Pfeiffer AHC 2010 Mode d'emploi
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Réference du Manuel : 113160 Edition : 04 - Date : 09/2010 Jauge crystal/cathode chaude AHC 2010 Traduction de la version originale 1 - Sécurité 2 - Responsabilité et garantie Raccordement à la “Terre” Le raccordement à la “Terre” est obligatoire pour éviter tout choc électrique en cas de défaut. Vérifier avant le câblage, qu’il n’y a aucune différence entre le potentiel «Terre» de la jauge et du contrôleur. Installation Vérifier avant la mise en place ou le démontage de la jauge sur l’équipement, que l’installation ne présente aucun risque lié au procédé. Prévoir, au besoin, un balayage de gaz neutre pour éliminer tout gaz ou vapeur résiduels. Accessoires . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . p. 3 Sommaire Consignes de sécurité . . . . . . . . . . . . . . . . p. 2 Responsabilité et garantie . . . . . . . . . . . . . p. 3 Caractéristiques techniques . . . . . . . . . . . . p. 4 et 5 Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . p. 6 Déconnexion de la jauge . . . . . . . . . . . . . p. 11 Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . p. 12 et 13 Déclaration de conformité . . . . . . . . . . . . . p. 15 Modification du produit Ne pas apporter de modification électrique ou mécanique à cette jauge. Toute modification peut engendrer des dommages à la jauge et causer des blessures. Ce type de mise en garde est utilisé pour signaler un risque potentiel qui peut entraîner un dommage important du matériel et/ou des installations en cas de non respect des instructions. 1/15 4 - Caractéristiques techniques Instructions générales Alimentation électrique Ne pas utiliser une alimentation électrique supérieure à 30 V DC. Le non-respect de cette tension maximale peut provoquer des dommages matériels et entraîner des blessures. La jauge AHC 2010 est une jauge combinée crystal/cathode chaude (Bayard-Alpert) prévue pour les mesures de pressions partielles de vide primaire et secondaire (de 1000 mbar à 5.10–10 mbar). C’est une jauge active. Les jauges de type 0/10V peuvent être utilisées soit avec un contrôleur ADIXEN (ACS2000 ou ACM2000), soit avec un équipement du client. Les jauges de type RS485 ne peuvent être utilisées qu’avec un équipement client RS485. Cette jauge ne peut pas être utilisée pour la mesure de pression des gaz inflammables ou combustibles réagissant avec l’air. Pression Ne pas dépasser la pression maximale admissible. Le non-respect de cette pression maximale peut provoquer l’explosion de la jauge et des fuites de gaz. Ces incidents peuvent causer des blessures. Utilisation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . p. 7 à 11 Gaz utilisés Ne pas utiliser cette jauge avec des gaz corrosifs, toxiques, inflammables ou explosifs. Les fuites éventuelles résultant de l’utilisation de ces gaz peuvent engendrer des blessures. Retour des produits. . . . . . . . . . . . . . . . . . p. 13 Décontamination - recyclage . . . . . . . . . . . p. 14 Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 2/15 4 - Caractéristiques techniques (suite) Le fabricant Alcatel Vacuum est dégagé de toute responsabilité et la garantie devient nulle et non avenue si le détenteur du produit ou une tierce personne : Spécifications techniques Principe de mesure Raccordement 70 Embouts de connexion : Réalisation : Axess - www.axess-groupe.com - Publication: Alcatel - Réf. : 113160 - Ed 04 - Date : 09/2010 1 2 3 4 X = 35,5 mm 5.10–10…1.10–8 mbar, ±15% Précision de la mesure 5.10–10…1000 mbar Gamme de mesure 1.10–8…100 mbar ±15% - modifie cette jauge d’une façon quelconque, Répétabilité (température ambiante 25 °C) 1.10–8…100 mbar, 2% Tension d’alimentation 12 W (intensité < 500 mA) Puissance > 2 Vpp Ondulation acceptable 4,7 kΩ Identification de la jauge 300 m - 1mm2 Longueur câble maxi 112752 Câble jauge 5 m connecteur Sub-D 9 points mâle Connexion électrique RS485 Interface (version RS485 + SP) Référence Désignation 1 6 7 8 + 1 2 3 utilisation stockage +5 à +50 °C –20 à +70 °C 70 % sans condensation Humidité admissible 150 °C sans électronique Température d’étuvage 1200 °C Température du filament (cathode chaude) 12,9 cm3 Volume interne indifférente Position de montage DN25 ISOKF, DN40 ISOKF, DN40CF-F Raccordement vide 2 bars Y2O3/Ir Matériau filament Tungstène, SUS304, Pt/Mo, verre, Kovar®,Y2O3/Ir Matériaux en contact avec le vide Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 X X X X X Pression décroissante Crystal 1.103 mbar Le voyant POWER indique la jauge en charge de la mesure : - Clignotant = jauge crystal, vide primaire. - Fixe = jauge cathode chaude, vide secondaire. 2 AHC 2010 - 0/10 V + SP 24 V DC Résistance – d’identification de la jauge DGS Masse X X X X X X X X X X X X Ne pas toucher avec les doigts les surfaces en contact avec le vide, en particulier l’embout de connexion, afin d’éviter tout dépôt. Cela peut provoquer des dégazages et perturber la mesure de pression. Ne pas repositionner la jauge en la manipulant par l’électronique (risque de détérioration). Pour repositionner la jauge dans la position souhaitée, la déconnecter de l’installation, l’orienter dans la position voulue et la reconnecter. Le non-respect de cette règle peut entraîner des défauts. Installer la jauge de façon à limiter au maximum les vibrations. Le non-respect de cette règle peut entraîner des défauts. Même si la jauge peut fonctionner dans toutes les positions, la position horizontale garantit une meilleure précision de mesure. Installer la jauge de façon à éviter tout changement brusque de température. Evitez le montage près d’une source de chaleur ou dans un courant d’air. Ne rien connecter sur les broches inutilisées. Respecter la section des conducteurs si vous fabriquez vos câbles ( 4 p. 4) (1). Connecter la “terre“ pour éviter tout risque de choc électrique. Utilisez une protection électrique sur l’alimentation de la jauge afin d’éviter tout risque de dommage. (1) Un connecteur type Sub-D 9 pts femelle est disponible sur commande pour la connexion sur un équipement client ( 3 p. 3). Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 4/15 La jauge AHC 2010 est une jauge combinée crystal/cathode chaude (Bayard-Alpert). La commutation entre ces 2 jauges se fait automatiquement sans aucun paramétrage possible suivant le schéma ci-dessous. 10–2 mbar Bayard-Alpert 10–2 mbar Description du panneau de contrôle RS485 (+) RS485 (–) SP1 SP COM SP2 DSBL + 4 5 5.10–10 mbar Pression croissante X 3 AHC 2010 - RS485 + SP Sortie analogique (+) Sortie analogique (–) SP1 SP COM SP2 DSBL 9 24 V DC Résistance – d’identification de la jauge DGS Masse Signal 15…30 V DC IP40 Protection 0,25 Ω Résistance nominale du filament (température ambiante de 20 à 28 °C) Sortie analogique (versions 0-10 V + SP) Température 112753 Câble jauge 10 m 3/15 6 - Utilisation Connecter la jauge à l’installation à l’aide d’accessoires de raccordement (1) (disponibles sur le catalogue général du constructeur). Veillez à positionner le câble de raccordement jauge (2) de sorte à ne pas créer de “stress” (contraintes) sur le connecteur (3). DN 25 ISO KF X = 35,5 mm 110 DN 40 ISO KF X = 16 mm DN 40 CF-F Connexions AHC 2010 - 0/10 V + SP électriques 6 7 8 9 5 Broche 1 2 3 4 5 6 7 8 Ne pas dépasser la pression maximale admissible ( 4 p. 4). Le non-respect de cette pression maximale admissible peut provoquer des fuites de gaz dangereuses pour la santé. Ne pas ouvrir l’installation sur laquelle la jauge est raccordée lorsque la pression est supérieure à 1 bar. Des composants peuvent être projetés et causer des blessures. Ne pas utiliser cette jauge sur des procédés utilisant des gaz inflammables ou explosifs. Ne pas chauffer cette jauge au-delà de 70 °C. Au-delà de cette température maximum, cela peut entraîner la détérioration des circuits électroniques et provoquer des fuites. AHC 2010 0/10 V +SP RS485 + SP X Signal 0-10 V (+) Signal RS485 (+) Point de consigne (COM) Fonction DSBL ( 6 p. 11) Alimentation DC (+) Identification Fonction DGS ( 6 p. 11) Point de consigne (1) Point de consigne (2) Signal 0-10 V (–) Signal RS485 (–) Alimentation DC (–) 9 2 contacts secs limités à 1 A 30 V DC 112754 Câble jauge 20 m 114848 Pression maximale admissible Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 5 - Installation Principe de mesure Dimensions de la jauge 50 Jauge combinée : crystal + cathode chaude (Bayart-Alpert) - n’observe pas les instructions figurant dans ce manuel, - utilise ce produit de manière non conforme aux règles de l’art et à l’utilisation prévue, 100…1000 mbar ±20% - utilise la jauge avec des accessoires non répertoriés dans la documentation du produit. La responsabilité relative aux gaz utilisés dans les procédés incombe au détenteur de la jauge. Les défauts engendrés par la pollution (rupture de filament par exemple) ne sont pas couverts par la garantie. 3 - Accessoires 0-10 V 10 V = 1000 mbar ; 0,774 V = 5.10–10 mbar Points de consigne Composants de maintenance Ne pas démonter les composants internes du système de mesure et de l’électronique. Se référer au chapitre 8 pour le remplacement des sous ensembles autorisé. Symboles utilisés Personnel habilité Les travaux décrits dans ce document ne peuvent être effectués que par des personnes ayant une formation technique appropriée et l’expérience nécessaire, ou ayant été formées en conséquence par le détenteur du produit. Ce type de mise en garde est utilisé pour signaler un risque potentiel qui peut entraîner des blessures ou la mort, en cas de non respect des instructions. Connecteur Sub-D 9 points, femelle (pour connexion sur équipement client) Ce type de mise en garde est utilisé pour signaler un risque imminent qui peut entraîner des blessures ou la mort, en cas de non respect des instructions. Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 Alcatel Vacuum Technology France - 98, avenue de Brogny - BP 2069 - 74009 Annecy cedex - FRANCE Tel. (33) 4 50 65 77 77 - Fax. (33) 4 50 65 77 89 Web site: www.adixen.com Manuel de l’Utilisateur Jauge crystal/cathode chaude AHC 2010 5/15 Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 6/15 Voyants lumineux : Etat Power Eteint - AHC 2010 - RS485 + SP Clignotant Description jauge crystal en service Allumé (fixe) - vert ou défaut (voir catalogue défaut) rouge dégazage en cours orange calibration en cours orange jauge cathode chaude en service vert SP1 contact du point de consigne 1 ouvert vert contact du point de consigne 1 fermé orange ou réglage en cours ( orange SP2 6 p. 10) contact du point de consigne 2 ouvert vert contact du point de consigne 2 fermé orange ou réglage en cours ( orange 6 p. 10) Bouton poussoir Description VAC/ATM ajustement atmosphère et zéro SP SEL ajustement des points de consigne Sélecteur rotatif AHC 2010 - 0/10 V + SP réglage des points de consigne ( 6 p. 10) AHC 2010 - RS485 + SP numéro de l’équipement (voir manuel “Protocole de communication RS485/jauge) Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 7/15 Réference du Manuel : 113160 Edition : 04 - Date : 09/2010 1 - Sécurité Jauge crystal/cathode chaude AHC 2010 2 - Responsabilité et garantie Instructions générales Traduction de la version originale Le fabricant Alcatel Vacuum est dégagé de toute responsabilité et la garantie devient nulle et non avenue si le détenteur du produit ou une tierce personne : Alimentation électrique Ne pas utiliser une alimentation électrique supérieure à 30 V DC. Le non-respect de cette tension maximale peut provoquer des dommages matériels et entraîner des blessures. La jauge AHC 2010 est une jauge combinée crystal/cathode chaude (Bayard-Alpert) prévue pour les mesures de pressions partielles de vide primaire et secondaire (de 1000 mbar à 5.10–10 mbar). C’est une jauge active. Les jauges de type 0/10V peuvent être utilisées soit avec un contrôleur ADIXEN (ACS2000 ou ACM2000), soit avec un équipement du client. Les jauges de type RS485 ne peuvent être utilisées qu’avec un équipement client RS485. Cette jauge ne peut pas être utilisée pour la mesure de pression des gaz inflammables ou combustibles réagissant avec l’air. - utilise ce produit de manière non conforme aux règles de l’art et à l’utilisation prévue, Accessoires . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . p. 3 Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . p. 6 Utilisation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . p. 7 à 11 Gaz utilisés Ne pas utiliser cette jauge avec des gaz corrosifs, toxiques, inflammables ou explosifs. Les fuites éventuelles résultant de l’utilisation de ces gaz peuvent engendrer des blessures. Déconnexion de la jauge . . . . . . . . . . . . . p. 11 Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . p. 12 et 13 Retour des produits. . . . . . . . . . . . . . . . . . p. 13 Décontamination - recyclage . . . . . . . . . . . p. 14 Symboles utilisés Ce type de mise en garde est utilisé pour signaler un risque potentiel qui peut entraîner un dommage important du matériel et/ou des installations en cas de non respect des instructions. Ce type de mise en garde est utilisé pour signaler un risque potentiel qui peut entraîner des blessures ou la mort, en cas de non respect des instructions. Personnel habilité Les travaux décrits dans ce document ne peuvent être effectués que par des personnes ayant une formation technique appropriée et l’expérience nécessaire, ou ayant été formées en conséquence par le détenteur du produit. 5.10–10…1.10–8 mbar, ±15% Les défauts engendrés par la pollution (rupture de filament par exemple) ne sont pas couverts par la garantie. > 2 Vpp Puissance 12 W (intensité < 500 mA) 4,7 kΩ Résistance nominale du filament (température ambiante de 20 à 28 °C) 0,25 Ω Sortie analogique (versions 0-10 V + SP) 0-10 V 10 V = 1000 mbar ; 0,774 V = 5.10–10 mbar Points de consigne 2 contacts secs limités à 1 A 30 V DC Interface (version RS485 + SP) RS485 Connexion électrique connecteur Sub-D 9 points mâle Référence 112752 Longueur câble maxi 112753 Température Connecteur Sub-D 9 points, femelle (pour connexion sur équipement client) 300 m - 1mm2 utilisation stockage 112754 114848 Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 Alcatel Vacuum Technology France - 98, avenue de Brogny - BP 2069 - 74009 Annecy cedex - FRANCE Tel. (33) 4 50 65 77 77 - Fax. (33) 4 50 65 77 89 Web site: www.adixen.com 4 - Caractéristiques techniques (suite) IP40 Identification de la jauge Câble jauge 5 m Câble jauge 10 m 15…30 V DC Protection Désignation Câble jauge 20 m 2/15 100…1000 mbar ±20% Répétabilité (température ambiante 25 °C) 1.10–8…100 mbar, 2% Ondulation acceptable Ce type de mise en garde est utilisé pour signaler un risque imminent qui peut entraîner des blessures ou la mort, en cas de non respect des instructions. Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 5.10–10…1000 mbar Tension d’alimentation 3 - Accessoires Modification du produit Ne pas apporter de modification électrique ou mécanique à cette jauge. Toute modification peut engendrer des dommages à la jauge et causer des blessures. 1/15 Gamme de mesure Précision de la mesure La responsabilité relative aux gaz utilisés dans les procédés incombe au détenteur de la jauge. Composants de maintenance Ne pas démonter les composants internes du système de mesure et de l’électronique. Se référer au chapitre 8 pour le remplacement des sous ensembles autorisé. Déclaration de conformité . . . . . . . . . . . . . p. 15 Jauge combinée : crystal + cathode chaude (Bayart-Alpert) 1.10–8…100 mbar ±15% - utilise la jauge avec des accessoires non répertoriés dans la documentation du produit. Pression Ne pas dépasser la pression maximale admissible. Le non-respect de cette pression maximale peut provoquer l’explosion de la jauge et des fuites de gaz. Ces incidents peuvent causer des blessures. Caractéristiques techniques . . . . . . . . . . . . p. 4 et 5 Principe de mesure - modifie cette jauge d’une façon quelconque, Installation Vérifier avant la mise en place ou le démontage de la jauge sur l’équipement, que l’installation ne présente aucun risque lié au procédé. Prévoir, au besoin, un balayage de gaz neutre pour éliminer tout gaz ou vapeur résiduels. Responsabilité et garantie . . . . . . . . . . . . . p. 3 Spécifications techniques - n’observe pas les instructions figurant dans ce manuel, Raccordement à la “Terre” Le raccordement à la “Terre” est obligatoire pour éviter tout choc électrique en cas de défaut. Vérifier avant le câblage, qu’il n’y a aucune différence entre le potentiel «Terre» de la jauge et du contrôleur. Sommaire Consignes de sécurité . . . . . . . . . . . . . . . . p. 2 Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 4 - Caractéristiques techniques 3/15 +5 à +50 °C –20 à +70 °C Température du filament (cathode chaude) 1200 °C Température d’étuvage 150 °C sans électronique Humidité admissible 70 % sans condensation Raccordement vide DN25 ISOKF, DN40 ISOKF, DN40CF-F Position de montage indifférente Volume interne 12,9 cm3 Pression maximale admissible 2 bars Matériaux en contact avec le vide Tungstène, SUS304, Pt/Mo, verre, Kovar®,Y2O3/Ir Matériau filament Y2O3/Ir Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 5 - Installation 4/15 6 - Utilisation Principe de mesure La jauge AHC 2010 est une jauge combinée crystal/cathode Raccordement Connecter la jauge à l’installation à l’aide d’accessoires de 70 50 Dimensions de la jauge raccordement (1) (disponibles sur le catalogue général du constructeur). Embouts de connexion : Veillez à positionner le câble de raccordement jauge (2) de sorte à ne pas créer de “stress” (contraintes) sur le connecteur (3). Manuel de l’Utilisateur DN 25 ISO KF X = 35,5 mm 110 DN 40 ISO KF X = 16 mm DN 40 CF-F X = 35,5 mm Réalisation : Axess - www.axess-groupe.com - Publication: Alcatel - Réf. : 113160 - Ed 04 - Date : 01/2010 Connexions AHC 2010 - 0/10 V + SP électriques Sortie analogique (+) 6 7 8 9 1 2 3 4 5 24 V DC Résistance – d’identification de la jauge DGS Masse Signal 1 Signal 0-10 V (+) Signal RS485 (+) Point de consigne (COM) Fonction DSBL ( 6 p. 11) Alimentation DC (+) Identification Fonction DGS ( 6 p. 11) Point de consigne (1) Point de consigne (2) Signal 0-10 V (–) Signal RS485 (–) Alimentation DC (–) 2 3 4 5 6 7 8 9 3 AHC 2010 - RS485 + SP Sortie analogique (–) SP1 SP COM SP2 DSBL + Broche 1 X 6 7 8 9 1 2 3 Description du panneau de contrôle RS485 (+) RS485 (–) SP1 SP COM SP2 DSBL 2 + 4 5 24 V DC Résistance – d’identification de la jauge DGS Masse AHC 2010 0/10 V +SP RS485 + SP X X X X X X X X X X X X X X X X X X Ne rien connecter sur les broches inutilisées. Respecter la section des conducteurs si vous fabriquez vos câbles ( 4 p. 4) (1). Connecter la “terre“ pour éviter tout risque de choc électrique. Utilisez une protection électrique sur l’alimentation de la jauge afin d’éviter tout risque de dommage. (1) Un connecteur type Sub-D 9 pts femelle est disponible sur commande pour la connexion sur un équipement client ( 3 p. 3). Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 chaude (Bayard-Alpert). La commutation entre ces 2 jauges se fait automatiquement sans aucun paramétrage possible suivant le schéma ci-dessous. Le voyant POWER indique la 10–2 mbar Pression décroissante jauge en charge de la mesure : - Clignotant = jauge crystal, 5.10–10 mbar Bayard-Alpert 1.103 mbar Crystal vide primaire. –2 10 mbar Pression croissante - Fixe = jauge cathode chaude, vide secondaire. 5/15 AHC 2010 - 0/10 V + SP Ne pas dépasser la pression maximale admissible ( 4 p. 4). Le non-respect de cette pression maximale admissible peut provoquer des fuites de gaz dangereuses pour la santé. Ne pas ouvrir l’installation sur laquelle la jauge est raccordée lorsque la pression est supérieure à 1 bar. Des composants peuvent être projetés et causer des blessures. Ne pas utiliser cette jauge sur des procédés utilisant des gaz inflammables ou explosifs. Ne pas chauffer cette jauge au-delà de 70 °C. Au-delà de cette température maximum, cela peut entraîner la détérioration des circuits électroniques et provoquer des fuites. Ne pas toucher avec les doigts les surfaces en contact avec le vide, en particulier l’embout de connexion, afin d’éviter tout dépôt. Cela peut provoquer des dégazages et perturber la mesure de pression. Ne pas repositionner la jauge en la manipulant par l’électronique (risque de détérioration). Pour repositionner la jauge dans la position souhaitée, la déconnecter de l’installation, l’orienter dans la position voulue et la reconnecter. Le non-respect de cette règle peut entraîner des défauts. Installer la jauge de façon à limiter au maximum les vibrations. Le non-respect de cette règle peut entraîner des défauts. Même si la jauge peut fonctionner dans toutes les positions, la position horizontale garantit une meilleure précision de mesure. Installer la jauge de façon à éviter tout changement brusque de température. Evitez le montage près d’une source de chaleur ou dans un courant d’air. Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 6/15 Voyants lumineux : Eteint Etat Power vert ou Allumé (fixe) - AHC 2010 - RS485 + SP Clignotant Description jauge crystal en service vert jauge cathode chaude en service orange calibration en cours orange dégazage en cours rouge défaut (voir catalogue défaut) vert contact du point de consigne 1 fermé SP1 contact du point de consigne 1 ouvert orange ou orange SP2 réglage en cours ( 6 p. 10) contact du point de consigne 2 ouvert vert orange ou contact du point de consigne 2 fermé orange réglage en cours ( 6 p. 10) Bouton poussoir Description VAC/ATM ajustement atmosphère et zéro SP SEL ajustement des points de consigne Sélecteur rotatif AHC 2010 - 0/10 V + SP réglage des points de consigne ( 6 p. 10) AHC 2010 - RS485 + SP numéro de l’équipement (voir manuel “Protocole de communication RS485/jauge) Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 7/15 Jauge crystal/cathode chaude AHC 2010 Réference du Manuel : 113160 Edition : 04 - Date : 09/2010 1 - Sécurité Jauge crystal/cathode chaude AHC 2010 2 - Responsabilité et garantie Instructions générales Traduction de la version originale Le fabricant Alcatel Vacuum est dégagé de toute responsabilité et la garantie devient nulle et non avenue si le détenteur du produit ou une tierce personne : Alimentation électrique Ne pas utiliser une alimentation électrique supérieure à 30 V DC. Le non-respect de cette tension maximale peut provoquer des dommages matériels et entraîner des blessures. La jauge AHC 2010 est une jauge combinée crystal/cathode chaude (Bayard-Alpert) prévue pour les mesures de pressions partielles de vide primaire et secondaire (de 1000 mbar à 5.10–10 mbar). C’est une jauge active. Les jauges de type 0/10V peuvent être utilisées soit avec un contrôleur ADIXEN (ACS2000 ou ACM2000), soit avec un équipement du client. Les jauges de type RS485 ne peuvent être utilisées qu’avec un équipement client RS485. Cette jauge ne peut pas être utilisée pour la mesure de pression des gaz inflammables ou combustibles réagissant avec l’air. - utilise ce produit de manière non conforme aux règles de l’art et à l’utilisation prévue, Accessoires . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . p. 3 Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . p. 6 Utilisation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . p. 7 à 11 Gaz utilisés Ne pas utiliser cette jauge avec des gaz corrosifs, toxiques, inflammables ou explosifs. Les fuites éventuelles résultant de l’utilisation de ces gaz peuvent engendrer des blessures. Déconnexion de la jauge . . . . . . . . . . . . . p. 11 Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . p. 12 et 13 Retour des produits. . . . . . . . . . . . . . . . . . p. 13 Décontamination - recyclage . . . . . . . . . . . p. 14 Symboles utilisés Ce type de mise en garde est utilisé pour signaler un risque potentiel qui peut entraîner un dommage important du matériel et/ou des installations en cas de non respect des instructions. Ce type de mise en garde est utilisé pour signaler un risque potentiel qui peut entraîner des blessures ou la mort, en cas de non respect des instructions. Personnel habilité Les travaux décrits dans ce document ne peuvent être effectués que par des personnes ayant une formation technique appropriée et l’expérience nécessaire, ou ayant été formées en conséquence par le détenteur du produit. 5.10–10…1.10–8 mbar, ±15% Les défauts engendrés par la pollution (rupture de filament par exemple) ne sont pas couverts par la garantie. > 2 Vpp Puissance 12 W (intensité < 500 mA) 4,7 kΩ Résistance nominale du filament (température ambiante de 20 à 28 °C) 0,25 Ω Sortie analogique (versions 0-10 V + SP) 0-10 V 10 V = 1000 mbar ; 0,774 V = 5.10–10 mbar Points de consigne 2 contacts secs limités à 1 A 30 V DC Interface (version RS485 + SP) RS485 Connexion électrique connecteur Sub-D 9 points mâle Référence 112752 Longueur câble maxi 112753 Température Connecteur Sub-D 9 points, femelle (pour connexion sur équipement client) 300 m - 1mm2 utilisation stockage 112754 114848 Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 Alcatel Vacuum Technology France - 98, avenue de Brogny - BP 2069 - 74009 Annecy cedex - FRANCE Tel. (33) 4 50 65 77 77 - Fax. (33) 4 50 65 77 89 Web site: www.adixen.com 4 - Caractéristiques techniques (suite) IP40 Identification de la jauge Câble jauge 5 m Câble jauge 10 m 15…30 V DC Protection Désignation Câble jauge 20 m 2/15 100…1000 mbar ±20% Répétabilité (température ambiante 25 °C) 1.10–8…100 mbar, 2% Ondulation acceptable Ce type de mise en garde est utilisé pour signaler un risque imminent qui peut entraîner des blessures ou la mort, en cas de non respect des instructions. Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 5.10–10…1000 mbar Tension d’alimentation 3 - Accessoires Modification du produit Ne pas apporter de modification électrique ou mécanique à cette jauge. Toute modification peut engendrer des dommages à la jauge et causer des blessures. 1/15 Gamme de mesure Précision de la mesure La responsabilité relative aux gaz utilisés dans les procédés incombe au détenteur de la jauge. Composants de maintenance Ne pas démonter les composants internes du système de mesure et de l’électronique. Se référer au chapitre 8 pour le remplacement des sous ensembles autorisé. Déclaration de conformité . . . . . . . . . . . . . p. 15 Jauge combinée : crystal + cathode chaude (Bayart-Alpert) 1.10–8…100 mbar ±15% - utilise la jauge avec des accessoires non répertoriés dans la documentation du produit. Pression Ne pas dépasser la pression maximale admissible. Le non-respect de cette pression maximale peut provoquer l’explosion de la jauge et des fuites de gaz. Ces incidents peuvent causer des blessures. Caractéristiques techniques . . . . . . . . . . . . p. 4 et 5 Principe de mesure - modifie cette jauge d’une façon quelconque, Installation Vérifier avant la mise en place ou le démontage de la jauge sur l’équipement, que l’installation ne présente aucun risque lié au procédé. Prévoir, au besoin, un balayage de gaz neutre pour éliminer tout gaz ou vapeur résiduels. Responsabilité et garantie . . . . . . . . . . . . . p. 3 Spécifications techniques - n’observe pas les instructions figurant dans ce manuel, Raccordement à la “Terre” Le raccordement à la “Terre” est obligatoire pour éviter tout choc électrique en cas de défaut. Vérifier avant le câblage, qu’il n’y a aucune différence entre le potentiel «Terre» de la jauge et du contrôleur. Sommaire Consignes de sécurité . . . . . . . . . . . . . . . . p. 2 Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 4 - Caractéristiques techniques 3/15 +5 à +50 °C –20 à +70 °C Température du filament (cathode chaude) 1200 °C Température d’étuvage 150 °C sans électronique Humidité admissible 70 % sans condensation Raccordement vide DN25 ISOKF, DN40 ISOKF, DN40CF-F Position de montage indifférente Volume interne 12,9 cm3 Pression maximale admissible 2 bars Matériaux en contact avec le vide Tungstène, SUS304, Pt/Mo, verre, Kovar®,Y2O3/Ir Matériau filament Y2O3/Ir Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 5 - Installation 4/15 6 - Utilisation Principe de mesure La jauge AHC 2010 est une jauge combinée crystal/cathode Raccordement Connecter la jauge à l’installation à l’aide d’accessoires de 70 50 Dimensions de la jauge raccordement (1) (disponibles sur le catalogue général du constructeur). Embouts de connexion : Veillez à positionner le câble de raccordement jauge (2) de sorte à ne pas créer de “stress” (contraintes) sur le connecteur (3). Manuel de l’Utilisateur DN 25 ISO KF X = 35,5 mm 110 DN 40 ISO KF X = 16 mm DN 40 CF-F X = 35,5 mm Réalisation : Axess - www.axess-groupe.com - Publication: Alcatel - Réf. : 113160 - Ed 04 - Date : 01/2010 Connexions AHC 2010 - 0/10 V + SP électriques Sortie analogique (+) 6 7 8 9 1 2 3 4 5 24 V DC Résistance – d’identification de la jauge DGS Masse Signal 1 Signal 0-10 V (+) Signal RS485 (+) Point de consigne (COM) Fonction DSBL ( 6 p. 11) Alimentation DC (+) Identification Fonction DGS ( 6 p. 11) Point de consigne (1) Point de consigne (2) Signal 0-10 V (–) Signal RS485 (–) Alimentation DC (–) 2 3 4 5 6 7 8 9 3 AHC 2010 - RS485 + SP Sortie analogique (–) SP1 SP COM SP2 DSBL + Broche 1 X 6 7 8 9 1 2 3 Description du panneau de contrôle RS485 (+) RS485 (–) SP1 SP COM SP2 DSBL 2 + 4 5 24 V DC Résistance – d’identification de la jauge DGS Masse AHC 2010 0/10 V +SP RS485 + SP X X X X X X X X X X X X X X X X X X Ne rien connecter sur les broches inutilisées. Respecter la section des conducteurs si vous fabriquez vos câbles ( 4 p. 4) (1). Connecter la “terre“ pour éviter tout risque de choc électrique. Utilisez une protection électrique sur l’alimentation de la jauge afin d’éviter tout risque de dommage. (1) Un connecteur type Sub-D 9 pts femelle est disponible sur commande pour la connexion sur un équipement client ( 3 p. 3). Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 chaude (Bayard-Alpert). La commutation entre ces 2 jauges se fait automatiquement sans aucun paramétrage possible suivant le schéma ci-dessous. Le voyant POWER indique la 10–2 mbar Pression décroissante jauge en charge de la mesure : - Clignotant = jauge crystal, 5.10–10 mbar Bayard-Alpert 1.103 mbar Crystal vide primaire. –2 10 mbar Pression croissante - Fixe = jauge cathode chaude, vide secondaire. 5/15 AHC 2010 - 0/10 V + SP Ne pas dépasser la pression maximale admissible ( 4 p. 4). Le non-respect de cette pression maximale admissible peut provoquer des fuites de gaz dangereuses pour la santé. Ne pas ouvrir l’installation sur laquelle la jauge est raccordée lorsque la pression est supérieure à 1 bar. Des composants peuvent être projetés et causer des blessures. Ne pas utiliser cette jauge sur des procédés utilisant des gaz inflammables ou explosifs. Ne pas chauffer cette jauge au-delà de 70 °C. Au-delà de cette température maximum, cela peut entraîner la détérioration des circuits électroniques et provoquer des fuites. Ne pas toucher avec les doigts les surfaces en contact avec le vide, en particulier l’embout de connexion, afin d’éviter tout dépôt. Cela peut provoquer des dégazages et perturber la mesure de pression. Ne pas repositionner la jauge en la manipulant par l’électronique (risque de détérioration). Pour repositionner la jauge dans la position souhaitée, la déconnecter de l’installation, l’orienter dans la position voulue et la reconnecter. Le non-respect de cette règle peut entraîner des défauts. Installer la jauge de façon à limiter au maximum les vibrations. Le non-respect de cette règle peut entraîner des défauts. Même si la jauge peut fonctionner dans toutes les positions, la position horizontale garantit une meilleure précision de mesure. Installer la jauge de façon à éviter tout changement brusque de température. Evitez le montage près d’une source de chaleur ou dans un courant d’air. Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 6/15 Voyants lumineux : Eteint Etat Power vert ou Allumé (fixe) - AHC 2010 - RS485 + SP Clignotant Description jauge crystal en service vert jauge cathode chaude en service orange calibration en cours orange dégazage en cours rouge défaut (voir catalogue défaut) vert contact du point de consigne 1 fermé SP1 contact du point de consigne 1 ouvert orange ou orange SP2 réglage en cours ( 6 p. 10) contact du point de consigne 2 ouvert vert orange ou contact du point de consigne 2 fermé orange réglage en cours ( 6 p. 10) Bouton poussoir Description VAC/ATM ajustement atmosphère et zéro SP SEL ajustement des points de consigne Sélecteur rotatif AHC 2010 - 0/10 V + SP réglage des points de consigne ( 6 p. 10) AHC 2010 - RS485 + SP numéro de l’équipement (voir manuel “Protocole de communication RS485/jauge) Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 7/15 Jauge crystal/cathode chaude AHC 2010 Réference du Manuel : 113160 Edition : 04 - Date : 09/2010 1 - Sécurité Jauge crystal/cathode chaude AHC 2010 2 - Responsabilité et garantie Instructions générales Traduction de la version originale Le fabricant Alcatel Vacuum est dégagé de toute responsabilité et la garantie devient nulle et non avenue si le détenteur du produit ou une tierce personne : Alimentation électrique Ne pas utiliser une alimentation électrique supérieure à 30 V DC. Le non-respect de cette tension maximale peut provoquer des dommages matériels et entraîner des blessures. La jauge AHC 2010 est une jauge combinée crystal/cathode chaude (Bayard-Alpert) prévue pour les mesures de pressions partielles de vide primaire et secondaire (de 1000 mbar à 5.10–10 mbar). C’est une jauge active. Les jauges de type 0/10V peuvent être utilisées soit avec un contrôleur ADIXEN (ACS2000 ou ACM2000), soit avec un équipement du client. Les jauges de type RS485 ne peuvent être utilisées qu’avec un équipement client RS485. Cette jauge ne peut pas être utilisée pour la mesure de pression des gaz inflammables ou combustibles réagissant avec l’air. - utilise ce produit de manière non conforme aux règles de l’art et à l’utilisation prévue, Accessoires . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . p. 3 Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . p. 6 Utilisation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . p. 7 à 11 Gaz utilisés Ne pas utiliser cette jauge avec des gaz corrosifs, toxiques, inflammables ou explosifs. Les fuites éventuelles résultant de l’utilisation de ces gaz peuvent engendrer des blessures. Déconnexion de la jauge . . . . . . . . . . . . . p. 11 Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . p. 12 et 13 Retour des produits. . . . . . . . . . . . . . . . . . p. 13 Décontamination - recyclage . . . . . . . . . . . p. 14 Symboles utilisés Ce type de mise en garde est utilisé pour signaler un risque potentiel qui peut entraîner un dommage important du matériel et/ou des installations en cas de non respect des instructions. Ce type de mise en garde est utilisé pour signaler un risque potentiel qui peut entraîner des blessures ou la mort, en cas de non respect des instructions. Personnel habilité Les travaux décrits dans ce document ne peuvent être effectués que par des personnes ayant une formation technique appropriée et l’expérience nécessaire, ou ayant été formées en conséquence par le détenteur du produit. 5.10–10…1.10–8 mbar, ±15% Les défauts engendrés par la pollution (rupture de filament par exemple) ne sont pas couverts par la garantie. > 2 Vpp Puissance 12 W (intensité < 500 mA) 4,7 kΩ Résistance nominale du filament (température ambiante de 20 à 28 °C) 0,25 Ω Sortie analogique (versions 0-10 V + SP) 0-10 V 10 V = 1000 mbar ; 0,774 V = 5.10–10 mbar Points de consigne 2 contacts secs limités à 1 A 30 V DC Interface (version RS485 + SP) RS485 Connexion électrique connecteur Sub-D 9 points mâle Référence 112752 Longueur câble maxi 112753 Température Connecteur Sub-D 9 points, femelle (pour connexion sur équipement client) 300 m - 1mm2 utilisation stockage 112754 114848 Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 Alcatel Vacuum Technology France - 98, avenue de Brogny - BP 2069 - 74009 Annecy cedex - FRANCE Tel. (33) 4 50 65 77 77 - Fax. (33) 4 50 65 77 89 Web site: www.adixen.com 4 - Caractéristiques techniques (suite) IP40 Identification de la jauge Câble jauge 5 m Câble jauge 10 m 15…30 V DC Protection Désignation Câble jauge 20 m 2/15 100…1000 mbar ±20% Répétabilité (température ambiante 25 °C) 1.10–8…100 mbar, 2% Ondulation acceptable Ce type de mise en garde est utilisé pour signaler un risque imminent qui peut entraîner des blessures ou la mort, en cas de non respect des instructions. Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 5.10–10…1000 mbar Tension d’alimentation 3 - Accessoires Modification du produit Ne pas apporter de modification électrique ou mécanique à cette jauge. Toute modification peut engendrer des dommages à la jauge et causer des blessures. 1/15 Gamme de mesure Précision de la mesure La responsabilité relative aux gaz utilisés dans les procédés incombe au détenteur de la jauge. Composants de maintenance Ne pas démonter les composants internes du système de mesure et de l’électronique. Se référer au chapitre 8 pour le remplacement des sous ensembles autorisé. Déclaration de conformité . . . . . . . . . . . . . p. 15 Jauge combinée : crystal + cathode chaude (Bayart-Alpert) 1.10–8…100 mbar ±15% - utilise la jauge avec des accessoires non répertoriés dans la documentation du produit. Pression Ne pas dépasser la pression maximale admissible. Le non-respect de cette pression maximale peut provoquer l’explosion de la jauge et des fuites de gaz. Ces incidents peuvent causer des blessures. Caractéristiques techniques . . . . . . . . . . . . p. 4 et 5 Principe de mesure - modifie cette jauge d’une façon quelconque, Installation Vérifier avant la mise en place ou le démontage de la jauge sur l’équipement, que l’installation ne présente aucun risque lié au procédé. Prévoir, au besoin, un balayage de gaz neutre pour éliminer tout gaz ou vapeur résiduels. Responsabilité et garantie . . . . . . . . . . . . . p. 3 Spécifications techniques - n’observe pas les instructions figurant dans ce manuel, Raccordement à la “Terre” Le raccordement à la “Terre” est obligatoire pour éviter tout choc électrique en cas de défaut. Vérifier avant le câblage, qu’il n’y a aucune différence entre le potentiel «Terre» de la jauge et du contrôleur. Sommaire Consignes de sécurité . . . . . . . . . . . . . . . . p. 2 Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 4 - Caractéristiques techniques 3/15 +5 à +50 °C –20 à +70 °C Température du filament (cathode chaude) 1200 °C Température d’étuvage 150 °C sans électronique Humidité admissible 70 % sans condensation Raccordement vide DN25 ISOKF, DN40 ISOKF, DN40CF-F Position de montage indifférente Volume interne 12,9 cm3 Pression maximale admissible 2 bars Matériaux en contact avec le vide Tungstène, SUS304, Pt/Mo, verre, Kovar®,Y2O3/Ir Matériau filament Y2O3/Ir Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 5 - Installation 4/15 6 - Utilisation Principe de mesure La jauge AHC 2010 est une jauge combinée crystal/cathode Raccordement Connecter la jauge à l’installation à l’aide d’accessoires de 70 50 Dimensions de la jauge raccordement (1) (disponibles sur le catalogue général du constructeur). Embouts de connexion : Veillez à positionner le câble de raccordement jauge (2) de sorte à ne pas créer de “stress” (contraintes) sur le connecteur (3). Manuel de l’Utilisateur DN 25 ISO KF X = 35,5 mm 110 DN 40 ISO KF X = 16 mm DN 40 CF-F X = 35,5 mm Réalisation : Axess - www.axess-groupe.com - Publication: Alcatel - Réf. : 113160 - Ed 04 - Date : 01/2010 Connexions AHC 2010 - 0/10 V + SP électriques Sortie analogique (+) 6 7 8 9 1 2 3 4 5 24 V DC Résistance – d’identification de la jauge DGS Masse Signal 1 Signal 0-10 V (+) Signal RS485 (+) Point de consigne (COM) Fonction DSBL ( 6 p. 11) Alimentation DC (+) Identification Fonction DGS ( 6 p. 11) Point de consigne (1) Point de consigne (2) Signal 0-10 V (–) Signal RS485 (–) Alimentation DC (–) 2 3 4 5 6 7 8 9 3 AHC 2010 - RS485 + SP Sortie analogique (–) SP1 SP COM SP2 DSBL + Broche 1 X 6 7 8 9 1 2 3 Description du panneau de contrôle RS485 (+) RS485 (–) SP1 SP COM SP2 DSBL 2 + 4 5 24 V DC Résistance – d’identification de la jauge DGS Masse AHC 2010 0/10 V +SP RS485 + SP X X X X X X X X X X X X X X X X X X Ne rien connecter sur les broches inutilisées. Respecter la section des conducteurs si vous fabriquez vos câbles ( 4 p. 4) (1). Connecter la “terre“ pour éviter tout risque de choc électrique. Utilisez une protection électrique sur l’alimentation de la jauge afin d’éviter tout risque de dommage. (1) Un connecteur type Sub-D 9 pts femelle est disponible sur commande pour la connexion sur un équipement client ( 3 p. 3). Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 chaude (Bayard-Alpert). La commutation entre ces 2 jauges se fait automatiquement sans aucun paramétrage possible suivant le schéma ci-dessous. Le voyant POWER indique la 10–2 mbar Pression décroissante jauge en charge de la mesure : - Clignotant = jauge crystal, 5.10–10 mbar Bayard-Alpert 1.103 mbar Crystal vide primaire. –2 10 mbar Pression croissante - Fixe = jauge cathode chaude, vide secondaire. 5/15 AHC 2010 - 0/10 V + SP Ne pas dépasser la pression maximale admissible ( 4 p. 4). Le non-respect de cette pression maximale admissible peut provoquer des fuites de gaz dangereuses pour la santé. Ne pas ouvrir l’installation sur laquelle la jauge est raccordée lorsque la pression est supérieure à 1 bar. Des composants peuvent être projetés et causer des blessures. Ne pas utiliser cette jauge sur des procédés utilisant des gaz inflammables ou explosifs. Ne pas chauffer cette jauge au-delà de 70 °C. Au-delà de cette température maximum, cela peut entraîner la détérioration des circuits électroniques et provoquer des fuites. Ne pas toucher avec les doigts les surfaces en contact avec le vide, en particulier l’embout de connexion, afin d’éviter tout dépôt. Cela peut provoquer des dégazages et perturber la mesure de pression. Ne pas repositionner la jauge en la manipulant par l’électronique (risque de détérioration). Pour repositionner la jauge dans la position souhaitée, la déconnecter de l’installation, l’orienter dans la position voulue et la reconnecter. Le non-respect de cette règle peut entraîner des défauts. Installer la jauge de façon à limiter au maximum les vibrations. Le non-respect de cette règle peut entraîner des défauts. Même si la jauge peut fonctionner dans toutes les positions, la position horizontale garantit une meilleure précision de mesure. Installer la jauge de façon à éviter tout changement brusque de température. Evitez le montage près d’une source de chaleur ou dans un courant d’air. Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 6/15 Voyants lumineux : Eteint Etat Power vert ou Allumé (fixe) - AHC 2010 - RS485 + SP Clignotant Description jauge crystal en service vert jauge cathode chaude en service orange calibration en cours orange dégazage en cours rouge défaut (voir catalogue défaut) vert contact du point de consigne 1 fermé SP1 contact du point de consigne 1 ouvert orange ou orange SP2 réglage en cours ( 6 p. 10) contact du point de consigne 2 ouvert vert orange ou contact du point de consigne 2 fermé orange réglage en cours ( 6 p. 10) Bouton poussoir Description VAC/ATM ajustement atmosphère et zéro SP SEL ajustement des points de consigne Sélecteur rotatif AHC 2010 - 0/10 V + SP réglage des points de consigne ( 6 p. 10) AHC 2010 - RS485 + SP numéro de l’équipement (voir manuel “Protocole de communication RS485/jauge) Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 7/15 Jauge crystal/cathode chaude AHC 2010 Réference du Manuel : 113160 Edition : 04 - Date : 09/2010 1 - Sécurité Jauge crystal/cathode chaude AHC 2010 2 - Responsabilité et garantie Instructions générales Traduction de la version originale Le fabricant Alcatel Vacuum est dégagé de toute responsabilité et la garantie devient nulle et non avenue si le détenteur du produit ou une tierce personne : Alimentation électrique Ne pas utiliser une alimentation électrique supérieure à 30 V DC. Le non-respect de cette tension maximale peut provoquer des dommages matériels et entraîner des blessures. La jauge AHC 2010 est une jauge combinée crystal/cathode chaude (Bayard-Alpert) prévue pour les mesures de pressions partielles de vide primaire et secondaire (de 1000 mbar à 5.10–10 mbar). C’est une jauge active. Les jauges de type 0/10V peuvent être utilisées soit avec un contrôleur ADIXEN (ACS2000 ou ACM2000), soit avec un équipement du client. Les jauges de type RS485 ne peuvent être utilisées qu’avec un équipement client RS485. Cette jauge ne peut pas être utilisée pour la mesure de pression des gaz inflammables ou combustibles réagissant avec l’air. - utilise ce produit de manière non conforme aux règles de l’art et à l’utilisation prévue, Accessoires . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . p. 3 Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . p. 6 Utilisation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . p. 7 à 11 Gaz utilisés Ne pas utiliser cette jauge avec des gaz corrosifs, toxiques, inflammables ou explosifs. Les fuites éventuelles résultant de l’utilisation de ces gaz peuvent engendrer des blessures. Déconnexion de la jauge . . . . . . . . . . . . . p. 11 Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . p. 12 et 13 Retour des produits. . . . . . . . . . . . . . . . . . p. 13 Décontamination - recyclage . . . . . . . . . . . p. 14 Symboles utilisés Ce type de mise en garde est utilisé pour signaler un risque potentiel qui peut entraîner un dommage important du matériel et/ou des installations en cas de non respect des instructions. Ce type de mise en garde est utilisé pour signaler un risque potentiel qui peut entraîner des blessures ou la mort, en cas de non respect des instructions. Personnel habilité Les travaux décrits dans ce document ne peuvent être effectués que par des personnes ayant une formation technique appropriée et l’expérience nécessaire, ou ayant été formées en conséquence par le détenteur du produit. 5.10–10…1.10–8 mbar, ±15% Les défauts engendrés par la pollution (rupture de filament par exemple) ne sont pas couverts par la garantie. > 2 Vpp Puissance 12 W (intensité < 500 mA) 4,7 kΩ Résistance nominale du filament (température ambiante de 20 à 28 °C) 0,25 Ω Sortie analogique (versions 0-10 V + SP) 0-10 V 10 V = 1000 mbar ; 0,774 V = 5.10–10 mbar Points de consigne 2 contacts secs limités à 1 A 30 V DC Interface (version RS485 + SP) RS485 Connexion électrique connecteur Sub-D 9 points mâle Référence 112752 Longueur câble maxi 112753 Température Connecteur Sub-D 9 points, femelle (pour connexion sur équipement client) 300 m - 1mm2 utilisation stockage 112754 114848 Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 Alcatel Vacuum Technology France - 98, avenue de Brogny - BP 2069 - 74009 Annecy cedex - FRANCE Tel. (33) 4 50 65 77 77 - Fax. (33) 4 50 65 77 89 Web site: www.adixen.com 4 - Caractéristiques techniques (suite) IP40 Identification de la jauge Câble jauge 5 m Câble jauge 10 m 15…30 V DC Protection Désignation Câble jauge 20 m 2/15 100…1000 mbar ±20% Répétabilité (température ambiante 25 °C) 1.10–8…100 mbar, 2% Ondulation acceptable Ce type de mise en garde est utilisé pour signaler un risque imminent qui peut entraîner des blessures ou la mort, en cas de non respect des instructions. Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 5.10–10…1000 mbar Tension d’alimentation 3 - Accessoires Modification du produit Ne pas apporter de modification électrique ou mécanique à cette jauge. Toute modification peut engendrer des dommages à la jauge et causer des blessures. 1/15 Gamme de mesure Précision de la mesure La responsabilité relative aux gaz utilisés dans les procédés incombe au détenteur de la jauge. Composants de maintenance Ne pas démonter les composants internes du système de mesure et de l’électronique. Se référer au chapitre 8 pour le remplacement des sous ensembles autorisé. Déclaration de conformité . . . . . . . . . . . . . p. 15 Jauge combinée : crystal + cathode chaude (Bayart-Alpert) 1.10–8…100 mbar ±15% - utilise la jauge avec des accessoires non répertoriés dans la documentation du produit. Pression Ne pas dépasser la pression maximale admissible. Le non-respect de cette pression maximale peut provoquer l’explosion de la jauge et des fuites de gaz. Ces incidents peuvent causer des blessures. Caractéristiques techniques . . . . . . . . . . . . p. 4 et 5 Principe de mesure - modifie cette jauge d’une façon quelconque, Installation Vérifier avant la mise en place ou le démontage de la jauge sur l’équipement, que l’installation ne présente aucun risque lié au procédé. Prévoir, au besoin, un balayage de gaz neutre pour éliminer tout gaz ou vapeur résiduels. Responsabilité et garantie . . . . . . . . . . . . . p. 3 Spécifications techniques - n’observe pas les instructions figurant dans ce manuel, Raccordement à la “Terre” Le raccordement à la “Terre” est obligatoire pour éviter tout choc électrique en cas de défaut. Vérifier avant le câblage, qu’il n’y a aucune différence entre le potentiel «Terre» de la jauge et du contrôleur. Sommaire Consignes de sécurité . . . . . . . . . . . . . . . . p. 2 Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 4 - Caractéristiques techniques 3/15 +5 à +50 °C –20 à +70 °C Température du filament (cathode chaude) 1200 °C Température d’étuvage 150 °C sans électronique Humidité admissible 70 % sans condensation Raccordement vide DN25 ISOKF, DN40 ISOKF, DN40CF-F Position de montage indifférente Volume interne 12,9 cm3 Pression maximale admissible 2 bars Matériaux en contact avec le vide Tungstène, SUS304, Pt/Mo, verre, Kovar®,Y2O3/Ir Matériau filament Y2O3/Ir Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 5 - Installation 4/15 6 - Utilisation Principe de mesure La jauge AHC 2010 est une jauge combinée crystal/cathode Raccordement Connecter la jauge à l’installation à l’aide d’accessoires de 70 50 Dimensions de la jauge raccordement (1) (disponibles sur le catalogue général du constructeur). Embouts de connexion : Veillez à positionner le câble de raccordement jauge (2) de sorte à ne pas créer de “stress” (contraintes) sur le connecteur (3). Manuel de l’Utilisateur DN 25 ISO KF X = 35,5 mm 110 DN 40 ISO KF X = 16 mm DN 40 CF-F X = 35,5 mm Réalisation : Axess - www.axess-groupe.com - Publication: Alcatel - Réf. : 113160 - Ed 04 - Date : 01/2010 Connexions AHC 2010 - 0/10 V + SP électriques Sortie analogique (+) 6 7 8 9 1 2 3 4 5 24 V DC Résistance – d’identification de la jauge DGS Masse Signal 1 Signal 0-10 V (+) Signal RS485 (+) Point de consigne (COM) Fonction DSBL ( 6 p. 11) Alimentation DC (+) Identification Fonction DGS ( 6 p. 11) Point de consigne (1) Point de consigne (2) Signal 0-10 V (–) Signal RS485 (–) Alimentation DC (–) 2 3 4 5 6 7 8 9 3 AHC 2010 - RS485 + SP Sortie analogique (–) SP1 SP COM SP2 DSBL + Broche 1 X 6 7 8 9 1 2 3 Description du panneau de contrôle RS485 (+) RS485 (–) SP1 SP COM SP2 DSBL 2 + 4 5 24 V DC Résistance – d’identification de la jauge DGS Masse AHC 2010 0/10 V +SP RS485 + SP X X X X X X X X X X X X X X X X X X Ne rien connecter sur les broches inutilisées. Respecter la section des conducteurs si vous fabriquez vos câbles ( 4 p. 4) (1). Connecter la “terre“ pour éviter tout risque de choc électrique. Utilisez une protection électrique sur l’alimentation de la jauge afin d’éviter tout risque de dommage. (1) Un connecteur type Sub-D 9 pts femelle est disponible sur commande pour la connexion sur un équipement client ( 3 p. 3). Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 chaude (Bayard-Alpert). La commutation entre ces 2 jauges se fait automatiquement sans aucun paramétrage possible suivant le schéma ci-dessous. Le voyant POWER indique la 10–2 mbar Pression décroissante jauge en charge de la mesure : - Clignotant = jauge crystal, 5.10–10 mbar Bayard-Alpert 1.103 mbar Crystal vide primaire. –2 10 mbar Pression croissante - Fixe = jauge cathode chaude, vide secondaire. 5/15 AHC 2010 - 0/10 V + SP Ne pas dépasser la pression maximale admissible ( 4 p. 4). Le non-respect de cette pression maximale admissible peut provoquer des fuites de gaz dangereuses pour la santé. Ne pas ouvrir l’installation sur laquelle la jauge est raccordée lorsque la pression est supérieure à 1 bar. Des composants peuvent être projetés et causer des blessures. Ne pas utiliser cette jauge sur des procédés utilisant des gaz inflammables ou explosifs. Ne pas chauffer cette jauge au-delà de 70 °C. Au-delà de cette température maximum, cela peut entraîner la détérioration des circuits électroniques et provoquer des fuites. Ne pas toucher avec les doigts les surfaces en contact avec le vide, en particulier l’embout de connexion, afin d’éviter tout dépôt. Cela peut provoquer des dégazages et perturber la mesure de pression. Ne pas repositionner la jauge en la manipulant par l’électronique (risque de détérioration). Pour repositionner la jauge dans la position souhaitée, la déconnecter de l’installation, l’orienter dans la position voulue et la reconnecter. Le non-respect de cette règle peut entraîner des défauts. Installer la jauge de façon à limiter au maximum les vibrations. Le non-respect de cette règle peut entraîner des défauts. Même si la jauge peut fonctionner dans toutes les positions, la position horizontale garantit une meilleure précision de mesure. Installer la jauge de façon à éviter tout changement brusque de température. Evitez le montage près d’une source de chaleur ou dans un courant d’air. Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 6/15 Voyants lumineux : Eteint Etat Power vert ou Allumé (fixe) - AHC 2010 - RS485 + SP Clignotant Description jauge crystal en service vert jauge cathode chaude en service orange calibration en cours orange dégazage en cours rouge défaut (voir catalogue défaut) vert contact du point de consigne 1 fermé SP1 contact du point de consigne 1 ouvert orange ou orange SP2 réglage en cours ( 6 p. 10) contact du point de consigne 2 ouvert vert orange ou contact du point de consigne 2 fermé orange réglage en cours ( 6 p. 10) Bouton poussoir Description VAC/ATM ajustement atmosphère et zéro SP SEL ajustement des points de consigne Sélecteur rotatif AHC 2010 - 0/10 V + SP réglage des points de consigne ( 6 p. 10) AHC 2010 - RS485 + SP numéro de l’équipement (voir manuel “Protocole de communication RS485/jauge) Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 7/15 Jauge crystal/cathode chaude AHC 2010 Réference du Manuel : 113160 Edition : 04 - Date : 09/2010 1 - Sécurité Jauge crystal/cathode chaude AHC 2010 2 - Responsabilité et garantie Instructions générales Traduction de la version originale Le fabricant Alcatel Vacuum est dégagé de toute responsabilité et la garantie devient nulle et non avenue si le détenteur du produit ou une tierce personne : Alimentation électrique Ne pas utiliser une alimentation électrique supérieure à 30 V DC. Le non-respect de cette tension maximale peut provoquer des dommages matériels et entraîner des blessures. La jauge AHC 2010 est une jauge combinée crystal/cathode chaude (Bayard-Alpert) prévue pour les mesures de pressions partielles de vide primaire et secondaire (de 1000 mbar à 5.10–10 mbar). C’est une jauge active. Les jauges de type 0/10V peuvent être utilisées soit avec un contrôleur ADIXEN (ACS2000 ou ACM2000), soit avec un équipement du client. Les jauges de type RS485 ne peuvent être utilisées qu’avec un équipement client RS485. Cette jauge ne peut pas être utilisée pour la mesure de pression des gaz inflammables ou combustibles réagissant avec l’air. - utilise ce produit de manière non conforme aux règles de l’art et à l’utilisation prévue, Accessoires . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . p. 3 Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . p. 6 Utilisation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . p. 7 à 11 Gaz utilisés Ne pas utiliser cette jauge avec des gaz corrosifs, toxiques, inflammables ou explosifs. Les fuites éventuelles résultant de l’utilisation de ces gaz peuvent engendrer des blessures. Déconnexion de la jauge . . . . . . . . . . . . . p. 11 Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . p. 12 et 13 Retour des produits. . . . . . . . . . . . . . . . . . p. 13 Décontamination - recyclage . . . . . . . . . . . p. 14 Symboles utilisés Ce type de mise en garde est utilisé pour signaler un risque potentiel qui peut entraîner un dommage important du matériel et/ou des installations en cas de non respect des instructions. Ce type de mise en garde est utilisé pour signaler un risque potentiel qui peut entraîner des blessures ou la mort, en cas de non respect des instructions. Personnel habilité Les travaux décrits dans ce document ne peuvent être effectués que par des personnes ayant une formation technique appropriée et l’expérience nécessaire, ou ayant été formées en conséquence par le détenteur du produit. 5.10–10…1.10–8 mbar, ±15% Les défauts engendrés par la pollution (rupture de filament par exemple) ne sont pas couverts par la garantie. > 2 Vpp Puissance 12 W (intensité < 500 mA) 4,7 kΩ Résistance nominale du filament (température ambiante de 20 à 28 °C) 0,25 Ω Sortie analogique (versions 0-10 V + SP) 0-10 V 10 V = 1000 mbar ; 0,774 V = 5.10–10 mbar Points de consigne 2 contacts secs limités à 1 A 30 V DC Interface (version RS485 + SP) RS485 Connexion électrique connecteur Sub-D 9 points mâle Référence 112752 Longueur câble maxi 112753 Température Connecteur Sub-D 9 points, femelle (pour connexion sur équipement client) 300 m - 1mm2 utilisation stockage 112754 114848 Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 Alcatel Vacuum Technology France - 98, avenue de Brogny - BP 2069 - 74009 Annecy cedex - FRANCE Tel. (33) 4 50 65 77 77 - Fax. (33) 4 50 65 77 89 Web site: www.adixen.com 4 - Caractéristiques techniques (suite) IP40 Identification de la jauge Câble jauge 5 m Câble jauge 10 m 15…30 V DC Protection Désignation Câble jauge 20 m 2/15 100…1000 mbar ±20% Répétabilité (température ambiante 25 °C) 1.10–8…100 mbar, 2% Ondulation acceptable Ce type de mise en garde est utilisé pour signaler un risque imminent qui peut entraîner des blessures ou la mort, en cas de non respect des instructions. Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 5.10–10…1000 mbar Tension d’alimentation 3 - Accessoires Modification du produit Ne pas apporter de modification électrique ou mécanique à cette jauge. Toute modification peut engendrer des dommages à la jauge et causer des blessures. 1/15 Gamme de mesure Précision de la mesure La responsabilité relative aux gaz utilisés dans les procédés incombe au détenteur de la jauge. Composants de maintenance Ne pas démonter les composants internes du système de mesure et de l’électronique. Se référer au chapitre 8 pour le remplacement des sous ensembles autorisé. Déclaration de conformité . . . . . . . . . . . . . p. 15 Jauge combinée : crystal + cathode chaude (Bayart-Alpert) 1.10–8…100 mbar ±15% - utilise la jauge avec des accessoires non répertoriés dans la documentation du produit. Pression Ne pas dépasser la pression maximale admissible. Le non-respect de cette pression maximale peut provoquer l’explosion de la jauge et des fuites de gaz. Ces incidents peuvent causer des blessures. Caractéristiques techniques . . . . . . . . . . . . p. 4 et 5 Principe de mesure - modifie cette jauge d’une façon quelconque, Installation Vérifier avant la mise en place ou le démontage de la jauge sur l’équipement, que l’installation ne présente aucun risque lié au procédé. Prévoir, au besoin, un balayage de gaz neutre pour éliminer tout gaz ou vapeur résiduels. Responsabilité et garantie . . . . . . . . . . . . . p. 3 Spécifications techniques - n’observe pas les instructions figurant dans ce manuel, Raccordement à la “Terre” Le raccordement à la “Terre” est obligatoire pour éviter tout choc électrique en cas de défaut. Vérifier avant le câblage, qu’il n’y a aucune différence entre le potentiel «Terre» de la jauge et du contrôleur. Sommaire Consignes de sécurité . . . . . . . . . . . . . . . . p. 2 Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 4 - Caractéristiques techniques 3/15 +5 à +50 °C –20 à +70 °C Température du filament (cathode chaude) 1200 °C Température d’étuvage 150 °C sans électronique Humidité admissible 70 % sans condensation Raccordement vide DN25 ISOKF, DN40 ISOKF, DN40CF-F Position de montage indifférente Volume interne 12,9 cm3 Pression maximale admissible 2 bars Matériaux en contact avec le vide Tungstène, SUS304, Pt/Mo, verre, Kovar®,Y2O3/Ir Matériau filament Y2O3/Ir Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 5 - Installation 4/15 6 - Utilisation Principe de mesure La jauge AHC 2010 est une jauge combinée crystal/cathode Raccordement Connecter la jauge à l’installation à l’aide d’accessoires de 70 50 Dimensions de la jauge raccordement (1) (disponibles sur le catalogue général du constructeur). Embouts de connexion : Veillez à positionner le câble de raccordement jauge (2) de sorte à ne pas créer de “stress” (contraintes) sur le connecteur (3). Manuel de l’Utilisateur DN 25 ISO KF X = 35,5 mm 110 DN 40 ISO KF X = 16 mm DN 40 CF-F X = 35,5 mm Réalisation : Axess - www.axess-groupe.com - Publication: Alcatel - Réf. : 113160 - Ed 04 - Date : 01/2010 Connexions AHC 2010 - 0/10 V + SP électriques Sortie analogique (+) 6 7 8 9 1 2 3 4 5 24 V DC Résistance – d’identification de la jauge DGS Masse Signal 1 Signal 0-10 V (+) Signal RS485 (+) Point de consigne (COM) Fonction DSBL ( 6 p. 11) Alimentation DC (+) Identification Fonction DGS ( 6 p. 11) Point de consigne (1) Point de consigne (2) Signal 0-10 V (–) Signal RS485 (–) Alimentation DC (–) 2 3 4 5 6 7 8 9 3 AHC 2010 - RS485 + SP Sortie analogique (–) SP1 SP COM SP2 DSBL + Broche 1 X 6 7 8 9 1 2 3 Description du panneau de contrôle RS485 (+) RS485 (–) SP1 SP COM SP2 DSBL 2 + 4 5 24 V DC Résistance – d’identification de la jauge DGS Masse AHC 2010 0/10 V +SP RS485 + SP X X X X X X X X X X X X X X X X X X Ne rien connecter sur les broches inutilisées. Respecter la section des conducteurs si vous fabriquez vos câbles ( 4 p. 4) (1). Connecter la “terre“ pour éviter tout risque de choc électrique. Utilisez une protection électrique sur l’alimentation de la jauge afin d’éviter tout risque de dommage. (1) Un connecteur type Sub-D 9 pts femelle est disponible sur commande pour la connexion sur un équipement client ( 3 p. 3). Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 chaude (Bayard-Alpert). La commutation entre ces 2 jauges se fait automatiquement sans aucun paramétrage possible suivant le schéma ci-dessous. Le voyant POWER indique la 10–2 mbar Pression décroissante jauge en charge de la mesure : - Clignotant = jauge crystal, 5.10–10 mbar Bayard-Alpert 1.103 mbar Crystal vide primaire. –2 10 mbar Pression croissante - Fixe = jauge cathode chaude, vide secondaire. 5/15 AHC 2010 - 0/10 V + SP Ne pas dépasser la pression maximale admissible ( 4 p. 4). Le non-respect de cette pression maximale admissible peut provoquer des fuites de gaz dangereuses pour la santé. Ne pas ouvrir l’installation sur laquelle la jauge est raccordée lorsque la pression est supérieure à 1 bar. Des composants peuvent être projetés et causer des blessures. Ne pas utiliser cette jauge sur des procédés utilisant des gaz inflammables ou explosifs. Ne pas chauffer cette jauge au-delà de 70 °C. Au-delà de cette température maximum, cela peut entraîner la détérioration des circuits électroniques et provoquer des fuites. Ne pas toucher avec les doigts les surfaces en contact avec le vide, en particulier l’embout de connexion, afin d’éviter tout dépôt. Cela peut provoquer des dégazages et perturber la mesure de pression. Ne pas repositionner la jauge en la manipulant par l’électronique (risque de détérioration). Pour repositionner la jauge dans la position souhaitée, la déconnecter de l’installation, l’orienter dans la position voulue et la reconnecter. Le non-respect de cette règle peut entraîner des défauts. Installer la jauge de façon à limiter au maximum les vibrations. Le non-respect de cette règle peut entraîner des défauts. Même si la jauge peut fonctionner dans toutes les positions, la position horizontale garantit une meilleure précision de mesure. Installer la jauge de façon à éviter tout changement brusque de température. Evitez le montage près d’une source de chaleur ou dans un courant d’air. Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 6/15 Voyants lumineux : Eteint Etat Power vert ou Allumé (fixe) - AHC 2010 - RS485 + SP Clignotant Description jauge crystal en service vert jauge cathode chaude en service orange calibration en cours orange dégazage en cours rouge défaut (voir catalogue défaut) vert contact du point de consigne 1 fermé SP1 contact du point de consigne 1 ouvert orange ou orange SP2 réglage en cours ( 6 p. 10) contact du point de consigne 2 ouvert vert orange ou contact du point de consigne 2 fermé orange réglage en cours ( 6 p. 10) Bouton poussoir Description VAC/ATM ajustement atmosphère et zéro SP SEL ajustement des points de consigne Sélecteur rotatif AHC 2010 - 0/10 V + SP réglage des points de consigne ( 6 p. 10) AHC 2010 - RS485 + SP numéro de l’équipement (voir manuel “Protocole de communication RS485/jauge) Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 7/15 Jauge crystal/cathode chaude AHC 2010 Réference du Manuel : 113160 Edition : 04 - Date : 09/2010 1 - Sécurité Jauge crystal/cathode chaude AHC 2010 2 - Responsabilité et garantie Instructions générales Traduction de la version originale Le fabricant Alcatel Vacuum est dégagé de toute responsabilité et la garantie devient nulle et non avenue si le détenteur du produit ou une tierce personne : Alimentation électrique Ne pas utiliser une alimentation électrique supérieure à 30 V DC. Le non-respect de cette tension maximale peut provoquer des dommages matériels et entraîner des blessures. La jauge AHC 2010 est une jauge combinée crystal/cathode chaude (Bayard-Alpert) prévue pour les mesures de pressions partielles de vide primaire et secondaire (de 1000 mbar à 5.10–10 mbar). C’est une jauge active. Les jauges de type 0/10V peuvent être utilisées soit avec un contrôleur ADIXEN (ACS2000 ou ACM2000), soit avec un équipement du client. Les jauges de type RS485 ne peuvent être utilisées qu’avec un équipement client RS485. Cette jauge ne peut pas être utilisée pour la mesure de pression des gaz inflammables ou combustibles réagissant avec l’air. - utilise ce produit de manière non conforme aux règles de l’art et à l’utilisation prévue, Accessoires . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . p. 3 Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . p. 6 Utilisation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . p. 7 à 11 Gaz utilisés Ne pas utiliser cette jauge avec des gaz corrosifs, toxiques, inflammables ou explosifs. Les fuites éventuelles résultant de l’utilisation de ces gaz peuvent engendrer des blessures. Déconnexion de la jauge . . . . . . . . . . . . . p. 11 Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . p. 12 et 13 Retour des produits. . . . . . . . . . . . . . . . . . p. 13 Décontamination - recyclage . . . . . . . . . . . p. 14 Symboles utilisés Ce type de mise en garde est utilisé pour signaler un risque potentiel qui peut entraîner un dommage important du matériel et/ou des installations en cas de non respect des instructions. Ce type de mise en garde est utilisé pour signaler un risque potentiel qui peut entraîner des blessures ou la mort, en cas de non respect des instructions. Personnel habilité Les travaux décrits dans ce document ne peuvent être effectués que par des personnes ayant une formation technique appropriée et l’expérience nécessaire, ou ayant été formées en conséquence par le détenteur du produit. 5.10–10…1.10–8 mbar, ±15% Les défauts engendrés par la pollution (rupture de filament par exemple) ne sont pas couverts par la garantie. > 2 Vpp Puissance 12 W (intensité < 500 mA) 4,7 kΩ Résistance nominale du filament (température ambiante de 20 à 28 °C) 0,25 Ω Sortie analogique (versions 0-10 V + SP) 0-10 V 10 V = 1000 mbar ; 0,774 V = 5.10–10 mbar Points de consigne 2 contacts secs limités à 1 A 30 V DC Interface (version RS485 + SP) RS485 Connexion électrique connecteur Sub-D 9 points mâle Référence 112752 Longueur câble maxi 112753 Température Connecteur Sub-D 9 points, femelle (pour connexion sur équipement client) 300 m - 1mm2 utilisation stockage 112754 114848 Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 Alcatel Vacuum Technology France - 98, avenue de Brogny - BP 2069 - 74009 Annecy cedex - FRANCE Tel. (33) 4 50 65 77 77 - Fax. (33) 4 50 65 77 89 Web site: www.adixen.com 4 - Caractéristiques techniques (suite) IP40 Identification de la jauge Câble jauge 5 m Câble jauge 10 m 15…30 V DC Protection Désignation Câble jauge 20 m 2/15 100…1000 mbar ±20% Répétabilité (température ambiante 25 °C) 1.10–8…100 mbar, 2% Ondulation acceptable Ce type de mise en garde est utilisé pour signaler un risque imminent qui peut entraîner des blessures ou la mort, en cas de non respect des instructions. Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 5.10–10…1000 mbar Tension d’alimentation 3 - Accessoires Modification du produit Ne pas apporter de modification électrique ou mécanique à cette jauge. Toute modification peut engendrer des dommages à la jauge et causer des blessures. 1/15 Gamme de mesure Précision de la mesure La responsabilité relative aux gaz utilisés dans les procédés incombe au détenteur de la jauge. Composants de maintenance Ne pas démonter les composants internes du système de mesure et de l’électronique. Se référer au chapitre 8 pour le remplacement des sous ensembles autorisé. Déclaration de conformité . . . . . . . . . . . . . p. 15 Jauge combinée : crystal + cathode chaude (Bayart-Alpert) 1.10–8…100 mbar ±15% - utilise la jauge avec des accessoires non répertoriés dans la documentation du produit. Pression Ne pas dépasser la pression maximale admissible. Le non-respect de cette pression maximale peut provoquer l’explosion de la jauge et des fuites de gaz. Ces incidents peuvent causer des blessures. Caractéristiques techniques . . . . . . . . . . . . p. 4 et 5 Principe de mesure - modifie cette jauge d’une façon quelconque, Installation Vérifier avant la mise en place ou le démontage de la jauge sur l’équipement, que l’installation ne présente aucun risque lié au procédé. Prévoir, au besoin, un balayage de gaz neutre pour éliminer tout gaz ou vapeur résiduels. Responsabilité et garantie . . . . . . . . . . . . . p. 3 Spécifications techniques - n’observe pas les instructions figurant dans ce manuel, Raccordement à la “Terre” Le raccordement à la “Terre” est obligatoire pour éviter tout choc électrique en cas de défaut. Vérifier avant le câblage, qu’il n’y a aucune différence entre le potentiel «Terre» de la jauge et du contrôleur. Sommaire Consignes de sécurité . . . . . . . . . . . . . . . . p. 2 Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 4 - Caractéristiques techniques 3/15 +5 à +50 °C –20 à +70 °C Température du filament (cathode chaude) 1200 °C Température d’étuvage 150 °C sans électronique Humidité admissible 70 % sans condensation Raccordement vide DN25 ISOKF, DN40 ISOKF, DN40CF-F Position de montage indifférente Volume interne 12,9 cm3 Pression maximale admissible 2 bars Matériaux en contact avec le vide Tungstène, SUS304, Pt/Mo, verre, Kovar®,Y2O3/Ir Matériau filament Y2O3/Ir Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 5 - Installation 4/15 6 - Utilisation Principe de mesure La jauge AHC 2010 est une jauge combinée crystal/cathode Raccordement Connecter la jauge à l’installation à l’aide d’accessoires de 70 50 Dimensions de la jauge raccordement (1) (disponibles sur le catalogue général du constructeur). Embouts de connexion : Veillez à positionner le câble de raccordement jauge (2) de sorte à ne pas créer de “stress” (contraintes) sur le connecteur (3). Manuel de l’Utilisateur DN 25 ISO KF X = 35,5 mm 110 DN 40 ISO KF X = 16 mm DN 40 CF-F X = 35,5 mm Réalisation : Axess - www.axess-groupe.com - Publication: Alcatel - Réf. : 113160 - Ed 04 - Date : 01/2010 Connexions AHC 2010 - 0/10 V + SP électriques Sortie analogique (+) 6 7 8 9 1 2 3 4 5 24 V DC Résistance – d’identification de la jauge DGS Masse Signal 1 Signal 0-10 V (+) Signal RS485 (+) Point de consigne (COM) Fonction DSBL ( 6 p. 11) Alimentation DC (+) Identification Fonction DGS ( 6 p. 11) Point de consigne (1) Point de consigne (2) Signal 0-10 V (–) Signal RS485 (–) Alimentation DC (–) 2 3 4 5 6 7 8 9 3 AHC 2010 - RS485 + SP Sortie analogique (–) SP1 SP COM SP2 DSBL + Broche 1 X 6 7 8 9 1 2 3 Description du panneau de contrôle RS485 (+) RS485 (–) SP1 SP COM SP2 DSBL 2 + 4 5 24 V DC Résistance – d’identification de la jauge DGS Masse AHC 2010 0/10 V +SP RS485 + SP X X X X X X X X X X X X X X X X X X Ne rien connecter sur les broches inutilisées. Respecter la section des conducteurs si vous fabriquez vos câbles ( 4 p. 4) (1). Connecter la “terre“ pour éviter tout risque de choc électrique. Utilisez une protection électrique sur l’alimentation de la jauge afin d’éviter tout risque de dommage. (1) Un connecteur type Sub-D 9 pts femelle est disponible sur commande pour la connexion sur un équipement client ( 3 p. 3). Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 chaude (Bayard-Alpert). La commutation entre ces 2 jauges se fait automatiquement sans aucun paramétrage possible suivant le schéma ci-dessous. Le voyant POWER indique la 10–2 mbar Pression décroissante jauge en charge de la mesure : - Clignotant = jauge crystal, 5.10–10 mbar Bayard-Alpert 1.103 mbar Crystal vide primaire. –2 10 mbar Pression croissante - Fixe = jauge cathode chaude, vide secondaire. 5/15 AHC 2010 - 0/10 V + SP Ne pas dépasser la pression maximale admissible ( 4 p. 4). Le non-respect de cette pression maximale admissible peut provoquer des fuites de gaz dangereuses pour la santé. Ne pas ouvrir l’installation sur laquelle la jauge est raccordée lorsque la pression est supérieure à 1 bar. Des composants peuvent être projetés et causer des blessures. Ne pas utiliser cette jauge sur des procédés utilisant des gaz inflammables ou explosifs. Ne pas chauffer cette jauge au-delà de 70 °C. Au-delà de cette température maximum, cela peut entraîner la détérioration des circuits électroniques et provoquer des fuites. Ne pas toucher avec les doigts les surfaces en contact avec le vide, en particulier l’embout de connexion, afin d’éviter tout dépôt. Cela peut provoquer des dégazages et perturber la mesure de pression. Ne pas repositionner la jauge en la manipulant par l’électronique (risque de détérioration). Pour repositionner la jauge dans la position souhaitée, la déconnecter de l’installation, l’orienter dans la position voulue et la reconnecter. Le non-respect de cette règle peut entraîner des défauts. Installer la jauge de façon à limiter au maximum les vibrations. Le non-respect de cette règle peut entraîner des défauts. Même si la jauge peut fonctionner dans toutes les positions, la position horizontale garantit une meilleure précision de mesure. Installer la jauge de façon à éviter tout changement brusque de température. Evitez le montage près d’une source de chaleur ou dans un courant d’air. Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 6/15 Voyants lumineux : Eteint Etat Power vert ou Allumé (fixe) - AHC 2010 - RS485 + SP Clignotant Description jauge crystal en service vert jauge cathode chaude en service orange calibration en cours orange dégazage en cours rouge défaut (voir catalogue défaut) vert contact du point de consigne 1 fermé SP1 contact du point de consigne 1 ouvert orange ou orange SP2 réglage en cours ( 6 p. 10) contact du point de consigne 2 ouvert vert orange ou contact du point de consigne 2 fermé orange réglage en cours ( 6 p. 10) Bouton poussoir Description VAC/ATM ajustement atmosphère et zéro SP SEL ajustement des points de consigne Sélecteur rotatif AHC 2010 - 0/10 V + SP réglage des points de consigne ( 6 p. 10) AHC 2010 - RS485 + SP numéro de l’équipement (voir manuel “Protocole de communication RS485/jauge) Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 7/15 Jauge crystal/cathode chaude AHC 2010 Réference du Manuel : 113160 Edition : 04 - Date : 09/2010 1 - Sécurité Jauge crystal/cathode chaude AHC 2010 2 - Responsabilité et garantie Instructions générales Traduction de la version originale Le fabricant Alcatel Vacuum est dégagé de toute responsabilité et la garantie devient nulle et non avenue si le détenteur du produit ou une tierce personne : Alimentation électrique Ne pas utiliser une alimentation électrique supérieure à 30 V DC. Le non-respect de cette tension maximale peut provoquer des dommages matériels et entraîner des blessures. La jauge AHC 2010 est une jauge combinée crystal/cathode chaude (Bayard-Alpert) prévue pour les mesures de pressions partielles de vide primaire et secondaire (de 1000 mbar à 5.10–10 mbar). C’est une jauge active. Les jauges de type 0/10V peuvent être utilisées soit avec un contrôleur ADIXEN (ACS2000 ou ACM2000), soit avec un équipement du client. Les jauges de type RS485 ne peuvent être utilisées qu’avec un équipement client RS485. Cette jauge ne peut pas être utilisée pour la mesure de pression des gaz inflammables ou combustibles réagissant avec l’air. - utilise ce produit de manière non conforme aux règles de l’art et à l’utilisation prévue, Accessoires . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . p. 3 Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . p. 6 Utilisation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . p. 7 à 11 Gaz utilisés Ne pas utiliser cette jauge avec des gaz corrosifs, toxiques, inflammables ou explosifs. Les fuites éventuelles résultant de l’utilisation de ces gaz peuvent engendrer des blessures. Déconnexion de la jauge . . . . . . . . . . . . . p. 11 Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . p. 12 et 13 Retour des produits. . . . . . . . . . . . . . . . . . p. 13 Décontamination - recyclage . . . . . . . . . . . p. 14 Symboles utilisés Ce type de mise en garde est utilisé pour signaler un risque potentiel qui peut entraîner un dommage important du matériel et/ou des installations en cas de non respect des instructions. Ce type de mise en garde est utilisé pour signaler un risque potentiel qui peut entraîner des blessures ou la mort, en cas de non respect des instructions. Personnel habilité Les travaux décrits dans ce document ne peuvent être effectués que par des personnes ayant une formation technique appropriée et l’expérience nécessaire, ou ayant été formées en conséquence par le détenteur du produit. 5.10–10…1.10–8 mbar, ±15% Les défauts engendrés par la pollution (rupture de filament par exemple) ne sont pas couverts par la garantie. > 2 Vpp Puissance 12 W (intensité < 500 mA) 4,7 kΩ Résistance nominale du filament (température ambiante de 20 à 28 °C) 0,25 Ω Sortie analogique (versions 0-10 V + SP) 0-10 V 10 V = 1000 mbar ; 0,774 V = 5.10–10 mbar Points de consigne 2 contacts secs limités à 1 A 30 V DC Interface (version RS485 + SP) RS485 Connexion électrique connecteur Sub-D 9 points mâle Référence 112752 Longueur câble maxi 112753 Température Connecteur Sub-D 9 points, femelle (pour connexion sur équipement client) 300 m - 1mm2 utilisation stockage 112754 114848 Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 Alcatel Vacuum Technology France - 98, avenue de Brogny - BP 2069 - 74009 Annecy cedex - FRANCE Tel. (33) 4 50 65 77 77 - Fax. (33) 4 50 65 77 89 Web site: www.adixen.com 4 - Caractéristiques techniques (suite) IP40 Identification de la jauge Câble jauge 5 m Câble jauge 10 m 15…30 V DC Protection Désignation Câble jauge 20 m 2/15 100…1000 mbar ±20% Répétabilité (température ambiante 25 °C) 1.10–8…100 mbar, 2% Ondulation acceptable Ce type de mise en garde est utilisé pour signaler un risque imminent qui peut entraîner des blessures ou la mort, en cas de non respect des instructions. Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 5.10–10…1000 mbar Tension d’alimentation 3 - Accessoires Modification du produit Ne pas apporter de modification électrique ou mécanique à cette jauge. Toute modification peut engendrer des dommages à la jauge et causer des blessures. 1/15 Gamme de mesure Précision de la mesure La responsabilité relative aux gaz utilisés dans les procédés incombe au détenteur de la jauge. Composants de maintenance Ne pas démonter les composants internes du système de mesure et de l’électronique. Se référer au chapitre 8 pour le remplacement des sous ensembles autorisé. Déclaration de conformité . . . . . . . . . . . . . p. 15 Jauge combinée : crystal + cathode chaude (Bayart-Alpert) 1.10–8…100 mbar ±15% - utilise la jauge avec des accessoires non répertoriés dans la documentation du produit. Pression Ne pas dépasser la pression maximale admissible. Le non-respect de cette pression maximale peut provoquer l’explosion de la jauge et des fuites de gaz. Ces incidents peuvent causer des blessures. Caractéristiques techniques . . . . . . . . . . . . p. 4 et 5 Principe de mesure - modifie cette jauge d’une façon quelconque, Installation Vérifier avant la mise en place ou le démontage de la jauge sur l’équipement, que l’installation ne présente aucun risque lié au procédé. Prévoir, au besoin, un balayage de gaz neutre pour éliminer tout gaz ou vapeur résiduels. Responsabilité et garantie . . . . . . . . . . . . . p. 3 Spécifications techniques - n’observe pas les instructions figurant dans ce manuel, Raccordement à la “Terre” Le raccordement à la “Terre” est obligatoire pour éviter tout choc électrique en cas de défaut. Vérifier avant le câblage, qu’il n’y a aucune différence entre le potentiel «Terre» de la jauge et du contrôleur. Sommaire Consignes de sécurité . . . . . . . . . . . . . . . . p. 2 Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 4 - Caractéristiques techniques 3/15 +5 à +50 °C –20 à +70 °C Température du filament (cathode chaude) 1200 °C Température d’étuvage 150 °C sans électronique Humidité admissible 70 % sans condensation Raccordement vide DN25 ISOKF, DN40 ISOKF, DN40CF-F Position de montage indifférente Volume interne 12,9 cm3 Pression maximale admissible 2 bars Matériaux en contact avec le vide Tungstène, SUS304, Pt/Mo, verre, Kovar®,Y2O3/Ir Matériau filament Y2O3/Ir Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 5 - Installation 4/15 6 - Utilisation Principe de mesure La jauge AHC 2010 est une jauge combinée crystal/cathode Raccordement Connecter la jauge à l’installation à l’aide d’accessoires de 70 50 Dimensions de la jauge raccordement (1) (disponibles sur le catalogue général du constructeur). Embouts de connexion : Veillez à positionner le câble de raccordement jauge (2) de sorte à ne pas créer de “stress” (contraintes) sur le connecteur (3). Manuel de l’Utilisateur DN 25 ISO KF X = 35,5 mm 110 DN 40 ISO KF X = 16 mm DN 40 CF-F X = 35,5 mm Réalisation : Axess - www.axess-groupe.com - Publication: Alcatel - Réf. : 113160 - Ed 04 - Date : 01/2010 Connexions AHC 2010 - 0/10 V + SP électriques Sortie analogique (+) 6 7 8 9 1 2 3 4 5 24 V DC Résistance – d’identification de la jauge DGS Masse Signal 1 Signal 0-10 V (+) Signal RS485 (+) Point de consigne (COM) Fonction DSBL ( 6 p. 11) Alimentation DC (+) Identification Fonction DGS ( 6 p. 11) Point de consigne (1) Point de consigne (2) Signal 0-10 V (–) Signal RS485 (–) Alimentation DC (–) 2 3 4 5 6 7 8 9 3 AHC 2010 - RS485 + SP Sortie analogique (–) SP1 SP COM SP2 DSBL + Broche 1 X 6 7 8 9 1 2 3 Description du panneau de contrôle RS485 (+) RS485 (–) SP1 SP COM SP2 DSBL 2 + 4 5 24 V DC Résistance – d’identification de la jauge DGS Masse AHC 2010 0/10 V +SP RS485 + SP X X X X X X X X X X X X X X X X X X Ne rien connecter sur les broches inutilisées. Respecter la section des conducteurs si vous fabriquez vos câbles ( 4 p. 4) (1). Connecter la “terre“ pour éviter tout risque de choc électrique. Utilisez une protection électrique sur l’alimentation de la jauge afin d’éviter tout risque de dommage. (1) Un connecteur type Sub-D 9 pts femelle est disponible sur commande pour la connexion sur un équipement client ( 3 p. 3). Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 chaude (Bayard-Alpert). La commutation entre ces 2 jauges se fait automatiquement sans aucun paramétrage possible suivant le schéma ci-dessous. Le voyant POWER indique la 10–2 mbar Pression décroissante jauge en charge de la mesure : - Clignotant = jauge crystal, 5.10–10 mbar Bayard-Alpert 1.103 mbar Crystal vide primaire. –2 10 mbar Pression croissante - Fixe = jauge cathode chaude, vide secondaire. 5/15 AHC 2010 - 0/10 V + SP Ne pas dépasser la pression maximale admissible ( 4 p. 4). Le non-respect de cette pression maximale admissible peut provoquer des fuites de gaz dangereuses pour la santé. Ne pas ouvrir l’installation sur laquelle la jauge est raccordée lorsque la pression est supérieure à 1 bar. Des composants peuvent être projetés et causer des blessures. Ne pas utiliser cette jauge sur des procédés utilisant des gaz inflammables ou explosifs. Ne pas chauffer cette jauge au-delà de 70 °C. Au-delà de cette température maximum, cela peut entraîner la détérioration des circuits électroniques et provoquer des fuites. Ne pas toucher avec les doigts les surfaces en contact avec le vide, en particulier l’embout de connexion, afin d’éviter tout dépôt. Cela peut provoquer des dégazages et perturber la mesure de pression. Ne pas repositionner la jauge en la manipulant par l’électronique (risque de détérioration). Pour repositionner la jauge dans la position souhaitée, la déconnecter de l’installation, l’orienter dans la position voulue et la reconnecter. Le non-respect de cette règle peut entraîner des défauts. Installer la jauge de façon à limiter au maximum les vibrations. Le non-respect de cette règle peut entraîner des défauts. Même si la jauge peut fonctionner dans toutes les positions, la position horizontale garantit une meilleure précision de mesure. Installer la jauge de façon à éviter tout changement brusque de température. Evitez le montage près d’une source de chaleur ou dans un courant d’air. Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 6/15 Voyants lumineux : Eteint Etat Power vert ou Allumé (fixe) - AHC 2010 - RS485 + SP Clignotant Description jauge crystal en service vert jauge cathode chaude en service orange calibration en cours orange dégazage en cours rouge défaut (voir catalogue défaut) vert contact du point de consigne 1 fermé SP1 contact du point de consigne 1 ouvert orange ou orange SP2 réglage en cours ( 6 p. 10) contact du point de consigne 2 ouvert vert orange ou contact du point de consigne 2 fermé orange réglage en cours ( 6 p. 10) Bouton poussoir Description VAC/ATM ajustement atmosphère et zéro SP SEL ajustement des points de consigne Sélecteur rotatif AHC 2010 - 0/10 V + SP réglage des points de consigne ( 6 p. 10) AHC 2010 - RS485 + SP numéro de l’équipement (voir manuel “Protocole de communication RS485/jauge) Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 7/15 Jauge crystal/cathode chaude AHC 2010 6 - Utilisation (suite) 6 - Utilisation (suite) Ajustement de la L’ajustement de la jauge crystal se fait à la pression jauge atmosphérique (ATM) et à la pression limite ou zéro de la jauge Signal 0/10 V Le signal 0/10 V est délivré entre les broches 1 (+) et 8 (–). (VAC). Si la cathode chaude est allumée et la pression inférieure à 1 x 10-4 mbar, le réglage du zéro est fait automatiquement toutes les 5 mn. Si le filament est désactivé (entrée DSBL activé) et la jauge est froide, il faut un réglage manuel. La jauge détermine automatiquement si l’ajustement concerne la pression atmosphérique ou le “zéro”. Ces ajustements doivent être effectués dans les mêmes conditions et la même position d’utilisation de la jauge. Un temps minimum de stabilisation de 10 mn est nécessaire avant de procéder à un ajustement. Pour l’ajustement du “zéro” la jauge devra être à une pression inférieure à 1.10–4 mbar. (AHC 2010 - 0/10 V + SP) La correspondance Pression – Tension est donnée par la formule suivante : mbar Torr d 0 2 P = 10(U–7,75)/0,75+d avec : P= pression, U= signal 0/10 V, d= constante dépendante de l’unité de pression. - 0,125 Limites de mesure : 10 V = 1000 mbar et 0,774 V = 5.10–10 mbar Pression P 104 Pa mbar 102 Torr 10–2 10 vert orange vert Pousser et maintenir 10–10 vert La valeur choisie devient la nouvelle valeur "ATM" mémorisée. Nota : la valeur VAC mémorisée ne peut pas être modifiée. Signal de mesure U (V) Pression 1mbar à 10-2 mbar 10-3 mbar Gas C He 0,2 5,9 H2 0,44 2,44 O2 0,85 1,00 air 0,975 1,00 N2 1,0 1,00 Ar 1,2 0,8 Signal RS485 Le signal RS485 est délivré entre les broches 1 (+) et 8 (–). Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 8/15 8 - Maintenance - Multimètre (Ohmmètre) Remplacement des Le système de mesure et l’électronique peuvent être remplacés, sous-ensembles pour cela : - desserrer la vis (1) sans la retirer, - retirer le système de mesure (2), - remplacer le système de mesure (2) ou l’électronique (3) et resserrer la vis, - procéder à la remise à zéro de l’électronique de la jauge 8 p. 13). ( Repère Désignation Référence Système de mesure DN25 ISO KF AHC2010 113049 Système de mesure DN40 ISO KF AHC2010 113050 Système de mesure DN40 CFR AHC2010 113051 Electronique 0/10 V+ SP AHC2010 113052 Electronique RS485 + SP AHC2010 113053 2 3 Relâcher le bouton lorsque la valeur "ATM" choisie est atteinte (500<ATM<1100 mbar) (0/10 V + SP) - sélectionner directement la valeur de la mantisse (de 1 à 9), - sélectionner la valeur de l’exposant (de +6 à –9) selon les données du tableau ci dessous, - sélectionner l’unité de mesure (mbar = 2, Torr =1 ou Pascal = autre position). Sélecteur rotatif Exposant peut-être contrôlé. Procéder de la façon suivante : - retirer le système de mesure ( 0,25 7 8 p. 12), - vérifier à l’aide d’un ohmmètre la résistance du filament, - changer le système de mesure si la valeur de la résistance est hors plage. 12/15 Réglage et validation de On Ne pas toucher avec les doigts les surfaces en contact avec le vide, en particulier l’embout de connexion, afin d’éviter tout dépôt. Cela peut provoquer des dégazages et perturber la mesure de pression. 5 l’exposant (1 pour 8.10–1 mbar) du point de consigne 2 - Remettre l’équipement à la pression atmosphérique. - Mettre la jauge hors tension. - Retirer le câble de raccordement jauge. - Déconnecter la jauge de l’installation. - Mettre en place le protecteur sur l’embout de connexion de la jauge. - Si la jauge doit être stockée il est conseillé de la placer à l’abri 4 p. 4). de la chaleur, de l’humidité et de la poussière.( Réglage et validation de l’unité de mesure (2 pour mbar) 1 = Torr, 2 = mbar, autre = Pa – Fin du processus – 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 +6 +5 +4 +3 +2 +1 0 –1 –-2 –3 –4 –5 –6 –7 –8 –9 Nota : Pour la jauge AHC 2010 - RS485 + SP le réglage des points de consigne se fait uniquement par la liaison RS485 (voir manuel “Protocole de communication RS485/jauge“). 9/15 Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 10/15 Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 10 - Décontamination - recyclage 11/15 11 - Déclaration de conformité (*) = défauts mineurs fonctionnement dégradé de la jauge Message contrôleur Défaut Probable Action rouge ErrHi Crystal polué au défaillant Vérification crystal Remplacement tête de mesure A T B* 10,061 ≤ T < 10,3 V vert or 0,774 vert 1.2 +2 Ur Err06 10,3 V T<10,061 V D* 0,5 T < 0,774 vert E 0,3 T < 0,5 V rouge Si ajustement ATM/VAC correct impossible ou si valeur de mesure erronée = pollution Verification état tête de mesure Lancer dégazage Remplacement tête de mesure Electronique Remplacement électronique 0,1 ≤ T < 0,3 rouge Err07 Filament B - A cassé ou pollution Vérification filament B - A Lancer dégazage Remplacement tête de mesure 0,1 V rouge ErrL0 Electronique Remplacement électronique Remise à zéro de l’électronique Cette opération réinitialise l’électronique. Elle doit être réalisée avant le remontage du système de mesure sur l’électronique lorsqu’un de ces deux éléments a été remplacé. Pour cela : 1- Brancher le câble de raccordement sur l’électronique sans le système de mesure. 2- Mettre sous-tension. Le voyant POWER se met à clignoter en rouge au bout de quelques secondes. 3- Pousser le bouton ATM/VAC jusqu’à ce que le voyant POWER s’allume en orange avant de clignoter de nouveau en rouge. 4- Mettre hors-tension l’électronique. 5- Mettre en place le système de mesure. 6- Mettre sous tension la jauge. 7- Procéder à l’ajustement de la jauge ( 6 p. 9) Les produits contaminés (par des substances radioactives, toxiques, caustiques ou microbiologiques) peuvent nuire à la santé et polluer l’environnement. Les produits qui nous sont retournés seront dans la mesure du possible exempts de substances nocives. Observer les prescriptions de transport des pays et entreprises de transport concernés. Pour tout retour de matériel Adixen au centre de service, remplir le questionnaire de sécurité disponible sur notre site internet. En l’absence de confirmation univoque que le produit est “exempt de substances nocives”, le produit est décontaminé aux frais du client. En absence d’un “Questionnaire de sécurité” dûment rempli, le produit est renvoyé à l’expéditeur à ses frais. Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 du point de consigne 2 F Jauge AHC2010 Led & Tension (T) T Réglage et validation de la E ou Off La contamination éventuelle des composants peut nuire à la santé et à l’environnement. Vérifier avant le démontage de la jauge de l’équipement, que l’installation ne présente aucun risque lié au procédé. Prévoir, au besoin, un balayage de gaz neutre pour éliminer tout gaz ou vapeur résiduels. Pour les jauges polluées ou contaminées, veuillez vous conformer au 9 p. 13. D 8 - Maintenance (suite) On Le dégazage consiste à chauffer le système de mesure à 70 °C par un bombardement électronique. Il nettoie ainsi les électrodes. Cette opération dure normalement 3 mn mais peut être interrompue prématurément. Cette fonction n’est possible que lorsque la pression est inférieure à 5.10-3 mbar (pression inférieure à 1.10-5 mbar conseillée). Elle est activée par la présence d’un +24 V sur la broche 5 de la jauge. 4 mantisse (8 pour 8.10–1 mbar) 6 Off 7 - Déconnexion de la jauge C Défaut G 3 Réglage et validation de l’exposant (E pour 5.10+2 mbar) du point de consigne 1 Valeur de réglage Sortie relais valeur de la pression (pour AHC 2010 – RS485 + SP) est celle donnée par la jauge crystal. Cette fonction est activée par la présence d’un +24 V sur la broche 3 de la jauge. B Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 F 2 Hystérésis + 10 % du Signal Pression Fonction désactivation Cette fonction désactive la jauge cathode chaude. La valeur du cathode chaude DSBL signal analogique 0/10V (pour AHC 2010 – 0/10V + SP) ou la A 9 - Retour des produits Contrôle du filament Le filament de la jauge cathode chaude du système de mesure Visualisation sur les voyants SP1 SP2 Etat initial Réglage et validation de la mantisse (5 pour 5.10+2 mbar) du point de consigne 1 Signal Pression Fonction dégazage Les dépôts sur le système d’électrodes de la jauge à cathode DGS chaude peuvent fausser ou rendre instable les valeurs mesurées. vert Réglage des points de Le réglage des points de consigne 1 et 2 est réalisé au moyen du consigne sélecteur rotatif qui permet de : C* Outillage nécessaire - Tournevis cruciforme, 2 orange Pousser et maintenir Catalogue des défauts L’encrassement ou la pollution du système de mesure de la jauge entraîne une dérive de mesure pouvant aller jusqu’à la mise en défaut de la jauge. Le système de mesure ne doit pas être nettoyé, excepté son embout de connexion. Pour cela utiliser uniquement de l’alcool neutre. 3 vert Nota : Pour la jauge AHC 2010 - RS485 + SP, ces ajustements peuvent aussi se faire par la liaison RS485. Xe 2,5 0,4 (AHC 2010 - RS485 + SP) Pour son exploitation, veuillez vous référer au manuel “Protocole de communication RS485/jauge”. 1 orange Il n’y a pas d’ajustement possible pour la jauge cathode chaude. Peffective = Pindiquée x C Réglage Validation par le sélecteur par le bouton rotatif SP SEL Voyant allumé clignotant temps 1,5 2,5 3,5 4,5 5,5 6,5 7,5 8,5 9,5 1,0 2,0 3,0 4,0 5,0 6,0 7,0 8,0 9,0 10,0 Le signal 0/10 V délivré correspond à une pression d’air, d’azote, d’oxygène ou de gaz carbonique. Pour d’autres gaz il faut appliquer un coefficient correcteur C suivant le tableau ci-dessous. Cette correction n’est valable que pour les pressions inférieures à 1 mbar. Voyant allumé fixe Relâcher Changement de la valeur mémorisée "atmosphère" 10–8 programmée de fermeture du point de consigne et sa valeur d’ouverture. exemple de réglage) pour régler les points de consigne 1et 2 : (AHC 2010 - 0/10 V + SP) point de consigne 1 : 5.10+2 = 500 mbar point de consigne 2 : 8.10–1 = 0,8 mbar Voyant éteint 1 Démarrage du processus temps –4 10–6 Sortie des points de Une hystérésis de 10% est consignes appliquée entre la valeur Réglage des points de Exemple de réglage consigne (suite) Réaliser chronologiquement les opérations suivantes (selon Ajustement atmosphère ou zéro Permet la restauration de la valeur "ATM" ou "VAC" mémorisée. 1 6 - Utilisation (suite) Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 13/15 Conformément à la Directive 2002/96/CE concernant le traitement des déchets des équipements électriques et électroniques, et à la Directive 2002/95/CE relative à la restriction des matières dangereuses, les produits Adixen en fin de vie seront retournés au constructeur pour décontamination et valorisation. Toute obligation du constructeur de récupérer de tels équipements s’applique uniquement à des équipements complets, non modifiés, non rétrofités, utilisant des pièces détachées d’origine Alcatel Vaccuum, vendues par Alcatel Vacuum Technology et incluant tous leurs ensembles et sous-ensembles. Cette obligation ne comprend pas les frais de transport du produit vers un centre de retraitement, ni la prestation de service qui sera facturée au client. Pour tout retour de matériel au centre de service, remplir le questionnaire de sécurité disponible séparemment ou sur notre site internet. Composants contaminés. Les composants contaminés peuvent nuire à la santé et polluer l’environnement. Se renseigner avant d’intervenir sur le produit sur une éventuelle contamination. Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes à la manipulation de composants contaminés. Substances polluantes. Certains produits ou leurs éléments (composants mécaniques ou électriques, fluides etc.) peuvent polluer l’environnement. - Eliminer les substances polluantes conformément à la réglementation locale. Tri des composants Après le démontage du produit, trier ses composants selon les critères suivants : Composants contaminés Décontaminer les composants contaminés (par des substances radioactives, toxiques, corrosives ou microbiologiques) conformément à la réglementation nationale, les trier en fonction de leurs matériaux et les éliminer. Composants non contaminés Trier ces composants en fonction de leurs matériaux et les récupérer. Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 14/15 imprimé sur papier 100 % recyclé, 100 desencré et sans chlore Unité Pa 6 - Utilisation (suite) Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 15/15 6 - Utilisation (suite) 6 - Utilisation (suite) Ajustement de la L’ajustement de la jauge crystal se fait à la pression jauge atmosphérique (ATM) et à la pression limite ou zéro de la jauge Signal 0/10 V Le signal 0/10 V est délivré entre les broches 1 (+) et 8 (–). (VAC). Si la cathode chaude est allumée et la pression inférieure à 1 x 10-4 mbar, le réglage du zéro est fait automatiquement toutes les 5 mn. Si le filament est désactivé (entrée DSBL activé) et la jauge est froide, il faut un réglage manuel. La jauge détermine automatiquement si l’ajustement concerne la pression atmosphérique ou le “zéro”. Ces ajustements doivent être effectués dans les mêmes conditions et la même position d’utilisation de la jauge. Un temps minimum de stabilisation de 10 mn est nécessaire avant de procéder à un ajustement. Pour l’ajustement du “zéro” la jauge devra être à une pression inférieure à 1.10–4 mbar. (AHC 2010 - 0/10 V + SP) La correspondance Pression – Tension est donnée par la formule suivante : mbar Torr d 0 2 P = 10(U–7,75)/0,75+d avec : P= pression, U= signal 0/10 V, d= constante dépendante de l’unité de pression. - 0,125 Limites de mesure : 10 V = 1000 mbar et 0,774 V = 5.10–10 mbar Pression P 104 Pa mbar 102 Torr 10–2 10 vert orange vert Pousser et maintenir 10–10 vert La valeur choisie devient la nouvelle valeur "ATM" mémorisée. Nota : la valeur VAC mémorisée ne peut pas être modifiée. Signal de mesure U (V) Pression 1mbar à 10-2 mbar 10-3 mbar Gas C He 0,2 5,9 H2 0,44 2,44 O2 0,85 1,00 air 0,975 1,00 N2 1,0 1,00 Ar 1,2 0,8 Signal RS485 Le signal RS485 est délivré entre les broches 1 (+) et 8 (–). Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 8/15 8 - Maintenance - Multimètre (Ohmmètre) Remplacement des Le système de mesure et l’électronique peuvent être remplacés, sous-ensembles pour cela : - desserrer la vis (1) sans la retirer, - retirer le système de mesure (2), - remplacer le système de mesure (2) ou l’électronique (3) et resserrer la vis, - procéder à la remise à zéro de l’électronique de la jauge 8 p. 13). ( Repère Désignation Référence Système de mesure DN25 ISO KF AHC2010 113049 Système de mesure DN40 ISO KF AHC2010 113050 Système de mesure DN40 CFR AHC2010 113051 Electronique 0/10 V+ SP AHC2010 113052 Electronique RS485 + SP AHC2010 113053 2 3 Relâcher le bouton lorsque la valeur "ATM" choisie est atteinte (500<ATM<1100 mbar) (0/10 V + SP) - sélectionner directement la valeur de la mantisse (de 1 à 9), - sélectionner la valeur de l’exposant (de +6 à –9) selon les données du tableau ci dessous, - sélectionner l’unité de mesure (mbar = 2, Torr =1 ou Pascal = autre position). Sélecteur rotatif Exposant peut-être contrôlé. Procéder de la façon suivante : - retirer le système de mesure ( 0,25 7 8 p. 12), - vérifier à l’aide d’un ohmmètre la résistance du filament, - changer le système de mesure si la valeur de la résistance est hors plage. 12/15 Réglage et validation de On Ne pas toucher avec les doigts les surfaces en contact avec le vide, en particulier l’embout de connexion, afin d’éviter tout dépôt. Cela peut provoquer des dégazages et perturber la mesure de pression. 5 l’exposant (1 pour 8.10–1 mbar) du point de consigne 2 - Remettre l’équipement à la pression atmosphérique. - Mettre la jauge hors tension. - Retirer le câble de raccordement jauge. - Déconnecter la jauge de l’installation. - Mettre en place le protecteur sur l’embout de connexion de la jauge. - Si la jauge doit être stockée il est conseillé de la placer à l’abri 4 p. 4). de la chaleur, de l’humidité et de la poussière.( Réglage et validation de l’unité de mesure (2 pour mbar) 1 = Torr, 2 = mbar, autre = Pa – Fin du processus – 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 +6 +5 +4 +3 +2 +1 0 –1 –-2 –3 –4 –5 –6 –7 –8 –9 Nota : Pour la jauge AHC 2010 - RS485 + SP le réglage des points de consigne se fait uniquement par la liaison RS485 (voir manuel “Protocole de communication RS485/jauge“). 9/15 Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 10/15 Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 10 - Décontamination - recyclage 11/15 11 - Déclaration de conformité (*) = défauts mineurs fonctionnement dégradé de la jauge Message contrôleur Défaut Probable Action rouge ErrHi Crystal polué au défaillant Vérification crystal Remplacement tête de mesure A T B* 10,061 ≤ T < 10,3 V vert or 0,774 vert 1.2 +2 Ur Err06 10,3 V T<10,061 V D* 0,5 T < 0,774 vert E 0,3 T < 0,5 V rouge Si ajustement ATM/VAC correct impossible ou si valeur de mesure erronée = pollution Verification état tête de mesure Lancer dégazage Remplacement tête de mesure Electronique Remplacement électronique 0,1 ≤ T < 0,3 rouge Err07 Filament B - A cassé ou pollution Vérification filament B - A Lancer dégazage Remplacement tête de mesure 0,1 V rouge ErrL0 Electronique Remplacement électronique Remise à zéro de l’électronique Cette opération réinitialise l’électronique. Elle doit être réalisée avant le remontage du système de mesure sur l’électronique lorsqu’un de ces deux éléments a été remplacé. Pour cela : 1- Brancher le câble de raccordement sur l’électronique sans le système de mesure. 2- Mettre sous-tension. Le voyant POWER se met à clignoter en rouge au bout de quelques secondes. 3- Pousser le bouton ATM/VAC jusqu’à ce que le voyant POWER s’allume en orange avant de clignoter de nouveau en rouge. 4- Mettre hors-tension l’électronique. 5- Mettre en place le système de mesure. 6- Mettre sous tension la jauge. 7- Procéder à l’ajustement de la jauge ( 6 p. 9) Les produits contaminés (par des substances radioactives, toxiques, caustiques ou microbiologiques) peuvent nuire à la santé et polluer l’environnement. Les produits qui nous sont retournés seront dans la mesure du possible exempts de substances nocives. Observer les prescriptions de transport des pays et entreprises de transport concernés. Pour tout retour de matériel Adixen au centre de service, remplir le questionnaire de sécurité disponible sur notre site internet. En l’absence de confirmation univoque que le produit est “exempt de substances nocives”, le produit est décontaminé aux frais du client. En absence d’un “Questionnaire de sécurité” dûment rempli, le produit est renvoyé à l’expéditeur à ses frais. Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 du point de consigne 2 F Jauge AHC2010 Led & Tension (T) T Réglage et validation de la E ou Off La contamination éventuelle des composants peut nuire à la santé et à l’environnement. Vérifier avant le démontage de la jauge de l’équipement, que l’installation ne présente aucun risque lié au procédé. Prévoir, au besoin, un balayage de gaz neutre pour éliminer tout gaz ou vapeur résiduels. Pour les jauges polluées ou contaminées, veuillez vous conformer au 9 p. 13. D 8 - Maintenance (suite) On Le dégazage consiste à chauffer le système de mesure à 70 °C par un bombardement électronique. Il nettoie ainsi les électrodes. Cette opération dure normalement 3 mn mais peut être interrompue prématurément. Cette fonction n’est possible que lorsque la pression est inférieure à 5.10-3 mbar (pression inférieure à 1.10-5 mbar conseillée). Elle est activée par la présence d’un +24 V sur la broche 5 de la jauge. 4 mantisse (8 pour 8.10–1 mbar) 6 Off 7 - Déconnexion de la jauge C Défaut G 3 Réglage et validation de l’exposant (E pour 5.10+2 mbar) du point de consigne 1 Valeur de réglage Sortie relais valeur de la pression (pour AHC 2010 – RS485 + SP) est celle donnée par la jauge crystal. Cette fonction est activée par la présence d’un +24 V sur la broche 3 de la jauge. B Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 F 2 Hystérésis + 10 % du Signal Pression Fonction désactivation Cette fonction désactive la jauge cathode chaude. La valeur du cathode chaude DSBL signal analogique 0/10V (pour AHC 2010 – 0/10V + SP) ou la A 9 - Retour des produits Contrôle du filament Le filament de la jauge cathode chaude du système de mesure Visualisation sur les voyants SP1 SP2 Etat initial Réglage et validation de la mantisse (5 pour 5.10+2 mbar) du point de consigne 1 Signal Pression Fonction dégazage Les dépôts sur le système d’électrodes de la jauge à cathode DGS chaude peuvent fausser ou rendre instable les valeurs mesurées. vert Réglage des points de Le réglage des points de consigne 1 et 2 est réalisé au moyen du consigne sélecteur rotatif qui permet de : C* Outillage nécessaire - Tournevis cruciforme, 2 orange Pousser et maintenir Catalogue des défauts L’encrassement ou la pollution du système de mesure de la jauge entraîne une dérive de mesure pouvant aller jusqu’à la mise en défaut de la jauge. Le système de mesure ne doit pas être nettoyé, excepté son embout de connexion. Pour cela utiliser uniquement de l’alcool neutre. 3 vert Nota : Pour la jauge AHC 2010 - RS485 + SP, ces ajustements peuvent aussi se faire par la liaison RS485. Xe 2,5 0,4 (AHC 2010 - RS485 + SP) Pour son exploitation, veuillez vous référer au manuel “Protocole de communication RS485/jauge”. 1 orange Il n’y a pas d’ajustement possible pour la jauge cathode chaude. Peffective = Pindiquée x C Réglage Validation par le sélecteur par le bouton rotatif SP SEL Voyant allumé clignotant temps 1,5 2,5 3,5 4,5 5,5 6,5 7,5 8,5 9,5 1,0 2,0 3,0 4,0 5,0 6,0 7,0 8,0 9,0 10,0 Le signal 0/10 V délivré correspond à une pression d’air, d’azote, d’oxygène ou de gaz carbonique. Pour d’autres gaz il faut appliquer un coefficient correcteur C suivant le tableau ci-dessous. Cette correction n’est valable que pour les pressions inférieures à 1 mbar. Voyant allumé fixe Relâcher Changement de la valeur mémorisée "atmosphère" 10–8 programmée de fermeture du point de consigne et sa valeur d’ouverture. exemple de réglage) pour régler les points de consigne 1et 2 : (AHC 2010 - 0/10 V + SP) point de consigne 1 : 5.10+2 = 500 mbar point de consigne 2 : 8.10–1 = 0,8 mbar Voyant éteint 1 Démarrage du processus temps –4 10–6 Sortie des points de Une hystérésis de 10% est consignes appliquée entre la valeur Réglage des points de Exemple de réglage consigne (suite) Réaliser chronologiquement les opérations suivantes (selon Ajustement atmosphère ou zéro Permet la restauration de la valeur "ATM" ou "VAC" mémorisée. 1 6 - Utilisation (suite) Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 13/15 Conformément à la Directive 2002/96/CE concernant le traitement des déchets des équipements électriques et électroniques, et à la Directive 2002/95/CE relative à la restriction des matières dangereuses, les produits Adixen en fin de vie seront retournés au constructeur pour décontamination et valorisation. Toute obligation du constructeur de récupérer de tels équipements s’applique uniquement à des équipements complets, non modifiés, non rétrofités, utilisant des pièces détachées d’origine Alcatel Vaccuum, vendues par Alcatel Vacuum Technology et incluant tous leurs ensembles et sous-ensembles. Cette obligation ne comprend pas les frais de transport du produit vers un centre de retraitement, ni la prestation de service qui sera facturée au client. Pour tout retour de matériel au centre de service, remplir le questionnaire de sécurité disponible séparemment ou sur notre site internet. Composants contaminés. Les composants contaminés peuvent nuire à la santé et polluer l’environnement. Se renseigner avant d’intervenir sur le produit sur une éventuelle contamination. Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes à la manipulation de composants contaminés. Substances polluantes. Certains produits ou leurs éléments (composants mécaniques ou électriques, fluides etc.) peuvent polluer l’environnement. - Eliminer les substances polluantes conformément à la réglementation locale. Tri des composants Après le démontage du produit, trier ses composants selon les critères suivants : Composants contaminés Décontaminer les composants contaminés (par des substances radioactives, toxiques, corrosives ou microbiologiques) conformément à la réglementation nationale, les trier en fonction de leurs matériaux et les éliminer. Composants non contaminés Trier ces composants en fonction de leurs matériaux et les récupérer. Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 14/15 imprimé sur papier 100 % recyclé, 100 desencré et sans chlore Unité Pa 6 - Utilisation (suite) Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 15/15 6 - Utilisation (suite) 6 - Utilisation (suite) Ajustement de la L’ajustement de la jauge crystal se fait à la pression jauge atmosphérique (ATM) et à la pression limite ou zéro de la jauge Signal 0/10 V Le signal 0/10 V est délivré entre les broches 1 (+) et 8 (–). (VAC). Si la cathode chaude est allumée et la pression inférieure à 1 x 10-4 mbar, le réglage du zéro est fait automatiquement toutes les 5 mn. Si le filament est désactivé (entrée DSBL activé) et la jauge est froide, il faut un réglage manuel. La jauge détermine automatiquement si l’ajustement concerne la pression atmosphérique ou le “zéro”. Ces ajustements doivent être effectués dans les mêmes conditions et la même position d’utilisation de la jauge. Un temps minimum de stabilisation de 10 mn est nécessaire avant de procéder à un ajustement. Pour l’ajustement du “zéro” la jauge devra être à une pression inférieure à 1.10–4 mbar. (AHC 2010 - 0/10 V + SP) La correspondance Pression – Tension est donnée par la formule suivante : mbar Torr d 0 2 P = 10(U–7,75)/0,75+d avec : P= pression, U= signal 0/10 V, d= constante dépendante de l’unité de pression. - 0,125 Limites de mesure : 10 V = 1000 mbar et 0,774 V = 5.10–10 mbar Pression P 104 Pa mbar 102 Torr 10–2 10 vert orange vert Pousser et maintenir 10–10 vert La valeur choisie devient la nouvelle valeur "ATM" mémorisée. Nota : la valeur VAC mémorisée ne peut pas être modifiée. Signal de mesure U (V) Pression 1mbar à 10-2 mbar 10-3 mbar Gas C He 0,2 5,9 H2 0,44 2,44 O2 0,85 1,00 air 0,975 1,00 N2 1,0 1,00 Ar 1,2 0,8 Signal RS485 Le signal RS485 est délivré entre les broches 1 (+) et 8 (–). Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 8/15 8 - Maintenance - Multimètre (Ohmmètre) Remplacement des Le système de mesure et l’électronique peuvent être remplacés, sous-ensembles pour cela : - desserrer la vis (1) sans la retirer, - retirer le système de mesure (2), - remplacer le système de mesure (2) ou l’électronique (3) et resserrer la vis, - procéder à la remise à zéro de l’électronique de la jauge 8 p. 13). ( Repère Désignation Référence Système de mesure DN25 ISO KF AHC2010 113049 Système de mesure DN40 ISO KF AHC2010 113050 Système de mesure DN40 CFR AHC2010 113051 Electronique 0/10 V+ SP AHC2010 113052 Electronique RS485 + SP AHC2010 113053 2 3 Relâcher le bouton lorsque la valeur "ATM" choisie est atteinte (500<ATM<1100 mbar) (0/10 V + SP) - sélectionner directement la valeur de la mantisse (de 1 à 9), - sélectionner la valeur de l’exposant (de +6 à –9) selon les données du tableau ci dessous, - sélectionner l’unité de mesure (mbar = 2, Torr =1 ou Pascal = autre position). Sélecteur rotatif Exposant peut-être contrôlé. Procéder de la façon suivante : - retirer le système de mesure ( 0,25 7 8 p. 12), - vérifier à l’aide d’un ohmmètre la résistance du filament, - changer le système de mesure si la valeur de la résistance est hors plage. 12/15 Réglage et validation de On Ne pas toucher avec les doigts les surfaces en contact avec le vide, en particulier l’embout de connexion, afin d’éviter tout dépôt. Cela peut provoquer des dégazages et perturber la mesure de pression. 5 l’exposant (1 pour 8.10–1 mbar) du point de consigne 2 - Remettre l’équipement à la pression atmosphérique. - Mettre la jauge hors tension. - Retirer le câble de raccordement jauge. - Déconnecter la jauge de l’installation. - Mettre en place le protecteur sur l’embout de connexion de la jauge. - Si la jauge doit être stockée il est conseillé de la placer à l’abri 4 p. 4). de la chaleur, de l’humidité et de la poussière.( Réglage et validation de l’unité de mesure (2 pour mbar) 1 = Torr, 2 = mbar, autre = Pa – Fin du processus – 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 +6 +5 +4 +3 +2 +1 0 –1 –-2 –3 –4 –5 –6 –7 –8 –9 Nota : Pour la jauge AHC 2010 - RS485 + SP le réglage des points de consigne se fait uniquement par la liaison RS485 (voir manuel “Protocole de communication RS485/jauge“). 9/15 Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 10/15 Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 10 - Décontamination - recyclage 11/15 11 - Déclaration de conformité (*) = défauts mineurs fonctionnement dégradé de la jauge Message contrôleur Défaut Probable Action rouge ErrHi Crystal polué au défaillant Vérification crystal Remplacement tête de mesure A T B* 10,061 ≤ T < 10,3 V vert or 0,774 vert 1.2 +2 Ur Err06 10,3 V T<10,061 V D* 0,5 T < 0,774 vert E 0,3 T < 0,5 V rouge Si ajustement ATM/VAC correct impossible ou si valeur de mesure erronée = pollution Verification état tête de mesure Lancer dégazage Remplacement tête de mesure Electronique Remplacement électronique 0,1 ≤ T < 0,3 rouge Err07 Filament B - A cassé ou pollution Vérification filament B - A Lancer dégazage Remplacement tête de mesure 0,1 V rouge ErrL0 Electronique Remplacement électronique Remise à zéro de l’électronique Cette opération réinitialise l’électronique. Elle doit être réalisée avant le remontage du système de mesure sur l’électronique lorsqu’un de ces deux éléments a été remplacé. Pour cela : 1- Brancher le câble de raccordement sur l’électronique sans le système de mesure. 2- Mettre sous-tension. Le voyant POWER se met à clignoter en rouge au bout de quelques secondes. 3- Pousser le bouton ATM/VAC jusqu’à ce que le voyant POWER s’allume en orange avant de clignoter de nouveau en rouge. 4- Mettre hors-tension l’électronique. 5- Mettre en place le système de mesure. 6- Mettre sous tension la jauge. 7- Procéder à l’ajustement de la jauge ( 6 p. 9) Les produits contaminés (par des substances radioactives, toxiques, caustiques ou microbiologiques) peuvent nuire à la santé et polluer l’environnement. Les produits qui nous sont retournés seront dans la mesure du possible exempts de substances nocives. Observer les prescriptions de transport des pays et entreprises de transport concernés. Pour tout retour de matériel Adixen au centre de service, remplir le questionnaire de sécurité disponible sur notre site internet. En l’absence de confirmation univoque que le produit est “exempt de substances nocives”, le produit est décontaminé aux frais du client. En absence d’un “Questionnaire de sécurité” dûment rempli, le produit est renvoyé à l’expéditeur à ses frais. Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 du point de consigne 2 F Jauge AHC2010 Led & Tension (T) T Réglage et validation de la E ou Off La contamination éventuelle des composants peut nuire à la santé et à l’environnement. Vérifier avant le démontage de la jauge de l’équipement, que l’installation ne présente aucun risque lié au procédé. Prévoir, au besoin, un balayage de gaz neutre pour éliminer tout gaz ou vapeur résiduels. Pour les jauges polluées ou contaminées, veuillez vous conformer au 9 p. 13. D 8 - Maintenance (suite) On Le dégazage consiste à chauffer le système de mesure à 70 °C par un bombardement électronique. Il nettoie ainsi les électrodes. Cette opération dure normalement 3 mn mais peut être interrompue prématurément. Cette fonction n’est possible que lorsque la pression est inférieure à 5.10-3 mbar (pression inférieure à 1.10-5 mbar conseillée). Elle est activée par la présence d’un +24 V sur la broche 5 de la jauge. 4 mantisse (8 pour 8.10–1 mbar) 6 Off 7 - Déconnexion de la jauge C Défaut G 3 Réglage et validation de l’exposant (E pour 5.10+2 mbar) du point de consigne 1 Valeur de réglage Sortie relais valeur de la pression (pour AHC 2010 – RS485 + SP) est celle donnée par la jauge crystal. Cette fonction est activée par la présence d’un +24 V sur la broche 3 de la jauge. B Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 F 2 Hystérésis + 10 % du Signal Pression Fonction désactivation Cette fonction désactive la jauge cathode chaude. La valeur du cathode chaude DSBL signal analogique 0/10V (pour AHC 2010 – 0/10V + SP) ou la A 9 - Retour des produits Contrôle du filament Le filament de la jauge cathode chaude du système de mesure Visualisation sur les voyants SP1 SP2 Etat initial Réglage et validation de la mantisse (5 pour 5.10+2 mbar) du point de consigne 1 Signal Pression Fonction dégazage Les dépôts sur le système d’électrodes de la jauge à cathode DGS chaude peuvent fausser ou rendre instable les valeurs mesurées. vert Réglage des points de Le réglage des points de consigne 1 et 2 est réalisé au moyen du consigne sélecteur rotatif qui permet de : C* Outillage nécessaire - Tournevis cruciforme, 2 orange Pousser et maintenir Catalogue des défauts L’encrassement ou la pollution du système de mesure de la jauge entraîne une dérive de mesure pouvant aller jusqu’à la mise en défaut de la jauge. Le système de mesure ne doit pas être nettoyé, excepté son embout de connexion. Pour cela utiliser uniquement de l’alcool neutre. 3 vert Nota : Pour la jauge AHC 2010 - RS485 + SP, ces ajustements peuvent aussi se faire par la liaison RS485. Xe 2,5 0,4 (AHC 2010 - RS485 + SP) Pour son exploitation, veuillez vous référer au manuel “Protocole de communication RS485/jauge”. 1 orange Il n’y a pas d’ajustement possible pour la jauge cathode chaude. Peffective = Pindiquée x C Réglage Validation par le sélecteur par le bouton rotatif SP SEL Voyant allumé clignotant temps 1,5 2,5 3,5 4,5 5,5 6,5 7,5 8,5 9,5 1,0 2,0 3,0 4,0 5,0 6,0 7,0 8,0 9,0 10,0 Le signal 0/10 V délivré correspond à une pression d’air, d’azote, d’oxygène ou de gaz carbonique. Pour d’autres gaz il faut appliquer un coefficient correcteur C suivant le tableau ci-dessous. Cette correction n’est valable que pour les pressions inférieures à 1 mbar. Voyant allumé fixe Relâcher Changement de la valeur mémorisée "atmosphère" 10–8 programmée de fermeture du point de consigne et sa valeur d’ouverture. exemple de réglage) pour régler les points de consigne 1et 2 : (AHC 2010 - 0/10 V + SP) point de consigne 1 : 5.10+2 = 500 mbar point de consigne 2 : 8.10–1 = 0,8 mbar Voyant éteint 1 Démarrage du processus temps –4 10–6 Sortie des points de Une hystérésis de 10% est consignes appliquée entre la valeur Réglage des points de Exemple de réglage consigne (suite) Réaliser chronologiquement les opérations suivantes (selon Ajustement atmosphère ou zéro Permet la restauration de la valeur "ATM" ou "VAC" mémorisée. 1 6 - Utilisation (suite) Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 13/15 Conformément à la Directive 2002/96/CE concernant le traitement des déchets des équipements électriques et électroniques, et à la Directive 2002/95/CE relative à la restriction des matières dangereuses, les produits Adixen en fin de vie seront retournés au constructeur pour décontamination et valorisation. Toute obligation du constructeur de récupérer de tels équipements s’applique uniquement à des équipements complets, non modifiés, non rétrofités, utilisant des pièces détachées d’origine Alcatel Vaccuum, vendues par Alcatel Vacuum Technology et incluant tous leurs ensembles et sous-ensembles. Cette obligation ne comprend pas les frais de transport du produit vers un centre de retraitement, ni la prestation de service qui sera facturée au client. Pour tout retour de matériel au centre de service, remplir le questionnaire de sécurité disponible séparemment ou sur notre site internet. Composants contaminés. Les composants contaminés peuvent nuire à la santé et polluer l’environnement. Se renseigner avant d’intervenir sur le produit sur une éventuelle contamination. Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes à la manipulation de composants contaminés. Substances polluantes. Certains produits ou leurs éléments (composants mécaniques ou électriques, fluides etc.) peuvent polluer l’environnement. - Eliminer les substances polluantes conformément à la réglementation locale. Tri des composants Après le démontage du produit, trier ses composants selon les critères suivants : Composants contaminés Décontaminer les composants contaminés (par des substances radioactives, toxiques, corrosives ou microbiologiques) conformément à la réglementation nationale, les trier en fonction de leurs matériaux et les éliminer. Composants non contaminés Trier ces composants en fonction de leurs matériaux et les récupérer. Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 14/15 imprimé sur papier 100 % recyclé, 100 desencré et sans chlore Unité Pa 6 - Utilisation (suite) Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 15/15 6 - Utilisation (suite) 6 - Utilisation (suite) Ajustement de la L’ajustement de la jauge crystal se fait à la pression jauge atmosphérique (ATM) et à la pression limite ou zéro de la jauge Signal 0/10 V Le signal 0/10 V est délivré entre les broches 1 (+) et 8 (–). (VAC). Si la cathode chaude est allumée et la pression inférieure à 1 x 10-4 mbar, le réglage du zéro est fait automatiquement toutes les 5 mn. Si le filament est désactivé (entrée DSBL activé) et la jauge est froide, il faut un réglage manuel. La jauge détermine automatiquement si l’ajustement concerne la pression atmosphérique ou le “zéro”. Ces ajustements doivent être effectués dans les mêmes conditions et la même position d’utilisation de la jauge. Un temps minimum de stabilisation de 10 mn est nécessaire avant de procéder à un ajustement. Pour l’ajustement du “zéro” la jauge devra être à une pression inférieure à 1.10–4 mbar. (AHC 2010 - 0/10 V + SP) La correspondance Pression – Tension est donnée par la formule suivante : mbar Torr d 0 2 P = 10(U–7,75)/0,75+d avec : P= pression, U= signal 0/10 V, d= constante dépendante de l’unité de pression. - 0,125 Limites de mesure : 10 V = 1000 mbar et 0,774 V = 5.10–10 mbar Pression P 104 Pa mbar 102 Torr 10–2 10 vert orange vert Pousser et maintenir 10–10 vert La valeur choisie devient la nouvelle valeur "ATM" mémorisée. Nota : la valeur VAC mémorisée ne peut pas être modifiée. Signal de mesure U (V) Pression 1mbar à 10-2 mbar 10-3 mbar Gas C He 0,2 5,9 H2 0,44 2,44 O2 0,85 1,00 air 0,975 1,00 N2 1,0 1,00 Ar 1,2 0,8 Signal RS485 Le signal RS485 est délivré entre les broches 1 (+) et 8 (–). Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 8/15 8 - Maintenance - Multimètre (Ohmmètre) Remplacement des Le système de mesure et l’électronique peuvent être remplacés, sous-ensembles pour cela : - desserrer la vis (1) sans la retirer, - retirer le système de mesure (2), - remplacer le système de mesure (2) ou l’électronique (3) et resserrer la vis, - procéder à la remise à zéro de l’électronique de la jauge 8 p. 13). ( Repère Désignation Référence Système de mesure DN25 ISO KF AHC2010 113049 Système de mesure DN40 ISO KF AHC2010 113050 Système de mesure DN40 CFR AHC2010 113051 Electronique 0/10 V+ SP AHC2010 113052 Electronique RS485 + SP AHC2010 113053 2 3 Relâcher le bouton lorsque la valeur "ATM" choisie est atteinte (500<ATM<1100 mbar) (0/10 V + SP) - sélectionner directement la valeur de la mantisse (de 1 à 9), - sélectionner la valeur de l’exposant (de +6 à –9) selon les données du tableau ci dessous, - sélectionner l’unité de mesure (mbar = 2, Torr =1 ou Pascal = autre position). Sélecteur rotatif Exposant peut-être contrôlé. Procéder de la façon suivante : - retirer le système de mesure ( 0,25 7 8 p. 12), - vérifier à l’aide d’un ohmmètre la résistance du filament, - changer le système de mesure si la valeur de la résistance est hors plage. 12/15 Réglage et validation de On Ne pas toucher avec les doigts les surfaces en contact avec le vide, en particulier l’embout de connexion, afin d’éviter tout dépôt. Cela peut provoquer des dégazages et perturber la mesure de pression. 5 l’exposant (1 pour 8.10–1 mbar) du point de consigne 2 - Remettre l’équipement à la pression atmosphérique. - Mettre la jauge hors tension. - Retirer le câble de raccordement jauge. - Déconnecter la jauge de l’installation. - Mettre en place le protecteur sur l’embout de connexion de la jauge. - Si la jauge doit être stockée il est conseillé de la placer à l’abri 4 p. 4). de la chaleur, de l’humidité et de la poussière.( Réglage et validation de l’unité de mesure (2 pour mbar) 1 = Torr, 2 = mbar, autre = Pa – Fin du processus – 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 +6 +5 +4 +3 +2 +1 0 –1 –-2 –3 –4 –5 –6 –7 –8 –9 Nota : Pour la jauge AHC 2010 - RS485 + SP le réglage des points de consigne se fait uniquement par la liaison RS485 (voir manuel “Protocole de communication RS485/jauge“). 9/15 Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 10/15 Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 10 - Décontamination - recyclage 11/15 11 - Déclaration de conformité (*) = défauts mineurs fonctionnement dégradé de la jauge Message contrôleur Défaut Probable Action rouge ErrHi Crystal polué au défaillant Vérification crystal Remplacement tête de mesure A T B* 10,061 ≤ T < 10,3 V vert or 0,774 vert 1.2 +2 Ur Err06 10,3 V T<10,061 V D* 0,5 T < 0,774 vert E 0,3 T < 0,5 V rouge Si ajustement ATM/VAC correct impossible ou si valeur de mesure erronée = pollution Verification état tête de mesure Lancer dégazage Remplacement tête de mesure Electronique Remplacement électronique 0,1 ≤ T < 0,3 rouge Err07 Filament B - A cassé ou pollution Vérification filament B - A Lancer dégazage Remplacement tête de mesure 0,1 V rouge ErrL0 Electronique Remplacement électronique Remise à zéro de l’électronique Cette opération réinitialise l’électronique. Elle doit être réalisée avant le remontage du système de mesure sur l’électronique lorsqu’un de ces deux éléments a été remplacé. Pour cela : 1- Brancher le câble de raccordement sur l’électronique sans le système de mesure. 2- Mettre sous-tension. Le voyant POWER se met à clignoter en rouge au bout de quelques secondes. 3- Pousser le bouton ATM/VAC jusqu’à ce que le voyant POWER s’allume en orange avant de clignoter de nouveau en rouge. 4- Mettre hors-tension l’électronique. 5- Mettre en place le système de mesure. 6- Mettre sous tension la jauge. 7- Procéder à l’ajustement de la jauge ( 6 p. 9) Les produits contaminés (par des substances radioactives, toxiques, caustiques ou microbiologiques) peuvent nuire à la santé et polluer l’environnement. Les produits qui nous sont retournés seront dans la mesure du possible exempts de substances nocives. Observer les prescriptions de transport des pays et entreprises de transport concernés. Pour tout retour de matériel Adixen au centre de service, remplir le questionnaire de sécurité disponible sur notre site internet. En l’absence de confirmation univoque que le produit est “exempt de substances nocives”, le produit est décontaminé aux frais du client. En absence d’un “Questionnaire de sécurité” dûment rempli, le produit est renvoyé à l’expéditeur à ses frais. Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 du point de consigne 2 F Jauge AHC2010 Led & Tension (T) T Réglage et validation de la E ou Off La contamination éventuelle des composants peut nuire à la santé et à l’environnement. Vérifier avant le démontage de la jauge de l’équipement, que l’installation ne présente aucun risque lié au procédé. Prévoir, au besoin, un balayage de gaz neutre pour éliminer tout gaz ou vapeur résiduels. Pour les jauges polluées ou contaminées, veuillez vous conformer au 9 p. 13. D 8 - Maintenance (suite) On Le dégazage consiste à chauffer le système de mesure à 70 °C par un bombardement électronique. Il nettoie ainsi les électrodes. Cette opération dure normalement 3 mn mais peut être interrompue prématurément. Cette fonction n’est possible que lorsque la pression est inférieure à 5.10-3 mbar (pression inférieure à 1.10-5 mbar conseillée). Elle est activée par la présence d’un +24 V sur la broche 5 de la jauge. 4 mantisse (8 pour 8.10–1 mbar) 6 Off 7 - Déconnexion de la jauge C Défaut G 3 Réglage et validation de l’exposant (E pour 5.10+2 mbar) du point de consigne 1 Valeur de réglage Sortie relais valeur de la pression (pour AHC 2010 – RS485 + SP) est celle donnée par la jauge crystal. Cette fonction est activée par la présence d’un +24 V sur la broche 3 de la jauge. B Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 F 2 Hystérésis + 10 % du Signal Pression Fonction désactivation Cette fonction désactive la jauge cathode chaude. La valeur du cathode chaude DSBL signal analogique 0/10V (pour AHC 2010 – 0/10V + SP) ou la A 9 - Retour des produits Contrôle du filament Le filament de la jauge cathode chaude du système de mesure Visualisation sur les voyants SP1 SP2 Etat initial Réglage et validation de la mantisse (5 pour 5.10+2 mbar) du point de consigne 1 Signal Pression Fonction dégazage Les dépôts sur le système d’électrodes de la jauge à cathode DGS chaude peuvent fausser ou rendre instable les valeurs mesurées. vert Réglage des points de Le réglage des points de consigne 1 et 2 est réalisé au moyen du consigne sélecteur rotatif qui permet de : C* Outillage nécessaire - Tournevis cruciforme, 2 orange Pousser et maintenir Catalogue des défauts L’encrassement ou la pollution du système de mesure de la jauge entraîne une dérive de mesure pouvant aller jusqu’à la mise en défaut de la jauge. Le système de mesure ne doit pas être nettoyé, excepté son embout de connexion. Pour cela utiliser uniquement de l’alcool neutre. 3 vert Nota : Pour la jauge AHC 2010 - RS485 + SP, ces ajustements peuvent aussi se faire par la liaison RS485. Xe 2,5 0,4 (AHC 2010 - RS485 + SP) Pour son exploitation, veuillez vous référer au manuel “Protocole de communication RS485/jauge”. 1 orange Il n’y a pas d’ajustement possible pour la jauge cathode chaude. Peffective = Pindiquée x C Réglage Validation par le sélecteur par le bouton rotatif SP SEL Voyant allumé clignotant temps 1,5 2,5 3,5 4,5 5,5 6,5 7,5 8,5 9,5 1,0 2,0 3,0 4,0 5,0 6,0 7,0 8,0 9,0 10,0 Le signal 0/10 V délivré correspond à une pression d’air, d’azote, d’oxygène ou de gaz carbonique. Pour d’autres gaz il faut appliquer un coefficient correcteur C suivant le tableau ci-dessous. Cette correction n’est valable que pour les pressions inférieures à 1 mbar. Voyant allumé fixe Relâcher Changement de la valeur mémorisée "atmosphère" 10–8 programmée de fermeture du point de consigne et sa valeur d’ouverture. exemple de réglage) pour régler les points de consigne 1et 2 : (AHC 2010 - 0/10 V + SP) point de consigne 1 : 5.10+2 = 500 mbar point de consigne 2 : 8.10–1 = 0,8 mbar Voyant éteint 1 Démarrage du processus temps –4 10–6 Sortie des points de Une hystérésis de 10% est consignes appliquée entre la valeur Réglage des points de Exemple de réglage consigne (suite) Réaliser chronologiquement les opérations suivantes (selon Ajustement atmosphère ou zéro Permet la restauration de la valeur "ATM" ou "VAC" mémorisée. 1 6 - Utilisation (suite) Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 13/15 Conformément à la Directive 2002/96/CE concernant le traitement des déchets des équipements électriques et électroniques, et à la Directive 2002/95/CE relative à la restriction des matières dangereuses, les produits Adixen en fin de vie seront retournés au constructeur pour décontamination et valorisation. Toute obligation du constructeur de récupérer de tels équipements s’applique uniquement à des équipements complets, non modifiés, non rétrofités, utilisant des pièces détachées d’origine Alcatel Vaccuum, vendues par Alcatel Vacuum Technology et incluant tous leurs ensembles et sous-ensembles. Cette obligation ne comprend pas les frais de transport du produit vers un centre de retraitement, ni la prestation de service qui sera facturée au client. Pour tout retour de matériel au centre de service, remplir le questionnaire de sécurité disponible séparemment ou sur notre site internet. Composants contaminés. Les composants contaminés peuvent nuire à la santé et polluer l’environnement. Se renseigner avant d’intervenir sur le produit sur une éventuelle contamination. Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes à la manipulation de composants contaminés. Substances polluantes. Certains produits ou leurs éléments (composants mécaniques ou électriques, fluides etc.) peuvent polluer l’environnement. - Eliminer les substances polluantes conformément à la réglementation locale. Tri des composants Après le démontage du produit, trier ses composants selon les critères suivants : Composants contaminés Décontaminer les composants contaminés (par des substances radioactives, toxiques, corrosives ou microbiologiques) conformément à la réglementation nationale, les trier en fonction de leurs matériaux et les éliminer. Composants non contaminés Trier ces composants en fonction de leurs matériaux et les récupérer. Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 14/15 imprimé sur papier 100 % recyclé, 100 desencré et sans chlore Unité Pa 6 - Utilisation (suite) Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 15/15 6 - Utilisation (suite) 6 - Utilisation (suite) Ajustement de la L’ajustement de la jauge crystal se fait à la pression jauge atmosphérique (ATM) et à la pression limite ou zéro de la jauge Signal 0/10 V Le signal 0/10 V est délivré entre les broches 1 (+) et 8 (–). (VAC). Si la cathode chaude est allumée et la pression inférieure à 1 x 10-4 mbar, le réglage du zéro est fait automatiquement toutes les 5 mn. Si le filament est désactivé (entrée DSBL activé) et la jauge est froide, il faut un réglage manuel. La jauge détermine automatiquement si l’ajustement concerne la pression atmosphérique ou le “zéro”. Ces ajustements doivent être effectués dans les mêmes conditions et la même position d’utilisation de la jauge. Un temps minimum de stabilisation de 10 mn est nécessaire avant de procéder à un ajustement. Pour l’ajustement du “zéro” la jauge devra être à une pression inférieure à 1.10–4 mbar. (AHC 2010 - 0/10 V + SP) La correspondance Pression – Tension est donnée par la formule suivante : mbar Torr d 0 2 P = 10(U–7,75)/0,75+d avec : P= pression, U= signal 0/10 V, d= constante dépendante de l’unité de pression. - 0,125 Limites de mesure : 10 V = 1000 mbar et 0,774 V = 5.10–10 mbar Pression P 104 Pa mbar 102 Torr 10–2 10 vert orange vert Pousser et maintenir 10–10 vert La valeur choisie devient la nouvelle valeur "ATM" mémorisée. Nota : la valeur VAC mémorisée ne peut pas être modifiée. Signal de mesure U (V) Pression 1mbar à 10-2 mbar 10-3 mbar Gas C He 0,2 5,9 H2 0,44 2,44 O2 0,85 1,00 air 0,975 1,00 N2 1,0 1,00 Ar 1,2 0,8 Signal RS485 Le signal RS485 est délivré entre les broches 1 (+) et 8 (–). Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 8/15 8 - Maintenance - Multimètre (Ohmmètre) Remplacement des Le système de mesure et l’électronique peuvent être remplacés, sous-ensembles pour cela : - desserrer la vis (1) sans la retirer, - retirer le système de mesure (2), - remplacer le système de mesure (2) ou l’électronique (3) et resserrer la vis, - procéder à la remise à zéro de l’électronique de la jauge 8 p. 13). ( Repère Désignation Référence Système de mesure DN25 ISO KF AHC2010 113049 Système de mesure DN40 ISO KF AHC2010 113050 Système de mesure DN40 CFR AHC2010 113051 Electronique 0/10 V+ SP AHC2010 113052 Electronique RS485 + SP AHC2010 113053 2 3 Relâcher le bouton lorsque la valeur "ATM" choisie est atteinte (500<ATM<1100 mbar) (0/10 V + SP) - sélectionner directement la valeur de la mantisse (de 1 à 9), - sélectionner la valeur de l’exposant (de +6 à –9) selon les données du tableau ci dessous, - sélectionner l’unité de mesure (mbar = 2, Torr =1 ou Pascal = autre position). Sélecteur rotatif Exposant peut-être contrôlé. Procéder de la façon suivante : - retirer le système de mesure ( 0,25 7 8 p. 12), - vérifier à l’aide d’un ohmmètre la résistance du filament, - changer le système de mesure si la valeur de la résistance est hors plage. 12/15 Réglage et validation de On Ne pas toucher avec les doigts les surfaces en contact avec le vide, en particulier l’embout de connexion, afin d’éviter tout dépôt. Cela peut provoquer des dégazages et perturber la mesure de pression. 5 l’exposant (1 pour 8.10–1 mbar) du point de consigne 2 - Remettre l’équipement à la pression atmosphérique. - Mettre la jauge hors tension. - Retirer le câble de raccordement jauge. - Déconnecter la jauge de l’installation. - Mettre en place le protecteur sur l’embout de connexion de la jauge. - Si la jauge doit être stockée il est conseillé de la placer à l’abri 4 p. 4). de la chaleur, de l’humidité et de la poussière.( Réglage et validation de l’unité de mesure (2 pour mbar) 1 = Torr, 2 = mbar, autre = Pa – Fin du processus – 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 +6 +5 +4 +3 +2 +1 0 –1 –-2 –3 –4 –5 –6 –7 –8 –9 Nota : Pour la jauge AHC 2010 - RS485 + SP le réglage des points de consigne se fait uniquement par la liaison RS485 (voir manuel “Protocole de communication RS485/jauge“). 9/15 Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 10/15 Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 10 - Décontamination - recyclage 11/15 11 - Déclaration de conformité (*) = défauts mineurs fonctionnement dégradé de la jauge Message contrôleur Défaut Probable Action rouge ErrHi Crystal polué au défaillant Vérification crystal Remplacement tête de mesure A T B* 10,061 ≤ T < 10,3 V vert or 0,774 vert 1.2 +2 Ur Err06 10,3 V T<10,061 V D* 0,5 T < 0,774 vert E 0,3 T < 0,5 V rouge Si ajustement ATM/VAC correct impossible ou si valeur de mesure erronée = pollution Verification état tête de mesure Lancer dégazage Remplacement tête de mesure Electronique Remplacement électronique 0,1 ≤ T < 0,3 rouge Err07 Filament B - A cassé ou pollution Vérification filament B - A Lancer dégazage Remplacement tête de mesure 0,1 V rouge ErrL0 Electronique Remplacement électronique Remise à zéro de l’électronique Cette opération réinitialise l’électronique. Elle doit être réalisée avant le remontage du système de mesure sur l’électronique lorsqu’un de ces deux éléments a été remplacé. Pour cela : 1- Brancher le câble de raccordement sur l’électronique sans le système de mesure. 2- Mettre sous-tension. Le voyant POWER se met à clignoter en rouge au bout de quelques secondes. 3- Pousser le bouton ATM/VAC jusqu’à ce que le voyant POWER s’allume en orange avant de clignoter de nouveau en rouge. 4- Mettre hors-tension l’électronique. 5- Mettre en place le système de mesure. 6- Mettre sous tension la jauge. 7- Procéder à l’ajustement de la jauge ( 6 p. 9) Les produits contaminés (par des substances radioactives, toxiques, caustiques ou microbiologiques) peuvent nuire à la santé et polluer l’environnement. Les produits qui nous sont retournés seront dans la mesure du possible exempts de substances nocives. Observer les prescriptions de transport des pays et entreprises de transport concernés. Pour tout retour de matériel Adixen au centre de service, remplir le questionnaire de sécurité disponible sur notre site internet. En l’absence de confirmation univoque que le produit est “exempt de substances nocives”, le produit est décontaminé aux frais du client. En absence d’un “Questionnaire de sécurité” dûment rempli, le produit est renvoyé à l’expéditeur à ses frais. Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 du point de consigne 2 F Jauge AHC2010 Led & Tension (T) T Réglage et validation de la E ou Off La contamination éventuelle des composants peut nuire à la santé et à l’environnement. Vérifier avant le démontage de la jauge de l’équipement, que l’installation ne présente aucun risque lié au procédé. Prévoir, au besoin, un balayage de gaz neutre pour éliminer tout gaz ou vapeur résiduels. Pour les jauges polluées ou contaminées, veuillez vous conformer au 9 p. 13. D 8 - Maintenance (suite) On Le dégazage consiste à chauffer le système de mesure à 70 °C par un bombardement électronique. Il nettoie ainsi les électrodes. Cette opération dure normalement 3 mn mais peut être interrompue prématurément. Cette fonction n’est possible que lorsque la pression est inférieure à 5.10-3 mbar (pression inférieure à 1.10-5 mbar conseillée). Elle est activée par la présence d’un +24 V sur la broche 5 de la jauge. 4 mantisse (8 pour 8.10–1 mbar) 6 Off 7 - Déconnexion de la jauge C Défaut G 3 Réglage et validation de l’exposant (E pour 5.10+2 mbar) du point de consigne 1 Valeur de réglage Sortie relais valeur de la pression (pour AHC 2010 – RS485 + SP) est celle donnée par la jauge crystal. Cette fonction est activée par la présence d’un +24 V sur la broche 3 de la jauge. B Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 F 2 Hystérésis + 10 % du Signal Pression Fonction désactivation Cette fonction désactive la jauge cathode chaude. La valeur du cathode chaude DSBL signal analogique 0/10V (pour AHC 2010 – 0/10V + SP) ou la A 9 - Retour des produits Contrôle du filament Le filament de la jauge cathode chaude du système de mesure Visualisation sur les voyants SP1 SP2 Etat initial Réglage et validation de la mantisse (5 pour 5.10+2 mbar) du point de consigne 1 Signal Pression Fonction dégazage Les dépôts sur le système d’électrodes de la jauge à cathode DGS chaude peuvent fausser ou rendre instable les valeurs mesurées. vert Réglage des points de Le réglage des points de consigne 1 et 2 est réalisé au moyen du consigne sélecteur rotatif qui permet de : C* Outillage nécessaire - Tournevis cruciforme, 2 orange Pousser et maintenir Catalogue des défauts L’encrassement ou la pollution du système de mesure de la jauge entraîne une dérive de mesure pouvant aller jusqu’à la mise en défaut de la jauge. Le système de mesure ne doit pas être nettoyé, excepté son embout de connexion. Pour cela utiliser uniquement de l’alcool neutre. 3 vert Nota : Pour la jauge AHC 2010 - RS485 + SP, ces ajustements peuvent aussi se faire par la liaison RS485. Xe 2,5 0,4 (AHC 2010 - RS485 + SP) Pour son exploitation, veuillez vous référer au manuel “Protocole de communication RS485/jauge”. 1 orange Il n’y a pas d’ajustement possible pour la jauge cathode chaude. Peffective = Pindiquée x C Réglage Validation par le sélecteur par le bouton rotatif SP SEL Voyant allumé clignotant temps 1,5 2,5 3,5 4,5 5,5 6,5 7,5 8,5 9,5 1,0 2,0 3,0 4,0 5,0 6,0 7,0 8,0 9,0 10,0 Le signal 0/10 V délivré correspond à une pression d’air, d’azote, d’oxygène ou de gaz carbonique. Pour d’autres gaz il faut appliquer un coefficient correcteur C suivant le tableau ci-dessous. Cette correction n’est valable que pour les pressions inférieures à 1 mbar. Voyant allumé fixe Relâcher Changement de la valeur mémorisée "atmosphère" 10–8 programmée de fermeture du point de consigne et sa valeur d’ouverture. exemple de réglage) pour régler les points de consigne 1et 2 : (AHC 2010 - 0/10 V + SP) point de consigne 1 : 5.10+2 = 500 mbar point de consigne 2 : 8.10–1 = 0,8 mbar Voyant éteint 1 Démarrage du processus temps –4 10–6 Sortie des points de Une hystérésis de 10% est consignes appliquée entre la valeur Réglage des points de Exemple de réglage consigne (suite) Réaliser chronologiquement les opérations suivantes (selon Ajustement atmosphère ou zéro Permet la restauration de la valeur "ATM" ou "VAC" mémorisée. 1 6 - Utilisation (suite) Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 13/15 Conformément à la Directive 2002/96/CE concernant le traitement des déchets des équipements électriques et électroniques, et à la Directive 2002/95/CE relative à la restriction des matières dangereuses, les produits Adixen en fin de vie seront retournés au constructeur pour décontamination et valorisation. Toute obligation du constructeur de récupérer de tels équipements s’applique uniquement à des équipements complets, non modifiés, non rétrofités, utilisant des pièces détachées d’origine Alcatel Vaccuum, vendues par Alcatel Vacuum Technology et incluant tous leurs ensembles et sous-ensembles. Cette obligation ne comprend pas les frais de transport du produit vers un centre de retraitement, ni la prestation de service qui sera facturée au client. Pour tout retour de matériel au centre de service, remplir le questionnaire de sécurité disponible séparemment ou sur notre site internet. Composants contaminés. Les composants contaminés peuvent nuire à la santé et polluer l’environnement. Se renseigner avant d’intervenir sur le produit sur une éventuelle contamination. Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes à la manipulation de composants contaminés. Substances polluantes. Certains produits ou leurs éléments (composants mécaniques ou électriques, fluides etc.) peuvent polluer l’environnement. - Eliminer les substances polluantes conformément à la réglementation locale. Tri des composants Après le démontage du produit, trier ses composants selon les critères suivants : Composants contaminés Décontaminer les composants contaminés (par des substances radioactives, toxiques, corrosives ou microbiologiques) conformément à la réglementation nationale, les trier en fonction de leurs matériaux et les éliminer. Composants non contaminés Trier ces composants en fonction de leurs matériaux et les récupérer. Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 14/15 imprimé sur papier 100 % recyclé, 100 desencré et sans chlore Unité Pa 6 - Utilisation (suite) Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 15/15 6 - Utilisation (suite) 6 - Utilisation (suite) Ajustement de la L’ajustement de la jauge crystal se fait à la pression jauge atmosphérique (ATM) et à la pression limite ou zéro de la jauge Signal 0/10 V Le signal 0/10 V est délivré entre les broches 1 (+) et 8 (–). (VAC). Si la cathode chaude est allumée et la pression inférieure à 1 x 10-4 mbar, le réglage du zéro est fait automatiquement toutes les 5 mn. Si le filament est désactivé (entrée DSBL activé) et la jauge est froide, il faut un réglage manuel. La jauge détermine automatiquement si l’ajustement concerne la pression atmosphérique ou le “zéro”. Ces ajustements doivent être effectués dans les mêmes conditions et la même position d’utilisation de la jauge. Un temps minimum de stabilisation de 10 mn est nécessaire avant de procéder à un ajustement. Pour l’ajustement du “zéro” la jauge devra être à une pression inférieure à 1.10–4 mbar. (AHC 2010 - 0/10 V + SP) La correspondance Pression – Tension est donnée par la formule suivante : mbar Torr d 0 2 P = 10(U–7,75)/0,75+d avec : P= pression, U= signal 0/10 V, d= constante dépendante de l’unité de pression. - 0,125 Limites de mesure : 10 V = 1000 mbar et 0,774 V = 5.10–10 mbar Pression P 104 Pa mbar 102 Torr 10–2 10 vert orange vert Pousser et maintenir 10–10 vert La valeur choisie devient la nouvelle valeur "ATM" mémorisée. Nota : la valeur VAC mémorisée ne peut pas être modifiée. Signal de mesure U (V) Pression 1mbar à 10-2 mbar 10-3 mbar Gas C He 0,2 5,9 H2 0,44 2,44 O2 0,85 1,00 air 0,975 1,00 N2 1,0 1,00 Ar 1,2 0,8 Signal RS485 Le signal RS485 est délivré entre les broches 1 (+) et 8 (–). Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 8/15 8 - Maintenance - Multimètre (Ohmmètre) Remplacement des Le système de mesure et l’électronique peuvent être remplacés, sous-ensembles pour cela : - desserrer la vis (1) sans la retirer, - retirer le système de mesure (2), - remplacer le système de mesure (2) ou l’électronique (3) et resserrer la vis, - procéder à la remise à zéro de l’électronique de la jauge 8 p. 13). ( Repère Désignation Référence Système de mesure DN25 ISO KF AHC2010 113049 Système de mesure DN40 ISO KF AHC2010 113050 Système de mesure DN40 CFR AHC2010 113051 Electronique 0/10 V+ SP AHC2010 113052 Electronique RS485 + SP AHC2010 113053 2 3 Relâcher le bouton lorsque la valeur "ATM" choisie est atteinte (500<ATM<1100 mbar) (0/10 V + SP) - sélectionner directement la valeur de la mantisse (de 1 à 9), - sélectionner la valeur de l’exposant (de +6 à –9) selon les données du tableau ci dessous, - sélectionner l’unité de mesure (mbar = 2, Torr =1 ou Pascal = autre position). Sélecteur rotatif Exposant peut-être contrôlé. Procéder de la façon suivante : - retirer le système de mesure ( 0,25 7 8 p. 12), - vérifier à l’aide d’un ohmmètre la résistance du filament, - changer le système de mesure si la valeur de la résistance est hors plage. 12/15 Réglage et validation de On Ne pas toucher avec les doigts les surfaces en contact avec le vide, en particulier l’embout de connexion, afin d’éviter tout dépôt. Cela peut provoquer des dégazages et perturber la mesure de pression. 5 l’exposant (1 pour 8.10–1 mbar) du point de consigne 2 - Remettre l’équipement à la pression atmosphérique. - Mettre la jauge hors tension. - Retirer le câble de raccordement jauge. - Déconnecter la jauge de l’installation. - Mettre en place le protecteur sur l’embout de connexion de la jauge. - Si la jauge doit être stockée il est conseillé de la placer à l’abri 4 p. 4). de la chaleur, de l’humidité et de la poussière.( Réglage et validation de l’unité de mesure (2 pour mbar) 1 = Torr, 2 = mbar, autre = Pa – Fin du processus – 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 +6 +5 +4 +3 +2 +1 0 –1 –-2 –3 –4 –5 –6 –7 –8 –9 Nota : Pour la jauge AHC 2010 - RS485 + SP le réglage des points de consigne se fait uniquement par la liaison RS485 (voir manuel “Protocole de communication RS485/jauge“). 9/15 Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 10/15 Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 10 - Décontamination - recyclage 11/15 11 - Déclaration de conformité (*) = défauts mineurs fonctionnement dégradé de la jauge Message contrôleur Défaut Probable Action rouge ErrHi Crystal polué au défaillant Vérification crystal Remplacement tête de mesure A T B* 10,061 ≤ T < 10,3 V vert or 0,774 vert 1.2 +2 Ur Err06 10,3 V T<10,061 V D* 0,5 T < 0,774 vert E 0,3 T < 0,5 V rouge Si ajustement ATM/VAC correct impossible ou si valeur de mesure erronée = pollution Verification état tête de mesure Lancer dégazage Remplacement tête de mesure Electronique Remplacement électronique 0,1 ≤ T < 0,3 rouge Err07 Filament B - A cassé ou pollution Vérification filament B - A Lancer dégazage Remplacement tête de mesure 0,1 V rouge ErrL0 Electronique Remplacement électronique Remise à zéro de l’électronique Cette opération réinitialise l’électronique. Elle doit être réalisée avant le remontage du système de mesure sur l’électronique lorsqu’un de ces deux éléments a été remplacé. Pour cela : 1- Brancher le câble de raccordement sur l’électronique sans le système de mesure. 2- Mettre sous-tension. Le voyant POWER se met à clignoter en rouge au bout de quelques secondes. 3- Pousser le bouton ATM/VAC jusqu’à ce que le voyant POWER s’allume en orange avant de clignoter de nouveau en rouge. 4- Mettre hors-tension l’électronique. 5- Mettre en place le système de mesure. 6- Mettre sous tension la jauge. 7- Procéder à l’ajustement de la jauge ( 6 p. 9) Les produits contaminés (par des substances radioactives, toxiques, caustiques ou microbiologiques) peuvent nuire à la santé et polluer l’environnement. Les produits qui nous sont retournés seront dans la mesure du possible exempts de substances nocives. Observer les prescriptions de transport des pays et entreprises de transport concernés. Pour tout retour de matériel Adixen au centre de service, remplir le questionnaire de sécurité disponible sur notre site internet. En l’absence de confirmation univoque que le produit est “exempt de substances nocives”, le produit est décontaminé aux frais du client. En absence d’un “Questionnaire de sécurité” dûment rempli, le produit est renvoyé à l’expéditeur à ses frais. Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 du point de consigne 2 F Jauge AHC2010 Led & Tension (T) T Réglage et validation de la E ou Off La contamination éventuelle des composants peut nuire à la santé et à l’environnement. Vérifier avant le démontage de la jauge de l’équipement, que l’installation ne présente aucun risque lié au procédé. Prévoir, au besoin, un balayage de gaz neutre pour éliminer tout gaz ou vapeur résiduels. Pour les jauges polluées ou contaminées, veuillez vous conformer au 9 p. 13. D 8 - Maintenance (suite) On Le dégazage consiste à chauffer le système de mesure à 70 °C par un bombardement électronique. Il nettoie ainsi les électrodes. Cette opération dure normalement 3 mn mais peut être interrompue prématurément. Cette fonction n’est possible que lorsque la pression est inférieure à 5.10-3 mbar (pression inférieure à 1.10-5 mbar conseillée). Elle est activée par la présence d’un +24 V sur la broche 5 de la jauge. 4 mantisse (8 pour 8.10–1 mbar) 6 Off 7 - Déconnexion de la jauge C Défaut G 3 Réglage et validation de l’exposant (E pour 5.10+2 mbar) du point de consigne 1 Valeur de réglage Sortie relais valeur de la pression (pour AHC 2010 – RS485 + SP) est celle donnée par la jauge crystal. Cette fonction est activée par la présence d’un +24 V sur la broche 3 de la jauge. B Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 F 2 Hystérésis + 10 % du Signal Pression Fonction désactivation Cette fonction désactive la jauge cathode chaude. La valeur du cathode chaude DSBL signal analogique 0/10V (pour AHC 2010 – 0/10V + SP) ou la A 9 - Retour des produits Contrôle du filament Le filament de la jauge cathode chaude du système de mesure Visualisation sur les voyants SP1 SP2 Etat initial Réglage et validation de la mantisse (5 pour 5.10+2 mbar) du point de consigne 1 Signal Pression Fonction dégazage Les dépôts sur le système d’électrodes de la jauge à cathode DGS chaude peuvent fausser ou rendre instable les valeurs mesurées. vert Réglage des points de Le réglage des points de consigne 1 et 2 est réalisé au moyen du consigne sélecteur rotatif qui permet de : C* Outillage nécessaire - Tournevis cruciforme, 2 orange Pousser et maintenir Catalogue des défauts L’encrassement ou la pollution du système de mesure de la jauge entraîne une dérive de mesure pouvant aller jusqu’à la mise en défaut de la jauge. Le système de mesure ne doit pas être nettoyé, excepté son embout de connexion. Pour cela utiliser uniquement de l’alcool neutre. 3 vert Nota : Pour la jauge AHC 2010 - RS485 + SP, ces ajustements peuvent aussi se faire par la liaison RS485. Xe 2,5 0,4 (AHC 2010 - RS485 + SP) Pour son exploitation, veuillez vous référer au manuel “Protocole de communication RS485/jauge”. 1 orange Il n’y a pas d’ajustement possible pour la jauge cathode chaude. Peffective = Pindiquée x C Réglage Validation par le sélecteur par le bouton rotatif SP SEL Voyant allumé clignotant temps 1,5 2,5 3,5 4,5 5,5 6,5 7,5 8,5 9,5 1,0 2,0 3,0 4,0 5,0 6,0 7,0 8,0 9,0 10,0 Le signal 0/10 V délivré correspond à une pression d’air, d’azote, d’oxygène ou de gaz carbonique. Pour d’autres gaz il faut appliquer un coefficient correcteur C suivant le tableau ci-dessous. Cette correction n’est valable que pour les pressions inférieures à 1 mbar. Voyant allumé fixe Relâcher Changement de la valeur mémorisée "atmosphère" 10–8 programmée de fermeture du point de consigne et sa valeur d’ouverture. exemple de réglage) pour régler les points de consigne 1et 2 : (AHC 2010 - 0/10 V + SP) point de consigne 1 : 5.10+2 = 500 mbar point de consigne 2 : 8.10–1 = 0,8 mbar Voyant éteint 1 Démarrage du processus temps –4 10–6 Sortie des points de Une hystérésis de 10% est consignes appliquée entre la valeur Réglage des points de Exemple de réglage consigne (suite) Réaliser chronologiquement les opérations suivantes (selon Ajustement atmosphère ou zéro Permet la restauration de la valeur "ATM" ou "VAC" mémorisée. 1 6 - Utilisation (suite) Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 13/15 Conformément à la Directive 2002/96/CE concernant le traitement des déchets des équipements électriques et électroniques, et à la Directive 2002/95/CE relative à la restriction des matières dangereuses, les produits Adixen en fin de vie seront retournés au constructeur pour décontamination et valorisation. Toute obligation du constructeur de récupérer de tels équipements s’applique uniquement à des équipements complets, non modifiés, non rétrofités, utilisant des pièces détachées d’origine Alcatel Vaccuum, vendues par Alcatel Vacuum Technology et incluant tous leurs ensembles et sous-ensembles. Cette obligation ne comprend pas les frais de transport du produit vers un centre de retraitement, ni la prestation de service qui sera facturée au client. Pour tout retour de matériel au centre de service, remplir le questionnaire de sécurité disponible séparemment ou sur notre site internet. Composants contaminés. Les composants contaminés peuvent nuire à la santé et polluer l’environnement. Se renseigner avant d’intervenir sur le produit sur une éventuelle contamination. Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes à la manipulation de composants contaminés. Substances polluantes. Certains produits ou leurs éléments (composants mécaniques ou électriques, fluides etc.) peuvent polluer l’environnement. - Eliminer les substances polluantes conformément à la réglementation locale. Tri des composants Après le démontage du produit, trier ses composants selon les critères suivants : Composants contaminés Décontaminer les composants contaminés (par des substances radioactives, toxiques, corrosives ou microbiologiques) conformément à la réglementation nationale, les trier en fonction de leurs matériaux et les éliminer. Composants non contaminés Trier ces composants en fonction de leurs matériaux et les récupérer. Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 14/15 imprimé sur papier 100 % recyclé, 100 desencré et sans chlore Unité Pa 6 - Utilisation (suite) Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 15/15 6 - Utilisation (suite) 6 - Utilisation (suite) Ajustement de la L’ajustement de la jauge crystal se fait à la pression jauge atmosphérique (ATM) et à la pression limite ou zéro de la jauge Signal 0/10 V Le signal 0/10 V est délivré entre les broches 1 (+) et 8 (–). (VAC). Si la cathode chaude est allumée et la pression inférieure à 1 x 10-4 mbar, le réglage du zéro est fait automatiquement toutes les 5 mn. Si le filament est désactivé (entrée DSBL activé) et la jauge est froide, il faut un réglage manuel. La jauge détermine automatiquement si l’ajustement concerne la pression atmosphérique ou le “zéro”. Ces ajustements doivent être effectués dans les mêmes conditions et la même position d’utilisation de la jauge. Un temps minimum de stabilisation de 10 mn est nécessaire avant de procéder à un ajustement. Pour l’ajustement du “zéro” la jauge devra être à une pression inférieure à 1.10–4 mbar. (AHC 2010 - 0/10 V + SP) La correspondance Pression – Tension est donnée par la formule suivante : mbar Torr d 0 2 P = 10(U–7,75)/0,75+d avec : P= pression, U= signal 0/10 V, d= constante dépendante de l’unité de pression. - 0,125 Limites de mesure : 10 V = 1000 mbar et 0,774 V = 5.10–10 mbar Pression P 104 Pa mbar 102 Torr 10–2 10 vert orange vert Pousser et maintenir 10–10 vert La valeur choisie devient la nouvelle valeur "ATM" mémorisée. Nota : la valeur VAC mémorisée ne peut pas être modifiée. Signal de mesure U (V) Pression 1mbar à 10-2 mbar 10-3 mbar Gas C He 0,2 5,9 H2 0,44 2,44 O2 0,85 1,00 air 0,975 1,00 N2 1,0 1,00 Ar 1,2 0,8 Signal RS485 Le signal RS485 est délivré entre les broches 1 (+) et 8 (–). Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 8/15 8 - Maintenance - Multimètre (Ohmmètre) Remplacement des Le système de mesure et l’électronique peuvent être remplacés, sous-ensembles pour cela : - desserrer la vis (1) sans la retirer, - retirer le système de mesure (2), - remplacer le système de mesure (2) ou l’électronique (3) et resserrer la vis, - procéder à la remise à zéro de l’électronique de la jauge 8 p. 13). ( Repère Désignation Référence Système de mesure DN25 ISO KF AHC2010 113049 Système de mesure DN40 ISO KF AHC2010 113050 Système de mesure DN40 CFR AHC2010 113051 Electronique 0/10 V+ SP AHC2010 113052 Electronique RS485 + SP AHC2010 113053 2 3 Relâcher le bouton lorsque la valeur "ATM" choisie est atteinte (500<ATM<1100 mbar) (0/10 V + SP) - sélectionner directement la valeur de la mantisse (de 1 à 9), - sélectionner la valeur de l’exposant (de +6 à –9) selon les données du tableau ci dessous, - sélectionner l’unité de mesure (mbar = 2, Torr =1 ou Pascal = autre position). Sélecteur rotatif Exposant peut-être contrôlé. Procéder de la façon suivante : - retirer le système de mesure ( 0,25 7 8 p. 12), - vérifier à l’aide d’un ohmmètre la résistance du filament, - changer le système de mesure si la valeur de la résistance est hors plage. 12/15 Réglage et validation de On Ne pas toucher avec les doigts les surfaces en contact avec le vide, en particulier l’embout de connexion, afin d’éviter tout dépôt. Cela peut provoquer des dégazages et perturber la mesure de pression. 5 l’exposant (1 pour 8.10–1 mbar) du point de consigne 2 - Remettre l’équipement à la pression atmosphérique. - Mettre la jauge hors tension. - Retirer le câble de raccordement jauge. - Déconnecter la jauge de l’installation. - Mettre en place le protecteur sur l’embout de connexion de la jauge. - Si la jauge doit être stockée il est conseillé de la placer à l’abri 4 p. 4). de la chaleur, de l’humidité et de la poussière.( Réglage et validation de l’unité de mesure (2 pour mbar) 1 = Torr, 2 = mbar, autre = Pa – Fin du processus – 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 +6 +5 +4 +3 +2 +1 0 –1 –-2 –3 –4 –5 –6 –7 –8 –9 Nota : Pour la jauge AHC 2010 - RS485 + SP le réglage des points de consigne se fait uniquement par la liaison RS485 (voir manuel “Protocole de communication RS485/jauge“). 9/15 Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 10/15 Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 10 - Décontamination - recyclage 11/15 11 - Déclaration de conformité (*) = défauts mineurs fonctionnement dégradé de la jauge Message contrôleur Défaut Probable Action rouge ErrHi Crystal polué au défaillant Vérification crystal Remplacement tête de mesure A T B* 10,061 ≤ T < 10,3 V vert or 0,774 vert 1.2 +2 Ur Err06 10,3 V T<10,061 V D* 0,5 T < 0,774 vert E 0,3 T < 0,5 V rouge Si ajustement ATM/VAC correct impossible ou si valeur de mesure erronée = pollution Verification état tête de mesure Lancer dégazage Remplacement tête de mesure Electronique Remplacement électronique 0,1 ≤ T < 0,3 rouge Err07 Filament B - A cassé ou pollution Vérification filament B - A Lancer dégazage Remplacement tête de mesure 0,1 V rouge ErrL0 Electronique Remplacement électronique Remise à zéro de l’électronique Cette opération réinitialise l’électronique. Elle doit être réalisée avant le remontage du système de mesure sur l’électronique lorsqu’un de ces deux éléments a été remplacé. Pour cela : 1- Brancher le câble de raccordement sur l’électronique sans le système de mesure. 2- Mettre sous-tension. Le voyant POWER se met à clignoter en rouge au bout de quelques secondes. 3- Pousser le bouton ATM/VAC jusqu’à ce que le voyant POWER s’allume en orange avant de clignoter de nouveau en rouge. 4- Mettre hors-tension l’électronique. 5- Mettre en place le système de mesure. 6- Mettre sous tension la jauge. 7- Procéder à l’ajustement de la jauge ( 6 p. 9) Les produits contaminés (par des substances radioactives, toxiques, caustiques ou microbiologiques) peuvent nuire à la santé et polluer l’environnement. Les produits qui nous sont retournés seront dans la mesure du possible exempts de substances nocives. Observer les prescriptions de transport des pays et entreprises de transport concernés. Pour tout retour de matériel Adixen au centre de service, remplir le questionnaire de sécurité disponible sur notre site internet. En l’absence de confirmation univoque que le produit est “exempt de substances nocives”, le produit est décontaminé aux frais du client. En absence d’un “Questionnaire de sécurité” dûment rempli, le produit est renvoyé à l’expéditeur à ses frais. Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 du point de consigne 2 F Jauge AHC2010 Led & Tension (T) T Réglage et validation de la E ou Off La contamination éventuelle des composants peut nuire à la santé et à l’environnement. Vérifier avant le démontage de la jauge de l’équipement, que l’installation ne présente aucun risque lié au procédé. Prévoir, au besoin, un balayage de gaz neutre pour éliminer tout gaz ou vapeur résiduels. Pour les jauges polluées ou contaminées, veuillez vous conformer au 9 p. 13. D 8 - Maintenance (suite) On Le dégazage consiste à chauffer le système de mesure à 70 °C par un bombardement électronique. Il nettoie ainsi les électrodes. Cette opération dure normalement 3 mn mais peut être interrompue prématurément. Cette fonction n’est possible que lorsque la pression est inférieure à 5.10-3 mbar (pression inférieure à 1.10-5 mbar conseillée). Elle est activée par la présence d’un +24 V sur la broche 5 de la jauge. 4 mantisse (8 pour 8.10–1 mbar) 6 Off 7 - Déconnexion de la jauge C Défaut G 3 Réglage et validation de l’exposant (E pour 5.10+2 mbar) du point de consigne 1 Valeur de réglage Sortie relais valeur de la pression (pour AHC 2010 – RS485 + SP) est celle donnée par la jauge crystal. Cette fonction est activée par la présence d’un +24 V sur la broche 3 de la jauge. B Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 F 2 Hystérésis + 10 % du Signal Pression Fonction désactivation Cette fonction désactive la jauge cathode chaude. La valeur du cathode chaude DSBL signal analogique 0/10V (pour AHC 2010 – 0/10V + SP) ou la A 9 - Retour des produits Contrôle du filament Le filament de la jauge cathode chaude du système de mesure Visualisation sur les voyants SP1 SP2 Etat initial Réglage et validation de la mantisse (5 pour 5.10+2 mbar) du point de consigne 1 Signal Pression Fonction dégazage Les dépôts sur le système d’électrodes de la jauge à cathode DGS chaude peuvent fausser ou rendre instable les valeurs mesurées. vert Réglage des points de Le réglage des points de consigne 1 et 2 est réalisé au moyen du consigne sélecteur rotatif qui permet de : C* Outillage nécessaire - Tournevis cruciforme, 2 orange Pousser et maintenir Catalogue des défauts L’encrassement ou la pollution du système de mesure de la jauge entraîne une dérive de mesure pouvant aller jusqu’à la mise en défaut de la jauge. Le système de mesure ne doit pas être nettoyé, excepté son embout de connexion. Pour cela utiliser uniquement de l’alcool neutre. 3 vert Nota : Pour la jauge AHC 2010 - RS485 + SP, ces ajustements peuvent aussi se faire par la liaison RS485. Xe 2,5 0,4 (AHC 2010 - RS485 + SP) Pour son exploitation, veuillez vous référer au manuel “Protocole de communication RS485/jauge”. 1 orange Il n’y a pas d’ajustement possible pour la jauge cathode chaude. Peffective = Pindiquée x C Réglage Validation par le sélecteur par le bouton rotatif SP SEL Voyant allumé clignotant temps 1,5 2,5 3,5 4,5 5,5 6,5 7,5 8,5 9,5 1,0 2,0 3,0 4,0 5,0 6,0 7,0 8,0 9,0 10,0 Le signal 0/10 V délivré correspond à une pression d’air, d’azote, d’oxygène ou de gaz carbonique. Pour d’autres gaz il faut appliquer un coefficient correcteur C suivant le tableau ci-dessous. Cette correction n’est valable que pour les pressions inférieures à 1 mbar. Voyant allumé fixe Relâcher Changement de la valeur mémorisée "atmosphère" 10–8 programmée de fermeture du point de consigne et sa valeur d’ouverture. exemple de réglage) pour régler les points de consigne 1et 2 : (AHC 2010 - 0/10 V + SP) point de consigne 1 : 5.10+2 = 500 mbar point de consigne 2 : 8.10–1 = 0,8 mbar Voyant éteint 1 Démarrage du processus temps –4 10–6 Sortie des points de Une hystérésis de 10% est consignes appliquée entre la valeur Réglage des points de Exemple de réglage consigne (suite) Réaliser chronologiquement les opérations suivantes (selon Ajustement atmosphère ou zéro Permet la restauration de la valeur "ATM" ou "VAC" mémorisée. 1 6 - Utilisation (suite) Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 13/15 Conformément à la Directive 2002/96/CE concernant le traitement des déchets des équipements électriques et électroniques, et à la Directive 2002/95/CE relative à la restriction des matières dangereuses, les produits Adixen en fin de vie seront retournés au constructeur pour décontamination et valorisation. Toute obligation du constructeur de récupérer de tels équipements s’applique uniquement à des équipements complets, non modifiés, non rétrofités, utilisant des pièces détachées d’origine Alcatel Vaccuum, vendues par Alcatel Vacuum Technology et incluant tous leurs ensembles et sous-ensembles. Cette obligation ne comprend pas les frais de transport du produit vers un centre de retraitement, ni la prestation de service qui sera facturée au client. Pour tout retour de matériel au centre de service, remplir le questionnaire de sécurité disponible séparemment ou sur notre site internet. Composants contaminés. Les composants contaminés peuvent nuire à la santé et polluer l’environnement. Se renseigner avant d’intervenir sur le produit sur une éventuelle contamination. Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes à la manipulation de composants contaminés. Substances polluantes. Certains produits ou leurs éléments (composants mécaniques ou électriques, fluides etc.) peuvent polluer l’environnement. - Eliminer les substances polluantes conformément à la réglementation locale. Tri des composants Après le démontage du produit, trier ses composants selon les critères suivants : Composants contaminés Décontaminer les composants contaminés (par des substances radioactives, toxiques, corrosives ou microbiologiques) conformément à la réglementation nationale, les trier en fonction de leurs matériaux et les éliminer. Composants non contaminés Trier ces composants en fonction de leurs matériaux et les récupérer. Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 14/15 imprimé sur papier 100 % recyclé, 100 desencré et sans chlore Unité Pa 6 - Utilisation (suite) Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 15/15 6 - Utilisation (suite) 6 - Utilisation (suite) Ajustement de la L’ajustement de la jauge crystal se fait à la pression jauge atmosphérique (ATM) et à la pression limite ou zéro de la jauge Signal 0/10 V Le signal 0/10 V est délivré entre les broches 1 (+) et 8 (–). (VAC). Si la cathode chaude est allumée et la pression inférieure à 1 x 10-4 mbar, le réglage du zéro est fait automatiquement toutes les 5 mn. Si le filament est désactivé (entrée DSBL activé) et la jauge est froide, il faut un réglage manuel. La jauge détermine automatiquement si l’ajustement concerne la pression atmosphérique ou le “zéro”. Ces ajustements doivent être effectués dans les mêmes conditions et la même position d’utilisation de la jauge. Un temps minimum de stabilisation de 10 mn est nécessaire avant de procéder à un ajustement. Pour l’ajustement du “zéro” la jauge devra être à une pression inférieure à 1.10–4 mbar. (AHC 2010 - 0/10 V + SP) La correspondance Pression – Tension est donnée par la formule suivante : mbar Torr d 0 2 P = 10(U–7,75)/0,75+d avec : P= pression, U= signal 0/10 V, d= constante dépendante de l’unité de pression. - 0,125 Limites de mesure : 10 V = 1000 mbar et 0,774 V = 5.10–10 mbar Pression P 104 Pa mbar 102 Torr 10–2 10 vert orange vert Pousser et maintenir 10–10 vert La valeur choisie devient la nouvelle valeur "ATM" mémorisée. Nota : la valeur VAC mémorisée ne peut pas être modifiée. Signal de mesure U (V) Pression 1mbar à 10-2 mbar 10-3 mbar Gas C He 0,2 5,9 H2 0,44 2,44 O2 0,85 1,00 air 0,975 1,00 N2 1,0 1,00 Ar 1,2 0,8 Signal RS485 Le signal RS485 est délivré entre les broches 1 (+) et 8 (–). Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 8/15 8 - Maintenance - Multimètre (Ohmmètre) Remplacement des Le système de mesure et l’électronique peuvent être remplacés, sous-ensembles pour cela : - desserrer la vis (1) sans la retirer, - retirer le système de mesure (2), - remplacer le système de mesure (2) ou l’électronique (3) et resserrer la vis, - procéder à la remise à zéro de l’électronique de la jauge 8 p. 13). ( Repère Désignation Référence Système de mesure DN25 ISO KF AHC2010 113049 Système de mesure DN40 ISO KF AHC2010 113050 Système de mesure DN40 CFR AHC2010 113051 Electronique 0/10 V+ SP AHC2010 113052 Electronique RS485 + SP AHC2010 113053 2 3 Relâcher le bouton lorsque la valeur "ATM" choisie est atteinte (500<ATM<1100 mbar) (0/10 V + SP) - sélectionner directement la valeur de la mantisse (de 1 à 9), - sélectionner la valeur de l’exposant (de +6 à –9) selon les données du tableau ci dessous, - sélectionner l’unité de mesure (mbar = 2, Torr =1 ou Pascal = autre position). Sélecteur rotatif Exposant peut-être contrôlé. Procéder de la façon suivante : - retirer le système de mesure ( 0,25 7 8 p. 12), - vérifier à l’aide d’un ohmmètre la résistance du filament, - changer le système de mesure si la valeur de la résistance est hors plage. 12/15 Réglage et validation de On Ne pas toucher avec les doigts les surfaces en contact avec le vide, en particulier l’embout de connexion, afin d’éviter tout dépôt. Cela peut provoquer des dégazages et perturber la mesure de pression. 5 l’exposant (1 pour 8.10–1 mbar) du point de consigne 2 - Remettre l’équipement à la pression atmosphérique. - Mettre la jauge hors tension. - Retirer le câble de raccordement jauge. - Déconnecter la jauge de l’installation. - Mettre en place le protecteur sur l’embout de connexion de la jauge. - Si la jauge doit être stockée il est conseillé de la placer à l’abri 4 p. 4). de la chaleur, de l’humidité et de la poussière.( Réglage et validation de l’unité de mesure (2 pour mbar) 1 = Torr, 2 = mbar, autre = Pa – Fin du processus – 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 +6 +5 +4 +3 +2 +1 0 –1 –-2 –3 –4 –5 –6 –7 –8 –9 Nota : Pour la jauge AHC 2010 - RS485 + SP le réglage des points de consigne se fait uniquement par la liaison RS485 (voir manuel “Protocole de communication RS485/jauge“). 9/15 Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 10/15 Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 10 - Décontamination - recyclage 11/15 11 - Déclaration de conformité (*) = défauts mineurs fonctionnement dégradé de la jauge Message contrôleur Défaut Probable Action rouge ErrHi Crystal polué au défaillant Vérification crystal Remplacement tête de mesure A T B* 10,061 ≤ T < 10,3 V vert or 0,774 vert 1.2 +2 Ur Err06 10,3 V T<10,061 V D* 0,5 T < 0,774 vert E 0,3 T < 0,5 V rouge Si ajustement ATM/VAC correct impossible ou si valeur de mesure erronée = pollution Verification état tête de mesure Lancer dégazage Remplacement tête de mesure Electronique Remplacement électronique 0,1 ≤ T < 0,3 rouge Err07 Filament B - A cassé ou pollution Vérification filament B - A Lancer dégazage Remplacement tête de mesure 0,1 V rouge ErrL0 Electronique Remplacement électronique Remise à zéro de l’électronique Cette opération réinitialise l’électronique. Elle doit être réalisée avant le remontage du système de mesure sur l’électronique lorsqu’un de ces deux éléments a été remplacé. Pour cela : 1- Brancher le câble de raccordement sur l’électronique sans le système de mesure. 2- Mettre sous-tension. Le voyant POWER se met à clignoter en rouge au bout de quelques secondes. 3- Pousser le bouton ATM/VAC jusqu’à ce que le voyant POWER s’allume en orange avant de clignoter de nouveau en rouge. 4- Mettre hors-tension l’électronique. 5- Mettre en place le système de mesure. 6- Mettre sous tension la jauge. 7- Procéder à l’ajustement de la jauge ( 6 p. 9) Les produits contaminés (par des substances radioactives, toxiques, caustiques ou microbiologiques) peuvent nuire à la santé et polluer l’environnement. Les produits qui nous sont retournés seront dans la mesure du possible exempts de substances nocives. Observer les prescriptions de transport des pays et entreprises de transport concernés. Pour tout retour de matériel Adixen au centre de service, remplir le questionnaire de sécurité disponible sur notre site internet. En l’absence de confirmation univoque que le produit est “exempt de substances nocives”, le produit est décontaminé aux frais du client. En absence d’un “Questionnaire de sécurité” dûment rempli, le produit est renvoyé à l’expéditeur à ses frais. Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 du point de consigne 2 F Jauge AHC2010 Led & Tension (T) T Réglage et validation de la E ou Off La contamination éventuelle des composants peut nuire à la santé et à l’environnement. Vérifier avant le démontage de la jauge de l’équipement, que l’installation ne présente aucun risque lié au procédé. Prévoir, au besoin, un balayage de gaz neutre pour éliminer tout gaz ou vapeur résiduels. Pour les jauges polluées ou contaminées, veuillez vous conformer au 9 p. 13. D 8 - Maintenance (suite) On Le dégazage consiste à chauffer le système de mesure à 70 °C par un bombardement électronique. Il nettoie ainsi les électrodes. Cette opération dure normalement 3 mn mais peut être interrompue prématurément. Cette fonction n’est possible que lorsque la pression est inférieure à 5.10-3 mbar (pression inférieure à 1.10-5 mbar conseillée). Elle est activée par la présence d’un +24 V sur la broche 5 de la jauge. 4 mantisse (8 pour 8.10–1 mbar) 6 Off 7 - Déconnexion de la jauge C Défaut G 3 Réglage et validation de l’exposant (E pour 5.10+2 mbar) du point de consigne 1 Valeur de réglage Sortie relais valeur de la pression (pour AHC 2010 – RS485 + SP) est celle donnée par la jauge crystal. Cette fonction est activée par la présence d’un +24 V sur la broche 3 de la jauge. B Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 F 2 Hystérésis + 10 % du Signal Pression Fonction désactivation Cette fonction désactive la jauge cathode chaude. La valeur du cathode chaude DSBL signal analogique 0/10V (pour AHC 2010 – 0/10V + SP) ou la A 9 - Retour des produits Contrôle du filament Le filament de la jauge cathode chaude du système de mesure Visualisation sur les voyants SP1 SP2 Etat initial Réglage et validation de la mantisse (5 pour 5.10+2 mbar) du point de consigne 1 Signal Pression Fonction dégazage Les dépôts sur le système d’électrodes de la jauge à cathode DGS chaude peuvent fausser ou rendre instable les valeurs mesurées. vert Réglage des points de Le réglage des points de consigne 1 et 2 est réalisé au moyen du consigne sélecteur rotatif qui permet de : C* Outillage nécessaire - Tournevis cruciforme, 2 orange Pousser et maintenir Catalogue des défauts L’encrassement ou la pollution du système de mesure de la jauge entraîne une dérive de mesure pouvant aller jusqu’à la mise en défaut de la jauge. Le système de mesure ne doit pas être nettoyé, excepté son embout de connexion. Pour cela utiliser uniquement de l’alcool neutre. 3 vert Nota : Pour la jauge AHC 2010 - RS485 + SP, ces ajustements peuvent aussi se faire par la liaison RS485. Xe 2,5 0,4 (AHC 2010 - RS485 + SP) Pour son exploitation, veuillez vous référer au manuel “Protocole de communication RS485/jauge”. 1 orange Il n’y a pas d’ajustement possible pour la jauge cathode chaude. Peffective = Pindiquée x C Réglage Validation par le sélecteur par le bouton rotatif SP SEL Voyant allumé clignotant temps 1,5 2,5 3,5 4,5 5,5 6,5 7,5 8,5 9,5 1,0 2,0 3,0 4,0 5,0 6,0 7,0 8,0 9,0 10,0 Le signal 0/10 V délivré correspond à une pression d’air, d’azote, d’oxygène ou de gaz carbonique. Pour d’autres gaz il faut appliquer un coefficient correcteur C suivant le tableau ci-dessous. Cette correction n’est valable que pour les pressions inférieures à 1 mbar. Voyant allumé fixe Relâcher Changement de la valeur mémorisée "atmosphère" 10–8 programmée de fermeture du point de consigne et sa valeur d’ouverture. exemple de réglage) pour régler les points de consigne 1et 2 : (AHC 2010 - 0/10 V + SP) point de consigne 1 : 5.10+2 = 500 mbar point de consigne 2 : 8.10–1 = 0,8 mbar Voyant éteint 1 Démarrage du processus temps –4 10–6 Sortie des points de Une hystérésis de 10% est consignes appliquée entre la valeur Réglage des points de Exemple de réglage consigne (suite) Réaliser chronologiquement les opérations suivantes (selon Ajustement atmosphère ou zéro Permet la restauration de la valeur "ATM" ou "VAC" mémorisée. 1 6 - Utilisation (suite) Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 13/15 Conformément à la Directive 2002/96/CE concernant le traitement des déchets des équipements électriques et électroniques, et à la Directive 2002/95/CE relative à la restriction des matières dangereuses, les produits Adixen en fin de vie seront retournés au constructeur pour décontamination et valorisation. Toute obligation du constructeur de récupérer de tels équipements s’applique uniquement à des équipements complets, non modifiés, non rétrofités, utilisant des pièces détachées d’origine Alcatel Vaccuum, vendues par Alcatel Vacuum Technology et incluant tous leurs ensembles et sous-ensembles. Cette obligation ne comprend pas les frais de transport du produit vers un centre de retraitement, ni la prestation de service qui sera facturée au client. Pour tout retour de matériel au centre de service, remplir le questionnaire de sécurité disponible séparemment ou sur notre site internet. Composants contaminés. Les composants contaminés peuvent nuire à la santé et polluer l’environnement. Se renseigner avant d’intervenir sur le produit sur une éventuelle contamination. Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes à la manipulation de composants contaminés. Substances polluantes. Certains produits ou leurs éléments (composants mécaniques ou électriques, fluides etc.) peuvent polluer l’environnement. - Eliminer les substances polluantes conformément à la réglementation locale. Tri des composants Après le démontage du produit, trier ses composants selon les critères suivants : Composants contaminés Décontaminer les composants contaminés (par des substances radioactives, toxiques, corrosives ou microbiologiques) conformément à la réglementation nationale, les trier en fonction de leurs matériaux et les éliminer. Composants non contaminés Trier ces composants en fonction de leurs matériaux et les récupérer. Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 14/15 imprimé sur papier 100 % recyclé, 100 desencré et sans chlore Unité Pa 6 - Utilisation (suite) Alcatel Vacuum Technology France - Manuel de l’Utilisateur AHC 2010 15/15 ">
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