MANUEL DE L'UTILISATEUR FR Traduction d'original CCT 371∣372∣373∣374∣375 Jauge capacitive numérique Cher client, Nous vous remercions d’avoir opté pour un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouvelle jauge a été conçue pour vous donner entière satisfaction pour votre application, de par sa conception rigoureuse et son parfait fonctionnement. La marque Pfeiffer Vacuum, synonyme de techniques du vide performantes, se décline en une gamme exhaustive et variée de produits de grande qualité, assortis d’un service client irréprochable. Forts de cette expérience pratique étendue, nous avons compilé une multitude d’informations qui peuvent contribuer à une implémentation efficace et à votre sécurité personnelle. Sachant que notre produit doit vous permettre d’éviter des arrêts de production coûteux, nous sommes confiants qu’il pourra vous offrir une solution pour une implémentation efficace et fiable de votre application individuelle. Veuillez lire ce manuel de l'utilisateur avant de mettre votre produit en service pour la première fois. Si vous avez des questions ou suggestions, n’hésitez pas à nous contacter par e-mail à l’adresse info@pfeiffer-vacuum.de. Vous trouverez d’autres manuels de l'utilisateur de Pfeiffer Vacuum dans le Centre de téléchargement sur notre site Internet. Exclusion de responsabilité Ce manuel d'instructions décrit tous les modèles et variantes de votre produit. Noter que votre produit peut ne pas être équipé de toutes les fonctionnalités décrites dans ce manuel. Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le manuel d'utilisation en ligne peut différer du document imprimé, fourni avec votre produit. D'autre part, Pfeiffer Vacuum n'assume aucune responsabilité pour les dommages résultant d'une utilisation contraire à l'usage prévu, ou d'une utilisation définie comme mauvaise utilisation prévisible. Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum. Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations contenues dans ce document. 2/48 Table des matières Table des matières 1 A propos de ce manuel 1.1 Validité 1.1.1 Documents applicables 1.1.2 Variantes 1.2 Groupe cible 1.3 Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte 1.3.2 Pictogrammes 1.3.3 Autocollants sur le produit 1.3.4 Abréviations 1.4 Justificatif de marque de commerce 7 7 7 7 8 8 8 8 8 9 9 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité 2.2 Consignes de sécurité 2.3 Mesures de sécurité 2.4 Limites d’utilisation du produit 2.5 Utilisation conforme 2.6 Utilisations non conformes prévisibles 2.7 Responsabilité et garantie 2.8 Conditions propriétaire 2.9 Qualification personnelle 2.9.1 Garantir la qualification du personnel 2.9.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation 2.9.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum 2.10 Conditions opérateur 10 10 10 12 13 13 13 14 14 14 14 15 15 15 3 Description du produit 3.1 Fonction 3.2 Bouton et affichage de l’état 3.3 Identification du produit 3.4 Fournitures 16 16 16 16 16 4 Transport et stockage 4.1 Transport du produit 4.2 Stockage du produit 17 17 17 5 Installation 5.1 Raccord à vide 5.2 Raccorder « RS-485 » 18 18 20 6 Interfaces 6.1 Interface RS-485 6.2 Protocole Pfeiffer Vacuum pour l’interface RS-485 6.2.1 Cadre télégramme 6.2.2 Description du télégramme 6.2.3 Télégramme exemple 1 6.2.4 Télégramme exemple 2 6.2.5 Data types 22 22 23 23 23 23 24 24 7 Ensemble de paramètres 7.1 Généralités 7.2 Aperçu des paramètres de la jauge CCT 7.3 Instructions de réglage 7.4 Requêtes d’état 7.5 Valeurs de pression 25 25 25 25 26 26 3/48 Table des matières 4/48 8 Fonctionnement 8.1 Lecture et réglage du relais et des points de commutation 27 28 9 Démontage 29 10 Maintenance 10.1 Nettoyage des composants 10.2 Calibration de la jauge 10.2.1Calibrer le point zéro via l’interface RS-485 10.2.2Exécution du calibrage du point zéro avec le bouton « zéro » 10.2.3Effectuer la calibration point zéro avec le bouton « zero » (zéro) et la fonction de rampe 10.3 Charger paramètres d’usine 31 31 32 33 33 34 11 Expédition 36 12 Recyclage et mise au rebut 12.1 Informations générales sur la mise au rebut 12.2 Mise au rebut des jauges 37 37 37 13 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 38 14 Accessoires 14.1 Informations sur l’accessoire 14.2 Commande d’accessoires 40 40 40 15 Caractéristiques techniques et dimensions 15.1 Généralités 15.2 Fiche technique 15.3 Dimensions 41 41 41 43 Certification UL/CSA 44 Déclaration de conformité CE 45 Déclaration de Conformité UK 46 35 Liste des tableaux Liste des tableaux Tab. 1: Tab. 2: Tab. 3: Tab. 4: Tab. 5: Tab. 6: Tab. 7: Tab. 8: Tab. 9: Tab. 10: Tab. 11: Tab. 12: Tab. 13: Tab. 14: Tab. 15: Tab. 16: Tab. 17: Tab. 18: Tab. 19: Tab. 20: Tab. 21: Tab. 22: Documents applicables Variantes Abréviations utilisées Conditions ambiantes autorisées Caractéristiques de l’interface RS-485 Explication et signification des paramètres Aperçu des paramètres de la jauge CCT Jeu de paramètres | Requêtes d’état Ensemble de paramètres | Valeurs de pression LED « état appareil » Écart du signal de sortie entre la position verticale et la position horizontale Pression limite recommandée pour le calibrage du point zéro Accessoires Tableau de conversion : unités de pression Tableau de conversion : unités de débit de gaz Valeurs de mesure et de pression Données électriques Interface RS-485 Volume interne et poids Conditions ambiantes Températures Substances en contact avec le fluide 7 7 9 13 22 25 25 26 26 27 32 32 40 41 41 42 42 42 42 43 43 43 5/48 Liste des figures Liste des figures Fig. 1: Fig. 2: Fig. 3: Fig. 4: Fig. 5: Fig. 6: Fig. 7: Fig. 8: Fig. 9: Fig. 10: 6/48 Bouton et LED Raccord à vide Diagramme de raccordement Plan de connexion du connecteur RS-485 Interconnexion via la connexion RS-485 en utilisant les câbles de raccordement et les accessoires Exemples de lecture des valeurs de pression actuelles via [P:740] Calibrage du point zéro avec le bouton « zéro » Calibrage du point zéro avec le bouton « zéro » Utilisez le bouton « zéro » pour charger les paramètres d'usine Dimensions 16 19 20 20 22 27 33 34 35 43 A propos de ce manuel 1 A propos de ce manuel IMPORTANT Bien lire avant d'utiliser le produit. Conserver ce manuel pour une future utilisation. 1.1 Validité Ce document décrit la fonction des produits de la liste suivante et contient les informations les plus importantes pour une utilisation sécurisée. La description est rédigée conformément aux directives en vigueur. Les informations contenues dans ce document correspondent à l'état de développement actuel des produits. Le document conserve sa validité à condition que le client n'apporte aucune modification au produit. 1.1.1 Documents applicables Désignation Document Déclaration de conformité Un composant de ce manuel de l’utilisateur Tab. 1: Documents applicables Vous trouverez ces documents dans le Centre de téléchargement Pfeiffer Vacuum. 1.1.2 Variantes Ce document est applicable à tous les produits avec les références des pièces suivantes : Référence de pièce Type Connexion Gamme de mesure min/max. PT R60 060 CCT 371 Tube 1/2" 0,1 hPa /1000 hPa PT R60 130 DN 16 ISO-KF PT R60 320 DN 16 CF-R PT R60 430 PT R61 060 8 VCR CCT 372 Tube 1/2" PT R61 130 DN 16 ISO-KF PT R61 320 DN 16 CF-R PT R61 430 8 VCR PT R62 060 CCT 373 Tube 1/2" PT R62 130 DN 16 ISO-KF PT R62 320 DN 16 CF-R PT R62 430 8 VCR PT R63 060 CCT 374 Tube 1/2" PT R63 130 DN 16 ISO-KF PT R63 320 DN 16 CF-R PT R63 430 PT R64 060 1 × 10-3 hPa/10 hPa 1 × 10-4 hPa/1 hPa 8 VCR CCT 375 Tube 1/2" PT R64 130 DN 16 ISO-KF PT R64 320 DN 16 CF-R PT R64 430 8 VCR Tab. 2: 1 × 10-2 hPa/100 hPa 1 × 10-5 hPa/0,1 hPa Variantes Vous trouverez le numéro de la pièce sur la plaque signalétique du produit. Pfeiffer Vacuum se réserve le droit d'apporter des modifications techniques sans préavis. Les informations concernant un seul des produits sont indiquées comme telles. Les figures de ce document ne sont pas à l’échelle. 7/48 A propos de ce manuel Les figures représentent le produit avec un raccord vide DN 16 ISO-KF. Elles s'appliquent cependant aussi aux autres raccords vides sous réserve de compatibilité. Les dimensions sont fournies en mm, sauf avis contraire. 1.2 Groupe cible Ce manuel d'utilisation s’adresse à toutes les personnes en charge ● ● ● ● ● ● du transport, de l'installation, de la commande et de l'utilisation, de la mise hors service, de la maintenance et du nettoyage, du stockage et du recyclage du produit. Les opérations décrites dans ce document doivent uniquement être effectuées par un personnel doté de la formation technique nécessaire (personnel qualifié), ou ayant suivi une formation correspondante de Pfeiffer Vacuum. 1.3 Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes. Action unique Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape. ► Il s'agit d’une étape unique. Action en plusieurs étapes Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique. 1. Étape 1 2. Étape 2 3. ... 1.3.2 Pictogrammes Les pictogrammes utilisés dans ce document indiquent des informations utiles. Remarque Conseil Portez des gants de laboratoire Contrôlez visuellement 1.3.3 Autocollants sur le produit Cette section décrit tous les autocollants sur le produit ainsi que leurs significations. 8/48 A propos de ce manuel D-35614 Asslar Mod. P/N S/N Input 1.3.4 Abréviations Abréviation Explication CA Courant alternatif (CA) AR Relais analogique ATM Atmosphère DC Courant continu CEM Compatibilité électromagnétique FKM Caoutchouc fluoré FS Gamme de mesure max. (échelle max.) GND Masse HV Vide élevé LPS Source de puissance limitée MSL Niveau moyen de la mer [P:xxx] Paramètres de commande de l’unité de commande électronique. Inscrits en gras sous forme de nombre à trois chiffres entre crochets. Souvent associés à une courte description. Exemple : [P:312] version logicielle p Pression PE Terre de protection (conducteur de protection) TBTP Très basse tension de protection RS-485 Standard pour une interface physique, pour la transmission asynchrone de données en série (standard recommandé) SPI Norme pour un bus de données série synchrone (interface périphérique série) TPS Alimentation de tension (alimentation électrique turbo) Tab. 3: 1.4 CCT 3xx PT xxx xxx xxxxxxxxx Made in Liechtenstein 2023/09 xx...xx V DC x W LPS Range xxxx hPa Plaque signalétique La plaque signalétique est située sur le côté de l’unité. Abréviations utilisées Justificatif de marque de commerce ● Binder® est une marque déposée de Franz Binder GmbH + Co. Elektrische Bauelemente KG. ● VCR® est une marque déposée de Swagelok Company. ● Vacon 70 est une marque déposée de Vacuumschmelze GmbH & Co. KG. 9/48 Sécurité 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit : DANGER Danger direct et imminent Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVERTISSEMENT Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger ATTENTION Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVIS Obligation ou signalement Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure physique. ► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le produit ou le présent document. 2.2 Consignes de sécurité Consignes de sécurité selon les étapes de la vie du produit Toutes les consignes de sécurité de ce document sont basées sur les résultats d’une évaluation des risques. Pfeiffer Vacuum a pris en compte toutes les étapes pertinentes de la vie du produit. Risques lors de l’installation DANGER Danger de mort en raison des tensions de contact dangereuses Les tensions supérieures à 30 V (CA) ou 60 V (CC) sont considérées comme dangereuses selon la norme EN 61010. Un contact avec une tension de contact dangereuse entraîne un risque de blessures ou un danger de mort par choc électrique. ► Raccordez le produit seulement aux appareils qui remplissent les critères suivants : ● Conditions de tension extra-basse de protection de terre (PELV) ● Source de puissance limitée (LPS) classe 2 ► Fixez la ligne sur le produit. – Les équipements de contrôle et de mesure Pfeiffer Vacuum remplissent ces conditions. 10/48 Sécurité DANGER Danger de mort par électrocution Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie. ► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé. ► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. ► Utilisez des anneaux de centrage et des circlips à couche conductrice pour les raccordements KF. ► En cas de raccord à tube 1/2", agissez de façon appropriée pour satisfaire les exigences. DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Lors de l’application de tensions dépassant la très basse tension de sécurité spécifiée (conformément à IEC 60449 et VDE 0100), les mesures isolantes sont détruites. Danger de mort en cas d’électrocution au niveau des interfaces de communication. ► Connecter uniquement des appareils appropriés au système de bus. AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement dû au rejet de gaz toxiques Les contraintes mécaniques, chimiques ou thermiques élevées provoquent des fuites au niveau du capteur. Dans les traitements impliquant des fluides toxiques, il existe un risque de blessure, voire de mort par empoisonnement à cause des fuites de gaz en cas de surpression du système de vide. ► Prévenez la formation de toute contrainte mécanique, chimique ou thermique élevée. ► Prévenez la formation de surpressions dans le système de vide. ► Prenez les mesures appropriées de façon à prévenir les risques et dommages provoqués par la fuite de fluides de traitement, comme une interruption d'alimentation en gaz, une évacuation ou un test de fuite. Risques pendant le fonctionnement AVERTISSEMENT Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant être également toxique. Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique. ► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide. ► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression. ► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un anneau de serrage). ► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur. Risques pendant la maintenance DANGER Danger de mort dû au choc électrique causé par la pénétration d’humidité La pénétration d’eau dans l’unité cause des blessures aux personnes par chocs électriques. ► Utilisez seulement l’unité dans un environnement sec. ► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité. ► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, contactez Pfeiffer Vacuum Service. ► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité. 11/48 Sécurité AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. AVERTISSEMENT Risques pour la santé dus aux agents nettoyants Les détergents utilisés peuvent nuire à la santé et causer un empoisonnement, des allergies, une irritation de la peau, des brûlures chimiques ou endommager les voies respiratoires. ► Respectez les réglementations en vigueur pour la manipulation des agents nettoyants. ► Respectez les mesures de sécurité concernant la manipulation et la mise au rebut des agents nettoyants. ► Attention aux réactions potentielles avec les matériaux du produit. Risques liés à l’expédition AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement par produits contaminés L’expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la santé et l’ sécurité du personnel de maintenance. ► Conforme aux instructions pour une distribution en toute sécurité. Risques pendant la mise au rebut AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. 2.3 Mesures de sécurité Le produit est conçu sur la base des technologies les plus récentes et des règles techniques de sécurité reconnues. Cependant, une utilisation incorrecte peut présenter un risque de blessure ou un danger de mort pour l'opérateur et toute autre personne, ainsi qu'un risque de dommages matériels sur le produit et autres. Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit. Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document. 12/48 Sécurité Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit d'origine ou installe un équipement supplémentaire ● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives européennes applicables avant de mettre en service ce système. Mesures de sécurité générales lors de la manipulation du produit ► Respectez toutes les dispositions de sécurité et de prévention des accidents en vigueur. ► Contrôlez régulièrement que toutes les mesures de sécurité sont respectées. ► Les consignes de sécurité doivent être transmises aux autres utilisateurs. ► N'exposez aucune partie du corps au vide. ► Assurez toujours un raccordement sûr au conducteur de terre (PE). ► Ne débranchez jamais les fiches de raccordement en cours de fonctionnement. ► Respectez les procédures d’arrêt ci-dessus. ► Tenez les conduites et les câbles éloignés des surfaces chaudes (> 70 °C). ► N'effectuez pas vous-même de conversions ou de modifications de l'appareil. ► Consultez le degré de protection de l’unité avant son installation ou fonctionnement dans d’autres environnements. ► Mettez en place des équipements de protection adaptés contre tout contact physique si la température de surface dépasse 70 °C. ► Il convient de toujours s'informer d'éventuelles contaminations avant de commencer à travailler. 2.4 Limites d’utilisation du produit Paramètre Valeur Humidité relative de l’air À des températures atteignant +31 °C, 80 % max. À des températures atteignant +40 °C, 50 % max. Orientation de montage Arbitraire Usage En intérieur uniquement Altitude maximum de l’installation 2 000 m MSL Degré de pollution 2 Degré de protection IP40 Tab. 4: 2.5 Conditions ambiantes autorisées Utilisation conforme La jauge est utilisée pour la mesure du vide de gaz dans la gamme de mesure définie. Utilisation du produit conformément à son usage prévu ► Faites fonctionner la jauge avec un appareil de commande Pfeiffer Vacuum DigiLine ou avec une unité d’évaluation fournie par le client. ► Installez, mettez en fonctionnement et entretenez la jauge conformément à ce manuel de l'utilisateur. ► Observez les limites d’application à partir de la fiche technique. ► Observer la fiche technique. 2.6 Utilisations non conformes prévisibles Toute utilisation non conforme du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité. Toute utilisation non conforme à l’objectif du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée comme non réglementaire, en particulier : ● Utilisation hors des limites mécaniques et électriques d’utilisation ● Utilisation avec des substances corrosives ou explosives, si cette utilisation n’est pas explicitement autorisée ● Utilisation pour la mesure de gaz combustibles ou hautement inflammables lorsqu’ils sont mélangés à un agent oxydant (comme l’oxygène atmosphérique) dans les limites explosives 13/48 Sécurité ● Utilisation en extérieur ● Utilisation suite à des modifications techniques (à l’intérieur ou à l’extérieur du produit) ● Utilisation avec des accessoires ou pièces de rechange inappropriés ou non approuvés 2.7 Responsabilité et garantie Pfeiffer Vacuum décline toute responsabilité et garantie si la société exploitant le produit ou une partie tierce : ● ignore ce document ● n'utilise pas le produit pour l'usage prévu ● apporte des modifications au produit (conversions, changements, etc.) qui ne sont pas mentionnées dans la documentation produit correspondante ● utilise le produit avec des accessoires qui ne sont pas mentionnés dans la documentation produit correspondante L'opérateur est responsable du gaz de procédé employé. 2.8 Conditions propriétaire Travailler en toute sécurité 1. Le produit ne peut être utilisé que s'il est en parfait état technique. 2. Le produit doit être utilisé selon l'usage pour lequel il a été conçu, seulement conformément au mode d'emploi, dans le respect des consignes de sécurité et en restant conscient des dangers qu'il implique. 3. Suivez les instructions ci-dessous et assurez-vous que ces instructions soient suivies : – Utilisation conforme – Consignes de sécurité généralement applicables et règles de prévention des accidents – Normes et directives applicables au niveau local, national et international – Directives et régulations supplémentaires relatives au produit 4. Utiliser exclusivement des pièces d'origine et approuvées par Pfeiffer Vacuum. 5. Conserver le mode d'emploi accessible sur le lieu d'installation du produit. 6. Garantir la qualification du personnel. 2.9 Qualification personnelle L'utilisation décrite dans ce document doit être confiée à des personnes disposant des qualifications professionnelles adéquates et de l'expérience nécessaire ou qui ont suivi la formation requise dispensée par Pfeiffer Vacuum. Formation du personnel 1. Former le personnel technique sur le produit. 2. Ne laisser le personnel à former travailler avec et sur le produit que sous la supervision d'un personnel qualifié. 3. Seul un personnel technique formé est autorisé à travailler avec le produit. 4. Avant de commencer à travailler, s'assurer que le personnel engagé a lu et compris ce mode d'emploi et tous les documents pertinents, en particulier les informations relatives à la sécurité, à l'entretien et à la réparation. 2.9.1 Garantir la qualification du personnel Spécialistes des travaux mécaniques Seuls des spécialistes qualifiés peuvent effectuer des travaux mécaniques. Selon la définition de ce document, les spécialistes sont des personnes responsables de la construction, de l'installation mécanique, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes : ● Compétences dans le domaine mécanique conformément aux régulations nationales en vigueur ● Connaissance de cette documentation Spécialisation dans les travaux d'ingénierie électriques Seul un électricien qualifié peut effectuer des travaux d'ingénierie électriques. Selon la définition de ce document, les électriciens sont des personnes responsables de l'installation électrique, de la mise en 14/48 Sécurité service, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes : ● Compétences dans le domaine de l'ingénierie électrique conformément aux régulations nationales en vigueur ● Connaissance de cette documentation De plus, ces personnes doivent être familiarisées avec les réglementations et la législation en matière de sécurité en vigueur, ainsi que les normes, directives et lois mentionnées dans cette documentation. Les personnes mentionnées ci-dessus doivent avoir obtenu expressément l'autorisation d'utilisation afin de mettre en service, de programmer, de configurer, de marquer et de mettre à la terre les appareils, systèmes et circuits conformément aux standards technologiques en matière de sécurité. Personnes qualifiées Seules les personnes spécialement formées peuvent effectuer toutes les opérations relatives au transport, à l'entreposage, à l'utilisation et à la mise au rebut. Ce type de formation doit garantir que ces personnes sont capables d'exécuter correctement les activités et opérations requises, et en toute sécurité. 2.9.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation Formations avancées Pfeiffer Vacuum propose des formations avancées pour les niveaux de maintenance 2 et 3. Les personnes adéquatement qualifiées sont : ● Maintenance de niveau 1 ─ Client (spécialiste formé) ● Maintenance de niveau 2 ─ Client avec formation technique ─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum ● Maintenance de niveau 3 ─ Client avec formation à l'entretien Pfeiffer Vacuum ─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum 2.9.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum Pour une utilisation optimale et sans problème de ce produit, Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de cours et de formations techniques. Pour plus de précisions, contacter le service de formation technique Pfeiffer Vacuum. 2.10 Conditions opérateur Analyse des documents et données concernés 1. Lire, analyser et respecter le mode d’emploi ainsi que les instructions de travail préparées par la société d’exploitation, en particulier les consignes de sécurité et les avertissements. 2. L’installation, l’utilisation et l’entretien du produit doivent être exécutés exclusivement conformément au manuel de l’utilisateur. 3. Exécuter toutes les opérations uniquement sur la base du manuel de l’utilisateur et des documents pertinents. 4. Se conformer aux limites d’utilisation. 5. Observer la fiche technique. 6. Si ce manuel de l’utilisateur ne permet pas de répondre à toutes les questions posées lors de l’utilisation ou de l’entretien du produit, contacter le Pfeiffer Vacuum Service Center. – Des informations sont disponibles dans la zone de service Pfeiffer Vacuum. 15/48 Description du produit 3 Description du produit 3.1 Fonction La jauge comporte un élément de mesure de la capacité avec diaphragme en céramique. La jauge chauffe le capteur à une température constante de 48 °C. La pression fait dévier le diaphragme en céramique. La jauge interprète cette déviation du diaphragme comme une variation de capacité. Les composants électroniques convertissent la variation de capacité en signal de sortie numérique. La sortie de la valeur de pression est indépendante du type de gaz à mesurer. Avantages du contrôle de température ● Mesures extrêmement précises ● Permet d’éviter dans une large mesure les influences environnementales ● Réduction des dépôts de produits et de sous-produits du procédé 3.2 Bouton et affichage de l’état 1 Fig. 1: 2 3 Bouton et LED 1 Bouton « zéro » pour le calibrage du point zéro 2 Commutateur sélectif de l’adresse RS-485 3.3 3 LED « device status » (état de la jauge) Identification du produit Toutes les données de la plaque signalétique sont nécessaires pour identifier assurément le produit pour toute communication avec Pfeiffer Vacuum. ► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, conservez toujours à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique. 3.4 Fournitures Pièces incluses dans la livraison : ● ● ● ● Point de mesure (dans un emballage en salle blanche) Stylet (Ø 1,1 mm) Certificat d’étalonnage Manuel de l’utilisateur Déballage du produit et contrôle du contenu de la livraison 1. Déballer le produit. 2. Déposez les sécurités et les protections pour le transport, etc. 3. Rangez les sécurités et les protections pour le transport dans un endroit sûr. 4. Vérifier que toutes les pièces sont présentes. 5. Contrôler qu'aucune pièce n'a été endommagée. 16/48 Transport et stockage 4 Transport et stockage 4.1 Transport du produit AVIS Dégâts causés par un transport incorrect Un transport dans un emballage incorrect ou la non-installation de tous les verrous de transport peut endommager le produit. ► Conforme aux instructions pour un transport en toute sécurité. Emballage Nous recommandons de conserver l’emballage de transport et de protection d’origine. Transporter le produit en toute sécurité ► Observez le poids spécifié sur l’emballage de transport. ► Dans la mesure du possible, transportez ou expédiez toujours le produit dans son emballage d’origine de transport. ► Utilisez toujours un emballage compact qui protège le produit des chocs. ► Retirez le cache de protection et les dispositifs protecteurs de transport seulement juste avant l’installation. ► Avant chaque transport, les blocages et les protections correspondants doivent être remontés. 4.2 Stockage du produit AVIS Risque de détériorations causées par un entreposage incorrect Un entreposage incorrect provoquera des dégâts sur le produit. Les charges statiques, l’humidité, etc., provoquent des défauts sur les composants électroniques. ► Conforme aux instructions pour un entreposage en toute sécurité. Emballage Nous recommandons de stocker le produit dans son emballage d'origine. Stocker le produit en toute sécurité ► Conservez le produit dans un endroit frais, sec et sans poussière, où il n’est pas soumis à des chocs ni à des vibrations mécaniques. ► Utilisez toujours un emballage compact qui protège le produit des chocs. ► Dans la mesure du possible, stockez le produit dans son emballage d’origine. ► Stockez les composants électroniques dans un emballage antistatique. ► Maintenez la température d’entreposage admissible. ► Évitez les fortes variations de températures ambiantes. ► Évitez un taux d’humidité élevé dans l’air. ► Fermez les raccords avec les bouchons de protection d’origine. ► Protégez le produit avec les protections de transport d’origine (si disponibles). 17/48 Installation 5 Installation 5.1 Raccord à vide DANGER Danger de mort par électrocution Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie. ► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé. ► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. ► Utilisez des anneaux de centrage et des circlips à couche conductrice pour les raccordements KF. ► En cas de raccord à tube 1/2", agissez de façon appropriée pour satisfaire les exigences. AVERTISSEMENT Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant être également toxique. Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique. ► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide. ► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression. ► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un anneau de serrage). ► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur. AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement dû au rejet de gaz toxiques Les contraintes mécaniques, chimiques ou thermiques élevées provoquent des fuites au niveau du capteur. Dans les traitements impliquant des fluides toxiques, il existe un risque de blessure, voire de mort par empoisonnement à cause des fuites de gaz en cas de surpression du système de vide. ► Prévenez la formation de toute contrainte mécanique, chimique ou thermique élevée. ► Prévenez la formation de surpressions dans le système de vide. ► Prenez les mesures appropriées de façon à prévenir les risques et dommages provoqués par la fuite de fluides de traitement, comme une interruption d'alimentation en gaz, une évacuation ou un test de fuite. AVIS Défaillance due à la contamination et à la détérioration Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts nuisent au fonctionnement. ► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux sur les installations ultra-vide ou à vide élevé. ► Utilisez uniquement des outils propres. ► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse. ► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire. ► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé. 18/48 Installation AVIS Dégâts causés par les vibrations Les vibrations et les impacts détruisent le capteur céramique qui est sensible aux chocs. ► Manipulez la jauge avec précaution. ► Évitez les vibrations et les impacts. ► Ne faites pas tomber la jauge. Conditions préalables ● Conditions ambiantes appropriées ● Température de fonctionnement dans la plage permissible ● Espace disponible suffisant pour le raccordement électrique (p. ex., rayon de courbure permissible des câbles) 1 2 3 Fig. 2: Raccord à vide 1 Joint avec anneau de centrage 2 Obturateur de protection 3 Pièce de serrage Recommandations ► Dans la mesure du possible, vérifiez que la jauge n’est pas soumise à des vibrations pendant le fonctionnement. Ces vibrations entraînent des déviations dans les valeurs mesurées. ► Montez la jauge dans une orientation de montage horizontale à verticale (bride tournée vers le bas). – Ceci prévient toute accumulation de condensats et de particules dans la chambre de mesure. ► Une fois le bouton de la jauge monté, vérifiez qu’il soit aisément accessible avec le stylet. ► Montez un joint avec un anneau de centrage et un filtre pour protéger les applications et le système de mesure contre tout risque de contamination. Procédure 1. Retirez l’obturateur de protection et rangez-le dans un endroit sûr. 2. Assemblez sur le système de vide la jauge avec les composants de vide de la boutique des composants Pfeiffer Vacuum. 19/48 Installation 5.2 Raccorder « RS-485 » DANGER Danger de mort en raison des tensions de contact dangereuses Les tensions supérieures à 30 V (CA) ou 60 V (CC) sont considérées comme dangereuses selon la norme EN 61010. Un contact avec une tension de contact dangereuse entraîne un risque de blessures ou un danger de mort par choc électrique. ► Raccordez le produit seulement aux appareils qui remplissent les critères suivants : ● Conditions de tension extra-basse de protection de terre (PELV) ● Source de puissance limitée (LPS) classe 2 ► Fixez la ligne sur le produit. – Les équipements de contrôle et de mesure Pfeiffer Vacuum remplissent ces conditions. AVIS Dommages matériels liés à la mise à la masse des composants électroniques La déconnexion ou la connexion du connecteur mâle-femelle « RS-485 » quand l’alimentation de tension est commutée va entraîner la destruction des composants électroniques. ► Coupez toujours l’alimentation de tension avant de connecter ou de déconnecter le connecteur d’alimentation électrique « RS-485 ». ► Couper le bloc d’alimentation. ► Après avoir désactivé l’unité de courant, attendez la dispersion complète de la charge résiduelle avant de déconnecter ou de connecter le connecteur mâle-femelle. RS485 Le connecteur « RS-485 » sert à connecter une unité de courant externe (TPS) ou un PC. La jauge est protégée contre toute inversion de polarité de la tension d’alimentation. 1 D+ 4 D- 2 14 – 30 V 1M 680 nF 18 V 3 case Fig. 3: 1 5 4 Diagramme de raccordement 2 3 Fig. 4: Plan de connexion du connecteur RS-485 1 RS-485 D+ 2 +14 à +30 V DC 3 GND 20/48 4 5 RS-485 Dnon raccordé Installation Fabrication du câble de mesure Voir la fiche technique pour des informations additionnelles sur le câble de mesure. 1. Respectez les étapes suivantes pour une qualité optimale de signal dans la mesure où les circuits de terre, les différences de potentiel ou la CEM ont un effet sur le signal de mesure. 2. Utilisez un câble avec un blindage tressé. 3. Raccordez le blindage de câble à la terre via l’enveloppe de connecteur sur un côté seulement. 4. Laissez l’autre extrémité du blindage ouverte. 5. Raccordez la terre d’alimentation directement à la terre de protection sur l’unité de courant. 6. Vérifiez que la différence de potentiel pour la protection anti-surtension entre la prise de terre d'alimentation et le boîtier est ≤ 18 V. Raccorder l’unité de courant externe ou le PC ► Utilisez le câble de raccordement fourni avec l’unité de courant ou du programme des accessoires DigiLine. ► Dans chaque cas, raccordez seulement une unité de courant externe à l’interface RS-485. ► Si nécessaire, raccordez un PC via le transformateur USB/RS-485. 21/48 Interfaces 6 Interfaces 6.1 Interface RS-485 DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Lors de l’application de tensions dépassant la très basse tension de sécurité spécifiée (conformément à IEC 60449 et VDE 0100), les mesures isolantes sont détruites. Danger de mort en cas d’électrocution au niveau des interfaces de communication. ► Connecter uniquement des appareils appropriés au système de bus. La jauge communique via l’interface « RS-485 ». L’adresse de la jauge est comprise entre 1 à 16. Désignation Valeur Interface série RS-485 Vitesse de transmission en baud 9600 Baud Longueur de mot 8 bit Parité aucune (pas de parité) Bits de départ 1 Bits d’arrêt 1 Tab. 5: Caractéristiques de l’interface RS-485 1 PC 3 2 Fig. 5: 4 2 Interconnexion via la connexion RS-485 en utilisant les câbles de raccordement et les accessoires 1 Câble d’alimentation DigiLine 2 Connecteur en Y pour RS-485 3 4 Câble d'interface M12 Transformateur USB/RS-485 Outil nécessaire ● Tournevis à encoche Configurez l’adresse RS-485 1. Retirez le connecteur en caoutchouc du commutateur d’adresse RS-485. 2. Configurez l’adresse RS-485 avec le commutateur d’adresse RS-485 de la jauge. 3. Remettez en place le connecteur en caoutchouc sur le commutateur d’adresse RS-485. 22/48 Interfaces Interconnexion via la connexion RS-485 1. Installez les appareils conformément à la spécification pour les interfaces RS-485. 2. Veillez à ce que tous les appareils raccordés au bus disposent d’une adresse RS-485 différente. 3. Raccordez au bus tous les appareils avec RS-485 D+ et RS-485 D-. 6.2 Protocole Pfeiffer Vacuum pour l’interface RS-485 6.2.1 Cadre télégramme Le cadre télégramme du protocole Pfeiffer Vacuum contient uniquement des caractères ASCII [32; (par ex. un 127], à l’exception du caractère final du télégramme CR. De manière générale, un hôte (par ex. unité de commande électronique ou jauge) PC) envoie un télégramme, auquel un appareil va répondre. a2 a1 6.2.2 a0 * 0 n2 n1 n0 l1 l0 dn … c2 c1 c0 CR a2 – a0 Adresse d’appareil ● Adresse individuelle de l’unité ["001";"255"] ● Adresse groupée « 9xx » pour toutes les unités identiques (pas de réponse) ● Adresse globale « 000 » pour toutes les unités sur le bus (pas de réponse) * Action selon la description du télégramme n2 – n0 Numéros de paramètre Pfeiffer Vacuum I1 – I0 Longueur de données dn à d0 dn – d0 Données dans le type de données correspondant (voir chapitre « Data types », page 24). c2 – c0 Somme de contrôle (somme des valeurs ASCII des cellules a2 à d0) modulo 256 CR Retour à la ligne (ASCII 13) Description du télégramme Interrogation des données --> ? a2 n2 n1 a1 a0 0 0 Instruction de réglage a2 a1 a0 1 0 --> ! n2 n1 n0 0 2 = l1 l0 dn … n0 Réponse des données / instruction de réglage comprise a2 a1 a0 1 Message d’erreur a2 d0 a1 a0 1 0 n2 NO_DEF _RANGE _LOGIC 6.2.3 0 ? c2 c1 c0 cR d0 c2 c1 c0 cR c2 c1 c0 cR c1 c0 cR --> n2 n1 n0 l1 l0 dn … d0 0 6 N O _ D E F _ R A N G E _ L O G I C --> n1 n0 c2 Le numéro de paramètre n2–n0 n’existe plus Donnée dn–d0 en-dehors de la plage autorisée Erreur d'accès logique Télégramme exemple 1 Rechercher la valeur de pression Pression mesurée actuelle (paramètre [P:740], adresse du dispositif device : « 001 ») --> ASCII ? 0 0 1 0 0 7 4 0 0 2 = ? 1 0 6 cR 48 48 49 48 48 55 52 48 48 50 61 63 49 48 54 13 23/48 Interfaces Réponse aux données : pression mesurée 1 × 10+3 hPa en exposant 1E+3 Pression mesurée actuelle (paramètre [P:740], adresse du dispositif device : « 001 ») --> 0 0 1 1 0 7 4 0 0 6 1 0 0 0 2 3 0 2 5 cR ASCII 48 48 49 49 48 55 52 48 48 54 49 48 48 48 50 51 48 50 53 13 c0 cR 6.2.4 Télégramme exemple 2 Instruction incorrecte Instruction incorrecte (paramètre [P:888], adresse d'appareil device : « 005 » --> ! ASCII 0 0 5 1 0 8 8 8 0 3 1 3 0 48 48 53 49 48 56 56 56 48 51 49 51 48 c2 c1 13 Instruction inconnue Instruction incorrecte (paramètre [P:888], adresse d'appareil device : « 005 » --> 0 0 5 1 0 8 8 8 0 6 N O _ D E F ASCII 48 48 53 49 48 56 56 56 48 54 78 79 95 68 69 70 6.2.5 Data types 24/48 c2 c1 c0 cR 13 Nº Type de donnée Description Longueur l1 – l0 Exemple 0 boolean_old Valeur logique (faux / vrai) 06 000000 est équivalent à faux 111111 est équivalent à vrai 1 u_integer Nombre entier positif 06 000000 à 999999 2 u_real Nombre à virgule fixe (non signé) 06 001571 correspond à 15.71 4 string Chaîne de 6 caractères. Codes ASCII entre 32 et 127. 06 TC_110, TM_700 6 boolean_new Valeur logique (faux / vrai) 01 0 est équivalent à faux 1 est équivalent à vrai 7 u_short_int Nombre entier positif 03 000 à 999 10 u_expo_new Nombre exponentiel positif. Les deux derniers chiffres sont l’exposant avec une déduction de 20. 06 100023 est équivalent à 1,0 · 103 100000 est équivalent à 1,0 · 10-20 11 string16 Chaîne de 16 caractères. Codes ASCII entre 32 et 127. 16 BrezelBier&Wurst 12 string8 Chaîne de 8 caractères. Codes ASCII entre 32 et 127. 08 Exemple Ensemble de paramètres 7 Ensemble de paramètres 7.1 Généralités Toutes les variables pertinentes pour la fonction sont stockées comme des paramètres dans la jauge. Chaque paramètre a un nombre à trois chiffres et une description. Le paramètre peut être appliqué en utilisant les appareils de commande Pfeiffer Vacuum ou de manière externe via RS-485 en utilisant le protocole Pfeiffer Vacuum. Réglages usine La jauge est pré-programmée en usine. La jauge est prête à fonctionner en toute sécurité sans configuration supplémentaire. # Nombre à trois chiffres du paramètre Description Brève description des paramètres Fonctions Description de la fonction des paramètres Type de donnée Type de formatage du paramètre pour l’utilisation avec le protocole Pfeiffer Vacuum Type d’accès R (lecture) : accès en lecture ; W (écriture) : accès en écriture Unité Unité physique de la variable décrite min./max. Valeurs limites autorisées pour la saisie d’une valeur par défaut Réglage par défaut en usine (en partie spécifique à la jauge) Le paramètre peut être enregistré dans la mémoire non volatile de la jauge Tab. 6: 7.2 Aperçu des paramètres de la jauge CCT # Description 303 Code d’erreur actuel 312 Version du logiciel 349 Nom de l’appareil 354 Hardware version 355 Numéro de série 388 Référence de commande 730 Point de commutation de pression 1 1) 732 Point de commutation de pression 2 2) 740 Valeur de pression [hPa] 741 Point d’ajustage de pression 3) Tab. 7: 7.3 Explication et signification des paramètres Aperçu des paramètres de la jauge CCT Instructions de réglage La jauge n’a pas d’instructions de réglage. 1) Version AR uniquement 2) Version AR uniquement 3) Non utilisé pour jauge CCT 25/48 Ensemble de paramètres 7.4 Requêtes d’état # Description Fonctions Type de donnée Type d’accès 303 Code d’erreur 000000 = Pas d’erreur Err001 = Capteur défectueux Err002 = Mémoire défectueuse 4 R 312 Version du firmware de la jauge Exemple de la première version du firmware : 010100 4 R 349 Nom de l’appareil CCT37x 4 R 354 Hardware version Exemple de la première version hardware : 010100 4 R 355 Numéro de série Exemple : 42501199 11 R 388 Référence de commande Exemple : PT R60 130 11 R Tab. 8: Unité min. max. par défaut min. max. par défaut 000 001 Jeu de paramètres | Requêtes d’état 7.5 Valeurs de pression # Description Fonctions Type de donnée Type d’accès Unité 730 4) Point de commutation de pression 1 Lire et régler la valeur de pression pour le point de commutation 1 10 RW hPa 732 5) Point de commutation de pression 2 Lire et régler la valeur de pression pour le point de commutation 2 10 RW hPa 740 Valeur de pression Lire et régler la valeur de la pression actuelle (pendant le calibrage) 10 RW (peut être écrit sous condition) hPa 741 Point d’ajustage de pression 000= calibrage HV 001= calibrage ATM 7 W Tab. 9: 26/48 Ensemble de paramètres | Valeurs de pression 4) Version AR uniquement 5) Version AR uniquement Fonctionnement 8 Fonctionnement Dès que la tension d’alimentation a été établie, le signal de mesure est disponible sur la connexion électrique. DEL Signification Désactivée Pas d’alimentation électrique Allumée en vert Tension d’alimentation OK, mode de mesure Clignote en vert En attente de communication SPI avec la jauge Allumée en jaune Autre mode (par exemple, réglage zéro), dépassement vers le haut/ dépassement vers le bas de la gamme de mesure Allumée en rouge Erreur de logiciel ou de jauge Allumée pendant 1 s vert, jaune et rouge Test des LED après la mise en service ou la réinitialisation Rouge/vert clignotant Mise à jour du logiciel en cours Tab. 10: LED « état appareil » Recommandations ► Lors de la première mise en service, effectuez le calibrage du point zéro. ► Allouez un temps de démarrage d’au moins 15 minutes pour les mesures de pression générales respectueuses des spécifications. ► Allouez un temps de démarrage d’au moins 2 heures pour des mesures précises et un calibrage du point zéro. Lire la valeur de pression actuelle [P:740] Les valeurs de pression sont transférées dans le format « aaaabb ». La chaîne « aaaa » est la mantisse d’un nombre exponentiel et « bb » est l’exposant avec un décalage de 20. « aaaa » est comprise entre « 1000 » (pour 1.000) et « 9999 » (pour 9.999). Les différents caractères de la chaîne sont les chiffres « 0 »(ASCII 48) à « 9 »(ASCII 57). En fonction de la jauge et de sa précision, le nombre de chiffres significatifs dans la mantisse peut varier. ► Lisez la valeur de pression actuelle via le paramètre [P:740]. [P:740] 327022 3270 22 [hPa] Fig. 6: 3.270 × 10 750020 104223 1042 23 7500 20 Offset 20 Offset 20 2 3 1.042 × 10 Offset 20 7.500 × 10 0 Exemples de lecture des valeurs de pression actuelles via [P:740] Lire le code d’erreur [P:303] ► Lisez le code d’erreur via le paramètre [P:303]. ● 000000 = Pas d’erreur ● Err001 = Capteur défectueux ● Err002 = Mémoire défectueuse Lire la version du firmware [P:312] ► Lisez la version du firmware via le paramètre [P:312]. ● Exemple de la première version du firmware : 010100 Lire le nom de l’appareil [P:349] ► Lisez le nom de l’appareil via le paramètre [P:349]. Lecture de la version hardware [P:354] ► Lisez la version hardware via le paramètre [P:354]. 27/48 Fonctionnement Lecture du numéro de série [P:355] ► Lisez le numéro de série via le paramètre [P:355]. Lecture de la référence [P:388] ► Lisez la référence via le paramètre [P:388]. 8.1 Lecture et réglage du relais et des points de commutation Les versions relais analogique (AR) des jauges DigiLine sont caractérisées par 2 contacts relais contrôlés par la pression et pouvant être configurés via l’interface RS-485 à l’aide d’un contrôleur externe. Le format des données est identique à celui du paramètre [P:740]. Lire les points de commutation via RS-485 1. Lisez la valeur de pression pour le point de commutation 1 via le paramètre [P:730]. 2. Lisez la valeur de pression pour le point de commutation 2 via le paramètre [P:732]. Régler les points de commutation via RS-485 1. Utilisez le paramètre [P:730] pour régler la valeur de la pression pour le point de commutation 1. 2. Utilisez le paramètre [P:732] pour régler la valeur de la pression pour le point de commutation 2. 28/48 Démontage 9 Démontage DANGER Danger de mort par électrocution Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie. ► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé. ► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. ► Utilisez des anneaux de centrage et des circlips à couche conductrice pour les raccordements KF. ► En cas de raccord à tube 1/2", agissez de façon appropriée pour satisfaire les exigences. AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. AVERTISSEMENT Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant être également toxique. Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique. ► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide. ► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression. ► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un anneau de serrage). ► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur. AVIS Défaillance due à la contamination et à la détérioration Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts nuisent au fonctionnement. ► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux sur les installations ultra-vide ou à vide élevé. ► Utilisez uniquement des outils propres. ► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse. ► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire. ► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé. 29/48 Démontage AVIS Dégâts causés par les vibrations Les vibrations et les impacts détruisent le capteur céramique qui est sensible aux chocs. ► Manipulez la jauge avec précaution. ► Évitez les vibrations et les impacts. ► Ne faites pas tomber la jauge. Conditions préalables ● Système à vide ventilé à la pression atmosphérique ● Tension d’alimentation désactivée Démontage de la jauge 1. Déconnectez le câble de mesure de la jauge. 2. Démontez la jauge du système de vide. 3. Mettez l’obturateur de protection sur la bride de connexion. 30/48 Maintenance 10 Maintenance AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. Maintenance dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de services de maintenance pour tous les produits. Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter un Centre de service Pfeiffer Vacuum pour organiser la maintenance de produits et de composants défectueux. Maintenance dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter le Centre de service Pfeiffer Vacuum local pour organiser la maintenance de produits et de composants défectueux. Demande de garantie Ouvrir l’appareil pendant la période de garantie ou endommager/supprimer le sceau de garantie annulera la garantie. Contactez le Centre de service Pfeiffer Vacuum en cas d’intervalle de maintenance raccourcis lié au processus. Garantie Tout dysfonctionnement de l’équipement résultant directement d’une contamination et de l’usure n’est pas couvert par la garantie. Commencer par lire intégralement les sections Lire intégralement la section consacrée aux instructions de travail avant de commencer à travailler. La jauge est sans entretien dans des conditions de fonctionnement propres. Le fonctionnement de longue durée ou une contamination peuvent entraîner un décalage du zéro. Un décalage du zéro nécessite un nouveau calibrage. 10.1 Nettoyage des composants DANGER Danger de mort dû au choc électrique causé par la pénétration d’humidité La pénétration d’eau dans l’unité cause des blessures aux personnes par chocs électriques. ► Utilisez seulement l’unité dans un environnement sec. ► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité. ► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, contactez Pfeiffer Vacuum Service. ► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité. 31/48 Maintenance AVERTISSEMENT Risques pour la santé dus aux agents nettoyants Les détergents utilisés peuvent nuire à la santé et causer un empoisonnement, des allergies, une irritation de la peau, des brûlures chimiques ou endommager les voies respiratoires. ► Respectez les réglementations en vigueur pour la manipulation des agents nettoyants. ► Respectez les mesures de sécurité concernant la manipulation et la mise au rebut des agents nettoyants. ► Attention aux réactions potentielles avec les matériaux du produit. AVIS Dégâts causés par la pénétration d’humidité La pénétration d’humidité, p. ex. sous forme de condensation ou d’égouttement, endommage l’unité. ► Protégez l’unité contre la pénétration de l’humidité. ► Utilisez seulement l’unité dans un environnement propre et sec. ► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité. ► Des précautions spécifiques doivent être prises en cas de risque d’égouttement d’eau. ► Ne mettez pas sous tension l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur. Contactez le Centre de service Pfeiffer Vacuum. AVIS Dégâts provoqués par des agents nettoyants inadaptés L'usage d'agents nettoyants inadaptés endommage le produit. ► Ne pas utiliser de solvants qui endommageraient sa surface. ► Ne pas utiliser d'agents nettoyants agressifs ou abrasifs. Produits consommables requis ● Alcool industriel ● Chiffon (doux, non pelucheux) Nettoyage externe de l’appareil 1. Utilisez toujours un chiffon imbibé d'alcool industriel pour le nettoyage externe. 2. Laissez sécher les surfaces complètement après le nettoyage. 10.2 Calibration de la jauge Pfeiffer Vacuum a calibré la jauge au départ usine, en position debout à la verticale. Le signal de sortie dépend de la position d'installation. FS Δp/90° (horizontal) 1000 hPa approx. 0,25 hPa 100 hPa approx. 0,13 hPa 10 hPa approx. 0,063 hPa 1 hPa approx. 0,038 hPa 0,1 hPa approx. 0,023 hPa Tab. 11: FS Pression limite recommandée 1000 hPa < 5 × 10-2 hPa 100 hPa < 5 × 10-3 hPa 10 hPa < 5 × 10-4 hPa 1 hPa < 5 × 10-5 hPa 0,1 hPa < 1 × 10-5 hPa Tab. 12: 32/48 Écart du signal de sortie entre la position verticale et la position horizontale Pression limite recommandée pour le calibrage du point zéro Maintenance Calibrage du point zéro en cas de pression limite excessive Le calibrage du point zéro à une pression limite excessive (> 25% FS) signifie que vous n’atteindrez pas le zéro. La LED « device status » clignote. Activez d’abord les réglages usine, puis répétez le calibrage du point zéro. Préparation du calibrage 1. Vérifiez que l’installation et les conditions ambiantes sont les mêmes que celles d’une utilisation normale. 2. Vérifiez l'absence de toute contamination du filtre. 3. Remplacez le filtre s’il est très contaminé ou endommagé. 4. Mettez la jauge en fonctionnement. Calibrage avec l’appareil d’affichage et de commande ► Calibrez la jauge conformément au mode d’emploi de l’appareil d’affichage et de commande. 10.2.1 Calibrer le point zéro via l’interface RS-485 Procédure 1. Dans la mesure du possible, mettez la jauge en service dans l'orientation de montage subséquente. 2. Purgez la jauge jusqu’à la pression limite recommandée. 3. Faites fonctionner la jauge pendant au moins 2 heures jusqu'à ce que la valeur mesurée soit stable. 4. Utilisez le paramètre [P:740] pour régler la valeur de la pression sur « 000000 ». La LED « device status » s’allume en jaune jusqu'à ce que le calibrage du point zéro soit terminé (durée du calibrage ≤ 8 s). La LED « device status » (état de l’appareil) s’allume en jaune en cas d’échec de la calibration du point zéro. À l’issue du calibrage du point zéro, la jauge revient automatiquement en mode de mesure. La LED « device status » (état de l’appareil) s’allume en vert. 10.2.2 Exécution du calibrage du point zéro avec le bouton « zéro » Outils nécessaires ● Stylet (max. Ø 1,1 mm) max. ø1.1 mm Fig. 7: Calibrage du point zéro avec le bouton « zéro » Procédure 1. Dans la mesure du possible, mettez la jauge en service dans l'orientation de montage subséquente. 2. Purgez la jauge jusqu’à la pression limite recommandée. 3. Faites fonctionner la jauge pendant au moins 2 heures jusqu'à ce que la valeur mesurée soit stable. 4. Utilisez un stylet pour appuyer brièvement sur le bouton « zéro ». – Le calibrage du point zéro est exécuté automatiquement. La LED « device status » s’allume en jaune jusqu'à ce que le calibrage du point zéro soit terminé (durée du calibrage ≤ 8 s). La LED « device status » (état de l’appareil) s’allume en jaune en cas d’échec de la 33/48 Maintenance calibration du point zéro. À l’issue du calibrage du point zéro, la jauge revient automatiquement en mode de mesure. La LED « device status » (état de l’appareil) s’allume en vert. 10.2.3 Effectuer la calibration point zéro avec le bouton « zero » (zéro) et la fonction de rampe Vous pouvez utiliser la fonction de rampe pour : ● Régler le point zéro, lorsque la pression de référence est connue et se situe dans la plage de mesure de la jauge. ● ajuster un décalage caractéristique pour la compensation d’un décalage du système de mesure Outil nécessaire ● Stylet (max. Ø 1,1 mm) max. ø1.1 mm Fig. 8: Calibrage du point zéro avec le bouton « zéro » Décalage < 2% de FS Le décalage ne doit pas être supérieur à 2% de FS. En cas de décalage positif supérieur, le risque est le dépassement de la limite supérieure de la gamme de mesure. Procédure 1. Dans la mesure du possible, mettez la jauge en service dans l'orientation de montage subséquente. 2. Faites fonctionner la jauge pendant au moins 2 heures jusqu'à ce que la valeur mesurée soit stable. 3. Utilisez un stylet pour appuyer sur le bouton « zéro » et maintenez-le enfoncé. – La LED « device status » (état de l’appareil) commence à s’allumer. Au bout de 5 s, la valeur de réglage du zéro varie en continu (rampe), à partir de la valeur de sortie actuelle, jusqu'à ce que vous relâchiez le bouton ou que la limite de réglage (max. 25 % FS) soit atteinte. Le signal est restitué avec un retard d’environ 1 s. 4. Relâchez le bouton « zéro » puis enfoncez-le à nouveau dans les 3 à 5 s suivantes pour changer la direction (rampe inverse). – La LED « device status » (état de l’appareil) s’éteint brièvement, puis se rallume. 5. Relâchez le bouton« zéro » et enfoncez-le à nouveau dans les 3 secondes (env. 1× par seconde) pour effectuer un réglage précis de la valeur de réglage du zéro. 6. Relâchez le bouton « zéro » pendant au moins 5 secondes. – La jauge retourne dans le mode de mesure. La LED « device status » (état de l’appareil) s’allume en jaune si la jauge atteint l’état de dépassement vers le bas de la gamme. 34/48 Maintenance 10.3 Charger paramètres d’usine Les réglages modifiés sont perdus Cette fonction vous permet de remettre à zéro tous les paramètres réglés/changés par l’utilisateur et de restaurer toutes les valeurs par défaut (réglages-usine). Tous les réglages modifiés sont perdus en cas de remise à zéro sur les réglages usine. Vous ne pouvez pas annuler cette fonction. Outil nécessaire ● Stylet (max. Ø 1,1 mm) max. ø1.1 mm Fig. 9: Utilisez le bouton « zéro » pour charger les paramètres d'usine Procédure 1. Mise hors service de la jauge. 2. Mettez en service la jauge tout en maintenant le bouton « zéro » enfoncé à l’aide d'un stylet pendant plus de 5 secondes. – La jauge charge les réglages-usine. 35/48 Expédition 11 Expédition AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement par produits contaminés L’expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la santé et l’ sécurité du personnel de maintenance. ► Conforme aux instructions pour une distribution en toute sécurité. Décontamination payante Pfeiffer Vacuum décontamine les produits qui ne sont pas clairement déclarés comme « Sans contaminants », à votre charge. Expédier le produit en toute sécurité ► L’expédition de produits microbiologiques, explosibles ou ayant subi une contamination radioactive est interdite. ► Respecter les consignes d’expédition des pays et des sociétés de transport impliqués. ► Les risques potentiels doivent être mis en évidence sur la face extérieure de l’emballage. ► Téléchargez les explications sur la contamination en vous connectant à Pfeiffer Vacuum Service. ► Toujours joindre une déclaration de contamination dûment remplie. 36/48 Recyclage et mise au rebut 12 Recyclage et mise au rebut AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. Protection de l’environnement Vous devez mettre au rebut le produit et ses composants conformément aux directives applicables pour la protection des personnes, de l’environnement et de la nature. ● Contribuez à la réduction du gaspillage des ressources naturelles. ● Évitez toute contamination. 12.1 Informations générales sur la mise au rebut Les produits Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables. ► Mettez au rebut nos produits en séparant : – Fer – Aluminium – Cuivre – Matière synthétique – Composants électroniques – Huiles et graisses, sans solvant ► Observez les mesures de sécurité spéciales pour la mise au rebut de : – Fluoroélastomères (FKM) – Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé 12.2 Mise au rebut des jauges Les jauges Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux que vous devez recycler. 1. Démantelez l’unité électronique. 2. Décontaminez les composants qui entrent en contact avec les gaz de procédé. 3. Séparez les composants en matériaux recyclables. 4. Recyclez les composants non contaminés. 5. Mettez au rebut le produit ou les composants de façon sûre en conformité avec toutes les directives applicables. 37/48 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 13 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum Nous offrons un service de première classe Une longue durée de vie des composants du vide, associée à des temps d’arrêt réduits, sont ce que vous attendez clairement de nous. Nous répondons à vos besoins par des produits efficaces et un service d’exception. Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien évidemment. Nos ingénieurs commerciaux et techniciens de service professionnels sont à votre disposition pour vous assurer un soutien pratique dans le monde entier. Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de services, allant des pièces de rechange d’origine aux accords de service. Profitez du service Pfeiffer Vacuum Qu'il s’agisse du service préventif sur place de notre service sur site, du remplacement rapide par des produits de rechange comme neufs ou de la réparation dans un centre de service proche de chez vous ; vous disposez d'une variété d’options pour maintenir la disponibilité de votre équipement. Vous trouverez des informations détaillées ainsi que les adresses sur notre site web dans la section Pfeiffer Vacuum Service. Des conseils sur la solution optimale sont disponibles auprès de votre interlocuteur Pfeiffer Vacuum. Pour un déroulement rapide et efficace de la procédure de service, nous recommandons de suivre les étapes suivantes : 1. Télécharger les modèles de formulaire actuels. ─ Déclaration de demande de service ─ Demande de service ─ Déclaration de contamination a) Démonter tous les accessoires et les conserver (toutes les pièces externes montées telles que la vanne, le filtre d’arrivée, etc.). b) Vidanger le fluide d'exploitation / lubrifiant si nécessaire. c) Vidanger le fluide de refroidissement si nécessaire. 2. Remplir la demande de service et la déclaration de contamination. ANFORDERUNG SERVICE ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 3. Envoyer les formulaires par e-mail, fax ou par courrier à votre centre de service local. 4. Vous recevrez une réponse de Pfeiffer Vacuum. Envoi de produits contaminés Aucune unité ne sera acceptée si elle est contaminée par des substances micro-biologiques, explosives ou radioactives. Si les produits sont contaminés ou si la déclaration de contamination est manquante, Pfeiffer Vacuum contactera le client avant de démarrer la maintenance. Par ailleurs, selon le produit et le niveau de contamination, des frais de décontamination supplémentaires peuvent être facturés. 38/48 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails contenus dans la déclaration de contamination. a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec. b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air. c) Sceller le produit dans un film de protection approprié. d) Emballer le produit dans des conteneurs de transport stables appropriés uniquement. e) Respecter les conditions de transport en vigueur. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 6. Joindre la déclaration de contamination sur l’extérieur de l’emballage. 7. Envoyer ensuite le produit à votre centre de service local. 8. Vous recevrez un message de confirmation / un devis de la part de Pfeiffer Vacuum. Pour toutes les demandes de service, nos Conditions générales de vente et de livraison ainsi que nos Conditions générales de réparation et de maintenance sont appliquées aux équipements et composants du vide. 39/48 Accessoires 14 Accessoires Vous trouverez sur notre site Internet la gamme des accessoires DigiLine. 14.1 Informations sur l’accessoire Unités de courant Unités de courant pour montage mural ou sur rail standard pour alimenter les jauges DigiLine Appareil de commande OmniControl Appareil de commande universel pour tous les produits avec le protocole RS-485 Pfeiffer Vacuum. Il alimente jusqu’à deux transmetteurs et est équipé d’un affichage pour afficher la pression de jusqu’à 16 canaux de mesure. Accessoires pour RS-485 Câbles et éléments de fixation pour la création d’un bus de terrain RS-485 Câble d’interface et d’alimentation Câble de différentes longueurs, pour la connexion à une unité d’alimentation Pfeiffer Vacuum ou à un PC Joints avec anneau de centrage et filtre Filtre disponible avec différentes grandeurs de pores pour la protection du système de mesure contre toute contamination lorsque les applications représentent un risque de contamination 14.2 Commande d’accessoires Variantes OmniControl Pour les autres variantes OmniControl, reportez-vous au site Web Pfeiffer Vacuum. Numéro de commande Champ de sélection PT 348 105 -T Résistance de borne de connexion pour RS-485 PM 061 270 -X Accouplement M12 pour RS-485 PT 348 132 -T Séparateur de puissance pour RS-485 P 4723 010 Raccord en Y M12 pour RS-485 PM 061 207 -T Convertisseur USB RS-485 PT 348 106 -T Connecteur M12 m à 4 broches avec étriers à vis pour DigiLine RS-485, pour câbles spécifiques au client PT 348 163 -T Réseau d'alimentation DigiLine, M12, 4 broches pour TPS, 3 m PM 061 283 -T Câble d’interface, M12 m droit/M12 m droit, 3 m PM 061 284 -T Câble d’interface, M12 m droit / M12 m droit, 5 m PM 061 285 -T Câble d’interface, M12 m droit / M12 m droit, 10 m PF 117 216 -T Anneau de centrage avec filtre en métal fritté, grandeur de pores 0,02 mm, FKM/acier inoxydable, DN 16 ISO-KF PT 120 132 -T Anneau de centrage avec filtre fin, grandeur de pores 0 004 mm, FKM/ acier inoxydable, DN 16 ISO-KF PM 061 344 -T TPS 111, unité de courant 19", unité enfichable 3HU PM 061 340 -T TPS 110, unité de courant pour installation murale/sur rail standard PE D50 000 0 OmniControl 200, unité châssis avec unité de courant intégrée PE E50 000 0 OmniControl 200, unité de table avec unité de courant intégrée Tab. 13: 40/48 Accessoires Caractéristiques techniques et dimensions 15 Caractéristiques techniques et dimensions 15.1 Généralités mbar bar Pa hPa kPa Torr | mm Hg 100 1 0,1 0,75 1 · 10 1,000 100 1 · 10 1 0,01 1 · 10 7.5 · 10-3 1 1 · 10-3 100 1 0,1 0,75 kPa 10 0,01 1,000 10 1 7,5 Torr | mm Hg 1,33 1,33 · 10-3 133,32 1,33 0,133 1 mbar 1 1 · 10 bar 1,000 1 Pa 0,01 hPa -3 5 -5 1 Pa = 1 N/m Tab. 14: 2 Tableau de conversion : unités de pression mbar l/s mbar l/s Pa m3/s sccm Torr l/s atm cm3/s 1 0,1 59,2 0,75 0,987 592 7,5 10 3 Pa m /s sccm 1 3 atm cm /s 9,87 1.69 · 10 1.69 · 10 1 1,33 0,133 78,9 1 1,32 1,01 0,101 59,8 0,76 1 -2 Torr l/s Tab. 15: 750 -3 -3 -2 1,27 · 10 1.67 · 10-2 Tableau de conversion : unités de débit de gaz 15.2 Fiche technique Paramètre Gamme de mesure Pression maximum (absolue) Valeur CCT 371 1000 hPa /0,1 hPa CCT 372 100 hPa/1 × 10-2 hPa CCT 373 10 hPa/1 × 10-3 hPa CCT 374 1 hPa/1 × 10-4 hPa CCT 375 0,1 hPa/1 × 10-5 hPa CCT 371 400 kPa CCT 372 260 kPa CCT 373 CCT 374 CCT 375 130 kPa Pression de rupture (absolue) 500 kPa Dépendance du type de gaz Aucune Précision 6) CCT 371 0,15 % de la valeur mesurée CCT 372 CCT 373 CCT 374 CCT 375 6) 0,40 % de la valeur mesurée Non-linéarité, hystérésis, précision répétable dans la plage calibrée à une température ambiante de 25 °C sans influence de la température après 2 heures de fonctionnement. 41/48 Caractéristiques techniques et dimensions Paramètre Valeur Influence de la température sur le point zéro CCT 371 0,0025% FS/ °C CCT 372 CCT 373 CCT 374 CCT 375 0,005% FS/ °C Influence de la température sur la gamme 0,01 % de la valeur mesurée/ °C Résolution 0,003% FS Calibrage de la jauge Bouton pour le calibrage du point zéro Tab. 16: Valeurs de mesure et de pression Paramètre Temps de réponse Valeur CCT 371 60 ms CCT 372 CCT 373 CCT 374 Tension d’alimentation CCT 375 160 ms Sur la jauge +14 – +30 V DC 7) Ondulation ≤ 1 Vpp Puissance absorbée ≤ 12 W Fusible interne 1,25 AT (lent), remise à zéro automatique (Polyfuse) Raccordement (électrique) Connecteur M12 Binder, 5 broches, codé A Câble de mesure 4 broches, blindage inclus Longueur de câble Concept de mise à la terre Tab. 17: Raccordé via 1 MΩ (différence de tension < 18 V) Terre d'alimentation et masse signal acheminement séparé pour la mesure du différentiel(10 Ω) Données électriques Paramètre Valeur Protocole ASCII, adressage (RS-485), protocole Pfeiffer Vacuum Format de données Trafic de données bidirectionnel, 1 bit de démarrage, longueur des mots de données 8 bits, 1 bit de stop, pas de bit de parité, pas d’échange réciproque Vitesse de transmission en baud 9600 Raccordement Connecteur M12 Binder, 5 broches, codé A Tab. 18: Interface RS-485 Paramètre Valeur Volume interne ≤ 4,2 cm3 Poids ≤ 700 g Tab. 19: 7) 42/48 ≤ 100 m Raccord vide et signal de masse Volume interne et poids La jauge est protégée contre toute inversion de polarité de la tension d’alimentation. Caractéristiques techniques et dimensions Paramètre Valeur Humidité relative de l’air À des températures atteignant +31 °C, 80 % max. À des températures atteignant +40 °C, 50 % max. Orientation de montage Arbitraire Usage En intérieur uniquement Altitude maximum de l’installation 2 000 m MSL Degré de pollution 2 Degré de protection IP40 Tab. 20: Paramètre Valeur Fonctionnement +10 – +40 °C Cellule de capteur 48 °C Étuvage (non opérationnel) ≤ 110 °C sur bride Stockage -40 – +65 °C Tab. 21: Températures Paramètre Valeur Bride, tube Acier inoxydable AISI 316L Capteur, diaphragme Céramique oxyde d’aluminium (Al2O3 ≥ 99,5%) Tab. 22: Substances en contact avec le fluide 124 76 6.4 Dimensions 76 15.7 31.7 15.3 Conditions ambiantes DN 16 ISO-KF ½" DN 16 CF-R 8VCR Fig. 10: Dimensions Dimensions en mm 43/48 The products CCT 36x and CCT 37x - conform to the UL standards UL 61010-1, 3rd edition (2016), R:2019 Safety requirements for electrical equipment for measurement, control and laboratory use Part 1: General requirements - are certified to the CSA standards CSA C22.2 No. 61010-1-12, 3rd edition (2012), U1, U2, A1 Safety requirements for electrical equipment for measurement, control and laboratory use Part 1: General requirements Déclaration de conformité CE La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant. Déclaration pour produit(s) du type : Jauge capacitive numérique CCT 371 CCT 372 CCT 373 CCT 374 CCT 375 Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes. Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses, directive déléguée 2015/863/UE Normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées : DIN EN IEC 61000-6-2:2019 DIN EN IEC 61000-6-3:2022 DIN EN 61010-1:2020 DIN EN IEC 61326-1:2022 DIN EN IEC 63000:2019 Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (Daniel Sälzer) Directeur général Asslar, 2023-02-23 Déclaration de Conformité UK La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant. Déclaration pour produit(s) du type : Jauge capacitive numérique CCT 371 CCT 372 CCT 373 CCT 374 CCT 375 Nous déclarons par la présente que le produit cité satisfait à toutes les exigences applicables des Directives Britanniques suivantes. Réglementation 2016 sur la Compatibilité Electromagnétique Réglementation 2012 sur la Limitation de l'Utilisation de Certaines Substances Dangereuses dans les Equipements Electriques et Electroniques Standards et spécifications appliqués : EN IEC 61000-6-2:2019 EN IEC 61000-6-3:2021 EN 61010-1:2010 + A1:2019 + A1:2019/AC:2019 EN IEC 61326-1:2021 EN IEC 63000:2018 Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitution du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (Daniel Sälzer) Directeur général Asslar, 2023-02-23 47/48 *BG6012* ed. A - Date 2312 - P/N:BG6012BFR ">
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