Pfeiffer HiPace 300 M Mode d'emploi

MANUEL DE L'UTILISATEUR
FR
Traduction d'original
HIPACE 300 M
Pompe turbomoléculaire
Cher client,
Nous vous remercions d’avoir opté pour un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouvelle pompe
turbomoléculaire est conçue pour vous aider par ses performances, son parfait
fonctionnement, sans interférer avec votre application. Le nom Pfeiffer Vacuum est
synonyme de technologie du vide de haute qualité, d’une gamme étendue et complète de
produits de qualité supérieure et d’un service clients qui se distingue par son excellence.
Forts de cette expertise, nous avons acquis une multitude de compétences contribuant à une
implémentation efficace et sécurisée de notre produit.
Sachant que tout arrêt de production est pénalisant, nous espérons vous offrir une solution
efficace et fiable pour le fonctionnement continu de votre application.
Veuillez lire ce manuel de l'utilisateur avant de mettre votre produit en service pour la
première fois. Si vous avez des questions ou suggestions, n’hésitez pas à nous contacter par
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sur notre site internet.
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Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le
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ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
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contenues dans ce document.
2/64
Table des matières
Table des matières
1
A propos de ce manuel
1.1 Validité
1.1.1 Documents applicables
1.1.2 Variantes
1.2 Groupe cible
1.3 Conventions
1.3.1 Instructions dans le texte
1.3.2 Pictogrammes
1.3.3 Autocollants sur le produit
1.3.4 Abréviations
1.4 Justificatif de marque de fabrique
7
7
7
7
7
7
7
8
8
9
9
2
Sécurité
2.1 Consignes générales de sécurité
2.2 Consignes de sécurité
2.3 Mesures de sécurité
2.4 Limites d’utilisation du produit
2.5 Utilisation conforme
2.6 Utilisations non conformes prévisibles
2.7 Qualification personnelle
2.7.1 Garantir la qualification du personnel
2.7.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation
2.7.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum
10
10
10
14
15
15
16
16
16
17
17
3
Description du produit
3.1 Fonction
3.1.1 Refroidissement
3.1.2 Paliers du rotor
3.1.3 Raccord de ventilation
3.1.4 Entraînement
3.2 Étendue de la livraison
3.3 Identification du produit
3.3.1 Types de produit
3.3.2 Caractéristiques du produit
18
18
18
18
19
19
19
19
19
19
4
Transport et stockage
4.1 Transport
4.2 Stockage
20
20
20
5
Installation
5.1 Opération préparatoire
5.2 Raccordement côté vide élevé
5.2.1 Dimensions exigées d’une contre-bride
5.2.2 À propos de la protection antisismique
5.2.3 Utilisation d'un bouclier pare-éclats ou d'un écran protecteur
5.2.4 Utilisation du compensateur de vibrations
5.2.5 Orientations de montage
5.2.6 Installation d'une bride ISO-K sur ISO-K
5.2.7 Fixation de la bride ISO-K à l'ISO-F
5.2.8 Fixation de la bride ISO-F à l'ISO-F
5.2.9 Fixation d’une bride CF sur CF-F
5.3 Raccordement du côté vide primaire
5.4 Raccord d’eau de refroidissement
5.5 Raccordement de la vanne de ventilation
5.6 Raccordement des accessoires
5.7 Raccordement de l’alimentation électrique
21
21
22
22
22
23
23
24
24
25
26
27
29
30
31
32
32
3/64
Table des matières
5.7.1 Mise à la terre de la pompe turbomoléculaire
5.7.2 Raccordement électrique
4/64
33
33
6
Utilisation
6.1 Mise en service
6.2 Modes de fonctionnement
6.2.1 Fonctionnement sans unité de fonctionnement
6.2.2 Fonctionnement via le raccordement multifonctions « à distance »
6.2.3 Fonctionnement via la connexion « E74 »
6.2.4 Fonctionnement via l’appareil de commande Pfeiffer Vacuum
6.2.5 Fonctionnement via un bus de terrain
6.3 Mise en marche de la pompe turbo
6.4 Surveillance des opérations
6.4.1 Affichage du mode de travail via diodes électroluminescentes
6.4.2 Surveillance de la température
6.4.3 Usure des paliers de sécurité
6.4.4 Équilibre
6.5 Mise hors circuit et mise à l'air
6.5.1 Mise hors circuit
6.5.2 Frein électrique
6.5.3 Alimentation électrique de secours
6.5.4 Ventilation
35
35
36
36
37
37
37
37
37
38
38
38
39
39
39
39
40
40
40
7
Maintenance
7.1 Informations générales sur la maintenance
7.2 Intervalles de maintenance et responsabilités
7.3 Remplacement de l’unité de commande électronique
7.3.1 Démontage de l’unité de commande électronique
7.3.2 Installation de l’unité de commande électronique
7.3.3 Confirmation de la spécification de vitesse
42
42
42
43
43
44
45
8
Mise hors service
8.1 Mise hors service pendant une période prolongée
8.2 Remise en service
46
46
46
9
Recyclage et mise au rebut
9.1 Informations générales sur la mise au rebut
9.2 Élimination des pompes turbomoléculaires
47
47
47
10
Anomalies
48
11
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
51
12
Accessoires pour HiPace 300 M
53
13
Accessoires
13.1 Informations sur l’accessoire
13.2 Commande d’accessoires
54
54
54
14
Caractéristiques techniques et dimensions
14.1 Généralités
14.2 Fiche technique
14.3 Substances en contact avec la substance à pomper
14.4 Dimensions
57
57
57
59
59
Déclaration de conformité CE
61
Déclaration de Conformité UK
62
Liste des tableaux
Liste des tableaux
Tab. 1:
Tab. 2:
Tab. 3:
Tab. 4:
Tab. 5:
Tab. 6:
Tab. 7:
Tab. 8:
Tab. 9:
Tab. 10:
Tab. 11:
Tab. 12:
Tab. 13:
Tab. 14:
Tab. 15:
Tab. 16:
Tab. 17:
Tab. 18:
Tab. 19:
Tab. 20:
Abréviations utilisées dans ce document
Conditions ambiantes autorisées
Désignation de produit des pompes turbomoléculaires HiPace Pfeiffer Vacuum
Caractéristiques de la pompe turbo
Dimensionnement requis du raccord de vide élevé fourni par le client
Réduction de la vitesse de pompage lors de l’utilisation d'un bouclier pareéclats ou d'un écran protecteur
Exigences relatives à la composition de l’eau de refroidissement
Exigences relatives à la connexion de l’eau de refroidissement
Raccordements d’accessoires préconfigurés sur l’unité de commande électronique TM 700
Réglages d’usine de l’unité de commande électronique livrée
Comportement et signification des LED de l’unité de commande électronique
Paramètres d’usine pour la ventilation retardée dans les pompes turbomoléculaires
Vitesses de rotation nominales caractéristiques des pompes turbomoléculaires
Dépannage des pompes turbomoléculaires
Aperçu des accessoires disponibles pour HiPace 300 M
HiPace 300 M | Accessoires
Tableau de conversion : unités de pression
Tableau de conversion : unités de débit de gaz
Fiche technique pour HiPace 300 M | TM 700
Matières entrant en contact avec la substance du procédé
9
15
19
19
22
23
30
31
32
36
38
41
45
50
53
56
57
57
59
59
5/64
Liste des figures
Liste des figures
Fig. 1:
Fig. 2:
Fig. 3:
Fig. 4:
Fig. 5:
Fig. 6:
Fig. 7:
Fig. 8:
Fig. 9:
Fig. 10:
Fig. 11:
Fig. 12:
Fig. 13:
Fig. 14:
Fig. 15:
Fig. 16:
Fig. 17:
Fig. 18:
Fig. 19:
Fig. 20:
Fig. 21:
Fig. 22:
Fig. 23:
Fig. 24:
6/64
Position des autocollants sur le produit
Conception HiPace 300 M
Exemple : Raccordements de sûreté
Alignement recommandé lors de l’utilisation de pompes de secours à bain
d’huile
Raccord à bride ISO-K à ISO-F, boulons-agrafes à tête bombée
Raccordement de la bride ISO-K avec ISO-F, vis à tête hexagonale et trou
taraudé
Raccordement de la bride ISO-K avec ISO-F, goujon fileté et trou taraudé
Raccordement de la bride ISO-K avec ISO-F, goujon fileté et trou traversant
Raccord de bride ISO-F, vis à tête hexagonale et trous taraudés
Raccord de bride ISO-F, goujons et trous taraudés
Raccord de bride ISO-F, goujons et trous traversants
Raccord à bride CF-F, vis à tête hexagonale et trous traversants
Raccord à bride CF-F, goujons et trous taraudés
Raccord à bride CF-F, goujons et trous traversants
Exemple d’un raccordement de vide primaire sur HiPace 300 M
Raccorder l’alimentation en eau de refroidissement
Exemple : raccorder le câble de terre
Raccordement de l’unité de commande électronique à l’unité de courant
Démontage de l’unité de commande électronique TM 700
Installation de l’unité de commande électronique TM 700
Accessoires pour HiPace 300 M
Dimensions HiPace 300 M | DN 100 ISO-K
Dimensions HiPace 300 M | DN 100 ISO-F
Dimensions HiPace 300 M | DN 100 CF-F
9
18
23
24
24
25
25
26
26
27
27
28
28
28
29
31
33
34
44
44
53
59
60
60
A propos de ce manuel
1 A propos de ce manuel
IMPORTANT
Bien lire avant d'utiliser le produit.
Conserver ce manuel pour une future utilisation.
1.1
Validité
Ce manuel de l'utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le produit et ses
fonctions et présente les informations importantes à connaître pour une utilisation sécurisée de l'appareil. La description est effectuée selon les directives en vigueur. Toutes les informations fournies dans
ce manuel de l'utilisateur correspondent au niveau de développement actuel du produit. La documentation est valide dans la mesure où le client n'a pas apporté de modifications au produit.
1.1.1
Documents applicables
Document
Numéro
Manuel de l’utilisateur, unité de commande électronique TM 700, Standard
PT 0329 BN
Manuel de l’utilisateur, unité de commande électronique TM 700 PB, Profibus
PT 0354 BN
Manuel de l’utilisateur, unité de commande électronique TM 700 E74, selon
Semi E74
PT 0355 BN
Manuel de l’utilisateur, unité de commande électronique TM 700 DN, DeviceNet
PT 0356 BN
Manuel de l’utilisateur, unité de commande électronique TM 700 EC, EtherCat
PT 0503 BN
Déclaration de conformité
Un composant de ce
manuel de l’utilisateur
Les documents actuels sont disponibles sur le Pfeiffer Vacuum Download Center.
1.1.2
Variantes
● HiPace 300 M, DN 100 ISO-K, TM 700, 48 V DC
● HiPace 300 M, DN 100 ISO-F, TM 700, 48 V DC
● HiPace 300 M, DN 100 CF-F, TM 700, 48 V DC
1.2
Groupe cible
Ce manuel d'utilisation s’adresse à toutes les personnes en charge
●
●
●
●
●
●
du transport,
de l'installation,
de la commande et de l'utilisation,
de la mise hors service,
de la maintenance et du nettoyage,
du stockage et du recyclage du produit.
Les opérations décrites dans ce document doivent uniquement être effectuées par un personnel doté
de la formation technique nécessaire (personnel qualifié), ou ayant suivi une formation correspondante
de Pfeiffer Vacuum.
1.3
Conventions
1.3.1
Instructions dans le texte
Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à
réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes.
7/64
A propos de ce manuel
Action unique
Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape.
► Il s'agit d’une étape unique.
Action en plusieurs étapes
Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique.
1. Étape 1
2. Étape 2
3. ...
1.3.2
Pictogrammes
Les pictogrammes utilisés dans le document représentent des informations utiles.
Remarque
Conseil
1.3.3
Autocollants sur le produit
Cette section décrit tous les autocollants sur le produit ainsi que leurs significations.
D-35614 Asslar
Mod. HiPace 300 M
Berliner Str. 43
P/N PM P03 XXX
Type 12
S/N - - - - - - - IP54
n, f 60000 1/min, 1000 Hz
Mass 13 kg
Made in Germany 2022/12
TÜV Rheinland
C
US
Plaque signalétique (exemple)
La plaque signalétique de la pompe turbomoléculaire se trouve
dans la partie inférieure de la pompe à vide.
Plaque signalétique de l’unité de commande électronique
La plaque signalétique de l’unité de commande électronique se
trouve à l’extérieur près des DEL
Remarque concernant le manuel de l’utilisateur
Cet autocollant indique que ce manuel de l’utilisateur doit être
lu avant d’exécuter une tâche.
Classe de protection
Cet autocollant décrit la classe de protection 1 du produit. Le
positionnement indique la position de la connexion de terre.
warranty seal
8/64
Sceau de garantie
Le produit est scellé, départ d’usine. L’endommagement ou le
retrait d’un sceau de garantie rend tout recours en garantie caduque.
A propos de ce manuel
1
2
5
4
Fig. 1:
3
Position des autocollants sur le produit
1 Remarque concernant le manuel de l’utilisateur
2 Informations sur la mise à la terre
4
5
3 Sceau de garantie
1.3.4
Abréviations
Abréviation
Signification dans ce document
CF
Bride : raccord à fermeture métallique conforme à la norme ISO 3669
d
Valeur diamètre (en mm)
DC
Courant continu
DN
Diamètre nominal comme désignation de grandeur
f
Valeur de la vitesse de rotation d’une pompe à vide (fréquence, en trs/min ou Hz)
HT
Bride de vide élevé, côté vide élevé
ISO
Bride : raccord conforme aux normes ISO 1609 et ISO 2861
DEL
Diode électroluminescente
PE
Terre de protection (conducteur de protection)
FKM
Caoutchouc polymère fluoré
[P:xxx]
Paramètres de commande de l’unité de commande électronique. Inscrits en gras sous
forme de nombre à trois chiffres entre crochets. Souvent associés à une courte description.
Exemple : [P:312] version logicielle
remote
Connecteur D-Sub 26 broches sur l’unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire
WAF
Largeur sur pans
T
Température (en °C)
TM
Unité de commande électronique de pompe turbomoléculaire (contrôleur de turbine) et
contrôleur de palier magnétique
TPS
Alimentation de tension (alimentation électrique turbo)
VV
Bride de vide primaire, raccord de vide primaire
Tab. 1:
1.4
Plaque signalétique sur la pompe turbomoléculaire
Plaque signalétique de l’unité de commande
électronique
Abréviations utilisées dans ce document
Justificatif de marque de fabrique
● DeviceNet® est une marque de fabrique de Open DeviceNet Vendor Association Inc.
● Profibus® est une marque de fabrique déposée de Profibus Nutzerorganisation e.V.
● EtherCAT® une marque de fabrique déposée et une technologie brevetée par Beckhoff Automation GmbH, Allemagne.
9/64
Sécurité
2 Sécurité
2.1
Consignes générales de sécurité
Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit :
DANGER
Danger direct et imminent
Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVERTISSEMENT
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
ATTENTION
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVIS
Obligation ou signalement
Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure
physique.
► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels
Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le
produit ou le présent document.
2.2
Consignes de sécurité
Toutes les consignes de sécurité contenues dans ce document sont basées sur les résultats de l’analyse de risque effectuée conformément à la Directive 2006/42/CE Annexe I relative aux machines et à la
norme EN ISO 12100 Section 5. Dans la mesure du possible, toutes les phases du cycle de vie du produit ont été prises en compte.
Risques lors du transport
AVERTISSEMENT
Danger de blessures graves en cas de chute d’objets
La chute d’objets peut entraîner des blessures sur les membres, voire même des fractures osseuses.
► Soyez particulièrement vigilant lors du transport manuel du produit.
► Ne pas empiler le produit.
► Portez un équipement de protection, tel que des chaussures de sécurité.
10/64
Sécurité
Risques lors de l’installation
DANGER
Danger de mort en cas d’électrocution
Les blocs d’alimentation électrique non spécifiés et non approuvés peuvent entraîner de graves blessures, voire la mort.
► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences avec une double
isolation entre la tension d’entrée de secteur et la tension de sortie, conformément à
IEC 61010-1, IEC 60950-1 and IEC 62368-1.
► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences des normes
IEC 61010-1, IEC 60950-1 et IEC 62368-1.
► Si possible, utilisez des blocs d’alimentation électrique d'origine ou uniquement des blocs d’alimentation correspondant aux normes de sécurité en vigueur.
AVERTISSEMENT
Danger de mort dû à un sectionneur de réseau manquant
La pompe à vide et l'unité de commande électronique ne sont pas équipées d'un sectionneur de réseau (interrupteur principal).
► Installez un sectionneur de réseau conformément à SEMI-S2.
► Prévoyez un coupe-circuit avec un taux d'interruption de 10 000 A minimum.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure en cas d'installation inappropriée
Des situations dangereuses peuvent survenir suite à une installation non sécurisée ou incorrecte.
► Ne pas effectuer soi-même des conversions ou modifications d'unité.
► Veiller à l’intégration dans un circuit de sécurité de secours.
AVERTISSEMENT
Risque de coupure lié aux pièces coupantes en mouvement, accessibles par l'ouverture de la
bride de vide élevé
L'ouverture de la bride de vide élevé permet le contact avec des pièces aux arêtes vives. Une rotation manuelle du rotor rend la situation encore plus dangereuse : il y a un risque de coupure et de
sectionnement de membres (p ex. extrémités des doigts). Les cheveux et les vêtements amples risquent d’être entraînés. Toute chute d’objet dans la pompe turbomoléculaire provoque des dommages
lors de la prochaine utilisation.
► L’obturateur d'origine ne doit être retiré qu’au moment de la connexion de la bride de vide élevé.
► Ne jamais approcher les mains de l'intérieur de la bride de vide élevé.
► Porter des gants de protection pendant l'installation.
► Ne jamais démarrer la pompe turbomoléculaire lorsque les brides de vide ne sont pas raccordées.
► L'installation mécanique doit être achevée avant de procéder à l'installation électrique.
► Empêcher l'accès à la bride de vide élevé de la pompe du côté de l'opérateur (p. ex. chambre de
vide ouverte).
AVERTISSEMENT
Danger de mort par empoisonnement lié à la fuite de liquides de processus toxiques en cas
d'endommagement des connexions
Une torsion soudaine de la pompe turbo en cas de défaut entraîne l'accélération des raccords. Il y a
un risque d'endommagement des connexions sur site (p. ex. conduite de vide préliminaire) entraînant
des fuites. Le liquide de processus risque alors de fuir. Dans les procédés impliquant des milieux
toxiques, il existe un risque d’intoxication susceptible de provoquer des lésions ou la mort.
► Les masses connectées à la pompe turbo doivent être aussi basses que possibles.
► Si nécessaire, utiliser des conduites flexibles pour la connexion de la pompe turbo.
11/64
Sécurité
AVERTISSEMENT
Risque de blessure lié à la rupture et à la projection de la pompe turbo avec le compensateur
de vibration en cas de dysfonctionnement
Un blocage soudain du rotor génère des couples hautement destructeurs conformément à la norme
ISO 27892. L'utilisation d'un compensateur de vibration entraînerait probablement la rupture et la
projection de la pompe turbo en fonctionnement. L'énergie ainsi libérée pourrait projeter la pompe
turbo ou des fragments de l'intérieur de celle-ci dans l'espace environnant. Des gaz potentiellement
dangereux pourraient être libérés. Il y a un risque de très graves blessures, voire de mort, et de dommages matériels très importants.
► Des mesures de sécurité sur site pour la compensation des couples doivent être prises.
► Avant d'installer un compensateur de vibration, vous devez d'abord contacter Pfeiffer Vacuum.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure par coupure suite à un démarrage inattendu
L'utilisation de prises bouchon sur les connecteurs des unités de commande électronique (accessoires) permet le démarrage automatique de la pompe à vide dès la mise sous tension. L’installation de
ces prises bouchon avant ou pendant le raccordement de la pompe provoque la mise en mouvement
des pièces, d’où le risque de coupure par les arêtes vives du côté de la bride à vide élevé.
► Ne jamais installer ces prises bouchons sur les connecteurs des unités de commande avant
d'avoir raccordé la bride de vide élevé.
► Mettre la pompe sous tension uniquement au moment de l'utiliser.
Risques pendant le fonctionnement
AVERTISSEMENT
Risque de brûlure lié à l'utilisation d'équipements additionnels de chauffe pendant le fonctionnement
L'utilisation d'équipements additionnels de chauffe de la pompe à vide ou pour l'optimisation des processus engendre des températures très élevées sur les surfaces pouvant être touchées. Il existe un
risque de brûlure.
► Si nécessaire, installer une protection isolante.
► Si nécessaire, appliquer des autocollants d'avertissement sur les points dangereux.
► Vérifier que la pompe à vide est à température ambiante avant de travailler dessus ou à proximité.
► Porter un équipements de protection, p. ex. gants.
AVERTISSEMENT
Risque de grave blessure lié à la destruction de la pompe à vide en raison d'une surpression
L'entrée de gaz à très haute surpression entraîne la destruction de la pompe à vide. Il existe un risque de grave blessure lié à l'éjection d'objets.
► Ne jamais dépasser la pression d'entrée autorisée de 1 500 hPa (absolue) sur le côté aspiration
ou la connexion de mise à l'air et de gaz de pressurisation.
► Vérifier que les surpressions liées au processus ne peuvent entrer directement dans la pompe à
vide.
ATTENTION
Risque de blessure lié au contact avec le vide pendant la mise à l'air
Lors de la mise à l'air de la pompe à vide, il y a un risque de blessures bénignes lié au contact direct
de certaines parties du corps avec le vide, p. ex. hématome.
► La vis de mise à l'air du corps de la pompe turbo ne doit pas être complètement dévissée pendant la mise à l’air.
► Rester à distance de sécurité des appareils automatiques de mise à l'air comme les vannes de
mise à l'air.
12/64
Sécurité
Risques pendant la maintenance, la mise hors service et la mise au rebut
AVERTISSEMENT
Danger de mort lié à un choc électrique pendant la maintenance et l’entretien
L’appareil n’est complètement hors tension que lorsque la prise secteur a été débranchée et que la
pompe turbomoléculaire est à l’arrêt. Danger de mort par électrocution en cas de contact avec des
composants sous tension.
► Avant tout travail, mettez hors circuit l’interrupteur secteur.
► Attendez l'arrêt de la pompe turbomoléculaire (vitesse de rotation f = 0).
► Débranchez la prise secteur de l’appareil.
► Sécurisez l’appareil contre tout redémarrage intempestif.
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
AVERTISSEMENT
En mettant les mains dans la connexion de vide secondaire ouverte, risque de coupure lié aux
pièces coupantes en mouvement
Une manipulation incorrecte de la pompe turbomoléculaire avant le travail de maintenance entraîne
une situation dangereuse avec un risque de blessure. Lors du démontage de la pompe turbomoléculaire, il y a un risque de coupure en manipulant des pièces en rotation avec des faces acérées.
► Attendez l'arrêt de la pompe turbomoléculaire (vitesse de rotation f = 0).
► Mettez correctement hors circuit la pompe turbomoléculaire.
► Sécurisez la pompe turbomoléculaire contre tout risque de redémarrage.
► Fermez immédiatement les connexions ouvertes après démontage en utilisant le cache d'origine.
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
Risques liés aux anomalies de fonctionnement
AVERTISSEMENT
Danger de mort par électrocution en cas de dysfonctionnement
En cas de dysfonctionnement, les appareils raccordés au secteur peuvent être sous tension. Danger
de mort par électrocution en cas de contact avec des composants sous tension.
► Toujours conserver l’alimentation librement accessible de manière à pouvoir la débrancher à tout
moment.
13/64
Sécurité
AVERTISSEMENT
Danger de mort lié à l'éjection de composants de la pompe turbomoléculaire en cas de défaut
Un blocage soudain du rotor génère des couples hautement destructeurs conformément à la norme
ISO 27892. Si la pompe turbomoléculaire n'est pas correctement fixée, elle peut rompre. L'énergie
ainsi libérée pourrait projeter la pompe turbomoléculaire ou des fragments de l'intérieur de celle-ci
dans l'espace environnant. Des gaz potentiellement dangereux pourraient être libérés. Il y a un risque de très graves blessures, voire de mort, et de dommages matériels très importants.
► Les instructions d'installation de cette pompe turbomoléculaire doivent être respectées.
► Les exigences de stabilité et de structure de la contre-bride doivent être observées.
► Utilisez uniquement les accessoires d'origine ou des matériaux de fixation agréés par Pfeiffer Vacuum pour l'installation.
AVERTISSEMENT
Danger de mort par empoisonnement lié à la fuite de liquides de processus toxiques en cas
d'endommagement des connexions
Une torsion soudaine de la pompe turbo en cas de défaut entraîne l'accélération des raccords. Il y a
un risque d'endommagement des connexions sur site (p. ex. conduite de vide préliminaire) entraînant
des fuites. Le liquide de processus risque alors de fuir. Dans les procédés impliquant des milieux
toxiques, il existe un risque d’intoxication susceptible de provoquer des lésions ou la mort.
► Les masses connectées à la pompe turbo doivent être aussi basses que possibles.
► Si nécessaire, utiliser des conduites flexibles pour la connexion de la pompe turbo.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure lié à la rupture et à la projection de la pompe turbo avec le compensateur
de vibration en cas de dysfonctionnement
Un blocage soudain du rotor génère des couples hautement destructeurs conformément à la norme
ISO 27892. L'utilisation d'un compensateur de vibration entraînerait probablement la rupture et la
projection de la pompe turbo en fonctionnement. L'énergie ainsi libérée pourrait projeter la pompe
turbo ou des fragments de l'intérieur de celle-ci dans l'espace environnant. Des gaz potentiellement
dangereux pourraient être libérés. Il y a un risque de très graves blessures, voire de mort, et de dommages matériels très importants.
► Des mesures de sécurité sur site pour la compensation des couples doivent être prises.
► Avant d'installer un compensateur de vibration, vous devez d'abord contacter Pfeiffer Vacuum.
2.3
Mesures de sécurité
Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels
Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit.
Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du
produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document.
Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit
La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit
d'origine ou installe un équipement supplémentaire
● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le
cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives
européennes applicables avant de mettre en service ce système.
Mesures de sécurité générales lors de la manipulation du produit
► Respecter toutes les dispositions de sécurité et de prévention des accidents en vigueur.
► Contrôler régulièrement que toutes les mesures de sécurité sont respectées.
► N’exposer aucune partie du corps au vide.
► Toujours assurer un raccordement sûr au conducteur de terre (PE).
► Ne jamais débrancher les fiches de raccordement en cours de fonctionnement.
14/64
Sécurité
► Respecter les procédures d’arrêt ci-dessus.
► Avant de travailler sur le raccord de vide secondaire, attendre que le rotor se soit complètement
arrêté (vitesse de rotation f =0).
► L'appareil ne doit jamais être mis en route lorsque le raccord de vide secondaire est ouvert.
► Tenir les conduites et les câbles éloignés des surfaces chaudes (> 70°C).
► Ne jamais remplir ou faire fonctionner l’appareil avec des produits de nettoyage ou leurs résidus.
► Ne pas effectuer soi-même des conversions ou modifications d'unité.
► Consulter la classe de protection de l’unité avant son installation ou fonctionnement dans d’autres
environnements.
2.4
Limites d’utilisation du produit
Lieu de mise en place
Résistant aux intempéries (en intérieur)
Pression d’air
530 hPa à 1 060 hPa
Altitude d’installation
Max. 5000 m1)
Humidité rel. de l’air
max. 80%, à T < 31°C,
jusqu’à max. 50 % à T < 40 °C
Classe de protection
III
Catégorie de surtension
II
Degré de protection admissible
IP54
Type 12 conformément à UL 50E
Degré de pollution
2
Température ambiante
5 °C à 30 °C avec refroidissement par
convection sans débit de gaz
5 °C à 35 °C avec refroidissement par air
5 °C à 40 °C avec refroidissement à l’eau
Champ magnétique environnant admissible
5,0 mT
Rayonnement thermique maximum
2,4 W
Température maximum admissible du rotor de la pompe
turbomoléculaire
110 °C
Température de dégazage maximum admissible au niveau de la bride de vide élevé
120 °C
Tab. 2:
Conditions ambiantes autorisées
Remarques sur les conditions ambiantes
Les températures ambiantes admissibles spécifiées s'appliquent au fonctionnement de la
pompe turbo à la pression de secours maximum admissible ou avec un débit de gaz maximum, en fonction du type de refroidissement. La pompe est intrinsèquement sûre grâce à
la surveillance redondante de la température.
● La réduction de la pression de vide ou du débit du gaz permet le fonctionnement de la
pompe turbomoléculaire à des températures ambiantes plus élevées.
● Si la température de fonctionnement maximum admissible de la pompe turbomoléculaire est dépassée, l'unité d’entraînement électronique va d'abord réduire la vitesse
d'entraînement, puis la mettre hors circuit si nécessaire.
2.5
Utilisation conforme
► Utilisation de la pompe turbomoléculaire uniquement pour générer du vide.
► Utiliser la pompe turbomoléculaire uniquement en combinaison avec une pompe de secours appropriée pouvant générer la pression de vide préliminaire maximum requise.
► Utiliser la pompe turbomoléculaire uniquement à l'abri, dans un local fermé.
► Utiliser la pompe turbomoléculaire uniquement pour l'évacuation de gaz secs et inertes.
1)
Sous réserve d’un refroidissement suffisant de la pompe turbomoléculaire
15/64
Sécurité
2.6
Utilisations non conformes prévisibles
Toute utilisation non conforme du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité.
Toute utilisation non conforme à l’objectif du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée
comme non réglementaire, en particulier :
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
Raccordement de l’alimentation électrique sans installation correcte
Installation avec du matériel de fixation non spécifié
Pomper des substances explosives
Pompage de substances corrosives
Pompage de vapeurs de condensation
Pompage de fluides
Pompage de poussière
Fonctionnement avec un débit de gaz élevé non admissible
Fonctionnement avec une pression de vide primaire élevée non admissible
Fonctionnement avec un rayonnement thermique excessif
Fonctionnement dans des champs magnétiques d’intensité élevée non admissibles
Fonctionnement dans un mode gaz incorrect
Mise à l'air avec un débit de mise à l'air élevé non admissible
Utilisation pour générer de la pression
Utilisation dans des zones à rayonnement ionisant
Fonctionnement dans des zones potentiellement explosives
Utilisation dans des systèmes où des charges et des vibrations sporadiques ou des forces périodiques agissent sur l’appareil
● Création de conditions de fonctionnement dangereuses en raison d'un réglage par défaut sur
l'unité de commande électronique contraire au processus
● Utilisation d’accessoires ou de pièces de rechange non répertoriées dans ces instructions
2.7
Qualification personnelle
L'utilisation décrite dans ce document doit être confiée à des personnes disposant des qualifications
professionnelles adéquates et de l'expérience nécessaire ou qui ont suivi la formation requise dispensée par Pfeiffer Vacuum.
Formation du personnel
1. Former le personnel technique sur le produit.
2. Ne laisser le personnel à former travailler avec et sur le produit que sous la supervision d'un personnel qualifié.
3. Seul un personnel technique formé est autorisé à travailler avec le produit.
4. Avant de commencer à travailler, s'assurer que le personnel engagé a lu et compris ce mode
d'emploi et tous les documents pertinents, en particulier les informations relatives à la sécurité, à
l'entretien et à la réparation.
2.7.1
Garantir la qualification du personnel
Spécialistes des travaux mécaniques
Seuls des spécialistes qualifiés peuvent effectuer des travaux mécaniques. Selon la définition de ce document, les spécialistes sont des personnes responsables de la construction, de l'installation mécanique, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes :
● Compétences dans le domaine mécanique conformément aux régulations nationales en vigueur
● Connaissance de cette documentation
Spécialisation dans les travaux d'ingénierie électriques
Seul un électricien qualifié peut effectuer des travaux d'ingénierie électriques. Selon la définition de ce
document, les électriciens sont des personnes responsables de l'installation électrique, de la mise en
service, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes :
● Compétences dans le domaine de l'ingénierie électrique conformément aux régulations nationales
en vigueur
● Connaissance de cette documentation
16/64
Sécurité
De plus, ces personnes doivent être familiarisées avec les réglementations et la législation en matière
de sécurité en vigueur, ainsi que les normes, directives et lois mentionnées dans cette documentation.
Les personnes mentionnées ci-dessus doivent avoir obtenu expressément l'autorisation d'utilisation afin
de mettre en service, de programmer, de configurer, de marquer et de mettre à la terre les appareils,
systèmes et circuits conformément aux standards technologiques en matière de sécurité.
Personnes qualifiées
Seules les personnes spécialement formées peuvent effectuer toutes les opérations relatives au transport, à l'entreposage, à l'utilisation et à la mise au rebut. Ce type de formation doit garantir que ces personnes sont capables d'exécuter correctement les activités et opérations requises, et en toute sécurité.
2.7.2
Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation
Formations avancées
Pfeiffer Vacuum propose des formations avancées pour les niveaux de maintenance 2 et 3.
Les personnes adéquatement qualifiées sont :
● Maintenance de niveau 1
─ Client (spécialiste formé)
● Maintenance de niveau 2
─ Client avec formation technique
─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum
● Maintenance de niveau 3
─ Client avec formation à l'entretien Pfeiffer Vacuum
─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum
2.7.3
Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum
Pour une utilisation optimale et sans problème de ce produit, Pfeiffer Vacuum propose une gamme
complète de cours et de formations techniques.
Pour plus de précisions, contacter le service de formation technique Pfeiffer Vacuum.
17/64
Description du produit
3 Description du produit
3.1
Fonction
Les pompes turbomoléculaires HiPace M sont équipées de paliers magnétiques à 5 axes ; ils sont donc
sans entretien pendant toute la durée de vie de la pompe. Comme il n’y a pas de lubrification, il n’y a
aucun risque de contamination aux hydrocarbures en cas de dérangement du système.
La pompe turbomoléculaire forme une unité compacte avec l’unité de commande électronique TM 700
et le contrôleur de palier magnétique. Les unités de courant Pfeiffer Vacuum fournissent la tension d’alimentation.
5
4
3
6
7
2
1
15
14
Fig. 2:
13
12
10
9
8
Conception HiPace 300 M
1 Unité de commande électronique TM 700
2 Corps de pompe, aluminium
3 Obturateur de protection de la connexion
de vide secondaire
4 Vanne de ventilation
9
10
11
Partie inférieure de la pompe
Raccord d’eau de refroidissement
Raccord de la purge de gaz neutre
12
5 Raccord de vide élevé, DN 100 CF-F
13
6 Rotor turbo
14
7 Corps de pompe, acier inoxydable
15
Cache de protection pour raccord de vide préliminaire, DN 16 ISO-KF
Panneau de raccordement de l’unité de commande électronique
Prise de raccordement pour tension d’alimentation DCin
Affichage du mode de travail à diodes électroluminescentes
8 Borne de masse
3.1.1
11
Refroidissement
● Refroidissement par convection
● Refroidissement à eau
● Refroidissement par air (option)
L’unité de commande électronique régule automatiquement l’arrêt de la commande en cas de température excessive.
3.1.2
Paliers du rotor
● Palier magnétique à 5 axes actif
Le fonctionnement est sans entretien en raison de l’utilisation de paliers magnétiques.
18/64
Description du produit
3.1.3
Raccord de ventilation
La vanne de ventilation pré-assemblée Pfeiffer Vacuum sert à la ventilation automatique de la pompe
turbomoléculaire après la désactivation ou en cas de panne de courant.
3.1.4
Entraînement
● Unité de commande électronique TM 700
─ Tension de service 48 V DC
3.2
Étendue de la livraison
● Pompe turbomoléculaire avec unité de commande électronique et contrôleur de palier magnétique
● Vanne de ventilation
● Obturateur de protection de la connexion de vide secondaire
● Obturateur de protection du raccord de vide primaire
● Manuel de l’utilisateur
3.3
Identification du produit
► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, toujours conserver à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique.
► Pour plus d'informations sur les certifications, se référer aux libellés correspondants sur le produit
ou consulter www.certipedia.com avec l'ID de société 000021320.
3.3.1
Types de produit
La désignation de produit des séries de pompes turbomoléculaires Pfeiffer Vacuum HiPace est composée du nom de famille, de la taille (basée sur la vitesse de pompage de la pompe à vide) et, si nécessaire, de la description d'une caractéristique supplémentaire.
Famille
Taille/modèle
Propriétés, attributs, caractéristiques
HiPace
10 à 2800
aucun/aucune = version standard
mini = version compacte
U = version suspendue
C = version gaz corrosif
P = processus
M = palier magnétique actif
T = gestion de température
Plus = faible vibration, faible champ magnétique
E = haut rendement
H = compression élevée
I = implantation ion
Tab. 3:
3.3.2
Désignation de produit des pompes turbomoléculaires HiPace Pfeiffer Vacuum
Caractéristiques du produit
Caractéristique
Version
Bride HV
DN 100 ISO-K
DN 100 ISO-F
DN 100 CF-F
Matériau de bride
Aluminium
Aluminium
Inox
Tab. 4:
Caractéristiques de la pompe turbo
19/64
Transport et stockage
4 Transport et stockage
4.1
Transport
AVERTISSEMENT
Danger de blessures graves en cas de chute d’objets
La chute d’objets peut entraîner des blessures sur les membres, voire même des fractures osseuses.
► Soyez particulièrement vigilant lors du transport manuel du produit.
► Ne pas empiler le produit.
► Portez un équipement de protection, tel que des chaussures de sécurité.
Recommandation
Pfeiffer Vacuum recommande de conserver l’emballage de transport et de protection d’origine.
Transport en toute sécurité du produit
► Transportez la pompe turbomoléculaire uniquement dans les limites admissibles de température.
► Observez le poids spécifié sur la plaque signalétique.
► Dans la mesure du possible, transportez ou expédiez toujours la pompe turbomoléculaire dans
son emballage d'origine.
► Portez toujours la pompe turbomoléculaire avec les deux mains.
► Retirez le couvercle protecteur seulement juste avant l’installation.
4.2
Stockage
Recommandation
Pfeiffer Vacuum recommande de stocker le produit dans son conditionnement de transport
d’origine.
Stockage de la pompe turbomoléculaire
1. Obturez hermétiquement toutes les ouvertures de bride avec les capuchons de protection d'origine.
2. Fermez toutes les autres connexions (raccord de mise à l'air, etc.) avec les pièces d'origine correspondantes.
3. Rangez la pompe turbomoléculaire uniquement dans un local dans les limites admissibles de
température.
4. Dans les locaux où l’atmosphère est humide ou corrosive : Scellez la pompe turbomoléculaire
avec un agent dessiccant dans un sac en plastique hermétique.
20/64
Installation
5 Installation
L'installation de la turbopompe et sa fixation sont d'une importance primordiale. Le rotor de la pompe
turbomoléculaire tourne à grande vitesse. En pratique, il n’est pas exclu que le rotor entre en contact
avec le stator (par ex. en cas de pénétration de corps étrangers dans la bride de vide élevé). En l’espace de quelques fractions de secondes, l'énergie cinétique libérée agit sur le boîtier et sur l'ancrage de la
pompe turbomoléculaire.
Des calculs et des tests approfondis effectués selon la norme ISO 27892 garantissent la protection de
la pompe turbomoléculaire contre la démolition (destruction des pales du rotor) et l'éclatement (rupture
de l’arbre du rotor). Les résultats expérimentaux et théoriques se traduisent par des mesures de sécurité et des recommandations à suivre pour une fixation conforme et sûre de la pompe turbomoléculaire.
5.1
Opération préparatoire
AVERTISSEMENT
Risque de coupure lié aux pièces coupantes en mouvement, accessibles par l'ouverture de la
bride de vide élevé
L'ouverture de la bride de vide élevé permet le contact avec des pièces aux arêtes vives. Une rotation manuelle du rotor rend la situation encore plus dangereuse : il y a un risque de coupure et de
sectionnement de membres (p ex. extrémités des doigts). Les cheveux et les vêtements amples risquent d’être entraînés. Toute chute d’objet dans la pompe turbomoléculaire provoque des dommages
lors de la prochaine utilisation.
► L’obturateur d'origine ne doit être retiré qu’au moment de la connexion de la bride de vide élevé.
► Ne jamais approcher les mains de l'intérieur de la bride de vide élevé.
► Porter des gants de protection pendant l'installation.
► Ne jamais démarrer la pompe turbomoléculaire lorsque les brides de vide ne sont pas raccordées.
► L'installation mécanique doit être achevée avant de procéder à l'installation électrique.
► Empêcher l'accès à la bride de vide élevé de la pompe du côté de l'opérateur (p. ex. chambre de
vide ouverte).
AVIS
Endommagement de la pompe causé par des vibrations externes
Les vibrations depuis l’extérieur ou les impacts sur la pompe peuvent surcharger les paliers magnétiques, d’où un stress sur les roulements de secours.
► Évitez les mouvements latéraux et d’inclinaison de la pompe.
► Les turbulences externes doivent être compensées par une conception appropriée du système.
► Sécurisez l’enceinte à vide fournie par le client contre tout mouvement et basculement.
Remarques générales pour l’installation des composants de vide
► L’emplacement de l’installation doit être choisi de façon à permettre à tout moment d'accéder au
produit et aux conduites d'alimentation.
► Observez les conditions ambiantes indiquées pour les limites d’utilisation.
► L'assemblage doit être effectué en veillant à une propreté maximale.
► Pendant l’installation, les composants de brides doivent être parfaitement dégraissés, dépoussiérés et secs.
Sélectionnez l’emplacement d’installation
1. Observez les instructions de transport jusqu’à l’emplacement de l’installation.
2. Vérifiez que les options de refroidissement sont suffisantes pour la pompe turbomoléculaire.
3. Installez des blindages appropriés si les champs magnétiques environnants excèdent les niveaux
admissibles.
4. Installez le blindage approprié de façon à ce que le rayonnement thermique ne dépasse pas les
valeurs admissibles lorsque des températures élevées sont générées en raison du procédé.
5. Respectez les températures admissibles pour le raccord de vide.
21/64
Installation
5.2
Raccordement côté vide élevé
5.2.1
Dimensions exigées d’une contre-bride
AVIS
Risque d'endommagement lié à une conception incorrecte de la contre-bride
Une irrégularité de la contre-bride côté opérateur soumet le corps de la pompe à vide à de fortes
contraintes, même lorsque la fixation a été correctement effectuée. Cela risque de provoquer une fuite ou d'affecter négativement les caractéristiques de fonctionnement.
► Les tolérances de forme de la contre-bride doivent être respectées.
► Respecter les divergences maximales de planéité sur toute la surface.
Pièces de superstructure et robinetterie sur le raccord de vide élevé
La responsabilité de l'installation des pièces de superstructure et de la robinetterie sur le
raccord de vide élevé incombe à la société d'exploitation. La capacité de charge de la bride
de vide secondaire est spécifique à la pompe turbomoléculaire utilisée.
● Le poids total des pièces de superstructure ne doit pas excéder les valeurs axiales
maximum spécifiées.
● Assurez-vous que tous les moments de force générés lorsque le moteur bloque soudainement sont absorbés par le système du côté opérateur et le raccord de vide élevé.
● Utilisez exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccord de
vide secondaire de la pompe turbomoléculaire.
Paramètre
HiPace 300 M
Couple maximum généré en cas d’éclatement2)
3000 Nm
Charge axiale maximum autorisée sur la bride de vide élevé3)
500 N
(équivalent à 50 kg)
Planéité
± 0,05 mm
Résistance à la traction minimum du matériau de bride dans tous les états de
marche par rapport à la profondeur d’engagement des vis de fixation
170 N/mm2 à 2,5 x d
270 N/mm2 à 1,5 x d
Champ magnétique environnant maximum admissible
5,0 mT
Rayonnement thermique maximum admissible
2,4 W
Tab. 5:
5.2.2
Dimensionnement requis du raccord de vide élevé fourni par le client
À propos de la protection antisismique
AVIS
Endommagement de la pompe à vide lié à des vibrations externes
En cas de tremblement de terre ou d’autres vibrations externes, le rotor risque d’entrer en contact
avec les paliers de sécurité. La paroi du corps peut aussi toucher la pompe turbo. Les charges mécaniques ainsi générées peuvent endommager voire détruire la pompe turbo.
► Il faut s'assurer que tous les raccords de bride et de sûreté absorbent les forces résultantes.
► La chambre de vide doit être fixée en toute sécurité pour prévenir tout risque de déplacement ou
de basculement.
22/64
2)
Le couple théorique calculé en cas d’éclatement (rupture de l’arbre du rotor) conformément à la norme
ISO 27892 n’a pas été atteint pendant les tests expérimentaux.
3)
Une charge qui s’exerce sur un seul côté n’est pas autorisée.
Installation
VACUUM CHAMBER
1
Fig. 3:
1
5.2.3
Exemple : Raccordements de sûreté
Raccordement de sûreté, côté client
Utilisation d'un bouclier pare-éclats ou d'un écran protecteur
Les anneaux de centrage Pfeiffer Vacuum avec bouclier pare-éclats ou écran protecteur dans la bride
de vide secondaire protègent la pompe turbo contre les matières étrangères provenant de la chambre
de vide. La vitesse de pompage est réduite conformément aux valeurs de référence de passage et à la
taille de la bride de vide secondaire.
Taille de bride
Réduction de la vitesse de pompage en % par type de gaz
H2
He
N2
Ar
Bouclier pare-éclats DN 100
5
7
24
24
Écran protecteur DN 100
2
2
10
8
Tab. 6:
Réduction de la vitesse de pompage lors de l’utilisation d'un bouclier pare-éclats ou
d'un écran protecteur
Procédure
► Pour les brides ISO, utiliser des anneaux de centrage avec un écran protecteur ou un pare-éclats.
► Pour des brides CF, insérez toujours la grille de protection ou le pare-éclats en tournant les talons
de serrage vers le rotor dans la bride de vide élevé.
5.2.4
Utilisation du compensateur de vibrations
AVERTISSEMENT
Risque de blessure lié à la rupture et à la projection de la pompe turbo avec le compensateur
de vibration en cas de dysfonctionnement
Un blocage soudain du rotor génère des couples hautement destructeurs conformément à la norme
ISO 27892. L'utilisation d'un compensateur de vibration entraînerait probablement la rupture et la
projection de la pompe turbo en fonctionnement. L'énergie ainsi libérée pourrait projeter la pompe
turbo ou des fragments de l'intérieur de celle-ci dans l'espace environnant. Des gaz potentiellement
dangereux pourraient être libérés. Il y a un risque de très graves blessures, voire de mort, et de dommages matériels très importants.
► Des mesures de sécurité sur site pour la compensation des couples doivent être prises.
► Avant d'installer un compensateur de vibration, vous devez d'abord contacter Pfeiffer Vacuum.
Les compensateurs de vibrations Pfeiffer Vacuum sont destinés aux systèmes sensibles aux vibrations.
23/64
Installation
Installation du compensateur de vibrations
1. Seul un compensateur de vibrations à passage vertical peut être installé.
2. Tenir compte de la résistance à l’écoulement.
3. Fixer la pompe turbo également à la bride de vide secondaire.
4. Respecter la fixation des brides ISO.
5.2.5
Orientations de montage
Les pompes turbomoléculaires Pfeiffer Vacuum de la série HiPace sont adaptées à une utilisation avec
les pompes à vide primaire de type compression à vide pour un montage dans toutes les positions.
► Lors de l’utilisation de pompes à vide primaire à bain d’huile, évitez le retour de la plage de vide
primaire.
HV
VV
Fig. 4:
VV
± 25° max
VV
Alignement recommandé lors de l’utilisation de pompes de secours à bain d’huile
Spécifiez une orientation de montage à l’horizontale pour les pompes de secours à bain d’huile
1. Alignez toujours le raccord de vide primaire verticalement et vers le bas.
– Déviation admissible ± 25°
2. Les raccordements des tubes devant la pompe turbomoléculaire doivent être fixés sur des supports.
3. Les forces générées par le système de tuyauterie ne doivent pas s’exercer sur la pompe turbomoléculaire.
4. Ne chargez pas la bride de vide élevé de la pompe turbomoléculaire sur un côté.
5.2.6
Installation d'une bride ISO-K sur ISO-K
Raccords à bride ISO
Pour le raccordement des brides dans une configuration ISO-KF ou ISO-K, une torsion
peut se produire en cas de blocage soudain du rotor, même avec une installation correctement exécutée.
● Cette situation n'entraîne toutefois aucun risque pour l'étanchéité du raccord à bride.
Outillage nécessaire
● Clé, WAF 15
● Clé dynamométrique étalonnée (facteur de serrage ≤ 1,6)
Fig. 5:
24/64
Raccord à bride ISO-K à ISO-F, boulons-agrafes à tête bombée
Installation
Raccordement avec boulon-agrafe à tête bombée
1. Pour le raccordement de la pompe turbo, utiliser uniquement les kits de montage agréé Pfeiffer Vacuum.
2. Raccorder la bride aux composants du kit de montage conformément à la figure.
3. Utiliser tous les composants prescrits pour la pompe turbo.
4. Serrer les boulons-agrafes à tête bombée en croix en 3 étapes.
– Couple de serrage : 5, 15, 25 ± 2 Nm
5.2.7
Fixation de la bride ISO-K à l'ISO-F
Les types de raccordement pour l'installation de la bride ISO-K avec une bride ISO-F sont :
● « Vis à tête hexagonale et trous taraudés »
● « Goujons avec trous taraudés »
● « Goujons avec trous traversants »
Raccords à bride ISO
Pour le raccordement des brides dans une configuration ISO-KF ou ISO-K, une torsion
peut se produire en cas de blocage soudain du rotor, même avec une installation correctement exécutée.
● Cette situation n'entraîne toutefois aucun risque pour l'étanchéité du raccord à bride.
Outillage nécessaire
● Clé hexagonale (13 WAF)
● Clé dynamométrique étalonnée (facteur de serrage ≤ 1,6)
Fig. 6:
Raccordement de la bride ISO-K avec ISO-F, vis à tête hexagonale et trou taraudé
Raccordement des vis à tête hexagonale et des trous taraudés
1. Utiliser exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccordement de la
pompe turbo.
2. Placer la bride à chapeau au-dessus de la bride de vide secondaire sur la pompe turbo.
3. Insérer le circlip dans la gorge latérale sur la bride de vide secondaire de la pompe turbo.
4. Fixer la pompe turbo avec la bride à collier, le circlip et l'anneau de centrage à la contre-bride conformément à la figure.
5. Utiliser tous les composants prescrits pour la pompe turbo.
6. Visser les vis à tête hexagonale dans les trous taraudés.
– Observer la résistance à la traction minimale du matériau de bride et la profondeur des vis.
7. Serrer les vis à tête hexagonale en croix en 3 étapes.
– Couple de serrage : 5, 10, 16 ± 1 Nm
Fig. 7:
Raccordement de la bride ISO-K avec ISO-F, goujon fileté et trou taraudé
25/64
Installation
Raccordement des goujons et des trous taraudés
1. Utiliser exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccordement de la
pompe turbo.
2. Visser le nombre requis de goujons avec l'extrémité la plus courte dans les trous de la contre-bride.
– Observer la résistance à la traction minimale du matériau de bride et la profondeur des vis.
3. Placer la bride à chapeau au-dessus de la bride de vide secondaire sur la pompe turbo.
4. Insérer le circlip dans la gorge latérale sur la bride de vide secondaire de la pompe turbo.
5. Fixer la pompe turbo avec la bride à collier, le circlip et l'anneau de centrage à la contre-bride conformément à la figure.
6. Utiliser tous les composants prescrits pour la pompe turbo.
7. Bloquer les écrous en croix en 3 étapes.
– Couple de serrage : 5, 10, 16 ± 1 Nm
Fig. 8:
Raccordement de la bride ISO-K avec ISO-F, goujon fileté et trou traversant
Raccordement des goujons et des trous traversants
1. Utiliser exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccordement de la
pompe turbo.
2. Placer la bride à chapeau au-dessus de la bride de vide secondaire sur la pompe turbo.
3. Insérer le circlip dans la gorge latérale sur la bride de vide secondaire de la pompe turbo.
4. Fixer la pompe turbo avec la bride à collier, le circlip et l'anneau de centrage à la contre-bride conformément à la figure.
5. Utiliser tous les composants prescrits pour la pompe turbo.
6. Serrer les écrous en croix en 3 étapes.
7. Couple de serrage : 5, 10, 16 ± 1 Nm
5.2.8
Fixation de la bride ISO-F à l'ISO-F
Les types de raccordement pour l'installation de la bride ISO-F avec une bride ISO-F sont :
● « Vis à tête hexagonale et trous taraudés »
● « Goujons avec trous taraudés »
● « Goujons avec trous traversants »
Outillage nécessaire
● Clé hexagonale (13 WAF)
● Clé dynamométrique étalonnée (facteur de serrage ≤ 1,6)
Fig. 9:
Raccord de bride ISO-F, vis à tête hexagonale et trous taraudés
Raccordement des vis à tête hexagonale et des trous taraudés
1. Utiliser exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccordement de la
pompe turbo.
2. Fixer la pompe turbo avec l'anneau de centrage à la contre-bride conformément à la figure.
3. Utiliser tous les composants prescrits pour la pompe turbo.
26/64
Installation
4. Visser le nombre requis de vis à tête hexagonale dans le trou taraudé.
– Observer la résistance à la traction minimale du matériau de bride et la profondeur des vis.
5. Serrer les vis à tête hexagonale en croix en 3 étapes.
– Couple de serrage : 5, 15, 22 ± 2 Nm
Fig. 10:
Raccord de bride ISO-F, goujons et trous taraudés
Raccordement des goujons et des trous taraudés
1. Utiliser exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccordement de la
pompe turbo.
2. Visser les goujons avec l'extrémité la plus courte dans les trous taraudés de la contre-bride.
– Observer la résistance à la traction minimale du matériau de bride et la profondeur des vis.
3. Fixer la pompe turbo avec l'anneau de centrage à la contre-bride conformément à la figure.
4. Utiliser tous les composants prescrits pour la pompe turbo.
5. Serrer à bloc les écrous hexagonaux.
6. Serrer les écrous en croix en 3 étapes.
– Couple de serrage : 5, 15, 22 ± 2 Nm
Fig. 11:
Raccord de bride ISO-F, goujons et trous traversants
Raccordement des goujons et des trous traversants
1. Utiliser exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccordement de la
pompe turbo.
2. Fixer la pompe turbo avec l'anneau de centrage à la contre-bride conformément à la figure.
3. Utiliser tous les composants prescrits pour la pompe turbo.
4. Serrer les raccords à vis en croix en 3 étapes.
– Couple de serrage : 10, 20, 22 ± 3 Nm
5.2.9
Fixation d’une bride CF sur CF-F
Les types de raccordement pour l'installation de la bride CF avec une bride CF sont :
● « Vis à tête hexagonale et trous traversants »
● « Goujons avec trous taraudés »
● « Goujons avec trous traversants »
AVIS
Des fuites peuvent se produire en raison d'une installation incorrecte des brides CF
Le manque de propreté lors de la manipulation des brides CF et des joints de cuivre entraîne des
fuites et peut entraîner une dégradation de fonctionnement.
► Toujours porter des gants adéquats avant de toucher ou d'installer tout composant.
► Ne monter que des joints secs et dépourvus de graisse.
► Corriger les surfaces endommagées et les bords coupés.
► Remplacer les composants endommagés.
27/64
Installation
Outillage nécessaire
● Clé hexagonale (13 WAF)
● Clé dynamométrique étalonnée (facteur de serrage ≤ 1,6)
Fig. 12:
Raccord à bride CF-F, vis à tête hexagonale et trous traversants
Raccordement des vis à tête hexagonale et des trous traversants
1. Pour le raccordement de la pompe turbomoléculaire, utiliser uniquement les kits de montage
agréés Pfeiffer Vacuum.
2. Si utilisés : Insérez l'écran protecteur ou le pare-éclats en orientant les pattes vers le bas dans la
bride de vide secondaire de la pompe turbomoléculaire.
3. Placer le joint parfaitement dans la partie creuse.
4. Raccorder la bride aux composants du kit de montage conformément à la figure.
5. Serrer complètement les raccords vissés.
– Couple de serrage : 22 ± 2 Nm
6. Étant donné que l'afflux de matériau d'étanchéité peut entraîner le besoin de resserrer les vis, il
convient de vérifier le couple.
Fig. 13:
Raccord à bride CF-F, goujons et trous taraudés
Raccordement des goujons et des trous taraudés
1. Pour le raccordement de la pompe turbomoléculaire, utiliser uniquement les kits de montage
agréés Pfeiffer Vacuum.
2. Visser le nombre requis de goujons avec l'extrémité la plus courte dans les trous de la contre-bride.
3. Si utilisés : Insérez l'écran protecteur ou le pare-éclats en orientant les pattes vers le bas dans la
bride de vide secondaire de la pompe turbomoléculaire.
4. Placer le joint parfaitement dans la partie creuse.
5. Raccorder la bride aux composants du kit de montage conformément à la figure.
6. Serrer complètement les raccords vissés.
– Couple de serrage : 22 ± 2 Nm
7. Étant donné que l'afflux de matériau d'étanchéité peut entraîner le besoin de resserrer les vis, il
convient de vérifier le couple.
Fig. 14:
28/64
Raccord à bride CF-F, goujons et trous traversants
Installation
Raccordement des goujons et des trous traversants
1. Pour le raccordement de la pompe turbomoléculaire, utiliser uniquement les kits de montage
agréés Pfeiffer Vacuum.
2. Si utilisés : Insérez l'écran protecteur ou le pare-éclats en orientant les pattes vers le bas dans la
bride de vide secondaire de la pompe turbomoléculaire.
3. Placer le joint parfaitement dans la partie creuse.
4. Raccorder la bride aux composants du kit de montage conformément à la figure.
5. Serrer complètement les raccords vissés.
– Couple de serrage : 22 ± 2 Nm
6. Étant donné que l'afflux de matériau d'étanchéité peut entraîner le besoin de resserrer les vis, il
convient de vérifier le couple.
5.3
Raccordement du côté vide primaire
AVERTISSEMENT
Danger de mort par empoisonnement lié à la fuite de liquides de processus toxiques en cas
d'endommagement des connexions
Une torsion soudaine de la pompe turbo en cas de défaut entraîne l'accélération des raccords. Il y a
un risque d'endommagement des connexions sur site (p. ex. conduite de vide préliminaire) entraînant
des fuites. Le liquide de processus risque alors de fuir. Dans les procédés impliquant des milieux
toxiques, il existe un risque d’intoxication susceptible de provoquer des lésions ou la mort.
► Les masses connectées à la pompe turbo doivent être aussi basses que possibles.
► Si nécessaire, utiliser des conduites flexibles pour la connexion de la pompe turbo.
Pompe primaire appropriée
Utiliser la pompe turbomoléculaire uniquement en combinaison avec une pompe primaire
appropriée générant le niveau de vide primaire requis. Utiliser pour générer le niveau de
vide primaire, une pompe à vide ou une station de pompage appropriée de la gamme Pfeiffer Vacuum.
Dans ce cas, la pompe primaire est commandée directement via les interfaces de l'unité
d’entraînement électronique de la pompe turbomoléculaire (p. ex. coffret de relais ou câble
de connexion).
1
2
3
4
5
Fig. 15:
Exemple d’un raccordement de vide primaire sur HiPace 300 M
1 Raccord de vide primaire de la pompe turbomoléculaire
2 Anneau de centrage
3 Circlip
4
Composants de vide DN 16 ISO-KF
5
Pompe à vide primaire (p. ex. pompe à plusieurs étages)
29/64
Installation
Établissez le raccord de vide primaire
1. Avec des raccords tubulaires rigides, vous devez inclure des soufflets pour atténuer les vibrations
externes.
2. Installez un raccord de vide primaire avec des composants à petite bride, p. ex. éléments de raccordement et composants de tube DN 16 ISO-KF de la boutique de composants Pfeiffer Vacuum.
3. Appliquez des mesures contre le retour des fluides d’exploitation ou des condensats de la zone
de vide primaire.
4. Observez les informations du manuel de l’utilisateur de la pompe de secours ou du groupe de
pompage lors du raccordement et du fonctionnement.
5.4
Raccord d’eau de refroidissement
AVERTISSEMENT
Risque d’ébouillantage lié à la projection soudaine d'eau de refroidissement à haute température
Les connexions d'eau de la pompe turbo sont ouvertes des deux côtés. Lors de la connexion de l'alimentation en eau de refroidissement, il y a un risque de blessure lié à la projection soudaine d'eau
de refroidissement sous haute pression et à haute température.
► Avant l'installation, vérifier que le système d'eau de refroidissement n'est pas sous pression et
qu'il est à température ambiante.
► Porter un équipement de protection individuelle, p. ex. lunettes et gants de sécurité.
Recommandations pour le refroidissement de la pompe turbo
► Utiliser un refroidissement supplémentaire si la pression du vide préliminaire baisse (> 0,1 hPa).
► Utiliser un refroidissement supplémentaire lors du fonctionnement avec un débit de gaz élevé.
► Toujours utiliser le refroidissement à eau avec les températures ambiantes > 35 °C.
Paramètre
Eau de refroidissement
Apparence
●
●
●
●
●
●
Valeur de pH
7à9
Dureté du carbonate max.
10 °dH
12,53 °e
17,8 °fH
178 ppm CaC03
Teneur en chlorure, max.
100 mg/l
Teneur en sulfate max.
240 mg/l
Teneur en acide carbonique, max.
Non détectable
Teneur en ammoniaque max.
Non détectable
Conductivité électrique max.
500 µS/cm
Taille max. des particules
150 µm
Température de l’eau de refroidissement
Voir « Fiche technique »
Débit d’eau de refroidissement
Voir « Fiche technique »
Pression d’eau de refroidissement, max.
6000 hPa
Tab. 7:
30/64
filtrée
mécaniquement conforme
visuellement transparente
pas de turbidité
pas de sédiment
exempte de graisse et d’huile
Exigences relatives à la composition de l’eau de refroidissement
Installation
Raccordement à la pompe turbo
Alimentation en eau de refroidissement externe
Raccord d'orientation avec système d'insertion
Câble de tuyau
Diamètre extérieur du tuyau 8 mm
Diamètre intérieur du tuyau 6 mm
Tab. 8:
Exigences relatives à la connexion de l’eau de refroidissement
1
2
3
4
Fig. 16:
Raccorder l’alimentation en eau de refroidissement
1 Raccord d’eau de refroidissement
2 Collecteur d’impuretés
3
4
Conduite d’aspiration
Conduite de retour
Outils nécessaires
● Clé à écrou hexagonal (14 WAF)
● Clé dynamométrique calibrée (couple de serrage ≤ 1,6)
Raccordement d’une alimentation en eau de refroidissement
Exigences : Le système de refroidissement est fermé et dépressurisé côté client. Les raccords de
tuyaux correspondent aux connexions sur la pompe turbo.
1. Si nécessaire, utiliser un collecteur d'impuretés dans la conduite d’aspiration.
2. Insérer les tuyaux flexibles pour la conduite d’aspiration d’eau de refroidissement et la conduite de
retour jusque dans les raccords correspondants sur la pompe turbo.
3. Ajuster les raccords d'orientation en fonction de vos exigences.
– Couple de serrage pour le raccord d'orientation : 3 à 3,5 Nm
5.5
Raccordement de la vanne de ventilation
● La pression d’entrée admissible du gaz de ventilation est de 1 500 hPa absolue.
Raccordez la vanne de ventilation au raccord des accessoires « accessoire B1 »
► Vissez la conduite de contrôle de la vanne de ventilation dans le raccord accessoire libre de l’unité de commande électronique.
– La spécification dans la configuration est « accessoire B1 ».
Alimentation en gaz de ventilation
Si vous voulez utiliser de l’air d’un local sec comme gaz de ventilation, la vanne de ventilation est immédiatement prête à être utilisée.
Si vous souhaitez utiliser un autre gaz inerte (p ex. de l’azote N2) comme gaz de ventilation, veuillez
suivre les étapes suivantes.
1. Fournissez une alimentation en gaz de ventilation externe avec une pression d’entrée maximum
de 1 500 hPa absolue.
2. Raccordez l’alimentation de gaz de ventilation au côté entrée (G 1/8") de la vanne.
3. Si nécessaire, utilisez un adaptateur de raccordement pour le côté entrée de la vanne (non fourni
dans l’étendue de livraison).
31/64
Installation
5.6
Raccordement des accessoires
Installation et utilisation des accessoires
Pfeiffer Vacuum propose une série d’accessoires spéciaux, compatibles avec ses produits.
● Les informations et options pour la commande des gammes des accessoires approuvés pour pompes turbomoléculaires à aimants sont indiquées en ligne.
Raccordement auxiliaire à unité de commande électronique TC 400 et TM 700
L’unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire offre un espace suffisant
pour raccorder jusqu’à 4 accessoires. Des prises M12 avec la désignation « Accessoires »
sont disponibles à cet effet.
● Les raccordements des accessoires ont été préconfigurés en usine.
● Après le raccordement des accessoires préconfigurés, ces derniers sont immédiatement prêts à l’emploi conformément aux réglages usine.
● L’utilisation d’autres accessoires pour les pompes turbo est possible et nécessite des
réglages dans la configuration de l’unité de commande électronique.
● La sortie d’accessoire requise est configurée via RS-485 en utilisant des appareils de
commande Pfeiffer Vacuum ou un PC.
● Pour des informations détaillées, voir le manuel de l’utilisateur « Unité de commande
électronique TC 400 » ou « Unité de commande électronique TC 700 ».
11
Y-Connector
for Accessories
Tab. 9:
22
Raccordement de
l’unité de commande
électronique
Raccordement des accessoires
Connecteur Y
Configuration prédéfinie
Acc. A
A1
Y-1
Ventilateur (mode continu)
A2
Y-2
Pompe à vide primaire
B1
Y-1
Vanne de ventilation
B2
Y-2
Chauffage
Selon B
Raccordements d’accessoires préconfigurés sur l’unité de commande électronique
TM 700
Raccorder des accessoires préconfigurés
► Respectez les instructions d’installation du manuel de l’utilisateur concernant l’accessoire correspondant.
► Observez la configuration des connexions et des lignes de commande existantes.
► Raccordez uniquement les accessoires adaptés à l’unité de commande électronique.
► Utilisez le connecteur en Y de la gamme d’accessoires pour raccorder 3 ou 4 appareils.
Utilisation d’accessoires supplémentaires
► Respectez les instructions d’installation du manuel de l’utilisateur concernant l’accessoire correspondant.
► Observez la configuration existante des connexions existantes.
► Utilisez un appareil de commande Pfeiffer Vacuum pour la configuration, si nécessaire.
5.7
Raccordement de l’alimentation électrique
AVERTISSEMENT
Danger de mort dû à un sectionneur de réseau manquant
La pompe à vide et l'unité de commande électronique ne sont pas équipées d'un sectionneur de réseau (interrupteur principal).
► Installez un sectionneur de réseau conformément à SEMI-S2.
► Prévoyez un coupe-circuit avec un taux d'interruption de 10 000 A minimum.
32/64
Installation
AVERTISSEMENT
Risque de blessure en cas d'installation inappropriée
Des situations dangereuses peuvent survenir suite à une installation non sécurisée ou incorrecte.
► Ne pas effectuer soi-même des conversions ou modifications d'unité.
► Veiller à l’intégration dans un circuit de sécurité de secours.
5.7.1
Mise à la terre de la pompe turbomoléculaire
Pfeiffer Vacuum recommande le raccordement d’un câble de mise à la terre approprié pour décharger
les interférences applicatives.
M4
Fig. 17:
Exemple : raccorder le câble de terre
Procédure
1. Utilisez la borne de masse de la pompe turbomoléculaire (filetage femelle M4).
2. Acheminez le raccordement conformément aux dispositions locales en vigueur.
5.7.2
Raccordement électrique
DANGER
Danger de mort en cas d’électrocution
Les blocs d’alimentation électrique non spécifiés et non approuvés peuvent entraîner de graves blessures, voire la mort.
► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences avec une double
isolation entre la tension d’entrée de secteur et la tension de sortie, conformément à
IEC 61010-1, IEC 60950-1 and IEC 62368-1.
► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences des normes
IEC 61010-1, IEC 60950-1 et IEC 62368-1.
► Si possible, utilisez des blocs d’alimentation électrique d'origine ou uniquement des blocs d’alimentation correspondant aux normes de sécurité en vigueur.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure par coupure suite à un démarrage inattendu
L'utilisation de prises bouchon sur les connecteurs des unités de commande électronique (accessoires) permet le démarrage automatique de la pompe à vide dès la mise sous tension. L’installation de
ces prises bouchon avant ou pendant le raccordement de la pompe provoque la mise en mouvement
des pièces, d’où le risque de coupure par les arêtes vives du côté de la bride à vide élevé.
► Ne jamais installer ces prises bouchons sur les connecteurs des unités de commande avant
d'avoir raccordé la bride de vide élevé.
► Mettre la pompe sous tension uniquement au moment de l'utiliser.
33/64
Installation
1
2
7
6
3
5
DC out
DC in
4
Fig. 18:
1
2
3
4
Raccordement de l’unité de commande électronique à l’unité de courant
Unité de courant | Appareil de commande avec unité de courant
Unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire
Raccordement DCin
Câble de raccordement, PM 061 352 -T
5
6
7
Prise de raccordement DCout
Entrée CA alimentation
Interrupteur principal
Raccordement de l’unité de commande électronique
1. Assurez-vous que la tension d’alimentation est correcte.
2. Vérifier que l’interrupteur secteur du pack d’alimentation électrique est coupé avant de procéder
au raccordement.
3. Utilisez un câble de raccordement adapté de la gamme d’accessoires Pfeiffer Vacuum.
4. Insérer le câble de raccordement dans le raccord « DCin » sur l’unité de commande électronique
et fermer la fermeture à baïonnette.
5. Insérer le câble de raccordement dans le raccord « DCout » sur le pack d’alimentation électronique et fermer la fermeture à baïonnette.
34/64
Utilisation
6 Utilisation
6.1
Mise en service
AVERTISSEMENT
Risque de blessure par coupure suite à un démarrage inattendu
L'utilisation de prises bouchon sur les connecteurs des unités de commande électronique (accessoires) permet le démarrage automatique de la pompe à vide dès la mise sous tension. L’installation de
ces prises bouchon avant ou pendant le raccordement de la pompe provoque la mise en mouvement
des pièces, d’où le risque de coupure par les arêtes vives du côté de la bride à vide élevé.
► Ne jamais installer ces prises bouchons sur les connecteurs des unités de commande avant
d'avoir raccordé la bride de vide élevé.
► Mettre la pompe sous tension uniquement au moment de l'utiliser.
AVIS
Usure des paliers de sécurité en cas de surcharge pendant le fonctionnement
Les paliers de sécurité qui préviennent une surcharge des paliers magnétiques en cas de contact entre le rotor et le stator s’usent en cas de surcharge. Ils ne s’usent pas en cas de fonctionnement sans
problèmet.
► N’exposez pas les pompes turbomoléculaires à des impacts, des vibrations ou des variations
brutales de la position, surtout des mouvements de basculement.
► Évitez les variations de la pression sur le côté vide primaire ou vide élevé.
► Ventilez la pompe turbomoléculaire seulement via la vanne de ventilation fournie.
► Maintenez l’alimentation secteur sans interruption.
AVIS
Destruction de la pompe à vide liée à une entrée excessive d'énergie pendant le fonctionnement
La charge simultanée par l'intermédiaire d'une puissance d’entrée élevée (débit de gaz, pression du
vide préliminaire), rayonnement calorifique élevé ou de puissants champs magnétiques entraîne un
échauffement incontrôlé du rotor et peut détruire la pompe à vide.
► Avant de combiner des charges variables sur la pompe à vide, consulter Pfeiffer Vacuum. Des
valeurs limites inférieures s'appliquent.
AVIS
Destruction de la pompe turbo liée à des gaz avec des masses moléculaires trop élevées
Le pompage de gaz de masse moléculaire non autorisée provoque la destruction de la pompe turbo.
► S'assurer que le mode de gaz [P:027] est correctement réglé dans l’unité d’entraînement électronique.
► Contacter Pfeiffer Vacuum avant d’utiliser des gaz avec une masse moléculaire plus élevée (>
80).
Les réglages et variables fonctionnelles importants sont programmés en usine sous forme de paramètres dans l’unité de commande électronique de la pompe à vide. Chaque paramètre a un nombre à trois
chiffres et une description. Le fonctionnement et le contrôle pilotés par paramètres sont assurés par les
appareils de commande et d’affichage Pfeiffer Vacuum, ou en externe via RS-485 utilisant le protocole
Pfeiffer Vacuum.
Chaque fois que l’alimentation secteur est activée, ou quand une erreur est acquittée, l’unité de commande électronique effectue l’étalonnage des paliers magnétiques. Le calibrage est notable aux bruits
de cognement métallique réguliers, mais ceci n'a aucun effet négatif sur l'usure des paliers de sécurité.
Paramètre
Nom
Désignation
Réglage
[P:027]
GasMode
Mode du gaz
0 = gaz lourds
[P:030]
VentMode
Mode de ventilation
2 = ventilation directe
35/64
Utilisation
Paramètre
Nom
Désignation
Réglage
[P:035]
CfgAccA1
Raccordement des accessoires A1
0 = ventilateur (fonctionnement continu)
[P:036]
CfgAccB1
Raccordement des accessoires B1
1 = Vanne de mise à
l’air
[P:037]
CfgAccA2
Raccordement des accessoires A2
3 = pompe à vide primaire
[P:038]
CfgAccB2
Raccordement des accessoires B2
2 = chauffage
[P:700]
RUTimeSVal
Définir la valeur du temps d’accélération
8 min.
[P:701]
SpdSwPt1
Point de commutation 1 vitesse de rotation
80 %
[P:707]
SpdSVal
Point de consigne mode de réglage de la vitesse de rotation
65 %
[P:708]
PwrSVal
Valeur de consigne de la consommation électrique
100 %
[P:720]
VentSpd
Mise à l’air à la vitesse de rotation, mise à l’air
retardée
50 %
[P:721]
VentTime
Temps de remise à l’air, ventilation temporisée
3600 sec.
Tab. 10:
Réglages d’usine de l’unité de commande électronique livrée
Notes de mise en service de la pompe turbomoléculaire
1. S'assurer de l’installation en toute sécurité.
2. Garantir que la pression de vide primaire est suffisante.
3. Observer l’écoulement et le débit d’eau de refroidissement.
4. Lorsqu’un gaz de pressurisation est utilisé, respecter la valeur de flux de débit du gaz de pressurisation.
5. Alimentez le produit en électricité.
6.2
Modes de fonctionnement
Il existe plusieurs modes de fonctionnement pour la pompe turbomoléculaire.
●
●
●
●
●
6.2.1
Utilisation sans appareil de commande
Fonctionnement via la connexion « E74 »
Fonctionnement via la connexion « à distance »
Fonctionnement via l’interface RS-485 de l’appareil de commande Pfeiffer Vacuum ou PC
Fonctionnement via un bus de terrain
Fonctionnement sans unité de fonctionnement
Démarrage automatique
La pompe turbo est prête à fonctionner lorsque la fiche d'accouplement fournie à la livraison est utilisée sur l'unité d’entraînement électronique ou lorsque les contacts de pontage
sont mis en œuvre conformément à l'agencement du terminal. Dès que la tension d’alimentation est fournie, la pompe turbo va démarrer automatiquement.
Instructions de fonctionnement sans panneau de commande
1. Utilisez uniquement la fiche d’accouplement agréée Pfeiffer Vacuum avec des pontages sur la
connexion de l’unité de commande électronique.
2. L’alimentation secteur de la pompe turbomoléculaire ne doit être mise en circuit que juste avant la
mise en route.
Après application de la tension de fonctionnement, l’unité de commande électronique effectue un test
automatique pour contrôler la tension d’alimentation. Si le test s’est terminé avec succès, la pompe turbomoléculaire démarre et active les équipements additionnels conformément à la configuration.
36/64
Utilisation
6.2.2
Fonctionnement via le raccordement multifonctions « à distance »
La commande à distance est disponible via la connexion D-Sub à 26 broches avec la désignation « à
distance » sur l'unité d’entraînement électronique. Les fonctions individuelles accessibles sont mappées
avec les « niveaux PLC ».
Instructions pour le fonctionnement avec commande à distance
► Voir les instructions d'utilisation de l'unité de commande électronique pour la version standard.
6.2.3
Fonctionnement via la connexion « E74 »
Le fonctionnement est possible via la connexion D-Sub à 15 broches avec la désignation « E74 » sur
l'unité d’entraînement électronique. En plus des signaux définis dans la directive SEMI E74-0301, la
connexion est fournie avec un signal d'alarme inversé et une sortie analogique.
Instructions d'utilisation avec E74
► Voir les instructions d'utilisation de l'unité de commande électronique avec la version E74.
6.2.4
Fonctionnement via l’appareil de commande Pfeiffer Vacuum
Le raccordement d’un appareil de commande Pfeiffer Vacuum permet de contrôler la pompe turbomoléculaire via des paramètres statiques mémorisés dans l’unité de commande électronique.
Utilisation de l’appareil de commande
1. Observez le manuel de l'utilisateur approprié pour la manipulation des appareils de commande
Pfeiffer Vacuum :
– Manuel de l’utilisateur à télécharger à la rubrique Download Center.
2. Observez le manuel de l’utilisateur de l’unité de commande électronique inclus dans la livraison
de la pompe à vide.
3. Raccordez l’appareil de commande au port « RS-485 » sur l’unité de commande électronique.
– Utilisez un câble de raccordement adéquat avec un connecteur « RS-485 ».
4. Activez l’alimentation électrique de la pompe turbomoléculaire via l’unité de courant externe ou
l’appareil de commande avec unité de courant intégrée.
6.2.5
Fonctionnement via un bus de terrain
Les pompes turbomoléculaires Pfeiffer Vacuum peuvent être intégrées et fonctionner dans le système
de bus de terrain du client lorsqu’une unité de commande électronique avec le panneau de connexion
correspondant est utilisée.
Les éléments suivants sont disponibles :
● Profibus
● EtherCAT
● DeviceNet
Instructions pour le fonctionnement avec un bus de terrain
► Voir le manuel de l’utilisateur de l’unité de commande électronique avec le tableau de raccordement correspondant.
6.3
Mise en marche de la pompe turbo
AVERTISSEMENT
Risque de blessure par coupure suite à un démarrage inattendu
L'utilisation de prises bouchon sur les connecteurs des unités de commande électronique (accessoires) permet le démarrage automatique de la pompe à vide dès la mise sous tension. L’installation de
ces prises bouchon avant ou pendant le raccordement de la pompe provoque la mise en mouvement
des pièces, d’où le risque de coupure par les arêtes vives du côté de la bride à vide élevé.
► Ne jamais installer ces prises bouchons sur les connecteurs des unités de commande avant
d'avoir raccordé la bride de vide élevé.
► Mettre la pompe sous tension uniquement au moment de l'utiliser.
37/64
Utilisation
AVERTISSEMENT
Risque de brûlure lié à l'utilisation d'équipements additionnels de chauffe pendant le fonctionnement
L'utilisation d'équipements additionnels de chauffe de la pompe à vide ou pour l'optimisation des processus engendre des températures très élevées sur les surfaces pouvant être touchées. Il existe un
risque de brûlure.
► Si nécessaire, installer une protection isolante.
► Si nécessaire, appliquer des autocollants d'avertissement sur les points dangereux.
► Vérifier que la pompe à vide est à température ambiante avant de travailler dessus ou à proximité.
► Porter un équipements de protection, p. ex. gants.
AVERTISSEMENT
Risque de grave blessure lié à la destruction de la pompe à vide en raison d'une surpression
L'entrée de gaz à très haute surpression entraîne la destruction de la pompe à vide. Il existe un risque de grave blessure lié à l'éjection d'objets.
► Ne jamais dépasser la pression d'entrée autorisée de 1 500 hPa (absolue) sur le côté aspiration
ou la connexion de mise à l'air et de gaz de pressurisation.
► Vérifier que les surpressions liées au processus ne peuvent entrer directement dans la pompe à
vide.
Mise en marche de la pompe turbo
► Brancher le bloc d’alimentation à l'alimentation électrique côté client.
► Allumer le bloc d’alimentation.
6.4
Surveillance des opérations
6.4.1
Affichage du mode de travail via diodes électroluminescentes
Les DEL sur l’unité de commande électronique indiquent les principaux états de fonctionnement de la
pompe à vide. Une erreur différenciée et un affichage d’alerte ne sont possibles que pour le fonctionnement avec l’appareil de commande Pfeiffer Vacuum ou un PC.
LED
Vert
Jaune
Rouge
Tab. 11:
6.4.2
Symbole
État LED
Affichage
Signification
Désactivé
Sans courant
Activé, clignotant
« Groupe de pompage DÉSACTIVÉ », vitesse de rotation ≤ 60 tr/min
Activé, clignotement inverse
« Groupe de pompage ACTIVÉ », vitesse de rotation prescrite non atteinte
Activé, éclairé en continu
« Groupe de pompage ACTIVÉ », vitesse de rotation prescrite atteinte
Activé, clignotant
« Groupe de pompage DÉSACTIVÉ », vitesse de > 60 tr/min
Désactivé
Pas d'avertissement
Activé, éclairé en continu
Avertissement
Désactivé
Pas d'erreur, pas d'avertissement
Activé, éclairé en continu
Erreur, dysfonctionnement
Comportement et signification des LED de l’unité de commande électronique
Surveillance de la température
Si les valeurs seuils sont dépassées, des signaux de sortie des capteurs de température permettent
d’amener la pompe turbomoléculaire dans un état sécurisé. Selon le type, les seuils de température
38/64
Utilisation
pour les messages d’avertissement et d’erreur sont mémorisés systématiquement dans l’unité de commande électronique. À titre d'information, différentes demandes d’état sont définies dans l’ensemble de
paramètres.
● Afin d’éviter que la pompe turbomoléculaire ne se coupe, l'unité de commande électronique réduit
déjà la consommation de courant en cas de dépassement du seuil d’avertissement pour l’excès
de température.
─ Exemples : température moteur inadmissible, surchauffe inadmissible du corps de pompe.
● Le point de commutation de la vitesse de rotation peut ne pas être atteint en cas de réduction
supplémentaire de la puissance d’entraînement et par conséquent de la vitesse. La pompe turbomoléculaire se coupe.
● Le dépassement du seuil de température pour les messages d’erreur entraîne la coupure immédiate de la pompe turbomoléculaire.
6.4.3
Usure des paliers de sécurité
Les paliers de sécurité s’usent en fonction du niveau d’impact de l’interférence sur le rotor en marche.
Le système de capteurs sur le palier magnétique surveille en permanence l’usure actuelle des paliers
de sécurité. L’unité de commande électronique effectue la somme de l’usure et émet la valeur correspondante sous forme de pourcentage de la valeur maximale possible.
● Des messages d’avertissement appropriés correspondent à une émission de 75 % de la valeur
maximale.
● Des messages d’erreur appropriés correspondent à une émissionde 100 % de la valeur maximale.
Surveillance de l’usure des paliers de sécurité
1. Utiliser le paramètre [P:329] pour afficher le pourcentage d’usure des paliers de sécurité.
2. Mettre la pompe hors service si le stress total a atteint 100 %.
3. Contacter le service après-vente de Pfeiffer Vacuum.
6.4.4
Équilibre
Les capteurs des paliers magnétiques surveillent en permanence l’équilibre actuel du rotor. L’état de
l’équilibre est mesuré en tant que pourcentage du stress maximal possible sur le rotor et affiché sur
l’appareil de commande Pfeiffer Vacuum ou émis sur le PC via l’interface RS-485.
● L’émission des messages d’avertissement correspondants est effectuée à partir de 75 % du déséquilibre autorisé.
● L’émission des messages d’erreur correspondants est effectuée à partir de 100 % du déséquilibré
autorisé.
Surveillance de l’équilibre
1. Le paramètre [P:358] est utilisé pour afficher l’équilibre actuel du rotor en %.
2. Mettre la pompe hors service si le déséquilibre admissible a atteint 100 %.
3. Contacter le service après-vente de Pfeiffer Vacuum.
6.5
Mise hors circuit et mise à l'air
Recommandation
Purger la pompe turbo après son arrêt. Cette opération permet d'éviter le reflux des particules dans le système de vide depuis la zone de vide préliminaire.
6.5.1
Mise hors circuit
Remarques relatives à la mise hors circuit de la pompe turbomoléculaire
1. Arrêtez la pompe turbomoléculaire via l’appareil de commande ou la commande à distance.
2. Fermez la conduite de vide primaire.
3. Désactivez la pompe à vide primaire, si nécessaire.
4. Ventilez la pompe turbomoléculaire.
5. Fermez les conduites d’alimentation (eau de refroidissement, purge de gaz neutre).
39/64
Utilisation
6.5.2
Frein électrique
Après avoir mis la pompe à l’arrêt, Pfeiffer Vacuum recommande l’utilisation de la fonction de frein électrique. Il réduit le temps de ralenti et permet le freinage contrôlé du rotor jusqu’à ce que la pompe soit
immobilisée.
Utilisation du frein électrique
► Réglez le paramètre [P:013] sur « 1 ».
6.5.3
Alimentation électrique de secours
AVIS
Endommagement de la pompe turbomoléculaire en raison du fonctionnement sans surveillance
Les paliers magnétiques actifs nécessitent une alimentation électrique constante. Le moteur agit
comme un générateur et alimente l’électronique d’entraînement en cas de panne de courant. Si la
vitesse de rotation est inférieur à env. 6 000 trs/min, l’énergie cinétique du rotor n’est plus suffisante
pour alimenter les paliers magnétiques. L’unité de commande électronique est désactivée. Le rotor
décélère de manière audible dans les paliers de sécurité. Ceci va user les paliers de sécurité.
► Ne pas mettre la pompe à l’arrêt en débranchant l’alimentation électrique de secteur.
État DEL
● La DEL verte sur l’unité de commande électronique indique l’état de fonctionnement actuel.
● La DEL jaune sur l’unité de commande électronique est allumée (avertissement « tension insuffisante »).
6.5.4
Ventilation
ATTENTION
Risque de blessure en cas de contact avec le vide pendant la ventilation
Lors de la ventilation de la pompe à vide, il y a un risque de blessures bénignes lié au contact direct
de certaines parties du corps avec le vide, p. ex. hématome.
► Restez à distance de sécurité des unités automatiques de ventilation comme les vannes de ventilation.
AVIS
Endommagement de la pompe turbomoléculaire lié à une augmentation inacceptable de la
pression pendant la ventilation
Un taux de remontée de pression inacceptable soumet le rotor, les paliers magnétiques et les paliers
de sécurité à une forte contrainte. Ceci peut entraîner des dommages mécaniques sur la pompe turbomoléculaire, voire la destruction de celle-ci.
► Utilisez uniquement la vanne de ventilation fournie pour ventiler la pompe turbomoléculaire.
► Observez le taux de remontée de pression maximum prescrit de 15 hPa/s.
► La ventilation manuelle et non contrôlée de très petits volumes est à éviter.
► Ventilez d’abord avec la vanne de ventilation Pfeiffer Vacuum jusqu’à une vitesse de rotation de
6 000 trs/min avant d’utiliser un système de ventilation supplémentaire.
Accessoires requis
● Air exempt d’huile et sec ou gaz inerte
Ventilation cyclique avec vanne de ventilation
L’unité de commande électronique contrôle le degré de ventilation et ventile la pompe turbomoléculaire
à l’aide d’une ouverture et d’une fermeture cycliques de la vanne de ventilation. La vanne de ventilation
est normalement fermée.
Elle est commandée par l’intermédiaire de l’unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire et de la configuration des paramètres [P:012] et [P:030]. En cas de panne de courant, la pompe
40/64
Utilisation
turbomoléculaire génère suffisamment d’énergie pendant sa phase d’arrêt progressif pour initier une
ventilation correcte. Lorsque le courant revient, la ventilation est interrompue.
1. Ventilez la pompe turbomoléculaire avec de l’air sec et exempt d’huile ou un gaz inerte.
2. Désactivez la pompe turbomoléculaire.
– Le processus de ventilation démarre automatiquement.
3. Attendez l’équilibrage de la pression avec la pression atmosphérique dans le système de vide.
Vitesse de ventilation [P:720]
Durée de ventilation [P:721]
Durée de ventilation en cas de panne de courant
50 % de la vitesse nominale
3 600 s
3 600 s
Tab. 12:
Paramètres d’usine pour la ventilation retardée dans les pompes turbomoléculaires
Informations générales sur la ventilation rapide
Pfeiffer Vacuum recommande la ventilation rapide de grands volumes en 4 étapes.
1. Utilisez une vanne de ventilation Pfeiffer Vacuum pour la pompe turbomoléculaire. Alternativement, la section transversale de la vanne doit correspondre à la taille du récipient et au taux maximal de ventilation.
2. Ventilez le système de vide avec un taux de remontée de pression maximal de 15 hPa/s jusqu’à
la vitesse de 6 000 trs/min.
3. Ventilez ensuite le système avec une deuxième vanne de ventilation de taille quelconque, par
exemple directement sur l'enceinte à vide.
4. Attendez l’équilibrage de la pression avec la pression atmosphérique dans le système de vide.
41/64
Maintenance
7 Maintenance
7.1
Informations générales sur la maintenance
AVERTISSEMENT
Danger de mort lié à un choc électrique pendant la maintenance et l’entretien
L’appareil n’est complètement hors tension que lorsque la prise secteur a été débranchée et que la
pompe turbomoléculaire est à l’arrêt. Danger de mort par électrocution en cas de contact avec des
composants sous tension.
► Avant tout travail, mettez hors circuit l’interrupteur secteur.
► Attendez l'arrêt de la pompe turbomoléculaire (vitesse de rotation f = 0).
► Débranchez la prise secteur de l’appareil.
► Sécurisez l’appareil contre tout redémarrage intempestif.
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
AVERTISSEMENT
En mettant les mains dans la connexion de vide secondaire ouverte, risque de coupure lié aux
pièces coupantes en mouvement
Une manipulation incorrecte de la pompe turbomoléculaire avant le travail de maintenance entraîne
une situation dangereuse avec un risque de blessure. Lors du démontage de la pompe turbomoléculaire, il y a un risque de coupure en manipulant des pièces en rotation avec des faces acérées.
► Attendez l'arrêt de la pompe turbomoléculaire (vitesse de rotation f = 0).
► Mettez correctement hors circuit la pompe turbomoléculaire.
► Sécurisez la pompe turbomoléculaire contre tout risque de redémarrage.
► Fermez immédiatement les connexions ouvertes après démontage en utilisant le cache d'origine.
7.2
Intervalles de maintenance et responsabilités
Recommandations pour l’exécution des opérations de maintenance
1. Nettoyez l’extérieur de la pompe turbomoléculaire avec un chiffon sans fusel et un peu d’alcool
isopropylique.
2. Remplacer l’unité de commande électronique en tant qu’unité indépendante.
3. Observez la périodicité d’inspection obligatoire des appareils de sécurité électriques.
4. Pour toutes les autres opérations de nettoyage, maintenance ou réparation, contacter le centre
Pfeiffer Vacuum Service adéquat.
42/64
Maintenance
7.3
Remplacement de l’unité de commande électronique
AVIS
Endommagement de la pompe à vide et de l’unité de commande électronique en cas de déconnexion incorrecte des composants
Même après la mise hors circuit de l'alimentation électrique, la pompe à vide continue de fournir de
l’énergie électrique tant qu’elle n’est pas complètement à l’arrêt. Une déconnexion prématurée de la
pompe à vide et de l’unité de commande électronique présente un risque de contact du corps et par
conséquent un risque de destruction des composants électroniques.
► Ne déconnectez jamais la pompe à vide et l’unité de commande électronique l'une de l'autre si
elles sont encore sous tension ou que le rotor est en rotation.
► Surveillez la vitesse de rotation via les paramètres disponibles dans l’unité de commande électronique (p. ex. [P:398]).
► Attendez que la pompe à vide soit totalement à l’arrêt (vitesse de rotation f = 0).
AVIS
Dommages matériels dus à une décharge électrostatique
Si les mesures de précaution visant à prévenir les risques électrostatiques ne sont pas observées,
les composants électroniques peuvent être endommagés ou détruits
► Les mesures de sécurité contre les dommages électrostatiques doivent être implémentées sur le
poste de travail.
► Observer la norme EN 61340 « Protection des appareils électroniques contre les phénomènes
électrostatiques ».
Sauvegarde des réglages effectués par le client
Les paramètres d’usine sont toujours activés par défaut sur les unités de rechange. Tous
les réglages effectués par le client sur l’unité de commande électronique d’origine sont perdus lors de son remplacement. Pour conserver vos réglages personnalisés, vous pouvez :
1. Sauvegardez tous vos paramètres en tant que jeu de paramètres dans une HPU.
2. Chargez un jeu de paramètres de sauvegarde par l’intermédiaire d’une HPU dans la
nouvelle unité de commande électronique.
3. Programmez manuellement les paramètres individuels dans la nouvelle unité de commande électronique.
4. Voir le manuel de l’utilisateur de l’unité de commande électronique et de la HPU.
L’unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire ne peut pas être réparée. En cas de
défaut, remplacez toute l’unité de commande électronique par une pièce de rechange.
Conditions préalables
●
●
●
●
●
●
7.3.1
Pompe turbomoléculaire arrêtée
Pompe turbomoléculaire refroidie
Système à vide ventilé à la pression atmosphérique
Alimentation électrique débranchée
Tous les câbles sont débranchés de l’unité de commande électronique
Toutes les ouvertures sont étanchéifiées avec les caches d’origine et tous les bouchons filetés.
Démontage de l’unité de commande électronique
Outils nécessaires
● Clé hexagonale, WAF 3
43/64
Maintenance
3
2
1
4
5
Fig. 19:
Démontage de l’unité de commande électronique TM 700
1 Vis à six pans creux intérieurs
2 Unité de commande électronique
3 Cache de protection du raccord de vide
4
5
Cache de protection du raccord de vide préliminaire
Platine
Procédure
1. Installez la pompe turbomoléculaire à la verticale si nécessaire.
2. Dévissez les 3 vis à tête hexagonale de l’unité de commande électronique.
3. Sortez l’ancienne unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire, en prenant soin
de la maintenir droite.
7.3.2
Installation de l’unité de commande électronique
Outils nécessaires
● Clé hexagonale, WAF 3
● Clé dynamométrique calibrée (couple de serrage ≤ 1,6)
3
1
2
4
5
Fig. 20:
Installation de l’unité de commande électronique TM 700
1 Vis à six pans creux intérieurs
2 Unité de commande électronique
3 Cache de protection du raccord de vide
4
5
Cache de protection du raccord de vide préliminaire
Platine
Procédure
1. Installez la pompe turbomoléculaire à la verticale si nécessaire.
2. Installez une nouvelle unité de commande électronique bien droite sur le raccord de la plaque
d’adaptation de la pompe turbomoléculaire.
3. Vissez l’unité de commande électronique sur la pompe turbomoléculaire avec les 3 vis à tête hexagonale.
– Couple de serrage : 2,5 Nm
44/64
Maintenance
7.3.3
Confirmation de la spécification de vitesse
La vitesse de rotation nominale typique d’une pompe turbomoléculaire est préréglée en usine dans
l’unité de commande électronique. Si l’unité de commande électronique est remplacée ou si un autre
type de pompe est utilisé, la présélection de consignes pour la vitesse de rotation nominale est effacée.
La confirmation manuelle de la vitesse de rotation nominale fait partie d’un système de sécurité redondant et sert de mesure de prévention contre les vitesses de rotation excessives.
La confirmation redondante de la vitesse de rotation nominale d’une pompe turbomoléculaire est possible en réglant le paramètre [P:777] NomSpdConf dans l’unité de commande électronique.
HiPace
Vitesse de rotation nominale
10 | 30 | 60 | 80
1500 Hz
300
1000 Hz
350 | 450
1100 Hz
400 | 700 | 800
820 Hz
Tab. 13:
Vitesses de rotation nominales caractéristiques des pompes turbomoléculaires
Accessoires requis
● Appareil de commande Pfeiffer Vacuum raccordé
● Connaissance de la configuration et du réglage des paramètres de fonctionnement de l’unité de
commande électronique.
Réglage de confirmation de la vitesse de rotation nominale
1. Observer le manuel de l'utilisateur de l’appareil de commande.
2. Voir le manuel de l’utilisateur de l’unité de commande électronique.
3. Définir le paramètre [P:794] sur « 1 » et activer le jeu de paramètres étendu.
4. Ouvrir et éditer le paramètre [P:777].
5. Définir le paramètre [P:777] sur la valeur requise de la vitesse de rotation nominale en Hertz.
Alternative d’ajustement de la confirmation de la vitesse de rotation nominale
Les unités de rechange incluent un Pfeiffer Vacuum SpeedConfigurator pour la définition
immédiate du paramètre [P:777].
45/64
Mise hors service
8 Mise hors service
8.1
Mise hors service pendant une période prolongée
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
Procédure pour un arrêt prolongé de la pompe turbomoléculaire (> 1 an)
1. Ventilez la pompe turbomoléculaire par l’intermédiaire du raccordement correspondant avec de
l’air sans huile et sec ou du gaz inerte.
2. Si nécessaire, retirez la pompe turbomoléculaire du système de vide.
3. Obturez hermétiquement toutes les ouvertures de bride avec les capuchons de protection d’origine.
4. Fixez la pompe turbomoléculaire à la verticale avec la bride de vide secondaire vers le haut.
5. Stockez la pompe turbomoléculaire dans un local à la température spécifiée.
6. Dans les locaux où l’atmosphère est humide ou corrosive : Scellez hermétiquement la pompe turbomoléculaire avec un agent de séchage dans un sac en plastique.
8.2
Remise en service
Procédures de remise en service de la pompe turbomoléculaire
1. Contrôlez la pompe turbomoléculaire à la recherche de signes de pollution et d’humidité.
2. Nettoyez l’extérieur de la pompe turbomoléculaire avec un chiffon sans fusel et un peu d’alcool
isopropylique.
3. Si nécessaire, demandez au service Pfeiffer Vacuum de nettoyer complètement la pompe turbomoléculaire.
4. Installez la pompe turbomoléculaire conformément à ces instructions (voir chapitre « Installation », page 21).
5. Remettez la pompe turbomoléculaire en service selon ces instructions.
46/64
Recyclage et mise au rebut
9 Recyclage et mise au rebut
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
Protection de l’environnement
Vous devez mettre au rebut le produit et ses composants conformément aux directives applicables pour la protection des personnes, de l’environnement et de la nature.
● Contribuez à la réduction du gaspillage des ressources naturelles.
● Évitez toute contamination.
9.1
Informations générales sur la mise au rebut
Les produits Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables.
► Mettez au rebut nos produits en séparant :
– Fer
– Aluminium
– Cuivre
– Matière synthétique
– Composants électroniques
– Huiles et graisses, sans solvant
► Observez les mesures de sécurité spéciales pour la mise au rebut de :
– Fluoroélastomères (FKM)
– Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé
9.2
Élimination des pompes turbomoléculaires
Les pompes turbomoléculaires Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux que vous devez recycler.
1. Enlevez l’unité de commande électronique.
2. Décontaminez les composants qui sont entrés en contact avec les gaz de procédé
3. Séparez les composants en matériaux recyclables.
4. Recyclez les composants non contaminés.
5. Éliminez le produit ou les composants sûrement en conformité avec toutes les directives applicables.
47/64
Anomalies
10
Anomalies
AVERTISSEMENT
Danger de mort par électrocution en cas de dysfonctionnement
En cas de dysfonctionnement, les appareils raccordés au secteur peuvent être sous tension. Danger
de mort par électrocution en cas de contact avec des composants sous tension.
► Toujours conserver l’alimentation librement accessible de manière à pouvoir la débrancher à tout
moment.
AVERTISSEMENT
Danger de mort par empoisonnement lié à la fuite de liquides de processus toxiques en cas
d'endommagement des connexions
Une torsion soudaine de la pompe turbo en cas de défaut entraîne l'accélération des raccords. Il y a
un risque d'endommagement des connexions sur site (p. ex. conduite de vide préliminaire) entraînant
des fuites. Le liquide de processus risque alors de fuir. Dans les procédés impliquant des milieux
toxiques, il existe un risque d’intoxication susceptible de provoquer des lésions ou la mort.
► Les masses connectées à la pompe turbo doivent être aussi basses que possibles.
► Si nécessaire, utiliser des conduites flexibles pour la connexion de la pompe turbo.
AVERTISSEMENT
Danger de mort lié à l'éjection de composants de la pompe turbomoléculaire en cas de défaut
Un blocage soudain du rotor génère des couples hautement destructeurs conformément à la norme
ISO 27892. Si la pompe turbomoléculaire n'est pas correctement fixée, elle peut rompre. L'énergie
ainsi libérée pourrait projeter la pompe turbomoléculaire ou des fragments de l'intérieur de celle-ci
dans l'espace environnant. Des gaz potentiellement dangereux pourraient être libérés. Il y a un risque de très graves blessures, voire de mort, et de dommages matériels très importants.
► Les instructions d'installation de cette pompe turbomoléculaire doivent être respectées.
► Les exigences de stabilité et de structure de la contre-bride doivent être observées.
► Utilisez uniquement les accessoires d'origine ou des matériaux de fixation agréés par Pfeiffer Vacuum pour l'installation.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure lié à la rupture et à la projection de la pompe turbo avec le compensateur
de vibration en cas de dysfonctionnement
Un blocage soudain du rotor génère des couples hautement destructeurs conformément à la norme
ISO 27892. L'utilisation d'un compensateur de vibration entraînerait probablement la rupture et la
projection de la pompe turbo en fonctionnement. L'énergie ainsi libérée pourrait projeter la pompe
turbo ou des fragments de l'intérieur de celle-ci dans l'espace environnant. Des gaz potentiellement
dangereux pourraient être libérés. Il y a un risque de très graves blessures, voire de mort, et de dommages matériels très importants.
► Des mesures de sécurité sur site pour la compensation des couples doivent être prises.
► Avant d'installer un compensateur de vibration, vous devez d'abord contacter Pfeiffer Vacuum.
En cas d’anomalie, des informations sur les causes possibles et leur résolution sont disponibles ici. Le
manuel de l’utilisateur de l’unité de commande électronique associée contient une description plus détaillée des erreurs.
48/64
Anomalies
Problème
Causes possibles
Action corrective
La pompe turbomoléculaire ne
démarre pas ; aucune des DEL
sur l’unité de commande électronique ne s’éclaire
● L’alimentation électrique
a été coupée
● Vérifiez les contacts des fiches sur le pack d’alimentation électrique.
● Vérifiez les lignes d’alimentation électrique.
● Contrôlez la tension de sortie sur le raccordement
de l’unité de courant « DC out ».
─ En fonction de la version de l’unité de courant, la tension appliquée est de 24 V CC ou
48 V CC.
● Tension de fonctionnement incorrecte
● Respectez les données sur la plaque signalétique
de l’unité de commande électronique.
● Alimentez avec la tension de fonctionnement correcte.
● Pas de tension de fonctionnement
● Alimentez avec la tension de fonctionnement correcte.
● Activez l’unité de courant.
● Unité de commande
électronique défectueuse
● Remplacez l’unité de commande électronique.
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
● Fonctionnement sans
appareil de commande : Les broches 1-3 et
1-14 ne sont pas connectées sur la connexion
« distante »
● Raccordez les connexions conformément au
schéma de raccordement de l’unité de commande électronique.
● Contrôlez les pontages sur le câble de raccordement.
● Pour le fonctionnement
via RS-485 : le pontage
entre les broches 1 et 14
inhibe les instructions de
réglage
● Retirez le pontage sur la connexion « distante ».
● Vérifiez le câble de raccordement.
● Pour le fonctionnement
via RS-485 : les paramètres ne sont pas réglés dans l’unité de commande électronique
● Réglez les paramètres [P: 010] et [P: 023] via
l’interface RS-485 sur 1 = "ON".
● La chute de tension dans
le câble est trop grande
● Vérifiez le câble de raccordement.
● Utilisez un câble de raccordement adéquat.
● Pression de vide primaire trop haute
● Vérifiez la compatibilité de la pompe de secours
(voir les caractéristiques techniques).
● Vérifiez si la pompe de secours fonctionne.
● Fuite sur la pompe turbomoléculaire
● Repérez les fuites.
● Vérifiez les joints et les raccords de bride.
● Éliminez les fuites.
● Débit de gaz trop élevé
● Réduisez la charge de gaz de procédé.
● Le rotor tourne avec des
à-coups, le palier est défectueux
● Vérifiez la pompe turbomoléculaire pour détecter
tout bruit étrange
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
● Point de consigne de
temps d’accélération réglé trop bas
● Utilisez un appareil de commande pour étendre la
valeur de réglage du temps d’accélération
[P:700].
Charge thermique due à :
● défaut de ventilation
● débit d’eau insuffisant
● Pression de vide primaire trop haute
● température ambiante
trop élevée
● Réduisez la charge thermique.
─ Assurez une circulation d’air suffisante.
─ Ajustez le débit d’eau de refroidissement.
─ Réduisez la pression du vide primaire.
─ Adaptez les conditions ambiantes.
● La pompe turbomoléculaire est polluée
● Chauffez la pompe turbomoléculaire si nécessaire.
● Faites-la nettoyer.
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
● Fuite au niveau de l’enceinte à vide, des tuyauteries ou de la pompe
turbomoléculaire
● Repérez les fuites en commençant par l’enceinte
à vide.
● Vérifiez les joints et les raccords de bride.
● Éliminez les fuites dans le système de vide.
La pompe turbomoléculaire ne
démarre pas ; la DEL verte sur
l’unité de commande électronique
clignote
La pompe turbomoléculaire n’atteint pas la vitesse de rotation nominale dans le temps d’accélération paramétré
La pompe turbomoléculaire n’atteint pas la pression ultime
49/64
Anomalies
Bruits de fonctionnement inhabituels
La DEL rouge s’éclaire sur l’unité
de commande électronique
Tab. 14:
50/64
● Le palier du rotor est endommagé
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
● Rotor endommagé
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
● Pare-éclats ou écran
protecteur desserré
● Vérifiez et corrigez le siège du pare-éclats ou de
l’écran protecteur dans la bride de vide élevé.
● Suivez les instructions d’installation.
● Erreur de groupe
● Réinitialisez l’anomalie en mettant l’alimentation
en courant hors circuit et en circuit.
● Réinitialisez le dysfonctionnement avec V+ sur la
broche 13 du raccordement « à distance ».
● Réglez le paramètre [P: 009] via l’interface
RS-485 sur 1 = Validation du dysfonctionnement.
● Réglez le paramètre [P: 010] via l’interface
RS-485 sur 0 = Arrêt et ensuite sur 1 = Marche et
Validation du dysfonctionnement.
● Exécutez l’analyse de dysfonctionnement différenciée avec un appareil de commande et d’affichage.
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Dépannage des pompes turbomoléculaires
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
11
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
Nous offrons un service de première classe
Une longue durée de vie des composants du vide, associée à des temps d’arrêt réduits, sont ce que
vous attendez clairement de nous. Nous répondons à vos besoins par des produits efficaces et un service d’exception.
Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux
composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit
Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien
évidemment.
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produits de rechange comme neufs ou de la réparation dans un centre de service proche de chez
vous ; vous disposez d'une variété d’options pour maintenir la disponibilité de votre équipement. Vous
trouverez des informations détaillées ainsi que les adresses sur notre site web dans la section Pfeiffer Vacuum Service.
Des conseils sur la solution optimale sont disponibles auprès de votre interlocuteur Pfeiffer Vacuum.
Pour un déroulement rapide et efficace de la procédure de service, nous recommandons de suivre les étapes suivantes :
1. Télécharger les modèles de formulaire actuels.
─ Déclaration de demande de service
─ Demande de service
─ Déclaration de contamination
a) Démonter tous les accessoires et les conserver (toutes les pièces externes
montées telles que la vanne, le filtre d’arrivée, etc.).
b) Vidanger le fluide d'exploitation / lubrifiant si nécessaire.
c) Vidanger le fluide de refroidissement si nécessaire.
2. Remplir la demande de service et la déclaration de contamination.
ANFORDERUNG SERVICE
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
3. Envoyer les formulaires par e-mail, fax ou par courrier à votre centre de service local.
4. Vous recevrez une réponse de Pfeiffer Vacuum.
Envoi de produits contaminés
Aucune unité ne sera acceptée si elle est contaminée par des substances micro-biologiques, explosives
ou radioactives. Si les produits sont contaminés ou si la déclaration de contamination est manquante,
Pfeiffer Vacuum contactera le client avant de démarrer la maintenance. Par ailleurs, selon le produit et
le niveau de contamination, des frais de décontamination supplémentaires peuvent être facturés.
51/64
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails contenus dans la déclaration de contamination.
a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec.
b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air.
c) Sceller le produit dans un film de protection approprié.
d) Emballer le produit dans des conteneurs de transport stables appropriés uniquement.
e) Respecter les conditions de transport en vigueur.
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
6. Joindre la déclaration de contamination sur l’extérieur de l’emballage.
7. Envoyer ensuite le produit à votre centre de service local.
8. Vous recevrez un message de confirmation / un devis de la part de
Pfeiffer Vacuum.
Pour toutes les demandes de service, nos Conditions générales de vente et de livraison ainsi que nos
Conditions générales de réparation et de maintenance sont appliquées aux équipements et composants du vide.
52/64
Accessoires pour HiPace 300 M
12
Accessoires pour HiPace 300 M
2
1
3
Fig. 21:
Accessoires pour HiPace 300 M
Position
Désignation
Référence de commande
Remarque
Pièces
1
Unité de commande électronique TM 700
se référer à la plaque signalétique
en fonction du panneau
de connexion
1
2
Vanne de ventilation
PM Z01 291
Joint annulaire inclus
1
3
Raccord d’orientation
P 4131 007 E
Refroidissement à eau
2
Tab. 15:
Aperçu des accessoires disponibles pour HiPace 300 M
53/64
Accessoires
13
Accessoires
Vous trouverez sur notre site Internet la gamme des accessoires pour pompes turbomoléculaires à lévitation magnétique.
13.1 Informations sur l’accessoire
Matériel de fixation
Ensembles assemblés spécifiques au type avec anneau de centrage et joint, vérifiez la sécurité de la
fixation de la pompe à vide. En option avec pare-éclats ou écran protecteur.
Unités de courant et appareils de commande
Les unités de courant pour tension d’alimentation optimale des produits Pfeiffer Vacuum sont caractérisées par leur taille compacte et une tension d’alimentation adaptée pour une fiabilité maximum. Les unités d’affichage et de fonctionnement sont utilisées pour la vérification et l’ajustement des paramètres de
travail.
Câbles et adaptateurs
Les câbles secteur, interface, raccordement et rallonge offrent un raccordement sûr et adapté. Autres
longueurs disponibles sur demande
Alimentation en gaz de pressurisation
Le gaz de pressurisation est utilisé pour la protection de la pompe à vide contre la poussière et les processus corrosifs ou les débits excessifs de gaz. La purge de gaz neutre empêche la pénétration de substances dommageables dans l’espace du moteur et du palier. L’alimentation est assurée soit par l’intermédiaire d’une vanne de purge de gaz neutre ou d’un étranglement de purge de gaz neutre sans commande.
Refroidissement par air
Pour les processus avec un débit faible de gaz et une bonne pression de vide primaire, le refroidissement par air peut être utilisé indépendamment de l’alimentation d’eau. Commande automatique via
l’unité de commande électronique intégrée de la pompe turbomoléculaire.
Chauffage
Les chemises chauffantes permettent d’atteindre une pression limite plus rapidement pendant le nettoyage process. Commande automatique via l’unité de commande électronique intégrée de la pompe
turbomoléculaire.
Commande de pompe à vide primaire
L’unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire permet une commande utile des pompes à vide primaire. En fonction de la pompe à vide primaire utilisée, différents modes de fonctionnement sont disponibles.
Mesure intégrée de la pression
Évaluation et contrôle via l’unité de commande électronique intégrée, indépendamment d’une alimentation électrique supplémentaire.
13.2
54/64
Commande d’accessoires
Champ de sélection
Numéro de commande
Kit de raccordement pour le montage de pompes, DN 16 ISO-KF
120SWS016-1000
Vanne à passage direct HV, DN 100 ISO-F, électropneumatique, PI
(RS)/PV 24 V DC, acier inox/FKM
GVP-S08342
Câble de secteur 230 VAC, CEE 7/7 à C13, 3 m
P 4564 309 ZA
Câble de secteur 115 VAC, NEMA 5-15 à C13, 3 m
P 4564 309 ZE
Câble de secteur 208 V CA, NEMA 6-15 à C13, 3 m
P 4564 309 ZF
Raccord en Y M12 pour RS-485
P 4723 010
Connecteur en Y, blindé, M12 pour accessoires
P 4723 013
OmniControl 001 mobile, appareils de commande
PE D20 000 0
Accessoires
Champ de sélection
Numéro de commande
OmniControl 001, unité châssis sans unité de courant intégrée
PE D40 000 0
OmniControl 400, unité châssis avec unité de courant intégrée
PE D70 000 0
OmniControl 400, unité de table avec unité de courant intégrée
PE E70 000 0
OmniControl 200 avec PKR 361, 25 KF
PT 440 955 -T
Amortisseur de vibrations pour HiPace 300/400, DN 100 ISO-K/F
PM 006 459 AX
Anneau de centrage avec revêtement multifonctions, DN 100 ISO-K/-F
PM 016 210 -U
Anneau de centrage avec revêtement multifonctions et pare-éclats intégré,
DN 100 ISO-K/-F
PM 016 211 AU
Anneau de centrage avec revêtement multifonctions et grille de protection
intégrée, DN 100 ISO-K/-F
PM 016 212 AU
Kit de montage pour HiPace 300 M, DN 100 ISO-K, avec anneau de centrage revêtu et boulons-agrafes à tête bombée
PM 016 775 -T
Kit de montage pour HiPace® 300 M, DN 100 ISO-K, avec anneau de
centrage revêtu, pare-éclats et boulons-agrafes à tête bombée
PM 016 776 -T
Kit de montage pour HiPace® 300 M, DN 100 ISO-K, avec anneau de
centrage revêtu, écran de protection et boulons-agrafes à tête bombée
PM 016 777 -T
Unité de surveillance de gaz d'étanchéité G 1/8"
PM 016 911 -U
Kit de fixation pour DN 100 ISO-K vers ISO-F, avec bride à chapeau, anneau de centrage recouvert, boulons hexagonaux
PM 016 940 -T
Kit de fixation pour DN 100 ISO-K vers ISO-F, avec bride à chapeau, anneau de centrage recouvert et pare-éclats, boulons hexagonaux
PM 016 941 -T
Kit de fixation pour DN 100 ISO-K vers ISO-F, avec bride à chapeau, anneau de centrage recouvert et grille de protection, boulons hexagonaux
PM 016 942 -T
Kit de fixation pour DN 100 ISO-K vers ISO-F, avec bride à chapeau, anneau de centrage recouvert, goujons filetés
PM 016 945 -T
Kit de fixation pour DN 100 ISO-K vers ISO-F, avec bride à chapeau, anneau de centrage recouvert et pare-éclats, goujons filetés
PM 016 946 -T
Kit de fixation pour DN 100 ISO-K vers ISO-F, avec bride à chapeau, anneau de centrage recouvert et grille de protection, goujons filetés
PM 016 947 -T
Kit de fixation pour DN 100 ISO-F, avec anneau de centrage revêtu, vis à
tête hexagonale
PM 016 450 -T
Kit de montage pour DN 100 ISO-F, avec anneau de centrage revêtu, pare-éclats et vis à tête hexagonale
PM 016 451 -T
Kit de montage pour DN 100 ISO-F, avec anneau de centrage revêtu, grille de protection et vis à tête hexagonale
PM 016 452 -T
Kit de fixation pour DN 100 ISO-F, avec anneau de centrage revêtu, goujons filetés
PM 016 455 -T
Kit de montage pour DN 100 ISO-F, avec anneau de centrage revêtu, pare-éclats et goujons filetés
PM 016 456 -T
Kit de montage pour DN 100 ISO-F, avec anneau de centrage revêtu, grille de protection et goujons filetés
PM 016 457 -T
Anneau de centrage avec couche multifonctions et pare-éclats intégré,
DN 100 ISO-K/-F
PM 016 807 -U
Joint élastomère, FKM, DN 100 CF
402DFL100-S2
Joint élastomère, FKM, DN 100 CF
402DFL100-Z
Joint cuivre, cuivre OFHC, DN 50 CF
490DFL050-S10
Joint cuivre, recuit sous vide, DN 100 CF
490DFL100-G-S5
Joint cuivre, cuivre OFHC, DN 100 CF
490DFL100-S10
Joint cuivre, plaqué argent, recuit sous vide, DN 100 CF
490DFL100-S-G-S5
Joint cuivre, plaqué argent, DN 100 CF
490DFL100-S-S5
Vanne à passage direct UHV, DN 100 CF, métrique, électropneumatique,
PI (RS)/PV 24 V DC, acier inox/cuivre/FKM
GVMP-S08542
Amortisseur de vibrations pour HiPace 300/400, DN 100 CF-F
PM 006 488 -X
Pare-éclats pour pompes turbomoléculaires, DN 100 CF-F
PM 016 315
Grille de protection pour DN 100 CF-F
PM 016 336
Jeu de vis hexagonales pour brides avec trou traversant, DN 100 CF-F
PM 016 690 -T
55/64
Accessoires
Champ de sélection
Numéro de commande
Jeu de goujons filetés pour brides avec un trou fileté, DN 100 CF-F
PM 016 692 -T
Jeu de goujons filetés pour brides avec trou fileté, DN 100 CF-F
PM 016 734 -T
Chemise chauffante, blindée, pour HiPace® 300 avec TC 400 PB/TM 700,
230 V CA, fiche à contact de protection
PM 071 266 -T
Manchon chauffant, blindé, pour HiPace® 300 avec TC 400 PB/TM 700,
208 V CA, connecteur ul
PM 071 267 -T
Manchon chauffant, blindé, pour HiPace® 300 avec TC 400 PB/TM 700,
115 V CA, connecteur ul
PM 071 268 -T
Convertisseur USB RS-485
PM 061 207 -T
Accouplement M12 pour RS-485
PM 061 270 -X
Câble d’interface, M12 m droit/M12 m droit, 3 m
PM 061 283 -T
TPS 400, unité de courant 48 V DC, pour fixation murale/sur rail standard
PM 061 343 -T
TPS 401, unité de courant 48 V DC, 19", connecteur partiel 3HU
PM 061 347 -T
Câble de raccordement entre HiPace avec TC 400/TM 700 et unité de
courant TPS/DCU 310/311/400/401
PM 061 352 -T
Fixation de rail mural pour TPS 110/180/310/400
PM 061 392 -T
Kit de plaque frontale pour TPS 401
PM 061 396 -T
Câble de commande pour groupes de pompage 0,7 m
PM 061 675 AT
Câble de raccordement HiPace – ACP
PM 071 142 -X
Boîtier de relais, blindé, pour pompes à vide primaire, monophasé 7 A
pour TC 400/1200, TM 700 et TCP 350, M12
PM 071 284 -X
Boîtier de relais, blindé, pour pompes à vide primaire, monophasé 20 A
pour TC 400/1200, TM 700 et TCP 350, M12
PM 071 285 -X
TTV 001, sécheur pour la remise à l'air de pompes turbomoléculaire
PM Z00 121
TVV 001, vanne de sécurité de vide primaire, 230 V AC
PM Z01 205
TVV 001, vanne de sécurité de vide primaire, 115 V AC
PM Z01 206
Vanne de remise à l'air, blindée, 24 V CC, G 1/8" pour le raccordement à
TC 400/1200 et TM 700
PM Z01 291
Vanne de purge de gaz neutre, blindée pour HiPace 300 avec TC 400 et
TM 700, TCP 350
PM Z01 312
Étranglement de purge de gaz neutre pour HiPace 300
PM Z01 317
Refroidissement par air blindé pour HiPace 400/700/800 et 300 M/700 M/
800 M avec TC 400 PB/TM 700
PM Z01 363
Résistance de borne de connexion pour RS-485
PT 348 105 -T
Séparateur de puissance pour RS-485
PT 348 132 -T
TIC 010, adaptateur pour deux capteurs
PT R70 000
RPT 010, sonde numérique Piezo/Pirani
PT R71 100
IKT 010, sonde de mesure à cathode froide numérique, courant de faible
intensité
PT R72 100
IKT 011, sonde de mesure à cathode froide numérique, courant de forte
intensité
PT R73 100
Tab. 16:
56/64
HiPace 300 M | Accessoires
Caractéristiques techniques et dimensions
14
Caractéristiques techniques et dimensions
14.1
Généralités
Cette section décrit les bases des données techniques des pompe turbo Pfeiffer Vacuum.
Caractéristiques techniques
Les valeurs maximum se rapportent exclusivement à l'entrée en tant que charge simple.
● Spécifications selon la commission PNEUROP PN5
● ISO 27892 2010 : « Technique du vide - Pompes turbomoléculaires - Mesure du couple d'arrêt
rapide »
● ISO 21360 2012 : « Technique du vide - Méthodes normalisées pour mesurer les performances
des pompes à vide - Partie 1 : Description générale »
● ISO 21360 2018 : « Technique du vide - Méthodes normalisées pour mesurer les performances
des pompes à vide - Partie 4 : Pompes à vide turbomoléculaires »
● Pression ultime avec dôme de test après 48 h
● Débit de gaz avec refroidissement à eau ; pompe de secours = pompe à palettes rotative
(10 m3/h)
● Consommation d’eau de refroidissement à débit maximum de gaz, température de l’eau de refroidissement 25 °C
● Taux de fuite intégral avec une concentration de 100 % d'hélium, durée de mesure 10 s
● Niveau de pression acoustique à une distance = 1 m de la pompe à vide
mbar
bar
Pa
100
hPa
kPa
Torr | mm Hg
1
0,1
0,75
mbar
1
1 · 10
bar
1,000
1
1 · 10
1,000
100
750
Pa
0,01
1 · 10-5
1
0,01
1 · 10-3
7.5 · 10-3
hPa
1
1 · 10
100
1
0,1
0,75
kPa
10
0,01
1,000
10
1
7,5
Torr | mm Hg
1,33
1,33
0,133
1
-3
5
-3
133,32
-3
1,33 · 10
1 Pa = 1 N/m
Tab. 17:
2
Tableau de conversion : unités de pression
mbar l/s
Pa m3/s
sccm
Torr l/s
atm cm3/s
1
0,1
59,2
0,75
0,987
Pa m /s
10
1
592
7,5
9,87
sccm
1.69 · 10-2
1.69 · 10-3
1
1,27 · 10-2
1.67 · 10-2
Torr l/s
1,33
0,133
78,9
1
1,32
atm cm3/s
1,01
0,101
59,8
0,76
1
mbar l/s
3
Tab. 18:
Tableau de conversion : unités de débit de gaz
14.2 Fiche technique
Désignation du type
HiPace® 300 M
HiPace® 300 M
HiPace® 300 M
Bride de raccordement (entrée)
DN 100 ISO-K
DN 100 ISO-F
DN 100 CF-F
Bride de raccordement (sortie)
DN 16 ISO-KF
DN 16 ISO-KF
DN 16 ISO-KF
Pression limite
-7
< 1 · 10 hPa
-7
< 5 · 10-10 hPa
11
< 1 · 10 hPa
Taux de compression pour Ar
> 1 · 10
> 1 · 10
> 1 · 1011
Taux de compression pour H2
5 · 105
5 · 105
5 · 105
Taux de compression pour He
> 1 · 108
> 1 · 108
> 1 · 108
11
57/64
Caractéristiques techniques et dimensions
58/64
Désignation du type
HiPace® 300 M
HiPace® 300 M
HiPace® 300 M
Taux de compression pour N2
> 1 · 1011
> 1 · 1011
> 1 · 1011
Débit pour Ar
250 l/s
250 l/s
250 l/s
Débit pour H2
170 l/s
170 l/s
170 l/s
Débit pour He
215 l/s
215 l/s
215 l/s
Débit pour N2
255 l/s
255 l/s
255 l/s
Débit max. de gaz à vitesse finale pour Ar
13 hPa l/s
13 hPa l/s
13 hPa l/s
Débit max. de gaz à 0,1 hPa de
pression HV pour N2
10 hPa l/s
10 hPa l/s
10 hPa l/s
Débit max. de gaz à 0,1 hPa de
pression HV pour He
8 hPa l/s
8 hPa l/s
8 hPa l/s
Débit max. de gaz à 0,1 hPa de
pression HV pour H2
5 hPa l/s
5 hPa l/s
5 hPa l/s
Débit max. de gaz à 0,1 hPa de
pression HV pour Ar
11 hPa l/s
11 hPa l/s
11 hPa l/s
Débit max. de gaz à vitesse finale pour N2
28 hPa l/s
28 hPa l/s
28 hPa l/s
Vide primaire max. pour N2
20 hPa
20 hPa
20 hPa
Vide primaire max. pour Ar
20 hPa
20 hPa
20 hPa
Vide primaire max. pour H2
8 hPa
8 hPa
8 hPa
Vide primaire max. pour He
19 hPa
19 hPa
19 hPa
Vitesse de rotation ± 2 %
60000 rpm
60000 rpm
60000 rpm
Vitesse de rotation variable
20 – 100 %
20 – 100 %
20 – 100 %
Tension de service : CC
48 V
48 V
48 V
Puissance absorbée maximale
300 W
300 W
300 W
Tension d'entrée : tolérance
±10 %
±10 %
±10 %
Courant, max.
7,5 A
7,5 A
7,5 A
Temps d'accélération
2 min
< 2 min
< 2 min
Unité de courant intégrée
Bloc d'alimentation
externe
Bloc d'alimentation
externe
Bloc d'alimentation
externe
Unité de commande électronique
TM 700
TM 700
TM 700
Interfaces I/O
RS-485, Remote
RS-485, Remote
RS-485, Remote
Interfaces I/O
RS-485, à distance
RS-485, à distance
RS-485, à distance
Orientation de montage
Arbitraire
Arbitraire
Arbitraire
Palier
Aimants
Aimants
Aimants
Type de refroidissement
Eau
Eau
Eau
Débit d'eau de refroidissement
80 l/h
80 l/h
80 l/h
Température de l'eau de refroidissement
15 – 35 °C
15 – 35 °C
15 – 35 °C
Type de refroidissement, en option
Air, Convection
Air, Convection
Air, Convection
Niveau de la pression acoustique
≤45 dB(A)
≤45 dB(A)
≤45 dB(A)
Raccordement de remise à l'air
G 1/8"
G 1/8"
G 1/8"
Pression d'entrée max. pour
vanne de remise à l'air/gaz de
balayage
1500 hPa
1500 hPa
1500 hPa
Taux de fuite intégral
< 1 · 10-8 Pa m³/s
< 1 · 10-8 Pa m³/s
< 1 · 10-8 Pa m³/s
Humidité relative de l'air
5 – 85 %, sans condensation
5 – 85 %, sans condensation
5 – 85 %, sans
condensation
Niveau de la pression acoustique
≤ 45 dB(A)
≤ 45 dB(A)
≤ 45 dB(A)
Type de protection
IP54
IP54
IP54
Caractéristiques techniques et dimensions
Désignation du type
HiPace® 300 M
HiPace® 300 M
HiPace® 300 M
Champ magnétique radial maximum autorisé
5 mT
5 mT
5 mT
Puissance thermique irradiée admissible max.
2,4 W
2,4 W
2,4 W
Température de transport et de
stockage
-25 – 55 °C
-25 – 55 °C
-25 – 55 °C
Poids
13,1 kg
13,4 kg
17,2 kg
Tab. 19:
14.3
Fiche technique pour HiPace 300 M | TM 700
Substances en contact avec la substance à pomper
Substances en contact avec la substance à pomper
Alliage d’aluminium
Acier inoxydable
Aimant en terres rares
Plastiques renforcés de fibres de carbone
Résine synthétique
FKM
Argent
Céramique oxydée, comme demandé
Tab. 20:
14.4
Matières entrant en contact avec la substance du procédé
Dimensions
Dimensions en mm
12°
HV
VV
Ø150
DN 16 ISO-KF / G1/4"
Ø162
DN 100 ISO-K
45°
Ø8 / G1/4" (2x)
243
256
131
180
164
99
G1/8"
197
91
21
M8 (6x)
90
°
12.5°
4
Fig. 22:
°
°)
45 180
=
(
5°
x4
145
Dimensions HiPace 300 M | DN 100 ISO-K
59/64
Caractéristiques techniques et dimensions
12°
HV
VV
Ø150
DN 16 ISO-KF / G1/4"
Ø162
DN 100 ISO-F
45°
Ø8 / G1/4" (2x)
243
256
131
180
164
99
G1/8"
197
91
21
M8 (6x)
12.5°
4
Dimensions HiPace 300 M | DN 100 ISO-F
VV
12°
HV
DN 16 ISO-KF / G1/4"
Ø150
Ø162
DN 100 CF-F
45 °
102
21
Ø8 / G1/4" (2x)
131
180
254
176
99
G1/8"
M8 (6x)
90
°
12.5°
4
Fig. 24:
60/64
°
°)
45 180
=
(
5°
x4
Dimensions HiPace 300 M | DN 100 CF-F
145
268
Fig. 23:
145
208
90
°
°
°)
45 180
(=
°
5
x4
Déclaration de conformité CE
La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant.
Déclaration pour produit(s) du type :
Pompe turbomoléculaire
HiPace 300 M
Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes.
Machines 2006/42/CE (Annexe II, n° 1 A)
Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses, directive déléguée
2015/863/UE
Normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées :
DIN EN ISO 12100 : 2011
DIN EN 61326-1 : 2013
DIN EN 1012-2 : 2011
DIN EN 62061 : 2016
DIN EN IEC 61000-3-2 : 2019
DIN ISO 21360-1 : 2020
DIN EN 61000-3-3 : 2020
ISO 21360-4 : 2018
DIN EN 61010-1 : 2020
DIN EN IEC 63000 : 2019
Le représentant habilité à constituer la documentation technique est M. Tobias Stoll, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Asslar Allemagne.
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Directeur général
Asslar, 2023-01-02
Déclaration de Conformité UK
La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant.
Déclaration pour produit(s) du type :
Pompe turbomoléculaire
HiPace 300 M
Nous déclarons par la présente que le produit cité satisfait à toutes les exigences applicables des Directives Britanniques suivantes.
Réglementation 2008 (Sécurité) sur la Fourniture de Machines
Réglementation 2016 sur la Compatibilité Electromagnétique
Réglementation 2012 sur la Limitation de l'Utilisation de Certaines Substances Dangereuses dans les Equipements Electriques et Electroniques
Normes et spécifications en vigueur :
ISO 12100:2010
EN 1012-2+A1:1996
IEC 61000-3-2:2018
IEC 61000-3-3+A1:2013
IEC 61010-1+A1:2010
IEC 61326-1:2012
IEC 62061:2005
ISO 21360-1:2020
ISO 21360-4:2018
IEC 63000:2018
Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitution du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park,
MK169PS Newport Pagnell.
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Directeur général
Asslar, 2023-01-02
63/64
*PT0330*
ed. F - Date 2303 - P/N:PT0330BFR
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