Pfeiffer IV 16 M Mode d'emploi

MANUEL DE L'UTILISATEUR
FR
Traduction d'original
IV 16 M
Soupape de sécurité côté vide
Cher Client,
Nous vous remercions d’avoir opté pour un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouvel accessoire
Pfeiffer Vacuum vous donnera entière satisfaction pour votre application, de par sa
conception rigoureuse et son parfait fonctionnement. La marque Pfeiffer Vacuum, synonyme
de techniques du vide performantes, se décline en une gamme exhaustive et variée de
produits de grande qualité, assortis d’un service client irréprochable. En capitalisant sur notre
expertise, nous avons développé une multitude de compétences qui contribuent à la sécurité
et à l’efficacité de mise en œuvre de nos produits.
Nous sommes convaincus que notre produit sera à la hauteur de vos attentes : une solution
efficace et fonctionnelle pour votre application, sans perturber votre activité.
Veuillez lire ce mode d’emploi avant de mettre votre produit en service pour la première fois.
Pour toute question ou suggestion, n’hésitez pas à nous contacter par e-mail à l’adresse
info@pfeiffer-vacuum.de.
Vous trouverez d’autres modes d’emploi de Pfeiffer Vacuum dans le Centre de
téléchargement sur notre site Internet.
Exclusion de responsabilité
Ce manuel d'instructions décrit tous les modèles et variantes de votre produit. Noter que
votre produit peut ne pas être équipé de toutes les fonctionnalités décrites dans ce manuel.
Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le
manuel d'utilisation en ligne peut différer du document imprimé, fourni avec votre produit.
D'autre part, Pfeiffer Vacuum n'assume aucune responsabilité pour les dommages résultant
d'une utilisation contraire à l'usage prévu, ou d'une utilisation définie comme mauvaise
utilisation prévisible.
Droits d’auteur (Copyright)
Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce
document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits
ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations
contenues dans ce document.
2/26
Table des matières
Table des matières
1
A propos de ce manuel
1.1 Validité
1.2 Documents applicables
1.3 Variantes
1.4 Public visé
1.5 Conventions
1.5.1 Instructions dans le texte
1.5.2 Autocollants sur le produit
1.5.3 Abréviations
1.6 Justificatif de marque du produit
6
6
6
6
6
6
6
7
7
7
2
Sécurité
2.1 Consignes générales de sécurité
2.2 Mesures de sécurité
2.3 Limites d’utilisation du produit
2.4 Utilisation conforme
2.5 Utilisations non conformes prévisibles
2.6 Qualification personnelle
8
8
8
9
9
9
9
3
Description du produit
3.1 Description fonctionnelle
3.2 Identification du produit
3.3 Étendue de la livraison
11
11
11
11
4
Installation
4.1 Montage de la soupape de sécurité côté vide dans la conduite de vide primaire
4.2 Montage de la vanne en tant que soupape de sécurité côté vide
4.3 Raccordement électrique à la pompe turbomoléculaire
4.4 Raccordement électrique à HiScroll
4.5 Raccordement électrique au raccord de vanne
13
13
Fonctionnement
5.1 Fonctionnement de la soupape de sécurité côté vide sur la pompe turbomoléculaire
5.2 Fonctionnement de la soupape de sécurité côté vide sur HiScroll
19
19
6
Accessoires
21
7
Caractéristiques techniques et dimensions
7.1 Généralités
7.2 Fiche technique
7.3 Substances en contact avec le fluide
7.4 Dimensions
22
22
22
22
23
Déclaration de conformité CE
24
Déclaration de Conformité UK
25
5
14
15
16
17
20
3/26
Liste des tableaux
Liste des tableaux
Tab. 1:
Tab. 2:
Tab. 3:
Tab. 4:
Tab. 5:
Tab. 6:
Documents applicables
Variantes
Autocollants sur le produit
Abréviations utilisées dans ce document
Conditions de fonctionnement et ambiantes admissibles
Réglages des paramètres dans l’unité de commande électronique de la
pompe turbomoléculaire
Tab. 7:
Réglages des paramètres dans l’unité de commande électronique de la
pompe Scroll
Tab. 8:
Accessoires en option
Tab. 9:
Tableau de conversion : unités de débit de gaz
Tab. 10: Fiche technique de la soupape de sécurité côté vide
Tab. 11: Matériaux entrant en contact avec le fluide de procédé
4/26
6
6
7
7
9
19
19
21
22
22
22
Liste des figures
Liste des figures
Fig. 1:
Fig. 2:
Fig. 3:
Fig. 4:
Fig. 5:
Fig. 6:
Fig. 7:
Fig. 8:
Fig. 9:
Fig. 10:
Position de l’autocollant sur le produit
Structure de la soupape de sécurité côté vide
Exemple : Montage de la soupape de sécurité côté vide avec les vis de fixation
Exemple : Montage de la soupape de sécurité côté vide avec l’anneau de
serrage
Montage de la vanne sur la pompe à vide en tant que soupape de sécurité
côté vide
Raccordement électrique à HiPace 80 Neo
Raccordement électrique à HiScroll
Prise de câble de raccordement
Diagramme illustrant la commande de la vanne
Dimensions IV 16 M
7
11
13
14
15
16
17
18
20
23
5/26
A propos de ce manuel
1 A propos de ce manuel
IMPORTANT
Bien lire avant d'utiliser le produit.
Conserver ce manuel pour une future utilisation.
1.1
Validité
Ce manuel de l'utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le produit et ses
fonctions et présente les informations importantes à connaître pour une utilisation sécurisée de l'appareil. La description est effectuée selon les directives en vigueur. Toutes les informations fournies dans
ce manuel de l'utilisateur correspondent au niveau de développement actuel du produit. La documentation est valide dans la mesure où le client n'a pas apporté de modifications au produit.
1.2
Documents applicables
Désignation
Document
Déclaration de conformité
Un composant de ce manuel de l’utilisateur
Tab. 1:
Documents applicables
Vous trouverez ces documents dans le Centre de téléchargement Pfeiffer Vacuum.
1.3
Variantes
Référence
Raccordement
Caractéristique
Pression différentielle
PD Z10 050
Pièce de réduction
DN 25 / DN 16
sans réduction de
tension
enclenchement sûr à partir de
∆p < 50 mbar
PM Z01 382
DN 16 ISO-KF / 3/8"
avec réduction de
tension
enclenchement sûr à partir de
∆p < 50 mbar
PM Z01 383
DN 16 ISO-KF / 3/8"
avec réduction de
tension
enclenchement sûr à la pression atmosphérique
Tab. 2:
1.4
Variantes
Public visé
Ce manuel de l’utilisateur est destiné aux personnes qui
● installent,
● utilisent.
Les actions présentées dans ce document s’adressent uniquement aux personnes ayant suivi une formation technique convenable (niveau expert) ou une formation équivalente de Pfeiffer Vacuum.
1.5
Conventions
1.5.1
Instructions dans le texte
Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à
réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes.
Action unique
Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape.
► Il s'agit d’une étape unique.
6/26
A propos de ce manuel
Action en plusieurs étapes
Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique.
1. Étape 1
2. Étape 2
3. ...
1.5.2
Autocollants sur le produit
Cette section décrit tous les autocollants sur le produit ainsi que leurs significations.
D-35614 Asslar
Plaque signalétique de bobine de vanne (exemple)
La plaque signalétique se trouve sur la bobine de vanne
Plaque signalétique du corps de vanne
La plaque signalétique du corps de vanne se trouve sur le côté
Berliner Str. 43
Mod. IV 16 M
P/N PM Z01 382
S/N xxxxxxxxx
DN 16 ISO-KF / G 3/8”
24 V 14 W - 100%ED
Mass 0.47 kg
Made in Germany 22xx/xx
Tab. 3:
Autocollants sur le produit
1
3
2
Fig. 1:
Position de l’autocollant sur le produit
1 Plaque signalétique de la bobine de vanne
2 Plaque signalétique du corps de vanne
1.5.3
Flèche de direction de flux gravée au laser
Abréviations
Abréviation
Signification dans ce document
DC
Courant continu
DuC
Cycle de travail
IV
Vanne d’isolement
[P:xxx]
Paramètres de commande de l’unité de commande électronique. Inscrits en gras sous
forme de nombre à trois chiffres entre crochets. Souvent associés à une courte description.
Exemple : [P:312] version logicielle
WAF
Largeur sur pans
USB
Bus universel en série
Tab. 4:
1.6
3
Abréviations utilisées dans ce document
Justificatif de marque du produit
● Hirschmann® est une marque de produit Hirschmann GmbH.
7/26
Sécurité
2 Sécurité
2.1
Consignes générales de sécurité
Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit :
DANGER
Danger direct et imminent
Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVERTISSEMENT
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
ATTENTION
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVIS
Obligation ou signalement
Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure
physique.
► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels
Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le
produit ou le présent document.
2.2
Mesures de sécurité
Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels
Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit.
Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du
produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document.
Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit
La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit
d'origine ou installe un équipement supplémentaire
● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le
cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives
européennes applicables avant de mettre en service ce système.
Mesures de sécurité générales lors de la manipulation du produit
► Respectez toutes les dispositions de sécurité et de prévention des accidents en vigueur.
► Contrôlez régulièrement que toutes les mesures de sécurité sont respectées.
► Ne débranchez jamais les fiches de raccordement en cours de fonctionnement.
► Tenez les conduites et les câbles éloignés des surfaces chaudes (> 70 °C).
8/26
Sécurité
► Consultez le degré de protection de l’unité avant son installation ou fonctionnement dans d’autres
environnements.
► N’effectuez pas de modification ou de conversion arbitraire de l’unité.
2.3
Limites d’utilisation du produit
Paramètre
Tension d’alimentation
24 V/CC ±10 %
Température ambiante admissible avec une puissance de commutation
de 11 W
max. +35 °C
Température ambiante admissible avec une puissance de commutation
de 14 W
max. +40 °C
Température ambiante admissible avec une puissance de commutation
de 44 W
max. +33 °C
Domaine de pression autorisé
0 – 1000 hPa (absolu)
Degré de protection
IP54
Humidité relative de l’air
≤ 85 %, sans condensation
Tab. 5:
Conditions de fonctionnement et ambiantes admissibles
Remarques concernant les conditions ambiantes
Les températures ambiantes admissibles spécifiées dépendent de la puissance de commutation dans chaque cas. En cas de températures ambiantes supérieures, la soupape de sécurité côté vide (PM Z01 383) chauffe à une température > 60 °C dans la zone de l’écrou
moleté.
● Dans ce cas, installez une protection contre tout contact.
2.4
Utilisation conforme
► Utilisez une soupape de sécurité côté vide au niveau du raccord de vide primaire comme protection contre toute mise à l'air inopinée d’une pompe turbomoléculaire après la mise hors tension de
la pompe primaire.
► Utilisez une soupape de sécurité côté vide comme protection contre toute mise à l'air inopinée
après la mise hors tension de la pompe à vide.
2.5
Utilisations non conformes prévisibles
Toute utilisation non conforme du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité.
Toute utilisation non conforme à l’objectif du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée
comme non réglementaire, en particulier :
● Utilisation de fluides corrosifs pour les matériaux entrant en contact avec les fluides
● Raccordement sur des pompes à vide et des unités non conçues dans ce but selon leur manuel
de l’utilisateur
● Utilisation d’accessoires ou de pièces de rechange non répertoriés dans ces instructions
● Utilisation d’une tension d'alimentation différente de celle indiquée sur la fiche technique
● Raccordement sur des unités avec des pièces nues sous tension
2.6
Qualification personnelle
L'utilisation décrite dans ce document doit être confiée à des personnes disposant des qualifications
professionnelles adéquates et de l'expérience nécessaire ou qui ont suivi la formation requise dispensée par Pfeiffer Vacuum.
Formation du personnel
1. Former le personnel technique sur le produit.
2. Ne laisser le personnel à former travailler avec et sur le produit que sous la supervision d'un personnel qualifié.
9/26
Sécurité
3. Seul un personnel technique formé est autorisé à travailler avec le produit.
4. Avant de commencer à travailler, s'assurer que le personnel engagé a lu et compris ce mode
d'emploi et tous les documents pertinents, en particulier les informations relatives à la sécurité, à
l'entretien et à la réparation.
10/26
Description du produit
3 Description du produit
3.1
Description fonctionnelle
La soupape de sécurité côté vide est une électrovanne 2/2 voies à action directe. En l'absence de courant, elle est fermée.
● Avec les pompes à vide qui évacuent directement dans l'atmosphère, la soupape de sécurité côté
vide bloque la conduite d'alimentation de la chambre à vide et protège contre les remontées de
pression imprévues.
● Avec les pompes turbomoléculaires, la soupape de sécurité côté vide de la conduite à vide primaire protège le vide de procédé et la pompe turbomoléculaire contre toute mise à l'air et tout retour de fluide inopinés après la mise hors tension de la pompe primaire ou en cas de panne de
courant.
3
2
1
7
6
5
Fig. 2:
1
2
3
4
3.2
4
Structure de la soupape de sécurité côté vide
Vis moletée
Flèche de direction de flux
Bobine de vanne
Côté sortie, G 3/8"/DN 16
5
6
7
Côté entrée, G 3/8"/DN 16
Trou de fixation, M6
Raccordement électrique
Identification du produit
► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, toujours conserver à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique.
► Pour plus d'informations sur les certifications, se référer aux libellés correspondants sur le produit
ou consulter www.certipedia.com avec l'ID de société 000021320.
3.3
Étendue de la livraison
Le volume de livraison inclut les pièces suivantes :
PM Z01 382 :
● Corps de vanne
● Bobine de vanne
● Manuel de l’utilisateur
PM Z01 383 :
● Corps de vanne
● Bobine de vanne
● Manuel de l’utilisateur
11/26
Description du produit
PD Z10 050 :
●
●
●
●
12/26
Corps de vanne avec bobine de vanne
Pack de fixation avec composants d’installation
1 x câble préconfiguré avec AccessLink et prise de câble
Manuel de l’utilisateur
Installation
4 Installation
4.1 Montage de la soupape de sécurité côté vide dans la conduite de vide
primaire
AVIS
Perte d’étanchéité due à une installation incorrecte des raccordements de gaz
Une propreté inadéquate lors de la manutention des raccords tubulaires va entraîner des fuites et
des dommages potentiels sur le procédé.
► Portez toujours des gants qui conviennent avant de toucher ou d’installer des composants.
► Installez tous les joints à sec et sans graisse.
► Contrôlez les surfaces endommagées et les surfaces d’étanchéité.
► Remplacez tous les composants endommagés.
Conditions préalables
● Pompe turbomoléculaire mise hors circuit et à l'air
Outils nécessaires
● Clé hexagonale, WAF 5
● Clé dynamométrique calibrée (couple de serrage ≤ 1,6)
Accessoires requis
● Anneau de centrage avec joint torique
● 2 vis à tête cylindrique
2
1
3
4
6
Fig. 3:
5
Exemple : Montage de la soupape de sécurité côté vide avec les vis de fixation
1 Anneau de centrage avec joint torique
2 Bobine de vanne
3 Vis moletée avec rondelle
4
5
6
Vis à tête cylindrique
Corps de vanne
Raccord de vide primaire de la pompe turbomoléculaire
Montage du corps de vanne
1. Tenez compte de la direction du flux lors du choix de l’orientation de montage.
2. Desserrez la vis moletée de la bobine de vanne et tournez-la à la position de raccordement voulue.
3. Resserrez la vis moletée.
13/26
Installation
4. Montez le corps de vanne avec l’anneau de centrage et les vis à six pans creux sur le raccord de
vide primaire.
5. Serrez les deux vis à six pans creux de manière uniforme.
– Couple de serrage : 2,0 Nm
1
2
4
3
5
6
12
7
11
Fig. 4:
1
2
3
4
5
6
10
9
8
Exemple : Montage de la soupape de sécurité côté vide avec l’anneau de serrage
Anneau de centrage avec joint torique
Composant à petite bride ISO-KF
Bobine de vanne
Vis moletée
Piston de vanne
Presse en C
7
8
9
10
11
12
Composant à petite bride DN 16
Anneau de centrage
Corps de vanne
Presse en C
Anneau de serrage
Raccord de vide primaire de la pompe turbomoléculaire
Montage du corps de vanne
1. Tenez compte de la direction du flux lors du choix de l’orientation de montage.
2. Montez le corps de vanne avec l'anneau de centrage, les composants à petite bride et l’anneau
de serrage sur le raccord de vide primaire de la pompe turbomoléculaire.
3. Placez la bobine de vanne sur le piston de vanne et tournez-la à la position de raccordement voulue.
4. Resserrez la vis moletée.
5. Montez les composants à petite bride correspondant au type d’installation, sur le côté raccordement de la pompe primaire.
4.2
Montage de la vanne en tant que soupape de sécurité côté vide
AVIS
Perte d’étanchéité due à une installation incorrecte des raccordements de gaz
Une propreté inadéquate lors de la manutention des raccords tubulaires va entraîner des fuites et
des dommages potentiels sur le procédé.
► Portez toujours des gants qui conviennent avant de toucher ou d’installer des composants.
► Installez tous les joints à sec et sans graisse.
► Contrôlez les surfaces endommagées et les surfaces d’étanchéité.
► Remplacez tous les composants endommagés.
Conditions préalables
● Pompe à vide mise hors circuit et à l’air
14/26
Installation
Outils nécessaires
● Clé hexagonale, WAF 5
● Clé dynamométrique calibrée (couple de serrage ≤ 1,6)
Accessoires requis
● Anneau de serrage
2
3 4
1
5
6
7
Fig. 5:
1
2
3
4
Montage de la vanne sur la pompe à vide en tant que soupape de sécurité côté vide
Pompe à vide, par ex. HiScroll
Presse en C
Anneau de centrage
Pièce de réduction DN 25/16
5
6
7
Anneau de serrage
Bobine de vanne
Raccord de vide de la pompe primaire
Procédure
1. Veillez à ce que la position d’installation de la vanne soit correcte.
2. Montez la pièce de réduction avec l'anneau de centrage et la presse en C sur le corps de vanne
des deux côtés.
3. Montez le corps de vanne avec la pièce de réduction et l’anneau de serrage au dos du raccord de
vide de la pompe primaire.
– Faites attention à l’anneau de centrage.
4.3
Raccordement électrique à la pompe turbomoléculaire
AVIS
Dommages matériels dus aux dispositifs électroniques d’autres constructeurs
Les raccordements des accessoires sur la pompe à vide ne sont pas conformes aux exigences standards USB. L’affectation des raccordements n’est pas conforme aux standards. En fonction de leur
configuration, la tension d’alimentation 24 V DC peut endommager ou détruire les dispositifs électroniques d’autres constructeurs, par exemple un ordinateur-tablette.
► Ne raccordez pas de dispositifs électroniques d’autres constructeurs sur les raccordements des
accessoires.
► Utilisez seulement les connecteurs pour les accessoires spécifiques à la pompe.
Outils nécessaires
● Tournevis cruciforme
● Clé dynamométrique (≤ 0,2 Nm)
Équipement nécessaire
● Câble préconfiguré avec AccessLink
15/26
Installation
1
2
3
4
6
Fig. 6:
5
Raccordement électrique à HiPace 80 Neo
1 Pompe turbomoléculaire
2 Bobine de vanne
3 Prise de câble
4
5
6
Corps de vanne
Raccord d’accessoire « C1 »
Raccord d’accessoire « D1 »
Raccordement du câble
1. Faites attention au profilé d'étanchéité.
2. Placez la prise de câble sur le raccord de vanne.
3. Vissez la prise de câble de raccordement sur la bobine de vanne.
– Couple de serrage : ≤ 0,2 Nm
4. Posez le câble et fixez-le avec les clips, si nécessaire.
5. Branchez le câble de raccordement sur un raccord d’accessoire libre « C » ou « D » de l’unité de
commande électronique.
– Le logiciel de l’unité de commande électronique détecte automatiquement les accessoires
raccordés.
4.4
Raccordement électrique à HiScroll
Outils nécessaires
● Tournevis cruciforme
● Clé dynamométrique (≤ 0,2 Nm)
Équipement nécessaire
● Câble préconfiguré avec AccessLink et prise de câble Hirschmann
16/26
Installation
1
6
2
3
4
5
Fig. 7:
Raccordement électrique à HiScroll
1 Vanne magnétique
2 Capot de ventilateur
3 Clip de câble
4
5
6
Raccord d’accessoire « C » pour capteur de pression (option)
Raccord d’accessoire « D » pour soupape de sécurité côté vide
Prise de câble
Raccordement du câble
1. Contrôlez le raccordement de capteur de pression (option).
– Utilisez toujours le raccord d’accessoire « C » pour le capteur de pression, si présent.
2. Vissez la prise de câble de raccordement sur la bobine de vanne.
– Couple de serrage : ≤ 0,2 Nm
3. Enfichez les 2 clips de câble sur le bord du capot de ventilateur.
4. Posez le câble et fixez-le avec les clips.
5. Branchez le câble de raccordement sur le raccord d’accessoire « C » ou « D » libre sur l’unité de
commande électronique de la pompe à vide.
– Le logiciel de l’unité de commande électronique détecte automatiquement les accessoires qui
sont raccordés aux raccords d'accessoires.
4.5
Raccordement électrique au raccord de vanne
Outils nécessaires
● Tournevis cruciforme
Équipement nécessaire
● Câble préconfiguré avec AccessLink
● Prise de câble
17/26
Installation
1
2
3
5
Fig. 8:
4
Prise de câble de raccordement
1 Bobine de vanne
2 Alimentation en tension 0 V CC
3 Prise de câble
4
5
Terre (blindage)
Alimentation en tension +24 V CC
Raccordement du câble
1. Raccordez les fils du câble de raccordement aux bornes du bobinage de câble.
2. Sinon, utilisez une prise de câble adéquate pour l’insertion.
3. Utilisez un câble blindé.
18/26
Fonctionnement
5 Fonctionnement
Les réglages et variables fonctionnelles importants sont programmés en usine sous forme de paramètres dans l’unité de commande électronique de la pompe à vide. Chaque paramètre a un nombre à trois
chiffres et une description. La commande et la régulation par paramètres sont assurées par les appareils de commande du vide Pfeiffer ou en externe via RS-485 à l’aide du protocole Pfeiffer Vacuum.
Para­
mètre
Nom
Désignation
Réglage
[P:068]
CfgAccC1
Raccordement
des accessoires
C1
6 = vanne fermée
7 = vanne ouverte
18 = commutation de la vanne pilotée par la pression du
vide primaire en association avec la jauge
● - ouvert à < 10 mbar
● - s’ouvre automatiquement après 10 secondes
(sans jauge)
[P:069]
CfgAccD1
Raccordement
des accessoires
D1
conformément à [P:068]
Tab. 6:
Réglages des paramètres dans l’unité de commande électronique de la pompe turbo­
moléculaire
Paramètre
Nom
Désignation
Réglage
[P:068]
CfgAccC1
Raccordement des accessoires
C1
16 = soupape de sécurité côté vide, type IV 16 M
[P:069]
CfgAccD1
Raccordement des accessoires
D1
conformément à [P:068]
Tab. 7:
Réglages des paramètres dans l’unité de commande électronique de la pompe Scroll
5.1 Fonctionnement de la soupape de sécurité côté vide sur la pompe
turbomoléculaire
AVIS
Endommagement de la pompe turbomoléculaire en raison d'une remontée de pression inad­
missible
Une remontée de pression inadmissible soumet le rotor et le palier magnétique de la pompe turbomoléculaire à une contrainte élevée. Lorsque la vanne à vide primaire est ouverte, il y a un risque de
dommage mécanique pouvant entraîner une défaillance de la pompe turbomoléculaire.
► Ne purgez qu’à l'aide du raccord de vide primaire.
► Utiliser une vanne de mise à l'air de la gamme d’accessoires de Pfeiffer Vacuum si nécessaire.
Comportement à la mise sous tension pour la version avec réduction de tension
Pour diminuer la consommation d’énergie de la soupape, la commande diminue la tension
après la mise sous tension. Si une pression différentielle élevée se développe, la soupape
reste fermée pour prévenir toute entrée d'air accidentelle.
● Contrôlez la pression différentielle.
● Répétez l’opération de mise sous tension avec une pression différentielle plus faible.
19/26
Fonctionnement
5.2
Fonctionnement de la soupape de sécurité côté vide sur HiScroll
RS-485
[P010]
pump on/off
RS-485
[P740]
actual
pressure value
control system
vacuum safety valve
IV 16 M
0
[off]
normally
closed
p
1
[on]
opens
≤ 3 mbar
p
[invalid]
open
closed
10 Sec.
pump start
Fig. 9:
Diagramme illustrant la commande de la vanne
En fonction du capteur de pression (option), deux séquences de fonctionnement de la soupape de sécurité côté vide sont possibles lorsque la pompe Scroll est utilisée :
Séquence avec capteur de pression
● La soupape s’ouvre dès que la pression atteint ≤ 3 mbar.
● Si la pompe à vide s’arrête ou en cas de panne de courant, la soupape se ferme immédiatement.
Séquence sans capteur de pression
● La soupape s’ouvre automatiquement 10 secondes après le démarrage de la pompe.
● Si la pompe à vide s’arrête ou en cas de panne de courant, la soupape se ferme immédiatement.
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Accessoires
6 Accessoires
Description
Référence de commande
Pièces de réduction droites, acier inoxydable 1.4301/304, DN 25-16
ISO- KF
120RRG025-016-40
Presse en C, DN 16 ISO-KF, complète
PM 203 500 -T
Anneau de serrage ISO-KF pour joint élastomère
110BSR016
Anneau de centrage, aluminium EN AW-6061, DN 16 ISO-KF
111ZRG016
Câble de raccordement HiScroll, prise de câble AccessLink
PE 100 271 -X
Câble de raccordement HiPace Neo, prise de câble AccessLink
PE 100 347 -X
Prise de câble avec diode, sans câble
P 0105 681
Tab. 8:
Accessoires en option
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Caractéristiques techniques et dimensions
7 Caractéristiques techniques et dimensions
7.1
Généralités
mbar l/s
Pa m3/s
sccm
Torr l/s
atm cm3/s
mbar l/s
1
0,1
59,2
0,75
0,987
Pa m3/s
10
1
592
7,5
sccm
Torr l/s
3
atm cm /s
Tab. 9:
7.2
1
1,27 · 10
1.67 · 10-2
1,33
0,133
78,9
1
1,32
1,01
0,101
59,8
0,76
1
-2
Tableau de conversion : unités de débit de gaz
Désignation du type
IV 16 M
IV 16 M
IV 16 M
Numéro de commande
PD Z10 050
PM Z01 382
PM Z01 383
Version
La vanne est normalement fermée
La vanne est normalement fermée
La vanne est normalement fermée
Bride de raccordement
(entrée)
DN 25 ISO-KF
G 3/8", DN 16 ISOKF
G 3/8", DN 16 ISO-KF
Bride de raccordement
(sortie)
DN 25 ISO-KF
G 3/8", DN 16 ISOKF
G 3/8", DN 16 ISO-KF
Tension de commande
24 V DC
24 V DC
24 V DC
Tension : Gamme
±10 %
±10 %
±10 %
Puissance absorbée
11 W
14 W (90 ms) 1,2 W
44 W (90 ms), 3,8 W
Taux de fuite intégral
1 · 10 Pa m³/s
1 · 10 Pa m³/s
1 · 10-8 Pa m³/s
Raccordement électrique
Industrie B (micro)
Raccord de vanne
DIN 43650 A
Raccord de vanne DIN
43650 A
Température ambiante
5 – 40 °C
5 – 40 °C
5 – 33 °C
Poids
470 g
470 g
470 g
-7
-8
Fiche technique de la soupape de sécurité côté vide
Substances en contact avec le fluide
Pièces de la pompe
Substances en contact avec le fluide
Ressort de compression
1,4310
Tube
1,4301
Induit, cœur
1,4105
Vis à tête plate, anneau-support, bride
1,4305
Corps de vanne
Support de joint
EN AW-6026, alternative
AlSi1MgMn
Feuille
PTFE
Douille
POM
Tab. 11:
22/26
1.69 · 10
-3
Fiche technique
Tab. 10:
7.3
9,87
1.69 · 10
-2
Matériaux entrant en contact avec le fluide de procédé
Caractéristiques techniques et dimensions
Dimensions
52
16
M6 - 9/11 tief
30
50
41
34
32
Fig. 10:
38
43
17.5
28.5
23°
M6 - 12/14 tief
Flow
Inlet
G 3/8”
2 5°
45
 6.5
45
25°

91
38
7.4
M6 - 12/14 tief
Dimensions IV 16 M
Dimensions en mm
23/26
Déclaration de conformité CE
La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant.
Déclaration pour produit(s) du type :
Soupape de sécurité côté vide
IV 16 M
Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européen­
nes suivantes.
Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses, directive déléguée
2015/863/UE
Normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées :
DIN EN 61000-3-2 : 2019
DIN EN 61000-3-3 : 2020
DIN EN 61326-1 : 2018
DIN VDE 0580 : 2011
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Directeur général
Asslar, 2023-04-14
Déclaration de Conformité UK
La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant.
Déclaration pour produit(s) du type :
Soupape de sécurité côté vide
IV 16 M
Nous déclarons par la présente que le produit cité satisfait à toutes les exigences applicables des Directives Britanniques suivantes.
Réglementation 2016 sur la Compatibilité Electromagnétique
Réglementation 2012 sur la Limitation de l'Utilisation de Certaines Substances Dange­
reuses dans les Equipements Electriques et Electroniques
Normes et spécifications appliquées:
EN IEC 61000-3-2: 2019
EN IEC 61000-3-3: 2013
EN IEC 61326-1: 2021
Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitution du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park,
MK169PS Newport Pagnell.
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Directeur général
Asslar, 2023-04-14
Notizen / Notes:
*PT0741*
A - Date 2305 - P/N:PT0741BFR
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