composant, le numéro de série et l’adresse du dispositif.
1
Fig. 44:
Ajout d’un nouveau dispositif
1 Recherche par nom du dispositif
54/88
2
2
Affichage des informations sur le dispositif
Fonctionnement
Ajout d’un nouveau dispositif
1. Entrez le nom du dispositif dans la boîte de recherche.
2. Sélectionnez le dispositif désiré.
3. Cliquez sur [Soumettre].
7.7.2
Édition et filtrage des informations détaillées
1
2
3
4
5
Fig. 45:
Liste des paramètres d’un dispositif
1 Quittance de défaillance
2 Pompe à vide (pompe)
3 Courant de l’entraînement
4
5
Vitesse de rotation nominale
Code d’erreur
Liste des paramètres d’un dispositif
► Dans la liste des paramètres, vous pouvez voir les paramètres d’un dispositif, filtrer la recherche
selon certains paramètres, voir les informations détaillées d’un paramètre spécifique et éditer les
informations détaillées.
1
Fig. 46:
Visualisation et édition des informations détaillées
1 Affichage des informations détaillées pour un dispositif
Visualisation et édition des informations détaillées
1. Effleurez le nom du dispositif désiré pour voir ses informations détaillées.
2. Éditez le ou les paramètres désirés.
3. Effleurez [Soumettre] pour appliquer les changements.
55/88
Fonctionnement
1
2
Fig. 47:
Filtrage de la liste des paramètres par code/nom Pfeiffer Vacuum
1 Champ de saisie du nom/code PV pour les paramètres
2
Résultats de la recherche
Filtrage de la liste des paramètres par code/nom Pfeiffer Vacuum
► Pour filtrer les paramètres, entrez le nom/code désiré dans la boîte de recherche.
– Pour les codes et les noms Pfeiffer Vacuum, consultez le manuel de l’utilisateur des pompes
primaires et de l’unité de commande électronique (voir chapitre « Caractéristiques du produit », page 20).
7.8
Page d’aide
La page Aide fournit des informations sur les versions du logiciel et du hardware du dispositif. La page
Aide fournit aussi la plaque signalétique numérique.
1
Fig. 48:
2
Page d’aide HiCube Neo
1 Affichage de la plaque signalétique numérique
2
Affichage des versions du logiciel et du hardware
d’un dispositif
Appel de la page Aide
► Effleurez le bouton Aide dans le menu principal pour accéder à la page Aide.
La vue d’ensemble du journal vous montre des informations sur le niveau, l’origine et la date et l’heure
d’un journal. Dans la colonne Message, vous pouvez voir les informations détaillées sur un journal. Remarque : la vue d’ensemble des journaux est seulement visible pour les utilisateurs du service aprèsvente.
56/88
Fonctionnement
Fig. 49:
7.9
Journaux HiCube Neo
Messages
La vue d’ensemble des messages vous fournit des informations sur le code de message, le nom de
l’unité, la description et la date et l’heure de publication du message.
Fig. 50:
Vue d’ensemble de tous les messages
Appel de la page des messages
1. Effleurez le bouton Messages dans le menu principal pour accéder à la page des messages.
Fig. 51:
Visualisation des informations détaillées sur un message
Visualisation des informations détaillées sur un message
► Effleurez le message désiré pour appeler la vue détaillée de ce message.
Informations détaillées :
●
●
●
●
Description du message
Nom du dispositif
Date de publication du message
Date de mise à jour du message
57/88
Fonctionnement
● Causes possibles d’une erreur
● Remède
7.10
Réglages
7.10.1
Réglages généraux
1
2
3
Fig. 52:
1
2
3
Réglages généraux
Affichage de la date et de l’heure
Affichage du fuseau horaire
Remise à zéro vers les réglages-usine
Mise à jour de la date et de l’heure du système
► Effleurez [Date et heure] pour régler l’heure et la date.
► Effleurez [Fuseau horaire] pour définir le fuseau horaire.
– Vous pouvez filtrer les fuseaux horaires par le nom.
Réglage de la HiCube Neo sur les réglages-usine
► Effleurez [Reset réglages-usine] pour remettre à zéro la HiCube Neo vers ses réglages-usine.
– Tous les dispositifs ajoutés sauf les deux pompes standards (HiPace et pompe primaire) sont
supprimés de la liste des dispositifs disponibles.
7.10.2
Réglages du réseau
1
2
3
4
5
Fig. 53:
Changement de l’adresse IP
1 Ethernet [eth0]
2 DHCP
3 Adresse IP (adresse IP)
4
5
Masque de sous-réseau
Passerelle
Changement de l’adresse IP
1. Effleurez le bouton Réglages dans le menu principal.
2. Effleurez [Réseau].
3. Effleurez [Ethernet[eth0]] pour changer l’adresse IP.
– Si vous activez DHCP, l’adresse IP statique est conservée.
58/88
Fonctionnement
7.10.3
Conversion d’unités
1
2
3
Fig. 54:
Vue d’ensemble des unités
1 Température
2 Pression
3
Fréquence
Conversion d’unités
1. Effleurez le bouton Réglages dans le menu principal.
2. Effleurez [Unités].
3. Sélectionnez une unité qui convient dans le menu déroulant.
7.11 Mise à jour du micrologiciel via le Cloud
Conditions préalables
● HiCube Neo mis en circuit
● Connexion Internet disponible
7.11.1
Téléversement du micrologiciel vers le dispositif
Fig. 55:
Téléversement du micrologiciel vers le dispositif
Téléversement du micrologiciel vers le dispositif
1. Effleurez [Mise à jour Cloud].
– Vous pouvez seulement mettre à jour le micrologiciel via le Web ou le Cloud. Il est impossible
d’utiliser une clé USB pour mettre à jour le micrologiciel.
2. La mise à jour démarre automatiquement.
– La fenêtre de mise à jour montre l’action de transfert.
59/88
Fonctionnement
7.11.2
Procédure de mise à jour
Fig. 56:
Procédure de mise à jour
La mise à jour démarre automatiquement. après le téléversement du micrologiciel. Le fait de mettre
hors circuit le dispositif pendant la mise à jour peut entraîner une perte de données ou l’annulation de
l’action de mise à jour. Vous verrez un message une fois la mise à jour complètement terminée.
7.11.3
Achèvement d’une mise à jour
1
Fig. 57:
2
Achèvement d’une mise à jour
1 Message : échec de la mise à jour
2
Message : mise à jour effectuée avec succès
Achèvement d’une mise à jour
● Si une erreur est survenue, redémarrez la procédure de mise à jour.
● Si la connexion à Internet a été interrompue pendant la procédure de mise à jour, un message
« Connexion interrompue » s’affiche.
La procédure de mise à jour est reprise automatiquement dès qu’une connexion à Internet est rétablie.
● Le système redémarre ensuite pour terminer la procédure de mise à jour.
60/88
Maintenance
8 Maintenance
8.1
Informations générales sur la maintenance
AVERTISSEMENT
Danger de mort lié à un choc électrique pendant la maintenance et l’entretien
L’appareil n’est complètement hors tension que lorsque la prise secteur a été débranchée et que la
pompe turbomoléculaire est à l’arrêt. Danger de mort par électrocution en cas de contact avec des
composants sous tension.
► Avant tout travail, mettez hors circuit l’interrupteur secteur.
► Attendez l'arrêt de la pompe turbomoléculaire (vitesse de rotation f = 0).
► Débranchez la prise secteur de l’appareil.
► Sécurisez l’appareil contre tout redémarrage intempestif.
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
AVERTISSEMENT
En mettant les mains dans la connexion de vide secondaire ouverte, risque de coupure lié aux
pièces coupantes en mouvement
Une manipulation incorrecte de la pompe turbomoléculaire avant le travail de maintenance entraîne
une situation dangereuse avec un risque de blessure. Lors du démontage de la pompe turbomoléculaire, il y a un risque de coupure en manipulant des pièces en rotation avec des faces acérées.
► Attendez l'arrêt de la pompe turbomoléculaire (vitesse de rotation f = 0).
► Mettez correctement hors circuit la pompe turbomoléculaire.
► Sécurisez la pompe turbomoléculaire contre tout risque de redémarrage.
► Fermez immédiatement les connexions ouvertes après démontage en utilisant le cache d'origine.
8.2
Intervalles de maintenance et responsabilités
Instructions pour l'exécution de la maintenance
1. Effectuer la maintenance requise sur les composants du groupe de pompage, conformément aux
instructions fournies dans chaque manuel de l'utilisateur.
2. Nettoyer l'extérieur du groupe de pompage turbo avec un chiffon non pelucheux et un peu d'alcool
isopropylique.
3. En cas de charges extrêmes ou de processus avec des fluides contaminés, consulter Pfeiffer Vacuum Service pour déterminer des intervalles de maintenance plus courts.
4. Pour toutes les autres opérations de nettoyage, maintenance ou réparation, contacter le centre
Pfeiffer Vacuum Service adéquat.
61/88
Maintenance
8.3
Retrait de composants pour la maintenance
AVIS
Risque d’anomalie à la suite du changement de configuration de raccordement
Les raccordements du groupe de pompage sont préconfigurés en usine. Si les lignes de commande
sur la fiche de connexion sont interverties, ceci peut entraîner une anomalie ou une défaillance du
groupe de pompage.
► Lors du démontage des composants, notez leur configuration d’origine pour le remontage subséquent.
Pour la maintenance des composants du groupe de pompage, vous pouvez avoir besoin de retirer les
composants du cadre de groupe de pompage.
Retrait des composants
► Si nécessaire, retirez les composants du cadre de groupe de pompage pour effectuer leur maintenance.
Unité de commande électronique
Acc. A1
Acc. B1
TC 80
Ventilateur (thermorégulé)
ou
Chauffage
Vanne de ventilation
TC 110
Tab. 19:
8.4
Raccordements des accessoires préréglés pour TC 80 et TC 110
Unité de commande électronique
Acc. A
Acc. B
TC 400
Ventilateur (thermorégulé)
ou
Chauffage
Vanne de ventilation
Tab. 20:
Raccordements des accessoires préréglés pour TC 400
Démontage des raccordements électriques
Avant toute intervention, toujours débrancher l'appareil de l'alimentation secteur
1. Arrêter l'appareil.
2. Attendre que tous les composants soient complètement immobilisés.
3. Mettre hors circuit l'interrupteur principal.
4. Débrancher le câble d'alimentation de l'appareil.
1
3
Fig. 58:
Démontage des raccordements électriques
1 Interrupteur principal
2 Connecteur
62/88
2
3
Câble d’alimentation électrique
Maintenance
Démontage des raccordements électriques
1. Pour le refroidissement à l’eau : Fermez l’alimentation en eau de refroidissement.
2. Déconnectez et retirez les lignes de commande accessoires.
8.5
Installation/retrait de la pompe turbomoléculaire
Paramètres d’usine
Tous les raccords d'accessoires de pompe turbo sont préconfigurés en usine. Toute confusion entraînera des dysfonctionnements ou une défaillance fonctionnelle.
1. Prière de noter la configuration initiale du produit.
2. Noter les connexions de câble et les paramètres avant d'effectuer toute modification.
Nombre de vis de fixation
Le nombre de vis de fixation varie selon la taille de la pompe turbomoléculaire.
Pompe turbomoléculaire
Vis de fixation
Quantité
Couple de serrage
HiPace 80 Neo
Six pans creux M5 × 12
4 pièces
6 Nm
HiPace 300
Six pans creux M8 × 20
5 pièces
25 Nm
HiPace 350 | 450 | 700 | 700 H
Six pans creux M8 × 20
6 pièces
25 Nm
Tab. 21:
8.5.1
Couple de serrage pour la fixation des pompes turbomoléculaires
Retrait de la pompe turbomoléculaire du modèle de bureau
Condition préalable
● Groupe de pompage turbomoléculaire mis hors circuit
Outils requis
●
●
●
●
Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 2,5
Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 3
Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 4 (pour HiPace 80 Neo)
Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 6 (pour HiPace 300)
1
2
3
4
Fig. 59:
Détachement du boîtier supérieur – modèle de bureau
1 Vis à six pans creux, 4×
2 Boîtier supérieur
3
4
Vis à six pans creux, 2×
Boîtier de partie inférieure
63/88
Maintenance
Détachement du boîtier supérieur – modèle de bureau
1. Déconnectez tous les connecteurs de l’unité de commande électronique et des prises AccessLink.
2. Retirez le raccord de vide primaire de la pompe primaire.
– Évitez d’endommager le tuyau flexible de vide primaire.
3. Retirez les 4 vis du boîtier supérieur.
4. Retirez les 2 vis du boîtier de partie inférieure.
3
1
2
Fig. 60:
Retrait de la pompe turbomoléculaire – modèle de bureau
1 Vis de fixation avec disque de freinage
2 Boîtier supérieur
3
Pompe turbomoléculaire
Retrait de la pompe turbomoléculaire – modèle de bureau
1. Poussez le boîtier supérieur avec la pompe turbomoléculaire et retirez-le du groupe de pompage
par l’arrière.
– Évitez de déformer les pattes du boîtier supérieur.
2. Retirez les vis de fixation avec les disques de freinage du boîtier supérieur.
3. Retirez la pompe turbomoléculaire du boîtier supérieur.
8.5.2
Retrait de la pompe turbomoléculaire du modèle autonome
Condition préalable
● Groupe de pompage turbomoléculaire mis hors circuit
Outils requis
● Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 4 (pour HiPace 80 Neo)
● Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 6 (à partir de la HiPace 300)
1
2
Fig. 61:
Retrait de la pompe turbomoléculaire – modèle autonome
1 Pompe turbomoléculaire
64/88
2
Vis de fixation avec disque de freinage
Maintenance
Retrait de la pompe turbomoléculaire – modèle autonome
1. Déconnectez tous les connecteurs de l’unité de commande électronique et des prises AccessLink.
2. Détachez le raccord de vide primaire de la pompe turbomoléculaire.
– Évitez d’endommager le tuyau flexible de vide primaire.
3. Retirez les vis de fixation avec leurs disques de freinage du carter du groupe de pompage.
4. Retirez la pompe turbomoléculaire du groupe de pompage.
8.5.3
Installation de la pompe turbomoléculaire dans un modèle de bureau
Condition préalable
● Pompe primaire installée dans le groupe de pompage
Outils requis
●
●
●
●
Clé dynamométrique six pans creux, WAF 2,5
Clé dynamométrique six pans creux, WAF 3
Clé dynamométrique six pans creux, WAF 4 (pour HiPace 80 Neo)
Clé dynamométrique six pans creux, WAF 6 (pour HiPace 300)
2
1
3
Fig. 62:
Installation de la pompe turbomoléculaire – modèle de bureau
1 Vis de fixation avec disque de freinage
2 Pompe turbomoléculaire
3
Boîtier supérieur
Installation de la pompe turbomoléculaire – modèle de bureau
1. Positionnez la pompe turbomoléculaire sur le boîtier supérieur.
2. Vissez les vis de fixation avec les disques de freinage dans le boîtier supérieur.
– Couple de serrage : varie en fonction de la version de la pompe turbomoléculaire
3. Poussez le boîtier supérieur avec la pompe turbomoléculaire dans le groupe de pompage par l’arrière.
– Évitez de déformer les pattes du boîtier supérieur.
65/88
Maintenance
1
2
3
4
Fig. 63:
Installation du boîtier supérieur – modèle de bureau
1 Vis à six pans creux, 4×
2 Boîtier supérieur
3
4
Vis à six pans creux, 2×
Boîtier de partie inférieure
Installation du boîtier supérieur – modèle de bureau
1. Vissez les 4 vis dans le boîtier supérieur.
– Couple de serrage : 1,4 Nm
2. Vissez les 2 vis dans le boîtier de partie inférieure.
– Couple de serrage : 3 Nm
8.5.4
Installation de la pompe turbomoléculaire dans le modèle autonome
Condition préalable
● Pompe primaire installée dans le groupe de pompage
Outils requis
● Clé dynamométrique six pans creux, WAF 4 (pour HiPace 80 Neo)
● Clé dynamométrique six pans creux, WAF 6 (pour
HiPace 300/300 H/350/400/450/700/700 H/800/800 H)
1
2
Fig. 64:
Installation de la pompe turbomoléculaire – modèle autonome
1 Pompe turbomoléculaire
66/88
2
Vis de fixation avec disque de freinage
Maintenance
Installation de la pompe turbomoléculaire – modèle autonome
1. Positionnez la pompe turbomoléculaire sur le groupe de pompage.
2. Vissez les vis de fixation avec les disques de freinage dans le carter du groupe de pompage.
– Couple de serrage : varie en fonction de la version de la pompe turbomoléculaire
8.6
Installation/retrait de la pompe primaire
8.6.1
Retrait de la pompe primaire du modèle de bureau
Condition préalable
● Boîtier supérieur avec pompe turbomoléculaire retirés du groupe de pompage
Outils requis
● Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 4
1
2
3
Fig. 65:
Retrait de la pompe primaire – modèle de bureau
1 Vis de fixation avec disque de freinage, 4×
2 Pompe primaire
3
Rail de fixation, 2×
Retrait de la pompe primaire – modèle de bureau
1. Retirez les 4 vis de fixation avec les disques de freinage des rails.
2. Retirez la pompe primaire du groupe de pompage.
8.6.2
Démontage de la pompe primaire du modèle autonome
Condition préalable
● Boîtier supérieur avec pompe turbomoléculaire retirés du groupe de pompage
Outils requis
● Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 6 (pour HiScroll)
67/88
Maintenance
1
2
Fig. 66:
Retrait de la pompe primaire – HiScroll
1 HiScroll
2
Vis de fixation avec disque de freinage, 4×
Retrait de la pompe primaire — HiScroll
1. Déconnectez tous les connecteurs de l’unité de commande électronique et des prises AccessLink.
2. Détachez le raccord de vide primaire de la HiScroll.
– Évitez d’endommager le tuyau flexible de vide primaire.
3. Retirez les 4 vis de fixation avec les disques de freinage de la HiScroll.
4. Retirez la HiScroll du groupe de pompage.
Retrait de la pompe primaire — SmartVane Duo et ACP
1. Détachez toutes les fiches de connexion de l’unité de commande électronique et des prises AccessLink.
2. Détachez le raccord de vide primaire de la SmartVane ou de la Duo.
– Évitez d’endommager le tuyau flexible de vide primaire.
3. Retirez les 4 vis de fixation avec les disques de freinage des rails.
4. Retirez la SmartVane ou la Duo du groupe de pompage.
8.6.3
Installation de la pompe primaire dans le modèle de table
Outils requis
● Clé dynamométrique six pans creux, WAF 4
68/88
Maintenance
1
2
3
Fig. 67:
Installation de la pompe primaire – modèle de bureau
1 Vis de fixation avec disque de freinage, 4×
2 Pompe primaire
3
Rail, 2×
Installation de la pompe primaire – modèle de bureau
1. Positionnez la pompe primaire sur les rails dans le groupe de pompage.
2. Vissez les 4 vis de fixation avec les disques de freinage dans les rails.
– Couple de serrage : 2,5 Nm
8.6.4
Installation de la pompe primaire dans le modèle autonome
Outils requis
● Clé dynamométrique six pans creux, WAF 6 (pour HiScroll)
1
2
Fig. 68:
1 HiScroll
Exemple d’installation de la pompe primaire – HiScroll
2
Vis de fixation avec disque de freinage, 4×
Installation de la pompe primaire – HiScroll
1. Positionnez la HiScroll dans le groupe de pompage.
2. Vissez les 4 vis de fixation avec les disques de freinage dans les rails.
– Couple de serrage : 19 Nm
69/88
Maintenance
Installation de la pompe primaire – SmartVane et Duo
1. Positionnez la SmartVane ou la Duo sur les rails dans le groupe de pompage.
2. Vissez les 4 vis de fixation avec les disques de freinage dans les rails.
– Couple de serrage : 19 Nm
3. Installez le raccord de vide primaire.
– Évitez d’endommager le tuyau flexible de vide primaire.
4. Détachez tous les connecteurs de l’unité de commande électronique et des prises AccessLink.
– Observez les informations concernant les raccordements des accessoires préréglés.
70/88
Mise hors service
9 Mise hors service
9.1
Mettre hors service pour de longues périodes
Procédure
1. Si nécessaire, retirez le groupe de pompage du système de vide.
2. Si nécessaire, remplacez le réservoir de fluide d’exploitation de la pompe turbomoléculaire.
3. Obturez hermétiquement toutes les ouvertures de bride avec les capuchons de protection d’origine.
4. Le groupe de pompage doit être stocké en intérieur, à une température comprise entre -10 °c et
+40 °C.
5. Dans les locaux où l’atmosphère est humide ou corrosive : Placez le groupe de pompage et un
produit dessiccant dans un sac en plastique hermétique.
9.2
Remettre en service
AVIS
Risque d'endommagement de la pompe turbo lié au vieillissement du fluide d’exploitation
après la remise en service
La durée de conservation du fluide d’exploitation de la pompe turbo est limitée. Le vieillissement du
fluide d’exploitation peut entraîner la défaillance du roulement à billes et endommager la pompe turbo.
► Respecter les intervalles de remplacement du fluide d’exploitation :
● après 2 ans au maximum sans fonctionnement,
● après 4 ans au maximum en combinant périodes de fonctionnement et d'arrêt.
► Respecter les instructions de maintenance et informer le service Pfeiffer Vacuum.
AVIS
Risque de dégâts à la pompe à vide par vieillissement excessif du fluide d’exploitation
Le fluide d’exploitation perd ses propriétés après un certain temps (2 ans max.). Avant la remise en
service après un arrêt de 2 ans ou plus, effectuer les opérations suivantes.
► Remplacer le fluide d’exploitation.
► Remplacer la bague radiale à lèvres à ressort et les autres pièces en élastomère si nécessaire.
► Respecter les consignes de maintenance. Si besoin, demander conseil auprès de Pfeiffer Vacuum.
Procédure de remise en service du groupe de pompage
1. Contrôlez le groupe de pompage à la recherche de tout signe de contamination et de moisissure.
2. Nettoyez l’extérieur du groupe de pompage turbomoléculaire avec un chiffon non pelucheux et un
peu d’alcool isopropylique.
3. Si nécessaire, demandez au service Pfeiffer Vacuum de nettoyer entièrement le groupe de pompage.
4. Si nécessaire, demandez au service Pfeiffer Vacuum de nettoyer entièrement les composants du
groupe de pompage.
5. Installez le groupe de pompage conformément à ces instructions (voir chapitre « Installation », page 26).
6. Remettez en service le groupe de pompage conformément à ces instructions .
71/88
Recyclage et mise au rebut
10
Recyclage et mise au rebut
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
Protection de l’environnement
Vous devez mettre au rebut le produit et ses composants conformément aux directives applicables pour la protection des personnes, de l’environnement et de la nature.
● Contribuez à la réduction du gaspillage des ressources naturelles.
● Évitez toute contamination.
10.1 Informations générales sur la mise au rebut
Les produits Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables.
► Mettez au rebut nos produits en séparant :
– Fer
– Aluminium
– Cuivre
– Matière synthétique
– Composants électroniques
– Huiles et graisses, sans solvant
► Observez les mesures de sécurité spéciales pour la mise au rebut de :
– Fluoroélastomères (FKM)
– Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé
10.2
Mettre au rebut des pompes turbomoléculaires
Les pompes turbomoléculaires Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux que vous devez recycler.
1. Enlevez tout le réservoir du fluide d’exploitation.
2. Enlevez l’unité de commande électronique.
3. Décontaminez les composants qui sont entrés en contact avec les gaz de procédé.
4. Séparez les composants en matériaux recyclables.
5. Recyclez les composants non contaminés.
6. Mettez au rebut le produit ou les composants de façon sûre en conformité avec toutes les directives applicables.
10.3 Élimination de la pompe rotative à palettes
Les systèmes de pompes rotatives à palettes Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux à recycler.
1. Vidangez la totalité du fluide d’exploitation.
2. Seulement pour DuoLine : Démantelez le moteur.
3. Décontaminez les composants qui entrent en contact avec les gaz de procédé.
4. Séparez les composants en matériaux recyclables.
5. Recyclez les composants non contaminés.
6. Éliminez sûrement le produit ou les composants en conformité avec toutes les directives applicables.
72/88
Recyclage et mise au rebut
10.4 Mise au rebut des pompes roots à plusieurs étages
Les pompes roots Pfeiffer Vacuum ACP contiennent des matériaux que vous devez recycler.
1. Vidangez complètement le lubrifiant.
2. Décontaminez les composants qui entrent en contact avec les gaz de procédé.
3. Séparez les composants en matériaux recyclables.
4. Recyclez les composants non contaminés.
5. Éliminez sûrement le produit ou les composants en conformité avec toutes les directives applicables.
10.5
Mise au rebut de la pompe Scroll
Les pompes Scroll Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux à recycler.
1. Déconnectez l’unité de commande électronique.
2. Démantelez le moteur.
3. Décontaminez les composants qui entrent en contact avec les gaz de procédé.
4. Séparez les composants en matériaux recyclables.
5. Recyclez les composants non contaminés.
6. Mettez au rebut le produit ou les composants de façon sûre en conformité avec toutes les directives applicables.
10.6
Mise au rebut des pompes à diaphragme
Les pompes à diaphragme Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables.
1. Déconnectez l’unité de commande électronique.
2. Démantelez le moteur.
3. Décontaminez les composants qui entrent en contact avec les gaz de procédé.
4. Séparez les composants en matériaux recyclables.
5. Recyclez les composants non contaminés.
6. Mettez au rebut le produit ou les composants de façon sûre en conformité avec toutes les directives applicables.
73/88
Dysfonctionnements
11
Dysfonctionnements
11.1
Généralités
AVERTISSEMENT
Danger de mort lié à l'éjection de composants de la pompe turbomoléculaire en cas de défaut
Un blocage soudain du rotor génère des couples hautement destructeurs conformément à la norme
ISO 27892. Si la pompe turbomoléculaire n'est pas correctement fixée, elle peut rompre. L'énergie
ainsi libérée pourrait projeter la pompe turbomoléculaire ou des fragments de l'intérieur de celle-ci
dans l'espace environnant. Des gaz potentiellement dangereux pourraient être libérés. Il y a un risque de très graves blessures, voire de mort, et de dommages matériels très importants.
► Les instructions d'installation de cette pompe turbomoléculaire doivent être respectées.
► Les exigences de stabilité et de structure de la contre-bride doivent être observées.
► Utilisez uniquement les accessoires d'origine ou des matériaux de fixation agréés par Pfeiffer Vacuum pour l'installation.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure lié à la rupture et à la projection de la pompe turbo avec le compensateur
de vibration en cas de dysfonctionnement
Un blocage soudain du rotor génère des couples hautement destructeurs conformément à la norme
ISO 27892. L'utilisation d'un compensateur de vibration entraînerait probablement la rupture et la
projection de la pompe turbo en fonctionnement. L'énergie ainsi libérée pourrait projeter la pompe
turbo ou des fragments de l'intérieur de celle-ci dans l'espace environnant. Des gaz potentiellement
dangereux pourraient être libérés. Il y a un risque de très graves blessures, voire de mort, et de dommages matériels très importants.
► Des mesures de sécurité sur site pour la compensation des couples doivent être prises.
► Avant d'installer un compensateur de vibration, vous devez d'abord contacter Pfeiffer Vacuum.
Les dysfonctionnements du groupe de pompage sont généralement causés par des pannes sur les
composants individuels. Les LED sur la pompe turbomoléculaire et sur la pompe primaire indiquent
l’état de fonctionnement du dispositif respectif.
● L’affichage montre les états de marche basiques du groupe de pompage.
● L’affichage montre les anomalies de fonctionnement.
11.2 Dépannage
74/88
Problème
Causes possibles
Action corrective
Affichage ne montrant
pas d’informations.
● Pas de tension de
fonctionnement
présente
● Contrôlez la tension de fonctionnement.
● Contrôlez le raccordement du câble pour
courant fort.
● Mettez en circuit l’interrupteur secteur.
● Tension de fonctionnement incorrecte
● Notez les spécifications de la plaque signalétique.
● Alimentez avec la tension de fonctionnement correcte.
● Système électronique de commande
défectueux
● Contactez le service après-vente Pfeiffer Vacuum.
Dysfonctionnements
Problème
Causes possibles
Action corrective
Groupe de pompage
n’atteignant pas la pression limite.
● Condensats dans
la pompe primaire
● Ouvrez la soupape de lest d’air de la pompe primaire.
● Soupape de lest
d’air ouverte
● Fermez la soupape de lest d’air de la pompe primaire.
La vanne de ventilation
ne s’ouvre pas directement après la mise à
l’arrêt.
● Retard de ventilation activé
● Contrôlez les réglages pour le retard de
ventilation.
Le retard de ventilation ouvre la vanne de
ventilation après un temps de préréglage.
L’ouverture est indiquée immédiatement.
Tab. 22:
Dépannage
11.3 Messages d’anomalie de fonctionnement
Les messages d’erreur sont affichés sur le tableau de bord et dans la barre de navigation. Vous trouverez en plus un historique des messages d’erreur dans le menu Messages. Une explication plus détaillée
des messages d’erreur peut être trouvée dans le manuel de l’utilisateur pour les composants individuels.
Messages d’anomalie de fonctionnement
Pour les messages d’erreur, une icône d’avertissement apparaît sur le côté gauche de la
barre de navigation et dans le panneau « État du système » sur le tableau de bord. En appuyant sur l’icône d’avertissement ou le bouton « État du système », la vue d’ensemble du
message d’erreur est affichée.
1
2
Fig. 69:
Exemple de message d’erreur sur le tableau de bord
1 Message d’erreur dans l’état du système
2
Message d’erreur dans la barre de navigation
75/88
Dysfonctionnements
1
2
Fig. 70:
Exemple de message d’erreur dans le menu Messages
1 Message d’erreur actuel
76/88
2
Historique des messages d’erreur
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
12
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
Nous offrons un service de première classe
Une longue durée de vie des composants du vide, associée à des temps d’arrêt réduits, sont ce que
vous attendez clairement de nous. Nous répondons à vos besoins par des produits efficaces et un service d’exception.
Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux
composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit
Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien
évidemment.
Nos ingénieurs commerciaux et techniciens de service professionnels sont à votre disposition pour
vous assurer un soutien pratique dans le monde entier. Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de
services, allant des pièces de rechange d’origine aux accords de service.
Profitez du service Pfeiffer Vacuum
Qu'il s’agisse du service préventif sur place de notre service sur site, du remplacement rapide par des
produits de rechange comme neufs ou de la réparation dans un centre de service proche de chez
vous ; vous disposez d'une variété d’options pour maintenir la disponibilité de votre équipement. Vous
trouverez des informations détaillées ainsi que les adresses sur notre site web dans la section Pfeiffer Vacuum Service.
Des conseils sur la solution optimale sont disponibles auprès de votre interlocuteur Pfeiffer Vacuum.
Pour un déroulement rapide et efficace de la procédure de service, nous recommandons de suivre les étapes suivantes :
1. Télécharger les modèles de formulaire actuels.
─ Déclaration de demande de service
─ Demande de service
─ Déclaration de contamination
a) Démonter tous les accessoires et les conserver (toutes les pièces externes
montées telles que la vanne, le filtre d’arrivée, etc.).
b) Vidanger le fluide d'exploitation / lubrifiant si nécessaire.
c) Vidanger le fluide de refroidissement si nécessaire.
2. Remplir la demande de service et la déclaration de contamination.
ANFORDERUNG SERVICE
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
3. Envoyer les formulaires par e-mail, fax ou par courrier à votre centre de service local.
4. Vous recevrez une réponse de Pfeiffer Vacuum.
Envoi de produits contaminés
Aucune unité ne sera acceptée si elle est contaminée par des substances micro-biologiques, explosives
ou radioactives. Si les produits sont contaminés ou si la déclaration de contamination est manquante,
Pfeiffer Vacuum contactera le client avant de démarrer la maintenance. Par ailleurs, selon le produit et
le niveau de contamination, des frais de décontamination supplémentaires peuvent être facturés.
77/88
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails contenus dans la déclaration de contamination.
a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec.
b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air.
c) Sceller le produit dans un film de protection approprié.
d) Emballer le produit dans des conteneurs de transport stables appropriés uniquement.
e) Respecter les conditions de transport en vigueur.
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
6. Joindre la déclaration de contamination sur l’extérieur de l’emballage.
7. Envoyer ensuite le produit à votre centre de service local.
8. Vous recevrez un message de confirmation / un devis de la part de
Pfeiffer Vacuum.
Pour toutes les demandes de service, nos Conditions générales de vente et de livraison ainsi que nos
Conditions générales de réparation et de maintenance sont appliquées aux équipements et composants du vide.
78/88
Accessoires
13
Accessoires
Recommandation
Veuillez vous référer à la liste d'accessoires pour chaque composant dans leur manuel de
l'utilisateur respectif ou en ligne sur catalogue des accessoires pour pompes turbomoléculaires à paliers hybrides.
79/88
Caractéristiques techniques et dimensions
14
Caractéristiques techniques et dimensions
14.1
Généralités
Cette section décrit les bases des données techniques des pompe turbo Pfeiffer Vacuum.
Caractéristiques techniques
Les valeurs maximum se rapportent exclusivement à l'entrée en tant que charge simple.
● Spécifications selon la commission PNEUROP PN5
● ISO 27892 2010 : « Technique du vide - Pompes turbomoléculaires - Mesure du couple d'arrêt
rapide »
● ISO 21360 2012 : « Technique du vide - Méthodes normalisées pour mesurer les performances
des pompes à vide - Partie 1 : Description générale »
● ISO 21360 2018 : « Technique du vide - Méthodes normalisées pour mesurer les performances
des pompes à vide - Partie 4 : Pompes à vide turbomoléculaires »
● Pression ultime avec dôme de test après 48 h
● Débit de gaz avec refroidissement à eau ; pompe de secours = pompe à palettes rotative
(10 m3/h)
● Consommation d’eau de refroidissement à débit maximum de gaz, température de l’eau de refroidissement 25 °C
● Taux de fuite intégral avec une concentration de 100 % d'hélium, durée de mesure 10 s
● Niveau de pression acoustique à une distance = 1 m de la pompe à vide
mbar
bar
Pa
100
kPa
Torr | mm Hg
1
0,1
0,75
1
1 · 10
bar
1000
1
1 · 10
1000
100
750
Pa
0,01
1 · 10-5
1
0,01
1 · 10-3
7,5 · 10-3
hPa
1
1 · 10
100
1
0,1
0,75
kPa
10
0,01
1000
10
1
7,5
Torr | mm Hg
1,33
1,33
0,133
1
5
-3
133,32
-3
1,33 · 10
1 Pa = 1 N/m
Tab. 23:
2
Tableau de conversion : Unités de pression
mbar l/s
Pa m3/s
sccm
Torr l/s
atm cm3/s
1
0,1
59,2
0,75
0,987
Pa m /s
10
1
592
7,5
9,87
sccm
1,69 · 10-2
1,69 · 10-3
1
1,27 · 10-2
1,67 · 10-2
Torr l/s
1,33
0,133
78,9
1
1,32
atm cm3/s
1,01
0,101
59,8
0,76
1
mbar l/s
3
Tab. 24:
14.2
hPa
mbar
-3
Tableau de conversion : Unités de débit du gaz
Fiche technique
Vous trouverez la fiche technique des autres modèles HiCube Neo sur la page des produits HiCube Neo.
14.2.1
80/88
Fiche technique de l’unité de bureau
Désignation du type
HiCube 80 Neo
HiCube 80 Neo
HiCube 80 Neo
Grandeur de bride principale
DN 40
DN 63
DN 63
Type bride principale
ISO-KF
ISO-K
CF-F
Caractéristiques techniques et dimensions
Désignation du type
HiCube 80 Neo
HiCube 80 Neo
HiCube 80 Neo
Grandeur de bride secondaire
G 1/8''
G 1/8''
G 1/8''
Pompe turbomoléculaire
HiPace 80 Neo
HiPace 80 Neo
HiPace 80 Neo
Pompe primaire
MVP 015-2
MVP 015-2
MVP 015-2
Pression limite
-7
1 · 10 hPa
-7
1 · 10 hPa
1 · 10-8 hPa
Débit pour N2
35 l/s
67 l/s
67 l/s
Tension(s) d’entrée
100 – 120 / 200 –
240 V CA (±10 %),
50/60 Hz
100 – 120 / 200 –
240 V CA (±10 %),
50/60 Hz
100 – 120 / 200 –
240 V CA (±10 %),
50/60 Hz
Compatibilité avec la fréquence du réseau
50 Hz, 60 Hz
50 Hz, 60 Hz
50 Hz, 60 Hz
Type de refroidissement
Air (Convection forcée)
Air (Convection forcée)
Air (Convection forcée)
Poids
14,5 kg
14,5 kg
15,5 kg
Débit de la pompe primaire
50 Hz: 1 m³/h
50 Hz: 1 m³/h
50 Hz: 1 m³/h
Tab. 25:
Désignation du type
HiCube 300 Neo
HiCube 300 Neo
Grandeur de bride principale
DN 100
DN 100
Type bride principale
ISO-K
CF-F
Grandeur de bride secondaire
G 1/8''
G 1/8''
Pompe turbomoléculaire
HiPace 300
HiPace 300
Pompe primaire
MVP 015-2
MVP 015-2
Pression limite
1 · 10-7 hPa
1 · 10-8 hPa
Débit pour N2
260 l/s
260 l/s
Tension(s) d’entrée
100 – 120 / 200 – 240 V
CA (±10 %), 50/60 Hz
100 – 120 / 200 – 240 V
CA (±10 %), 50/60 Hz
Compatibilité avec la fréquence du réseau
50 Hz, 60 Hz
50 Hz, 60 Hz
Type de refroidissement
Air (Convection forcée)
Air (Convection forcée)
Poids
19 kg
21 kg
Débit de la pompe primaire
50 Hz: 1 m³/h
50 Hz: 1 m³/h
Tab. 26:
14.2.2
Fiche technique HiCube 80 Neo
Fiche technique HiCube 300 Neo
Fiche technique du modèle autonome
Désignation du type
HiCube 80 Neo
HiCube 80 Neo
HiCube 80 Neo
Grandeur de bride principale
DN 40
DN 63
DN 63
Type bride principale
ISO-KF
ISO-K
CF-F
Grandeur de bride secondaire
DN 25
DN 25
DN 25
Pompe turbomoléculaire
HiPace 80 Neo
HiPace 80 Neo
HiPace 80 Neo
Pompe primaire
HiScroll 12
HiScroll 12
HiScroll 12
Pression limite
-7
1 · 10 hPa
-7
1 · 10 hPa
5 · 10-10 hPa
Débit pour N2
35 l/s
67 l/s
67 l/s
Tension(s) d’entrée
100 – 120 / 200 –
240 V CA (±10 %),
50/60 Hz
100 – 120 / 200 –
240 V CA (±10 %),
50/60 Hz
100 – 120 / 200 –
240 V CA (±10 %),
50/60 Hz
Compatibilité avec la fréquence du réseau
50 Hz, 60 Hz
50 Hz, 60 Hz
50 Hz, 60 Hz
Type de refroidissement
Air (Convection forcée)
Air (Convection forcée)
Air (Convection forcée)
81/88
Caractéristiques techniques et dimensions
Désignation du type
HiCube 80 Neo
HiCube 80 Neo
HiCube 80 Neo
Poids
75 kg
75 kg
76 kg
Débit de la pompe primaire
50 Hz: 12,1 m³/h
50 Hz: 12,1 m³/h
50 Hz: 12,1 m³/h
Tab. 27:
Désignation du type
HiCube 300 Neo
HiCube 300 Neo
Grandeur de bride principale
DN 100
DN 100
Type bride principale
CF-F
ISO-K
Grandeur de bride secondaire
DN 25
DN 25
Pompe turbomoléculaire
HiPace 300
HiPace 300
Pompe primaire
HiScroll 12
SmartVane 55
Pression limite
5 · 10-10 hPa
1 · 10-7 hPa
Débit pour N2
260 l/s
260 l/s
Tension(s) d’entrée
100 – 120 / 200 – 240 V
CA (±10 %), 50/60 Hz
100 – 120 / 200 – 240 V
CA (±10 %), 50/60 Hz
Compatibilité avec la fréquence du réseau
50 Hz, 60 Hz
50 Hz, 60 Hz
Type de refroidissement
Air (Convection forcée)
Air (Convection forcée)
Poids
82 kg
90,5 kg
Débit de la pompe primaire
50 Hz: 12,1 m³/h
50 Hz: 50 m³/h
Tab. 28:
Fiche technique HiCube 300 Neo
Désignation du type
HiCube 450 Neo
HiCube 450 Neo
Grandeur de bride principale
DN 160
DN 160
Type bride principale
ISO-K
CF-F
Grandeur de bride secondaire
DN 25
DN 25
Pompe turbomoléculaire
HiPace 450
HiPace 450
Pompe primaire
HiScroll 12
HiScroll 12
Pression limite
-7
1 · 10 hPa
5 · 10-10 hPa
Débit pour N2
380 l/s
380 l/s
Tension(s) d’entrée
100 – 120 / 200 – 240 V
CA (±10 %), 50/60 Hz
100 – 120 / 200 – 240 V
CA (±10 %), 50/60 Hz
Compatibilité avec la fréquence du réseau
50 Hz, 60 Hz
50 Hz, 60 Hz
Type de refroidissement
Air (Convection forcée)
Air (Convection forcée)
Poids
80,5 kg
84 kg
Débit de la pompe primaire
50 Hz: 12,1 m³/h
50 Hz: 12,1 m³/h
Tab. 29:
82/88
Fiche technique HiCube 80 Neo
Fiche technique HiCube 450 Neo
Désignation du type
HiCube 800 Neo
HiCube 800 Neo
Grandeur de bride principale
DN 200
DN 200
Type bride principale
ISO-K
CF-F
Grandeur de bride secondaire
DN 25
DN 25
Pompe turbomoléculaire
HiPace 800
HiPace 800
Pompe primaire
HiScroll 12
HiScroll 12
Pression limite
1 · 10-7 hPa
5 · 10-10 hPa
Débit pour N2
790 l/s
790 l/s
Tension(s) d’entrée
100 – 120 / 200 – 240 V
CA (±10 %), 50/60 Hz
100 – 120 / 200 – 240 V
CA (±10 %), 50/60 Hz
Caractéristiques techniques et dimensions
Désignation du type
HiCube 800 Neo
HiCube 800 Neo
Compatibilité avec la fréquence du réseau
50 Hz, 60 Hz
50 Hz, 60 Hz
Type de refroidissement
Air (Convection forcée)
Air (Convection forcée)
Poids
86 kg
92 kg
Débit de la pompe primaire
50 Hz: 12,1 m³/h
50 Hz: 12,1 m³/h
Tab. 30:
14.3
Fiche technique HiCube 800 Neo
Substances en contact avec le fluide
Substances en contact avec le fluide
Aluminium
Plastique renforcé de fibres de carbone
Aluminium anodisé, composant PTFE
Composant de résine synthétique
Alliage d’aluminium
Soudage
Aluminium plaqué nickel
Nickel
Araldite
Céramique d’oxyde, comme requis
Bronze/laiton
Polyuréthane
Acier inoxydable
Aimant terres rares
Résine epoxy
Argent
FKM
Dioxyde de silicium
Verre flotté
Acier
Fonte
Acier galvanisé
Fonte (fonte à graphite nodulaire)
Matériau composite
Céramique
Tungstène
Tab. 31:
Dimensions
HiCube Neo – modèle de bureau
274
B
A
C
201
14.4
Matières entrant en contact avec la substance du procédé
301
450
Fig. 71:
Dimensions HiCube Neo – modèle de bureau
Dimensions en mm
Désignation du type
HiCube 80 Neo
HiCube 80 Neo
HiCube 80 Neo
Type bride principale
ISO-KF
ISO-K
CF-F
A
339 mm
330 mm
336 mm
83/88
Caractéristiques techniques et dimensions
Désignation du type
HiCube 80 Neo
HiCube 80 Neo
HiCube 80 Neo
B
93 mm
93 mm
93 mm
C
151 mm
151 mm
151 mm
Tab. 32:
Dimensions HiCube 80 Neo
Désignation du type
HiCube 300 Neo
HiCube 300 Neo
Type bride principale
ISO-K
CF-F
A
396 mm
408 mm
B
108 mm
108 mm
C
171 mm
171 mm
Tab. 33:
Dimensions HiCube 300 Neo
HiCube Neo – modèle autonome
331
B
C
123
514
A
877
21
30
460
Fig. 72:
Dimensions HiCube Neo – modèle autonome
700
Dimensions en mm
Désignation du type
HiCube 80 Neo
HiCube 80 Neo
HiCube 80 Neo
Type bride principale
ISO-KF
ISO-K
CF-F
A
775 mm
766 mm
772 mm
B
204 mm
204 mm
204 mm
C
172 mm
172 mm
172 mm
Tab. 34:
Désignation du type
HiCube 300 Neo
HiCube 300 Neo
Type bride principale
ISO-K
CF-F
A
832 mm
844 mm
B
235 mm
235 mm
C
175 mm
175 mm
Tab. 35:
84/88
Dimensions HiCube 80 Neo
Dimensions HiCube 300 Neo
Désignation du type
HiCube 350 Neo
HiCube 350 Neo
Type bride principale
ISO-K
CF-F
A
865 mm
865 mm
Caractéristiques techniques et dimensions
Désignation du type
HiCube 350 Neo
HiCube 350 Neo
B
210 mm
210 mm
C
175 mm
175 mm
Tab. 36:
Dimensions HiCube 350 Neo
Désignation du type
HiCube 450 Neo
HiCube 450 Neo
Type bride principale
ISO-K
CF-F
A
824 mm
826 mm
B
210 mm
210 mm
C
175 mm
175 mm
Tab. 37:
Dimensions HiCube 450 Neo
Désignation du type
HiCube 700 Neo
HiCube 700 Neo
Type bride principale
ISO-K
CF-F
A
849 mm
861 mm
B
255 mm
255 mm
C
205 mm
205 mm
Tab. 38:
Dimensions HiCube 700 Neo
85/88
Déclaration de conformité CE
La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant.
Déclaration pour produit(s) du type :
Groupe de pompage turbomoléculaire
HiCube Neo
Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes.
Machines 2006/42/CE (Annexe II, nº 1 A)
Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE
Restrictions d’utilisation de certaines substances dangereuses, directive déléguée
2015/863/UE
Normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées :
DIN EN ISO 12100 : 2011
DIN EN 61010-1 : 2011
DIN EN IEC 63000 : 2019
DIN EN 62061 : 2013
DIN EN 61326-1 : 2013
Le représentant habilité à constituer la documentation technique est M. Tobias Stoll, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Asslar Allemagne.
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Directeur général
Asslar, 2023-06-16
Déclaration de Conformité UK
La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant.
Déclaration pour produit(s) du type :
Groupe de pompage turbomoléculaire
HiCube Neo
Nous déclarons par la présente que le produit cité satisfait à toutes les exigences applicables des Directives Britanniques suivantes.
Réglementation 2008 (Sécurité) sur la Fourniture de Machines
Réglementation 2016 sur la Compatibilité Electromagnétique
Réglementation 2012 sur la Limitation de l'Utilisation de Certaines Substances Dangereuses dans les Equipements Electriques et Electroniques
Standards et spécifications appliqués :
EN ISO 12100:2010
EN 61010-1:2010
EN IEC 63000:2018
EN 62061:2005 + A1:2013
EN 61326-1:2013
Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitution du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park,
MK169PS Newport Pagnell.
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Directeur général
Asslar, 2023-06-16
*PT0785*
ed. C - Date 2501 - P/N:PT0785BFR
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