Pfeiffer ATH 2800 / 3200 M_MT Mode d'emploi

MANUEL DE L'UTILISATEUR
FR
Original
ATH 2800 M/MT - ATH 3200 M/MT
Pompe Turbomoléculaire à paliers magnétiques
Exclusion de responsabilité
Ce manuel d'instructions décrit tous les modèles et variantes de votre produit. Noter que
votre produit peut ne pas être équipé de toutes les fonctionnalités décrites dans ce manuel.
Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le
manuel d'utilisation en ligne peut différer du document imprimé, fourni avec votre produit.
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ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations
contenues dans ce document.
2/58
Table des matières
Table des matières
1
A propos de ce manuel
1.1 Validité
1.1.1 Documents applicables
1.1.2 Produits concernés
1.2 Conventions
1.2.1 Pictogrammes
1.2.2 Groupe cible
1.2.3 Instructions dans le texte
1.2.4 Etiquettes
1.2.5 Abréviations
7
7
7
7
7
7
7
7
8
9
2
Sécurité
2.1 Consignes générales de sécurité
2.2 Consignes de sécurité
2.3 Consignes pour les matériaux pyrophoriques/inflammables
2.4 Précautions
2.5 Usage conforme à la destination
2.6 Utilisation non conforme
10
10
10
13
14
14
14
3
Transport et stockage
3.1 Réception du produit
3.2 Manutention de la pompe
3.3 Stockage
16
16
16
17
4
Description du produit
4.1 Identification du produit
4.1.1 Contenu de la livraison
4.1.2 Les applications des produits
4.2 Interface homme/machine
18
18
18
18
19
5
Installation
5.1 Conditions d'installation à l'équipement
5.1.1 Spécifications d'installation
5.1.2 Sécurisation de l'équipement et du châssis
5.2 Mise en place de la pompe
5.3 Raccordement à la ligne de pompage
5.3.1 Raccordement côté aspiration
5.3.2 Raccordement côté refoulement
5.4 Raccordement du circuit d'eau
5.4.1 Procédure de montage des raccords
5.4.2 Raccordement de la pompe au circuit d'eau
5.5 Raccordement du circuit d'azote
5.6 Raccordement de l'électrovanne d'entrée d'air
5.7 Test d'étanchéité de l'installation
5.8 Raccordement électrique
5.8.1 Protection de l'installation électrique du client
20
20
21
22
23
25
26
27
27
28
28
29
31
31
32
33
6
Utilisation
6.1 Précautions préalables à l'utilisation
6.2 Démarrage de la pompe
6.2.1 Mise sous tension
6.2.2 Démarrage du pompage
6.2.3 Redémarrage après un arrêt d'urgence de l'équipement
6.3 Arrêt de la pompe
6.3.1 Arrêt du pompage
6.3.2 Mise hors tension
6.3.3 Arrêt prolongé
34
34
35
35
35
35
36
36
37
37
3/58
Table des matières
6.4
4/58
Surveillance du fonctionnement
37
7
Maintenance
7.1 Consignes de sécurité pour la maintenance
7.2 Intervalles de maintenance
7.3 Entretien sur site
7.4 Procédure d'échange par un produit de remplacement
7.4.1 Déconnexion de la pompe de l'installation
7.4.2 Vidange du circuit d'eau
7.4.3 Conditionnement de la pompe pour expédition
38
38
39
40
40
41
41
41
8
Mise hors service
8.1 Immobilisation prolongée
8.2 Remise en service
8.3 Mise au rebut
43
43
43
43
9
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
45
10
Accessoires
47
11
Pièces de rechange
48
12
Caractéristiques techniques et dimensions
12.1 Généralités
12.2 Caractéristiques techniques
12.3 Caractéristiques environnementales
12.4 Caractéristiques de l'eau de refroidissement
12.5 Caractéristiques de l'azote
12.6 Caractéristiques électriques
12.7 Dimensions et poids
49
49
49
51
51
52
52
52
Déclaration de Conformité UK
56
Déclaration de conformité CE
57
Liste des tableaux
Liste des tableaux
Tab. 1:
Tab. 2:
Tab. 3:
Tab. 4:
Tab. 5:
Tab. 6:
Tab. 7:
Tab. 8:
Tab. 9:
Charges transmises à l'équipement
Fixation de la bride de vide élevé (bride d'aspiration)
Tableau de conversion : unités de pression
Tableau de conversion : unités de débit de gaz
Caractéristiques environnementales
Caractéristiques de l'eau de refroidissement
Caractéristiques de l'azote
Caractéristiques électriques de la pompe
Caractéristiques électriques du réseau client
22
23
49
49
51
51
52
52
52
5/58
Liste des figures
Liste des figures
Fig. 1:
Fig. 2:
Fig. 3:
Fig. 4:
Fig. 5:
Fig. 6:
Fig. 7:
Fig. 8:
Fig. 9:
Fig. 10:
Fig. 11:
Fig. 12:
Fig. 13:
Fig. 14:
Fig. 15:
6/58
Description d'une pompe ATH 2800 MT
Description d'une pompe ATH 3200 M
Raccordement mécanique de la pompe dans l'équipement
Graphe des charges transmises à l'équipement - ATH 2800 M-MT / 3200 MMT
Installation de la pompe à l'horizontale
Installation, aspiration vers le haut
Raccordement du circuit de refroidissement
Graphe Débit de purge
Dimensions ATH 2800 M
Dimensions ATH 2800 MT
Dimensions ATH 3200 M
Dimensions ATH 3200 MT
Dimensions Electrovanne de purge
Dimensions Electrovanne d'entrée air
Dimensions vanne d'eau
19
19
21
22
24
25
29
30
52
53
53
54
54
55
55
A propos de ce manuel
1 A propos de ce manuel
IMPORTANT
Bien lire avant d'utiliser le produit.
Conserver ce manuel pour une future utilisation.
1.1
Validité
Ce manuel de l'utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le produit et ses
fonctions et présente les informations importantes à connaître pour une utilisation sécurisée de l'appareil. La description est effectuée selon les directives en vigueur. Toutes les informations fournies dans
ce manuel de l'utilisateur correspondent au niveau de développement actuel du produit. La documentation est valide dans la mesure où le client n'a pas apporté de modifications au produit.
1.1.1
1.1.2
Documents applicables
Document
Référence
Manuel de l'utilisateur Magpower
129056
Déclaration de conformité
fournie avec ce manuel
Produits concernés
Ce document s'applique aux produits ayant les références suivantes :
Référence
Description
U264xxxx
U266xxxx
Pompes ATH 2800 M pour applications propres
U664xxxx
U666xxxx
Pompes ATH 2800 MT pour applications complexes
U2DAxxxx
U2C6xxxx
Pompes ATH 3200 M pour applications propres
U6C6xxxx
Pompes ATH 3200 MT pour applications complexes
1.2
Conventions
1.2.1
Pictogrammes
Les pictogrammes utilisés dans le document représentent des informations utiles.
Remarque
Conseil
1.2.2
Groupe cible
Ce manuel de l‘utilisateur est destiné à toutes les personnes en charge du transport, de l'installation, de
la mise en service/hors service, de l'utilisation, de la maintenance ou du stockage du produit.
Les travaux décrits dans ce document doivent être effectués uniquement par des personnes ayant une
formation technique appropriée (personnel spécialisé) ou ayant reçu une formation de Pfeiffer Vacuum.
1.2.3
Instructions dans le texte
Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à
réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes.
7/58
A propos de ce manuel
Action unique
Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape.
► Il s'agit d’une étape unique.
Action en plusieurs étapes
Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique.
1. Étape 1
2. Étape 2
3. ...
1.2.4
Etiquettes
PURGE
Dispositif de purge
PUMP EXHAUST
Refoulement de la pompe
WATER MAX Pr 7 bar/101 psi
Pression maximum du circuit d'eau
WATER
Raccordement du circuit d'eau
Raccordement de la terre fonctionnelle
Verrouillage du connecteur avant utilisation de la pompe. Ne pas
débrancher avant arrêt de la pompe
LOCK
Sens de rotation du rotor de la pompe
Plaque signalétique du produit (exemple)
85kg 25000rpm;
M:35Vrms 834Hz 17,5A
U2662100
AHY1847
2018
ATH2800M
Cette étiquette indique que certains des composants internes
sont sous tension et peuvent entraîner un choc électrique en
cas de contact : débrancher la pompe avant toute intervention
ou verrouiller/déverrouiller correctement le disjoncteur de
l’équipement avant intervention sur la pompe.
Cette étiquette indique que le produit ne doit pas être manipulé à la main du fait de son poids : toujours utiliser des appareils de manutention appropriés.
Don’t remove the pump
connector when the pump is
running
DO NOT TOUCH WHEN
THE PUMP IS RUNNING
SEE MANUAL BEFORE USE
Cette étiquette signifie que l'utilisateur doit verrouiller le connecteur avant d'utiliser la pompe. Ne pas débrancher avant
l'arrêt de celle-ci.
Cette étiquette informe l’utilisateur des risques d’écrasement
ou de coupure liés aux pièces en mouvement : éviter de s’approcher et/ou de mettre les mains à proximité des pièces en
mouvement.
Toute personne en charge de l’installation ou de l’utilisation
doit se référer au manuel de l’utilisateur avant d’intervenir sur
le produit.
Une planche d’étiquettes comprenant d’autres versions
linguistiques est fournie avec le produit. Il est de la responsabilité de l’installateur de positionner ces étiquettes
sur le produit, à l’endroit le plus approprié et visible afin
de prévenir l’opérateur des risques potentiels.
8/58
A propos de ce manuel
Cette étiquette met en garde l'utilisateur contre le risque de
blessure en cas de contact de la main avec une surface
chaude : s'équiper de gants de protection avant toute intervention.
Exposure may result in severe injury or death.
Preventive maintenance must be done by trained
personnel only.
1.2.5
Cette étiquette met en garde l’utilisateur contre les gaz pompés qui peuvent être dangereux, toxiques et peuvent entraîner des blessures graves ou la mort. Elle précise que toute
opération de maintenance préventive doit être exécutée par
un personnel compétent.
Abréviations
CEM
Compatibilité électromagnétique
Exh.
Refoulement (Exhaust)
EMS
Arrêt d'urgence de la machine (Emergency Machine Stop)
HHR
Boîtier de commande déportable (Hand Held Remote)
IN
Aspiration (Inlet flange)
LIE
Limite inférieure d’explosion
M
Version de pompe sans système de régulation de température
MT
Version de pompe avec système de régulation de température
Magpower Unité de commande électronique (coffret)
OBC
Unité de commande électronique installée sur pompe à paliers magnétiques actifs
PMA
Paliers magnétiques actifs
TMS
Système de régulation de la température (Temperature Management System)
9/58
Sécurité
2 Sécurité
2.1
Consignes générales de sécurité
Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit :
DANGER
Danger direct et imminent
Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVERTISSEMENT
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
ATTENTION
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVIS
Obligation ou signalement
Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure
physique.
► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels
Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le
produit ou le présent document.
2.2
Consignes de sécurité
Toutes les consignes de sécurité contenues dans ce document sont basées sur les résultats de l’analyse de risque effectuée conformément à la Directive 2006/42/CE Annexe I relative aux machines et à la
norme EN ISO 12100 Section 5. Dans la mesure du possible, toutes les phases du cycle de vie du produit ont été prises en compte.
AVERTISSEMENT
Risque d’écrasement lors de l’élingage du produit
Compte tenu du poids du produit, il existe un risque d’écrasement lors de la manutention du produit
avec des appareils de levage. Le constructeur dégage toute responsabilité en cas de non-respect
des consignes suivantes :
► Seul un personnel habilité et formé aux règles de manutention des objets lourds peut manutentionner le produit.
► Utiliser obligatoirement les dispositifs de levage fournis et respecter les procédures décrites
dans ce document.
10/58
Sécurité
AVERTISSEMENT
Risque d'électrocution lié à une installation électrique non conforme
Le produit utilise la tension secteur comme alimentation électrique. Une installation électrique non
conforme ou réalisée de manière non professionnelle peut mettre en danger la vie des utilisateurs.
► Seul un personnel qualifié et formé aux règles de sécurité électrique, CEM peut réaliser l'installation électrique.
► Ne procéder à aucune transformation ou modification arbitraire du produit.
► Vérifier que le produit est correctement relié au circuit d'arrêt d'urgence de l'équipement (ou installation de pompage).
AVERTISSEMENT
Risque d'électrocution par contact lors de l'entretien ou la maintenance
Il y a un risque de choc électrique par contact avec un produit sous tension et non isolé électriquement.
► Avant toute intervention, placer l’interrupteur principal sur O.
► Débrancher le câble secteur du réseau électrique.
► Sécuriser correctement l’installation en repérant et condamnant le circuit de puissance pour éviter tout ré-enclenchement non intentionnel (LO/TO procédure de consignation/déconsignation).
AVERTISSEMENT
Risque de blessures graves provoquées par le détachement de la pompe lors d’un blocage du
rotor
En cas de fixation incorrecte de la pompe, lors d’un blocage inopiné du rotor, la pompe turbomoléculaire se désolidarise de l’équipement : l'énergie libérée projette la pompe ou des fragments de
pompe dans le local, provoquant des blessures très graves voire mortelles, ainsi que des dommages
matériels considérables.
► Respecter scrupuleusement les recommandations d'installation décrites dans ce manuel. Pfeiffer
Vacuum décline toute garantie et responsabilité en cas de non-respect des instructions d’installation.
► Utiliser exclusivement les pièces d'origine autorisées de Pfeiffer Vacuum (accessoires) pour le
raccordement dans l'équipement.
AVERTISSEMENT
Risque d'empoisonnement en présence de gaz de procédés dans l'atmosphère
Le constructeur n’a pas la possibilité de contrôler le type de gaz utilisé avec la pompe. Les gaz de
procédés sont fréquemment toxiques, inflammables, corrosifs, explosifs ou réactifs. Il existe un risque d’accident grave voire mortel lorsque ces gaz s’échappent librement dans l’atmosphère.
► Appliquer les consignes de sécurité spécifiques, conformément à la législation locale. Ces informations sont disponibles auprès du service sécurité de l’exploitant.
► Raccorder impérativement le refoulement de la pompe turbomoléculaire à une pompe primaire compatible avec les gaz de procédés : le refoulement de la pompe primaire est raccordé au système d'échappement des gaz dangereux de l'installation.
► Vérifier régulièrement l’absence de fuites au niveau du raccordement de la pompe avec la canalisation d’échappement.
11/58
Sécurité
AVERTISSEMENT
Risque de blessure au contact de l’azote sous pression
Le produit utilise de l’azote sous pression comme gaz de balayage. Une installation non conforme ou
réalisée de manière non professionnelle peut mettre en danger la vie de l’utilisateur.
► Installer une vanne manuelle dans le circuit à une distance de 3 m du produit pour verrouiller
l’alimentation en azote.
► Respecter la pression d’alimentation recommandée.
► Toujours verrouiller et débrancher le circuit d’azote avant d’intervenir sur le produit.
► Lors de la maintenance, sécuriser correctement l’installation en repérant et condamnant le circuit
d’azote sous pression pour éviter tout réenclenchement non intentionnel (LO/TO procédure de
consignation/déconsignation).
► Contrôler régulièrement l’état des canalisations et connexions du circuit d’alimentation.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure au contact de l'eau sous pression
Le produit utilise de l’eau sous pression comme fluide de refroidissement. Une installation non conforme ou réalisée de manière non professionnelle peut mettre en danger la vie de l’utilisateur.
► Installer une vanne manuelle dans le circuit à une distance de 3 m du produit pour verrouiller
l’alimentation en eau.
► Respecter la pression et différence de pressions recommandées.
► Toujours verrouiller et débrancher le circuit d’eau avant d’intervenir sur le produit.
► Lors de la maintenance, sécuriser correctement l’installation en repérant et condamnant le circuit
d’eau sous pression pour éviter tout réenclenchement non intentionnel (LO/TO procédure de
consignation/déconsignation).
► Contrôler régulièrement l’état des canalisations et connexions du circuit d’alimentation.
AVERTISSEMENT
Risque de coupure lié aux pièces coupantes en mouvement, accessibles par l'ouverture de la
bride de vide élevé
L'ouverture de la bride de vide élevé permet le contact avec des pièces aux arêtes vives. Une rotation manuelle du rotor rend la situation encore plus dangereuse : il y a un risque de coupure et de
sectionnement de membres (p ex. extrémités des doigts). Les cheveux et les vêtements amples risquent d’être entraînés. Toute chute d’objet dans la pompe turbomoléculaire provoque des dommages
lors de la prochaine utilisation.
► L’obturateur d'origine ne doit être retiré qu’au moment de la connexion de la bride de vide élevé.
► Ne jamais approcher les mains de l'intérieur de la bride de vide élevé.
► Porter des gants de protection pendant l'installation.
► Ne jamais démarrer la pompe turbomoléculaire lorsque les brides de vide ne sont pas raccordées.
► L'installation mécanique doit être achevée avant de procéder à l'installation électrique.
► Empêcher l'accès à la bride de vide élevé de la pompe du côté de l'opérateur (p. ex. chambre de
vide ouverte).
AVERTISSEMENT
Risques de brûlure par contact avec des surfaces chaudes
Les produits sont conçus de façon à ne procurer aucun risque thermique pour la sécurité de l’opérateur. Selon les applications, les conditions d’utilisations génèrent des températures élevées nécessitant une attention particulière de la part de l’opérateur (surfaces > 65 °C).
► Respecter le signalement des surfaces chaudes repérées par l’étiquette sécurité.
► Attendre le refroidissement complet avant d’intervenir sur le produit.
► Porter des gants de protection conformément à la norme EN ISO 21420.
12/58
Sécurité
2.3
Consignes pour les matériaux pyrophoriques/inflammables
L’utilisateur et/ou l’intégrateur du produit a l’entière responsabilité de la sécurité de l’installation de la
pompe, de l’équipement mais aussi du système de traitement des gaz. L’utilisateur et/ou l’intégrateur
est responsable de l’application qui utilise le produit.
Le pompage de gaz pyrophoriques ou inflammables peut présenter des risques. L’utilisateur et/ou l’intégrateur du produit doit respecter les consignes de sécurité ci-dessous et conduire une analyse de risque.
DANGER
Danger de mort par explosion ou inflammabilité liée aux gaz pyrophoriques/inflammables
Les procédés du semi-conducteur, du photovoltaïque, des écrans plats et procédés industriels peuvent utiliser des gaz pyrophoriques ou inflammables. Mélangés à des produits oxydants, ces gaz
peuvent s’enflammer spontanément (gaz pyrophoriques) ou suite à un amorçage lors d’une réaction
chimique non désirée (gaz inflammables). Dans le pire des cas, cela provoque un incendie, ou une
explosion causant la projection de pièces métalliques et pouvant blesser gravement les personnes à
proximité.
► Mener une analyse de risques afin d’évaluer les risques avant d’installer la pompe.
► Installer des systèmes de sécurité conformes aux exigences de la norme EN 50495.
L’analyse de risques doit prendre en compte les gaz utilisés, les sous-produits du procédé ainsi que les
composants constituant l’ensemble de l’installation. Il faut absolument éviter les situations suivantes qui
présentent des risques :
● La concentration de gaz pyrophorique ou inflammable dans la plage d’inflammabilité.
● La concentration de gaz pyrophorique ou inflammable au-delà de la plage d’inflammabilité (la concentration pourrait baisser en cas de fuite et atteindre la plage d’inflammabilité).
● Le manque de dilution.
● L’accumulation de matières solides réactives au refoulement.
● L’exposition d’espèces réduites chimiquement ou d’agents réducteurs, à des oxydants.
Appliquer les recommandations générales de sécurité suivantes :
● Assurer l’étanchéité sur l’installation complète.
● Éviter le mélange de gaz oxydant (air, autre…) avec les gaz pyrophoriques/inflammables. 1)
● Garantir que la concentration d’oxydant n’excède pas 60 % de la concentration maximum admissible du gaz oxydant (MOC) 2), principalement lorsque la dilution n’est pas suffisante pour atteindre les 25 % de la LIE.
● Réaliser une purge d’azote avant toute maintenance sur la ligne de pompage (ligne d’aspiration,
pompe et ligne de refoulement).
● Nettoyer régulièrement la ligne de refoulement des sous-produits de réaction telles que les poussières de silicium pour éviter le colmatage et/ou l’explosion.
Pour davantage d’informations concernant la sécurité liée aux gaz pyrophoriques ou inflammables, contacter notre centre de service.
Pour toutes ces applications, installer sur la pompe des étiquettes pour identifier les risques (inflammabilité, explosion, toxicité, corrosion,.... etc.) et satisfaire aux exigences de SEMI S1. Ces informations
doivent être ajoutées dans le manuel de l'équipement pour l'utilisateur final.
1)
Référence NFPA 69-2019, § 8.3.1 chap.8 Prévention de la déflagration par réduction de la concentration de
produit inflammable.
2)
Référence NFPA 69-2019, § 7.7.2.5 chap.7 Prévention de la déflagration par réduction de la concentration en
oxydant.
13/58
Sécurité
2.4
Précautions
Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels
Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit.
Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du
produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document.
Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit
La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit
d'origine ou installe un équipement supplémentaire
● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le
cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives
européennes applicables avant de mettre en service ce système.
Seul un personnel qualifié et formé aux règles de sécurité (CEM, sécurité électrique, pollution chimique)
peut procéder à l’installation et à la maintenance décrites dans ce manuel. Nos centres de service peuvent dispenser les formations nécessaires.
► Fixer la pompe en respectant impérativement les spécifications d'installation.
► Ne pas exposer une partie du corps humain au vide.
► Respecter les prescriptions en matière de sécurité et de prévention des accidents.
► Vérifier régulièrement que toutes les mesures de précautions sont respectées.
► Ne pas retirer les obturateurs des orifices d’aspiration et de refoulement tant que le produit n’est
pas raccordé à la ligne de pompage.
► Ne pas mettre sous tension un produit dont l’aspiration et le refoulement ne sont pas raccordés à
la ligne de pompage.
► Avant d'intervenir sur la bride d'aspiration, attendre que le rotor soit immobilisé.
► Les canalisations et les câbles doivent être maintenus à bonne distance des surfaces chaudes
(> 70 °C).
2.5
Usage conforme à la destination
●
●
●
●
La pompe à vide est utilisée uniquement pour générer du vide en pompant des gaz.
La pompe turbomoléculaire doit être associée à une pompe primaire appropriée.
La pompe est destinée à être intégrée dans un équipement industriel.
La pompe doit fonctionner avec une unité de commande électronique de type Magpower Pfeiffer
Vacuum.
● La pompe Version MT peut être utilisée pour le pompage de fluides à risque de condensables
sous réserve que les gaz ne se condensent pas dans la pompe.
Lorsque la pompe est intégrée dans un équipement industriel, elle devient un composant de
l’équipement : l’intégrateur de ce composant de pompage doit prendre toutes les protections de
sécurité vis à vis de l’opérateur, notamment concernant le risque avec les surfaces chaudes.
2.6
Utilisation non conforme
Toute utilisation non conforme du produit entraîne l'annulation de la garantie et des droits de réclamations. Toute utilisation, même involontaire, qui diffère de celles précitées est considérée comme non
conforme, en particulier :
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
14/58
Le pompage de fluides réactifs
Le pompage de fluides corrosifs ou explosifs
Le pompage de liquides
Le pompage de solides
Le pompage de poussières
Le pompage de fluides à risque de condensable (Version M)
Une utilisation avec débit de gaz élevé non admissible
Une utilisation sous une pression de vide primaire élevée non admissible
Une utilisation avec apport, par rayonnement, d'une puissance thermique excessive
Une remise à l'air avec des débits élevés non admissibles
Sécurité
●
●
●
●
●
●
L'utilisation d'accessoires ou pièces de rechange qui ne sont pas mentionnés dans ce manuel
L’utilisation dans des zones à risque d'explosion
L’utilisation de la pompe à vide pour générer de la pression
L’exploitation dans des zones à rayonnements ionisants
Une utilisation dans des champs magnétiques non admissibles
Une mise en oeuvre des appareils dans des installations qui soumettent la pompe à des contraintes et à des vibrations saccadées ou à des forces périodiques.
15/58
Transport et stockage
3 Transport et stockage
3.1
Réception du produit
Etat de la livraison
● S'assurer que le produit n'a subi aucun dommage pendant le transport.
● Si le produit est endommagé, aviser le transporteur et informer le constructeur.
► Maintenir le produit dans son emballage d’origine pour préserver la propreté que nous lui avons
apportée : le déballer uniquement sur son lieu d’utilisation finale.
► Conserver les obturateurs présents sur les orifices d’aspiration, de refoulement et de purge jusqu'à ce que le produit soit raccordé à la ligne de pompage.
Conserver l’emballage (matériau recyclable) dans le cas où le produit doit être transporté
ou stocké.
3.2
Manutention de la pompe
AVERTISSEMENT
Risque d’écrasement lors de l’élingage du produit
Compte tenu du poids du produit, il existe un risque d’écrasement lors de la manutention du produit
avec des appareils de levage. Le constructeur dégage toute responsabilité en cas de non-respect
des consignes suivantes :
► Seul un personnel habilité et formé aux règles de manutention des objets lourds peut manutentionner le produit.
► Utiliser obligatoirement les dispositifs de levage fournis et respecter les procédures décrites
dans ce document.
AVERTISSEMENT
Risque d'écrasement lié au basculement du produit
Bien que la conformité aux règles de sécurité de l'UE soit assurée, il convient de prendre toutes les
précautions nécessaires lors des opérations de manutention, d’installation tant que la pompe n'est
pas intégrée dans l'équipement.
► Ne pas positionner la pompe sur un plan incliné.
► Ne pas la pousser latéralement.
► Toujours sécuriser la pompe tant qu’elle n’est pas intégrée dans l’équipement (trous de fixation
au niveau de la bride d'aspiration).
16/58
Transport et stockage
1
2
1. Sangle
2. Anneau de levage
Manutention avec un palan
Pour manutentionner la pompe, il est nécessaire de choisir un appareil de levage adapté à la masse du produit. La masse et la position du centre de gravité varient selon le modèle (voir chapitre « Dimensions »).
1. Utiliser les anneaux de levage installés sur le produit ou sur l'unité de commande électronique (si
présente).
2. Utiliser une sangle à plusieurs brins de longueur minimum 500 mm.
3. Fixer la pompe par ses anneaux de levage et la hisser.
4. Transporter toujours la pompe turbomoléculaire à la verticale.
Manutention de la pompe aspiration vers le haut
Pour manutentionner la pompe « aspiration vers le haut » il est nécessaire de choisir un appareil de
manutention adapté ainsi que des accessoires de fixation.
1. Raccorder la pompe au dispositif de manutention en utilisant les 2 trous M10 à l'arrière de la pompe et la hisser.
2. Transporter toujours la pompe turbomoléculaire à la verticale.
3.3
Stockage
Stockage d'une pompe neuve
► Laisser en place l'enveloppe de protection.
► Laisser obligatoirement en place les obturateurs à l'aspiration, au refoulement et sur la bride de
purge.
► Stocker la pompe selon les températures de stockage autorisées (voir chapitre « Caractéristiques
environnementales »).
► Stocker la pompe dans un environnement propre, sec et non pollué, pour une durée maximale
de 1 an.
Stockage après utilisation
► Pour stocker une pompe qui a été utilisée, (voir chapitre « Immobilisation prolongée »).
17/58
Description du produit
4 Description du produit
4.1
Identification du produit
Pour identifier le produit de manière sûre et pour communiquer avec notre centre de service, se référer
aux informations figurant sur la plaque signalétique du produit (voir chapitre « Etiquettes »).
4.1.1
Contenu de la livraison
●
●
●
●
●
1 pompe turbomoléculaire à paliers magnétiques
1 filtre pare-éclats (installé dans la bride d'aspiration de la pompe)
2 anneaux de levage installés sur la pompe.
1 planche d'étiquettes
1 manuel de l'utilisateur
et selon la configuration de commande, les composants suivants sont présents :
●
●
●
●
●
1 joint cuivre
1 électrovanne de purge
1 réducteur de flux de purge
1 lot de visserie
1 électrovanne d'entrée d'air
Le boîtier de commande déportable (HHR) ne fait pas partie de la livraison. Pour commander, voir chapitre « Accessoires ».
4.1.2
Les applications des produits
Le constructeur a développé une gamme de pompes turbomoléculaires à paliers magnétiques actifs
(PMA), avec étages de compression, de haute performance et fiables, particulièrement adaptées aux
procédés de dépôt et gravure plasma, aux procédés de dépôts sur verre et d’autres applications de recherche. Ces pompes disposent d’une électronique déportée.
Ces pompes sont caractérisées par leur résistance à la corrosion, leur robustesse, leur capacité de
pompage de grand débit de gaz en hautes pressions, et par leur absence de maintenance.
Pour obtenir des informations plus détaillées en fonction des applications, nous contacter.
Vitesse de rotation
La vitesse de rotation de la pompe à paliers magnétiques peut être sélectionnée et réglée entre une
vitesse minimale et la vitesse nominale. Ceci rend possible l’optimisation des caractéristiques de pompage en fonction de chaque application (par exemple, pompage haute pression). Une distinction est faite entre les vitesses suivantes :
● Vitesse de rotation sélectionnée (= vitesse de Stand-by) entre la vitesse minimale et la vitesse nominale.
● Vitesse nominale définie en usine.
Pompe Version M
La version standard de la pompe correspond à la plupart des applications propres. Cette version de
pompe ne dispose pas de système de régulation de température.
Pompe Version MT
Cette version de pompe est recommandée pour toute application nécessitant une température élevée
de la pompe et des gaz pour éviter des condensations dans la pompe. Cette version est équipée d’un
système de régulation de la température (TMS). La régulation de température est réalisée par l’électronique déportée.
18/58
Description du produit
4.2
Interface homme/machine
1
2
6
5
4
Fig. 1:
3
Description d'une pompe ATH 2800 MT
1 Filtre pare-éclats
2 Bride d'aspiration (vide élevé)
3 Purge de gaz neutre (Purge)
4
5
6
Raccordement d'eau (IN)
Bride de refoulement (Pump exhaust)
Connecteur de la ceinture chauffante
1
2
6
5
4
Fig. 2:
3
Description d'une pompe ATH 3200 M
1 Filtre pare-éclats
2 Bride d'aspiration (vide élevé)
3 Purge de gaz neutre (Purge)
4
5
6
Raccordement d'eau (IN)
Raccordement d'eau (OUT)
Bride de refoulement (Pump exhaust)
19/58
Installation
5 Installation
L'installation de la turbopompe et sa fixation sont d'une importance primordiale. Le rotor de la pompe
turbomoléculaire tourne à grande vitesse. En pratique, il n’est pas exclu que le rotor entre en contact
avec le stator (par ex. en cas de pénétration de corps étrangers dans la bride de vide élevé). En l’espace de quelques fractions de secondes, l'énergie cinétique libérée agit sur le boîtier et sur l'ancrage de la
pompe turbomoléculaire.
Des calculs et des tests approfondis effectués selon la norme ISO 27892 garantissent la protection de
la pompe turbomoléculaire contre la démolition (destruction des pales du rotor) et l'éclatement (rupture
de l’arbre du rotor). Les résultats expérimentaux et théoriques se traduisent par des mesures de sécurité et des recommandations à suivre pour une fixation conforme et sûre de la pompe turbomoléculaire.
5.1 Conditions d'installation à l'équipement
AVERTISSEMENT
Risque de blessures graves provoquées par le détachement de la pompe lors d’un blocage du
rotor
En cas de fixation incorrecte de la pompe, lors d’un blocage inopiné du rotor, la pompe turbomoléculaire se désolidarise de l’équipement : l'énergie libérée projette la pompe ou des fragments de
pompe dans le local, provoquant des blessures très graves voire mortelles, ainsi que des dommages
matériels considérables.
► Respecter scrupuleusement les recommandations d'installation décrites dans ce manuel. Pfeiffer
Vacuum décline toute garantie et responsabilité en cas de non-respect des instructions d’installation.
► Utiliser exclusivement les pièces d'origine autorisées de Pfeiffer Vacuum (accessoires) pour le
raccordement dans l'équipement.
Le raccordement de la pompe à l’équipement doit être suffisamment rigide pour absorber l’énergie cinétique libérée par le rotor si la pompe se bloque brutalement. Pour cela, tenir compte :
● Des charges maximum pour dimensionner les dispositifs de fixation.
● De la dimension de la bride d’aspiration.
● De la qualité et du nombre de vis.
● Du type de raccordement entre la bride d’aspiration de la pompe et l’enceinte à pomper.
Lorsque la pompe est raccordée selon les recommandations du constructeur, en cas d’incident générant une surpression, l’enveloppe de la pompe est capable de supporter une pression statique de
11 · 103 hPa maximum pendant 1 minute.
20/58
Installation
5.1.1
Spécifications d'installation
1
2
Turbo
3
Fig. 3:
Raccordement mécanique de la pompe dans l'équipement
1 Chambre à vide
2 Equipement
3
Châssis
Point d'ancrage sécurisé
Description d’un scénario de blocage brutal
L’énergie cinétique du rotor doit être absorbée par l’installation si la pompe se bloque brutalement. Les
charges résultantes maximum ont été mesurées sur un banc de test en simulant la cassure du rotor en
2 morceaux, lorsque le pompe tourne à vitesse nominale. L’impact des morceaux de rotor génère les
charges transitoires décrites ci-dessous.
Force axiale (A)
Les morceaux du rotor peuvent être éjectés par l’aspiration de la pompe et endommager la plaque de
fixation de la vanne ou de toute autre partie de l’installation. Dans la mesure où l’impact est proche de
la pompe, et la surface impactée est rigide, il y a création d’une importante force axiale sur l’installation.
En présence d’une vanne pendulaire, ou d’un espace supérieur à 100 mm, on ne constate pas cette
force axiale.
Moment de flexion (B)
L’impact des morceaux de rotor sur le carter de la pompe crée une force radiale sur le carter. Celle-ci
engendre un moment de flexion sur l’installation dépendant de la distance du point d’impact par rapport
au point d’ancrage sur l’installation.
Couple (C)
La décélération des morceaux de rotor engendre un couple sur le carter de pompe qui se transmet à
l’installation. La valeur maximum de la force axiale et du moment de flexion apparaissent en même
temps. Un délai de plusieurs millisecondes s’écoule avant l’apparition du couple maximum.
21/58
Installation
800
60
C
A
700
B
A
2
600
B
40
500
30
400
300
20
200
10
C
100
0
0
0
Fig. 4:
Force axiale - kN
1
Couple – Flexion kN·m
50
2
4
Temps ms
6
8
Graphe des charges transmises à l'équipement - ATH 2800 M-MT / 3200 M-MT
1 Pompe Turbo
2
Vanne avec plaque pendulaire
Caractéristiques
Unité
Vitesse nominale
-1
Énergie
Couple (C)
Moment de flexion (B)
Force axiale (A)
1)
ATH 2800 M/MT
ATH 3200 M/MT
min
25000
25000
kJ
166
166
Max. kN·m
58
58
Durée ms
3
3
Délai ms
3
3
Max. kN·m
40
40
Durée ms
2
2
Délai ms
0
0
Max. kN
0
700
Durée ms
0
1
Délai ms
0
0
1) La force axiale est maximale lorsque l’aspiration de la pompe est obstruée par des pièces rigides.
Il n’y a pas de charge sur l’installation en cas de faible rigidité, par exemple avec une vanne.
Tab. 1:
5.1.2
Charges transmises à l'équipement
Sécurisation de l'équipement et du châssis
Fixation de la pompe à l’équipement
Les charges maximum résultant d’un blocage brutal doivent être absorbées par les éléments de fixation
de la pompe.
► Concevoir et sécuriser le châssis de la pompe de sorte qu’il supporte les charges maximum.
► Serrer impérativement les vis à la clé dynamométrique selon les couples de serrage du tableau
suivant :
– si le couple est faible : risque de desserrage des vis.
– si le couple est fort : risque de détérioration des vis.
Type de bride d'aspiration
Type de vis
1)
Nombre de vis
1)
ATH 2800 M
ATH 3200 M
DN250 ISO-F
DN320 ISO-F
M 10
M 12
12
12
1) Type, nombre, grade et couple de serrage des vis sont imposés et obligatoires.
22/58
Installation
ATH 2800 M
ATH 3200 M
DN250 ISO-F
DN320 ISO-F
12-9
12-9
30 N·m
50 N·m
Force de serrage totale
161500 N
232500 N
Longueur des vis
≥ 35 mm
≥ 35 mm
Type de bride d'aspiration
Qualité des vis
1)
Couple de serrage par vis
1)
1) Type, nombre, grade et couple de serrage des vis sont imposés et obligatoires.
Tab. 2:
Fixation de la bride de vide élevé (bride d'aspiration)
Le constructeur recommande d’utiliser les lots de visserie prévus à cet effet (accessoires). Contacter
notre centre de service.
Fixation au châssis
Si le châssis n’est pas conçu pour absorber les charges maximum en cas de blocage brutal, contacter
notre centre de service pour le dimensionnement de votre installation.
5.2
Mise en place de la pompe
AVIS
Endommagement de la pompe causé par des vibrations externes
Les vibrations depuis l’extérieur ou les impacts sur la pompe peuvent surcharger les paliers magnétiques, d’où un stress sur les roulements de secours.
► Évitez les mouvements latéraux et d’inclinaison de la pompe.
► Les turbulences externes doivent être compensées par une conception appropriée du système.
► Sécurisez l’enceinte à vide fournie par le client contre tout mouvement et basculement.
ATTENTION
Risque de chute due aux câbles ou canalisations mal fixés
L’espace autour de la pompe doit être dégagé afin de ne pas encombrer le passage au risque de
provoquer des chutes.
► Fixer les câbles électriques et les canalisations de pompage : les acheminer dans des goulottes.
Le constructeur garantit le bon fonctionnement de la pompe lorsqu’elle est utilisée dans un champ magnétique uniforme n’excédant pas 0,5 mT. Pour des valeurs comprises entre 0,5 et 5 mT, le bon fonctionnement dépendra du refroidissement et de la charge des gaz. Au-delà de 5 mT de champ magnétique, cela peut provoquer un échauffement du rotor. Prévoir dans ce cas les blindages nécessaires.
La pompe seule peut résister à un niveau de radiation inférieur à 103 Gy.
La pompe turbomoléculaire ne peut pas refouler à la pression atmosphérique, il faut la connecter à une pompe primaire. Transitoirement, elle peut démarrer sa rotation à la pression atmosphérique.
La pompe turbomoléculaire peut fonctionner dans toutes les positions.
IN
IN
IN
IN
23/58
Installation
Mise en place de la pompe
1. Manutentionner la pompe, (voir chapitre « Manutention de la pompe »).
2. Raccorder et sécuriser la fixation de la pompe turbomoléculaire pour garantir la sécurité du personnel et la fiabilité du fonctionnement (voir chapitre « Spécifications d'installation »).
3. Coller les étiquettes de sécurité dans la langue de l'opérateur à l'endroit le plus approprié et le
plus visible sur la pompe pour avertir l'opérateur des dangers potentiels.
1
2
IN
Fig. 5:
Installation de la pompe à l'horizontale
1 Crochet
2
Sangle (Qté2)
Mise en place à l'horizontale
Pour manutentionner la pompe, il est nécessaire de choisir un appareil de levage adapté à la masse du produit. La masse et la position du centre de gravité varient selon le modèle (voir chapitre « Caractéristiques techniques » et « Dimensions »).
1. Utiliser 2 sangles homologuées EN 1492-1 à plusieurs brins pouvant supporter le poids de la
pompe.
2. Utiliser des accessoires homologués pour accrocher la pompe à l'appareil de levage (par exemple, crochet avec verrou de sécurité).
3. Placer les sangles solidement autour de la pompe.
4. Positionner le crochet de l'appareil de levage à la verticale du centre de gravité.
5. Hisser la pompe et la déplacer jusqu'à son emplacement sur le châssis.
6. Maintenir la pompe suspendue tout le temps de l'installation jusqu'à la fixation de la bride de vide
élevé.
24/58
Installation
IN
1
Fig. 6:
Installation, aspiration vers le haut
1 Table de levage (exemple)
Mise en place de la pompe avec aspiration vers le haut
Pour manutentionner la pompe, il est nécessaire de choisir un appareil de levage adapté à la masse du produit. La masse et la position du centre de gravité varient selon le modèle (voir chapitre « Caractéristiques techniques » et « Dimensions »).
1. Raccorder la pompe au dispositif de manutention en utilisant les trous prévus à cet effet pour éviter tout basculement de la pompe.
2. Maintenir la pompe fixée au dispositif de manutention jusqu'à la fixation de la bride de vide élevé.
5.3
Raccordement à la ligne de pompage
Lorsque des matières pyrophoriques, inflammables ou toxiques sont présentes dans la pompe, cela
peut engendrer des risques supplémentaires que l’exploitant doit évaluer et gérer au niveau de l’ensemble de l’installation de pompage.
L’utilisateur et/ou l’intégrateur du produit a l’entière responsabilité de l’installation et doit appliquer les
consignes de sécurité spécifiques, conformément à la législation locale.
DANGER
Danger de mort par inflammation lors du pompage de gaz inflammables
Il y a risque d'incendie provoqué par une réaction chimique non désirée (amorçage) entre des matières inflammables pompées.
► Prévoir un dispositif de détection électromécanique de la LIE dans le système d’extraction (détection possible à 25 % de la LIE) qui arrête l’alimentation de la pompe en produits chimiques
lors de la détection de gaz à 25 % de la LIE pour la matière inflammable concernée.
AVERTISSEMENT
Risque d'écrasement et/ou de coupure au contact de pièces en mouvement
La bride d’aspiration est suffisamment grande pour permettre l’introduction d'une partie du corps (un
doigt, une main) : il y a risque d’écrasement par contact avec les pièces en mouvement. Les orifices
d'aspiration et de refoulement sont toujours fermés à l’aide d’obturateurs.
► Attendre le raccordement à la ligne de pompage pour retirer les obturateurs.
► Attendre que la pompe soit raccordée pour mettre sous tension.
25/58
Installation
Consignes générales pour une installation dans la ligne de pompage selon les règles de l'art
Les raccordements à l'aspiration et au refoulement de la pompe ne doivent pas engendrer de contraintes pouvant provoquer des fuites sur la ligne de pompage.
1. Utiliser des gants pour raccorder ou retirer la pompe de l'équipement.
2. Effectuer toujours l'installation mécanique avant le raccordement électrique.
3. Eviter d'utiliser une bride de réduction à l'aspiration. Si nécessaire nous consulter.
4. Vérifier la présence du filtre pare-éclats installé dans la bride d'aspiration.
5. Utiliser dans la ligne de pompage, à l’aspiration comme au refoulement, des accessoires dont les
matériaux et l’étanchéité sont compatibles avec les gaz pompés. Consulter le catalogue des accessoires de raccordement sur le site pfeiffer-vacuum
6. Prévoir, lors du montage du circuit du vide, des accessoires pour isoler la pompe dans la ligne de
pompage et faciliter la maintenance (vannes d’isolement à l’aspiration et au refoulement, purge,
…).
7. Les joints toriques situés sous les obturateurs ne sont pas compatibles avec l'ensemble des applications. L'utilisateur ou l'intégrateur du produit a la responsabilité d'installer des joints
compatibles avec l'application.
8. Retirer les protections qui obturent les orifices d’aspiration et de refoulement.
9. Garder les obturateurs, vis, rondelles pour les réutiliser lors du transport de la pompe.
10. Veiller à ne pas faire tomber de vis, rondelles ou autres objets dans l’aspiration de la pompe.
11. Réaliser un test d'étanchéité sur l'ensemble de la ligne de pompage après installation de la pompe.
5.3.1
Raccordement côté aspiration
AVERTISSEMENT
Risques de coupures par contact avec des arêtes vives par la bride de vide élevé
L’accès aux pièces ‘coupantes’ est possible par la bride d’aspiration. Les arêtes des ailettes du rotor
et du stator des pompes turbomoléculaires sont très tranchantes.
► Attendre l'arrêt complet de la pompe avant d'intervenir sur le produit.
► Toujours maintenir le filtre pare-éclats dans le carter d’aspiration, il atténue le risque de blessures.
► Toujours porter des gants de protection conformément à la norme EN ISO 21420.
AVIS
Risque de pollution du procédé en cas de non-respect des conditions de propreté
Lorsque les pièces en contact avec le vide élevé sont sales, le temps de pompage est augmenté et
le procédé est pollué.
► Utiliser des pièces et canalisations propres, sèches et dépourvues de graisse, de poussière.
► Porter des gants pour réaliser les raccordements, principalement côté vide élevé.
Veiller à ce que les pièces ou enceintes raccordées à l’aspiration de nos produits supportent une dépression de 1·10-3 hPa absolue.
26/58
Installation
5.3.2
Raccordement côté refoulement
AVERTISSEMENT
Risque d'empoisonnement en présence de gaz de procédés dans l'atmosphère
Le constructeur n’a pas la possibilité de contrôler le type de gaz utilisé avec la pompe. Les gaz de
procédés sont fréquemment toxiques, inflammables, corrosifs, explosifs ou réactifs. Il existe un risque d’accident grave voire mortel lorsque ces gaz s’échappent librement dans l’atmosphère.
► Appliquer les consignes de sécurité spécifiques, conformément à la législation locale. Ces informations sont disponibles auprès du service sécurité de l’exploitant.
► Raccorder impérativement le refoulement de la pompe turbomoléculaire à une pompe primaire compatible avec les gaz de procédés : le refoulement de la pompe primaire est raccordé au système d'échappement des gaz dangereux de l'installation.
► Vérifier régulièrement l’absence de fuites au niveau du raccordement de la pompe avec la canalisation d’échappement.
► Raccorder la pompe primaire recommandée (voir chapitre « Caractéristiques techniques »).
► Installer une vanne d’isolement (NF) entre la pompe turbomoléculaire et la pompe primaire.
5.4
Raccordement du circuit d'eau
Pour limiter la corrosion et l’encrassement du circuit d’eau, il est recommandé de disposer d’une
alimentation en eau douce traitée ou en eau industrielle non agressive ayant les caractéristiques requises (voir chapitre « Caractéristiques de l'eau »). Si les caractéristiques de pollution solides ne sont pas
respectées, installer un filtre sur l’arrivée d’eau.
AVIS
Dégradation du circuit de refroidissement en cas d’utilisation d’un réseau urbain non réglementaire
L'utilisation d'un réseau d'eau urbain non réglementaire peut provoquer le colmatage du circuit
de refroidissement par des dépôts calcaires. En conséquence le circuit de refroidissement devra être
démonté pour nettoyage et maintenance.
D'autre part, la présence de micro-organismes (algues), ou substances biologiques (bactéries)
dans le réseau d'eau peut générer des problèmes dans le circuit de refroidissement.
► Raccorder le circuit de refroidissement à un réseau d’eau réglementaire.
► Appliquer les traitements nécessaires pour éviter la croissance de micro-organismes.
Continuité du refroidissement pour le procédé
Si l’arrêt du circuit d’eau génère un risque important pour le procédé, il est conseillé de
commander le refroidissement de la pompe par un système externe capable de prendre le
relais en cas de défaillance du circuit d’eau.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure au contact de l'eau sous pression
Le produit utilise de l’eau sous pression comme fluide de refroidissement. Une installation non conforme ou réalisée de manière non professionnelle peut mettre en danger la vie de l’utilisateur.
► Installer une vanne manuelle dans le circuit à une distance de 3 m du produit pour verrouiller
l’alimentation en eau.
► Respecter la pression et différence de pressions recommandées.
► Toujours verrouiller et débrancher le circuit d’eau avant d’intervenir sur le produit.
► Lors de la maintenance, sécuriser correctement l’installation en repérant et condamnant le circuit
d’eau sous pression pour éviter tout réenclenchement non intentionnel (LO/TO procédure de
consignation/déconsignation).
► Contrôler régulièrement l’état des canalisations et connexions du circuit d’alimentation.
27/58
Installation
5.4.1
Procédure de montage des raccords
Procédure de collage et serrage des raccords filetés
1. Utiliser des raccords 1/4 NPT mâle (fourniture à la charge du client).
2. Coller les raccords avec de la colle oléo-étanche ou mettre du ruban d'étanchéité PTFE sur le filetage.
3. Serrer le raccord tout en maintenant l’embase côté pompe.
Procédure de montage des raccords à simple bague
Raccord utilisé pour relier les tuyaux souples entre pompe et électronique (par exemple).
1. Insérer le tuyau en butée au fond du raccord.
2. Approcher manuellement l’écrou.
3. Visser l’écrou à l’aide d’une clé plate, de 1/2 tour, tout en maintenant le corps du raccord immobile.
Procédure de montage des raccords à double bagues
Raccords utilisés pour relier les tuyaux rigides (acier inox., cuivre nickelé, ...).
1. Insérer le tuyau avec les bagues en butée au fond du raccord.
2. Orienter le raccord en position.
3. Approcher manuellement l’écrou.
4. Visser l’écrou à l’aide d’une clé plate, de 3/4 tour, tout en maintenant le corps du raccord immobile.
5.4.2
Raccordement de la pompe au circuit d'eau
Respecter la procédure d'installation des raccords pour éviter tout risque de fuites.
28/58
Installation
1
2
Fig. 7:
Raccordement du circuit de refroidissement
1 Water out
2
Water in
1. Prévoir une canalisation d'arrivée d'eau et un robinet pour ajuster le débit.
2. Connecter sur le circuit d'entrée d'eau au WATER IN et la sortie d'eau au WATER OUT du circuit
d'évacuation de la pompe.
3. Vérifier qu'il n'y a aucune fuite au niveau des canalisations et connexions du circuit d'eau.
5.5
Raccordement du circuit d'azote
Selon les applications, la purge de gaz neutre peut consister :
● A injecter de l'air ambiant, ou
● A injecter un gaz neutre dans la pompe.
Dans ce manuel, on désignera le gaz neutre par ’azote’ qui correspond au gaz le plus utilisé. Pour davantage d’informations concernant le type de gaz de purge, contacter notre centre de service.
DANGER
Danger de mort par explosion lors du pompage de gaz chargés de matières pyrophoriques/
inflammables
Si des quantités de matières pyrophoriques / inflammables supérieures à la LIE sont envoyées vers
la pompe, il y a un risque d'explosion.
► Prévoir un débit d'azote suffisant pour abaisser la concentration en dessous de la LIE.
► Prévoir un verrouillage de l’écoulement des gaz vers la pompe en cas d’arrêt de l’alimentation en
azote.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure au contact de l’azote sous pression
Le produit utilise de l’azote sous pression comme gaz de balayage. Une installation non conforme ou
réalisée de manière non professionnelle peut mettre en danger la vie de l’utilisateur.
► Installer une vanne manuelle dans le circuit à une distance de 3 m du produit pour verrouiller
l’alimentation en azote.
► Respecter la pression d’alimentation recommandée.
► Toujours verrouiller et débrancher le circuit d’azote avant d’intervenir sur le produit.
► Lors de la maintenance, sécuriser correctement l’installation en repérant et condamnant le circuit
d’azote sous pression pour éviter tout réenclenchement non intentionnel (LO/TO procédure de
consignation/déconsignation).
► Contrôler régulièrement l’état des canalisations et connexions du circuit d’alimentation.
Pour garantir les meilleures performances, il est nécessaire de disposer d’une alimentation en
azote sec et filtré, ayant les caractéristiques requises (voir chapitre « Caractéristiques de l'azote »).
Purge de gaz neutre
AVIS
Rôle de la purge de gaz neutre
Lorsque la purge de gaz neutre s’arrête, les gaz de procédé peuvent rétrodiffuser et endommager les
paliers internes de la pompe.
► Maintenir la purge de gaz neutre tant que le rotor tourne pour prolonger le balayage.
► Faire débiter la purge sans excéder la valeur maximum de 1 · 103 à 1,5 · 103 hPa absolus.
29/58
Installation
Débit (SCCM)
70
e5
urg
60
CC
0S
M
P
50
40
30
20
Pression absolue à l’aspiration (hPa)
1000
Fig. 8:
1100
1200
1300
1400
1500
Graphe Débit de purge
1
1 Réducteur de flux 50 sccm
Dispositif de purge 50 sccm
Le fonctionnement de cette purge est continu. Le réducteur de flux garantit un débit de 50 sccm pour
une pression de 1,1 · 103 hPa. Lorsque la canalisation de gaz neutre est équipée d'un débitmètre massique, ne pas utiliser le réducteur de flux.
1. Raccorder directement l'alimentation de gaz neutre sur l'orifice PURGE équipé du réducteur de
flux (voir chapitre « Accessoires »).
2. Régler la pression de gaz neutre afin d'obtenir le débit recommandé (voir le graphe Débit de purge).
Electrovanne équipée d'une purge 50 sccm
1
1 Filtre à poussières
2
2
Electrovanne de purge
Electrovanne équipée d'une purge 50 sccm
Il s’agit d’une option disponible selon la configuration de la pompe.
L'électrovanne installée sur la pompe est alimentée et pilotée par une unité de commande électronique
(fournie par le client).
► Connecter l'électrovanne sur l'orifice PURGE (fixation par 4 vis fournies).
Electrovanne de purge raccordée à une alimentation de gaz neutre
Cette électrovanne peut être raccordée à une alimentation de gaz neutre. Le flux de purge doit être présent lorsque la pompe est en fonctionnement.
Lorsque la pompe est à l'arrêt, l'électrovanne peut être fermée pour faire un test d'étanchéité de l'équipement.
1. Retirer le filtre à poussières de l'électrovanne.
2. Raccorder en lieu et place la canalisation de gaz neutre.
30/58
Installation
3. Coller le raccord avec de la colle oléo-étanche, ou mettre du ruban d'étanchéité PTFE sur le filetage.
4. Serrer le raccord en appliquant un couple de 10 N·m maximum.
5. Régler la pression de gaz neutre afin d'obtenir le débit recommandé (voir le graphe Débit de purge).
5.6
Raccordement de l'électrovanne d'entrée d'air
Il s’agit d’une option disponible selon la configuration de la pompe.
L’électrovanne d’entrée d’air est calibrée (débit 11 · 103 sccm) pour remettre à la pression atmosphérique le volume interne de la pompe. Son efficacité à ralentir la pompe est améliorée lorsque des vannes
d’isolement sont installées à l’aspiration et au refoulement de la pompe. Cette électrovanne est alimentée et pilotée par l'unité de commande électronique.
1
2
1 Electrovanne d'entrée d'air
2
Filtre à poussières
1. Raccorder l'électrovanne sur le refoulement PUMP EXHAUST de la pompe au moyen d'accessoires de raccordement disponibles au catalogue des produits.
2. Raccorder l'électrovanne sur le connecteur de l'unité de commande électronique (voir manuel de
l'unité de commande électronique).
3. Envoyer l'ordre de pilotage via l'interface de commande (liaison série, Remote ou bus de terrain).
Raccordement de l'électrovanne d'entrée d'air à une alimentation de gaz neutre
Pour raccorder l’électrovanne à une alimentation en gaz neutre, il est nécessaire de disposer d’une alimentation en azote sec et filtré, ayant les caractéristiques requises (voir chapitre « Caractéristiques de
l'azote »).
1. Retirer le filtre à poussières de l’électrovanne.
2. Raccorder en lieu et place la canalisation de gaz neutre.
3. Coller le raccord avec de la colle oléo-étanche ou mettre du ruban d'étanchéité PTFE sur le filetage.
4. Serrer le raccord en appliquant un couple de 10 N·m maximum.
5.7
Test d'étanchéité de l'installation
L'étanchéité du produit est assurée en sortie d'usine pour les conditions normales d'utilisation. L'exploitant doit préserver ce niveau d'étanchéité particulièrement lors du pompage de gaz dangereux. Pour
davantage d'information concernant les tests d'étanchéité, contacter notre centre de service.
1. Réaliser un test d'étanchéité sur l'ensemble de la ligne de pompage après installation de la pompe.
2. Vérifier régulièrement l'absence de traces de gaz pompés dans l'environnement ainsi que toute
trace d'entrée d'air dans la ligne de pompage pendant le fonctionnement.
31/58
Installation
5.8
Raccordement électrique
AVERTISSEMENT
Risque d'électrocution lié à une installation électrique non conforme
Le produit utilise la tension secteur comme alimentation électrique. Une installation électrique non
conforme ou réalisée de manière non professionnelle peut mettre en danger la vie des utilisateurs.
► Seul un personnel qualifié et formé aux règles de sécurité électrique, CEM peut réaliser l'installation électrique.
► Ne procéder à aucune transformation ou modification arbitraire du produit.
► Vérifier que le produit est correctement relié au circuit d'arrêt d'urgence de l'équipement (ou installation de pompage).
AVERTISSEMENT
Risque d'électrocution par contact lors de l'entretien ou la maintenance
Il y a un risque de choc électrique par contact avec un produit sous tension et non isolé électriquement.
► Avant toute intervention, placer l’interrupteur principal sur O.
► Débrancher le câble secteur du réseau électrique.
► Sécuriser correctement l’installation en repérant et condamnant le circuit de puissance pour éviter tout ré-enclenchement non intentionnel (LO/TO procédure de consignation/déconsignation).
AVERTISSEMENT
Risque de choc électrique au contact du connecteur secteur à la mise hors tension
Certains composants comportent des condensateurs chargés à plus de 60 VDC qui restent chargés
électriquement à la mise hors tension : des tensions résiduelles dues aux capacités des filtres provoquent des chocs électriques, y compris au niveau de la prise secteur.
► Attendre 5 minutes après la mise hors tension avant d’intervenir sur le produit.
AVIS
Risque de perturbation électromagnétique
Tensions et courants induisent une multitude de champs électromagnétiques et des signaux parasites. Une installation non conforme aux règles CEM perturbe les autres équipements ou plus généralement l’environnement.
► Utiliser des liaisons et raccordements blindés pour les interfaces dans les environnements perturbateurs.
La pompe est un produit de classe A. Dans un environnement domestique, ce produit peut
provoquer des interférences radio. Dans ce cas, l'utilisateur doit prendre les mesures adéquates.
Sécurité électrique
Le moteur de la pompe est protégé contre les surcharges par la limitation de courant du variateur de
vitesse dans l'électronique (en cas de surcharge la vitesse diminue automatiquement).
Lorsqu'il existe un danger lié à un contact accidentel de liquide, de gaz ou d'éléments solides, il est nécessaire d'installer un circuit de verrouillage type arrêt d'urgence pour stopper l'alimentation de l'électronique.
► Ne pas neutraliser ces sécurités pendant l'installation, l'utilisation et la maintenance de la
pompe.
Lors d’un arrêt de la pompe sur défaut, l’alimentation électrique du variateur est coupée et la pompe est
en sécurité. Pour remettre la pompe en service, il faut :
► Attendre l'arrêt complet de la rotation de la pompe avant de couper l’alimentation électrique.
– Interrupteur secteur de l'unité de commande électronique sur O.
► Attendre environ 15 secondes.
32/58
Installation
► Supprimer l'origine du défaut.
► Rétablir l’alimentation électrique.
– Interrupteur secteur de l'unité de commande électronique sur I.
5.8.1
Protection de l'installation électrique du client
Protection par disjoncteur
Le réseau de puissance alimentant l’équipement doit être équipé d’un disjoncteur, courbe D suivant
IEC 60947-2, conforme à la législation locale et avoir un pouvoir de coupure en court-circuit d’une valeur minimum de 10 kA. Ce dispositif de protection sera placé de façon visible à une distance maximum
de 7 m du produit et identifié comme dispositif de coupure du produit.
Ce disjoncteur est de fourniture client : voir chapitre « Caractéristiques électriques » pour le calibre du
disjoncteur réseau.
Disjoncteur différentiel
Pour assurer la protection des personnes en cas de défaut d’isolation, il est indispensable d’installer un
disjoncteur différentiel (voir chapitre « Caractéristiques électriques »).
La pompe est un appareil de classe 1 : par conséquent, elle doit impérativement être raccordée à la
terre. L’installateur doit s'assurer que l’installation comporte un fil de terre correctement relié à la terre.
Mise à la terre
Lorsque nécessaire, l'installateur doit prévoir une double protection distincte de la protection en place.
Elle est constituée soit d'une tresse non isolée, soit d’un fil vert/jaune isolé de section minimum 3 mm2
(9AWG). L'impédance entre le corps de la pompe et le point de mise à la terre de l'installation doit être
< 0,1 Ohm à 25 A).
► Raccorder ce fil au moyen d’une vis M4 x 8 et une rondelle éventail sur le trou prévu à cet effet
sur la pompe repéré
, puis au point de mise à la terre de l’installation.
Absence d'arrêt d'urgence
La pompe n'est pas équipée d'un dispositif d'arrêt d'urgence EMS ni de verrouillage électrique. La pompe est conçue pour être intégrée dans un équipement possédant un dispositif
d'arrêt d'urgence.
● Ce dispositif d'arrêt d'urgence doit mettre la pompe hors tension lorsqu'il est activé.
Signalisation du fonctionnement en mode local
Aucune signalisation du fonctionnement en mode local n'est disponible sur la pompe.
● Prévoir un dispositif pour signaler le fonctionnement en mode local lorsque la pompe
n'est pas intégrée ni pilotée par l'équipement.
33/58
Utilisation
6 Utilisation
6.1
Précautions préalables à l'utilisation
AVERTISSEMENT
Risque d'empoisonnement en présence de gaz de procédés dans l'atmosphère
Le constructeur n’a pas la possibilité de contrôler le type de gaz utilisé avec la pompe. Les gaz de
procédés sont fréquemment toxiques, inflammables, corrosifs, explosifs ou réactifs. Il existe un risque d’accident grave voire mortel lorsque ces gaz s’échappent librement dans l’atmosphère.
► Appliquer les consignes de sécurité spécifiques, conformément à la législation locale. Ces informations sont disponibles auprès du service sécurité de l’exploitant.
► Raccorder impérativement le refoulement de la pompe turbomoléculaire à une pompe primaire compatible avec les gaz de procédés : le refoulement de la pompe primaire est raccordé au système d'échappement des gaz dangereux de l'installation.
► Vérifier régulièrement l’absence de fuites au niveau du raccordement de la pompe avec la canalisation d’échappement.
AVERTISSEMENT
Risque de choc électrique en cas de déconnexion électrique pendant la rotation de la pompe
La pompe turbomoléculaire et son unité de commande électronique ne peuvent pas être débranchées du réseau électrique avant l'arrêt complet de la rotation du rotor : l'ensemble pompe et électronique doivent être isolés du réseau électrique pour éviter tout choc électrique !
1. Stopper la rotation de la pompe en envoyant un ordre 'Stop' sur l'interface de commande.
2. Attendre l'arrêt complet de la rotation du rotor (plusieurs minutes).
3. Couper l'alimentation électrique du réseau au niveau de l'équipement.
4. Débrancher le câble secteur.
AVERTISSEMENT
Risques de coupures par contact avec des arêtes vives par la bride de vide élevé
L’accès aux pièces ‘coupantes’ est possible par la bride d’aspiration. Les arêtes des ailettes du rotor
et du stator des pompes turbomoléculaires sont très tranchantes.
► Attendre l'arrêt complet de la pompe avant d'intervenir sur le produit.
► Toujours maintenir le filtre pare-éclats dans le carter d’aspiration, il atténue le risque de blessures.
► Toujours porter des gants de protection conformément à la norme EN ISO 21420.
Le pompage de gaz pyrophoriques ou inflammables peut présenter des risques. L’utilisateur et/ou l’intégrateur du produit doit respecter les consignes de sécurité (voir chapitre « Consigne pour les matériaux
pyrophoriques/inflammable »). Avant chaque mise en service :
1. Vérifier que la fixation de la pompe a bien été réalisée dans le respect des consignes de sécurité
(voir chapitre « Conditions d'installation à l'équipement »).
2. Vérifier que l’aspiration de la pompe est bien raccordée à la ligne de pompage.
3. Mettre en service le circuit d’azote et le circuit d’eau.
4. Vérifier que les canalisations de refoulement ne sont pas bloquées et que toutes les vannes du
système d’extraction sont ouvertes.
5. Vérifier que les vannes sont bien raccordées et alimentées, y compris la vanne de purge (si présente).
La pompe turbomoléculaire fonctionne avec une unité de commande électronique type
OBC ou Magpower. Se référer au manuel utilisateur de l'électronique associée.
34/58
Utilisation
6.2
Démarrage de la pompe
6.2.1
Mise sous tension
► Positionner l'interrupteur secteur de l'unité de commande électronique sur I : l'électronique s'initialise.
6.2.2
Démarrage du pompage
Les étapes suivantes décrivent l’utilisation de la pompe quelle que soit l’interface de commande :
●
●
●
●
Utilisation via HHR.
Utilisation via télécommande REMOTE.
Utilisation via Liaison série RS-232/RS-485.
Utilisation via BUS DE TERRAIN.
Schéma de montage d'une installation de pompage
IN
V2
V4
V1
V3
N2
Exh.
V1 1)
V2
1)
V3 2)
V4
2)
Turbo
P
Vanne d'isolement vide primaire
N2
Entrée purge de gaz neutre
Vanne d'isolement vide élevé
Turbo
Pompe turbomoléculaire à paliers magnétiques
Electrovanne de purge (option)
P 1)
Pompe primaire
Electrovanne d'entrée d'air (accessoire)
1) La fourniture, l’alimentation et le pilotage de ces composants sont de la responsabilité du client.
2) Ces électrovannes sont pilotées via l'unité de commande électronique.
Procédure de démarrage du pompage
Conditions initiales :
Les vannes V1, V2, V3, V4 sont raccordées et pilotées par l’équipement ou l'unité de commande électronique.
L’enceinte ainsi que les canalisations sont à la pression atmosphérique, la pompe primaire est arrêtée,
les vannes sont fermées.
1. Mettre en service le circuit de refroidissement.
2. Envoyer un ordre ’Start’ à la pompe via l’interface de commande
– La pompe primaire démarre et les vannes V1 et V2 s’ouvrent.
– La pompe turbomoléculaire démarre pour atteindre la vitesse sélectionnée.
3. Selon l’application, ouvrir l’électrovanne de purge V3 (si installée et câblée).
Le pompage s'effectue jusqu'à atteindre la pression d'utilisation pour l'application du client.
6.2.3
Redémarrage après un arrêt d'urgence de l'équipement
L’arrêt d’urgence est géré par l’équipement dans lequel la pompe est intégrée. Après un arrêt d’urgence, pour redémarrer la pompe, il est nécessaire de :
1. S'assurer que la pompe est arrêtée (toutes les LED sont éteintes).
2. Attendre l'arrêt complet de la rotation du rotor.
3. Corriger le problème.
4. Déverrouiller le bouton d’arrêt d’urgence de l’équipement.
5. Démarrer la pompe en envoyant un ordre ‘Start’ à la pompe via l’interface de commande : la
pompe redémarre à la vitesse sélectionnée.
35/58
Utilisation
6.3
Arrêt de la pompe
6.3.1
Arrêt du pompage
AVIS
Risque d'endommager la pompe en générant un arc électrique
La pompe et son unité de commande électronique ne doivent pas être débranchées du réseau électrique avant l'arrêt complet de la rotation du rotor et tant que l'ensemble n'est pas isolé du réseau
électrique : un arc électrique est créé lors de l'interruption du circuit qui détériore les composants internes.
1. Stopper la rotation de la pompe en envoyant un ordre ‘Stop’ sur l'interface de commande.
2. Attendre l'arrêt complet de la rotation du rotor (plusieurs minutes).
3. Couper l'alimentation électrique du réseau au niveau de l'équipement.
4. Débrancher le câble secteur.
Procédure d'arrêt
Conditions initiales : les vannes V1, V2, V3, V4 sont raccordées et pilotées par l’équipement ou l'unité
de commande électronique, l’enceinte ainsi que les canalisations sont sous vide, la pompe primaire
fonctionne, la vanne de purge V3 est ouverte.
1. Fermer la vanne V2 pour isoler la pompe de l’enceinte à pomper.
2. Envoyer un ordre ‘Stop’ à la pompe via l’interface de commande.
– La pompe ralentit.
3. Activer l’électrovanne d’entrée d’air V4 (accessoire).
– L'électrovanne d'entrée d'air s'ouvre lorsque la vitesse est inférieure à 10000 min-1
4. Fermer la vanne V1 et la pompe primaire s’arrête.
5. Arrêter le circuit de refroidissement lorsque la pompe est à l'arrêt (plus de rotation du rotor).
6. Stopper la purge de gaz neutre.
AVIS
Rôle de la purge de gaz neutre
Lorsque la purge de gaz neutre s’arrête, les gaz de procédé peuvent rétrodiffuser et endommager les
paliers internes de la pompe.
► Maintenir la purge de gaz neutre tant que le rotor tourne pour prolonger le balayage.
► Faire débiter la purge sans excéder la valeur maximum de 1 · 103 à 1,5 · 103 hPa absolus.
AVIS
Rôle de l'électrovanne d'entrée d'air
L’électrovanne d’entrée d’air est calibrée pour remettre à la pression atmosphérique le volume interne de la pompe. Son efficacité à ralentir la pompe est améliorée lorsque des vannes d’isolement sont
installées à l’aspiration et au refoulement de la pompe.
► Si la pompe a été arrêtée par une entrée d’air brutale, limiter le nombre de redémarrage à
2 par heure.
► Si la pompe a été arrêtée sans entrée d’air, le nombre de redémarrage n’est pas limité.
► Nous consulter pour choisir l'électrovanne d'entrée d'air.
Arrêt sur coupure secteur
L'arrêt de la pompe par coupure secteur n'est pas un arrêt normal pour la pompe :
● Toujours envoyer un ordre 'Stop' via l'interface de commande et attendre la fin de la
rotation de la pompe avant d'intervenir.
Lorsqu’une coupure d’alimentation intervient, la suspension du rotor est assurée par l’énergie que délivre la force contre-électromotrice du moteur, ceci jusqu’à ce que la vitesse de rotation du rotor soit suffisamment basse pour qu’il se pose sur les roulements de secours sans dommage.
36/58
Utilisation
Si l’alimentation revient avant que la vitesse minimum soit atteinte, la pompe reprend alors sa vitesse
sans aucune perturbation. Le compteur des roulements de secours ne se décrémente pas.
Dans le cas où la vitesse minimum est atteinte avant que l’alimentation secteur ne soit revenue :
● la pompe atterrit sur ses roulements de secours,
● l’unité de commande électronique s’éteint, aucun voyant n’est éclairé,
● le compteur des roulements de secours se décrémente.
Reprendre ensuite la procédure de démarrage normal après le retour du courant d’alimentation secteur.
6.3.2
Mise hors tension
1. Mettre la pompe hors tension en positionnant l'interrupteur secteur de l'unité de commande
sur O :
– Toutes les LED de l'unité de commande électronique sont éteintes.
– Attendre l'arrêt complet du rotor.
2. Débrancher le câble d'alimentation secteur de l'unité de commande électronique.
6.3.3
Arrêt prolongé
Dans le cas d’un arrêt prolongé de la pompe, appliquer la procédure de mise hors service (voir chapitre
« Immobilisation prolongée »).
6.4
Surveillance du fonctionnement
Les messages défauts sont listés dans le manuel utilisateur de l'unité de commande électronique associée au chapitre « Dysfonctionnements ».
37/58
Maintenance
7 Maintenance
7.1
Consignes de sécurité pour la maintenance
DANGER
Risque pour la santé lié aux traces résiduelles de gaz de procédés à l'intérieur de la pompe
Les gaz de procédés sont toxiques et dangereux pour la santé. Ils peuvent entraîner l’empoisonnement ou la mort. Aussi, avant de déconnecter la pompe, il convient d’éliminer un maximum de traces
résiduelles de gaz de procédés.
► Effectuer obligatoirement un balayage de l’équipement (installation de pompage) avec un
flux d'azote pendant 30 minutes : la pression et le débit d'azote doivent être identiques aux
valeurs programmées pour le procédé.
DANGER
Risque d'empoisonnement par contact avec des substances toxiques et sous-produits générés par le procédé
La pompe à vide, les composants de la ligne de pompage, les fluides d'exploitation sont contaminés par des substances toxiques, corrosives, réactives ou radioactives liées au procédé. Tout contact avec les pièces contaminées ou les sous-produits générés par le procédé présente un risque
d’empoisonnement pour la santé.
► Porter les équipements de protection appropriés lors de la déconnexion pour maintenance de la
pompe, ainsi que pour le remplissage ou la vidange du fluide d’exploitation.
► Bien aérer le local ou effectuer la maintenance sous hotte ventilée.
► Ne pas jeter les sous-produits/résidus au réseau usuel : faire appel à un organisme compétent
pour leur destruction si nécessaire.
► Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air (obturateurs livrés avec
le produit et disponibles en accessoires).
AVERTISSEMENT
Risques de coupures par contact avec des arêtes vives par la bride de vide élevé
L’accès aux pièces ‘coupantes’ est possible par la bride d’aspiration. Les arêtes des ailettes du rotor
et du stator des pompes turbomoléculaires sont très tranchantes.
► Attendre l'arrêt complet de la pompe avant d'intervenir sur le produit.
► Toujours maintenir le filtre pare-éclats dans le carter d’aspiration, il atténue le risque de blessures.
► Toujours porter des gants de protection conformément à la norme EN ISO 21420.
AVERTISSEMENT
Risque d'électrocution par contact lors de l'entretien ou la maintenance
Il y a un risque de choc électrique par contact avec un produit sous tension et non isolé électriquement.
► Avant toute intervention, placer l’interrupteur principal sur O.
► Débrancher le câble secteur du réseau électrique.
► Sécuriser correctement l’installation en repérant et condamnant le circuit de puissance pour éviter tout ré-enclenchement non intentionnel (LO/TO procédure de consignation/déconsignation).
AVERTISSEMENT
Risque de brûlure par contact avec des surfaces chaudes
La température des pièces reste élevée même après l’arrêt de la pompe. Il y a risque de brûlure par
contact avec les surfaces chaudes, en particulier au niveau du refoulement de la pompe.
► Attendre le refroidissement complet avant d’intervenir sur le produit.
► Porter des gants de protection conformément à la norme EN ISO 21420.
38/58
Maintenance
AVERTISSEMENT
Risque d'intoxication en cas de fuites de gaz de procédés
Lors de la déconnexion/connexion de composants dans la ligne de pompage (pompe, canalisations,
vannes....) pour maintenance, l'étanchéité de l'installation est rompue : il y a un risque potentiel de
fuites de gaz de procédés.
► Pendant le démontage, toujours protéger les surfaces des brides d'aspiration et de refoulement.
► Après remontage, effectuer un test d'étanchéité sur l'ensemble de la ligne de pompage.
AVIS
Risque d'endommager la pompe en générant un arc électrique
La pompe et son unité de commande électronique ne doivent pas être débranchées du réseau électrique avant l'arrêt complet de la rotation du rotor et tant que l'ensemble n'est pas isolé du réseau
électrique : un arc électrique est créé lors de l'interruption du circuit qui détériore les composants internes.
1. Stopper la rotation de la pompe en envoyant un ordre ‘Stop’ sur l'interface de commande.
2. Attendre l'arrêt complet de la rotation du rotor (plusieurs minutes).
3. Couper l'alimentation électrique du réseau au niveau de l'équipement.
4. Débrancher le câble secteur.
Recommandations générales pour la maintenance
● S’assurer que le technicien de maintenance est formé aux règles de sécurité qui concernent les
gaz pompés.
● Débrancher le câble secteur du produit de toute source d’énergie avant d’intervenir sur le produit.
● Attendre 5 minutes après la mise hors tension avant d’intervenir sur les composants électriques.
● Attendre le refroidissement complet avant d'intervenir sur le produit.
● Les circuits pressurisés - azote et eau - sont des risques énergétiques potentiels : toujours verrouiller ces circuits (LO/TO procédure de consignation/déconsignation) avant d'intervenir sur le
produit.
● Fixer les câbles électriques, les canalisations de pompage : les acheminer dans des goulottes
pour éviter les chutes.
● Collecter les résidus de procédés et faire appel à un organisme compétent pour leur destruction.
● Toujours protéger les surfaces des brides d’aspiration et de refoulement.
7.2
Intervalles de maintenance
Par conception, la pompe ne comporte pas de pièces d’usure et ne nécessite pas de maintenance préventive. Cependant, les roulements de secours utilisés pour protéger la pompe lors d’entrées d’air
brutales, de chocs ou de coupures secteur accidentelles doivent être changés lorsque l’électronique le
signale : le pourcentage du temps d’atterrissage déduit dépend du nombre et du type d’incidents.
Le seuil d’alerte pour signaler la maintenance des roulements à l’opérateur est paramétrable via l’interface de commande qui pilote la pompe (HHR, liaison série, ou bus de terrain). Un compteur permet
d’afficher le niveau d’usure des roulements afin de prévoir la maintenance des roulements de secours.
Roulements de secours
Les roulements de secours sont conçus pour résister à des atterrissages anormaux à pleine vitesse.
L’usure des roulements est gérée par l’électronique qui prend en compte la vitesse de rotation et la durée de l’atterrissage. Le pourcentage initial est de 100 %. Lorsque cette valeur atteint le seuil d’alerte
réglé, une alerte se déclenche : les roulements de secours doivent impérativement être remplacés. Si
d’autres atterrissages se produisent, le compteur continue de décroître jusqu’à 0 %. Ces roulements
doivent être remplacés par un centre de service Pfeiffer Vacuum.
Rotor de la pompe
La durée de vie du rotor de la pompe varie suivant les conditions de fonctionnement et les applications.
Pour garantir les meilleures performances, au-delà de 5 ans de fonctionnement, contrôler l’état du
rotor. Nous consulter.
39/58
Maintenance
Comment nous contacter ?
La révision du produit doit être réalisée par du personnel formé par le constructeur. Contacter notre centre de service le plus proche à l'adresse suivante : service.fr@pfeiffer-vacuum.com.
7.3
Entretien sur site
La pompe ne nécessite aucune maintenance sur le site client excepté l’entretien courant décrit dans ce
manuel. Toute autre maintenance doit être réalisée par notre centre de service.
► Nettoyer les faces externes du produit à l’aide d’un chiffon propre non pelucheux et d’un produit
ne détériorant pas les surfaces sérigraphiées et les étiquettes autocollantes.
► Vérifier que la canalisation de refoulement n'est pas obstruée.
► Vérifier l’état du filtre pare-éclats, le nettoyer ou le remplacer.
► Remplacer le filtre à poussières sur l’électrovanne de purge s’il est obstrué (si vanne présente).
► Procéder au remplacement des bobines d'électrovannes si celles-ci sont défectueuses.
Maintenance du filtre pare-éclats
La pompe est livrée avec un filtre pare-éclats installé dans la bride du carter d'aspiration de la pompe.
Ce filtre protège la pompe contre l’introduction les corps étrangers provenant des enceintes. Lorsqu’il
est pollué ou endommagé, il doit être remplacé.
Pompes avec filtre pare-éclats clipsé
IN
1
2
3
1
2
Clips
Filtre pare-éclats
3
Carter d'aspiration
Pour le remontage respecter les instructions suivantes :
1. Positionner le filtre pare-éclats dans la gorge du carter d’aspiration, côté bombé orienté vers
l’enceinte à pomper.
2. Positionner le clips et le presser manuellement au fond de sa gorge sur toute la circonférence.
7.4
Procédure d'échange par un produit de remplacement
Pour procéder à un échange standard, il est nécessaire de respecter la chronologie des étapes suivantes :
1. Déconnexion de la pompe de l’installation.
2. Vidange du circuit d’eau.
3. Conditionnement de la pompe pour expédition.
4. Déclaration de contamination.
5. Manutention de la nouvelle pompe (voir chapitre « Manutention de la pompe »).
6. Mise en place d’une nouvelle pompe (voir chapitre « Installation»).
Pour tout retour d’un produit vers nos centres de service, prendre connaissance de la procédure de demande de Service et remplir la déclaration de contamination (voir chapitre « Solutions de service de
Pfeiffer Vacuum », page 45).
40/58
Maintenance
7.4.1
Déconnexion de la pompe de l'installation
Rappel des risques et mesures de sécurité
● Observer les consignes de sécurité pour la maintenance.
● Appliquer les consignes de sécurité spécifiques conformément à la législation locale :
ces informations sont disponibles auprès du service de sécurité du client.
Procédure de déconnexion
1. Arrêter la pompe en envoyant un ordre 'Stop' (voir chapitre « Arrêt du pompage »).
2. Mettre la pompe hors tension en positionnant l'interrupteur secteur de l'unité de commande électronique sur O.
3. Déclencher le disjoncteur réseau de l’installation client.
4. Déconnecter le câble secteur au niveau du connecteur électrique.
5. Déconnecter tous les connecteurs au niveau de l'interface de commande.
6. Déconnecter l’alimentation d’azote.
7. Déconnecter le raccord WATER IN puis le raccord WATER OUT.
8. Désolidariser la pompe au niveau de la bride de vide élevé et obturer l’orifice d’aspiration avec les
accessoires de raccordement étanches à l'air (accessoires).
9. Désolidariser le refoulement de la pompe et obturer l’orifice de refoulement avec les accessoires
de raccordement étanches à l'air (accessoires).
10. Mettre en place les dispositifs de manutention (voir chapitre« Manutention de la pompe »).
11. Déconnecter la pompe de l'installation.
7.4.2
Vidange du circuit d'eau
L'eau doit être évacuée de la pompe pour éviter le gel dans les canalisations pendant le transport. Pour
cela le client doit prévoir des tuyaux flexibles et des raccords ainsi qu'un circuit d'air comprimé (pression
de 2 à 5 ·103 hPa).
AIR PRESSURE
1
2
3
1 Tuyau d'arrivée air comprimé
2 Tuyau de vidange
3
Récipient (capacité > 1 litre)
Procédure de vidange du circuit d'eau
1. Placer un récipient en dessous des raccords.
2. Déconnecter le circuit de refroidissement au niveau des raccords WATER IN et WATER OUT.
3. Raccorder un tuyau de vidange sur l'un des raccords.
4. Raccorder le circuit d’air comprimé sur l'autre raccord.
5. Injecter de l’air comprimé jusqu’à ce que toute l’eau soit évacuée.
7.4.3
Conditionnement de la pompe pour expédition
Les pompes qui doivent être expédiées seront grossièrement décontaminées puis pressurisées à l’azote.
Pour décontaminer et pressuriser la pompe, il est nécessaire de disposer d’une alimentation en azote
ayant les caractéristiques requises (voir chapitre « Caractéristiques de l'azote »). De même, il est recommandé de disposer des accessoires de raccordement qui permettent de fermer la pompe de manière étanche (accessoires).
41/58
Maintenance
Balayage général
1. Installer l'obturateur équipé de l'injecteur sur le raccord Purge.
2. Raccorder l'azote sur le raccord gaz prévu à cet effet.
3. Réaliser un balayage à l’azote en injectant une pression relative
de 120 à 150 hPa pendant 30 minutes.
4. Stopper le flux d’azote.
N2
30’
N2
Balayage purge/aspiration
1. Installer l'obturateur sur l'embout de refoulement Pump exhaust et
fermer de manière étanche.
2. Réaliser un balayage à l’azote en injectant une pression relative de
120 à 150 hPa pendant 10 minutes.
3. Stopper le flux d’azote.
N2
10’
N2
Pressurisation de la pompe
1. Obturer l’aspiration avec les accessoires et fermer de manière étanche.
2. Pressuriser la pompe en azote à une pression relative de 120 hPa.
3. Stopper le flux d’azote.
N2
Etiquetage de la pompe
1. Coller cette étiquette sur le produit pour
informer que la pompe a fonctionné sur
des produits dangereux.
2. Remplir la déclaration de contamination
et la joindre au produit (voir chapitre « Solutions de service »).
42/58
Exposure may result in severe injury or death.
Preventive maintenance must be done by trained
personnel only.
Mise hors service
8 Mise hors service
8.1
Immobilisation prolongée
AVIS
Accumulation de gaz de procédés sur un équipement à l'arrêt
Toutes les pompes de procédé sont conçues pour fonctionner en continu sur des applications de
pompage de gaz de procédés et ne doivent pas être arrêtées. Pfeiffer Vacuum décline toute garantie
et responsabilité lorsqu’une pompe de procédé est arrêtée pour une durée prolongée pouvant provoquer la condensation des sous-produits, le dépôt de poudres et la corrosion à l’intérieur de la pompe.
► Réaliser une révision du produit avant de le remettre en service. Contacter Pfeiffer Vacuum.
Après utilisation sur applications propres
1. Effectuer un balayage de l’installation avec un flux d'azote durant 30 minutes. La pression et le
débit d'azote doivent être identiques aux valeurs programmées pour le procédé.
2. Vidanger le circuit d’eau.
3. Déconnecter la pompe de l’installation.
4. Obturer l’aspiration, le refoulement et l’orifice de purge avec les accessoires fournis.
5. Stocker la pompe dans un environnement propre, sec et non pollué, pour une durée maximale de
6 mois en respectant les températures de stockage.
Après utilisation sur applications agressives
► Ne jamais stocker une pompe qui a été utilisée sur des applications agressives !!.
Procéder à un échange standard (voir chapitre « Procédure d'échange par un produit de remplacement ») et retourner le produit auprès du centre de service (voir chapitre « Solutions de service
de Pfeiffer Vacuum », page 45).
8.2
Remise en service
Pour remettre en service la pompe après un arrêt prolongé, procéder à l’installation complète de la
pompe (voir chapitre « Installation », page 20).
8.3
Mise au rebut
Conformément à la Directive concernant le traitement des déchets des équipements électriques et électroniques (DEEE), et à la Directive relative à la restriction des matières dangereuses (RoHS), les produits en fin de vie seront retournés au constructeur pour décontamination et valorisation.
Toute obligation du constructeur de récupérer de tels équipements s’applique uniquement à des équipements complets, non modifiés, utilisant des pièces détachées d’origine Pfeiffer Vacuum SAS, vendues par Pfeiffer Vacuum et incluant tous leurs ensembles et sous-ensembles.
Cette obligation ne comprend pas les frais de transport du produit vers un centre de retraitement, ni la
prestation de service qui sera facturée au client.
Pour tout retour d’un produit vers nos centres de service, prendre connaissance de la procédure de demande de Service et remplir la déclaration de contamination (voir chapitre « Solutions de service de
Pfeiffer Vacuum », page 45).
Protection de l'environnement
La mise au rebut du produit ou de ses composants doit être réalisée conformément aux
réglementations en vigueur pour ce qui concerne la protection de l’environnement et
la santé des personnes, ceci afin de réduire le gaspillage des ressources naturelles et
prévenir de la pollution.
Nos produits contiennent différents matériaux qui doivent être recyclés : acier, acier inoxydable, laiton,
aluminium, nickel, cuivre, élastomères fluorés, PFPE, FEP, des cartes électroniques. Prendre des précautions particulières pour :
43/58
Mise hors service
● les élastomères fluorés qui peuvent se décomposer s’ils ont été soumis à de hautes températures,
● les composants en contact avec les produits résultant de procédés qui ont pu être contaminés.
44/58
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
9 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
Nous offrons un service de première classe
Une longue durée de vie des composants du vide, associée à des temps d’arrêt réduits, sont ce que
vous attendez clairement de nous. Nous répondons à vos besoins par des produits efficaces et un service d’exception.
Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux
composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit
Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien
évidemment.
Nos ingénieurs commerciaux et techniciens de service professionnels sont à votre disposition pour
vous assurer un soutien pratique dans le monde entier. Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de
services, allant des pièces de rechange d’origine aux accords de service.
Profitez du service Pfeiffer Vacuum
Qu'il s’agisse du service préventif sur place de notre service sur site, du remplacement rapide par des
produits de rechange comme neufs ou de la réparation dans un centre de service proche de chez
vous ; vous disposez d'une variété d’options pour maintenir la disponibilité de votre équipement. Vous
trouverez des informations détaillées ainsi que les adresses sur notre site web dans la section Pfeiffer Vacuum Service.
Des conseils sur la solution optimale sont disponibles auprès de votre interlocuteur Pfeiffer Vacuum.
Pour un déroulement rapide et efficace de la procédure de service, nous recommandons de suivre les étapes suivantes :
1. Télécharger les modèles de formulaire actuels.
─ Déclaration de demande de service
─ Demande de service
─ Déclaration de contamination
a) Démonter tous les accessoires et les conserver (toutes les pièces externes
montées telles que la vanne, le filtre d’arrivée, etc.).
b) Vidanger le fluide d'exploitation / lubrifiant si nécessaire.
c) Vidanger le fluide de refroidissement si nécessaire.
2. Remplir la demande de service et la déclaration de contamination.
ANFORDERUNG SERVICE
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
3. Envoyer les formulaires par e-mail, fax ou par courrier à votre centre de service local.
4. Vous recevrez une réponse de Pfeiffer Vacuum.
Envoi de produits contaminés
Aucune unité ne sera acceptée si elle est contaminée par des substances micro-biologiques, explosives
ou radioactives. Si les produits sont contaminés ou si la déclaration de contamination est manquante,
Pfeiffer Vacuum contactera le client avant de démarrer la maintenance. Par ailleurs, selon le produit et
le niveau de contamination, des frais de décontamination supplémentaires peuvent être facturés.
45/58
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails contenus dans la déclaration de contamination.
a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec.
b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air.
c) Sceller le produit dans un film de protection approprié.
d) Emballer le produit dans des conteneurs de transport stables appropriés uniquement.
e) Respecter les conditions de transport en vigueur.
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
6. Joindre la déclaration de contamination sur l’extérieur de l’emballage.
7. Envoyer ensuite le produit à votre centre de service local.
8. Vous recevrez un message de confirmation / un devis de la part de
Pfeiffer Vacuum.
Pour toutes les demandes de service, nos Conditions générales de vente et de livraison ainsi que nos
Conditions générales de réparation et de maintenance sont appliquées aux équipements et composants du vide.
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Accessoires
10
Accessoires
Accessoire
Fonction
Description
Dimension
Vanne d'isolement
Cette vanne s’utilise pour maintenir le
vide dans la pompe et l’isoler de la ligne de pompage.
Vanne manuelle
voir catalogue constructeur
Réf.
Filtre pareéclats
Ce filtre protège la pompe contre l’aspiration de particules solides. Il s’intègre dans le carter d’aspiration.
Filtre bombé en inox + clip
percé (maille 8 mm)
DN 250 ISO-F
121472
Filtre bombé en inox + clip
percé (maille 8 mm)
DN 320 ISO-F
112131
Lot visserie
pour fixation
pompe
Ce lot comprend les accessoires de fixation de la pompe sur l'équipement
par la bride d’aspiration de la pompe.
Lot 12 vis CHc M10 x 35
DN 250 ISO-F
110676S
Lot 24 vis CHc M12 x 45
DN 320 ISO-F
113189
Lot pressurisation de la
pompe
Ce lot comprend :
● le lot de pressurisation purge
● le lot de fermeture pour aspiration pompe
● les accessoires de fermeture pour le refoulement de la pompe
DN 250 ISO-F
108498
Lot pressurisation purge
Pour orifice de purge, obturateur équipé d'un raccord gaz 1/8" BSPT
et d'un injecteur 4x6 mm.
DN 16-ISO-KF
A458805
Injecteur 4x6 mm
DN 16-ISO-KF
106859
Obturateur
DN 16-ISO-KF
1/8 BSPT
A458808
Raccord droit MF
1/8" BSPT
082981
Lot de fermeture pour aspiration pompe
Ce lot comprend
● un obturateur de transport, un joint torique, la visserie pour fixation sur la bride d'aspiration
● 2 anneaux de levage
DN 250 ISO-F
108497
DN 320 ISO-F
114503
Accessoires
de fermeture
Pour le refoulement de la pompe.
Anneau de centrage avec
joint torique
DN 40 ISO-KF
122ZRG040
Collier de serrage
DN 40 ISO-KF
120BSR040
Obturateur
DN 40 ISO-KF
120FBL040
Anneau de centrage avec
joint torique
DN 16 ISO-KF
122ZRG016
Collier de serrage
DN 16 ISO-KF
120BSR016
Pour la purge
Raccord
1/4 VCR 1/8 NPT
108500
Réducteur
de flux
Cet accessoire permet de réduire le
flux de gaz de purge à 50 sccm pour
certaines applications.
Réducteur
DN16 ISO-KF
066752S
Electrovanne
d'entrée d'air
L'électrovanne d'entrée d'air s'utilise
pour ralentir la pompe. Elle ne s'ouvre
que pour une vitesse de rotation
< à 10000 min-1.
24 V DC (NF)
11 slm
114280
Electrovanne
de purge
L'électrovanne de purge s'utilise pour
protéger la pivoterie de la rétrodiffusion des gaz de process du client.
24 V DC (NF)
50 sccm
111921S
Vanne d'eau
Cette vanne raccorde le circuit d'arrivée d'eau au circuit de refroidissement.
24 V DC (NF)
1/8 NPT
108668
Câble
Câble de l'électrovanne vanne d’entrée d’air et de purge pour pompe
raccordée à l'unité de commande électronique (type Magpower).
1m
A462403-010
3,5 m
A462403-035
5m
A462403-050
10 m
A462403-100
20 m
A462403-200
Obturateurs, griffes de serrage, colliers de serrage, voir catalogue des accessoires de raccordement sur le site pfeiffervacuum.com. Choisir les matériaux adaptés à l'application.
47/58
Pièces de rechange
11
48/58
Pièces de rechange
Désignation
Réf.
Remarques
Bobine 24 VDC
038066
sur électrovannes de purge et d’entrée d’air
Bobine 24 VDC
108667
sur vanne d'eau
Filtre à poussières
106229
sur électrovannes de purge et d’entrée d’air
Caractéristiques techniques et dimensions
12
Caractéristiques techniques et dimensions
12.1
Généralités
Bases des caractéristiques techniques des pompes turbomoléculaires de Pfeiffer Vacuum :
► Valeurs prédéfinies selon le comité PNEUROP PN5.
► ISO 21360; 2007 : « Technique du vide - Procédé standard pour la mesure des données de puissance de pompes à vide - Description générale ».
► Pression limite : avec dôme de test et après 48 h d'étuvage.
► Débit de gaz : avec refroidissement à l'eau.
► Consommation d'eau froide : avec débit de gaz max., température de l'eau à 20 °C.
► Niveau de pression acoustique : distance par rapport à la pompe : 1 m.
► Caractéristiques mesurées sans filtre pare-éclats à l’aspiration de la pompe.
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr | mm Hg
1
0,1
0,75
1 · 10
1,000
100
mbar
1
1 · 10
bar
1,000
1
100
Pa
0,01
1 · 10
1
0,01
1 · 10
7.5 · 10-3
hPa
1
1 · 10-3
100
1
0,1
0,75
kPa
10
0,01
1,000
10
1
7,5
Torr | mm Hg
1,33
133,32
1,33
0,133
1
-3
5
-5
-3
1,33 · 10
750
-3
1 Pa = 1 N/m2
Tab. 3:
Tableau de conversion : unités de pression
mbar l/s
Pa m3/s
sccm
Torr l/s
atm cm3/s
mbar l/s
1
0,1
59,2
0,75
0,987
Pa m3/s
10
1
592
7,5
sccm
Torr l/s
3
atm cm /s
Tab. 4:
9,87
1.69 · 10
1.69 · 10
1
1,27 · 10
1.67 · 10-2
1,33
0,133
78,9
1
1,32
1,01
0,101
59,8
0,76
1
-2
-3
-2
Tableau de conversion : unités de débit de gaz
12.2 Caractéristiques techniques
Caractéristique
ATH 2800 M
ATH 2800 MT
ATH 3200 M
ATH 3200 MT
Bride (aspiration)
DN 250 ISO-F
Bride (refoulement) 1)
DN 40 ISO-KF / DN 50 ISO-KF (option)
Embout de purge 1)
DN 16 ISO-KF
Vitesse de
pompage
N2
2150 l/s
2050 l/s
2700 l/s
2600 l/s
Ar
2100 l/s
2000 l/s
2500 l/s
2400 l/s
He
2200 l/s
2150 l/s
2400 l/s
2350 l/s
H2
1750 l/s
1700 l/s
1800 l/s
1750 l/s
5 · 10
> 1 · 10
8
> 1 · 108
1,7 · 108
> 1 · 108
> 1 · 108
Taux de compression
N2
5 · 10
Ar
1,7 · 108
7
DN 320 ISO-F
7
He
4 · 10
3
4 · 10
3
> 3 · 10
4
> 3 · 104
H2
5 · 102
5 · 102
> 1 · 103
> 1 · 103
49/58
Caractéristiques techniques et dimensions
Caractéristique
Flux maximum
avec débit
d'eau 60 l/h 2)
ATH 2800 M
ATH 2800 MT
ATH 3200 M
ATH 3200 MT
N2
5000 sccm
1000 sccm
5000 sccm
1000 sccm
Ar
2200 sccm
700 sccm
2200 sccm
700 sccm
He
> 5000 sccm
> 1000 sccm
> 5000 sccm
> 1000 sccm
H2
> 5000 sccm
> 1000 sccm
> 5000 sccm
> 1000 sccm
Pression maximale à l'aspiration 2)
N2
2,1 hPa
2,1 hPa
2,1 hPa
2,1 hPa
Ar
2,8 hPa
2,8 hPa
2,8 hPa
2,8 hPa
Pression maximum au refoulement 3)
N2
2,1 hPa
2,1 hPa
2,1 hPa
2,1 hPa
Ar
2,8 hPa
2,8 hPa
2,8 hPa
2,8 hPa
He
1,3 hPa
1,3 hPa
1,3 hPa
1,3 hPa
H2
0,4 hPa
0,4 hPa
0,4 hPa
0,4 hPa
< 6 · 10-9 hPa
-
< 6 · 10-9 hPa
Pression limite 4)
-
Vitesse de rotation nominale
25000 min
417 Hz
Vitesse de stand-by
15000–25000 min-1
250–417 Hz
15000–25000 min-1
250–417 Hz
15000–25000 min-1
250–417 Hz
15000–25000 min-1
250–417 Hz
Température maximum
d'étuvage
-
75 °C
-
75 °C
Taux de fuites
< 5 · 10-8 hPa·l/s
< 5 · 10-8 hPa·l/s
< 5 · 10-8 hPa·l/s
< 5 · 10-8 hPa·l/s
50 sccm
50 sccm
50 sccm
50 sccm
Courant de fuites maximum
< 12 mA
< 12 mA
< 12 mA
< 12 mA
Puissance apparente au démarrage 7)
< 1800 VA
< 2100 VA
< 1800 VA
< 2100 VA
Temps de démarrage 7)
< 10 mm
< 10 mm
< 10 mm
< 10 mm
Puissance au démarrage
< 1100 W
< 1500 W
< 1100 W
< 1500 W
Puissance consommée à
pression limite
< 130 W
< 520 W
< 130 W
< 520 W
Puissance à vitesse standby minimum
< 100 W
< 500 W
< 100 W
< 500 W
Niveau de vibration (à vitesse nominale)
< 0,01 µm
< 0,01 µm
< 0,01 µm
< 0,01 µm
Niveau sonore
< 45 dB (A)
< 45 dB (A)
< 45 dB (A)
< 45 dB (A)
Débit de purge
Tension d'alimentation
-1
25000 min
417 Hz
Unité de commande électronique
25000 min
417 Hz
-1
25000 min-1
417 Hz
200-240 V AC 50/60 Hz
5)
6)
-1
Magpower
1) Les produits qui présentent des spécificités client peuvent avoir des caractéristiques différentes.
2) Avec une pression de refoulement < 0,4 hPa, dépend des conditions externes (température, débit d’eau, température
ambiante). Pour d’autres conditions, nous consulter.
3) Débit maximum réduit, pression limite au refoulement sans perte de vitesse du débit. Dépend des conditions environnementales.
4) Avec bride ISO-F (meilleure avec bride CF-F). Nous consulter.
5) Conformément aux réglementations CE, les pompes peuvent supporter une variation de tension de ± 10 %.
6) Valeur pour la pompe et l’électronique déportée de la pompe. Tout le courant de fuite ne passe pas nécessairement par
le fil de terre, cela dépend de la façon dont la pompe est raccordée à la terre via l’équipement dans lequel elle est intégrée.
7) Accélération jusqu'à 90 % de la vitesse de rotation nominale, avec pression au refoulement < 0,1 hPa. La valeur dépend de l'unité de commande électronique. Valeur donnée avec le contrôleur Magpower.
50/58
Caractéristiques techniques et dimensions
12.3 Caractéristiques environnementales
Caractéristiques
ATH 2800 M
Utilisation
intérieur
Altitude
jusqu’à 2000 m
Indice de protection de la
pompe
IP 42
Température ambiante de
fonctionnement 1)
15 – 40 °C
Température de stockage
-5 – +50 °C
Humidité relative maximale
80 % max. avec T ≤ 31 °C, à 50 % max. avec T ≤ 40 °C
Degré de pollution
niveau 2
Protection contre les surtensions transitoires 3)
Catégorie II
2)
ATH 2800 MT
ATH 3200 M
ATH 3200 MT
15 – 25 °C
15 – 40 °C
15 – 25 °C
1)
Pas applicable pour la version de refroidissement d’air.
Humidité relative max. de 80 % pour des températures allant jusqu’à 31 °C avec une décroissance linéaire jusqu’à 50 %
d’humidité relative à 40 °C.
3)
Surtensions transitoires jusqu’aux niveaux de la catégorie de surtension II. Surtensions temporaires survenant sur le réseau d’alimentation.
2)
Tab. 5:
Caractéristiques environnementales
12.4 Caractéristiques de l'eau de refroidissement
Les caractéristiques ci-dessous concernent uniquement la pompe turbomoléculaire à paliers magnétiques. Celle-ci est associée à une pompe primaire. Pour le bon fonctionnement de l’application :
► Veiller à respecter les caractéristiques les plus restrictives pour l’installation.
► Veiller à ce que l’eau en provenance de l’équipement ne gèle pas.
pH
5,5 à 9
Chlorure 1)
100 à 20 ppm selon le pH
Dureté
< 35 °fH (degré français)
< 7 milli-équivalent/L
< 350 mg/L de CaCO3 (carbonate de calcium)
Résidus à sec
< 100 mg/L
Indice de Langelier LSI = pH - pHs
< 0 à 20 °C
Taille des particules
< 0,2 mm
Chlorure (ppm)
100
50
40
20
Résistivité
pH
0
5
6
7
8
9
Température d’entrée
R > 1 500 Ω·cm
2)
10
15-35 °C (version M)
15-25 °C (version MT)
Pression d’entrée relative
< 6·103 hPa
Différence de pression entrée/sortie
selon débit
Débit
> 60 l/h
1) L’activité oxydante du chlore dépend du pH (agressivité de l’eau). La teneur en chlorures doit être située dans la zone
colorisée du graphique.
2) Selon les conditions d’utilisation, nous contacter.
Tab. 6:
Caractéristiques de l'eau de refroidissement
51/58
Caractéristiques techniques et dimensions
12.5 Caractéristiques de l'azote
Concentration H2O
< 10 ppm v
Concentration O2
< 5 ppm v
Poussière
< 1 µm
Huile
< 0,1 ppm v
Pression absolue
1 · 103 à 1,5 · 103 hPa
Tab. 7:
12.6
Caractéristiques de l'azote
Caractéristiques électriques
Caractéristiques du moteur triphasé
ATH 2800 M/MT
ATH 3200 M/MT
Tension entre phases
Fréquence d'alimentation
Courant par phase
35 Vrms
834 Hz
17,5 A
35 Vrms
834 Hz
17,5 A
Tab. 8:
Caractéristiques électriques de la pompe
Pouvoir de coupure en court-circuit du sectionneur
10 kA
Calibre disjoncteur réseau client
16 A (pour tension 200-240 V 50/60 Hz)
Disjoncteur différentiel GFI (ou RCD) type B compatible réseau
électrique type T.T) 1)
30 mA
1)
pour un réseau de type T.N ou I.T, appliquer une protection adéquate
Tab. 9:
Caractéristiques électriques du réseau client
12.7 Dimensions et poids
J2
K
60
J1
Ø2
1/4 NPT
182
IN
ØD
24°
NW16 ISO - KF
Fig. 9:
52/58
Dimensions ATH 2800 M
Exh.
Caractéristiques techniques et dimensions
L
A°
30
°
M
I
45°
°
°
73
o
Exh.
DN40 ISO - KF
E
°
203,5
24
°
40
H
55
48,2°
IN
6
Ø367
14
ØD
8
32°
56°
16
30
°
CG
N
g
129,5
°
30
Fig. 10:
N
Dimensions ATH 2800 MT
Centre de gravité
Trous Ø d2 équidistants Ø d1
g
o
Trous taraudés M16 Ø 215mm
Connecteur de la ceinture chauffante
Dimensions ATH 2800 M/MT (mm)
Bride aspiration
E
H
I
J1
J2
K
L
M
D
d1
d2
N
A*
CG
DN 250
ISO-F
16
292,9
376,3
351
398
389,2
408,6
389,9
335
310
11
12
15
206,3
* en degré
ATH 2800 M
Poids (kg)
ATH 2800 MT
Poids (kg)
85
85
Ø2
60
J2
K
J1
NW16 ISO - KF
24°
1/4 NPT
182
Exh.
129,5
ØD
IN
Fig. 11:
Dimensions ATH 3200 M
53/58
Caractéristiques techniques et dimensions
A°
H
4 5°
55°
48,2°
E
4 0°
L
M
I
o
Exh.
DN40 ISO - KF
IN
Ø367
6
CG
30
°
56°
14
ØD
8
32°
16
13 1
203,5
73
°
g
30
N
Fig. 12:
N
°
Dimensions ATH 3200 MT
Centre de gravité
Trous Ø d2 équidistants Ø d1
g
o
Trous taraudés M16 Ø 215mm
Connecteur de la ceinture chauffante
Dimensions ATH 3200 M/MT (mm)
Bride aspiration
E
H
I
J1
J2
o
L
M
D
d1
d2
N
A*
CG
DN 320
ISO-F
20
235,7
319,1
293,8
340,4
325,7
351,4
332,7
425
395
13,5
12
15
152,9
* en degré
ATH 3200 M
Poids (kg)
ATH 3200 MT
Poids (kg)
82
82
22
32
65.5
2
83.8
30
1/8 NPT
1
Fig. 13:
Dimensions Electrovanne de purge
1 Raccordement sur pompe
54/58
2
Rotation possible
Caractéristiques techniques et dimensions
DN 40 ISO-KF
18.5
DN 40 ISO-KF
62
82
65.5
1
65
Fig. 14:
Dimensions Electrovanne d'entrée air
1 Raccord femelle 1/8" NPT
15
22
18
54,7
34,2
1
15
38,7
1/8 NPT
OUT
7
29,7
65,6
50,3
IN
47,7
Fig. 15:
Dimensions vanne d'eau
1 Câble vanne d’eau
55/58
Déclaration de Conformité UK
La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant.
Déclaration pour produit(s) du type :
Pompes turbomoléculaires à paliers magnétiques avec électronique déportée
ATH 2800 M 1)
ATH 2800 MT 1)
ATH 3200 M 1)
ATH 3200 MT1)
1)
Pompe raccordée à une unité de commande électronique de type Magpower
Nous déclarons par la présente que le produit cité satisfait à toutes les exigences applicables des Directives Britanniques suivantes.
Réglementation 2008 (Sécurité) sur la Fourniture de Machines
Réglementation 2016 (Sécurité) sur les Equipements Electriques
Réglementation 2016 sur la Compatibilité Electromagnétique
Réglementation 2012 sur la Limitation de l'Utilisation de Certaines Substances Dangereuses dans les Equipements Electriques et Electroniques
Normes et spécifications appliquées :
EN 1012-2/A1 : 2009
EN 61010-1/A1 : 2019
EN IEC 61000-6-2 : 2019
EN IEC 61000-3-2 : 2019
EN 61000-3-3/A1 : 2019
EN IEC 61000-6-4 : 2019
Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitution du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park,
MK169PS Newport Pagnell.
Signature:
Pfeiffer Vacuum SAS
98, avenue de Brogny
74009 Annecy cedex
France
B.P. 2069
(Guillaume Kreziak)
Directeur Général
Annecy, le 05/06/2023
Déclaration de conformité CE
La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant.
Déclaration pour produit(s) du type :
Pompes turbomoléculaires à paliers magnétiques avec électronique déportée
ATH 2800 M1)
ATH 2800 MT1)
ATH 3200 M1)
ATH 3200 MT1)
1)
Pompe raccordée à une unité de commande électronique de type Magpower
Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes.
Machines 2006/42/CE (Annexe II, n° 1 A)
Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE
Les objectifs de la Directive Basse Tension 2014/35/UE sont respectés conformément à
l'annexe I, n°1.5.1 de la Directive Machines 2006/42/CE.
Normes harmonisées et normes nationales appliquées :
EN 1012-2/A1 : 2009
EN 61010-1/A1 : 2019
EN IEC 61000-6-2 : 2019
EN IEC 61000-3-2 : 2019
EN 61000-3-3/A1 : 2019
EN IEC 61000-6-4 : 2019
Le responsable de la constitution du dossier technique est M. Varennes Nicolas, Pfeiffer Vacuum SAS, 98, avenue de Brogny B.P. 2069, 74009 Annecy cedex.
Signature:
Pfeiffer Vacuum SAS
98, avenue de Brogny
74009 Annecy cedex
France
B.P. 2069
(Guillaume Kreziak)
Directeur Général
Annecy, le 05/06/2023
*113190*
Ed 05 - Date 2023/10 - P/N:113190OFR
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