Pfeiffer MVP 010-3 DC Neo Mode d'emploi

MANUEL DE L'UTILISATEUR
FR
Traduction d'original
MVP 010-3 DC NEO
Pompe à diaphragme
Cher client,
Nous vous remercions d’avoir opté pour un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouvelle pompe à
membrane vous aidera pour votre application spécifique grâce à ses performances et à
sonbon fonctionnement. La marque Pfeiffer Vacuum, synonyme de techniques du vide
performantes, se décline en une gamme exhaustive et variée de produits de grande qualité,
assortis d’un service client irréprochable. Forts de cette expérience pratique étendue, nous
avons compilé une multitude d’informations qui peuvent contribuer à une implémentation
efficace et à votre sécurité personnelle.
Sachant que notre produit doit vous permettre d’éviter des arrêts de production coûteux,
nous sommes confiants qu’il pourra vous offrir une solution pour une implémentation efficace
et fiable de votre application individuelle.
Veuillez lire ce mode d’emploi avant de mettre votre produit en service pour la première fois.
Si vous avez des questions ou suggestions, n’hésitez pas à nous contacter par e-mail à
l’adresse info@pfeiffer-vacuum.de.
Vous trouverez d’autres modes d’emploi de Pfeiffer Vacuum dans le Centre de
téléchargement sur notre site Internet.
Exclusion de responsabilité
Ce manuel de l’utilisateur décrit l’ensemble des modèles et variantes de votre produit.
Veuillez noter qu’il est possible que votre produit ne dispose pas de toutes les
caractéristiques d’équipement décrites dans ce document. Pfeiffer Vacuum adapte en
permanence et sans avis préalable ses produits afin qu’ils soient à la fine pointe de la
technologie. Veuillez prendre en compte qu’il y avoir des divergences entre le manuel de
l’utilisateur en ligne et la manuel de l’utilisateur imprimé fourni avec votre produit.
En outre, Pfeiffer Vacuum décline toute responsabilité ou obligation pour tout dommage
résultant de l’utilisation du produit en contradiction avec son utilisation conforme à l’usage
prévu ou en cas d’utilisation explicitement définie comme étant une mauvaise utilisation
prévisible.
Droits d’auteur (Copyright)
Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce
document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits
ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations
contenues dans ce document.
2/62
Table des matières
Table des matières
1
Au sujet de ce manuel
1.1 Validité
1.1.1 Documents applicables
1.1.2 Variantes
1.2 Groupe cible
1.3 Conventions
1.3.1 Instructions dans le texte
1.3.2 Pictogrammes
1.3.3 Étiquettes sur le produit
1.3.4 Abréviations
8
8
8
8
8
8
8
9
9
10
2
Sécurité
2.1 Information générale sur la sécurité
2.2 Consignes de sécurité
2.3 Mesures de sécurité
2.4 Limites d’utilisation du produit
2.5 Utilisation conforme à l’usage prévu
2.6 Utilisations non conformes prévisibles
2.7 Qualification personnelle
2.7.1 Garantissez la qualification du personnel
2.7.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation
2.7.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum
11
11
11
14
15
15
15
16
16
17
17
3
Description du produit
3.1 Fonction
3.1.1 Actionneur
3.1.2 Système de pompage
3.1.3 Refroidissement
3.1.4 Lest d’air
3.1.5 Capteur de pression
3.2 Raccordements
3.3 Identification du produit
3.4 Étendue de la livraison
18
18
18
18
18
18
19
19
19
19
4
Transport et stockage
4.1 Transport de la pompe à vide
4.2 Stockage de la pompe à vide
20
20
20
5
Installation
5.1 Installation de la pompe à vide
5.2 Raccordement côté vide
5.3 Raccordement du côté d’échappement
5.4 Raccordement électrique
5.4.1 Mise à la terre de la pompe à vide
5.4.2 Raccordement électrique
21
21
21
21
22
23
23
6
Interfaces
6.1 Interface « remote »
6.1.1 Alimentation de tension
6.1.2 Entrées
6.1.3 Sorties
6.1.4 RS-485
6.2 Interface RS-485
6.3 Interconnexion via raccordement RS-485
6.4 Protocole Pfeiffer Vacuum pour l’interface RS-485
6.4.1 Cadre télégramme
6.4.2 Description du télégramme
25
25
26
26
26
27
27
28
28
28
29
3/62
Table des matières
6.4.3 Télégramme exemple 1
6.4.4 Télégramme exemple 2
6.4.5 Data types
4/62
29
29
29
7
Ensemble de paramètres
7.1 Généralités
7.2 Instructions de réglage
7.3 Requêtes d’état
7.4 Entrées des valeurs de référence
31
31
31
32
33
8
Fonctionnement
8.1 Mise en service de la pompe à vide
8.2 Mettre en marche la pompe à vide
8.3 Fonctionnement de la pompe à membrane avec le lest d'air
8.4 Configuration des connexions avec le jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum
8.4.1 Configuration des sorties numériques
8.4.2 Sélection des interfaces
8.4.3 Configuration des accessoires
8.5 Modes de fonctionnement
8.5.1 Fonctionnement normal
8.5.2 Mode standby
8.5.3 Mode de réglage de la vitesse de rotation
8.5.4 Commande de soupape de lest d’air
8.6 Détermination de la pression efficace avec des facteurs de correction
8.7 Surveillance des opérations
8.7.1 Affichage du mode de travail via diodes électroluminescentes
8.7.2 Surveillance de la température
8.8 Mise hors tension de la pompe à vide
35
35
35
36
36
37
37
37
38
38
39
39
39
40
41
41
42
42
9
Maintenance
9.1 Consignes de maintenance
9.2 Liste de contrôle pour les inspections et l’entretien
9.3 Remplacement des membranes et des vannes
9.3.1 Montage/démontage du tuyau flexible d’interconnexion
9.3.2 Démontage du chapeau de diaphragme et des vannes
9.3.3 Nettoyage et remplacement des diaphragmes et des vannes
9.3.4 Montage du chapeau de diaphragme et des vannes
43
43
44
45
45
46
46
47
10
Mise hors service
48
11
Recyclage et mise au rebut
11.1 Informations générales sur la mise au rebut
11.2 Mise au rebut des pompes à diaphragme
49
49
49
12
Dysfonctionnements
12.1 Généralités
12.2 Codes d’erreur
50
50
51
13
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
53
14
Lots de pièces de rechange
55
15
Accessoires
15.1 Informations sur l’accessoire
15.2 Commande d’accessoires
56
56
56
16
Caractéristiques techniques et dimensions
16.1 Généralités
16.2 Fiche technique
16.3 Substances en contact avec la substance à pomper
16.4 Dimensions
57
57
57
58
59
Table des matières
Déclaration de conformité CE
60
Déclaration de Conformité UK
61
5/62
Liste des tableaux
Liste des tableaux
Tab. 1:
Tab. 2:
Tab. 3:
Tab. 4:
Tab. 5:
Tab. 6:
Tab. 7:
Tab. 8:
Tab. 9:
Tab. 10:
Tab. 11:
Tab. 12:
Tab. 13:
Tab. 14:
Tab. 15:
Tab. 16:
Tab. 17:
Tab. 18:
Tab. 19:
Tab. 20:
Tab. 21:
Tab. 22:
Tab. 23:
Tab. 24:
Tab. 25:
Tab. 26:
Tab. 27:
Tab. 28:
Tab. 29:
6/62
Variantes
Étiquettes sur le produit
Abréviations utilisées dans ce document
Conditions ambiantes autorisées
Description du raccordement de l’unité de commande électronique
Affectation des broches de la prise D-Sub à 15 connecteurs
Sortie DO1/broche 8
Sortie DO2/broche 9
Caractéristiques de l’interface RS-485
Explication et signification des paramètres
Jeu de paramètres | Instructions de réglage
Jeu de paramètres | Requêtes d’état
Jeu de paramètres | Entrées des valeurs indicatives
Réglages d’usine de l’unité de commande électronique des pompes à membrane livrées
Configurer les paramètres [P:019] et [P:024]
Paramètres [P:060] et [P:061]
Facteur de correction pour le domaine de pression < 1 hPa
Réaction et signification des DEL de l’unité de commande électronique
Durée de vie typique dans le cadre d’une utilisation normale
Intervalles de maintenance
Dépannage sur les pompes à membrane
Messages d’erreur pour la pompe à vide
Messages d’avertissement pour la pompe à vide
Pièces de rechange
Accessoires MVP 010-3 DC Neo
Tableau de conversion : Unités de pression
Tableau de conversion : Unités de débit du gaz
Fiche technique MVP 010-3 DC Neo
Matières entrant en contact avec la substance du procédé
8
9
10
15
19
26
26
27
27
31
32
33
34
35
37
37
40
42
43
45
51
52
52
55
56
57
57
58
58
Liste des figures
Liste des figures
Fig. 1:
Fig. 2:
Fig. 3:
Fig. 4:
Fig. 5:
Fig. 6:
Fig. 7:
Fig. 8:
Fig. 9:
Fig. 10:
Fig. 11:
Fig. 12:
Fig. 13:
Fig. 14:
Position des étiquettes sur le produit
Construction de la pompe à membrane
Raccordement du câble de terre
Raccordement à la pompe turbomoléculaire, à l’unité de courant et au contrôleur
Raccordement à l’appareil de commande avec unité de courant intégrée
Broches de la prise D-Sub, 15 broches
Interconnexion de via l’interface RS-485
Affectation du raccord d’accessoire
Diagramme de commande de soupape de lest d’air
Pression affichée
Montage/démontage du tuyau flexible d’interconnexion
Chapeau de diaphragme et vannes
Pièces de rechange
Dimensions MVP 010-3 DC Neo
9
18
23
24
24
25
28
38
39
41
45
46
55
59
7/62
Au sujet de ce manuel
1 Au sujet de ce manuel
IMPORTANT
À lire attentivement avant utilisation.
Gardez le manuel pour pouvoir le consulter ultérieurement.
1.1
Validité
Ce manuel de l’utilisateur est un document Pfeiffer Vacuum destiné au client. Le manuel de l’utilisateur
décrit les fonctions du produit mentionné et fournit les informations les plus importantes pour une utilisation en toute sécurité du dispositif. La description est rédigée conformément aux directives en vigueur.
Les informations dans ce manuel de l’utilisateur se réfèrent à l’état de développement actuel du produit.
Le document reste valide tant que le client n’apporte aucun changement au produit.
1.1.1
1.1.2
Documents applicables
Désignation
Document
Déclaration de conformité
Un composant de ce manuel de l’utilisateur
Variantes
Ces instructions s’appliquent aux pompes à membrane MVP 010-3 DC Neo.
Référence
Désignation
PK T05 074
Version avec soupape de lest d’air
PK T05 079
Version sans soupape de lest d’air
PK T05 085
Version pour un ensemble salle blanche
PK T05 086
Version pour GSD 350
Tab. 1:
1.2
Variantes
Groupe cible
Ce manuel de l’utilisateur cible toutes les personnes effectuant les activités suivantes sur le produit :
●
●
●
●
●
●
Transport
Configuration (installation)
Utilisation et fonctionnement
Mise hors service
Maintenance et nettoyage
Stockage ou mise au rebut
Seules les personnes avec les qualifications techniques appropriées (personnel expert) ou ayant reçu
la formation pertinente de Pfeiffer Vacuum sont autorisées à effectuer le travail décrit dans ce document.
1.3
Conventions
1.3.1
Instructions dans le texte
Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à
réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes.
Action unique
Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape.
► Il s'agit d’une étape unique.
8/62
Au sujet de ce manuel
Action en plusieurs étapes
Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique.
1. Étape 1
2. Étape 2
3. ...
1.3.2
Pictogrammes
Les pictogrammes utilisés dans le document représentent des informations utiles.
Remarque
Conseil
1.3.3
Étiquettes sur le produit
Ce paragraphe décrit toutes les étiquettes sur le produit ainsi que leur signification.
D-35614 Asslar
Mod.
P/N
S/N
Berliner Strasse 43
MVP 010-3 DC Neo
SAP xxx / PK T05 xxx
xxxxxxxxx
S (N 2) 0.6 m3 /h
max. 3000 1/min
n
Mass 2 kg
24 V DC +/- 10% 1.4 A
Plaque signalétique (exemple)
La plaque signalétique se trouve sur le couvercle des circuits électroniques.
NRTL
UL/CSA 61010-1
IP20 / Type 1
Made in Germany 2024/09
warranty seal
Sceau de garantie
Le produit est étanché, départ d’usine. L’endommagement ou le retrait d’un
sceau de garantie rend tout recours en garantie caduque.
Alerte ! Surface brûlante !
Cette étiquette met en garde contre les risques de blessure liés aux hautes
températures à la suite d’un contact sans protection pendant le fonctionnement.
Remarque concernant le manuel de l’utilisateur
Cette étiquette indique que ce manuel de l’utilisateur doit être lu avant d’exécuter une tâche.
Tab. 2:
Étiquettes sur le produit
1
4
3
2
Fig. 1:
Position des étiquettes sur le produit
1 Plaque signalétique de la pompe à membrane
2 Sceau de garantie (4×)
3
4
Alerte ! Surface brûlante !
Remarque concernant le manuel de l’utilisateur
9/62
Au sujet de ce manuel
1.3.4
Abréviations
Abréviation
Signification dans ce document
DC
Courant continu
DN
Diamètre nominal
f
Valeur de la vitesse de rotation d’une pompe à vide (fréquence, en tr/min ou Hz)
DEL
Diode électroluminescente
MVP
Pompe à vide à membrane
MSL
Niveau moyen de la mer
[P:xxx]
Paramètres de commande de l’unité de commande électronique. Inscrits en gras sous
la forme d’un nombre à trois chiffres entre crochets. Souvent associés à une courte
description.
Exemple : [P:312] version logicielle
PE
Terre de protection (conducteur de protection)
T
Température en °C
TC
Unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire (contrôleur de pompe
turbomoléculaire)
TPS
Alimentation de tension (alimentation électrique turbo)
Tab. 3:
10/62
Abréviations utilisées dans ce document
Sécurité
2 Sécurité
2.1
Information générale sur la sécurité
Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit :
DANGER
Danger immédiat
Indique un danger imminent causant la mort ou de graves blessures s’il est ignoré.
► Instructions pour éviter la situation dangereuse
AVERTISSEMENT
Danger potentiel
Indique un danger pouvant causer la mort ou de graves blessures s’il est ignoré.
► Instructions pour éviter la situation dangereuse
ATTENTION
Danger potentiel
Indique un danger pouvant causer des blessures bénignes s’il est ignoré.
► Instructions pour éviter la situation dangereuse
AVIS
Risque de dommages matériels
Est utilisé pour signaler des actions qui ne sont pas associées à des blessures.
► Instructions pour éviter les dommages matériels
Les notes, les conseils ou les exemples correspondent à des remarques importantes sur le
produit ou sur ce document.
2.2
Consignes de sécurité
Toutes les consignes de sécurité contenues dans ce document sont basées sur les résultats de l’analyse de risque effectuée conformément à la Directive 2006/42/CE Annexe I relative aux machines et à la
norme EN ISO 12100 Section 5. Dans toute la mesure du possible, toutes les phases du cycle de vie
du produit ont été prises en compte.
Risques lors du transport
AVERTISSEMENT
Danger de blessures graves en cas de chute d’objets
La chute d’objets peut entraîner des blessures sur les membres, voire même des fractures osseuses.
► Soyez particulièrement vigilant lors du transport manuel du produit.
► Ne pas empiler le produit.
► Portez un équipement de protection, tel que des chaussures de sécurité.
11/62
Sécurité
Risques lors de l’installation
DANGER
Danger de mort en cas d’électrocution
Les blocs d’alimentation électrique non spécifiés et non approuvés peuvent entraîner de graves blessures, voire la mort.
► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences avec une double
isolation entre la tension d’entrée de secteur et la tension de sortie, conformément à
IEC 61010-1, IEC 60950-1 and IEC 62368-1.
► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences des normes
IEC 61010-1, IEC 60950-1 et IEC 62368-1.
► Si possible, utilisez des blocs d’alimentation électrique d'origine ou uniquement des blocs d’alimentation correspondant aux normes de sécurité en vigueur.
DANGER
Danger de mort en cas d’électrocution
Lors de l’application de tensions dépassant la très basse tension de sécurité spécifiée (conformément à IEC 60449 et VDE 0100), les mesures isolantes sont détruites. Danger de mort en cas d’électrocution au niveau des interfaces de communication.
► Connecter uniquement des appareils appropriés au système de bus.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure en cas d'installation inappropriée
Des situations dangereuses peuvent survenir suite à une installation non sécurisée ou incorrecte.
► Ne pas effectuer soi-même des conversions ou modifications d'unité.
► Veiller à l’intégration dans un circuit de sécurité de secours.
ATTENTION
Danger de brûlure sur les surfaces chaudes
En fonction des conditions ambiantes et d’exploitation, la température à la surface de la pompe à vide peut dépasser 70 °C. Si l’accès à la pompe à vide est non restreint, il y un risque de brûlures en
cas de contact avec une surface chaude.
► Installez une protection contre les contacts appropriée si la pompe à vide est accessible sans
restriction.
► Laissez refroidir la pompe à vide avant d’effectuer tout travail.
► Contactez Pfeiffer Vacuum pour une protection qui convient contre le contact dans les solutions
système.
ATTENTION
Danger de blessure lié à l’éclatement de la conduite d’échappement en cas de pression excessive
Des conduites d’échappement défaillantes ou inappropriées peuvent entraîner des situations dangereuses, p. ex. une augmentation de la pression d'échappement. Il existe alors un risque d’éclatement. Risque de blessures dues à la dispersion de fragments ou l’éjection de gaz sous pression et
d’endommager les matériels.
► Installez la conduite d’échappement sans appareil de fermeture.
► Respectez les pressions admissibles et les pressions différentielles que le produit peut supporter.
► Vérifiez régulièrement le fonctionnement de la conduite d’échappement.
12/62
Sécurité
Risques pendant le fonctionnement
AVERTISSEMENT
Danger d’intoxication lié au fluide de procédé toxique s’échappant de la tubulure d’échappement
Lorsque la pompe à vide fonctionne sans conduite d’échappement, les gaz d’échappement et les vapeurs peuvent s’échapper librement dans l’air. Risque de blessure et de mort dû à l’intoxication par
les fluides de procédé toxiques.
► Respectez la réglementation en vigueur concernant le traitement des fluides de procédé toxiques.
► Purgez les fluides de procédé toxiques en toute sécurité par une conduite d’échappement.
► Employez des moyens de filtration appropriés pour séparer les fluides de procédé toxiques.
AVERTISSEMENT
Risque d’explosion lié aux mélanges gaz/air réactifs, potentiellement explosifs ou dangereux
L’entrée incontrôlée de gaz par la soupape de lest d'air peut former des étincelles d’origine mécanique après rupture de la membrane, ou provoquer l’échauffement des surfaces ou encore la formation
de mélanges gaz/air potentiellement explosifs dans le circuit de vide formés par l’électricité statique.
► Si nécessaire, utilisez un gaz inerte comme gaz de balayage pour éviter toute inflammation potentielle.
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement dû au rejet de gaz de procédé toxiques
Pour les pressions d’entrée > 500 hPa, le gaz de procédé peut s’échapper de la soupape de lest d’air
ouverte. Risque de blessure et de mort dû à l’intoxication par les fluides de procédé toxiques.
► Si nécessaire, utiliser un gaz inerte pour éviter une contamination potentielle.
► Si nécessaire, utilisez une conduite d’évacuation.
ATTENTION
Risque de brûlure sur les surfaces chaudes
En fonction des conditions ambiantes et d’exploitation, la température à la surface de la pompe à vide peut dépasser 70 °C.
► Porter des équipements de protection adaptés.
Risques lors de la maintenance, de la mise hors service et en cas d’anomalies
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
13/62
Sécurité
ATTENTION
Danger de blessures dues aux pièces mobiles
Après une coupure d’électricité ou un arrêt dû à une surchauffe, le moteur redémarre automatiquement. Risque de blessure aux doigts et aux mains en cas d’introduction dans le domaine de travail
des pièces en rotation.
► Pour intervenir en toute sécurité, débranchez le moteur du secteur.
► Prenez des mesures pour éviter la remise en marche du moteur.
► Démontez la pompe à vide pour inspection, à l’écart du circuit de pompage si nécessaire.
ATTENTION
Danger de brûlure sur les surfaces chaudes
En cas de panne, la température à la surface de la pompe à vide peut dépasser 105 °C.
► Laissez refroidir la pompe à vide avant d’effectuer tout travail.
► Si nécessaire, portez des équipements de protection individuelle.
Risques pendant la mise au rebut
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
2.3
Mesures de sécurité
DANGER
Danger de mort en cas d’électrocution
Les blocs d’alimentation électrique non spécifiés et non approuvés peuvent entraîner de graves blessures, voire la mort.
► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences avec une double
isolation entre la tension d’entrée de secteur et la tension de sortie, conformément à
IEC 61010-1, IEC 60950-1 and IEC 62368-1.
► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences des normes
IEC 61010-1, IEC 60950-1 et IEC 62368-1.
► Si possible, utilisez des blocs d’alimentation électrique d'origine ou uniquement des blocs d’alimentation correspondant aux normes de sécurité en vigueur.
Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels
Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit.
Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du
produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document.
Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit
La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit
d'origine ou installe un équipement supplémentaire
● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le
cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives
européennes applicables avant de mettre en service ce système.
14/62
Sécurité
Mesures de sécurité générales
► Empêcher les gaz de procédé et leurs réactions et les sous-produits nocifs pour la santé et l’environnement de s’échapper dans l’atmosphère ou les éliminer conformément aux réglementations
en vigueur.
► Éviter tout contact avec les gaz de procédé présentant un risque pour la santé et porter des équipements de protection personnelle si nécessaire.
► Vérifier la compatibilité entre la substance à pomper et les pièces en contact avec elle.
► Respectez toutes les dispositions de sécurité et de prévention des accidents en vigueur.
► Contrôlez régulièrement que toutes les mesures de sécurité sont respectées.
► N'exposez aucune partie du corps au vide.
► Ne débranchez jamais les fiches de raccordement en cours de fonctionnement.
► Ne remplissez jamais ou ne faites jamais fonctionner l'appareil avec des produits de nettoyage ou
leurs résidus.
► N'effectuez pas vous-même des conversions ou modifications d'unité.
► Consultez le degré de protection de l’unité avant son installation ou fonctionnement dans d’autres
environnements.
► Mettez en place des équipements de protection adaptés contre tout contact physique si la température de surface dépasse 70°C.
► Tenez les conduites et les câbles éloignés des surfaces chaudes.
► Avant de renvoyer une pompe à vide, consultez les remarques du chapitre Solutions de service.
2.4
Limites d’utilisation du produit
Emplacement de l’installation
À l’intérieur, avec protection contre l’accumulation
de poussière et les effets liés au climat, dans un
environnement non-explosif et sec
Degré de protection IEC 60529
IP 20
Degré de protection UL 50E
NEMA type 1
Altitude de l’installation
2 000 m max. au-dessus du niveau de la mer 1)
Température ambiante
+5 °C à +40 °C
Température admissible d’entrée de la substance à pomper
+5 °C à +40 °C
Humidité relative de l’air
80 % à T ≤ 31 °C, jusqu’à 50 % à T ≤ 40 °C
Niveau de contamination
2
Tab. 4:
2.5
Conditions ambiantes autorisées
Utilisation conforme à l’usage prévu
► Utilisez la pompe à vide uniquement pour la production de vide.
► Respectez les instructions d’installation, de mise en service, de fonctionnement et de maintenance.
► Utilisez uniquement les accessoires recommandés par Pfeiffer Vacuum.
2.6
Utilisations non conformes prévisibles
Toute utilisation non conforme du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité.
Toute utilisation non conforme à l’objectif du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée
comme non réglementaire, en particulier :
●
●
●
●
●
●
1)
Pompage de substances corrosives
Pompage de substances explosives
Pomper des substances radioactives ou volatiles
Pompage de gaz contenant des contamination telles que particules, poussières ou condensats
Pompage de fluides
Pomper des substances désagrégeant le FKM
Au-delà de 1 000 m d’altitude, risque de refroidissement insuffisant. Si nécessaire, prendre les mesures stipulées dans la Directive DIN EN 61010.
15/62
Sécurité
● Pomper des vapeurs de liquides combustibles
● Pomper des substances sous pression (> pression atmosphérique)
● Pomper des substances susceptibles de se condenser ou de former des dépôts adhérents dans
la chambre d’aspiration
● Utilisation de la pompe à vide en dehors du domaine d’application spécifique
● Utiliser la pompe à vide en dessous du niveau du sol
● Utilisation de la pompe à vide pour produire une pression
● Utilisation de la pompe à vide dans les circuits où des charges et des vibrations ponctuelles ou
des forces périodiques agissent sur celle-ci
● Utilisation de la pompe à vide dans des champs électriques, magnétiques forts
● Raccordement sur des pompes à vide et des unités non conçues dans ce but selon leur manuel
de l’utilisateur
● Raccordement sur des unités avec des pièces nues sous tension
● Raccorder à des prises sans borne de terre
● Utiliser des tubes pour lever la pompe à vide
● Utilisation d’accessoires ou de pièces de rechange non répertoriés dans ces instructions
● Utilisation de la pompe à vide comme moyen élévateur
● Utiliser les conduites de raccordement entre les têtes de membrane comme poignées de transport
● Utiliser la pompe dans des conditions ambiantes en dehors des limites de degré de protection IP
spécifiées
2.7
Qualification personnelle
L’utilisation décrite dans ce document doit être confiée à des personnes disposant des qualifications
professionnelles adéquates et de l’expérience nécessaire ou qui ont suivi la formation requise dispensée par Pfeiffer Vacuum.
Formation du personnel
1. Formez le personnel technique sur le produit.
2. Ne laissez le personnel à former opérer avec et sur le produit que sous la supervision d’un personnel qualifié.
3. Seul un personnel technique formé est autorisé à travailler avec le produit.
4. Avant de commencer à travailler, assurez-vous que le personnel engagé a lu et compris ce manuel de l’utilisateur et tous les documents pertinents, en particulier les informations relatives à la
sécurité, à l’entretien et à la réparation.
2.7.1
Garantissez la qualification du personnel
Spécialistes des travaux mécaniques
Seuls des spécialistes qualifiés peuvent effectuer des travaux mécaniques. Selon la définition de ce document, les spécialistes sont des personnes responsables de la construction, de l’installation mécanique, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes :
● Compétences dans le domaine mécanique conformément aux régulations nationales en vigueur
● Connaissance de cette documentation
Spécialiste des travaux électrotechniques
Seul un électricien qualifié peut effectuer des travaux d’ingénierie électriques. Selon la définition de ce
document, les électriciens sont des personnes responsables de l’installation électrique, de la mise en
service, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes :
● Compétences dans le domaine de l’ingénierie électrique conformément aux régulations nationales
en vigueur
● Connaissance de cette documentation
De plus, ces personnes doivent être familiarisées avec les réglementations et la législation en matière
de sécurité en vigueur, ainsi que les normes, directives et lois mentionnées dans cette documentation.
Les personnes mentionnées ci-dessus doivent avoir reçu explicitement l’autorisation d’utilisation afin de
mettre en service, de programmer, de configurer, de marquer et de mettre à la terre les dispositifs, systèmes et circuits conformément aux standards technologiques en matière de sécurité.
16/62
Sécurité
Personnes qualifiées
Seules les personnes avec la formation qui convient peuvent effectuer toutes les opérations relatives au
transport, à l’entreposage, à l’utilisation et à la mise au rebut. Ce type de formation doit garantir que ces
personnes sont capables d’exécuter correctement les activités et opérations requises, et en toute sécurité.
2.7.2
Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation
Formations avancées
Pfeiffer Vacuum offre des formations avancées pour les maintenances niveaux 2 et 3.
Les personnes adéquatement qualifiées sont :
● Maintenance niveau 1
─ Client (spécialiste formé)
● Maintenance niveau 2
─ Client avec formation technique
─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum
● Maintenance niveau 3
─ Client avec formation à l’entretien Pfeiffer Vacuum
─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum
2.7.3
Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum
Pour une utilisation optimale et sans problème de ce produit, Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de cours et de formations techniques.
Pour plus de précisions, contactez le service de formation technique Pfeiffer Vacuum.
17/62
Description du produit
3 Description du produit
3.1
Fonction
Les pompes à membrane sont des pompes volumétriques de type compression à sec. Le mouvement
des membranes génère un changement périodique du volume de la chambre d’aspiration. La circulation de gaz provoque l’ouverture et la fermeture automatiques des vannes. L’unité de pompage est directement accouplée au moteur d’entraînement.
17 18
1
2 3
4
5
16
15
14
13
12
6
11
Fig. 2:
1
2
3
4
5
6
7
8
9
3.1.1
10 9
8
7
Construction de la pompe à membrane
Raccordement entre têtes avec raccord de tuyau
Tête de membrane 3
Soupape de lest d’air (vanne magnétique)
Raccord de lest d’air avec filtre
Tête de membrane 2
Plaque de base
Raccordement entre têtes avec raccord de tuyau
Borne de connexion de masse
Micro-bouton
10
11
12
13
14
15
16
17
18
Tête de membrane 1
Raccord de vide, filetage 1/8’’
Tête de membrane 4
Échappement avec silencieux
Raccordement « Remote »
3 DEL d’affichage du mode de travail
Raccordement accessoire C
Unité de commande électronique
Raccordement accessoire D
Actionneur
La pompe à membrane forme une unité compacte avec l’unité de commande électronique. L’unité de
commande électronique intégrée permet de commander et de surveiller les fonctions de pompage via
l’interface « remote » en utilisant un appareil de commande Pfeiffer Vacuum.
3.1.2
Système de pompage
La pompe à membrane présente 4 têtes de membrane et 3 étages de pompage.
3.1.3
Refroidissement
La pompe à membrane est refroidie par convexion et ne dispose pas de son propre ventilateur.
3.1.4
Lest d’air
Un système intégré ou optionnel de lest d’air est utilisé pour assurer une alimentation contrôlée de l’air
ambiant ou de gaz inerte dans la chambre d’aspiration. Le lest d’air contribue à la réduction de la condensation dans le système de pompage.
18/62
Description du produit
3.1.5
Capteur de pression
Le capteur de pression numérique RPT 010 de type retrofit à capteur Piezo/Pirani mesure la pression
d’entrée et offre une fonctionnalité étendue pour la pompe à vide.
3.2
Raccordements
Raccordement
Description
remote
Prise D-sub à 15 broches pour le raccordement et la configuration d’une commande à distance
Raccordement des accessoires
2 connecteurs avec AccessLink pour le fonctionnement des accessoires Pfeiffer Vacuum qui conviennent
Tab. 5:
3.3
Description du raccordement de l’unité de commande électronique
Identification du produit
► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, conservez
toujours à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique.
► Pour plus d'informations sur les certifications, se référer aux libellés correspondants sur le produit
ou consulter www.tuev-sued.de.
3.4
Étendue de la livraison
●
●
●
●
Pompe à vide avec unité de commande électronique intégrée
Silencieux
Manuel de l’utilisateur
Connecteur plein sur le raccord à vide
19/62
Transport et stockage
4 Transport et stockage
4.1
Transport de la pompe à vide
AVERTISSEMENT
Danger de blessures graves en cas de chute d’objets
La chute d’objets peut entraîner des blessures sur les membres, voire même des fractures osseuses.
► Soyez particulièrement vigilant lors du transport manuel du produit.
► Ne pas empiler le produit.
► Portez un équipement de protection, tel que des chaussures de sécurité.
Emballage
Nous recommandons de conserver l’emballage de transport et de protection d’origine.
Transport en toute sécurité du produit
► Observez le poids spécifié sur l’emballage.
► Dans la mesure du possible, transportez ou expédiez toujours le produit dans son emballage
d’origine.
► Le produit doit toujours être placé sur une surface plane aux dimensions adéquates.
Transport de la pompe à vide sans son emballage
1. Déballez la pompe à vide.
2. Pour protéger l’intérieur de la pompe, conservez les bouchons obturateurs sur le raccord à vide
pendant le transport.
3. Soulevez la pompe à vide au niveau des deux faces avant.
4. Sortez la pompe à vide de son emballage de transport.
5. Vérifier qu’aucune contrainte mécanique n’est appliquée sur la tuyauterie.
6. La pompe à vide doit toujours être placée sur une surface plane aux dimensions adéquates.
4.2
Stockage de la pompe à vide
Emballage
Nous recommandons de stocker le produit dans son emballage d’origine.
Stockage sécurisé de la pompe à vide
► Boucher le raccord à vide avec l’obturateur.
► Stockez la pompe à vide uniquement dans un local sec et sans poussière, dans les conditions
ambiantes spécifiées.
► Dans les locaux où l’atmosphère est humide ou corrosive : Placez la pompe à vide et un agent de
séchage dans un sac en plastique hermétique.
20/62
Installation
5 Installation
5.1
Installation de la pompe à vide
Procédure
► Placer la pompe à vide sur une surface horizontale plane.
► Dans le cas d’une installation fixe, vissez la pompe à vide directement sur la surface de montage.
– Démonter la plaque de base pour cela.
► Dans le cas d’une installation dans une enveloppe fermée, veillez à une circulation d’air adéquate
autour de la pompe.
► Placer la pompe de telle sorte que la plaque signalétique du moteur reste visible et accessible.
5.2
Raccordement côté vide
AVIS
Dégâts matériels occasionnés par des gaz contaminés
Pomper du gaz contaminé endommage la pompe à vide.
► Utilisez des filtres et des séparateurs adéquats, disponibles dans la gamme d’accessoires de
Pfeiffer Vacuum, pour protéger la pompe à vide.
Installation et fonctionnement des accessoires
Pfeiffer Vacuum propose une série d’accessoires spéciaux, compatibles avec ses pompes
à membrane.
● Les informations et options de commande pour les accessoires approuvés se trouvent
en ligne.
● Les accessoires décrits ne sont pas compris dans la livraison.
Prévention des pertes d’étranglement
Pour éviter des pertes d’étranglement, utilisez des conduites à vide de faible longueur avec
un grande diamètre nominal.
Séparateur de condensat
Pfeiffer Vacuum recommande l’installation d’un séparateur de condensats au cas où de la
vapeur se formerait pendant l'évacuation.
Procédure
1. Enlever le bouchon obturateur du raccord à vide.
2. Établissez le raccordement le plus court possible entre la pompe à vide et l’enceinte à vide.
3. Choisir une conduite de vide de diamètre au moins égal au diamètre nominal du raccord à vide.
4. En fonction du type de pompe, utilisez des flexibles métalliques ou en PVC avec des raccords à
bride disponibles dans la boutique de pièces Pfeiffer Vacuum.
5. Raccordez la pompe à vide au système de vide par l’intermédiaire du raccord de vide.
5.3
Raccordement du côté d’échappement
AVERTISSEMENT
Danger de mort par empoisonnement lié à la fuite de gaz de procédé toxiques, en l’absence
de conduite d’échappement
Au cours du fonctionnement normal, la pompe à vide libère des gaz et des vapeurs dans l’air. Dans
les procédés impliquant des substances toxiques, il existe un risque d’intoxication susceptible de provoquer des lésions ou la mort.
► Respectez la réglementation en vigueur concernant le traitement de substances toxiques.
► Purgez les gaz de procédé toxiques en toute sécurité par une conduite d’échappement.
21/62
Installation
ATTENTION
Danger de blessure lié à l’éclatement de la conduite d’échappement en cas de pression excessive
Des conduites d’échappement défaillantes ou inappropriées peuvent entraîner des situations dangereuses, p. ex. une augmentation de la pression d'échappement. Il existe alors un risque d’éclatement. Risque de blessures dues à la dispersion de fragments ou l’éjection de gaz sous pression et
d’endommager les matériels.
► Installez la conduite d’échappement sans appareil de fermeture.
► Respectez les pressions admissibles et les pressions différentielles que le produit peut supporter.
► Vérifiez régulièrement le fonctionnement de la conduite d’échappement.
ATTENTION
Risque pour la santé lié à l’accroissement des émissions de bruit
Le fonctionnement sans silencieux entraîne des émissions de bruit plus importantes. Évitez de vous
tenir longtemps à côté de la pompe à vide sous peine d’altération de l’ouïe.
► Installez une conduite d’échappement appropriée.
► Portez une protection acoustique.
Séparateur de condensat
Pfeiffer Vacuum recommande l'installation d'un séparateur de condensat avec écoulement
de condensat placé au point le plus bas de la conduite de refoulement.
Procédure
1. Vérifier le libre passage du silencieux installé.
2. Choisissez une canalisation de refoulement de diamètre au moins égal au diamètre nominal de la
bride de raccordement.
3. En fonction du type de pompe, utilisez des flexibles métalliques ou en PVC avec des raccords à
bride disponibles dans la boutique de pièces Pfeiffer Vacuum.
4. Option : En présence de débits de gaz plus élevés, montez une conduite d’échappement.
5. Installez la tuyauterie vers le bas à partir de la pompe à vide pour éviter le retour des condensats.
6. Fixez ou accrochez la tuyauterie de la pompe à vide pour éviter toute contrainte mécanique sur la
pompe à vide.
5.4
Raccordement électrique
AVERTISSEMENT
Risque de blessure en cas d'installation inappropriée
Des situations dangereuses peuvent survenir suite à une installation non sécurisée ou incorrecte.
► Ne pas effectuer soi-même des conversions ou modifications d'unité.
► Veiller à l’intégration dans un circuit de sécurité de secours.
22/62
Installation
5.4.1
Mise à la terre de la pompe à vide
Fig. 3:
Raccordement du câble de terre
Procédure
1. Utilisez un câble de terre approprié pour faire diverger les interférences applicatives.
2. Acheminez le raccordement conformément aux dispositions locales en vigueur.
3. Utilisez la prise de terre indiquée sur le couvercle (filetage intérieur M4) sur la pompe à vide.
5.4.2
Raccordement électrique
DANGER
Danger de mort en cas d’électrocution
Les blocs d’alimentation électrique non spécifiés et non approuvés peuvent entraîner de graves blessures, voire la mort.
► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences avec une double
isolation entre la tension d’entrée de secteur et la tension de sortie, conformément à
IEC 61010-1, IEC 60950-1 and IEC 62368-1.
► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences des normes
IEC 61010-1, IEC 60950-1 et IEC 62368-1.
► Si possible, utilisez des blocs d’alimentation électrique d'origine ou uniquement des blocs d’alimentation correspondant aux normes de sécurité en vigueur.
Des unités de courant d’origine (par exemple TPS 110) et des câbles de raccordement sont disponibles
pour l’alimentation électrique de l’unité de commande électronique.
23/62
Installation
5
4
6
1
3
7
2
PE
S1
AC in
DC out
Fig. 4:
Raccordement à la pompe turbomoléculaire, à l’unité de courant et au contrôleur
1 Raccordement « Remote » à l’unité de commande électronique MVP
5
2 Câble de raccordement de l’unité de courant avec interface RS-485
ou
Câble de raccordement de l’unité de courant et de la pompe turbomoléculaire
3 Unité de commande électronique (TC) de la pompe turbomoléculaire
4 Distributeur Y M12 pour interface RS-485
6
1
Unité de courant
4
2
Fig. 5:
7
Câble d’extension M12
Appareil de commande
3
Raccordement à l’appareil de commande avec unité de courant intégrée
1 Raccordement « Remote » à l’unité de commande électronique MVP
2 Câble de raccordement de l’appareil de commande avec interface RS-485
3
Câble d’extension M12
4
Appareil de commande avec unité de courant
Raccordement de l’unité de commande électronique MVP
► Assurez-vous que la tension d’alimentation est correcte.
► Vérifier que l’interrupteur secteur du pack d’alimentation électrique est coupé avant de procéder
au raccordement.
► Utilisez un câble de raccordement adapté de la gamme d’accessoires Pfeiffer Vacuum.
► Connectez le câble de raccordement à 15 broches dans la connexion « remote » sur l’unité de
commande électronique MVP et sécurisez-le.
► Insérez le câble de raccordement dans la connexion « DC out » sur l’unité de courant et fermez le
blocage à baïonnette.
► Si vous utilisez un appareil de commande Pfeiffer Vacuum : raccordez le raccord « RS-485 »
à l’appareil de commande en utilisant un câble d’extension qui convient.
24/62
Interfaces
6 Interfaces
Interface « remote »
AVIS
Risque de dégâts aux circuits électroniques
Le débranchement des connecteurs mâle-femelle du système de bus alors que l’équipement est
sous tension peut provoquer la destruction de composants électroniques.
► Toujours couper l’alimentation électrique avant de retirer la fiche de connexion.
► Après avoir éteint le bloc d’alimentation, attendre la dispersion complète de la charge résiduelle
avant de débrancher le connecteur mâle-femelle.
AVIS
Défaillance des branchements électriques causée par des influences perturbatrices externes
Les interférences externes générées par des ondes électromagnétiques sont la causes de dysfonctionnements.
► Un câble blindé doit être utilisé pour la comptabilité électromagnétique (CEM).
► Raccordez le blindage au boîtier de raccordement des deux côtés.
Le raccordement D-sub à 15 broches avec la désignation « remote » offre la possibilité de faire fonctionner l’unité de commande électronique via une commande à distance. Les spécifications suivantes
sont les réglages usine de l’unité de commande électronique.
Configuration de l’interface « Remote »
► Utilisez le connecteur et le câble blindés.
► Configurez les entrées et les sorties via l’ensemble de paramètres Pfeiffer Vacuum.
15
1
→
8
→
6.1
9
Fig. 6:
Broches de la prise D-Sub, 15 broches
Broche
Fonction
Description et réglage d’usine
1
Entrée +24 VCC
Tension d’alimentation de l’entraînement et de l’interface
2
Demande d’accès
d’entrée numérique
V+ : Commande par entrées numériques --> GND/ouverte : Commande débloquée
3
DI1
V+ : Mode de réglage de la vitesse de rotation --> GND/ouverte :
pas de mode de réglage de la vitesse de rotation
4
DI2
Ne concerne que les pompes à vide avec électrovanne ; dans ce
cas, les points suivants s’appliquent :
V+ : Vanne libérée, --> GND/ouverte : Vanne fermée
5
Entrée numérique du
groupe de pompage
V+ : Pompe à vide en marche --> GND/ouverte : Pompe à vide à
l’arrêt
6
Entrée numérique
mode veille
V+ : Mode veille--> GND/ouverte : Pas de mode veille
7
V+
Sortie 24 V
8
DO1
GND : Erreur. V+ : Pas d’erreur
9
DO2
GND : Pompe à vide à l’arrêt. V+ : Pompe à vide en marche
10, 11,
12
n.c.
-
13
RS-485
D+
25/62
Interfaces
6.1.1
Broche
Fonction
Description et réglage d’usine
14
RS-485
D-
15
Masse (GND)
Raccordement à la terre de la tension d’alimentation ; terre de référence pour toutes les entrées et sorties numériques
Tab. 6:
Affectation des broches de la prise D-Sub à 15 connecteurs
Alimentation de tension
Entrée/broche 1
La connexion électrique est assurée par un câble de raccordement de la gamme d’accessoires Pfeiffer Vacuum, ou par le client, au niveau des broches 1 et 15.
Sortie +24 V DC* / broche 7
Une connexion avec +24 V DC à la broche 7 (actif haut) active les entrées 2 à 6. Alternativement, elles
peuvent être activées par un PLC externe. « Niveau haut PLC » active et « Niveau bas PLC » désactive
les fonctions.
●
●
●
●
6.1.2
Niveau haut PLC : +13 V à +33 V
Niveau Bas PLC : -33 V à +7 V
Ri : 7 kΩ
Imax < 200 mA (avec RS-485, si disponible)
Entrées
Les entrées numériques commutent diverses fonctions de l’unité de commande électronique. Les entrées sont affectées avec des fonctions en départ d’usine. Vous pouvez les configurer via l’interface
RS-485 et l’ensemble de paramètres Pfeiffer Vacuum.
Entrée DI priorité à distance/broche 2
V+ :
Le raccordement « remote » a la priorité de commande sur toutes les autres sources de commande.
ouvert :Priorité à distance « inactive »
Entrée DI1 mode de réglage de la vitesse de rotation/broche 3
V+ :
ouvert :
Mode de réglage de la vitesse de rotation « actif »
Mode de réglage de la vitesse de rotation « inactif »
Entrée DI groupe de pompage/broche 5
V+ :
Pompe à vide en marche
Commande de tous les composants raccordés et acquittement d’anomalie.
ouvert :
Pompe à vide à l’arrêt
Entrée DI stand-by/broche 6
6.1.3
V+ :
Stand-by activé
La vitesse de standby est réglable entre 30 et 100 % de la vitesse nominale.
GND/open :
Standby désactivé
Sorties
Les sorties numériques présentent une limite de charge maximale de 24 V/50 mA par sortie.
V+ :
Pas d’erreur
Lorsque la tension est appliquée, la sortie numérique DO1 est en permanence au potentiel V
+, qui signifie l’absence d’erreur « no error ».
GND
Erreur
« Active low » signifie la présence d’une erreur (message d’erreur courant).
Tab. 7:
26/62
Sortie DO1/broche 8
Interfaces
V+ :
Pompe à vide en marche
« Actif haut » signifie « Pompe à vide en marche » et en rotation à la vitesse de rotation réglée.
Exemple : utilisez ce signal pour le message pompe à vide « prête à fonctionner »
GND
Pompe à vide à l’arrêt
Tab. 8:
6.1.4
Sortie DO2/broche 9
RS-485
Raccordement du RS-485 via D-Sub
► Raccordez un appareil de commande Pfeiffer Vacuum ou un PC externe via la broche 13 et la
broche 14 sur le raccord Sub D de l’unité de commande électronique.
6.2
Interface RS-485
DANGER
Danger de mort en cas d’électrocution
Lors de l’application de tensions dépassant la très basse tension de sécurité spécifiée (conformément à IEC 60449 et VDE 0100), les mesures isolantes sont détruites. Danger de mort en cas d’électrocution au niveau des interfaces de communication.
► Connecter uniquement des appareils appropriés au système de bus.
L’interface avec la désignation « RS-485 » est destinée au raccordement d’un appareil de commande
Pfeiffer Vacuum ou d’un PC externe. Les raccordements sont séparés galvaniquement et isolés de la
tension d’alimentation maximale de l’unité de commande électronique.
Désignation
Valeur
Interface série
RS-485
Vitesse de transmission en baud
9 600 Baud
Longueur de mot
8 bit
Parité
aucune (pas de parité)
Bits de départ
1
Bits d’arrêt
1
Tab. 9:
Caractéristiques de l’interface RS-485
Raccordement des appareils de commande Pfeiffer Vacuum ou d’un PC
► Utilisez le câble de raccordement fourni à la livraison avec l’appareil de commande ou disponible
en option dans le programme des accessoires Pfeiffer Vacuum.
► Raccordez un appareil de commande à l’interface RS-485.
► Raccordez un PC via le transformateur USB/RS-485.
Mise en réseau en tant que bus RS-485
L’adresse de groupe de l’unité de commande électronique est 902.
1. Installez les appareils conformément à la spécification pour les interfaces RS-485.
2. Veillez à ce que tous les appareils connectés au bus disposent d’une adresse d’appareil RS-485
différente [P:797].
3. Raccordez au bus tous les appareils avec RS-485 D+ et RS-485 D-.
27/62
Interfaces
6.3
Interconnexion via raccordement RS-485
DANGER
Danger de mort en cas d’électrocution
Lors de l’application de tensions dépassant la très basse tension de sécurité spécifiée (conformément à IEC 60449 et VDE 0100), les mesures isolantes sont détruites. Danger de mort en cas d’électrocution au niveau des interfaces de communication.
► Connecter uniquement des appareils appropriés au système de bus.
1
3
2
4
PC
MVP
MVP
MVP
Fig. 7:
Interconnexion de via l’interface RS-485
1 Convertisseur USB RS-485
2 Câble d’extension M12 à M12
3
4
Connecteur en Y pour RS-485
Câble de raccordement avec RS-485
6.4
Protocole Pfeiffer Vacuum pour l’interface RS-485
6.4.1
Cadre télégramme
Le cadre télégramme du protocole Pfeiffer Vacuum contient uniquement des caractères ASCII [32;
127], à l’exception du caractère final du télégramme CR. De manière générale, un hôte
(par ex. un
PC) envoie un télégramme, auquel un appareil
(par ex. unité de commande électronique ou jauge)
va répondre.
a2
28/62
a1
a0
*
0
n2
n1
n0
l1
l0
dn
…
d0
c2
c1
c0
a2 – a0
Adresse d’appareil
● Adresse individuelle de l’unité ["001";"255"]
● Adresse groupée « 9xx » pour toutes les unités identiques (pas de réponse)
● Adresse globale « 000 » pour toutes les unités sur le bus (pas de réponse)
*
Action selon la description du télégramme
n2 – n0
Numéros de paramètre Pfeiffer Vacuum
I1 – I0
Longueur de données dn à d0
CR
dn – d0
Données dans le type de données correspondant (voir chapitre « Data types », page 29).
c2 – c0
Somme de contrôle (somme des valeurs ASCII des cellules a2 à d0) modulo 256
CR
Retour à la ligne (ASCII 13)
Interfaces
6.4.2
Description du télégramme
Interrogation des données
-->
?
a2
n2
n1
a1
a0
0
0
Instruction de réglage
a2
a1
a0
1
-->
!
n2
n1
0
n0
0
2
=
l1
l0
dn
…
n0
Réponse des données / instruction de réglage comprise
a2
a1
a0
1
0
Message d’erreur
a2
a1
a0
1
0
n2
NO_DEF
_RANGE
_LOGIC
6.4.3
?
c2
c1
c0
cR
d0
c2
c1
c0
cR
c2
c1
c0
cR
c1
c0
cR
-->
n2
n1
n0
l1
l0
dn
…
d0
0
6
N
O
_
D
E
F
_
R
A
N
G
E
_
L
O
G
I
C
-->
n1
n0
c2
Le numéro de paramètre n2–n0 n’existe plus
Donnée dn–d0 en-dehors de la plage autorisée
Erreur d'accès logique
Télégramme exemple 1
Demande de données
Vitesse de rotation actuelle (paramètre [P:309], adresse de l’appareil device : « 123 »)
-->
?
ASCII
1
2
3
0
0
3
0
9
0
2
=
?
1
1
2
cR
49
50
51
48
48
51
48
57
48
50
61
63
49
49
50
13
Réponse des données : 633 Hz
Vitesse de rotation actuelle (paramètre [P:309], adresse de l’appareil device : « 123 »)
-->
1
2
3
1
0
3
0
9
0
6
0
0
0
6
3
3
0
3
7
cR
ASCII
49
50
51
49
48
51
48
57
48
54
48
48
48
54
51
51
48
51
55
13
6.4.4
Télégramme exemple 2
Commande de contrôle
Allumer le poste de pompage (paramètre [P:010], adresse de l’appareil device : « 042 »
-->
!
ASCII
0
4
2
1
0
0
1
0
0
6
1
1
1
1
1
1
0
2
0
cR
48
52
50
49
48
48
49
48
48
54
49
49
49
49
49
49
48
50
48
13
Commande de contrôle comprise
Allumer le poste de pompage (paramètre [P:010], adresse de l’appareil device : « 042 »
-->
0
4
2
1
0
0
1
0
0
6
1
1
1
1
1
1
0
2
0
cR
ASCII
48
52
50
49
48
48
49
48
48
54
49
49
49
49
49
49
48
50
48
13
6.4.5
Data types
Nº
Type de donnée
Description
Longueur
l1 – l0
Exemple
0
boolean_old
Valeur logique (faux / vrai)
06
000000 est équivalent à faux
111111 est équivalent à vrai
1
u_integer
Nombre entier positif
06
000000 à 999999
29/62
Interfaces
30/62
Nº
Type de donnée
Description
Longueur
l1 – l0
Exemple
2
u_real
Nombre à virgule fixe (non signé)
06
001571 correspond à 15.71
4
string
Chaîne de 6 caractères. Codes
ASCII entre 32 et 127.
06
TC_110, TM_700
6
boolean_new
Valeur logique (faux / vrai)
01
0 est équivalent à faux
1 est équivalent à vrai
7
u_short_int
Nombre entier positif
03
000 à 999
10
u_expo_new
Nombre exponentiel positif. Les
deux derniers chiffres sont l’exposant avec une déduction de
20.
06
100023 est équivalent à
1,0 · 103
100000 est équivalent à
1,0 · 10-20
11
string16
Chaîne de 16 caractères. Codes
ASCII entre 32 et 127.
16
BrezelBier&Wurst
12
string8
Chaîne de 8 caractères. Codes
ASCII entre 32 et 127.
08
Exemple
Ensemble de paramètres
7 Ensemble de paramètres
7.1
Généralités
Des réglages et des caractéristiques propres aux fonctions importantes sont programmés en usine
sous forme de paramètres dans l’unité d’entraînement électronique. Chaque paramètre a un nombre à
trois chiffres et une description. Le paramètre est accessible via les appareils de commande Pfeiffer Vacuum ou de manière externe via RS-485 à l’aide du protocole Pfeiffer Vacuum. L’unité de commande
électronique est préprogrammée en usine. La pompe à vide est ainsi utilisable directement et en toute
sécurité sans configuration supplémentaire.
Les paramètres suivants peuvent être configurés pour les procédés spécifiques :
● [P:026] : mode de réglage de la vitesse de rotation actif/inactif.
● [P:707] : spécification du mode de réglage de la vitesse de rotation entre 30 et 170 % du régime
nominal.
● [P:002] : mode standby actif/inactif.
#
Nombre à trois chiffres du paramètre
Indicateur
Affichage de la description des paramètres
Description
Brève description des paramètres
Fonctions
Description de la fonction des paramètres
Type de donnée
Type de formatage du paramètre pour l’utilisation avec le protocole Pfeiffer Vacuum
Type d’accès
R (lecture) : accès en lecture ; W (écriture) : accès en écriture
Unité
Unité physique de la variable décrite
min./max.
Valeurs limites autorisées pour la saisie d’une valeur
par défaut
Pré-réglage par défaut en usine (en partie spécifique à la pompe)
Le paramètre peut être sauvegardé de manière permanente sur l’unité de commande électronique
Tab. 10:
Explication et signification des paramètres
7.2
Instructions de réglage
#
Indicateur
Désignations
Fonctions
Type
de
donnée
Type
d’accès
002
Veille
Veille
0 = arrêt
1 = marche
0
009
ErrorAckn
Acquittement
d’anomalie
-
010
PumpgStatn
Pompe
019
Cfg DO2
024
026
Unité
min.
max.
par
défaut
RW
0
1
0
0
W
1
1
-
0 = arrêt
1 = marche
0
RW
0
1
0
Configuration
sortie DO2
1 = Pas d’erreur
2 = Erreur
5 = Régime nominal atteint
6 = Pompe en marche
9=«0»
10 = « 1 »
11 = Priorité commande à
distance active
7
RW
0
20
5
Cfg DO1
Configuration
sortie DO1
Réglages, voir [P:019]
7
RW
0
20
1
SpdSetMode
Mode de réglage
de la vitesse de
rotation
0 = arrêt
1 = marche
7
RW
0
1
0
31/62
Ensemble de paramètres
#
Indicateur
Désignations
Fonctions
Type
de
donnée
Type
d’accès
030
Mode valve
Configuration du
gaz de balayage
0 = auto
1 = fermé
2 = ouvert
7
2)
Unité
min.
max.
par
défaut
RW
0
2
0
050
PurgeGas
Gaz de balayage
0 = arrêt
1 = marche
0
RW
0
1
1
060
CtrlViaInt
Utiliser via l’interface
1 = à distance
2 = RS-485
4 = PV.can
255 = sélection de l’interface
7
RW
1
255
1
061
IntSelLckd
Sélection de l’interface verrouillée
0 = arrêt
1 = marche
0
RW
0
1
0
068
Cfg acc C
Configuration du
raccordement de
l’accessoire C 4)
5 = soupape de lest d’air
6 = Quantité de refoulement
toujours « 0 »
7 = Quantité de refoulement
toujours « 1 »
17= capteur de pression
18 = Soupape de sécurité
de vide
7
RW
1
7
1
069
Cfg acc D
Configuration du
raccordement de
l’accessoire D 5)
5 = soupape de lest d’air
6 = Quantité de refoulement
toujours « 0 »
7 = Quantité de refoulement
toujours « 1 »
17= capteur de pression
18 = Soupape de sécurité
de vide
7
RW
1
7
1
095
FactoryReset
Réglages usine
0 = non
1 = oui,
uniquement possible en stationnaire
0
RW
0
1
0
min.
max.
3)
Tab. 11:
Jeu de paramètres | Instructions de réglage
7.3
Requêtes d’état
#
Indicateur
Désignations
303
Code d’erreur
309
ActualSpd
310
DrvCurrent
Courant d’alimentation
32/62
-
Type
de
donnée
Type
d’accès
Code d’erreur
4
R
Vitesse de rotation réelle (Hz)
1
R
Hz
2
R
A
2)
si disponible
3)
si disponible
4)
Détection via interface
5)
Détection via interface
Fonctions
Courant
d’alimentation en
A
Unité
par
défaut
-
0
9999,99
-
Ensemble de paramètres
#
Indicateur
Désignations
311
OpHrsPump
312
Type
de
donnée
Type
d’accès
Unité
Heures de fonctionnement de
la pompe
1
R
h
Fw version
Version logicielle de la platine
d’interface
4
R
313
DrvVoltage
Tension d’alimentation
2
R
V
314
OpHrsElec
Heures de service électronique d’entraînement
1
R
h
315
Nominal Spd
Vitesse de rotation nominale
(Hz)
1
R
Hz
-
316
DrvPower
Puissance d’entraînement
1
R
W
-
326
TempElec
Température électronique
1
R
°C
0
9999
-
330
TempPump
Température pompe
1
R
°C
0
999999
-
349
ElecName
Désignation du nom de l’appareil
4
R
-
354
HW Version
Version matérielle de la platine d’interface
4
R
-
355
Numéro de
série
Exemple : 12345678
11
R
-
388
Référence de
commande
Exemple : PK T05 1xx
11
R
-
398
ActualSpd
Vitesse de rotation réelle (tr/
min)
1
R
tr/min
--
399
NominalSpd
Vitesse de rotation nominale
(tr/min)
1
R
tr/min
-
Tab. 12:
Fonctions
Tension
en V
Sortie
en W
min.
max.
par
défaut
-
Jeu de paramètres | Requêtes d’état
7.4
Entrées des valeurs de référence
#
Indicateur
Désignations
Fonctions
Type
de
donnée
Type
d’accès
Unité
min.
max.
par
défaut
707
SpdSVal
Régler la valeur en mode
de réglage de la vitesse
de rotation
Consigne
de vitesse
de rotation
en % de la
vitesse de
rotation
nominale
2
RW
%
30
170
75
717
StdbySVal
Valeur fixée de la vitesse
de rotation en mode
stand-by
2
RW
%
30
100
66,7
721
SlgVlvTime
Spécification du gaz de
balayage active
1
RW
s
5
255
60
739
PrsSn1Name
Nom du capteur 1
4
R
740
Pression 1
Valeur de pression 1
10
R
742
PrsCorrPi 1
Facteur de correction 1
2
RW
749
PrsSn2Name
Nom du capteur 2
4
R
750
Pression 2
Valeur de pression 2
10
R
hPa
1 · 10
1200,0
0,1
8,0
-5
-
hPa
1 · 10
-5
1200,0
33/62
Ensemble de paramètres
#
Indicateur
Désignations
752
PrsCorrPi 2
797
RS485Adr
Type
de
donnée
Type
d’accès
Facteur de correction 2
2
Adresse interface
RS-485
1
Tab. 13:
34/62
Fonctions
Unité
min.
max.
par
défaut
RW
0,1
8,0
-
RW
1
255
2
Jeu de paramètres | Entrées des valeurs indicatives
Fonctionnement
8 Fonctionnement
8.1
Mise en service de la pompe à vide
AVERTISSEMENT
Danger d’intoxication lié au fluide de procédé toxique s’échappant de la tubulure d’échappement
Lorsque la pompe à vide fonctionne sans conduite d’échappement, les gaz d’échappement et les vapeurs peuvent s’échapper librement dans l’air. Risque de blessure et de mort dû à l’intoxication par
les fluides de procédé toxiques.
► Respectez la réglementation en vigueur concernant le traitement des fluides de procédé toxiques.
► Purgez les fluides de procédé toxiques en toute sécurité par une conduite d’échappement.
► Employez des moyens de filtration appropriés pour séparer les fluides de procédé toxiques.
AVIS
La surpression endommage la pompe à vide
La permutation des raccordements peut causer une surpression. La pression différentielle entre entrée et sortie doit être de 1 bar max. pour pouvoir démarrer la pompe à vide, sans quoi le moteur
s’arrête et subit des dégâts.
► Vérifiez que le distributeur est installé correctement sur les têtes du diaphragme avant de raccorder la pompe à vide et l’appareil à vide.
► Avant la mise en service, vérifiez impérativement que la pression côté échappement est inférieure à la limite admissible.
Paramètre
Nom
Désignation
Réglage ou valeur
[P:707]
SpdSVal
Spécification de fonctionnement en mode de contrôle
de vitesse
75 %
Tab. 14:
Réglages d’usine de l’unité de commande électronique des pompes à membrane livrées
Procédure
1. Comparez les spécifications de fréquence sur la plaque signalétique à la tension d’alimentation
disponible.
2. Vérifiez que le raccord d’échappement n’est pas obturé (pression max. admissible : 1100 hPa absolus).
3. Actionnez les appareils de fermeture pour qu’ils s’ouvrent avant ou pendant le démarrage de la
pompe à vide.
8.2
Mettre en marche la pompe à vide
Lors du pompage de gaz secs, aucune précaution particulière n’est nécessaire.
ATTENTION
Risque de brûlure sur les surfaces chaudes
En fonction des conditions ambiantes et d’exploitation, la température à la surface de la pompe à vide peut dépasser 70 °C.
► Porter des équipements de protection adaptés.
Durée nécessaire pour atteindre la température de fonctionnement de la pompe à vide
En fonction de la température ambiante, la durée nécessaire pour atteindre la température
de fonctionnement de la pompe à vide est d’au moins 30 minutes.
35/62
Fonctionnement
Condition préalable
● les raccordements par câble nécessaires doivent être établis
Activation de la pompe à vide
1. Au besoin, activer la pompe à vide dans chaque domaine de pression en utilisant l’une des 3 méthodes possibles :
– Par l’interrupteur du bloc d’alimentation, avec les liaisons de broches correctes en place sur
la prise D-Sub à 15 broches
– via un appareil de commande, par exemple OmniControl ou PC
– en utilisant l’appareil de commande API sur la prise D-Sub à 15 broches
2. Laissez la pompe à vide monter en température avant de démarrer le procédé, raccord à vide fermé.
La pompe à vide atteint les valeurs spécifiques de débit et de pression finale dès que la température de
fonctionnement a été atteinte.
8.3
Fonctionnement de la pompe à membrane avec le lest d'air
AVERTISSEMENT
Risque d’explosion lié aux mélanges gaz/air réactifs, potentiellement explosifs ou dangereux
L’entrée incontrôlée de gaz par la soupape de lest d'air peut former des étincelles d’origine mécanique après rupture de la membrane, ou provoquer l’échauffement des surfaces ou encore la formation
de mélanges gaz/air potentiellement explosifs dans le circuit de vide formés par l’électricité statique.
► Si nécessaire, utilisez un gaz inerte comme gaz de balayage pour éviter toute inflammation potentielle.
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement dû au rejet de gaz de procédé toxiques
Pour les pressions d’entrée > 500 hPa, le gaz de procédé peut s’échapper de la soupape de lest d’air
ouverte. Risque de blessure et de mort dû à l’intoxication par les fluides de procédé toxiques.
► Si nécessaire, utiliser un gaz inerte pour éviter une contamination potentielle.
► Si nécessaire, utilisez une conduite d’évacuation.
AVIS
Risque de dommages dus à la condensation dans la pompe à vide
Lors du fonctionnement sans lest d’air, de la condensation peut se former en cas de dépassement
des caractéristiques de compatibilité à l’état gazeux dans la pompe à vide.
► Pompez les gaz condensables uniquement lorsque la pompe à vide est à température de fonctionnement et la soupape à lest d’air ouverte.
► Pour protéger la pompe à vide contre la corrosion, laissez la pompe à vide tourner pendant 30
minutes de plus avec la soupape à lest d’air ouverte.
Les vapeurs et l’humidité de la substance pompée nuisent au débit après condensation dans la pompe
à vide.
Comportement avec les gaz de processus et des vapeurs condensables
► Utilisez la pompe à vide avec un lest d’air, p. ex. soupape de lest d’air ouverte.
8.4 Configuration des connexions avec le jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum
L’unité de commande électronique est préconfigurée avec les fonctions de base par défaut en usine et
prête à l’emploi. Pour des exigences individuelles, la plupart des connexions de l’unité de commande
électronique peut être configurée avec le jeu de paramètres.
36/62
Fonctionnement
8.4.1
Configuration des sorties numériques
Option
Description
1 = pas d’erreur
État actif, fonctionnement normal
2 = erreur
État actif si le message d’erreur est actif
5 = vitesse de rotation réglée
atteinte
État actif une fois la consigne de vitesse de rotation atteinte
6 = pompe en marche
État actif si la pompe et le moteur sont en marche et en l’absence
d’erreur
9 = toujours 0
GND pour la commande d’un appareil externe
10 = toujours 1
V+ pour la commande d’un appareil externe
11 = à distance
État actif si la priorité à distance est active
Tab. 15:
Configurer les paramètres [P:019] et [P:024]
Procédure
► Effectuer la configuration conformément au tableau.
8.4.2
Sélection des interfaces
Option [P:060]
Description
1 = à distance
Fonctionnement via connexion « à distance »
2 = RS-485
Fonctionnement via la connexion « RS-485 »
4 = PV.can
À des fins de maintenance uniquement
Option [P:061]
0 = arrêt
La sélection de l’interface peut être définie avec [P:060].
1 = marche
Sélection de l’interface verrouillée
Tab. 16:
Paramètres [P:060] et [P:061]
Procédure
► Sélectionnez l’interface conformément au tableau.
8.4.3
Configuration des accessoires
AVIS
Dommages matériels dus aux dispositifs électroniques d’autres constructeurs
Les raccordements des accessoires sur la pompe à vide ne sont pas conformes aux exigences standards USB. L’affectation des raccordements n’est pas conforme aux standards. En fonction de leur
configuration, la tension d’alimentation 24 V DC peut endommager ou détruire les dispositifs électroniques d’autres constructeurs, par exemple un ordinateur-tablette.
► Ne raccordez pas de dispositifs électroniques d’autres constructeurs sur les raccordements des
accessoires.
► Utilisez seulement les connecteurs pour les accessoires spécifiques à la pompe.
Les raccords d’accessoires avec AccessLink sont respectivement utilisés pour le raccordement d’un accessoire. Le logiciel de l’unité de commande électronique détecte automatiquement les accessoires
raccordés aux interfaces.
Accessoires approuvés
● Capteur de pression
● Vanne magnétique pour lest d’air
37/62
Fonctionnement
5
3
4
Fig. 8:
1
2
Affectation du raccord d’accessoire
1 + 5 V (bleu)
2 Capteur RxD / TxD hôte (blanc)
3 Capteur TxD / RxD hôte (vert)
4
5
+ 24 V (selon la configuration du logiciel)
GND (noir)
Configuration des accessoires
► Configurez les accessoires raccordés avec les paramètres [P:068] et [P:069], si nécessaire.
– La configuration manuelle écrase la valeur automatiquement détectée.
8.5
Modes de fonctionnement
● Utilisation sans appareil de commande
● Fonctionnement via un appareil de commande externe
● Fonctionnement via RS-485 et appareil de commande Pfeiffer Vacuum ou PC
Grâce à la connexion d’un appareil de commande Pfeiffer Vacuum, la pompe à vide peut être contrôlée
par l’intermédiaire des paramètres fixés dans l’unité de commande électronique.
Démarrage automatique
Après liaison des contacts des broches 2, 7, 5 sur la fiche de connexion ou à l’aide d’un
câble de raccordement comportant ces liaisons, la pompe à vide démarre immédiatement
quand la tension d’alimentation est appliquée. Pfeiffer Vacuum recommande d’activer l’alimentation de tension immédiatement avant le fonctionnement.
Fonctionnement de la pompe à vide sans contrôleur
1. Raccordez le câble de raccordement correspondant avec des ponts sur ka connexion « Remote »
de l’unité de commande électronique.
2. Branchez l’alimentation en courant sur l’unité de courant.
3. Activez l’alimentation en courant sur l’unité de courant.
Après application de la tension de service, la pompe à vide effectue un auto-test pour vérifier la tension
d’alimentation. En l’absence d’erreur au test automatique, la pompe à vide démarre.
Fonctionnement de la pompe à vide avec le contrôleur externe
1. Raccordez une commande à distance via la prise Sub D « Remote » à 15 broches.
2. Contrôlez la pompe à vide à l’aide du niveau API « PLC level ».
Fonctionnement de la pompe à vide avec appareil de commande
1. Observez le mode d’emploi de l’appareil de commande.
2. Raccordez l’appareil de commande correspondant sur le raccordement « Remote ».
3. Activez l’alimentation en courant sur l’unité de courant ou l’appareil de commande.
4. Effectuez les réglages souhaités via RS-485 et en utilisant l’appareil de commande.
8.5.1
Fonctionnement normal
Si la soupape de lest d’air est ouverte ou fermée en permanence ([P:050] = 0 ou [P:030] = 1 ou 2), la
pompe à vide démarre en mode augmenter pendant 5 min. max. à la vitesse maximale. La valeur de
l’intensité est suivie en parallèle. Si le courant baisse en-deçà d’un certain seuil, la vitesse est contrôlée
pour être abaissée à la vitesse de rotation nominale. Si la puissance d’entrée augmente de nouveau, la
vitesse n’augmente pas automatiquement. La vitesse augmente de nouveau après l’arrêt/démarrage de
la pompe à vide.
En mode automatique de la soupape de lest d’air ([P:050] = 1 et [P:030] = 0), la pompe à vide démarre
en mode augmenter pendant 15 minutes de façon constante, puis fonctionne à nouveau automatiquement à la vitesse nominale.
38/62
Fonctionnement
Réglage des paramètres associés
1. Réglez le paramètre [P:002] sur « 0 ».
2. Réglez le paramètre [P:026] sur « 0 ».
3. Réglez le paramètre [P:050] sur la valeur souhaitée.
4. Réglez le paramètre [P:030] sur la valeur souhaitée.
5. Contrôlez le régime nominal (paramètre [P:309] ou [P:398]).
8.5.2
Mode standby
Pfeiffer Vacuum recommande le mode standby pour la pompe à vide lors des pauses de processus ou
de production.
● Le réglage d’usine est 66,7 % de la vitesse nominale.
● Le mode standby est prioritaire sur le mode de réglage de la vitesse de rotation.
● Lorsque le mode standby est actif, l’unité de commande électronique réduit la vitesse de la pompe à vide dans une proportion de 30 à 100 % de la vitesse nominale.
Activer la vitesse de rotation en mode standby
1. Régler le paramètre [P:717] à la valeur requise en %.
2. Régler le paramètre [P:026] sur « 0 ».
3. Régler le paramètre [P:002] sur « 1 ».
4. Contrôler la vitesse de rotation réglée (paramètre [P:309] ou [P:398]).
8.5.3
Mode de réglage de la vitesse de rotation
Plage de vitesses de rotation admissibles de la pompe à vide
Le paramétrage dans le mode de réglage de la vitesse de rotation dépend de la plage de
vitesses de rotation admissibles de la pompe à vide concernée. L’unité de commande électronique régule automatiquement la vitesse à la valeur valide la plus proche.
Le régime nominal est sélectionné via le paramètre [P:707] dans la plage de 30 à 170 % du régime
nominal. Si la vitesse est supérieure au régime nominal (> 100 %), l’usure de la pompe risque d’être
plus rapide.
Le mode de réglage de la vitesse de rotation est prioritaire sur le mode standby.
Réglage du mode de réglage de la vitesse de rotation
1. Réglez le paramètre [P:707] à la valeur requise en %.
2. Réglez le paramètre [P:026] sur « 1 ».
3. Recherchez la vitesse nominale via le paramètre [P:309] ou [P:398].
8.5.4
Commande de soupape de lest d’air
RS-485
[P050]
valve enabled
RS-485
[P030]
valve mode
RS-485
[P010]
pump on/off
valve behaviour
0
[disabled]
1
[enabled]
always
closed
0
[auto]
0
[off]
closed
cyclical
[P721] (default 60 s)
*
open
1
[on]
Fig. 9:
closed
15 min
pump start
1
[closed]
always
closed
2
[open]
always
open
Diagramme de commande de soupape de lest d’air
39/62
Fonctionnement
Si la commande de soupape de lest d’air est ouverte, [P:030] définit le mode de soupape. En mode
automatique (réglage par défaut départ d’usine), la vanne s’ouvre seulement pendant 15 min au démarrage de la pompe ; ensuite, elle s’ouvre de façon cyclique pendant 5 à 225 s toutes les 15 minutes (réglage avec [P:721]). La soupape de lest d’air s’ouvre aussi lorsque vous arrêtez le mode stand-by ou le
mode de réglage de la vitesse.
8.6
Détermination de la pression efficace avec des facteurs de correction
Mélanges de gaz et de vapeurs
Les gaz de procédé sont essentiellement des mélanges de gaz et de vapeurs. Une mesure
précise des mélanges de gaz et de vapeurs est seulement possible avec des appareils de
mesure à pression partielle, par exemple un spectromètre de masse quadripole.
Le signal de mesure du capteur de pression dépend du type de gaz dans la gamme Pirani. Le facteur
de correction pré-réglé = 1 s’applique à l’azote (N2), l’oxygène (O2), l’air sec et le monoxyde de carbone
(CO).
Type de gaz
Facteur de correction (C)
Air, oxygène (O2), monoxyde de carbone, (CO), azote (N2)
1,0
Hydrogène (H2)
0,5
Dioxyde de carbone (CO2)
0,9
Vapeur d’eau
0,5
Hélium (He)
0,8
Néon (Ne)
1,4
Argon (Ar)
1,7
Krypton (Kr)
2,4
Xénon (Xe)
3,0
Dichlorodifluorométhane (CCl2F2, R12)
0,7
Les facteurs de correction fournis ici sont des valeurs moyennes.
Tab. 17:
40/62
Facteur de correction pour le domaine de pression < 1 hPa
Fonctionnement
p [hPa]
102
H2
8
6
He
Ne
Air
O2
CO
N2
4
2
CO2
101
Ar
8
6
Freon 12
Kr
4
2
Xe
100
8
6
4
2
10–1
8
6
4
2
Water vapor
10–2
8
6
4
2
10–3
10–3 2
4
6
10–2 2
4
6
10–1 2
4
6
100
2
4
6
101
2
4
6
102
peff [hPa]
Fig. 10:
Pression affichée
Dans le domaine de pression < 1 hPa, l’affichage est linéaire.
Réglage du facteur de correction sur l’unité de commande électronique
► Utilisez [P:742] pour entrer le facteur de correction et la valeur mesurée affichée correcte.
Alternativement : Calcul de la pression de gaz autres que l’air
1. Réglez le facteur de correction dans l’unité de commande électronique sur 1
2. Calculez la pression efficace avec la formule suivante :
Peff = C × p
● Peff = Pression efficace
● C = facteur de correction du gaz à mesurer
● p = pression affichée (jauge ajustée pour l’air)
8.7
Surveillance des opérations
8.7.1
Affichage du mode de travail via diodes électroluminescentes
Les LED sur l’unité de commande électronique indiquent les principaux états de fonctionnement de la
pompe à vide. Une erreur différenciée et un affichage d’alerte ne sont possibles que pour le fonctionnement avec l’appareil de commande Pfeiffer Vacuum ou un PC.
41/62
Fonctionnement
LED
Symbole
Verte
Jaune
Rouge
Tab. 18:
8.7.2
État LED
Affichage
Signification
Désactivée
sans courant
Allumée, clignotante
« Groupe de pompage ARRÊT »,
vitesse de rotation ≤ 60 tr/min
Allumée, clignotement
« Groupe de pompage ARRÊT »,
vitesse de rotation > 60 tr/min
Allumée, clignotement inverse
« Groupe de pompage MARCHE »,
régime nominal non atteint
Allumée, en continu
« Groupe de pompage MARCHE »,
régime nominal atteint
Veille activée
Allumée, clignote inversement deux fois
Vitesse sélectionnée temporairement écrasée par un mode de vitesse automatique
Désactivée
pas d’avertissement
Allumée, clignotement de
courte durée
Remarque6)
Allumée, en continu
Avertissement
Allumée, illumination 1 s
Confirmation, acceptation de la
commande
Désactivée
Pas d’erreur
Allumée, en continu
Erreur
Réaction et signification des DEL de l’unité de commande électronique
Surveillance de la température
Si les valeurs seuils sont dépassées, des signaux de sortie des capteurs de température permettent
d’amener les pompes à vide dans un état sécurisé. Selon le type, les seuils de température pour les
messages d’alerte et d’anomalie sont mémorisés systématiquement dans l’unité d’entraînement électronique. À titre d’information, différentes demandes d’état sont définies dans l’ensemble de paramètres.
● Avec une température de pompe T > 75 °C, l’unité de commande électronique réduit le moteur à
la vitesse de rotation nominale afin d’éviter tout surchauffe de la pompe à vide.
─ « Alerte » est affiché.
─ Après refroidissement (< 72 °C), la pompe à vide se remet à tourner à la vitesse de consigne.
● Si la valeur seuil d’erreur de température supérieure à la normale, T > 85 °C est dépassée, la
pompe à vide s’arrête immédiatement.
─ Un « message d’anomalie » est affiché.
Accusé de réception d’une erreur
1. Éliminez la cause de l’anomalie.
2. Désactiver et réactiver la pompe à vide.
Accusé de réception d’une erreur alternativement via l’appareil de commande
► Réglez le paramètre [P:010] sur la valeur « 0/1 ».
► Remettez à zéro le message d’erreur avec le paramètre [P:009] ou l’appareil de commande.
► Désactivez la pompe à vide et réactivez-la via l’appareil de commande.
8.8
Mise hors tension de la pompe à vide
Procédure
1. Laissez la pompe à vide tourner pendant 5 à 10 minutes avec le raccord à vide ouvert afin que
tout condensat éventuellement présent soit éliminé de la pompe à vide.
2. Au besoin, désactivez la pompe à vide dans chaque domaine de pression.
3. Débrancher le bloc d’alimentation.
6)
42/62
Contrôlez régulièrement les données de performance de la pompe à vide.
Maintenance
9 Maintenance
9.1
Consignes de maintenance
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
ATTENTION
Danger de blessures dues aux pièces mobiles
Après une coupure d’électricité ou un arrêt dû à une surchauffe, le moteur redémarre automatiquement. Risque de blessure aux doigts et aux mains en cas d’introduction dans le domaine de travail
des pièces en rotation.
► Pour intervenir en toute sécurité, débranchez le moteur du secteur.
► Prenez des mesures pour éviter la remise en marche du moteur.
► Démontez la pompe à vide pour inspection, à l’écart du circuit de pompage si nécessaire.
AVIS
Dommages causés par des détergents inappropriés
Des détergents inappropriés endommagent les pièces de la pompe.
► Utilisez uniquement des détergents autorisés pour nettoyer les pièces de la pompe.
► Utilisez uniquement un chiffon sec propre pour nettoyer les membranes et les clapets.
► N’utilisez pas d’alcool ou d’autres produits de nettoyage pour nettoyer les membranes et les clapets.
AVIS
Risque de dégâts matériels dus à une maintenance incorrecte
Une intervention non professionnelle sur la pompe à vide peut provoquer des dommages pour lesquels Pfeiffer Vacuum n’endossera aucune responsabilité.
► Il est vivement recommandé de profiter de notre offre de formation à la maintenance.
► Pour la commande de pièces de rechange, veuillez spécifier les informations sur la plaque signalétique.
Les tâches relatives au nettoyage et à l’entretien de la pompe à vide sont résumées ci-dessous.
Les clapets et les membranes sont des pièces d’usure.
Composant
Heures de fonctionnement
Membranes
17 500
Vannes
17 500
Tab. 19:
Durée de vie typique dans le cadre d’une utilisation normale
Conditions préalables
● Pompe à vide mise hors service
● Pompe à vide mise à l’air à la pression atmosphérique
● Pompe à vide refroidie
43/62
Maintenance
Équipement nécessaire
● Chiffon (propre, non pelucheux)
● Eau ou solution à base de savon doux
Maintenance de la pompe à vide
1. Débranchez l’alimentation électrique de la pompe.
2. Prenez des mesures pour éviter la remise en marche du moteur.
3. Éliminez toute contamination externe sur la pompe à vide avec un chiffon légèrement humidifié
avec de l’eau ou une solution à base de savon doux.
4. Laissez bien sécher les pièces après le nettoyage.
5. Concernant le travail de maintenance, démontez uniquement ce qui est nécessaire sur la pompe
à vide.
6. Avec un chiffon sec, nettoyez la chambre d’aspiration, les diaphragmes et les vannes.
7. Contrôlez les fissures sur les membranes et les vannes au plus tard lorsque les valeurs de pression atteintes baissent.
9.2
Liste de contrôle pour les inspections et l’entretien
Périodicité de maintenance et durées utiles
La périodicité de maintenance et les durées utiles dépendent du processus. Les valeurs indicatives recommandées sont réduites en cas de contamination ou de charges chimiques
et thermiques.
● Déterminer les durées utiles pendant le premier intervalle de fonctionnement.
● Consultez Pfeiffer Vacuum Service si vous souhaitez réduire la périodicité de maintenance.
La DEL jaune clignote : Contrôle des données de performance
Lorsque la DEL jaune clignote, cela indique qu’une maintenance peut être nécessaire.
L’usure et la durée de vie dépendent surtout de l’application. Si la capacité de pompage
n’est plus adéquate, nous recommandons d’effectuer une maintenance.
● Respectez régulièrement les données de performance de la pompe à vide.
● Appuyez sur le microbouton pour remettre à zéro le message.
Maintenance par Pfeiffer Vacuum Service
Nous recommandons que Pfeiffer Vacuum Service prenne en charge les opérations de
maintenance. Si les intervalles spécifiés sont dépassés ou si l’opération de maintenance
est mal réalisée, aucune réclamation de garantie ou de responsabilité ne sera acceptée de
la part de Pfeiffer Vacuum. Cela concerne également les pièces autres que les pièces de
rechange d’origine.
Action
Inspection
Maintenance
Intervalle
comme nécessaire ;
au moins
tous les six
mois
comme nécessaire ;
au moins tous
les 2 ans
Contrôler le silencieux à la recherche d’une contamination
éventuelle 7)
■
Tester la pompe à vide de façon optique et acoustique
■
Équipement nécessaire
Lire et analyser les données de la pompe 8)
■
Nettoyer la pompe à vide
■
Remplacer les diaphragmes et les vannes
■
Kit de révision
Remplacer le silencieux 9)
■
Silencieux
44/62
7)
si présent
8)
Pompes DC uniquement
Maintenance
Action
Inspection
Maintenance
Intervalle
comme nécessaire ;
au moins
tous les six
mois
comme nécessaire ;
au moins tous
les 2 ans
Équipement nécessaire
Réalisation du test de fonctionnement
■
Exécution de l’inspection à venir
■
Nettoyer complètement la pompe à vide
■
Changer le filtre de lest d’air 10)
■
Filtre
Remplacer les pièces d’usure
■
Diaphragmes, vannes,
soupapes, joints annulaires, silencieux
Tab. 20:
9.3
Intervalles de maintenance
Remplacement des membranes et des vannes
AVIS
Risque de dégâts matériels dus à une installation incorrecte
Si les disques d’écartement d’origine sont mal installés, le volume mort peut varier, ce qui affecte le
vide final ou endommager les paliers.
► Lors du démontage, les disques d’écartement doivent être séparés selon le lieu de mise en place.
► Réinstallez le même nombre de disques d’écartement d’origine par tête de membrane.
9.3.1
Montage/démontage du tuyau flexible d’interconnexion
Connecteurs mâle-femelle IQS
Les connecteurs mâle-femelle IQS ont 2 points de pression : Griffe de maintien et joint.
Le tuyau flexible est correctement raccordé lorsque les deux points de pression sont passés.
Conditions préalables
●
●
●
●
Pompe à membrane désactivée
Alimentation de tension déconnectée
Pompe à membrane ventilée à la pression atmosphérique
Pompe à membrane refroidie
2
1
Fig. 11:
Montage/démontage du tuyau flexible d’interconnexion
1 Bague de déblocage
9)
si présent
10)
si présent
2
Tuyau flexible
45/62
Maintenance
Dépose du tuyau flexible
1. Appuyez fermement des deux côtés sur la bague de déblocage pour ouvrir les mâchoires de
maintien uniformément et éviter de rayer le tuyau flexible.
2. Retirez tout droit le tuyau flexible et sortez-le du connecteur mâle-femelle IQS.
Montage du tuyau flexible
1. Insérez le tuyau flexible directement dans le connecteur mâle-femelle IQS pour éviter de rayer le
tuyau flexible.
2. Enfoncez le tuyau flexible dans le connecteur mâle-femelle IQS jusqu’à ce que les deux points de
pression aient été franchis.
9.3.2
Démontage du chapeau de diaphragme et des vannes
Condition préalable
● Le tuyau flexible d’interconnexion a été retiré
Outils requis
● Clé à écrou Torx, T 4
1
2
3
4
5
6
7
Fig. 12:
1
2
3
4
Chapeau de diaphragme et vannes
Vis à tête cylindrique
Couvercle de chapeau de diaphragme
Plaque de vanne
Joint annulaire (sur la tête de diaphragme 1 uniquement)
5
6
7
Plaque d’écartement
Diaphragme
Disques d’écartement
Procédure
1. Placez la pompe à membrane sur la tête de membrane opposée.
2. Dévissez les vis à tête cylindrique de la tête de membrane.
3. Enlevez la tête de membrane.
– Observez le joint annulaire côté aspiration.
4. Enlevez la plaque d’écartement.
5. Libérez les soupapes et le joint annulaire de la plaque d’écartement.
6. Soulevez légèrement la membrane sur le côté.
7. Dévissez et enlevez manuellement la membrane de la bielle.
– La membrane possède un filetage à droite.
– Faites attention aux disques d’écartement.
9.3.3
Nettoyage et remplacement des diaphragmes et des vannes
Condition préalable
● Le diaphragme et les vannes sont enlevés
Pièces de rechange requises
● Kit de remise en état
Produits consommables requis
● Chiffon sec propre
● Isopropanol
46/62
Maintenance
Procédure
1. Nettoyez les diaphragmes et les vannes avec un chiffon sec et propre.
– N’utilisez pas d’isopropanol ou un autre détergent pour nettoyer les diaphragmes et les vannes.
2. Nettoyez les sièges de vanne, la plaque intermédiaire et le couvercle de chapeau avec l’isopropanol.
3. Vérifiez les sièges de vanne, la plaque intermédiaire et le couvercle de chapeau à la recherche de
signes d'usure.
4. Remplacez toutes les pièces d’usure conformément aux ensembles de contrôle.
9.3.4
Montage du chapeau de diaphragme et des vannes
Disques d’écartement
Les disques d’écartement sont disponibles en 3 tailles :
● 8,0× 4,0 × 0,5 mm
● 8,0× 4,0 × 0,1 mm
● 8,0× 4,0 × 0,05 mm
Le nombre et la taille des disques d’écartement varie entre les chapeaux de diaphragmes.
Installez le même nombre de disques d’écartement avec la même taille sur chaque chapeau de diaphragme.
Outils requis
● Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 4
Procédure
1. Tournez la pompe à membrane de manière à ce que la tête de membrane à monter soit dirigée
vers le haut.
2. Vissez à la main le diaphragme sur la bielle.
– La membrane possède un filetage à droite.
– Faites attention aux disques d’écartement.
3. Installer les vannes et le joint annulaire dans la plaque d’écartement.
4. Positionnez la plaque d’écartement.
5. Montez la couverture de tête de membrane.
– Observez le joint annulaire côté aspiration.
6. Vissez les vis sur le couvercle de tête de membrane.
7. Montez le tuyau flexible d’interconnexion.
47/62
Mise hors service
10
Mise hors service
Avant d’arrêter la pompe à vide, respectez les instructions suivantes pour protéger de manière adéquate l’intérieur de la pompe à vide (chambre d’aspiration) contre la corrosion :
Procédure pour les arrêts temporaires de la pompe à vide
1. Laissez la pompe à vide tourner pendant 5 à 10 minutes avec le raccord à vide ouvert afin que
tout condensat éventuellement présent soit éliminé de la pompe à vide.
2. Si une substance susceptible de détériorer des matériaux ou de former des dépôts a pénétré
dans la pompe à vide, nettoyer l’intérieur des têtes de pompe.
Procédure pour les arrêts prolongés de la pompe à vide
1. Débrancher la pompe à vide du circuit de vide.
2. Si nécessaire, retirez la pompe à vide du circuit de vide.
3. Bouchez le raccord à vide avec les bouchons d’obturation d’origine.
4. Stockez la pompe à vide dans un local sec et sans poussière, dans les conditions ambiantes spécifiées.
5. Si la pompe à vide doit être stockée dans un local à l’atmosphère humide ou corrosive, emballezla dans un sac en plastique, avec un produit dessiccateur.
48/62
Recyclage et mise au rebut
11
Recyclage et mise au rebut
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
Protection de l’environnement
Vous devez mettre au rebut le produit et ses composants conformément aux directives applicables pour la protection des personnes, de l’environnement et de la nature.
● Contribuez à la réduction du gaspillage des ressources naturelles.
● Évitez toute contamination.
11.1 Informations générales sur la mise au rebut
Les produits Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables.
► Mettez au rebut nos produits en séparant :
– Fer
– Aluminium
– Cuivre
– Matière synthétique
– Composants électroniques
– Huiles et graisses, sans solvant
► Observez les mesures de sécurité spéciales pour la mise au rebut de :
– Fluoroélastomères (FKM)
– Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé
11.2
Mise au rebut des pompes à diaphragme
Les pompes à diaphragme Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables.
1. Déconnectez l’unité de commande électronique.
2. Démantelez le moteur.
3. Décontaminez les composants qui entrent en contact avec les gaz de procédé.
4. Séparez les composants en matériaux recyclables.
5. Recyclez les composants non contaminés.
6. Mettez au rebut le produit ou les composants de façon sûre en conformité avec toutes les directives applicables.
49/62
Dysfonctionnements
12
Dysfonctionnements
12.1
Généralités
ATTENTION
Danger de blessures dues aux pièces mobiles
Après une coupure d’électricité ou un arrêt dû à une surchauffe, le moteur redémarre automatiquement. Risque de blessure aux doigts et aux mains en cas d’introduction dans le domaine de travail
des pièces en rotation.
► Pour intervenir en toute sécurité, débranchez le moteur du secteur.
► Prenez des mesures pour éviter la remise en marche du moteur.
► Démontez la pompe à vide pour inspection, à l’écart du circuit de pompage si nécessaire.
ATTENTION
Risque de brûlure sur les surfaces chaudes
En cas de panne, la température à la surface de la pompe à vide peut dépasser 70 °C.
► Laissez refroidir la pompe à vide avant d’intervenir dessus.
► Portez si nécessaire des équipements de protection individuelle.
AVIS
Risque de dégâts matériels dus à une maintenance incorrecte
Une intervention non professionnelle sur la pompe à vide peut provoquer des dommages pour lesquels Pfeiffer Vacuum n’endossera aucune responsabilité.
► Il est vivement recommandé de profiter de notre offre de formation à la maintenance.
► Pour la commande de pièces de rechange, veuillez spécifier les informations sur la plaque signalétique.
Toute anomalie de la pompe à vide et de l’unité de commande électronique entraîne systématiquement
l’affichage d’un message d’alerte ou d’erreur. Dans les deux cas, un code d’erreur est émis, ce dernier
peut être lu via les interfaces de l’unité d’entraînement électronique. En cas d’erreur, la pompe à vide
s’arrête. En cas d’anomalie, des informations sur les causes possibles et leur résolution sont disponibles ici.
Outils nécessaires
● Stylet fin pour appuyer sur le micro-bouton
Remise à zéro de l’erreur
1. Déterminez la cause potentielle de l’erreur.
2. Éliminez l’erreur.
3. Remettez à zéro l’erreur sur l’appareil de commande ou sur le micro-bouton de la pompe à vide.
50/62
Problème
Causes possibles
Action corrective
La pompe à vide ne démarre pas
● Absence d’alimentation
électrique ou tension
non conforme aux spécifications du moteur
● Contrôlez la tension d’alimentation.
● Température de la pompe trop faible
● Chauffez la pompe à vide à une température > 5 °C.
● Le dispositif de protection thermique du moteur s’est déclenché
● Déterminez et éliminez la cause.
● Laissez la pompe à vide refroidir à
température ambiante.
● Membranes ou vannes
encrassées
● Nettoyez la pompe à vide.
● Surpression dans la
conduite d’échappement
● Vérifiez la conduite d’échappement et
nettoyez-la si nécessaire.
Dysfonctionnements
Problème
Causes possibles
Action corrective
La pompe à vide s’arrête peu de temps après
son démarrage
● Le dispositif de protection thermique du moteur s’est déclenché
● Déterminez et éliminez la cause.
● Laissez la pompe à vide refroidir à
température ambiante.
● Pression d’échappement trop élevée
● Contrôlez l’ouverture de la sortie de la
canalisation de refoulement ainsi que
les accessoires côté d’échappement.
● Condensats dans la
pompe à vide
● Faites fonctionner la pompe à vide
pendant une période prolongée à la
pression atmosphérique et si nécessaire avec la soupape de lest d’air ouverte.
● Soupape de lest d’air
ouverte
● Fermez la soupape de lest d’air.
● Contamination des vannes ou des membranes
● Nettoyez les vannes et les membranes ou remplacez-les si nécessaire.
● Fuite dans le système
● Localisez et éliminez la fuite.
● Conduite d’aspiration
mal dimensionnée
● Vérifiez que les raccordements sont
aussi courts que possible et que les
sections droites des conduites sont
correctement dimensionnées.
● Pression d’échappement trop élevée
● Vérification de l’ouverture de la sortie
de la canalisation de refoulement ainsi
que les accessoires côté d’échappement.
● Vannes ou membranes
défectueuses
● Nettoyez les vannes et les membranes ou remplacez-les si nécessaire.
● Chambre d’aspiration
encrassée
● Nettoyez la chambre d’aspiration.
● Silencieux mal fixé ou
manquant.
● Vérifiez le silencieux et remplacez-le si
nécessaire.
● Vannes sales ou défectueuses
● Nettoyez les vannes et les membranes ou remplacez-les si nécessaire.
● Bielle ou paliers du moteur défectueux
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
La pompe à vide n’atteint pas la pression limite spécifique
Débit de pompage de la
pompe à vide trop faible
Bruits de fonctionnement inhabituels
Tab. 21:
12.2
Dépannage sur les pompes à membrane
Codes d’erreur
Les erreurs (** Error E–––– **) entraînent toujours la mise hors circuit de la pompe à vide.
Les avertissements (* Warning F –––– *) n’entraînent pas la mise hors circuit de la pompe à vide.
Traitement des messages d’anomalie
1. Lisez les codes d’erreur via les appareils de commande Pfeiffer Vacuum ou un PC.
2. Éliminez la cause de l’anomalie.
3. Remettez à zéro le message d’anomalie avec le paramètre [P:009].
– Utilisez les interfaces préconfigurées ou les vignettes d’écran sur les appareils de commande
Pfeiffer Vacuum.
Code
d’erreur
Problème
Causes possibles
Remède
Err021
Pompe à vide inconnue
Erreur logicielle
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service
Err042
Logiciel incompatible
Erreurs de somme
de contrôle
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service
Err044
Température supérieure à la normale de
l’électronique (≥ 80 ℃)
Refroidissement insuffisant
● Améliorez le refroidissement
● Vérifiez les conditions de fonctionnement
Err091
Équipement inconnu
-
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service
Err094
Température de l’électronique inadmissible
Température < 25 °C
ou > 125 °C
● Vérifiez les conditions de fonctionnement
51/62
Dysfonctionnements
Code
d’erreur
Problème
Causes possibles
Remède
Err098
Erreur interne de communication entre
l’unité de procédé MVP et l’entraînement
-
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service
Err117
Température supérieure à la normale de la
pompe à vide (> 85 °C)
Refroidissement insuffisant
● Améliorez le refroidissement
● Vérifiez les conditions de fonctionnement
Err173
Courant trop fort pompe à vide
-
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service
Err174
Pompe à vide bloquée
-
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service
Err698
Erreur de communication de l’unité de procédé MVP
-
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service
Tab. 22:
Messages d’erreur pour la pompe à vide
Code d’erreur
Problème
Causes possibles
Remède
Wrn042
Maintenance
-
● Effectuez la maintenance de la pompe à vide.
● Remettez à zéro l’erreur sur le micro-bouton de la
pompe à vide.
Wrn044
Température élevée de
l’électronique (≥ 70 ℃)
● Refroidissement
insuffisant
● Améliorez le refroidissement
● Vérifiez les conditions de fonctionnement
Wrn117
Température élevée de la
pompe à vide (≥ 75 °C)
● Refroidissement
insuffisant
● Améliorez le refroidissement
● Vérifiez les conditions de fonctionnement
Tab. 23:
52/62
Messages d’avertissement pour la pompe à vide
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
13
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
Nous offrons un service de première classe
Une longue durée de vie des composants du vide, associée à des temps d’arrêt réduits, sont ce que
vous attendez clairement de nous. Nous répondons à vos besoins par des produits efficaces et un service d’exception.
Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux
composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit
Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien
évidemment.
Nos ingénieurs commerciaux et techniciens de service professionnels sont à votre disposition pour
vous assurer un soutien pratique dans le monde entier. Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de
services, allant des pièces de rechange d’origine aux accords de service.
Profitez du service Pfeiffer Vacuum
Qu'il s’agisse du service préventif sur place de notre service sur site, du remplacement rapide par des
produits de rechange comme neufs ou de la réparation dans un centre de service proche de chez
vous ; vous disposez d'une variété d’options pour maintenir la disponibilité de votre équipement. Vous
trouverez des informations détaillées ainsi que les adresses sur notre site web dans la section Pfeiffer Vacuum Service.
Des conseils sur la solution optimale sont disponibles auprès de votre interlocuteur Pfeiffer Vacuum.
Pour un déroulement rapide et efficace de la procédure de service, nous recommandons de suivre les étapes suivantes :
1. Télécharger les modèles de formulaire actuels.
─ Déclaration de demande de service
─ Demande de service
─ Déclaration de contamination
a) Démonter tous les accessoires et les conserver (toutes les pièces externes
montées telles que la vanne, le filtre d’arrivée, etc.).
b) Vidanger le fluide d'exploitation / lubrifiant si nécessaire.
c) Vidanger le fluide de refroidissement si nécessaire.
2. Remplir la demande de service et la déclaration de contamination.
ANFORDERUNG SERVICE
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
3. Envoyer les formulaires par e-mail, fax ou par courrier à votre centre de service local.
4. Vous recevrez une réponse de Pfeiffer Vacuum.
Envoi de produits contaminés
Aucune unité ne sera acceptée si elle est contaminée par des substances micro-biologiques, explosives
ou radioactives. Si les produits sont contaminés ou si la déclaration de contamination est manquante,
Pfeiffer Vacuum contactera le client avant de démarrer la maintenance. Par ailleurs, selon le produit et
le niveau de contamination, des frais de décontamination supplémentaires peuvent être facturés.
53/62
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails contenus dans la déclaration de contamination.
a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec.
b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air.
c) Sceller le produit dans un film de protection approprié.
d) Emballer le produit dans des conteneurs de transport stables appropriés uniquement.
e) Respecter les conditions de transport en vigueur.
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
6. Joindre la déclaration de contamination sur l’extérieur de l’emballage.
7. Envoyer ensuite le produit à votre centre de service local.
8. Vous recevrez un message de confirmation / un devis de la part de
Pfeiffer Vacuum.
Pour toutes les demandes de service, nos Conditions générales de vente et de livraison ainsi que nos
Conditions générales de réparation et de maintenance sont appliquées aux équipements et composants du vide.
54/62
Lots de pièces de rechange
14
Lots de pièces de rechange
Commande de lots de pièces de rechange
► Si nécessaire, conservez à portée de main la référence de pièce de la pompe à vide ainsi que
tous les détails nécessaires de la plaque signalétique.
► Installez uniquement des pièces de rechange d’origine.
► Pour commander le kit de révision, observez la référence de pièce correspondant de la pompe à
membrane.
1 2
3
4
11
5
6
7
8
10
Fig. 13:
1
2
3
4
9
Pièces de rechange
Raccordement entre les têtes, sur angle
Soupape de lest d’air
Filtre pour lest d’air
Couvercle de chapeau
5 Plaque de vanne 12)
6 Joint annulaire (uniquement sur la tête de diaphragme
1) 13)
7
8
9
10
11
Plaque d’écartement
Diaphragme 11)
Disques d’écartement
Raccordement entre les têtes, construction droite (3×)
Silencieux
Numéro de commande
Champ de sélection
PK 050 368
Silencieux pour MVP Neo R 1/8 po.
PU E22 030 -T
Lot de révision pour MVP 010-3 DC
PU E22 043 -T
Lot de pièces de rechange : plaque d’écartement pour MVP 010-3 DC Neo
PU E22 044 -T
Lot de pièces de rechange : couvercle de chapeau (avec lest d’air) pour
MVP 010-3 DC Neo
PU E22 045 -T
Lot de pièces de rechange : couvercle de chapeau (sans lest d’air) pour
MVP 010-3 DC Neo
PU E22 046 -T
Lot de pièces de rechange : raccordement entre les têtes (angle) pour MVP
010-3 DC Neo
PU E22 047 -T
Lot de pièces de rechange : raccordement entre les têtes (droit) pour MVP
010-3 DC Neo
P 4131 026
Raccord rapide filetage 1/8 po. joint pour raccord de tuyau (8/6 mm) inclus
P 4131 029
Raccord à vis G 1/8" avec joint pour raccord de tuyau (8/6 mm)
P 4131 030
Raccord à vis enfichable en T 1/8", y compris joint d’étanchéité de raccord
de tuyau (8/6 mm)
Tab. 24:
Pièces de rechange
11)
Inclus dans le kit de révision
12)
Inclus dans le kit de révision
13)
Inclus dans le kit de révision
55/62
Accessoires
15
Accessoires
15.1
Informations sur l’accessoire
Appareil de commande
Appareil de commande universel pour tous les produits avec le protocole RS-485 Pfeiffer Vacuum.
Unités de courant
L’alimentation de tension est fournie par les unités de courant pour une fixation murale et sur rails standards ou pour un montage sur cadre.
Câbles et adaptateurs
Les câbles secteur, interface, raccordement et rallonge offrent un raccordement sûr et adapté. Autres
longueurs disponibles sur demande
Raccords de tuyau
Raccords de tuyau avec adaptateurs pour le raccordement à une pompe turbomoléculaire
Bride mâle filetée
Bride mâle filetée, avec joint pour le côté aspiration de la pompe à vide
15.2
Commande d’accessoires
Variantes OmniControl
Pour les autres variantes OmniControl, reportez-vous au site Web Pfeiffer Vacuum.
Numéro de commande
Champ de sélection
PK 050 108 -T
Bride mâle filetée DN 16 ISO-KF/filetage 1/8 po, joint inclus
PK 050 368
Silencieux pour MVP Neo R 1/8 po.
P 4131 026
Raccord rapide filetage 1/8 po. joint pour raccord de tuyau (8/6 mm) inclus
P 4131 030
Raccord à vis enfichable en T 1/8", y compris joint d’étanchéité de raccord
de tuyau (8/6 mm)
P 4131 029
Raccord à vis G 1/8" avec joint pour raccord de tuyau (8/6 mm)
PM 061 340 -T
TPS 110, unité de courant pour installation murale/sur rail standard
PM 061 344 -T
TPS 111, unité de courant 19", unité enfichable 3HU
PE D40 000 0
OmniControl 001, unité châssis sans unité de courant intégrée, 24 V DC
PE D50 000 0
OmniControl 200, unité châssis avec unité de courant intégrée, pas de data, pas d’option jauge/IO
PT 440 950 -T
OmniControl 200 avec TPR 270
P 4723 010
Raccord en Y M12 pour RS-485
PE 100 013 -T
Câble de raccordement MVP-TC-TPS, 3 m
PM 061 283 -T
Câble d’interface, M12 m droit/M12 m droit, 3 m
PM 061 350 -T
Câble de raccordement de l’unité de courant 24V / 48V vers l’unité de commande électronique. Avec une interface RS-485
PM 061 543 -T
Câble de raccordement pour HiPace avec TC 110/120
Tab. 25:
56/62
Accessoires MVP 010-3 DC Neo
Caractéristiques techniques et dimensions
16
Caractéristiques techniques et dimensions
16.1
Généralités
Fondement des données techniques des pompes à membrane Pfeiffer Vacuum :
● Spécifications conformément au comité PNEUROP PN5
● ISO 21360:2012 : « Technique du vide - Méthodes normalisées pour mesurer les performances
des pompes à vide - Description générale »
Les normes harmonisées suivantes sont respectées :
● CEI 61010-1
● UL 61010-1
● CSA 61010-1
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr | mm Hg
0,75
mbar
1
1 · 10
100
1
0,1
bar
1000
1
1 · 105
1000
100
Pa
0,01
1 · 10
1
0,01
1 · 10
7,5 · 10-3
hPa
1
1 · 10-3
100
1
0,1
0,75
kPa
10
0,01
1000
10
1
7,5
Torr | mm Hg
1,33
133,32
1,33
0,133
1
-3
-5
-3
1,33 · 10
1 Pa = 1 N/m
Tab. 26:
2
Tableau de conversion : Unités de pression
mbar l/s
Pa m3/s
sccm
Torr l/s
atm cm3/s
mbar l/s
1
0,1
59,2
0,75
0,987
Pa m3/s
10
1
592
7,5
sccm
3
atm cm /s
Tab. 27:
9,87
1,69 · 10
1,69 · 10
1
1,27 · 10
1,67 · 10-2
1,33
0,133
78,9
1
1,32
1,01
0,101
59,8
0,76
1
-2
Torr l/s
16.2
750
-3
-3
-2
Tableau de conversion : Unités de débit du gaz
Fiche technique
Désignation du type
MVP 010-3
MVP 010-3
MVP 010-3
MVP 010-3
Numéro de commande
PK T05 074
PK T05 079
PK T05 085
PK T05 086
Nombre d’étages de
pompage
À trois étages
À trois étages
À trois étages
À trois étages
Bride de raccordement
(entrée)
G 1/8"
G 1/8"
G 1/8"
G 1/8"
Bride de raccordement
(sortie)
Filetage 1/8 po.
avec silencieux
(ensemble séparé)
Filetage 1/8 po.
avec silencieux
(ensemble séparé)
G 1/8''
Filetage 1/8 po.
avec silencieux
(ensemble séparé)
Vitesse de pompage
0,6 m³/h
0,6 m³/h
0,6 m³/h
0,6 m³/h
Lest d’air
Oui
Non
Non
Non
Pression limite
1 hPa
1 hPa
1 hPa
1 hPa
Pression d'entrée
1100 hPa
1100 hPa
1100 hPa
1100 hPa
Pression d'échappement, max.
1300 hPa
1300 hPa
1300 hPa
1300 hPa
Taux de fuite intégral
5 · 10-4 Pa m³/s
5 · 10-4 Pa m³/s
5 · 10-4 Pa m³/s
5 · 10-4 Pa m³/s
Interfaces I/O
RS485
RS485
RS485
RS485
57/62
Caractéristiques techniques et dimensions
Désignation du type
MVP 010-3
MVP 010-3
MVP 010-3
MVP 010-3
Tension(s) d’entrée
24 V CC (±10 %)
24 V CC (±10 %)
24 V CC
(±10 %)
24 V CC (±10 %)
Consommation de courant nominale
1,3 A
1,3 A
1,3 A
1,3 A
Courant, max.
2,5 A
2,5 A
2,5 A
2,5 A
Courant de court-circuit
de la source, max.
45 A
45 A
45 A
45 A
Vitesse de rotation nominale
1800 rpm
1800 rpm
1800 rpm
1800 rpm
Vitesse de rotation
540 – 3000 rpm
540 – 3000 rpm
540 – 3000 rpm
540 – 3000 rpm
Type de refroidissement
Convection naturelle
Convection naturelle
Convection naturelle
Convection naturelle
Protection du moteur
Électroniquement
Électroniquement
Électroniquement
Électroniquement
Altitude de fonctionnement, max.
2000 m
2000 m
2000 m
2000 m
Type de protection
IP20
IP20
IP20
IP20
Température ambiante
5 – 40 °C
5 – 40 °C
5 – 40 °C
5 – 40 °C
Température : stockage
5 – 40 °C
5 – 40 °C
5 – 40 °C
5 – 40 °C
Température : transport
-10 – 60 °C
-10 – 60 °C
-10 – 60 °C
-10 – 60 °C
Niveau de la pression
acoustique
50 dB(A)
50 dB(A)
50 dB(A)
50 dB(A)
Interrupteur
Non
Non
Non
Non
Câble d'alimentation
fourni
Non
Non
Non
Non
Poids
2 kg
2 kg
2 kg
2 kg
Certification
Certifié cTUVus
selon UL / CSA
61010-1
Certifié cTUVus
selon UL / CSA
61010-1
Certifié cTUVus
selon UL / CSA
61010-1
Certifié cTUVus
selon UL / CSA
61010-1
Tab. 28:
16.3
Substances en contact avec la substance à pomper
Pièces de la pompe
Substances en contact avec la substance à
pomper
Diaphragme
EPDM
Vannes
EPDM
Couvercle de chapeau
Aluminium
Raccord de tuyau
PVC
Raccord à vis enfichable
Nickelé CuZn
Raccord à vis droit sur le tuyau flexible d’aspiration
Nickelé CuZn
Tuyau d’aspiration
PE
Échappement, silencieux
PA
Tab. 29:
58/62
Fiche technique MVP 010-3 DC Neo
Matières entrant en contact avec la substance du procédé
Caractéristiques techniques et dimensions
16.4 Dimensions
35
68.5
173
195
105
45
45
5
24
44
102.5
Silencer G 1/8"
75
Inlet G 1/8"
Fig. 14:
Dimensions MVP 010-3 DC Neo
Dimensions en mm
59/62
Déclaration de conformité CE
Déclaration pour produit(s) du type :
Pompe à diaphragme
MVP 010-3 DC Neo
Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes.
Machines 2006/42/CE (Annexe II, nº 1 A)
Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE
Restrictions d’utilisation de certaines substances dangereuses, directive déléguée
2015/863/UE
Standards harmonisés et standards et spécifications nationaux appliqués :
EN 61010-1:2010 + A1:2019 + A1:2019/AC:2019
EN IEC 61000-6-2:2019
EN 1012-2:1996 + A1:2009
EN IEC 61000-6-3:2021
EN ISO 12100:2010
EN IEC 63000:2018
EN IEC 61326-1:2021 classe A
Le représentant habilité à constituer la documentation technique est Dr. Adrian Wirth, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Asslar, Allemagne.
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Directeur général
Asslar, 2024-09-01
Déclaration de Conformité UK
La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant.
Déclaration pour produit(s) du type :
Pompe à diaphragme
MVP 010-3 DC Neo
Nous déclarons par la présente que le produit cité satisfait à toutes les exigences applicables des Directives Britanniques suivantes.
Réglementation 2008 (Sécurité) sur la Fourniture de Machines
Réglementation 2016 sur la Compatibilité Electromagnétique
Réglementation 2012 sur la Limitation de l'Utilisation de Certaines Substances Dangereuses dans les Equipements Electriques et Electroniques
Standards et spécifications appliqués :
EN 61010-1:2010 + A1:2019 + A1:2019/AC:2019
EN 1012-2:1996 + A1:2009
EN ISO 12100:2010
EN IEC 61326-1:2021 classe A
EN IEC 61000-6-2:2019
EN IEC 61000-6-3:2021
EN IEC 63000:2018
Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitution du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park,
MK169PS Newport Pagnell.
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Directeur général
Asslar, 2024-09-01
*PU0121*
ed. A - Date 2502 - P/N:PU0121BFR
">