Pfeiffer QMH 400/QMH 402 Mode d'emploi

MANUEL DE L'UTILISATEUR
FR
Traduction d'original
QMH 40X
Générateur de haute fréquence pour QMG 700 HiQuad®
Cher client,
Nous vous remercions d’avoir opté pour un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouveau
générateur de haute fréquence a été conçu pour vous donner entière satisfaction pour votre
application, de par sa conception rigoureuse et son parfait fonctionnement. Le nom
Pfeiffer Vacuum représente une technique du vide de haute qualité, se décline en une
gamme exhaustive et variée de produits de grande qualité, assortis d’un service client
irréprochable. Forts de cette expérience pratique étendue, nous avons compilé une multitude
d’informations qui peuvent contribuer à une implémentation efficace et à votre sécurité
personnelle.
Sachant que notre produit doit vous permettre d’éviter des arrêts de production coûteux,
nous sommes confiants qu’il pourra vous offrir une solution pour une implémentation efficace
et fiable de votre application individuelle.
Veuillez lire ce manuel de l’utilisateur avant de mettre votre produit en service pour la
première fois. Si vous avez des questions ou suggestions, n’hésitez pas à nous contacter par
e-mail à l’adresse info@pfeiffer-vacuum.de.
Vous trouverez d’autres manuels de l’utilisateur de Pfeiffer Vacuum dans le Centre de
téléchargement sur notre site Internet.
Exclusion de responsabilité
Ce manuel d'instructions décrit tous les modèles et variantes de votre produit. Noter que
votre produit peut ne pas être équipé de toutes les fonctionnalités décrites dans ce manuel.
Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le
manuel d'utilisation en ligne peut différer du document imprimé, fourni avec votre produit.
D'autre part, Pfeiffer Vacuum n'assume aucune responsabilité pour les dommages résultant
d'une utilisation contraire à l'usage prévu, ou d'une utilisation définie comme mauvaise
utilisation prévisible.
Droits d’auteur (Copyright)
Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce
document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits
ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations
contenues dans ce document.
2/50
Table des matières
Table des matières
1
A propos de ce manuel
1.1 Validité
1.1.1 Documents applicables
1.1.2 Variantes
1.2 Groupe cible
1.3 Conventions
1.3.1 Instructions dans le texte
1.3.2 Pictogrammes
1.3.3 Autocollants sur le produit
1.3.4 Abréviations
1.4 Justificatif de marque de commerce
7
7
7
7
7
8
8
8
8
8
9
2
Sécurité
2.1 Consignes générales de sécurité
2.2 Consignes de sécurité
2.3 Mesures de sécurité
2.4 Limites d’utilisation du produit
2.5 Utilisation conforme
2.6 Utilisations non conformes prévisibles
2.7 Responsabilité et garantie
2.8 Conditions propriétaire
2.9 Qualification personnelle
2.9.1 Garantir la qualification du personnel
2.9.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation
2.9.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum
2.10 Conditions opérateur
10
10
10
12
13
13
13
14
14
14
14
15
15
15
3
Description du produit
3.1 Structure
3.2 Description fonctionnelle
3.3 Raccordements
3.3.1 Connexion QC à l'appareil de commande QC 700
3.3.2 Raccordements FA et RF+ / RF- à l'analyseur QMA
3.3.3 Connexion EP au pré-amplificateur de l'électromètre EP 422
3.4 Identification du produit
3.5 Étendue de la livraison
16
16
16
17
17
18
19
19
20
4
Transport et stockage
4.1 Transport du produit
4.2 Stockage du produit
21
21
21
5
Installation
5.1 Installation du générateur HF
5.1.1 Respect des conditions ambiantes
5.1.2 Respect de l’orientation de montage
5.1.3 Installation d'un générateur de haute fréquence avec support sur
QMA
5.2 Établir une connexion électrique par connecteur mâle/femelle
5.2.1 Établissement d’un raccord de terre
5.2.2 Raccordement du câble de commande
5.2.3 Raccordement des câbles coaxiaux HF
5.2.4 Raccordement du câble d'axe de champ
5.2.5 Raccordement des pré-amplificateurs d’électromètre
22
22
23
23
24
Mettre en service
6.1 Temps d'attente
6.2 Contrôle du réglage
27
27
27
6
24
24
25
25
25
26
3/50
Table des matières
4/50
7
Utilisation
7.1 Mesure de spectres
7.2 Sélection du spectre intégral
7.3 Réglage de la résolution
7.4 Ajustage de la résolution pour faibles masses (BAS)
7.5 Calibrage de l'échelle de masse (MASS CALIBRATION LOW/HIGH)
7.6 Temps d'attente
29
29
29
29
29
30
30
8
Maintenance
8.1 Maintenance du produit
8.2 Nettoyer l’appareil
31
31
32
9
Anomalies
33
10
Expédition
36
11
Recyclage et mise au rebut
11.1 Informations générales sur la mise au rebut
11.2 Élimination du système du spectromètre de masse
37
37
37
12
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
38
13
Informations de commande
13.1 Commande de pièces
13.2 Commande de PDR et accessoires
40
40
40
14
Caractéristiques techniques et dimensions
14.1 Fiche technique
14.2 Données électriques
14.3 Données de travail avec l'analyseur quadrupolaire
14.4 Dimensions
41
41
41
42
44
15
Annexe
15.1 Comportement comme fonction de temps
15.1.1Réponse par pas
15.1.2Balayages de masse rapides
15.2 Méthode de calibrage du nombre de masse M et de la largeur de ligne
ΔM
15.2.1Position apparente du pic et largeur de ligne
15.2.2Position apparente du pic et forme du pic
15.2.3Définition du nombre de masse et de la largeur de ligne
15.2.4Écarts par rapport à M et ΔM
45
45
45
45
46
Déclaration de conformité CE
48
Déclaration de Conformité UK
49
46
46
46
47
Liste des tableaux
Liste des tableaux
Tab. 1:
Tab. 2:
Tab. 3:
Tab. 4:
Tab. 5:
Tab. 6:
Tab. 7:
Tab. 8:
Tab. 9:
Tab. 10:
Tab. 11:
Tab. 12:
Tab. 13:
Tab. 14:
Tab. 15:
Tab. 16:
Tab. 17:
Tab. 18:
Tab. 19:
Tab. 20:
Tab. 21:
Tab. 22:
Documents applicables
Abréviations employées
Conditions ambiantes autorisées
Affectation des broches de la connexion QC
Fonctions
Codage
Affectation des broches du raccordement FA
Affectation des broches des raccordements RF+ and RF
Affectation des broches de la connexion EP
Indicateurs sur barre éclairée
Points de calibrage préférés
Points de calibrage préférés
Anomalies
Pièces de rechange
Accessoires
Fiche technique
Conditions ambiantes
Données électriques
Types QMH et QMA
Données de travail avec l'analyseur quadrupolaire
Délais d'attente pour l'engagement du QMH
Retard échelle de masse
7
9
13
17
18
18
18
19
19
27
29
30
35
40
40
41
41
42
42
43
45
45
5/50
Liste des figures
Liste des figures
Fig. 1:
Fig. 2:
Fig. 3:
Fig. 4:
Fig. 5:
Fig. 6:
Fig. 7:
Fig. 8:
Fig. 9:
Fig. 10:
Fig. 11:
Fig. 12:
Fig. 13:
Fig. 14:
Fig. 15:
6/50
Structure
Affectation des broches de la connexion QC
Affectation des broches du raccordement FA
Affectation des broches de la connexion EP
Échauffement max. admissible
Plan de montage horizontal et déclivité admissible
Installation d'un générateur de haute fréquence avec support sur QMA
6 positions d'installation possibles
Barre éclairée : « ajustage »
Non-linéarité de M et ΔM
Dimensions
Le sommet du pic se déplace avec ΔM
Le sommet du pic se déplace avec la forme du pic
Méthode de calibrage du nombre de masse M et de la largeur de ligne ΔM
1 = pic mesuré | 2 = pic de référence ΔM = 1 u
16
17
18
19
23
23
24
24
27
43
44
46
46
47
47
A propos de ce manuel
1 A propos de ce manuel
IMPORTANT
Bien lire avant d'utiliser le produit.
Conserver ce manuel pour une future utilisation.
1.1
Validité
Ce document décrit la fonction des produits de la liste suivante et contient les informations les plus importantes pour une utilisation sécurisée. La description est rédigée conformément aux directives en vigueur. Les informations contenues dans ce document correspondent à l'état de développement actuel
des produits. Le document conserve sa validité à condition que le client n'apporte aucune modification
au produit.
1.1.1
Documents applicables
Désignation
Document
Manuel de l'utilisateur pour « HiQuad » QMG 700
BG 5400
Manuel de l'utilisateur pour pré-amplificateur d’électromètre EP 422
Manuel de l'utilisateur pour pré-amplificateur de compteur d’ions CP 400
BG 5812
Manuel de l'utilisateur pour tiroir d’entrée/sortie IO 720
BG 5402
Manuel de l'utilisateur pour analyseur QMA 4x0
BG 5983
Documentation du logiciel QUADERA
(partie du logiciel)
Déclaration de conformité
(composante de ces instructions)
Tab. 1:
Documents applicables
Vous trouverez ces documents dans le Centre de téléchargement Pfeiffer Vacuum.
1.1.2
Variantes
Ce document s’applique à tous les produits avec les références suivantes :
Référence
Désignation
PT M23 067
QMH 400-1
PT M23 066
QMH 400-5
PT M23 070
QMH 402-2
Vous trouverez le numéro de la pièce sur la plaque signalétique du produit.
Pfeiffer Vacuum se réserve le droit d'apporter des modifications techniques sans préavis.
Les figures de ce document ne sont pas à l’échelle.
Les dimensions sont indiquées en mm, sauf avis contraire.
1.2
Groupe cible
Ce manuel d'utilisation s’adresse à toutes les personnes en charge
●
●
●
●
●
●
du transport,
de l'installation,
de la commande et de l'utilisation,
de la mise hors service,
de la maintenance et du nettoyage,
du stockage et du recyclage du produit.
Les opérations décrites dans ce document doivent uniquement être effectuées par un personnel doté
de la formation technique nécessaire (personnel qualifié), ou ayant suivi une formation correspondante
de Pfeiffer Vacuum.
7/50
A propos de ce manuel
1.3
Conventions
1.3.1
Instructions dans le texte
Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à
réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes.
Action unique
Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape.
► Il s'agit d’une étape unique.
Action en plusieurs étapes
Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique.
1. Étape 1
2. Étape 2
3. ...
1.3.2
Pictogrammes
Les pictogrammes utilisés dans le document représentent des informations utiles.
Remarque
Conseil
1.3.3
Autocollants sur le produit
Cette section décrit tous les autocollants sur le produit ainsi que leurs significations.
Plaque signalétique
La plaque signalétique est située sur le côté de l’unité.
D-35614 Asslar
Mod.
P/N
S/N
Input
1.3.4
8/50
QMH 4xx-x
PT Mxx xxx
xxxxxxxxx
24 V DC 110 W
Made in United States 2022/07
Abréviations
Abréviation
Explication
ESD
Décharge électrostatique
FA
Axes de champ
HF
Haute fréquence
QMA
Analyseur de spectromètre de masse quadripôle
QMH
Générateur de haute fréquence de spectromètre de masse quadripôle
A propos de ce manuel
Abréviation
Explication
RF
Fréquence radio (haute fréquence)
SEM
Multiplicateur d’électrons secondaire
Tab. 2:
1.4
Abréviations employées
Justificatif de marque de commerce
● HiQuad® est une marque déposée de Pfeiffer Vacuum GmbH.
● QUADERA ® est une marque déposée de Inficon GmbH.
9/50
Sécurité
2 Sécurité
2.1
Consignes générales de sécurité
Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit :
DANGER
Danger direct et imminent
Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVERTISSEMENT
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
ATTENTION
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVIS
Obligation ou signalement
Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure
physique.
► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels
Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le
produit ou le présent document.
2.2
Consignes de sécurité
Consignes de sécurité selon les étapes de la vie du produit
Toutes les consignes de sécurité de ce document sont basées sur les résultats d’une évaluation des risques. Pfeiffer Vacuum a pris en compte toutes les étapes pertinentes de la
vie du produit.
10/50
Sécurité
Risques lors de l’installation
DANGER
Danger de mort en cas d’électrocution
Une mise à la terre inappropriée ou incorrecte de l’unité entraîne une tension sensible aux contacts
au niveau du boîtier. Lors de la connexion, des courants de fuite plus élevés vont déclencher un choc
électrique potentiellement mortel.
► Avant l’installation, contrôlez que les conducteurs d’alimentation ne sont pas sous tension.
► Acheminez le câble électrique conformément aux dispositions locales en vigueur.
► Assurez-vous que les valeurs de tension et de fréquence locales correspondent aux spécifications de la plaque signalétique.
► Veillez à ce que le câble d’alimentation et la rallonge soient conformes aux exigences de double
isolation entre la tension d’entrée et la tension de sortie, conformément aux normes CEI 61010
et CEI 60950.
► N'utilisez qu’un câble d'alimentation à 3 broches et une rallonge disposant d'une mise à la terre
correcte (conducteur mis à la terre).
► Ne branchez la fiche électrique que dans une prise disposant d'un contact de mise à la terre.
► Afin de garantir la protection de la mise à la terre, il convient de toujours brancher le câble électrique avant tous les autres.
Risques pendant le fonctionnement
DANGER
Danger de mort dû au choc électrique causé par la pénétration d’humidité
La pénétration d’eau dans l’unité cause des blessures aux personnes par chocs électriques.
► Utilisez seulement l’unité dans un environnement sec.
► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité.
► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, contactez Pfeiffer Vacuum Service.
► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité.
Risques pendant la maintenance
DANGER
Danger de mort en cas de contact avec la haute tension
De hautes tensions sont présentes dans l’appareil. Danger de mort en cas de contact avec des éléments sous tension. La mise en service de l’appareil alors qu’il est visiblement endommagé implique
un danger de mort.
► Toute intervention sur l’appareil ouvert doit être confiée à un personnel spécialisé et qualifié.
► Avant d’exécuter une installation ou une opération de maintenance, arrêtez l’appareil et déconnectez-le de l’alimentation électrique.
– Après l’arrêt de l’appareil, attendez environ 60 secondes puis débranchez tous les câbles
(en terminant par le câble électrique).
► N’ouvrez jamais l’appareil lorsqu’il est branché à une source d’alimentation électrique.
► Prenez les mesures nécessaires pour éviter toute réactivation involontaire ou non autorisée.
► N’insérez pas d’objets dans les ouvertures d’aération.
► N’ouvrez jamais une unité de courant externe.
► Ne faites jamais fonctionner un appareil ouvert ou défectueux.
► Prenez les mesures nécessaires pour empêcher l’utilisation accidentelle d’un appareil défectueux.
► Protégez l’appareil contre l’humidité.
11/50
Sécurité
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
AVERTISSEMENT
Risques pour la santé dus aux agents nettoyants
Les détergents utilisés peuvent nuire à la santé et causer un empoisonnement, des allergies, une irritation de la peau, des brûlures chimiques ou endommager les voies respiratoires.
► Respectez les réglementations en vigueur pour la manipulation des agents nettoyants.
► Respectez les mesures de sécurité concernant la manipulation et la mise au rebut des agents
nettoyants.
► Attention aux réactions potentielles avec les matériaux du produit.
Risques liés à l’expédition
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement par produits contaminés
L’expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la santé et l’ sécurité du personnel de maintenance.
► Conforme aux instructions pour une distribution en toute sécurité.
Risques pendant la mise au rebut
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
2.3
Mesures de sécurité
Le produit est conçu sur la base des technologies les plus récentes et des règles techniques de sécurité reconnues. Cependant, une utilisation incorrecte peut présenter un risque de blessure ou un danger
de mort pour l'opérateur et toute autre personne, ainsi qu'un risque de dommages matériels sur le produit et autres.
Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels
Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit.
Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du
produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document.
12/50
Sécurité
Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit
La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit
d'origine ou installe un équipement supplémentaire
● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le
cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives
européennes applicables avant de mettre en service ce système.
Mesures de sécurité générales lors de la manipulation du produit
► Respectez toutes les dispositions de sécurité et de prévention des accidents en vigueur.
► Contrôlez régulièrement que toutes les mesures de sécurité sont respectées.
► Les consignes de sécurité doivent être transmises aux autres utilisateurs.
► N'exposez aucune partie du corps au vide.
► Assurez toujours un raccordement sûr au conducteur de terre (PE).
► Ne débranchez jamais les fiches de raccordement en cours de fonctionnement.
► Respectez les procédures d’arrêt ci-dessus.
► Tenez les conduites et les câbles éloignés des surfaces chaudes (> 70 °C).
► N'effectuez pas vous-même de conversions ou de modifications de l'appareil.
► Consultez le degré de protection de l’unité avant son installation ou fonctionnement dans d’autres
environnements.
► Mettez en place des équipements de protection adaptés contre tout contact physique si la température de surface dépasse 70 °C.
► Il convient de toujours s'informer d'éventuelles contaminations avant de commencer à travailler.
2.4
Limites d’utilisation du produit
Paramètre
Valeur
Lieu d'implantation
Protégé des intempéries (espace intérieur)
Degré de protection
IP 20
Classe de protection
I
Altitude d’installation
Max. 2000 m
Degré de pollution
2
Température de stockage
-20 à +60 °C
Température de service
0 à +50 °C
Température de câble (HF/FA)
Max. 200 °C
Humidité relative
Max. 80% à des températures jusqu'à +31 °C.
Diminution linéaire jusqu'à 50% à +40 °C.
Tab. 3:
2.5
Conditions ambiantes autorisées
Utilisation conforme
Le générateur de haute fréquence QMH 40x est un composant du système de spectromètre de masse
quadripôle HiQuad QMG 700 de Pfeiffer Vacuum et génère les tensions HF et CC nécessaires au système de tige de l'analyseur quadrupolaire QMA. Le générateur de haute fréquence est exclusivement
destiné à être utilisé comme alimentation électrique pour un analyseur quadrupolaire QMA 400, QMA
410 ou QMA 430 de Pfeiffer Vacuum.
► L’installation, l’utilisation et l’entretien du produit doivent être exécutés exclusivement conformément au manuel de l’utilisateur.
► Se conformer aux limites d’utilisation.
► Observer la fiche technique.
2.6
Utilisations non conformes prévisibles
Toute utilisation non conforme du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité.
Toute utilisation non conforme à l’objectif du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée
comme non réglementaire, en particulier :
13/50
Sécurité
●
●
●
●
●
●
2.7
Utilisation en dehors des limites prescrites dans la fiche technique
Utilisation pour des mesures déterminant la sécurité de personnes ou de grandes valeurs
Utilisation avec des substances corrosives ou explosives
Utilisation en extérieur
Utilisation suite à des modifications techniques (à l’intérieur ou à l’extérieur du produit)
Utilisation avec des accessoires ou pièces de rechange inappropriés ou non approuvés
Responsabilité et garantie
Pfeiffer Vacuum décline toute responsabilité et garantie si la société exploitant le produit ou une partie
tierce :
● ignore ce document
● n'utilise pas le produit pour l'usage prévu
● apporte des modifications au produit (conversions, changements, etc.) qui ne sont pas mentionnées dans la documentation produit correspondante
● utilise le produit avec des accessoires qui ne sont pas mentionnés dans la documentation produit
correspondante
L'opérateur est responsable du gaz de procédé employé.
2.8
Conditions propriétaire
Travailler en toute sécurité
1. Le produit ne peut être utilisé que s'il est en parfait état technique.
2. Le produit doit être utilisé selon l'usage pour lequel il a été conçu, seulement conformément au
mode d'emploi, dans le respect des consignes de sécurité et en restant conscient des dangers
qu'il implique.
3. Suivez les instructions ci-dessous et assurez-vous que ces instructions soient suivies :
– Utilisation conforme
– Consignes de sécurité généralement applicables et règles de prévention des accidents
– Normes et directives applicables au niveau local, national et international
– Directives et régulations supplémentaires relatives au produit
4. Utiliser exclusivement des pièces d'origine et approuvées par Pfeiffer Vacuum.
5. Conserver le mode d'emploi accessible sur le lieu d'installation du produit.
6. Garantir la qualification du personnel.
2.9
Qualification personnelle
L'utilisation décrite dans ce document doit être confiée à des personnes disposant des qualifications
professionnelles adéquates et de l'expérience nécessaire ou qui ont suivi la formation requise dispensée par Pfeiffer Vacuum.
Formation du personnel
1. Former le personnel technique sur le produit.
2. Ne laisser le personnel à former travailler avec et sur le produit que sous la supervision d'un personnel qualifié.
3. Seul un personnel technique formé est autorisé à travailler avec le produit.
4. Avant de commencer à travailler, s'assurer que le personnel engagé a lu et compris ce mode
d'emploi et tous les documents pertinents, en particulier les informations relatives à la sécurité, à
l'entretien et à la réparation.
2.9.1
Garantir la qualification du personnel
Spécialistes des travaux mécaniques
Seuls des spécialistes qualifiés peuvent effectuer des travaux mécaniques. Selon la définition de ce document, les spécialistes sont des personnes responsables de la construction, de l'installation mécanique, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes :
● Compétences dans le domaine mécanique conformément aux régulations nationales en vigueur
● Connaissance de cette documentation
14/50
Sécurité
Spécialisation dans les travaux d'ingénierie électriques
Seul un électricien qualifié peut effectuer des travaux d'ingénierie électriques. Selon la définition de ce
document, les électriciens sont des personnes responsables de l'installation électrique, de la mise en
service, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes :
● Compétences dans le domaine de l'ingénierie électrique conformément aux régulations nationales
en vigueur
● Connaissance de cette documentation
De plus, ces personnes doivent être familiarisées avec les réglementations et la législation en matière
de sécurité en vigueur, ainsi que les normes, directives et lois mentionnées dans cette documentation.
Les personnes mentionnées ci-dessus doivent avoir obtenu expressément l'autorisation d'utilisation afin
de mettre en service, de programmer, de configurer, de marquer et de mettre à la terre les appareils,
systèmes et circuits conformément aux standards technologiques en matière de sécurité.
Personnes qualifiées
Seules les personnes spécialement formées peuvent effectuer toutes les opérations relatives au transport, à l'entreposage, à l'utilisation et à la mise au rebut. Ce type de formation doit garantir que ces personnes sont capables d'exécuter correctement les activités et opérations requises, et en toute sécurité.
2.9.2
Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation
Formations avancées
Pfeiffer Vacuum propose des formations avancées pour les niveaux de maintenance 2 et 3.
Les personnes adéquatement qualifiées sont :
● Maintenance de niveau 1
─ Client (spécialiste formé)
● Maintenance de niveau 2
─ Client avec formation technique
─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum
● Maintenance de niveau 3
─ Client avec formation à l'entretien Pfeiffer Vacuum
─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum
2.9.3
Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum
Pour une utilisation optimale et sans problème de ce produit, Pfeiffer Vacuum propose une gamme
complète de cours et de formations techniques.
Pour plus de précisions, contacter le service de formation technique Pfeiffer Vacuum.
2.10
Conditions opérateur
Analyse des documents et données concernés
1. Lire, analyser et respecter le mode d’emploi ainsi que les instructions de travail préparées par la
société d’exploitation, en particulier les consignes de sécurité et les avertissements.
2. L’installation, l’utilisation et l’entretien du produit doivent être exécutés exclusivement conformément au manuel de l’utilisateur.
3. Exécuter toutes les opérations uniquement sur la base du manuel de l’utilisateur et des documents pertinents.
4. Se conformer aux limites d’utilisation.
5. Observer la fiche technique.
6. Si ce manuel de l’utilisateur ne permet pas de répondre à toutes les questions posées lors de l’utilisation ou de l’entretien du produit, contacter le Pfeiffer Vacuum Service Center.
– Des informations sont disponibles dans la zone de service Pfeiffer Vacuum.
15/50
Description du produit
3 Description du produit
3.1
Structure
2
1
3
6
7
5
Fig. 1:
4
9
Structure
1 Élément de commande : « calibrage de masse
bas/haut »
2 Barre éclairée : « ajustage »
6
3 Raccordements pour câbles coaxiaux HF RF+
et RF4 Élément de commande : « ajustage »
8
5 Élément de commande : « résolution faible/
grossière »
3.2
8
3
3
7
9
Raccordement pour pré-amplificateur de
l'électromètre « ep1 (faraday) »
Raccordement pour pré-amplificateur de
l'électromètre « ep2 (sem) »
Vis de mise à la terre M4
Raccordement pour tension d'axe de champ
« FA »
Description fonctionnelle
Câblage du système de QMG 700 HiQuad
Pour de plus amples informations sur le câblage du système, référez-vous au manuel de
l'utilisateur de QMG 700 HiQuad.
Le générateur de haute fréquence QMH génère les tensions nécessaires au fonctionnement d'un filtre
de masse quadripolaire :
● Composant HF avec fréquence stabilisée par quartz
● Composant DC superposé
Les circuits HF de haute qualité garantissent une faible consommation de courant et une faible chaleur
auto-produite. Un four à température constante maintient les influences de la température à un niveau
bas. Le QMH doit être raccordé à une charge HF adaptée avec précision. Pour ce faire, il faut raccorder
l'analyseur à l'aide des câbles HF fournis dont la capacité est définie avec précision. Les tolérances de
fabrication peuvent être compensées. Pendant le fonctionnement et la réglage, l'état d'adaptation est
contrôlé et signalé à l’aide de LED. Le QMH est protégé contre la surchauffe et la destruction résultant
d'une charge HF mal adaptée, d'un court-circuit ou d'un fonctionnement à vide. Le potentiel de l'axe de
champ est fourni en externe. Les raccordements ep1 (Faraday) et ep2 (SEM) sont utilisées pour raccorder deux pré-amplificateurs d'électromètre EP 422.
L'appareil de commande QMS fournit les signaux d'alimentation et de commande, et contient les composants électroniques traitant les signaux de l'électromètre. Avec l'appareil de commande QMS, les
fonctions suivantes du QMH peuvent être utilisées :
●
●
●
●
●
●
Nombre de masse M (amplitude HF)
Largeur de pic ΔM
Spectre intégral (désactivé en DC)
RF OFF
Plage de l'électromètre
Signal de l'électromètre 1 ou 2
L'instrument signale l'état de disponibilité opérationnelle ou d'erreur à l'appareil de contrôle QMS.
16/50
Description du produit
3.3
Raccordements
3.3.1
Connexion QC à l'appareil de commande QC 700
Interfaces sur QC 700
Pour de plus amples informations sur les interfaces de QC 700, référez-vous au manuel de
l'utilisateur de QMG 700 HiQuad.
Un câble de raccordement de 3 m est installé en permanence sur le QMH 4x0 pour le raccordement au
QC 700.
1
→
13
14
→
25
Fig. 2:
Affectation des broches de la connexion QC
Broche
Mot de signalisation
Direction
du signal
Niveau
Impédance
1,2,14
-24 V
IN
3,15,16
+24 V
Voir « Caractéristiques
techniques »
Alimentation / alimentation électrique
4,6,17,19
0 V 1)
GND
10 Ω (voir Châssis)
5
SCAN + 2)
0 – +10,24 V
100 kΩ
18
SCAN - 3)
7
EP + 4)
20
EP - 5)
8
RESOL + 6)
21
RESOL - 7)
9
RESERVE 1 H
IN
10
RF OK L
OUT
2,2 kΩ
11
MODE 1 H
IN
100 kΩ vers le bas
23
MODE 2 H
12
GAMME 0 H
24
GAMME 1 H
13
EP 2 H
22
BLINDAGE
---
GND
33 Ω (voir Châssis)
25
RESERVE 2 H
IN
CMOS numérique 9)
100 kΩ vers le bas
Tab. 4:
Affectation des broches de la connexion QC
0V
OUT
0V
47 Ω
0 – ±16 V
IN
0 – +10,24 V
100 kΩ
0V
CMOS numérique 8)
1)
La ligne 0 V doit être à ±0,5 Vp max. par rapport à la GND du châssis.
2)
Signal en mode commun admissible : ±0,5 Vp max. pour SCAN±, RESOL± et EP±
3)
Signal en mode commun admissible : ±0,5 Vp max. pour SCAN±, RESOL± et EP±
4)
Signal en mode commun admissible : ±0,5 Vp max. pour SCAN±, RESOL± et EP±
5)
Signal en mode commun admissible : ±0,5 Vp max. pour SCAN±, RESOL± et EP±
6)
Signal en mode commun admissible : ±0,5 Vp max. pour SCAN±, RESOL± et EP±
7)
Signal en mode commun admissible : ±0,5 Vp max. pour SCAN±, RESOL± et EP±
8)
Niveau numérique CMOS : L : 0 - +0,75 V DC | H : +11,0 – +12,7 V DC
9)
Niveau numérique CMOS : L : 0 - +0,75 V DC | H : +11,0 – +12,7 V DC
100 kΩ
17/50
Description du produit
Directions des signaux
● IN = QMH est récepteur
● OUT = QMH est émetteur
Mot de signalisation
Niveau
Fonction de QMH
SCAN±
0 – +10,24 V
MASSE = (SCAN/10.24 V) x Mmax
RESOL±
0 – +10,24 V
ΔM = ΔMmin + (RESOL/10.24 V) x ΔMmax
EP±
0 – ±16 V
Signal de sortie du pré-amplificateur de l'électromètre (EP)
Tab. 5:
Fonctions
Mot de signalisation
GAMME – H
EP 2 H
MODE – H
RF OK L
Tab. 6:
3.3.2
...1...
...0...
Gamme de mesure de l'électromètre :
L
L
10-5 A
L
H
10-7 A
H
L
10-11 A
H
H
10-9 A
L
ep1, faraday
H
ep2, sem
...2...
...1...
Mode de fonctionnement :
L
L
VEILLE, non utilisé
L
H
INTEGRAL (DC OFF)
H
L
SPECTRE (DC ON)
H
H
RF OFF
L
QMH est OK
H
QMH n'est pas OK
Codage
Raccordements FA et RF+ / RF- à l'analyseur QMA
Tension d'axe de champ
Pour de plus amples informations sur la tension d'axe de champ, référez-vous au manuel
de l'utilisateur de l'analyseur QMA.
1
Fig. 3:
18/50
2
Affectation des broches du raccordement FA
Broche
Mot de signalisation
Direction du signal
Niveau
Impédance
1
FA
IN
Max. ±500 V / 2 mAmax
9 MΩ
2
non attribué
---
---
---
Carter
GND
IN
GND, blindage
---
Tab. 7:
Affectation des broches du raccordement FA
Description du produit
Mot de signalisation
Direction du signal
Niveau et charge
RF+ et RF-
OUT
Charge adaptée
Carter
OUT
GND, blindage
Connecteur : coaxial, SHV
Tab. 8:
Affectation des broches des raccordements RF+ and RF
Directions des signaux
● IN = QMH est récepteur
● OUT = QMH est émetteur
3.3.3
Connexion EP au pré-amplificateur de l'électromètre EP 422
Interfaces sur EP 422
Pour de plus amples informations sur les interfaces de l'EP 422, référez-vous au manuel
de l'utilisateur de QMG 700 HiQuad.
5
1
9
6
Fig. 4:
Affectation des broches de la connexion EP
Broche
Mot de signalisation
Direction du signal
Niveau
1
EP GND
IN
0V
2
+16 V
OUT
+16 V ±0,2 V / 27 mAmax
3
0 V EP
OUT
EP GND
4
-16 V
OUT
-16 V ±0,2 V / 12 mAmax
5
EXP 5 L
OUT
Numérique 1)
6
EP OUT
IN
0 – ±16 V
7
BLINDAGE
---
GND du châssis
8
EXP 7 L
OUT
Numérique
9
EXP 9 L
OUT
Numérique
Tab. 9:
Affectation des broches de la connexion EP
Directions des signaux
● IN = QMH est récepteur
● OUT = QMH est émetteur
Niveau numérique
●
●
●
●
3.4
L : 0 – +0,75 V DC
H : +16,5 - +17,0 V DC avec rappel externe >5 kΩ contre +16 V
Les niveaux sont relatifs à 0 V EP.
A l'exception de EP OUT et EP GND, les deux connecteurs sont raccordés en parallèle.
Identification du produit
Toutes les données de la plaque signalétique sont nécessaires pour identifier assurément le produit
pour toute communication avec Pfeiffer Vacuum.
► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, conservez
toujours à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique.
19/50
Description du produit
3.5
Étendue de la livraison
● Générateur de haute fréquence QMH
● Câble de raccordement au QMS 700/QC 700, longueur 3 m (fixé en permanence sur l'appareil)
Déballage du produit et contrôle du contenu de la livraison
1. Déballer le produit.
2. Vérifier que toutes les pièces sont présentes.
3. Contrôler qu'aucune pièce n'a été endommagée.
20/50
Transport et stockage
4 Transport et stockage
4.1
Transport du produit
AVIS
Dégâts causés par un transport incorrect
Un transport dans un emballage incorrect ou la non-installation de tous les verrous de transport peut
endommager le produit.
► Conforme aux instructions pour un transport en toute sécurité.
Emballage
Nous recommandons de conserver l’emballage de transport et de protection d’origine.
Transporter le produit en toute sécurité
► Observez le poids spécifié sur l’emballage de transport.
► Dans la mesure du possible, transportez ou expédiez toujours le produit dans son emballage
d’origine de transport.
► Utilisez toujours un emballage compact qui protège le produit des chocs.
► Retirez le cache de protection et les dispositifs protecteurs de transport seulement juste avant
l’installation.
► Avant chaque transport, les blocages et les protections correspondants doivent être remontés.
4.2
Stockage du produit
AVIS
Risque de détériorations causées par un entreposage incorrect
Un entreposage incorrect provoquera des dégâts sur le produit.
Les charges statiques, l’humidité, etc., provoquent des défauts sur les composants électroniques.
► Conforme aux instructions pour un entreposage en toute sécurité.
Emballage
Nous recommandons de stocker le produit dans son emballage d'origine.
Stocker le produit en toute sécurité
► Conservez le produit dans un endroit frais, sec et sans poussière, où il n’est pas soumis à des
chocs ni à des vibrations mécaniques.
► Utilisez toujours un emballage compact qui protège le produit des chocs.
► Dans la mesure du possible, stockez le produit dans son emballage d’origine.
► Stockez les composants électroniques dans un emballage antistatique.
► Maintenez la température d’entreposage admissible.
► Évitez les fortes variations de températures ambiantes.
► Évitez un taux d’humidité élevé dans l’air.
► Fermez les raccords avec les bouchons de protection d’origine.
► Protégez le produit avec les protections de transport d’origine (si disponibles).
21/50
Installation
5 Installation
DANGER
Danger de mort en cas de contact avec la haute tension
De hautes tensions sont présentes dans l’appareil. Danger de mort en cas de contact avec des éléments sous tension. La mise en service de l’appareil alors qu’il est visiblement endommagé implique
un danger de mort.
► Toute intervention sur l’appareil ouvert doit être confiée à un personnel spécialisé et qualifié.
► Avant d’exécuter une installation ou une opération de maintenance, arrêtez l’appareil et déconnectez-le de l’alimentation électrique.
– Après l’arrêt de l’appareil, attendez environ 60 secondes puis débranchez tous les câbles
(en terminant par le câble électrique).
► N’ouvrez jamais l’appareil lorsqu’il est branché à une source d’alimentation électrique.
► Prenez les mesures nécessaires pour éviter toute réactivation involontaire ou non autorisée.
► N’insérez pas d’objets dans les ouvertures d’aération.
► N’ouvrez jamais une unité de courant externe.
► Ne faites jamais fonctionner un appareil ouvert ou défectueux.
► Prenez les mesures nécessaires pour empêcher l’utilisation accidentelle d’un appareil défectueux.
► Protégez l’appareil contre l’humidité.
DANGER
Danger de mort en cas d’électrocution
Une mise à la terre inappropriée ou incorrecte de l’unité entraîne une tension sensible aux contacts
au niveau du boîtier. Lors de la connexion, des courants de fuite plus élevés vont déclencher un choc
électrique potentiellement mortel.
► Avant l’installation, contrôlez que les conducteurs d’alimentation ne sont pas sous tension.
► Acheminez le câble électrique conformément aux dispositions locales en vigueur.
► Assurez-vous que les valeurs de tension et de fréquence locales correspondent aux spécifications de la plaque signalétique.
► Veillez à ce que le câble d’alimentation et la rallonge soient conformes aux exigences de double
isolation entre la tension d’entrée et la tension de sortie, conformément aux normes CEI 61010
et CEI 60950.
► N'utilisez qu’un câble d'alimentation à 3 broches et une rallonge disposant d'une mise à la terre
correcte (conducteur mis à la terre).
► Ne branchez la fiche électrique que dans une prise disposant d'un contact de mise à la terre.
► Afin de garantir la protection de la mise à la terre, il convient de toujours brancher le câble électrique avant tous les autres.
5.1
Installation du générateur HF
Composants du système
Ce document décrit uniquement l'installation du générateur de haute fréquence. Tenez
également compte des documents de l'appareil de commande QMS et des autres composants du système.
22/50
Installation
5.1.1
Respect des conditions ambiantes
≥ 30 cm
≤ 50°C
Fig. 5:
Échauffement max. admissible
Recommandations
► Évitez de faire fonctionner l'appareil s'il est exposé à une forte humidité, à une atmosphère poussiéreuse, à des vibrations mécaniques et à des fluctuations extrêmes de la température ambiante.
► Veillez à ce que l'air ambiant de l'appareil s’échauffe jusqu'à max. 50 °C pendant le fonctionnement (mesuré à une distance de 30 cm).
► Pour obtenir la meilleure précision de mesure, évitez les fluctuations de température.
► Assurez une circulation d’air adéquate.
► Prenez les mesures appropriées pour garantir la circulation de l'air si vous installez l'appareil dans
un carter supplémentaire.
► Si des tuyaux flexible d'eau ou d’agent de refroidissement cheminent à proximité de l'appareil,
protégez-le contre les gouttes et les éclaboussures.
5.1.2
Respect de l’orientation de montage
horizontal
30°
30°
30°
30°
Fig. 6:
Plan de montage horizontal et déclivité admissible
Distance admissible par rapport à QMA
Une distance approx. de 0,5 m est possible (longueur de câble 0,7 m).
Recommandations
► Choisir une méthode de montage où les éléments de commande et les indicateurs situés dans la
partie supérieure du carter sont faciles d’accès.
– Il est possible d'installer l’appareil sur la bride en utilisant le support fourni avec le QMA.
► Monter le QMH horizontalement ou avec une déclivité de 30° à un emplacement où il y a le moins
de vibrations possible.
23/50
Installation
5.1.3
Installation d'un générateur de haute fréquence avec support sur QMA
1
3
2
4
5
8
6
7
Fig. 7:
Installation d'un générateur de haute fréquence avec support sur QMA
1
2
3
4
5
6
7
8
Analyseur QMA
Générateur de haute fréquence QMH
Support
Boulons M4
Fig. 8:
Disque de freinage
Support
Face avant du QMH
Circlip
6 positions d'installation possibles
Procédure
1. Placez l'appareil sur une surface appropriée et pratique pour travailler dessus.
2. Fixez l’appareil sur le support.
3. Fixer l'appareil avec le support sur le QMA.
5.2
Établir une connexion électrique par connecteur mâle/femelle
5.2.1
Établissement d’un raccord de terre
AVIS
Défaillance des branchements électriques causée par des influences perturbatrices externes
Pour des raisons de compatibilité électromagnétique (CEM) (effets d'interférence externe), nous recommandons fortement un point de prise de terre central pour tous les appareils accouplés ensemble (par exemple, le groupe de pompage, l’unité de commande, le PC, l’enregistreur, etc.). Une prise
multiple, ou mieux, un distributeur de puissance avec un interrupteur secteur remplit la fonction de
façon simple.
Sauf : pour les ordinateurs installés éloignés les uns des autres ou dans un environnement fortement
perturbé.
► Utilisez une prise multiple ou un distributeur de puissance avec un interrupteur secteur.
► Acheminez séparément le câble de commande par rapport à la source d'interférence.
24/50
Installation
Lorsque le générateur HF est installé sur une bride QMA correctement mise à la terre à l’aide du support, le carter du générateur HF est mis à la terre en toute sécurité.
Tension max. admissible
La tension max. admissible entre le QMH et le carter de l’appareil de commande (SC) est
de 0,5 Vpic.
Procédure
► Raccordez le QMH à la terre de protection au niveau de la vis M4 marquée dans les cas suivants :
– Si vous installez le QMH sur un QMA correctement mis à la terre, sans support.
– Si la bride du QMA n'a pas été mise à la terre en toute sécurité.
► Préparez un conducteur de mise à la terre composé de fils jaunes-verts ou de fils de cuivre nus :
● 2,5 mm2, si protégé mécaniquement
● 4,0 mm2, si non protégé
► Assurez-vous que le contact est correct et qu'il est résistant aux vibrations.
► Utilisez des rondelles et du composant de blocage de vis.
5.2.2
Raccordement du câble de commande
Procédure
► Assurez-vous toujours que l'appareil de commande a été désactivé avant de raccorder ou de débrancher le câble de commande QC.
► Réduisez les distances jusqu'à 10 m avec un câble de rallonge.
5.2.3
Raccordement des câbles coaxiaux HF
AVIS
Endommagement de l'analyseur causé par des tensions et des champs magnétiques externes
N’exposez jamais le système d'électrodes de l'analyseur à des tensions externes dangereuses en
cas de contact, provenant de connexions galvaniques, d'un contact, d’un éclat, de faisceau d'électrons ou d'ions, etc. Si des sources dangereuses de ce type existent dans l’enceinte à vide, vous devez fournir des mesures protectrices qui éliminent en toute sécurité ces influences. Des tensions externes, même faibles, sur l'analyseur vont endommager l'électronique et entraîner des résultats de
mesure inexacts.
► Prenez des mesures protectrices efficaces contre les tensions externes (par exemple, meilleure
disposition, blindage, prise de terre, etc.).
► Ne montez pas l’analyseur à côté de champs magnétiques de > 0,2 mT.
► Assurez une protection mécanique contre le contact de l’analyseur et les composants installés.
► Assurez une séparation obligatoire de l’alimentation en courant lors de l’ouverture du système
(par exemple, en utilisant un contact de porte).
► Observez les standards applicables au système de vide.
Procédure
► À l'aide des deux câbles coaxiaux HF de 0,7 m fournis, raccordez les douilles RF+ et RF- du QMH
aux douilles RF A et RF B du QMA.
► Si nécessaire, reportez-vous au journal de test pour ce qui concerne la polarité.
► Utilisez uniquement les câbles fournis par Pfeiffer Vacuum, avec la longueur et la capacité spécifiées.
► Raccordez le connecteur adapté à un tuyau flexible en téflon au QMA, afin de s'assurer que l'étuvage y est possible.
► Ne pliez jamais les câbles.
► Si les câbles sont trop courts, utilisez une méthode de montage différente.
5.2.4
Raccordement du câble d'axe de champ
Les points suivants s'appliquent au raccordement d'une alimentation externe d'axe de champ :
25/50
Installation
● La tension admissible par rapport au potentiel du châssis est de ±500 V DC max.
● Le potentiel effectif de l'axe de champ correspond à 99,9% de la tension fournie.
● L'alimentation FA externe doit être limitée en courant à 2 mA, pour des raisons de sécurité.
Procédure
► Raccordez les douilles FA sur QMH et QMA avec les câbles fournis.
– Ainsi, vous fournissez la tension d'axe de champ depuis l'appareil de commande via le câble
de la source d'ions. Le réglage de la tension FA se situe dans le journal de test de l'ensemble
du système.
► Si vous n'utilisez pas le câble fourni : Utilisez un câble blindé dont le blindage est placé sur le
carter.
5.2.5
Raccordement des pré-amplificateurs d’électromètre
Les deux pré-amplificateurs d’électromètre peuvent être raccordés simultanément.
Procédure
► Pour mesure avec coupe de Faraday (ions positifs) : Raccordez le pré-amplificateur de l'électromètre qui correspond à l'appareil de commande QMS à ep1 (Faraday).
► Pour mesure un signal SEM (électrons) : Raccordez le pré-amplificateur de l'électromètre qui correspond à l'appareil de commande QMS à ep2 (SEM).
26/50
Mettre en service
6 Mettre en service
Conditions préalables
● Toutes les connexions électriques établies
● Toutes les conditions initiales de l’ensemble du système remplies (par ex. vide adéquat)
6.1
Temps d'attente
Pas de fonctionnement avec des masses plus élevées pendant le temps d'attente
Pendant le temps d'attente, ne faites pas fonctionner le QMH avec des masses plus élevées (PREMIÈRE MASSE + LARGEUR DE BALAYAGE ≤0,5 Mmax), car cela pourrait nuire
au fonctionnement de l'appareil de commande en raison de la charge élevée sur l'alimentation électrique.
Au terme du temps d’attente approx. de 10 minutes, la LED « prêt » se met à briller sur la partie
supérieure du QMH. Si la LED « défaut » ne clignote pas, l’instrument l'instrument remet alors le signal
d'erreur transmis à l'appareil de commande à zéro.
6.2
Contrôle du réglage
Outils nécessaires
● Tournevis
ready
tuning
fault
best hit
Fig. 9:
Barre éclairée : « ajustage »
La LED « défaut » ne clignote pas
Tant que « défaut » ne clignote pas, il n’y a pas d’impact si le « meilleur résultat » disparaît pendant le fonctionnement.
Indicateur
Signification
meilleur résultat
La LED jaune « meilleur résultat » s'allume pour indiquer que le générateur a été
ajusté avec précision.
fault
La LED rouge « défaut » clignote lorsque le désajustage dépasse la valeur admissible
ou lorsqu'il y a une erreur (par ex. câble HF non raccordé). L'appareil envoie cet état à
l'appareil de commande comme signal d'erreur.
fault
La LED « défaut » est allumé en continu si le HF a été éteint via l'appareil de commande (RF OFF).
Tab. 10:
Indicateurs sur barre éclairée
Contrôle du réglage
1. Lors de la mise en service initiale, vérifiez l'ajustage.
– La qualité de l'accord est indiquée sur la barre éclairée « ajustage ». Sa longueur est une
mesure de la réserve de puissance du QMH.
2. Réglez un nombre de masse fixe (pas de balayage) d’approx. ≤ ½ Mmax.
3. Si « meilleur résultat » ne brille pas : Ajustez le générateur HF à l'élément de commande
« ajustage » à l'aide d'un tournevis.
27/50
Mettre en service
Calibrage du générateur HF sur « ajustage »
La gamme de rotation est égale à trois rotations, ensuite, les valeurs de réglage se répètent. L'angle de
rotation pour le désajustage admissible est approx. de 90° pour M = Mmax.
1. En cas de QMH désajusté, tournez lentement « ajustage » jusqu'à ce que le « défaut » cesse de
clignoter et que la barre lumineuse d’« ajustage » soit sur sa plus grande longueur.
– La position à laquelle le « meilleur résultat » se met à briller est maintenant très proche. Une
fois que vous avez trouvé cette position, le générateur HF a été ajusté avec précision.
2. Effectuez l'ajustage au terme du temps d'attente, au nombre de masse max.
28/50
Utilisation
7 Utilisation
7.1
Mesure de spectres
Pfeiffer Vacuum fournit le QMH avec une échelle de masse calibrée et une résolution réglée, dans un
système complet avec appareil de commande et analyseur. L'unité de contrôle fournit un signal « RESOLUTION » par lequel la largeur du pic de masse ΔM peut être présélectionnée dans la plage min –
ΔMmax. Pour ΔM10= 1 u, « RESOLUTION » est réglé sur approx. 25 (20 – 30) (à l’exception de QMH
400-1, où le réglage est approx. de 100). La valeur optimale dépend du type et des paramètres de la
source d'ions, du QMA et de la polarité des câbles HF.
Procédure
► Attendez que le temps d'attente soit écoulé avant d'estimer les valeurs de mesure. En fait, il est
même préférable d'attendre 10 minutes de plus.
► Pour les systèmes complets, utilisez la valeur pour « RESOLUTION » du journal de test.
7.2
Sélection du spectre intégral
Procédure
► Avec le signal de commande « INTEGRAL » (QMS 700/Quadera : Résolution = OFF), sélectionnez un spectre intégral (c.à.d. non résolu).
7.3
Réglage de la résolution
En raison du vieillissement, d'un changement de QMA ou après des vibrations mécaniques, il peut
s’avérer nécessaire de corriger la résolution. En réajustant légèrement la « résolution grossière », on
peut à nouveau obtenir un ΔM constant sur toute la gamme de masse.
N’ajustez pas « résolution grossière » par accident.
Faites attention à ne pas ajuster « résolution grossière » par accident. Un tour complet
dans le sens horaire fait disparaître presque complètement les pics avec nombre de masse
élevé.
Générateur HF
QMH 400-1
Points de calibrage préférés [u]
bas (approx.)
haut (approx.)
28
100
QMH 400-5
Tab. 11:
400
Points de calibrage préférés
Procédure
1. Après avoir allumé l’appareil de commande, attendez que « prêt » s’allume.
2. Utilisez toujours la même polarité de câble HF.
3. En sélectionnant par ex. « ajustage source d'ions / SCAN-N », regardez le pic au point de calibrage pour « calibrage de masse bas » et ajustez la « RESOLUTION » sur l’appareil de commande jusqu’à ce que ΔM10 = 1.
– La valeur habituelle est de 20-30 (uniquement sur QMH 400-1 : approx. 100).
4. En conservant le même réglage de « RESOLUTION », réglez la largeur du pic au point de calibrage pour « calibrage de masse haut » à ΔM10 = 1 à l'aide du contrôleur « résolution grossière ».
– La valeur ΔM10 est la largeur [u] d'un pic libre, mesurée à 10% de hauteur. Sur l'ensemble du
domaine de masse, les valeurs de ΔM peuvent se disperser. Les réglages de la source d'ions
influencent également les valeurs.
7.4
Ajustage de la résolution pour faibles masses (BAS)
Lors de l'ajustage à une grande largeur de ligne (ΔM10 > 1), les faibles masses sont résolues comme
spectre intégral. Le préréglage pour « faible résolution » est ΔM ≤ 1.
29/50
Utilisation
Ajustage de la résolution pour faibles masses
► Pour les mesures avec ΔM > 1 : Tournez « résolution bas » dans le sens horaire jusqu'à ce que
les masses inférieures aient été résolues de manière adéquate.
► Pour les mesures avec ΔM≤ 1 : Tournez « faible résolution » à nouveau dans le sens anti-horaire.
7.5
Calibrage de l'échelle de masse (MASS CALIBRATION LOW/HIGH)
Un nouveau calibrage peut s'avérer nécessaire en raison du vieillissement ou après le remplacement
du QMA.
Outils nécessaires
● Tournevis
BAS et HAUT
Avec « bas », l'échelle de masse est décalée en parallèle, le domaine de réglage est approx. de 1 u.
Avec « haut », vous déplacez la position des pics proportionnellement au nombres de
masse.
Générateur HF
QMH 400-1
Points de calibrage préférés [u]
bas (approx.)
haut (approx.)
28
100
QMH 400-5
Tab. 12:
400
Points de calibrage préférés
Calibrage de l'échelle de masse
► Respectez les temps d'attente.
► Échauffez le QMA pendant 0,5 à 5 heures, selon la valeur souhaitée (EMISSION ON), avant que
l'échelle de masse ne corresponde à la valeur de calibrage.
► Pour calibrer l'échelle de masse, utilisez un gaz dont les pics sont connus, conformément à la table.
► Estimez les valeurs de mesure dans un mode de fonctionnement approprié (par ex. BALAYGEnormal)
► Sélectionnez les réglages appropriés du détecteur et de la source d'ions.
► Réglez la résolution sur ΔM ≈ 1 u.
– Les pics sélectionnés doivent être proches du point de consigne de l'échelle de masse (écart
< 5 % du point de consigne M), sinon il y a une erreur.
► Faites attention à la méthode de calibrage du nombre de masse M et de la largeur de ligne ΔM
pour définir le nombre de masse.
► Calibrez d'abord le pic inférieur (par ex : M 28.0) : Pour ce faire, tournez « calibrage de masse
bas » (dans le sens horaire si le pic est trop bas sur l'échelle) jusqu'à ce que le pic soit juste.
► Ensuite, calibrez le pic supérieur (par ex. M = 414.0) : Pour ce faire, tournez « calibrage de masse haut » dans le sens horaire si le pic est trop bas sur l'échelle.
► Si nécessaire, corriger à nouveau les deux réglages.
7.6
Temps d'attente
Après écoulement d'un temps de préchauffage d'approx. 20 minutes à partir du démarrage du QMH
froid et du temps de préchauffage du QMA (EMISSION ON), les résultats de mesure sont conformes
aux valeurs calibrées (M et DM). Selon les exigences de précision, le temps de préchauffage est de 0,5
à 5 heures.
En cas de changements de pas dans le nombre de masse, il faut plusieurs ms (selon la taille et la direction du pas et le type de QMH) jusqu'à ce que les valeurs HF et DC se stabilisent dans le nouvel état.
Les appareils de commande de Pfeiffer Vacuum tiennent compte de ce phénomène dans le logiciel intégré.
Recommandations
► Si nécessaire, optimisez manuellement le temps d'attente à l'aide du paramètre « PAUSE ».
30/50
Maintenance
8 Maintenance
Maintenance dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum
Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de services de maintenance pour tous les
produits.
Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter un Centre de service Pfeiffer Vacuum pour organiser la maintenance de produits et de composants défectueux.
Maintenance dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum
Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter le Centre de service Pfeiffer Vacuum local pour
organiser la maintenance de produits et de composants défectueux.
Demande de garantie
Ouvrir l’appareil pendant la période de garantie ou endommager/supprimer le sceau de garantie annulera la garantie.
Contactez le Centre de service Pfeiffer Vacuum en cas d’intervalle de maintenance raccourcis lié au processus.
8.1
Maintenance du produit
AVIS
Détérioration de l’unité à cause d’une décharge électrostatique
Une décharge électrostatique endommage les composants électroniques. Si cet avertissement n’est
pas respecté, les défauts qui en résultent ne sont pas pris en charge par la garantie.
► Les opérations sur les stations de travail à protection CEM doivent être effectuées conformément
aux méthodes appropriées.
► Lorsque l’unité est ouverte, prenez les mesures de précaution appropriées contre les charges
électrostatiques.
► Stockez toujours les unités électroniques et les composants dans des emballages antistatiques.
► Observez la norme EN 61340, 5-1 et 5-2, « Protection des appareils électroniques contre les
phénomènes électrostatiques ».
AVIS
Dommage sur composants électroniques lié à une réparation incorrecte
Pfeiffer Vacuum a accordé très précisément les platines de l'appareil avec les autres groupes d'assemblage. Un calibrage correct peut uniquement être effectué en usine.
► Ne remplacez jamais les platines ou d'autres composants lors de réparations sur l'appareil.
Dans des conditions normales de fonctionnement, le générateur HF ne nécessite pas de maintenance.
Il se peut que l'échelle de masse et la résolution doivent parfois être recalibrées, si l'analyse des valeurs de mesure indique que cela est nécessaire. Les LED « Défaut » ou « meilleur résultat » indiquent quand il est nécessaire de reconfigurer l’ « ajustage ».
Remédier aux fortes pertes HF par séchage
► Il est possible de remédier aux pertes élevées de HF (symptôme F4) causées par un stockage
dans une humidité élevée par un séchage à max. 70 °C ou par un fonctionnement sur une période prolongée jusqu’à saturation maximale possible.
31/50
Maintenance
8.2
Nettoyer l’appareil
DANGER
Danger de mort dû au choc électrique causé par la pénétration d’humidité
La pénétration d’eau dans l’unité cause des blessures aux personnes par chocs électriques.
► Utilisez seulement l’unité dans un environnement sec.
► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité.
► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, contactez Pfeiffer Vacuum Service.
► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité.
AVERTISSEMENT
Risques pour la santé dus aux agents nettoyants
Les détergents utilisés peuvent nuire à la santé et causer un empoisonnement, des allergies, une irritation de la peau, des brûlures chimiques ou endommager les voies respiratoires.
► Respectez les réglementations en vigueur pour la manipulation des agents nettoyants.
► Respectez les mesures de sécurité concernant la manipulation et la mise au rebut des agents
nettoyants.
► Attention aux réactions potentielles avec les matériaux du produit.
AVIS
Dégâts causés par la pénétration d'humidité
La pénétration d'humidité, sous la forme de condensation ou d'égouttement, endommage l'appareil.
► Protéger l'appareil contre la pénétration de l'humidité.
► L'appareil ne peut être utilisé que dans un environnement propre et sec.
► L'appareil doit être utilisé à distance de tout liquide et source d'humidité.
► Des précautions spécifiques doivent être prises en cas de risque d'égouttement d'eau.
► Ne pas allumer l'appareil si un liquide y a pénétré. Contacter le Centre de service Pfeiffer Vacuum.
AVIS
Risque de mauvais ajustage ou d'autres dommages
Si des procédures incorrectes sont suivies lors de l'ouverture de l'appareil et du nettoyage de son
intérieur, des dommages peuvent en résulter.
► Ne pliez pas ou ne déplacez pas les petits câbles, composants, etc.
► Vérifiez les exigences en matière d'air comprimé.
AVIS
Dégâts provoqués par des agents nettoyants inadaptés
L'usage d'agents nettoyants inadaptés endommage le produit.
► Ne pas utiliser de solvants qui endommageraient sa surface.
► Ne pas utiliser d'agents nettoyants agressifs ou abrasifs.
Conditions préalables
● L’appareil est mis hors circuit
● Le connecteur de réseau est retiré
Consommables requis
● Agent nettoyant ordinaire (détergent ménager doux, par exemple).
● Chiffon doux et propre
● Air comprimé sec, exempt d’huile et exempt de particules (surpression < 2 bars)
Nettoyage des pièces de carter
1. Utilisez un chiffon doux humide pour nettoyer l’extérieur de l’habillage.
2. Laissez sécher les surfaces complètement après le nettoyage.
3. Éliminez les couches de poussière à l’intérieur en les soufflant prudemment à l’air comprimé.
32/50
Anomalies
9 Anomalies
DANGER
Danger de mort en cas de contact avec la haute tension
De hautes tensions sont présentes dans l’appareil. Danger de mort en cas de contact avec des éléments sous tension. La mise en service de l’appareil alors qu’il est visiblement endommagé implique
un danger de mort.
► Toute intervention sur l’appareil ouvert doit être confiée à un personnel spécialisé et qualifié.
► Avant d’exécuter une installation ou une opération de maintenance, arrêtez l’appareil et déconnectez-le de l’alimentation électrique.
– Après l’arrêt de l’appareil, attendez environ 60 secondes puis débranchez tous les câbles
(en terminant par le câble électrique).
► N’ouvrez jamais l’appareil lorsqu’il est branché à une source d’alimentation électrique.
► Prenez les mesures nécessaires pour éviter toute réactivation involontaire ou non autorisée.
► N’insérez pas d’objets dans les ouvertures d’aération.
► N’ouvrez jamais une unité de courant externe.
► Ne faites jamais fonctionner un appareil ouvert ou défectueux.
► Prenez les mesures nécessaires pour empêcher l’utilisation accidentelle d’un appareil défectueux.
► Protégez l’appareil contre l’humidité.
Vous trouverez ci-dessous des dysfonctionnements typiques pouvant survenir à la suite d'erreurs de la
part de l'opérateur, lors de la mise en service initiale ou après une période de fonctionnement prolongée, ainsi que leurs causes et remèdes possibles.
Symptôme d'erreur
Causes possibles et localisation
Action corrective
F1
Charge HF inexistante ou
incorrecte au niveau des
douilles RF+ et RF-
● Connectez l'analyseur QMA avec les câbles
coaxiaux HF fournis (RF+ et RF-).
● Ajustez le générateur HF QMH.
Charge HF supérieure ou
inférieure aux données
● Contrôlez la combinaison générateur HF QMH
et analyseur QMA utilisés (dans le manuel de
l'utilisateur du QMG 700)
Défaut dans la charge HF
● Contrôlez que le câble coaxial HF et les lignes
HF de l'analyseur QMA ne présentent pas d'interruptions ou de courts-circuits.
● Mesurez les valeurs de capacité (conducteur
interne RF A, RF B).
Défaut dans le circuit HF
du générateur HF
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Court-circuit dans le circuit
de charge HF
● Débranchez le câble coaxial HF au niveau des
raccords RF+ et RF et contrôlez que les câbles
ne présentent pas de court-circuit.
● Contrôlez les connexions HF de l'analyseur
QMA.
● Débranchez tous les câbles et contrôlez l'isolation du châssis au niveau des douilles RF+ et
RF.
Si < 9 MΩ : Contactez Pfeiffer Vacuum Service. (voir symptôme F11)
F2
« défaut » clignote en continu.
« RF ERREUR » apparaît à partir d'approx. 5% de Mmax
« défaut » clignote en continu.
« IS ERR #1 » apparaît.
33/50
Anomalies
Symptôme d'erreur
Causes possibles et localisation
Action corrective
F3
Le générateur HF de QMH
n'est pas réglé.
● Ajustez le générateur HF QMH.
Décharges Corona en raison d'une pression trop
élevée dans l'analyseur
QMA
● Purgez l’enceinte à vide.
● Réduisez la pression dans l’enceinte à vide.
Décharges Corona en raison d'un câble coaxial HF
ou d’une ligne HF défectueuse dans l'analyseur
QMA
● Procédez à une inspection visuelle.
Décharges Corona en raison de la poussière dans
le générateur HF QMH
● Soufflez délicatement le générateur HF QMH à
l'air comprimé.
Défaut dans le générateur
QMH HF
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Consommation de courant
trop élevée en raison de
pertes de HF excessives
dans le circuit de charge
HF
● Contrôlez le câble de raccordement HF.
● Contrôlez la combinaison générateur HF QMH
et analyseur QMA utilisés (dans le manuel de
l'utilisateur du QMG 700)
● Faites fonctionner le générateur QMH HF dans
un environnement sec.
● Faites fonctionner le générateur QMH HF pendant une longue période avec de petites masses, de sorte que la chaleur de l'appareil fasse
évaporer l'humidité.
Défaut dans le générateur
QMH HF
● Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Éclats individuels dans le
circuit de charge HF (voir
symptôme F3).
● (Comme le symptôme d'erreur F3)
Consommation de courant
proche du seuil admissible
(voir symptôme F3).
● (Comme le symptôme d'erreur F3)
F4
F5
« défaut » clignote uniquement
pour masses élevées.
« RF ERREUR » apparaît.
« défaut » clignote pour les
masses les plus élevées, bien
que « ajustage » soit OK pour
les masses plus petites, par ex.
« meilleur résultat » brille.
« défaut » clignote occasionnellement avec une masse élevée.
F6
« défaut » brille en continu.
Pas d’erreur
Le générateur HF est à l'arrêt.
L’appareil de commande transmet RF OFF, par ex.
pour DEGAS.
F7
« meilleur résultat » a disparu.
« défaut » ne clignote pas.
Pas d’erreur
L'état de l'ajustage peut changer légèrement.
F8
Tous les indicateurs du générateur HF QMH sont éteints.
Le câble QC n'est pas raccordé ou l'appareil de
commande QMS est désactivé.
● Raccordez le câble QC.
● Activez l'appareil de commande QMS.
Le fusible F1 du générateur QMH HF est défectueux.
1. Désactivez l'appareil de commande QMS et
débranchez tous les câbles.
2. Dévissez et retirez le capot gauche (avec fenêtre d'affichage).
3. Sur la carte de platine de liaison, vérifiez les
fusibles F1 et F2.
4. Si les fusibles sont défectueux, il est possible
qu'il y ait des défauts supplémentaires dans le
générateur QMH HF.
Contactez Pfeiffer Vacuum Service.
Le générateur QMH HF
n'a été mis en marche que
récemment.
● Attendez que « prêt » se mette à briller.
F9
34/50
« prêt » ne brille pas.
« défaut » ne clignote pas.
« RF ERREUR » apparaît.
Anomalies
Symptôme d'erreur
Causes possibles et localisation
Action corrective
F10
« prêt » ne brille pas, bien que
la période d’attente se soit écoulée.
« défaut » clignote en continu,
même quand vous ajustez.
« meilleur résultat » brille.
Les pics ne correspondent pas
aux attentes.
Le fusible F2 est défectueux (voir symptôme d'erreur F8).
● Contrôlez la tension secteur de l'appareil de
commande QMS.
● Contrôlez les tensions d'alimentation sur le câble QC.
─ Affectation des broches
─ Valeurs : +24 V / -24 V (±0.5 V)
F11
« défaut » ne clignote pas.
"Erreur source d’ions" apparaît.
Les sources d'ions et/ou
les tensions d’axes de
champ ne correspondent
pas au point de consigne
Lorsqu'il y a un message d'erreur, il peut être réinitialisé comme suit :
● Débranchez le câble FA et vérifiez l'absence
de court-circuit.
● Débranchez le câble IS et vérifiez l'absence de
court-circuit.
F12
Pics pour les masses plus élevées trop larges ou trop étroits,
bien que « RESOLUTION » ΔM
= 1 u sur l’appareil de commande.
La commande pour « résolution grossière » a
été ajustée.
● Réglez la résolution.
F13
Pics pour les plus petites masses trop étroits ou non visibles,
bien que « RESOLUTION » ΔM
= 1 u sur l’appareil de commande.
La commande pour « faible résolution » n'est pas
sur le réglage pour ΔM = 1
u.
● Réglez la résolution pour les petites masses.
F14
Pics irréguliers, forme irrégulière
La tension de l'axe de
champ n'est pas raccordée au connecteur FA .
● Raccordez le câble de l'axe de champ au générateur HF QMH et à l'analyseur QMA.
La valeur de la tension
d'axe de champ est trop
élevée.
● Contrôlez et corrigez les réglages.
La polarité du câble coaxial HF au niveau des
douilles RF+ et RF- n'est
pas correcte.
● Contrôlez et corrigez la polarité du câble coaxial HF.
Câble FA interrompu.
● Contrôlez la continuité du câble FA (affectation
des broches).
● Débranchez les câbles FA et QC.
a. Risol à la broche 1 de la douille FA > 9 MΩ
contre le châssis.
b. En cas de court-circuit : voir F2 et F11.
F15
Signal de mesure présent, mais
pas de pics résolus
Appareil de commande réglé sur le mode de fonctionnement INTEGRAL.
● Réglez les modes de fonctionnement.
Respectez le manuel de l'utilisateur du HiQuad
QMG 700.
F16
Valeur de mesure manquante,
bien que tous les paramètres
aient été configurés correctement.
Le pré-amplificateur de
l'électromètre EP n'est pas
raccordé ou est raccordé
sur un mauvais connecteur (ep1, ep2).
● Contrôlez la connexion du pré-amplificateur de
l'électromètre EP.
Erreur dans le câblage de
l’analyseur QMA.
● Contrôlez le raccordement de l’analyseur.
Respectez le manuel de l'utilisateur du HiQuad
QMG 700.
Tab. 13:
Anomalies
35/50
Expédition
10
Expédition
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement par produits contaminés
L’expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la santé et l’ sécurité du personnel de maintenance.
► Conforme aux instructions pour une distribution en toute sécurité.
Décontamination payante
Pfeiffer Vacuum décontamine les produits qui ne sont pas clairement déclarés comme
« Sans contaminants », à votre charge.
Expédier le produit en toute sécurité
► L’expédition de produits microbiologiques, explosibles ou ayant subi une contamination radioactive est interdite.
► Respecter les consignes d’expédition des pays et des sociétés de transport impliqués.
► Les risques potentiels doivent être mis en évidence sur la face extérieure de l’emballage.
► Téléchargez les explications sur la contamination en vous connectant à Pfeiffer Vacuum Service.
► Toujours joindre une déclaration de contamination dûment remplie.
36/50
Recyclage et mise au rebut
11
Recyclage et mise au rebut
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
Protection de l’environnement
Vous devez mettre au rebut le produit et ses composants conformément aux directives applicables pour la protection des personnes, de l’environnement et de la nature.
● Contribuez à la réduction du gaspillage des ressources naturelles.
● Évitez toute contamination.
11.1 Informations générales sur la mise au rebut
Les produits Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables.
► Mettez au rebut nos produits en séparant :
– Fer
– Aluminium
– Cuivre
– Matière synthétique
– Composants électroniques
– Huiles et graisses, sans solvant
► Observez les mesures de sécurité spéciales pour la mise au rebut de :
– Fluoroélastomères (FKM)
– Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé
11.2
Élimination du système du spectromètre de masse
Les systèmes de spectromètre de masse Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux que vous devez
recycler.
1. Démontez les éléments du boîtier.
2. Démontez tous les composants individuels.
3. Démontez les composants électroniques.
4. Décontaminez les composants qui entrent en contact avec les gaz de procédé.
5. Séparez les composants en matériaux recyclables.
6. Recyclez les composants non contaminés.
7. Mettez au rebut le produit ou les composants de façon sûre en conformité avec toutes les directives applicables.
37/50
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
12
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
Nous offrons un service de première classe
Une longue durée de vie des composants du vide, associée à des temps d’arrêt réduits, sont ce que
vous attendez clairement de nous. Nous répondons à vos besoins par des produits efficaces et un service d’exception.
Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux
composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit
Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien
évidemment.
Nos ingénieurs commerciaux et techniciens de service professionnels sont à votre disposition pour
vous assurer un soutien pratique dans le monde entier. Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de
services, allant des pièces de rechange d’origine aux accords de service.
Profitez du service Pfeiffer Vacuum
Qu'il s’agisse du service préventif sur place de notre service sur site, du remplacement rapide par des
produits de rechange comme neufs ou de la réparation dans un centre de service proche de chez
vous ; vous disposez d'une variété d’options pour maintenir la disponibilité de votre équipement. Vous
trouverez des informations détaillées ainsi que les adresses sur notre site web dans la section Pfeiffer Vacuum Service.
Des conseils sur la solution optimale sont disponibles auprès de votre interlocuteur Pfeiffer Vacuum.
Pour un déroulement rapide et efficace de la procédure de service, nous recommandons de suivre les étapes suivantes :
1. Télécharger les modèles de formulaire actuels.
─ Déclaration de demande de service
─ Demande de service
─ Déclaration de contamination
a) Démonter tous les accessoires et les conserver (toutes les pièces externes
montées telles que la vanne, le filtre d’arrivée, etc.).
b) Vidanger le fluide d'exploitation / lubrifiant si nécessaire.
c) Vidanger le fluide de refroidissement si nécessaire.
2. Remplir la demande de service et la déclaration de contamination.
ANFORDERUNG SERVICE
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
3. Envoyer les formulaires par e-mail, fax ou par courrier à votre centre de service local.
4. Vous recevrez une réponse de Pfeiffer Vacuum.
Envoi de produits contaminés
Aucune unité ne sera acceptée si elle est contaminée par des substances micro-biologiques, explosives
ou radioactives. Si les produits sont contaminés ou si la déclaration de contamination est manquante,
Pfeiffer Vacuum contactera le client avant de démarrer la maintenance. Par ailleurs, selon le produit et
le niveau de contamination, des frais de décontamination supplémentaires peuvent être facturés.
38/50
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails contenus dans la déclaration de contamination.
a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec.
b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air.
c) Sceller le produit dans un film de protection approprié.
d) Emballer le produit dans des conteneurs de transport stables appropriés uniquement.
e) Respecter les conditions de transport en vigueur.
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
6. Joindre la déclaration de contamination sur l’extérieur de l’emballage.
7. Envoyer ensuite le produit à votre centre de service local.
8. Vous recevrez un message de confirmation / un devis de la part de
Pfeiffer Vacuum.
Pour toutes les demandes de service, nos Conditions générales de vente et de livraison ainsi que nos
Conditions générales de réparation et de maintenance sont appliquées aux équipements et composants du vide.
39/50
Informations de commande
13
Informations de commande
13.1 Commande de pièces
Commande de pièces détachées, d’accessoires ou de composants optionnels
► Toujours préciser les informations suivantes pour commander des pièces détachées, des accessoires ou des composants optionnels :
● Tous les détails de la plaque signalétique
● Description et référence de commande correspondant à la liste des pièces
13.2
Commande de PDR et accessoires
Description
Référence
Remarque
Fusible d’appareil
B4666444
2.5 AT, ø5×20 mm
Câble coaxial HF
BG448295-T
0,7 m, 3,5 kV
pour QMH 400-1, QMH 400-5 et QMH 402
Câble d'axe de champ
BG541962-T
0,7 m, 500 V
Tab. 14:
Description
Référence
Remarque
Prolongateur de câble de commande
BG448175-T
7 m, avec accouplement fileté
Tab. 15:
40/50
Pièces de rechange
Accessoires
Caractéristiques techniques et dimensions
14
Caractéristiques techniques et dimensions
14.1
Fiche technique
Paramètre
Valeur
Dimensions
235 × 193 × 340 mm
Carter 10) (l × H × P) (approx.)
Longueurs de câble
Câble de commande (QC)
3m
Prolongateur de câble de commande
7 m (sur un total de 10 m)
Câble coaxial HF
0,7 m
Câble d'axe de champ
Poids (câble incl.)
Sans emballage
4,5 kg
Avec emballage
6,8 kg
Orientation de montage
Déclivité horizontale max. ±30°
Tab. 16:
Fiche technique
Paramètre
Valeur
Lieu d'implantation
Protégé des intempéries (espace intérieur)
Degré de protection
IP 20
Classe de protection
I
Altitude d’installation
Max. 2000 m
Degré de pollution
2
Température de stockage
-20 à +60 °C
Température de service
0 à +50 °C
Température de câble (HF/FA)
Max. 200 °C
Humidité relative
Max. 80% à des températures jusqu'à +31 °C.
Diminution linéaire jusqu'à 50% à +40 °C.
Tab. 17:
14.2
Conditions ambiantes
Données électriques
Paramètre
QMH 400-1
QMH 400-5
Fréquence
[MHz]
2,05
2,25
Amplitudes HF (RF+, RF-)
[Vp]
1,5–1890
1,5–2350
Tension DC (spectre)
[± V DC]
0,5–317
0,5–394
Tension DC (intégrale)
[± V DC]
<0.5
Charge HF entre RF+ et RF-
[pF]
67 ±3
Asymétrie admissible RF+/RF-
[pF]
≤3
Charge HF aux extrémités de câble l =
0,7 m
[pF]
49,5 ±2
Asymétrie admissible aux extrémités de
câble
[pF]
≤1
Facteur de perte admissible de la charge HF
10)
≤0,002
52 ±3
34,5 ±2
≤0,0017
Un espace supplémentaire est nécessaire pour les câbles.
41/50
Caractéristiques techniques et dimensions
Paramètre
QMH 400-1
QMH 400-5
8,1
Puissance apparente de la charge HF,
max.
[kVA]
6,5
Tension d’alimentation
[V DC]
+24 ±0,5 / -24 ±0,5
Consommation de courant (désajustage max. admissible)
● Four froid
[A]
≤ 2.5
● Four chaud
[A]
≤2,3
● Si RF OFF
[A]
≤0,9
[W]
≤100
Perte de puissance interne
● Four chaud, désajustage max. admissible
Températures
● Température de la surface du carter [° C]
supérieure à la normale 11)
Typique 30, max. 35
Temps d'auto-échauffement
● Point de commutation du thermostat de protec- Approx. 100 °C
tion contre les surcharges
Approx. 15 minutes (systèmes de refroidissement)
Approx. 60 minutes (carter)
Tension d'axe de champ (FA)
Max. admissible ±500 V doit être limitée en courant à ±2 mA max.
Raccordements du pré-amplificateur de l'électromètre
Alimentation intégrée, sélection de la plage et sélection du signal à
distance
Protection des sorties HF
Contre les désajustages inadmissibles, ainsi que le fonctionnement
à vide et les courts-circuits
Tension de sortie en fonctionnement à vide
Potentiel d’axe de champ + HF 50 Vp max.
Fusibles
(voir chapitre « Commande de PDR et accessoires », page 40)
Affectation des broches et signaux
Tab. 18:
14.3
Données électriques
Données de travail avec l'analyseur quadrupolaire
Type QMH
Domaine de masse [u]
Type QMA
Diamètre de tige [mm]
QMH 400-1
128
QMA 410
16
QMH 400-5
300
QMA 430
8
512
QMA 400
8
16
QMA 410
16
QMH 402
Tab. 19:
Types QMH et QMA
Les grandeurs d'erreur se rapportent aux valeurs de tension des composants HF et CC ; elles ont été
converties en unités de masse pour une meilleure compréhension. La dérive de démarrage des analyseurs (EMISSION réglé sur " ON " pour l'analyseur froid) de dM = environ -0,02% / h pendant 4 - 5 h,
ainsi que d'autres influences de l'analyseur n'ont pas été prises en compte pour les informations sur les
grandeurs d'erreur dM et dΔM. La puissance HF appliquée réchauffe le QMA - cet effet est le rapport
carré du nombre de masse et ne joue donc un rôle que dans le tiers supérieur de l'échelle de masse.
L'effet est approx. le même que celui de l'échauffement à l’aide de la source d'ions.
Paramètre
QMH 400-1
Type d'analyseur QMA
(voir table « Types QMH et QMA », page 42) 12)
Système de tige
Domaine de masse Mmin – Mmax
42/50
13)
QMH 400-5
[mm]
(voir table « Types QMH et QMA », page 42)
[u]
0,5–128
0,5–512
11)
Température supérieure à la normale = augmentation par rapport à la température ambiante
12)
QMH 400-5 : Avec le QMA 430, les informations ne s'appliquent que jusqu'à une masse de 300 u.
Caractéristiques techniques et dimensions
Paramètre
QMH 400-1
QMH 400-5
Domaine de réglage de la résolution
● Largeur de pic constant ΔM10, télécommandée avec le signal RESOLUTION
[u]
0,2–2,2
0,3–7
● Une résolution constante ΔM/M peut être réglée : résolution grossière
[%]
0–2
(ΔM > 0,2 u)
0–2
(ΔM > 0,3 u)
● Résolution désactivée, ΔM/M télécommandé, INTEGRAL
1,3
(M > 10 u)
● Pour les petites masses, ΔMBAS/M peut être réglé : faible résolution
0,1–1,3
(ΔMBAS ≤ ΔM)
Période d'attente après un saut d'étape dans le point de consigne
(voir chapitre « Réponse par pas », page 45)
Tailles d'erreur dM et dΔM à Mmax 14)
● Dérive par pas, Mmin -> Mmax
[u]
environ 0,02
environ 0,05
● Dérive à long terme, par 100 h
[u]
environ 0,01
environ 0,03
● Dérive à court terme, par 1 h
[u]
environ 0,005
environ 0,01
● Dérive de température (environnement) par °C
[u]
● Impact mécanique, dérive par 10 G
[u]
environ 0,005
environ 0,02
Tab. 20:
Données de travail avec l'analyseur quadrupolaire
dM, dΔM [%Mmax]
+0.1
dM
#1
#2
+0.05
0
12
5u
20
30
40
50
60
70
80
90
100%
M [% Mmax]
M
#1
-0.05
dΔM
-0.1
Fig. 10:
Non-linéarité de M et ΔM10
13)
Cela permet d'afficher les pics complets jusqu'à Mmax - 1.
14)
Sans erreurs de calibrage, erreurs de stabilité, non-linéarité du signal de commande, mesuré avec QMA 400
ou QMA 410 (méthode de mesure : (voir chapitre « Annexe », page 45)).
43/50
Caractéristiques techniques et dimensions
14.4 Dimensions
55
4.5
40
4.5
80
FARAD
EP2
RF +
165
193
184
90
EP1
RF –
SEM
QC
8
4.
4.5
51.5
FA
90
150
3
67.5
214
Fig. 11:
Dimensions
Dimensions en mm
44/50
80
273
30
Annexe
15
Annexe
15.1
Comportement comme fonction de temps
15.1.1
Réponse par pas
Si le nombre de masse passe de M1 à M2, il faut attendre que le nouvel état soit stable. Il faut masquer
le signal de mesure dans la zone de transition, car il n'a aucun rapport avec la valeur de mesure du
nouveau nombre de masse. La période d'attente nécessaire dépend de M1 et M2, de la direction de la
réponse en as, du type de QMH et de la précision de mesure requise. Pfeiffer Vacuum recommande
d'expérimenter pour optimiser les périodes d'attente, en particulier pour les vitesses de mesure rapides.
C'est le seul moyen de trouver le meilleur compromis entre vitesse et précision de mesure. Les valeurs
indicatives suivantes s'appliquent pour la résolution unitaire (ΔM10 = 1u), jusqu'à ce que le signal du détecteur ait atteint 98% de la valeur finale. Elles ne concernent que le comportement du QMH. Les délais
des systèmes de détection d'ions n'ont pas été pris en compte.
Le temps d'attente tw pour que le QMH s'enclenche est calculé comme suit :
tw = t1 + t2 × |M2 – M1| [ms]
Pour les petits pas de masse (M2 - M1 < 0.5 u), la formule ci-dessus ne s'applique plus - il y a un retard
td en raison du taux de variation fini des signaux HF et DC. De petits pas continus (M2 - M1 < 0.1 u) ont
le même effet qu'une rampe linéaire pour un signal de balayage.
Générateur HF
QMH 400-1
ML [u]
3
Type de pas
M1 > M2
M2 > M1
M1 > M2
M2 > M1
t1 [ms]
2
2
2
2
t2 [ms]
0,02
0,04
0,01
0,02
t1 [ms]
4
4
4
4
t2 [ms]
1
2
0,5
1
td [ms]
0,05
M1 et/ou M2 ≥ ML
M1 et M2 < ML
M2 - M1 < 0,5 u [ms/u]
Tab. 21:
15.1.2
QMH 400-5
5
0,15
Délais d'attente pour l'engagement du QMH
Balayages de masse rapides
Pendant les balayages de masse rapides avec une fonction de rampe linéaire, l'échelle de masse est
en retard sur le signal d'entrée (dM) et un écart de largeur de pic (dΔM) se produit.
Pour la vitesse de balayage la plus rapide de 0,5 ms/u et le balayage vers le haut (M1 < M2), ce qui suit
s'applique :
Générateur HF
QMH 400-1
QMH 400-5
dM0.5 [u]
0,1
0,2
dΔM0.5 [u]
0.07x
0,15
Tab. 22:
Retard échelle de masse
En cas de balayage vers le bas, les deux signes sont négatifs.
Pour un balayage lent, ce qui suit s'applique :
● dM = dM0,5 × 0,5 / VITESSE [ms/u], et
● dΔM = dΔM0,5 × 0,5 / VITESSE [ms/u]
45/50
Annexe
15.2 Méthode de calibrage du nombre de masse M et de la largeur de ligne ΔM
La position du maximum di pic sur l'échelle de masse est souvent utilisée pour définir le nombre de
masse d'un pic. Cependant, cette méthode est sujette à erreurs. Pour de plus amples informations concernant l'échelle de masse et la largeur de pic, une définition de la méthode de mesure correspondante
est nécessaire.
15.2.1
Position apparente du pic et largeur de ligne
La position apparente de la masse dépend de la largeur de ligne ΔM (c'est-à-dire de la résolution). Ce
décalage des maxima de pic avec la largeur de ligne est un phénomène naturel du spectromètre de
masse quadripôle. C’est pour cela que la position du sommet du pic sur l'échelle de masse n'est pas un
indicateur précis du nombre de masse.
∆M = 2 u
∆M = 1u
∆ M = 0.2 u
M [u]
Fig. 12:
15.2.2
Le sommet du pic se déplace avec ΔM
Position apparente du pic et forme du pic
La position apparente du pic varie en fonction de la forme du pic. Des différentes formes de pic peuvent
apparaître sur différentes positions de l'échelle de masse, même si tous les autres paramètres restent
constants. La forme du pic varie également en fonction du domaine de masse, du filtre quadripolaire
individuel ou de la source d'ions.
M [u]
Fig. 13:
15.2.3
Le sommet du pic se déplace avec la forme du pic
Définition du nombre de masse et de la largeur de ligne
Méthode de calibrage du nombre de masse M et de la largeur de ligne ΔM :
● La largeur de ligne ΔM10 = 1 u est mesurée à 10 % de la hauteur du pic.
● Le nombre de masse se situe au milieu de la ligne ΔM10.
● Le milieu de cette ligne de 10 % est utilisé comme valeur indicative pour le nombre de masse M.
46/50
Annexe
100%
0.5 u
10%
0.5 u
M [u]
0%
M
Fig. 14:
15.2.4
Méthode de calibrage du nombre de masse M et de la largeur de ligne ΔM
Écarts par rapport à M et ΔM
Les diagrammes montrent comment les écarts par rapport aux valeurs indicatives peuvent être déterminés. Ici, dM est l'écart par rapport au point de consigne de la position de la masse M et dΔM est l'écart
par rapport au point de consigne de la largeur de ligne ΔM.
140%
1
100%
2
∆ M + d∆ M
∆M=1
14%
10%
0%
M [u]
M
Fig. 15:
M + dM
1 = pic mesuré | 2 = pic de référence ΔM10 = 1 u
47/50
Déclaration de conformité CE
La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant.
Déclaration pour produit(s) du type :
Générateur de haute fréquence
QMH 40x
Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes.
Basse tension 2014/35/CE
Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE
Restrictions d’utilisation de certaines substances dangereuses 2011/65/UE (article 2,
numéro 4 d, e, et j)
Normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées :
DIN EN 61010-1:2011-07
DIN EN 61326-1:2013-07
DIN EN 55011:2009 + A1:2010 (Classe A)
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Directeur général
Asslar, 2022-11-01
Déclaration de Conformité UK
La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant.
Déclaration pour produit(s) du type :
Générateur de haute fréquence
QMH 40x
Nous déclarons par la présente que le produit cité satisfait à toutes les exigences applicables des Directives Britanniques suivantes.
Réglementation 2016 (Sécurité) sur les Equipements Electriques
Réglementation 2016 sur la Compatibilité Electromagnétique
Réglementation 2012 sur la Limitation de l'Utilisation de Certaines Substances Dangereuses dans les Equipements Electriques et Electroniques
Normes et spécifications en vigueur :
EN 61010-1:2010 + A1:2019 + A1:2019/AC:2019
EN IEC 61326-1:2021
EN 55011:2016 + A1:2017 + A11:2020 + A2:2021
Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitution du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park,
MK169PS Newport Pagnell.
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Directeur général
Asslar, 2022-11-01
*BG5982*
ed. E - Date 2301 - P/N:BG5982BFR
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