MANUEL DE MAINTENANCE FR Original ASM 392EUV Détecteur de fuites Exclusion de responsabilité Ce manuel d'instructions décrit tous les modèles et variantes de votre produit. Noter que votre produit peut ne pas être équipé de toutes les fonctionnalités décrites dans ce manuel. Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le manuel d'utilisation en ligne peut différer du document imprimé, fourni avec votre produit. D'autre part, Pfeiffer Vacuum n'assume aucune responsabilité pour les dommages résultant d'une utilisation contraire à l'usage prévu, ou d'une utilisation définie comme mauvaise utilisation prévisible. Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum. Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations contenues dans ce document. 2/36 Table des matières Table des matières 1 A propos de ce manuel 1.1 Validité 1.1.1 Documents applicables 1.1.2 Produits concernés 1.2 Groupe cible d'utilisateur 1.3 Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte 1.3.2 Pictogrammes 1.3.3 Etiquettes 4 4 4 4 4 4 4 5 5 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité 2.1.1 Consignes de sécurité 2.1.2 Précautions 7 7 7 9 3 Informations générales 3.1 Pièces de rechange 3.2 Précautions 3.3 Travail préparatoire 11 11 11 12 4 Intervalles de maintenance et compétences 13 5 Entretien - Maintenance 5.1 Nettoyage 5.2 Mise hors tension 5.3 Démontage/remontage du plan de travail 5.4 Démontage/remontage du capot avant 5.5 Remplacement de la fuite calibrée interne 5.6 Maintenance de la cellule d'analyse 5.6.1 Démontage/remontage de la cellule d'analyse 5.6.2 Remplacement des joints 5.6.3 Remplacement des filaments 5.7 Maintenance des ventilateurs 5.7.1 Localisation des ventilateurs 5.7.2 Remplacement du ventilateur d'aspiration d'air (V1) 5.7.3 Remplacement du ventilateur d'extraction d'air (V2) 5.8 Maintenance des filtres 5.8.1 Remplacement du filtre à air du bloc vide 5.8.2 Remplacement du filtre d'entrée d'air 5.9 Remplacement de la jauge Pirani 15 15 15 15 16 17 18 18 20 20 21 22 22 22 23 23 24 24 6 Mise hors service 6.1 Immobilisation prolongée 6.2 Mise au rebut 6.2.1 Restriction des substances dangereuses (RoHS) 6.2.2 Equipements Electriques et Electroniques (E.E.E) 26 26 26 26 26 7 Dysfonctionnements 7.1 Surveillance de fonctionnement 7.2 Affichage d'un défaut 28 28 28 8 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 29 9 Pièces de rechange 9.1 Pièces de rechange du détecteur de fuites 9.2 Accessoires 31 31 34 3/36 A propos de ce manuel 1 A propos de ce manuel IMPORTANT Bien lire avant d'utiliser le produit. Conserver ce manuel pour une future utilisation. 1.1 Validité Ce manuel de maintenance s’adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit les opérations de maintenance du produit pouvant être réalisées par le client sur le produit concerné. Cette documentation doit être utilisée avec le Manuel de l’utilisateur du produit de même nom. 1.1.1 Documents applicables Document Référence Manuel de l'utilisateur ASM 392EUV 129319* *également disponible sur www.pfeiffer-vacuum.com 1.1.2 Produits concernés Ce document s'applique aux produits ayant les références suivantes : 1.2 Référence Description 200670 ASM 392EUV 200369 ASM 392EUV Scanner 200368 ASM 392EUV Source Groupe cible d'utilisateur Ce manuel de maintenance est destiné à toutes les personnes en charge de la maintenance du produit pour les opérations de : ● démontage ● maintenance ● nettoyage Les travaux décrits dans ce document doivent être effectués uniquement par des personnes ayant une formation technique appropriée (par ex. techniciens de maintenance) et ayant suivi la formation requise dispensée par Pfeiffer Vacuum. 1.3 Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes. Action unique Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape. ► Il s'agit d’une étape unique. Action en plusieurs étapes Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique. 1. Étape 1 2. Étape 2 3. ... 4/36 A propos de ce manuel 1.3.2 Pictogrammes Les pictogrammes utilisés dans le document représentent des informations utiles. Remarque Conseil Vérifier un point clé sur l’illustration. Appliquer le couple de serrage mentionné. 1 2 3 1 2 Respecter l'ordre chronologique des opérations et/ou sens du montage/démontage. Correct, bon choix. Incorrect, mauvais choix. 1.3.3 1 Etiquettes INPUTS/OUTPUTS Connecteur Interface de communication Entrées/Sorties SERIAL Connecteur liaison série RS-232 Sub-D 9 broches NETWORK Prise Ethernet USB Prise USB 4 Cette étiquette garantie à l’utilisateur que l'emballage du produit n'a pas été ouvert depuis le départ usine. Cette étiquette indique que certains des composants internes sont sous tension et peuvent entraîner un choc électrique en cas de contact. ● Ne pas utiliser le produit si le câble d'alimentation secteur n'est pas relié à la terre. ● Débrancher le câble d'alimentation du produit avant toute intervention de maintenance sur le produit. Cette étiquette indique que certains des composants internes sont sous tension et peuvent entraîner un choc électrique en cas de contact. ● Débrancher le câble d'alimentation du produit avant de retirer le capot. Cette étiquette indique que l’échappement du détecteur ne doit pas être obturé. 5 Cette étiquette indique le point de mise à la terre sur le produit. FR AEOF 00165062 - assurance qualité / quality control 2 3 6 PRODUIT PERSONNALISE CUSTOMIZED PRODUCT Cette étiquette indique que le produit a été personnalisé à la demande du client. 7 Cette étiquette indique que le produit a été certifié conforme au contrôle qualité sortie au départ usine. 8 Cette étiquette indique que le produit est concerné par le traitement des déchets des équipements électriques et électroniques (voir la déclaration de conformité CE du produit). 5/36 A propos de ce manuel 9 Cette étiquette indique l'adresse MAC des options installées sur le produit. HLD1302577 - RS232 Bluetooth MAC address XXXXXX / None Network MAC address xx:xx:xx:xx:xx:xx / None (Exemple) 10 Usage réservé pour les centres de service Pu_GL : 1 Pu_N : 1 Mu_GL : 12856 Mu_N : 31 Mu_Cal : 1 Mu_LDS : 1800 (Exemple) 11 Factory Firmware /Logiciel usine Cette étiquette indique les informations concernant les logiciels installés sur le produit. L0232 L0264 L0285 V3302 V3200 V3200 1 2 1 2 DD-MM-YY 4 E17D FD87E7D 8C9D Nom du logiciel Version du logiciel 3 4 Checksum du logiciel Date d'édition 3 (Exemple) 12 Plaque signalétique du produit. 98 avenue de Brogny F-74000 ANNECY Made in France 1 Kg P/N : S/N : 2 V 5 7 3 Hz 4 W 6 8 13 1 2 3 4 Poids Tension d’utilisation Fréquence d’utilisation Puissance maximale consommée Référence Désignation Numéro de série Date de fabrication Cette étiquette indique que le circuit vide ne doit jamais être connecté au circuit d'eau vidangée. ● Détérioration du Tool Ne connecter que le circuit vide. Le raccordement au circuit d'eau vidangée entraînera une détérioration du Tool. Cette étiquette indique que le produit ne peut être utilisé que pour l'enceinte Source. ● Risque de contamination croisée par l'étain (sn) A utiliser uniquement pour l'enceinte Source. Cette étiquette indique que le produit a subi un nettoyage spécifique et ne peut être déballé qu'en salle blanche. ● Produit pour salle blanche A n'ouvrir qu'en salle blanche. 14 15 14 13 3 14 2 4 6/36 5 6 7 8 Sécurité 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit : DANGER Danger direct et imminent Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVERTISSEMENT Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger ATTENTION Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVIS Obligation ou signalement Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure physique. ► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le produit ou le présent document. 2.1.1 Consignes de sécurité Toutes les consignes de sécurité contenues dans ce document sont basées sur les résultats de l’analyse de risque effectuée conformément à la Directive Basse Tension 2014/35/UE relative à la sécurité électrique. Dans la mesure du possible, toutes les phases du cycle de vie du produit ont été prises en compte. AVERTISSEMENT Risque d'électrocution lié à une installation électrique non conforme Le produit utilise la tension secteur comme alimentation électrique. Une installation électrique non conforme ou réalisée de manière non professionnelle peut mettre en danger la vie des utilisateurs. ► Seul un personnel qualifié et formé aux règles de sécurité électrique, CEM peut réaliser l'installation électrique. ► Ne procéder à aucune transformation ou modification arbitraire du produit. 7/36 Sécurité AVERTISSEMENT Risque de choc électrique par contact avec un produit non isolé électriquement A la mise hors tension _interrupteur secteur sur O_, certains composants situés entre le connecteur électrique et le disjoncteur restent sous tension. Il y risque de choc électrique par contact. ► Veiller à ce que le raccordement au secteur soit toujours visible et accessible pour pouvoir débrancher à tout moment. ► Débrancher le câble secteur du réseau électrique avant d'intervenir sur le produit. ► Attendre l'extinction complète de l'écran du panneau de contrôle avant d'intervenir sur le produit et/ou de retirer le(s) capot(s). AVERTISSEMENT Risque de blessures graves en cas de chute d'objet Lors du transport de pièces/composants, ou lors de la maintenance du produit, il existe un risque de blessures dû aux chutes ou glissements de charge. ► Transporter à deux mains les composants de petite charge. ► Transporter avec un engin de levage approprié les composants d'un poids supérieur à 20 kg. ► Porter des chaussures de sécurité avec protection des orteils conformément à la norme EN 347. AVERTISSEMENT Risque de brûlure par contact avec des surfaces chaudes Les produits sont conçus de façon à ne procurer aucun risque thermique pour la sécurité de l'opérateur. Toutefois, des conditions d'utilisation peuvent générer des températures nécessitant une attention particulière de la part de l'opérateur (surfaces > 70 °C pour des composants situés à l'intérieur du(des) capot(s)). ► Attendre le refroidissement complet avant d’intervenir sur le produit. ► Porter des gants de protection conformément à la norme EN ISO 21420. ATTENTION Risque de pincement lors de la manipulation du couvercle du bac de rangement ► Veiller à ne pas laisser les doigts sous le couvercle au moment de la fermeture. DANGER Risque d'empoisonnement par contact avec des composants contaminés Les composants du circuit de pompage et de la cellule d'analyse sont contaminés par les gaz détectés sur les pièces testées. Ces gaz peuvent être toxiques, corrosifs, réactifs. Tout contact avec les pièces contaminées ou les sous-produits générés par le procédé présente un risque pour la santé. ► Porter un équipement de protection approprié lors de la maintenance des composants de pompage, du bloc vide, la cellule d'analyse. ► Bien aérer le local ou effectuer la maintenance sous hotte ventilée. ► Ne pas jeter les sous-produits/résidus au réseau usuel : faire appel à un organisme compétent pour leur destruction si nécessaire. AVERTISSEMENT Risque d'intoxication en cas de fuites de gaz après maintenance Lors de la déconnexion/connexion de composants dans la ligne de pompage (pompes, cellule d'analyse, bloc vide, canalisations, vannes...) pour maintenance, l'étanchéité de l'installation est rompue : il y a un risque potentiel de fuites de gaz résiduels (gaz pompés sur les pièces testées). ► Pendant le démontage, toujours protéger les surfaces d'appui des brides de raccordement entre les composants de la ligne de pompage. ► Après remontage, effectuer un test d'étanchéité sur l'ensemble de la ligne de pompage du système de détection. 8/36 Sécurité AVERTISSEMENT Risque lié aux différentes sources d'énergie Le circuit électrique ainsi que les circuits pressurisés tel que le circuit d'azote, sont des risques énergétiques potentiels. ► Toujours verrouiller ces sources d'énergie avant d'intervenir sur le produit. AVERTISSEMENT Risque lié à l'étanchéité de l'installation L'étanchéité du produit est assurée en sortie d'usine pour les conditions normales d'utilisation. ► Effectuer un test d'étanchéité après toute opération de maintenance Recommandations générales pour la maintenance ● Au moment de commander des pièces de rechange, veuillez impérativement mentionner tout le contenu de la plaque signalétique du produit. ● Respecter toutes les presecriptions de sécurité et de prévention des risques conformément aux normes de sécurités locales. ● Attendre 5 minutes après la mise hors tension avant d’intervenir sur les composants électriques. ● Vérifier régulièrement que toutes les mesures de précautions sont respectées. ● Ne pas mettre sous tension le produit en l'absence des capots. ● Pour tout retour du produit vers un de nos centres de service Pfeiffer Vacuum, prendre connaissance de la procédure Service après-vente et remplir la déclaration de contamination disponible sur notre site internet. ● Utiliser l'emballage d'origine pour retourner le produit vers un centre de service Pfeiffer Vacuum : le constructeur décline toute responsabilité des dommages résultant du transport dans un emballage non adapté. 2.1.2 Précautions Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit. Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document. Obligation de mise à disposition d'équipement individuel de protection Les exploitants ou employeurs sont dans l'obligation de mettre à disposition de l'utilisateur du produit les équipements de protection individuels (EPI) nécessaires. Chaque personne en charge de l'installation, du fonctionnement ou de la réparation du produit, doit porter les EPI dédiés à la sécurité. Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit d'origine ou installe un équipement supplémentaire ● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives européennes applicables avant de mettre en service ce système. Installation et utilisation des accessoires Il est possible d'équiper les produits avec des accessoires adaptés. L’installation, l’utilisation et la remise en état des accessoires raccordés sont décrites en détail dans leur manuel de l'utilisateur respectif. ● Utiliser uniquement des accessoires d’origine. ● Références des accessoires (voir chapitre « Accessoires »). 9/36 Sécurité Seul un personnel qualifié et formé aux règles de sécurité (CEM, sécurité électrique, pollution chimique) peut procéder à l’installation et à la maintenance décrites dans ce manuel. Nos centres de service peuvent dispenser les formations nécessaires. ► Ne pas retirer l’obturateur de l’orifice d’aspiration/tubulure d’entrée tant que le produit n’est pas utilisé. ► Ne pas exposer une partie du corps humain au vide. ► Respecter les prescriptions en matière de sécurité et de prévention des accidents. ► Vérifier régulièrement que toutes les mesures de précautions sont respectées. ► Ne pas mettre sous tension le produit en l'absence de capot. ► Ne pas déplacer le produit pendant son utilisation (produit sous tension). ► Utiliser les freins du produit pour l'immobiliser pendant son utilisation (produit sous tension). 10/36 Informations générales 3 Informations générales 3.1 Pièces de rechange Remplacement des pièces défectueuses Les conditions initiales de sécurité du produit sont remises en cause si des pièces non d’origine constructeur sont utilisées : ● Utiliser uniquement les pièces de rechange disponibles sur commande auprès de Pfeiffer Vacuum Service (voir chapitre « Pièces de rechange », page 31). ● Pour identifier le produit et communiquer avec Pfeiffer Vacuum, se référer à la plaque signalétique du produit. 3.2 Précautions Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit. Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document. Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit d'origine ou installe un équipement supplémentaire ● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives européennes applicables avant de mettre en service ce système. Obligation de mise à disposition d'équipement individuel de protection Les exploitants ou employeurs sont dans l'obligation de mettre à disposition de l'utilisateur du produit les Equipements de Protection Individuels (EPI) nécessaires. Chaque personne en charge de l'installation, du fonctionnement ou de la réparation du produit doit porter les EPI dédiés à la sécurité. Installation et utilisation des accessoires Il est possible d'équiper les produits avec des accessoires adaptés. L'installation, l'utilisation et la remise en état des accessoires raccordés sont décrites en détail dans leur manuel de l'utilisateur respectif. ● Uitliser uniquement des accessoires d'origine. ● Références des accessoires (voir chapitre « Accessoires »). Seul un personnel qualifié et formé aux règles de sécurité (CEM, sécurité électrique, pollution chimique) peut procéder à l’installation et à la maintenance décrites dans ce manuel. Nos centres de service peuvent dispenser les formations nécessaires. ► Ne pas retirer l'obturateur de l'orifice d'aspiration/tubulure d'entrée tant que le produit n'est pas utilisé. ► Ne pas exposer une partie du corps humain au vide. ► Ne pas mettre sous tension le produit en l'absence de capot (sauf avis contraire mentionné). ► Ne pas déplacer le produit pendant son utilisation (produit sous tension). ► Respecter les prescriptions en matière de sécurité et de prévention des accidents. ► Vérifier régulièrement que toutes les mesures de précautions sont respectées. ► Utiliser les freins du produit pour l'immobiliser pendant son utilisation (produit sous tension). 11/36 Informations générales 3.3 Travail préparatoire Le détecteur ne nécessite aucune maintenance sur le site client excepté la maintenance des sous-ensembles décrite dans ce manuel. Toute autre maintenance doit être réalisée par notre centre de service (voir chapitre « Solutions de service de Pfeiffer Vacuum », page 29). AVIS Dommage sur le matériel en cas de manipulation d'un détecteur sous tension Lorsque l'utilisateur intervient sur un produit pour le déplacer ou le maintenir, il doit attendre l'arrêt complet du détecteur : il y a risque de détérioration de certains composants du détecteur. Lorsque l'interrupteur/disjoncteur est sur O : ► Débrancher le câble secteur. ► Attendre 5 minutes après la mise hors tension avant d'intervenir sur le produit et/ou de retirer le(s) capot(s). Procédure Pour garantir le bon fonctionnement du détecteur après la maintenance sur site, respecter les recommandations suivantes : ► Manutentionner le détecteur pour le déplacer dans une zone de maintenance (voir chapitre « Manutention » du Manuel de l'utilisateur). – local propre, non poussiéreux. ► Porter les protections de sécurité appropriées. ► Utiliser les outillages préconisés à chaque opération de maintenance. – Si besoin, un nécessaire d'entretien est disponible sur commande (voir chapitre « Outillage »). ► Toujours protéger les surfaces d'appui des brides de raccordement (cellule d'analyse, pompes et canalisations de pompage). ► Après remontage, réaliser un test d'étanchéité sur le sous-ensemble remplacé. 12/36 Intervalles de maintenance et compétences 4 Intervalles de maintenance et compétences Les opérations de maintenance niveau 1 et niveau 2 sont décrites dans ce manuel. Les opérations de maintenance niveau 3 nécessitent l’intervention d’un technicien du réseau de Service Pfeiffer Vacuum. Opération Nombre d'heures d'utilisation Niveau 1) Site 2) 20 000 heures ou 4 ans 3 OS Remplacement du réservoir d'huile 4 ans 3 OS Remplacement des roulements 4 ans 3 OS Remplacement de l'électronique TC 110 Si nécessaire 3 OS Remplacement de la pompe Si nécessaire 3 OS Remplacement du réservoir d'huile 4 ans 3 OS Remplacement des roulements 4 ans 3 OS Remplacement de l'électronique TC 110 Si nécessaire 3 OS Remplacement de la pompe Si nécessaire 3 OS Remplacement des joints Si nécessaire 2 OS Remplacement du filament Si nécessaire 2 OS Révision de la cellule d'analyse Si nécessaire 3 OS Remplacement de toutes les vannes électromagnétiques 500 000 tests 3 OS Remplacement des joints des vannes à dépression 500 000 tests 3 OS Remplacement des vannes à dépression Si nécessaire 3 OS Selon conditions d'utilisation 2 OS Réglage Selon conditions d'utilisation Toutes les 4300 heures (recommandé) 1 OS Remplacement de la jauge Si nécessaire 2 OS Si nécessaire 2 OS Tous les 2 ans (recommandé) 2 OS Révision du détecteur Selon conditions d'utilisation Tous les 4 ans (recommandé) 3 OS/WS 1) Niveau de maintenance ● 1 : Opérateur ● 2 : Technicien avec formation Pfeiffer Vacuum ● 3 : Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum 2) Site de maintenance ● OS : sur site client ● WS : centre de service Pfeiffer Vacuum Pompe primaire ACP 40 Remplacement de la pompe Pompe turbomoléculaire SplitFlow 80 Pompe turbomoléculaire HiPace 80 Cellule d'analyse Vannes Filtre d'entrée d'air Remplacement du filtre d'entrée d'air Jauge Pirani Ventilateurs Remplacement des ventilateurs Fuite calibrée Recalibration Détecteur de fuites Suivi des temps de maintenance Les compteurs de maintenance de la pompe primaire, de la pompe turbomoléculaire et des vannes alertent l’opérateur qu’une opération de maintenance doit être réalisée (voir chapitre « Compteur avant prochaine maintenance » du manuel de l'utilisateur). 13/36 Intervalles de maintenance et compétences Comment nous contacter ? La révision du produit doit être réalisée par du personnel formé par le constructeur. Contacter notre centre de service le plus proche à l'adresse suivante : Pfeiffer Vacuum Service Support. Limite de responsabilité suite à une maintenance Des mesures de propreté spécifiques sont appliquées au détecteur de fuites ASM 392EUV lors de sa fabrication. Ces mesures ont pour but de garantir le niveau de qualité demandé par le client. Afin de ne pas détériorer le niveau de propreté du détecteur pendant la maintenance, il est impératif de respecter les consignes suivantes pour toute opération de maintenance. ● Maintenance sur le site du client Le technicien de maintenance doit impérativement travailler en salle blanche. Les mesures nécessaires doivent être prises afin qu'aucune contamination, par des poussières ou des produits gras, ne soit réalisée sur les pièces démontées ou changées pendant l'opération de maintenance. Toutes les pièces doivent être parfaitement nettoyées avant leur installation dans le détecteur de fuites. En cas de doute sur les opérations de maintenance réalisées, il faut impérativement réaliser un contrôle du détecteur de fuites par un de nos centres de service agréés pour ce contrôle. ● Maintenance dans notre centre de service A l’issue de toute opération de maintenance réalisée dans notre centre de service, les mêmes mesures de propreté spécifiques doivent être appliquées que pour un détecteur de fuites neuf. Ces mesures font l'objet d'une prestation de service spécifique : nous consulter afin d'obtenir un devis correspondant à l'application de ces mesures. Cependant, si le client ne souhaite pas appliquer ces mesures spécifiques de propreté, il est de sa responsabilité d'en informer notre centre de service réalisant la maintenance et de rédiger une décharge de responsabilité de Pfeiffer Vacuum concernant le niveau de propreté du produit à l'issue de la maintenance réalisée. 14/36 Entretien - Maintenance 5 Entretien - Maintenance 5.1 Nettoyage ► Nettoyer le(s) capot(s) à l’aide d’un chiffon propre non pelucheux et d’un produit ne détériorant pas la peinture, les surfaces sérigraphiées et les étiquettes autocollantes. 5.2 Mise hors tension 1. Positionner l'interrupteur/disjoncteur sur O. 2. Débrancher le câble d’alimentation secteur. 3. Attendre 5 minutes avant d'intervenir sur le détecteur, de retirer le capot ou de déplacer le détecteur. Arrêt sur coupure secteur Quand une coupure secteur intervient, le détecteur s'arrête : il redémarre automatiquement au retour de l'alimentation. 5.3 Démontage/remontage du plan de travail Conditions préalables au démontage ► Immobiliser le détecteur de fuites en mettant les freins des roues arrières. ► Mettre le détecteur de fuites hors tension (voir chapitre « Mise hors tension »). Démontage 2 1 1 2 5 4 4 3 3 3 1 Tubulure d'entrée 2 Bac de rangement 3 4 Locquet Plan de travail 1. Retirer la collerette autour de la tubulure d'entrée. 2. Soulever le couvercle du bac de rangement. 3. Actionner chaque loquet pour déverouiller le plan de travail. 4. Soulever légèrement le plan de travail. 5. Pousser le plan de travail vers l'arrière du détecteur puis le retirer. Le plan de travail peut être retiré sans déconnecter le panneau de contrôle, le câble étant suffisament long. Lorsque le plan de travail a été retiré du détecteur, l'opérateur ne doit jamais appliquer d'actions mécaniques sur la fuite calibrée ou tout autre sous-ensemble interne du détecteur. Conditions préalables au remontage ► Mettre le détecteur de fuites hors tension (voir chapitre « Mise hors tension »). 15/36 Entretien - Maintenance Remontage 3 4 1 3 2 3 1 2 1 Bac de rangement 2 Plan de travail 3 Tubulure d'entrée 1. Présenter le plan de travail verticalement sur le châssis. 2. Vérifier que le câble du panneau de contrôle est dégagé : le panneau de contrôle doit pouvoir être déporté d'au moins 1 m par rapport à son support. 3. Tirer le plan de travail vers l'avant du détecteur puis le clipser. 4. Remettre la collerette autour de la tubulure d'entrée. 5.4 Démontage/remontage du capot avant Condition préalable au démontage ► Démonter le plan de travail (voir chapitre « Démontage-remontage du plan de travail »). Démontage 1 2 1 1 Loquet 2 2 Capot 1. Actionner chaque loquet pour déverouiller le capot. 2. Tirer le capot vers l'avant. Condition préalable au remontage ► Mettre le détecteur de fuites hors tension (voir chapitre « Mise hors tension »). 16/36 Entretien - Maintenance Remontage 2 1 2 1 1 Loquet 2 Capot 1. Présenter le capot avant sur le châssis et le pousser vers l'avant du détecteur pour le clipser dans le logement de chaque loquet. 2. Vérifier que le câble du panneau de contrôle est dégagé : le panneau de contrôle doit pouvoir être déporté d'au moins 1 m par rapport à son support. 3. Remonter le plan de travail (voir chapitre « Démontage-remontage du plan de travail »). 5.5 Remplacement de la fuite calibrée interne Conditions préalables ► Mettre le détecteur de fuites hors tension (voir chapitre « Mise hors tension »). ► Retirer la plan de travail (voir chapitre « Démontage/remontage du plan de travail») et le capot avant (voir chapitre « Démontage/remontage du capot avant »). Démontage 2 2 3 1 3 2 2 4 1 1 Fuite calibrée 2 Vis de fixation 3 4 Capteur de température Vanne 1. Déconnecter le capteur de température de la fuite calibrée. Ne jamais dissocier le capteur thermique de la fuite calibrée. 2. Dévisser les 2 vis de fixation sans les retirer. 3. Faire pivoter la fuite calibrée de 90 ° de sorte que le capteur de température soit positionné audessus de la vanne, comme sur l'illustration. Remontage 1. Remplacer la fuite calibrée. 2. Connecter le capteur de température. 17/36 Entretien - Maintenance 3. Mettre à jour les paramètres de la fuite calibrée (voir Menu Spectro du manuel de l'utilisateur). 4. Réaliser une calibration du détecteur. A chaque changement de fuite calibrée, mettre à jour le paramétrage de la fuite calibrée (voir chapitre « Paramétrage de la fuite calibrée » du manuel de l’utilisateur). Cette opération peut être faite avec les informations inscrites sur la plaque signalétique de la fuite calibrée ou sur le certificat de la fuite calibrée livré avec la fuite. Exemple de la plaque signalétique de la fuite calibrée F-74000 ANNECY S/N:FC15000123 P/N:119678 Value..: 1,3E-7 mbar.l/s ± 10 % 1,3E-8 Pa.m3/s ± 10 % Calibration date...: 15-Jan-2015 Lost per year........: 2 % Temperature........: 23°C Temperature coeff: 3 % HELIUM CALIBRATED LEAK Test d'étanchéité après maintenance de la fuite calibrée ► Ouvrir la vanne de calibration pour pouvoir réaliser le test. ► Asperger un léger flux d'hélium 4 autour de la fuite calibrée. – taux de fuite mesuré < 1 · 10-8 mbar·l/s (1 · 10-9 Pa·m3/s). 5.6 Maintenance de la cellule d'analyse Pollution des composants du circuit vide Lors des opérations de maintenance des composants du circuit vide, il faut éviter toute pollution qui pourrait ensuite générer le dégazage des pièces. Il faut apporter une attention particulière à la propreté. Pour éviter cela : ● ● ● ● 5.6.1 Effectuer la maintenance dans un local approprié (propre, non poussiéreux et aéré). Utiliser des papiers non tissés. Dépoussiérer les pièces avec de l'air sec filtré (sauf avis contraire mentionné). Porter des gants en vinyle non poudrés (gants salle blanche). Démontage/remontage de la cellule d'analyse AVERTISSEMENT Risque de brûlure par contact avec des surfaces chaudes Les produits sont conçus de façon à ne procurer aucun risque thermique pour la sécurité de l'opérateur. Toutefois, des conditions d'utilisation peuvent générer des températures nécessitant une attention particulière de la part de l'opérateur (surfaces > 70 °C pour des composants situés à l'intérieur du(des) capot(s)). ► Attendre le refroidissement complet avant d’intervenir sur le produit. ► Porter des gants de protection conformément à la norme EN ISO 21420. Condition(s) préalable(s) au démontage de la cellule d'analyse 1. Réaliser une entrée d'air sur le circuit vide (voir chapitre « Maintenance de la cellule d’analyse et de la pompe secondaire » du manuel de l'utilisateur). 2. Mettre le détecteur de fuites hors tension (voir chapitre « Mise hors tension »). 3. Retirer le plan de travail (voir chapitre « Démontage/remontage du plan de travail ») et le capot avant (voir chapitre « Démontage/remontage du capot avant »). 18/36 Entretien - Maintenance Démontage de la cellule d'analyse 2 1 2 3 3 1 1 Peigne 2 Vis de fixation 3 Cellule d'analyse 1. Déconnecter le peigne de la cellule. 2. Retirer les 6 vis de fixation de la cellule. 3. Dégager manuellement et verticalement la cellule d'analyse. Remontage de la cellule d'analyse 2 1 2 3 1 3 1 Peigne 2 Vis de fixation 3 Cellule d'analyse Altération des résultats de mesure en cas d'emploi d'une cellule d'analyse non conforme au produit Au départ usine, la cellule d'analyse est paramétrée pour le produit dans lequel elle est installée. L'emploi d'une cellule d'analyse différente du composant d'origine demande des réglages. Sans ces réglages, les mesures réalisées par le produit ne sont pas correctes. Seul un centre de service Pfeiffer Vacuum peut réaliser ces réglages. Test d'étanchéité après remontage de la cellule d'analyse ► Asperger un léger flux d'hélium 4 autour de la cellule d'analyse. – taux de fuite mesuré < 3 · 10-10 mbar·l/s (3 · 10-11 Pa·m3/s). 19/36 Entretien - Maintenance 5.6.2 Remplacement des joints 1 1 Joints 1. Retirer la cellule d’analyse du détecteur (voir chapitre « Démontage/remontage de la cellule d'analyse »). 2. Vérifier l'état des joints : les changer si nécessaire. 3. Remplacer les 2 joints. Ne jamais graisser les joints. 5.6.3 Remplacement des filaments AVIS Altération des performances du produit due à un filament endommagé Le filament neuf présente en surface un dépôt blanc. Avec l'usage, le dépôt blanc s'oxyde et noircit : ce phénomène est normal. Tout contact avec le filament risque de le détériorer. ► Conserver le filament dans sa boîte de protection lorsqu'il n'est pas installé dans la cellule d'analyse. ► Ne pas toucher le filament avec les doigts (même avec des gants) ou tout autre objet. ► Ne pas nettoyer le filament neuf ou usagé avec un chiffon ou les doigts. ► Ne pas dépoussiérer le filament avec de l'air sec sous pression, ni en soufflant dessus. Démontage F2 F1 A 1 F1 2 A F1 Filament 1 F2 Filament 2 1 2 Vis de fixation et rondelle Clips de fixation 1. Retirer la cellule d’analyse du détecteur (voir chapitre « Démontage/remontage de la cellule d'analyse »). 2. Retirer la vis de fixation ainsi que la rondelle du filament défectueux. 3. Retirer les 2 clips de fixation à l’aide d’une pince plate (2 clips neufs sont fournis avec le filament de rechange). 20/36 Entretien - Maintenance Remontage 1 4 F1 1 3 2 F1 Filament 1 1 Vis de fixation et rondelle 2 Lamelle du filament 3 4 Connecteurs Butées de centrage Les connecteurs sont perpendiculaires à la surface d’appui et parallèles entre eux. 2 3 5 4 1. Mettre le nouveau filament dans son logement contre les 2 butées de centrage. Le fixer avec la vis et la rondelle livrées avec le filament. 2. Mettre en place les clips de fixation sur les connecteurs de chaque côté du filament. 3. Remonter la cellule d’analyse (voir chapitre « Démontage/remontage de la cellule d'analyse »). 4. Mettre à jour le compteur de maintenance du filament remplacé à partir du menu (voir chapitre « Information » du manuel de l’utilisateur). 5.7 Maintenance des ventilateurs 21/36 Entretien - Maintenance 5.7.1 Localisation des ventilateurs V1 V2 V1 Ventilateur d'aspiration d'air 5.7.2 V2 Ventilateur d'extraction d'air Remplacement du ventilateur d'aspiration d'air (V1) Condition(s) préalable(s) au remplacement du ventilateur d'aspiration d'air 1. Mettre le détecteur de fuites hors tension (voir chapitre « Mise hors tension »). 2. Retirer le plan de travail (voir chapitre « Démontage/remontage du plan de travail ») et le capot avant (voir chapitre « Démontage/remontage du capot avant »). Démontage du ventilateur d'aspiration d'air 3 2 1 3 4 3 1 Peigne 2 Passe-cloison 2 1 3 Ventilateur (V1) 1. Déconnecter le peigne du ventilateur (V1). 2. Passer câble dans le passe-cloison 3. Retirer le ventilateur. Remontage du ventilateur d'aspiration d'air 1. Positionner le nouveau ventilateur en respectant son sens de montage. – Le repère 4 sur l'illustration indique le sens du flux d'air. 2. Passer le peigne du ventilateur dans le passe-cloison. 3. Clipser le ventilateur. 4. Connecter le peigne. 5.7.3 Remplacement du ventilateur d'extraction d'air (V2) Condition(s) préalable(s) au remplacement du ventilateur d'extraction d'air 1. Mettre le détecteur de fuites hors tension (voir chapitre « Mise hors tension »). 2. Retirer le plan de travail (voir chapitre « Démontage/remontage du plan de travail ») et le capot avant (voir chapitre « Démontage/remontage du capot avant »). 22/36 Entretien - Maintenance Démontage du ventilateur d'extraction d'air 1 1 3 3 2 2 3 3 4 V1 1 Peigne 2 Ventilateur V2 3 Grille de protection 1. Déconnecter le peigne du ventilateur (V2). 2. Retirer le ventilateur. Remontage du ventilateur d'extraction d'air 1. Positionner le nouveau ventilateur en respectant son sens de montage. – Le repère 4 sur l'illustration indique le sens du flux d'air. 2. Positionner une grille de protection de chaque côté du ventilateur. 3. Fixer le ventilateur. 4. Connecter le peigne du ventilateur en respectant les polarités (+) et (-). 5.8 Maintenance des filtres 5.8.1 Remplacement du filtre à air du bloc vide Condition(s) préalable(s) au démontage du filtre à air du bloc vide 1. Mettre le détecteur de fuites hors tension (voir chapitre « Mise hors tension »). 2. Retirer le plan de travail (voir chapitre « Démontage/remontage du plan de travail ») et le capot avant (voir chapitre « Démontage/remontage du capot avant »). Démontage du filtre à air du bloc vide 1 2 3 3 1 Filtre 2 Raccord 3 2 1 Tuyau polyuréthane 1. Déserrer le raccord pour libérer le tuyau. 2. Retirer le tuyau. 3. Dévisser le raccord dans le filtre. 4. Dévisser le filtre dans le bloc vide. 23/36 Entretien - Maintenance Remontage du filtre à air du bloc vide 1. Visser le filtre dans le bloc vide. 2. Visser le raccord dans le filtre. 3. Positionner le tuyau sur le raccord et serrer le raccord. 5.8.2 Remplacement du filtre d'entrée d'air Condition(s) préalable(s) au démontage du filtre d'entrée d'air ► Mettre le détecteur de fuites hors tension (voir chapitre « Mise hors tension »). Démontage/remontage du filtre d'entrée d'air 1 1 Filtre d'entrée d'air ► Dévisser le filtre d'entrée d'air et le remplacer. Risque de pollution L'entrée d'air ne doit jamais rester à l'air libre. S'assurer de la présence permanente du filtre sur le raccord. 5.9 Remplacement de la jauge Pirani Outils ► Vis de maintien Conditions préalables 1. Mettre le détecteur de fuites hors tension (voir chapitre « Mise hors tension »). 2. Retirer le plan de travail (voir chapitre « Plan de travail »°et le capot (voir chapitre « Capot avant ». 24/36 Entretien - Maintenance Démontage de la jauge Pirani 1 2 2 3 3 1 4 6 6 5 4 1 Peigne 2 Vis de maintien 3 Vis CHc 4 5 6 Jauge Filaments Bloc vide 1. Déconnecter le peigne de la jauge. 2. Retirer la vis de maintien. 3. Mettre la vis CHc au centre de la jauge (vis CHc contenue dans le nécessaire d'entretien livré avec le détecteur). 4. Tirer sur la vis CHc pour sortir la jauge. Remontage de la jauge Pirani 1. Positionner la nouvelle jauge. – Lors de l'introduction de la nouvelle jauge, ne pas mettre en contact les filaments de la jauge avec le bloc vide. 2. Mettre la vis de maintien. 3. Connecter le peigne de la jauge. 4. Régler la jauge : voir chapitre Calibration de la jauge Pirani interne du manuel de l'utilisateur. Test d'étanchéité après maintenance de la jauge Pirani 1. Mettre le détecteur en cycle. 2. Asperger un léger flux d'hélium 4 autour de la jauge. – taux de fuite mesuré < 3 · 10-10 mbar·l/s (3 · 10-11 Pa·m3/s). 25/36 Mise hors service 6 Mise hors service 6.1 Immobilisation prolongée Si le détecteur doit être arrêté pour une durée prolongée, après utilisation, il est conseillé de : 1. Appliquer la procédure de stockage prolongé (voir chapitre « Stockage» du Manuel de l'utilisateur). 2. Garder le détecteur dans son emballage d’origine ou sous sa housse de protection à l’abri de la poussière. 3. Procéder à la remise en service selon les instructions du chapitre « Utilisation » du Manuel de l'utilisateur. En cas de problème, contacter votre centre de service Pfeiffer Vacuum. 6.2 Mise au rebut Protection de l'environnement La mise au rebut du produit ou de ses composants doit être réalisée conformément aux réglementations en vigueur pour ce qui concerne la protection de l’environnement et la santé des personnes, ceci afin de réduire le gaspillage des ressources naturelles et prévenir de la pollution. Nos produits contiennent différents matériaux qui doivent être recyclés : fer, acier, acier inoxydable, fonte, laiton, aluminium, nickel, cuivre, PTFE, FPE. Pour tout retour d’un produit vers nos centres de service, prendre connaissance de la procédure de demande de Service et remplir la déclaration de contamination (voir chapitre « Solutions de service de Pfeiffer Vacuum », page 29). 6.2.1 Restriction des substances dangereuses (RoHS) La directive 'Restriction des substances dangereuses' (RoHS) La directive RoHS établit les règles relatives à la limitation de l’utilisation de substances dangereuses dans les équipements électriques et électroniques (EEE) afin de contribuer à la protection de la santé humaine et de l’environnement, y compris la valorisation et l’élimination écologiquement rationnelles des déchets d’EEE. Le constructeur veille à ce que les EEE mis sur le marché, y compris les câbles et les pièces détachées destinées à la réparation, au réemploi, à la mise à jour ou au renforcement de capacité, contiennent des substances dangereuses soumises à limitation dans les limites autorisées. 6.2.2 Equipements Electriques et Electroniques (E.E.E) Les Equipements Electriques et Electroniques (EEE) contiennent des matières polluantes (cartes électroniques, piles, batteries, écrans, condensateurs, mercure, etc.). Leur dépollution puis leur recyclage permet de préserver les ressources naturelles et notamment les matières premières stratégiques. Ce produit porte le logo d'identification car il est soumis à la réglementation concernant la gestion des Déchets issus des EEE. Toute obligation du constructeur de récupérer des EEE s'applique uniquement aux produits marqués Pfeiffer Vacuum vendus par Pfeiffer Vacuum : ● EEE soumis à la réglementation en vigueur au titre du recyclage des produits en fin de vie, ● EEE complets, non modifiés, utilisant des pièces détachées d'origine Pfeiffer Vacuum et incluant tous leurs ensembles et sous-ensembles, mais excluant les batteries. 26/36 Mise hors service Produit vendu sur le territoire français En l’absence de tout contrat spécifique, et conformément à la législation en vigueur (et notamment aux articles R543-172 et suivants du Code de l’Environnement), pour tout EEE vendu par Pfeiffer Vacuum sur le territoire français, l’organisation et le financement de l’enlèvement et du traitement des déchets issus d'EEE sont pris en charge par Pfeiffer Vacuum. Afin de remplir ses obligations, Pfeiffer Vacuum finance les frais de collecte et le recyclage des déchets issus d’EEE en adhérant à ecosystem. Cet engagement volontaire permet aux possesseurs d’EEE sur le territoire français de bénéficier de solutions simples et gratuites pour assurer le recyclage des EEE soumis à réglementation. Pour connaître toutes les solutions de collecte, s'adresser à ecosystem qui vous indiquera la solution de collecte la plus adaptée à votre besoin : www.ecosystem.eco. Pour plus de détail, consulter les Conditions Générales de Vente en français disponibles sur le site Pfeiffer Vacuum. Produit vendu hors territoire français En l’absence de tout contrat spécifique, et conformément à la Directive 2012/19/ CE concernant le traitement des déchets issus d'EEE, pour tout EEE vendu par Pfeiffer Vacuum hors France (Union Européenne et pays tiers), le possesseur s’engage à prendre seul à sa charge l’organisation et le financement de l’enlèvement et du traitement des déchets d’EEE vendus par Pfeiffer Vacuum. Le possesseur s’engage à prendre seul à sa charge notamment la collecte (regroupement, tri et entreposage des déchets en vue du transport vers un lieu de traitement), le recyclage, la récupération et/ou la mise au rebut, sauf dispositions législatives impératives contraires du pays où est situé le possesseur, qui devront être portées à la connaissance de Pfeiffer Vacuum par le possesseur. 27/36 Dysfonctionnements 7 Dysfonctionnements 7.1 Surveillance de fonctionnement Lors du fonctionnement, l'utilisateur est averti d'un incident sur le panneau de contrôle du détecteur. Type de défaut Panneau de contrôle Avertissement Affichage du défaut. Appuyer sur le picto afficher le défaut. pour Erreur Affichage du défaut. Appuyer sur le picto afficher le défaut. pour Erreur critique Affichage du message « Erreur critique - E244 ». Contacter notre centre de service. HLD Error [Stop detector] 7.2 Affichage d'un défaut ► Appuyer sur le picto i Next, le défaut s'affiche. 3 2 1 4 1 Liste des défauts : 5 maxi. 2 Code défaut RS-232 28/36 3 4 Description du défaut Effacement de l'avertissement et défaut : il s'affichera de nouveau si le problème n'a pas été résolu. Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 8 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum Nous offrons un service de première classe Une longue durée de vie des composants du vide, associée à des temps d’arrêt réduits, sont ce que vous attendez clairement de nous. Nous répondons à vos besoins par des produits efficaces et un service d’exception. Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien évidemment. Nos ingénieurs commerciaux et techniciens de service professionnels sont à votre disposition pour vous assurer un soutien pratique dans le monde entier. Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de services, allant des pièces de rechange d’origine aux accords de service. Profitez du service Pfeiffer Vacuum Qu'il s’agisse du service préventif sur place de notre service sur site, du remplacement rapide par des produits de rechange comme neufs ou de la réparation dans un centre de service proche de chez vous ; vous disposez d'une variété d’options pour maintenir la disponibilité de votre équipement. Vous trouverez des informations détaillées ainsi que les adresses sur notre site web dans la section Pfeiffer Vacuum Service. Des conseils sur la solution optimale sont disponibles auprès de votre interlocuteur Pfeiffer Vacuum. Pour un déroulement rapide et efficace de la procédure de service, nous recommandons de suivre les étapes suivantes : 1. Télécharger les modèles de formulaire actuels. ─ Déclaration de demande de service ─ Demande de service ─ Déclaration de contamination a) Démonter tous les accessoires et les conserver (toutes les pièces externes montées telles que la vanne, le filtre d’arrivée, etc.). b) Vidanger le fluide d'exploitation / lubrifiant si nécessaire. c) Vidanger le fluide de refroidissement si nécessaire. 2. Remplir la demande de service et la déclaration de contamination. ANFORDERUNG SERVICE ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 3. Envoyer les formulaires par e-mail, fax ou par courrier à votre centre de service local. 4. Vous recevrez une réponse de Pfeiffer Vacuum. Envoi de produits contaminés Aucune unité ne sera acceptée si elle est contaminée par des substances micro-biologiques, explosives ou radioactives. Si les produits sont contaminés ou si la déclaration de contamination est manquante, Pfeiffer Vacuum contactera le client avant de démarrer la maintenance. Par ailleurs, selon le produit et le niveau de contamination, des frais de décontamination supplémentaires peuvent être facturés. 29/36 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails contenus dans la déclaration de contamination. a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec. b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air. c) Sceller le produit dans un film de protection approprié. d) Emballer le produit dans des conteneurs de transport stables appropriés uniquement. e) Respecter les conditions de transport en vigueur. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 6. Joindre la déclaration de contamination sur l’extérieur de l’emballage. 7. Envoyer ensuite le produit à votre centre de service local. 8. Vous recevrez un message de confirmation / un devis de la part de Pfeiffer Vacuum. Pour toutes les demandes de service, nos Conditions générales de vente et de livraison ainsi que nos Conditions générales de réparation et de maintenance sont appliquées aux équipements et composants du vide. 30/36 Pièces de rechange 9 Pièces de rechange 9.1 Pièces de rechange du détecteur de fuites Affichage 1 2 Rep Désignation Réf. 1 Panneau de Contrôle 3G - 2 Câble Panneau de Contrôle 3G - 5 m 123909 Qté Remarques - 1 - Ventilation 1 2 1 3 Rep Désignation Réf. Qté Remarques 1 Grille ventilateur 120x120 mm (101094) 056067 1 Vendu à l’unité 2 Ventilateur 101094 1 - 3 Ventilateur 126790 1 - 31/36 Pièces de rechange Alimentation et distribution électrique 2 1 Rep Désignation Réf. Qté Remarques 1 Câble Secteur 6 m (15 A) - USA 126141 1 - 2 Câble Secteur 6 m (16 A) - Europe 126142 1 - Mesure 4 1 2 3 Rep Désignation Réf. Qté Remarques 1 Jauge PI1 aluminium 795706 1 - 2 Filament - Cellule d'analyse 3G 114864S 1 - 3 Joint NBR - Cellule d'analyse 3G 114346 1 Vendu à l'unité 4 Fuite calibrée interne 121528S 1 - Bloc vide 1 2 3 32/36 Rep Désignation Réf. Qté Remarques 1 Silencieux M5 Bronze Fritté 108449 1 - 2 Filtre Fritté bloc vide 122237 1 - 3 Silencieux 1/4 Fil Inox Tresse 101552 1 - Pièces de rechange Refoulement 1 2 3 Rep Désignation Réf. Qté Remarques 1 Tubulure échappement DN 25 ISO-KF 126602 1 - 2 Tubulure échappement DN 40 ISO-KF 126603 1 - 3 Silencieux 1/2 Fil Inox Tresse 109369 1 - Canalisations - Raccords - Joints Rep Désignation Réf. Qyé Remarques - Flexible inox DN 25/40 ISO-KF - L 250 mm 101539 1 - - Silencieux 1/2 Fil inox Tresse 109369 1 - - Silencieux 1/4 Fil inox Tresse 101552 1 - - Collier de serrage DN 10/16 ISO-KF 110BSR016 1 - - Collier de serrage DN 20/25 ISO-KF 120BSR025 1 - - Collier de serrage DN 32/40 ISO-KF 120BSR040 1 - - Obturateur inox DN 40 ISO-KF 120FBL040 1 - - Joint Torique DN 25 ISO-KF HNBR 106022 1 - - Joint Torique DN 40 ISO-KF HNBR 106023 1 - - Joint Torique DN 16 ISO-KF HNBR 106021 1 - - Anneau Porte-Joint DN 25 ISO-KF 120ZRG025 1 - - Anneau Porte-Joint DN 40 ISO-KF 120ZRG040 1 - - Joint Torique DN 63 K HNBR 106816 1 - - Anneau Porte-Joint DN 16 ISO-KF 120ZRG016 1 - - Joint NBR - Cellule 3G 114346 1 - - Tuyau polyuréthane D6 Ep 1 mm 118207 1 Vendu au mètre - Anneau Porte-Joint DN 63 K 068174 1 - - Obturateur PLT 316L DN 40 ISO-KF (inox) 128575 1 - Anneau Porte-Joint DN 40 ISO-KF 128576 1 Pour tubulure d'entrée uniquement - Joint Torique c5 D42 ISO3601 SCVBR 128577 1 Capotage 1 2 4 1x 1x 3 2x 33/36 Pièces de rechange 9.2 Rep Désignation Réf. Qté 1 Plan de travail 126789 1 2 Capot avant équipé 126249S 1 3 Planche étiquette ASM 392EUV Scanner 129395 1 3 Planche étiquette ASM 392EUV Source 129396 1 3 Planche étiquette ASM 392EUV 129397 1 4 Lot étiquettes 130783 1 Accessoires Repère 34/36 Remarques Désignation Référence Qté Remarques Filtre Poussières Inox D 114 mm - 1 5 ou 15 µm - Nous consulter Joint Ø 5 mm - D 114 mm 082152 1 - Filtre Poussières Inox DN 25/25 ISO-KF - 1 5 ou 15 µm - Nous consulter Filtre Poussières Inox DN 40/40 ISO-KF - 1 5 ou 15 µm - Nous consulter Filtre Poussières Inox DN 40/25 ISO-KF - 1 5 ou 15 µm - Nous consulter Pièces de rechange 35/36 *129319* Ed 02 - Date 2022/11 - P/N:129319MFR ">
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